JP4676384B2 - Linear drive unit with dustproof structure - Google Patents
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Description
本発明は、工作機械やロボット及び各種産業機械等に用いられる直線駆動装置に関し、直線駆動手段を少なくとも2つ備え、該直線駆動手段による駆動方向が交差するような構成された直線駆動装置に関する。 The present invention relates to a linear drive device used in a machine tool, a robot, various industrial machines, and the like, and more particularly to a linear drive device that includes at least two linear drive units and that is configured so that the drive directions of the linear drive units intersect.
工作機械やロボット、さらには各種産業機械においては、可動部材を移動させる手段として、ガイドとガイドに沿って1方向に移動できるスライドを備えた直線駆動手段を備える直線駆動装置が知られている。この直線駆動手段はスライドがガイドに沿って移動するものであることから、このスライドの摺動面であるガイドに、塵芥が付着してスライドの摺動抵抗が増大することを防止する方法として、ガイドの露出部分に防塵を目的として防塵カバーを設けることが知られている。 In machine tools, robots, and various industrial machines, a linear drive device including a linear drive unit including a guide and a slide that can move in one direction along the guide is known as a movable member. Since this linear drive means the slide moves along the guide, as a method for preventing dust from adhering to the guide which is the sliding surface of this slide and increasing the sliding resistance of the slide, It is known to provide a dustproof cover on the exposed part of the guide for the purpose of dustproofing.
特に、工作機械においては、加工しようとするワークを直交する2つ軸方向に直線移動させ、さらには、ワークに対して工具をワーク移動方向と直交する方向に移動させてワークに加工を施すものが多く、直線駆動手段による移動方向は直交するものが多い。又、直交する直線移動軸ではなく、移動軸方向が90度以外の角度で交差た傾斜軸を備えた工作機械も公知である。このような工作機械においては、加工に伴って発生する切粉が直線駆動手段のガイド等の部材に付着すると、ガイドに沿って移動させられるスライドの移動に支障をきたし、加工精度を悪くするという問題がある。 In particular, in machine tools, the workpiece to be machined is linearly moved in two orthogonal axes, and the workpiece is machined by moving the tool in the direction perpendicular to the workpiece movement direction. In many cases, the moving directions of the linear driving means are orthogonal. Also known is a machine tool provided with an inclined axis in which the moving axis direction intersects at an angle other than 90 degrees instead of the orthogonal linear moving axis. In such a machine tool, when chips generated during processing adhere to a member such as a guide of the linear drive means, the movement of the slide moved along the guide is hindered, and the processing accuracy is deteriorated. There's a problem.
同様に、ロボットにおいても、ロボットが設置された作業環境においては、ロボットの直線駆動手段のガイド等の部材に塵芥が付着することによって、ロボットの動作精度を低下させる。そのため、このガイド部分をジャバラ構造のカバーで覆い塵芥の侵入を防止するようにしたものも知られている(特許文献1参照)。 Similarly, in the work environment in which the robot is installed, the operation accuracy of the robot is lowered due to dust adhering to members such as guides of the linear drive means of the robot. For this reason, it is also known that the guide portion is covered with a bellows structure cover to prevent intrusion of dust (see Patent Document 1).
又、工作機械やロボット以外にも、直線駆動手段を備えて、スライド等の可動部を直線移動させる産業機械において、塵芥が直線駆動手段の内部まで侵入することを防止するためにスライドを案内するガイドの露出面を覆うジャバラ等で構成された防塵カバーを備える直線駆動装置は知られている。 In addition to machine tools and robots, in industrial machines that include linear drive means and linearly move movable parts such as slides, guide the slide to prevent dust from entering the linear drive means. A linear drive device having a dustproof cover made of bellows or the like covering an exposed surface of a guide is known.
このジャバラ構造を持つ防塵カバーは、その一端をスライドに取り付け、他端をガイド端等の固定部に取り付けられ、スライドの移動に伴って、伸縮してガイドの露出部分を覆うように構成されている。 This dustproof cover with bellows structure has one end attached to the slide and the other end attached to a fixed part such as a guide end, and is configured to expand and contract as the slide moves to cover the exposed part of the guide Yes.
図4は、直線駆動方向が水平方向と垂直方向で直線駆動方向が直交するように配置された2つの直線駆動手段を備える従来の直線駆動装置の斜視図である。水平方向の直線駆動手段1は、水平スライド10を水平方向にガイドするガイド11を有し、水平スライド10はガイド11によって水平方向に案内されて直線移動する。又、垂直方向の直線駆動手段2も同様に垂直スライド20と垂直方向に延びるガイド21を備え、垂直スライド20は垂直方向のガイド21で案内されて垂直方向に移動する。各直線駆動手段1,2のスライド10,20の一端にはジャバラ構造の防塵カバー12,22がそれぞれ取り付けられ、該防塵カバー12,22の他端は、ガイド11又はガイド21の他端もしくは他端部における固定部材に取り付けられている。
FIG. 4 is a perspective view of a conventional linear drive device including two linear drive means arranged so that the linear drive direction is perpendicular to the horizontal direction and the linear drive direction is orthogonal. The horizontal linear driving means 1 has a
水平スライド10,垂直スライド20がガイド11,21に案内されて直線移動するにつれて防塵カバー12,22のジャバラ構造は伸縮し、ガイド11,21の露出面の覆いを保持し、塵芥がガイド11,21の表面や直線駆動手段の内部まで侵入し付着することを防止する。
As the
図5は、水平スライド10の移動によって水平方向の直線駆動手段における防塵カバー12のジャバラ構造の伸縮状態を説明する正面図であり、図5(a)の状態から、矢印B方向に水平スライド10が駆動された状態を図5(b)に表す。この図5(b)の状態では、防塵カバー12の収縮したジャバラ構造より水平スライド10は移動方向とは逆方向の力を受けることになる。
同様に、垂直駆動手段2においても、垂直スライド20が下側に移動し、防塵カバー22のジャバラ構造を収縮させると垂直スライド20はその移動方向とは逆方向の上方への力を受ける。
FIG. 5 is a front view for explaining the expansion / contraction state of the bellows structure of the dust-proof cover 12 in the horizontal linear driving means by the movement of the
Similarly, also in the vertical drive means 2, when the
このように、防塵カバー12、22のジャバラ構造を収縮させたとき、このジャバラ構造の収縮によってスライド10,20は力を受け、該スライド10,20を駆動する駆動手段のモータの駆動電流は増大することになる。
図6は、スライド10(又は20)の位置とスライド10(又は20)を駆動するモータの駆動電流の関係を実験して求めたグラフである。
Thus, when the bellows structure of the dust covers 12 and 22 is contracted, the
FIG. 6 is a graph obtained by experimenting the relationship between the position of the slide 10 (or 20) and the drive current of the motor that drives the slide 10 (or 20).
スライド10(又は20)の直線移動ストロークが150mmであり、図6において、右方向が防塵カバー12(又は22)のジャバラ構造を収縮する方向であり、左方向は伸長させる方向である。
スライド10(又は20)を移動させてジャバラ構造を収縮させたとき(横軸のスライドの位置が150mm)、ジャバラ構造の収縮に伴って発生する反発力によりスライド10(又は20)を駆動するモータの駆動電流は増大している。一方、ジャバラ構造を伸長させたときも(横軸のスライドの位置が0mm)、モータの駆動電流は増大している。これは、ジャバラ構造を伸長させたときスライド10(又は20)を引っ張る力がジャバラ構造に発生することから生じるものである。
The linear movement stroke of the slide 10 (or 20) is 150 mm, and in FIG. 6, the right direction is the direction in which the bellows structure of the dustproof cover 12 (or 22) is contracted, and the left direction is the direction in which it is extended.
When the bellows structure is contracted by moving the slide 10 (or 20) (the position of the slide on the horizontal axis is 150 mm), a motor that drives the slide 10 (or 20) by a repulsive force generated along with the contraction of the bellows structure The drive current of is increasing. On the other hand, even when the bellows structure is extended (the slide position on the horizontal axis is 0 mm), the drive current of the motor increases. This is because a force for pulling the slide 10 (or 20) is generated in the bellows structure when the bellows structure is extended.
このように、スライド10(又は20)の位置によってスライド10(又は20)を駆動させるための電流が異なることは、スライド10(又は20)の動きを制御するための最適なゲインがスライド10(又は20)の位置によって異なってしまうので、スライドを精密に位置決めさせるためには不利な要因となる。
さらに、ジャバラ構造が完全に収縮したとき、又は、完全に伸長したとき、スライドはそれ以上移動できなくなる。
As described above, the current for driving the slide 10 (or 20) varies depending on the position of the slide 10 (or 20). This means that the optimum gain for controlling the movement of the slide 10 (or 20) is the slide 10 (or 20). Or 20), which is a disadvantageous factor for accurately positioning the slide.
Furthermore, when the bellows structure is fully contracted or fully extended, the slide cannot move any further.
又、ジャバラ構造の収縮させたとき、スライド10(又は20)に作用する力と、伸長させたときにスライド10(又は20)に作用する力との関係は、ジャバラ構造の長さによって決まる。 Further, the relationship between the force acting on the slide 10 (or 20) when the bellows structure is contracted and the force acting on the slide 10 (or 20) when the bellows structure is extended depends on the length of the bellows structure.
防塵カバー12,22のジャバラ構造を伸長させたときにスライド10、20に作用する引っ張り力を小さくするには、防塵カバー12,22のジャバラ構造を長くすればよいが、ジャバラ構造を長くすると、該ジャバラ構造を収縮させたときスライド10、20にかかる反発力が大きくなりモータの駆動電流が増大するという問題がある。
In order to reduce the pulling force acting on the
この問題は、駆動方向が交差するような2つの直線駆動手段を備えることに起因するものである。スライドの移動ストロークに比べ防塵カバーのジャバラ構造が長く取ることができ、ジャバラ構造の伸縮、伸長によって格別な力がスライドにかからないようにすれば、この問題はないものである。例えば、図5において、水平スライド10の左側、垂直スライド20の上端側には、防塵カバーが記載されていない。しかし、この部分にも、通常、防塵カバーが設けられる。水平スライド10の左側の駆動方向延長線上、垂直スライド20の上端側の駆動方向延長線上には、格別障害となるものがなく、スライド10,20に防塵カバーを取り付けてスライド10、20の移動と共に防塵カバーも移動して、ガイド11,21の表面部を覆うようにしてガイド11,21が外部に露出しないように構成することができる。又、ジャバラ構造で防塵カバーを構成したときも、ジャバラ構造部分を長くすることによって、ジャバラ構造の収縮、伸長によって、ジャバラ構造よりスライドが格別大きな力を受けないように構成することができる。
This problem is due to the provision of two linear drive means whose driving directions cross each other. If the bellows structure of the dust-proof cover can be made longer than the moving stroke of the slide, and no special force is applied to the slide by the expansion and contraction and extension of the bellows structure, this problem does not occur. For example, in FIG. 5, no dust cover is shown on the left side of the
しかし、2つの直線駆動手段の駆動方向が交差する交差点側においては、スライドに取り付ける側とは反対側の防塵カバーの端部位置に制限を受ける。例えば、図5において、水平方向の直線駆動手段1のジャバラ構造の防塵カバー12のガイド端部側に取り付ける位置は、垂直方向の直線駆動手段2のジャバラ構造の防塵カバー22を越えて右側に取り付けることはできない。又、当然ジャバラ構造以外の板状の防塵カバーを水平スライド10に取り付けた場合、該防塵カバーと垂直方向の直線駆動手段2の防塵カバー22とが干渉することになり、このような防塵カバーも取り付けることができない。
However, at the intersection side where the driving directions of the two linear driving means intersect, the end position of the dustproof cover on the side opposite to the side attached to the slide is limited. For example, in FIG. 5, the position of the horizontal linear drive means 1 attached to the guide end of the bellows structure dust cover 12 of the bellows structure is attached to the right side beyond the bellows
同様に、垂直方向の直線駆動手段2のジャバラ構造の防塵カバー22においても、ガイド21の端部よりも離れた下方部分でジャバラ構造の防塵カバー22を取り付けることも難しい。通常、水平方向の直線駆動手段1を取り付けるベース等がこの垂直方向の直線駆動手段2の駆動方向下方には配置されていることから、ジャバラ構造の端部を取り付ける位置に制限を受けて、防塵カバーのジャバラ構造の長さに制限を受け、ジャバラ構造の収縮、伸長に伴って発生する力を小さくすることは難しい。
Similarly, in the
そこで、本発明の目的は、少なくとも2つの直線駆動手段を備え、その駆動方向が交差する直線駆動装置において、該直線駆動手段のスライドが受けるジャバラ構造の防塵カバーの収縮、伸長による力を小さくした直線駆動装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to reduce the force caused by the contraction and extension of the dustproof cover of the bellows structure received by the slide of the linear drive means in a linear drive apparatus that includes at least two linear drive means and whose driving directions intersect. It is to provide a linear drive device.
本発明は、ガイドと、そのガイドに沿って1方向に移動できるスライドで構成される直線駆動手段の2つが交差するように配置された構造を有する直線駆動装置において、前記2つの直線駆動手段のスライド間に、前記ガイド部分を覆うジャバラ構造の防塵カバーが折り曲げられて取り付けた構造とした。これによって、ジャバラ構造の伸縮によってスライドが受ける力を小さくした。 The present invention relates to a linear drive device having a structure in which two linear drive means constituted by a guide and a slide that can move in one direction along the guide intersect each other. A bellows-type dustproof cover that covers the guide portion is folded and attached between the slides. This reduces the force that the slide receives due to the expansion and contraction of the bellows structure.
又、ジャバラ構造の防塵カバーをコの字形とし、コの字形の端部を覆うように静止部材が取り付け、防塵カバーと静止部材によってラビリンス構造を形成するようにした。さらに、前記直線駆動手段のガイドに対してスライドが静圧空気軸受で支持される構造とした。又、直線駆動手段のスライドの駆動をリニアモータとした。 In addition, the bellows structure dustproof cover has a U-shape, and a stationary member is attached so as to cover the end of the U-shape, so that the labyrinth structure is formed by the dustproof cover and the stationary member. Further, the slide is supported by a hydrostatic air bearing with respect to the guide of the linear drive means. Further, the linear drive is used for the slide drive of the linear drive means.
2つの直線駆動手段が交差する側では、ガイドを覆う防塵カバーとして、共通のジャバラ構造の防塵カバーとしたので、その分、ジャバラ構造を長くでき、一方の直線駆動手段のスライドがジャバラ構造を収縮させるように移動しても、他方の直線駆動手段のガイドを覆う部分までジャバラ構造は収縮され、ジャバラ構造の収縮によって発生する反発力は小さくなり、スライドが受ける力は小さくなる。同様に、ジャバラ構造を伸長させたときも同じである。そのため、スライドを駆動するモータの位置制御等が容易となる。 On the side where the two linear drive means intersect, a dustproof cover with a common bellows structure is used as a dustproof cover to cover the guide, so that the bellows structure can be lengthened, and the slide of one linear drive means contracts the bellows structure. Even if it moves, the bellows structure is contracted to the portion covering the guide of the other linear drive means, the repulsive force generated by the contraction of the bellows structure is small, and the force received by the slide is small. Similarly, the same applies when the bellows structure is extended. Therefore, position control of the motor that drives the slide becomes easy.
図1は、本発明の第1の実施形態の直線駆動装置の要部説明図である。図1(a)は、同実施形態の斜視図、図1(b)は、同正面図である。図4、図5に示した従来の直線駆動装置における対応する部材は同一符号を付している。そして、従来の直線駆動装置と相違する点は、水平方向の直線駆動手段と垂直方向の直線駆動手段のその駆動方向線が交差する側のジャバラ構造の防塵カバーが共通とされている点である。 FIG. 1 is an explanatory diagram of a main part of a linear drive device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a perspective view of the embodiment, and FIG. 1B is a front view thereof. Corresponding members in the conventional linear drive device shown in FIGS. 4 and 5 are given the same reference numerals. And the difference from the conventional linear drive device is that the dustproof cover of the bellows structure on the side where the drive direction line of the horizontal linear drive means and the vertical linear drive means intersect is common. .
この直線駆動装置は、水平方向の直線駆動手段1と垂直方向の駆動手段2を備え、水平方向の直線駆動手段1は図示しないベース等の固定部材に設けられたガイド11と、該ガイド11の上方に配置され、図示しないモータによってガイド11に沿って水平方向に移動させられる水平スライド10を有する。又、垂直方向の直線駆動手段2もコラム等の固定部材に取り付けられたガイド21と、該ガイド21上を該ガイド21で案内され、図示しないモータによって、駆動される垂直スライド20を有する。
The linear drive device includes a horizontal
水平方向の直線駆動手段1の水平スライド10が移動するガイド11の移動方向中心線と垂直方向の直線駆動手段2のスライド20が移動するガイド21の移動方向中心線は直交し、交わっている。又、水平方向及び垂直方向の直線駆動手段1、2のスライド10,20を案内するガイド11,21の面は他方の直線駆動手段の前記移動方向中心線と直交している。
The moving direction center line of the
そして、スライド10,20が案内するガイド11、21の移動方向中心線が交差する側には、2つの直線駆動手段1,2のガイド11、21を覆うための共通のジャバラ構造で構成された防塵カバー3が設けられている。すなわち、ジャバラ構造の防塵カバー3の一端は水平方向の直線駆動手段1の水平スライド10に取り付けられ、該ジャバラ構造の防塵カバー3は折り曲げられ、他端は垂直方向の直線駆動手段2の垂直スライド20に取り付けられている。このジャバラ構造の防塵カバー3によって、各ガイド11,21は、覆われ、塵芥がガイド11,21の部分等の直線駆動手段1,2の内部に侵入することを防止している。なお、スライド10,20の他端側、すなわち、図1(b)において、水平スライド10の左側、垂直スライド20の上側にも防塵カバーは設けられるものであるが、この場合、前述したように、取り付け方法に格別規制を受けないので、スライド10,20の移動によってこの防塵カバーから受ける力は小さくてすむものである。
And, on the side where the movement direction center line of the
図1(b)の矢印A方向に示すように、水平スライド10を垂直スライド20に近づける方向に移動させると、防塵カバー3のジャバラ構造の折り曲げ部分を介して、垂直スライド20側のジャバラ構造も縮むので、水平スライド10は、より垂直スライド20に近づける方向に移動でき、またジャバラ構造の防塵カバー3からスライド10への反力も小さくなる。又、水平スライド10又は垂直スライド20を防塵カバー3のジャバラ構造を伸長させる方向に移動させたときも、従来と比較し、ジャバラ構造が長い分、スライド10,20にかかる力は小さくなる。さらに、防塵カバー3のジャバラ構造は従来の構造を長くしただけのものを用いるので、従来のジャバラ構造の2つの防塵カバーを使う方式よりも部品点数が減り、コスト面でも有利となる。
As shown in the direction of arrow A in FIG. 1B, when the
又、図1において、水平スライド10が右方向に移動し、かつ垂直スライド20が下方に移動した場合、防塵カバー3のジャバラ構造は両方から収縮されることになり、各スライド10,20が防塵カバー3から受ける力は増大するが、このとき受ける力は、図4,図5に示した従来例と同じ程度である。又、このような力を受けるケースは、水平スライド10が右方向に移動し、かつ垂直スライド20が下方に移動した特殊な状態であり、このような状態が生じるのは希な状態である。図4,図5示した従来例と比較し、スライド10,20が受ける力が増大するケースは非常に少ないものである。
Further, in FIG. 1, when the
図2は、本発明の第2の実施形態の要部説明図であり、この第2の実施形態は防塵カバー3のジャバラ構造の端部を覆い、該端部より塵芥が内部に侵入することを防止するラビリンス構造の静止部材31を設けたものである。第1の実施形態と同一の部材は同一の符号を付している。
FIG. 2 is an explanatory view of the main part of the second embodiment of the present invention. The second embodiment covers the end portion of the bellows structure of the
図2(a)はこの第2の実施形態の要部斜視図であり、図2(b)は、防塵カバー3のジャバラ構造部分を水平スライド10(又は垂直スライド20)の移動方向に対して垂直な方向に切断したときの断面図である。
FIG. 2A is a perspective view of the main part of the second embodiment, and FIG. 2B shows the bellows structure portion of the
防塵カバー3のジャバラ構造はコの字形をしており、このコの字形の防塵カバー3と、ガイド11,21の取り付け面によって、ガイド11,21の部分を覆い、塵芥が内部に侵入することを防止するもである。そのため、移動するコの字形の防塵カバー3の端部から内部に塵芥が侵入する可能性があるので、この部分から塵芥が侵入するのを防止するために、防塵カバー3のジャバラ構造の端部を覆うように、静止部材31を設けるものである。この静止部材31は防塵カバー3とジャバラ構造の端部からの立ち上がり部との間に隙間32を形成し、この隙間32によって塵芥が内部に侵入することを防止したラビリンス構造としたものである。図2に示す例では、図2(b)の断面図において、隙間32がコの字形に形成されて、塵芥が内部に侵入することを防止するラビリンス構造とされている。なお、この静止部材31は90度折り曲げた防塵カバー3のジャバラ構造の形状に沿う形状をしている。
The bellows structure of the dust-
図3は、本発明の第3の実施形態の説明図で、この第3の実施形態は、ガイド11,21とスライド10、20の間を空気軸受構造とした点と、スライド10、20を駆動する駆動源をリニアモータとした点で、図1,図2の各実施形態と相違するものであり、図1,図2に示す第1、第2の実施形態にこの空気軸受構造、及びリニアモータを適用したものである。
FIG. 3 is an explanatory diagram of the third embodiment of the present invention. This third embodiment includes an air bearing structure between the
図3は、スライド10(20)とガイド11(21)をスライド移動方向に対して垂直方向に切断した断面図である。
ガイド11(21)とスライド10(20)が対向する面に、微小な間隔が形成され、スライド10(20)側、又はガイド11(21)側から圧縮空気を供給して、空気軸受面4を形成し、スライド10(20)をガイド11(21)に対して浮上させた状態を保持するように構成されている。スライド10(20)はガイド11(21)に接触せず、移動可能となるから、個体接触による摩擦が生ぜず、スライド10(20)が移動するときの摩擦力がなくなり、スライド10(20)の位置決め精度が向上する。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the slide 10 (20) and the guide 11 (21) cut in a direction perpendicular to the slide movement direction.
A minute gap is formed on the surface where the guide 11 (21) and the slide 10 (20) are opposed to each other, and compressed air is supplied from the slide 10 (20) side or the guide 11 (21) side, so that the
さらに、図3に示すように、スライド10(20)とガイド11(21)の対向面の一方にマグネット5を配設し、他方の面にコイル6を配設して(図3ではガイド11(21)にマグネットをスライド10(20)にコイル6を配置した例を示している)、リニアモータを形成している。このリニアモータによって、スライド10(20)をガイド11(21)に沿って移動させることになる。
Further, as shown in FIG. 3, the
なお、スライド10(20)をリニアモータ以外の通常の回転モータとボールネジ/ナット機構のような回転運動を直線運動に変える変換機構を備えた駆動源によって駆動するときも上述した空気軸受構造を設けてもよいものである。 The above-described air bearing structure is also provided when the slide 10 (20) is driven by a drive source having a normal rotary motor other than the linear motor and a conversion mechanism that changes the rotary motion to a linear motion such as a ball screw / nut mechanism. It may be.
上述した各実施形態では、2つの直線駆動手段のスライドの移動方向が直交するときの場合で例を示したが、傾斜軸を備える工作機械等に用いられる直線駆動装置は、2つの直線駆動手段のスライドの移動方向が90度ではなく傾いた90度ではない角度で交差する場合がある。このような場合においても、交差点側のジャバラ構造の防塵カバーを2つの直線駆動手段に対して共通に設けてもよいものである。 In each of the above-described embodiments, an example is shown in the case where the moving directions of the slides of the two linear driving units are orthogonal to each other. However, the linear driving device used for a machine tool or the like having an inclined shaft has two linear driving units. In some cases, the slide movement direction intersects at an angle other than 90 degrees instead of 90 degrees. Even in such a case, a dustproof cover having a bellows structure on the intersection side may be provided in common for the two linear drive means.
2つの直線駆動手段のスライドを駆動するガイドの移動方向中心線が交わり、スライドが案内されるガイド面がねじれることなく傾いて交差しているような2つの直線駆動手段、つまり、2つの直線駆動手段のスライドを駆動するガイドの移動方向中心線が交わり、該移動方向中心線に垂直でスライドのガイド面と平行な軸が互いに平行な2つの直線駆動手段に対して、その交差点側の防塵カバーとして、上述したような共通のジャバラ構造の防塵カバーを適用してよいものである。 Two linear driving means, that is, two linear driving means in which the center lines in the moving direction of the guides that drive the slides of the two linear driving means intersect and the guide surfaces on which the slides are guided intersect with each other without being twisted. The dust-proof cover on the intersection side of two linear drive means intersecting the center line in the moving direction of the guide that drives the slide of the means and the axes perpendicular to the moving direction center line and parallel to the guide surface of the slide are parallel to each other As described above, the dustproof cover having the common bellows structure as described above may be applied.
本発明の直線駆動装置は、工作機械、ロボット、各産業機械において、可動部等を直線移動させる直線駆動手段を2つ以上備え、その2つの直線駆動手段の直線駆動方向が交差するような場合の直線駆動装置に適用できるものである。 The linear drive device of the present invention includes two or more linear drive means for linearly moving a movable part, etc. in machine tools, robots, and industrial machines, and the linear drive directions of the two linear drive means intersect. It can be applied to the linear drive device.
1 水平方向の直線駆動手段
2 垂直方向の直線駆動手段
3 ジャバラ構造の防塵カバー
4 空気軸受面
5 マグネット
6 コイル
10 水平スライド
11 水平方向のガイド
20 垂直スライド
21 垂直方向のガイド
31 静止部材
32 隙間
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JP2015107528A (en) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 株式会社ディスコ | Cutting device |
KR101510061B1 (en) | 2014-09-03 | 2015-04-07 | 주성훈 | Straight degree measuring apparatus |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63109991A (en) * | 1986-10-24 | 1988-05-14 | 日本電気株式会社 | Arm drive mechanism of rectangular coordinate type robot for clean room |
JPH0173519U (en) * | 1987-11-04 | 1989-05-18 | ||
JPH03239809A (en) * | 1990-02-16 | 1991-10-25 | Anritsu Corp | Dust protective cover |
JPH0752079A (en) * | 1993-08-06 | 1995-02-28 | Sony Corp | Dust cover for xy robot and xy robot incorporating dust protecting device |
-
2006
- 2006-05-31 JP JP2006151827A patent/JP4676384B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63109991A (en) * | 1986-10-24 | 1988-05-14 | 日本電気株式会社 | Arm drive mechanism of rectangular coordinate type robot for clean room |
JPH0173519U (en) * | 1987-11-04 | 1989-05-18 | ||
JPH03239809A (en) * | 1990-02-16 | 1991-10-25 | Anritsu Corp | Dust protective cover |
JPH0752079A (en) * | 1993-08-06 | 1995-02-28 | Sony Corp | Dust cover for xy robot and xy robot incorporating dust protecting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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