JP6975672B2

JP6975672B2 - Labyrinth seal structure

Info

Publication number: JP6975672B2
Application number: JP2018074803A
Authority: JP
Inventors: 俊輔森中
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 2017-09-07
Filing date: 2018-04-09
Publication date: 2021-12-01
Anticipated expiration: 2038-04-09
Also published as: JP2019049346A

Description

本発明は、ラビリンスシール、およびラビリンスシール構造に関する。 The present invention relates to a labyrinth seal and a labyrinth seal structure.

例えば特許文献１などに、従来のラビリンスシールが記載されている。このラビリンスシールは、流体機械を構成する２つの部材（例えば回転体と静止体）の隙間での流体の漏れ量を抑制するためのものである。特許文献１の図４に記載の技術では、フィンと部材との隙間が直線的に並び、流体が直線的に吹き抜けるおそれがある。同文献の図３に記載の技術では、段差が設けられている。そして、フィンと部材との隙間を通った流体が、フィンに当たるように構成することで、流体の漏れ量を抑制することが図られている。 For example, Patent Document 1 and the like describe a conventional labyrinth seal. This labyrinth seal is for suppressing the amount of fluid leakage in the gap between two members (for example, a rotating body and a stationary body) constituting the fluid machine. In the technique described in FIG. 4 of Patent Document 1, the gap between the fin and the member is linearly arranged, and there is a possibility that the fluid will blow through linearly. In the technique shown in FIG. 3 of the same document, a step is provided. The fluid that has passed through the gap between the fin and the member is configured to hit the fin, thereby suppressing the amount of fluid leakage.

特開２０１２−７２７３６号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-72736

しかし、流体の漏れ量をさらに抑制することが望まれている。 However, it is desired to further suppress the amount of fluid leakage.

そこで、本発明では、流体の漏れ量を抑制できる、ラビリンスシールおよびラビリンスシール構造を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a labyrinth seal and a labyrinth seal structure capable of suppressing the amount of fluid leakage.

本発明のラビリンスシールは、流体機械に設けられる。前記流体機械は、第１部材と、前記第１部材に対向する第２部材と、隙間と、を備える。前記隙間は、前記第１部材と前記第２部材との間に形成される。前記隙間は、流れ方向の高圧側から低圧側に流体が流れるように構成される。流れ方向は、前記第１部材と前記第２部材とが対向する方向に直交する方向である。前記第１部材と前記第２部材とが対向する方向を対向方向とする。対向方向において前記第２部材から前記第１部材に向かう側を対向方向第１側とする。対向方向において前記第１部材から前記第２部材に向かう側を対向方向第２側とする。ラビリンスシールは、段差部と、高圧側段部と、低圧側段部と、高圧側フィンと、低圧側フィンと、突起と、を備える。前記段差部は、前記第２部材の対向方向第１側部分に形成される。前記高圧側段部は、前記第２部材の対向方向第１側部分を構成し、前記段差部よりも高圧側に配置される。前記低圧側段部は、前記第２部材の対向方向第１側部分を構成し、前記段差部よりも低圧側に配置され、前記高圧側段部よりも対向方向第２側に配置される。前記高圧側フィンは、前記第１部材から前記高圧側段部に向かって延び、前記段差部よりも高圧側に配置される。前記低圧側フィンは、前記第１部材から前記低圧側段部に向かって延び、前記段差部よりも低圧側に配置される。前記突起は、前記高圧側段部から対向方向第１側に延び、前記高圧側フィンよりも低圧側に配置される。前記第１部材の対向方向第２側の面のうち、前記高圧側フィンの低圧側の面から前記低圧側フィンの高圧側の面までをつなぐ部分は、対向方向および流れ方向のそれぞれに直交する方向から見たとき、直線状または弧状である。 The labyrinth seal of the present invention is provided on a fluid machine. The fluid machine includes a first member, a second member facing the first member, and a gap. The gap is formed between the first member and the second member. The gap is configured so that the fluid flows from the high pressure side to the low pressure side in the flow direction. The flow direction is a direction orthogonal to the direction in which the first member and the second member face each other. The direction in which the first member and the second member face each other is defined as the facing direction. The side from the second member toward the first member in the facing direction is referred to as the first side in the facing direction. The side from the first member toward the second member in the facing direction is referred to as the second side in the facing direction. The labyrinth seal includes a step portion, a high pressure side step portion, a low pressure side step portion, a high pressure side fin, a low pressure side fin, and a protrusion. The step portion is formed on the first side portion in the facing direction of the second member. The high-pressure side step portion constitutes the first side portion in the facing direction of the second member, and is arranged on the high-pressure side with respect to the step portion. The low-pressure side step portion constitutes the first side portion in the facing direction of the second member, is arranged on the low pressure side of the step portion, and is arranged on the second side in the facing direction of the high pressure side step portion. The high-pressure side fin extends from the first member toward the high-pressure side step portion, and is arranged on the high-pressure side of the step portion. The low-pressure side fin extends from the first member toward the low-pressure side step portion, and is arranged on the low-pressure side with respect to the step portion. The protrusion extends from the high-pressure side step portion to the first side in the facing direction, and is arranged on the low-pressure side with respect to the high-pressure side fin. Of the surfaces of the first member on the second side in the facing direction, the portion connecting the surface on the low pressure side of the high pressure side fin to the surface on the high pressure side of the low pressure side fin is orthogonal to each of the facing direction and the flow direction. When viewed from the direction, it is linear or arcuate.

上記構成により、ラビリンスシールでの流体の漏れ量を抑制できる。 With the above configuration, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal can be suppressed.

第１実施形態のラビリンスシールを有する流体機械の一部を、直交方向Ｚから見た断面図である。It is sectional drawing which saw the part of the fluid machine which has the labyrinth seal of 1st Embodiment from the orthogonal direction Z. 第２実施形態の図１相当図である。FIG. 1 is a diagram corresponding to FIG. 1 of the second embodiment. 第３実施形態の図１相当図である。FIG. 1 is a diagram corresponding to FIG. 1 of the third embodiment. 第４実施形態の図１相当図である。FIG. 1 is a view corresponding to FIG. 1 of the fourth embodiment. 第５実施形態のラビリンスシール構造を有する流体機械の一部を、直交方向Ｚから見た断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a part of the fluid machine having the labyrinth seal structure of the fifth embodiment as viewed from the orthogonal direction Z. 第６実施形態の図１相当図である。FIG. 1 is a view corresponding to FIG. 1 of the sixth embodiment. 第７実施形態の図１相当図である。FIG. 1 is a view corresponding to FIG. 1 of the seventh embodiment. 第８実施形態の図１相当図である。FIG. 1 is a view corresponding to FIG. 1 of the eighth embodiment. 第９実施形態の図１相当図である。9 is a diagram corresponding to FIG. 1 of the ninth embodiment. 例１の構造を有する流体機械の一部を、直交方向Ｚから見た断面図である。It is sectional drawing which saw the part of the fluid machine which has the structure of Example 1 from the orthogonal direction Z. 例２のラビリンスシール構造を有する流体機械の一部を、直交方向Ｚから見た断面図である。It is sectional drawing which saw the part of the fluid machine which has the labyrinth seal structure of Example 2 from the orthogonal direction Z. 例１および例２の漏れ量を示すグラフである。It is a graph which shows the leakage amount of Example 1 and Example 2. 図１に示すラビリンスシールにおける、ｈとｃとを示す図１相当図である。It is a figure corresponding to FIG. 1 which shows h and c in the labyrinth seal shown in FIG. 図１３に示すｈおよびｃと、漏れ量と、の関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between h and c shown in FIG. 13 and a leakage amount.

図１を参照して第１実施形態のラビリンスシール４０を備える流体機械１について説明する。 The fluid machine 1 provided with the labyrinth seal 40 of the first embodiment will be described with reference to FIG.

流体機械１は、第１部材１０に対して第２部材２０が移動する機械である。流体機械１は、流体を圧縮または膨張させる機械である。流体機械１は、例えば圧縮機であり、例えばターボ圧縮機などである。流体機械１は、例えば膨張機でもよく、例えば膨張タービンなどでもよい。例えば、流体機械１は、第１部材１０に対して第２部材２０が回転する回転機械（流体回転機械）である。流体機械１は、軸流式でも遠心式でもよい。流体機械１は、第１部材１０と、第２部材２０と、隙間２５と、ラビリンスシール４０と、を備える。 The fluid machine 1 is a machine in which the second member 20 moves with respect to the first member 10. The fluid machine 1 is a machine that compresses or expands a fluid. The fluid machine 1 is, for example, a compressor, for example, a turbo compressor or the like. The fluid machine 1 may be, for example, an expander, for example, an expansion turbine or the like. For example, the fluid machine 1 is a rotary machine (fluid rotary machine) in which the second member 20 rotates with respect to the first member 10. The fluid machine 1 may be an axial flow type or a centrifugal type. The fluid machine 1 includes a first member 10, a second member 20, a gap 25, and a labyrinth seal 40.

第１部材１０は、静止体または可動体である。第２部材２０は、第１部材１０に対向する。第１部材１０が静止体の場合、第２部材２０は、可動体である。第１部材１０が可動体の場合、第２部材２０は、静止体である。静止体は、例えばケーシングである。静止体は、例えば、ケーシング内に配置され、ケーシングに固定される部材でもよい。可動体は、例えば、静止体に対して回転軸（図示なし）回りに回転する回転体である。回転体は、例えば回転軸部分でもよく、例えばインペラでもよく、例えばシュラウド付きインペラでもよい。 The first member 10 is a stationary body or a movable body. The second member 20 faces the first member 10. When the first member 10 is a stationary body, the second member 20 is a movable body. When the first member 10 is a movable body, the second member 20 is a stationary body. The stationary body is, for example, a casing. The stationary body may be, for example, a member arranged in the casing and fixed to the casing. The movable body is, for example, a rotating body that rotates about a rotation axis (not shown) with respect to a stationary body. The rotating body may be, for example, a rotating shaft portion, for example, an impeller, or an impeller with a shroud, for example.

隙間２５は、第１部材１０と第２部材２０との間に形成される。隙間２５は、第１部材１０のＹ２側（対向方向第２側）（方向の詳細は後述）部分と、第２部材２０のＹ１側（対向方向第１側）部分と、の間に形成される。流れ方向Ｘの高圧側Ｘ１から、流れ方向Ｘの低圧側Ｘ２に、流体が隙間２５を流れるように、隙間２５が構成される。なお、流体は、流れ方向Ｘ以外の方向に流れてもよい（詳細は後述）。 The gap 25 is formed between the first member 10 and the second member 20. The gap 25 is formed between a portion of the first member 10 on the Y2 side (second side in the facing direction) (details of the direction will be described later) and a portion of the second member 20 on the Y1 side (first side in the facing direction). NS. A gap 25 is configured so that the fluid flows through the gap 25 from the high pressure side X1 in the flow direction X to the low pressure side X2 in the flow direction X. The fluid may flow in a direction other than the flow direction X (details will be described later).

（方向）
第１部材１０と第２部材２０とが対向する方向を、対向方向Ｙとする。対向方向Ｙにおいて、第２部材２０から第１部材１０に向かう側を、Ｙ１側（対向方向第１側）とする。対向方向Ｙにおいて、第１部材１０から第２部材２０に向かう側を、Ｙ２側（対向方向第２側）とする。対向方向Ｙに直交する方向を、流れ方向Ｘとする。流れ方向Ｘにおける一方側を、高圧側Ｘ１とする。流れ方向Ｘにおける高圧側Ｘ１とは反対側を、低圧側Ｘ２とする。流体機械１が回転機械の場合、静止体に対する回転体の回転軸の方向は、どの方向でもよく、例えば流れ方向Ｘでもよく、例えば対向方向Ｙでもよく、例えば流れ方向Ｘおよび対向方向Ｙに対して傾斜する方向でもよい。流れ方向Ｘおよび対向方向Ｙのそれぞれに直交する方向を直交方向Ｚとする。 (direction)
The direction in which the first member 10 and the second member 20 face each other is defined as the facing direction Y. In the facing direction Y, the side from the second member 20 toward the first member 10 is referred to as the Y1 side (first side in the facing direction). In the facing direction Y, the side from the first member 10 toward the second member 20 is referred to as the Y2 side (second side in the facing direction). The direction orthogonal to the facing direction Y is defined as the flow direction X. One side in the flow direction X is the high voltage side X1. The side opposite to the high voltage side X1 in the flow direction X is referred to as the low voltage side X2. When the fluid machine 1 is a rotating machine, the direction of the rotation axis of the rotating body with respect to the stationary body may be any direction, for example, the flow direction X, for example, the facing direction Y, for example, with respect to the flow direction X and the facing direction Y. It may be tilted. The direction orthogonal to each of the flow direction X and the facing direction Y is defined as the orthogonal direction Z.

ラビリンスシール４０（フィン付ラビリンスシール）は、隙間２５での流体の漏れを抑制する。ラビリンスシール４０は、この漏れを抑制することで、例えば流体機械１内での流体の循環などを抑制する。ラビリンスシール４０は、第１部材１０と第２部材２０とを接触させることなく（非接触で）、流体の漏れ流れの量（以下、漏れ量ともいう）を抑制する装置である。ラビリンスシール４０は、段差部５０と、高圧側段部５１と、低圧側段部５２と、高圧側フィン６１と、低圧側フィン６２と、突起７０と、面８０と、を備える。 The labyrinth seal 40 (labyrinth seal with fins) suppresses fluid leakage in the gap 25. By suppressing this leakage, the labyrinth seal 40 suppresses, for example, the circulation of fluid in the fluid machine 1. The labyrinth seal 40 is a device that suppresses the amount of fluid leakage (hereinafter, also referred to as leakage amount) without contacting (non-contacting) the first member 10 and the second member 20. The labyrinth seal 40 includes a step portion 50, a high pressure side step portion 51, a low pressure side step portion 52, a high pressure side fin 61, a low pressure side fin 62, a protrusion 70, and a surface 80.

段差部５０は、第２部材２０のＹ１側部分（例えば表面）に形成される。段差部５０は、いわば降段構造である。具体的には、段差部５０は、第２部材２０のうち段差部５０より高圧側Ｘ１の部分（高圧側段部５１）よりも、第２部材２０のうち段差部５０より低圧側Ｘ２の部分（低圧側段部５２）の方が、Ｙ２側に配置されるように構成される。段差部５０は、高圧側段部５１の低圧側Ｘ２端部につながれる。段差部５０は、低圧側段部５２の高圧側Ｘ１端部につながれる。流体機械１が回転機械の場合、段差部５０は、静止体に対する回転体の回転軸を中心とした環状（リング状）である。上記のような環状である点は、高圧側フィン６１、低圧側フィン６２、および突起７０のそれぞれについても同様である。段差部５０は、例えば対向方向Ｙに延び、例えば対向方向Ｙと一致する方向に延び、例えば対向方向Ｙに対して傾斜してもよい（図８、図９参照）。直交方向Ｚから見たとき、段差部５０は、例えば直線状でもよく、例えば曲線状でもよく（図９参照）、例えば直線と曲線とを組み合わせた形状でもよい。 The step portion 50 is formed on the Y1 side portion (for example, the surface) of the second member 20. The step portion 50 has a so-called descending structure. Specifically, the step portion 50 is a portion of the second member 20 on the low pressure side X2 from the step portion 50 rather than a portion of the second member 20 on the high pressure side X1 from the step portion 50 (high pressure side step portion 51). (Low voltage side stage portion 52) is configured to be arranged on the Y2 side. The step portion 50 is connected to the low pressure side X2 end portion of the high pressure side step portion 51. The step portion 50 is connected to the high pressure side X1 end of the low pressure side step portion 52. When the fluid machine 1 is a rotating machine, the step portion 50 is an annular shape (ring shape) centered on the rotation axis of the rotating body with respect to the stationary body. The above-mentioned annular shape is the same for each of the high-pressure side fin 61, the low-pressure side fin 62, and the protrusion 70. The step portion 50 may extend, for example, in the facing direction Y, extend in a direction corresponding to, for example, the facing direction Y, and may be inclined with respect to, for example, the facing direction Y (see FIGS. 8 and 9). When viewed from the orthogonal direction Z, the step portion 50 may be, for example, a straight line, for example, a curved line (see FIG. 9), or may be a combination of a straight line and a curved line, for example.

高圧側段部５１は、第２部材２０のＹ１側部分（例えば表面）を構成する。高圧側段部５１は、段差部５０よりも高圧側Ｘ１に配置される。高圧側段部５１は、流れ方向Ｘに延び、例えば流れ方向Ｘと一致する方向に延びる。直交方向Ｚから見たとき、高圧側段部５１は、例えば直線状であり、例えば略直線状などでもよい。 The high-pressure side step portion 51 constitutes a Y1 side portion (for example, a surface) of the second member 20. The high-pressure side step portion 51 is arranged on the high-pressure side X1 with respect to the step portion 50. The high-pressure side step portion 51 extends in the flow direction X, for example, in a direction corresponding to the flow direction X. When viewed from the orthogonal direction Z, the high-pressure side step portion 51 is, for example, linear, and may be, for example, substantially linear.

低圧側段部５２は、第２部材２０のＹ１側部分（例えば表面）を構成する。低圧側段部５２は、段差部５０よりも低圧側Ｘ２に配置される。低圧側段部５２は、高圧側段部５１よりもＹ２側に配置される。低圧側段部５２の形状は、例えば高圧側段部５１の形状と同様であり、例えば高圧側段部５１の形状と相違してもよい。例えば、流体機械１が回転機械であり、静止体に対する回転体の回転軸が流れ方向Ｘと一致する場合は、高圧側段部５１および低圧側段部５２のそれぞれは、回転軸を中心とする円筒状である。この場合であって、Ｙ１側が径方向外側（Ｙ２側が径方向内側）である場合は、高圧側段部５１は、低圧側段部５２に対して大径である。 The low pressure side step portion 52 constitutes a Y1 side portion (for example, a surface) of the second member 20. The low pressure side step portion 52 is arranged on the low pressure side X2 rather than the step portion 50. The low-pressure side step 52 is arranged on the Y2 side of the high-pressure side step 51. The shape of the low-pressure side step portion 52 is, for example, the same as the shape of the high-pressure side step portion 51, and may be different from the shape of the high-pressure side step portion 51, for example. For example, when the fluid machine 1 is a rotating machine and the rotation axis of the rotating body with respect to the stationary body coincides with the flow direction X, each of the high pressure side step portion 51 and the low pressure side step portion 52 is centered on the rotation axis. It is cylindrical. In this case, when the Y1 side is radially outside (Y2 side is radially inside), the high pressure side step 51 has a larger diameter than the low pressure side step 52.

高圧側フィン６１は、隙間２５を仕切るフィンである（低圧側フィン６２も同様）。高圧側フィン６１は、隙間２５を完全には仕切らず、流体の流路を狭めるように配置される（低圧側フィン６２も同様）。高圧側フィン６１は、第１部材１０のＹ２側部分（例えば表面）から高圧側段部５１に向かって（Ｙ２側に）延びる（延伸する）。高圧側フィン６１は、段差部５０よりも高圧側Ｘ１に配置される。高圧側フィン６１は、第１部材１０のうち、段差部５０よりも高圧側Ｘ１の部分から、高圧側段部５１に向かって延びる。高圧側フィン６１は、例えば第２部材２０と一体的に設けられ、例えば第２部材２０と別体でもよい（低圧側フィン６２も同様）。高圧側フィン６１は、高圧側フィン側面６１ｂと、高圧側フィン先端部６１ｔと、を備える。 The high-voltage side fin 61 is a fin that partitions the gap 25 (the same applies to the low-voltage side fin 62). The high-pressure side fin 61 does not completely partition the gap 25, and is arranged so as to narrow the fluid flow path (the same applies to the low-pressure side fin 62). The high-voltage side fin 61 extends (stretches) from the Y2 side portion (for example, the surface) of the first member 10 toward the high pressure side step portion 51 (toward the Y2 side). The high-voltage side fin 61 is arranged on the high-voltage side X1 rather than the step portion 50. The high-pressure side fin 61 extends from the portion of the first member 10 on the high-pressure side X1 rather than the step portion 50 toward the high-pressure side step portion 51. The high-pressure side fin 61 is provided integrally with, for example, the second member 20, and may be a separate body from, for example, the second member 20 (the same applies to the low-pressure side fin 62). The high-pressure side fin 61 includes a high-pressure side fin side surface 61b and a high-pressure side fin tip portion 61t.

高圧側フィン側面６１ｂは、高圧側フィン６１を構成する面（表面）であって、低圧側Ｘ２を向いた面である。高圧側フィン側面６１ｂは、例えば対向方向Ｙと一致する方向に延びてもよく、対向方向Ｙに対して傾斜してもよい（図７などを参照）（低圧側フィン６２および突起７０のそれぞれの側面についても同様）。直交方向Ｚから見たとき、高圧側フィン側面６１ｂは、例えば直線状でもよく、例えば曲線状でもよく（図６を参照）、例えば直線と曲線とを組み合わせた形状でもよい（低圧側フィン６２および突起７０のそれぞれの側面についても同様）。 The high-voltage side fin side surface 61b is a surface (surface) constituting the high-voltage side fin 61, and is a surface facing the low-voltage side X2. The high-pressure side fin side surface 61b may extend in a direction coincide with, for example, the facing direction Y, or may be inclined with respect to the facing direction Y (see FIG. 7 and the like) (each of the low-pressure side fin 62 and the protrusion 70). The same applies to the sides). When viewed from the orthogonal direction Z, the high pressure side fin side surface 61b may be, for example, a straight line, for example, a curved line (see FIG. 6), or may be, for example, a combination of a straight line and a curved line (low pressure side fin 62 and). The same applies to each side surface of the protrusion 70).

高圧側フィン先端部６１ｔは、高圧側フィン６１の先端部であり、高圧側フィン６１の高圧側段部５１側（Ｙ２側）の端部である。高圧側フィン先端部６１ｔは、例えば第１部材１０と高圧側段部５１との対向方向Ｙにおける中央よりも高圧側段部５１側（Ｙ２側）に配置され、例えば高圧側段部５１の近傍に配置される。 The high-voltage side fin tip portion 61t is the tip portion of the high-voltage side fin 61, and is the end portion of the high-voltage side fin 61 on the high-voltage side step portion 51 side (Y2 side). The high-voltage side fin tip portion 61t is arranged, for example, on the high-voltage side step portion 51 side (Y2 side) with respect to the center in the facing direction Y between the first member 10 and the high-pressure side step portion 51, for example, in the vicinity of the high-voltage side step portion 51. Placed in.

低圧側フィン６２は、第１部材１０のＹ２側部分（例えば表面）から低圧側段部５２に向かって（Ｙ２側に）延びる。低圧側フィン６２は、段差部５０よりも低圧側Ｘ２に配置される。低圧側フィン６２は、第１部材１０のうち、段差部５０よりも低圧側Ｘ２の部分から、低圧側段部５２に向かって延びる。低圧側フィン６２は、高圧側段部５１よりもＹ２側に延びる。低圧側フィン６２は、低圧側フィン側面６２ａと、低圧側フィン先端部６２ｔと、を備える。 The low pressure side fin 62 extends from the Y2 side portion (for example, the surface) of the first member 10 toward the low pressure side step portion 52 (to the Y2 side). The low pressure side fin 62 is arranged on the low pressure side X2 rather than the step portion 50. The low-pressure side fin 62 extends from the low-pressure side X2 portion of the first member 10 with respect to the step portion 50 toward the low-pressure side step portion 52. The low pressure side fin 62 extends to the Y2 side with respect to the high pressure side step portion 51. The low pressure side fin 62 includes a low pressure side fin side surface 62a and a low pressure side fin tip portion 62t.

低圧側フィン側面６２ａは、低圧側フィン６２を構成する面（表面）であって、高圧側Ｘ１を向いた面である。低圧側フィン先端部６２ｔは、低圧側フィン６２の先端部であり、低圧側フィン６２の低圧側段部５２側（Ｙ２側）の端部である。低圧側フィン先端部６２ｔは、例えば第１部材１０と低圧側段部５２との対向方向Ｙにおける中央よりも低圧側段部５２側（Ｙ２側）に配置され、例えば低圧側段部５２の近傍に配置される。低圧側フィン先端部６２ｔは、突起先端部７０ｔ（後述）よりもＹ２側に配置される。低圧側フィン先端部６２ｔは、高圧側段部５１よりもＹ２側に配置される。 The low-voltage side fin side surface 62a is a surface (surface) constituting the low-voltage side fin 62, and is a surface facing the high-voltage side X1. The low pressure side fin tip portion 62t is a tip portion of the low pressure side fin 62, and is an end portion of the low pressure side fin 62 on the low pressure side step portion 52 side (Y2 side). The low-pressure side fin tip portion 62t is arranged, for example, on the low-pressure side step portion 52 side (Y2 side) of the center in the facing direction Y between the first member 10 and the low-pressure side step portion 52, for example, in the vicinity of the low-pressure side step portion 52. Is placed in. The low-pressure side fin tip portion 62t is arranged on the Y2 side of the protrusion tip portion 70t (described later). The low-voltage side fin tip portion 62t is arranged on the Y2 side of the high-voltage side step portion 51.

突起７０は、高圧側段部５１からＹ１側に延びる（突出する）。突起７０は、段差部５０よりも高圧側Ｘ１に配置される。突起７０は、高圧側フィン６１よりも低圧側Ｘ２に配置される。突起７０は、高圧側段部５１のうち、高圧側フィン６１よりも低圧側Ｘ２の部分から、Ｙ１側に延びる。突起７０は、突起高圧側側面７０ａと、突起低圧側側面７０ｂと、突起先端部７０ｔと、を備える。 The protrusion 70 extends (projects) from the high-pressure side step portion 51 to the Y1 side. The protrusion 70 is arranged on the high pressure side X1 of the step portion 50. The protrusion 70 is arranged on the low pressure side X2 rather than the high pressure side fin 61. The protrusion 70 extends from the portion of the high-voltage side step portion 51 on the low-voltage side X2 to the Y1 side with respect to the high-voltage side fin 61. The protrusion 70 includes a protrusion high pressure side side surface 70a, a protrusion low pressure side side surface 70b, and a protrusion tip portion 70t.

突起高圧側側面７０ａは、突起７０を構成する面（表面）であって、高圧側Ｘ１を向いた面である。突起高圧側側面７０ａは、高圧側フィン側面６１ｂよりも低圧側Ｘ２に配置され、高圧側フィン側面６１ｂとの間に流れ方向Ｘの間隔をあけて配置される。 The protrusion high-pressure side side surface 70a is a surface (surface) constituting the protrusion 70, and is a surface facing the high-pressure side X1. The protrusion high-pressure side side surface 70a is arranged on the low-pressure side X2 rather than the high-pressure side fin side surface 61b, and is arranged at a distance of the flow direction X from the high-pressure side fin side surface 61b.

突起低圧側側面７０ｂは、突起７０を構成する面（表面）であって、低圧側Ｘ２を向いた面である。突起低圧側側面７０ｂの流れ方向Ｘ位置（流れ方向Ｘにおける位置）は、例えば段差部５０の流れ方向Ｘ位置よりも高圧側Ｘ１の位置であり、例えば段差部５０の流れ方向Ｘ位置と同じ位置でもよい（図２参照）。突起７０の流れ方向Ｘにおける幅（厚さ）、すなわち突起高圧側側面７０ａから突起低圧側側面７０ｂまでの流れ方向Ｘにおける距離は、例えば高圧側フィン６１の厚さと同じでもよく、例えば低圧側フィン６２の厚さと同じでもよい。なお、高圧側フィン６１の厚さは、低圧側フィン６２の厚さと同じでもよく、相違してもよい。突起７０の厚さは、基部から先端部までにわたって一定でもよく、一定でなくてもよい。例えば、突起７０の厚さは、先端側（Ｙ１側）ほど薄くなってもよい（図８参照）（高圧側フィン６１の厚さ、および低圧側フィン６２の厚さも同様（図１１参照））。 The protrusion low pressure side side surface 70b is a surface (surface) constituting the protrusion 70, and is a surface facing the low pressure side X2. The flow direction X position (position in the flow direction X) of the protrusion low pressure side side surface 70b is, for example, a position on the high pressure side X1 rather than the flow direction X position of the step portion 50, and is, for example, the same position as the flow direction X position of the step portion 50. It may be (see FIG. 2). The width (thickness) of the protrusion 70 in the flow direction X, that is, the distance in the flow direction X from the protrusion high pressure side side surface 70a to the protrusion low pressure side side surface 70b may be the same as the thickness of the high pressure side fin 61, for example, the low pressure side fin. It may be the same as the thickness of 62. The thickness of the high-pressure side fin 61 may be the same as or different from the thickness of the low-pressure side fin 62. The thickness of the protrusion 70 may or may not be constant from the base to the tip. For example, the thickness of the protrusion 70 may be thinner toward the tip side (Y1 side) (see FIG. 8) (the thickness of the high pressure side fin 61 and the thickness of the low pressure side fin 62 are also the same (see FIG. 11)). ..

突起先端部７０ｔは、突起７０の先端部であり、突起７０の第１部材１０側（Ｙ１側）の端部である。突起先端部７０ｔは、例えば第１部材１０と高圧側段部５１との対向方向Ｙにおける中央よりも高圧側段部５１側（Ｙ２側）に配置される。突起先端部７０ｔの対向方向Ｙ位置（対向方向Ｙにおける位置）は、例えば高圧側フィン先端部６１ｔよりも第１部材１０側（Ｙ１側）の位置でもよく、高圧側フィン先端部６１ｔの対向方向Ｙ位置と同じ位置でもよい。突起先端部７０ｔの対向方向Ｙ位置は、高圧側フィン先端部６１ｔの対向方向Ｙ位置よりも高圧側段部５１側（Ｙ２側）でもよい（図４参照）。 The protrusion tip 70t is the tip of the protrusion 70, and is the end of the protrusion 70 on the first member 10 side (Y1 side). The protrusion tip 70t is arranged, for example, on the high pressure side step 51 side (Y2 side) with respect to the center in the facing direction Y between the first member 10 and the high pressure side step 51. The Y position in the facing direction (position in the facing direction Y) of the protrusion tip 70t may be, for example, a position closer to the first member 10 side (Y1 side) than the high pressure side fin tip 61t, and the facing direction of the high pressure side fin tip 61t. It may be the same position as the Y position. The Y position in the facing direction of the protrusion tip 70t may be the high pressure side step 51 side (Y2 side) with respect to the Y position in the facing direction of the high pressure side fin tip 61t (see FIG. 4).

面８０は、第１部材１０のＹ２側の面（表面）のうち、高圧側フィン６１の低圧側Ｘ２の面（高圧側フィン側面６１ｂ）から低圧側フィン６２の高圧側Ｘ１の面（低圧側フィン側面６２ａ）までをつなぐ部分である。直交方向Ｚから見たとき、面８０は、直線状、または弧状である（図７参照、「弧状」については後述）。「直線状」には略直線状も含まれる。面８０は、高圧側フィン側面６１ｂから低圧側フィン側面６２ａまでを、滑らかにつなぐ。面８０には、屈曲した（折れ曲がった）部分はなく、例えば段差部５０のような段差はない。面８０は、例えば流れ方向Ｘと一致する方向に延びてもよく、例えばほぼ流れ方向Ｘに延びてもよく、例えば流れ方向Ｘに対して傾斜してもよい（図７、図１１を参照）。 The surface 80 is a surface (surface) on the Y2 side of the first member 10 from the surface of the low pressure side X2 of the high pressure side fin 61 (high pressure side fin side surface 61b) to the surface of the low pressure side fin 62 on the high pressure side X1 (low pressure side). It is a part connecting up to the fin side surface 62a). When viewed from the orthogonal direction Z, the surface 80 is linear or arcuate (see FIG. 7, “arc” will be described later). "Straight line" also includes a substantially straight line. The surface 80 smoothly connects the high-pressure side fin side surface 61b to the low-pressure side fin side surface 62a. The surface 80 has no bent (bent) portion, and has no step such as the step portion 50. The surface 80 may extend, for example, in a direction that coincides with the flow direction X, may extend substantially in the flow direction X, for example, or may be inclined with respect to the flow direction X (see FIGS. 7 and 11). ..

（流体の流れ）
隙間２５を流れる流体は、例えば次のように流れる。高圧側フィン６１よりも高圧側Ｘ１の流体は、低圧側Ｘ２に流れ、高圧側フィン先端部６１ｔと高圧側段部５１との間を通り、高圧側段部５１に沿って流れ、突起高圧側側面７０ａに当たる。よって、高圧側段部５１に沿って低圧側Ｘ２に流れる流体は、突起７０の近傍で、低圧側Ｘ２に流れながら、Ｙ１側にも流れる。このように、突起７０の近傍で、低圧側Ｘ２かつＹ１側に、流れ方向Ｘに対して傾いた向きに流れる流れを、流れｆ７０とする。流れｆ７０は、渦Ｖ１と合流する。この流体は、突起先端部７０ｔの近傍から低圧側Ｘ２に流れ、低圧側フィン側面６２ａに当たり、低圧側フィン側面６２ａの近傍で、渦Ｖ１と渦Ｖ２とに分岐する。 (Fluid flow)
The fluid flowing through the gap 25 flows as follows, for example. The fluid on the high pressure side X1 from the high pressure side fin 61 flows to the low pressure side X2, passes between the high pressure side fin tip portion 61t and the high pressure side step portion 51, flows along the high pressure side step portion 51, and is projected on the high pressure side. It hits the side surface 70a. Therefore, the fluid flowing to the low pressure side X2 along the high pressure side step 51 flows to the Y1 side while flowing to the low pressure side X2 in the vicinity of the protrusion 70. In this way, the flow flowing in the vicinity of the protrusion 70 toward the low pressure side X2 and the Y1 side in a direction inclined with respect to the flow direction X is referred to as a flow f70. The flow f70 merges with the vortex V1. This fluid flows from the vicinity of the protrusion tip 70t to the low pressure side X2, hits the low pressure side fin side surface 62a, and branches into the vortex V1 and the vortex V2 in the vicinity of the low pressure side fin side surface 62a.

渦Ｖ１は、次のように流れる。低圧側フィン側面６２ａに向かってＸ２側に流れ、低圧側フィン側面６２ａに当たった流体は、Ｙ１側に向きを変え、面８０に当たり、高圧側Ｘ１に向きを変え、高圧側フィン側面６１ｂに当たり、Ｙ２側に向きを変える。この流体は、高圧側段部５１の近傍の、低圧側Ｘ２に向かう流れに近づき、低圧側Ｘ２に向きを変える。この流体は、突起先端部７０ｔの近傍を通り、低圧側Ｘ２に流れる。 The vortex V1 flows as follows. The fluid flowing toward the X2 side toward the low pressure side fin side surface 62a and hitting the low pressure side fin side surface 62a turns to the Y1 side, hits the surface 80, turns to the high pressure side X1, and hits the high pressure side fin side surface 61b. Turn to the Y2 side. This fluid approaches the flow toward the low pressure side X2 in the vicinity of the high pressure side step 51 and turns to the low pressure side X2. This fluid passes near the protrusion tip 70t and flows to the low pressure side X2.

渦Ｖ２は、次のように流れる。低圧側フィン側面６２ａに向かってＸ２側に流れ、低圧側フィン側面６２ａに当たった流体は、Ｙ２側に向きを変え、低圧側段部５２に当たる。この流体は、高圧側Ｘ１に向きを変え、段差部５０に当たり、Ｙ１側に向きを変える。この流体は、突起先端部７０ｔから低圧側Ｘ２に向かう流に近づき、低圧側Ｘ２に向きを変える。 The vortex V2 flows as follows. The fluid that flows toward the X2 side toward the low pressure side fin side surface 62a and hits the low pressure side fin side surface 62a turns to the Y2 side and hits the low pressure side step portion 52. This fluid turns to the high pressure side X1, hits the step portion 50, and turns to the Y1 side. This fluid approaches the flow from the protrusion tip 70t toward the low pressure side X2 and turns to the low pressure side X2.

渦Ｖ２から漏れ流れｆ１１が、次のように分岐する。低圧側フィン側面６２ａに向かってＸ２側に流れ、低圧側フィン側面６２ａに当たった流体は、Ｙ２側に向きを変え、低圧側段部５２に当たる。この流体の一部は、低圧側Ｘ２に向きを変え、漏れ流れｆ１１となる。漏れ流れｆ１１は、低圧側フィン先端部６２ｔと低圧側段部５２との間を通り、低圧側フィン６２よりも低圧側Ｘ２に流れる（漏れる）。 The leak flow f11 branches from the vortex V2 as follows. The fluid that flows toward the X2 side toward the low pressure side fin side surface 62a and hits the low pressure side fin side surface 62a turns to the Y2 side and hits the low pressure side step portion 52. A part of this fluid turns to the low pressure side X2 and becomes a leak flow f11. The leak flow f11 passes between the low pressure side fin tip portion 62t and the low pressure side step portion 52, and flows (leaks) to the low pressure side X2 rather than the low pressure side fin 62.

渦Ｖ１および渦Ｖ２により、流体間摩擦が生じ、流体のエネルギー損失が生じる。上記「流体間摩擦」には、流体どうしの摩擦だけでなく、流速がゼロの流体とみなせる物と流体との摩擦も含まれる。上記「流速がゼロの流体とみなせる物」には、段差部５０、高圧側段部５１、低圧側段部５２、高圧側フィン６１、低圧側フィン６２、および面８０が含まれる。 The vortices V1 and V2 cause friction between the fluids, resulting in energy loss of the fluid. The above-mentioned "friction between fluids" includes not only friction between fluids but also friction between a fluid and an object that can be regarded as a fluid having a flow velocity of zero. The above-mentioned "thing that can be regarded as a fluid having a zero flow velocity" includes a step portion 50, a high pressure side step portion 51, a low pressure side step portion 52, a high pressure side fin 61, a low pressure side fin 62, and a surface 80.

図１に示すラビリンスシール４０による効果は次の通りである。 The effects of the labyrinth seal 40 shown in FIG. 1 are as follows.

（第１の発明の効果）
［構成１−１］ラビリンスシール４０は、流体機械１に設けられる。流体機械１は、第１部材１０と、第１部材１０に対向する第２部材２０と、隙間２５と、を備える。隙間２５は、第１部材１０と第２部材２０との間に形成される。隙間２５は、流れ方向Ｘの高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２に流体が流れるように構成される。流れ方向Ｘは、第１部材１０と第２部材２０とが対向する方向（対向方向Ｙ）に直交する方向である。第１部材１０と第２部材２０とが対向する方向を対向方向Ｙとする。対向方向Ｙにおいて、第２部材２０から第１部材１０に向かう側をＹ１側（対向方向第１側）とする。対向方向Ｙにおいて第１部材１０から第２部材２０に向かう側をＹ２側（対向方向第２側）とする。ラビリンスシール４０は、段差部５０と、高圧側段部５１と、低圧側段部５２と、高圧側フィン６１と、低圧側フィン６２と、突起７０と、を備える。段差部５０は、第２部材２０のＹ１側部分に形成される。高圧側段部５１は、第２部材２０のＹ１側部分を構成し、段差部５０よりも高圧側Ｘ１に配置される。低圧側段部５２は、第２部材２０のＹ１側部分を構成し、段差部５０よりも低圧側Ｘ２に配置され、高圧側段部５１よりもＹ２側に配置される。高圧側フィン６１は、第１部材１０から高圧側段部５１に向かって延び、段差部５０よりも高圧側Ｘ１に配置される。低圧側フィン６２は、第１部材１０から低圧側段部５２に向かって延び、段差部５０よりも低圧側Ｘ２に配置される。 (Effect of the first invention)
[Structure 1-1] The labyrinth seal 40 is provided on the fluid machine 1. The fluid machine 1 includes a first member 10, a second member 20 facing the first member 10, and a gap 25. The gap 25 is formed between the first member 10 and the second member 20. The gap 25 is configured so that the fluid flows from the high pressure side X1 in the flow direction X to the low pressure side X2. The flow direction X is a direction orthogonal to the direction in which the first member 10 and the second member 20 face each other (opposing direction Y). The direction in which the first member 10 and the second member 20 face each other is defined as the facing direction Y. In the facing direction Y, the side from the second member 20 toward the first member 10 is the Y1 side (first side in the facing direction). The side of the first member 10 toward the second member 20 in the facing direction Y is referred to as the Y2 side (second side in the facing direction). The labyrinth seal 40 includes a step portion 50, a high pressure side step portion 51, a low pressure side step portion 52, a high pressure side fin 61, a low pressure side fin 62, and a protrusion 70. The step portion 50 is formed on the Y1 side portion of the second member 20. The high-pressure side step portion 51 constitutes a Y1 side portion of the second member 20, and is arranged on the high-pressure side X1 with respect to the step portion 50. The low-voltage side step portion 52 constitutes a Y1 side portion of the second member 20, is arranged on the low pressure side X2 with respect to the step portion 50, and is arranged on the Y2 side with respect to the high pressure side step portion 51. The high-pressure side fin 61 extends from the first member 10 toward the high-pressure side step portion 51, and is arranged on the high-pressure side X1 with respect to the step portion 50. The low-pressure side fin 62 extends from the first member 10 toward the low-pressure side step portion 52, and is arranged on the low-pressure side X2 with respect to the step portion 50.

［構成１−２］突起７０は、高圧側段部５１からＹ１側に延び、高圧側フィン６１よりも低圧側Ｘ２に配置される。 [Structure 1-2] The protrusion 70 extends from the high-voltage side step portion 51 to the Y1 side, and is arranged on the low-voltage side X2 rather than the high-voltage side fin 61.

［構成１−３］第１部材１０のＹ２側の面のうち、高圧側フィン６１の低圧側Ｘ２の面（高圧側フィン側面６１ｂ）から低圧側フィン６２の高圧側Ｘ１の面（低圧側フィン側面６２ａ）までをつなぐ部分（面８０）は、次のように構成される。面８０は、対向方向Ｙおよび流れ方向Ｘのそれぞれに直交する方向（直交方向Ｚ）から見たとき、直線状または弧状である。 [Structure 1-3] Of the surfaces on the Y2 side of the first member 10, the surface of the high-voltage side fin 61 on the low-voltage side X2 (high-voltage side fin side surface 61b) to the surface of the low-voltage side fin 62 on the high-voltage side X1 (low-voltage side fin). The portion (surface 80) connecting up to the side surface 62a) is configured as follows. The surface 80 is linear or arcuate when viewed from directions orthogonal to each of the facing direction Y and the flow direction X (orthogonal direction Z).

上記［構成１−１］では、高圧側フィン６１と低圧側フィン６２との間、かつ、高圧側段部５１よりもＹ１側の空間に渦Ｖ１が形成されやすい。また、段差部５０と低圧側フィン６２との間、かつ、高圧側段部５１よりもＹ２側の空間に渦Ｖ２が形成されやすい。ここで、上記［構成１−２］により、高圧側段部５１に沿って低圧側Ｘ２に流れる流体は、突起７０に当たる。すると、この流体は、低圧側Ｘ２に流れながら、Ｙ１側に流れる（流れｆ７０となる）。よって、突起先端部７０ｔの近傍から低圧側Ｘ２に流れる流体が、Ｙ２側よりもＹ１側に流れやすく、渦Ｖ１を形成しやすい。よって、突起７０が設けられない場合に比べ、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ１による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失（摩擦損失）を増やすことができる。よって、ラビリンスシール４０での流体の漏れ量を抑制できる。 In the above [Structure 1-1], the vortex V1 is likely to be formed between the high-voltage side fin 61 and the low-voltage side fin 62 and in the space on the Y1 side of the high-voltage side step portion 51. Further, the vortex V2 is likely to be formed between the step portion 50 and the low pressure side fin 62 and in the space on the Y2 side of the high pressure side step portion 51. Here, according to the above [Structure 1-2], the fluid flowing to the low pressure side X2 along the high pressure side step portion 51 hits the protrusion 70. Then, this fluid flows to the Y1 side (flow f70) while flowing to the low pressure side X2. Therefore, the fluid flowing from the vicinity of the protrusion tip 70t to the low pressure side X2 easily flows to the Y1 side rather than the Y2 side, and easily forms the vortex V1. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V1 can be increased as compared with the case where the protrusion 70 is not provided. Therefore, the friction between fluids due to the vortex V1 can be increased, and the energy loss (friction loss) of the fluid can be increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 40 can be suppressed.

また、上記［構成１−２］により、渦Ｖ２を大きくできる。さらに詳しくは、突起７０が設けられない場合、渦Ｖ２のＹ１側端部の対向方向Ｙ位置は、例えば、高圧側段部５１の対向方向Ｙ位置とほぼ同じ位置となる。一方、本実施形態では、渦Ｖ２のＹ１側端部の対向方向Ｙ位置が、高圧側段部５１の対向方向Ｙ位置よりもＹ１側になりやすく、例えば、突起先端部７０ｔの対向方向Ｙ位置とほぼ同じ位置になる。このように渦Ｖ２を大きくできるので、渦Ｖ２による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失（摩擦損失）を増やすことができる。よって、ラビリンスシール４０での流体の漏れ量を抑制できる。 Further, the vortex V2 can be increased by the above [Structure 1-2]. More specifically, when the protrusion 70 is not provided, the facing direction Y position of the Y1 side end portion of the vortex V2 is, for example, substantially the same position as the facing direction Y position of the high voltage side step portion 51. On the other hand, in the present embodiment, the Y1 facing direction Y position of the Y1 side end portion of the vortex V2 tends to be on the Y1 side of the facing direction Y position of the high voltage side step portion 51, for example, the facing direction Y position of the protrusion tip portion 70t. It will be almost the same position as. Since the vortex V2 can be increased in this way, the friction between the fluids due to the vortex V2 can be increased, and the energy loss (friction loss) of the fluid can be increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 40 can be suppressed.

また、上記［構成１−３］により、例えば段差などが面８０にある場合に比べ、渦Ｖ１が面８０に沿って流れやすい。よって、渦Ｖ１による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失（摩擦損失）を増やすことができる。よって、ラビリンスシール４０での流体の漏れ量を抑制できる。 Further, according to the above [Structure 1-3], the vortex V1 is more likely to flow along the surface 80 than, for example, when a step or the like is on the surface 80. Therefore, the friction between fluids due to the vortex V1 can be increased, and the energy loss (friction loss) of the fluid can be increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 40 can be suppressed.

（第４の発明の効果）
［構成４］第２部材２０は、第１部材１０に対して、流れ方向Ｘに延びる回転軸を中心に回転可能である。 (Effect of the Fourth Invention)
[Structure 4] The second member 20 is rotatable about a rotation axis extending in the flow direction X with respect to the first member 10.

上記［構成４］の構造を備える流体機械１に、ラビリンスシール４０を適用可能である。 The labyrinth seal 40 can be applied to the fluid machine 1 having the structure of the above [Structure 4].

（第６の発明の効果）
［構成６］第２部材２０は、第１部材１０に対して、流れ方向Ｘに直交する方向（例えば対向方向Ｙなど）に延びる回転軸を中心に回転可能である。 (Effect of the sixth invention)
[Structure 6] The second member 20 is rotatable about a rotation axis extending in a direction orthogonal to the flow direction X (for example, the opposite direction Y) with respect to the first member 10.

上記［構成６］の構造を備える流体機械１に、ラビリンスシール４０を適用可能である。 The labyrinth seal 40 can be applied to the fluid machine 1 having the structure of the above [Structure 6].

（第２実施形態）
図２を参照して、第２実施形態のラビリンスシール２４０について、第１実施形態（図１参照）との相違点を説明する。なお、第２実施形態のラビリンスシール２４０のうち、第１実施形態との共通点については、第１実施形態と同一の符号を付し、説明を省略した（共通点の説明を省略する点については他の実施形態の説明も同様）。相違点は、突起２７０の位置である。 (Second Embodiment)
The difference between the labyrinth seal 240 of the second embodiment and the first embodiment (see FIG. 1) will be described with reference to FIG. Of the labyrinth seals 240 of the second embodiment, the common points with the first embodiment are designated by the same reference numerals as those of the first embodiment, and the description thereof is omitted (the point that the description of the common points is omitted). The same applies to the description of other embodiments). The difference is the position of the protrusion 270.

突起２７０は、高圧側段部５１の最も低圧側Ｘ２の部分に設けられる。突起低圧側側面７０ｂの流れ方向Ｘ位置は、段差部５０の流れ方向Ｘ位置と同じ位置である。突起低圧側側面７０ｂは、段差部５０と連続するように（面一に）配置される。図１に示す例に比べ、図２に示す突起高圧側側面７０ａは、低圧側Ｘ２に配置される。 The protrusion 270 is provided on the portion of the high pressure side step 51 on the lowest pressure side X2. The flow direction X position of the protrusion low pressure side side surface 70b is the same as the flow direction X position of the step portion 50. The low-pressure side side surface 70b of the protrusion is arranged so as to be continuous with the stepped portion 50 (so that it is flush with each other). Compared to the example shown in FIG. 1, the protrusion high pressure side side surface 70a shown in FIG. 2 is arranged on the low pressure side X2.

（流体の流れ）
第１実施形態（図１参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点は次の通りである。高圧側段部５１に沿って低圧側Ｘ２に流れる流体は、第１実施形態よりも低圧側Ｘ２の位置で、突起２７０の突起高圧側側面７０ａに当たる。よって、流れｆ７０を、より低圧側Ｘ２の位置（より渦Ｖ１の流れに沿いやすい位置）で、渦Ｖ１に合流させることができる。よって、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができる。 (Fluid flow)
The differences in the fluid flow in the present embodiment with respect to the fluid flow in the first embodiment (see FIG. 1) are as follows. The fluid flowing to the low pressure side X2 along the high pressure side step portion 51 hits the protrusion high pressure side side surface 70a of the protrusion 270 at the position of the low pressure side X2 as compared with the first embodiment. Therefore, the flow f70 can be merged with the vortex V1 at the position of the lower pressure side X2 (the position more easily along the flow of the vortex V1). Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V1 can be increased.

渦Ｖ２は、低圧側段部５２に沿って高圧側Ｘ１に流れ、段差部５０に当たり、段差部５０および突起低圧側側面７０ｂに沿ってＹ１側に流れる。よって、渦Ｖ２が、突起低圧側側面７０ｂに沿って流れない場合（図１参照）に比べ、渦Ｖ２の流量および流速を増やすことができる。 The vortex V2 flows to the high pressure side X1 along the low pressure side step portion 52, hits the step portion 50, and flows to the Y1 side along the step portion 50 and the protrusion low pressure side side surface 70b. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V2 can be increased as compared with the case where the vortex V2 does not flow along the side surface 70b on the low pressure side of the protrusion (see FIG. 1).

図２に示すラビリンスシール２４０による効果は次の通りである。 The effects of the labyrinth seal 240 shown in FIG. 2 are as follows.

（第２の発明の効果）
［構成２］突起２７０は、高圧側段部５１の最も低圧側Ｘ２の部分に設けられる。 (Effect of the second invention)
[Structure 2] The protrusion 270 is provided on the lowest pressure side X2 of the high pressure side step 51.

上記［構成２］により、渦Ｖ２が、段差部５０、および突起２７０の突起低圧側側面７０ｂに沿って流れやすい。よって、渦Ｖ２の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ２による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失を増やすことができる。よって、ラビリンスシール２４０での流体の漏れ量をより抑制できる。 According to the above [Structure 2], the vortex V2 easily flows along the step portion 50 and the protrusion low pressure side side surface 70b of the protrusion 270. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V2 can be increased. Therefore, the friction between fluids due to the vortex V2 can be increased, and the energy loss of the fluid can be increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 240 can be further suppressed.

上記［構成２］により、次の効果が得られてもよい。上記［構成２］により、突起２７０の突起高圧側側面７０ａを、より低圧側Ｘ２に配置しやすい。よって、流れｆ７０を、より低圧側Ｘ２の位置（より渦Ｖ１の流れに沿いやすい位置）で、渦Ｖ１に合流させることができる。よって、渦Ｖ１の流量および流速をより増やすことができ、渦Ｖ１による流体間摩擦をより増やすことができ、流体のエネルギー損失をより増やすことができる。よって、ラビリンスシール２４０での流体の漏れ量をより抑制できる。 The following effects may be obtained by the above [Structure 2]. According to the above [Structure 2], the protrusion high pressure side side surface 70a of the protrusion 270 can be easily arranged on the low pressure side X2. Therefore, the flow f70 can be merged with the vortex V1 at the position of the lower pressure side X2 (the position more easily along the flow of the vortex V1). Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V1 can be further increased, the friction between the fluids due to the vortex V1 can be further increased, and the energy loss of the fluid can be further increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 240 can be further suppressed.

（第３実施形態）
図３を参照して、第３実施形態のラビリンスシール３４０について、第２実施形態（図２参照）との相違点を説明する。相違点は、低圧側フィン３６２の配置である。 (Third Embodiment)
The difference between the labyrinth seal 340 of the third embodiment and the second embodiment (see FIG. 2) will be described with reference to FIG. The difference is the arrangement of the low pressure side fins 362.

低圧側フィン３６２では、低圧側フィン先端部６２ｔは、低圧側フィン３６２のＹ１側の端部（基部、根本部分）よりも高圧側Ｘ１に配置される。低圧側フィン３６２の低圧側フィン側面３６２ａのＹ２側端部は、低圧側フィン側面３６２ａのＹ１側端部よりも、高圧側Ｘ１に配置される。例えば、低圧側フィン側面３６２ａは、Ｙ２側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように、対向方向Ｙに対して傾斜する。低圧側フィン側面３６２ａのうち、突起先端部７０ｔの近傍から低圧側Ｘ２に流れる流体が当たる部分は、上記のように対向方向Ｙに対して傾斜する。例えば、低圧側フィン側面３６２ａの全体が、上記のように対向方向Ｙに対して傾斜してもよい。 In the low-voltage side fin 362, the low-voltage side fin tip portion 62t is arranged on the high-voltage side X1 rather than the Y1-side end portion (base portion, root portion) of the low-voltage side fin 362. The Y2 side end of the low pressure side fin side surface 362a of the low pressure side fin 362 is arranged on the high pressure side X1 rather than the Y1 side end of the low pressure side fin side surface 362a. For example, the low-voltage side fin side surface 362a is inclined with respect to the facing direction Y so that the Y2 side is arranged on the high-voltage side X1. Of the low-pressure side fin side surface 362a, the portion where the fluid flowing from the vicinity of the protrusion tip 70t to the low-pressure side X2 hits is inclined with respect to the facing direction Y as described above. For example, the entire low pressure side fin side surface 362a may be inclined with respect to the facing direction Y as described above.

（流体の流れ）
第２実施形態（図２参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点は次の通りである。突起先端部７０ｔの近傍から低圧側Ｘ２に流れる流体は、低圧側フィン側面３６２ａに当たる。このとき、低圧側フィン３６２の低圧側フィン先端部６２ｔは、低圧側フィン３６２のＹ２側端部よりも高圧側Ｘ１に配置されるので、この流体は、Ｙ２側よりもＹ１側に流れやすい。また、低圧側フィン側面３６２ａは、Ｙ２側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように、対向方向Ｙに対して傾斜しているので、この流体は、Ｙ２側よりもＹ１側に流れやすい。よって、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができる。また、渦Ｖ１から渦Ｖ２に分岐する流量を減らせるので、渦Ｖ２から漏れ流れｆ１１に分岐する流量を減らせる。 (Fluid flow)
The differences in the fluid flow in the present embodiment with respect to the fluid flow in the second embodiment (see FIG. 2) are as follows. The fluid flowing from the vicinity of the protrusion tip 70t to the low pressure side X2 hits the low pressure side fin side surface 362a. At this time, since the low pressure side fin tip portion 62t of the low pressure side fin 362 is arranged on the high pressure side X1 rather than the Y2 side end portion of the low pressure side fin 362, this fluid tends to flow to the Y1 side rather than the Y2 side. Further, since the low pressure side fin side surface 362a is inclined with respect to the facing direction Y so as to be arranged on the high pressure side X1 toward the Y2 side, this fluid tends to flow toward the Y1 side rather than the Y2 side. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V1 can be increased. Further, since the flow rate of branching from the vortex V1 to the vortex V2 can be reduced, the flow rate of branching from the vortex V2 to the leak flow f11 can be reduced.

図３に示すラビリンスシール３４０による効果は次の通りである。 The effects of the labyrinth seal 340 shown in FIG. 3 are as follows.

（第３の発明の効果）
［構成３］低圧側フィン３６２のＹ２側の端部（低圧側フィン先端部６２ｔ）は、低圧側フィン３６２のＹ１側の端部よりも高圧側Ｘ１に配置される。 (Effect of the third invention)
[Structure 3] The Y2 side end of the low pressure side fin 362 (low pressure side fin tip portion 62t) is arranged on the high pressure side X1 with respect to the Y1 side end of the low pressure side fin 362.

上記［構成３］により、低圧側フィン３６２に向かって低圧側Ｘ２に流れる流体が、Ｙ１側に流れやすい。よって、渦Ｖ１の流量および流速をより増やすことができ、渦Ｖ１による流体間摩擦をより増やすことができ、流体のエネルギー損失をより増やすことができる。よって、ラビリンスシール３４０での流体の漏れ量をより抑制できる。また、低圧側フィン３６２に向かって低圧側Ｘ２に流れる流体が、Ｙ２側に流れにくい。よって、低圧側フィン先端部６２ｔと低圧側段部５２との間から流体が漏れにくい。よって、ラビリンスシール３４０での流体の漏れ量をより抑制できる。 According to the above [Structure 3], the fluid flowing to the low pressure side X2 toward the low pressure side fin 362 easily flows to the Y1 side. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V1 can be further increased, the friction between the fluids due to the vortex V1 can be further increased, and the energy loss of the fluid can be further increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 340 can be further suppressed. Further, the fluid flowing to the low pressure side X2 toward the low pressure side fin 362 is difficult to flow to the Y2 side. Therefore, it is difficult for the fluid to leak from between the low pressure side fin tip portion 62t and the low pressure side step portion 52. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 340 can be further suppressed.

（第４実施形態）
図４を参照して、第４実施形態のラビリンスシール４４０について、第３実施形態（図３参照）との相違点を説明する。相違点は、高圧側段部５１からの突起４７０の高さなどである。 (Fourth Embodiment)
With reference to FIG. 4, the difference between the labyrinth seal 440 of the fourth embodiment and the third embodiment (see FIG. 3) will be described. The difference is the height of the protrusion 470 from the high-pressure side step 51.

流体機械１は、回転機械である。第１部材１０および第２部材２０のうち一方は静止体であり、他方は回転体である。第２部材２０は、第１部材１０に対して（相対的に）、流れ方向Ｘに延びる回転軸を中心に回転可能である。段差部５０、高圧側フィン６１、低圧側フィン３６２、および突起４７０のそれぞれは、流れ方向Ｘに延びる回転軸を中心とする環状である。高圧側段部５１および低圧側段部５２は、流れ方向Ｘに延びる回転軸を中心とする円筒状である。 The fluid machine 1 is a rotary machine. One of the first member 10 and the second member 20 is a stationary body, and the other is a rotating body. The second member 20 can rotate (relatively) to the first member 10 about a rotation axis extending in the flow direction X. Each of the step portion 50, the high pressure side fin 61, the low pressure side fin 362, and the protrusion 470 is an annular shape centered on a rotation axis extending in the flow direction X. The high-pressure side step 51 and the low-pressure side step 52 have a cylindrical shape centered on a rotation axis extending in the flow direction X.

例えば、第１部材１０が円筒状の部材（静止体）であり、第２部材２０が第１部材１０よりも小径の小径部材（例えば円柱などの回転体）である。また、例えば、第２部材２０が円筒状の部材（静止体）であり、第１部材１０が第２部材２０よりも小径の小径部材（例えば円柱などの回転体）でもよい。 For example, the first member 10 is a cylindrical member (stationary body), and the second member 20 is a member having a smaller diameter than the first member 10 (for example, a rotating body such as a cylinder). Further, for example, the second member 20 may be a cylindrical member (stationary body), and the first member 10 may be a member having a smaller diameter than the second member 20 (for example, a rotating body such as a cylinder).

突起４７０の突起先端部４７０ｔは、高圧側フィン先端部６１ｔよりも、Ｙ２側に配置される。突起４７０の対向方向Ｙにおける長さ（高圧側段部５１からの高さ）は、高圧側フィン先端部６１ｔと高圧側段部５１との対向方向Ｙにおける間隔（クリアランス）よりも小さい。 The protrusion tip portion 470t of the protrusion 470 is arranged on the Y2 side of the high-voltage side fin tip portion 61t. The length (height from the high-voltage side step portion 51) of the protrusion 470 in the facing direction Y is smaller than the distance (clearance) between the high-pressure side fin tip portion 61t and the high-pressure side step portion 51 in the facing direction Y.

（組み立て）
第１部材１０と第２部材２０との組み立て（組み付け）は、次のように行われる。第１部材１０に高圧側フィン６１および低圧側フィン３６２が設けられた状態、かつ、第２部材２０に段差部５０および突起４７０が設けられた状態とされる。その後、第１部材１０に対して第２部材２０を、流れ方向Ｘ（回転軸の方向）に移動（相対移動）させる。このとき、円筒状の部材（例えば第１部材１０）に、小径部材（例えば第２部材２０）が差し込まれる。すなわち、円筒状の部材が、小径部材の径方向外側に送り込まれる。すると、突起４７０は、高圧側フィン６１よりも高圧側Ｘ１から、高圧側フィン６１よりも低圧側Ｘ２に、高圧側フィン６１よりもＹ２側の位置（径方向内側または径方向外側の位置）で移動する。そして、突起４７０が、高圧側フィン６１と低圧側フィン３６２との流れ方向Ｘにおける間の所定位置に配置される。この組み立てでは、第１部材１０を分割する必要がなく、第２部材２０を分割する必要がない。よって、第１部材１０と第２部材２０とを容易に組み立てできる。 (assembly)
The assembly (assembly) of the first member 10 and the second member 20 is performed as follows. The first member 10 is provided with the high-pressure side fin 61 and the low-pressure side fin 362, and the second member 20 is provided with the stepped portion 50 and the protrusion 470. After that, the second member 20 is moved (relatively moved) in the flow direction X (direction of the rotation axis) with respect to the first member 10. At this time, a small-diameter member (for example, the second member 20) is inserted into the cylindrical member (for example, the first member 10). That is, the cylindrical member is fed outward in the radial direction of the small diameter member. Then, the protrusion 470 is located at a position (diameter inner or radial outer position) from the high pressure side X1 to the high pressure side fin 61, to the low pressure side X2 from the high pressure side fin 61, and to the Y2 side from the high pressure side fin 61. Moving. Then, the protrusion 470 is arranged at a predetermined position between the high pressure side fin 61 and the low pressure side fin 362 in the flow direction X. In this assembly, it is not necessary to divide the first member 10 and it is not necessary to divide the second member 20. Therefore, the first member 10 and the second member 20 can be easily assembled.

なお、図１に示す突起先端部７０ｔが高圧側フィン先端部６１ｔよりもＹ１側に配置される場合など、上記の組み立てができない場合がある。この場合は、第１部材１０および第２部材２０の少なくともいずれかが、複数に分割される。そして、第１部材１０と第２部材２０とが組み合わされた（はめ込まれた）後、分割された部分が結合（固定）される。 The above assembly may not be possible, for example, when the protrusion tip 70t shown in FIG. 1 is arranged on the Y1 side of the high-voltage side fin tip 61t. In this case, at least one of the first member 10 and the second member 20 is divided into a plurality of parts. Then, after the first member 10 and the second member 20 are combined (fitted), the divided portions are combined (fixed).

図４に示すラビリンスシール４４０による効果は次の通りである。 The effects of the labyrinth seal 440 shown in FIG. 4 are as follows.

（第５の発明の効果）
［構成５］ラビリンスシール４４０は、上記［構成４］を備える。突起４７０のＹ１側端部（突起先端部４７０ｔ）は、高圧側フィン６１のＹ２側の端部（高圧側フィン先端部６１ｔ）よりも、Ｙ２側に配置される。 (Effect of the fifth invention)
[Structure 5] The labyrinth seal 440 includes the above [Structure 4]. The Y1 side end portion (projection tip portion 470t) of the protrusion 470 is arranged on the Y2 side of the Y2 side end portion (high pressure side fin tip portion 61t) of the high voltage side fin 61.

ラビリンスシール４４０は、上記［構成５］を備える。よって、第１部材１０に対して第２部材２０を流れ方向Ｘ（回転軸の方向）に移動させると、突起４７０を、高圧側フィン６１よりも高圧側Ｘ１から、高圧側フィン６１よりも低圧側Ｘ２に、高圧側フィン６１よりもＹ２側の位置で、移動させることができる。よって、第１部材１０と第２部材２０との組み立てを行う際に、第１部材１０を分割する必要がなく、第２部材２０を分割する必要がない。よって、第１部材１０と第２部材２０との組み立てを容易に行える。ここで、突起４７０を設けなければ、第１部材１０と第２部材２０とを容易に組み立てることはできるが、流体の漏れ量が多くなるおそれがある。一方、本実施形態では、突起４７０によって流体の漏れ量を抑制でき、かつ、第１部材１０と第２部材２０を容易に組み立てできる。 The labyrinth seal 440 includes the above [configuration 5]. Therefore, when the second member 20 is moved with respect to the first member 10 in the flow direction X (direction of the rotation axis), the protrusion 470 is moved from the high pressure side X1 to the high pressure side fin 61 to a lower pressure than the high pressure side fin 61. It can be moved to the side X2 at a position on the Y2 side of the high voltage side fin 61. Therefore, when assembling the first member 10 and the second member 20, it is not necessary to divide the first member 10 and it is not necessary to divide the second member 20. Therefore, the first member 10 and the second member 20 can be easily assembled. Here, if the protrusion 470 is not provided, the first member 10 and the second member 20 can be easily assembled, but the amount of fluid leakage may increase. On the other hand, in the present embodiment, the amount of fluid leakage can be suppressed by the protrusion 470, and the first member 10 and the second member 20 can be easily assembled.

（第５実施形態）
図５を参照して、第５実施形態のラビリンスシール構造５３０について、第４実施形態（図４参照）などとの相違点を説明する。ラビリンスシール構造５３０は、流れ方向に連続して配置されるラビリンスシール５４０を備える。 (Fifth Embodiment)
With reference to FIG. 5, the difference between the labyrinth seal structure 530 of the fifth embodiment and the fourth embodiment (see FIG. 4) will be described. The labyrinth seal structure 530 includes a labyrinth seal 540 that is continuously arranged in the flow direction.

複数のラビリンスシール５４０のそれぞれは、第１〜第４実施形態、および、後述する第６〜第１０実施形態のいずれかのラビリンスシールである。ラビリンスシール５４０の数は、複数である。例えば、図５に示す例では、４つのラビリンスシール５４０のそれぞれは、図４に示す第４実施形態のラビリンスシール４４０とほぼ同じ構造である。 Each of the plurality of labyrinth seals 540 is a labyrinth seal according to any one of the first to fourth embodiments and the sixth to tenth embodiments described later. The number of labyrinth seals 540 is plural. For example, in the example shown in FIG. 5, each of the four labyrinth seals 540 has substantially the same structure as the labyrinth seal 440 of the fourth embodiment shown in FIG.

図５に示すように、流れ方向Ｘに隣り合うラビリンスシール５４０のうち、高圧側Ｘ１に配置されるものをラビリンスシール５４０−１、低圧側Ｘ２に配置されるものをラビリンスシール５４０−２とする。高圧側Ｘ１のラビリンスシール５４０−１の低圧側フィン３６２は、低圧側Ｘ２のラビリンスシール５４０−２の高圧側フィン６１と兼用される。高圧側Ｘ１のラビリンスシール５４０−１の面８０は、低圧側Ｘ２のラビリンスシール５４０の面８０に対してＹ１側に配置される。その結果、第１部材１０のＹ２側部分は、階段状である。なお、第１部材１０は、階段状でなくてもよい。ラビリンスシール５４０が複数設けられる結果、段差部５０が複数設けられる。その結果、第２部材２０のＹ１側部分は、階段状である。 As shown in FIG. 5, among the labyrinth seals 540 adjacent to each other in the flow direction X, the one arranged on the high pressure side X1 is referred to as the labyrinth seal 540-1, and the one arranged on the low pressure side X2 is referred to as the labyrinth seal 540-2. .. The low pressure side fin 362 of the labyrinth seal 540-1 on the high pressure side X1 is also used as the high pressure side fin 61 of the labyrinth seal 540-2 on the low pressure side X2. The surface 80 of the labyrinth seal 540-1 on the high pressure side X1 is arranged on the Y1 side with respect to the surface 80 of the labyrinth seal 540 on the low pressure side X2. As a result, the Y2 side portion of the first member 10 is stepped. The first member 10 does not have to be stepped. As a result of the plurality of labyrinth seals 540 being provided, a plurality of stepped portions 50 are provided. As a result, the Y1 side portion of the second member 20 is stepped.

図５に示すラビリンスシール構造５３０による効果は次の通りである。 The effects of the labyrinth seal structure 530 shown in FIG. 5 are as follows.

（第８の発明の効果）
［構成８］ラビリンスシール構造５３０は、ラビリンスシール５４０が、流れ方向Ｘに連続して配置されるものである。 (Effect of Eighth Invention)
[Structure 8] In the labyrinth seal structure 530, the labyrinth seal 540 is continuously arranged in the flow direction X.

上記［構成８］により、ラビリンスシール５４０が１つのみ設けられる場合に比べ、ラビリンスシール構造５３０での流体の流路を長くできる。よって、流体のエネルギー損失（摩擦損失）をより増やすことができる。よって、ラビリンスシール構造５３０での流体の漏れ量をより抑制できる。 According to the above [Structure 8], the flow path of the fluid in the labyrinth seal structure 530 can be made longer than in the case where only one labyrinth seal 540 is provided. Therefore, the energy loss (friction loss) of the fluid can be further increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal structure 530 can be further suppressed.

（第６実施形態）
図６を参照して、第６実施形態のラビリンスシール６４０について、主に第４実施形態（図４参照）との相違点を説明する。相違点は、低圧側フィン６６２などの形状である。 (Sixth Embodiment)
With reference to FIG. 6, the difference between the labyrinth seal 640 of the sixth embodiment and the fourth embodiment (see FIG. 4) will be mainly described. The difference is the shape of the low pressure side fin 662 and the like.

低圧側フィン６６２の低圧側フィン側面６６２ａは、直交方向Ｚから見たとき、低圧側Ｘ２およびＹ２側に凸の弧状である。上記「弧状」は、円弧状でもよく、略円弧状でもよく、楕円弧状でもよく、略楕円弧状でもよい（他の「弧状」についても同様）。直交方向Ｚから見たとき、低圧側フィン側面６６２ａの、一部が弧状でもよく、全体が弧状でもよい。直交方向Ｚから見たとき、低圧側フィン６６２は、低圧側Ｘ２およびＹ２側に凸の弧状である。 The low pressure side fin side surface 662a of the low pressure side fin 662 has a convex arc shape toward the low pressure side X2 and Y2 side when viewed from the orthogonal direction Z. The above-mentioned "arc shape" may be an arc shape, a substantially arc shape, an elliptical arc shape, or a substantially elliptical arc shape (the same applies to other "arc shapes"). When viewed from the orthogonal direction Z, a part of the low pressure side fin side surface 662a may be arcuate or the whole may be arcuate. When viewed from the orthogonal direction Z, the low pressure side fin 662 has a convex arc shape toward the low pressure side X2 and Y2 side.

なお、図６では、ラビリンスシール６４０が流れ方向Ｘに連続する場合を図示した。その結果、高圧側フィン６１は、低圧側フィン６６２と同じ形状（弧状）である。一方、例えばラビリンスシール６４０が流れ方向Ｘに連続していない場合などには、高圧側フィン６１の形状は、低圧側フィン６６２の形状と相違してもよい（以下の実施形態も同様）。 In addition, in FIG. 6, the case where the labyrinth seal 640 is continuous in the flow direction X is shown. As a result, the high pressure side fin 61 has the same shape (arc shape) as the low pressure side fin 662. On the other hand, for example, when the labyrinth seal 640 is not continuous in the flow direction X, the shape of the high pressure side fin 61 may be different from the shape of the low pressure side fin 662 (the same applies to the following embodiments).

（流体の流れ）
第４実施形態（図４参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点は次の通りである。渦Ｖ１は、低圧側フィン側面６６２ａに沿って流れる。直交方向Ｚから見たとき、図４に示すように低圧側フィン側面３６２ａが直線状の場合に比べ、図６に示す低圧側フィン側面６６２ａは、渦Ｖ１の流れに沿った形状である。よって、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ１による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失を増やすことができる。よって、ラビリンスシール６４０での流体の漏れ量をより抑制できる。 (Fluid flow)
The differences in the fluid flow in the present embodiment with respect to the fluid flow in the fourth embodiment (see FIG. 4) are as follows. The vortex V1 flows along the low pressure side fin side surface 662a. When viewed from the orthogonal direction Z, the low pressure side fin side surface 662a shown in FIG. 6 has a shape along the flow of the vortex V1 as compared with the case where the low pressure side fin side surface 362a is linear as shown in FIG. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V1 can be increased. Therefore, the friction between fluids due to the vortex V1 can be increased, and the energy loss of the fluid can be increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 640 can be further suppressed.

（第７実施形態）
図７を参照して、第７実施形態のラビリンスシール７４０について、第４実施形態（図４参照）との相違点を説明する。相違点は、第１部材１０の面７８０の形状である。 (7th Embodiment)
With reference to FIG. 7, the difference between the labyrinth seal 740 of the seventh embodiment and the fourth embodiment (see FIG. 4) will be described. The difference is the shape of the surface 780 of the first member 10.

面７８０は、直交方向Ｚから見たとき、弧状である（「弧状」の詳細は第６実施形態の説明を参照）。直交方向Ｚから見たとき、面７８０は、Ｙ１側に凸の弧状である。 The surface 780 is arcuate when viewed from the orthogonal direction Z (see the description of the sixth embodiment for details of the “arc”). When viewed from the orthogonal direction Z, the surface 780 has a convex arc shape on the Y1 side.

（流体の流れ）
第４実施形態（図４参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点は次の通りである。渦Ｖ１は、面７８０に沿って流れる。直交方向Ｚから見たとき、図４に示すように面８０が直線状の場合に比べ、図７に示す面７８０は、渦Ｖ１の流れに沿った形状である。よって、渦Ｖ１の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ１による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失を増やすことができる。よって、ラビリンスシール６４０での流体の漏れ量をより抑制できる。 (Fluid flow)
The differences in the fluid flow in the present embodiment with respect to the fluid flow in the fourth embodiment (see FIG. 4) are as follows. The vortex V1 flows along the surface 780. When viewed from the orthogonal direction Z, the surface 780 shown in FIG. 7 has a shape along the flow of the vortex V1 as compared with the case where the surface 80 is linear as shown in FIG. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V1 can be increased. Therefore, the friction between fluids due to the vortex V1 can be increased, and the energy loss of the fluid can be increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 640 can be further suppressed.

なお、直交方向Ｚから見たとき、面７８０は、Ｙ２側に凸の弧状でもよい。 When viewed from the orthogonal direction Z, the surface 780 may have an arc shape that is convex toward the Y2 side.

（第８実施形態）
図８を参照して、第８実施形態のラビリンスシール８４０について、第４実施形態（図４参照）との相違点を説明する。相違点は、段差部８５０および突起８７０の形状である。 (8th Embodiment)
The difference between the labyrinth seal 840 of the eighth embodiment and the fourth embodiment (see FIG. 4) will be described with reference to FIG. The difference is the shape of the stepped portion 850 and the protrusion 870.

段差部８５０は、Ｙ１側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように、対向方向Ｙに対して傾斜する。突起８７０は、突起高圧側側面８７０ａと、突起低圧側側面８７０ｂと、を備える。突起高圧側側面８７０ａは、Ｙ１側ほど低圧側Ｘ２に配置されるように、対向方向Ｙに対して傾斜する。突起低圧側側面８７０ｂは、Ｙ１側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように、対向方向Ｙに対して傾斜する。突起低圧側側面８７０ｂは、段差部８５０と連続するように配置される。突起低圧側側面８７０ｂおよび段差部８５０は、直交方向Ｚから見たとき、直線状に連続してもよく、曲線状に連続してもよい。 The step portion 850 is inclined with respect to the facing direction Y so that the step portion 850 is arranged on the high voltage side X1 toward the Y1 side. The protrusion 870 includes a protrusion high pressure side side surface 870a and a protrusion low pressure side side surface 870b. The high-pressure side side surface 870a of the protrusion is inclined with respect to the facing direction Y so that the Y1 side is arranged on the low-pressure side X2. The low-pressure side side surface 870b of the protrusion is inclined with respect to the facing direction Y so that the Y1 side is arranged on the high-pressure side X1. The protrusion low pressure side side surface 870b is arranged so as to be continuous with the step portion 850. The side surface 870b on the low pressure side of the protrusion and the step portion 850 may be continuous linearly or curvedly when viewed from the orthogonal direction Z.

（流体の流れ）
第４実施形態（図４参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点を説明する。渦Ｖ２は、低圧側段部５２に沿って高圧側Ｘ１に流れ、段差部８５０に当たり、Ｙ１側に向きを変える。このとき、段差部８５０が、Ｙ１側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように、対向方向Ｙに対して傾斜するので、流体がＹ１側を向きやすい。よって、渦Ｖ２の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ２による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失を増やすことができる。よって、ラビリンスシール８４０での流体の漏れ量をより抑制できる。 (Fluid flow)
The difference between the fluid flow in the fourth embodiment (see FIG. 4) and the fluid flow in the present embodiment will be described. The vortex V2 flows to the high pressure side X1 along the low pressure side step portion 52, hits the step portion 850, and turns to the Y1 side. At this time, since the step portion 850 is inclined with respect to the facing direction Y so that the step portion 850 is arranged on the high pressure side X1 toward the Y1 side, the fluid tends to face the Y1 side. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V2 can be increased. Therefore, the friction between fluids due to the vortex V2 can be increased, and the energy loss of the fluid can be increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 840 can be further suppressed.

なお、上記のように対向方向Ｙに対する傾斜が段差部８５０に設けられる場合に、対向方向Ｙに対する傾斜が突起高圧側側面８７０ａおよび突起低圧側側面８７０ｂの少なくともいずれかに設けられなくてもよい。また、上記のように対向方向Ｙに対する傾斜が段差部８５０に設けられる場合に、段差部８５０と突起低圧側側面８７０ｂとが連続していなくてもよい。 When the step portion 850 is provided with an inclination with respect to the facing direction Y as described above, the inclination with respect to the facing direction Y may not be provided on at least one of the protrusion high pressure side side surface 870a and the protrusion low pressure side side surface 870b. Further, when the step portion 850 is provided with an inclination with respect to the facing direction Y as described above, the step portion 850 and the protrusion low pressure side side surface 870b may not be continuous.

（第９実施形態）
図９を参照して、第９実施形態のラビリンスシール９４０について、第８実施形態（図８参照）などとの相違点を説明する。相違点は、段差部９５０の形状である。 (9th Embodiment)
With reference to FIG. 9, the difference between the labyrinth seal 940 of the ninth embodiment and the eighth embodiment (see FIG. 8) will be described. The difference is the shape of the stepped portion 950.

段差部９５０は、直交方向Ｚから見たとき、高圧側Ｘ１およびＹ２側に凸の弧状である。段差部９５０は、低圧側段部５２と突起低圧側側面７０ｂとを連続的に（滑らかに）つなぐような形状である。直交方向Ｚから見たとき、段差部９５０の全体が弧状でもよく、段差部９５０の一部のみが弧状でもよい。なお、図９に示す例では、突起４７０は、第４実施形態（図４参照）と同様に構成される。 The step portion 950 has a convex arc shape on the high-voltage side X1 and Y2 side when viewed from the orthogonal direction Z. The step portion 950 has a shape that continuously (smoothly) connects the low pressure side step portion 52 and the protrusion low pressure side side surface 70b. When viewed from the orthogonal direction Z, the entire step portion 950 may be arcuate, or only a part of the step portion 950 may be arcuate. In the example shown in FIG. 9, the protrusion 470 is configured in the same manner as in the fourth embodiment (see FIG. 4).

（流体の流れ）
第８実施形態（図８参照）での流体の流れに対する、本実施形態での流体の流れの相違点を説明する。渦Ｖ２は、低圧側段部５２に沿って高圧側Ｘ１に流れ、段差部９５０に当たる。直交方向Ｚから見たとき、図８に示すように段差部８５０が直線状の場合に比べ、図９に示す段差部９５０は、渦Ｖ２の流れに沿った形状である。よって、渦Ｖ２の流量および流速を増やすことができる。よって、渦Ｖ２による流体間摩擦を増やすことができ、流体のエネルギー損失を増やすことができる。よって、ラビリンスシール９４０での流体の漏れ量をより抑制できる。 (Fluid flow)
The difference between the fluid flow in the eighth embodiment (see FIG. 8) and the fluid flow in the present embodiment will be described. The vortex V2 flows to the high pressure side X1 along the low pressure side step portion 52 and hits the step portion 950. When viewed from the orthogonal direction Z, the step portion 950 shown in FIG. 9 has a shape along the flow of the vortex V2 as compared with the case where the step portion 850 is linear as shown in FIG. Therefore, the flow rate and the flow velocity of the vortex V2 can be increased. Therefore, the friction between fluids due to the vortex V2 can be increased, and the energy loss of the fluid can be increased. Therefore, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 940 can be further suppressed.

なお、段差部９５０と同様に、突起低圧側側面７０ｂも、直交方向Ｚから見たときに高圧側Ｘ１に凸の弧状でもよい。直交方向Ｚから見たときに、段差部９５０と突起低圧側側面７０ｂとが連続した弧状である場合は、渦Ｖ２の流量および流速をより増やすことができる。 Similar to the step portion 950, the protrusion low pressure side side surface 70b may also have a convex arc shape on the high pressure side X1 when viewed from the orthogonal direction Z. When the step portion 950 and the protrusion low pressure side side surface 70b have a continuous arc shape when viewed from the orthogonal direction Z, the flow rate and the flow velocity of the vortex V2 can be further increased.

（比較）
図１０に示す例１の構造Ａ、および図１１に示す例２のラビリンスシール構造１０３０について、流体の漏れ量を比較した。図１０に示すように、例１の構造Ａは、構造Ｂが流れ方向Ｘに連続して配置されたものである。構造Ｂは、図１に示す第１実施形態のラビリンスシール４０から突起７０が省略されたものである。図１１に示すように、例２のラビリンスシール構造１０３０は、ラビリンスシール１０４０が流れ方向Ｘに連続して配置されたものである。図４に示す第４実施形態のラビリンスシール４４０に対する、図１０に示すラビリンスシール１０４０の主な相違点は次の通りである。最も高圧側Ｘ１の高圧側フィン６１は、Ｙ２側ほど高圧側Ｘ１に配置されるように対向方向Ｙに対して傾斜する。高圧側フィン６１および低圧側フィン３６２の厚さは、先端側（Ｙ２側）ほど薄くなる。段差部８５０、および突起８７０は、第８実施形態（図８参照）と同様に構成される。なお、突起８７０の突起高圧側側面７０ａ（図４参照）は、第４実施形態（図４参照）と同様に構成される。面８０は、低圧側Ｘ２ほどＹ２側に配置されるように、流れ方向Ｘに対して傾斜する。 (Comparison)
The amount of fluid leakage was compared for the structure A of Example 1 shown in FIG. 10 and the labyrinth seal structure 1030 of Example 2 shown in FIG. As shown in FIG. 10, in the structure A of the example 1, the structure B is continuously arranged in the flow direction X. In the structure B, the protrusion 70 is omitted from the labyrinth seal 40 of the first embodiment shown in FIG. As shown in FIG. 11, in the labyrinth seal structure 1030 of Example 2, the labyrinth seals 1040 are continuously arranged in the flow direction X. The main differences of the labyrinth seal 1040 shown in FIG. 10 from the labyrinth seal 440 of the fourth embodiment shown in FIG. 4 are as follows. The high-voltage side fin 61 of the highest high-voltage side X1 is inclined with respect to the facing direction Y so as to be arranged on the high-voltage side X1 toward the Y2 side. The thickness of the high-pressure side fin 61 and the low-pressure side fin 362 becomes thinner toward the tip side (Y2 side). The step portion 850 and the protrusion 870 are configured in the same manner as in the eighth embodiment (see FIG. 8). The protrusion high-pressure side side surface 70a (see FIG. 4) of the protrusion 870 is configured in the same manner as in the fourth embodiment (see FIG. 4). The surface 80 is inclined with respect to the flow direction X so that the low pressure side X2 is arranged on the Y2 side.

図１２に結果を示す。図１２に示すグラフでは、漏れ量（質量流量）を無次元化した。具体的には、例１における漏れ量を１とした。図１２に示すように、例１に比べ、例２では、漏れ量を１５％以上低減できた。 The results are shown in FIG. In the graph shown in FIG. 12, the leakage amount (mass flow rate) is made dimensionless. Specifically, the leakage amount in Example 1 was set to 1. As shown in FIG. 12, in Example 2, the leakage amount could be reduced by 15% or more as compared with Example 1.

（段差部５０の高さと、低圧側フィン６２の隙間と、の関係）
図１３に示すラビリンスシール４０について、段差部５０の高さ（ｈ）と、低圧側フィン６２の隙間（ｃ）と、の関係は次のようになった。なお、図１３に示すラビリンスシール４０は、図１に示すものと同じラビリンスシール４０である。 (Relationship between the height of the step portion 50 and the gap between the low pressure side fins 62)
Regarding the labyrinth seal 40 shown in FIG. 13, the relationship between the height (h) of the stepped portion 50 and the gap (c) of the low pressure side fin 62 is as follows. The labyrinth seal 40 shown in FIG. 13 is the same labyrinth seal 40 as shown in FIG.

対向方向Ｙにおける段差部５０の高さをｈとする。さらに詳しくは、ｈは、段差部５０と低圧側段部５２との境界から、段差部５０と高圧側段部５１との境界までの、対向方向Ｙにおける長さである。なお、図２に示すように、突起２７０が、高圧側段部５１の最も低圧側Ｘ２の部分に設けられる場合などには、段差部５０と高圧側段部５１との境界の位置が不明となる場合がある。この場合、ｈは、突起７０と高圧側段部５１との境界から、段差部５０と低圧側段部５２との境界までの、対向方向Ｙにおける長さとする。また、図８に示すように、段差部８５０が対向方向Ｙに対して傾斜する場合、および、図９に示すように、直交方向Ｚから見たときに段差部９５０が弧状の場合などにも、ｈは、上記と同様に定義される。図１３に示すように、低圧側フィン先端部６２ｔ（低圧側フィン６２のＹ２側の端部）と、低圧側段部５２と、の対向方向Ｙにおける隙間の大きさをｃとする。 Let h be the height of the stepped portion 50 in the facing direction Y. More specifically, h is the length in the facing direction Y from the boundary between the step portion 50 and the low pressure side step portion 52 to the boundary between the step portion 50 and the high pressure side step portion 51. As shown in FIG. 2, when the protrusion 270 is provided on the most low pressure side X2 of the high pressure side step portion 51, the position of the boundary between the step portion 50 and the high pressure side step portion 51 is unknown. May be. In this case, h is the length in the facing direction Y from the boundary between the protrusion 70 and the high pressure side step portion 51 to the boundary between the step portion 50 and the low pressure side step portion 52. Further, as shown in FIG. 8, the step portion 850 is inclined with respect to the facing direction Y, and as shown in FIG. 9, the step portion 950 is arcuate when viewed from the orthogonal direction Z. , H are defined as above. As shown in FIG. 13, the size of the gap between the low pressure side fin tip portion 62t (the end portion of the low pressure side fin 62 on the Y2 side) and the low pressure side step portion 52 in the facing direction Y is c.

上記のようにｈおよびｃを定義したとき、ラビリンスシール４０での流体の漏れ量と、ｈ／ｃと、の関係は、図１４に示すようになった。この結果は、ＣＦＤ（Computational Fluid Dynamics）解析により得られた。ｈ／ｃが０の場合に比べ、すなわち段差部５０（図１３参照）が設けられない場合に比べ、０＜ｈ／ｃ＜２．２、の範囲で、ラビリンスシール４０（図１３参照）での流体の漏れ量が低減された。ｈ／ｃは、０．２以上がさらに好ましく、０．４以上がさらに好ましく、０．６以上がさらに好ましく、０．７以上がさらに好ましい。ｈ／ｃは、２．０以下がさらに好ましく、１．８以下がさらに好ましく、１．６以下がさらに好ましく、１．４以下がさらに好ましく、１．２以下がさらに好ましく、１．１以下がさらに好ましく、１．０以下がさらに好ましい。なお、ｈ／ｃが２．２以上の場合でも、図１３に示す突起７０が設けられない場合と比べると、ラビリンスシール４０での流体の漏れ量を低減できる。 When h and c are defined as described above, the relationship between the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 40 and h / c is shown in FIG. This result was obtained by CFD (Computational Fluid Dynamics) analysis. Compared to the case where h / c is 0, that is, compared to the case where the step portion 50 (see FIG. 13) is not provided, the labyrinth seal 40 (see FIG. 13) has a range of 0 <h / c <2.2. The amount of fluid leakage has been reduced. The h / c is more preferably 0.2 or more, further preferably 0.4 or more, further preferably 0.6 or more, still more preferably 0.7 or more. The h / c is more preferably 2.0 or less, further preferably 1.8 or less, further preferably 1.6 or less, further preferably 1.4 or less, further preferably 1.2 or less, and further preferably 1.1 or less. More preferably, 1.0 or less is further preferable. Even when h / c is 2.2 or more, the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 40 can be reduced as compared with the case where the protrusion 70 shown in FIG. 13 is not provided.

（第７の発明の効果）
［構成７］図１４に示すように、対向方向Ｙにおける段差部５０の高さをｈとする。低圧側フィン６２のＹ２側の端部（低圧側フィン先端部６２ｔ）と、低圧側段部５２と、の対向方向Ｙにおける隙間の大きさをｃとする。このとき、０＜ｈ／ｃ＜２．２、である。 (Effect of the seventh invention)
[Structure 7] As shown in FIG. 14, the height of the step portion 50 in the facing direction Y is defined as h. Let c be the size of the gap in the opposite direction Y between the Y2 side end portion (low pressure side fin tip portion 62t) of the low pressure side fin 62 and the low pressure side step portion 52. At this time, 0 <h / c <2.2.

上記［構成７］により、ｈ／ｃが０である場合（具体的には、段差部５０が設けられない場合）に比べ、ラビリンスシール４０での流体の漏れ量を抑制できる。 According to the above [Structure 7], the amount of fluid leakage in the labyrinth seal 40 can be suppressed as compared with the case where h / c is 0 (specifically, when the step portion 50 is not provided).

（変形例）
上記実施形態は様々に変形されてもよい。例えば、互いに異なる実施形態の構成要素どうしが組み合わされてもよい。例えば、各構成要素の配置や形状が変更されてもよい。例えば、構成要素の数が変更されてもよく、構成要素の一部が設けられなくてもよい。 (Modification example)
The above embodiment may be variously modified. For example, the components of different embodiments may be combined. For example, the arrangement and shape of each component may be changed. For example, the number of components may be changed and some of the components may not be provided.

例えば、図７に示す第７実施形態の、直交方向Ｚから見て弧状の面７８０が、第１〜第６、第８、および第９実施形態に適用されてもよい。例えば、図１に示すように、対向方向Ｙと一致する方向に延びる低圧側フィン６２が、第３、第５、第７〜第９実施形態に適用されてもよい。 For example, the arcuate surface 780 seen from the orthogonal direction Z of the seventh embodiment shown in FIG. 7 may be applied to the first to sixth, eighth, and ninth embodiments. For example, as shown in FIG. 1, the low pressure side fin 62 extending in the direction corresponding to the facing direction Y may be applied to the third, fifth, seventh to ninth embodiments.

１流体機械
１０第１部材
２０第２部材
２５隙間
４０、２４０、３４０、４４０、５４０、５４０−１、５４０−２、６４０、７４０、８４０、９４０、１０４０ラビリンスシール
５０、８５０、９５０段差部
５１高圧側段部
５２低圧側段部
６１高圧側フィン
６２、３６２、６６２低圧側フィン
７０、２７０、４７０、８７０突起
８０、７８０面
５３０、１０３０ラビリンスシール構造
Ｘ流れ方向
Ｘ１高圧側
Ｘ２低圧側
Ｙ対向方向
Ｙ１対向方向第１側
Ｙ２対向方向第２側 1 Fluid machine 10 1st member 20 2nd member 25 Gap 40, 240, 340, 440, 540, 540-1, 540-2, 640, 740, 840, 940, 1040 Labyrinth seal 50, 850, 950 Step portion 51 High pressure side stage 52 Low pressure side stage 61 High pressure side fin 62, 362, 662 Low pressure side fin 70, 270, 470, 870 Protrusion 80, 780 Surface 530, 1030 Labyrinth seal structure X Flow direction X1 High pressure side X2 Low pressure side Y Opposite Direction Y1 Opposing direction 1st side Y2 Opposing direction 2nd side

Claims

A labyrinth seal structure with multiple labyrinth seals,
The labyrinth seal is
With the first member
The second member facing the first member and
A fluid is formed between the first member and the second member so that the fluid flows from the high pressure side to the low pressure side in the flow direction, which is a direction orthogonal to the direction in which the first member and the second member face each other. The gaps that make up and
A labyrinth seal provided on a fluid machine equipped with
The direction in which the first member and the second member face each other is defined as the facing direction.
The side from the second member toward the first member in the facing direction is defined as the first side in the facing direction.
The side from the first member toward the second member in the facing direction is defined as the second side in the facing direction.
A step portion formed on the first side portion in the facing direction of the second member, and a step portion.
A high-pressure side step portion that constitutes the first side portion in the facing direction of the second member and is arranged on the high pressure side of the step portion.
A low-pressure side step portion that constitutes the first side portion in the facing direction of the second member, is arranged on the low pressure side of the step portion, and is arranged on the second side in the facing direction of the high pressure side step portion.
High-pressure side fins extending from the first member toward the high-pressure side step portion and arranged on the high-pressure side of the step portion,
Low-pressure side fins extending from the first member toward the low-pressure side step portion and arranged on the low-pressure side of the step portion,
A protrusion extending from the high-voltage side step portion to the first side in the facing direction and arranged on the low-voltage side of the high-voltage side fin,
Equipped with
Of the surfaces of the first member on the second side in the facing direction, the portion connecting the surface on the low pressure side of the high pressure side fin to the surface on the high pressure side of the low pressure side fin is orthogonal to each of the facing direction and the flow direction. when viewed from the direction, Ri linear or arcuate der,
One of the first member and the second member is a stationary body, and is a stationary body.
Of the first member and the second member, the one different from the stationary body is a rotating body that can rotate about a rotation axis extending in the flow direction with respect to the stationary body.
The end portion of the protrusion on the first side in the facing direction is arranged on the second side in the facing direction with respect to the end portion on the second side in the facing direction of the high-voltage side fin.
The end portion of the low-voltage side fin on the opposite direction second side is arranged on the opposite direction second side of the protrusion on the opposite direction first side end portion, and is arranged on the opposite direction second side of the high-voltage side step portion. Placed on the side,
The labyrinth seals are arranged continuously in the flow direction.
Labyrinth seal structure .

The labyrinth seal structure according to claim 1.
The protrusion is provided on the lowest pressure side portion of the high pressure side step portion.
Labyrinth seal structure .

The labyrinth seal structure according to claim 1 or 2.
The end portion of the low-voltage side fin on the opposite direction second side is arranged on the high-voltage side of the end portion of the low-voltage side fin on the opposite direction first side.
Labyrinth seal structure .

The labyrinth seal structure according to any one of claims 1 to 3 .
Let h be the height of the stepped portion in the facing direction.
When the size of the gap between the low-pressure side fin on the second side in the facing direction and the low-pressure side step portion in the facing direction is c.
0 <h / c <2.2
Is,
Labyrinth seal structure .