JP6965709B2 - Electric actuator - Google Patents

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Description

本発明は、電動アクチュエータに関する。 The present invention relates to an electric actuator.

特許文献1の回転式アクチュエータは、入力軸を回転駆動するモータと、入力軸の回転を減速して出力軸に伝達する減速機と、モータおよび減速機を収容するケースと、を備える。 The rotary actuator of Patent Document 1 includes a motor for rotationally driving the input shaft, a speed reducer for decelerating the rotation of the input shaft and transmitting the speed to the output shaft, and a case for accommodating the motor and the speed reducer.

特開2013−247798号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-247798

上記のような回転式アクチュエータにおいては、出力軸の回転を検出する回転センサをケースに保持することが考えられる。しかし、この場合、回転センサとケースとの熱膨張率の違いによって、回転センサの熱変形量とケースの熱変形量とが異なり、回転センサのセンサチップに応力が加えられる場合がある。この場合、センサチップが歪む、または損傷し、回転センサの検出精度が低下する場合がある。 In the rotary actuator as described above, it is conceivable to hold a rotation sensor for detecting the rotation of the output shaft in the case. However, in this case, due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the rotation sensor and the case, the amount of thermal deformation of the rotation sensor and the amount of thermal deformation of the case are different, and stress may be applied to the sensor chip of the rotation sensor. In this case, the sensor chip may be distorted or damaged, and the detection accuracy of the rotation sensor may decrease.

本発明は、上記事情に鑑みて、回転センサの検出精度が低下することを抑制できる構造を有する電動アクチュエータを提供することを目的の一つとする。 In view of the above circumstances, one object of the present invention is to provide an electric actuator having a structure capable of suppressing a decrease in detection accuracy of a rotation sensor.

本発明の電動アクチュエータの一つの態様は、軸方向に延びるモータシャフトを有するモータと、前記モータシャフトに連結される減速機構と、前記モータおよび前記減速機構を収容するケースと、前記減速機構を介して前記モータシャフトの回転が伝達される出力部と、前記出力部の回転を検出する第1回転センサと、前記ケースに設けられ、前記第1回転センサを収容する収容部と、前記第1回転センサを前記収容部に保持する保持部材と、を備える。前記収容部は、第1方向一方側に窪む第1凹部と、前記第1方向他方側を向き、前記第1凹部の底面よりも前記第1方向他方側に配置される支持面と、を有する。前記第1回転センサは、センサチップを有し、前記第1凹部に収容されるセンサ本体と、前記センサ本体から前記第1方向と直交する第2方向に突出する突起部と、を有する。前記突起部は、前記支持面に前記第1方向一方側から支持される。前記センサ本体は、前記第1凹部の底面から前記第1方向他方側に離れて配置される。 One aspect of the electric actuator of the present invention is via a motor having a motor shaft extending in the axial direction, a deceleration mechanism connected to the motor shaft, a case accommodating the motor and the deceleration mechanism, and the deceleration mechanism. An output unit for transmitting the rotation of the motor shaft, a first rotation sensor for detecting the rotation of the output unit, an accommodating unit provided in the case for accommodating the first rotation sensor, and the first rotation. A holding member for holding the sensor in the housing portion is provided. The accommodating portion includes a first recess that is recessed on one side in the first direction, and a support surface that faces the other side in the first direction and is arranged on the other side in the first direction with respect to the bottom surface of the first recess. Have. The first rotation sensor has a sensor chip, and has a sensor body housed in the first recess and a protrusion protruding from the sensor body in a second direction orthogonal to the first direction. The protrusion is supported by the support surface from one side in the first direction. The sensor body is arranged away from the bottom surface of the first recess on the other side in the first direction.

本発明の一つの態様によれば、回転センサの検出精度が低下することを抑制できる構造を有する電動アクチュエータが提供される。 According to one aspect of the present invention, there is provided an electric actuator having a structure capable of suppressing a decrease in detection accuracy of a rotation sensor.

図1は、本実施形態の電動アクチュエータを示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an electric actuator of the present embodiment. 図2は、本実施形態の回転検出装置の一部を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a part of the rotation detection device of the present embodiment. 図3は、本実施形態の回転検出装置の一部を上側から視た図である。FIG. 3 is a view of a part of the rotation detection device of the present embodiment as viewed from above. 図4は、本実施形態の回転検出装置の一部を長手方向に沿って視た図である。FIG. 4 is a view of a part of the rotation detection device of the present embodiment viewed along the longitudinal direction. 図5は、本実施形態の回転検出装置の一部を示す図であって、図3におけるV−V断面図である。FIG. 5 is a diagram showing a part of the rotation detection device of the present embodiment, and is a sectional view taken along line VV in FIG. 図6は、本実施形態の回転検出装置の一部を示す図であって、図3におけるVI−VI断面図である。FIG. 6 is a diagram showing a part of the rotation detection device of the present embodiment, and is a sectional view taken along line VI-VI in FIG. 図7は、回転検出装置を誤って組み付けようとした場合の一例を上側から視た図である。FIG. 7 is a top view of an example of a case where the rotation detection device is erroneously assembled. 図8は、回転検出装置を誤って組み付けようとした場合の一例を長手方向に沿って視た図である。FIG. 8 is a view taken along the longitudinal direction as an example of a case where the rotation detection device is erroneously assembled.

各図においてZ軸方向は、正の側を上側とし、負の側を下側とする上下方向である。各図に適宜示す中心軸J1の軸方向は、Z軸方向、すなわち上下方向と平行である。X軸方向は、Z軸方向、すなわち軸方向Zと直交する方向である。Y軸方向は、軸方向ZおよびX軸方向の両方と直交する方向である。以下の説明においては、中心軸J1の軸方向と平行な方向を単に「軸方向Z」と呼び、X軸方向と平行な方向を「長手方向X」と呼び、Y軸方向と平行な方向を「短手方向Y」と呼ぶ。また、中心軸J1を中心とする径方向を単に「径方向」と呼び、中心軸J1を中心とする周方向を単に「周方向」と呼ぶ。 In each figure, the Z-axis direction is a vertical direction in which the positive side is the upper side and the negative side is the lower side. The axial direction of the central axis J1 shown in each figure is parallel to the Z-axis direction, that is, the vertical direction. The X-axis direction is the Z-axis direction, that is, the direction orthogonal to the axial direction Z. The Y-axis direction is a direction orthogonal to both the axial direction Z and the X-axis direction. In the following description, the direction parallel to the axial direction of the central axis J1 is simply referred to as "axial direction Z", the direction parallel to the X-axis direction is referred to as "longitudinal direction X", and the direction parallel to the Y-axis direction is referred to as "longitudinal direction X". It is called "short direction Y". Further, the radial direction centered on the central axis J1 is simply referred to as the "diameter direction", and the circumferential direction centered on the central axis J1 is simply referred to as the "circumferential direction".

本実施形態において、軸方向Zは、第1方向に相当する。短手方向Yは、第2方向および第3方向に相当する。また、下側は、第1方向一方側に相当し、上側は、第1方向他方側に相当する。なお、上側および下側とは、単に各部の相対位置関係を説明するための名称であり、実際の配置関係等は、これらの名称で示される配置関係等以外の配置関係等であってもよい。 In this embodiment, the axial direction Z corresponds to the first direction. The lateral direction Y corresponds to the second direction and the third direction. Further, the lower side corresponds to one side in the first direction, and the upper side corresponds to the other side in the first direction. The upper side and the lower side are simply names for explaining the relative positional relationship of each part, and the actual arrangement relationship and the like may be an arrangement relationship and the like other than the arrangement relationship and the like indicated by these names. ..

図1から図3に示すように、本実施形態の電動アクチュエータ10は、ケース11と、中心軸J1の軸方向Zに延びるモータシャフト21を有するモータ20と、制御部24と、コネクタ部80と、減速機構30と、出力部40と、回転検出装置60と、第1配線部材91と、第2配線部材92と、第1ベアリング51と、第2ベアリング52と、第3ベアリング53と、ブッシュ54と、を備える。第1ベアリング51、第2ベアリング52および第3ベアリング53は、例えば、ボールベアリングである。 As shown in FIGS. 1 to 3, the electric actuator 10 of the present embodiment includes a case 11, a motor 20 having a motor shaft 21 extending in the axial direction Z of the central axis J1, a control unit 24, and a connector unit 80. , The deceleration mechanism 30, the output unit 40, the rotation detection device 60, the first wiring member 91, the second wiring member 92, the first bearing 51, the second bearing 52, the third bearing 53, and the bush. 54 and. The first bearing 51, the second bearing 52, and the third bearing 53 are, for example, ball bearings.

図1に示すように、ケース11は、モータ20および減速機構30を収容する。ケース11は、モータ20を収容するモータケース12と、減速機構30を収容する減速機構ケース13と、を有する。モータケース12は、ケース筒部12aと、上蓋部12cと、円環板部12bと、ベアリング保持部12eと、制御基板収容部12fと、端子保持部12dと、第1配線保持部14と、を有する。 As shown in FIG. 1, the case 11 houses the motor 20 and the speed reduction mechanism 30. The case 11 includes a motor case 12 for accommodating the motor 20 and a deceleration mechanism case 13 for accommodating the deceleration mechanism 30. The motor case 12 includes a case cylinder portion 12a, an upper lid portion 12c, an annular plate portion 12b, a bearing holding portion 12e, a control board accommodating portion 12f, a terminal holding portion 12d, and a first wiring holding portion 14. Has.

ケース筒部12aは、中心軸J1を中心として軸方向Zに延びる円筒状である。ケース筒部12aは、軸方向Zの両側に開口する。ケース筒部12aは、下側に開口する第1開口部12gを有する。すなわち、モータケース12は、第1開口部12gを有する。ケース筒部12aは、モータ20の径方向外側を囲む。円環板部12bは、ケース筒部12aの内周面から径方向内側に拡がる円環板状である。円環板部12bは、モータ20の後述するステータ23の上側を覆う。ベアリング保持部12eは、円環板部12bの径方向内縁部に設けられる。ベアリング保持部12eは、第3ベアリング53を保持する。 The case cylinder portion 12a has a cylindrical shape extending in the axial direction Z about the central axis J1. The case cylinder portion 12a opens on both sides in the axial direction Z. The case cylinder portion 12a has a first opening portion 12g that opens downward. That is, the motor case 12 has a first opening 12g. The case cylinder portion 12a surrounds the radial outer side of the motor 20. The ring plate portion 12b has a ring plate shape that extends inward in the radial direction from the inner peripheral surface of the case cylinder portion 12a. The annular plate portion 12b covers the upper side of the stator 23, which will be described later, of the motor 20. The bearing holding portion 12e is provided at the radial inner edge portion of the annular plate portion 12b. The bearing holding portion 12e holds the third bearing 53.

制御基板収容部12fは、後述する制御基板70を収容する部分である。制御基板収容部12fは、ケース筒部12aの上側部分の径方向内側に構成される。制御基板収容部12fの底面は、円環板部12bの上面である。制御基板収容部12fは、上側に開口する。上蓋部12cは、制御基板収容部12fの上端開口を塞ぐ板状の蓋である。端子保持部12dは、ケース筒部12aから径方向外側に突出する。端子保持部12dは、径方向外側に開口する円筒状である。端子保持部12dは、後述する端子81を保持する。 The control board accommodating portion 12f is a portion accommodating the control substrate 70 described later. The control board accommodating portion 12f is formed inside the upper portion of the case cylinder portion 12a in the radial direction. The bottom surface of the control board accommodating portion 12f is the upper surface of the annular plate portion 12b. The control board accommodating portion 12f opens upward. The upper lid portion 12c is a plate-shaped lid that closes the upper end opening of the control substrate accommodating portion 12f. The terminal holding portion 12d projects radially outward from the case cylinder portion 12a. The terminal holding portion 12d has a cylindrical shape that opens outward in the radial direction. The terminal holding portion 12d holds the terminal 81, which will be described later.

第1配線保持部14は、ケース筒部12aから径方向外側に突出する。図1では、第1配線保持部14は、ケース筒部12aから長手方向Xの正の側に突出する。第1配線保持部14は、軸方向Zに延びる。第1配線保持部14の上端部の軸方向位置は、円環板部12bの軸方向位置とほぼ同じである。第1配線保持部14の周方向位置は、例えば、コネクタ部80の周方向位置と異なる。 The first wiring holding portion 14 projects radially outward from the case cylinder portion 12a. In FIG. 1, the first wiring holding portion 14 projects from the case cylinder portion 12a to the positive side in the longitudinal direction X. The first wiring holding portion 14 extends in the axial direction Z. The axial position of the upper end portion of the first wiring holding portion 14 is substantially the same as the axial position of the annular plate portion 12b. The circumferential position of the first wiring holding portion 14 is different from, for example, the circumferential position of the connector portion 80.

減速機構ケース13は、底壁部13aと、筒部13bと、突出筒部13cと、第2配線保持部15と、を有する。底壁部13aは、中心軸J1を中心とする円環板状である。底壁部13aは、減速機構30の下側を覆う。筒部13bは、底壁部13aの径方向外縁部から上側に突出する円筒状である。筒部13bは、上側に開口する。筒部13bの上端部は、ケース筒部12aの下端部に接触して固定される。突出筒部13cは、底壁部13aの径方向内縁部から軸方向両側に突出する円筒状である。突出筒部13cは、軸方向両側に開口する。突出筒部13cの上端部は、筒部13bの上端部よりも下側に位置する。 The speed reduction mechanism case 13 has a bottom wall portion 13a, a tubular portion 13b, a protruding tubular portion 13c, and a second wiring holding portion 15. The bottom wall portion 13a has an annular plate shape centered on the central axis J1. The bottom wall portion 13a covers the lower side of the speed reduction mechanism 30. The tubular portion 13b has a cylindrical shape that projects upward from the radial outer edge portion of the bottom wall portion 13a. The tubular portion 13b opens upward. The upper end of the cylinder 13b is fixed in contact with the lower end of the case cylinder 12a. The protruding tubular portion 13c has a cylindrical shape that protrudes from the radial inner edge portion of the bottom wall portion 13a to both sides in the axial direction. The protruding cylinder portion 13c opens on both sides in the axial direction. The upper end of the protruding cylinder 13c is located below the upper end of the cylinder 13b.

突出筒部13cの内部には、軸方向Zに延びる円筒状のブッシュ54が配置される。ブッシュ54は、突出筒部13cに嵌め合わされて、突出筒部13c内に固定される。ブッシュ54は、上端部に径方向外側に突出するフランジ部を有する。ブッシュ54のフランジ部は、突出筒部13cの上端部に上側から接触する。 Inside the protruding cylinder portion 13c, a cylindrical bush 54 extending in the axial direction Z is arranged. The bush 54 is fitted into the protruding cylinder portion 13c and fixed in the protruding cylinder portion 13c. The bush 54 has a flange portion protruding outward in the radial direction at the upper end portion. The flange portion of the bush 54 comes into contact with the upper end portion of the protruding cylinder portion 13c from above.

第2配線保持部15は、筒部13bから径方向外側に突出する。図1では、第2配線保持部15は、筒部13bから長手方向Xの正の側に突出する。第2配線保持部15は、第1配線保持部14の下側に配置される。第2配線保持部15は、例えば、中空で上側に開口する箱状である。第2配線保持部15の内部は、筒部13bの内部と繋がる。減速機構ケース13は、第2開口部13hを有する。本実施形態において第2開口部13hは、筒部13bの上側の開口と第2配線保持部15の上側の開口とによって構成される。 The second wiring holding portion 15 projects radially outward from the tubular portion 13b. In FIG. 1, the second wiring holding portion 15 projects from the tubular portion 13b to the positive side in the longitudinal direction X. The second wiring holding portion 15 is arranged below the first wiring holding portion 14. The second wiring holding portion 15 is, for example, hollow and has a box shape that opens upward. The inside of the second wiring holding portion 15 is connected to the inside of the tubular portion 13b. The speed reduction mechanism case 13 has a second opening 13h. In the present embodiment, the second opening 13h is composed of an upper opening of the tubular portion 13b and an upper opening of the second wiring holding portion 15.

図4に示すように、減速機構ケース13は、第1固定凸部17と、第2固定凸部18と、を有する。第1固定凸部17および第2固定凸部18は、底壁部13aから上側に突出する円柱状である。第1固定凸部17と第2固定凸部18とは、周方向に離れて配置される。第1固定凸部17は、第2固定凸部18よりも径方向内側に配置される。 As shown in FIG. 4, the speed reduction mechanism case 13 has a first fixed convex portion 17 and a second fixed convex portion 18. The first fixed convex portion 17 and the second fixed convex portion 18 are columnar shapes protruding upward from the bottom wall portion 13a. The first fixed convex portion 17 and the second fixed convex portion 18 are arranged apart from each other in the circumferential direction. The first fixed convex portion 17 is arranged radially inside the second fixed convex portion 18.

第1固定凸部17の上面は、第1ケース側固定面17aである。第2固定凸部18の上面は、第2ケース側固定面18aである。すなわち、ケース11は、第1ケース側固定面17aおよび第2ケース側固定面18aを有する。第1ケース側固定面17aおよび第2ケース側固定面18aは、後述する収容部100が固定される面である。 The upper surface of the first fixed convex portion 17 is the first case side fixed surface 17a. The upper surface of the second fixed convex portion 18 is the second case side fixed surface 18a. That is, the case 11 has a first case-side fixing surface 17a and a second case-side fixing surface 18a. The first case-side fixing surface 17a and the second case-side fixing surface 18a are surfaces on which the accommodating portion 100, which will be described later, is fixed.

第1ケース側固定面17aおよび第2ケース側固定面18aは、軸方向Zと直交する平坦面である。第1ケース側固定面17aと第2ケース側固定面18aとは、軸方向Zにおいて、互いに異なる位置に配置される。第1ケース側固定面17aは、第2ケース側固定面18aよりも上側に配置される。第1固定凸部17は、第1ケース側固定面17aから下側に窪む第1雌ネジ穴17bを有する。第2固定凸部18は、第2ケース側固定面18aから下側に窪む第2雌ネジ穴18bを有する。 The first case-side fixed surface 17a and the second case-side fixed surface 18a are flat surfaces orthogonal to the axial direction Z. The first case-side fixed surface 17a and the second case-side fixed surface 18a are arranged at different positions in the axial direction Z. The first case-side fixing surface 17a is arranged above the second case-side fixing surface 18a. The first fixed convex portion 17 has a first female screw hole 17b that is recessed downward from the first case side fixing surface 17a. The second fixed convex portion 18 has a second female screw hole 18b that is recessed downward from the second case side fixing surface 18a.

図1に示すように、モータケース12と減速機構ケース13とは、第1開口部12gと第2開口部13hとが軸方向Zに対向した状態で互いに固定される。本実施形態においてモータケース12の下側の端部は、ケース筒部12aの下側の端部および第1配線保持部14の下側の端部を含む。本実施形態において減速機構ケース13の上側の端部は、筒部13bの上側の端部および第2配線保持部15の上側の端部を含む。モータケース12と減速機構ケース13とが互いに固定された状態において、第1開口部12gの内部と第2開口部13hの内部とは、互いに繋がる。 As shown in FIG. 1, the motor case 12 and the speed reduction mechanism case 13 are fixed to each other with the first opening 12g and the second opening 13h facing each other in the axial direction Z. In the present embodiment, the lower end of the motor case 12 includes the lower end of the case cylinder 12a and the lower end of the first wiring holding portion 14. In the present embodiment, the upper end portion of the speed reduction mechanism case 13 includes the upper end portion of the tubular portion 13b and the upper end portion of the second wiring holding portion 15. In a state where the motor case 12 and the speed reduction mechanism case 13 are fixed to each other, the inside of the first opening 12g and the inside of the second opening 13h are connected to each other.

モータ20は、モータシャフト21と、ロータ22と、ステータ23と、を有する。モータシャフト21は、第1ベアリング51と第2ベアリング52と第3ベアリング53とによって、中心軸J1周りに回転可能に支持される。モータシャフト21の上端部は、ベアリング保持部12eを軸方向Zに貫通して円環板部12bよりも上側に突出する。モータシャフト21のうち第2ベアリング52に支持される部分である偏心軸部21aは、中心軸J1と平行で中心軸J1に対して偏心した偏心軸J2を中心として延びる。 The motor 20 includes a motor shaft 21, a rotor 22, and a stator 23. The motor shaft 21 is rotatably supported around the central axis J1 by the first bearing 51, the second bearing 52, and the third bearing 53. The upper end portion of the motor shaft 21 penetrates the bearing holding portion 12e in the axial direction Z and projects upward from the annular plate portion 12b. The eccentric shaft portion 21a, which is a portion of the motor shaft 21 supported by the second bearing 52, extends about the eccentric shaft J2 which is parallel to the central shaft J1 and eccentric with respect to the central shaft J1.

ロータ22は、モータシャフト21の外周面に固定される円筒状のロータコアと、ロータコアの外周面に固定されるマグネットと、を有する。ステータ23は、ロータ22の径方向外側を囲む環状のステータコアと、ステータコアに装着される複数のコイルと、を有する。ステータ23は、ケース筒部12aの内周面に固定される。これにより、モータ20は、モータケース12に保持される。 The rotor 22 has a cylindrical rotor core fixed to the outer peripheral surface of the motor shaft 21 and a magnet fixed to the outer peripheral surface of the rotor core. The stator 23 has an annular stator core that surrounds the radial outer side of the rotor 22 and a plurality of coils mounted on the stator core. The stator 23 is fixed to the inner peripheral surface of the case cylinder portion 12a. As a result, the motor 20 is held in the motor case 12.

制御部24は、制御基板70と、第2取付部材73と、第2マグネット74、第2回転センサ71と、を有する。すなわち、電動アクチュエータ10は、制御基板70と、第2取付部材73と、第2マグネット74、第2回転センサ71と、を備える。 The control unit 24 includes a control board 70, a second mounting member 73, a second magnet 74, and a second rotation sensor 71. That is, the electric actuator 10 includes a control board 70, a second mounting member 73, a second magnet 74, and a second rotation sensor 71.

制御基板70は、軸方向Zと直交する平面に拡がる板状である。制御基板70は、モータケース12に収容される。より詳細には、制御基板70は、制御基板収容部12f内に収容され、円環板部12bから上側に離れて配置される。制御基板70は、モータ20と電気的に接続される基板である。制御基板70には、ステータ23のコイルが電気的に接続される。制御基板70は、例えば、モータ20に供給される電流を制御する。すなわち、制御基板70には、例えば、インバータ回路が搭載される。 The control board 70 has a plate shape extending in a plane orthogonal to the axial direction Z. The control board 70 is housed in the motor case 12. More specifically, the control board 70 is housed in the control board housing portion 12f and is arranged away from the ring plate portion 12b on the upper side. The control board 70 is a board that is electrically connected to the motor 20. The coil of the stator 23 is electrically connected to the control board 70. The control board 70 controls, for example, the current supplied to the motor 20. That is, for example, an inverter circuit is mounted on the control board 70.

第2取付部材73は、中心軸J1を中心とする円環状である。第2取付部材73の内周面は、モータシャフト21の上端部の外周面に固定される。第2取付部材73は、第3ベアリング53およびベアリング保持部12eの上側に配置される。第2取付部材73は、例えば、非磁性体製である。なお、第2取付部材73は、磁性体製であってもよい。 The second mounting member 73 has an annular shape centered on the central axis J1. The inner peripheral surface of the second mounting member 73 is fixed to the outer peripheral surface of the upper end portion of the motor shaft 21. The second mounting member 73 is arranged above the third bearing 53 and the bearing holding portion 12e. The second mounting member 73 is made of, for example, a non-magnetic material. The second mounting member 73 may be made of a magnetic material.

第2マグネット74は、中心軸J1を中心とする円環状である。第2マグネット74は、第2取付部材73の径方向外縁部の上端面に固定される。第2マグネット74の第2取付部材73への固定方法は、特に限定されず、例えば、接着剤による接着である。第2取付部材73と第2マグネット74とは、モータシャフト21とともに回転する。第2マグネット74は、第3ベアリング53およびベアリング保持部12eの上側に配置される。第2マグネット74は、周方向に沿って交互に配置されるN極とS極とを有する。第2マグネット74の上面は、マグネットカバーによって覆われる。 The second magnet 74 is an annular shape centered on the central axis J1. The second magnet 74 is fixed to the upper end surface of the radial outer edge portion of the second mounting member 73. The method of fixing the second magnet 74 to the second mounting member 73 is not particularly limited, and is, for example, adhesion with an adhesive. The second mounting member 73 and the second magnet 74 rotate together with the motor shaft 21. The second magnet 74 is arranged above the third bearing 53 and the bearing holding portion 12e. The second magnet 74 has north poles and south poles that are alternately arranged along the circumferential direction. The upper surface of the second magnet 74 is covered with a magnet cover.

第2回転センサ71は、モータ20の回転を検出するセンサである。第2回転センサ71は、制御基板70の下面に取り付けられる。第2回転センサ71は、第2マグネット74および第2マグネット74の上面を覆うマグネットカバーと隙間を介して軸方向Zに対向する。第2回転センサ71は、第2マグネット74によって生じる磁界を検出する。第2回転センサ71は、例えばホール素子である。図示は省略するが、第2回転センサ71は、周方向に沿って複数、例えば3つ設けられる。第2回転センサ71を用いて、モータシャフト21とともに回転する第2マグネット74によって生じる磁界の変化を検出することで、モータシャフト21の回転を検出することができる。 The second rotation sensor 71 is a sensor that detects the rotation of the motor 20. The second rotation sensor 71 is attached to the lower surface of the control board 70. The second rotation sensor 71 faces the second magnet 74 and the magnet cover covering the upper surfaces of the second magnet 74 in the axial direction Z via a gap. The second rotation sensor 71 detects the magnetic field generated by the second magnet 74. The second rotation sensor 71 is, for example, a Hall element. Although not shown, a plurality of, for example, three second rotation sensors 71 are provided along the circumferential direction. The rotation of the motor shaft 21 can be detected by detecting the change in the magnetic field generated by the second magnet 74 rotating together with the motor shaft 21 by using the second rotation sensor 71.

コネクタ部80は、ケース11外の電気的配線との接続が行われる部分である。コネクタ部80は、モータケース12に設けられる。コネクタ部80は、上述した端子保持部12dと、端子81と、を有する。端子81は、端子保持部12dに埋め込まれて保持される。端子81の一端は、制御基板70に固定される。端子81の他端は、端子保持部12dの内部を介してケース11の外部に露出する。本実施形態において端子81は、例えば、バスバーである。 The connector portion 80 is a portion where the connection with the electrical wiring outside the case 11 is performed. The connector portion 80 is provided on the motor case 12. The connector unit 80 has the terminal holding unit 12d and the terminal 81 described above. The terminal 81 is embedded and held in the terminal holding portion 12d. One end of the terminal 81 is fixed to the control board 70. The other end of the terminal 81 is exposed to the outside of the case 11 via the inside of the terminal holding portion 12d. In this embodiment, the terminal 81 is, for example, a bus bar.

コネクタ部80には、図示しない電気的配線を介して外部電源が接続される。より詳細には、端子保持部12dに外部電源が取り付けられ、外部電源が有する電気的配線が端子保持部12d内に突出した端子81の部分と電気的に接続される。これにより、端子81は、制御基板70と電気的配線とを電気的に接続する。したがって、本実施形態では、端子81および制御基板70を介して、外部電源からステータ23のコイルに電源が供給される。 An external power source is connected to the connector portion 80 via electrical wiring (not shown). More specifically, an external power supply is attached to the terminal holding portion 12d, and the electrical wiring of the external power supply is electrically connected to the portion of the terminal 81 protruding into the terminal holding portion 12d. As a result, the terminal 81 electrically connects the control board 70 and the electrical wiring. Therefore, in the present embodiment, power is supplied from the external power source to the coil of the stator 23 via the terminal 81 and the control board 70.

減速機構30は、モータシャフト21の下側の部分の径方向外側に配置される。減速機構30は、減速機構ケース13の内部に収容される。減速機構30は、底壁部13aとモータ20との軸方向Zの間に配置される。減速機構30は、外歯ギア31と、内歯ギア33と、円環部43と、を有する。 The speed reduction mechanism 30 is arranged on the outer side in the radial direction of the lower portion of the motor shaft 21. The speed reduction mechanism 30 is housed inside the speed reduction mechanism case 13. The speed reduction mechanism 30 is arranged between the bottom wall portion 13a and the motor 20 in the axial direction Z. The reduction gear 30 includes an external tooth gear 31, an internal tooth gear 33, and an annular portion 43.

外歯ギア31は、偏心軸部21aの偏心軸J2を中心として、軸方向Zと直交する平面に拡がる略円環板状である。外歯ギア31の径方向外側面には、歯車部が設けられる。外歯ギア31は、モータシャフト21に第2ベアリング52を介して接続される。これにより、減速機構30は、モータシャフト21に連結される。外歯ギア31は、第2ベアリング52の外輪に径方向外側から嵌め合わされる。これにより、第2ベアリング52はモータシャフト21と外歯ギア31とを、偏心軸J2周りに相対的に回転可能に連結する。 The external tooth gear 31 has a substantially annular plate shape extending in a plane orthogonal to the axial direction Z with the eccentric shaft J2 of the eccentric shaft portion 21a as the center. A gear portion is provided on the radial outer surface of the external tooth gear 31. The external tooth gear 31 is connected to the motor shaft 21 via a second bearing 52. As a result, the speed reduction mechanism 30 is connected to the motor shaft 21. The external tooth gear 31 is fitted to the outer ring of the second bearing 52 from the outside in the radial direction. As a result, the second bearing 52 connects the motor shaft 21 and the external tooth gear 31 so as to be relatively rotatable around the eccentric shaft J2.

外歯ギア31は、複数のピン32を有する。ピン32は、下側に突出する円柱状である。図示は省略するが、複数のピン32は、偏心軸J2を中心とする周方向に沿って一周に亘って等間隔に配置される。 The external tooth gear 31 has a plurality of pins 32. The pin 32 is a columnar shape protruding downward. Although not shown, the plurality of pins 32 are arranged at equal intervals over one circumference along the circumferential direction centered on the eccentric axis J2.

内歯ギア33は、外歯ギア31の径方向外側を囲んで固定され、外歯ギア31と噛み合う。内歯ギア33は、中心軸J1を中心とする円環状である。内歯ギア33の径方向外縁部は、筒部13bの内周面に設けられた径方向外側に窪む段差部に配置されて固定される。これにより、減速機構30は、減速機構ケース13に保持される。内歯ギア33の内周面には、歯車部が設けられる。内歯ギア33の歯車部は、外歯ギア31の歯車部と噛み合う。より詳細には、内歯ギア33の歯車部は、外歯ギア31の歯車部と一部において噛み合う。 The internal tooth gear 33 is fixed so as to surround the radial outer side of the external tooth gear 31, and meshes with the external tooth gear 31. The internal tooth gear 33 is an annular shape centered on the central axis J1. The radial outer edge portion of the internal tooth gear 33 is arranged and fixed at a step portion provided on the inner peripheral surface of the tubular portion 13b and recessed outward in the radial direction. As a result, the speed reduction mechanism 30 is held in the speed reduction mechanism case 13. A gear portion is provided on the inner peripheral surface of the internal tooth gear 33. The gear portion of the internal tooth gear 33 meshes with the gear portion of the external tooth gear 31. More specifically, the gear portion of the internal tooth gear 33 meshes with the gear portion of the external tooth gear 31 in a part thereof.

円環部43は、出力部40の一部である。円環部43は、外歯ギア31の下側に配置される。円環部43は、中心軸J1を中心として径方向に拡がる円環板状である。円環部43は、ブッシュ54のフランジ部に上側から接触する。円環部43は、円環部43を軸方向Zに貫通する複数の孔43aを有する。図示は省略するが、孔43aの軸方向Zに沿って視た形状は、円形状である。孔43aの内径は、ピン32の外径よりも大きい。複数の孔43aには、外歯ギア31に設けられた複数のピン32がそれぞれ通される。ピン32の外周面は、孔43aの内周面と内接する。孔43aの内周面は、ピン32を介して、外歯ギア31を中心軸J1周りに揺動可能に支持する。 The ring portion 43 is a part of the output portion 40. The annular portion 43 is arranged below the external tooth gear 31. The annular portion 43 has an annular plate shape that extends in the radial direction about the central axis J1. The annulus 43 comes into contact with the flange of the bush 54 from above. The annular portion 43 has a plurality of holes 43a penetrating the annular portion 43 in the axial direction Z. Although not shown, the shape seen along the axial direction Z of the hole 43a is a circular shape. The inner diameter of the hole 43a is larger than the outer diameter of the pin 32. A plurality of pins 32 provided in the external tooth gear 31 are passed through the plurality of holes 43a. The outer peripheral surface of the pin 32 is inscribed with the inner peripheral surface of the hole 43a. The inner peripheral surface of the hole 43a supports the external tooth gear 31 so as to be swingable around the central axis J1 via the pin 32.

出力部40は、電動アクチュエータ10の駆動力を出力する部分である。出力部40は、円環部43と、円筒部42と、出力シャフト部41と、を有する。円筒部42は、円環部43の内縁から下側に延びる円筒状である。円筒部42は、底部を有し上側に開口する円筒状である。円筒部42は、ブッシュ54の径方向内側に嵌め合わされる。円筒部42の内周面には、第1ベアリング51が固定される。これにより、第1ベアリング51は、モータシャフト21と出力部40とを互いに相対回転可能に連結する。円筒部42の内部には、モータシャフト21の下端部が位置する。モータシャフト21の下端面は、円筒部42の底部の上面と隙間を介して対向する。 The output unit 40 is a portion that outputs the driving force of the electric actuator 10. The output unit 40 has an annular portion 43, a cylindrical portion 42, and an output shaft portion 41. The cylindrical portion 42 has a cylindrical shape extending downward from the inner edge of the annular portion 43. The cylindrical portion 42 has a cylindrical shape having a bottom portion and opening upward. The cylindrical portion 42 is fitted inside the bush 54 in the radial direction. The first bearing 51 is fixed to the inner peripheral surface of the cylindrical portion 42. As a result, the first bearing 51 connects the motor shaft 21 and the output unit 40 so as to be relatively rotatable with each other. The lower end of the motor shaft 21 is located inside the cylindrical portion 42. The lower end surface of the motor shaft 21 faces the upper surface of the bottom portion of the cylindrical portion 42 via a gap.

出力シャフト部41は、軸方向Zに延び、モータシャフト21の下側に配置される。本実施形態において出力シャフト部41は、中心軸J1を中心とする円柱状である。出力シャフト部41は、円筒部42の底部から下側に延びる。出力シャフト部41は、突出筒部13cの内部に通される。出力シャフト部41の下端部は、突出筒部13cよりも下側に突出する。出力シャフト部41の下端部には、電動アクチュエータ10の駆動力が出力される他の部材が取り付けられる。本実施形態において出力部40は、単一の部材である。 The output shaft portion 41 extends in the axial direction Z and is arranged below the motor shaft 21. In the present embodiment, the output shaft portion 41 has a columnar shape centered on the central axis J1. The output shaft portion 41 extends downward from the bottom portion of the cylindrical portion 42. The output shaft portion 41 is passed through the inside of the protruding cylinder portion 13c. The lower end of the output shaft portion 41 projects below the protruding cylinder portion 13c. Another member that outputs the driving force of the electric actuator 10 is attached to the lower end of the output shaft portion 41. In this embodiment, the output unit 40 is a single member.

モータシャフト21が中心軸J1周りに回転されると、偏心軸部21aは、中心軸J1を中心として周方向に公転する。偏心軸部21aの公転は第2ベアリング52を介して外歯ギア31に伝達され、外歯ギア31は、孔43aの内周面とピン32の外周面との内接する位置が変化しつつ、揺動する。これにより、外歯ギア31の歯車部と内歯ギア33の歯車部とが噛み合う位置が、周方向に変化する。したがって、内歯ギア33に、外歯ギア31を介してモータシャフト21の回転力が伝達される。 When the motor shaft 21 is rotated around the central axis J1, the eccentric shaft portion 21a revolves around the central axis J1 in the circumferential direction. The revolution of the eccentric shaft portion 21a is transmitted to the external tooth gear 31 via the second bearing 52, and the position where the external tooth gear 31 is inscribed between the inner peripheral surface of the hole 43a and the outer peripheral surface of the pin 32 is changed. Swing. As a result, the position where the gear portion of the external tooth gear 31 and the gear portion of the internal tooth gear 33 mesh with each other changes in the circumferential direction. Therefore, the rotational force of the motor shaft 21 is transmitted to the internal tooth gear 33 via the external tooth gear 31.

ここで、本実施形態では、内歯ギア33は固定されているため回転しない。そのため、内歯ギア33に伝達される回転力の反力によって、外歯ギア31が偏心軸J2周りに回転する。このとき外歯ギア31の回転する向きは、モータシャフト21の回転する向きと反対向きとなる。外歯ギア31の偏心軸J2周りの回転は、孔43aとピン32とを介して、円環部43に伝達される。これにより、出力部40が中心軸J1周りに回転する。このようにして、出力部40には、減速機構30を介してモータシャフト21の回転が伝達される。 Here, in the present embodiment, since the internal tooth gear 33 is fixed, it does not rotate. Therefore, the external tooth gear 31 rotates around the eccentric shaft J2 due to the reaction force of the rotational force transmitted to the internal tooth gear 33. At this time, the rotation direction of the external tooth gear 31 is opposite to the rotation direction of the motor shaft 21. The rotation of the external tooth gear 31 around the eccentric shaft J2 is transmitted to the annular portion 43 via the hole 43a and the pin 32. As a result, the output unit 40 rotates around the central axis J1. In this way, the rotation of the motor shaft 21 is transmitted to the output unit 40 via the speed reduction mechanism 30.

出力部40の回転は、減速機構30によって、モータシャフト21の回転に対して減速される。具体的に、本実施形態の減速機構30の構成では、モータシャフト21の回転に対する出力部40の回転の減速比Rは、R=−(N2−N1)/N2で表される。減速比Rを表す式の先頭の負符号は、モータシャフト21の回転する向きに対して、減速される出力部40の回転の向きが逆向きとなることを示している。N1は、外歯ギア31の歯数であり、N2は、内歯ギア33の歯数である。一例として、外歯ギア31の歯数N1が59で、内歯ギア33の歯数N2が60の場合、減速比Rは、−1/60となる。 The rotation of the output unit 40 is decelerated with respect to the rotation of the motor shaft 21 by the reduction mechanism 30. Specifically, in the configuration of the reduction mechanism 30 of the present embodiment, the reduction ratio R of the rotation of the output unit 40 with respect to the rotation of the motor shaft 21 is represented by R = − (N2-N1) / N2. The negative sign at the beginning of the equation representing the reduction ratio R indicates that the direction of rotation of the output unit 40 to be decelerated is opposite to the direction of rotation of the motor shaft 21. N1 is the number of teeth of the external gear 31, and N2 is the number of teeth of the internal gear 33. As an example, when the number of teeth N1 of the external gear 31 is 59 and the number of teeth N2 of the internal gear 33 is 60, the reduction ratio R is -1/60.

このように、本実施形態の減速機構30によれば、モータシャフト21の回転に対する出力部40の回転の減速比Rを比較的大きくできる。そのため、出力部40の回転トルクを比較的大きくできる。 As described above, according to the reduction mechanism 30 of the present embodiment, the reduction ratio R of the rotation of the output unit 40 with respect to the rotation of the motor shaft 21 can be made relatively large. Therefore, the rotational torque of the output unit 40 can be relatively increased.

回転検出装置60は、出力部40の回転を検出する。回転検出装置60の少なくとも一部は、円筒部42と径方向に重なる位置に配置される。回転検出装置60は、減速機構ケース13に収容される。回転検出装置60は、第1マグネット63と、収容部100と、第1回転センサ62と、保持部材61と、を有する。すなわち、電動アクチュエータ10は、第1マグネット63と、収容部100と、第1回転センサ62と、保持部材61と、を備える。 The rotation detection device 60 detects the rotation of the output unit 40. At least a part of the rotation detection device 60 is arranged at a position where it overlaps the cylindrical portion 42 in the radial direction. The rotation detection device 60 is housed in the speed reduction mechanism case 13. The rotation detection device 60 includes a first magnet 63, an accommodating portion 100, a first rotation sensor 62, and a holding member 61. That is, the electric actuator 10 includes a first magnet 63, an accommodating portion 100, a first rotation sensor 62, and a holding member 61.

第1マグネット63は、中心軸J1を中心とする円筒状である。第1マグネット63は、円環部43の下面に固定される。第1マグネット63は、突出筒部13cの上端部、円筒部42およびブッシュ54の径方向外側に配置され、突出筒部13cの上端部、円筒部42およびブッシュ54を囲む。 The first magnet 63 has a cylindrical shape centered on the central axis J1. The first magnet 63 is fixed to the lower surface of the annular portion 43. The first magnet 63 is arranged radially outside the protruding cylinder portion 13c, the upper end portion, the cylindrical portion 42, and the bush 54, and surrounds the upper end portion, the cylindrical portion 42, and the bush 54 of the protruding cylinder portion 13c.

収容部100は、ケース11に設けられ、第1回転センサ62を収容する部材である。本実施形態において収容部100は、ケース11と別部材である。そのため、第1回転センサ62の形状が変更されたような場合に対して、収容部100のみを交換することで対応できる。 The accommodating portion 100 is a member provided in the case 11 and accommodating the first rotation sensor 62. In the present embodiment, the accommodating portion 100 is a separate member from the case 11. Therefore, when the shape of the first rotation sensor 62 is changed, it can be dealt with by replacing only the accommodating portion 100.

図2に示すように、収容部100は、収容部本体110と、支持凸部133,134と、第1固定部121と、第2固定部122と、を有する。収容部本体110は、長手方向Xに長く、軸方向Zに扁平な直方体箱状である。収容部本体110は、径方向に延びる。収容部本体110は、収容部本体110の上面から下側に窪む第1凹部130を有する。すなわち、収容部100は、第1凹部130を有する。図3に示すように、第1凹部130の内縁および第1凹部130の底面130aは、上側から視て、長手方向Xに長い長方形状である。底面130aは、軸方向Zと直交する平坦面である。 As shown in FIG. 2, the accommodating portion 100 includes an accommodating portion main body 110, support convex portions 133, 134, a first fixing portion 121, and a second fixing portion 122. The housing portion main body 110 has a rectangular parallelepiped shape that is long in the longitudinal direction X and flat in the axial direction Z. The accommodating portion main body 110 extends in the radial direction. The accommodating portion main body 110 has a first recess 130 that is recessed downward from the upper surface of the accommodating portion main body 110. That is, the accommodating portion 100 has a first recess 130. As shown in FIG. 3, the inner edge of the first recess 130 and the bottom surface 130a of the first recess 130 have a rectangular shape that is long in the longitudinal direction X when viewed from above. The bottom surface 130a is a flat surface orthogonal to the axial direction Z.

図2に示すように、支持凸部133,134は、第1凹部130の底面130aから上側に突出する。支持凸部133,134は、直方体状である。支持凸部133,134の上端部は、収容部本体110の上面よりも下側に配置される。支持凸部133は、第1凹部130の内側面のうち短手方向一方側の側面に繋がる。支持凸部134は、第1凹部130の内側面のうち短手方向他方側の側面に繋がる。本実施形態において、短手方向一方側は、短手方向Yの負の側であり、第2方向一方側に相当する。短手方向他方側は、短手方向Yの正の側であり、第2方向他方側に相当する。 As shown in FIG. 2, the support convex portions 133 and 134 project upward from the bottom surface 130a of the first concave portion 130. The support protrusions 133 and 134 have a rectangular parallelepiped shape. The upper end portions of the support convex portions 133 and 134 are arranged below the upper surface of the accommodating portion main body 110. The support convex portion 133 is connected to the side surface on one side in the lateral direction of the inner side surface of the first concave portion 130. The support convex portion 134 is connected to the side surface of the inner side surface of the first concave portion 130 on the other side in the lateral direction. In the present embodiment, one side in the short direction is the negative side in the short direction Y, and corresponds to one side in the second direction. The other side in the lateral direction is the positive side in the lateral direction Y and corresponds to the other side in the second direction.

図3に示すように、支持凸部133は、支持凸部133の上面から下側に窪む第2凹部133aを有する。支持凸部134は、支持凸部134の上面から下側に窪む第2凹部134aを有する。すなわち、収容部100は、第2凹部133a,134aを有する。第2凹部133a,134aは、短手方向Yの少なくとも一方側に開口する。第2凹部133aは、短手方向他方側に開口する。第2凹部134aは、短手方向一方側に開口する。 As shown in FIG. 3, the support convex portion 133 has a second concave portion 133a that is recessed downward from the upper surface of the support convex portion 133. The support convex portion 134 has a second concave portion 134a that is recessed downward from the upper surface of the support convex portion 134. That is, the accommodating portion 100 has second recesses 133a and 134a. The second recesses 133a and 134a open on at least one side in the lateral direction Y. The second recess 133a opens on the other side in the lateral direction. The second recess 134a opens on one side in the lateral direction.

図5に示すように、第2凹部133aの底面は、支持面133bである。第2凹部134aの底面は、支持面134bである。すなわち、収容部100は、支持面133b,134bを有する。支持面133b,134bは、上側を向き、第1凹部130の底面130aよりも上側に配置される。 As shown in FIG. 5, the bottom surface of the second recess 133a is a support surface 133b. The bottom surface of the second recess 134a is a support surface 134b. That is, the accommodating portion 100 has support surfaces 133b and 134b. The support surfaces 133b and 134b face upward and are arranged above the bottom surface 130a of the first recess 130.

図3に示すように、支持凸部133の短手方向Yの寸法は、支持凸部134の短手方向Yの寸法よりも小さい。支持凸部133は、長手方向Xに離れて2つ設けられる。支持凸部134は、長手方向Xに離れて2つ設けられる。2つの支持凸部133同士の長手方向Xの間隔は、2つの支持凸部134同士の長手方向Xの間隔よりも小さい。長手方向Xにおいて、支持凸部133の位置と支持凸部134の位置とは、互いに異なる。これにより、長手方向Xにおいて、支持面133bの位置と支持面134bの位置とは、互いに異なる。 As shown in FIG. 3, the dimension of the support convex portion 133 in the lateral direction Y is smaller than the dimension of the support convex portion 134 in the lateral direction Y. Two support convex portions 133 are provided apart from each other in the longitudinal direction X. Two support convex portions 134 are provided apart from each other in the longitudinal direction X. The distance between the two support convex portions 133 in the longitudinal direction X is smaller than the distance between the two support convex portions 134 in the longitudinal direction X. In the longitudinal direction X, the position of the support convex portion 133 and the position of the support convex portion 134 are different from each other. As a result, in the longitudinal direction X, the position of the support surface 133b and the position of the support surface 134b are different from each other.

より詳細には、2つの支持凸部133のうち長手方向一方側の支持凸部133およびその支持面133bは、2つの支持凸部134のうち長手方向一方側の支持凸部134およびその支持面134bよりも長手方向他方側に配置される。2つの支持凸部133のうち長手方向他方側の支持凸部133およびその支持面133bは、2つの支持凸部134のうち長手方向他方側の支持凸部134およびその支持面134bよりも長手方向一方側に配置される。本実施形態において、長手方向一方側は、長手方向Xの負の側であり、径方向内側である。長手方向他方側は、長手方向Xの正の側であり、径方向外側である。 More specifically, the support convex portion 133 on one side in the longitudinal direction and the support surface 133b thereof among the two support convex portions 133 are the support convex portion 134 on one side in the longitudinal direction and the support surface thereof among the two support convex portions 134. It is arranged on the other side in the longitudinal direction from 134b. Of the two support convex portions 133, the support convex portion 133 on the other side in the longitudinal direction and its support surface 133b are longitudinally longer than the support convex portion 134 on the other side in the longitudinal direction and its support surface 134b among the two support convex portions 134. Placed on one side. In the present embodiment, one side in the longitudinal direction is the negative side in the longitudinal direction X and is inward in the radial direction. The other side in the longitudinal direction is the positive side in the longitudinal direction X and is the outer side in the radial direction.

第1固定部121は、収容部本体110から短手方向一方側に突出する。第1固定部121の長手方向Xの寸法は、短手方向Yにおいて収容部本体110から離れるに従って小さくなる。第1固定部121における短手方向一方側の端部の外形は、軸方向Zに沿って視て、短手方向一方側に凸となる円弧状である。 The first fixing portion 121 projects from the accommodating portion main body 110 to one side in the lateral direction. The dimension of the first fixing portion 121 in the longitudinal direction X becomes smaller as it is separated from the accommodating portion main body 110 in the lateral direction Y. The outer shape of the end portion of the first fixed portion 121 on one side in the lateral direction is an arc shape that is convex on one side in the lateral direction when viewed along the axial direction Z.

図4に示すように、第1固定部121は、第1固定部121を軸方向Zに貫通する貫通孔121cを有する。貫通孔121cには、軸方向Zに延びる円筒状のカラー123aが嵌め込まれる。カラー123aの内部は、軸方向Zに沿って視て、第1雌ネジ穴17bと重なる。第1固定部121は、カラー123aの上側から、カラー123aの内部を通って第1雌ネジ穴17bに締め込まれたネジ140によって、第1固定凸部17に固定される。これにより、第1固定部121は、ケース11に固定される。 As shown in FIG. 4, the first fixing portion 121 has a through hole 121c that penetrates the first fixing portion 121 in the axial direction Z. A cylindrical collar 123a extending in the axial direction Z is fitted into the through hole 121c. The inside of the collar 123a overlaps with the first female screw hole 17b when viewed along the axial direction Z. The first fixing portion 121 is fixed to the first fixing convex portion 17 from the upper side of the collar 123a by a screw 140 that passes through the inside of the collar 123a and is tightened into the first female screw hole 17b. As a result, the first fixing portion 121 is fixed to the case 11.

第1固定部121の下側の面は、第1収容部側固定面121aである。すなわち、収容部100は、第1収容部側固定面121aを有する。第1収容部側固定面121aは、第1ケース側固定面17aに接触して固定される。第1収容部側固定面121aは、軸方向Zと直交する平坦な面である。 The lower surface of the first fixing portion 121 is the first accommodating portion side fixing surface 121a. That is, the accommodating portion 100 has a first accommodating portion side fixed surface 121a. The first accommodating portion side fixing surface 121a is fixed in contact with the first case side fixing surface 17a. The first accommodating portion side fixed surface 121a is a flat surface orthogonal to the axial direction Z.

図3に示すように、第2固定部122は、収容部本体110から短手方向他方側に突出する。第2固定部122の長手方向Xの寸法は、短手方向Yにおいて収容部本体110から離れるに従って小さくなる。第2固定部122における短手方向他方側の端部の外形は、軸方向Zに沿って視て、短手方向他方側に凸となる円弧状である。 As shown in FIG. 3, the second fixing portion 122 projects from the accommodating portion main body 110 to the other side in the lateral direction. The dimension of the second fixing portion 122 in the longitudinal direction X becomes smaller as it is separated from the accommodating portion main body 110 in the lateral direction Y. The outer shape of the end portion of the second fixed portion 122 on the other side in the lateral direction is an arc shape that is convex toward the other side in the lateral direction when viewed along the axial direction Z.

図4に示すように、第2固定部122は、第2固定部122を軸方向Zに貫通する貫通孔122cを有する。貫通孔122cには、軸方向Zに延びる円筒状のカラー123bが嵌め込まれる。カラー123bの内部は、軸方向Zに沿って視て、第2雌ネジ穴18bと重なる。第2固定部122は、カラー123bの上側から、カラー123bの内部を通って第2雌ネジ穴18bに締め込まれたネジ140によって、第2固定凸部18に固定される。これにより、第2固定部122は、ケース11に固定される。 As shown in FIG. 4, the second fixing portion 122 has a through hole 122c that penetrates the second fixing portion 122 in the axial direction Z. A cylindrical collar 123b extending in the axial direction Z is fitted into the through hole 122c. The inside of the collar 123b overlaps with the second female screw hole 18b when viewed along the axial direction Z. The second fixing portion 122 is fixed to the second fixing convex portion 18 from the upper side of the collar 123b by a screw 140 that passes through the inside of the collar 123b and is tightened into the second female screw hole 18b. As a result, the second fixing portion 122 is fixed to the case 11.

第2固定部122の下側の面は、第2収容部側固定面122aである。すなわち、収容部100は、第2収容部側固定面122aを有する。第2収容部側固定面122aは、第2ケース側固定面18aに接触して固定される。第2収容部側固定面122aは、軸方向Zと直交する平坦な面である。 The lower surface of the second fixing portion 122 is the second accommodating portion side fixing surface 122a. That is, the accommodating portion 100 has a second accommodating portion side fixed surface 122a. The second accommodating portion side fixing surface 122a is fixed in contact with the second case side fixing surface 18a. The second accommodating portion side fixed surface 122a is a flat surface orthogonal to the axial direction Z.

図3に示すように、軸方向Zおよび短手方向Yの両方と直交する長手方向Xにおいて、第1固定部121の位置と第2固定部122の位置とは、互いに異なる。そのため、例えば、収容部100を軸方向Zに反転した状態でケース11に取り付けると、図7に示すように、収容部本体110の延びる向きが長手方向Xに対して傾いた姿勢となる。これにより、作業者は、収容部100の取り付ける軸方向Zの向きが誤っていることに気づきやすい。したがって、収容部100をケース11に対して誤って組み付けることを抑制できる。 As shown in FIG. 3, the position of the first fixing portion 121 and the position of the second fixing portion 122 are different from each other in the longitudinal direction X orthogonal to both the axial direction Z and the lateral direction Y. Therefore, for example, when the accommodating portion 100 is attached to the case 11 in a state of being inverted in the axial direction Z, the extending direction of the accommodating portion main body 110 becomes an inclined posture with respect to the longitudinal direction X, as shown in FIG. As a result, the operator can easily notice that the orientation of the axial direction Z to which the accommodating portion 100 is attached is incorrect. Therefore, it is possible to prevent the accommodating portion 100 from being erroneously assembled to the case 11.

本明細書において「第1固定部の位置と第2固定部の位置とが互いに異なる」とは、第1固定部のうちネジ等の固定部材によってケースに固定される部分の位置が異なることを含む。すなわち、本実施形態では、第1固定部121の貫通孔121cの長手方向Xの位置と、第2固定部122の貫通孔122cの長手方向Xの位置とが、互いに異なっていればよい。 In the present specification, "the position of the first fixing portion and the position of the second fixing portion are different from each other" means that the position of the portion of the first fixing portion that is fixed to the case by a fixing member such as a screw is different. include. That is, in the present embodiment, the position of the through hole 121c of the first fixing portion 121 in the longitudinal direction X and the position of the through hole 122c of the second fixing portion 122 in the longitudinal direction X may be different from each other.

図4に示すように、第1収容部側固定面121aと第2収容部側固定面122aとは、軸方向Zにおいて、互いに異なる位置に配置される。すなわち、互いに接触する第1ケース側固定面17aおよび第1収容部側固定面121aと、互いに接触する第2ケース側固定面18aおよび第2収容部側固定面122aとは、軸方向Zにおいて、互いに異なる位置に配置される。そのため、例えば、第1固定部121を第2固定凸部18に固定し、第2固定部122を第1固定凸部17に固定しようとすると、いずれか一方の収容部側固定面とケース側固定面との高さが合わなくなる。これにより、各固定部を誤った固定凸部に固定することを抑制できる。したがって、収容部100をケース11に対して誤って組み付けることをより抑制できる。 As shown in FIG. 4, the first accommodating portion side fixing surface 121a and the second accommodating portion side fixing surface 122a are arranged at different positions in the axial direction Z. That is, the first case-side fixing surface 17a and the first accommodating portion-side fixing surface 121a that are in contact with each other, and the second case-side fixing surface 18a and the second accommodating portion-side fixing surface 122a that are in contact with each other are in the axial direction Z. They are placed in different positions. Therefore, for example, when the first fixed portion 121 is fixed to the second fixed convex portion 18 and the second fixed portion 122 is to be fixed to the first fixed convex portion 17, one of the accommodating portion side fixed surface and the case side The height with the fixed surface does not match. As a result, it is possible to prevent each fixed portion from being fixed to an erroneous fixed convex portion. Therefore, it is possible to further prevent the accommodating portion 100 from being erroneously assembled to the case 11.

本実施形態において、互いに接触する第1ケース側固定面17aおよび第1収容部側固定面121aは、互いに接触する第2ケース側固定面18aおよび第2収容部側固定面122aよりも上側に配置される。第1収容部側固定面121aと第2収容部側固定面122aとの間の軸方向Zの距離Lは、第1固定部121の上側の面121bと第2固定部122の上側の面122bとの間の軸方向Zの距離と異なる。そのため、例えば、収容部100を軸方向Zに反転した状態でケース11に取り付けようとすると、図8に示すように、いずれか一方の固定部と固定凸部との高さが合わなくなり、収容部100を各固定凸部に固定できない。したがって、収容部100をケース11に対して誤って組み付けることをより抑制できる。 In the present embodiment, the first case-side fixing surface 17a and the first accommodating portion-side fixing surface 121a that come into contact with each other are arranged above the second case-side fixing surface 18a and the second accommodating portion-side fixing surface 122a that come into contact with each other. Will be done. The distance L in the axial direction Z between the first accommodating portion side fixed surface 121a and the second accommodating portion side fixing surface 122a is the upper surface 121b of the first accommodating portion 121 and the upper surface 122b of the second accommodating portion 122. It is different from the distance in the axial direction Z between and. Therefore, for example, when the accommodating portion 100 is attached to the case 11 in a state of being inverted in the axial direction Z, as shown in FIG. 8, the heights of either of the fixed portions and the fixed convex portions do not match, and the accommodating portion 100 is accommodated. The portion 100 cannot be fixed to each fixed convex portion. Therefore, it is possible to further prevent the accommodating portion 100 from being erroneously assembled to the case 11.

図4に示すように、本実施形態では、第1固定部121の上側の面121bと第2固定部122の上側の面122bとは、軸方向Zにおいて同じ位置に配置される。そのため、第1固定部121の上側の面121bと第2固定部122の上側の面122bとの間の軸方向Zの距離は、ゼロである。この構成によれば、第1固定部121の上側の面121bと第2固定部122の上側の面122bとを軸方向Zにおいて異なる位置に配置する場合に比べて、収容部100を作りやすい。第1固定部121の軸方向Zの寸法は、第2固定部122の軸方向Zの寸法よりも小さい。 As shown in FIG. 4, in the present embodiment, the upper surface 121b of the first fixing portion 121 and the upper surface 122b of the second fixing portion 122 are arranged at the same position in the axial direction Z. Therefore, the distance in the axial direction Z between the upper surface 121b of the first fixing portion 121 and the upper surface 122b of the second fixing portion 122 is zero. According to this configuration, the accommodating portion 100 can be easily formed as compared with the case where the upper surface 121b of the first fixing portion 121 and the upper surface 122b of the second fixing portion 122 are arranged at different positions in the axial direction Z. The dimension of the first fixing portion 121 in the axial direction Z is smaller than the dimension of the second fixing portion 122 in the axial direction Z.

第1回転センサ62は、出力部40の回転を検出する。第1回転センサ62は、例えばホール素子である。図3に示すように、第1回転センサ62は、センサ本体64と、突起部としての第1突起部65aおよび第2突起部65bと、複数のセンサ端子66a,66b,66cと、を有する。センサ本体64は、長手方向Xに延び、軸方向Zに扁平な略直方体状である。センサ本体64は、第1凹部130に収容される。センサ本体64は、第1部分64aと、第2部分64bと、接続部64cと、を有する。第1部分64aは、上側から視て略正方形状である。第1部分64aは、内部にセンサチップ64dを有する。すなわち、センサ本体64は、センサチップ64dを有する。 The first rotation sensor 62 detects the rotation of the output unit 40. The first rotation sensor 62 is, for example, a Hall element. As shown in FIG. 3, the first rotation sensor 62 has a sensor main body 64, first protrusions 65a and second protrusions 65b as protrusions, and a plurality of sensor terminals 66a, 66b, 66c. The sensor body 64 has a substantially rectangular parallelepiped shape extending in the longitudinal direction X and flattening in the axial direction Z. The sensor body 64 is housed in the first recess 130. The sensor body 64 has a first portion 64a, a second portion 64b, and a connection portion 64c. The first portion 64a has a substantially square shape when viewed from above. The first portion 64a has a sensor chip 64d inside. That is, the sensor body 64 has a sensor chip 64d.

図2に示すように、センサチップ64dは、第1マグネット63の下側に配置される。センサチップ64dは、第1マグネット63によって生じる磁界を検出する。センサチップ64dを用いて、出力部40とともに回転する第1マグネット63によって生じる磁界の変化を検出することで、第1回転センサ62は、出力部40の回転を検出することができる。 As shown in FIG. 2, the sensor chip 64d is arranged below the first magnet 63. The sensor chip 64d detects the magnetic field generated by the first magnet 63. By using the sensor chip 64d to detect a change in the magnetic field generated by the first magnet 63 that rotates together with the output unit 40, the first rotation sensor 62 can detect the rotation of the output unit 40.

第2部分64bは、第1部分64aの長手方向他方側、すなわち径方向外側に配置される。第2部分64bは、上側から視て略正方形状である。第2部分64bには、センサ端子66a,66b,66cが保持される。接続部64cは、第1部分64aと第2部分64bとを繋ぐ。接続部64cは、センサチップ64dとセンサ端子66a,66b,66cとを電気的に接続する。 The second portion 64b is arranged on the other side in the longitudinal direction of the first portion 64a, that is, on the outer side in the radial direction. The second portion 64b has a substantially square shape when viewed from above. Sensor terminals 66a, 66b, 66c are held in the second portion 64b. The connecting portion 64c connects the first portion 64a and the second portion 64b. The connection portion 64c electrically connects the sensor chip 64d and the sensor terminals 66a, 66b, 66c.

図3に示すように、第1突起部65aおよび第2突起部65bは、センサ本体64から軸方向Zと直交する短手方向Yに突出する。第1突起部65aは、センサ本体64から短手方向一方側に突出する。第2突起部65bは、センサ本体64から短手方向他方側に突出する。第1突起部65aおよび第2突起部65bは、板面が軸方向Zと直交する板状である。 As shown in FIG. 3, the first protrusion 65a and the second protrusion 65b project from the sensor body 64 in the lateral direction Y orthogonal to the axial direction Z. The first protrusion 65a projects from the sensor body 64 to one side in the lateral direction. The second protrusion 65b projects from the sensor body 64 to the other side in the lateral direction. The first protrusion 65a and the second protrusion 65b have a plate shape whose plate surface is orthogonal to the axial direction Z.

図5に示すように、第1突起部65aは、支持面133bに下側から支持される。第2突起部65bは、支持面134bに下側から支持される。支持面133b,134bは、第1凹部130の底面130aよりも上側に配置されるため、各突起部が支持面133b,134bに支持されることで、センサ本体64は、第1凹部130の底面130aから上側に離れて配置される。これにより、センサ本体64を収容部100から離して保持できる。したがって、センサ本体64の熱膨張率と収容部100の熱膨張率とが異なる場合に、センサ本体64と収容部100とが熱変形しても、センサ本体64に応力が加わりにくい。そのため、センサ本体64が有するセンサチップ64dが歪む、あるいは損傷することを抑制できる。以上により、本実施形態によれば、第1回転センサ62の検出精度が低下することを抑制できる構造を有する電動アクチュエータ10が得られる。 As shown in FIG. 5, the first protrusion 65a is supported by the support surface 133b from below. The second protrusion 65b is supported by the support surface 134b from below. Since the support surfaces 133b and 134b are arranged above the bottom surface 130a of the first recess 130, each protrusion is supported by the support surfaces 133b and 134b, so that the sensor body 64 can be mounted on the bottom surface of the first recess 130. It is arranged away from the 130a on the upper side. As a result, the sensor main body 64 can be held away from the accommodating portion 100. Therefore, when the coefficient of thermal expansion of the sensor main body 64 and the coefficient of thermal expansion of the accommodating portion 100 are different, even if the sensor main body 64 and the accommodating portion 100 are thermally deformed, stress is unlikely to be applied to the sensor main body 64. Therefore, it is possible to prevent the sensor chip 64d of the sensor body 64 from being distorted or damaged. As described above, according to the present embodiment, the electric actuator 10 having a structure capable of suppressing a decrease in the detection accuracy of the first rotation sensor 62 can be obtained.

また、本実施形態によれば、突起部として、第1突起部65aと第2突起部65bとが設けられるため、短手方向Yの両側においてセンサ本体64を支持することができる。したがって、センサ本体64をより安定して収容部100に保持させることができる。図3に示すように、第1突起部65aは、第2凹部133aに嵌め合わされる。第2突起部65bは、第2凹部134aに嵌め合わされる。そのため、第2凹部133a,134aによって、第1突起部65aと第2突起部65bとを長手方向Xに位置決めでき、第1回転センサ62を長手方向Xに位置決めできる。 Further, according to the present embodiment, since the first protrusion 65a and the second protrusion 65b are provided as the protrusions, the sensor main body 64 can be supported on both sides in the lateral direction Y. Therefore, the sensor body 64 can be more stably held by the accommodating portion 100. As shown in FIG. 3, the first protrusion 65a is fitted into the second recess 133a. The second protrusion 65b is fitted into the second recess 134a. Therefore, the first protrusions 65a and the second protrusions 65b can be positioned in the longitudinal direction X by the second recesses 133a and 134a, and the first rotation sensor 62 can be positioned in the longitudinal direction X.

第1突起部65aおよび第2突起部65bは、それぞれ複数ずつ設けられる。第1突起部65aは、長手方向Xに離れて2つ設けられる。2つの第1突起部65aのそれぞれは、第1部分64aと第2部分64bとから突出する。第2突起部65bは、長手方向Xに離れて2つ設けられる。2つの第2突起部65bのそれぞれは、第1部分64aと第2部分64bとから突出する。軸方向Zおよび短手方向Yの両方と直交する長手方向Xにおいて、第1突起部65aの位置と第2突起部65bの位置とは、互いに異なる。そのため、第1回転センサ62を短手方向Yに反転させると、各突起部と各第2凹部との長手方向Xの位置がずれて、各突起部を適切に各第2凹部に嵌め合わせにくくなる。これにより、第1回転センサ62を誤った向きで第1凹部130内に配置することを抑制できる。 A plurality of first protrusions 65a and a plurality of second protrusions 65b are provided. Two first protrusions 65a are provided apart from each other in the longitudinal direction X. Each of the two first protrusions 65a protrudes from the first portion 64a and the second portion 64b. Two second protrusions 65b are provided apart from each other in the longitudinal direction X. Each of the two second protrusions 65b protrudes from the first portion 64a and the second portion 64b. In the longitudinal direction X orthogonal to both the axial direction Z and the lateral direction Y, the position of the first protrusion 65a and the position of the second protrusion 65b are different from each other. Therefore, when the first rotation sensor 62 is inverted in the lateral direction Y, the positions of the protrusions and the second recesses in the longitudinal direction X are displaced, and it is difficult to properly fit the protrusions into the second recesses. Become. As a result, it is possible to prevent the first rotation sensor 62 from being placed in the first recess 130 in the wrong direction.

2つの第1突起部65aのうち長手方向一方側の第1突起部65aは、2つの第2突起部65bのうち長手方向一方側の第2突起部65bよりも長手方向他方側に配置される。2つの第1突起部65aのうち長手方向他方側の第1突起部65aは、2つの第2突起部65bのうち長手方向他方側の第2突起部65bよりも長手方向一方側に配置される。第1突起部65a同士が配置される長手方向Xの間隔と第2突起部65b同士が配置される長手方向Xの間隔とは、互いに異なる。そのため、第1回転センサ62を短手方向Yに反転させると、各突起部を各第2凹部に嵌め合わせることができない。したがって、第1回転センサ62を誤った向きで第1凹部130内に配置することをより抑制できる。第1突起部65a同士の長手方向Xの間隔は、第2突起部65b同士の長手方向Xの間隔よりも小さい。 The first protrusion 65a on one side in the longitudinal direction of the two first protrusions 65a is arranged on the other side in the longitudinal direction with respect to the second protrusion 65b on one side in the longitudinal direction of the two second protrusions 65b. .. The first protrusion 65a on the other side in the longitudinal direction of the two first protrusions 65a is arranged on one side in the longitudinal direction with respect to the second protrusion 65b on the other side in the longitudinal direction among the two second protrusions 65b. .. The distance between the first protrusions 65a in the longitudinal direction X and the distance between the second protrusions 65b in the longitudinal direction X are different from each other. Therefore, when the first rotation sensor 62 is inverted in the lateral direction Y, each protrusion cannot be fitted into each second recess. Therefore, it is possible to further suppress the placement of the first rotation sensor 62 in the first recess 130 in the wrong direction. The distance between the first protrusions 65a in the longitudinal direction X is smaller than the distance between the second protrusions 65b in the longitudinal direction X.

センサ端子66a,66b,66cは、センサ本体64から長手方向他方側、すなわち径方向外側に延びる。センサ端子66a,66b,66cは、接続部64cを介して、センサチップ64dと電気的に接続される。複数のセンサ端子66a,66b,66cは、短手方向Yに並んで配置される。センサ端子66bは、センサ端子66aとセンサ端子66cとの短手方向Yの間に配置される。センサ端子66bは、長手方向Xに直線状に延びる。センサ端子66a,66cは、センサ本体64から長手方向他方側に向かって短手方向Yにおけるセンサ端子66bから離れる側に屈曲する第1屈曲部と、第1屈曲部よりも長手方向他方側においてセンサ端子66b側に屈曲する第2屈曲部と、をそれぞれ有する。 The sensor terminals 66a, 66b, 66c extend from the sensor body 64 to the other side in the longitudinal direction, that is, to the outside in the radial direction. The sensor terminals 66a, 66b, 66c are electrically connected to the sensor chip 64d via the connecting portion 64c. The plurality of sensor terminals 66a, 66b, 66c are arranged side by side in the lateral direction Y. The sensor terminal 66b is arranged between the sensor terminal 66a and the sensor terminal 66c in the lateral direction Y. The sensor terminal 66b extends linearly in the longitudinal direction X. The sensor terminals 66a and 66c have a first bent portion that bends from the sensor body 64 toward the other side in the longitudinal direction toward the side away from the sensor terminal 66b in the lateral direction Y, and a sensor on the other side in the longitudinal direction from the first bent portion. Each has a second bent portion that bends toward the terminal 66b.

センサ端子66a,66b,66cは、第2配線部材92の後述する一端部92eのそれぞれに接続される。センサ端子66a,66b,66cは、センサ本体64の短手方向Yの中心を通る仮想線ILに対して非対称に配置される。そのため、例えば、第1回転センサ62を短手方向Yに反転させて配置しようとすると、センサ端子66a,66b,66cの短手方向Yの位置が変わり、各一端部92eと接続できなくなる。したがって、第1回転センサ62を誤った向きで第1凹部130内に配置することをより抑制できる。 The sensor terminals 66a, 66b, 66c are connected to each of the one end portions 92e of the second wiring member 92, which will be described later. The sensor terminals 66a, 66b, 66c are arranged asymmetrically with respect to the virtual line IL passing through the center of the sensor main body 64 in the lateral direction Y. Therefore, for example, if the first rotation sensor 62 is to be inverted and arranged in the lateral direction Y, the positions of the sensor terminals 66a, 66b, 66c in the lateral direction Y change, and the sensors cannot be connected to each end portion 92e. Therefore, it is possible to further suppress the placement of the first rotation sensor 62 in the first recess 130 in the wrong direction.

本実施形態では、センサ端子66aは、仮想線ILよりも短手方向一方側に配置される。センサ端子66b,66cは、仮想線ILよりも短手方向他方側に配置される。センサ端子66bに対して、センサ端子66aとセンサ端子66cとは、短手方向Yに対称に配置される。3つのセンサ端子66a,66b,66cのうち、1つのセンサ端子は信号伝達用のセンサ端子であり、他の1つのセンサ端子は接地用のセンサ端子であり、残りの1つのセンサ端子は、電源用のセンサ端子である。 In the present embodiment, the sensor terminal 66a is arranged on one side in the lateral direction with respect to the virtual line IL. The sensor terminals 66b and 66c are arranged on the other side in the lateral direction from the virtual line IL. With respect to the sensor terminal 66b, the sensor terminal 66a and the sensor terminal 66c are arranged symmetrically in the lateral direction Y. Of the three sensor terminals 66a, 66b, 66c, one sensor terminal is a signal transmission sensor terminal, the other sensor terminal is a grounding sensor terminal, and the remaining one sensor terminal is a power supply. It is a sensor terminal for.

図6に示すように、保持部材61は、第1回転センサ62を収容部100に保持する部材である。保持部材61は、第1凹部130に収容される。保持部材61は、センサ本体64を第1凹部130の内側面に保持する。保持部材61は、センサ本体64に密着した弾性体である。そのため、熱膨脹率の違いによる第1回転センサ62の熱変形量と収容部100の熱変形量との差を、保持部材61が弾性変形することによって吸収できる。これにより、センサ本体64に応力が加えられることをより抑制できる。したがって、第1回転センサ62の検出精度が低下することをより抑制できる。 As shown in FIG. 6, the holding member 61 is a member that holds the first rotation sensor 62 in the accommodating portion 100. The holding member 61 is housed in the first recess 130. The holding member 61 holds the sensor main body 64 on the inner surface of the first recess 130. The holding member 61 is an elastic body that is in close contact with the sensor body 64. Therefore, the difference between the amount of thermal deformation of the first rotation sensor 62 and the amount of thermal deformation of the accommodating portion 100 due to the difference in the thermal expansion rate can be absorbed by the elastic deformation of the holding member 61. As a result, it is possible to further suppress the application of stress to the sensor body 64. Therefore, it is possible to further suppress a decrease in the detection accuracy of the first rotation sensor 62.

本明細書において「保持部材が第1回転センサを収容部に保持する」とは、保持部材が第1回転センサの表面の少なくとも一部を支持することを含む。例えば、保持部材は、第1回転センサの下面および側面を支持する部材であってもよい。また、本明細書において「保持部材がセンサ本体を第1凹部の内側面に保持する」とは、保持部材がセンサ本体の表面の少なくとも一部と第1凹部の内側面の少なくとも一部との両方に接触することを含む。 In the present specification, "the holding member holds the first rotation sensor in the accommodating portion" includes that the holding member supports at least a part of the surface of the first rotation sensor. For example, the holding member may be a member that supports the lower surface and the side surface of the first rotation sensor. Further, in the present specification, "the holding member holds the sensor body on the inner surface of the first recess" means that the holding member is at least a part of the surface of the sensor body and at least a part of the inner surface of the first recess. Includes contact with both.

本実施形態において保持部材61は、樹脂製の接着剤を第1凹部130内に流し込んで、硬化させることで構成される。すなわち、保持部材61は、接着剤からなる弾性体である。そのため、保持部材61によって、より好適に第1回転センサ62を第1凹部130内に保持することができる。保持部材61は、樹脂製である。保持部材61には、センサ本体64が埋め込まれる。そのため、保持部材61によってセンサ本体64を保護することができ、センサ本体64に油等が付着することを抑制できる。保持部材61は、第1回転センサ62の全体を覆う。なお、図2および図3においては、保持部材61の図示を省略する。 In the present embodiment, the holding member 61 is formed by pouring a resin adhesive into the first recess 130 and curing it. That is, the holding member 61 is an elastic body made of an adhesive. Therefore, the holding member 61 can more preferably hold the first rotation sensor 62 in the first recess 130. The holding member 61 is made of resin. The sensor body 64 is embedded in the holding member 61. Therefore, the sensor main body 64 can be protected by the holding member 61, and oil or the like can be suppressed from adhering to the sensor main body 64. The holding member 61 covers the entire first rotation sensor 62. Note that in FIGS. 2 and 3, the holding member 61 is not shown.

図1に示す第1配線部材91および第2配線部材92は、回転検出装置60に電気的に接続される。本実施形態において第1配線部材91および第2配線部材92は、回転検出装置60の第1回転センサ62と制御部24の制御基板70とを繋ぐための配線部材である。図示は省略するが、本実施形態において第1配線部材91と第2配線部材92とは、それぞれ3つずつ設けられる。 The first wiring member 91 and the second wiring member 92 shown in FIG. 1 are electrically connected to the rotation detection device 60. In the present embodiment, the first wiring member 91 and the second wiring member 92 are wiring members for connecting the first rotation sensor 62 of the rotation detection device 60 and the control board 70 of the control unit 24. Although not shown, the first wiring member 91 and the second wiring member 92 are provided with three each in the present embodiment.

本実施形態において第1配線部材91および第2配線部材92は、細長で板状のバスバーである。第1配線部材91は、第1配線保持部14に埋め込まれる。第1配線部材91の一端部は、第1配線保持部14から下側に突出し、第2配線保持部15の内部に露出する。第1配線部材91の他端部は、制御基板収容部12fの内部に露出し、制御基板70と接続される。 In the present embodiment, the first wiring member 91 and the second wiring member 92 are elongated and plate-shaped bus bars. The first wiring member 91 is embedded in the first wiring holding portion 14. One end of the first wiring member 91 projects downward from the first wiring holding portion 14 and is exposed inside the second wiring holding portion 15. The other end of the first wiring member 91 is exposed inside the control board accommodating portion 12f and is connected to the control board 70.

図6に示すように、第2配線部材92は、一部が収容部100に埋め込まれて保持される。第2配線部材92の一端部92eは、第1凹部130の底面130aから上側に突出し、第1凹部130の内部に露出する。一端部92eの上端部は、収容部本体110の上面よりも下側に配置される。一端部92eは、保持部材61に埋め込まれる。図2に示すように、各一端部92eの上端部は二股に分かれており、二股に分かれた各一端部92eの上端部の隙間にセンサ端子66a,66b,66cのそれぞれが嵌め込まれる。これにより、3つの第2配線部材92における一端部92eのそれぞれにはセンサ端子66a,66b,66cが接続され、第1回転センサ62と第2配線部材92とが電気的に接続される。 As shown in FIG. 6, a part of the second wiring member 92 is embedded and held in the accommodating portion 100. One end 92e of the second wiring member 92 projects upward from the bottom surface 130a of the first recess 130 and is exposed inside the first recess 130. The upper end portion of the one end portion 92e is arranged below the upper surface of the accommodating portion main body 110. One end 92e is embedded in the holding member 61. As shown in FIG. 2, the upper end of each end 92e is bifurcated, and the sensor terminals 66a, 66b, 66c are fitted into the gaps at the upper ends of each bifurcated end 92e. As a result, the sensor terminals 66a, 66b, 66c are connected to each of the one end portions 92e of the three second wiring members 92, and the first rotation sensor 62 and the second wiring member 92 are electrically connected.

3つの一端部92eは、周方向に沿って配置される。3つの一端部92eのうち周方向の中央に配置される一端部92eは、3つの一端部92eのうち周方向両側に配置される一端部92eよりも長手方向他方側、すなわち径方向外側に配置される。各第2配線部材92の他端部は、収容部100の上面のうち長手方向他方側の端部から上側に突出する。各第2配線部材92の他端部は、短手方向Yに沿って並んで配置される。 The three end portions 92e are arranged along the circumferential direction. One end 92e arranged in the center of the three end portions 92e in the circumferential direction is arranged on the other side in the longitudinal direction, that is, radially outside the one end portion 92e arranged on both sides in the circumferential direction of the three end portions 92e. Will be done. The other end of each second wiring member 92 projects upward from the other end in the longitudinal direction of the upper surface of the accommodating portion 100. The other ends of the second wiring members 92 are arranged side by side along the lateral direction Y.

図1に示すように、第2配線部材92の他端部は、第1配線部材91のうち第1配線保持部14から下側に突出する一端部と接続される。これにより、第1配線部材91と第2配線部材92とが電気的に接続され、第1配線部材91と第2配線部材92とを介して、第1回転センサ62と制御基板70とが電気的に接続される。 As shown in FIG. 1, the other end of the second wiring member 92 is connected to one end of the first wiring member 91 that projects downward from the first wiring holding portion 14. As a result, the first wiring member 91 and the second wiring member 92 are electrically connected, and the first rotation sensor 62 and the control board 70 are electrically connected via the first wiring member 91 and the second wiring member 92. Is connected.

本発明は上述の実施形態に限られず、他の構成を採用することもできる。収容部は、ケースと別部材でなくてもよい。この場合、例えば、収容部は、減速機構ケースの底壁部に下側に窪む第1凹部が設けられて構成される。第1ケース側固定面および第2ケース側固定面の軸方向Zの位置は、互いに同じでもよい。第1凹部が窪む第1方向は、軸方向Zと異なる方向であってもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and other configurations may be adopted. The accommodating portion does not have to be a separate member from the case. In this case, for example, the accommodating portion is configured by providing a first recess that is recessed downward on the bottom wall portion of the speed reduction mechanism case. The positions of the first case-side fixed surface and the second case-side fixed surface in the axial direction Z may be the same as each other. The first direction in which the first recess is recessed may be a direction different from the axial direction Z.

長手方向Xにおいて第1固定部の位置と第2固定部の位置とは、互いに同じでもよい。収容部は、第1固定部と第2固定部とを有しなくてもよい。この場合、収容部本体の下面の一部が、第1収容部固定面および第2収容部固定面であってもよい。上記実施形態では、支持面は、第2凹部の底面としたが、これに限られない。支持面は、収容部本体の上面のうち第1凹部の縁部であってもよい。支持面は、支持凸部の上端面であってもよい。支持凸部は、第1凹部の内側面から離れて配置されてもよい。1つの支持面に、複数の突起部が支持されてもよい。 The position of the first fixing portion and the position of the second fixing portion in the longitudinal direction X may be the same as each other. The accommodating portion does not have to have a first fixing portion and a second fixing portion. In this case, a part of the lower surface of the main body of the accommodating portion may be a first accommodating portion fixing surface and a second accommodating portion fixing surface. In the above embodiment, the support surface is the bottom surface of the second recess, but the present invention is not limited to this. The support surface may be the edge of the first recess on the upper surface of the main body of the accommodating portion. The support surface may be the upper end surface of the support convex portion. The support convex portion may be arranged away from the inner side surface of the first concave portion. A plurality of protrusions may be supported on one support surface.

第1回転センサは、出力部の回転を検出できるならば、特に限定されない。第1回転センサは、磁気抵抗素子であってもよい。突起部は、少なくとも1つ設けられればよく、数は限定されない。センサ端子が並ぶ第3方向は、突起部が突出する第2方向と異なる方向であってもよい。複数のセンサ端子は、仮想線ILに対して対称に配置されてもよい。第2回転センサは、磁気抵抗素子であってもよい。 The first rotation sensor is not particularly limited as long as it can detect the rotation of the output unit. The first rotation sensor may be a magnetoresistive element. At least one protrusion may be provided, and the number is not limited. The third direction in which the sensor terminals are lined up may be a direction different from the second direction in which the protrusions protrude. The plurality of sensor terminals may be arranged symmetrically with respect to the virtual line IL. The second rotation sensor may be a magnetoresistive element.

保持部材は、第1回転センサを収容部に保持できるならば、特に限定されない。保持部材は、センサ本体の一部のみを覆ってもよい。保持部材は、接着剤以外の物質で構成されてもよい。減速機構の構成は、モータシャフトの回転を減速できるならば、特に限定されない。 The holding member is not particularly limited as long as the first rotation sensor can be held in the accommodating portion. The holding member may cover only a part of the sensor body. The holding member may be composed of a substance other than the adhesive. The configuration of the reduction mechanism is not particularly limited as long as the rotation of the motor shaft can be reduced.

本発明の電動アクチュエータの用途は限定されず、本発明の電動アクチュエータは、いかなる機器に搭載されてもよい。また、上述した各構成は、相互に矛盾しない範囲内において、適宜組み合わせることができる。 The application of the electric actuator of the present invention is not limited, and the electric actuator of the present invention may be mounted on any device. In addition, the above-mentioned configurations can be appropriately combined within a range that does not contradict each other.

10…電動アクチュエータ、11…ケース、17a…第1ケース側固定面、18a…第2ケース側固定面、20…モータ、21…モータシャフト、30…減速機構、40…出力部、61…保持部材、62…第1回転センサ、64…センサ本体、64d…センサチップ、65a…第1突起部、65b…第2突起部、66a,66b,66c…センサ端子、100…収容部、110…収容部本体、121…第1固定部、121a…第1収容部側固定面、122…第2固定部、122a…第2収容部側固定面、130…第1凹部、130a…底面、133a,134a…第2凹部、133b,134b…支持面、IL…仮想線、Y…短手方向(第2方向,第3方向)、Z…軸方向(第1方向) 10 ... Electric actuator, 11 ... Case, 17a ... First case side fixed surface, 18a ... Second case side fixed surface, 20 ... Motor, 21 ... Motor shaft, 30 ... Reduction mechanism, 40 ... Output unit, 61 ... Holding member , 62 ... 1st rotation sensor, 64 ... Sensor body, 64d ... Sensor chip, 65a ... 1st protrusion, 65b ... 2nd protrusion, 66a, 66b, 66c ... Sensor terminal, 100 ... Main body, 121 ... 1st fixing portion, 121a ... 1st accommodating portion side fixing surface, 122 ... 2nd fixing portion, 122a ... 2nd accommodating portion side fixing surface, 130 ... 1st recess, 130a ... bottom surface 133a, 134a ... Second recess, 133b, 134b ... Support surface, IL ... Virtual line, Y ... Short direction (second direction, third direction), Z ... Axial direction (first direction)

Claims (14)

軸方向に延びるモータシャフトを有するモータと、
前記モータシャフトに連結される減速機構と、
前記モータおよび前記減速機構を収容するケースと、
前記減速機構を介して前記モータシャフトの回転が伝達される出力部と、
前記出力部の回転を検出する第1回転センサと、
前記ケースに設けられ、前記第1回転センサを収容する収容部と、
前記第1回転センサを前記収容部に保持する保持部材と、
を備え、
前記収容部は、
第1方向一方側に窪む第1凹部と、
前記第1方向他方側を向き、前記第1凹部の底面よりも前記第1方向他方側に配置される支持面と、
を有し、
前記第1回転センサは、
センサチップを有し、前記第1凹部に収容されるセンサ本体と、
前記センサ本体から前記第1方向と直交する第2方向に突出する突起部と、
を有し、
前記突起部は、前記支持面に前記第1方向一方側から支持され、
前記センサ本体は、前記第1凹部の底面から前記第1方向他方側に離れて配置される、電動アクチュエータ。
A motor with a motor shaft extending in the axial direction and
A deceleration mechanism connected to the motor shaft and
A case accommodating the motor and the deceleration mechanism, and
An output unit to which the rotation of the motor shaft is transmitted via the reduction mechanism, and
The first rotation sensor that detects the rotation of the output unit and
An accommodating portion provided in the case and accommodating the first rotation sensor,
A holding member that holds the first rotation sensor in the housing portion, and
With
The accommodating part
A first recess that is recessed on one side in the first direction,
A support surface that faces the other side in the first direction and is arranged on the other side in the first direction from the bottom surface of the first recess.
Have,
The first rotation sensor is
A sensor body having a sensor chip and housed in the first recess,
A protrusion protruding from the sensor body in the second direction orthogonal to the first direction,
Have,
The protrusion is supported by the support surface from one side in the first direction.
The sensor body is an electric actuator arranged away from the bottom surface of the first recess on the other side in the first direction.
前記収容部は、前記ケースと別部材である、請求項1に記載の電動アクチュエータ。 The electric actuator according to claim 1, wherein the accommodating portion is a member separate from the case. 前記収容部は、
前記第1凹部を有する収容部本体と、
前記収容部本体から前記第1方向と直交する第3方向一方側に突出する第1固定部と、
前記収容部本体から前記第3方向他方側に突出する第2固定部と、
を有し、
前記第1固定部および前記第2固定部は、前記ケースに固定され、
前記第1方向および前記第3方向の両方と直交する方向において、前記第1固定部の位置と前記第2固定部の位置とは、互いに異なる、請求項2に記載の電動アクチュエータ。
The accommodating part
The housing unit body having the first recess and
A first fixed portion protruding from the main body of the accommodating portion in one side of the third direction orthogonal to the first direction,
A second fixing portion protruding from the main body of the accommodating portion to the other side in the third direction,
Have,
The first fixing portion and the second fixing portion are fixed to the case.
The electric actuator according to claim 2, wherein the position of the first fixing portion and the position of the second fixing portion are different from each other in a direction orthogonal to both the first direction and the third direction.
前記ケースは、前記収容部が固定される第1ケース側固定面および第2ケース側固定面を有し、
前記収容部は、
前記第1凹部を有する収容部本体と、
前記第1ケース側固定面に接触して固定される第1収容部側固定面と、
前記第2ケース側固定面に接触して固定される第2収容部側固定面と、
を有し、
互いに接触する前記第1ケース側固定面および前記第1収容部側固定面と、互いに接触する前記第2ケース側固定面および前記第2収容部側固定面とは、前記第1方向において、互いに異なる位置に配置される、請求項2または3に記載の電動アクチュエータ。
The case has a first case side fixing surface and a second case side fixing surface on which the accommodating portion is fixed.
The accommodating part
The housing unit body having the first recess and
The first housing portion side fixing surface, which is fixed in contact with the first case side fixing surface,
A second accommodating portion-side fixing surface that is fixed in contact with the second case-side fixing surface,
Have,
The first case-side fixing surface and the first accommodating portion-side fixing surface that are in contact with each other, and the second case-side fixing surface and the second accommodating portion-side fixing surface that are in contact with each other are in contact with each other in the first direction. The electric actuator according to claim 2 or 3, which is arranged at a different position.
前記収容部は、
前記収容部本体から前記第1方向と直交する第3方向一方側に突出する第1固定部と、
前記収容部本体から前記第3方向他方側に突出する第2固定部と、
を有し、
前記第1固定部の前記第1方向一方側の面は、前記第1収容部側固定面であり、
前記第2固定部の前記第1方向一方側の面は、前記第2収容部側固定面であり、
前記第1収容部側固定面と前記第2収容部側固定面との間の前記第1方向の距離は、前記第1固定部の前記第1方向他方側の面と前記第2固定部の前記第1方向他方側の面との間の前記第1方向の距離と異なる、請求項4に記載の電動アクチュエータ。
The accommodating part
A first fixed portion protruding from the main body of the accommodating portion in one side of the third direction orthogonal to the first direction,
A second fixing portion protruding from the main body of the accommodating portion to the other side in the third direction,
Have,
The surface of the first fixing portion on one side in the first direction is the fixing surface on the side of the first accommodating portion.
The surface of the second fixing portion on one side in the first direction is the fixing surface on the second accommodating portion side.
The distance between the first accommodating portion side fixing surface and the second accommodating portion side fixing surface in the first direction is the distance between the other surface of the first accommodating portion in the first direction and the second fixing portion. The electric actuator according to claim 4, which is different from the distance in the first direction from the surface on the other side in the first direction.
前記第1固定部の前記第1方向他方側の面と前記第2固定部の前記第1方向他方側の面とは、前記第1方向において同じ位置に配置される、請求項5に記載の電動アクチュエータ。 The fifth aspect of claim 5, wherein the surface of the first fixing portion on the other side in the first direction and the surface of the second fixing portion on the other side in the first direction are arranged at the same position in the first direction. Electric actuator. 前記保持部材は、前記第1凹部に収容され、前記センサ本体に密着した弾性体であり、前記センサ本体を前記第1凹部の内側面に保持する、請求項1から6のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。 The holding member is an elastic body housed in the first recess and in close contact with the sensor body, and holds the sensor body on the inner surface of the first recess, according to any one of claims 1 to 6. The described electric actuator. 前記弾性体は、接着剤からなる、請求項7に記載の電動アクチュエータ。 The electric actuator according to claim 7, wherein the elastic body is made of an adhesive. 前記センサ本体は、前記保持部材に埋め込まれる、請求項7または8に記載の電動アクチュエータ。 The electric actuator according to claim 7 or 8, wherein the sensor body is embedded in the holding member. 前記第1回転センサは、前記突起部として、
前記センサ本体から前記第2方向一方側に突出する第1突起部と、
前記センサ本体から前記第2方向他方側に突出する第2突起部と、
を有する、請求項1から9のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
The first rotation sensor serves as the protrusion.
A first protrusion protruding from the sensor body to one side in the second direction,
A second protrusion protruding from the sensor body to the other side in the second direction,
The electric actuator according to any one of claims 1 to 9.
前記第1方向および前記第2方向の両方と直交する方向において、前記第1突起部の位置と前記第2突起部の位置とは、互いに異なる、請求項10に記載の電動アクチュエータ。 The electric actuator according to claim 10, wherein the position of the first protrusion and the position of the second protrusion are different from each other in a direction orthogonal to both the first direction and the second direction. 前記第1突起部および前記第2突起部は、それぞれ複数ずつ設けられ、
前記第1突起部同士が配置される間隔と前記第2突起部同士が配置される間隔とは、互いに異なる、請求項10または11に記載の電動アクチュエータ。
A plurality of the first protrusions and the second protrusions are provided.
The electric actuator according to claim 10 or 11, wherein the interval at which the first protrusions are arranged and the interval at which the second protrusions are arranged are different from each other.
前記収容部は、前記第1方向一方側に窪む第2凹部を有し、
前記支持面は、前記第2凹部の底面であり、
前記突起部は、前記第2凹部に嵌め合わされる、請求項1から12のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
The accommodating portion has a second recess that is recessed on one side in the first direction.
The support surface is the bottom surface of the second recess.
The electric actuator according to any one of claims 1 to 12, wherein the protrusion is fitted into the second recess.
前記センサ本体は、前記センサチップと電気的に接続される複数のセンサ端子を有し、
前記複数のセンサ端子は、第3方向に並んで配置され、かつ、前記センサ本体の前記第3方向の中心を通る仮想線に対して非対称に配置される、請求項1から13のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。
The sensor body has a plurality of sensor terminals that are electrically connected to the sensor chip.
Any one of claims 1 to 13, wherein the plurality of sensor terminals are arranged side by side in the third direction and are arranged asymmetrically with respect to a virtual line passing through the center of the sensor body in the third direction. The electric actuator described in the section.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05196631A (en) * 1992-01-22 1993-08-06 Sumitomo Electric Ind Ltd Magnetic sensor and manufacture thereof
JP3412276B2 (en) * 1994-08-31 2003-06-03 株式会社デンソー Rotation angle detector
JP2001289610A (en) * 1999-11-01 2001-10-19 Denso Corp Angle-of-rotation detector
JP2007057322A (en) * 2005-08-23 2007-03-08 Hitachi Ltd Rotation angle detection device
JP2007259605A (en) * 2006-03-24 2007-10-04 Mitsuba Corp Motor with decelerator mechanism
US7859252B2 (en) * 2006-06-29 2010-12-28 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha Rotational angle detecting devices
JP4680136B2 (en) * 2006-06-29 2011-05-11 愛三工業株式会社 Rotation angle detector
JP4879711B2 (en) * 2006-11-16 2012-02-22 愛三工業株式会社 Rotation angle sensor and throttle device
JP2015023659A (en) * 2013-07-18 2015-02-02 株式会社ミツバ Motor with speed reducer and driving device
JP2015094645A (en) * 2013-11-12 2015-05-18 日立オートモティブシステムズ株式会社 Inertial force sensor device

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