JP6945001B2 - 検査装置、検査方法、ライブラリ生成装置、ライブラリ生成方法、コンピュータプログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Description
<1>
検査装置の実施形態は、複数の層が積層された試料にテラヘルツ波を照射する照射部と、前記試料からの前記テラヘルツ波を検出して検出波形を取得する検出部と、前記検出波形と前記試料からの前記テラヘルツ波の推定波形を示すライブラリとに基づいて、前記複数の層の界面の位置を推定する推定部とを備え、前記ライブラリは、前記試料又は前記試料と同一仕様のサンプル部材に前記テラヘルツ波を照射することで取得される前記検出波形であるサンプル波形に基づいて生成される。
検査装置の実施形態の他の態様では、前記ライブラリは、前記サンプル波形のうち前記試料又は前記サンプル部材の表面に対応する第1パルス波形に基づいて生成される。
上述したように第1パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記ライブラリは、前記第1パルス波に基づいて設定される基準パルス波を用いたシミュレーションによって生成される。
上述したように第1パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記ライブラリは、前記第1パルス波を反転することで得られる基準パルス波を用いたシミュレーションによって生成される。
上述したように第1パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記第1パルス波は、前記テラヘルツ波のメインパルスに対応し、前記ライブラリは、前記第1パルス波形と、前記サンプル波形のうち前記テラヘルツ波のメインパルスに付随して前記テラヘルツ波に含まれる付随パルスに対応する第2パルス波形とに基づいて生成される。
上述したように第1及び第2パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記付随パルスは、前記メインパルスよりも低周波である。
上述したように第1及び第2パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記付随パルスは、ノイズパルスを含む。
上述したように第1及び第2パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記ライブラリは、前記第1及び第2パルス波に基づいて設定される基準パルス波を用いたシミュレーションによって生成される。
上述したように第1及び第2パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記ライブラリは、前記第1及び第2パルス波を反転することで得られる基準パルス波を用いたシミュレーションによって生成される。
上述したように第1パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記第1パルス波形は、前記サンプル波形のうち前記試料又は前記サンプル部材の表面で反射された前記テラヘルツ波に相当するパルス波形を含む。
上述したように第1パルス波形に基づいてライブラリが生成される検査装置の他の態様では、前記第1パルス波形は、前記サンプル波形のうち前記試料又は前記サンプル部材の表面での反射の影響を受けたパルス波形を含む。
検査装置の実施形態の他の態様では、前記ライブラリを生成する生成部を更に備える。
上述したように生成部を備える検査装置の他の態様では、前記照射部は、前記試料又は前記サンプル部材に前記テラヘルツ波を照射し、前記検出部は、前記試料又は前記サンプル部材からの前記テラヘルツ波を検出して前記サンプル波形を取得し、前記生成部は、前記検出部から前記サンプル波形に関する波形情報を取得し、前記波形情報を用いて前記ライブラリを生成する。
検査装置の実施形態の他の態様では、前記推定部は、前記複数の層の第1界面よりも前記試料の表面から遠い前記複数の層の第2界面に対応して前記検出波形に現れる界面パルス波形と前記ライブラリとに基づいて、前記第1界面の位置を推定する。
<15>
検査方法の実施形態は、複数の層が積層された試料にテラヘルツ波を照射する照射工程と、前記試料からの前記テラヘルツ波を検出して検出波形を取得する検出工程と、前記検出波形と前記試料からの前記テラヘルツ波の推定波形を示すライブラリとに基づいて、前記複数の層の界面の位置を推定する推定工程とを備え、前記ライブラリは、前記試料又は前記試料と同一仕様のサンプル部材に前記テラヘルツ波を照射することで取得される前記検出波形であるサンプル波形に基づいて生成される。
<16>
ライブラリ生成装置の実施形態は、テラヘルツ波が照射された試料又は前記試料と同一仕様のサンプル部材からの前記テラヘルツ波の検出波形に関する波形情報を取得する取得部と、前記波形情報に基づいて、前記試料からの前記テラヘルツ波の推定波形を示すライブラリを生成する生成部とを備える。
<17>
ライブラリ生成方法の実施形態は、テラヘルツ波が照射された試料又は前記試料と同一仕様のサンプル部材からの前記テラヘルツ波の検出波形に関する波形情報を取得する取得工程と、前記波形情報に基づいて、前記試料からの前記テラヘルツ波の推定波形を示すライブラリを生成する生成工程とを備える。
<18>
コンピュータプログラムの第1実施形態は、コンピュータに上述した検査方法の実施形態を実行させる。
コンピュータプログラムの第2実施形態は、コンピュータに上述したライブラリ生成方法の実施形態を実行させる。
<20>
記録媒体の実施形態には、上述したコンピュータプログラムの第1又は第2実施形態が記録されている。
初めに、図1を参照しながら、本実施例のテラヘルツ波検査装置100の構成について説明する。図1は、本実施例のテラヘルツ波検査装置100の構成を示すブロック図である。
続いて、図3を参照しながら、テラヘルツ波検査装置100が行う界面Bの位置を推定する推定動作について説明する。図3は、テラヘルツ波検査装置100が行う界面Bの位置を推定する推定動作の流れの一例を示すフローチャートである。尚、以下では、界面Bの位置を推定する推定動作の一例として、界面B1の位置を推定する推定動作について説明する。但し、テラヘルツ波検査装置100は、界面B1の位置を推定する推定動作と同様の態様で、界面B1とは異なる他の界面B(例えば、表面B0及び界面B2の少なくとも一方)の位置を推定する推定動作を行ってもよい。
以上説明したように、本実施例のテラヘルツ波検査装置100は、界面B1の位置(つまり、試料S中の界面Bの位置)を適切に推定することができる。
(5−1)第1変形例
上述した説明では、ライブラリ生成部1521は、検査対象となっている試料Sそのものにテラヘルツ波THzを照射することで取得される検出波形DWから、基準波形BWを生成している。しかしながら、ライブラリ生成部1521は、検査対象となっている試料Sそのものではないものの当該試料Sと同一仕様のサンプル部材SPにテラヘルツ波THzを照射することで取得される検出波形DWから、基準波形BWを生成してもよい。
図9の上段の波形図に示すように、テラヘルツ波発生素子100が発生するパルス状のテラヘルツ波THzには、テラヘルツ波発生素子100が本来発生するべき(つまり、意図的に発生するべき)メインパルスMPに加えて、テラヘルツ波発生素子100が意図せず発生してしまう付随パルスNPが含まれる。付随パルスNPは、メインパルスMPよりも低周波のパルスとなる。このような付随パルスNPの一例として、テラヘルツ波発生素子100の特性上ゼロにすることが困難なノイズパルスが含まれる。
上述した説明では、位置推定部1522は、検出波形DWと推定波形EWとのマッチングを行うことで、界面B1の位置を推定している。しかしながら、位置推定部1522は、検出波形DWのうちの比較対象範囲WRに含まれる波形部分と推定波形EWのうち比較対象範囲WRに含まれている波形部分とのマッチングを行うことで、界面B1及びB2の位置を推定してもよい。この場合、位置推定部1522は、検出波形DWと推定波形EWとのマッチングを行う前に、比較対象範囲WRを設定する。
上述した説明では、テラヘルツ波検査装置100は、試料Sによって反射されたテラヘルツ波THzを検出している。しかしながら、テラヘルツ波検査装置100は、試料Sを透過したテラヘルツ波THzを検出してもよい。この場合、基準波形BWは、試料S又はサンプル部材SPを透過したテラヘルツ波THzの検出結果に基づいて生成される。
101 パルスレーザ装置
110 テラヘルツ波発生素子
120 光学遅延機構
130 テラヘルツ波検出素子
141 バイアス電圧生成部
142 I−V変換部
150 制御部
150a CPU
150b メモリ
151 ロックイン検出部
152 信号処理部
1521 ライブラリ生成部
1521a ライブラリ
1522 位置推定部
161 ビームスプリッタ
162、163 反射鏡
164 ハーフミラー
LB1 ポンプ光
LB2 プローブ光
THz テラヘルツ波
S 試料
L、L1、L2、L3 層
B、B0、B1、B2 界面
DW 検出波形
EW 推定波形
BW 基準波形
PW0、PW1、PW2 パルス波
Claims (20)
- 複数の層が積層された試料にテラヘルツ波を照射する照射部と、
前記試料からの前記テラヘルツ波を検出して検出波形を取得する検出部と、
前記検出波形と前記試料からの前記テラヘルツ波の推定波形を示すライブラリとに基づいて、前記複数の層の界面の位置を推定する推定部と
を備え、
前記ライブラリは、前記試料又は前記試料と同一仕様のサンプル部材に前記テラヘルツ波を照射することで取得される前記検出波形であるサンプル波形に基づいて生成される検査装置。 - 前記ライブラリは、前記サンプル波形のうち前記試料又は前記サンプル部材の表面に対応する第1パルス波形に基づいて生成される
請求項1に記載の検査装置。 - 前記ライブラリは、前記第1パルス波に基づいて設定される基準パルス波を用いたシミュレーションによって生成される
請求項2に記載の検査装置。 - 前記ライブラリは、前記第1パルス波を反転することで得られる基準パルス波を用いたシミュレーションによって生成される
請求項2又は3に記載の検査装置。 - 前記第1パルス波は、前記テラヘルツ波のメインパルスに対応し、
前記ライブラリは、前記第1パルス波形と、前記サンプル波形のうち前記テラヘルツ波のメインパルスに付随して前記テラヘルツ波に含まれる付随パルスに対応する第2パルス波形とに基づいて生成される
請求項2から4のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記付随パルスは、前記メインパルスよりも低周波である
請求項5に記載の検査装置。 - 前記付随パルスは、ノイズパルスを含む
請求項5又は6に記載の検査装置。 - 前記ライブラリは、前記第1及び第2パルス波に基づいて設定される基準パルス波を用いたシミュレーションによって生成される
請求項5から7のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記ライブラリは、前記第1及び第2パルス波を反転することで得られる基準パルス波を用いたシミュレーションによって生成される
請求項5から8のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記第1パルス波形は、前記サンプル波形のうち前記試料又は前記サンプル部材の表面で反射された前記テラヘルツ波に相当するパルス波形を含む
請求項2から9のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記第1パルス波形は、前記サンプル波形のうち前記試料又は前記サンプル部材の表面での反射の影響を受けたパルス波形を含む
請求項2から10のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記ライブラリを生成する生成部を更に備える
請求項1から11のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記照射部は、前記試料又は前記サンプル部材に前記テラヘルツ波を照射し、
前記検出部は、前記試料又は前記サンプル部材からの前記テラヘルツ波を検出して前記サンプル波形を取得し、
前記生成部は、前記検出部から前記サンプル波形に関する波形情報を取得し、前記波形情報を用いて前記ライブラリを生成する
請求項12に記載の検査装置。 - 前記推定部は、前記複数の層の第1界面よりも前記試料の表面から遠い前記複数の層の第2界面に対応して前記検出波形に現れる界面パルス波形と前記ライブラリとに基づいて、前記第1界面の位置を推定する
請求項1から13のいずれか一項に記載の検査装置。 - 複数の層が積層された試料にテラヘルツ波を照射する照射工程と、
前記試料からの前記テラヘルツ波を検出して検出波形を取得する検出工程と、
前記検出波形と前記試料からの前記テラヘルツ波の推定波形を示すライブラリとに基づいて、前記複数の層の界面の位置を推定する推定工程と
を備え、
前記ライブラリは、前記試料又は前記試料と同一仕様のサンプル部材に前記テラヘルツ波を照射することで取得される前記検出波形であるサンプル波形に基づいて生成される検査方法。 - テラヘルツ波が照射された試料又は前記試料と同一仕様のサンプル部材からの前記テラヘルツ波の検出波形に関する波形情報を取得する取得部と、
前記波形情報に基づいて、前記試料からの前記テラヘルツ波の推定波形を示すライブラリを生成する生成部と
を備えるライブラリ生成装置。 - テラヘルツ波が照射された試料又は前記試料と同一仕様のサンプル部材からの前記テラヘルツ波の検出波形に関する波形情報を取得する取得工程と、
前記波形情報に基づいて、前記試料からの前記テラヘルツ波の推定波形を示すライブラリを生成する生成工程と
を備えるライブラリ生成方法。 - コンピュータに請求項15に記載の検査方法を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
- コンピュータに請求項17に記載のライブラリ生成方法を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
- 請求項18又は19に記載のコンピュータプログラムが記録された記録媒体。
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