JP6977643B2 - ボールねじ装置の異常検出装置 - Google Patents

Description

本発明は、ボールねじ装置の異常検出装置に関する。

従来、ボールねじの回転運動を変換した直線運動を利用して搬送対象物を搬送可能なボールねじの搬送装置が知られている。例えば、特許文献１には、ボールねじを回転駆動可能なモータの負荷トルクを検出可能なトルク検出手段、及び、トルク検出手段の検出結果に基づいてボールねじの駆動が正常か否かを判定する状態判定手段を備えるボールねじ装置の異常検出装置が記載されている。

特開２００５−３０３１７９号公報

しかしながら、特許文献１に記載のボールねじ装置の異常検出装置では、異常が発生したときのトルクの変化が通常の作動で発生するトルクに比べ小さいため、例えば、摺動部分の摩耗などトルクの変化が比較的小さい異常を検出することは困難である。また、トルクの変化に基づいた異常検出では、異常が発生したときのトルクの変動に基づいて異常が検出されるため、異常が発生してから異常を検出するまでにタイムラグが存在する。このため、異常の発見が遅れるおそれがある。

また、ボールねじまたはボールねじを回転可能に支持するベアリングの異常を歪みゲージなど外部からの電力供給が必要なセンサで検出する場合、外部から供給される電力のノイズによって誤検出するおそれがある。このため、電力供給が必要なセンサでは、異常検出の検出精度が比較的低くなる。

本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、その目的は、ボールねじ装置の異常を迅速にかつ高精度に検出可能なボールねじ装置の異常検出装置を提供することにある。

本発明は、ボールねじ（８３）の回転運動を変換した直線運動を利用して搬送対象物（８６，９６）を搬送可能なボールねじ装置（８０）の異常を検出するボールねじ装置の異常検出装置であって、当接部材（１０，５０）、伸縮可能部材（１８，１９）、熱流束センサ（２０，３０）、及び、異常検出部（４５）を備える。

当接部材は、ボールねじの一端を支持するベアリング（８５）またはボールねじに当接するよう設けられている。

伸縮可能部材は、当接部材の変位に応じて伸縮可能に設けられ、収縮すると発熱し伸長すると吸熱する。

熱流束センサは、伸縮可能部材の熱が伝達するよう設けられている。熱流束センサは、熱可塑性樹脂から形成され厚さ方向に貫通するよう交互に形成されている複数の第一ビアホール（２１１）及び複数の第二ビアホール（２１２）を有する絶縁基材（２１）、複数の第一ビアホールに設けられる第一層間接続部材（２４）、第一層間接続部材と異なる金属から形成され第二ビアホールに設けられている第二層間接続部材（２５）、並びに、第一層間接続部材と第二層間接続部材とを交互に接続する配線パターン（２１５，２１６）を有する。熱流束センサでは、第一層間接続部材または第二層間接続部材の少なくとも一方は複数の金属原子が当該金属原子の結晶構造を維持した状態で固相焼結された焼結合金である。熱流束センサは、伸縮可能部材を通る熱流束の大きさを検出し、当該熱流束の大きさに応じた信号を出力する。

異常検出部は、熱流束センサと電気的に接続し、熱流束センサが出力する信号に基づいてボールねじ装置の異常を検出する。

本発明のボールねじ装置の異常検出装置では、ベアリングまたはボールねじに当接するよう設けられている当接部材の変位に応じた伸縮可能部材における発熱または吸熱によって伸縮可能部材を通る熱流束が発生する。伸縮可能部材を通る熱流束は、熱流束センサを通る。熱流束センサは、当該熱流束の大きさに応じた信号をボールねじ装置の異常を検出可能な異常検出部に出力する。

本発明のボールねじ装置の異常検出装置では、熱流束センサは、ベアリングまたはボールねじの変位に対応して発生する伸縮可能部材の熱流束の大きさを検出する。異常検出部は、熱流束センサが出力する当該熱流束の大きさに応じた信号に基づいてボールねじ装置の異常を検出する。これにより、本発明のボールねじ装置の異常検出装置は、ボールねじ装置の異常を迅速に検出することができる。

また、本発明のボールねじ装置の異常検出装置では、伸縮可能部材は、ベアリングまたはボールねじの僅かな変位に対しても確実に発熱または吸熱する。これにより、熱流束センサが出力する信号は、当該僅かな変位に対応した信号となるため、本発明のボールねじ装置の異常検出装置は、ベアリングまたはボールねじの変位を高精度に検出することができる。

このように、本発明のボールねじ装置の異常検出装置は、ベアリングまたはボールねじの変位に対応して発生する熱流束に基づいて、ベアリングまたはボールねじの変位を検出することが可能である。これにより、本発明のボールねじ装置の異常検出装置は、ボールねじ装置の異常を迅速にかつ高精度に検出することができる。

第一実施形態による異常検出装置が適用されるボールねじ搬送装置の模式図である。 図１のＩＩ部拡大図である。 第一実施形態による異常検出装置が備えるセンサユニットの断面図である。 第一実施形態による異常検出装置が備える熱流束センサの模式図である。 図４のＶ−Ｖ線断面図である。 第一実施形態による異常検出装置の基本作用を説明する特性図である。 第一実施形態による異常検出装置の作用を説明する特性図である。 第一実施形態のボールねじ搬送装置を応用した圧入システムの模式図である。 図８に示す圧入システムにおける異常検出装置の作用を説明する特性図である。 第一実施形態のボールねじ搬送装置の作用を説明する模式図である。 図１０に示すボールねじ搬送装置における異常検出装置の作用を説明する特性図である。 第二実施形態による異常検出装置の模式図である。 図１２のＸＩＩＩ矢視図である。

以下、複数の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、複数の実施形態において実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。

（第一実施形態）
第一実施形態によるボールねじ装置の異常検出装置を図１〜１１に基づいて説明する。第一実施形態による「ボールねじ装置の異常検出装置」としての異常検出装置１は、図１に示す「ボールねじ装置」としてのボールねじ搬送装置８０に適用される。ボールねじ搬送装置８０は、ボールねじの回転運動を変換した直線運動を利用して搬送対象物を搬送可能な装置であって、例えば、図８に示すように、圧入部材９１を被圧入部材９２に圧入するとき、圧入部材９１を支持しつつ移動可能な装置である。

最初に、ボールねじ搬送装置８０の構成について、図１に基づいて説明する。ボールねじ搬送装置８０は、ベースプレート８１、モータ８２、ボールねじ８３、モータ側ベアリング８４、「ボールねじの一端を支持するベアリング」としての反モータ側ベアリング８５、及び、「搬送対象物」としての移動体８６を備える。図１，２では、便宜的に、ボールねじ搬送装置８０のモータ８２が設けられる方向を「モータ方向」とし、モータ８２が設けられる方向とは反対の方向を「反モータ方向」とする。

ベースプレート８１は、板状の部材であって、図示しないテーブルに固定されている。モータ８２や異常検出装置１は、ベースプレート８１上に設けられる。

モータ８２は、ベースプレート８１の一端に設けられる。モータ８２は、モータ固定プレート８２１によってベースプレート８１に固定されている。モータ８２は、図示しない外部の電源が供給する電力によってボールねじ８３を回転可能な回転トルクを発生する。

ボールねじ８３は、径方向外側の外壁にねじ溝が形成されている棒状の部材である。ボールねじ８３は、モータ方向の端部がカップリング８３１を介してモータ８２の回転軸に連結されている。ボールねじ８３は、ベースプレート８１上においてモータ８２から反モータ方向に延びるよう設けられている。

モータ側ベアリング８４は、ボールねじ８３のモータ側の端部を回転可能に支持するベアリングである。モータ側ベアリング８４は、いわゆる、アンギュラベアリングであって、ボールねじ８３のモータ側ベアリング８４を略中心とした軸ぶれをある程度許容可能な構成となっている。モータ側ベアリング８４は、ベースプレート８１に固定されているモータ側ベアリングホルダ８４１に支持されている。モータ側ベアリングホルダ８４１は、モータ側ベアリング８４の径方向外側を支持するよう形成されている。ボールねじ８３は、モータ側ベアリング８４のモータ方向に設けられているベアリングナット８４２によってボールねじ８３の中心軸Ａ８３に沿う方向のずれが抑制される。

反モータ側ベアリング８５は、ボールねじ８３の反モータ側の端部を回転可能に支持するベアリングである。反モータ側ベアリング８５は、ボールねじ８３の中心軸Ａ８３に沿う方向のずれをある程度許容可能な構成を有している。反モータ側ベアリング８５は、ベースプレート８１に固定されている反モータ側ベアリングホルダ８５１に支持されている。反モータ側ベアリングホルダ８５１は、反モータ側ベアリング８５の径方向外側を支持するよう形成されている。ボールねじ８３は、反モータ側ベアリング８５の反モータ方向に設けられているサークリップ８２２によって反モータ側ベアリング８５からの抜けが防止されている。

移動体８６は、モータ側ベアリング８４と反モータ側ベアリング８５との間においてボールねじ８３に沿ってボールねじ８３の中心軸Ａ８３に沿う方向に移動可能に設けられている。移動体８６は、ボールねじ８３が挿通されているボールナット８６１、及び、ボールナット８６１と一体に移動可能なテーブル８６２を有する。ボールナット８６１の内壁には、ボールねじ８３が有するねじ溝に係合可能なねじ山が形成されている。これにより、移動体８６は、ボールねじ８３が一方の方向に回転するとモータ方向に移動し、ボールねじ８３が他方の方向に回転すると反モータ方向に移動する。

次に、異常検出装置１の構成について図１〜５に基づいて説明する。異常検出装置１は、ボールねじ搬送装置８０において、反モータ側ベアリング８５の反モータ方向に設けられる。異常検出装置１は、「当接部材」としてのベアリング抑え１０、センサユニット１５、調整ねじ部４０、及び、異常検出部４５を備える。

ベアリング抑え１０は、略柱状に形成されている部材であって、モータ側の端面１１が反モータ側ベアリング８５の反モータ方向の端面８５３に当接している。ベアリング抑え１０は、モータ方向と反モータ方向とのそれぞれに空間１０１，１０２を有する。空間１０１には、ボールねじ８３の反モータ側の端部及びサークリップ８５２が収容されている。空間１０２には、センサユニット１５の一部が収容されている。

センサユニット１５は、ベアリング抑え１０と調整ねじ部４０との間に設けられている。センサユニット１５は、図３に示すように、ハウジング１６、当て板１７、「伸縮可能部材」としての弾性部材１８，１９、及び、熱流束センサ２０，３０を有する。

ハウジング１６は、金属、例えば、マルテンサイト系ステンレス鋼から形成されている略カップ状の部材である。ハウジング１６は、センサユニット１５において調整ねじ部４０側に設けられる。このとき、ハウジング１６は、モータ方向に開口１６１を有する収容空間１６０を有する。収容空間１６０には、弾性部材１８，１９及び熱流束センサ２０，３０が収容されている。

当て板１７は、ハウジング１６の開口１６１に位置する略円板状の部材である。当て板１７は、二つの鍔部１７１，１７２、及び、接続部１７３を有する。鍔部１７１は、ハウジング１６の外側に位置し、空間１０２においてベアリング抑え１０に当接するよう形成されている。鍔部１７１の外径は、開口１６１の内径に比べ大きい。鍔部１７２は、ハウジング１６の収容空間１６０に位置し、弾性部材１８に、例えば、接着剤によって接着され固定されている。鍔部１７２の外径は、開口１６１の内径に比べ大きい。接続部１７３は、鍔部１７１と鍔部１７２とを接続する。接続部１７３の外径は、開口１６１の内径に比べ小さい。

弾性部材１８，１９は、例えば、バイトンゴムから形成されている。弾性部材１８，１９は、収容空間１６０に位置する。弾性部材１８は、熱流束センサ２０，３０のモータ方向に位置する。弾性部材１８は、鍔部１７２に固定されている。弾性部材１９は、ハウジング１６の収容空間１６０を形成する内壁面１６２に、例えば、接着剤によって接着され固定されている。弾性部材１８，１９は、当て板１７のハウジング１６に対する相対移動または変形に応じて、収縮すると発熱し伸長すると吸熱する。

熱流束センサ２０，３０は、弾性部材１８と弾性部材１９との間に設けられている。熱流束センサ２０，３０は、弾性部材１８と弾性部材１９とのそれぞれに、例えば、接着剤によって接着されている。熱流束センサ２０，３０は、可撓性を有する部材であって、弾性部材１８及び弾性部材１９の伸縮に応じて変形可能である。本実施形態では、熱流束センサ２０，３０は、形状が円形状となるよう形成されている。熱流束センサ２０，３０には弾性部材１８と弾性部材１９との間の熱の流れである熱流束が通る。熱流束センサ２０，３０は、自身を横切る熱流束を検出し、検出した熱流束を、例えば、電圧信号として出力する。

ここで、熱流束センサ２０の構成について図４，５に基づいて説明する。熱流束センサ２０は、検出部２０１、及び、端子部２０２を有する。ここでは、熱流束センサ２０の構成を説明するが、熱流束センサ３０も同じ構成を有している。

検出部２０１は、図４に示すように、熱流束センサ２０において略環状に配置されている。検出部２０１は、図５に示すように、絶縁基材２１、裏面保護部材２２、表面保護部材２３、第一層間接続部材２４、及び、第二層間接続部材２５を有する。なお、図５は、検出部２０１の構成を分かりやすくするため、実際の形状に比べて裏面保護部材２２から表面保護部材２３に向かう方向を拡大している。

絶縁基材２１は、熱可塑性樹脂からなるフィルムから形成されている。絶縁基材２１は、厚さ方向に貫通する複数のビアホール２１１を有する。ビアホール２１１には、第一層間接続部材２４または第二層間接続部材２５が設けられている。第一層間接続部材２４が設けられているビアホール２１１の隣には第二層間接続部材２５が設けられるビアホール２１１が位置する。すなわち、絶縁基材２１には、第一層間接続部材２４と第二層間接続部材２５とが離間して互い違いになるように配置されている。

裏面保護部材２２は、大きさが絶縁基材２１の大きさと同じ熱可塑性樹脂からなるフィルムから形成されている。裏面保護部材２２は、絶縁基材２１の裏面２１２に設けられている。裏面保護部材２２の絶縁基材２１側の面２２１には、銅箔などがパターニングされた複数の裏面パターン２１４が設けられている。裏面パターン２１４は、絶縁基材２１の絶縁基材２１側において第一層間接続部材２４と第二層間接続部材２５とを電気的に接続している。

表面保護部材２３は、大きさが絶縁基材２１の大きさと同じ熱可塑性樹脂からなるフィルムから形成されている。表面保護部材２３は、絶縁基材２１の表面２１３に設けられている。表面保護部材２３の絶縁基材２１側の面２３１には、銅箔などがパターニングされた複数の表面パターン２１５が形成されている。表面パターン２１５は、絶縁基材２１の表面保護部材２３側において第一層間接続部材２４と第二層間接続部材２５とを電気的に接続している。

複数の第一層間接続部材２４と複数の第二層間接続部材２５とは、ゼーベック効果を発揮するよう互いに異なる金属で構成されている。例えば、第一層間接続部材２４は、Ｐ型を構成するＢｉ−Ｓｂ−Ｔｅ合金の粉末が焼結前における複数の金属原子の結晶構造を維持するように固相焼結された金属化合物から形成されている。また、第二層間接続部材２５は、Ｎ型を構成するＢｉ−Ｔｅ合金の粉末が焼結前における複数の金属原子の所定の結晶構造を維持するように固相焼結された金属化合物から形成されている。第一層間接続部材２４と第二層間接続部材２５とは、裏面パターン２１４及び表面パターン２１５によって交互に直列されている。

検出部２０１では、複数の裏面パターン２１４、複数の第一層間接続部材２４、複数の表面パターン２１５、及び、複数の第二層間接続部材２５は、裏面パターン２１４、第一層間接続部材２４、表面パターン２１５、第二層間接続部材２５の順番が繰り返されるよう電気的に接続されている。以下、複数の裏面パターン２１４、複数の第一層間接続部材２４、複数の表面パターン２１５、及び、複数の第二層間接続部材２５から構成されている検出部２０１の配線を検出部配線という。検出部配線の当て板１７側には、弾性部材１８が位置する（図４参照）。

熱流束センサ２０では、検出部配線は、図４に示すように、複数の円弧状の部位、及び、隣り合う円弧状の部位を接続する略直線状の部位により構成されている。具体的には、図４に示す熱流束センサ２０を当て板１７側から見た上面図において最も径内方向に位置する円弧状の二点鎖線Ｌｅ１で示す検出部配線は、略直線状の二点鎖線Ｌｅ２で示す検出部配線によって隣り合う円弧状の二点鎖線Ｌｅ３で示す検出部配線と電気的に接続されている。また、円弧状の二点鎖線Ｌｅ３で示す検出部配線は、熱流束センサ２０の中心軸ＣＡ２０を挟んで二点鎖線Ｌｅ２の略反対側に位置する略直線状の二点鎖線Ｌｅ４で示す検出部配線によって隣り合う円弧状の二点鎖線Ｌｅ５と電気的に接続されている。

図４において、紙面上側において複数回折り返すよう形成されている検出部配線は、熱流束センサ２０の径方向外側において、熱流束センサ２０の径方向外側の縁に沿って熱流束センサ２０をほぼ一周するよう形成されている検出部配線（二点鎖線Ｌｅ６）と電気的に接続されている。二点鎖線Ｌｅ６で示す検出部配線は、図４の紙面上側から紙面下側に向かうよう反時計回りに配置されている。

二点鎖線Ｌｅ６で示す検出部配線は、略直線状の二点鎖線Ｌｅ７で示す検出部配線によって径内方向で隣り合う円弧状の二点鎖線Ｌｅ８で示す検出部配線と電気的に接続されている。その後、紙面下側において複数回折り返すよう形成されている検出部配線は、図４において最も径内方向に位置する二点鎖線Ｌｅ１とは異なる円弧状の二点鎖線Ｌｅ９で示す検出部配線と電気的に接続している。

端子部２０２は、熱流束センサ２０の略中央に設けられている。端子部２０２は、接続端子２４１，２５１、接続バンプ２４２，２５２、及び、出力線２４３，２５３を有する。

接続端子２４１，２５１は、端子部２０２の径方向外側に位置する。接続端子２４１は、検出部配線のうち接続端子２４１に最も近い二点鎖線Ｌｅ１で示す検出部配線と電気的に接続している。また、接続端子２５１は、検出部配線のうち接続端子２５１に最も近い二点鎖線Ｌｅ９で示す検出部配線と電気的に接続している。

接続バンプ２４２，２５２は、接続端子２４１，２５１のそれぞれに設けられている。接続バンプ２４２は、接続端子２４１と出力線２４３とを接続する。接続バンプ２５２は、接続端子２５１と出力線２５３とを接続する。

出力線２４３，２５３は、熱流束センサ２０の径外方向に延びるよう形成されている。出力線２４３，２５３は、接続バンプ２４２，２５２と電気的に接続している。出力線２４３，２５３は、端子部２０２が有する半円状の開口２０３を通ることによって熱流束センサ２０の弾性部材１８側から外部に配線されている。

熱流束センサ２０では、熱流束センサ２０の厚さ方向（図５の裏面保護部材２２から表面保護部材２３に向かう方向）に流れる熱量の大きさが変化すると、交互に直列接続された第一層間接続部材２４及び第二層間接続部材２５において発生する起電圧が変化する。熱流束センサ２０は、この電圧を出力線２４３、２５３を介して検出信号として異常検出部４５に出力する。

本実施形態では、熱流束センサ２０と、熱流束センサ３０とは、表面保護材同士が当接するよう設けられている。このとき、熱流束センサ２０のマイナス端子と、熱流束センサ３０のプラス端子とが接続されており、熱流束センサ２０のプラス端子及び熱流束センサ３０のマイナス端子が異常検出部４５に接続されている。すなわち、熱流束センサ２０と、熱流束センサ３０とは、直列接続されている。

調整ねじ部４０は、センサユニット１５から見て反モータ側ベアリング８５とは反対側に設けられている。調整ねじ部４０は、調整ねじ４１、調整ねじホルダ４２、及び、ストッパねじ４３を有する。調整ねじ４１は、センサユニット１５側の端面４１１がセンサユニット１５の反モータ側ベアリング８５とは反対側の端面１５１に当接するよう設けられている。調整ねじホルダ４２は、ベースプレート８１に固定されている。調整ねじホルダ４２は、調整ねじ４１を挿通可能な挿通孔を有する。挿通孔を形成する調整ねじホルダ４２の内壁には、調整ねじ４１が有するねじ溝に係合可能なねじ山が形成されている。これにより、調整ねじ４１は、調整ねじホルダ４２に対してボールねじ８３の中心軸ＣＡ８３に沿う方向に移動可能であって、端面４１１を調整ねじホルダ４２に対して所望の位置とすることが可能である。ストッパねじ４３は、調整ねじ４１を調整ねじホルダ４２に対する所望の位置を固定する。

異常検出部４５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを中心に構成される周知のマイクロコンピュータである。異常検出部４５は、ケーブル４６を介して検出部配線と電気的に接続している。異常検出部４５は、熱流束センサ２０，３０が出力する検出信号に基づいて熱流束センサ２０，３０を通る熱流束の大きさを算出する。

次に、異常検出装置１の基本作用について図６に基づいて説明する。図６には、異常検出装置１における熱流束センサ２０，３０のセンサ出力の時間変化を示す。

異常検出装置１では、ベアリング抑え１０の変位によって当て板１７が変位すると、弾性部材１８，１９が伸縮する。弾性部材１８，１９が伸縮すると、弾性部材１８，１９が発熱または吸熱する。弾性部材１８，１９が発熱または吸熱すると、外部との熱のやり取りである熱流束が発生する。熱流束センサ２０，３０では、熱流束によって第一層間接続部材２４及び第二層間接続部材２５において発生する起電圧の電圧を異常検出部４５に出力する。異常検出部４５は、熱流束センサ２０，３０が出力する検出信号に基づいて熱流束センサ２０，３０を通る熱流束の大きさを算出する。異常検出部４５は、算出された熱流束の大きさに基づいて反モータ側ベアリング８５の相対位置の変化量または変形量を算出する。

異常検出装置１において、例えば、停止している移動体８６がモータ方向への移動を開始するときなど反モータ方向からモータ方向に向かって加速するとき、または、反モータ方向に向かって一定の速度で移動している移動体８６が減速するとき、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、図６の実線（Ｌ６０＋Ｌ６１）のようになる。具体的には、加速または減速が開始する時刻ｔ０以降において、熱流束センサ２０，３０は、傾きが正の信号を出力する。

また、例えば、停止している移動体８６が反モータ方向への移動を開始するときなどモータ方向から反モータ方向に向かって加速するとき、または、モータ方向に向かって一定の速度で移動している移動体８６が減速するとき、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、図６の実線（Ｌ６０＋Ｌ６２）のようになる。具体的には、加速または減速が開始する時刻ｔ０以降において、熱流束センサ２０，３０は、傾きが負の信号を出力する。

ここで、熱流束センサ２０において発生する電圧と、熱流束センサ３０において発生する電圧との関係について説明する。熱流束センサ２０では、図３の紙面上において右側から左側へ流れる熱流束によって傾きが正の信号となるようプラスの電圧をセンサ出力として出力する。一方、熱流束センサ３０では、図３の紙面上において左側から右側へ流れる熱流束によって、傾きが負の信号となるようマイナスの電圧をセンサ出力として出力する。

例えば、図３において、当て板１７を図３の紙面上の右側から左側へ動かす力（図３の白抜き矢印Ｆ３１）が加わるとき、圧縮される弾性部材１８は、発熱する。弾性部材１８において発生した熱は、熱流束センサ２０を通り熱流束センサ３０に向かって流れるため、熱流束センサ２０はプラスの電圧を発生する。また、弾性部材１８と同じように圧縮される弾性部材１９も発熱する。発生した熱は熱流束センサ３０を通り熱流束センサ２０に向かって流れるため、熱流束センサ３０もプラスの電圧を発生する。熱流束センサ２０と熱流束センサ３０とは直列接続されているため、それぞれのプラスの電圧を加算した電圧の信号が異常検出部４５に入力される。

当て板１７に作用する力Ｆ３１が解除されると、弾性部材１８は復元し吸熱する。これにより、熱流束は、熱流束センサ３０から弾性部材１８に向かって流れるため、熱流束センサ２０は、マイナスの電圧を発生する。また、弾性部材１８と同じように復元する弾性部材１９も吸熱する。これにより、熱流束は、熱流束センサ２０から弾性部材１９に向かって流れるため、熱流束センサ３０もマイナスの電圧を発生する。熱流束センサ２０と熱流束センサ３０とは直列接続されているため、それぞれのマイナスの電圧を加算した電圧の信号が異常検出部４５に入力される。

また、例えば、ボールねじ８３の摩擦熱など弾性部材１８，１９の伸縮に無関係な外部からの熱による熱流束が流れるとき、図３の一方向、例えば、弾性部材１８から弾性部材１９に向かって熱流束が流れるため、熱流束センサ２０は、プラスの電圧を生じ、熱流束センサ３０は、マイナス電圧を生じる。これにより、異常検出部４５には、プラスの電圧とマイナスの電圧とがキャンセルされた信号が入力される。

次に、異常検出装置１の実使用時のセンサ出力の時間変化について、図７に基づいて説明する。図７には、移動体８６の速度、変位、及び、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力の時間変化を示す。図７に示す移動体８６の速度は、モータ方向に移動するときを正とする。また、図７に示す移動体８６の変位は、移動体８６が最も反モータ方向に位置するときの位置を０とする。

最初に、時刻ｔ１において、停止している移動体８６がモータ方向への移動を開始する。このとき、移動体８６はモータ方向へ向かって加速するため、図７に示すように、移動体８６の速度は徐々に増加し、移動体８６の変位の時間変化は下凸状の曲線となる。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの期間Ｔｓ１において傾きが正の信号を出力する。熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、移動体８６の速度が一定となる時刻ｔ２の前に減少し始める。

時刻ｔ２において移動体８６の速度が一定になると、移動体８６の変位の時間変化は、図７に示すように、直線となる。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、時刻ｔ２から時刻ｔ３までの期間Ｔｓ２において０となる。熱流束センサ２０，３０のセンサ出力が０となる状態は、時刻ｔ３まで続く。

時刻ｔ３において一定の速度で移動している移動体８６が減速すると、移動体８６の速度は、図７に示すように、徐々に減少し、移動体８６の変位の時間変化は上凸状の曲線となる。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、時刻ｔ３から時刻ｔ４までの期間Ｔｓ３において傾きが負の信号を出力する。熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、移動体８６の速度が０となる時刻ｔ４の前に増加し始める。

時刻ｔ４において移動体８６の速度が０になると、移動体８６の変位の時間変化は、図７に示すように、直線となる。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、時刻ｔ４から時刻ｔ５までの期間Ｔｓ４において０となる。熱流束センサ２０，３０のセンサ出力が０となる状態は、時刻ｔ５まで続く。

時刻ｔ５において停止している移動体８６が反モータ方向への移動を開始すると、移動体８６は反モータ方向へ向かって加速するため、移動体８６の速度は、図７に示すように、徐々に増加し、移動体８６の変位の時間変化は上凸状の曲線となる。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、時刻ｔ５から時刻ｔ６までの期間Ｔｓ５において傾きが負の信号を出力する。熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、移動体８６の速度が一定となる時刻ｔ６の前に増加し始める。

時刻ｔ６において移動体８６の速度が一定になると、移動体８６の変位の時間変化は、図７に示すように、直線となる。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、時刻ｔ６から時刻ｔ７までの期間Ｔｓ６において０となる。熱流束センサ２０，３０のセンサ出力が０となっている状態は、時刻ｔ７まで続く。

時刻ｔ７において一定の速度で移動している移動体８６が減速すると、移動体８６の速度は、図７に示すように、徐々に減少し、移動体８６の変位の時間変化は下凸状の曲線となる。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、時刻ｔ７から時刻ｔ８までの期間Ｔｓ７において傾きが正の信号を出力する。熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、移動体８６の速度が０となる時刻ｔ８の前に減少し始める。

時刻ｔ８において移動体８６の速度が０になると、移動体８６の変位の時間変化は、図７に示すように、直線となる。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、時刻ｔ８から時刻ｔ９までの期間Ｔｓ８において０となる。熱流束センサ２０，３０のセンサ出力が０となる状態は、時刻ｔ９まで続く。

次に、ボールねじ搬送装置８０の実使用時における異常検出装置１のセンサ出力の時間変化について、図８，９に基づいて説明する。ボールねじ搬送装置８０は、移動体８６の代わりに、「搬送対象物」としての部材支持部９６を備えている。

部材支持部９６は、モータ側ベアリング８４と反モータ側ベアリング８５との間においてボールねじ８３に沿ってボールねじ８３の中心軸Ａ８３に沿う方向に移動可能に設けられている。部材支持部９６は、ボールねじ８３が挿通されているボールナット８６１、アーム部９６２、及び、ハンド部９６３を有する。

アーム部９６２は、ボールナット８６１と一体に移動可能に設けられている。アーム部９６２は、ボールねじ８３の中心軸Ａ８３に対して略垂直な方向に延びるよう形成されている。

ハンド部９６３は、アーム部９６２のボールナット８６１に接続する側の端部とは反対側の端部に設けられている。ハンド部９６３は、アーム部９６２からボールねじ８３の中心軸Ａ８３に略平行な方向に延びるよう形成されている。ハンド部９６３のアーム部９６２に接続する側とは反対側の端部は、圧入部材９１を支持可能に形成されている。圧入部材９１は、被圧入部材９２に圧入される部位としての圧入部９１１、及び、圧入部９１１に比べ外形が大きい当接部９１２を有する。

ボールねじ搬送装置８０の近傍には、被圧入部材９２を支持可能な支持装置９０が設けられている。被圧入部材９２は、図８に示すように、支持装置９０においてハンド部９６３に支持されている圧入部材９１に対向するよう支持されている。被圧入部材９２は、圧入部材９１を圧入可能な圧入孔９２０を有する。図８には、圧入孔９２０に圧入されている圧入部材９１を二点鎖線で示す。

図８に示すボールねじ搬送装置８０では、部材支持部９６は、ボールねじ８３が一方の方向に回転するとモータ方向に移動し、ボールねじ８３が他方の方向に回転すると反モータ方向に移動する。図８に示すボールねじ搬送装置８０及び支持装置９０を備える圧入システム５では、部材支持部９６のボールねじ８３の中心軸Ａ８３に沿う直線運動（図８の白抜き矢印Ｆ９６参照）を利用して、圧入部材９１を被圧入部材９２に圧入する。

図８に示す圧入システム５における圧入部材９１の被圧入部材９２への圧入工程における熱流束センサ２０，３０のセンサ出力の時間変化を図９に示す。図９は、図７に示す異常検出装置１の実使用時のセンサ出力の時間変化をベースとして、期間Ｔｓ３０において圧入部材９１が被圧入部材９２に圧入されるときの熱流束センサ２０，３０のセンサ出力の変化が記載されている。

圧入システム５において、部材支持部９６がモータ方向に移動すると、期間Ｔｓ３０において圧入部材９１が被圧入部材９２の圧入孔９２０に圧入される。期間Ｔｓ３０における熱流束センサ２０，３０のセンサ出力の変化を詳細に見ると、時刻ｔ３１において、一定の速度でモータ方向に移動している部材支持部９６が支持する圧入部材９１の圧入部９１１が被圧入部材９２の圧入孔９２０の入口に当接する。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、傾きが負の信号を出力する（時刻ｔ３１から時刻ｔ３２までの間）。その後、圧入部材９１の圧入部９１１が圧入孔９２０に入ると、被圧入部材９２からの作用力が比較的小さくなるため、部材支持部９６はボールねじ８３の動きによって加速する。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、傾きが正の信号を出力する（時刻ｔ３２から時刻ｔ３３までの間）。

圧入部材９１の当接部９１２が、図８に示すように、被圧入部材９２に当接すると、部材支持部９６は急激に減速する。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、傾きが負の信号を出力する（時刻ｔ３３から時刻ｔ３４までの間）。その後、ハンド部９６３が圧入部材９１を離し、部材支持部９６が反モータ方向に移動する。これにより、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力は、傾きが正の信号を出力する（時刻ｔ３４から時刻ｔ４１までの間）。

図９に示す圧入部材９１の被圧入部材９２への圧入工程において、異常検出部４５では、熱流束センサ２０，３０のセンサ出力の値に基づいて、ボールねじ搬送装置８０の状態を判定している。

ボールねじ搬送装置８０の状態の判定方法の一つとしては、特定の期間における熱流束センサ２０，３０のセンサ出力の最大値または最小値に設定されている閾値に対する大小関係に基づく方法で挙げられる。例えば、図９に示すように時刻ｔ３２から時刻ｔ３４までにおける最大値の範囲をセンサ出力Ｅ０Ｈ〜センサ出力Ｅ０Ｌに設定する。異常検出部４５は、被圧入部材９２への圧入部材９１の圧入が完了するとき、すなわち、時刻ｔ３３におけるセンサ出力の値がセンサ出力Ｅ０Ｈからセンサ出力Ｅ０Ｌまでの範囲にある、場合圧入工程は正常であると判定する。また、異常検出部４５は、時刻ｔ３３におけるセンサ出力の値がセンサ出力Ｅ０Ｈからセンサ出力Ｅ０Ｌまでの範囲外である場合、圧入工程は異常であると判定する。

また、別の判定方法としては、ボールねじ搬送装置８０が稼働している全時間帯において、σ判定を行う方法が挙げられる。具体的には、複数回の圧入工程におけるデータに基づいてセンサ出力の標準偏差を求める。σ判定を行う方法では、当該標準偏差に基づいてセンサ出力の平均値に対するσ区間を上限値（図９の二点鎖線σＵＬ１）及び下限値（図９の二点鎖線σＬＬ１）として設定し、当該σ区間から外れているか否かによって異常検出部４５は、ボールねじ搬送装置８０の状態を判定する。

次に、図８に示すボールねじ搬送装置８０の実使用時における異常検出装置１のセンサ出力の時間変化の特性について、図１０，１１に基づいて説明する。図１０には、モータ側ベアリング８４と反モータ側ベアリング８５との間におけるボールねじ８３の中心軸Ａ８３の軸ぶれを模式的に表した図である。ボールねじ搬送装置８０では、ボールねじ８３が回転すると、モータ側ベアリング８４と反モータ側ベアリング８５との位置関係やボールねじ８３の形状によって、反モータ側ベアリング８５側の端部が、図１０の実線Ｌ１０に示すように、モータ側ベアリング８４側の端部を略中心として振れる場合がある。

反モータ側ベアリング８５側の端部が振れる場合、反モータ側ベアリング８５の反モータ方向の端面８５３に当接しているベアリング抑え１０も、図１０の白抜き矢印Ｓｗ８５に示すように、移動する。これにより、熱流束センサ２０，３０におけるセンサ出力は、図１１に示すように、図７に示した特性図にボールねじ８３の回転の度に出力される周期的な波が加算された信号が出力されることとなる。

（ａ−１）第一実施形態による異常検出装置１では、熱流束センサ２０，３０は、反モータ側ベアリング８５の変位に対応した弾性部材１８，１９の熱流束の大きさを検出する。これにより、異常検出装置１は、熱流束センサ２０，３０が出力する当該熱流束の大きさに応じた信号に基づいてボールねじ搬送装置８０の異常を迅速に検出することができる。

（ａ−２）また、第一実施形態による異常検出装置１は、弾性部材１８，１９は、反モータ側ベアリング８５の僅かな変位に対しても確実に発熱または吸熱する。これにより、熱流束センサ２０，３０が出力する信号は、当該僅かな変位に対応した信号となるため、異常検出装置１は、反モータ側ベアリング８５の変位を高精度に検出することができる。

このように、第一実施形態による異常検出装置１は、ボールねじ搬送装置８０の異常に起因する反モータ側ベアリング８５の変位に対応した熱流束に基づいて、反モータ側ベアリング８５の変位を検出することが可能である。これにより、異常検出装置１は、ボールねじ搬送装置８０の異常を迅速にかつ高精度に検出することができる。

（ｂ）第一実施形態による異常検出装置１では、ベアリング抑え１０は、反モータ側ベアリング８５に当接している。これにより、ボールねじ８３の回転によってベアリング抑え１０が回転することを防止できる。したがって、ベアリング抑え１０の回転による検出結果のノイズを抑制することができるため、異常検出装置１は、ボールねじ搬送装置８０の異常を確実に検出することができる。

（ｃ）第一実施形態による異常検出装置１は、直列接続されている熱流束センサ２０と熱流束センサ３０とを備えている。これにより、弾性部材１８，１９が当て板１７のハウジング１６に対する相対移動または変形に応じて発熱または吸熱すると、異常検出部４５には、一つの熱流束センサによって検出される熱流束に応じた電圧の約２倍の大きさの電圧が入力される。また、弾性部材１８，１９の伸縮に無関係な外部からの熱、例えば、ボールねじ８３の摩擦熱などによる熱流束が流れるとき、熱流束センサ２０のセンサ出力と熱流束センサ３０のセンサ出力とはキャンセルされるため、異常検出部４５には、弾性部材１８，１９の伸縮に関係する電圧は入力されない。したがって、異常検出装置１は、センサ出力を増大することができるとともに弾性部材１８，１９の伸縮に無関係な外乱を排除することができるため、ボールねじ搬送装置８０の異常を高精度に検出することができる。

（ｄ）第一実施形態による異常検出装置１では、ハウジング１６は、マルテンサイト系ステンレス鋼から形成されている。マルテンサイト系ステンレス鋼は、いわゆる、磁性材料であって、外部の磁場を遮断する特性があるため、異常検出装置１では、磁場を発生する装置、例えば、モータ８２が発生する磁場によるノイズが検出結果に影響を及ぼすことを防止することができる。これにより、異常検出装置１は、ボールねじ搬送装置８０の異常を高精度に検出することができる。

（ｅ）異常検出装置１は、ハウジング１６、当て板１７、弾性部材１８，１９、及び、熱流束センサ２０，３０が一つのユニットとして構成されている。これにより、異常検出装置１は、弾性部材１８，１９及び熱流束センサ２０，３０の位置を当該ユニット内において一定とすることができる。したがって、当て板１７の移動または変形を再現性よく検出することができる。

（ｆ）異常検出装置１では、当て板１７と弾性部材１８、弾性部材１８と熱流束センサ２０、熱流束センサ２０と熱流束センサ３０、熱流束センサ３０と弾性部材１９、及び、弾性部材１９とハウジング１６とは、それぞれ接着されている。これにより、弾性部材１８，１９は、当て板１７の移動または変形に応じて確実に収縮または伸長することができる。また、熱流束センサ２０，３０は、弾性部材１８，１９の収縮または伸長に伴う熱流束の変化を確実に検出することができる。したがって、ボールねじ搬送装置８０の些細な異常を確実に検出することができる。

（第二実施形態）
次に、第二実施形態によるボールねじ装置の異常検出装置を図１２，１３に基づいて説明する。第二実施形態は、ボールねじ装置の異常検出装置の構成が第一実施形態と異なる。

第二実施形態による「ボールねじ装置の異常検出装置」としての異常検出装置２の拡大図を図１２，１３に示す。異常検出装置２は、ボールねじ搬送装置８０において、反モータ側ベアリング８５の反モータ方向に設けられる。異常検出装置２は、当接部材５０、センサ側ベアリング５５、ベアリング抑え６０、センサユニット１５、第一支持部材６５、第二支持部材７０、調整ねじ部７５を備える。

当接部材５０は、ボールねじ８３の反モータ側の端面８３２に当接するよう設けられている。当接部材５０は、当接部５１、円板部５２、及び、被支持部５３を有する。

当接部５１は、略円錐台状に形成されている部位であって、外径が小さい側に、ボールねじ８３の端面８３２に当接する端面５１１を有する。端面５１１は、端面８３２の略中央に当接している。

円板部５２は、当接部５１の外径が大きい側に設けられている。円板部５２は、後述するセンサ側ベアリング５５の内径に比べ大きい外径を有する。

被支持部５３は、円板部５２の当接部５１とは反対側に設けられている。被支持部５３は、円柱状に形成されており、センサ側ベアリング５５に回転可能に支持されている。

センサ側ベアリング５５は、被支持部５３の径外方向に設けられている。センサ側ベアリング５５は、当接部材５０を回転可能に支持している。

ベアリング抑え６０は、センサ側ベアリング５５の反モータ側ベアリング８５とは反対側の端面に当接するよう設けられている。ベアリング抑え６０は、略円筒状に形成されている。ベアリング抑え６０は、センサ側ベアリング５５側に、センサ側ベアリング５５の反モータ側ベアリング８５側の端面５５１及び径方向外側の外壁面５５２に当接しつつセンサ側ベアリング５５を支持する溝６０１を有する。また、ベアリング抑え６０は、センサ側ベアリング５５とは反対側に、センサユニット１５を支持する溝６０２を有する。

第一支持部材６５は、反モータ側ベアリング８５のモータ側からセンサユニット１５の径外方向まで延びるよう形成されている略筒状の部材である。第一支持部材６５は、内側鍔部６５１、筒部６５２、及び、外側鍔部６５３を有する。

内側鍔部６５１は、反モータ側ベアリング８５のモータ方向に位置している。内側鍔部６５１は、反モータ方向の端面６５４が反モータ側ベアリング８５のモータ方向の端面８５４に当接している。

筒部６５２は、内側鍔部６５１から反モータ方向に延びるよう形成されている略筒状の部位である。筒部６５２の内側には、反モータ側ベアリング８５、当接部材５０、センサ側ベアリング５５、ベアリング抑え６０、及び、センサユニット１５が収容されている。

筒部６５２のベースプレート８１とは反対側の部位には、図１３に示すように、溝６５５が設けられている．溝６５５には、反モータ側ベアリングホルダ８５１に対する第一支持部材６５の回転を抑制可能なブレーキシュー６５６が設けられている。ブレーキシュー６５６は、反モータ側ベアリングホルダ８５１に設けられているボルト８５５によって筒部６５２に押さえ付けられている。

外側鍔部６５３は、筒部６５２の内側鍔部６５１に接続する側の端部とは反対側の反対側の端部に設けられている外側鍔部６５３は、図１２に示すように、略水平方向に延びるよう二つ形成されている。

第二支持部材７０は、第一支持部材６５及びセンサユニット１５の反モータ方向に位置している。第二支持部材７０は、センサユニット支持部７１、及び、ベース部７２を有する。

センサユニット支持部７１は、センサユニット１５の反モータ方向に位置する。センサユニット支持部７１は、センサユニット１５を収容可能な空間７１０を有する。

ベース部７２は、センサユニット支持部７１の反モータ方向に位置する。ベース部７２は、センサユニット支持部７１と一体に形成されている。ベース部７２は、センサユニット支持部７１の外径に比べ大きい外径を有し、第一支持部材６５の外側鍔部６５３の反モータ方向の端面６５７に当接する端面７２１を有する。

ベース部７２は、端面７２１に開口し、ボールねじ８３の中心軸に沿う方向にベース部７２を貫通する通孔７２０を複数有する。通孔７２０は、外側鍔部が有する通孔６５０と連通している。通孔７２０と通孔６５０とには、第一支持部材６５と第二支持部材７０とを連結するボルト７３が設けられている。

通孔６５０には、一端が反モータ側ベアリングホルダ８５１の反モータ方向の端面８５６に当接し他端がボルト７３のモータ方向の端面に当接しているばね７４が設けられている。ばね７４は、第一支持部材６５及び第二支持部材７０と反モータ側ベアリングホルダ８５１とが離間する方向に第一支持部材６５及び第二支持部材７０を付勢している。

調整ねじ部７５は、第二支持部材７０のセンサユニット１５と反対側に設けられている。調整ねじ部７５は、調整ねじ７６、及び、ストッパねじ７７を有する。調整ねじ７６は、第二支持部材７０が有する通孔７００に挿通され、センサユニット１５の反モータ側ベアリング８５とは反対側の端面に当接するよう設けられている。調整ねじ７６が有するねじ溝は、通孔７００を形成する第二支持部材７０の内壁に形成されているねじ山と係合可能である。これにより、調整ねじ７６は、第二支持部材７０に対してボールねじ８３の軸方向に移動可能に設けられる。ストッパねじ７７は、調整ねじ７６を第二支持部材７０に対する所望の位置を固定する。

第二実施形態による異常検出装置２では、当接部材５０は、ボールねじ８３の反モータ側の端面８３２に当接するよう設けられている。これにより、熱流束センサ２０，３０は、ボールねじ８３の端面８３２の変位に対応した弾性部材１８，１９の熱流束の大きさを検出する。したがって、第二実施形態は、第一実施形態の効果（ａ−１）、（ａ−２）、（ｃ）〜（ｆ）の効果を奏する。

また、第二実施形態による異常検出装置２では、弾性部材１８，１９の収縮または伸長は、ボールねじ８３の反モータ側の端面８３２に当接する当接部材５０の変位に対応している。また、当接部材５０は、センサ側ベアリング５５によって回転可能に支持されているため、センサユニット１５が回転することはない。これにより、第二実施形態は、ボールねじ８３の変位を直接検出することができるため、ボールねじの変位をさらに高精度に検出することができる。

（他の実施形態）
上述の実施形態では、「ボールねじ装置の異常検出装置」は、ボールねじ搬送装置に適用されるとした。しかしながら、「ボールねじ装置の異常検出装置」が適用される分野はこれに限定されない。ボールねじの回転運動を変換した直線運動を利用して搬送対象物を搬送可能なボールねじ装置に適用されればよい。

上述の実施形態では、「伸縮可能部材」は、弾性部材であるとした。しかしながら、「伸縮可能部材」は、これに限定されない。「当接部材」の変位に応じて伸縮可能に設けられ、収縮すると発熱し伸長すると吸熱する部材、例えば、樹脂、金属、焼結金属などであってもよい。

上述の実施形態では、異常検出装置は、二つの熱流束センサ、及び、二つの弾性部材を備えるとした。しかしながら、熱流束センサ及び弾性部材は、一つずつであってもよい。

上述の実施形態では、センサユニットのハウジングは、マルテンサイト系ステンレス鋼から形成されているとした。しかしながら、センサユニットのハウジングを形成する材料は、これに限定されない。例えば、フェライト系ステンレス鋼や鉄であってもよい。また、センサユニットのハウジングは、磁性材料から形成されていなくてもよい。例えば、センサユニットのハウジングをオーステナイト系ステンレス鋼から形成すると、腐食に比較的強くなる耐環境性が向上する。

上述の実施形態では、異常検出部における異常の判定方法として、ボールねじ搬送装置が稼働している全時間帯においてσ判定を行う方法が挙げられるとした。このとき設定されるσ区間について、σ区間を複数設定してもよい。例えば、平均値±（１×σ）区間を越える場合注意喚起を促す警報を出力し、平均値±（２×σ）区間を越える場合警告を出力し、平均値±（３×σ）区間を越える場合装置を緊急停止するなどの設定を行ってもよい。また、異常検出部における異常の判定方法は、特定の期間における熱流束センサのセンサ出力の最大値または最小値に設定されている閾値に対する大小関係に基づく方法や、上述したσ判定を行う方法には限定されない。

以上、本発明はこのような実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。

１，２・・・異常検出装置
１０・・・ベアリング抑え（当接部材）
１８，１９・・・弾性部材（伸縮可能部材）
２０，３０・・・熱流束センサ
４５・・・異常検出部
５０・・・当接部材
８０・・・ボールねじ搬送装置（ボールねじ装置）
８３・・・ボールねじ
８５・・・反モータ側ベアリング（ベアリング）

Claims (5)

1. ボールねじ（８３）の回転運動を変換した直線運動を利用して搬送対象物（８６，９６）を搬送可能なボールねじ装置（８０）の異常を検出するボールねじ装置の異常検出装置であって、
   前記ボールねじの一端を支持するベアリング（８５）または前記ボールねじに当接するよう設けられている当接部材（１０，５０）と、
   前記当接部材の変位に応じて伸縮可能に設けられ、収縮すると発熱し伸長すると吸熱する伸縮可能部材（１８，１９）と、
   前記伸縮可能部材の熱が伝達するよう設けられ、熱可塑性樹脂から形成され厚さ方向に貫通するよう交互に形成されている複数の第一ビアホール（２１１）及び複数の第二ビアホール（２１２）を有する絶縁基材（２１）、複数の前記第一ビアホールに設けられる第一層間接続部材（２４）、前記第一層間接続部材と異なる金属から形成され前記第二ビアホールに設けられている第二層間接続部材（２５）、並びに、前記第一層間接続部材と前記第二層間接続部材とを交互に接続する配線パターン（２１５，２１６）を有し、前記第一層間接続部材または前記第二層間接続部材の少なくとも一方は複数の金属原子が当該金属原子の結晶構造を維持した状態で固相焼結された焼結合金であって、前記伸縮可能部材を通る熱流束の大きさを検出し、当該熱流束の大きさに応じた信号を出力する熱流束センサ（２０，３０）と、
   前記熱流束センサと電気的に接続し、前記熱流束センサが出力する信号に基づいて前記ボールねじ装置の異常を検出する異常検出部（４５）と、
   を備えるボールねじ装置の異常検出装置。
2. 前記当接部材は、前記ベアリングに当接するよう設けられている請求項１に記載のボールねじ装置の異常検出装置。
3. 前記当接部材は、前記ボールねじに当接しつつ回転可能に設けられ、
   前記当接部材を回転可能に支持するセンサ側ベアリング（５５）をさらに備える請求項１に記載のボールねじ装置の異常検出装置。
4. 前記熱流束センサを二つ備え、
   前記伸縮可能部材は、隣り合う二つの前記熱流束センサの両側に位置するよう二つ備える請求項１〜３のいずれか一項に記載のボールねじ装置の異常検出装置。
5. 磁性材料から形成され、前記熱流束センサを収容するハウジング（１６）をさらに備える請求項１〜４のいずれか一項に記載のボールねじ装置の異常検出装置。

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