JP6962528B2 - マグネトロンスパッタリングカソードおよびそれを用いたマグネトロンスパッタリング装置 - Google Patents
マグネトロンスパッタリングカソードおよびそれを用いたマグネトロンスパッタリング装置 Download PDFInfo
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- C23C14/34—Sputtering
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Description
(実施形態1)
<実施例1>
<実施例2>
(実施形態2)
(実施形態3)
(実施形態4)
(実施形態5)
(実施形態6)
(他の実施形態)
10 真空チャンバ
11 排気管
12 バルブ
15 ガス配管
20 真空ポンプ
30 ガス導入装置
40 電圧印加部
50 基板
55 基板支持部
60 ターゲット
65 ターゲット支持部
100 磁力線発生部
110 固定部
120 ヨーク
125 凹部
130 マグネトロンスパッタリングカソード
131、131A、131B、131a、131b、131c、131d 第1の磁性体
132、132A、132B、132a、132b、132c、131d 第2の磁性体
140 シールド
Claims (8)
- ターゲットの裏面側に配置され、当該ターゲット表面の上方に磁界を発生させるマグネトロンスパッタリングカソードであって、
対向するように配置された少なくとも2つの第1の磁性体と、当該第1の磁性体の外側に対向するようにそれぞれ配置された少なくとも2つの第2の磁性体と、当該第2の磁性体の外側に配置されたヨークとを具備し、
前記2つの第1の磁性体は、前記ターゲット側で互いに交差する向きの磁化ベクトルをそれぞれ有し、
前記2つの第2の磁性体は、前記ターゲット側で互いに交差し、かつ隣接する前記第1の磁性体の磁化ベクトルとの内積が負となる向きの磁化ベクトルをそれぞれ有し、
前記ターゲットの形状が円盤状であり、複数の前記第1の磁性体で形成される内側磁性体および複数の前記第2の磁性体で形成される外側磁性体の形状がそれぞれ環状であり、
前記ターゲットの半径RTと、前記内側磁性体の外径rOと、前記外側磁性体の外径ROとが次式の関係を満たし、
前記2つの第1の磁性体の間の中央位置および前記2つの第2の磁性体間の中央位置は、前記ターゲットの中心軸に沿ってそれぞれ配置されている
ことを特徴とするマグネトロンスパッタリングカソード。
- 前記第1の磁性体の磁化ベクトルの交差角αが45度〜135度の範囲にあり、前記第2の磁性体の磁化ベクトルの交差角βが45度〜135度の範囲にあることを特徴とする請求項3に記載のマグネトロンスパッタリングカソード。
- 前記ターゲット側の反対側に、前記2つの第1の磁性体に跨るように配置された第3の磁性体をさらに具備し、
前記第3の磁性体は、少なくとも何れか一方の前記第1の磁性体の磁化ベクトルとの内積が正となる向きの磁化ベクトルを有することを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載のマグネトロンスパッタリングカソード。 - 前記第1の磁性体の前記ターゲット側表面と、前記第2の磁性体の前記ターゲット側表面と、前記ヨークの前記ターゲット側表面が面一となっていることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載のマグネトロンスパッタリングカソード。
- 請求項1〜7の何れか1項に記載のマグネトロンスパッタリングカソードを備えたマグネトロンスパッタリング装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018033747 | 2018-02-27 | ||
JP2018033747 | 2018-02-27 | ||
JP2018174524 | 2018-09-19 | ||
JP2018174524 | 2018-09-19 | ||
PCT/JP2019/000514 WO2019167438A1 (ja) | 2018-02-27 | 2019-01-10 | マグネトロンスパッタリングカソードおよびそれを用いたマグネトロンスパッタリング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019167438A1 JPWO2019167438A1 (ja) | 2020-12-03 |
JP6962528B2 true JP6962528B2 (ja) | 2021-11-05 |
Family
ID=67805679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020502839A Active JP6962528B2 (ja) | 2018-02-27 | 2019-01-10 | マグネトロンスパッタリングカソードおよびそれを用いたマグネトロンスパッタリング装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6962528B2 (ja) |
WO (1) | WO2019167438A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115261804A (zh) * | 2022-08-22 | 2022-11-01 | 纳狮新材料有限公司 | 电弧蒸发装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61246365A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-01 | Hitachi Ltd | スパツタリング装置 |
JPH02111878A (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | スパッタリング装置 |
JPH04235277A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-24 | Ube Ind Ltd | スパッタリング方法及び装置 |
JP4431908B2 (ja) * | 1999-04-27 | 2010-03-17 | ソニー株式会社 | スパッタリングカソード及びスパッタリング装置 |
US20080296142A1 (en) * | 2007-05-29 | 2008-12-04 | Hien-Minh Huu Le | Swinging magnets to improve target utilization |
-
2019
- 2019-01-10 WO PCT/JP2019/000514 patent/WO2019167438A1/ja active Application Filing
- 2019-01-10 JP JP2020502839A patent/JP6962528B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019167438A1 (ja) | 2019-09-06 |
JPWO2019167438A1 (ja) | 2020-12-03 |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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