JP6934140B2 - XY table - Google Patents

XY table Download PDF

Info

Publication number
JP6934140B2
JP6934140B2 JP2016155918A JP2016155918A JP6934140B2 JP 6934140 B2 JP6934140 B2 JP 6934140B2 JP 2016155918 A JP2016155918 A JP 2016155918A JP 2016155918 A JP2016155918 A JP 2016155918A JP 6934140 B2 JP6934140 B2 JP 6934140B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
shaft
linear
axis direction
linear motion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016155918A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018024034A (en
Inventor
長谷川 達夫
達夫 長谷川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Pulse Motor Co Ltd
Original Assignee
Nippon Pulse Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Pulse Motor Co Ltd filed Critical Nippon Pulse Motor Co Ltd
Priority to JP2016155918A priority Critical patent/JP6934140B2/en
Publication of JP2018024034A publication Critical patent/JP2018024034A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6934140B2 publication Critical patent/JP6934140B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Description

本発明は、直動アクチュエータの直動軸によりベース部とテーブル部をそれぞれ押し引き動作することで、テーブル部を直交する2方向に動作移動するようにしたXYテーブルに関する。 The present invention relates to an XY table in which the table portion is moved in two directions orthogonal to each other by pushing and pulling the base portion and the table portion by the linear motion axis of the linear motion actuator.

従来、XYテーブルの駆動源として、ネジ軸を有する直動モータ、直動型ステッピングモータや、シャフト軸を有するシャフト型リニアモータなどの直動アクチュエータを用い、当該直動アクチュエータが備える直動軸(ネジ軸や、シャフト軸など)を直接的にベース部やテーブル部に連結して、モータ駆動による直動軸の押し引き動作によって移動するようにしたXYテーブルが知られている。 Conventionally, as a drive source of the XY table, a linear actuator such as a linear motor having a screw shaft, a linear stepping motor, or a shaft type linear motor having a shaft shaft has been used, and the linear actuator provided with the linear actuator ( There is known an XY table in which a screw shaft, a shaft shaft, etc.) are directly connected to a base portion or a table portion so as to be moved by a push-pull operation of a linear motion shaft driven by a motor.

例えば、特許文献1に開示されたものでは、基台となるヘッド(1)に直動モータ(3)を固定し、移動テーブル(2)の外周域に直動モータ(4)を固定して、ねじ軸(31と41)の先端をそれぞれベース部となるクロスベアリング(7)に連結することで、Y軸方向へは、クロスベアリング(7)に対するねじ軸(31)の押し引き動作により、X軸方向へは、移動テーブル(2)に対する直動モータ(4)の押し引き動作によって、移動テーブル(2)を、X軸方向とY軸方向に移動できるようにしたものである。この様な直動モータを用いることにより、送りネジ機構を別途必要とする特許文献2に開示された駆動方式のものに比して、部品点数の削減や動作構造が簡略化を図ることができると共に、安価に製作できるという利点を有している。 For example, in the one disclosed in Patent Document 1, the linear motion motor (3) is fixed to the head (1) serving as a base, and the linear motion motor (4) is fixed to the outer peripheral region of the moving table (2). By connecting the tips of the screw shafts (31 and 41) to the cross bearing (7) which is the base portion, respectively, in the Y-axis direction, the screw shaft (31) is pushed and pulled with respect to the cross bearing (7). In the X-axis direction, the moving table (2) can be moved in the X-axis direction and the Y-axis direction by pushing and pulling the linear motion motor (4) with respect to the moving table (2). By using such a linear motion motor, it is possible to reduce the number of parts and simplify the operation structure as compared with the drive system disclosed in Patent Document 2, which separately requires a feed screw mechanism. At the same time, it has the advantage of being inexpensive to manufacture.

しかしながら、特許文献1の直動モータ(4)は移動テーブル(2)の外周域に固定され、特許文献2の回転モータ(4)もテーブル(1)の外周域に固定され、何れのものもテーブルと共にモータが移動する構造となっているため、モータに電源供給するための配線ケーブルが外観露出してしまい、これら配線ケーブルを収容し保護するためのケーブルベア(登録商標)等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどが必要となるばかりか、専用の収容スペースを確保しなければならず、他のワーク機器との併合やセンサなどの位置決め機器の配設などの邪魔となり、或いは、モータと共に移動する露出する配線ケーブルの曲げ疲労による、破損や断線を生じる危惧がある。しかも、X軸方向へは直動モータ(4)の移動制御であり、Y軸方向へはねじ軸(31)の移動制御によって行わなければならず、モータ制御を統一化することができない。
However, the linear motion motor (4) of Patent Document 1 is fixed to the outer peripheral region of the moving table (2), and the rotary motor (4) of Patent Document 2 is also fixed to the outer peripheral region of the table (1). Since the motor moves with the table, the wiring cables for supplying power to the motor are exposed, and cable protection members such as cable bears (registered trademark) for accommodating and protecting these wiring cables. In addition to the need for cables and robot cables, it is necessary to secure a dedicated storage space, which interferes with merging with other work equipment and placement of positioning equipment such as sensors, or moves with the motor. There is a risk of breakage or disconnection due to bending fatigue of the exposed wiring cable. Moreover, the movement control of the linear motor (4) in the X-axis direction must be performed by the movement control of the screw shaft (31) in the Y-axis direction, and the motor control cannot be unified.

特開平02−116442号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 02-116442 特開平11−028630号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-028630

本発明は、上記の如き問題点を一掃すべく創案されたものであって、ベース部とテーブル部の外周域にX軸方向とY軸方向にそれぞれ押し引き動作するための直動アクチュエータを備えたXYテーブルでありながら、直動アクチュエータを、基台に装着固定した状態で直動軸の押し引き動作によってテーブル部の移動を行えるようにして、テーブル部に固定されたモータが、テーブル部と共に一体移動する取着構造を排除し、テーブル部の外周域にモータへの電源供給用の配線ケーブルの配設を回避することができ、これら配線ケーブルを収容し保護するためのケーブルベア(登録商標)等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどの高価な対屈曲ケーブルを不要なものとして、部品点数の削減を図り安価に製作することができるXYテーブルを提供することを目的としている。
The present invention has been devised to eliminate the above-mentioned problems, and is provided with linear actuators for pushing and pulling in the X-axis direction and the Y-axis direction in the outer peripheral regions of the base portion and the table portion, respectively. Although it is an XY table, the linear acting actuator is mounted and fixed to the base so that the table can be moved by pushing and pulling the linear motion shaft, and the motor fixed to the table can be moved together with the table. A cable bear (registered trademark) for accommodating and protecting these wiring cables by eliminating the integrally moving attachment structure and avoiding the arrangement of wiring cables for supplying power to the motor in the outer peripheral area of the table portion. ) And other expensive anti-bending cables such as robot cables are unnecessary, and the purpose is to provide an XY table that can be manufactured at low cost by reducing the number of parts.

上記課題を解決するために本発明のXYテーブルは、基台上に設けられたX軸方向に移動可能なベース部と、該ベース部上に設けられてY軸方向に移動可能なテーブル部とを備え、該テーブル部がベース部の移動を伴って直交する2方向に動作移動するXYテーブルであって、前記ベース部とテーブル部とを夫々直線的に進退駆動する直動軸を備えた直動アクチュエータによって動作させるに、該直動アクチュエータは、ベース側直動モータとテーブル側直動モータとからなり、前記直動軸の先端部を、前記ベース部とテーブル部の外周面に対して、それぞれその動作方向に向けて押し引き動作可能に連結させた状態で基台に設けたブラケットを介して装着固定せしめると共に、前記テーブル部とテーブル側直動モータの直動軸の先端部とは、スライダ部と案内レールとからなるガイド部材を介して、該直動軸の先端部に設けられたテーブル側連結部材にスライダ部を装着せしめ、該スライダ部を、テーブル部の外周面長手方向に設けられた案内レールに対して係合させた状態で、X軸方向にスライド自在に案内支持させて連結し、前記テーブル部は、前記案内レールが、前記テーブル側連結部材に対して前記ベース部と共にX軸方向にスライド移動する位置変位に応じて、テーブル側連結部材を介した当該直動軸の押し引き動作によってベース部上を前記ガイド部材と共にY軸方向に走行移動可能に構成せしめたことを特徴とするものである。 In order to solve the above problems, the XY table of the present invention includes a base portion provided on the base and movable in the X-axis direction, and a table portion provided on the base portion and movable in the Y-axis direction. An XY table in which the table portion moves in two directions orthogonal to each other with the movement of the base portion, and is provided with a linear motion shaft that linearly drives the base portion and the table portion to move forward and backward. To be operated by a dynamic actuator, the linear actuator comprises a base-side linear motor and a table-side linear motor, and the tip of the linear shaft is attached to the outer peripheral surfaces of the base and the table. in each state of being pushed and pulled operatively connected towards its operational direction, the allowed to mounting fixed via a bracket provided on the base, and the table portion and the table side direct drive shaft of the front end portion of the linear motor , The slider portion is attached to the table side connecting member provided at the tip end portion of the linear motion shaft via the guide member composed of the slider portion and the guide rail, and the slider portion is mounted in the longitudinal direction of the outer peripheral surface of the table portion. while remaining engaged against provided with guide rails, connected by slidably guided and supported in the X axis direction, the table portion, the guide rail, said base portion with respect to said table-side connecting member depending on the positional displacement to slide in the X-axis direction, that the upper base portion was allowed configured to travel and move in the Y-axis direction together with the guide member by a push-pull operation of the direct drive shafts via the table-side connecting member with It is characterized by.

本発明は、上記のように構成したことにより、ベース部とテーブル部の外周域にX軸方向とY軸方向にそれぞれ押し引き動作するための直動アクチュエータを備えたXYテーブルでありながら、直動アクチュエータを、テーブル部とは一体移動することがなく、基台に設けたブラケットを介して装着固定させた状態で、ベース部と共にテーブル部がX軸方向に一体移動した際に、テーブル側連結部材と連結された案内レールが、テーブル側連結部材に対してX軸方向にスライド移動し、当該案内レールの位置変位に応じて、テーブル側直動軸による押し引き動作によってテーブル部を、ベース部の上面をガイド部材と共に走行させてY軸方向へ移動することが可能となり、基台、ベース部、テーブル部を矩形の同一形状に形成し得て、密接載置した状態で簡易な構成をもって組付けセットでき、XYテーブルを薄型に形成して、部品点数の削減を図ることができるばかりか、モータと共に移動する露出する配線ケーブルが曲げ疲労などによる破損や断線を生じる危惧を一掃することができる。しかも、テーブル部の外周域に対する専用の収容スペースを確保する必要を無くし得て、他のワーク機器との併合やセンサなどの位置決め機器の配設などのアッセンブリを容易なものとし、或いは、X軸方向とY軸方向に対するテーブル部の移動制御を、直動アクチュエータの固定位置を起点として、テーブル側直動軸の押し引き移動量と、ベース側直動軸の押し引き移動量とを統一化させたモータ制御により管理することができ、モータ制御を簡略化することが可能となるなど装置全体を安価に製作することができ、直動アクチュエータの種類もワークの用途に応じて適宜選択して採用することができる。 The present invention is an XY table provided with linear actuators for pushing and pulling in the X-axis direction and the Y-axis direction in the outer peripheral regions of the base portion and the table portion, respectively, by being configured as described above. When the dynamic actuator does not move integrally with the table part, but is mounted and fixed via a bracket provided on the base, and the table part moves integrally with the base part in the X-axis direction, the table side is connected. The guide rail connected to the member slides in the X-axis direction with respect to the table-side connecting member, and the table portion is pushed and pulled by the table-side linear motion shaft according to the position displacement of the guide rail, and the table portion is moved to the base portion. It is possible to move the upper surface of the table together with the guide member in the Y-axis direction, and the base, base, and table can be formed in the same rectangular shape. Not only can the XY table be made thin so that it can be attached and set, the number of parts can be reduced, and the risk of damage or disconnection due to bending fatigue of the exposed wiring cable that moves with the motor can be eliminated. NS. Moreover, it is possible to eliminate the need to secure a dedicated storage space for the outer peripheral area of the table portion, which facilitates assembly such as merging with other work equipment and arranging positioning equipment such as a sensor, or the X-axis. The movement control of the table unit in the direction and the Y-axis direction is unified with the push-pull movement amount of the table-side linear movement shaft and the push-pull movement amount of the base-side linear movement shaft, starting from the fixed position of the linear actuator. The entire device can be manufactured at low cost, such as being able to be managed by motor control and simplifying motor control, and the type of linear actuator is also selected and adopted as appropriate according to the application of the workpiece. can do.

本発明の実施形態にかかる直動型ステッピングモータを備えたXYテーブルの全体斜視図である。It is an overall perspective view of the XY table provided with the linear motion type stepping motor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態にかかるシャフト型リニアモータを備えたXYテーブルの全体斜視図である。It is an overall perspective view of the XY table provided with the shaft type linear motor which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態を好適な実施の形態として例示するXYテーブルを図面に基づいて詳細に説明する。図1は、直動アクチュエータ3として直動型ステッピングモータ31が採用されたXYテーブル1の動作状態を示す全体斜視図である。この図に示すように、XYテーブル1は、基台11、ベース部12、およびテーブル部13とがそれぞれ中央域が中抜きされた同一形状の矩形のテーブル状に形成され、これらを載置状態で構成される。つまり、基台11上にガイド部材2を介して設けられたX軸方向に移動可能なベース部12と、このベース部12上にガイド部材2を介して設けられてY軸方向に移動可能なテーブル部13とを備え、ベース部12とテーブル部13にそれぞれ直動型ステッピングモータ31(31a、31b)のネジ軸41(41a、41b)の先端部が移動方向に向けて連結され、ベース側ネジ軸41aと、テーブル側ネジ軸41bのそれぞれの押し引き駆動により、テーブル部13とベース部12とが互いに相対的な移動変位を伴いつつ直交するX軸方向とY軸方向の2方向に動作移動する構成となっている。 Hereinafter, an XY table illustrating an embodiment of the present invention as a preferred embodiment will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall perspective view showing an operating state of the XY table 1 in which the linear motion stepping motor 31 is adopted as the linear motion actuator 3. As shown in this figure, in the XY table 1, the base 11, the base portion 12, and the table portion 13 are each formed in the shape of a rectangular table having the same shape with the central region hollowed out, and these are placed in a mounted state. Consists of. That is, a base portion 12 provided on the base 11 via the guide member 2 and movable in the X-axis direction, and a base portion 12 provided on the base portion 12 via the guide member 2 and movable in the Y-axis direction. A table portion 13 is provided, and the tip portions of the screw shafts 41 (41a, 41b) of the linear motion type stepping motors 31 (31a, 31b) are connected to the base portion 12 and the table portion 13 in the moving direction, respectively, on the base side. By pushing and pulling the screw shaft 41a and the table side screw shaft 41b, the table portion 13 and the base portion 12 operate in two directions, the X-axis direction and the Y-axis direction, which are orthogonal to each other with relative movement displacement. It is configured to move.

ガイド部材2は、両側にガイド溝211、211を有する長尺平板状の案内レール21と、案内レール21に被嵌される凹状のスライダ部22とを有し、このスライダ部22の内面に対向形成されたガイド片221、221をガイド溝211、211に係合させた挟持状態でスライド走行自在に案内支持される公知のリニアガイド機構により構成されている。このガイド部材2を組としてそれぞれ基台11上とベース部12上の両側端縁に案内レール21、21を配設し、ベース部12下とテーブル部13下にスライダ部22を配設した状態で移動可能に連動連結されている。なお、ガイド部材2はこれに限定されることなく、XYテーブル1のワークの種類や使用される直動アクチュエータ3の種類などにより、その構成の異なるものを取捨選択して置換できることは勿論である。 The guide member 2 has a long flat plate-shaped guide rail 21 having guide grooves 211 and 211 on both sides, and a concave slider portion 22 fitted to the guide rail 21, and faces the inner surface of the slider portion 22. It is configured by a known linear guide mechanism in which the formed guide pieces 221 and 221 are engaged with the guide grooves 211 and 211 and are guided and supported so as to be slidably travelable in a sandwiched state. A state in which the guide rails 21 and 21 are arranged on both side edges on the base 11 and the base portion 12 as a set of the guide members 2, and the slider portions 22 are arranged under the base portion 12 and the table portion 13, respectively. It is interlocked and linked so that it can be moved with. The guide member 2 is not limited to this, and it is needless to say that a guide member 2 having a different configuration can be selected and replaced depending on the type of work of the XY table 1 and the type of linear actuator 3 used. ..

本実施形態における直動アクチュエータ3としては、直動軸4としてネジ軸41を備える直動型ステッピングモータ31が採用される。直動型ステッピングモータ31(以下単に「直動モータ」という)は、モーターケースの内部に備えるロータ(めねじ)にネジ軸41(おねじ)を螺合させ、ロータの回動により、ネジ軸41の先端部を、ベース部12とテーブル部13に対して、それぞれその動作方向に向けて押し引き動作可能に廻り止め連結させた状態で、非回転の直進運動に変換して進退移動させる構成となっている。 As the linear actuator 3 in this embodiment, a linear stepping motor 31 having a screw shaft 41 as the linear shaft 4 is adopted. In the linear motion type stepping motor 31 (hereinafter, simply referred to as "linear motion motor"), a screw shaft 41 (male screw) is screwed into a rotor (female screw) provided inside the motor case, and the screw shaft is rotated by the rotation of the rotor. A configuration in which the tip portion of 41 is connected to the base portion 12 and the table portion 13 so as to be able to push and pull in their respective operating directions, and is converted into a non-rotating linear motion to move forward and backward. It has become.

ベース側直動モータ31aと、テーブル側直動モータ31bは、それぞれ基台11の外周となる側面にブラケット5、5を介して、基台11から離間した状態で装着固定されている。つまり、ブラケット5は、側面視上向きL字状に形成され、ブラケット5の平面域が、ベース部12またはテーブル部13の移動ストローク域Sとして設定されており、この直動モータ31a、31bの固定位置を起点として、ベース側ネジ軸41aとテーブル側ネジ軸41bのそれぞれの押し引き移動量を管理した統一化されたモータ制御を行うことができる。なお、直動モータ31の基台11からの離間幅を移動ストローク域Sとして設定するには、ブラケット5の平面域によらず、基台11自体を延出して平面域を形成しても良く、要は、直動アクチュエータ3を基台11から所定の離間幅をもって装着固定できる構成のものであれば良い。 The base-side linear motor 31a and the table-side linear motor 31b are mounted and fixed on the outer peripheral side surfaces of the base 11 via brackets 5 and 5, respectively, in a state of being separated from the base 11. That is, the bracket 5 is formed in an L shape upward in a side view, and the plane area of the bracket 5 is set as the moving stroke area S of the base portion 12 or the table portion 13, and the linear motion motors 31a and 31b are fixed. With the position as the starting point, unified motor control can be performed in which the push-pull movement amounts of the base-side screw shaft 41a and the table-side screw shaft 41b are managed. In order to set the separation width of the linear motor 31 from the base 11 as the moving stroke area S, the base 11 itself may be extended to form a flat area regardless of the flat area of the bracket 5. In short, the linear actuator 3 may be mounted and fixed with a predetermined separation width from the base 11.

この様に構成すると、基台11とベース部12、およびベース部12とテーブル部13を特許文献2の如く、互いに離間した空間を存した状態で配設させ、ベース部12がベース側直動モータ31aの上面を通過し、テーブル部13がテーブル側直動モータ31bの上面を通過するような配置構成とする必要が無く、基台11、ベース部12、テーブル部13を密接載置した状態でXYテーブル1を薄型に形成することができる。 With this configuration, the base 11 and the base portion 12, and the base portion 12 and the table portion 13 are arranged in a state of having a space separated from each other as in Patent Document 2, and the base portion 12 directly moves on the base side. It is not necessary to configure the arrangement so that the table portion 13 passes through the upper surface of the motor 31a and the table portion 13 passes through the upper surface of the table-side linear motion motor 31b, and the base 11, the base portion 12, and the table portion 13 are closely placed. The XY table 1 can be formed to be thin.

図中6はネジ軸41の先端部を太鼓状の2平面に形成し、当該先端部を廻り止め連結するための連結部材であって、該連結部材6のうち、ベース側連結部材61は、ベース部12の外周面の中央位置に取着され、ベース側ネジ軸41aの先端部を、その平面を上下方向にして挿入し、ピン61aを縦方向に挿通することで廻り止め連結される。
一方、テーブル側連結部材62は、テーブル部13の外周面の長手方向に取着したガイド部材2を介してスライド走行自在に案内支持される。即ち、テーブル部13の外周面に案内レール21が設けられ、テーブル側連結部材62は、テーブル側ネジ軸41bの先端部を、その平面を左右方向にして挿入し、ピン62aを横方向に挿通することで廻り止め連結する連結部621と、この連結部621に一体に設けられてスライダ部22が装着されるL字状の継ぎ手片622とからなり、スライダ部22のガイド片221、221をガイド溝211、211に係合させた挟持状態でスライド走行自在に案内支持せしめて廻り止め連結されている。
In the figure, 6 is a connecting member for forming the tip of the screw shaft 41 into two drum-shaped planes and connecting the tip to prevent rotation. Among the connecting members 6, the base-side connecting member 61 is It is attached to the center position of the outer peripheral surface of the base portion 12, and the tip portion of the base side screw shaft 41a is inserted with its plane facing up and down, and the pin 61a is inserted in the vertical direction to prevent rotation.
On the other hand, the table-side connecting member 62 is guided and supported so as to be slidable via a guide member 2 attached in the longitudinal direction of the outer peripheral surface of the table portion 13. That is, a guide rail 21 is provided on the outer peripheral surface of the table portion 13, and the table-side connecting member 62 inserts the tip portion of the table-side screw shaft 41b with its plane in the left-right direction and inserts the pin 62a in the lateral direction. a connecting portion 621 for anti-rotation coupling by, provided integrally on the connecting portion 621 made of L-shaped joint piece 622 Metropolitan the slider unit 22 is mounted, the guide piece of the slider 22 221, 221 Is engaged with the guide grooves 211 and 211, and is guided and supported so as to be slidable in a sandwiched state, and is connected to prevent rotation.

つまり、テーブル部13とテーブル側ネジ軸41bの先端部とは、テーブル側ネジ軸41bの先端部に設けられたテーブル側連結部材62を、テーブル部13に設けられた案内レール21に対して、スライダ部22を介してX軸方向にスライド自在に案内支持させて廻り止め連結させることで、テーブル部13がベース部12の進退移動に伴ってX軸方向へ移動すると、これに追随して案内レール21も、テーブル側連結部材62に対してX軸方向にスライド移動することになり、このテーブル部13の移動に伴って、テーブル側連結部材62のテーブル部13の外周面(案内レール21)に対する押し引き位置が変位し、このスライド移動する位置変位に応じて、テーブル側連結部材62を介したテーブル側ネジ軸41bの押し引き動作によってY軸方向に移動可能な構成となっている。従って、図示する如く、テーブル部13がベース部12と共にX軸方向へ移動した状態で、テーブル側連結部材62によるテーブル部13への押し引き動作位置が、その移動量だけ変位し、このように移動変位する何れの位置からもテーブル部13をY軸方向に進退移動することができるようになっている。 That is, the table portion 13 and the tip portion of the table side screw shaft 41b are such that the table side connecting member 62 provided at the tip portion of the table side screw shaft 41b is attached to the guide rail 21 provided on the table portion 13. By slidingly guiding and supporting the table portion 12 in the X-axis direction via the slider portion 22 and connecting the table portion 13 in the X-axis direction as the base portion 12 moves forward and backward, the table portion 13 is guided in the X-axis direction. The rail 21 also slides with respect to the table-side connecting member 62 in the X-axis direction, and as the table portion 13 moves, the outer peripheral surface (guide rail 21) of the table portion 13 of the table-side connecting member 62 also moves. The push-pull position is displaced with respect to the table, and the table-side screw shaft 41b can be moved in the Y-axis direction by the push-pull operation of the table-side screw shaft 41b via the table-side connecting member 62 according to the position displacement of the sliding movement. Therefore, as shown in the drawing, in a state where the table portion 13 is moved together with the base portion 12 in the X-axis direction, the push-pull operation position of the table-side connecting member 62 to the table portion 13 is displaced by the amount of the movement, and thus The table unit 13 can be moved back and forth in the Y-axis direction from any position where the table portion 13 is moved or displaced.

なお、テーブル部13の外周面に案内レール21を設けることで、テーブル側連結部材62をスライダ部22を介してスライド走行自在に案内支持させたが、これに限定されることなく、テーブル部13の外周端部を段差状に面落ち形成して、案内レール21を上面に向けて配設し、L字状の継ぎ手片622にスライダ部22を下向きに装着して、ガイド片221、221をガイド溝211、211に挟持状態で被嵌係合させるようにしても良い。また、ガイド片221を別体のものとしたが、継ぎ手片622自体にガイド片を成形しても良く、要は、テーブル側連結部材62に対して案内レール21がスライド自在に案内支持された構成のものであれば良い。 By providing the guide rail 21 on the outer peripheral surface of the table portion 13, the table side connecting member 62 is guided and supported so as to be slidable via the slider portion 22, but the table portion 13 is not limited to this. The outer peripheral end portion of the above is formed in a stepped shape, the guide rail 21 is arranged toward the upper surface, the slider portion 22 is attached downward to the L-shaped joint piece 622, and the guide pieces 221 and 221 are attached. The guide grooves 211 and 211 may be fitted and engaged with each other in a sandwiched state. Further, although the guide piece 221 is a separate body, the guide piece may be formed on the joint piece 622 itself, and the point is that the guide rail 21 is slidably supported with respect to the table side connecting member 62. Any configuration may be used.

次に、XYテーブル1の他の実施例を図2に基づいて説明する。なお、XYテーブル1及びガイド部材2を介した移動の構成及び動作は、前記実施形態とほぼ同じであり、その余の前記実施形態と共通する構成および機能については、図示及び詳細な説明を省略する。
図2は、直動アクチュエータ3としてシャフト型リニアモータ32が採用されたXYテーブル1の動作前の状態を示す全体斜視図であって、この図に示すように、本実施形態におけるシャフト型リニアモータ32(以下単に「リニアモータ」という)は、ドーナツ状に巻線形成されて並設された複数のコイルを内周部に備える長尺な筒状のモーターケース321と、モーターケース321にスライド自在に外嵌される直動軸4としてのシャフト軸42を備え、シャフト軸42内には、非磁性体ステンレス管内に複数の棒状磁石が互いの磁極が対向するように直列状に配列され、コイルの励磁によりシャフト軸42を直線的に進退(ピストン)駆動させる構成となっている。コイルは、3相コイルを組とするコイルブロック毎を組として、順次に切換え励磁制御されて、シャフト軸42は、棒状磁石がコイルの励磁を受けない区間があってもリニア駆動することができるようになっている。
Next, another embodiment of the XY table 1 will be described with reference to FIG. The configuration and operation of the movement via the XY table 1 and the guide member 2 are substantially the same as those of the embodiment, and the other configurations and functions common to the embodiment are omitted from the illustration and detailed description. do.
FIG. 2 is an overall perspective view showing a state before operation of the XY table 1 in which the shaft type linear motor 32 is adopted as the linear motion actuator 3, and as shown in this figure, the shaft type linear motor in the present embodiment. The 32 (hereinafter simply referred to as “linear motor”) is a long tubular motor case 321 provided with a plurality of coils arranged side by side in a donut shape and slidable on the motor case 321. A shaft shaft 42 as a linear motion shaft 4 fitted to the outside is provided, and in the shaft shaft 42, a plurality of rod-shaped magnets are arranged in series in a non-magnetic stainless steel tube so that their magnetic poles face each other, and a coil is provided. The shaft shaft 42 is linearly driven back and forth (piston) by the excitation of. The coil is sequentially switched and excited to be controlled by setting each coil block as a set of three-phase coils, and the shaft shaft 42 can be linearly driven even if there is a section in which the rod-shaped magnet is not excited by the coil. It has become like.

ベース側リニアモータ32aと、テーブル側リニアモータ32bは、それぞれ基台11の外周となる側面にブラケット5、5を介して、基台11から離間した移動ストローク域Sを存して装着固定され、それぞれのシャフト軸42の先端部に設けられたキャップ部材を、ベース部12とテーブル部13に対して、その動作方向に向けて押し引き動作可能に連結部材6に廻り止め連結させた構成となっている。連結部材6のうち、ベース側連結部材61は、ベース部12と一体化されて外周面の中央位置に成形され、ベース側シャフト軸42aの先端部を、そのキャップ部材に形成された太鼓状の2平面を左右方向にして挿入し、図示しないピン62aを横方向に挿通することで廻り止め連結される、所謂、テーブル側連結部材62と同様の構成をもって連結される。 The base-side linear motor 32a and the table-side linear motor 32b are mounted and fixed on the outer peripheral side surfaces of the base 11 via brackets 5 and 5 so as to have a moving stroke area S separated from the base 11. The cap members provided at the tips of the respective shaft shafts 42 are connected to the base portion 12 and the table portion 13 by being detented and connected to the connecting member 6 so as to be able to push and pull in the operating direction. ing. Of the connecting members 6, the base-side connecting member 61 is integrated with the base portion 12 and formed at the center position of the outer peripheral surface, and the tip portion of the base-side shaft shaft 42a is formed on the cap member in a drum shape. The two planes are inserted in the left-right direction, and a pin 62a (not shown) is inserted in the lateral direction to prevent rotation, and the two are connected with the same configuration as the so-called table-side connecting member 62.

ブラケット5によって形成される移動ストローク域Sは、前述の直動モータ31の移動ストローク域Sよりも短めに設定されており、図示された基台11、ベース部12、テーブル部13の外周面が一致した状態となる。
The moving stroke area S formed by the bracket 5 is set to be shorter than the moving stroke area S of the linear motor 31 described above, and the outer peripheral surfaces of the illustrated base 11, base portion 12, and table portion 13 are set to be shorter. It will be in a matched state.

叙述の如く構成された本発明の実施の形態において、いま、XYテーブル1を、その駆動源として直動アクチュエータ3を用いて、直動軸4を直接的にベース部12やテーブル部13に連結して、その押し引き動作でテーブル部13を、ベース部12と共にX軸方向に一体移動し、Y軸方向には独立移動することで、テーブル部13とベース部12とが互いに相対的な移動変位を伴いつつX軸方向とY軸方向の2方向に動作移動するのであるが、本発明におけるXYテーブル1は、ベース部12とテーブル部13とを夫々直線的に進退駆動する直動軸4(41、42)を備えた直動アクチュエータ3(31、32)によって動作させるに、該直動アクチュエータ3は、ベース側直動モータ31a、32aとテーブル側直動モータ31b、32bとからなり、直動軸4の先端部を、ベース部12とテーブル部13の外周面に対して、それぞれその動作方向に向けて押し引き動作可能に廻り止め連結させた状態で基台11に設けたブラケット5を介して装着固定せしめると共に、テーブル部13とテーブル側直動モータ31b、32bの直動軸4(41b、42b)の先端部とは、スライダ部22と案内レール21とからなるガイド部材2を介して、該直動軸4(41b、42b)の先端部に設けられたテーブル側連結部材62にスライダ部22を装着せしめ、該スライダ部22を、テーブル部13の外周面長手方向に設けられた案内レール21に対して係合させた状態で、X軸方向にスライド自在に案内支持させて連結し、テーブル部13は、案内レール21が、テーブル側連結部材62に対してベース部12と共にX軸方向にスライド移動する位置変位に応じて、テーブル側連結部材62を介した当該直動軸4(41b、42b)の押し引き動作によって、ベース部12上をガイド部材2と共にY軸方向に走行移動可能に構成されている。 In the embodiment of the present invention configured as described above, the XY table 1 is now directly connected to the base portion 12 and the table portion 13 by using the linear motion actuator 3 as the drive source thereof. Then, the table portion 13 is integrally moved in the X-axis direction together with the base portion 12 by the push-pull operation, and is independently moved in the Y-axis direction, so that the table portion 13 and the base portion 12 move relative to each other. The XY table 1 in the present invention moves in two directions, the X-axis direction and the Y-axis direction, with displacement. To be operated by the linear motion actuators 3 (31, 32) provided with (41, 42), the linear motion actuator 3 includes base side linear motion motors 31a and 32a and table side linear motion motors 31b and 32b. the distal end portion of the direct drive shaft 4, the outer peripheral surface of the base portion 12 and the table section 13, in a state where each is pushing and pulling operatively detent connected towards its operational direction, provided on the base 11 brackets The guide member 2 including the slider portion 22 and the guide rail 21 is attached and fixed to the table portion 13 and the tip portions of the linear motion shafts 4 (41b, 42b) of the table side linear motion motors 31b and 32b. The slider portion 22 is mounted on the table-side connecting member 62 provided at the tip of the linear motion shaft 4 (41b, 42b), and the slider portion 22 is provided in the longitudinal direction of the outer peripheral surface of the table portion 13. In a state of being engaged with the guide rail 21 provided, the guide rail 21 is slidably supported and connected in the X-axis direction, and the guide rail 21 is connected to the table side connecting member 62 with respect to the base portion 12 of the table portion 13. depending on the positional displacement to slide in the X-axis direction together with, by pushing and pulling operations of the linear motion axis 4 through the table side coupling member 62 (41b, 42b), Y-axis direction of the base portion 12 on the guide member 2 It is traveling movable in.

この様に構成すると、テーブル部13の外周域にX軸方向とY軸方向にそれぞれ押し引き動作するための直動アクチュエータ3を備えたXYテーブル1でありながら、直動アクチュエータ3を、テーブル部13とは一体移動することがなく、基台11に設けたブラケット5を介して装着固定させた状態で、ベース部12と共にテーブル部13がX軸方向に一体移動した際に、テーブル側連結部材62と廻り止め連結された案内レール21が、テーブル側連結部材62に対してX軸方向にスライド移動し、当該案内レール21の位置変位に応じて、テーブル側直動軸41b、42bによる押し引き動作によってテーブル部13を、ベース部12の上面をガイド部材2と共に走行させてY軸方向へ移動することが可能となり、基台11、ベース部12、テーブル部13を矩形の同一形状に形成し得て、密接載置した状態で簡易な構成をもって組付けセットでき、XYテーブル1を薄型に形成することができる。そのため、テーブル部13に固定されたモータが、テーブル部13と共に一体移動する従来の取着構造を排除して、テーブル部13の外周域にモータへの電源供給用の配線ケーブルの配設を回避することができると共に、これら配線ケーブルを収容し保護するためのケーブルベア(登録商標)等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどの高価な対屈曲ケーブルを不要なものとして、部品点数の削減を図ることができるばかりか、モータと共に移動する露出する配線ケーブルが曲げ疲労による破損や断線を生じる危惧を一掃することができ、しかも、テーブル部13の外周域に対する専用の収容スペースを確保する必要を無くし得て、他のワーク機器との併合やセンサなどの位置決め機器の配設などのアッセンブリを容易なものとし、或いは、X軸方向とY軸方向に対するテーブル部13の移動制御を、直動アクチュエータ3の固定位置を起点として、テーブル側直動軸4(41b、42b)の押し引き移動量と、ベース側直動軸4(41a、42a)の押し引き移動量とを統一化させたモータ制御により管理することができ、モータ制御を簡略化することが可能となるなど装置全体を安価に製作することができ、直動アクチュエータ3の種類もワークの用途に応じて適宜選択して採用することができる。 With this configuration, the XY table 1 is provided with the linear motion actuators 3 for pushing and pulling in the X-axis direction and the Y-axis direction in the outer peripheral region of the table portion 13, but the linear motion actuator 3 is mounted on the table portion. When the table portion 13 is integrally moved together with the base portion 12 in the X-axis direction in a state where the table portion 13 is mounted and fixed via the bracket 5 provided on the base 11 without moving integrally with the table 13, the table side connecting member The guide rail 21 which is non-rotated and connected to the 62 slides in the X-axis direction with respect to the table-side connecting member 62, and is pushed and pulled by the table-side linear motion shafts 41b and 42b according to the position displacement of the guide rail 21. By the operation, the table portion 13 can be moved in the Y-axis direction by traveling on the upper surface of the base portion 12 together with the guide member 2 , and the base 11, the base portion 12, and the table portion 13 are formed into the same rectangular shape. As a result, the XY table 1 can be formed to be thin by being assembled and set with a simple configuration in a state of being closely placed. Therefore, the conventional attachment structure in which the motor fixed to the table portion 13 moves integrally with the table portion 13 is eliminated, and the arrangement of the wiring cable for supplying power to the motor is avoided in the outer peripheral region of the table portion 13. It is possible to reduce the number of parts by eliminating the need for cable protection members such as cable bears (registered trademarks) and expensive anti-bending cables such as robot cables for accommodating and protecting these wiring cables. Not only that, the exposed wiring cable that moves with the motor can eliminate the risk of damage or disconnection due to bending fatigue, and it is possible to eliminate the need to secure a dedicated storage space for the outer peripheral area of the table portion 13. Assembling such as merging with other work equipment and arranging positioning equipment such as a sensor is facilitated, or the movement control of the table portion 13 with respect to the X-axis direction and the Y-axis direction is controlled by the linear actuator 3. Starting from a fixed position, the push-pull movement amount of the table-side linear motion shaft 4 (41b, 42b) and the push-pull movement amount of the base-side linear motion shaft 4 (41a, 42a) are managed by unified motor control. The entire device can be manufactured at low cost, for example, the motor control can be simplified, and the type of the linear actuator 3 can be appropriately selected and adopted according to the application of the work. ..

また、案内レール21は、両側にガイド溝211、211を有する平帯状に形成されてテーブル部13の先端側に設けられると共に、テーブル側連結部材62は、テーブル側直動軸41b、42bが取着される連結部621と、該連結部621に一体に設けられて案内レール21に被嵌される凹状のスライダ部22とを有し、該スライダ部22に形成されたガイド片221、221をガイド溝211、211に係合させた挟持状態でスライド走行自在に案内支持されている。
したがって、テーブル部13がベース部12と共にX軸方向に一体移動した際に、テーブル側連結部材62のスライダ部22と案内レール21とが、そのガイド片221、221とガイド溝211、211とによる係合させた挟持状態で、確りと廻り止め連結することができ、案内レール21が、テーブル側連結部材62に対してX軸方向にスライド移動し、当該案内レール21の位置変位に応じて、テーブル側直動軸41b、42bによってテーブル部13をY軸方向へ押し引き動作させることができる。
Further, the guide rail 21 is formed in a flat band shape having guide grooves 211 and 211 on both sides and is provided on the tip end side of the table portion 13, and the table side connecting member 62 is taken by the table side linear motion shafts 41b and 42b. The guide pieces 221 and 221 having a connecting portion 621 to be worn and a concave slider portion 22 integrally provided on the connecting portion 621 and fitted to the guide rail 21 are formed on the slider portion 22. It is guided and supported so as to be slidable in a sandwiched state in which it is engaged with the guide grooves 211 and 211.
Therefore, when the table portion 13 is integrally moved together with the base portion 12 in the X-axis direction, the slider portion 22 and the guide rail 21 of the table side connecting member 62 are formed by the guide pieces 221 and 221 and the guide grooves 211 and 211. In the engaged holding state, it can be securely connected to prevent rotation, and the guide rail 21 slides in the X-axis direction with respect to the table-side connecting member 62, and according to the positional displacement of the guide rail 21. The table portion 13 can be pushed and pulled in the Y-axis direction by the table-side linear motion shafts 41b and 42b.

また、ベース部12はテーブル状に形成され、基台11とベース部12、および、ベース部12とテーブル部13とは、両側にガイド溝211、211を有する平帯状の案内レール21を組としてそれぞれ基台11上とベース部12上の両側端縁に配設し、ガイド溝211、211に係合されるガイド片221、221を有して案内レール21に被嵌される凹状のスライダ部22を、ベース部12下とテーブル部13下に配設したガイド部材2を介して移動可能に連動連結されている。つまり、本XYテーブル1に採用されるガイド部材2は、市販のリニアガイド機構により構成されるものであり、案内レール21を基台11上とベース部12上に形成した凹溝内に抜け止め固定し、スライダ部22をベース部12下とテーブル部13下に形成した凹溝内に抜け止め固定した状態で、案内レール21とスライダ部22とを組付けすれば、基台11、ベース部12、テーブル部13を載置状態で簡易な構成をもって組付けセットでき、安価に製作することができる。
Further, the base portion 12 is formed in a table shape, and the base portion 11 and the base portion 12, and the base portion 12 and the table portion 13 form a flat band-shaped guide rail 21 having guide grooves 211 and 211 on both sides as a set. A concave slider portion that is arranged on both side edges on the base 11 and on the base portion 12, has guide pieces 221 and 221 engaged with the guide grooves 211 and 211, and is fitted to the guide rail 21. The 22 is movably interlocked and connected via a guide member 2 arranged under the base portion 12 and under the table portion 13. That is, the guide member 2 used in the XY table 1 is configured by a commercially available linear guide mechanism, and the guide rail 21 is prevented from coming off in the concave groove formed on the base 11 and the base portion 12. If the guide rail 21 and the slider portion 22 are assembled in a state where the slider portion 22 is fixed and the slider portion 22 is fixed in the concave groove formed under the base portion 12 and the table portion 13 to prevent it from coming off, the base portion 11 and the base portion can be assembled. 12. The table portion 13 can be assembled and set with a simple configuration in a mounted state, and can be manufactured at low cost.

1 XYテーブル
11 基台
12 ベース部
13 テーブル部
2 ガイド部材
21 案内レール
211 ガイド溝
22 スライダ部
221 ガイド片
3 直動アクチュエータ
31 直動型ステッピングモータ(直動モータ)
31a ベース側直動モータ
31b テーブル側直動モータ
32 シャフト型リニアモータ(リニアモータ)
32a ベース側リニアモータ
32b テーブル側リニアモータ
321 モーターケース
4 直動軸
41 ネジ軸(直動軸)
41a ベース側直動軸(ネジ軸)
41b テーブル側直動軸(ネジ軸)
42 シャフト軸(直動軸)
42a ベース側直動軸(シャフト軸)
5 ブラケット
6 連結部材
61 ベース側連結部材
61a ピン
62 テーブル側連結部材
62a ピン
621 連結部
622 継ぎ手片
S 移動ストローク域
1 XY table 11 base 12 base 13 table 2 guide member 21 guide rail 211 guide groove 22 slider 221 guide piece 3 linear actuator 31 linear stepping motor (linear motor)
31a Base side linear motor 31b Table side linear motor 32 Shaft type linear motor (linear motor)
32a Base side linear motor 32b Table side linear motor 321 Motor case 4 Linear shaft 41 Screw shaft (linear shaft)
41a Base side linear motion shaft (screw shaft)
41b Table side linear motion shaft (screw shaft)
42 Shaft shaft (linear motion shaft)
42a Base side linear motion shaft (shaft shaft)
5 Bracket 6 Connecting member 61 Base side connecting member 61a Pin 62 Table side connecting member 62a Pin 621 Connecting part 622 Joint piece S Moving stroke area

Claims (5)

基台上に設けられたX軸方向に移動可能なベース部と、該ベース部上に設けられてY軸方向に移動可能なテーブル部とを備え、該テーブル部がベース部の移動を伴って直交する2方向に動作移動するXYテーブルであって、
前記ベース部とテーブル部とを夫々直線的に進退駆動する直動軸を備えた直動アクチュエータによって動作させるに、
該直動アクチュエータは、ベース側直動モータとテーブル側直動モータとからなり、前記直動軸の先端部を、前記ベース部とテーブル部の外周面に対して、それぞれその動作方向に向けて押し引き動作可能に連結させた状態で基台に設けたブラケットを介して装着固定せしめると共に、
前記テーブル部とテーブル側直動モータの直動軸の先端部とは、スライダ部と案内レールとからなるガイド部材を介して、該直動軸の先端部に設けられたテーブル側連結部材にスライダ部を装着せしめ、該スライダ部を、テーブル部の外周面長手方向に設けられた案内レールに対して係合させた状態で、X軸方向にスライド自在に案内支持させて連結し、
前記テーブル部は、前記案内レールが、前記テーブル側連結部材に対して前記ベース部と共にX軸方向にスライド移動する位置変位に応じて、テーブル側連結部材を介した当該直動軸の押し引き動作によって、ベース部上を前記ガイド部材と共にY軸方向に走行移動可能に構成せしめたことを特徴とするXYテーブル。
A base portion provided on the base and movable in the X-axis direction and a table portion provided on the base portion and movable in the Y-axis direction are provided, and the table portion is accompanied by movement of the base portion. An XY table that moves in two orthogonal directions.
To operate the base unit and the table unit by a linear actuator equipped with a linear motion shaft that linearly drives each of the base portion and the table portion.
The linear actuator comprises a base-side linear motor and a table-side linear motor, and the tip of the linear shaft is directed toward the outer peripheral surfaces of the base and the table in their respective operating directions. in a state of being pushed and pulled operably linked, together with allowed to mounting fixed via a bracket provided on the base,
Wherein A direct drive shaft of the distal end portion of the table portion and the table side linear motor, via a guide member comprising a slider unit and the guide rail, a slider on a table side connecting member provided at the tip portion of the shaft straight The part is mounted, and the slider part is slidably guided and supported in the X-axis direction in a state of being engaged with a guide rail provided in the longitudinal direction of the outer peripheral surface of the table part, and connected.
Said table section, the guide rail, in accordance with the position displacement slides in the X-axis direction together with the base portion with respect to said table-side coupling member, push-pull operation of the direct drive shafts via the table-side connection member by, XY table, characterized in that on the base part and the guide member Y-axis direction to travel movable brought configured with.
請求項1において、前記案内レールは、両側にガイド溝を有する平帯状に形成されて前記テーブル部の外周面先端側に設けられると共に、前記スライダ部は、その内面に対向するガイド片を有して凹状に形成されて、前記テーブル側連結部材に一体に設けられ前記案内レールに前記ガイド片をガイド溝に係合被嵌させた挟持状態でスライド走行自在に案内支持せしめたことを特徴とするXYテーブル。 In claim 1, the guide rail is formed in a flat band shape having guide grooves on both sides and is provided on the tip end side of the outer peripheral surface of the table portion, and the slider portion has a guide piece facing the inner surface thereof. It is recessed Te, and wherein the table-side connecting member provided integrally on and slid travel freely guided and supported in a sandwiched state of the guide pieces were fitted engagement under the guide groove in the guide rail XY table to do. 請求項1または2において、前記直動アクチュエータは、前記基台の外周側面に側面視上向きL字状に形成されたブラケットを介して、ベース部またはテーブル部との間で所定の離間幅を存して装着固定し、該ブラケットの平面域となる離間幅を、前記ベース部またはテーブル部の移動ストローク域に設定してあることを特徴とするXYテーブル。 In claim 1 or 2, the linear actuator has a predetermined separation width from a base portion or a table portion via a bracket formed in an L shape upward in a side view on the outer peripheral side surface of the base. An XY table that is mounted and fixed, and has a separation width that is a plane region of the bracket set in a moving stroke region of the base portion or the table portion. 請求項1乃至3の何れかにおいて、前記基台に装着固定される直動アクチュエータの直動軸は、直動モータのネジ軸であることを特徴とするXYテーブル。 The XY table according to any one of claims 1 to 3, wherein the linear motion shaft of the linear motion actuator mounted and fixed to the base is a screw shaft of the linear motion motor. 請求項1乃至3の何れかにおいて、前記基台に装着固定される直動アクチュエータの直動軸は、シャフト型リニアモータのシャフト軸であることを特徴とするXYテーブル。 The XY table according to any one of claims 1 to 3, wherein the linear motion shaft of the linear motion actuator mounted and fixed to the base is the shaft shaft of a shaft type linear motor.
JP2016155918A 2016-08-08 2016-08-08 XY table Active JP6934140B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016155918A JP6934140B2 (en) 2016-08-08 2016-08-08 XY table

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016155918A JP6934140B2 (en) 2016-08-08 2016-08-08 XY table

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018024034A JP2018024034A (en) 2018-02-15
JP6934140B2 true JP6934140B2 (en) 2021-09-15

Family

ID=61193890

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016155918A Active JP6934140B2 (en) 2016-08-08 2016-08-08 XY table

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6934140B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108206155B (en) * 2018-03-07 2024-04-19 广东工业大学 Layered-type decoupling XY high-speed motion platform

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018024034A (en) 2018-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5933490B2 (en) lathe
JP2009233837A (en) Machining apparatus with mechanism for retaining shuttle guide position
JP5106833B2 (en) Linear motor and single-axis actuator
JP4902612B2 (en) Planar stage moving device of machinery
US20090146507A1 (en) Linear Motor Actuator
JP5947253B2 (en) lathe
JP6934140B2 (en) XY table
EP3162497A1 (en) Table clamp device and pallet changer equipped with same
EP3741514B1 (en) Single axis robot
CN105583642A (en) Positioning device
JP5431295B2 (en) XY stage
JP2006102901A (en) Machine tool
KR101479954B1 (en) Open-frame stage
JP2006280124A (en) Linear motor actuator
KR100648492B1 (en) Bonding device
KR100462577B1 (en) Embroidery apparatus for moving embroidery frame
US6634839B2 (en) Machine tool
JPH11201161A (en) Power transmission gear
JPH1052022A (en) Brushless linear driving control system
TWI429836B (en) Working device with at least one drive unit
JP4676384B2 (en) Linear drive unit with dustproof structure
JP2006142398A (en) Linear motion stage device
US20100095798A1 (en) Planar moving apparatus
JP6355938B2 (en) Stage device with bracket
CN221465834U (en) Steering mechanism and endoscope

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190802

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200728

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20201026

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201221

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210705

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210726

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6934140

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150