JP6970239B2 - レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、レジスト組成物及び該レジスト組成物を用いるレジストパターンの製造方法
等に関する。

特許文献１には、下記化合物の合成方法が記載されている。

特許文献２には、下記化合物のみが露光により重合する熱硬化性レジスト組成物が記載
されている。

特開２００８−２１４６０４号公報 特開２００５−１５４３０４号公報

上記の化合物を使用したレジスト組成物では、解像度が必ずしも満足できない場合があ
った。

本発明は、以下の発明を含む。
〔１〕式（Ｉａ）で表される基を有する化合物に由来する構造単位を含む樹脂及び酸発
生剤を含有するレジスト組成物。

［式（Ｉａ）中、
Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立に、酸不安定基を有する基を表す。
Ｗは、置換基を有していてもよい炭素数５〜１８の脂環式炭化水素基を表す。
＊は、結合手を表す。］
〔２〕前記置換基を有していてもよい炭素数５〜１８の脂環式炭化水素基は、Ｒ¹−Ｏ
−ＣＯ−、Ｒ²−Ｏ−ＣＯ−及び結合手＊と結合する基以外の置換基を有さない脂環式炭
化水素基である〔１〕に記載のレジスト組成物。
〔３〕Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立に、下記の基（Ｒ−１）又は基（Ｒ−２）である〔
１〕又は〔２〕記載のレジスト組成物。

［式（Ｒ−１）中、
Ｒ^ar1、Ｒ^ar2及びＲ^ar3は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜
２０の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ｒ^ar1及びＲ^ar2は互いに
結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の脂環式炭化水素基を
形成する。
Ｒ^ar4は、単結合又は炭素数１〜８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に
含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
＊は、結合手を表す。］

［式（Ｒ−２）中、
Ｒ^ar1’及びＲ^ar2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素基を
表し、Ｒ^ar3’は、炭素数１〜２０の炭化水素基を表すか、Ｒ^ar2’及びＲ^ar3’は互いに
結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の複素環を形成し、該
炭化水素基及び該２価の複素環に含まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−又は−Ｓ−で置き換わっ
てもよい。
Ｒ^ar4’は、単結合又は炭素数１〜８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基
に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
Ｘ^arは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合手を表す。］
〔４〕Ｒ¹及びＲ²は、基（Ｒ−１）である〔３〕記載のレジスト組成物。
〔５〕Ｗが、シクロヘキサントリイル基、アダマンタントリイル基又はノルボルナント
リイル基である〔１〕〜〔４〕のいずれかに記載のレジスト組成物。
〔６〕式（Ｉａ）で表される基を有する化合物が、式（Ｉ）で表される化合物である〔
１〕〜〔５〕のいずれか記載のレジスト組成物。

［式（Ｉ）中、
Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立に、酸不安定基を有する基を表す。
Ｗは、置換基を有していてもよい炭素数５〜１８の脂環式炭化水素基を表す。
Ｒ³は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基、水素原子又はハロゲ
ン原子を表す。
Ａ¹は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表し
、該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わって
いてもよい。
＊は、結合手を表す。］
〔７〕（１）〔１〕〜〔６〕のいずれか記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程
、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程
を含むレジストパターンの製造方法。

本発明の化合物を使用したレジスト組成物を用いることにより、良好な解像度でレジス
トパターンを製造することができる。

本明細書では、特に断りのない限り、化合物の構造式の説明において「脂肪族炭化水素
基」は直鎖状又は分岐状の炭化水素基を意味し、「脂環式炭化水素基」は脂環式炭化水素
の環から価数に相当する数の水素原子を取り去った基を意味する。「芳香族炭化水素基」
は芳香環に炭化水素基が結合した基をも包含する。立体異性体が存在する場合は、全ての
立体異性体を包含する。
本明細書において、「（メタ）アクリル系モノマー」とは、「ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ−」
又は「ＣＨ₂＝Ｃ（ＣＨ₃）−ＣＯ−」の構造を有するモノマーの少なくとも１種を意味す
る。同様に「（メタ）アクリレート」とは、それぞれ「アクリレート及びメタクリレート
の少なくとも一種」を意味する。「（メタ）アクリル酸」や「（メタ）アクリロイル」等
の表記も、同様の意味を有する。また、本明細書中に記載する基において、直鎖構造と分
岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。

〈レジスト組成物〉
本発明のレジスト組成物は、
樹脂（以下「樹脂（Ａ）」という場合がある）及び、
酸発生剤（以下「酸発生剤（Ｂ）」という場合がある）を含有する。
本発明のレジスト組成物は、さらに、溶剤（以下「溶剤（Ｅ）」という場合がある）を
含有していることが好ましい。
本発明のレジスト組成物は、さらに、クエンチャー（以下「クエンチャー（Ｃ）」とい
う場合がある）を含有していることが好ましい。
本発明のレジスト組成物は、さらに、弱酸分子内塩（以下「弱酸分子内塩（Ｄ）」とい
う場合がある）等の酸性度の弱い塩を含有していることが好ましい。

〈樹脂（Ａ）〉
樹脂（Ａ）は、式（Ｉａ）で表される基を有する化合物に由来する構造単位（以下「構
造単位（Ｉａ）」という場合がある）を含有する。

＜構造単位（Ｉａ）＞
本発明において、樹脂（Ａ）は、構造単位（Ｉａ）を有する。

［式（Ｉａ）中、
Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立に、酸不安定基を有する基を表す。
Ｗは、置換基を有していてもよい炭素数５〜１８の脂環式炭化水素基を表す。
＊は、結合手を表す。］

Ｒ¹及びＲ²の酸不安定基は、脱離基を有し、酸との接触により脱離基が脱離して、親水
性基（例えば、ヒドロキシ基又はカルボキシ基）を形成する基を意味する。

Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立に、下記の基（Ｒ−１）又は基（Ｒ−２）を含むことが好
ましい。

［式（Ｒ−１）中、
Ｒ^ar1〜Ｒ^ar3は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜２０の脂環
式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ｒ^ar1及びＲ^ar2は互いに結合してそ
れらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の脂環式炭化水素基を形成する。
Ｒ^ar4は、単結合又は炭素数１〜８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に
含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
＊は、結合手を表す。］

［式（Ｒ−２）中、
Ｒ^ar1’及びＲ^ar2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素基を
表し、Ｒ^ar3’は、炭素数１〜２０の炭化水素基を表すか、Ｒ^ar2’及びＲ^ar3’は互いに
結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の脂環式炭化水素基を
形成し、該炭化水素基及び該２価の脂環式炭化水素基に含まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−又
は−Ｓ−で置き換わってもよい。
Ｒ^ar4’は、単結合又は炭素数１〜８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基
に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
Ｘ^arは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合手を表す。］

Ｒ^ar1〜Ｒ^ar3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ−ブチル基
、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基等が挙げられる。
Ｒ^ar1〜Ｒ^ar3の脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環
式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロ
ヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化
水素基としては、例えば、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び
下記の基（＊は結合手を表す。）等が挙げられる。Ｒ^ar1〜Ｒ^ar3の脂環式炭化水素基は、
好ましくは炭素数３〜１６である。

アルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基としては、例えば、メチルシクロヘ
キシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、アダマンチルメチル基等
が挙げられる。
ｎａは、好ましくは０である。

Ｒ^ar1及びＲ^ar2が互いに結合して２価の脂環式炭化水素基を形成する場合の−Ｃ（Ｒ^ar
1）（Ｒ^ar2）（Ｒ^ar3）としては、例えば、下記の基が挙げられる。２価の脂環式炭化水
素基は、好ましくは炭素数３〜１２である。＊は−Ｏ−との結合手を表す。

式（Ｒ−１）で表される基としては、例えば、１，１−ジアルキルアルコキシカルボニ
ル基（式（Ｒ−１）中においてＲ^ar1〜Ｒ^ar3がアルキル基である基、好ましくはｔｅｒｔ
−ブトキシカルボニル基）、２−アルキルアダマンタン−２−イルオキシカルボニル基（
式（Ｒ−１）中、Ｒ^ar1、Ｒ^ar2及びこれらが結合する炭素原子がアダマンチル基を形成し
、Ｒ^ar3がアルキル基である基）及び１−（アダマンタン−１−イル）−１−アルキルア
ルコキシカルボニル基（式（Ｒ−１）中、Ｒ^ar1及びＲ^ar2がアルキル基であり、Ｒ^ar3が
アダマンチル基である基）等が挙げられる。

Ｒ^ar1'〜Ｒ^ar3'の炭化水素基としては、例えば、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香
族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
Ｒ^ar4’は、単結合又は炭素数１〜８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基
に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
アルキル基及び脂環式炭化水素基は、上記と同様のものが挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ−メチルフェ
ニル基、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル基、ｐ−アダマンチルフェニル基、トリル基、キ
シリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６−ジエチ
ルフェニル基、２−メチル−６−エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。

Ｒ^ar2'及びＲ^ar3'が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸとともに形成する
２価の複素環基としては、下記の基が挙げられる。＊は結合手を表す。

Ｒ^ar1'及びＲ^ar2'のうち、少なくとも１つは水素原子であることが好ましい。

式（Ｒ−２）で表される基の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合手を表
す。

なかでも、Ｒ¹及びＲ²の酸不安定基を有する基としては、酸不安定基である下記の基（
１）及び／又は基（２）を含む基などが好ましい。

［式（１）中、Ｒ^a1〜Ｒ^a3は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３
〜２０の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ｒ^a1及びＲ^a2は互いに
結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の脂環式炭化水素基を
形成する。
ｎａは、０又は１を表す。
＊は結合手を表す。］

［式（２）中、Ｒ^a1’及びＲ^a2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜１２の
炭化水素基を表し、Ｒ^a3’は、炭素数１〜２０の炭化水素基を表すか、Ｒ^a2’及びＲ^a3’
は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の脂環式炭化
水素基を形成し、該炭化水素基及び該２価の脂環式炭化水素基に含まれる−ＣＨ₂−は、
−Ｏ−又は−Ｓ−で置き換わってもよい。
Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合手を表す。］
式（１）において、ｎａが１の場合、結合手＊は炭素数１〜６のアルカンジイル基を介
して構造単位（Ｉａ）の酸素原子と結合することが好ましい。当該アルカンジイル基に含
まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。

Ｒ^a1〜Ｒ^a3としては、上述したＲ^ar1〜Ｒ^ar3と同じものが挙げられる。
Ｒ^a1’〜Ｒ^a3’としては、上述したＲ^ar1’〜Ｒ^ar3’と同じものが挙げられる。
Ｘ^aとしては、上述したＸ^arと同じものが挙げられる。

Ｗの炭素数５〜１８の脂環式炭化水素基としては、シクロペンタントリイル基、シクロ
ヘキサントリイル基、アダマンタントリイル基、ノルボルナントリイル基等が挙げられる
。なかでも、シクロヘキサントリイル基、アダマンタントリイル基が好ましく、シクロヘ
キサントリイル基がより好ましい。

Ｗの脂環式炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、炭素数１〜１２のアルキル基
、炭素数３〜１６の１価の脂環式炭化水素基、炭素数１〜１２のアルコキシ基、炭素数６
〜１８の１価の芳香族炭化水素基、炭素数７〜２１のアラルキル基、炭素数２〜４のアシ
ル基等が挙げられる。

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられ
る。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブ
チル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基及びｎ−ヘキシル基等
が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化
水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シ
クロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては
、例えば、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は
結合手を表す。）等が挙げられる。

アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチ
ルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基
及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
１価の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ−メチ
ルフェニル基、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル基、ｐ−アダマンチルフェニル基；トリル
基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６−
ジエチルフェニル基、２−メチル−６−エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる
。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメ
チル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アシル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ
る。
Ｗの脂環式炭化水素基は、Ｒ¹−Ｏ−ＣＯ−、Ｒ²−Ｏ−ＣＯ−及び結合手＊と結合する
基以外の置換基を有さない脂環式炭化水素基であることが好ましい。

構造単位（Ｉａ）を有する樹脂の主鎖構造としては、下記の式（Ｉａ１）で表される基
が好ましい。

［式（Ｉａ１）中、
Ｒ³は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基、水素原子又はハロゲ
ン原子を表す。
Ａ¹は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表し
、該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わって
いてもよい。
Ｘは、酸素原子又はＮＨ基を表す。
＊は式（Ｉａ）で表される基との結合手を表す。］

式（Ｉａ１）で表される基の具体例としては、以下で表される構造などが挙げられる。
（ｔは１〜６の整数を表す。）

なかでも、式（Ｉａ）で表される基を有する化合物としては、式（Ｉ）で表される化合
物であることが好ましい。

［式（Ｉ）中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ³、Ｗ及びＡ¹は、上記と同じ意味を表す。］

Ｒ³のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、
ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基及びｎ−ヘキシ
ル基等が挙げられ、好ましくは、炭素数１〜４のアルキル基であり、より好ましくは、メ
チル基及びエチル基である。
Ｒ³のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げ
られる。
Ｒ³のハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオ
ロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチ
ル基、ペルフルオロｓｅｃ−ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ−ブチル基、ペルフルオロ
ペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルクロロメチル基、ペルブロモメチル基及びペ
ルヨードメチル基等が挙げられる。
Ｒ³は、水素原子又はメチル基であることが好ましい。

Ａ¹の炭素数１〜１０の飽和炭化水素基は、アルカンジイル基又は２価の脂環式炭化水
素基であり、該アルカンジイル基又は該脂環式炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素
原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、
ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基及びヘキサン−１，６−ジイル
基等の直鎖状アルカンジイル基、並びに当該直鎖状アルカンジイル基に、アルキル基（特
に、炭素数１〜４のアルキル基、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブ
チル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基等）の側鎖を有したもの、エタン−１，
１−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、ブタン−１，３−ジイル基、２−メチルプ
ロパン−１，３−ジイル基、２−メチルプロパン−１，２−ジイル基、ペンタン−１，４
−ジイル基及び２−メチルブタン−１，４−ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げ
られる。

脂環式炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基、シクロヘキサンジイル基、アダ
マンタンジイル基、ノルボルナンジイル基等が挙げられる。なかでも、シクロヘキサンジ
イル基及びアダマンタンジイル基が好ましく、アダマンタンジイル基がより好ましい。

アルカンジイル基に含まれるメチレン基が酸素原子又はカルボニル基に置き換わった基
としては、例えば、^＊−Ａ²−Ｘ¹−（Ａ³−Ｘ²）_a−などが挙げられる。Ａ²及びＡ³は、
それぞれ独立に、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表し、Ｘ¹及びＸ²は、それぞれ独立
に、−Ｏ−、−ＣＯ−Ｏ−又は−Ｏ−ＣＯ−を表し、ａは、０又は１を表す。＊は、酸素
原子との結合手を表す。

^＊−Ａ²−Ｘ¹−（Ａ³−Ｘ²）_a−としては、^＊−Ａ²−Ｏ−、^＊−Ａ²−ＣＯ−Ｏ−、^＊
−Ａ²−Ｏ−ＣＯ−、^＊−Ａ²−ＣＯ−Ｏ−Ａ³−ＣＯ−Ｏ−、^＊−Ａ²−Ｏ−ＣＯ−Ａ³−
Ｏ−、^＊−Ａ²−Ｏ−Ａ³−ＣＯ−Ｏ−、^＊−Ａ²−ＣＯ−Ｏ−Ａ³−Ｏ−ＣＯ−、^＊−Ａ²
−Ｏ−ＣＯ−Ａ³−Ｏ−ＣＯ−、が挙げられる。なかでも、^＊−Ａ²−Ｏ−、^＊−Ａ²−Ｃ
Ｏ−Ｏ−、^＊−Ａ²−ＣＯ−Ｏ−Ａ³−ＣＯ−Ｏ−又は^＊−Ａ²−Ｏ−Ａ³−ＣＯ−Ｏ−が好
ましい。

Ａ¹は、単結合、^＊−Ａ²−ＣＯ−Ｏ−又は^＊−Ａ²−Ｏ−ＣＯ−であることが好ましく
、単結合、^＊−ＣＨ₂−ＣＯ−Ｏ−又は^＊−ＣＨ₂−ＣＨ₂−Ｏ−ＣＯ−であることがより
好ましく、単結合又は^＊−ＣＨ₂−ＣＨ₂−Ｏ−ＣＯ−であることがさらに好ましく、^＊−
ＣＨ₂−ＣＨ₂−Ｏ−ＣＯ−であることが特に好ましい。

式（Ｉ）で表されるモノマーとしては、以下のものが挙げられる。

式（Ｉ−１）〜式（Ｉ−２８）でそれぞれ表される化合物において、Ｒ³に相当するメ
チル基が水素原子で置き換わった化合物も、式（Ｉ）で表されるモノマーの具体例として
挙げることができる。

式（Ｉ）で表される化合物は、市場より容易に入手することができる。

樹脂（Ａ）中の構造単位（Ｉａ）の含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１〜
１００モル％が好ましく、５〜８０モル％がより好ましく、１０〜６０モル％がさらに好
ましい。

樹脂（Ａ）は、構造単位（Ｉａ）以外に、酸不安定基を有する構造単位（以下「構造単
位（ａ１）」という場合がある）を有することが好ましい。構造単位（ａ１）は、酸不安
定基を有するモノマー（以下「モノマー（ａ１）」という場合がある）から導かれる。樹
脂（Ａ）は、さらに、構造単位（ａ１）以外の構造単位を含んでいることが好ましい。構
造単位（ａ１）以外の構造単位としては、酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単
位（ｓ）」という場合がある）及びその他の構造単位（ｔ）が挙げられる。

＜構造単位（ａ１）＞
構造単位（ａ１）は、酸不安定基を有するモノマー（ａ１）から導かれる。
樹脂（Ａ）において、構造単位（ａ１）に含まれる酸不安定基は、上述の基（１）及び
／又は基（２）が好ましい。

モノマー（ａ１）は、好ましくは、酸不安定基とエチレン性不飽和結合とを有するモノ
マー、より好ましくは酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーである。

酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーのうち、好ましくは、炭素数５〜２０
の脂環式炭化水素基を有するものが挙げられる。脂環式炭化水素基のような嵩高い構造を
有するモノマー（ａ１）に由来する構造単位を有する樹脂（Ａ）をレジスト組成物に使用
すれば、レジストパターンの解像度を向上させることができる。

式（１）で表される基を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位として
、好ましくは、式（ａ１−０）で表される構造単位、式（ａ１−１）で表される構造単位
又は式（ａ１−２）で表される構造単位が挙げられる。これらは単独で使用してもよく、
２種以上を併用してもよい。本明細書では、式（ａ１−０）で表される構造単位、式（ａ
１−１）で表される構造単位及び式（ａ１−２）で表される構造単位を、それぞれ構造単
位（ａ１−０）、構造単位（ａ１−１）及び構造単位（ａ１−２）と、構造単位（ａ１−
０）を誘導するモノマー、構造単位（ａ１−１）を誘導するモノマー及び構造単位（ａ１
−２）を誘導するモノマーを、それぞれモノマー（ａ１−０）、モノマー（ａ１−１）及
びモノマー（ａ１−２）という場合がある。

［式（ａ１−０）中、
Ｌ^a01は、酸素原子又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k01−ＣＯ−Ｏ−を表し、ｋ０１は１〜７の
整数を表し、＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｒ^a01は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a02、Ｒ^a03及びＲ^a04は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜
１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。］

［式（ａ１−１）及び式（ａ１−２）中、
Ｌ^a1及びＬ^a2は、それぞれ独立に、−Ｏ−又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k1−ＣＯ−Ｏ−を表
し、ｋ１は１〜７の整数を表し、＊は−ＣＯ−との結合手を表す。
Ｒ^a4及びＲ^a5は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a6及びＲ^a7は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜１８の脂環
式炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基を表す。
ｍ１は０〜１４の整数を表す。
ｎ１は０〜１０の整数を表す。
ｎ１’は０〜３の整数を表す。］

Ｌ^a01は、好ましくは、酸素原子又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k01−ＣＯ−Ｏ−であり、より
好ましくは酸素原子である。ｋ０１は、好ましくは１〜４の整数、より好ましくは１であ
る。
Ｒ^a02、Ｒ^a03及びＲ^a04のアルキル基、脂環式炭化水素基及びこれらを組み合わせた基
としては、式（１）のＲ^a1〜Ｒ^a3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒ^a02、Ｒ^a03及びＲ^a04のアルキル基は、好ましくは炭素数６以下である。
Ｒ^a02、Ｒ^a03及びＲ^a04の脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数８以下、より好まし
くは６以下である。
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基は、これらアルキル基と脂環式炭化
水素基とを組み合わせた合計炭素数が、１８以下であることが好ましい。このような基と
しては、例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボル
ニル基等が挙げられる。
Ｒ^a02及びＲ^a03は、好ましくは炭素数１〜６のアルキル基であり、より好ましくはメチ
ル基又はエチル基である。
Ｒ^a04は、好ましくは炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数５〜１２の脂環式炭化水素
基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基で
ある。

Ｌ^a1及びＬ^a2は、好ましくは、−Ｏ−又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k1’−ＣＯ−Ｏ−であり
、より好ましくは−Ｏ−である。ｋ１’は、１〜４の整数であり、好ましくは１である。
Ｒ^a4及びＲ^a5は、好ましくはメチル基である。
Ｒ^a6及びＲ^a7のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロ
ピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−
ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−オクチル基等が挙げられる。
Ｒ^a6及びＲ^a7の脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環
式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基
、シクロヘキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、シクロヘプ
チル基、シクロオクチル基、シクロヘプチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が
挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル
基、２−アルキルアダマンタン−２−イル基、１−（アダマンタン−１−イル）アルカン
−１−イル基、ノルボルニル基、メチルノルボルニル基及びイソボルニル基等が挙げられ
る。
Ｒ^a6及びＲ^a7のアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせることにより形成された
基としては、アラルキル基が挙げられ、ベンジル基、フェネチル基等が挙げられる。
Ｒ^a6及びＲ^a7のアルキル基は、好ましくは炭素数６以下である。
Ｒ^a6及びＲ^a7の脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数８以下、より好ましくは６以下
である。
ｍ１は、好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０又は１である。
ｎ１は、好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０又は１である。
ｎ１’は好ましくは０又は１である。

モノマー（ａ１−０）としては、例えば、式（ａ１−０−１）〜式（ａ１−０−１２）
のいずれかで表されるモノマーが好ましく、式（ａ１−０−１）〜式（ａ１−０−１０）
のいずれかで表されるモノマーがより好ましい。

上記の構造単位において、Ｒ^a01に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単
位も、構造単位（ａ１−０）の具体例として挙げることができる。

モノマー（ａ１−１）としては、例えば、特開２０１０−２０４６４６号公報に記載さ
れたモノマーが挙げられる。中でも、式（ａ１−１−１）〜式（ａ１−１−８）のいずれ
かで表されるモノマーが好ましく、式（ａ１−１−１）〜式（ａ１−１−４）のいずれか
で表されるモノマーがより好ましい。

モノマー（ａ１−２）としては、１−メチルシクロペンタン−１−イル（メタ）アクリ
レート、１−エチルシクロペンタン−１−イル（メタ）アクリレート、１−メチルシクロ
ヘキサン−１−イル（メタ）アクリレート、１−エチルシクロヘキサン−１−イル（メタ
）アクリレート、１−エチルシクロヘプタン−１−イル（メタ）アクリレート、１−エチ
ルシクロオクタン−１−イル（メタ）アクリレート、１−イソプロピルシクロペンタン−
１−イル（メタ）アクリレート、１−イソプロピルシクロヘキサン−１−イル（メタ）ア
クリレート等が挙げられる。式（ａ１−２−１）〜式（ａ１−２−１２）のいずれかで表
されるモノマーが好ましく、式（ａ１−２−３）、式（ａ１−２−４）、式（ａ１−２−
９）又は式（ａ１−２−１０）で表されるモノマーがより好ましく、式（ａ１−２−３）
又は式（ａ１−２−９）で表されるモノマーがさらに好ましい。

樹脂（Ａ）が構造単位（ａ１−０）及び／又は構造単位（ａ１−１）及び／又は構造単
位（ａ１−２）を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、
通常１０〜９５モル％であり、好ましくは１５〜９０モル％であり、より好ましくは２０
〜８５モル％である。

さらに、基（１）を有する構造単位（ａ１）としては、式（ａ１−３）で表される構造
単位も挙げられる。式（ａ１−３）で表される構造単位を、構造単位（ａ１−３）という
場合がある。また、構造単位（ａ１−３）を誘導するモノマーを、モノマー（ａ１−３）
という場合がある。

式（ａ１−３）中、
Ｒ^a9は、ヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１〜３の脂肪族炭化水素基、カルボキ
シ基、シアノ基、水素原子又は−ＣＯＯＲ^a13を表す。
Ｒ^a13は、炭素数１〜８の脂肪族炭化水素基、炭素数３〜２０の脂環式炭化水素基、又
はこれらを組み合わせることにより形成される基を表し、該脂肪族炭化水素基及び該脂環
式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基で置換されていてもよく、該脂肪族炭
化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−又は−ＣＯ−に置き換
わっていてもよい。
Ｒ^a10、Ｒ^a11及びＲ^a12は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜
２０の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基を表すか、Ｒ
^a10及びＲ^a11は互いに結合して、それらが結合する炭素原子とともに炭素数２〜２０の２
価の炭化水素基を形成する。

ここで、−ＣＯＯＲ^a13は、例えば、メトキシカルボニル基及びエトキシカルボニル基
等のアルコキシ基にカルボニル基が結合した基が挙げられる。

Ｒ^a9のヒドロキシ基を有していてもよい脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル
基、プロピル基、ヒドロキシメチル基及び２−ヒドロキシエチル基等が挙げられる。
Ｒ^a13の炭素数１〜８の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基
、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチ
ル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−オクチル基等が挙
げられる。
Ｒ^a13の炭素数３〜２０の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロプロ
ピル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、１−アダマンチル−１−メチルエチル
基、２−オキソ−オキソラン−３−イル基及び２−オキソ−オキソラン−４−イル基等が
挙げられる。
Ｒ^a10〜Ｒ^a12のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロ
ピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−
ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−オクチル基等が挙げられる。
Ｒ^a10〜Ｒ^a12の脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環
式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペ
ンチル基、シクロヘキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、シ
クロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる
。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基
、２−アルキルアダマンタン−２−イル基、１−（アダマンタン−１−イル）アルカン−
１−イル基、ノルボルニル基、メチルノルボルニル基及びイソボルニル基等が挙げられる
。
Ｒ^a10及びＲ^a11が互いに結合して、それらが結合している炭素原子とともに２価の炭化
水素基を形成する場合の−Ｃ（Ｒ^a10）（Ｒ^a11）（Ｒ^a12）としては、下記の基が好まし
い。

モノマー（ａ１−３）は、具体的には、５−ノルボルネン−２−カルボン酸−ｔｅｒｔ
−ブチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−シクロヘキシル−１−メチルエチル、
５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−メチルシクロヘキシル、５−ノルボルネン−２−
カルボン酸２−メチル−２−アダマンチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸２−エチ
ル−２−アダマンチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（４−メチルシクロヘキ
シル）−１−メチルエチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（４−ヒドロキシシ
クロヘキシル）−１−メチルエチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−メチル−１
−（４−オキソシクロヘキシル）エチル及び５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（１
−アダマンチル）−１−メチルエチル等が挙げられる。

構造単位（ａ１−３）を含む樹脂（Ａ）は、立体的に嵩高い構造単位が含まれることに
なるため、このような樹脂（Ａ）を含む本発明のレジスト組成物からは、より高解像度で
レジストパターンを得ることができる。また、主鎖に剛直なノルボルナン環が導入される
ため、得られるレジストパターンは、ドライエッチング耐性に優れる傾向がある。

樹脂（Ａ）が構造単位（ａ１−３）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単
位に対して、１０〜９５モル％が好ましく、１５〜９０モル％がより好ましく、２０〜８
５モル％がさらに好ましい。

基（２）で表される基を有する構造単位（ａ１）としては、式（ａ１−４）で表される
構造単位（以下、「構造単位（ａ１−４）」という場合がある。）が挙げられる。

［式（ａ１−４）中、
Ｒ^a32は、水素原子、ハロゲン原子、又は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６
のアルキル基を表す。
Ｒ^a33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６の
アルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基、炭素数２〜４のアシルオキシ基、アクリロイル
オキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
ｌａは０〜４の整数を表す。ｌａが２以上である場合、複数のＲ^a33は互いに同一であ
っても異なってもよい。
Ｒ^a34及びＲ^a35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素基を表し、
Ｒ^a36は、炭素数１〜２０の炭化水素基を表すか、Ｒ^a35及びＲ^a36は互いに結合してそ
れらが結合するＣ−Ｏとともに炭素数３〜２０の２価の複素環を形成し、該炭化水素基及
び該２価の複素環に含まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−又は−Ｓ−で置き換わってもよい。］

Ｒ^a32及びＲ^a33のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピ
ル基、ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられる。該アルキル基は、炭素数１
〜４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに
好ましい。
Ｒ^a32及びＲ^a33のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げ
られる。

ハロゲン原子を有してもよいアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロ
メチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、１，１，１−トリフルオロエチル基、１，
１，２，２−テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、１，１，１
，２，２−ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２
，２，３，３，４，４−オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、
１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロペンチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−
ヘキシル基、ｎ−ペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチ
ルオキシ基及びヘキシルオキシ基等が挙げられる。なかでも、炭素数１〜４のアルコキシ
基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい
。
アシル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。
アシルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ
基等が挙げられる。
Ｒ^a34及びＲ^a35の炭化水素基としては、式（２）のＲ^a1'及びＲ^a2'と同様の基が挙げら
れる。
Ｒ^a36としては、炭素数１〜１８のアルキル基、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基、
炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基が
挙げられる。

式（ａ１−４）において、Ｒ^a32は、水素原子が好ましい。
Ｒ^a33は、炭素数１〜４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基及びエトキシ基がより
好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
ｌａは、０又は１が好ましく、０がより好ましい。
Ｒ^a34は、好ましくは、水素原子である。
Ｒ^a35は、好ましくは、炭素数１〜１２の炭化水素基であり、より好ましくはメチル基
又はエチル基である。
Ｒ^a36の炭化水素基は、好ましくは、炭素数１〜１８のアルキル基、炭素数３〜１８の
脂環式炭化水素基、炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることに
より形成される基であり、より好ましくは、炭素数１〜１８のアルキル基、炭素数３〜１
８の脂環式脂肪族炭化水素基又は炭素数７〜１８のアラルキル基である。Ｒ^a36における
アルキル基及び前記脂環式炭化水素基は無置換が好ましい。Ｒ^a36における芳香族炭化水
素基が置換基を有する場合、その置換基としては炭素数６〜１０のアリールオキシ基が好
ましい。

構造単位（ａ１−４）を導くモノマーとしては、例えば、特開２０１０−２０４６４６
号公報に記載されたモノマーが挙げられる。中でも、式（ａ１−４−１）〜式（ａ１−４
−８）でそれぞれ表されるモノマーが好ましく、式（ａ１−４−１）〜式（ａ１−４−５
）及び式（ａ１−４−８）でそれぞれ表されるモノマーがより好ましい。

樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ１−４）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構
造単位に対して、１０〜９５モル％が好ましく、１５〜９０モル％がより好ましく、２０
〜８５モル％がさらに好ましい。

式（２）で表される基を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位として
は、式（ａ１−５）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ１−５）」という場合があ
る）も挙げられる。

式（ａ１−５）中、
Ｒ^a8は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基、水素原子又はハロゲ
ン原子を表す。
Ｚ^a1は、単結合又は＊−（ＣＨ₂）_h3−ＣＯ−Ｌ⁵⁴−を表し、ｈ３は１〜４の整数を表
し、＊は、Ｌ⁵¹との結合手を表す。
Ｌ⁵¹、Ｌ⁵²、Ｌ⁵³及びＬ⁵⁴は、それぞれ独立に、−Ｏ−又は−Ｓ−を表す。
ｓ１は、１〜３の整数を表す。
ｓ１’は、０〜３の整数を表す。

式（ａ１−５）においては、Ｒ^a8は、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基が
好ましい。
Ｌ⁵¹は、酸素原子が好ましい。
Ｌ⁵²及びＬ⁵³は、一方が−Ｏ−、他方が−Ｓ−であることが好ましい。
ｓ１は、１が好ましい。
ｓ１’は、０〜２の整数が好ましい。
Ｚ^a1は、単結合又は＊−ＣＨ₂−ＣＯ−Ｏ−が好ましい。＊はＬ⁵¹との結合手を表す。

構造単位（ａ１−５）を導くモノマーとしては、例えば、特開２０１０−６１１１７号
公報に記載されたモノマーが挙げられる。中でも、式（ａ１−５−１）〜式（ａ１−５−
４）でそれぞれ表されるモノマーが好ましく、式（ａ１−５−１）又は式（ａ１−５−２
）で表されるモノマーがより好ましい。

樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ１−５）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構
造単位に対して、１〜５０モル％が好ましく、３〜４５モル％がより好ましく、５〜４０
モル％がさらに好ましい。

樹脂（Ａ）中の酸不安定基を有する構造単位（ａ１）としては、構造単位（ａ１−０）
、構造単位（ａ１−１）、構造単位（ａ１−２）及び構造単位（ａ１−５）からなる群か
ら選ばれる少なくとも一種以上が好ましく、構造単位（ａ１−１）及び構造単位（ａ１−
２）の組み合わせ、構造単位（ａ１−１）及び構造単位（ａ１−５）の組み合わせ、構造
単位（ａ１−１）及び構造単位（ａ１−０）の組み合わせ、構造単位（ａ１−２）及び構
造単位（ａ１−０）の組み合わせ、構造単位（ａ１−５）及び構造単位（ａ１−０）の組
み合わせ、構造単位（ａ１−０）、構造単位（ａ１−１）及び構造単位（ａ１−２）の組
み合わせ、構造単位（ａ１−１）、構造単位（ａ１−２）及び構造単位（ａ１−５）の組
み合わせがさらに好ましく、構造単位（ａ１−１）及び構造単位（ａ１−２）の組み合わ
せがさらにより好ましい。

〈構造単位（ｓ）〉
構造単位（ｓ）は、酸不安定基を有さないモノマー（以下「モノマー（ｓ）」という場
合がある）から導かれる。モノマー（ｓ）は、レジスト分野で公知の酸不安定基を有さな
いモノマーを使用できる。
構造単位（ｓ）としては、ヒドロキシ基又はラクトン環を有し、かつ酸不安定基を有さ
ない構造単位が好ましい。ヒドロキシ基を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以
下「構造単位（ａ２）」という場合がある）及び／又はラクトン環を有し、かつ酸不安定
基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ３）」という場合がある）を有する樹脂を本
発明のレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度及び基板との密着性を向
上させることができる。

〈構造単位（ａ２）〉
構造単位（ａ２）が有するヒドロキシ基は、アルコール性ヒドロキシ基でも、フェノー
ル性ヒドロキシ基でもよい。
本発明のレジスト組成物からレジストパターンを製造するとき、露光光源としてＫｒＦ
エキシマレーザ（２４８ｎｍ）、電子線又はＥＵＶ（超紫外光）等の高エネルギー線を用
いる場合には、構造単位（ａ２）として、フェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位（
ａ２）を用いることが好ましい。また、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）等を用いる
場合には、構造単位（ａ２）として、アルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２
）が好ましく、後述する式（ａ２−１）で表される構造単位を用いることがより好ましい
。構造単位（ａ２）としては、１種を単独で含んでいてもよく、２種以上を含んでいても
よい。

樹脂（Ａ）が、フェノール性ヒドロキシ基有する構造単位（ａ２）を有する場合、その
含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、５〜９５モル％が好ましく、１０〜８０モ
ル％がより好ましく、１５〜８０モル％がさらに好ましい。

フェノール性ヒドロキシ基有する構造単位（ａ２）としては、式（ａ２−０）で表され
る構造単位（以下「構造単位（ａ２−０）」という場合がある。）が挙げられる。

［式（ａ２−０）中、
Ｒ^a30は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のア
ルキル基を表す。
Ｒ^a31は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６の
アルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基、炭素数２〜４のアシルオキシ基、アクリロイル
オキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
ｍａは０〜４の整数を表す。ｍａが２以上の整数である場合、複数のＲ^a31は互いに同
一であっても異なってもよい。］

Ｒ^a30のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ｎ−ペン
チル基、ｎ−ヘキシル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基としては、トリフルオロメチル
基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、１，１，１−トリフルオロ
エチル基、１，１，２，２−テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル
基、１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル
基、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオ
ロペンチル基、１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロペンチル基、ｎ−ペ
ンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。Ｒ^a30は、水
素原子又は炭素数１〜４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がよ
り好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ｒ^a31のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基
、ペンチルオキシ基及びヘキシルオキシ基等が挙げられる。なかでも、炭素数１〜４のア
ルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに
好ましい。
アシル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。
アシルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ
基等が挙げられる。
ｍａは０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましく、０がさらに好ましい。

構造単位（ａ２−０）を誘導するモノマーとしては、例えば、特開２０１０−２０４６
３４号公報に記載されているモノマーが挙げられる。
中でも、構造単位（ａ２−０）としては、式（ａ２−０−１）、式（ａ２−０−２）、
式（ａ２−０−３）及び式（ａ２−０−４）でそれぞれ表されるものが好ましく、式（ａ
２−０−１）又は式（ａ２−０−２）で表される構造単位がより好ましい。

構造単位（ａ２−０）を含む樹脂（Ａ）は、構造単位（ａ２−０）を誘導するモノマー
が有するフェノール性ヒドロキシ基を保護基で保護したモノマーを用いて重合反応を行い
、その後脱保護処理することにより製造できる。ただし、脱保護処理を行う際には、構造
単位（ａ１）が有する酸不安定基を著しく損なわないようにして行う必要がある。このよ
うな保護基としては、アセチル基等が挙げられる。

樹脂（Ａ）が、フェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２−０）を有する場合
、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、５〜９５モル％が好ましく、１０〜
８０モル％がより好ましく、１５〜８０モル％がさらに好ましい。

アルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）としては、式（ａ２−１）で表さ
れる構造単位（以下「構造単位（ａ２−１）」という場合がある。）が挙げられる。

式（ａ２−１）中、
Ｌ^a3は、−Ｏ−又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k2−ＣＯ−Ｏ−を表す。
ｋ２は１〜７の整数を表す。＊は−ＣＯ−との結合手を表す。
Ｒ^a14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a15及びＲ^a16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
ｏ１は、０〜１０の整数を表す。

式（ａ２−１）では、Ｌ^a3は、好ましくは、−Ｏ−、−Ｏ−（ＣＨ₂）_f1−ＣＯ−Ｏ−
であり（前記ｆ１は、１〜４の整数である）、より好ましくは−Ｏ−である。
Ｒ^a14は、好ましくはメチル基である。
Ｒ^a15は、好ましくは水素原子である。
Ｒ^a16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
ｏ１は、好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０又は１である。

構造単位（ａ２−１）を誘導するモノマーとしては、例えば、特開２０１０−２０４６
４６号公報に記載されたモノマーが挙げられる。式（ａ２−１−１）〜式（ａ２−１−６
）のいずれかで表されるモノマーが好ましく、式（ａ２−１−１）〜式（ａ２−１−４）
のいずれかで表されるモノマーがより好ましく、式（ａ２−１−１）又は式（ａ２−１−
３）で表されるモノマーがさらに好ましい。

樹脂（Ａ）が構造単位（ａ２−１）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単
位に対して、通常１〜４５モル％であり、好ましくは１〜４０モル％であり、より好まし
くは１〜３５モル％であり、さらに好ましくは２〜２０モル％である。

〈構造単位（ａ３）〉
構造単位（ａ３）が有するラクトン環は、β−プロピオラクトン環、γ−ブチロラクト
ン環、δ−バレロラクトン環のような単環でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮
合環でもよい。好ましくは、γ−ブチロラクトン環、アダマンタンラクトン環又はγ−ブ
チロラクトン環構造を含む橋かけ環が挙げられる。

構造単位（ａ３）は、好ましくは、式（ａ３−１）、式（ａ３−２）、式（ａ３−３）
又は式（ａ３−４）で表される構造単位である。これらの１種を単独で含有してもよく、
２種以上を含有してもよい。

［式（ａ３−１）中、
Ｌ^a4は、−Ｏ−又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k3−ＣＯ−Ｏ−（ｋ３は１〜７の整数を表す。
）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｒ^a18は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a21は炭素数１〜４の脂肪族炭化水素基を表す。
ｐ１は０〜５の整数を表す。ｐ１が２以上のとき、複数のＲ^a21は互いに同一又は相異
なる。
式（ａ３−２）中、
Ｌ^a5は、−Ｏ−又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k3−ＣＯ−Ｏ−（ｋ３は１〜７の整数を表す。
）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｒ^a19は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a22は、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１〜４の脂肪族炭化水素基を表す。
ｑ１は、０〜３の整数を表す。ｑ１が２以上のとき、複数のＲ^a22は互いに同一又は相
異なる。
式（ａ３−３）中、
Ｌ^a6は、−Ｏ−又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k3−ＣＯ−Ｏ−（ｋ３は１〜７の整数を表す。
）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｒ^a20は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a23は、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１〜４の脂肪族炭化水素基を表す。
ｒ１は、０〜３の整数を表す。ｒ１が２以上のとき、複数のＲ^a23は互いに同一又は相
異なる。
式（ａ３−４）中、
Ｒ^a24は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｌ^a7は、単結合、^＊−Ｏ−、^＊−Ｏ−Ｌ^a8−Ｏ−、^＊−Ｏ−Ｌ^a8−ＣＯ−Ｏ−、^＊−Ｏ−Ｌ^a8−ＣＯ−Ｏ−Ｌ^a9−ＣＯ−Ｏ−又は^＊−Ｏ−Ｌ^a8−Ｏ−ＣＯ−Ｌ^a9−Ｏ−を表す。
＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｌ^a8及びＬ^a9は、互いに独立に、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。］

Ｒ^a21、Ｒ^a22及びＲ^a23の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロ
ピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基及びｔｅｒｔ−ブチル基等の
アルキル基が挙げられる。
Ｒ^a24のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙
げられる。
Ｒ^a24のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基
、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基及びｎ−ヘキ
シル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１〜４のアルキル基であり、より好ましくはメチ
ル基又はエチル基である。
Ｒ^a24のハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフル
オロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブ
チル基、ペルフルオロｓｅｃ−ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ−ブチル基、ペルフルオ
ロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、ト
リヨードメチル基等が挙げられる。

Ｌ^a8及びＬ^a9のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，
３−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１
，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−ジイル基、ブタン−１，３−ジイル基、２−メチル
プロパン−１，３−ジイル基、２−メチルプロパン−１，２−ジイル基、ペンタン−１，
４−ジイル基及び２−メチルブタン−１，４−ジイル基等が挙げられる。

式（ａ３−１）〜式（ａ３−３）において、Ｌ^a4〜Ｌ^a6は、それぞれ独立に、好ましく
は、−Ｏ−又は、ｋ３が１〜４の整数である＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k3−ＣＯ−Ｏ−で表され
る基、より好ましくは−Ｏ−及び、＊−Ｏ−ＣＨ₂−ＣＯ−Ｏ−、さらに好ましくは酸素
原子である。
Ｒ^a18〜Ｒ^a21は、好ましくはメチル基である。
Ｒ^a22及びＲ^a23は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基
である。
ｐ１、ｑ１及びｒ１は、それぞれ独立に、好ましくは０〜２の整数であり、より好まし
くは０又は１である。

式（ａ３−４）において、
Ｒ^a24は、好ましくは、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基であり、より好ましく
は、水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは、水素原子又はメチル基
である。
Ｌ^a7は、好ましくは、単結合、^＊−Ｏ−又は^＊−Ｏ−Ｌ^a8−ＣＯ−Ｏ−であり、より好ましくは、単結合、^＊−Ｏ−、^＊−Ｏ−ＣＨ₂−ＣＯ−Ｏ−又は^＊−Ｏ−Ｃ₂Ｈ₄−ＣＯ−Ｏ−である。

構造単位（ａ３）を導くモノマーとしては、特開２０１０−２０４６４６号公報に記載
されたモノマー、特開２０００−１２２２９４号公報に記載されたモノマー、特開２０１
２−４１２７４号公報に記載されたモノマーが挙げられる。構造単位（ａ３）としては、
式（ａ３−１−１）〜式（ａ３−１−４）、式（ａ３−２−１）〜式（ａ３−２−４）、
式（ａ３−３−１）〜式（ａ３−３−４）及び式（ａ３−４−１）〜式（ａ３−４−１２
）のいずれかで表される構造単位が好ましく、式（ａ３−１−１）、式（ａ３−１−２）
及び式（ａ３−２−３）〜式（ａ３−２−４）のいずれかで表される構造単位がより好ま
しく、式（ａ３−１−１）又は式（ａ３−２−３）で表される構造単位がさらに好ましい
。

以下の構造単位においては、Ｒ^a24に相当するメチル基が水素原子に置き換わった化合
物も、構造単位（ａ３−４）の具体例として挙げることができる。

樹脂（Ａ）が構造単位（ａ３）を含む場合、その合計含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単
位に対して、通常５〜７０モル％であり、好ましくは１０〜６５モル％であり、より好ま
しくは１０〜６０モル％である。
また、構造単位（ａ３−１）、構造単位（ａ３−２）、構造単位（ａ３−３）及び構造
単位（ａ３−４）の含有率は、それぞれ、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、５〜６０モ
ル％が好ましく、５〜５０モル％がより好ましく、１０〜５０モル％がさらに好ましい。

＜その他の構造単位（ｔ）＞
樹脂（Ａ）は、構造単位（ａ１）及び構造単位（ｓ）以外の構造単位として、その他の
構造単位（ｔ）を含んでいてもよい。構造単位（ｔ）としては、構造単位（ａ２）及び構
造単位（ａ３）以外にハロゲン原子を有する構造単位（以下、場合により「構造単位（ａ
４）」という場合がある）及び非脱離炭化水素基を有する構造単位（以下「構造単位（ａ
５）」という場合がある）などが挙げられる。

＜構造単位（ａ４）＞
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４−０）で表される構造単位が挙げられる。

［式（ａ４−０）中、
Ｒ⁵は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ⁵は、単結合又は炭素数１〜４の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌ³は、炭素数１〜８のペルフルオロアルカンジイル基又は炭素数３〜１２のペルフル
オロシクロアルカンジイル基を表す。
Ｒ⁶は、水素原子又はフッ素原子を表す。］

Ｌ⁵の脂肪族飽和炭化水素基としては、炭素数１〜４のアルカンジイル基が挙げられ、
例えば、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、ブタン−１，４−ジイ
ル基等の直鎖状アルカンジイル基、直鎖状アルカンジイル基に、アルキル基（中でも、メ
チル基、エチル基等）の側鎖を有したもの、エタン−１，１−ジイル基、プロパン−１，
２−ジイル基、ブタン−１，３−ジイル基、２−メチルプロパン−１，３−ジイル基及び
２−メチルプロパン−１，２−ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ｌ³のペルフルオロアルカンジイル基としては、ジフルオロメチレン基、ペルフルオロ
エチレン基、ペルフルオロエチルフルオロメチレン基、ペルフルオロプロパン−１，３−
ジイル基、ペルフルオロプロパン−１，２−ジイル基、ペルフルオロプロパン−２，２−
ジイル基、ペルフルオロブタン−１，４−ジイル基、ペルフルオロブタン−２，２−ジイ
ル基、ペルフルオロブタン−１，２−ジイル基、ペルフルオロペンタン−１，５−ジイル
基、ペルフルオロペンタン−２，２−ジイル基、ペルフルオロペンタン−３，３−ジイル
基、ペルフルオロヘキサン−１，６−ジイル基、ペルフルオロヘキサン−２，２−ジイル
基、ペルフルオロヘキサン−３，３−ジイル基、ペルフルオロヘプタン−１，７−ジイル
基、ペルフルオロヘプタン−２，２−ジイル基、ペルフルオロヘプタン−３，４−ジイル
基、ペルフルオロヘプタン−４，４−ジイル基、ペルフルオロオクタン−１，８−ジイル
基、ペルフルオロオクタン−２，２−ジイル基、ペルフルオロオクタン−３，３−ジイル
基、ペルフルオロオクタン−４，４−ジイル基等が挙げられる。
Ｌ^３のペルフルオロシクロアルカンジイル基としては、ペルフルオロシクロヘキサンジ
イル基、ペルフルオロシクロペンタンジイル基、ペルフルオロシクロヘプタンジイル基、
ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。

Ｌ⁵は、好ましくは単結合、メチレン基又はエチレン基であり、より好ましくは、単結
合、メチレン基である。
Ｌ³は、好ましくは炭素数１〜６のペルフルオロアルカンジイル基であり、より好まし
くは炭素数１〜３のペルフルオロアルカンジイル基である。

構造単位（ａ４−０）としては、以下のものが挙げられる。

上記の構造単位において、Ｒ⁵に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位
も、構造単位（ａ４−０）の具体例として挙げることができる。

構造単位（ａ４）としては、式（ａ４−１）で表される構造単位が挙げられる。

［式（ａ４−１）中、
Ｒ^a41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ^a42は、置換基を有していてもよい炭素数１〜２０の炭化水素基を表し、該炭化水素
基に含まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−又は−ＣＯ−に置き換わっていてもよい。
ただし、Ａ^a41及びＲ^a42のうち少なくとも一方は、置換基としてハロゲン原子を有する
基である。
Ａ^a41は、置換基を有していてもよい炭素数１〜６のアルカンジイル基又は式（ａ−ｇ
１）で表される基を表す。

〔式（ａ−ｇ１）中、
ｓは０又は１を表す。
Ａ^a42及びＡ^a44は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１〜５の脂肪族
炭化水素基を表す。
Ａ^a43は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基又は
単結合を表す。
Ｘ^a41及びＸ^a42は、それぞれ独立に、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯ−Ｏ−又は−Ｏ−ＣＯ
−を表す。
ただし、Ａ^a42、Ａ^a43、Ａ^a44、Ｘ^a41及びＸ^a42の炭素数の合計は７以下である。〕
＊で表される２つの結合手のうち、右側の＊が−Ｏ−ＣＯ−Ｒ^a42との結合手である。
］

Ｒ^a42の炭化水素基としては、鎖式及び環式の脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基、
並びにこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。鎖式の脂肪族炭化水
素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、
ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、ペンタデシル基、ヘ
キシルデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等が挙げられる。環式の脂肪族炭化
水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオク
チル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基
及び下記の基（＊は結合手を表す。）等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。

芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェ
ニリル基、フェナントリル基及びフルオレニル基等が挙げられる。

Ｒ^a42の炭化水素基としては、鎖式及び環式の脂肪族炭化水素基並びにこれらを組み合
わせることにより形成される基が好ましく、炭素−炭素不飽和結合を有していてもよいが
、鎖式及び環式の脂肪族飽和炭化水素基並びにこれらを組み合わせることにより形成され
る基がより好ましい。
Ｒ^a42は、置換基として、ハロゲン原子又は式（ａ−ｇ３）で表される基が挙げられ、
ハロゲン原子を有していてもよい脂肪族炭化水素基が好ましく、ハロゲン原子を有するア
ルキル基及び／又は式（ａ−ｇ３）で表される基を有する脂肪族炭化水素基がより好まし
い。

［式（ａ−ｇ３）中、
Ｘ^a43は、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表
す。
Ａ^a45は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する炭素数１〜１７の脂肪族炭化水素基
を表す。
＊は結合手を表す。］

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられ、
好ましくはフッ素原子である。
Ｒ^a42がハロゲン原子を有する脂肪族炭化水素基である場合、好ましくはフッ素原子を
有する脂肪族炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルキル基又はペルフルオ
ロシクロアルキル基であり、さらに好ましくは炭素数が１〜６のペルフルオロアルキル基
であり、特に好ましくは炭素数１〜３のペルフルオロアルキル基である。ペルフルオロア
ルキル基としては、ペルフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピ
ル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペル
フルオロヘプチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。ペルフルオロシクロア
ルキル基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。
Ｒ^a42が、式（ａ−ｇ３）で表される基を有する脂肪族炭化水素基である場合、式（ａ
−ｇ３）で表される基に含まれる炭素数を含めて、脂肪族炭化水素基の総炭素数は、１５
以下が好ましく、１２以下がより好ましい。式（ａ−ｇ３）で表される基を置換基として
有する場合、その数は１個が好ましい。

式（ａ−ｇ３）で表される基を有する脂肪族炭化水素基は、さらに好ましくは式（ａ−
ｇ２）で表される基である。

［式（ａ−ｇ２）中、
Ａ^a46は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１〜１５の脂肪族炭化水素基を表す
。
Ｘ^a44は、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。
Ａ^a47は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１〜１５の脂肪族炭化水素基を表す
。
ただし、Ａ^a46、Ａ^a47及びＸ^a44の炭素数の合計は１８以下であり、Ａ^a46及びＡ^a47の
うち、少なくとも一方は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する。
＊はカルボニル基との結合手を表す。］

Ａ^a46の脂肪族炭化水素基の炭素数は１〜６が好ましく、１〜３がより好ましい。
Ａ^a47の脂肪族炭化水素基の炭素数は４〜１５が好ましく、５〜１２がより好ましく、
Ａ^a47は、シクロヘキシル基又はアダマンチル基がさらに好ましい。

＊−Ａ^a46−Ｘ^a44−Ａ^a47で表される部分構造（＊はカルボニル基との結合手である）
のより好ましい構造は、以下の構造である。

Ａ^a41のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジ
イル基、ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−
ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；プロパン−１，２−ジイル基、ブタン−１，３−
ジイル基、２−メチルプロパン−１，２−ジイル基、１−メチルブタン−１，４−ジイル
基、２−メチルブタン−１，４−ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ａ^a41のアルカンジイル基における置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１〜６の
アルコキシ基等が挙げられる。
Ａ^a41は、好ましくは炭素数１〜４のアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数
２〜４のアルカンジイル基であり、さらに好ましくはエチレン基である。

基（ａ−ｇ１）におけるＡ^a42、Ａ^a43及びＡ^a44の脂肪族炭化水素基は、炭素−炭素不
飽和結合を有していてもよいが、脂肪族飽和炭化水素基が好ましい。該脂肪族飽和炭化水
素基としては、アルキル基（当該アルキル基は直鎖でも分岐していてもよい）及び脂環式
炭化水素基、並びに、アルキル基及び脂環式炭化水素基を組み合わせることにより形成さ
れる脂肪族炭化水素基等が挙げられる。
脂肪族炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、
プロパン−１，２−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、１−メチルプロパン−１，３
−ジイル基、２−メチルプロパン−１，３−ジイル基、２−メチルプロパン−１，２−ジ
イル基等が挙げられる。
Ａ^a41のアルカンジイル基の置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１〜６のアルコ
キシ基等が挙げられる。

Ｘ^a42が酸素原子である基（ａ−ｇ１）としては、以下の基等が挙げられる。以下の例
示において、それぞれ＊で表される２つの結合手のうち、右側の＊が−Ｏ−ＣＯ−Ｒ^a42
との結合手である。

Ｘ^a42がカルボニル基である基（ａ−ｇ１）としては、以下の基等が挙げられる。

Ｘ^a42がカルボニルオキシ基である基（ａ−ｇ１）としては、以下の基等が挙げられる
。

Ｘ^a42がオキシカルボニル基である基（ａ−ｇ１）としては、以下の基等が挙げられる
。

式（ａ４−１）で表される構造単位としては、式（ａ４−２）又は式（ａ４−３）で表
される構造単位が好ましい。

［式（ａ４−２）中、
Ｒ^f1は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａ^f1は、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。
Ｒ^f2は、フッ素原子を有する炭素数１〜１０の炭化水素基を表す。］

Ａ^f1のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジイ
ル基、プロパン−１，２−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，５−ジ
イル基、ヘキサン−１，６−ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；１−メチルプロパン
−１，３−ジイル基、２−メチルプロパン−１，３−ジイル基、２−メチルプロパン−１
，２−ジイル基、１−メチルブタン−１，４−ジイル基、２−メチルブタン−１，４−ジ
イル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。

Ｒ^f2の炭化水素基は、脂肪族炭化水素基及び芳香族炭化水素基を包含し、脂肪族炭化水
素基は、鎖式、環式及びこれらの組み合わせることにより形成される基を含む。脂肪族炭
化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基が好ましい。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブ
チル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基
及び２−エチルヘキシル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化
水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシ
ル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロ
オクチル基、シクロヘプチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多
環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、２−アルキ
ルアダマンタン−２−イル基、１−（アダマンタン−１−イル）アルカン−１−イル基、
ノルボルニル基、メチルノルボルニル基及びイソボルニル基が挙げられる。

Ｒ^f2のフッ素原子を有する炭化水素基としては、フッ素原子を有するアルキル基、フッ
素原子を有する脂環式炭化水素基等が挙げられる。
フッ素原子を有するアルキル基としては、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基
、１，１−ジフルオロエチル基、２，２−ジフルオロエチル基、２，２，２−トリフルオ
ロエチル基、ペルフルオロエチル基、１，１，２，２−テトラフルオロプロピル基、１，
１，２，２，３，３−ヘキサフルオロプロピル基、ペルフルオロエチルメチル基、１−（
トリフルオロメチル）−１，２，２，２−テトラフルオロエチル基、１−（トリフルオロ
メチル）−２，２，２−トリフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、１，１，２，
２−テトラフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロブチル基、１，
１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブチル基、ペルフルオロブチル基、１，１
−ビス（トリフルオロ）メチル−２，２，２−トリフルオロエチル基、２−（ペルフルオ
ロプロピル）エチル基、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロペンチル基、
ペルフルオロペンチル基、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロペン
チル基、１，１−ビス（トリフルオロメチル）−２，２，３，３，３−ペンタフルオロプ
ロピル基、２−（ペルフルオロブチル）エチル基、１，１，２，２，３，３，４，４，５
，５−デカフルオロヘキシル基、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５，６，６−ド
デカフルオロヘキシル基、ペルフルオロペンチルメチル基及びペルフルオロヘキシル基等
のフッ化アルキル基が挙げられる。
フッ素原子を有する脂環式炭化水素基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基、ペル
フルオロアダマンチル基等のフッ化シクロアルキル基が挙げられる。

式（ａ４−２）におけるＡ^f1は、炭素数２〜４のアルカンジイル基が好ましく、エチレ
ン基がより好ましい。
Ｒ^f2としては、炭素数１〜６のフッ化アルキル基が好ましい。

［式（ａ４−３）中、
Ｒ^f11は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａ^f11は、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。
Ａ^f13は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｘ^f12は、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。
Ａ^f14は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１〜１７の脂肪族炭化水素基を表す。
ただし、Ａ^f13及びＡ^f14の少なくとも１つは、フッ素原子を有する脂肪族炭化水素基を
表す。］

Ａ^f11のアルカンジイル基としては、Ａ^f1のアルカンジイル基と同様の基が挙げられる
。

Ａ^f13の脂肪族炭化水素基は、鎖式及び環式のいずれか、並びに、これらを組み合わせ
ることにより形成される２価の脂肪族炭化水素基が包含される。この脂肪族炭化水素基は
、炭素−炭素不飽和結合を有していてもよいが、好ましくは飽和の脂肪族炭化水素基であ
る。
Ａ^f13のフッ素原子を有していてもよい脂肪族炭化水素基としては、好ましくはフッ素
原子を有していてもよい脂肪族飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアル
カンジイル基である。
フッ素原子を有していてもよい２価の鎖式の脂肪族炭化水素基としては、メチレン基、
エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイ
ル基；ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基
、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアル
カンジイル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい２価の環式の脂肪族炭化水素基は、単環式及び多環式の
いずれでもよい。単環式の２価の脂肪族炭化水素基としては、シクロヘキサンジイル基及
びペルフルオロシクロヘキサンジイル基等が挙げられる。多環式の２価の脂肪族炭化水素
基としては、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、ペルフルオロアダマンタン
ジイル基等が挙げられる。

Ａ^f14の脂肪族炭化水素基としては、鎖式及び環式のいずれか、並びに、これらが組み
合わせることにより形成される脂肪族炭化水素基が包含される。この脂肪族炭化水素基は
、炭素−炭素不飽和結合を有していてもよいが、好ましくは飽和の脂肪族炭化水素基であ
る。
Ａ^f14のフッ素原子を有していてもよい脂肪族炭化水素基としては、好ましくはフッ素
原子を有していてもよい脂肪族飽和炭化水素基である。
フッ素原子を有していてもよい鎖式の脂肪族炭化水素基としては、トリフルオロメチル
基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、１，１，１−トリフルオロ
エチル基、１，１，２，２−テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル
基、１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル
基、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオ
ロペンチル基、１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロペンチル基、ペンチ
ル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基、ヘプチル基、ペルフルオロヘプチル基、オ
クチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい環式の脂肪族炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれ
を含む基でもよい。単環式の脂肪族炭化水素基を含む基としては、シクロプロピルメチル
基、シクロプロピル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、
ペルフルオロシクロヘキシル基が挙げられる。多環式の脂肪族炭化水素基を含む基として
は、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、ノルボルニル基、ノルボルニルメチル基、
ペルフルオロアダマンチル基、ペルフルオロアダマンチルメチル基等が挙げられる。

式（ａ４−３）においては、Ａ^f11は、エチレン基が好ましい。
Ａ^f13の脂肪族炭化水素基は、炭素数１〜６が好ましく、２〜３がさらに好ましい。
Ａ^f14の脂肪族炭化水素基は、炭素数３〜１２が好ましく、３〜１０がさらに好ましい
。なかでも、Ａ^f14は、好ましくは炭素数３〜１２の脂環式炭化水素基を含む基であり、
より好ましくは、シクロプロピルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノル
ボルニル基及びアダマンチル基である。

式（ａ４−２）で表される構造単位としては、式（ａ４−１−１）〜式（ａ４−１−２
２）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。

式（ａ４−３）で表される構造単位としては、式（ａ４−１’−１）〜式（ａ４−１’
−２２）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。

構造単位（ａ４）としては、式（ａ４−４）で表される構造単位も挙げられる。

［式（ａ４−４）中、
Ｒ^f21は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａ^f21は、−（ＣＨ₂）_j1−、−（ＣＨ₂）_j2−Ｏ−（ＣＨ₂）_j3−又は−（ＣＨ₂）_j4−
ＣＯ−Ｏ−（ＣＨ₂）_j5−を表す。
ｊ１〜ｊ５は、それぞれ独立に、１〜６の整数を表す。
Ｒ^f22は、フッ素原子を有する炭素数１〜１０の炭化水素基を表す。］

Ｒ^f22のフッ素原子を有する炭化水素基としては、式（ａ４−２）におけるＲ^f2の炭化
水素基と同じものが挙げられる。Ｒ^f22は、フッ素原子を有する炭素数１〜１０のアルキ
ル基又はフッ素原子を有する炭素数３〜１０の脂環式炭化水素基が好ましく、フッ素原子
を有する炭素数１〜１０のアルキル基がより好ましく、フッ素原子を有する炭素数１〜６
のアルキル基がさらに好ましい。

式（ａ４−４）において、Ａ^f21としては、−（ＣＨ₂）_j1−が好ましく、エチレン基又
はメチレン基がより好ましく、メチレン基がさらに好ましい。

式（ａ４−４）で表される構造単位としては、以下の構造単位が挙げられる。

樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ４）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単
位に対して、１〜２０モル％が好ましく、２〜１５モル％がより好ましく、３〜１０モル
％がさらに好ましい。

＜構造単位（ａ５）＞
構造単位（ａ５）が有する非脱離炭化水素基としては、以下で表される。

［式（ａ５）中、
Ｒ⁷は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ⁸は、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水
素原子は炭素数１〜８の脂肪族炭化水素基又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。但
し、Ｌ¹との結合位置にある炭素原子に結合する水素原子は、炭素数１〜８の脂肪族炭化
水素基で置換されない。
Ｌ¹は、単結合又は炭素数１〜１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基
に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。］

Ｒ⁸の脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂肪
族炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基
及びシクロヘキシル基が挙げられる。多環式の脂肪族炭化水素基としては、例えば、アダ
マンチル基及びノルボルニル基等が挙げられる。
炭素数１〜８の脂肪族炭化水素基は、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、
イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、
ヘキシル基、オクチル基及び２−エチルヘキシル基が挙げられる。
置換基を有したＲ²としては、３−ヒドロキシアダマンチル基、３−メチルアダマンチ
ル基などが挙げられる。
Ｒ⁸は、好ましくは、無置換の炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基であり、より好まし
くは、アダマンチル基、ノルボルニル基又はシクロヘキシル基である。

Ｌ¹の２価の飽和炭化水素基としては、脂肪族飽和炭化水素基及び脂環式飽和炭化水素
基が挙げられ、好ましくは２価の脂肪族飽和炭化水素基である。２価の脂肪族飽和炭化水
素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタ
ンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
２価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式
飽和炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基及びシクロヘキサンジイル基等のシク
ロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基としては、アダ
マンタンジイル基及びノルボルナンジイル基等が挙げられる。

飽和炭化水素基に含まれるメチレン基が、酸素原子又はカルボニル基で置き換わった基
としては、例えば、式（Ｌ１−１）〜式（Ｌ１−４）で表される基が挙げられる。下記式
中、＊は−Ｏ−との結合手を表す。

式（Ｌ１−１）中、
Ｘ^x1は、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。
Ｌ^x1は、炭素数１〜１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^x2は、単結合又は炭素数１〜１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ^x1及びＬ^x2の合計炭素数は、１６以下である。
式（Ｌ１−２）中、
Ｌ^x3は、炭素数１〜１７の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^x4は、単結合又は炭素数１〜１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ^x1及びＬ^x2の合計炭素数は、１７以下である。
式（Ｌ１−３）中、
Ｌ^x5は、炭素数１〜１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^x6及びＬ^x7は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１〜１４の２価の脂肪族飽和炭化
水素基を表す。
ただし、Ｌ^x5、Ｌ^x6及びＬ^x7の合計炭素数は、１５以下である。
式（Ｌ１−４）中、
Ｌ^x8及びＬ^x9は、単結合又は炭素数１〜１２の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｗ^x1は、炭素数３〜１５の２価の脂環式飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ^x8、Ｌ^x9及びＷ^x1の合計炭素数は、１５以下である。

Ｌ^x1は、好ましくは、炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、
メチレン基又はエチレン基である。
Ｌ^x2は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好
ましくは、単結合である。
Ｌ^x3は、好ましくは、炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌ^x4は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌ^x5は、好ましくは、炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、
メチレン基又はエチレン基である。
Ｌ^x6は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好
ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌ^x7は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌ^x8は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好
ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｌ^x9は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好
ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｗ^x1は、好ましくは、炭素数３〜１０の２価の脂環式飽和炭化水素基、より好ましくは
、シクロヘキサンジイル基又はアダマンタンジイル基である。

式（Ｌ１−１）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。

式（Ｌ１−２）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。

式（Ｌ１−３）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。

式（Ｌ１−４）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。

Ｌ¹は、好ましくは、単結合、メチレン基、エチレン基又は式（Ｌ１−１）で表される
基である。

なかでも、構造単位（ａ５）としては、以下に記載の構造単位が挙げられる。

式（ａ５−１−１）〜式（ａ５−１−１８）において、Ｒ^７に相当するメチル基が水素
原子に置き換わった構造単位も、構造単位（ａ５）の具体例として挙げることができる。

樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ５）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単
位に対して、１〜３０モル％が好ましく、２〜２０モル％がより好ましく、３〜１５モル
％がさらに好ましい。

樹脂（Ａ）は、上述の構造単位以外の構造単位を有していてもよく、そのような構造単
位としては、当技術分野で周知の構造単位を挙げられる。

樹脂（Ａ）は、好ましくは、構造単位（Ｉａ）と構造単位（ａ１）と、構造単位（ｓ）
とからなる樹脂、すなわち、式（Ｉａ）で表される基を有する化合物と、モノマー（ａ１
）と、モノマー（ｓ）との共重合体である。
構造単位（ａ１）は、好ましくは、構造単位（ａ１−０）、構造単位（ａ１−１）、構
造単位（ａ１−２）（好ましくはシクロヘキシル基、シクロペンチル基を有する該構造単
位）及び構造単位（ａ１−５）の少なくとも一種、より好ましくは構造単位（ａ１−１）
又は構造単位（ａ１−２）（好ましくはシクロヘキシル基、シクロペンチル基を有する該
構造単位）である。
構造単位（ｓ）は、好ましくは構造単位（ａ２）及び構造単位（ａ３）の少なくとも一
種である。構造単位（ａ２）は、好ましくは式（ａ２−１）で表される構造単位である。
構造単位（ａ３）は、好ましくはγ−ブチロラクトン環、γ−ブチロラクトン環構造を
含む橋かけ環又はアダマンタンラクトン環で表される構造単位の少なくとも一種である。

樹脂（Ａ）は、アダマンチル基を有するモノマーに由来する構造単位（特に、構造単位
（ａ１−１））を、構造単位（ａ１）の含有量に対して１５モル％以上含有していること
が好ましい。アダマンチル基を有する構造単位の含有量が増えると、レジストパターンの
ドライエッチング耐性が向上する。

樹脂（Ａ）を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組み合わせて用いてもよ
く、これら構造単位を誘導するモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法
）によって製造することができる。樹脂（Ａ）が有する各構造単位の含有率は、重合に用
いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、好ましくは、２，０００以上（より好ましくは２，５
００以上、さらに好ましくは３，０００以上）、５０，０００以下（より好ましくは３０
，０００以下、さらに好ましくは１５，０００以下）である。なお、重量平均分子量は、
ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。

＜樹脂（Ａ）以外の樹脂＞
本発明のレジスト組成物は、樹脂（Ａ）以外の樹脂を含んでもよい。このような樹脂と
しては、構造単位（Ｉａ）を有さない樹脂であればよい。例えば、構造単位（ａ１）、構
造単位（ｓ）及び構造単位（ａ４）の少なくとも１種以上を有する樹脂が挙げられる。

樹脂（Ａ）以外の樹脂としては、構造単位（ａ１）と構造単位（ｓ）とのみからなる樹
脂（以下「樹脂（Ａ１）」という場合がある。）、構造単位（ａ４）を有する樹脂（以下
「樹脂（Ｘ）」という場合がある。）が好ましい。
樹脂（Ａ１）において、構造単位（ａ１）の含有率は、樹脂（Ａ１）の全構造単位に対
して、１〜８０モル％が好ましく、１〜７５モル％がより好ましく、３〜７０モル％がさ
らに好ましい。
樹脂（Ａ１）における構造単位（ａ１）は、好ましくは構造単位（ａ１−１）及び構造
単位（ａ１−２）（好ましくはシクロヘキシル基、シクロペンチル基を有する該構造単位
）の少なくとも一種である。
構造単位（ｓ）は、好ましくは構造単位（ａ２）及び構造単位（ａ３）の少なくとも一
種である。構造単位（ａ２）は、好ましくは式（ａ２−１）で表される構造単位である。
構造単位（ａ３）は、好ましくは式（ａ３−１）で表される構造単位及び式（ａ３−２
）で表される構造単位の少なくとも一種である。
樹脂（Ａ１）の重量平均分子量は、好ましくは、２，５００以上（より好ましくは３，
０００以上、さらに好ましくは４，０００以上）、５０，０００以下（より好ましくは３
０，０００以下、さらに好ましくは１５，０００以下）である。
本発明のレジスト組成物が樹脂（Ａ１）を含む場合、その含有率は、本発明のレジスト
組成物における樹脂の総量に対して、好ましくは５〜８０質量％である。

樹脂（Ｘ）において、構造単位（ａ４）の含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位に対して
、４０モル％以上が好ましく、４５モル％以上がより好ましく、５０モル％以上がさらに
好ましい。
樹脂（Ｘ）がさらに有していてもよい構造単位としては、例えば、構造単位（ａ２）、
構造単位（ａ３）、構造単位（ａ５）及びその他の公知のモノマーに由来する構造単位が
挙げられる。
樹脂（Ｘ）の重量平均分子量は、好ましくは、８，０００以上（より好ましくは１０，
０００以上）、８０，０００以下（より好ましくは６０，０００以下）である。かかる樹
脂（Ｘ）の重量平均分子量の測定手段は、樹脂（Ａ）の場合と同様である。
本発明のレジスト組成物が樹脂（Ｘ）を含む場合、その含有量は、樹脂（Ａ）１００質
量部に対して、好ましくは1〜６０質量部であり、より好ましくは１〜５０質量部であり
、さらに好ましくは１〜４０質量部であり、特に好ましくは２〜３０質量部である。

本発明のレジスト組成物においては、レジスト組成物の固形分の全量が、樹脂（Ａ）の
み、又は、樹脂（Ａ）と樹脂（Ａ）以外の樹脂とのみでもよいが、本発明のレジスト組成
物における樹脂〔樹脂（Ａ）と樹脂（Ａ）以外の樹脂との合計〕の含有率は、レジスト組
成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下が好ましい。本明細書において、
「レジスト組成物の固形分」とは、本発明のレジスト組成物の総量から、後述する溶剤（
Ｄ）を除いた成分の合計を意味する。レジスト組成物の固形分及びこれに対する樹脂の含
有率は、例えば、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手
段で測定することができる。

＜酸発生剤（Ｂ）＞
酸発生剤は、非イオン系とイオン系とに分類されるが、本発明のレジスト組成物の酸発
生剤（Ｂ）においては、いずれを用いてもよい。非イオン系酸発生剤には、有機ハロゲン
化物、スルホネートエステル類（例えば２−ニトロベンジルエステル、芳香族スルホネー
ト、オキシムスルホネート、Ｎ−スルホニルオキシイミド、スルホニルオキシケトン、ジ
アゾナフトキノン ４−スルホネート）、スルホン類（例えばジスルホン、ケトスルホン
、スルホニルジアゾメタン）等が含まれる。イオン系酸発生剤は、オニウムカチオンを含
むオニウム塩（例えばジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム
塩）が代表的である。オニウム塩のアニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニル
イミドアニオン、スルホニルメチドアニオン等がある。

酸発生剤（Ｂ）としては、特開昭６３−２６６５３号、特開昭５５−１６４８２４号、
特開昭６２−６９２６３号、特開昭６３−１４６０３８号、特開昭６３−１６３４５２号
、特開昭６２−１５３８５３号、特開昭６３−１４６０２９号、米国特許第３，７７９，
７７８号、米国特許第３，８４９，１３７号、独国特許第３９１４４０７号、欧州特許第
１２６，７１２号等に記載の放射線によって酸を発生する化合物を使用することができる
。また、公知の方法で製造した化合物を使用してもよい。

酸発生剤（Ｂ）は、好ましくはフッ素含有酸発生剤であり、より好ましくは式（Ｂ１）
で表される塩（以下「酸発生剤（Ｂ１）」という場合がある）である。

［式（Ｂ１）中、
Ｑ¹及びＱ²は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル
基を表す。
Ｌ^b1は、炭素数１〜２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含
まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−又は−ＣＯ−に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化
水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数３〜１
８の１価の脂環式炭化水素基を表し、該１価の脂環式炭化水素基に含まれる−ＣＨ₂−は
、−Ｏ−、−ＳＯ₂−又は−ＣＯ−に置き換わっていてもよい。
Ｚ⁺は、有機カチオンを表す。］

Ｑ¹及びＱ²のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロ
エチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル
基、ペルフルオロｓｅｃ−ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ−ブチル基、ペルフルオロペ
ンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
Ｑ¹及びＱ²はそれぞれ独立に、フッ素原子又はトリフルオロメチル基が好ましく、Ｑ¹
及びＱ²はともにフッ素原子がより好ましい。

Ｌ^b1の２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイ
ル基、単環式又は多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２
種以上を組み合わせることにより形成される基でもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、ブタン−１，４
−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−ジイル基、ヘプタン−１
，７−ジイル基、オクタン−１，８−ジイル基、ノナン−１，９−ジイル基、デカン−１
，１０−ジイル基、ウンデカン−１，１１−ジイル基、ドデカン−１，１２−ジイル基、
トリデカン−１，１３−ジイル基、テトラデカン−１，１４−ジイル基、ペンタデカン−
１，１５−ジイル基、ヘキサデカン−１，１６−ジイル基及びヘプタデカン−１，１７−
ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン−１，１−ジイル基、プロパン−１，１−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル
基、プロパン−２，２−ジイル基、ペンタン−２，４−ジイル基、２−メチルプロパン−
１，３−ジイル基、２−メチルプロパン−１，２−ジイル基、ペンタン−１，４−ジイル
基、２−メチルブタン−１，４−ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン−１，３−ジイル基、シクロペンタン−１，３−ジイル基、シクロヘキサ
ン−１，４−ジイル基、シクロオクタン−１，５−ジイル基等のシクロアルカンジイル基
である単環式の２価の脂環式飽和炭化水素基；
ノルボルナン−１，４−ジイル基、ノルボルナン−２，５−ジイル基、アダマンタン−
１，５−ジイル基、アダマンタン−２，６−ジイル基等の多環式の２価の脂環式飽和炭化
水素基等が挙げられる。

Ｌ^b1の２価の飽和炭化水素基に含まれる−ＣＨ₂−が−Ｏ−又は−ＣＯ−で置き換わっ
た基としては、例えば、式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−３）のいずれかで表される基が挙げ
られる。なお、式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−３）及び下記の具体例において、＊は−Ｙと
の結合手を表す。

式（ｂ１−１）中、
Ｌ^b2は、単結合又は炭素数１〜２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基
に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b3は、単結合又は炭素数１〜２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基
に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭
化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい
。
ただし、Ｌ^b2とＬ^b3との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１−２）中、
Ｌ^b4は、単結合又は炭素数１〜２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基
に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b5は、単結合又は炭素数１〜２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基
に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭
化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい
。
ただし、Ｌ^b4とＬ^b5との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１−３）中、
Ｌ^b6は、単結合又は炭素数１〜２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基
に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
Ｌ^b7は、単結合又は炭素数１〜２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基
に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭
化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい
。
ただし、Ｌ^b6とＬ^b7との炭素数合計は、２３以下である。

なお、式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−３）においては、飽和炭化水素基に含まれるメチレ
ン基が酸素原子又はカルボニル基に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該飽
和炭化水素基の炭素数とする。
２価の飽和炭化水素基としては、Ｌ^b1の２価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられ
る。

Ｌ^b2は、好ましくは単結合である。
Ｌ^b3は、好ましくは炭素数１〜４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b4は、好ましくは、炭素数１〜８の２価の飽和炭化水素基であり、該２価の飽和炭化
水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b5は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b6は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜４の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和
炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b7は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜１８の２価の飽和炭化水素基であり、該飽
和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよ
く、該２価の飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き
換わっていてもよい。

中でも、式（ｂ１−１）又は式（ｂ１−３）で表される基が好ましい。

式（ｂ１−１）としては、式（ｂ１−４）〜式（ｂ１−８）でそれぞれ表される基が挙
げられる。

式（ｂ１−４）中、
Ｌ^b8は、単結合又は炭素数１〜２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基
に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
式（ｂ１−５）中、
Ｌ^b9は、炭素数１〜２０の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b10は、単結合又は炭素数１〜１９の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b9及びＬ^b10の合計炭素数は２０以下である。
式（ｂ１−６）中、
Ｌ^b11は、炭素数１〜２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b12は、単結合又は炭素数１〜２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b11及びＬ^b12の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１−７）中、
Ｌ^b13は、炭素数１〜１９の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b14は、単結合又は炭素数１〜１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b15は、単結合又は炭素数１〜１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b13、Ｌ^b14及びＬ^b15の合計炭素数は１９以下である。
式（ｂ１−８）中、
Ｌ^b16は、炭素数１〜１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b17は、炭素数１〜１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b18は、単結合又は炭素数１〜１７の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b16、Ｌ^b17及びＬ^b18の合計炭素数は１９以下である。

Ｌ^b8は、好ましくは炭素数１〜４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b9は、好ましくは、炭素数１〜８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b10は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜１９の２価の飽和炭化水素基であり、よ
り好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b11は、好ましくは、炭素数１〜８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b12は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b13は、好ましくは、炭素数１〜１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b14は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b15は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜１８の２価の飽和炭化水素基であり、よ
り好ましくは、単結合又は炭素数１〜８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌ^b16は、好ましくは、炭素数１〜１２の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b17は、好ましくは、炭素数１〜６の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b18は、好ましくは、単結合又は炭素数１〜１７の２価の飽和炭化水素基であり、よ
り好ましくは、単結合又は炭素数１〜４の２価の飽和炭化水素基である。

式（ｂ１−３）としては、式（ｂ１−９）〜式（ｂ１−１１）でそれぞれ表される基が
挙げられる。

式（ｂ１−９）中、
Ｌ^b19は、単結合又は炭素数１〜２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b20は、単結合又は炭素数１〜２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアシルオキシ基に置換さ
れていてもよい。該アシルオキシ基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基
に置き換わっていてもよく、該アシルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置
換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b19及びＬ^b20の合計炭素数は２３以下である。
式（ｂ１−１０）中、
Ｌ^b21は、単結合又は炭素数１〜２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b22は、単結合又は炭素数１〜２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b23は、単結合又は炭素数１〜２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアシルオキシ基に置換さ
れていてもよい。該アシルオキシ基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基
に置き換わっていてもよく、該アシルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置
換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b21、Ｌ^b22及びＬ^b23の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１−１１）中、
Ｌ^b24は、単結合又は炭素数１〜２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌ^b25は、炭素数１〜２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌ^b26は、単結合又は炭素数１〜２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭
化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアシルオキシ基に置換さ
れていてもよい。該アシルオキシ基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基
に置き換わっていてもよく、該アシルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置
換されていてもよい。
ただし、Ｌ^b24、Ｌ^b25及びＬ^b26の合計炭素数は２１以下である。

なお、式（ｂ１−９）から式（ｂ１−１１）においては、２価の飽和炭化水素基に含ま
れる水素原子がアシルオキシ基に置換されている場合、アシルオキシ基の炭素数、エステ
ル結合中のＣＯ及びＯの数をも含めて、該２価の飽和炭化水素基の炭素数とする。

アシルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ
基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アダマンチルカルボニルオキシ基等が挙げられ
る。
置換基を有するアシルオキシ基としては、オキソアダマンチルカルボニルオキシ基、ヒ
ドロキシアダマンチルカルボニルオキシ基、オキソシクロヘキシルカルボニルオキシ基、
ヒドロキシシクロヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。

式（ｂ１−１）で表される基のうち、式（ｂ１−４）で表される基としては、以下のも
のが挙げられる。

式（ｂ１−１）で表される基のうち、式（ｂ１−５）で表される基としては、以下のも
のが挙げられる。

式（ｂ１−１）で表される基のうち、式（ｂ１−６）で表される基としては、以下のも
のが挙げられる。

式（ｂ１−１）で表される基のうち、式（ｂ１−７）で表される基としては、以下のも
のが挙げられる。

式（ｂ１−１）で表される基のうち、式（ｂ１−８）で表される基としては、以下のも
のが挙げられる。

式（ｂ１−２）で表される基としては、以下のものが挙げられる。

式（ｂ１−３）で表される基のうち、式（ｂ１−９）で表される基としては、以下のも
のが挙げられる。

式（ｂ１−３）で表される基のうち、式（ｂ１−１０）で表される基としては、以下の
ものが挙げられる。

式（ｂ１−３）で表される基のうち、式（ｂ１−１１）で表される基としては、以下の
ものが挙げられる。

Ｙで表される１価の脂環式炭化水素基としては、式（Ｙ１）〜式（Ｙ１１）で表される
基が挙げられる。
Ｙで表される１価の脂環式炭化水素基に含まれる−ＣＨ₂−が−Ｏ−、−ＳＯ₂−又は−
ＣＯ−で置き換わった基としては、式（Ｙ１２）〜式（Ｙ２７）で表される基が挙げられ
る。

なかでも、好ましくは式（Ｙ１）〜式（Ｙ２０）のいずれかで表される基であり、より
好ましくは式（Ｙ１１）、式（Ｙ１５）、式（Ｙ１６）又は式（Ｙ２０）で表される基で
あり、さらに好ましくは式（Ｙ１１）又は式（Ｙ１５）で表される基である。

Ｙで表されるメチル基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数３〜１
６の１価の脂環式炭化水素基、炭素数６〜１８の１価の芳香族炭化水素基、グリシジルオ
キシ基又は−（ＣＨ₂）_ja−Ｏ−ＣＯ−Ｒ^b1基（式中、Ｒ^b1は、炭素数１〜１６のアルキ
ル基、炭素数３〜１６の１価の脂環式炭化水素基又は炭素数６〜１８の１価の芳香族炭化
水素基を表す。ｊａは、０〜４の整数を表す）等が挙げられる。
Ｙで表される１価の脂環式炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基
、炭素数１〜１２のアルキル基、ヒドロキシ基含有炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数
３〜１６の１価の脂環式炭化水素基、炭素数１〜１２のアルコキシ基、炭素数６〜１８の
１価の芳香族炭化水素基、炭素数７〜２１のアラルキル基、炭素数２〜４のアシル基、グ
リシジルオキシ基又は−（ＣＨ₂）_ja−Ｏ−ＣＯ−Ｒ^b1基（式中、Ｒ^b1は、炭素数１〜１
６のアルキル基、炭素数３〜１６の１価の脂環式炭化水素基又は炭素数６〜１８の１価の
芳香族炭化水素基を表す。ｊａは、０〜４の整数を表す）等が挙げられる。

ヒドロキシ基含有アルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等が
挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチ
ルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基
及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
１価の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ−メチ
ルフェニル基、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル基、ｐ−アダマンチルフェニル基；トリル
基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６−
ジエチルフェニル基、２−メチル−６−エチルフェニル等のアリール基等が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメ
チル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アシル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ
る。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられ
る。

Ｙとしては、以下のものが挙げられる。以下の基において、＊はＬ^b1との結合手である
。

なお、Ｙがメチル基であり、かつＬ^b1が炭素数１〜１７の２価の直鎖状又は分岐状飽和
炭化水素基である場合、Ｙとの結合位置にある該２価の飽和炭化水素基の−ＣＨ₂−は、
−Ｏ−又は−ＣＯ−に置き換わっていることが好ましい。

Ｙは、好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３〜１８の１価の脂環式炭化水素基
であり、より好ましく置換基を有していてもよいアダマンチル基であり、これらの基を構
成するメチレン基は、酸素原子、スルホニル基又はカルボニル基に置き換わっていてもよ
い。Ｙは、さら特に好ましくはアダマンチル基、ヒドロキシアダマンチル基又はオキソア
ダマンチル基である。

式（Ｂ１）で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、式（Ｂ１−Ａ−１）〜
式（Ｂ１−Ａ−３３）で表されるアニオン〔以下、式番号に応じて「アニオン（Ｂ１−Ａ
−１）」等という場合がある。〕が好ましく、式（Ｂ１−Ａ−１）〜式（Ｂ１−Ａ−４）
、式（Ｂ１−Ａ−９）、式（Ｂ１−Ａ−１０）、式（Ｂ１−Ａ−２４）〜式（Ｂ１−Ａ−
３３）のいずれかで表されるアニオンがより好ましい。また、式（Ｂ１−Ａ−５）、式（
Ｂ１−Ａ−７）、式（Ｂ１−Ａ−２４）、式（Ｂ１−Ａ−３０）〜式（Ｂ１−Ａ−３３）
において、Ｒⁱ²〜Ｒⁱ⁷は、例えば、炭素数１〜４のアルキル基、好ましくはメチル基又は
エチル基である。式（Ｂ１−Ａ−３２）及び式（Ｂ１−Ａ−３３）において、Ｒⁱ⁸は、例
えば、炭素数１〜１２の脂肪族炭化水素基、好ましくは炭素数１〜４のアルキル基、炭素
数５〜１２の１価の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基
、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。Ｌ
⁷は、単結合又は炭素数１〜４のアルカンジイル基である。Ｑ¹及びＱ²は、上記と同じ意
味を表す。
式（Ｂ１）で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、具体的には、特開２０
１０−２０４６４６号公報に記載されたアニオンが挙げられる。

中でも、好ましい式（Ｂ１）で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、式（
Ｂ１ａ−１）〜式（Ｂ１ａ−１５）でそれぞれ表されるアニオンが挙げられる。

中でも、式（Ｂ１）で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、式（Ｂ１ａ−
１）〜式（Ｂ１ａ−３）及び式（Ｂ１ａ−７）〜式（Ｂ１ａ−１５）のいずれかで表され
るアニオンが好ましい。

Ｚ⁺の有機カチオンは、有機オニウムカチオン、例えば、有機スルホニウムカチオン、
有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、ベンゾチアゾリウムカチオン、
有機ホスホニウムカチオン等が挙げられ、好ましくは、有機スルホニウムカチオン又は有
機ヨードニウムカチオンであり、より好ましくは、アリールスルホニウムカチオンである
。
式（Ｂ１）中のＺ⁺は、好ましくは式（ｂ２−１）〜式（ｂ２−４）のいずれかで表さ
れるカチオン〔以下、式番号に応じて「カチオン（ｂ２−１）」等という場合がある。〕
である。

式（ｂ２−１）〜式（ｂ２−４）において、
Ｒ^b4〜Ｒ^b6は、それぞれ独立に、炭素数１〜３０の１価の脂肪族炭化水素基、炭素数３
〜３６の１価の脂環式炭化水素基又は炭素数６〜３６の１価の芳香族炭化水素基を表し、
該１価の脂肪族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２のアル
コキシ基、炭素数３〜１２の１価の脂環式炭化水素基又は炭素数６〜１８の１価の芳香族
炭化水素基で置換されていてもよく、該１価の脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、
ハロゲン原子、炭素数１〜１８の１価の脂肪族炭化水素基、炭素数２〜４のアシル基又は
グリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該１価の芳香族炭化水素基に含まれる水素
原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１〜１２のアルコキシ基で置換されてい
てもよい。
Ｒ^b4とＲ^b5とは、それらが結合する硫黄原子とともに環を形成してもよく、該環に含ま
れる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−、−ＳＯ−又は−ＣＯ−に置き換わってもよい。

Ｒ^b7及びＲ^b8は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２の１価の脂肪族炭化
水素基又は炭素数１〜１２のアルコキシ基を表す。
ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０〜５の整数を表す。
ｍ２が２以上のとき、複数のＲ^b7は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複
数のＲ^b8は同一でも異なってもよい。

Ｒ^b9及びＲ^b10は、それぞれ独立に、炭素数１〜３６の１価の脂肪族炭化水素基又は炭
素数３〜３６の１価の脂環式炭化水素基を表す。
Ｒ^b9とＲ^b10とは、それらが結合する硫黄原子とともに環を形成してもよく、該環に含
まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−、−ＳＯ−又は−ＣＯ−に置き換わってもよい。
Ｒ^b11は、水素原子、炭素数１〜３６の１価の脂肪族炭化水素基、炭素数３〜３６の１
価の脂環式炭化水素基又は炭素数６〜１８の１価の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒ^b12は、炭素数１〜１２の１価の脂肪族炭化水素基、炭素数３〜１８の１価の脂環式
炭化水素基又は炭素数６〜１８の１価の芳香族炭化水素基を表し、該１価の脂肪族炭化水
素に含まれる水素原子は、炭素数６〜１８の１価の芳香族炭化水素基で置換されていても
よく、該１価の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１〜１２のアルコキシ基
又は炭素数１〜１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。
Ｒ^b11とＲ^b12とは、一緒になってそれらが結合する−ＣＨ−ＣＯ−を含む環を形成して
いてもよく、該環に含まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−、−ＳＯ−又は−ＣＯ−に置き換わっ
てもよい。

Ｒ^b13〜Ｒ^b18は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２の１価の脂肪族炭化
水素基又は炭素数１〜１２のアルコキシ基を表す。
Ｌ^b31は、−Ｓ−又は−Ｏ−を表す。
ｏ２、ｐ２、ｓ２、及びｔ２は、それぞれ独立に、０〜５の整数を表す。
ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０〜４の整数を表す。
ｕ２は０又は１を表す。
ｏ２が２以上のとき、複数のＲ^b13は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数の
Ｒ^b14は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ^b15は同一又は相異なり、ｒ２
が２以上のとき、複数のＲ^b16は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ^b17は
同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ^b18は同一又は相異なる。

１価の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピ
ル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基
、オクチル基及び２−エチルヘキシル基のアルキル基が挙げられる。特に、Ｒ^b9〜Ｒ^b12
の１価の脂肪族炭化水素基は、好ましくは炭素数１〜１２である。
１価の脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の１価
の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、
シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロア
ルキル基が挙げられる。多環式の１価の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル
基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基等が挙げられる。

特に、Ｒ^b9〜Ｒ^b12の１価の脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数３〜１８、より好
ましくは炭素数４〜１２である。

水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された１価の脂環式炭化水素基としては、例えば、
メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、２−アルキルアダマンタン−２−
イル基、メチルノルボルニル基、イソボルニル基等が挙げられる。水素原子が１価の脂肪
族炭化水素基で置換された１価の脂環式炭化水素基においては、１価の脂環式炭化水素基
と１価の脂肪族炭化水素基との合計炭素数が好ましくは２０以下である。

１価の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、
メシチル基、ｐ−エチルフェニル基、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル基、ｐ−シクロへキ
シルフェニル基、ｐ−アダマンチルフェニル基、ビフェニリル基、ナフチル基、フェナン
トリル基、２，６−ジエチルフェニル基、２−メチル−６−エチルフェニル基等のアリー
ル基が挙げられる。
なお、１価の芳香族炭化水素基に、１価の脂肪族炭化水素基又は１価の脂環式炭化水素
基が含まれる場合は、炭素数１〜１８の１価の脂肪族炭化水素基又は炭素数３〜１８の１
価の脂環式炭化水素基が好ましい。
水素原子がアルコキシ基で置換された１価の芳香族炭化水素基としては、ｐ−メトキシ
フェニル基等が挙げられる。
水素原子が芳香族炭化水素基で置換された１価の脂肪族炭化水素基としては、ベンジル
基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチ
ル基等のアラルキル基が挙げられる。

アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチ
ルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基
及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アシル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられ
る。
アルキルカルボニルオキシ基としては、メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニル
オキシ基、ｎ−プロピルカルボニルオキシ基、イソプロピルカルボニルオキシ基、ｎ−ブ
チルカルボニルオキシ基、ｓｅｃ−ブチルカルボニルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルカルボ
ニルオキシ基、ペンチルカルボニルオキシ基、ヘキシルカルボニルオキシ基、オクチルカ
ルボニルオキシ基及び２−エチルヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。

Ｒ^b4とＲ^b5とがそれらが結合している硫黄原子とともに形成してもよい環は、単環式、
多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は
、炭素数３〜１８の環が挙げられ、好ましくは炭素数４〜１８の環である。また、硫黄原
子を含む環は、３員環〜１２員環が挙げられ、好ましくは３員環〜７員環であり、例えば
、下記の環が挙げられる。

Ｒ^b9とＲ^b10とがそれらが結合している硫黄原子とともに形成する環は、単環式、多環
式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、３
員環〜１２員環が挙げられ、好ましくは３員環〜７員環である。例えば、チオラン−１−
イウム環（テトラヒドロチオフェニウム環）、チアン−１−イウム環、１，４−オキサチ
アン−４−イウム環等が挙げられる。
Ｒ^b11とＲ^b12とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性
、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、３員環〜１２員環が挙げられ
、好ましくは３員環〜７員環である。例えば、オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘ
キサン環、オキソノルボルナン環、オキソアダマンタン環等が挙げられる。

カチオン（ｂ２−１）〜カチオン（ｂ２−４）の中でも、好ましくは、カチオン（ｂ２
−１）であり、より好ましくは、式（ｂ２−１−１）で表されるカチオン（以下「カチオ
ン（ｂ２−１−１）」という場合がある。）であり、さらに好ましくは、トリフェニルス
ルホニウムカチオン（式（ｂ２−１−１）中、ｖ２＝ｗ２＝ｘ２＝０）、ジフェニルトリ
ルスルホニウムカチオン（式（ｂ２−１−１）中、ｖ２＝ｗ２＝０、ｘ２＝１であり、Ｒ
^b21がメチル基である。）又はトリトリルスルホニウムカチオン（式（ｂ２−１−１）中
、ｖ２＝ｗ２＝ｘ２＝１であり、Ｒ^b19、Ｒ^b20及びＲ^b21がいずれもメチル基である。）
である。

式（ｂ２−１−１）中、
Ｒ^b19、Ｒ^b20及びＲ^b21は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１
〜１８の１価の脂肪族炭化水素基、炭素数１〜１２のアルコキシ基又は炭素数３〜１８の
１価の脂環式炭化水素基を表す。また、Ｒ^b19〜Ｒ^b21から選ばれる２つが一緒になって硫
黄原子を含む環を形成してもよい。
ｖ２、ｗ２及びｘ２は、それぞれ独立に０〜５の整数を表す。
ｖ２が２以上のとき、複数のＲ^b19は同一又は相異なり、ｗ２が２以上のとき、複数の
Ｒ^b20は同一又は相異なり、ｘ２が２以上のとき、複数のＲ^b21は同一又は相異なる。

Ｒ^b19〜Ｒ^b21から選ばれる２つが一緒になって形成する環としては、単環式、多環式、
芳香族性、非芳香族性のいずれの環であってもよく、硫黄原子を１以上含むものであれば
、さらに１以上の酸素原子を含んでいてもよい。
Ｒ^b19〜Ｒ^b21の１価の脂肪族炭化水素基は、好ましくは炭素数１〜１２であり、脂環式
炭化水素基は、好ましくは炭素数４〜１８である。

なかでも、Ｒ^b19、Ｒ^b20及びＲ^b21は、それぞれ独立に、好ましくは、ハロゲン原子（
より好ましくはフッ素原子）、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２の１価の脂肪族炭化水素基
又は炭素数１〜１２のアルコキシ基を表すか、Ｒ^b19〜Ｒ^b21から選ばれる２つが一緒にな
って酸素原子と硫黄原子とを含む環を形成することが好ましい。
ｖ２、ｗ２及びｘ２は、それぞれ独立に、好ましくは０又は１である。

カチオン（ｂ２−１−１）としては、具体的には、特開２０１０−２０４６４６号公報
に記載されたカチオンが挙げられ、カチオン（ｂ２−１）としては、以下のカチオンが挙
げられる。

カチオン（ｂ２−２）としては、以下のカチオンが挙げられる。

カチオン（ｂ２−３）としては、以下のカチオンが挙げられる。

カチオン（ｂ２−４）のとしては、以下のカチオンが挙げられる。

酸発生剤（Ｂ１）は、上述のスルホン酸アニオン及び上述の有機カチオンの組合せであ
り、これらは任意に組み合わせることができる。酸発生剤（Ｂ１）としては、好ましくは
、式（Ｂ１ａ−１）〜式（Ｂ１ａ−３）及び式（Ｂ１ａ−７）〜式（Ｂ１ａ−１５）のい
ずれかで表されるアニオンと式（ｂ２−１−１）又は式（ｂ２−３）で表されるカチオン
との組合せが挙げられる。

酸発生剤（Ｂ１）としては、好ましくは、式（Ｂ１−１）〜式（Ｂ１−３０）でそれぞ
れ表されるものが挙げられる、中でもアリールスルホニウムカチオンを含む式（Ｂ１−１
）、式（Ｂ１−２）、式（Ｂ１−３）、式（Ｂ１−５）、式（Ｂ１−６）、式（Ｂ１−７
）、式（Ｂ１−１１）、式（Ｂ１−１２）、式（Ｂ１−１３）、式（Ｂ１−１４）、式（
Ｂ１−１３）、式（Ｂ１−２０）、式（Ｂ１−２１）、式（Ｂ１−２３）、式（Ｂ１−２
４）、式（Ｂ１−２５）、式（Ｂ１−２６）又は式（Ｂ１−２９）でそれぞれ表されるも
のがとりわけ好ましい。

酸発生剤（Ｂ１）の含有率は、酸発生剤（Ｂ）の総量に対して、３０質量％以上１００
質量％以下が好ましく、５０質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に酸発
生剤（Ｂ１）のみであることがさらに好ましい。
酸発生剤（Ｂ）の含有量は、樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、好ましくは１質量部
以上（より好ましくは３質量部以上）、好ましくは３０質量部以下（より好ましくは２５
質量部以下）である。本発明のレジスト組成物は、酸発生剤（Ｂ）の１種を単独で含有し
てもよく、複数種を含有してもよい。

＜溶剤（Ｅ）＞
溶剤（Ｅ）の含有率は、通常、レジスト組成物中９０質量％以上、好ましくは９２質量
％以上、より好ましくは９４質量％以上であり、９９．９質量％以下、好ましくは９９質
量％以下である。溶剤（Ｅ）の含有率は、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマ
トグラフィー等の公知の分析手段で測定できる。

溶剤（Ｅ）としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及び
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類
；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類；乳酸エチル、酢
酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類；アセトン、メチルイソブチ
ルケトン、２−ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類；γ−ブチロラクトン等の
環状エステル類；等を挙げることができる。溶剤（Ｅ）の１種を単独で含有してもよく、
２種以上を含有してもよい。

〈クエンチャー（Ｃ）〉
本発明のレジスト組成物は、クエンチャー（Ｃ）を含有していてもよい。クエンチャー
（Ｃ）の含有量は、レジスト組成物の固形分量を基準に、０．０１〜５質量％程度である
ことが好ましい。

クエンチャー（Ｃ）は、塩基性の含窒素有機化合物又は酸発生剤（Ｂ）から発生ずる酸
よりも酸性度の弱い酸を発生する塩が挙げられる。塩基性の含窒素有機化合物としては、
アミン及びアンモニウム塩が挙げられる。アミンとしては、脂肪族アミン及び芳香族アミ
ンが挙げられる。脂肪族アミンとしては、第一級アミン、第二級アミン及び第三級アミン
が挙げられる。

アミンとしては、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、アニリン、ジイソプロピ
ルアニリン、２−，３−又は４−メチルアニリン、４−ニトロアニリン、Ｎ−メチルアニ
リン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、ジフェニルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン
、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、
ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルア
ミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、
トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、
トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン
、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、
メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチ
ルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン
、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘ
キシルメチルアミン、トリス〔２−（２−メトキシエトキシ）エチル〕アミン、トリイソ
プロパノールアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジア
ミン、４，４’−ジアミノ−１，２−ジフェニルエタン、４，４’−ジアミノ−３，３’
−ジメチルジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジエチルジフェニルメタ
ン、２，２’−メチレンビスアニリン、イミダゾール、４−メチルイミダゾール、ピリジ
ン、４−メチルピリジン、１，２−ジ（２−ピリジル）エタン、１，２−ジ（４−ピリジ
ル）エタン、１，２−ジ（２−ピリジル）エテン、１，２−ジ（４−ピリジル）エテン、
１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、１，２−ジ（４−ピリジルオキシ）エタン、ジ（
２−ピリジル）ケトン、４，４’−ジピリジルスルフィド、４，４’−ジピリジルジスル
フィド、２，２’−ジピリジルアミン、２，２’−ジピコリルアミン、ビピリジン等が挙
げられ、好ましくはジイソプロピルアニリンが挙げられ、特に好ましくは２，６−ジイソ
プロピルアニリンが挙げられる。

アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピ
ルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシル
アンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメ
チルアンモニウムヒドロキシド、３−（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモ
ニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−ブチルアンモニウムサリチラート及びコリン等が挙げ
られる。

＜酸性度の弱い塩＞
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩における酸性度は酸解離定
数（ｐＫａ）で示される。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は
、該塩から発生する酸のｐＫａが、通常−３＜ｐＫａの塩であり、好ましくは−１＜ｐＫ
ａ＜７の塩であり、より好ましくは０＜ｐＫａ＜５の塩である。酸発生剤から発生する酸
よりも弱い塩としては、下記式で表される塩、式（Ｄ）で表される弱酸分子内塩、並びに
特開２０１２−２２９２０６号公報、特開２０１２−６９０８号公報、特開２０１２−７
２１０９号公報、特開２０１１−３９５０２号公報及び特開２０１１−１９１７４５号公
報記載の塩が挙げられる。

＜弱酸分子内塩（Ｄ）＞
弱酸分子内塩（Ｄ）は式（Ｄ）で表される化合物である。

［式（Ｄ）中、
Ｒ^D1及びＲ^D2は、それぞれ独立に、炭素数１〜１２の１価の炭化水素基、炭素数１〜６
のアルコキシ基、炭素数２〜７のアシル基、炭素数２〜７のアシルオキシ基、炭素数２〜
７のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子を表す。
ｍ’及びｎ’は、それぞれ独立に、０〜４の整数を表し、ｍ’が２以上の場合、複数の
Ｒ^D1は同一又は相異なり、ｎ’が２以上の場合、複数のＲ^D2は同一又は相異なる。］

式（Ｄ）で表される化合物におけるＲ^D1及びＲ^D2の炭化水素基としては、１価の脂肪族
炭化水素基、１価の脂環式炭化水素基、１価の芳香族炭化水素基及びこれらの組み合わせ
ることにより形成される基等が挙げられる。
１価の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基
、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ノニル基等
のアルキル基が挙げられる。
１価の脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよく、飽和及び不飽
和のいずれでもよい。シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへ
キシル基、シクロノニル基、シクロドデシル基等のシクロアルキル基、ノルボニル基、ア
ダマンチル基等が挙げられる。
１価の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基、２
−メチルフェニル基、３−メチルフェニル基、４−メチルフェニル基、４−エチルフェニ
ル基、４−プロピルフェニル基、４−イソプロピルフェニル基、４−ブチルフェニル基、
４−ｔ−ブチルフェニル基、４−ヘキシルフェニル基、４−シクロヘキシルフェニル基、
アントリル基、ｐ−アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシ
チル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６−ジエチルフェニル基、２−メチル−
６−エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。
これらを組み合わせることにより形成される基としては、アルキル−シクロアルキル基
、シクロアルキル−アルキル基、アラルキル基（例えば、フェニルメチル基、１−フェニ
ルエチル基、２−フェニルエチル基、１−フェニル−１−プロピル基、１−フェニル−２
−プロピル基、２−フェニル−２−プロピル基、３−フェニル−１−プロピル基、４−フ
ェニル−１−ブチル基、５−フェニル−１−ペンチル基、６−フェニル−１−ヘキシル基
等）等が挙げられる。

アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる。
アシル基としては、アセチル基、プロパノイル基、ベンゾイル基、シクロヘキサンカル
ボニル基等が挙げられる。
アシルオキシ基としては、上記アシル基にオキシ基（−Ｏ−）が結合した基等が挙げら
れる。
アルコキシカルボニル基としては、上記アルコキシ基にカルボニル基（−ＣＯ−）が結
合した基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。

式（Ｄ）においては、Ｒ^D1及びＲ^D2は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、
炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシ
ル基、炭素数２〜４のアシルオキシ基、炭素数２〜４のアルコキシカルボニル基、ニトロ
基又はハロゲン原子が好ましい。
ｍ’及びｎ’は、それぞれ独立に、０〜２の整数が好ましく、０がより好ましい。ｍ’
が２以上の場合、複数のＲ^D1は同一又は相異なり、ｎ’が２以上の場合、複数のＲ^D2は同
一又は相異なる。

弱酸分子内塩（Ｄ）としては、以下の化合物が挙げられる。

弱酸分子内塩（Ｄ）は、「Tetrahedron Vol. 45, No. 19, p6281-6296」に記載の方法
で製造することができる。また、弱酸分子内塩（Ｄ）は、市販されている化合物を用いる
ことができる。

酸性度の弱い塩、特に弱酸分子内塩（Ｄ）の含有率は、レジスト組成物の固形分中、好
ましくは、０．０１〜５質量％であり、より好ましく０．０１〜４質量％であり、特に好
ましく０．０１〜３質量％である。

〈その他の成分〉
本発明のレジスト組成物は、必要に応じて、上述の成分以外の成分（以下「その他の成
分（Ｆ）」という場合がある。）を含有していてもよい。その他の成分（Ｆ）に特に限定
はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定
剤、染料等を利用できる。

〈レジスト組成物の調製〉
本発明のレジスト組成物は、樹脂（Ａ）及び酸発生剤（Ｂ）、並びに、必要に応じて用
いられるクエンチャー（Ｃ）、弱酸分子内塩（Ｄ）等の酸性度の弱い塩、溶剤（Ｅ）及び
その他の成分（Ｆ）を混合することにより調製することができる。混合順は任意であり、
特に限定されるものではない。混合する際の温度は、１０〜４０℃から、樹脂等の種類や
樹脂等の溶剤（Ｅ）に対する溶解度等に応じて適切な温度を選ぶことができる。混合時間
は、混合温度に応じて、０．５〜２４時間の中から適切な時間を選ぶことができる。なお
、混合手段も特に制限はなく、攪拌混合等を用いることができる。
各成分を混合した後は、孔径０．００３〜０．２μｍ程度のフィルターを用いてろ過す
ることが好ましい。

〈レジストパターンの製造方法〉
本発明のレジストパターンの製造方法は、
（１）本発明のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程を含む。

レジスト組成物を基板上に塗布するには、スピンコーター等、通常、用いられる装置に
よって行うことができる。基板としては、シリコンウェハ等の無機基板が挙げられる。レ
ジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄してもよいし、基板上に反射防止膜等を形成し
てもよい。

塗布後の組成物を乾燥することにより、溶剤を除去し、組成物層を形成する。乾燥は、
例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いて溶剤を蒸発させること（いわゆるプリベー
ク）により行うか、あるいは減圧装置を用いて行う。加熱温度は５０〜２００℃が好まし
く、加熱時間は１０〜１８０秒間が好ましい。また、減圧乾燥する際の圧力は、１〜１．
０×１０⁵Ｐａ程度が好ましい。

得られた組成物層に、通常、露光機を用いて露光する。露光機は、液浸露光機であって
もよい。露光光源としては、ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマ
レーザ（波長１９３ｎｍ）、Ｆ₂エキシマレーザ（波長１５７ｎｍ）のような紫外域のレ
ーザ光を放射するもの、固体レーザ光源（ＹＡＧ又は半導体レーザ等）からのレーザ光を
波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの、電子線、超紫
外光（ＥＵＶ）を照射するもの等、種々のものを用いることができる。尚、本明細書にお
いて、これらの放射線を照射することを総称して「露光」という場合がある。露光の際、
通常、求められるパターンに相当するマスクを介して露光が行われる。露光光源が電子線
の場合は、マスクを用いずに直接描画により露光してもよい。

露光後の組成物層を、酸不安定基における脱保護反応を促進するために加熱処理（いわ
ゆるポストエキスポジャーベーク）を行う。加熱温度は、通常５０〜２００℃程度、好ま
しくは７０〜１５０℃程度である。

加熱後の組成物層を、通常、現像装置を用いて、現像液を利用して現像する。現像方法
としては、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法等が挙げら
れる。現像温度は、例えば、５〜６０℃が好ましく、現像時間は、例えば、５〜３００秒
間が好ましい。現像液の種類を以下のとおりに選択することにより、ポジ型レジストパタ
ーン又はネガ型レジストパターンを製造できる。

本発明のレジスト組成物からポジ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として
アルカリ現像液を用いる。アルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水
溶液であればよい。例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや（２−ヒドロキシ
エチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（通称コリン）の水溶液等が挙げられる。
アルカリ現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。
現像後レジストパターンを超純水で洗浄し、次いで、基板及びパターン上に残った水を
除去することが好ましい。

本発明のレジスト組成物からネガ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として
有機溶剤を含む現像液（以下「有機系現像液」という場合がある）を用いる。
有機系現像液に含まれる有機溶剤としては、２−ヘキサノン、２−ヘプタノン等のケト
ン溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエ
ステル溶剤；酢酸ブチル等のエステル溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテル等
のグリコールエーテル溶剤；Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド溶剤；アニソール
等の芳香族炭化水素溶剤等が挙げられる。
有機系現像液中、有機溶剤の含有率は、９０質量％以上１００質量％以下が好ましく、
９５質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に有機溶剤のみであることがさ
らに好ましい。
中でも、有機系現像液としては、酢酸ブチル及び／又は２−ヘプタノンを含む現像液が
好ましい。有機系現像液中、酢酸ブチル及び２−ヘプタノンの合計含有率は、５０質量％
以上１００質量％以下が好ましく、９０質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実
質的に酢酸ブチル及び／又は２−ヘプタノンのみであることがさらに好ましい。
有機系現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。また、有機系現像液には、微量
の水分が含まれていてもよい。
現像の際、有機系現像液とは異なる種類の溶剤に置換することにより、現像を停止して
もよい。

現像後のレジストパターンをリンス液で洗浄することが好ましい。リンス液としては、
レジストパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶
液を使用することができ、好ましくはアルコール溶剤又はエステル溶剤である。
洗浄後は、基板及びパターン上に残ったリンス液を除去することが好ましい。

〈用途〉
本発明のレジスト組成物は、ＫｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ＡｒＦエ
キシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線（ＥＢ）露光用のレジスト組成物又はＥＵ
Ｖ露光用のレジスト組成物、特にＡｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物として好
適であり、半導体の微細加工に有用である。

実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す
「％」及び「部」は、特記しないかぎり質量基準である。
重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで下記条件により求めた
値である。
装置：ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ型（東ソー社製）
カラム：TSKgel Multipore H_XL-M x 3 + guardcolumn（東ソー社製）
溶離液：テトラヒドロフラン
流量：１．０ｍＬ／ｍｉｎ
検出器：ＲＩ検出器
カラム温度：４０℃
注入量：１００μｌ
分子量標準：標準ポリスチレン（東ソー社製）

化合物の構造は、質量分析（ＬＣはＡｇｉｌｅｎｔ製１１００型、ＭＡＳＳはＡｇｉｌ
ｅｎｔ製ＬＣ／ＭＳＤ型）を用い、分子ピークを測定することで確認した。以下の実施例
ではこの分子ピークの値を「ＭＡＳＳ」で示す。

合成例１［式（Ｂ１−５）で表される塩の合成］

式（Ｂ１−５−ａ）で表される塩５０．４９部及びクロロホルム２５２．４４部を反応
器に仕込み、２３℃で３０分間攪拌し、式（Ｂ１−５−ｂ）で表される化合物１６．２７
部を滴下し、２３℃で１時間攪拌することにより、式（Ｂ１−５−ｃ）で表される塩を含
む溶液を得た。得られた式（Ｂ１−５−ｃ）で表される塩を含む溶液に、式（Ｂ１−５−
ｄ）で表される塩４８．８０部及びイオン交換水８４．１５部を添加し、２３℃で１２時
間攪拌した。得られた反応液が２層に分離していたので、クロロホルム層を分液して取り
出し、さらに、クロロホルム層にイオン交換水８４．１５部を添加し、水洗した。この操
作を５回繰り返した。得られたクロロホルム層に、活性炭３．８８部を添加攪拌し、ろ過
した。回収されたろ液を濃縮し、得られた残渣に、アセトニトリル１２５．８７部を添加
攪拌し、濃縮した。得られた残渣に、アセトニトリル２０．６２部及びｔｅｒｔ−ブチル
メチルエーテル３０９．３０部を加えて２３℃で３０分間攪拌し、上澄み液を除去し、濃
縮した。得られた残渣に、ｎ−ヘプタン２００部を添加、２３℃で３０分間攪拌し、ろ過
することにより、式（Ｂ１−５）で表される塩６１．５４部を得た。

ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋ ３７５．２
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（−）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ⁻ ３３９．１

合成例２［式（Ｂ１−２１）で表される塩の合成］

特開２００８−２０９９１７号公報に記載された方法によって得られた式（Ｂ１−２１
−ｂ）で表される化合物３０．００部、式（Ｂ１−２１−ａ）で表される塩３５．５０部
、クロロホルム１００部及びイオン交換水５０部を仕込み、２３℃で１５時間攪拌した。
得られた反応液が２層に分離していたので、クロロホルム層を分液して取り出し、更に、
クロロホルム層にイオン交換水３０部を添加し、水洗した。この操作を５回繰り返した。
クロロホルム層を濃縮し、得られた残渣に、ｔｅｒｔ−ブチルメチルエーテル１００部を
加えて２３℃で３０分間攪拌し、ろ過することにより、式（Ｂ１−２１−ｃ）で表される
塩４８．５７部を得た。

式（Ｂ１−２１−ｃ）で表される塩２０．００部、式（Ｂ１−２１−ｄ）で表される化
合物２．８４部及びモノクロロベンゼン２５０部を仕込み、２３℃で３０分間攪拌した。
得られた混合液に、二安息香酸銅（ＩＩ）０．２１部を添加し、更に、１００℃で１時間
攪拌した。得られた反応溶液を濃縮した。得られた残渣に、クロロホルム２００部及びイ
オン交換水５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌し、分液して有機層を取り出した。回収
された有機層にイオン交換水５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌し、分液して有機層を
取り出した。この水洗操作を５回繰り返した。得られた有機層を濃縮した。得られた残渣
に、アセトニトリル５３．５１部に溶解し、濃縮し、ｔｅｒｔ−ブチルメチルエーテル１
１３．０５部を加えて攪拌した。その後、ろ過することにより、式（Ｂ１−２１）で表さ
れる塩１０．４７部を得た。

ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋ ２３７．１
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（−）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ⁻ ３３９．１

合成例３［式（Ｂ１−２２）で表される塩の合成］

式（Ｂ１−２２−ａ）で表される塩１１．２６部、式（Ｂ１−２２−ｂ）で表される化
合物１０．００部、クロロホルム５０部及びイオン交換水２５部を仕込み、２３℃で１５
時間攪拌した。得られた反応液が２層に分離していたので、クロロホルム層を分液して取
り出し、更に、クロロホルム層にイオン交換水１５部を添加し、水洗した。この操作を５
回繰り返した。クロロホルム層を濃縮し、得られた残渣に、ｔｅｒｔ−ブチルメチルエー
テル５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌し、ろ過することにより、式（Ｂ１−２２−ｃ
）で表される塩１１．７５部を得た。

式（Ｂ１−２２−ｃ）で表される塩１１．７１部、式（Ｂ１−２２−ｄ）で表される化
合物１．７０部及びモノクロロベンゼン４６．８４部を仕込み、２３℃で３０分間攪拌し
た。得られた混合液に、二安息香酸銅（ＩＩ）０．１２部を添加し、更に、１００℃で３
０分間攪拌した。得られた反応溶液を濃縮した。得られた残渣に、クロロホルム５０部及
びイオン交換水１２．５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌し、分液して有機層を取り出
した。回収された有機層にイオン交換水１２．５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌し、
分液して有機層を取り出した。この水洗操作を８回繰り返した。得られた有機層を濃縮し
た。得られた残渣に、ｔｅｒｔ−ブチルメチルエーテル５０部を加えて攪拌し、ろ過する
ことにより、式（Ｂ１−２２）で表される塩６．８４部を得た。

ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ^＋ ２３７．１
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（−）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ⁻ ３２３．０

樹脂の合成
樹脂の合成において使用した化合物（モノマー）を下記に示す。

以下、これらのモノマーを式番号に応じて「モノマー（ａ１−１−３）」等という。

合成例４〔樹脂Ａ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１−１−３）、モノマー（ａ１−２−９）、モノマー（
Ｉ−２）、モノマー（ａ２−１−３）及びモノマー（ａ３−４−２）を用い、そのモル比
〔モノマー（ａ１−１−３）：モノマー（ａ１−２−９）：モノマー（Ｉ−２）：モノマ
ー（ａ２−１−３）：モノマー（ａ３−４−２）〕が４０：９：１０：２．５：３８．５
となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のプロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニ
トリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、
１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。得られた反応混
合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。
得られた樹脂を再び、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解させて
得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過する
という再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．９×１０³の樹脂Ａ１（共重合体）を
収率５５％で得た。この樹脂Ａ１は、以下の構造単位を有するものである。

合成例５〔樹脂Ａ２の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１−１−３）、モノマー（Ｉ−２）、モノマー（ａ２−
１−３）及びモノマー（ａ３−４−２）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１−１−３）
：モノマー（Ｉ−２）：モノマー（ａ２−１−３）：モノマー（ａ３−４−２）〕が４５
：１４：２．５：３８．５となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤と
してアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全
モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間
加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿さ
せ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテートに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿
させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量８．１×１０³
の樹脂Ａ２（共重合体）を収率５０％で得た。この樹脂Ａ２は、以下の構造単位を有する
ものである。

合成例６〔樹脂Ａ３の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｉ−２）、モノマー（ａ２−１−３）及びモノマー（ａ３
−４−２）を用い、そのモル比〔モノマー（Ｉ−２）：モノマー（ａ２−１−３）：モノ
マー（ａ３−４−２）〕が５９：２．５：３８．５となるように混合し、全モノマー量の
１．５質量倍のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて溶液とした
。この溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチ
ルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、こ
れらを７３℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶
媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、プロピレングリ
コールモノメチルエーテルアセテートに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合
溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平
均分子量８．８×１０³の樹脂Ａ３（共重合体）を収率４８％で得た。この樹脂Ａ３は、
以下の構造単位を有するものである。

合成例７〔樹脂Ａ４の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１−１−３）、モノマー（Ｉ−ｘ）、モノマー（ａ２−
１−３）及びモノマー（ａ３−４−２）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１−１−３）
：モノマー（Ｉ−ｘ）：モノマー（ａ２−１−３）：モノマー（ａ３−４−２）〕が４５
：１４：２．５：３８．５となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤と
してアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全
モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間
加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿さ
せ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテートに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿
させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量８．６×１０³
の樹脂Ａ４（共重合体）を収率５３％で得た。この樹脂Ａ４は、以下の構造単位を有する
ものである。

合成例８〔樹脂Ａ５の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１−１−３）、モノマー（ａ１−２−９）、モノマー（
Ｉ−２）、モノマー（ａ２−１−１）及びモノマー（ａ３−４−２）を用い、そのモル比
〔モノマー（ａ１−１−３）：モノマー（ａ１−２−９）：モノマー（Ｉ−２）：モノマ
ー（ａ２−１−１）：モノマー（ａ３−４−２）〕が４０：９：１０：２．５：３８．５
となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のプロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニ
トリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、
１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混
合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。
得られた樹脂を再び、メタノール／水混合溶媒に注いでリパルプし、この樹脂をろ過する
ことにより、重量平均分子量７．８×１０³の樹脂Ａ５（共重合体）を収率５７％で得た
。この樹脂Ａ５は、以下の構造単位を有するものである。

合成例９〔樹脂Ａ６の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１−１−３）、モノマー（ａ１−２−９）、モノマー（
Ｉ−１）、モノマー（ａ２−１−１）及びモノマー（ａ３−４−２）を用い、そのモル比
〔モノマー（ａ１−１−３）：モノマー（ａ１−２−９）：モノマー（Ｉ−１）：モノマ
ー（ａ２−１−１）：モノマー（ａ３−４−２）〕が４０：９：１０：２．５：３８．５
となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のプロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニ
トリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、
１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混
合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。
得られた樹脂を再び、メタノール／水混合溶媒に注いでリパルプし、この樹脂をろ過する
ことにより、重量平均分子量７．７×１０³の樹脂Ａ６（共重合体）を収率５８％で得た
。この樹脂Ａ６は、以下の構造単位を有するものである。

合成例１０〔樹脂Ａ７の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１−１−３）、モノマー（ａ１−２−９）、モノマー（
Ｉ−３）、モノマー（ａ２−１−１）及びモノマー（ａ３−４−２）を用い、そのモル比
〔モノマー（ａ１−１−３）：モノマー（ａ１−２−９）：モノマー（Ｉ−３）：モノマ
ー（ａ２−１−１）：モノマー（ａ３−４−２）〕が４０：９：１０：２．５：３８．５
となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のプロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニ
トリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、
１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混
合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。
得られた樹脂を再び、メタノール／水混合溶媒に注いでリパルプし、この樹脂をろ過する
ことにより、重量平均分子量７．９×１０³の樹脂Ａ７（共重合体）を収率５５％で得た
。この樹脂Ａ７は、以下の構造単位を有するものである。

合成例１１〔樹脂Ｘ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ５−１−１）及びモノマー（ａ４−０−１２）を用い、
そのモル比〔モノマー（ａ５−１−１）：モノマー（ａ４−０−１２）〕が５０：５０と
なるように混合し、全モノマー量の１．２質量倍のメチルイソブチルケトンを加えて溶液
とした。この溶液に、開始剤としてアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モ
ノマー量に対して３ｍｏｌ％添加し、７０℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を
、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過し、重量平均
分子量１．０×１０⁴の樹脂Ｘ１（共重合体）を収率９１％で得た。この樹脂Ｘ１は、以
下の構造単位を有するものである。

合成例１２〔樹脂ＸＸ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ＩＸ−１）を用い、全モノマー量の１．５質量倍のプロピ
レングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤
としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を
全モノマー量に対して各々、０．７ｍｏｌ％及び２．１ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃
で約５時間加熱した。得られた樹脂溶液を大量のｎ−ヘプタンに注いで、樹脂を沈殿させ
た。この樹脂をろ過・回収した。回収された樹脂を、大量のｎ−ヘプタンとイソプロパノ
ールとの混合溶媒（ｎ−ヘプタン／イソプロパノール＝８／２（重量比））に注いで樹脂
をリパルプさせ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量１．５×１０⁴の樹脂ＸＸ
１を収率３８％で得た。この樹脂ＸＸ１は、以下の構造単位を有するものである。

合成例１３〔樹脂ＸＸ２の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｉ−ｘ）を用い、全モノマー量の１．５質量倍のプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて溶液とした。この溶液に、開始剤と
してアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全
モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間
加熱した。得られた樹脂溶液を大量のｎ−ヘプタンに注いで、樹脂を沈殿させた。この樹
脂をろ過・回収した。回収された樹脂を、大量のｎ−ヘプタンとイソプロパノールとの混
合溶媒（ｎ−ヘプタン／イソプロパノール＝８／２（重量比））に注いで樹脂をリパルプ
させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量８．２×１０³の樹脂ＸＸ２を収率２
４％で得た。この樹脂ＸＸ２は、以下の構造単位を有するものである。

＜レジスト組成物の調製＞
以下に示す成分の各々を表１に示す質量部で溶剤に溶解し、さらに孔径０．２μｍのフ
ッ素樹脂製フィルターで濾過して、レジスト組成物を調製した。調製したレジスト組成物
を３０℃で３週間保存した後、レジスト特性評価を行った。

＜樹脂＞
Ａ１〜Ａ７、Ｘ１、ＸＸ１、ＸＸ２：樹脂Ａ１〜樹脂Ａ７、樹脂Ｘ１、樹脂ＸＸ１、樹
脂ＸＸ２
＜酸発生剤(Ｂ)＞
Ｂ１−５：式（Ｂ１−５）で表される塩
Ｂ１−２１：式（Ｂ１−２１）で表される塩
Ｂ１−２２：式（Ｂ１−２２）で表される塩
＜弱酸分子内塩（Ｄ）＞
Ｄ１：（東京化成工業（株）製）

＜溶剤＞
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ２６５部
プロピレングリコールモノメチルエーテル ２０部
２−ヘプタノン ２０部
γ−ブチロラクトン ３．５部

＜レジストパターンの製造及びその評価＞
１２インチのシリコンウェハ上に、有機反射防止膜用組成物［ＡＲＣ−２９；日産化学
（株）製］を塗布して、２０５℃、６０秒の条件でベークすることによって、厚さ７８ｎ
ｍの有機反射防止膜を形成した。次いで、前記の有機反射防止膜の上に、上記のレジスト
組成物を乾燥（プリベーク）後の組成物層の膜厚が１００ｎｍとなるようにスピンコート
した。塗布後、ダイレクトホットプレート上にて、表１の「ＰＢ」欄に記載された温度で
６０秒間プリベークして、シリコンウェハ上に組成物層を形成した。組成物層が形成され
たシリコンウェハに、液浸露光用ＡｒＦエキシマレーザステッパー［ＸＴ：１９００Ｇｉ
；ＡＳＭＬ社製、ＮＡ＝１.３５、３／４Ａｎｎｕｌａｒ Ｘ−Ｙ偏光照明］で、１：１
ラインアンドスペースパターン（ピッチ７０ｎｍ〜１００ｎｍ）を形成するためのマスク
を用いて、露光量を段階的に変化させて露光した。なお、液浸媒体としては超純水を使用
した。露光後、ホットプレート上にて、表１の「ＰＥＢ」欄に記載された温度で６０秒間
ポストエキスポジャーベークを行った。次いで、このシリコンウェハ上の組成物層を、現
像液として酢酸ブチル（東京化成工業（株）製）を用いて、２３℃で２０秒間ダイナミッ
クディスペンス現像を行うことにより、ネガ型レジストパターンを製造した。

＜解像度評価＞
レジストパターンを走査型電子顕微鏡で観察し、
４３ｎｍを解像しているものを◎、
４５ｎｍを解像し、４３ｎｍを解像していないものを○、
４５ｎｍを解像していないか、あるいは、解像しているがトップが丸いか、裾引きがあ
るか、パターン倒れが観察されるものは×とした。
その結果を表２に示す。カッコ内の数値は、解像度を示す。

上記の結果から、本発明のレジスト組成物によれば、良好な解像度でレジストパターン
を製造することができることがわかる。

本発明のレジスト組成物は、良好な解像度でレジストパターンを製造することができ、
半導体の微細加工に有用である。

Claims (9)

1. 式（Ｉａ）で表される基を有する化合物に由来する構造単位と、式（ａ１−１）で表される構造単位及び式（ａ１−２）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも１種と、式（ａ３−４）で表される構造単位とを含む樹脂及び酸発生剤を含有するレジスト組成物。
   

   

   ［式（Ｉａ）中、
   Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立に、酸不安定基を有する基を表す。
   Ｗは、置換基を有していてもよい炭素数５〜１８の脂環式炭化水素基を表す。
   ＊は、結合手を表す。］
   

   

   ［式（ａ１−１）及び式（ａ１−２）中、
   Ｌ^a1及びＬ^a2は、それぞれ独立に、−Ｏ−又は^＊−Ｏ−（ＣＨ₂）_k1−ＣＯ−Ｏ−を表し、ｋ１は１〜７の整数を表し、＊は−ＣＯ−との結合手を表す。
   Ｒ^a4及びＲ^a5は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
   Ｒ^a6及びＲ^a7は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基を表す。
   ｍ１は０〜１４の整数を表す。
   ｎ１は０〜１０の整数を表す。
   ｎ１’は０〜３の整数を表す。］
   

   

   ［式（ａ３−４）中、
   Ｒ ^a24 は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
   Ｌ ^a7 は、単結合、 ^＊ −Ｏ−、 ^＊ −Ｏ−Ｌ ^a8 −Ｏ−、 ^＊ −Ｏ−Ｌ ^a8 −ＣＯ−Ｏ−、 ^＊ −Ｏ−Ｌ ^a8 −ＣＯ−Ｏ−Ｌ ^a9 −ＣＯ−Ｏ−又は ^＊ −Ｏ−Ｌ ^a8 −Ｏ−ＣＯ−Ｌ ^a9 −Ｏ−を表す。
   ＊はカルボニル基との結合手を表す。
   Ｌ ^a8 及びＬ ^a9 は、互いに独立に、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。］
2. 式（Ｉａ）で表される基を有する化合物に由来する構造単位と、式（ａ１−１）で表される構造単位及び式（ａ１−２）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも１種とを含む樹脂及び酸発生剤を含有するレジスト組成物。
   

   

   ［式（Ｉａ）中、
   Ｒ ¹ 及びＲ ² は、それぞれ独立に、式（Ｒ−２）で表される基を表す。
   

   

   ＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
   （式（Ｒ−２）中、
   Ｒ ^ar1’ 及びＲ ^ar2’ は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素基を表し、Ｒ ^ar3’ は、炭素数１〜２０の炭化水素基を表すか、Ｒ ^ar2’ 及びＲ ^ar3’ は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の複素環を形成し、該炭化水素基及び該２価の複素環に含まれる−ＣＨ ₂ −は、−Ｏ−又は−Ｓ−で置き換わってもよい。
   Ｒ ^ar4’ は、単結合又は炭素数１〜８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
   Ｘ ^ar は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
   ＊＊は、結合手を表す。）
   Ｗは、置換基を有していてもよい炭素数５〜１８の脂環式炭化水素基を表す。
   ＊は、結合手を表す。］
   

   

   ＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
   ［式（ａ１−１）及び式（ａ１−２）中、
   Ｌ ^a1 及びＬ ^a2 は、それぞれ独立に、−Ｏ−又は ^＊ −Ｏ−（ＣＨ ₂ ） _k1 −ＣＯ−Ｏ−を表し、ｋ１は１〜７の整数を表し、＊は−ＣＯ−との結合手を表す。
   Ｒ ^a4 及びＲ ^a5 は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
   Ｒ ^a6 及びＲ ^a7 は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基を表す。
   ｍ１は０〜１４の整数を表す。
   ｎ１は０〜１０の整数を表す。
   ｎ１’は０〜３の整数を表す。］
3. 置換基を有していてもよい炭素数５〜１８の脂環式炭化水素基が、Ｒ¹−Ｏ−ＣＯ−、Ｒ²−Ｏ−ＣＯ−及び結合手＊と結合する基以外の置換基を有さない脂環式炭化水素基である請求項１又は２記載のレジスト組成物。
4. Ｒ¹及びＲ²は、それぞれ独立に、下記の基（Ｒ−１）又は基（Ｒ−２）である請求項１又は請求項１に従属する請求項３記載のレジスト組成物。
   

   

   ［式（Ｒ−１）中、
   Ｒ^ar1、Ｒ^ar2及びＲ^ar3は、それぞれ独立に、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜２０の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ｒ^ar1及びＲ^ar2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の脂環式炭化水素基を形成する。
   Ｒ^ar4は、単結合又は炭素数１〜８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
   ＊は、結合手を表す。］
   

   

   ［式（Ｒ−２）中、
   Ｒ^ar1’及びＲ^ar2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素基を表し、Ｒ^ar3’は、炭素数１〜２０の炭化水素基を表すか、Ｒ^ar2’及びＲ^ar3’は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の２価の複素環を形成し、該炭化水素基及び該２価の複素環に含まれる−ＣＨ₂−は、−Ｏ−又は−Ｓ−で置き換わってもよい。
   Ｒ^ar4’は、単結合又は炭素数１〜８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
   Ｘ^arは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
   ＊は、結合手を表す。］
5. Ｒ¹及びＲ²は、基（Ｒ−１）である請求項４記載のレジスト組成物。
6. Ｗが、シクロヘキサントリイル基、アダマンタントリイル基又はノルボルナントリイル基である請求項１〜５のいずれか記載のレジスト組成物。
7. 式（Ｉａ）で表される基を有する化合物が、式（Ｉ）で表される化合物である請求項１〜６のいずれか記載のレジスト組成物。
   

   

   ［式（Ｉ）中、
   Ｒ¹ 、Ｒ² 及びＷは、上記と同じ意味を表す。
   Ｒ³は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
   Ａ¹は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。］
8. 酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱いカルボン酸を発生する塩を含有する請求項１〜７のいずれか記載のレジスト組成物。
9. （１）請求項１〜８のいずれかに記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
   （２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
   （３）組成物層に露光する工程、
   （４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
   （５）加熱後の組成物層を現像する工程
   を含むレジストパターンの製造方法。