JP6929596B2 - Blade case - Google Patents

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Description

本発明は、板状の被加工物を切削加工する際に用いられるブレードを収容するためのブレードケースに関する。 The present invention relates to a blade case for accommodating a blade used when cutting a plate-shaped workpiece.

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面を複数の分割予定ライン（ストリート）で区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。 In electronic devices such as mobile phones and personal computers, a device chip including a device such as an electronic circuit is an indispensable component. In the device chip, for example, the surface of a wafer made of a semiconductor material such as silicon is partitioned by a plurality of scheduled division lines (streets), devices are formed in each region, and then the wafer is divided along the planned division lines. Obtained at.

ウェーハを複数のデバイスチップへと分割する際には、例えば、回転軸（スピンドル）に環状のブレード（切削ブレード）が装着された切削装置を使用する。ブレードを高速に回転させた上で被加工物の分割予定ラインに沿って深く切り込ませることで、この被加工物を切断して複数のデバイスチップへと分割できる。 When dividing a wafer into a plurality of device chips, for example, a cutting device in which an annular blade (cutting blade) is mounted on a rotating shaft (spindle) is used. By rotating the blade at high speed and making a deep cut along the planned division line of the workpiece, the workpiece can be cut and divided into a plurality of device chips.

ブレードの一態様として、砥粒が結合材で固定された切刃のみでなるワッシャータイプが知られている。このワッシャータイプのブレードには、厚みが１００μｍ以下の薄い物も多い。そこで、搬送等の際には、ブレードをブレードケースに収容してその破損を防いでいる（例えば、特許文献１参照）。 As one aspect of the blade, a washer type is known in which only a cutting edge in which abrasive grains are fixed with a binder is used. Many of these washer-type blades are thin with a thickness of 100 μm or less. Therefore, during transportation or the like, the blade is housed in a blade case to prevent its damage (see, for example, Patent Document 1).

特開２００６−８２８１７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-82817

ところで、上述のブレードケースは、例えば、ブレードを収容するための収容領域（凹部）のある収容部と、収容領域を閉じるための蓋部と、で構成されており、ブレードを収容領域に収容した状態で、蓋部によって収容領域が閉じられる。なお、このブレードケースでは、テープ等によって蓋部が収容部に留められることになる。 By the way, the above-mentioned blade case is composed of, for example, an accommodating portion having an accommodating area (recess) for accommodating the blade and a lid portion for closing the accommodating area, and accommodating the blade in the accommodating area. In the state, the containment area is closed by the lid. In this blade case, the lid portion is fastened to the accommodating portion by tape or the like.

ブレードケースからブレードを取り出す際には、通常、収容部を下にした状態で蓋部側が開かれる。ブレードは、収容部の収容領域に収容されているので、仮に、蓋部側が開かれた状態でブレードケースを傾けたとしても、ブレードがブレードケースから脱落して破損することはない。 When removing the blade from the blade case, the lid side is usually opened with the accommodating portion down. Since the blade is accommodated in the accommodating area of the accommodating portion, even if the blade case is tilted with the lid side open, the blade will not fall off from the blade case and be damaged.

ところが、誤って、蓋部を下にした状態で収容部側を開いてしまうことがある。この場合には、収容部の収容領域によってブレードが保持されないので、例えば、ブレードケースを傾けてしまうと、ブレードがブレードケースから脱落して破損する恐れがある。 However, there are cases where the accommodating portion side is accidentally opened with the lid portion down. In this case, since the blade is not held by the accommodating area of the accommodating portion, for example, if the blade case is tilted, the blade may fall off from the blade case and be damaged.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、蓋部を下にした状態で収容部側を開いた場合でも、蓋部によりブレードを保持できるブレードケースを提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a blade case capable of holding a blade by the lid even when the accommodating portion side is opened with the lid down. It is to be.

本発明の一態様によれば、ワッシャータイプのブレードを収容するブレードケースであって、底板を有する収容部と、天板を有する蓋部と、該収容部と該蓋部とを開閉できるように連結するヒンジ部と、を備え、該底板には、該ブレードの外周よりも直径が大きく該ブレードを収容できる円形の凹部が設けられ、該天板には、該収容部に対して該蓋部が閉じられた状態において該凹部より外側で該底板に接する凸部が設けられ、該底板に設けられた該凹部の底、又は該天板の該凸部より内側の領域には、該収容部に対して該蓋部が開かれるとき、又は該蓋部に対して該収容部が開かれるときに、該ブレードと該底板、又は該ブレードと該天板との間に作用する静電気の力を抑制するための逃げ穴が設けられているブレードケースが提供される。 According to one aspect of the present invention, it is a blade case for accommodating a washer type blade so that an accommodating portion having a bottom plate, a lid portion having a top plate, and the accommodating portion and the lid portion can be opened and closed. The bottom plate is provided with a hinge portion to be connected, and the bottom plate is provided with a circular recess having a diameter larger than the outer circumference of the blade and capable of accommodating the blade. A convex portion in contact with the bottom plate is provided outside the concave portion in a closed state , and the accommodating portion is provided in the bottom of the concave portion provided in the bottom plate or in the region inside the convex portion of the top plate. When the lid portion is opened, or when the accommodating portion is opened with respect to the lid portion, an electrostatic force acting between the blade and the bottom plate or between the blade and the top plate is applied. A blade case provided with an escape hole for restraint is provided.

本発明の一態様に係るブレードケースは、収容部を構成する底板に、ブレードの外周よりも直径が大きくブレードを収容できる円形の凹部が設けられているとともに、蓋部を構成する天板に、収容部に対して蓋部が閉じられた状態において凹部より外側で底板に接する凸部が設けられている。そのため、蓋部を下にした状態で収容部側を開いた場合でも、凸部によってブレードが保持される。 In the blade case according to one aspect of the present invention, the bottom plate constituting the accommodating portion is provided with a circular recess having a diameter larger than the outer circumference of the blade and accommodating the blade, and the top plate constituting the lid portion is provided with a circular recess. A convex portion that contacts the bottom plate is provided on the outside of the concave portion when the lid portion is closed with respect to the accommodating portion. Therefore, even when the accommodating portion side is opened with the lid portion down, the blade is held by the convex portion.

ブレードケース等の構成例を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of a blade case and the like schematically. 図２（Ａ）は、ブレードが収容部側に載せられた状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、ブレードがブレードケースに収容された状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｃ）は、ブレードが蓋部側に載った状態を模式的に示す断面図である。FIG. 2A is a cross-sectional view schematically showing a state in which the blade is mounted on the accommodating portion side, and FIG. 2B is a cross-sectional view schematically showing a state in which the blade is accommodated in the blade case. FIG. 2C is a cross-sectional view schematically showing a state in which the blade is mounted on the lid side.

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るブレードケース２の構成例を模式的に示す斜視図である。ブレードケース２は、切刃のみでなるいわゆるワッシャータイプのブレード（ワッシャーブレード）１１を収容できるように構成されており、収容部４と蓋部６とを含む。 An embodiment according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration example of the blade case 2 according to the present embodiment. The blade case 2 is configured to accommodate a so-called washer-type blade (washer blade) 11 having only a cutting blade, and includes an accommodating portion 4 and a lid portion 6.

このブレードケース２に収容されるブレード１１は、例えば、ダイヤモンド等の砥粒を金属や樹脂等の結合材で固めて、中央に開口部１１ａを有する環状に形成される。ブレード１１の厚みは、代表的には、０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度であり、ブレード１１の外径（外周の直径）は、代表的には、５４ｍｍ〜５８ｍｍ程度である。ただし、ブレード１１の材質、大きさ（径、厚み）、製法等に特段の制限はない。 The blade 11 housed in the blade case 2 is formed in an annular shape having an opening 11a in the center by solidifying abrasive grains such as diamond with a binder such as metal or resin. The thickness of the blade 11 is typically about 0.1 mm to 0.3 mm, and the outer diameter (outer diameter) of the blade 11 is typically about 54 mm to 58 mm. However, there are no particular restrictions on the material, size (diameter, thickness), manufacturing method, etc. of the blade 11.

収容部４及び蓋部６は、ヒンジ部８によって互いに連結されている。収容部４、蓋部６及びヒンジ部８の材質等に特段の制限はないが、本実施形態では、これらをポリプロピレン等の樹脂で一体に形成している。収容部４は、底板１０を有しており、その一方の面１０ａ側には、平面視で概ね円形の凹部１２が設けられている。この凹部１２が、ブレード１１を収容する収容領域となる。よって、凹部１２の直径は、ブレード１１の外径よりも大きくなっている。 The accommodating portion 4 and the lid portion 6 are connected to each other by a hinge portion 8. There are no particular restrictions on the materials of the accommodating portion 4, the lid portion 6, and the hinge portion 8, but in the present embodiment, these are integrally formed of a resin such as polypropylene. The accommodating portion 4 has a bottom plate 10, and a substantially circular recess 12 in a plan view is provided on one surface 10a side of the bottom plate 10. The recess 12 serves as a storage area for accommodating the blade 11. Therefore, the diameter of the recess 12 is larger than the outer diameter of the blade 11.

凹部１２の中央には、凹部１２の底面から突出する円柱状の凸部１４が設けられている。凸部１４の外周１４ａの直径は、ブレード１１の内径（開口部１１ａの直径）よりも小さくなっている。また、凹部１２の底面には、複数の穴（逃げ穴）１６が凸部１４を囲むように形成されている。 At the center of the recess 12, a columnar convex portion 14 projecting from the bottom surface of the recess 12 is provided. The diameter of the outer circumference 14a of the convex portion 14 is smaller than the inner diameter of the blade 11 (diameter of the opening 11a). Further, on the bottom surface of the concave portion 12, a plurality of holes (escape holes) 16 are formed so as to surround the convex portion 14.

このように、凹部１２の底面に穴１６を設けることで、底板１０とブレード１１との間に作用する静電気の力を弱められる。つまり、ブレードケース２に収容されたブレード１１を取り扱い易くなる。また、ブレードケース２に収容されたブレード１１を目視し易くなる。なお、本実施形態では、底板１０を貫通しない平面視で概ね円形の穴１６を設けているが、穴１６の形状、配置、大きさ、数量等に特段の制限はない。また、底板１０のヒンジ部８と反対側の位置には、外向きの爪部１８が設けられている。 By providing the hole 16 on the bottom surface of the recess 12 in this way, the force of static electricity acting between the bottom plate 10 and the blade 11 can be weakened. That is, the blade 11 housed in the blade case 2 can be easily handled. In addition, the blade 11 housed in the blade case 2 becomes easy to see. In the present embodiment, the holes 16 are provided in a substantially circular shape in a plan view that does not penetrate the bottom plate 10, but there are no particular restrictions on the shape, arrangement, size, quantity, and the like of the holes 16. Further, an outward claw portion 18 is provided at a position of the bottom plate 10 opposite to the hinge portion 8.

蓋部６は、天板２０を有している。天板２０の一方の面２０ａ側の外周部には、側壁２２が設けられている。また、天板２０の面２０ａ側、且つ側壁２２より内側の領域には、平面視で概ね環状の凸部２４が設けられている。凸部２４の内径は、凹部１２の直径よりも大きくなっている。 The lid portion 6 has a top plate 20. A side wall 22 is provided on the outer peripheral portion of the top plate 20 on the one side 20a side. Further, a substantially annular convex portion 24 is provided in a region on the surface 20a side of the top plate 20 and inside the side wall 22 in a plan view. The inner diameter of the convex portion 24 is larger than the diameter of the concave portion 12.

面２０ａの凸部２４で囲まれる領域の中央には、平面視で円形の凹部２６が設けられている。凹部２６の直径は、凸部１４の外周１４ａの直径よりも僅かに大きくなっている。よって、この凹部２６に凸部１４を挿入できる。また、面２０ａの凸部２４で囲まれた領域には、複数の穴（逃げ穴）２８が凹部２６を囲むように形成されている。 In the center of the region surrounded by the convex portion 24 of the surface 20a, a circular concave portion 26 is provided in a plan view. The diameter of the concave portion 26 is slightly larger than the diameter of the outer peripheral surface 14a of the convex portion 14. Therefore, the convex portion 14 can be inserted into the concave portion 26. Further, in the region surrounded by the convex portion 24 of the surface 20a, a plurality of holes (escape holes) 28 are formed so as to surround the concave portion 26.

このように、面２０ａの凸部２４で囲まれた領域に穴２８を設けることで、天板２０とブレード１１との間に作用する静電気の力を弱められる。つまり、ブレードケース２に収容されたブレード１１を取り扱い易くなる。また、ブレードケース２に収容されたブレード１１を目視し易くなる。 By providing the hole 28 in the region surrounded by the convex portion 24 of the surface 20a in this way, the force of static electricity acting between the top plate 20 and the blade 11 can be weakened. That is, the blade 11 housed in the blade case 2 can be easily handled. In addition, the blade 11 housed in the blade case 2 becomes easy to see.

なお、本実施形態では、天板２０を貫通しない平面視で概ね円形の穴２８を設けているが、穴２８の形状、配置、大きさ、数量等に特段の制限はない。また、ヒンジ部８の反対側に位置する側壁２２の内側には、内向きの爪部３０が設けられている。 In the present embodiment, the holes 28 are provided in a substantially circular shape in a plan view that does not penetrate the top plate 20, but there are no particular restrictions on the shape, arrangement, size, quantity, and the like of the holes 28. Further, an inward claw portion 30 is provided inside the side wall 22 located on the opposite side of the hinge portion 8.

このように構成されたブレードケース２では、ヒンジ部８を支点に蓋部６を回転させて閉じることで、ブレード１１を収容する凹部１２を閉塞させられる。この状態で、爪部１８と爪部３０とを係合させれば、蓋部６の閉じた閉状態が維持される。一方で、蓋部６を開いた開状態では、凹部１２も開放される。なお、収容部４に対して蓋部６が閉じられた閉状態では、上述した凸部２４が凹部１２より外側で底板１０の面１０ａに接する。 In the blade case 2 configured in this way, the recess 12 accommodating the blade 11 can be closed by rotating and closing the lid portion 6 with the hinge portion 8 as a fulcrum. If the claw portion 18 and the claw portion 30 are engaged in this state, the closed state of the lid portion 6 is maintained. On the other hand, when the lid 6 is opened, the recess 12 is also opened. In the closed state in which the lid portion 6 is closed with respect to the accommodating portion 4, the above-mentioned convex portion 24 comes into contact with the surface 10a of the bottom plate 10 outside the concave portion 12.

次に、本実施形態に係るブレードケース２の使用例を説明する。図２（Ａ）は、ブレード１１が収容部４側に載せられた状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、ブレード１１がブレードケース２に収容された状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｃ）は、ブレード１１が蓋部６側に載った状態を模式的に示す断面図である。 Next, a usage example of the blade case 2 according to the present embodiment will be described. FIG. 2A is a cross-sectional view schematically showing a state in which the blade 11 is mounted on the accommodating portion 4 side, and FIG. 2B schematically shows a state in which the blade 11 is accommodated in the blade case 2. 2 (C) is a cross-sectional view schematically showing a state in which the blade 11 is placed on the lid 6 side.

ブレードケース２にブレード１１を収容する際には、例えば、図２（Ａ）に示すように、収容部４の凹部１２内にブレード１１を配置する。すなわち、凹部１２の底面にブレード１１を載せる。なお、この凹部１２内には、予め緩衝材等を配置しておくと良い。これにより、ブレード１１の破損をより確実に防止できるようになる。 When accommodating the blade 11 in the blade case 2, for example, as shown in FIG. 2A, the blade 11 is arranged in the recess 12 of the accommodating portion 4. That is, the blade 11 is placed on the bottom surface of the recess 12. It is preferable to arrange a cushioning material or the like in advance in the recess 12. As a result, damage to the blade 11 can be prevented more reliably.

ブレード１１を収容部４側に載せた後には、図２（Ｂ）に示すように、蓋部６を閉じて爪部１８と爪部３０とを係合させる。これにより、ブレード１１は、ブレードケース２に収容される。なお、収容部４の凹部１２内にブレード１１を配置した状態で蓋部６を閉じると、蓋部６の凸部２４で囲まれる領域とブレード１１との間に空間が生まれる。 After the blade 11 is placed on the accommodating portion 4, the lid portion 6 is closed and the claw portion 18 and the claw portion 30 are engaged with each other as shown in FIG. 2 (B). As a result, the blade 11 is housed in the blade case 2. When the lid portion 6 is closed with the blade 11 arranged in the recess 12 of the accommodating portion 4, a space is created between the region surrounded by the convex portion 24 of the lid portion 6 and the blade 11.

この空間により、外部からの力がブレード１１に伝わり難くなるので、ブレード１１の破損を防止できる。更に、この空間を埋めるように、蓋部６の凸部２４で囲まれる領域に予め緩衝材等を配置しておいても良い。これにより、ブレード１１の破損をより確実に防止できるようになる。 This space makes it difficult for external force to be transmitted to the blade 11, so that damage to the blade 11 can be prevented. Further, a cushioning material or the like may be arranged in advance in the region surrounded by the convex portion 24 of the lid portion 6 so as to fill this space. As a result, damage to the blade 11 can be prevented more reliably.

ブレード１１をブレードケース２から取り出す際に、例えば、蓋部６を下にした状態で収容部４側を開いてしまった状況を想定する。この場合には、図２（Ｃ）に示すように、ブレード１１が蓋部６側に載ることになる。本実施形態では、蓋部６に凸部２４が設けられているので、仮に、ブレードケース２が傾いたとしても、ブレード１１は凸部２４によって保持される。よって、ブレード１１がブレードケース２から脱落してしまうことはない。 It is assumed that when the blade 11 is taken out from the blade case 2, for example, the accommodating portion 4 side is opened with the lid portion 6 down. In this case, as shown in FIG. 2C, the blade 11 is placed on the lid 6 side. In the present embodiment, since the lid portion 6 is provided with the convex portion 24, even if the blade case 2 is tilted, the blade 11 is held by the convex portion 24. Therefore, the blade 11 does not fall off from the blade case 2.

なお、本実施形態では、ブレード１１の載る面２０ａに穴２８を設けているので、ブレードケース２の開閉等によって発生し、天板２０とブレード１１との間に作用する静電気の力（引力）は弱められる。よって、蓋部６からブレード１１を容易に取り出せる。同様に、収容部４側にも穴１６を設けているので、収容部４を下にした状態で蓋部６を開いた場合にも、底板１０とブレード１１との間に作用する静電気の力（引力）が弱められ、収容部４からブレード１１を容易に取り出せる。 In this embodiment, since the hole 28 is provided on the surface 20a on which the blade 11 is placed, an electrostatic force (attractive force) generated by opening and closing the blade case 2 and acting between the top plate 20 and the blade 11 Is weakened. Therefore, the blade 11 can be easily taken out from the lid portion 6. Similarly, since the hole 16 is also provided on the accommodating portion 4 side, the force of static electricity acting between the bottom plate 10 and the blade 11 even when the lid portion 6 is opened with the accommodating portion 4 facing down. (Attractive force) is weakened, and the blade 11 can be easily taken out from the accommodating portion 4.

以上のように、本実施形態に係るブレードケース２は、収容部４を構成する底板１０に、ブレード１１の外周よりも直径が大きくブレード１１を収容できる円形の凹部１２が設けられているとともに、蓋部６を構成する天板２０に、収容部４に対して蓋部６が閉じられた状態において凹部１２より外側で底板１０に接する凸部２４が設けられている。そのため、蓋部６を下にした状態で収容部４側を開いた場合でも、凸部２４によってブレード１１が保持される。 As described above, in the blade case 2 according to the present embodiment, the bottom plate 10 constituting the accommodating portion 4 is provided with a circular recess 12 having a diameter larger than the outer circumference of the blade 11 and accommodating the blade 11. The top plate 20 constituting the lid portion 6 is provided with a convex portion 24 that is in contact with the bottom plate 10 outside the concave portion 12 in a state where the lid portion 6 is closed with respect to the accommodating portion 4. Therefore, even when the accommodating portion 4 side is opened with the lid portion 6 down, the blade 11 is held by the convex portion 24.

なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、蓋部６に環状の凸部２４を設けているが、この凸部の形状、配置、数量等に特段の制限はない。例えば、複数の凸部を環状に配置することで、ブレード１１を保持できるようにしても良い。 The present invention is not limited to the description of the above embodiment and can be implemented with various modifications. For example, in the above embodiment, the lid portion 6 is provided with the annular convex portion 24, but the shape, arrangement, quantity, and the like of the convex portions are not particularly limited. For example, the blade 11 may be held by arranging a plurality of convex portions in an annular shape.

また、上記実施形態では、収容部４及び蓋部６の双方に複数の穴（逃げ穴）１６，２８を設けているが、例えば、収容部４及び蓋部６の一方にのみ１又は複数の穴を設けることもできる。もちろん、このような穴を設けなくても良い。 Further, in the above embodiment, a plurality of holes (escape holes) 16 and 28 are provided in both the accommodating portion 4 and the lid portion 6, but for example, one or a plurality of holes are provided in only one of the accommodating portion 4 and the lid portion 6. Holes can also be provided. Of course, it is not necessary to provide such a hole.

その他、上記実施形態及び変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更できる。 In addition, the structure, method, etc. according to the above-described embodiments and modifications can be appropriately changed as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

２ ブレードケース
４ 収容部
６ 蓋部
８ ヒンジ部
１０ 底板
１０ａ 第１面
１２ 凹部
１４ 凸部
１４ａ 外周
１６ 穴（逃げ穴）
１８ 爪部
２０ 天板
２０ａ 第１面
２２ 側壁
２４ 凸部
２６ 凹部
２８ 穴（逃げ穴）
３０ 爪部
１１ ブレード
１１ａ 開口部 2 Blade case 4 Accommodating part 6 Closure part 8 Hinge part 10 Bottom plate 10a First surface 12 Concave part 14 Convex part 14a Outer circumference 16 holes (relief holes)
18 Claw part 20 Top plate 20a First surface 22 Side wall 24 Convex part 26 Concave part 28 Hole (escape hole)
30 Claw 11 Blade 11a Opening

Claims (1)

ワッシャータイプのブレードを収容するブレードケースであって、
底板を有する収容部と、
天板を有する蓋部と、
該収容部と該蓋部とを開閉できるように連結するヒンジ部と、を備え、
該底板には、該ブレードの外周よりも直径が大きく該ブレードを収容できる円形の凹部が設けられ、
該天板には、該収容部に対して該蓋部が閉じられた状態において該凹部より外側で該底板に接する凸部が設けられ、
該底板に設けられた該凹部の底、又は該天板の該凸部より内側の領域には、該収容部に対して該蓋部が開かれるとき、又は該蓋部に対して該収容部が開かれるときに、該ブレードと該底板、又は該ブレードと該天板との間に作用する静電気の力を抑制するための逃げ穴が設けられていることを特徴とするブレードケース。 A blade case that houses washer-type blades.
A housing with a bottom plate and
The lid with the top plate and
A hinge portion for connecting the accommodating portion and the lid portion so as to be able to open and close is provided.
The bottom plate is provided with a circular recess having a diameter larger than the outer circumference of the blade and capable of accommodating the blade.
The top plate is provided with a convex portion that contacts the bottom plate outside the concave portion when the lid portion is closed with respect to the accommodating portion.
In the bottom of the concave portion provided on the bottom plate, or in the region inside the convex portion of the top plate, when the lid portion is opened with respect to the accommodating portion, or the accommodating portion with respect to the lid portion. A blade case characterized in that a relief hole for suppressing an electrostatic force acting between the blade and the bottom plate or between the blade and the top plate is provided when the blade is opened.
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