JP6975246B2 - Lead-free thick film low antibody and electronic components containing it - Google Patents

Lead-free thick film low antibody and electronic components containing it Download PDF

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Description

本発明は、鉛フリー厚膜低抗体およびこれを含む電子部品に関する。より詳細には、第1のネットワークと第2のネットワークが互いに交差して二重ネットワーク構造を形成することで、鉛成分を除去しても幅広い抵抗範囲で温度特性、電流雑音、過負荷特性および静電気防止特性が向上した鉛フリー厚膜低抗体およびこれを含む電子部品に関する。 The present invention relates to lead-free thick film low antibodies and electronic components containing them. More specifically, the first network and the second network intersect each other to form a dual network structure, so that even if the lead component is removed, the temperature characteristics, current noise, overload characteristics and over a wide resistance range can be obtained. The present invention relates to a lead-free thick film low antibody having improved antistatic properties and electronic components containing the same.

厚膜低抗体の製造のための厚膜抵抗組成物は、一般的に、抵抗値を調節し、結合性を付与するためのガラス成分、導電体材料とバインダーおよび溶媒からなる有機ビヒクル(organic vehicle)などから構成されており、かかる組成物を基板上に印刷した後、焼成することで、厚膜低抗体が形成される。 Thick film resistance compositions for the production of thick film low antibodies generally consist of an organic vehicle consisting of a glass component, a conductor material and a binder and a solvent for adjusting the resistance value and imparting binding property. ) And the like, and by printing such a composition on a substrate and then firing it, a thick film low antibody is formed.

従来の厚膜抵抗組成物は、酸化鉛系ガラスなどのガラス成分および酸化ルテニウムまたは酸化ルテニウムと鉛との化合物などの導電性材料を用いており、鉛を含有している。このうち、酸化ルテニウム(RuO)系厚膜低抗体(Thick Film Resistor)は、RuOとガラス成分の比を調節することで、広い範囲の抵抗値を実現することができ、優れた温度抵抗係数を有していることから、チップ抵抗とハイブリッド超小型回路(hybrid microcircuits)などに広範に応用されてきた。 The conventional thick film resistance composition uses a glass component such as lead oxide-based glass and a conductive material such as ruthenium oxide or a compound of ruthenium oxide and lead, and contains lead. Of these, ruthenium oxide (RuO 2 ) -based thick film resistor (Thick Film Resistor) can realize a wide range of resistance values by adjusting the ratio of RuO 2 and the glass component, and has excellent temperature resistance. Since it has a coefficient, it has been widely applied to chip resistors and hybrid microcircuits.

しかし、鉛が含まれたガラスは、最近、環境規制によって使用を禁止している傾向にあるだけでなく、窒化アルミニウム基板とは、低い接着力とブリスター発生などによって相互接合性に劣ると知られている。鉛成分が含まれたガラスを使用した時に、酸化物、特に、酸化鉛(PbO)は、基板である窒化アルミニウムと反応が行われてブリスタリング(blistering)の原因になり得る。また、ガラス内の酸化鉛が焼結する時に窒化アルミニウムと反応して鉛(Pb)に還元される過程で窒素ガスを発生するため、低い接着力の原因になり得る。したがって、鉛が含まれず、且つ窒化アルミニウムとの相互接合性が良好な鉛フリーのガラス組成を選定することが重要である。また、一般的に、RuOの温度抵抗係数は、5,670ppm/℃と高い正の温度抵抗係数を有するため、ガラス成分の組成を調節するか、低い抵抗温度係数を有する成分を添加することで、最終厚膜抵抗の温度抵抗係数を下げる努力が必要である。 However, lead-containing glass has recently tended to be banned from use due to environmental regulations, and is known to be inferior in interbondability with aluminum nitride substrates due to its low adhesive strength and blister generation. ing. When glass containing a lead component is used, oxides, especially lead oxide (PbO), can react with aluminum nitride, which is a substrate, to cause blistering. Further, when lead oxide in glass is sintered, it reacts with aluminum nitride and generates nitrogen gas in the process of being reduced to lead (Pb), which may cause low adhesive strength. Therefore, it is important to select a lead-free glass composition that does not contain lead and has good interbondability with aluminum nitride. Further, in general, the temperature coefficient of RuO 2 has a high positive temperature coefficient of 5,670 ppm / ° C. Therefore, the composition of the glass component should be adjusted or a component having a low temperature coefficient of resistance should be added. Therefore, it is necessary to make efforts to lower the temperature coefficient of final thick film resistance.

韓国公開特許第10‐2006‐0056330号(特許文献1)には、実質的に鉛を含まず、NiOを含むガラス成分を使用することで、高い抵抗値を有するとともに抵抗値の温度特性および短時間過負荷の小さい低抗体を提供することができる低抗体ペーストについて開示しており、韓国公開特許第10‐2014‐0025338号(特許文献2)には、ルチル型(rutile)結晶構造を有する酸化ルテニウム(RuO)粉末を用いてルテニウムの含有率が低くても十分な性能を有する厚膜抵抗体用組成物および厚膜低抗体について開示している。 Korean Publication No. 10-2006-0056330 (Patent Document 1) has a high resistance value and a short temperature characteristic and a short resistance value by using a glass component containing NiO, which is substantially free of lead. A low-antibody paste capable of providing a low-antibody with a small time overload is disclosed, and in Korean Publication No. 10-2014-0025338 (Patent Document 2), oxidation having a rutile-type (rutile) crystal structure is disclosed. A composition for a thick film resistor and a thick film low antibody having sufficient performance even if the content of rutile is low using rutile (RuO 2) powder are disclosed.

しかし、前記のように、ガラス成分を変化させるか、ルチル型の結晶構造を有する酸化ルテニウムを使用する場合、抵抗組成物の焼成時に粒子の成長が抑制されて比抵抗が低くなり、厚膜低抗体の抵抗値安定性、温度特性(TCR)および電流雑音(C-noise)などの電気的特性が著しく低下した。また、抵抗組成物の製造時に一般的にRuO粉末とガラス成分を単純に混合して製造するため、構成成分間の均一な混合状態を得ることが難しい。そのため、厚膜低抗体で焼成後に均一な微細組職を得ることが困難であり、結果として、厚膜低抗体の電気的特性の変化が増加し、厚膜低抗体の安定性が低下するという問題が依然として残っていた。 However, as described above, when the glass component is changed or rutileium oxide having a rutile-type crystal structure is used, the growth of particles is suppressed during firing of the resistance composition, the specific resistance is lowered, and the thick film is low. Electrical properties such as resistivity stability, temperature characteristics (TCR) and current noise (C-noise) of the antibody were significantly reduced. Further, since the RuO 2 powder and the glass component are generally simply mixed during the production of the resistance composition, it is difficult to obtain a uniform mixed state between the components. Therefore, it is difficult to obtain a uniform fine composition after firing with the thick-film low antibody, and as a result, the change in the electrical characteristics of the thick-film low antibody increases, and the stability of the thick-film low antibody decreases. The problem still remained.

韓国公開特許第10‐2006‐0056330号Korean Published Patent No. 10-2006-0056330 韓国公開特許第10‐2014‐0025338号Korean Published Patent No. 10-2014-0025338

前記の問題を解決するために、本発明は、シリコン酸化物と、バリウム酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第1のガラス前駆体混合物およびルテニウム系複合酸化物から誘導された第1のネットワークと、シリコン酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第2のガラス前駆体混合物から誘導された第2のネットワークとを含み、前記第1のネットワークおよび第2のネットワークは、互いに交差して形成された鉛フリー厚膜低抗体を提供することを目的とする。 In order to solve the above problems, the present invention is derived from a first glass precursor mixture containing a silicon oxide, a barium oxide, a boron oxide and an aluminum oxide, and a ruthenium-based composite oxide. A first network and a second network derived from a second glass precursor mixture containing a silicon oxide, a boron oxide, and an aluminum oxide, the first network and the second network. The network aims to provide lead-free thick film low antibodies formed crossover with each other.

また、第1のネットワークおよび第2のネットワークが架橋構造を形成して二重ネットワーク構造を形成することで、微細な導電パスが均一に形成されて鉛成分がなくても幅広い抵抗範囲で温度特性、抵抗散布、電流雑音、過負荷特性および静電気防止特性が向上した鉛フリー厚膜低抗体を提供することを目的とする。 Further, the first network and the second network form a crosslinked structure to form a double network structure, so that a fine conductive path is uniformly formed and the temperature characteristics are wide in a wide resistance range even without a lead component. , It is an object of the present invention to provide a lead-free thick film low antibody having improved resistance spraying, current noise, overload characteristics and antistatic characteristics.

また、上述の鉛フリー厚膜低抗体を含む電子部品を提供することを目的とする。 Another object of the present invention is to provide an electronic component containing the above-mentioned lead-free thick film low antibody.

前記のような目的を達成するための本発明の鉛フリー厚膜低抗体は、シリコン酸化物と、バリウム酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第1のガラス前駆体混合物およびルテニウム系複合酸化物から誘導された第1のネットワークと、シリコン酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第2のガラス前駆体混合物から誘導された第2のネットワークとを含み、前記第1のネットワークおよび第2のネットワークは、互いに交差して形成されてもよい。 The lead-free thick film low antibody of the present invention for achieving the above-mentioned object is a first glass precursor mixture containing a silicon oxide, a barium oxide, a boron oxide, and an aluminum oxide. It comprises a first network derived from a ruthenium-based composite oxide and a second network derived from a second glass precursor mixture containing a silicon oxide, a boron oxide and an aluminum oxide. The first network and the second network may be formed so as to intersect each other.

前記第2のネットワークは、連続相を形成し、第1のネットワークは、前記連続相内に分散相を形成し、前記分散相は架橋構造を形成してもよい。 The second network may form a continuous phase, the first network may form a dispersed phase within the continuous phase, and the dispersed phase may form a crosslinked structure.

前記第1のガラス前駆体混合物および第2のガラス前駆体混合物は、遷移金属酸化物、アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物から選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物をさらに含んでもよい。 The first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture are further mixed with any one or more selected from transition metal oxides, alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides. It may be included.

前記遷移金属酸化物は、Nb、Ta、TiO、MnO、CuO、ZrO、WOおよびZnOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であり、前記アルカリ金属酸化物は、NaO、KOおよびLiOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であり、前記アルカリ土類金属酸化物は、SrO、CaOおよびMgOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であってもよい。 The transition metal oxide is one or a mixture of two or more selected from Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , TiO 2 , MnO 2 , CuO, ZrO 2 , WO 3 and ZnO. The alkali metal oxide is a mixture of any one or more selected from Na 2 O, K 2 O and Li 2 O, and the alkaline earth metal oxide is selected from SrO, CaO and MgO. It may be any one or a mixture of two or more.

前記第1のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、600〜800℃であり、前記第2のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、500〜700℃であってもよい。 The softening point (T 1 ) of the first glass precursor mixture may be 600 to 800 ° C., and the softening point (T 2 ) of the second glass precursor mixture may be 500 to 700 ° C. ..

前記第1のガラス前駆体混合物の軟化点(T)と第2のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、T−Tが50〜150℃であってもよい。 The softening point (T 1 ) of the first glass precursor mixture and the softening point (T 2 ) of the second glass precursor mixture may be T 1 − T 2 at 50 to 150 ° C.

前記鉛フリー厚膜低抗体は、CuKα線を用いたX線回折パターンで、2θ=27〜29゜と2θ=30〜32゜の領域の回折ピークが位置することができる。 The lead-free thick film low antibody has an X-ray diffraction pattern using CuKα rays, and diffraction peaks in the regions of 2θ = 27 to 29 ° and 2θ = 30 to 32 ° can be located.

前記鉛フリー厚膜低抗体は、CuKα線を用いたX線回折パターンで、下記式1を満たすピーク面積強度を有してもよい。

Figure 0006975246
前記式1中、
前記A2θ0は、2θ=20〜36゜領域の全ての回折ピーク面積強度の和であり、
前記A2θ1は、2θ=27〜29゜領域の回折ピーク面積強度であり、
前記A2θ2は、2θ=30〜32゜領域の回折ピーク面積強度である。 The lead-free thick film low antibody may have a peak area intensity satisfying the following formula 1 in an X-ray diffraction pattern using CuKα rays.
Figure 0006975246
In the above formula 1,
A 2θ0 is the sum of the intensity of all diffraction peak areas in the region of 2θ = 20 to 36 °.
A 2θ1 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 27 to 29 °.
The A 2θ2 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 30 to 32 °.

前記鉛フリー厚膜低抗体は、CuKα線を用いたX線回折パターンで、下記式2を満たすピーク面積強度比を有することができる。 The lead-free thick film low antibody can have a peak area intensity ratio satisfying the following formula 2 in an X-ray diffraction pattern using CuKα rays.

Figure 0006975246
前記式2中、
前記A2θ1は、2θ=27〜29゜領域の回折ピーク面積強度であり、
前記A2θ2は、2θ=30〜32゜領域の回折ピーク面積強度である。
Figure 0006975246
In the above formula 2,
A 2θ1 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 27 to 29 °.
The A 2θ2 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 30 to 32 °.

前記鉛フリー厚膜低抗体は、抵抗(Rs)値が10Ω/□〜10MΩ/□であり、抵抗値散布(CV)が5%以下であってもよい。 The lead-free thick film low antibody may have a resistance (Rs) value of 10Ω / □ to 10MΩ / □ and a resistance value spraying (CV) of 5% or less.

前記鉛フリー厚膜低抗体は、1mm×1mm面積で粒径80μm以上の気泡の数が20個以下であってもよい。 The lead-free thick film low antibody may have 20 or less bubbles having a particle size of 80 μm or more in an area of 1 mm × 1 mm.

本発明は、上述の前記鉛フリー厚膜低抗体を含む電子部品であってもよい。 The present invention may be an electronic component containing the lead-free thick film low antibody described above.

前記電子部品は、回路基板、チッ抵抗器、アイソレータ素子、C‐R複合素子、モジュール素子、コンデンサまたはインダクタであってもよい。 The electronic component may be a circuit board, a chip resistor, an isolator element, a CR composite element, a module element, a capacitor or an inductor.

本発明による鉛フリー厚膜低抗体は、鉛を含まず、且つ従来鉛を含む厚膜低抗体よりも広い抵抗値の範囲で温度特性、電流雑音、過負荷特性および静電気防止特性に著しく優れるという利点がある。 The lead-free thick film low antibody according to the present invention is said to be remarkably excellent in temperature characteristics, current noise, overload characteristics and antistatic properties in a range of resistance values wider than those of conventional lead-free thick film low antibodies containing lead. There are advantages.

本発明による鉛フリー厚膜低抗体は、第1のネットワークおよび第2のネットワークが架橋構造を形成して二重ネットワーク構造を形成することで、表面均一度に優れ、抵抗値散布(CV)が低くて安定性に優れた低抗体を提供することができるという利点がある。 The lead-free thick film low antibody according to the present invention has excellent surface uniformity and resistance value spraying (CV) by forming a crosslinked structure between the first network and the second network to form a double network structure. It has the advantage of being able to provide a low antibody that is low and has excellent stability.

本発明の一実施例および一比較実施例による鉛フリー厚膜低抗体を光学顕微鏡で表面均一度を観察した写真である。It is a photograph which observed the surface uniformity of the lead-free thick film low antibody by one Example and one comparative example of this invention with an optical microscope. 本発明の一実施例による鉛フリー厚膜低抗体のXRD測定グラフである。It is an XRD measurement graph of the lead-free thick film low antibody by one Example of this invention. 本発明の一実施例および一比較実施例による鉛フリー厚膜低抗体のXRD測定グラフである。It is an XRD measurement graph of the lead-free thick film low antibody by one Example and one comparative example of this invention. 本発明の一実施例および一比較実施例による鉛フリー厚膜低抗体の乾燥後および焼成後の比較XRD測定グラフである。It is a comparative XRD measurement graph after drying and firing of the lead-free thick film low antibody by one Example and one comparative example of this invention. 本発明の一実施例による鉛フリー厚膜低抗体の表面および断面のSEM写真を示した図である。図5の(a)は低抗体の表面であり、図5の(b)は低抗体の断面である。It is a figure which showed the SEM photograph of the surface and the cross section of the lead-free thick film low antibody by one Example of this invention. FIG. 5 (a) is the surface of the low antibody, and FIG. 5 (b) is the cross section of the low antibody.

以下、実施例により、本発明による鉛フリー厚膜低抗体およびこれを含む電子部品についてより詳細に説明する。ただし、下記実施例は、本発明を詳細に説明するための参照であるだけであって、本発明はこれに制限されるものではなく、様々な形態で実現され得る。 Hereinafter, the lead-free thick film low antibody according to the present invention and the electronic component containing the lead-free thick film low antibody according to the present invention will be described in more detail by way of examples. However, the following examples are merely references for explaining the present invention in detail, and the present invention is not limited thereto and can be realized in various forms.

また、他に定義されない限り、全ての技術的用語および科学的用語は、本発明が属する技術分野における当業者の一人によって一般的に理解される意味と同様の意味を有する。本願で説明に使用される用語は単に特定の実施例を効果的に記述するためであって、本発明を制限することを意図しない。 Also, unless otherwise defined, all technical and scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. The terminology used herein is merely to effectively describe a particular embodiment and is not intended to limit the invention.

本発明は、シリコン酸化物と、バリウム酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第1のガラス前駆体混合物およびルテニウム系複合酸化物から誘導された第1のネットワークと、シリコン酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第2のガラス前駆体混合物から誘導された第2のネットワークとを含み、前記第1のネットワークおよび第2のネットワークは、互いに交差して形成される鉛フリー厚膜低抗体を形成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。 The present invention comprises a first network derived from a first glass precursor mixture containing a silicon oxide, a barium oxide, a boron oxide, an aluminum oxide and a ruthenium-based composite oxide, and silicon oxidation. A second network derived from a second glass precursor mixture containing a substance, a boron oxide, and an aluminum oxide is included, and the first network and the second network are formed so as to intersect each other. We have found that it is possible to form a lead-free thick film low antibody, and have completed the present invention.

本明細書において「二重ネットワーク」は、ルテニウム系複合酸化物と第1のガラス前駆体混合物を熱処理して第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末と第2のガラス前駆体混合物を焼成することによって第2のネットワークを形成したものであり、第1のネットワークおよび第2のネットワークが互いに交差してより緻密な導電性パスが形成されたものを意味する。 As used herein, the term "double network" refers to firing a conductive composite powder and a second glass precursor mixture in which a first network is formed by heat-treating a ruthenium-based composite oxide and a first glass precursor mixture. By doing so, a second network is formed, and it means that the first network and the second network intersect each other to form a denser conductive path.

本明細書において「鉛フリー」は、厚膜低抗体内の鉛成分が1000ppm以下、好ましくは、500ppm以下を意味する。 As used herein, "lead-free" means that the lead component in the thick film low antibody is 1000 ppm or less, preferably 500 ppm or less.

以下、本発明の一実施例についてより詳細に説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail.

本発明の鉛フリー厚膜低抗体は、シリコン酸化物と、バリウム酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第1のガラス前駆体混合物およびルテニウム系複合酸化物から誘導された第1のネットワークと、シリコン酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第2のガラス前駆体混合物から誘導された第2のネットワークとを含み、前記第1のネットワークおよび第2のネットワークは、互いに交差して形成されてもよい。前記のように、第1のネットワークおよび第2のネットワークが互いに交差して二重ネットワークを形成することで、微細な導電経路が均一に形成されて表面均一度に優れ、幅広い抵抗範囲で抵抗値散布、温度特性、電流雑音、過負荷特性および静電気防止特性を向上することができる。 The lead-free thick film low antibody of the present invention is derived from a first glass precursor mixture containing a silicon oxide, a barium oxide, a boron oxide, and an aluminum oxide, and a ruthenium-based composite oxide. The first network and the second network include a network of 1 and a second network derived from a second glass precursor mixture containing a silicon oxide, a boron oxide and an aluminum oxide. May be formed at crossing each other. As described above, when the first network and the second network intersect each other to form a double network, fine conductive paths are uniformly formed, the surface uniformity is excellent, and the resistance value is wide in a wide resistance range. It can improve spraying, temperature characteristics, current noise, overload characteristics and antistatic characteristics.

本発明の一様態により、前記第2のネットワークは、連続相を形成し、第1のネットワークは、前記連続相内に分散相を形成し、前記分散相は架橋構造を形成してもよい。前記架橋構造は、分散相全体が互いに連結されることを意味し得、分散相の一部が互いに連結されて架橋構造を形成することを意味し得る。具体的には、例えば、第1のネットワークである分散相が第2のネットワークに形成された連続相内に形成されて第1のネットワークの分散相の全体または一部が第2のネットワークと互いに連結されて架橋構造を形成することができる。前記架橋構造により、微細で、均一な導電経路を確保し、より優れた抵抗値散布、温度特性、電流雑音、過負荷特性および静電気防止の特性を向上することができ、好ましい。 According to the uniformity of the present invention, the second network may form a continuous phase, the first network may form a dispersed phase within the continuous phase, and the dispersed phase may form a crosslinked structure. The crosslinked structure may mean that the entire dispersed phase is linked to each other and that some of the dispersed phases are linked to each other to form a crosslinked structure. Specifically, for example, the dispersed phase, which is the first network, is formed in the continuous phase formed in the second network, and all or part of the dispersed phase of the first network is formed with each other with the second network. They can be linked to form a crosslinked structure. The crosslinked structure is preferable because it can secure a fine and uniform conductive path and improve better resistance value dispersion, temperature characteristics, current noise, overload characteristics and antistatic characteristics.

本発明の一様態により、前記第1のネットワークは、第1のガラス前駆体混合物とルテニウム系複合酸化物から誘導されて形成され得る。前記第1のガラス前駆体混合物とルテニウム系複合酸化物を熱処理により第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末に製造され得る。前記ルテニウム系複合酸化物を第1のガラス前駆体混合物と1段階熱処理して第1のネットワークを形成した後、第2のガラス前駆体混合物と混合し、2段階焼成することなく、前記ルテニウム系複合酸化物を第1のガラス前駆体混合物および第2のガラス前駆体混合物と単純混合し、一度に焼成する場合、XRuOの形状を有するルテニウム系複合酸化物がXOとRuOに分解されて比抵抗が低くなり、製造された厚膜低抗体の抵抗値安定性が著しく低下する。それだけでなく、温度特性および電流雑音特性などの電気的特性の維持に困難性が発生し得る。前記XRuOおよびXOにおいて、Xは、Ca、Sr、Baなどから選択される。 According to the uniformity of the present invention, the first network can be derived from the first glass precursor mixture and the ruthenium-based composite oxide. The first glass precursor mixture and the ruthenium-based composite oxide can be produced into a conductive composite powder having a first network formed by heat treatment. The ruthenium-based composite oxide is heat-treated with the first glass precursor mixture in one step to form a first network, and then mixed with the second glass precursor mixture and fired in two steps without firing. When the composite oxide is simply mixed with the first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture and fired at one time, the ruthenium-based composite oxide having the shape of XRuO 3 is decomposed into XO and RuO 2. The specific resistance is lowered, and the resistance value stability of the produced thick-film low antibody is significantly lowered. Not only that, it can be difficult to maintain electrical properties such as temperature and current noise properties. In the XRuO 3 and XO, X is selected from Ca, Sr, Ba and the like.

前記のような問題を解決するために、ペロブスカイト構造を有するルテニウム系複合酸化物と第1のガラス前駆体混合物を熱処理して第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末を使用することで、安定したネットワーク構造を形成するものである。 In order to solve the above-mentioned problems, a conductive composite powder in which a ruthenium-based composite oxide having a perovskite structure and a first glass precursor mixture are heat-treated to form a first network is used. It forms a stable network structure.

本発明の一様態による前記伝導性複合粉末は、前記ルテニウム系複合酸化物と第1のガラス前駆体混合物の混合物を特定の範囲の熱処理温度で熱処理した後、粉砕後に微細化して第2のガラス前駆体混合物と混合することができる。前記伝導性複合粉末の平均粒径は、制限されないが、例えば、それぞれ伝導性複合粉末の粒径を測定し、小さい粒子から体積を累積する場合、全体積が50%に相当する粒径であるD50が2.0μm以下であり得る。好ましくは、1.0〜2.0μmであってもよい。前記範囲に粉砕されることによって、第2のガラス前駆体混合物との混和性に優れ、第2のネットワークと互いに交差する第1のネットワークを均一に形成することができ、好ましい。 The conductive composite powder according to the uniformity of the present invention is obtained by heat-treating a mixture of the ruthenium-based composite oxide and the first glass precursor mixture at a heat treatment temperature in a specific range, pulverizing the mixture, and then refining the second glass. It can be mixed with a precursor mixture. The average particle size of the conductive composite powder is not limited, but for example, when the particle size of each conductive composite powder is measured and the volume is accumulated from small particles, the total volume corresponds to 50%. D 50 can be 2.0 μm or less. It may be preferably 1.0 to 2.0 μm. By being pulverized to the above range, the miscibility with the second glass precursor mixture is excellent, and the first network intersecting with the second network can be uniformly formed, which is preferable.

本発明の一様態により、前記熱処理温度は、緻密で均一な第1のネットワークの形成のために、700〜900℃で10〜60分間熱処理することができる。好ましくは、700〜850℃で10〜40分間熱処理することができるが、これに制限されるものではない。 According to the uniformity of the present invention, the heat treatment temperature can be heat-treated at 700 to 900 ° C. for 10 to 60 minutes in order to form a dense and uniform first network. Preferably, the heat treatment can be performed at 700 to 850 ° C. for 10 to 40 minutes, but is not limited thereto.

前記のように形成された伝導性複合粉末は、均一な一次ネットワーク構造を形成することができ、鉛フリー厚膜低抗体の製造時に熱処理によりルテニウム系複合酸化物を第1のガラス前駆体混合物と第1のネットワークが形成されることによってルテニウム系複合酸化物と第2のガラス前駆体混合との反応性が抑制され、ルテニウム系複合酸化物の分解が生じず、安定的で均一な二重ネットワーク構造を形成することができる。 The conductive composite powder formed as described above can form a uniform primary network structure, and the ruthenium-based composite oxide is combined with the first glass precursor mixture by heat treatment during the production of the lead-free thick film low antibody. By forming the first network, the reactivity between the ruthenium-based composite oxide and the second glass precursor mixture is suppressed, the ruthenium-based composite oxide does not decompose, and a stable and uniform double network is formed. The structure can be formed.

前記伝導性複合粉末の単独で厚膜低抗体を製造する場合、電気的特性が不十分で、流動性が足りず、厚膜低抗体の平滑性および基板との接着力が著しく低下する問題が生じ得るため、第2のガラス前駆体混合物と混合した後、焼成して緻密な二重ネットワーク構造を形成することが好ましい。 When the thick film low antibody is produced by the conductive composite powder alone, there are problems that the electrical properties are insufficient, the fluidity is insufficient, and the smoothness of the thick film low antibody and the adhesive force with the substrate are significantly lowered. Since it can occur, it is preferable to mix it with the second glass precursor mixture and then calcin it to form a dense dual network structure.

本発明の一様態により、前記第1のガラス前駆体混合物は、シリコン酸化物、バリウム酸化物、ホウ素酸化物およびアルミニウム酸化物を含むことができる。前記シリコン酸化物は、二酸化ケイ素(SiO)であってもよく、前記バリウム酸化物は、酸化バリウム(BaO)であってもよく、前記ホウ素酸化物は、三酸化ホウ素(B)であってもよく、前記アルミニウム酸化物は、酸化アルミニウム(Al)であってもよい。前記シリコン酸化物、バリウム酸化物、ホウ素酸化物およびアルミニウム酸化物を含むことで、ルテニウム系複合酸化物との反応性をさらに向上させ、第1のネットワーク構造をさらに緻密に形成することができ、好ましい。また、ルテニウム系複合酸化物と第1のガラス前駆体混合物に誘導された第1のネットワークと第2のネットワークとの相溶性を向上させることができ、好ましい。 According to the uniformity of the present invention, the first glass precursor mixture can contain silicon oxide, barium oxide, boron oxide and aluminum oxide. The silicon oxide may be silicon dioxide (SiO 2 ), the barium oxide may be barium oxide (BaO), and the boron oxide may be boron trioxide (B 2 O 3 ). The aluminum oxide may be aluminum oxide (Al 2 O 3 ). By including the silicon oxide, barium oxide, boron oxide and aluminum oxide, the reactivity with the ruthenium-based composite oxide can be further improved, and the first network structure can be formed more densely. preferable. Further, it is possible to improve the compatibility between the first network and the second network induced by the ruthenium-based composite oxide and the first glass precursor mixture, which is preferable.

特に、バリウム酸化物を第1のガラス前駆体混合物に含むことで、ルテニウム系複合酸化物との反応でより安定した第1のネットワークが形成された結晶構造を形成することができる。前記結晶構造は、B‐Ba‐Si‐Al系部分結晶構造であってもよい。前記部分結晶構造を形成することによって第2のガラス前駆体混合物との相互融合が発生せず、第1のネットワーク構造と第2のネットワークの区分が明確になり、二重ネットワークが形成され得る。また、鉛フリー厚膜低抗体の焼成過程でルテニウム系複合酸化物と第2のガラス前駆体混合物との反応によるルテニウム酸化物の生成を抑制することができ、より安定した鉛フリー厚膜低抗体を得ることができ、好ましい。 In particular, by including barium oxide in the first glass precursor mixture, it is possible to form a crystal structure in which a more stable first network is formed by a reaction with a ruthenium-based composite oxide. The crystal structure may be a B-Ba-Si-Al-based partial crystal structure. By forming the partial crystal structure, mutual fusion with the second glass precursor mixture does not occur, the division between the first network structure and the second network becomes clear, and a double network can be formed. In addition, the formation of ruthenium oxide due to the reaction between the ruthenium-based composite oxide and the second glass precursor mixture in the firing process of the lead-free thick film low antibody can be suppressed, and a more stable lead-free thick film low antibody can be suppressed. Can be obtained, which is preferable.

本発明の一様態により、前記ルテニウム系複合酸化物は、当該技術分野において自明に公知となっているペロブスカイト型結晶構造を有するルテニウム系複合酸化物であれば制限されない。例えば、カルシウムルテネート(CaRuO)、ストロンチウムルテネート(SrRuO)およびバリウムルテネート(BaRuO)から選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であってもよい。また、本発明の一実施例によりルテニウム系複合酸化物は、(Ca1−x−ySrxBa)RuOを単独で使用するか、他のルテニウム系複合酸化物と混用して使用することができる。前記の一例としては、(Ca1−x−ySrxBa)RuOで0<x<0.8、0≦y<0.8、0<x+y<0.9を満たす。 According to the uniformity of the present invention, the ruthenium-based composite oxide is not limited as long as it is a ruthenium-based composite oxide having a perovskite-type crystal structure that is self-evidently known in the art. For example, it may be a mixture of any one or more selected from calcium lutenate (CaRuO 3 ), strontium lutenate (SrRuO 3 ) and barium lutenate (BaRuO 3). The ruthenium-based composite oxide according to an embodiment of the present invention is used mix the (Ca 1-x-y Sr x Ba y) or using RuO 3 alone, other ruthenium composite oxide be able to. As an example of the above, (Ca 1-x-y Sr x Bay) RuO 3 satisfies 0 <x <0.8, 0 ≦ y <0.8, 0 <x + y <0.9.

前記ペロブスカイト型の結晶構造を有するルテニウム系複合酸化物は、特に、1KΩ以上で温度特性(TCR)と過負荷特性(STOL)を維持する役割を果たすことができ、好ましい。 The ruthenium-based composite oxide having a perovskite-type crystal structure is particularly preferable because it can play a role of maintaining temperature characteristics (TCR) and overload characteristics (STORL) at 1 KΩ or more.

本発明の一様態により、ルテニウム系複合酸化物は、制限されないが、韓国登録特許第10‐0840893号の製造方法によって製造されたルテニウム系複合酸化物を使用してもよい。 According to the uniformity of the present invention, the ruthenium-based composite oxide is not limited, but the ruthenium-based composite oxide produced by the production method of Korean Registered Patent No. 10-0840893 may be used.

例えば、1)ルテニウム金属粉末を強酸または強塩基に溶解するか、アルカリ融解してルテニウム塩水溶液を製造するステップと、2)前記ステップで製造されたルテニウム塩水溶液に分散剤が含まれたストロンチウム化合物水溶液を混合し、水和物ストロンチウムルテネートを得るステップと、3)前記ステップで得られた水和物ストロンチウムルテネートを320〜1,000℃で熱処理し、ストロンチウムルテネート粉末を得るステップと、4)前記ステップで得られたストロンチウムルテネート粉末に無機酸を使用して不純物を除去して使用してもよいが、これに制限されるものではない。 For example, 1) a step of dissolving a ruthenium metal powder in a strong acid or a strong base or alkaline melting to produce a ruthenium salt aqueous solution, and 2) a strontium compound containing a dispersant in the ruthenium salt aqueous solution produced in the above step. A step of mixing an aqueous solution to obtain a hydrated strontium lutenate, and 3) a step of heat-treating the hydrated strontium lutenate obtained in the above step at 320 to 1,000 ° C. to obtain a strontium lutenate powder. 4) The strontium lutenate powder obtained in the above step may be used by removing impurities by using an inorganic acid, but the present invention is not limited thereto.

本発明の一様態により、前記ルテニウム系複合酸化物は、比抵抗が高く、熱処理および焼成過程で構造変化が発生せず、抵抗値散布が5%以下と優れた電気的特性を有する鉛フリー厚膜低抗体を形成することができ、好ましい。 Due to the uniformity of the present invention, the ruthenium-based composite oxide has a high specific resistance, no structural change occurs in the heat treatment and firing processes, and the resistance value is sprayed at a resistance value of 5% or less, which is a lead-free thickness having excellent electrical characteristics. It is preferable because it can form a membrane low antibody.

本発明の一様態により、前記第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末は、ルテニウム系複合酸化物20〜80重量%および第1のガラス前駆体混合物80〜20重量%含むことができ、より好ましくは、ルテニウム系複合酸化物30〜70重量%および第1のガラス前駆体混合物70〜30重量%含むことができる。さらに好ましくは、ルテニウム系複合酸化物40〜60重量%および第1のガラス前駆体混合物60〜40重量%含んで、第1のネットワークを形成することができる。 According to the uniformity of the present invention, the conductive composite powder in which the first network is formed can contain 20 to 80% by weight of the ruthenium-based composite oxide and 80 to 20% by weight of the first glass precursor mixture. More preferably, it can contain 30 to 70% by weight of the ruthenium-based composite oxide and 70 to 30% by weight of the first glass precursor mixture. More preferably, the first network can be formed by containing 40 to 60% by weight of the ruthenium-based composite oxide and 60 to 40% by weight of the first glass precursor mixture.

本発明の一様態により、前記ルテニウム系複合酸化物と第1のガラス前駆体混合物が、上述の範囲で含まれる場合、第1のネットワーク構造が均一に形成され、温度特性(TCR)、過負荷特性(STOL)、静電気防止特性(ESD)が著しく向上し、好ましい。また、伝導性材料として温度特性が(−)方向に移動することを防止することができ、結晶構造の安定性の維持に好ましい。 According to the uniformity of the present invention, when the ruthenium-based composite oxide and the first glass precursor mixture are contained in the above range, the first network structure is uniformly formed, and the temperature characteristics (TCR) and overload are increased. The characteristics (STORL) and antistatic characteristics (ESD) are significantly improved, which is preferable. Further, as a conductive material, it is possible to prevent the temperature characteristics from moving in the (−) direction, which is preferable for maintaining the stability of the crystal structure.

本発明の一様態により、前記第2のネットワークは、第2のガラス前駆体混合物から誘導されて形成され得る。前記第2のガラス前駆体混合物は、第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末と混合して焼成することで、第1のネットワークと第2のネットワークが互いに交差して二重ネットワークが形成され得る。前記のように第1のネットワークおよび第2のネットワークが互いに交差して二重ネットワークを形成することで、抵抗値散布(CV)、抵抗値再現性に優れ、温度特性(TCR)、過負荷特性(STOL)、静電気防止特性(ESD)の特性も優れた鉛フリー厚膜低抗体を得ることができる。 According to the uniformity of the present invention, the second network can be derived and formed from the second glass precursor mixture. The second glass precursor mixture is mixed with the conductive composite powder in which the first network is formed and fired, so that the first network and the second network intersect each other to form a double network. Can be done. As described above, the first network and the second network intersect each other to form a dual network, which is excellent in resistance value dispersion (CV) and resistance value reproducibility, temperature characteristics (TCR), and overload characteristics. It is possible to obtain a lead-free thick film low antibody having excellent (STOR) and antistatic properties (ESD).

本発明の一様態により、前記伝導性複合粉末と第2のガラス前駆体混合物は、10:90〜90:10重量比で含まれ得、より好ましくは20:80〜80:20重量比で含まれて第2のネットワークを形成して二重ネットワークを形成することができる。 According to the uniformity of the present invention, the conductive composite powder and the second glass precursor mixture can be contained in a 10:90 to 90:10 weight ratio, more preferably 20:80 to 80:20 weight ratio. A second network can be formed to form a dual network.

また、前記範囲で含まれると、鉛フリー厚膜低抗体の電気的特性が向上し、均一な表面を有する鉛フリー厚膜低抗体を形成することができ、好ましい。 Further, when it is contained in the above range, the electrical characteristics of the lead-free thick film low antibody are improved, and a lead-free thick film low antibody having a uniform surface can be formed, which is preferable.

本発明の一様態により、前記鉛フリー厚膜低抗体は、第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末と第2のガラス前駆体混合物を混合して第2のネットワークが形成されて二重ネットワーク構造を有することができる。これを製造する時に前記第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末と第2のガラス前駆体混合物の混合物を基板上にスクリーン印刷した後、焼成することで二重ネットワーク構造が形成されてもよい。前記基板は、アルミナ基板であってもよいが、これに制限されるものではない。 According to the uniformity of the present invention, the lead-free thick film low antibody is doubled by mixing the conductive composite powder in which the first network is formed and the mixture of the second glass precursor to form the second network. It can have a network structure. Even if a double network structure is formed by screen-printing a mixture of the conductive composite powder on which the first network is formed and the mixture of the second glass precursor on the substrate at the time of manufacturing the substrate and then firing the mixture. good. The substrate may be an alumina substrate, but is not limited thereto.

本発明の一様態により、前記焼成温度は、700〜900℃で10〜60分間熱処理することができる。好ましくは、800〜900℃で10〜40分間熱処理することができるが、これに制限されるものではない。 According to the uniformity of the present invention, the firing temperature can be heat-treated at 700 to 900 ° C. for 10 to 60 minutes. Preferably, the heat treatment can be performed at 800 to 900 ° C. for 10 to 40 minutes, but is not limited thereto.

本発明の一様態により、前記第1のガラス前駆体混合物および第2のガラス前駆体混合物は、ルテニウム系複合酸化物との反応性を向上させるために、遷移金属酸化物、アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物から選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物をさらに含んでもよい。 According to the uniformity of the present invention, the first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture are made of transition metal oxides, alkali metal oxides and the like in order to improve the reactivity with the ruthenium-based composite oxide. It may further comprise any one or more mixtures selected from alkaline earth metal oxides.

本発明の一様態により、前記遷移金属酸化物は、Nb、Ta、TiO、MnO、CuO、ZrO、WOおよびZnOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であってもよい。前記遷移金属酸化物は、第1のガラス前駆体混合物および第2のガラス前駆体混合物に含まれて鉛フリー厚膜低抗体に製造されることで、鉛フリー厚膜低抗体の温度特性を向上させることができ、好ましい。 According to the uniformity of the present invention, the transition metal oxide is selected from Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , TiO 2 , MnO 2 , CuO, ZrO 2 , WO 3 and ZnO. The above mixture may be used. The transition metal oxide is contained in the first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture to be produced as a lead-free thick film low antibody, thereby improving the temperature characteristics of the lead-free thick film low antibody. It can be made to be preferable.

前記アルカリ金属酸化物は、NaO、KOおよびLiOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であってもよい。前記アルカリ金属酸化物は、第1のガラス前駆体混合物および第2のガラス前駆体混合物に含まれて軟化点を調節することができ、好ましい。 The alkali metal oxide may be any one or a mixture of two or more selected from Na 2 O, K 2 O and Li 2 O. The alkali metal oxide is preferable because it is contained in the first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture and the softening point can be adjusted.

前記アルカリ土類金属酸化物は、SrO、CaOおよびMgOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であってもよい。前記アルカリ土類金属酸化物は、ルテニウム系複合酸化物との反応性を調節することができる。 The alkaline earth metal oxide may be any one or a mixture of two or more selected from SrO, CaO and MgO. The alkali earth metal oxide can regulate the reactivity with the ruthenium-based composite oxide.

本発明の一様態により、第1のガラス前駆体混合物の具体的な組成は、例えば、SiO 10〜40重量%、B 10〜30重量%、BaO 5〜40重量%、Al 2〜15重量%、遷移金属酸化物0.1〜20重量%およびアルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物15〜40重量%の含量で含むことができる。好ましくは、SiO 15〜35重量%、B 15〜30重量%、BaO 10〜30重量%、Al 4〜15重量%、遷移金属酸化物5〜20重量%およびアルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物15〜35重量%の含量で含むことができる。前記のような組成で構成されることで、ルテニウム系複合酸化物と反応性に優れ、電気的特性および耐久性を向上させることができ、好ましい。 According to the uniformity of the present invention, the specific composition of the first glass precursor mixture is, for example, SiO 2 10 to 40% by weight, B 2 O 3 10 to 30% by weight, BaO 5 to 40% by weight, Al 2. It can be contained in a content of O 3 2 to 15% by weight, a transition metal oxide of 0.1 to 20% by weight, and an alkali metal oxide and an alkaline earth metal oxide of 15 to 40% by weight. Preferably, SiO 2 15 to 35% by weight, B 2 O 3 15 to 30% by weight, BaO 10 to 30% by weight, Al 2 O 3 4 to 15% by weight, transition metal oxide 5 to 20% by weight, and alkali metal. Oxides and alkaline earth metal oxides can be contained in a content of 15-35% by weight. It is preferable that the composition is composed as described above because it has excellent reactivity with the ruthenium-based composite oxide and can improve the electrical characteristics and durability.

本発明の一様態により、第2のガラス前駆体混合物の具体的な組成は、例えば、SiO 5〜30重量%、B 10〜40重量%、Al 2〜15重量%、遷移金属酸化物0.1〜35重量%およびアルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物20〜60重量%の含量で含むことができる。好ましくは、SiO 5〜20重量%、B 20〜40重量%、Al 2〜10重量%、遷移金属酸化物2〜30重量%およびアルカリ金属酸化物とアルカリ土類金属酸化物25〜60重量%の含量で含むことができる。前記のような組成で構成されることで、伝導性複合粉末との相溶性および複合化に優れ、鉛フリー厚膜低抗体の密度と平滑な焼成表面を維持し、伝導性複合粉末との均一で緻密な二重ネットワーク構造を形成することができ、効果的である。 According to one aspect of the present invention, the specific composition of the second glass precursor mixture, for example, SiO 2 5 to 30 wt%, B 2 O 3 10 to 40 wt%, Al 2 O 3 2 to 15 wt% , Transition metal oxides can be contained in a content of 0.1 to 35% by weight and alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides in an amount of 20 to 60% by weight. Preferably, SiO 2 5 to 20 wt%, B 2 O 3 20 to 40 wt%, Al 2 O 3 2 to 10% by weight, a transition metal oxide 2-30 wt% and alkali metal oxides and alkaline earth metal It can be contained in an oxide content of 25-60% by weight. By being composed as described above, it has excellent compatibility and compounding with the conductive composite powder, maintains the density of lead-free thick film low antibody and a smooth calcined surface, and is uniform with the conductive composite powder. It is effective because it can form a dense dual network structure.

また、前記第2のガラス前駆体混合物の組成で含むと、第2のガラス前駆体混合物の安定性に優れ、塗膜の鉛フリー厚膜低抗体の塗膜強度が向上し、軟化点の増加を防止することができ、鉛フリー厚膜低抗体の電気的特性が向上し、好ましい。 Further, when it is contained in the composition of the second glass precursor mixture, the stability of the second glass precursor mixture is excellent, the coating film strength of the lead-free thick film low antibody of the coating film is improved, and the softening point is increased. It is possible to prevent the above, and the electrical properties of the lead-free thick film low antibody are improved, which is preferable.

本発明の一様態により、前記第2のネットワークは、鉛フリー厚膜低抗体の密度および平滑で均一な表面を維持するために、第2のガラス前駆体混合物に無機粒子および伝導性粉末をさらに含んで第2のネットワークを形成することができる。 Due to the uniformity of the present invention, the second network further adds inorganic particles and conductive powder to the second glass precursor mixture in order to maintain the density and smooth and uniform surface of the lead-free thick film low antibody. It can be included to form a second network.

本発明の一様態により、前記無機粒子は、Nb、Ta、TiO、MnO、CuO、ZrOおよびZnOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であってもよい。前記無機粒子は、第1のガラス前駆体混合物および第2のガラス前駆体混合物の鉛フリー厚膜低抗体に製造されることで、電気的特性および流動性を向上させることができ、好ましい。 According to the uniformity of the present invention, the inorganic particles are one or a mixture of two or more selected from Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , TiO 2 , MnO 2 , CuO, ZrO 2 and ZnO. May be. The inorganic particles are preferably produced as a lead-free thick film low antibody of the first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture because the electrical properties and fluidity can be improved.

前記伝導性粉末は、Ag、Au、Pd、Pt、Cu、Ni、W、Mo、Zn、Al、RuO、IrO、RhおよびAgPdから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であってもよい。前記伝導性粉末は、第1のガラス前駆体混合物および第2のガラス前駆体混合物に含まれて鉛フリー厚膜低抗体に製造されることで、鉛フリー厚膜低抗体の電気的特性を向上させることができ、好ましい。 The conductive powder is one or more selected from Ag, Au, Pd, Pt, Cu, Ni, W, Mo, Zn, Al, RuO 2 , IrO 2 , Rh 2 O 3 and AgPd. May be a mixture of. The conductive powder is contained in the first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture to be produced as a lead-free thick film low antibody, thereby improving the electrical properties of the lead-free thick film low antibody. It can be made to be preferable.

より具体的には、一様態により、前記第2のネットワークは伝導性複合粉末10〜65重量%、第2のガラス前駆体混合物10〜60重量%、伝導性粉末0.01〜40重量%および無機粒子0.1〜10重量%を含んで誘導され得る。好ましくは、伝導性複合粉末15〜60重量%、第2のガラス前駆体混合物15〜60重量%、伝導性粉末1〜20重量%および無機粒子0.1〜6重量%を含んで誘導され得るが、これに制限されるものではない。前記伝導性複合粉末、第2のガラス前駆体混合物、伝導性粉末および無機粒子が前記範囲で含まれると、均一で緻密な二重ネットワーク構造が形成され、温度特性(TCR)、過負荷特性(STOL)、静電気防止特性(ESD)が向上し、平滑性および基板との接着力に優れた鉛フリー厚膜低抗体を製造することができ、好ましい。 More specifically, by uniformity, the second network comprises 10-65% by weight of the conductive composite powder, 10-60% by weight of the second glass precursor mixture, 0.01-40% by weight of the conductive powder and It can be derived containing 0.1 to 10% by weight of inorganic particles. Preferably, it may be derived containing 15-60% by weight of the conductive composite powder, 15-60% by weight of the second glass precursor mixture, 1-20% by weight of the conductive powder and 0.1 to 6% by weight of the inorganic particles. However, it is not limited to this. When the conductive composite powder, the second glass precursor mixture, the conductive powder and the inorganic particles are included in the above range, a uniform and dense double network structure is formed, and the temperature characteristic (TCR) and the overload characteristic ( It is preferable because a lead-free thick film low antibody having improved STOL) and antistatic properties (ESD) and excellent smoothness and adhesion to a substrate can be produced.

本発明の一様態により、第2のガラス前駆体混合物に有機溶媒とバインダーからなるビヒクルをさらに含んで第2のネットワークを形成することができる。前記ビヒクルは、伝導性複合粉末と第2のガラス前駆体混合物を混合し、スクリーン印刷などに適用するためには、適したレオロジー特性を満たすべきである。したがって、前記第2のガラス前駆体混合物は、通常のビヒクルと混合してペースト、塗料、またはインクの形成に適用され得る。前記ビヒクルとしては、当該技術分野に自明に公知のものであれば制限されず、例えば、テルピネオール、カルビトール、ブチルカルビトール、セロソルブ、ブチルセロソルブおよびこれらのエステル類;トルエン、キシレンなどから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の有機溶媒;エチルセルロース、ニトロセルローズ、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、ロジンなどから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であるバインダー樹脂;などを混合した溶液が使用され得る。必要に応じて、可塑剤、粘度調節剤、界面活性剤、酸化防止剤、金属有機化合物などから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物をさらに含んでもよい。 The uniformity of the present invention allows the second glass precursor mixture to further include a vehicle consisting of an organic solvent and a binder to form a second network. The vehicle should meet suitable rheological properties in order to mix the conductive composite powder with the second glass precursor mixture and apply it to screen printing and the like. Thus, the second glass precursor mixture can be mixed with conventional vehicles and applied to the formation of pastes, paints, or inks. The vehicle is not limited as long as it is obvious in the art, and is selected from, for example, terpineol, carbitol, butyl carbitol, cellosolve, butyl cellosolve and esters thereof; toluene, xylene and the like. A solution in which one or more organic solvents; a binder resin which is a mixture of any one or more selected from ethyl cellulose, nitrocellrose, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, rosin and the like; and the like are mixed. Can be used. If necessary, it may further contain one or more mixtures selected from plasticizers, viscosity modifiers, surfactants, antioxidants, metal organic compounds and the like.

前記ビヒクルの配合比率も通常の鉛フリー厚膜低抗体に適用される範囲であれば制限されず、印刷などの適用方法に応じて調節され得る。 The compounding ratio of the vehicle is not limited as long as it is applicable to a normal lead-free thick film low antibody, and can be adjusted according to an application method such as printing.

前記ビヒクルは、好ましくは、伝導性複合粉末、第2のガラス前駆体混合物、伝導性粉末および無機粒子100重量部に対して、0.01〜100重量部さらに含むことができる。さらに好ましくは、0.1〜50重量部さらに含むことができるが、これに制限されるものではない。 The vehicle can preferably be further contained in an amount of 0.01 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the conductive composite powder, the second glass precursor mixture, the conductive powder and the inorganic particles. More preferably, it can further contain from 0.1 to 50 parts by weight, but is not limited thereto.

また、前記ビヒクルに使用された有機溶媒と同一または相違する有機溶媒をさらに含んで粘度を調節し、第2のガラス前駆体混合物と伝導性複合粉末の混和性を向上させることができるが、これに制限されるものではない。前記有機溶媒は、好ましくは、伝導性複合粉末、第2のガラス前駆体混合物、伝導性粉末および無機粒子100重量部に対して、10〜200重量部さらに含むことができる。さらに好ましくは、20〜100重量部さらに含むことができるが、これに制限されるものではない。 Further, the viscosity can be adjusted by further containing an organic solvent which is the same as or different from the organic solvent used in the vehicle, and the miscibility between the second glass precursor mixture and the conductive composite powder can be improved. It is not limited to. The organic solvent is preferably further contained in an amount of 10 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the conductive composite powder, the second glass precursor mixture, the conductive powder and the inorganic particles. More preferably, it can further contain 20 to 100 parts by weight, but is not limited thereto.

本発明の様態により、前記第1のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、600〜800℃であってもよく、前記第2のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、500〜700℃であってもよい。前記範囲の第1のガラス前駆体混合物の軟化点の場合、ルテニウム系複合酸化物との反応性が向上し、より均一に第1のネットワークを形成することができ、熱処理中に部分結晶構造を有することができ、好ましい。また、前記範囲の第2のガラス前駆体混合物の軟化点の場合、焼成温度は、800〜900℃で第1のネットワークと互いに交差する第2のネットワークの形成が容易であり、鉛フリー厚膜低抗体の表面均一度が向上し、抵抗値散布が減少することによって優れた電気的特性を示すことができ、好ましい。前記のように第1のガラス前駆体混合物と第2のガラス前駆体混合物が相違する軟化点を有することは、バリウム酸化物を有するか否かに応じて調節することができ、前記バリウム酸化物を第2のガラス前駆体混合物に含まないことによって、第2のネットワークの形成中に基板との高い反応性で抵抗値散布(CV)が高くなる現象が発生することを防止することができる。 According to the aspect of the present invention, the softening point (T 1 ) of the first glass precursor mixture may be 600 to 800 ° C., and the softening point (T 2 ) of the second glass precursor mixture may be set. It may be 500 to 700 ° C. In the case of the softening point of the first glass precursor mixture in the above range, the reactivity with the ruthenium-based composite oxide is improved, the first network can be formed more uniformly, and the partial crystal structure is formed during the heat treatment. Can have and is preferred. Further, in the case of the softening point of the second glass precursor mixture in the above range, the firing temperature is 800 to 900 ° C., and the formation of the second network intersecting with the first network is easy, and the lead-free thick film is formed. It is preferable that the surface uniformity of the low antibody is improved and the resistance value spraying is reduced, so that excellent electrical properties can be exhibited. The fact that the first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture have different softening points as described above can be adjusted depending on whether or not they have barium oxide, and the barium oxide can be adjusted. By not including the above in the second glass precursor mixture, it is possible to prevent the phenomenon that the resistance value spraying (CV) becomes high due to the high reactivity with the substrate during the formation of the second network.

本発明の一様態により、前記第1のガラス前駆体混合物の軟化点(T)と第2のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、T−Tが50〜150℃であってもよい。好ましくは、T−Tが80〜110℃であってもよい。前記のような軟化点の差を示す場合、焼成時に第1のネットワークと第2のネットワークの相互融合が発生せず、第1のネットワークと第2のネットワークが互いに交差する二重ネットワークを形成することができ、好ましい。 According to one aspect of the present invention, the first softening point of the glass precursor mixtures (T 1) and the softening point of the second glass precursor mixture (T 2) is, T 1 -T 2 at the 50 to 150 ° C. There may be. Preferably, T 1 -T 2 it may be 80 to 110 ° C.. When the difference in softening points as described above is shown, the mutual fusion of the first network and the second network does not occur at the time of firing, and the first network and the second network form a double network in which they intersect with each other. Can be preferred.

本明細書において、CuKα線を用いて得られるX線回折パターンは、常温、常圧でθ‐2θ法によって測定されたX線回折結果を含み、2゜/minの速度(scan rate)で測定されたX線回折結果を含む。 In the present specification, the X-ray diffraction pattern obtained by using CuKα rays includes the X-ray diffraction results measured by the θ-2θ method at normal temperature and pressure, and is measured at a speed (scan rate) of 2 ° / min. Includes the X-ray diffraction results obtained.

本発明の一様態により、前記鉛フリー厚膜低抗体は、CuKα線を用いたX線回折パターンで、2θ=27〜29゜と2θ=30〜32゜の領域の回折ピークが位置する。前記領域の回折ピークは、鉛フリー厚膜低抗体の二重ネットワークが形成されることによって示される回折ピークであって、前記回折ピークを有した鉛フリー厚膜低抗体が表面均一度および電気的特性に優れることを示すことができる。 According to the uniformity of the present invention, the lead-free thick film low antibody has diffraction peaks in the regions of 2θ = 27 to 29 ° and 2θ = 30 to 32 ° in an X-ray diffraction pattern using CuKα rays. The diffraction peak in the region is a diffraction peak indicated by the formation of a double network of lead-free thick film low antibody, and the lead-free thick film low antibody having the diffraction peak has surface uniformity and electrical. It can be shown that the characteristics are excellent.

図2に図示されているように、本発明の一実施例の鉛フリー厚膜低抗体は、基板上に形成した後、150℃で10分間乾燥した後、850℃で10分間焼成し、二重ネットワークを形成した。そのX線回折パターンを観察した時、2θ=28゜と2θ=30゜の領域で回折ピークが位置することを確認することができる。 As shown in FIG. 2, the lead-free thick film low antibody of one embodiment of the present invention was formed on a substrate, dried at 150 ° C. for 10 minutes, and then calcined at 850 ° C. for 10 minutes. Formed a heavy network. When observing the X-ray diffraction pattern, it can be confirmed that the diffraction peak is located in the regions of 2θ = 28 ° and 2θ = 30 °.

また、図3に図示されているように、本発明の一実施例の鉛フリー厚膜低抗体と一比較実施例の鉛フリー厚膜低抗体を比較するために基板上に形成した後、150℃、10分間乾燥した後、850℃、10分間焼成し、X線回折パターンを観察した。本発明の一実施例とは異なり、一比較実施例では、2θ=28゜と2θ=30゜の領域で回折ピークが位置しないことにより、本発明の鉛フリー厚膜低抗体の構成のように、第1のネットワークおよび第2のネットワークを互いに交差して連結された二重ネットワークが形成されないことを確認することができる。 Further, as shown in FIG. 3, after forming the lead-free thick film low antibody of one embodiment of the present invention on a substrate for comparison with the lead-free thick film low antibody of one comparative example, 150 After drying at ℃ for 10 minutes, it was calcined at 850 ° C. for 10 minutes, and the X-ray diffraction pattern was observed. Unlike one embodiment of the present invention, in one comparative embodiment, the diffraction peaks are not located in the regions of 2θ = 28 ° and 2θ = 30 °, as in the configuration of the lead-free thick film low antibody of the present invention. , It can be confirmed that the dual network in which the first network and the second network are crossed and connected to each other is not formed.

本発明の一様態により、前記鉛フリー厚膜低抗体は、CuKα線を用いたX線回折パターンで、下記式1を満たすピーク面積強度を有することができる。 According to the uniformity of the present invention, the lead-free thick film low antibody can have a peak area intensity satisfying the following formula 1 in an X-ray diffraction pattern using CuKα rays.

Figure 0006975246
Figure 0006975246

前記式1中、
前記A2θ0は、2θ=20〜36゜領域の全ての回折ピーク面積強度の和であり、
前記A2θ1は、2θ=27〜29゜領域の回折ピーク面積強度であり、
前記A2θ2は、2θ=30〜32゜領域の回折ピーク面積強度である。
In the above formula 1,
A 2θ0 is the sum of the intensity of all diffraction peak areas in the region of 2θ = 20 to 36 °.
A 2θ1 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 27 to 29 °.
The A 2θ2 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 30 to 32 °.

好ましくは、前記ピーク面積強度は

Figure 0006975246
を満たすことができる。 Preferably, the peak area intensity is
Figure 0006975246
Can be met.

本発明の前記鉛フリー厚膜低抗体が、前記式1を満たすピーク面積強度を有する場合、第1のネットワークおよび第2のネットワークが互いに交差して二重ネットワークが形成されたことを示すことができる。前記二重ネットワークの構造が形成されることによって鉛フリー厚膜低抗体の抵抗値散布、温度特性、電流雑音、過負荷特性および静電気防止特性をさらに向上させ、均一な表面を形成することができ、好ましい。 When the lead-free thick film low antibody of the present invention has a peak area intensity satisfying the above formula 1, it can be shown that the first network and the second network intersect each other to form a double network. can. By forming the double network structure, the resistance value spraying, temperature characteristics, current noise, overload characteristics and antistatic characteristics of the lead-free thick film low antibody can be further improved, and a uniform surface can be formed. ,preferable.

本発明の一様態により、前記鉛フリー厚膜低抗体は、CuKα線を用いたX線回折パターンで、下記式2を満たすピーク面積強度比を有することができる。 According to the uniformity of the present invention, the lead-free thick film low antibody can have a peak area intensity ratio satisfying the following formula 2 in an X-ray diffraction pattern using CuKα rays.

Figure 0006975246
Figure 0006975246

前記式2中、
前記A2θ1は、2θ=27〜29゜領域の回折ピーク面積強度であり、
前記A2θ2は、2θ=30〜32゜領域の回折ピーク面積強度である。
In the above formula 2,
A 2θ1 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 27 to 29 °.
The A 2θ2 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 30 to 32 °.

好ましくは、前記ピーク面積強度比は

Figure 0006975246
を満たすことができる。 Preferably, the peak area intensity ratio is
Figure 0006975246
Can be met.

本発明の前記鉛フリー厚膜低抗体が前記式2を満たすピーク面積強度比を有する場合、第1のネットワークおよび第2のネットワークとのさらに緻密で均一な二重ネットワークが形成されたことを示すことができる。前記緻密で均一な二重ネットワークの構造が形成されることによって、鉛フリー厚膜低抗体の抵抗値散布、温度特性、電流雑音、過負荷特性および静電気防止特性をさらに向上させ、均一な表面を形成することができ、好ましい。 When the lead-free thick film low antibody of the present invention has a peak area intensity ratio satisfying the above formula 2, it indicates that a denser and more uniform dual network with the first network and the second network was formed. be able to. By forming the structure of the dense and uniform dual network, the resistance value spraying, temperature characteristics, current noise, overload characteristics and antistatic characteristics of the lead-free thick film low antibody are further improved, and a uniform surface is obtained. It can be formed and is preferable.

図4に図示されているように、本発明の一実施例の鉛フリー厚膜低抗体は、焼成後に第2のネットワークを形成する前の過程のうち乾燥過程での結晶構造と焼成後の結晶構造を比較した時、焼成をするにつれて2θ=30〜32゜の領域で回折ピークの面積強度がさらに強く示されることにより、第2のネットワークがさらに緻密で均一に形成されることを確認することができる。これに対し、一比較実施例で製造された鉛フリー厚膜低抗体の場合、二重ネットワークが焼成後にも本発明の鉛フリー厚膜低抗体の構成のように第1のネットワークおよび第2のネットワークを互いに交差して連結された二重ネットワークが形成されないことを確認することができる。 As shown in FIG. 4, the lead-free thick film low antibody of one embodiment of the present invention has a crystal structure in the drying process and crystals after firing in the process before forming a second network after firing. When comparing the structures, it should be confirmed that the second network is formed more densely and uniformly by showing the area intensity of the diffraction peak more strongly in the region of 2θ = 30 to 32 ° as the firing is performed. Can be done. On the other hand, in the case of the lead-free thick film low antibody produced in one comparative example, the first network and the second network as in the configuration of the lead-free thick film low antibody of the present invention even after the double network is fired. It can be confirmed that a dual network in which the networks are crossed and connected to each other is not formed.

本発明の前記鉛フリー厚膜低抗体は、光学顕微鏡で観察し、1mm×1mm面積で粒径80μm以上、好ましくは粒径70μm以上の気泡の数が20個以下であってもよい。好ましくは、前記1mm×1mm面積で気泡の数が5個以下であってもよい。さらに好ましくは前記1mm×1mm面積で気泡の数が0個以下、すなわち気泡が存在しないことがある。前記のような気泡の数が少ないほど表面均一度に優れた鉛フリー厚膜低抗体が製造され、表面均一度に優れるほど抵抗値散布(CV)が減少し、安定した電気的特性を示すことができ、好ましい。本発明の前記鉛フリー厚膜低抗体は、実質的に図1に図示されているように気泡が全く発生しない表面均一度に優れた鉛フリー厚膜低抗体が製造され、抵抗値散布(CV)が低く、安定した電気的特性を有する鉛フリー厚膜低抗体である。 The lead-free thick film low antibody of the present invention may have 20 or less bubbles having a particle size of 80 μm or more, preferably 70 μm or more, in an area of 1 mm × 1 mm, as observed with an optical microscope. Preferably, the number of bubbles may be 5 or less in the 1 mm × 1 mm area. More preferably, the number of bubbles may be 0 or less in the 1 mm × 1 mm area, that is, no bubbles may exist. The smaller the number of bubbles as described above, the more lead-free thick film low antibody having excellent surface uniformity is produced, and the more excellent the surface uniformity, the smaller the resistance value spraying (CV), and the more stable electrical characteristics are exhibited. Is possible and preferable. As the lead-free thick film low antibody of the present invention, as shown in FIG. 1, a lead-free thick film low antibody having excellent surface uniformity in which no bubbles are substantially generated is produced, and resistance value spraying (CV) is produced. ) Is low, and it is a lead-free thick film low antibody having stable electrical properties.

本発明の一様態により、前記鉛フリー厚膜低抗体は、抵抗(Rs)値が10Ω/□〜10MΩ/□であり、抵抗値散布(CV)が5%以下であってもよい。 According to the uniformity of the present invention, the lead-free thick film low antibody may have a resistance (Rs) value of 10Ω / □ to 10MΩ / □ and a resistance value spraying (CV) of 5% or less.

さらに具体的には、前記鉛フリー厚膜低抗体は、抵抗(Rs)値が10Ω/□〜10MΩ/□であり、抵抗値散布(CV)が5%以下であり、温度特性(TCR)は、−100〜100ppm/℃であり、1/8W定格電力で測定された過負荷特性(STOL)は、0.15%以下であってもよい。 More specifically, the lead-free thick film low antibody has a resistance (Rs) value of 10Ω / □ to 10MΩ / □, a resistance value spraying (CV) of 5% or less, and a temperature characteristic (TCR). , -100 to 100 ppm / ° C., and the overload characteristic (STORL) measured at 1/8 W rated power may be 0.15% or less.

さらに好ましくは、前記鉛フリー厚膜低抗体は、抵抗(Rs)値が10Ω/□〜10MΩ/□であり、抵抗値散布(CV)が5%以下であり、温度特性(TCR)は、−70〜70ppm/℃であり、1/8W定格電力で測定された過負荷特性(STOL)は、0.1%以下であってもよい。前記の物性を満たす鉛フリー厚膜低抗体は、抵抗値安定性に優れ、平滑性および基板との接着力に優れるという利点がある。 More preferably, the lead-free thick film low antibody has a resistance (Rs) value of 10Ω / □ to 10MΩ / □, a resistance value spraying (CV) of 5% or less, and a temperature characteristic (TCR) of −. The overload characteristic (STORL) measured at 70 to 70 ppm / ° C. and 1/8 W rated power may be 0.1% or less. A lead-free thick film low antibody satisfying the above physical characteristics has advantages of excellent resistance value stability, smoothness, and excellent adhesion to a substrate.

本発明は、一様態により、電子部品に上述の前記鉛フリー厚膜低抗体を含むことができる。 According to the present invention, the electronic component can include the above-mentioned lead-free thick film low antibody.

本発明の一様態により、前記鉛フリー厚膜低抗体は電子部品として、単層または多層の回路基板、チップ抵抗器、アイソレータ素子、C‐R複合素子、モジュール素子、コンデンサまたはインダクタなどに適用され得る。 According to the uniformity of the present invention, the lead-free thick film low antibody is applied as an electronic component to a single-layer or multi-layer circuit board, a chip resistor, an isolator element, a CR composite element, a module element, a capacitor, an inductor, or the like. obtain.

以下、実施例により、本発明による鉛フリー厚膜低抗体およびこれを含む電子部品についてより詳細に説明する。ただし、下記実施例は、本発明を詳細に説明するための一つの参照であるだけであって、本発明はこれに限定されるものではなく、様々な形態に実現され得る。 Hereinafter, the lead-free thick film low antibody according to the present invention and the electronic component containing the lead-free thick film low antibody according to the present invention will be described in more detail by way of examples. However, the following examples are only one reference for explaining the present invention in detail, and the present invention is not limited to this, and can be realized in various forms.

また、他に定義されない限り、全ての技術的用語および科学的用語は、本発明が属する技術分野における当業者の一人によって一般的に理解される意味と同様の意味を有する。本願で説明に使用される用語は、単に特定の実施例を効果的に記述するためのものであって、本発明を制限することを意図しない。 Also, unless otherwise defined, all technical and scientific terms have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. The terms used in the description herein are solely for the purpose of effectively describing a particular embodiment and are not intended to limit the invention.

また、明細書において特に記載していない添加物の単位は重量%であってもよい。 Further, the unit of the additive not specifically described in the specification may be% by weight.

[物性測定方法]
1.抵抗値散布(CV、coefficient of variation)の評価
本発明の鉛フリー厚膜低抗体20個を作製し、マルチメータを用いてそれぞれの抵抗値を測定する。これらの値に対する平均値と標準偏差値を計算し、抵抗値の標準偏差を平均値で除して抵抗値散布(CV)を導出し、単位は百分率で示す。
[Physical characteristic measurement method]
1. 1. Evaluation of Coefficient of Variation (CV) Twenty lead-free thick-film low antibodies of the present invention are prepared, and their respective resistance values are measured using a multimeter. The mean and standard deviation values for these values are calculated, the standard deviation of the resistance values is divided by the mean value to derive the resistance value dispersion (CV), and the unit is expressed as a percentage.

2.抵抗値の温度特性(TCR、temperature coefficient of resistance)の評価
室温25℃を基準として、125℃の温度に変化させた時の抵抗値の変化率を確認することで評価した。具体的には、25℃、125℃でのそれぞれの抵抗値をR25、R125(Ω/□)で表現し、TCRを下記数学式によって導出しており、単位は、ppm/℃である。
2. 2. Evaluation of temperature coefficient of resistance (TCR) The evaluation was made by confirming the rate of change of the resistance value when the temperature was changed to 125 ° C. based on the room temperature of 25 ° C. Specifically, the resistance values at 25 ° C and 125 ° C are expressed by R 25 and R 125 (Ω / □), and the TCR is derived by the following mathematical formula, and the unit is ppm / ° C. ..

[数式]

Figure 0006975246
[Formula]
Figure 0006975246

3.短時間過負荷特性(STOL、short‐time overload)の評価
鉛フリー厚膜低抗体に試験電圧を5秒印加した後、30分間放置し、その前後での抵抗値の変化率を確認することで評価した。試験電圧は、定格電圧の2.5倍にした。定格電圧は

Figure 0006975246
とした。ここで、Rは、抵抗値(Ω/□)である。また、計算した試験電圧が200Vを超える抵抗値を有する低抗体に対しては、試験電圧を200Vで行った。 3. 3. Evaluation of short-time overload characteristics After applying a test voltage to a lead-free thick-film low antibody for 5 seconds, leave it for 30 minutes and check the rate of change in resistance before and after that. evaluated. The test voltage was 2.5 times the rated voltage. The rated voltage is
Figure 0006975246
And said. Here, R is a resistance value (Ω / □). Further, for a low antibody having a resistance value in which the calculated test voltage exceeds 200 V, the test voltage was 200 V.

4.静電気防止特性(ESD)の評価
焼成した鉛フリー厚膜低抗体にESDテスト装備(ELECTRO STATIC DISCHARGE SIMULATOR ESS‐066)を用いて1kVの電圧を数ナノsの速度で1秒オン(on)、1秒オフ(off)し、5回印加する。1kVの電圧を印加する前の抵抗値と電圧を印加した後の抵抗値の変化を計算した。
4. Evaluation of antistatic property (ESD) Using the ESD test equipment (ELECTRO STATIC DISCHARGE SIMULATOR ESS-066) on the fired lead-free thick film low antibody, a voltage of 1 kV was turned on at a speed of several nanos for 1 second (on), 1 Turn off for seconds and apply 5 times. The changes in the resistance value before applying the voltage of 1 kV and the resistance value after applying the voltage were calculated.

5.XRDにより結晶構造を確認
鉛フリー厚膜低抗体をXRD測定装備のRigaku社製「X‐ray diffraction Ultima IV」を使用して試料板上に水平になるように載置した後、下記条件で2θ値を10゜から80゜まで測定した。測定条件は、管電圧:40kV、管電流:40mA、X線:CuKα(波長λ=1.541Å)にした。X線回折測定によって回折ピークが確認された。
5. Crystal structure confirmed by XRD After placing the lead-free thick film low antibody horizontally on the sample plate using "X-ray diffraction Ultratima IV" manufactured by Rigaku equipped with XRD measurement equipment, 2θ under the following conditions. Values were measured from 10 ° to 80 °. The measurement conditions were tube voltage: 40 kV, tube current: 40 mA, and X-ray: CuKα (wavelength λ = 1.541 Å). A diffraction peak was confirmed by X-ray diffraction measurement.

6.光学顕微鏡により鉛フリー厚膜低抗体の表面均一度を確認
鉛フリー厚膜低抗体を光学顕微鏡を使用して倍率×50、×100、×500で表面に形成された低抗体の気泡の数を定量的に評価した。
6. Confirm the surface uniformity of lead-free thick-film low antibody with an optical microscope Use an optical microscope to determine the number of low-antibody bubbles formed on the surface at magnifications of x50, x100, and x500. It was evaluated quantitatively.

[実施例1‐24および比較例1‐9]
1)第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末の製造
下記表1に記載の第1のガラス前駆体混合物または第2のガラス前駆体混合物の組成を含んで下記表2に記載しているような含量(g)の組成になるようにルテニウム系複合酸化物と第1のガラス前駆体混合物または第2のガラス前駆体混合物を計量し、ボールミルで2時間混合した。また、800℃で30分間熱処理した後に得られた焼結体を粉砕機を用いて12時間粉砕し、最終粉末の平均粒径が1.5μmである第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末を製造した。
[Examples 1-24 and Comparative Examples 1-9]
1) Production of Conductive Composite Powder with First Network Formed The composition of the first glass precursor mixture or the second glass precursor mixture shown in Table 1 below is shown in Table 2 below. The ruthenium-based composite oxide and the first glass precursor mixture or the second glass precursor mixture were weighed so as to have a composition having such a content (g), and mixed in a ball mill for 2 hours. Further, the sintered body obtained after heat treatment at 800 ° C. for 30 minutes was pulverized for 12 hours using a pulverizer, and a conductive composite having a first network having an average particle size of 1.5 μm of the final powder was formed. The powder was produced.

2)鉛フリー厚膜抵抗組成物の製造
下記表3に実施例および比較例に記載されたような組成および含量(g)に応じて混合し、有機バインダーであるエチルセルロース樹脂12重量%およびBCA(Butyl Carbitol Acetate)3:TPNL(Terpineol)16重量比である有機溶媒88重量%から構成された有機ビヒクルを使用しており、添加剤としては分散剤(BYK‐111)を使用した。上記の組成物をP/Lミキサを用いて2時間撹拌した後、3本ロールミルを用いて解除5回、圧迫5回にわたり分散させた。得られたペースト状の鉛フリー厚膜抵抗組成物を65℃で24時間エージングし、追加の有機溶媒TPNL(テルピネオール)を用いて粘度を調整した後、濾過工程により作製した。
2) Production of lead-free thick film resistance composition 12% by weight of ethyl cellulose resin as an organic binder and BCA (BCA) are mixed according to the composition and content (g) as shown in Examples and Comparative Examples in Table 3 below. Butyl Carbitol Acetate) 3: An organic vehicle composed of 88% by weight of an organic solvent having a TPNL (Terpineol) 16 weight ratio was used, and a dispersant (BYK-111) was used as an additive. The above composition was stirred with a P / L mixer for 2 hours and then dispersed 5 times with a 3-roll mill and 5 times with compression. The obtained paste-like lead-free thick film resistance composition was aged at 65 ° C. for 24 hours, the viscosity was adjusted with an additional organic solvent TPNL (terpineol), and then the mixture was prepared by a filtration step.

3)鉛フリー厚膜低抗体の製造
96%純度のアルミナ基板上にAg‐Pd導体ペーストをU‐patternでスクリーン印刷し、150℃で10分乾燥させた。Agは、95重量%およびPdは、5重量%であった。前記乾燥した試験片を850℃で10分間焼成した。導体が形成されたアルミナ基板上に実施例による鉛フリー厚膜抵抗組成物を1mm×1mmの所定の形状にスクリーン印刷し、150℃で10分間乾燥させた後、850℃で10分間焼成し、厚さ8.5μmの鉛フリー厚膜低抗体を製造した。
3) Production of lead-free thick film low antibody Ag-Pd conductor paste was screen-printed on a 96% pure alumina substrate with U-pattern and dried at 150 ° C. for 10 minutes. Ag was 95% by weight and Pd was 5% by weight. The dried test piece was calcined at 850 ° C. for 10 minutes. The lead-free thick film resistance composition according to the embodiment was screen-printed on an alumina substrate on which a conductor was formed into a predetermined shape of 1 mm × 1 mm, dried at 150 ° C. for 10 minutes, and then fired at 850 ° C. for 10 minutes. A lead-free thick film low antibody having a thickness of 8.5 μm was produced.

Figure 0006975246
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前記表4に示したように、本発明の鉛フリー厚膜低抗体は、広い抵抗値の範囲で温度特性、過負荷特性および静電気防止特性に著しく優れることを確認した。また、表面均一度に優れ、抵抗値散布(CV)が低くて均一で緻密な低抗体が製造されたことを確認した。 As shown in Table 4, it was confirmed that the lead-free thick film low antibody of the present invention is remarkably excellent in temperature characteristics, overload characteristics and antistatic characteristics in a wide range of resistance values. It was also confirmed that a uniform and dense low antibody with excellent surface uniformity and low resistance spraying (CV) was produced.

さらに、本発明の実施例により製造された鉛フリー厚膜低抗体は、比較例により製造された鉛フリー厚膜低抗体に比べ、低い電流雑音を有することを確認した。 Furthermore, it was confirmed that the lead-free thick film low antibody produced according to the examples of the present invention had a lower current noise than the lead-free thick film low antibody produced according to the comparative example.

図5に図示されているように、第2のネットワークは、連続相に暗い形状で示し、第1のネットワークは、前記連続相内に分散相により明るい形状で示すことにより、前記連続相内に分散相が二重ネットワーク構造が形成される網状構造を形成したことを確認した。前記のように二重ネットワークを有する本発明の鉛フリー厚膜低抗体は、表面の均一度がさらに向上し、抵抗値散布(CV)および電気的特性が向上することを確認した。 As illustrated in FIG. 5, the second network is shown in the continuous phase in a darker shape, and the first network is shown in the continuous phase in a brighter shape than the dispersed phase. It was confirmed that the dispersed phase formed a network structure in which a double network structure was formed. It was confirmed that the lead-free thick film low antibody of the present invention having the dual network as described above further improved the surface uniformity, and improved the resistance value spraying (CV) and the electrical characteristics.

前記比較例1〜8の場合、第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末を含まず、ルテニウム系複合酸化物を含むことによって、二重ネットワークを形成することができず、ルテニウム系複合酸化物が分解されて、図1に図示されているように、鉛フリー厚膜低抗体のムラのある表面を有することで、抵抗値安定性が著しく減少し、温度特性の物性が低下することを確認した。また、比較例9の場合、第1のネットワークが形成された伝導性複合粉末のみを適用して鉛フリー厚膜低抗体を製造することで、基板に形成する時に流動性が低下し、低抗体の表面の均一度が著しく低下し、基板との接着力が著しく減少して製造安定性が低下することを確認した。 In the case of Comparative Examples 1 to 8, the conductive composite powder in which the first network was formed was not contained, and the ruthenium-based composite oxide could not be formed by containing the ruthenium-based composite oxide, so that the ruthenium-based composite oxidation could not be formed. As shown in FIG. 1, when the substance is decomposed and has an uneven surface of the lead-free thick film low antibody, the resistance value stability is remarkably reduced and the physical properties of the temperature characteristics are lowered. confirmed. Further, in the case of Comparative Example 9, by producing a lead-free thick film low antibody by applying only the conductive composite powder in which the first network was formed, the fluidity is lowered when the lead-free thick film low antibody is formed, and the low antibody is formed. It was confirmed that the uniformity of the surface of the surface was significantly reduced, the adhesive force with the substrate was significantly reduced, and the manufacturing stability was lowered.

以上のように本発明では特定された事項と限定された実施例により、鉛フリー厚膜低抗体およびこれを含む電子部品について説明したが、これは、本発明のより全般的な理解を容易にするために提供されたものであって、本発明は、前記の実施例に限定されるものではなく、本発明が属する分野において通常の知識を有する者であれば、かかる記載から様々な修正および変形が可能である。 As described above, the lead-free thick film low antibody and the electronic component containing the lead-free thick film low antibody have been described by the matters specified in the present invention and limited examples, which facilitates a more general understanding of the present invention. The present invention is not limited to the above-described embodiment, and any person who has ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs can make various modifications and modifications from the above description. It can be transformed.

したがって、本発明の思想は、上述の実施例に限定して定まってはならず、後述する特許請求の範囲だけでなく、この特許請求の範囲と均等または等価的な変形がある全てのものなどは、本発明の思想の範疇に属すると言える。
Therefore, the idea of the present invention should not be limited to the above-described embodiment, and not only the scope of claims described later, but also anything having a modification equal to or equivalent to the scope of claims, etc. Can be said to belong to the category of the idea of the present invention.

Claims (13)

シリコン酸化物と、バリウム酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第1のガラス前駆体混合物およびルテニウム系複合酸化物から誘導された第1のネットワークと、
シリコン酸化物と、ホウ素酸化物と、アルミニウム酸化物とを含む第2のガラス前駆体混合物から誘導された第2のネットワークとを含み、
前記第1のネットワークおよび第2のネットワークは、互いに交差して形成されることを特徴とする、鉛フリー厚膜低抗体。
A first network derived from a first glass precursor mixture containing a silicon oxide, a barium oxide, a boron oxide, and an aluminum oxide and a ruthenium-based composite oxide.
It comprises a second network derived from a second glass precursor mixture containing silicon oxide, boron oxide and aluminum oxide.
A lead-free thick film low antibody, wherein the first network and the second network are formed so as to intersect each other.
前記第2のネットワークは、連続相を形成し、第1のネットワークは、前記連続相内に分散相を形成し、前記分散相は架橋構造を形成する、請求項1に記載の鉛フリー厚膜低抗体。 The lead-free thick film according to claim 1, wherein the second network forms a continuous phase, the first network forms a dispersed phase in the continuous phase, and the dispersed phase forms a crosslinked structure. Low antibody. 前記第1のガラス前駆体混合物および第2のガラス前駆体混合物は、遷移金属酸化物、アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物から選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物をさらに含む、請求項1に記載の鉛フリー厚膜低抗体。 The first glass precursor mixture and the second glass precursor mixture are further mixed with any one or more selected from transition metal oxides, alkali metal oxides and alkaline earth metal oxides. The lead-free thick film low antibody according to claim 1. 前記遷移金属酸化物は、Nb、Ta、TiO、MnO、CuO、ZrO、WOおよびZnOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であり、
前記アルカリ金属酸化物は、NaO、KOおよびLiOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物であり、
前記アルカリ土類金属酸化物は、SrO、CaOおよびMgOから選択されるいずれか一つまたは二つ以上の混合物である、請求項3に記載の鉛フリー厚膜低抗体。
The transition metal oxide is one or a mixture of two or more selected from Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , TiO 2 , MnO 2 , CuO, ZrO 2 , WO 3 and ZnO.
The alkali metal oxide is any one or a mixture of two or more selected from Na 2 O, K 2 O and Li 2 O.
The lead-free thick film low antibody according to claim 3, wherein the alkaline earth metal oxide is a mixture of any one or more selected from SrO, CaO and MgO.
前記第1のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、600〜800℃であり、前記第2のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、500〜700℃であることを特徴とする、請求項1に記載の鉛フリー厚膜低抗体。 The softening point (T 1 ) of the first glass precursor mixture is 600 to 800 ° C., and the softening point (T 2 ) of the second glass precursor mixture is 500 to 700 ° C. The lead-free thick film low antibody according to claim 1. 前記第1のガラス前駆体混合物の軟化点(T)と第2のガラス前駆体混合物の軟化点(T)は、T−Tが50〜150℃であることを特徴とする、請求項5に記載の鉛フリー厚膜低抗体。 Softening point of the first glass precursor mixture (T 1) and the softening point of the second glass precursor mixture (T 2) is characterized by T 1 -T 2 is 50 to 150 ° C., The lead-free thick film low antibody according to claim 5. CuKα線を用いたX線回折パターンで、2θ=27〜29゜と2θ=30〜32゜の領域の回折ピークが位置する、請求項1に記載の鉛フリー厚膜低抗体。 The lead-free thick film low antibody according to claim 1, wherein the diffraction peaks in the regions of 2θ = 27 to 29 ° and 2θ = 30 to 32 ° are located in an X-ray diffraction pattern using CuKα rays. CuKα線を用いたX線回折パターンで、下記式1を満たすピーク面積強度を有する、請求項7に記載の鉛フリー厚膜低抗体。
Figure 0006975246
前記式1中、
前記A2θ0は、2θ=20〜36゜領域の全ての回折ピーク面積強度の和であり、
前記A2θ1は、2θ=27〜29゜領域の回折ピーク面積強度であり、
前記A2θ2は、2θ=30〜32゜領域の回折ピーク面積強度である。
The lead-free thick film low antibody according to claim 7, which has a peak area intensity satisfying the following formula 1 in an X-ray diffraction pattern using CuKα rays.
Figure 0006975246
In the above formula 1,
A 2θ0 is the sum of the intensity of all diffraction peak areas in the region of 2θ = 20 to 36 °.
A 2θ1 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 27 to 29 °.
The A 2θ2 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 30 to 32 °.
CuKα線を用いたX線回折パターンで、下記式2を満たすピーク面積強度比を有する、請求項8に記載の鉛フリー厚膜低抗体。
Figure 0006975246
前記式2中、
前記A2θ1は、2θ=27〜29゜領域の回折ピーク面積強度であり、
前記A2θ2は、2θ=30〜32゜領域の回折ピーク面積強度である。
The lead-free thick film low antibody according to claim 8, which has a peak area intensity ratio satisfying the following formula 2 in an X-ray diffraction pattern using CuKα rays.
Figure 0006975246
In the above formula 2,
A 2θ1 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 27 to 29 °.
The A 2θ2 is the diffraction peak area intensity in the region of 2θ = 30 to 32 °.
抵抗(Rs)値が10Ω/□〜10MΩ/□であり、抵抗値散布(CV)が5%以下である、請求項1に記載の鉛フリー厚膜低抗体。 The lead-free thick film low antibody according to claim 1, wherein the resistance (Rs) value is 10Ω / □ to 10MΩ / □, and the resistance value spraying (CV) is 5% or less. 1mm×1mm面積で粒径80μm以上の気泡の数が20個以下である、請求項1に記載の鉛フリー厚膜低抗体。 The lead-free thick film low antibody according to claim 1, wherein the number of bubbles having a particle size of 80 μm or more is 20 or less in an area of 1 mm × 1 mm. 請求項1から11のいずれか一項に記載の鉛フリー厚膜低抗体を含む、電子部品。 An electronic component comprising the lead-free thick film low antibody according to any one of claims 1 to 11. 回路基板、チップ抵抗器、アイソレータ素子、C‐R複合素子、モジュール素子、コンデンサまたはインダクタである、請求項12に記載の電子部品。 The electronic component according to claim 12, which is a circuit board, a chip resistor, an isolator element, a CR composite element, a module element, a capacitor or an inductor.
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