JP6942808B2 - Ｘ線検査システムおよび検査方法 - Google Patents

Description

関連出願の交差引用
本願は、２０１８年９月１８日に出願された「Ｘ線検査システムおよび検査方法」という名称の中国特許出願２０１８１１０８６６３５．２の優先権を主張し、本願の全ての内容は、引用により本明細書に組み込まれる。
本発明は、Ｘ線検査の分野に関し、特に、Ｘ線検査システムおよび検査方法に関する。

禁制物を正確に検査することは、公共安全検査の重点であり難点である。伝統的な透過イメージング技術は、分子構造情報を提供することができず、制限性がある。Ｘ線回折（Ｘ−ｒａｙ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ、ＸＲＤ）技術は、物質の分子レベルの構造情報を提供することができるし、強い特異性を有するので、物質の回折スペクトルを検査することによって物質を識別することができる。現在のＸＲＤ検査システムは、一般に、光源、検出器、およびコリメーションシステムを含み、このＸＲＤ技術を利用して禁制物を検査することは、他の伝統技術の不足を補うことができ、識別精度の向上に役立つ。
しかしながら、現在の検査システムは、散乱ビーム信号の収集効率が低いなどの問題がある。

本願の実施例は、散乱ビーム信号の収集効率を向上させ、ひいては検査システムの検査効率を向上させることができるＸ線検査システムを提供する。

本願の一の態様によれば、Ｘ線検査システムであって、
各列に複数のビーム信号を含む複数列のビーム信号を放射するための光源発生器と、
被検査物を通過した複数列の透過ビーム信号を受信するための第１の検出器と、
前記被検査物を通過した複数列の散乱ビーム信号に対して特異性の選択を行うためのコリメート装置と、
前記コリメート装置によって選択された散乱ビーム信号を受信するための第２の検出器と、
前記複数列の透過ビーム信号および選択された前記散乱ビーム信号に基づいて、前記被検査物の検査結果を決定するためのプロセッサと、
を含み、
前記第１の検出器と前記第２の検出器は、前記被検査物の搬送方向に交互に配置されている、Ｘ線検査システム。

本願の他の態様によれば、Ｘ線検査方法であって、
光源発生器が、各列に複数のビーム信号を含む複数列のビーム信号を放射し、
第１の検出器が、被検査物を通過した複数列の透過ビーム信号を受信し、
コリメート装置が、前記被検査物を通過した複数列の散乱ビーム信号に対して特異性の選択を行い、
第２の検出器が、前記コリメート装置によって選択された散乱ビーム信号を受信し、
前記複数列の透過ビーム信号および選択された前記散乱ビーム信号に基づいて、前記被検査物の検査結果を決定するステップを含む
Ｘ線検査方法。

本願の実施例における検査システムおよび検査方法によれば、複数列のビーム信号を用いたうえで、第１の検出器と第２の検出器とが被検査物の搬送方向に交互に配置されているので、単位時間内に収集される散乱ビーム信号中の光子の数を大幅に増加させ、すなわち、散乱ビーム信号の収集効率を向上させる。

本願は、添付の図面を参照して、本願の特定の実施例の以下の説明からよりよく理解することができる。
本発明の他の特徴、目的、および利点は、添付の図面を参照した非限定的な実施例の詳細な説明を読むことによって明らかになり、同一または類似した符号は、同一または類似した特徴を示す。
図１は、本願の実施例に係るＸ線検査システムを示す概略構成図である。 図２は、本願の実施例に係る光源発生器のビーム信号入射点平面を示す模式図である。 図３は、本願の実施例における第１の検出器および第２の検出器の配置を示す模式図である。 図４は、本願の実施例における散乱ビーム信号を示す模式図である。 図５は、本願の実施例における被検査物の位置を示す模式図である。 図６は、本願の実施例によって提供される検査方法を示すフローチャートである。

以下、本願の様々な態様の特徴および例示的な実施例を詳細に説明する。以下の詳細な説明では、本願の完全な理解を提供するために、多くの具体的な詳細が提示されている。しかし、当業者には明らかなように、本願は、これらの具体的な詳細の一部を必要とせずに実施することができる。以下の実施例についての説明は、単に、本願の例を示すことによって、本願に対する理解を深めるためのものである。不必要に本願を不明瞭にすることを避けるために、図面および以下の説明において、少なくとも一部の公知の構造や技術は示されていない。そして、はっきりさせるために、一部の構造のサイズを誇張している場合もある。なお、図面において、同一または類似した構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。さらに、以下に記載される特徴、構成、または特性は、任意の適切な方式で１つまたは複数の実施例に組み込まれることができる。

現在の検査システムには多くの種類があるが、一般的には、いずれも、光源発生器、検出器、およびコリメーションシステムを含む。光源発生器の選択には、一般に、電子ビームターゲティングによって制動放射を発生するＸ線を使用し、すなわち、広いエネルギー分布を有するＸ線エネルギースペクトルを発生する。検出器の選択には、光子のエネルギーを区別することができる光子計数型検出器または光子のエネルギーを区別することができないエネルギー積分型検出器を使用することができる。Ｘ線回折のスペクトルを検査する必要があるので、対応する検出器を合わせる必要がある。エネルギー積分型検出器は、光源発生器をＸ線のエネルギー次元でフィルタリングしなければならないが、光子計数型検出器は、Ｘ線の光源発生器に制限がない。散乱の物理的過程は空間的になだらかに分布されているため、同じ検出器画素内に異なる再構成画素情報が混在することは容易である。解を求めるために、不要な信号をフィルタリングし、エイリアシングを低減し、解の安定性を向上させるコリメート装置が追加されている。現在一般的に使用されているコリメート装置は、主に、ロングストレートコリメータとコーディングプレートとを含む。ロングストレートコリメータは、Ｘ線を二次元で拘束し、コーディングプレートは、Ｘ線を一次元で拘束する。

しかし、現在の検査システムでは、ある画素点の回折情報を検査することができるが、その結像時間が長すぎて、実際的には適用することができない。また、単に光子計数型検出器を用いると、散乱ビーム信号の収集効率は向上するものの、依然として、走査時間が長すぎて、実際的には適用することができないという問題がある。エネルギー積分型検出器およびコーディングプレートを使用すると、散乱ビーム信号フラックスを向上させるが、光源発生器に対してエネルギー次元のフィルタリング処理を行う必要があり、光子の使用効率を低下させる。

本願の実施例は、上述の問題点に基づいて改良されたものである。
本願の理解を深めるために、本願の実施例に係る検査システムおよび検査方法について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、これらの実施例は、本願の開示範囲を限定するものではない。

図１は、本願の実施例に係るＸ線検査システムを示す概略構成図である。
図１に示すように、本実施例におけるＸ線検査システムは、光源発生器１１０と、第１の検出器１２０と、第２の検出器１３０と、コリメート装置１４０と、プロセッサ１５０とを含む。

第１の検出器１２０と第２の検出器１３０とは、被検査物１６０の搬送方向に交互に配置されている。
光源発生器１１０は、複数列のビーム信号を放射するように構成され、各列のビーム信号は、複数のビーム信号を含む。

第１の検出器１２０は、被検査物１６０を通過した複数列の透過ビーム信号を受信する。
コリメート装置１４０は、被検査物１６０を通過した複数列の散乱ビーム信号に対して特異性の選択を行う。
第２の検出器１３０は、コリメート装置１４０によって選択された散乱ビーム信号を受信する。
プロセッサ１５０は、複数列の透過ビーム信号および選択された散乱ビーム信号に基づいて、被検査物１６０の検査結果を決定する。

図１から分かるように、光源発生器１１０のビーム信号の出射方向は、３次元デカルト座標系のＸ軸の正方向であり、被検査物１６０の搬送方向は、３次元デカルト座標系のＹ軸である。光源発生器１１０は、複数列のビーム信号を発生し、これらの列のビーム信号が被検査物１６０を通過した後、透過ムービ信号は、第１の検出器１２０によって受信され、散乱ビーム信号は、先にコリメート装置１４０によって特異性の選択が行われ、選択された散乱ビーム信号は、第２の検出器１３０によって受信される。プロセッサ１５０によって透過ビーム信号および散乱ビーム信号を処理することによって、被検査物の検査結果が決定される。

本願の実施例によれば、複数列のビーム信号を用いたうえで、第１の検出器１２０と第２の検出器１３０とが被検査物１６０の搬送方向に交互に配置されているので、単位時間内に収集される散乱ビーム信号中の光子の数を大幅に増加させ、すなわち、散乱ビーム信号の収集効率を向上させる。

図２は、本願の実施例に係る光源発生器のビーム信号入射点平面を示す模式図である。
一実施例では、複数列のビーム信号の入射平面はＹＯＺ平面であり、ＹＯＺ平面上の入射点は２次元離散分布している。具体的には、複数列のビーム信号の入射点は、３次元デカルト座標系のＺ軸上においては等間隔に配置されており、Ｙ軸上においては等間隔に配置されているか又は不等間隔に配置されている。具体的には、列ビーム信号の入射点によって形成される直線は、Ｚ軸に平行である。

なお、図２に示すように、ビーム信号はＸ軸に沿って入射され、ＹＯＺ平面内の入射点は２次元離散分布である。列ビーム信号の入射点によって形成される直線は、Ｚ軸に平行であり、Ｚ軸方向の入射点はいずれも等間隔に分布されているが、Ｙ軸方向の入射点は等間隔に分布されていてもよく、不等間隔に分布されていてもよい。Ｙ方向において等間隔に分布されていると、受信された散乱ビーム信号は、周期検査に用いられることができる。Ｙ方向において不等間隔に分布されていると、被検査物１６０が移動している間に、第２の検出器１３０が前に受信した散乱ビーム信号を再利用できることを保証することができる。したがって、本願の実施例における検査システムは、散乱ビーム信号の受信効率を向上させるだけでなく、被検査物１６０に対して正確な解を求めることを保証する。

一実施例では、間隔は、被検査物の搬送速度、第１の検出器の露光時間、および第２の検出器の露光時間によって決定された距離である。
被検査物の散乱ビーム信号の空間サンプリング間隔が（ｐ、Ｑ、ｒ）であると、それぞれ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の３方向の離散距離に対応していることがわかる。
Ｑの式は（１）のようになる。
Ｑ＝ｖ×Ｔ
（１）
ここで、ｖは被検査物の搬送速度であり、Ｔは第１の検出器１２０の露光時間および第２の検出器１３０の露光時間である。

なお、異なる列のビーム信号のＹ軸方向における間隔はＬであり、Ｑの整数倍である。Ｙ軸方向において等間隔の場合、Ｙ軸方向における被検査物の離散間隔がＱであると、サンプリング間隔Ｌは、以下の関係を満たす。
Ｌ＝ｋ×Ｑ
（２）
ここで、ｋは整数であり、ｋが固定値である場合、ビーム信号の配列は、被検査物１５０の移動方向に沿って等間隔周期分布である。等間隔周期分布の場合、毎回第１の検出器１２０および第２の検出器１３０によって検査されたビーム信号がｋ回露光した後、再度同じビーム信号が検査される。したがって、同じ再構成画素点のビーム信号を加算することで、散乱ビーム信号の受信効率を向上させ、ノイズを低減して、ビーム信号の多重化を実現することができる。

ｋが固定値でない場合、すなわち、列ビーム信号間の間隔が等しくない場合、異なる回数の第１の検出器１２０および第２の検出器１３０によって受信されるビーム信号は、線型方程式系を形成することができ、連続性制約の条件を追加して方程式系を解くことができ、同様にビーム信号の多重化を実現することができる。

本願の実施例で用いる求解式は以下の通りである。
Ｘ線の減衰の法則は、Ｂｅｅｒの法則で説明できる。

ここで、Ｅは光子エネルギーであり、Ｉ_０（Ｅ）は入射エネルギースペクトルであり、Ｉ（Ｅ）は透過エネルギースペクトルである。

ここで、Ｉ_Ｌ（Ｅ）は低エネルギー等価エネルギースペクトルであり、Ｉ_Ｈ（Ｅ）は高エネルギー等価エネルギースペクトルであり、ｐ_Ｌとｐ_Ｈとはそれぞれ低エネルギー検査信号と高エネルギー検査信号である。

Ｘ線の散乱ビーム信号は、次のように記載することができる。

ここで、Ｃは定数係数であり、Ｔ（Ｅ）は被検査物の減衰項であり、具体的には以下のように表される。

第２の検出器１３０によって検査されたビーム信号は、複数の散乱ビーム信号の合計であり、離散化された後、以下のように記載することができる。

ここで、Ｙは第２の検出器１３０の画素座標を表し、ｓ（Ｅ、Ｙ）は第２の検出器１３０の検査エネルギースペクトルを表し、Ωは画素Ｙに入射可能な全ての散乱ビーム信号の集合を表し、Ａ（Ｘ、Ｙ）は散乱ビーム信号に対するコーディングプレートの影響を表す。

以降の処理では、第１の検出器１２０の関連技術に基づいて被検査物の減衰項Ｔ（Ｅ）を算出し、ビーム信号の入射エネルギースペクトルＩ_０（Ｅ）はソフトウェアシミュレーションによって得ることができるので、減衰項Ｔ（Ｅ）と入射エネルギースペクトルＩ_０（Ｅ）との両方を補正すると、以下の式（８）が得られる。

ここで、Ｓ（ｑ，ｙ）は補正された散乱スペクトルを表し、ｑは散乱ビーム信号のベクトルであり、コヒーレント散乱ビーム信号のカーネル変数である。

ここで、Ｅはエネルギーであり、ｃは光速であり、ｈは波長であり、（８）は散乱場の物理モデルと求解の中核であり、この物理モデルは線形重畳モデルである。したがって、ＡＲＴなどの解法アルゴリズムを用いて解を求めることができる。

ここで、Ａ（Ｘ，Ｙ）は方程式の解の安定性に影響し、Ｓ（ｑ，Ｙ）は方程式のノイズレベルに関係し、本願の実施例は、解の安定性を保証しながら、散乱ビーム信号の受信率を向上させることを目的とする。
たとえば、１番目の第２の検出器１３０を使用して１列目を検査する場合：

ここで、Ｓ_１，１は１列目の第２の検出器１３０の第１番目の検査を表し、第１番目の下付き文字は第２の検出器１３０の行数を表し、第２番目の下付き文字は検査回数を表す。X_ｋはｋ行目の散乱ビーム信号を表す。配列が周期性を持つため、以下の式を満たす。

上記と同じ検査信号を積算して計数率を向上する。
ｋが固定値でない場合、すなわち列光源間の間隔が等しくない場合、異なる回数に検査されたビーム信号は１つの線型方程式系を構成することができ、連続性制約の条件を追加して方程式系を解くことができ、同様にビーム信号の再利用を実現することもできる。例えば：

上記の方程式系は、重ね合わせてノイズを除去することはできないが、検査するグループ数を増加したため、依然として、ビーム信号の多重化およびノイズ低減の目的を達成することができる。

被検査物の搬送速度、第１の検出器の露光時間および第２の検出器の露光時間によって決定される間隔によって、散乱ビーム信号の受信効率を向上させるとともに、被検査物１６０の正確な解を求めることを保証することができる。

図３は、本願の実施例における第１の検出器および第２の検出器の配置を示す概略図である。
一実施例では、散乱ビーム信号の受信効率を向上させ、検査システムのコストを最小限に抑えるために、第１の検出器１２０は、少なくとも２つの二重エネルギー透過検出器を含む。第２の検出器１３０は、少なくとも１つの光子計数散乱検出器を含む。

なお、光子計数散乱検出器は、単一のビーム信号の複数の物体点の散乱ビーム信号を受信することに加えて、同じ列のビーム信号における異なるビーム信号によって生成された散乱ビーム信号と、異なる列のビーム信号における異なるビーム信号によって生成された散乱ビーム信号とを同時に受信することができる。また、被検査物の搬送方向に沿って複数の光子計数散乱検出器を配置するため、複数列のビーム信号の複数の検査を合計することができ、検査精度を向上させ、検査効率も向上させる。

図３に示されるように、二重エネルギー透過検出器および光子計数散乱検出器は、被検査物の搬送方向に沿って交互に配置される。二重エネルギー透過検出器は、被検査物を通過した複数列の透過ビーム信号を受信する。光子計数散乱検出器は、散乱ビーム信号を受信する。

図３から分かるように、光子計数散乱検出器１は、列ビーム信号１の散乱ビーム信号１を検査することができ、二重エネルギー透過検出器１は、列ビーム信号１の透過ビーム信号１を検査することができる。図３から分かるように、光子計数散乱検出器１は、列ビーム信号２の散乱ビーム信号２を検査することができ、二重エネルギー透過検出器２は、列ビーム信号２の透過ビーム信号２を検査することができ、これら２つのプロセスが同時に行われる。コーディングプレートは光子計数散乱検出器に対応するように設計されているので、光子計数散乱検出器１は、散乱ビーム信号１と散乱ビーム信号２のみを検査するように制限される。交互に分布することにより、隣接する２列のビーム信号によって生成された散乱ビーム信号を同時に検査することができ、光子計数散乱検出器が散乱ビーム信号を検査する使用効率を向上させる。光子計数散乱検出器の前に、コーディングプレートを配置して、ビーム信号を解く際の安定性を向上させる。

図４は、本願の実施例における散乱ビーム信号を示す模式図である。
図４に示すように、図４の実線は透過ビーム信号であり、破線は第２の検出器１３０が受信するコリメート装置１４０を通過した散乱ビーム信号である。第１の散乱ビーム信号は、同一のビーム信号の異なるボクセル点からの散乱ビーム信号を示し、第２の散乱ビーム信号は、同一列のビーム信号の異なるビーム信号からの散乱ビーム信号を示し、第３の散乱ビーム信号は、異なる列のビーム信号からの散乱ビーム信号を示す。第１の検出器１２０と第２の検出器１３０とを交互に配置することにより、隣接する２列のビーム信号によって生成された散乱ビーム信号を同時に検査することができ、光子計数散乱検出器が散乱ビーム信号を検査する使用効率を向上させる。光子計数散乱検出器の前に、コーディングプレートを配置して、解を求める際の安定性を向上させる。

図５は、本願の実施例における被検査物の位置を示す模式図である。
以下は、具体的な実験実施例を示す。
本願の実施例において挙げた信号は、いずれも検査システムの典型的な値であり、ｋが固定値である周期分布の場合と、ｋが固定値でない場合ではその分析実施過程が同様である。

例えば、図５に示すように、被検査物の高さは２００ｍｍであり、その前面は、第１の検出器１２０および第２の検出器１３０が位置する平面から１２００ｍｍ離れており、裏面は、第１の検出器１２０および第２の検出器１３０が位置する平面から６００ｍｍ離れている。コーディングプレート／コリメータによる制限によって、３°の散乱角度を有する散乱ビーム信号が検査される。散乱ビーム信号の大部分は、第１の検出器１２０の両側から３０ｍｍ−６０ｍｍの間に分布されている。２つの第１の検出器１２０の間隔は９０ｍｍであり、合計１０列のビーム信号が配置されている。これに対応して、第１の検出器１２０の間隔Ｌも９０ｍｍであり、各第２の検出器１３０は、隣接する２つの第１の検出器１２０の中央の位置に配置され、必要な散乱光子の大部分が確実に収集されるように、３０ｍｍの幅を有する。

被検査物の空間散乱ビーム信号の再構成精度に対する要求は、１０ｍｍ×１０ｍｍ×１０ｍｍである。したがって、ｐ＝Ｑ＝ｒ＝１０ｍｍであり、各列のビーム信号は２０本の棒型のビーム信号を含むととともに、倍数＝９であると計算できるので、各ＸＯＺ平面内の列ビーム信号は、９回の検査後にいずれも再度検査され、検出器の多重化の基本要件を満たしている。同じ検査結果を合計すると、１０列のビーム信号と検出器があるため、以前と同じ信号対雑音比の検査結果を得るために必要な時間は、元の１／１０に過ぎない。第１の検出器１２０と第２の検出器１３０とは間隔をあけて配置されているので、左右２つの第２の検出器１３０は１列のビーム信号に対して対称的に検査することができ、第２の検出器１３０を片側に分布したのと比べて、時間を１/２に短縮する。１列のビーム信号は２０本の棒型のビーム信号を含むので、効率はさらに２０倍向上する。
上記の検査システムにより検査時間を大幅に低減することができ、検査効率を向上させる。

以下、添付図面を参照しながら、本願の実施例に係る方法について詳細に説明する。
図６は、本願の実施例に係る検査方法を示すフローチャートである。図６に示すように、検査方法は、以下のステップを含む。
ステップＳ６１０において、光源発生器は、各列に複数のビーム信号を含む複数列のビーム信号を放射する。

ステップＳ６２０において、第１の検出器は、被検査物を通過した複数列の透過ビーム信号を受信する。
ステップＳ６３０において、コリメート装置は、被検査物を通過した複数列の散乱ビーム信号を特異的に選択する。
ステップＳ６４０において、第２の検出器は、コリメート装置によって選択された散乱ビーム信号を受信する。
ステップＳ６５０において、複数列の透過ビーム信号および選択された散乱ビーム信号に基づいて、被検査物の検査結果を決定する。

本願の実施の形態に係る検査方法によれば、複数列のビーム信号を用いたうえで、第１の検出器１２０と第２の検出器１３０とを被検査物１６０の搬送方向に交互に配置することにより、単位時間内に収集される散乱ビーム信号中の光子の数を大幅に増加させ、すなわち、散乱ビーム信号の収集効率を向上させる。

本願の実施例に係る検査方法のその他の詳細は、図１〜図５を参照して上述した本願の実施例に係る検査システムと同様であるので、ここでは説明を省略する。
上述の実施例では、その全体または一部は、ソフトウェア、ハードウェア、ファームウェア、またはそれらの任意の組み合わせによって実現されてもよい。ソフトウェアで実施される場合、その全体または一部は、コンピュータプログラム製品またはコンピュータ可読記憶媒体の形態で実現されてもよい。よって、コンピュータプログラム製品またはコンピュータ可読記憶媒体は、１つまたは複数のコンピュータコマンドを含む。コンピュータプログラムコマンドがコンピュータにロードされ実行されると、本願の実施例に記載されたフローまたは機能が全体的にまたは部分的に生成される。コンピュータは、汎用コンピュータ、専用コンピュータ、コンピュータネットワーク、または他のプログラム可能装置であってもよい。コンピュータコマンドは、コンピュータ可読記憶媒体に記憶されてもよいし、１つのコンピュータ可読記憶媒体から別のコンピュータ可読記憶媒体に送信されてもよく、例えば、１つのウェブサイト、コンピュータ、サーバーまたは信号センターから有線（同軸ケーブル、光ファイバ、デジタル加入者線（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｕｂｓｃｒｉｂｅｒ Ｌｉｎｅ））または無線（例えば、赤外線、無線、マイクロ波など）の方式で、別のウェブサイト、コンピュータ、サーバーまたは信号センターに送信されてもよい。コンピュータ可読記憶媒体は、コンピュータがアクセス可能な任意の利用可能な媒体であってもよいし、１つ以上の利用可能な媒体を含む集積されたサーバ、信号センターなどの信号記憶装置であってもよい。利用可能な媒体は、磁気媒体（例えば、フロッピーディスク、ハードディスク、磁気テープ）、光媒体（例えば、ＤＶＤ）、又は半導体媒体（例えば、ソリッドステートハードディスク（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｉｓｋ（ＳＳＤ））等でもよい。

本願は、上記で説明し図面に示した特定の構成および処理に限定されないことは明らかである。簡潔にするために、ここでは、既知の方法の詳細な説明は省略する。上述の実施例では、いくつかの具体的なステップが例として記載され図示されている。しかしながら、本願の方法は、記載され図示された特定のステップに限定されるものではなく、当業者には、本願の精神を理解した上で、様々な変更、修正および追加、またはステップ間の順序の変更が可能である。

本願は、その精神および本質的特徴から逸脱することなく、他の特定の形態で実施可能である。したがって、本実施例は、あらゆる点で例示的なものであり、限定的なものではないと見なされるべきであり、本願の範囲は、上記の説明ではなく、添付した特許請求の範囲によって定義され、かつ、特許請求の範囲に入る意味および均等物の範囲内に含まれるすべての変更は、本願の範囲内に含まれる。また、異なる実施例に現れる異なる技術的特徴を組み合わせて、有益な効果を得ることができる。当業者は、図面、明細書、および特許請求の範囲を検討した上で、開示された実施例の他の変形例を理解し、実施することができる。

Claims (12)

1. Ｘ線検査システムであって、
   各列に複数のビーム信号を含む平行な複数列のビーム信号を放射するための光源発生器と、
   被検査物を通過した複数列の透過ビーム信号を受信するための第１の検出器と、
   前記光源発生器から放射されて前記被検査物を通過した複数列の散乱ビーム信号から、異なる列からの散乱ビーム信号の少なくとも一部のビーム信号を選択するためのコリメート装置と、
   前記コリメート装置によって選択された散乱ビーム信号を受信するための第２の検出器と、
   前記複数列の透過ビーム信号および選択された前記散乱ビーム信号に基づいて、前記被検査物の検査結果を決定するためのプロセッサと、
   を含み、
   前記第１の検出器と前記第２の検出器は、前記被検査物の搬送方向に交互に配置されている、
   ことを特徴とする検査システム。
2. 前記光源発生器のビーム信号の出射方向は、３次元デカルト座標系のX軸の正方向であり、前記被検査物の搬送方向は、３次元デカルト座標系のＹ軸である
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
3. 前記複数列のビーム信号の入射平面はＹＯＺ平面であり、前記ＹＯＺ平面上の入射点は２次元離散分布されている
   ことを特徴とする請求項２に記載の検査システム。
4. 前記複数列のビーム信号の入射点は、３次元デカルト座標系のＺ軸においては等間隔に配置されており、Ｙ軸においては等間隔又は不等間隔に配置されている
   ことを特徴とする請求項３に記載の検査システム。
5. 前記Ｙ軸上の間隔は、前記被検査物の搬送速度、前記第１の検出器の露光時間、および前記第２の検出器の露光時間によって決定される距離である
   ことを特徴とする請求項４に記載の検査システム。
6. 前記複数列のビーム信号の入射点によって形成される直線は、前記Z軸に平行である
   ことを特徴とする請求項４に記載の検査システム。
7. 前記第１の検出器は、少なくとも２つの二重エネルギー透過検出器を含む
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
8. 前記第２の検出器は、少なくとも１つの光子計数散乱検出器を含む
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
9. 前記第１の検出器は、前記光源発生器と対向している
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
10. 前記コリメート装置は、前記第２の検出器と対向するコリメータまたはコーディングプレートを含む
    ことを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
11. 前記第２の検出器は、隣接する２つの前記第１の検出器の間に配置されている
    ことを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
12. Ｘ線検査方法であって、
    光源発生器が、各列に複数のビーム信号を含む平行な複数列のビーム信号を放射し、
    第１の検出器が、被検査物を通過した複数列の透過ビーム信号を受信し、
    コリメート装置が、前記光源発生器から放射されて前記被検査物を通過した複数列の散乱ビーム信号から、異なる列からの散乱ビーム信号の少なくとも一部のビーム信号を選択し、
    第２の検出器が、前記コリメート装置によって選択された散乱ビーム信号を受信し、
    前記複数列の透過ビーム信号および選択された前記散乱ビーム信号に基づいて、前記被検査物の検査結果を決定するステップを含む
    ことを特徴とするＸ線検査方法。
    

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