JP6923156B2 - 火山ガス測定装置および測定方法 - Google Patents

火山ガス測定装置および測定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6923156B2
JP6923156B2 JP2017087854A JP2017087854A JP6923156B2 JP 6923156 B2 JP6923156 B2 JP 6923156B2 JP 2017087854 A JP2017087854 A JP 2017087854A JP 2017087854 A JP2017087854 A JP 2017087854A JP 6923156 B2 JP6923156 B2 JP 6923156B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
volcanic
concentration
chamber
pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017087854A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018185247A (ja
Inventor
武 大場
武 大場
博義 森田
博義 森田
和総 東出
和総 東出
泰道 山本
泰道 山本
健二 大庭
健二 大庭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokai University Educational Systems
Original Assignee
Tokai University Educational Systems
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokai University Educational Systems filed Critical Tokai University Educational Systems
Priority to JP2017087854A priority Critical patent/JP6923156B2/ja
Publication of JP2018185247A publication Critical patent/JP2018185247A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6923156B2 publication Critical patent/JP6923156B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

本発明は、火山ガス測定装置および測定方法に関するものである。
日本国には火山が多く、噴火の前兆を検出するシステムを構築することが重要である。この火山噴火の前兆を検出するために、硫化ガス、例えば、硫化水素、二酸化硫黄などの濃度と、二酸化炭素の濃度とを測定することが有用であることが知られている。
特許文献1には、火山ガスの濃度測定に利用できる、一酸化窒素などのガスの濃度を測定する装置が開示されている。この装置は、ガスセンサに付着した雑ガスなどを除去するために、ガスセンサに対して空気を流す。これにより、検出感度及び応答速度に優れ、センサの劣化を防ぐ。
例えば、特許文献2には、紫外線の吸収スペクトルを用いて、二酸化硫黄濃度と三酸化硫黄濃度とを測定する方法が開示されている。三酸化硫黄を加熱し、二酸化硫黄に変化させることで、三酸化硫黄濃度を測定する方法が記載されている。
特開2006‐317207号公報 特開2010‐102301号公報
火山ガス測定装置は、火山ガスをガス導入管から吸引し、火山ガスの成分濃度を測定する。この火山ガスには、硫化ガスが多く含まれている。このため、ガス導入管には、火山ガスに含まれる硫化ガスにより、硫黄が堆積する。このため、火山ガスを常時測定するためには、ガス導入管のメンテナンスが必要である。
以上のような状況を鑑み、本発明は、硫化ガスの対策を備えることで、ガス導入管のメンテナンス頻度が少ない火山ガス測定装置を提供することを目的の1つとする。他の目的については、以下の記載及び実施の形態の説明から理解することができる。
以下に、発明を実施するための形態で使用される番号・符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号・符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための形態との対応関係の一例を示すために、参考として、括弧付きで付加されたものである。よって、括弧付きの記載により、特許請求の範囲は、限定的に解釈されるべきではない。
上記目的を達成するため、本発明の第1の態様に係る火山ガス測定装置(1000)は、一端が外部に開放されているガス導入管(100)と、ガス導入管の他端に接続されているチャンバー(200)と、ガス導入管を介して外部から火山ガス(20)を吸引しチャンバーに供給するポンプ部(300)と、チャンバー内の火山ガスに含まれている硫化ガスの濃度を測定する第1測定部(500)と、チャンバー内の火山ガスに含まれている二酸化炭素の濃度を測定する第2測定部(600)とを備える。ポンプ部は、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度を測定しないときの所定の時間、外部から空気を吸引しガス導入管(100)から外部に排出する。
本発明の第2の態様に係る火山ガス測定方法は、ガス導入管(100)を介して外部から火山ガス(20)を吸引し、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定する測定ステップ(S11、S22)と、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定しないときに、ガス導入管(100)を介して空気を排出する排気ステップ(S12、S21、S24)とを含む。
本発明によれば、火山ガスを吸引しても、ガス導入管に堆積する硫黄は少ない。
実施の形態1に係る火山ガス測定装置の模式図である。 図1の第2測定部の模式図である。 図1のポンプボックスの模式図である。 実施の形態1に係る火山ガス測定装置の動作を説明するための図である。 測定結果を説明するための図である。 実施の形態2に係る火山ガス測定装置の動作を説明するための図である。 実施の形態3に係るポンプボックスの構成図である。 従来の火山ガス測定装置を説明するための図である。 測定結果から得られるグラフを示す図である。 赤外線吸収法による測定方法を説明するための図である。
従来の火山ガス測定装置について説明する。図8に示すように、従来の火山ガス測定装置2000は、ガス導入管2010を介して外部から火山ガス20を吸引し、硫化ガスと二酸化炭素との濃度を測定する。火山ガス20は、約95%が水蒸気で占められる高温の気体である。その他に、火山ガス20には、硫化水素(HS)、二酸化硫黄(SO)、二酸化炭素(CO)などが含まれている。このため、吸引する火山ガス20に含まれている硫化水素などの硫化ガス濃度が高いとガス導入管2010に硫黄が堆積するなどの問題が生じる。このため、従来の火山ガス測定装置2000では、噴気孔10から4m程度離れた位置にガス導入管2010の吸引口を設置する。これにより、火山ガス測定装置2000は、硫化ガスと二酸化炭素との濃度を測定する。言い換えると、従来の火山ガス測定装置2000は、噴気孔10から噴出した火山ガス20が大気で薄められた気体を吸引し、火山ガスの成分濃度を測定する。このため、火山ガス測定装置2000で測定できる硫化ガスの濃度は、例えば、硫化水素の場合、10ppm程度である。また、噴気孔10から4m程度離れた位置にガス導入管2010の吸引口を設置しても、硫化ガスを吸引するため硫黄が堆積し、火山ガスの成分濃度を常時測定することは難しい。
また、噴火の兆候を検出するには、測定した火山ガス20に含まれている硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度との比を算出することが重要になる。図9に示すように、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度との関係を示すグラフから、回帰直線30を算出する。この回帰直線30の傾きから噴火の兆候を検出する。具体的には、この傾きが大きくなると、噴火が近付いていると判断できる。また、この傾きは、各火山により異なり、常時算出することが重要である。
回帰直線30の切片40は、大気の状況に応じて変化する。このため、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを1点でのみ観測しても回帰直線30の傾きを算出することは難しい。つまり、測定できる硫化ガス濃度の範囲が広いほど、回帰直線30の傾きを精度よく算出することができる。
(実施の形態1)
実施の形態1に係る火山ガス測定装置1000の構成を説明する。図1に示すように、火山ガス測定装置1000は、ガス導入管100と、チャンバー200と、ポンプ部300と、排気孔400と、第1測定部500と、第2測定部600と、制御部700とを備える。ガス導入管100を介して外部から火山ガス20を吸引する。第1測定部500は吸引した火山ガス20に含まれている硫化ガスの濃度を測定する。第2測定部600は火山ガス20に含まれている二酸化炭素の濃度を測定する。吸引した火山ガス20は、排気孔400から排出される。火山ガス20の成分濃度を測定しないときは、ガス導入管100から空気を排出する。これにより、ガス導入管100に硫黄が堆積するのを抑制する。
ガス導入管100は、火山ガス20をチャンバー200に導く管である。ガス導入管100の一端は、吸引口として外部に開放され、他端はチャンバー200に接続されている。ガス導入管100の吸引口は、噴気孔10から約50cm離れた位置に設置される。このため、火山ガス測定装置1000は、従来の火山ガス測定装置2000と異なり、硫化ガスの濃度が高い火山ガス20を吸引できる。ガス導入管100は、火山ガス20を吸引する吸引口に温度計110を備える。また、チャンバー200の近傍に、オートドレン120を備える。
温度計110は、ガス導入管100の吸引口の温度を測定する。噴気孔10から火山ガス20が噴出すると、温度計110は高い温度を検知する。
オートドレン120は、火山ガス20に含まれる水分を排出する。火山ガス20の約95%は水蒸気である。また、吸引した火山ガス20は、ガス導入管100の吸引口からチャンバー200に移動するに従い温度が下がる。このため、吸引した火山ガス20に含まれる水蒸気が液化し、オートドレン120から排出される。これにより、チャンバー200に水が溜まるのを抑制する。
チャンバー200は、ガス導入管100で吸引した火山ガス20の成分濃度を測定するために設けられている。チャンバー200には、硫化ガスの濃度を測定する第1測定部500が配置されている。
第1測定部500は、チャンバー200内の硫化ガスの濃度を測定する。言い換えると、ガス導入管100が吸引した火山ガス20に含まれている硫化ガスの濃度を測定する。第1測定部500は、硫化ガスの濃度として、硫化水素の濃度と、二酸化硫黄の濃度とを定電位電解法を用いて測定する。定電位電解法の詳細については、後述する。
第2測定部600は、チャンバー200に接続され、火山ガス20に含まれる二酸化炭素の濃度を赤外線吸収法により測定する。赤外線吸引法の詳細については、後述する。
ポンプ部300は、ガス導入管100とチャンバー200とを介して、外部から火山ガス20を吸引し、排気孔400から排出する。具体的には、ポンプ部300には、ポンプボックス310と、エジェクタ320とを備える。エジェクタ320は、供給管360を介して、ポンプボックス310に接続されている。さらに、エジェクタ320は、排気管370を介して、排気孔400に接続されている。また、供給管360は、ポンプボックス310とエジェクタ320との間に第1弁340を備える。このため、第1弁340を開放すると、ポンプボックス310から供給される空気は、供給管360と、エジェクタ320と、排気管370とを介して、排気孔400から火山ガス測定装置1000の外部に排出される。エジェクタ320は、吸引管380を介して、チャンバー200に接続されている。チャンバー200内の気体は、ポンプボックス310から供給される空気により、吸引管380を介して、エジェクタ320に吸引される。エジェクタ320に吸引された気体は、ポンプボックス310から供給される空気の流れに乗り、排気管370を介して、排気孔400から排出される。チャンバー200内の気体が排出されると、チャンバー内の圧力が低くなる。このため、チャンバー200に接続されているガス導入管100の吸引口から火山ガス20が吸引される。言い換えると、ポンプ部300は、ガス導入管100を介して火山ガス20を吸引し、チャンバー200に供給する。
また、ポンプ部300は、チャンバー200の気体を第2測定部600に吸引し、排気孔400から排出する。具体的には、ポンプ部300は第1ポンプ330を備える。第1ポンプ330は、第2測定部600から気体を吸引する。このため、第2測定部600の圧力は低下し、チャンバー200から空気が供給される。また、ポンプ部300は、第2測定部600から吸引した気体を排気孔400から火山ガス測定装置1000の外部に排出する。
さらに、ポンプ部300は、チャンバー200に空気を供給し、ガス導入管100の吸引口から空気を排出する。ポンプボックス310に接続されている供給管360は、図1に示すように、分岐点365で分岐し、チャンバー200に接続されている。供給管360は、分岐点365とチャンバー200との間に、第2弁350を備える。第2弁350を開放すると、ポンプボックス310から供給される空気は、供給管360を介して、チャンバー200に供給される。チャンバー200に空気が供給されると、チャンバー200内の圧力が高くなる。このため、チャンバー200に接続されているガス導入管100の吸引口から空気が排出される。
制御部700は、ポンプ部300の動作など、火山ガス測定装置1000の動作を制御する。また、第1測定部500と第2測定部600とで測定したデータを保存する。
次に、第2測定部600の詳細について説明する。第2測定部は、図2に示すように、チャンバー200とポンプ部300の第1ポンプ330とを接続する導入管を備える。また、第2測定部は、この導入管に設けられた除去フィルタ620とCO測定器610とを備える。
除去フィルタ620は、硫化水素、二酸化硫黄などの腐食性ガスを除去する。火山ガス20には腐食性ガスが含まれている。このため、火山ガス20をそのまま測定すると、CO測定器610の腐食が進む。この腐食を軽減するため、CO測定器610よりもチャンバー200側に除去フィルタ620を設ける。また、CO測定器610から火山ガス20を吸引する第1ポンプ330の腐食も低減できる。
CO測定器610は、チャンバー200に含まれる二酸化炭素の濃度を測定する。第1ポンプ330により、チャンバー200内から気体を吸引する。吸引された気体は、除去フィルタ620により腐食性ガスが除去される。このため、CO測定器610は、除去フィルタ620により腐食性ガスが除去された気体の二酸化炭素の濃度を測定する。言い換えると、CO測定器610は、腐食性ガスを除去したチャンバー200内の気体について、二酸化炭素の濃度を測定する。
次に、ポンプボックス310の詳細について説明する。ポンプボックス310は、図3に示すように、第2ポンプ311と、除去フィルタ315とを備える。
第2ポンプ311は、ポンプボックス310内の空気を、供給管360を介して、巡回させる。具体的には、第2ポンプ311は、ポンプボックス310内の空気を吸引し、供給管360に排出する。供給管360には、図3に示すように、ポンプボックス310内で分岐している。分岐している供給管360の一方は弁312を介してポンプボックス310内に開放されている。このため、弁312を開放すると、第2ポンプ311が排出した空気は、供給管360を介して、ポンプボックス310内で循環する。他方はポンプボックス310の外部、つまりエジェクタ320とチャンバー200とに接続されている。このため、弁312を閉鎖すると、第2ポンプ311が排出した空気は、ポンプボックス310の外部に供給される。ポンプボックス310の外部に空気を供給しない場合、弁312を開放し、空気を循環させる。これにより第2ポンプ311が、起動と停止とを繰り返す回数を減らし、第2ポンプ311の劣化を低減する。
除去フィルタ315は、火山ガス測定装置1000の外部から空気を吸引する際に、硫化水素、二酸化硫黄などの腐食性ガスを除去する。火山ガス測定装置1000は、火山の噴気孔10近辺に設置される。つまり、火山ガス測定装置1000の設置される位置は、硫化水素、二酸化硫黄などの腐食性ガスの濃度が高い。このため、腐食性ガスを含まない空気を、外部から常時供給することができない。そこで、火山ガス測定装置1000の外部から空気を吸引する吸入口に除去フィルタ315を設ける。これにより、腐食性ガスの含まない空気をポンプボックス310に供給する。
このようなポンプボックス310を備えることで、第2ポンプ311と、除去フィルタ315とのメンテナンスの頻度は少ない。空気を排出する必要があるときは、火山ガス測定装置1000の外部から空気を吸引し、ポンプボックス310から供給管360に排出する。空気を排出する必要がないときは、弁312を開放し、ポンプボックス310内で空気を循環させる。つまり、第2ポンプ311の起動と停止とを繰り返す必要がないため、第2ポンプ311の劣化を抑制することができる。また、必要な空気量に応じて、火山ガス測定装置1000の外部から空気を吸引するため、除去フィルタ315も長い期間使用することができる。
次に、火山ガス測定装置1000を用いて、火山ガス20の成分濃度を測定する動作を説明する。
火山ガス測定装置1000は、一定の周期でガス導入管100を介して火山ガス20を吸引し、火山ガス20の濃度を測定する。
火山ガス20の成分濃度の測定を開始する際に、火山ガス測定装置1000は、火山ガス20の吸引を開始する。具体的には、図4に示すように、第1弁340を開放し、第2弁350を閉鎖する。これにより、ポンプボックス310からエジェクタ320に空気を供給し、排気孔400から排出する。このため、チャンバー200内の気体がエジェクタ320を介して、排気孔400に排出される。この結果、火山ガス20がガス導入管100を介してチャンバー200内に吸引される。
また、図4に示すように、第1ポンプ330を起動し、第2測定部600の気体を排気孔400から排出する。このため、チャンバー200内の気体が第2測定部600を介して排気孔400に排出される。
図4に示すように、S11の期間、ガス導入管100を介して火山ガス20を吸引し続ける。このため、外部からチャンバー200に火山ガス20が供給される。つまり、チャンバー200内に火山ガス20が供給され、火山ガス20の濃度が増加する。言い換えると、火山ガス20に含まれる硫化ガスと二酸化炭素の濃度が増加する。
このS11の期間に、第1測定部500は連続して硫化ガスの濃度を測定する。具体的には、火山ガス20の吸引を開始した時から、S11の期間が終了するまで、第1測定部500は硫化ガスの濃度を測定する。火山ガス20の吸引を開始した時はチャンバー200内の硫化ガスの濃度は低い。S11の期間が終了するときには、チャンバー200内に火山ガス20が満たされるため、硫化ガスの濃度は高い。つまり、硫化ガスの濃度が増加していく間も、硫化ガスの濃度を測定する。これにより、第1測定部500は硫化ガスの濃度が低い状態から高い状態まで変化する各状態において測定することができる。
また、第2測定部600も、同様にS11の期間に、連続して二酸化炭素の濃度を測定する。チャンバー内の気体が第2測定部600を介して排出されるため、第2測定部600ではチャンバー内の気体に含まれる二酸化炭素の濃度を測定できる。つまり、硫化ガスの濃度が増加していく期間に対応して、二酸化炭素の濃度を測定する。S11は硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定する測定ステップと言える。
S11の期間経過後、火山ガス測定装置1000は、第2測定部600内から測定していた気体を排出する。つまり、ポンプボックス310内の空気を第2測定部600に供給し、測定していた気体を排出する。具体的には、第1弁340を閉鎖し、第2弁350を開放する。これにより、ポンプボックス310内の空気はチャンバー200に供給される。ここで、第1ポンプ330は第2測定部600内の気体を排気孔400に排出するため、チャンバー200から第2測定部600に空気が供給される。つまり、ポンプボックス310内の空気が第2測定部600に供給される。S12の期間、ポンプボックス310内の空気を供給することで、第2測定部600内の気体における二酸化炭素の濃度は、火山ガス測定装置1000外部の大気における二酸化炭素の濃度と同程度になる。つまり、S12は第2測定部600の空気を入れ替える換気ステップと言える。
S12の期間経過後、火山ガス測定装置1000は、ガス導入管100から空気を排出する。これにより、ガス導入管100に硫黄が堆積するのを抑制する。具体的には、図4に示すように、第1ポンプ330を停止する。これにより、チャンバー200から第2測定部600に空気が供給されなくなる。また、チャンバー200にはポンプボックス310から空気は供給され続ける。このため、チャンバー200の圧力が上昇し、ガス導入管100を介して空気が外部に排出される。次に火山ガス20の測定を開始するまでのS13の期間、ガス導入管100を介して空気を排出する。つまり、S13はガス導入管100を介して外部に空気を排出する排気ステップと言える。
次に火山ガス20の測定を開始すると、前述のとおり、火山ガス測定装置1000は、火山ガス20の吸引を開始する。火山ガス20の吸引を開始するときには、チャンバー200は、ポンプボックス310から供給される空気で満たされている。つまり、チャンバー200は、火山ガス測定装置1000が設置された大気から硫化ガスが除去された空気で満たされている。この状態から火山ガス20を吸引する。この火山ガス20を吸引しているS11の間も硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定する。
以上のような処理を繰り返すことで、火山ガス測定装置1000は、1回の測定で硫化ガスの濃度が低い状態から高い状態まで変化する各状態において成分濃度を測定することができる。つまり、火山ガス20の吸引を開始してからの時刻に応じて、硫化ガスの濃度は変化する。また、硫化ガスの濃度を測定している間、二酸化炭素の濃度も測定する。このため、硫化ガスの濃度に対応する二酸化炭素の濃度を測定することができる。この測定結果を制御部700に保存する。具体的には、図5に示すように、火山ガス20の吸引を開始してから時刻t1が経過したときの硫化ガスの濃度S1と、二酸化炭素の濃度C1とを測定する。時刻t2が経過したときも同様に硫化ガスの濃度S2と、二酸化炭素の濃度C2とを測定する。つまり、火山ガス20の吸引を開始してからの時刻に応じて、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定する。ここで、チャンバー200には火山ガス20が供給され続けるため、硫化ガスの濃度はS1よりもS2が高い。また、S2よりもS3が高い。それぞれの状態において、二酸化炭素の濃度も測定する。この結果を制御部700に保存する。
この測定結果を用いて、図9に示すように、回帰直線30を算出することができる。つまり、1回の測定において、回帰直線30を算出することができる。具体的には、図5に示すように、硫化ガスの濃度S1に対応する二酸化炭素の濃度C1が測定されている。これらの測定したデータを図9に示すようにグラフ化し、回帰直線30を算出する。このように、1回の測定において回帰直線30を算出できるため、大気の状態により二酸化炭素の濃度は変化するが、得られる回帰直線30はこの濃度変化の影響を受けない。一方、従来の火山ガス測定装置では、1回の測定では、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度との組み合わせを1回測定することしかできない。このため、図9に示すような回帰直線30の傾きを算出するためには、複数回の測定が必要である。この結果、大気の状態が変化することで二酸化炭素の濃度変化の影響を受ける。このように、火山ガス測定装置1000は、従来の火山ガス測定装置に比べて、大気の影響の小さい火山ガスの成分濃度の測定が可能になる。
また、火山ガス測定装置1000は、火山ガス20の成分濃度の測定を行わないときにガス導入管100を介して空気を排出することで、ガス導入管100への硫黄の堆積を抑制する。これにより、火山ガス測定装置1000は、従来の火山ガス測定装置では不可能であった噴気孔10の近傍による火山ガス20の成分濃度の測定が可能である。これにより、硫化ガスの濃度が高い火山ガス20の成分濃度の測定が可能である。例えば、硫化水素の濃度の場合、200ppmを超える値を測定できる。つまり、図9に示す横軸の硫化ガス濃度に対して測定できる範囲が、従来の火山ガス測定装置よりも広い。このことからも、従来の火山ガス測定装置よりも精度の高い回帰直線30を算出することができる。なお、S11、S12、S13の各期間は予め決められた期間である。
(実施の形態2)
実施の形態1では、火山ガス20の濃度測定を行わないときに、常にガス導入管100から空気を排出する例を示したが、これに限定されない。火山ガス20の濃度測定を行わないときに、所定の時間、ガス導入管100から空気を排出してもよい。実施の形態2では、測定開始時と測定終了時に所定の時間、ガス導入管100から空気を排出する動作を説明する。
図6に示すように、測定を開始するときに、まず、ガス導入管100から空気を排出する。具体的には、ポンプボックス310から空気を排出する。第2弁350は開放されているため、ポンプボックス310からチャンバー200に空気が供給される。これにより、ガス導入管100を介して空気が排出される。また、S21の期間、チャンバー200に空気を供給することで、チャンバー200内の気体は排出され、硫化ガスが除去されたポンプボックス310内の空気で満たされる。つまり、S21の期間は、ガス導入管100を介して空気を排出する排気ステップと言える。
S21の期間が経過した後、S22の期間に、火山ガス測定装置1000は、ガス導入管100から火山ガス20を吸引し、硫化ガスの濃度を測定する。具体的には、第2弁350を閉鎖する。これにより、ポンプボックス310からチャンバー200に空気が供給されなくなる。また、第1弁340が開放されているため、ポンプボックス310からエジェクタ320に空気が供給される。このため、チャンバー200内の気体が排気孔400から排出される。この結果、ガス導入管100の吸引口から火山ガス20が吸引される。これにより、チャンバー200内の硫化ガスの濃度が増加する。火山ガス20の吸引が開始されると、第1測定部500は硫化ガスの濃度を測定する。これにより、S22の期間に、第1測定部500は硫化ガスの濃度が低い状態から高い状態まで変化する各状態において測定することができる。
また、硫化ガスの濃度測定に合わせて、S22の期間に、第2測定部600は二酸化炭素の濃度も測定する。具体的には、第1ポンプ330も起動する。このため、チャンバー200の気体が、第2測定部600を介して、排気孔400から排出される。つまり、チャンバー200の気体が第2測定部600に流れ込む。これにより、第2測定部600は、チャンバー200内の気体に含まれる二酸化炭素の濃度を測定することができる。つまり、S22の期間は、硫化ガスの濃度と、二酸化炭素の濃度とを測定する測定ステップと言える。
S22の期間が経過した後、火山ガス測定装置1000は、第2測定部600内から測定していた気体を排出する。具体的には、第2弁350を開放し、チャンバー200にポンプボックス310内の空気を供給する。第1ポンプ330が第2測定部600内の気体を排出するため、S23の期間経過するとチャンバー200に供給された空気は第2測定部600内に満たされる。S23の期間は、第2測定部600の空気を入れ替える換気ステップと言える。
S23の期間が経過した後、火山ガス測定装置1000は、ガス導入管100から空気を排出し、硫黄の堆積を低減する。具体的には、第1ポンプ330を停止する。これにより、ポンプボックス310からチャンバー200に供給される空気は、ガス導入管100から排出される。このガス導入管100を介して空気を排出するS24の期間は、排気ステップと言える。
S24の期間が経過した後、ポンプボックス310からの空気の供給を停止する。つまり、火山ガス測定装置1000は、ガス導入管100からの空気の排出を停止する。また、ポンプボックス310は、エジェクタ320にも空気を供給しないため、ガス導入管100は火山ガス20を吸引しない。つまり、次に測定を開始するまでのS25の期間、火山ガス測定装置1000内の気体は停滞する。つまり、S25の期間は、停滞ステップと言える。
以上の動作を繰り返すことで、実施の形態1と同様に、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定できる。また、ガス導入管100を介して空気を排出することで、硫黄の堆積を抑制できる。さらに、ガス導入管100を介して空気を排出する時間が短くなるため、ポンプボックス310から空気を排出する量は少ない。言い換えると、ポンプボックス310が外部の空気を吸引する量が少ない。つまり、除去フィルタ315により腐食性ガスを除去する空気の量が少ない。このため、除去フィルタ315を長く使用することができる。なお、S21、S22、S23、S24の各期間は予め決められた期間である。
実施の形態2では、第1弁340が常に開放している例を示したが、これに限定されない。例えば、実施の形態1と同様に、第2弁350が開放しているときに、第1弁340を閉鎖してもよい。第1弁340を閉鎖することで、チャンバー200からエジェクタ320を介して排気孔400に排出される空気の量が少なくなる。また、第2弁350が開放しているときは、ポンプボックス310がチャンバー200に空気を供給する。つまり、第1弁340を閉鎖することで、チャンバー200に供給される空気が火山ガス測定装置1000の外部に排出される量が少なくなる。このため、ポンプボックス310が供給する空気の量を少なくすることができる。
また、ポンプボックス310が空気を供給しないとき、つまりS25の期間に第2弁350を開放している例を示したが、これに限定されない。例えば、第2弁350を閉じていてもよい。
実施の形態2では、第2測定部600からガスを排出した後にガス導入管100を介して空気を排出する排気ステップ、つまりS24の期間を設ける例を示したが、これに限定されない。ガス導入管100を介して空気が排出されればよく、第2測定部600から気体を排出すると同時にガス導入管100の吸引口から空気を排出してもよい。この場合、チャンバー200に供給する空気の量を、第2測定部600から排出する気体の量よりも多くする必要がある。
(実施の形態3)
実施の形態1、2では、ポンプボックス310内に1のポンプを備える例を示した。ポンプボックス310内に複数のポンプを備えていてもよい。ポンプボックス310内に2つのポンプを備える構成について説明する。
図7に示すように、ポンプボックス310Aは、第2ポンプ311と、第3ポンプ313と、除去フィルタ315とを備える。第2ポンプ311と、除去フィルタ315は、実施の形態1、2と同様に動作する。
第3ポンプ313は、第2ポンプ311が故障したときに起動し、第2ポンプ311の代わりとして動作する。具体的には、供給管360は、分岐点367で分岐し、一方が第2ポンプ311に接続され、他方が第3ポンプ313に接続されている。また、供給管360は、分岐点367と第3ポンプ313との間で分岐している。分岐した供給管360は、弁314を介してポンプボックス内に開放されている。このため、第2ポンプ311が正常に動作する場合は、実施の形態1、2と同様に動作することができる。第2ポンプ311が故障したときは、第3ポンプ313が起動する。第3ポンプ313は、ポンプボックス310内の空気を吸引し、供給管360に排出する。また、図7に示すように、弁314を開放することで、ポンプボックス310内の空気は循環する。このようにして、第2ポンプ311が故障したときに、第3ポンプ313が起動し、ポンプボックス310から空気を排出する。これにより、第2ポンプ311が故障したとしても、ポンプボックス310は正常に動作し、火山ガス測定装置1000は継続して火山ガスを測定することができる。
実施の形態3では、ポンプボックス310A内の供給管360に2つの弁312、314を備える例を示したが、1つの弁で構成してもよい。具体的には、実施の形態3では、弁312を分岐点367と第2ポンプ311との間に、弁314を分岐点367と第3ポンプ313との間に設けた。1つの弁で構成する場合、分岐点367よりも下流、つまり第2ポンプ311、第3ポンプ313の逆側に設ける。これにより、第2ポンプ311と第3ポンプ313のいずれを用いても、ポンプボックス310A内で空気を循環することができる。
また、ポンプボックス310A内は、第2ポンプ311と、第3ポンプ313の2つのポンプを備える例を示したが、3以上のポンプを備えていてもよい。具体的には、供給管360が分岐され各ポンプに接続されている。また、各ポンプに対して、ポンプボックス310A内で空気を循環させるための弁を設ける。これにより、3以上のポンプを備えるポンプボックス310Aを実現することができる。
(変形例)
上記実施の形態では、第1測定部500で、硫化ガスとして、硫化水素の濃度と二酸化硫黄の濃度とを測定する例を示したが、これに限定されない。硫化水素と二酸化硫黄とのいずれか一方の濃度を測定してもよい。いずれか一方の濃度を測定することで、図9に示すような回帰直線30を算出することができる。
上記実施の形態では、チャンバー200内の気体を吸引する吸引部として、エジェクタ320を備える例を示したが、これに限定されない。ポンプ部300が、チャンバー200内の気体を排気孔400に排出できればよく、任意の方法を選択することができる。例えば、チャンバー200内の気体を吸引し、排気孔400に排出するポンプを設けてもよい。この場合、ポンプは、腐食性ガスを含む火山ガス20を吸引するため、エジェクタ320を用いるよりも、火山ガス測定装置1000のメンテナンスの頻度が多くなる。言い換えると、エジェクタ320を用いることで、火山ガス測定装置1000のメンテナンスの頻度を少なくすることができる。
また、第1ポンプ330を用いて、第2測定部600から気体を排気孔400に排出する例を示したが、これに限定されない。第2測定部600から火山ガス20を排出できればよく、任意の方法を選択することができる。例えば、エジェクタを用いて、第2測定部600から気体を排出することもできる。
また、供給管360に第1弁340と第2弁350とを備える例を示したが、これに限定されない。ポンプボックス310からチャンバー200への空気の供給と、ポンプボックス310からエジェクタ320への空気の供給とを制御できればよい。例えば、図1に示す分岐点365に、1入力2出力の制御弁を設け、空気の供給を制御してもよい。
上記実施の形態では、定電位電解法と赤外線吸収法とを用いて硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定する例を示したが、これに限定されない。硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とが測定できる任意の方法を選択することができる。例えば、紫外線吸収法、溶液導電率法などを選択することができる。
上記実施の形態では、第2測定部600に除去フィルタ620を備える例を示したが、これに限定されない。CO測定器610と第1ポンプ330とが耐食性を有していれば、除去フィルタ620を備えなくてもよい。また、CO測定器610が耐食性を有していれば、硫化ガスの濃度測定と同様に、チャンバー200内の火山ガス20から直接、二酸化炭素の濃度を測定してもよい。
上記実施の形態では、一定周期で火山ガス20の成分濃度を測定する例を示したが、これに限定されない。例えば、ガス導入管100の吸引口に設けた温度計110が予め決められた温度より高い場合に測定を開始してもよい。噴気孔10から火山ガス20が噴出されると、ガス導入管100の吸引口に火山ガス20が吹き付けられる。このため、温度計110は高い温度を検知する。つまり、火山ガス20が噴出されたときに火山ガス20を測定することになる。火山ガス20の成分濃度を確実に測定することができるという効果を有する。
また、測定する期間、つまりS11とS22の期間は予め決められている例を示したが、これに限定されない。例えば、第1測定部500で測定した硫化ガスの濃度が予め決められた値を超えた場合に測定を終了してもよい。また、第2測定部600で測定した二酸化炭素の濃度が予め決められた値を超えた場合に測定を終了してもよい。
また、第2測定部600の気体を排出する期間、つまりS12とS23の期間は予め決められている例を示したが、これに限定されない。例えば、第2測定部600で二酸化炭素の濃度を測定し、予め決められた値より小さくなった場合に排出を終了してもよい。
(赤外線吸収法)
赤外線吸収法は、測定する対象の赤外領域における光吸収を利用する。具体的には、図10に示すように、光源2110から赤外線を測光器2130に照射する。この赤外線の光路上に試料ガスで満たした試料セル2120を配置する。このため、光源2110から照射された赤外線は、試料セル2120内の試料ガスで赤外線が吸収される。測光器2130で赤外線を測定することで、試料ガスによる吸収量を計測する。この吸収量から、試料ガスに含まれる特定の気体の濃度を算出する。ここで、試料セル2120に、試料ガスを吸引する吸引口2121と、試料ガスを排出する排出口2122を設ける。吸引口2121から連続して試料ガスを吸引することで、試料ガスに含まれる特定の気体の濃度を連続的に測定することができる。また、赤外線の波長は、測定する気体に応じて、変化させる。例えば、二酸化炭素の場合は、波長が4.26μmの赤外線を用いる。
(定電位電解法)
定電位電解法は、測定する対象を吸収させた電解質溶液に流れる電解電流からガスの濃度を計測する。電解質溶液に、参照電極と、作用電極と、対電極とが浸されている。参照電極と作用電極との間に一定の電圧を与える。この時に対電極に流れる電解電流を測定する。この電解電流はガスの濃度が高いほど高くなる。このため、電解電流を測定することで、ガスの濃度を計測することができる。
以上において説明した処理は一例であり、各ステップの順番、処理内容は、機能を阻害しない範囲で変更してもよい。また、説明した構成は、機能を阻害しない範囲で、任意に変更してもよい。
10 噴気孔
20 火山ガス
30 回帰直線
40 切片
100 ガス導入管
110 温度計
120 オートドレン
200 チャンバー
300 ポンプ部
310、310A ポンプボックス
311 第2ポンプ
312、314 弁
313 第3ポンプ
315 除去フィルタ
320 エジェクタ
330 第1ポンプ
340 第1弁
350 第2弁
360 供給管
365、367 分岐点
370 排気管
380 吸引管
400 排気孔
500 第1測定部
600 第2測定部
610 CO測定器
620 除去フィルタ
700 制御部
1000 火山ガス測定装置
2000 従来の火山ガス測定装置
2010 ガス導入管
2110 光源
2120 試料セル
2121 吸引口
2122 排出口
2130 測光器

Claims (10)

  1. 一端が外部に開放されているガス導入管と、
    前記ガス導入管の他端に接続されているチャンバーと、
    前記ガス導入管を介して外部から火山ガスを吸引しチャンバーに供給するポンプ部と、
    前記チャンバー内の火山ガスに含まれている硫化ガスの濃度を測定する第1測定部と、
    前記チャンバー内の火山ガスに含まれている二酸化炭素の濃度を測定する第2測定部と、
    を備え、
    前記ポンプ部は、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定しないときの所定の時間、外部から空気を吸引し前記チャンバーと前記ガス導入管とを介して外部に排出し、
    前記ポンプ部は、前記チャンバーの気体を前記第2測定部に吸引し、外部に排出し、
    前記第2測定部は、
    前記チャンバーから吸引された気体から腐食性ガスを除去する除去フィルタと、
    前記除去フィルタにより腐食性ガスが除去された気体の二酸化炭素の濃度を測定する測定器と、
    を備える
    火山ガス測定装置。
  2. 一端が外部に開放されているガス導入管と、
    前記ガス導入管の他端に接続されているチャンバーと、
    前記ガス導入管を介して外部から火山ガスを吸引しチャンバーに供給するポンプ部と、
    前記チャンバー内の火山ガスに含まれている硫化ガスの濃度を測定する第1測定部と、
    前記チャンバー内の火山ガスに含まれている二酸化炭素の濃度を測定する第2測定部と、
    を備え、
    前記ポンプ部は、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定しないときの所定の時間、外部から空気を吸引し前記チャンバーと前記ガス導入管とを介して外部に排出し、
    前記ポンプ部は、外部から空気を吸引し前記チャンバーを介して外部に排出したあと、前記火山ガスを吸引し、
    前記第1測定部と前記第2測定部とは、前記ガス導入管を介して前記火山ガスの吸引を開始するときから濃度を測定する
    火山ガス測定装置。
  3. 請求項2に記載の火山ガス測定装置であって、
    前記第1測定部と前記第2測定部とは、前記チャンバー内において吸引された前記火山ガスの割合が増加している間に複数回測定する
    火山ガス測定装置。
  4. 請求項1から3のいずれか1項に記載の火山ガス測定装置であって、
    前記ポンプ部は、
    硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定するときに前記チャンバー内の気体を排出することで前記ガス導入管を介して前記チャンバーに前記火山ガスを吸引し、
    硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定しないときの所定の時間、外部から前記チャンバー内に空気を供給することで、前記チャンバー内の気体を、前記ガス導入管を介して外部に排出する
    火山ガス測定装置。
  5. 請求項1から4のいずれか1項に記載の火山ガス測定装置であって、
    前記ポンプ部は、
    ポンプボックスと、
    硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定するときに、前記ガス導入管を介して外部から前記火山ガスを吸引する吸引部と
    を備え、
    前記ポンプボックスは、
    前記火山ガス測定装置の外部から空気を吸引する吸入口に、腐食性ガスを除去する除去フィルタと、
    前記ポンプボックス内の空気を吸引し、硫化ガスと二酸化炭素の濃度を測定しないときの所定の時間、前記チャンバーと前記ガス導入管とを介して外部に排出するポンプと
    を備える
    火山ガス測定装置。
  6. 請求項5に記載の火山ガス測定装置であって、
    前記吸引部はエジェクタを備え、
    前記ポンプは、前記ポンプボックス内の空気を吸引し、硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定するときに前記エジェクタに供給する
    火山ガス測定装置。
  7. 請求項6に記載の火山ガス測定装置であって、
    前記ポンプは、前記エジェクタに空気を供給しないとき、かつ、前記ガス導入管を介して外部に空気を排出しないときに、前記ポンプボックス内の空気を吸引し、前記ポンプボックス内に空気を供給する
    火山ガス測定装置。
  8. 請求項1から7のいずれか1項に記載の火山ガス測定装置であって、
    前記硫化ガスに硫化水素を含む
    火山ガス測定装置。
  9. 請求項1から8のいずれか1項に記載の火山ガス測定装置であって、
    前記硫化ガスに二酸化硫黄を含む
    火山ガス測定装置。
  10. 硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定しないときに、ガス導入管を介して空気を排出する排気ステップと、
    前記排気ステップのあと、前記ガス導入管を介して外部から火山ガスを吸引し、前記火山ガスの吸引を開始したときから硫化ガスの濃度と二酸化炭素の濃度とを測定する測定ステップと、
    含む火山ガスの測定方法。
JP2017087854A 2017-04-27 2017-04-27 火山ガス測定装置および測定方法 Active JP6923156B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017087854A JP6923156B2 (ja) 2017-04-27 2017-04-27 火山ガス測定装置および測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017087854A JP6923156B2 (ja) 2017-04-27 2017-04-27 火山ガス測定装置および測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018185247A JP2018185247A (ja) 2018-11-22
JP6923156B2 true JP6923156B2 (ja) 2021-08-18

Family

ID=64355643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017087854A Active JP6923156B2 (ja) 2017-04-27 2017-04-27 火山ガス測定装置および測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6923156B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7198078B2 (ja) * 2018-12-27 2022-12-28 株式会社堀場製作所 分析装置、分析方法、及びプログラム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018185247A (ja) 2018-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101791490B1 (ko) 전산화성 물질 농도의 측정 방법, 기판 세정 방법 및 기판 세정 시스템
JP6923156B2 (ja) 火山ガス測定装置および測定方法
CN104583755A (zh) 用于在线荧光计的流室
EP2507609A1 (en) Method for determining the optical measurement path length in a duct gas monitoring system
US20220298927A1 (en) Machine foam cleaning system with integrated sensing
KR102198919B1 (ko) 가스 측정 장치 및 그의 세척 방법
JP2007511757A (ja) 流体監視装置及び方法
JP6254985B2 (ja) レーザ光路内の不純ガスを監視するレーザ加工システム
KR20160142959A (ko) 에어백을 갖는 수질 자동 측정장치
KR102379547B1 (ko) 고온연소산화식 총유기탄소 측정기
TWI626441B (zh) 具有自動清潔及排淨能力的光離子偵測器的增益量測系統
JP2006317451A (ja) ガス試料の存在、濃度の計測方法、及びガスセンサ装置
JP5798230B1 (ja) 二酸化塩素ガスの濃度測定装置
JP2006313164A (ja) ガスセンサ装置及びガス計測方法
KR101302734B1 (ko) 유압 유량 버퍼를 가지는 총잔류 산화물 농도 센서
KR102074696B1 (ko) 휴대형 질소산화물 측정장치
KR20170009153A (ko) 회귀적 희석 기반의 악취 측정 장치
JP5668589B2 (ja) 水質分析装置
KR20070079695A (ko) 반도체 웨이퍼의 세정 설비
US20070268467A1 (en) Exposure apparatus and semiconductor device manufacturing method
KR20210145420A (ko) 탱크내 유체 레벨 감지장치
JP5243924B2 (ja) 気中塩分測定方法及びシステム
JP5403858B2 (ja) 差圧検出装置
JP2008104907A (ja) 湿式空気浄化システムの制御方法
KR20170127205A (ko) 가열 박리기

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170508

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200305

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210310

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210421

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210630

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210716

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6923156

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350