JP6919166B2

JP6919166B2 - Machine parts manufacturing method and watch manufacturing method

Info

Publication number: JP6919166B2
Application number: JP2016179250A
Authority: JP
Inventors: 剛夫舟川; 澁谷　宗裕; 宗裕澁谷
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2016-09-14
Filing date: 2016-09-14
Publication date: 2021-08-18
Anticipated expiration: 2036-09-14
Also published as: JP2018044836A

Description

本発明は、機械部品の製造方法、及び、時計の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing mechanical parts and a method for manufacturing a timepiece.

機械式時計等の時計には、歯車等に代表される数多くの機械部品（回転部品）が搭載されている。近時では、時計用の材料としてシリコンを有する基材が用いられるようなっている。シリコン製の機械部品は、金属製のものに比べて軽いことから、慣性力を小さくした部品の材料に好適となり、エネルギーの伝達効率の向上が見込まれる。また、シリコンは、形状の自由度が高く、加工精度を向上できるという利点もある。 Watches such as mechanical watches are equipped with a large number of mechanical parts (rotating parts) represented by gears and the like. Recently, a base material having silicon has been used as a material for watches. Since silicon mechanical parts are lighter than metal parts, they are suitable as materials for parts with reduced inertial force, and are expected to improve energy transfer efficiency. Further, silicon has an advantage that the degree of freedom in shape is high and the processing accuracy can be improved.

シリコン製の機械部品は、製造効率を向上させつつ、金属製の機械部品に比して機械的強度が低いことに対する改善を図ることができる製造方法の確立が求められている。例えば特許文献１に、ＳＯＩ基板を用いて、機械式時計用の機械部品（ひげぜんまい）を製造することにより、基材のエッチング後に個片化される部品の分散を防止する製造方法が記載されている。
また、特許文献１では、エッチングした後で、ＳＯＩ基板の犠牲層を除去したときに、基材に形成された複数の機械部品が分散してしまわないように、機械部品どうしを基材の一部として形成した接続部により接続する構成が記載されている。
また、特許文献２に、エッチング後の機械部品の表面にシリコン酸化膜を形成することによって、機械的強度が向上できることが記載されている。 It is required to establish a manufacturing method capable of improving the manufacturing efficiency of silicon machine parts and improving the mechanical strength of the silicon machine parts as compared with the metal machine parts. For example, Patent Document 1 describes a manufacturing method for preventing dispersion of parts that are separated after etching of a base material by manufacturing a mechanical part (hairspring) for a mechanical timepiece using an SOI substrate. ing.
Further, in Patent Document 1, when the sacrificial layer of the SOI substrate is removed after etching, the machine parts are one of the base materials so that the plurality of machine parts formed on the base material are not dispersed. A configuration for connecting by a connecting portion formed as a portion is described.
Further, Patent Document 2 describes that the mechanical strength can be improved by forming a silicon oxide film on the surface of a mechanical part after etching.

特開２０１５−１７９０１３号公報JP-A-2015-179013 特開２０１１−１８５９３２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-185932

しかしながら、特許文献１に記載の機械部品の製造方法では、犠牲層の除去など、製造工程が増えて煩雑になるとともに、ＳＯＩ基板が比較的高価なため、製造コストが増大する虞があった。
また、基材に形成された複数の機械部品を、接続部を折り取ることによって個片化する際に、接続部の折り取り部分の端面（切断面）に酸化膜が無いことにより信頼性が低下したり、接続部の折り取り部から機械部品部分に亀裂が生じて破損のきっかけになり得たりする虞があるという課題があった。 However, in the method for manufacturing a machine part described in Patent Document 1, the number of manufacturing steps such as removal of a sacrificial layer increases and the manufacturing process becomes complicated, and the SOI substrate is relatively expensive, so that the manufacturing cost may increase.
In addition, when a plurality of mechanical parts formed on a base material are separated by breaking off the connecting portion, reliability is achieved because there is no oxide film on the end surface (cut surface) of the broken portion of the connecting portion. There is a problem that it may be lowered or a crack may occur in the mechanical part portion from the cut-off portion of the connecting portion, which may trigger damage.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 The present invention has been made to solve at least a part of the above-mentioned problems, and can be realized as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例にかかる機械部品の製造方法は、シリコンを含む材料からなる機械部品の製造方法であって、シリコンを含む基材をエッチングして当該機械部品の母材を形成する工程と、前記母材をトレイに載置する工程と、前記母材を前記トレイに載置した状態で、酸化処理を行う工程と、を含むことを特徴とする。 [Application Example 1] The method for manufacturing a machine part according to this application example is a method for manufacturing a machine part made of a material containing silicon, and a base material containing silicon is etched to form a base material for the machine part. It is characterized by including a step, a step of placing the base material on a tray, and a step of performing an oxidation treatment with the base material placed on the tray.

本適用例において、機械部品の「母材」とは、基材をエッチングして形成された機械部品の原型であって、個片の機械部品とするにはさらに処理工程を経る必要がある状態であり、例えば、基材に形成された複数の機械部品が後工程で除去される接続部により接続されていたり、フォトレジストからなるエッチングマスク等、母材を形成する工程で用いられた樹脂材料が残っていたりする状態のことをいう。
また、シリコンを含む材料をエッチングすることにより形成される機械部品は、金属製の機械部品に比べて軽いとともに、形状の自由度が高く、加工精度が高いことが知られており、本適用例の酸化処理を行うことにより、基材表面に形成されるシリコン酸化膜によって、機械部品の機械的強度を向上させることができる。
本適用例によれば、母材をトレイに載置した状態で、後工程である酸化工程の処理を行うので、母材の状態から個片化した各機械部品が散乱するのを防止することができる。したがって、シリコンを含む基材からなる機械部品を、簡便な工程により、効率的に、且つ、精度よく形成することが可能な製造方法を提供することができる。 In this application example, the "base material" of a machine part is a prototype of a machine part formed by etching a base material, and it is necessary to go through a further processing process to make a machine part of an individual piece. A resin material used in a process of forming a base material, for example, a plurality of mechanical parts formed on a base material are connected by a connecting portion removed in a subsequent process, or an etching mask made of a photoresist or the like. It means the state where is left.
Further, it is known that a machine part formed by etching a material containing silicon is lighter than a metal machine part, has a high degree of freedom in shape, and has high processing accuracy. By performing the oxidation treatment of the above, the mechanical strength of the mechanical parts can be improved by the silicon oxide film formed on the surface of the base material.
According to this application example, since the base metal is placed on the tray and the oxidation step, which is a post-process, is performed, it is necessary to prevent the individual mechanical parts from being scattered from the state of the base metal. Can be done. Therefore, it is possible to provide a manufacturing method capable of efficiently and accurately forming a mechanical part made of a base material containing silicon by a simple process.

［適用例２］上記適用例にかかる機械部品の製造方法において、前記母材は、前記母材を形成する工程で用いられた樹脂材料を有し、前記母材を前記トレイに載置した状態で、プラズマ処理により前記樹脂材料を除去する除去工程を含むことを特徴とする。 [Application Example 2] In the method for manufacturing a machine part according to the above application example, the base material has a resin material used in the step of forming the base material, and the base material is placed on the tray. It is characterized by including a removal step of removing the resin material by plasma treatment.

本適用例において、母材の一方の面、及び、一方の面の反対側の他方の面の両面に樹脂材料が残っている場合に、母材をトレイに載置した状態で、プラズマ処理により樹脂材料を除去する除去工程を行えば、母材のトレイと対向する側の面に形成された樹脂材料に対してもプラズマが適切に作用して、樹脂材料を確実に除去できることを発明者等は見出した。
したがって、本適用例によれば、母材をトレイに載置した状態であることにより、母材から樹脂材料が除去されて個片化される機械部品の散乱を抑えながら、エッチング後の母材の樹脂材料を確実に除去することができる。 In this application example, when the resin material remains on both sides of one surface of the base material and the other surface on the opposite side of the one surface, the base material is placed on the tray and subjected to plasma treatment. The inventors have stated that if the removal step of removing the resin material is performed, the plasma acts appropriately on the resin material formed on the surface of the base material facing the tray, and the resin material can be reliably removed. Found.
Therefore, according to this application example, when the base material is placed on the tray, the resin material is removed from the base material and the scattering of the mechanical parts that are separated into individual pieces is suppressed, and the base material after etching is suppressed. Resin material can be reliably removed.

［適用例３］上記適用例にかかる機械部品の製造方法において、前記酸化処理を行う工程は、熱酸化処理を行うことを特徴とする。 [Application Example 3] In the method for manufacturing a machine part according to the above application example, the step of performing the oxidation treatment is characterized by performing a thermal oxidation treatment.

熱酸化処理によれば、十分な厚さの緻密な酸化膜を比較的短時間に形成することができるので、機械的強度の高い機械部品を効率よく製造することができる。 According to the thermal oxidation treatment, a dense oxide film having a sufficient thickness can be formed in a relatively short time, so that mechanical parts having high mechanical strength can be efficiently manufactured.

［適用例４］上記適用例にかかる機械部品の製造方法において、前記トレイは、シリコンを含む材料により形成されていることを特徴とする。 [Application Example 4] In the method for manufacturing a machine part according to the above application example, the tray is made of a material containing silicon.

シリコンは、シリコンを含む基材と同様に熱酸化処理に対する耐熱性を有しているとともに、比較的安価で、加工性も良好なため、トレイの材料として好適である。 Silicon is suitable as a material for trays because it has heat resistance to thermal oxidation treatment like a base material containing silicon, is relatively inexpensive, and has good workability.

［適用例５］上記適用例にかかる機械部品の製造方法において、前記トレイは、前記基材に形成される前記母材の位置及び大きさに対応する形状の凹部及び仕切り枠を有することを特徴とする。 [Application Example 5] In the method for manufacturing a machine part according to the above application example, the tray is characterized by having a recess and a partition frame having a shape corresponding to the position and size of the base material formed on the base material. And.

本適用例において、「母材の位置及び大きさに対応する形状」とは、トレイが有する凹部及び仕切り枠上に母材を載置した状態で、母材に形成された複数の機械部品同士を接続する接続部を除去したときに、個片化された各機械部品が、凹部及び仕切り枠内に収まる形状であることを指す。
本適用例によれば、母材の接続部を除去して各機械部品が個片化されたときに、トレイ内における機械部品の散乱を抑えることができるとともに、各機械部品をトレイ内に整然と配置させた状態で、機械部品の製造工程における後工程や、機械部品を使用する例えば時計などの機械製造工程に部品を供給することができる。 In this application example, the "shape corresponding to the position and size of the base material" refers to a plurality of mechanical parts formed on the base material in a state where the base material is placed on the recesses and partition frames of the tray. It means that each of the individualized mechanical parts has a shape that fits in the recess and the partition frame when the connecting portion for connecting the above is removed.
According to this application example, when the connection part of the base material is removed and each machine part is separated into individual pieces, it is possible to suppress the scattering of the machine parts in the tray and to order each machine part in the tray. In the arranged state, the parts can be supplied to the post-process in the manufacturing process of the machine parts and the machine manufacturing process such as a clock that uses the machine parts.

［適用例６］上記適用例にかかる機械部品の製造方法において、前記トレイの厚み方向の最上面は、所定の粗さを有していることを特徴とする。 [Application Example 6] In the method for manufacturing a machine part according to the above application example, the uppermost surface of the tray in the thickness direction has a predetermined roughness.

本適用例によれば、エッチング上がりの母材をトレイに載置した状態で、上述した樹脂材料の除去を行うときに、トレイの母材と接触する面が所定の粗さを有しているので、粗い面であることによりトレイと母材との間に生じる隙間によりプラズマ処理が適切に行われ、樹脂材料の除去が確実に行われるという効果がある。 According to this application example, when the resin material described above is removed in a state where the base material after etching is placed on the tray, the surface in contact with the base material of the tray has a predetermined roughness. Therefore, since the surface is rough, the plasma treatment is appropriately performed by the gap generated between the tray and the base material, and there is an effect that the resin material is surely removed.

［適用例７］本適用例にかかる時計の製造方法は、香箱車、番車、がんぎ車、アンクル及びてんぷのいずれかに、上記適用例のいずれかに記載の機械部品の製造方法により製造された機械部品を用いてムーブメントを組み立てる組立工程を含むことを特徴とする。 [Application Example 7] The method for manufacturing a watch according to this application example may be any of a barrel wheel, a watch wheel, an escape wheel, ankle and a balance, and the method for manufacturing a machine part described in any one of the above application examples. It is characterized by including an assembly process of assembling the movement using the manufactured mechanical parts.

本適用例によれば、上記適用例のいずれかに記載の機械部品の製造方法により製造された機械部品を用いてムーブメントを組み立てる工程を含むので、金属製の機械部品に比べて軽く、慣性力を小さく抑えた機械部品により、エネルギーの伝達効率の高いムーブメントを構成することができる。
したがって、信頼性及び耐久性に優れた精度の高い時計を製造することができる。 According to this application example, since the movement is assembled using the machine parts manufactured by the method for manufacturing the machine parts according to any one of the above application examples, it is lighter than the metal machine parts and has an inertial force. It is possible to construct a movement with high energy transfer efficiency by using mechanical parts that keep the size small.
Therefore, it is possible to manufacture a highly accurate timepiece having excellent reliability and durability.

実施形態に係る時計のムーブメントの表側の平面図。Top view of the front side of the movement of the watch according to the embodiment. ムーブメントの脱進機構の平面図。Top view of the escape mechanism of the movement. 脱進機構の斜視図。Perspective view of the escape mechanism. 図２のＡ−Ａ線に沿う断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 機械部品としてのがんぎ歯車部の平面図。Top view of the escape gear part as a mechanical part. 機械部品の製造方法で用いるトレイを示す平面図。The plan view which shows the tray used in the manufacturing method of a machine part. 図６ＡのＢ−Ｂ線に沿う断面図。FIG. 6A is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 6A. 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。It is explanatory drawing for demonstrating the process of making a gear part, and is the sectional view corresponding to FIG. 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。It is explanatory drawing for demonstrating the process of making a gear part, and is the sectional view corresponding to FIG. 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。It is explanatory drawing for demonstrating the process of making a gear part, and is the sectional view corresponding to FIG. 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。It is explanatory drawing for demonstrating the process of making a gear part, and is the sectional view corresponding to FIG. 歯車部作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図。It is explanatory drawing for demonstrating the process of making a gear part, and is the sectional view corresponding to FIG. 歯車部作成工程における母材を示す平面図。The plan view which shows the base material in the process of making a gear part. 歯車部作成工程において、母材をトレイに載置した状態を示す平面図。The plan view which shows the state which the base material was placed on the tray in the process of making a gear part. 歯車部作成工程で製造されトレイに載置された歯車部を示す平面図。The plan view which shows the gear part manufactured in the gear part making process and placed on the tray.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、本実施形態では、本発明の機械部品の一例として、機械式時計のムーブメントにおける時計部品を構成する歯車の１つであるがんぎ車を例に挙げて説明する。また、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材について実際とは異なる尺度で示している場合がある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, as an example of the mechanical parts of the present invention, an escape wheel, which is one of the gears constituting the clock parts in the movement of the mechanical timepiece, will be described as an example. Further, in each of the following figures, in order to make each layer and each member recognizable in size, each layer and each member may be shown on a scale different from the actual one.

［機械式時計］
はじめに、機械式時計１について説明する。図１は、本実施形態に係る時計としての機械式時計１のムーブメント１０の表側の平面図である。
図１に示すように、本実施形態の機械式時計１は、ムーブメント１０と、このムーブメント１０を収納する図示しないケーシングと、により構成されている。 [Mechanical watch]
First, the mechanical timepiece 1 will be described. FIG. 1 is a plan view of the front side of the movement 10 of the mechanical timepiece 1 as the timepiece according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1, the mechanical timepiece 1 of the present embodiment includes a movement 10 and a casing (not shown) for accommodating the movement 10.

ムーブメント１０は、基板を構成する地板１１を有している。この地板１１の裏側には図示しない文字板が配されている。なお、ムーブメント１０の表側に組み込まれる輪列を表輪列と称し、ムーブメント１０の裏側に組み込まれる輪列を裏輪列と称する。
地板１１には、巻真案内穴１１ａが形成されており、ここに巻真１２が回転自在に組み込まれている。この巻真１２は、おしどり１３、かんぬき１４、かんぬきばね１５及び裏押さえ１６を有する切換装置により、軸方向の位置が決められている。また、巻真１２の案内軸部には、きち車１７が回転自在に設けられている。 The movement 10 has a main plate 11 that constitutes a substrate. A dial (not shown) is arranged on the back side of the main plate 11. The train wheel incorporated on the front side of the movement 10 is referred to as a front train wheel train, and the train wheel train incorporated on the back side of the movement 10 is referred to as a back train wheel train.
A winding stem guide hole 11a is formed in the main plate 11, and the winding stem 12 is rotatably incorporated therein. The position of the winding stem 12 in the axial direction is determined by a switching device having a mandarin duck 13, a mandarin duck 14, a mandarin duck spring 15, and a back retainer 16. Further, a wheel 17 is rotatably provided on the guide shaft portion of the winding stem 12.

このような構成のもと、巻真１２が、回転軸方向に沿ってムーブメント１０の内側に一番近い方の第１の巻真位置（０段目）にある状態で巻真１２を回転させると、図示しないつづみ車の回転を介してきち車１７が回転する。そして、このきち車１７が回転することにより、これと噛合う丸穴車２０が回転する。そして、この丸穴車２０が回転することにより、これと噛合う角穴車２１が回転する。さらに、この角穴車２１が回転することにより、香箱車２２に収容された図示しないぜんまい（動力源）を巻き上げる。 Under such a configuration, the winding stem 12 is rotated in a state where the winding stem 12 is located at the first winding stem position (0th step) closest to the inside of the movement 10 along the rotation axis direction. Then, the wheel 17 rotates through the rotation of the wheel (not shown). Then, as the wheel 17 rotates, the round hole wheel 20 that meshes with the wheel 17 rotates. Then, as the round hole wheel 20 rotates, the square hole wheel 21 that meshes with the round hole wheel 20 rotates. Further, the rotation of the square hole wheel 21 winds up a fern (power source) (not shown) housed in the barrel wheel 22.

ムーブメント１０の表輪列は、上述した香箱車（機械部品）２２の他に、所謂番車と呼ばれる二番車（機械部品）２５、三番車（機械部品）２６及び四番車（機械部品）２７により構成されており、香箱車２２の回転力を伝達する機能を果している。また、ムーブメント１０の表側には、表輪列の回転を制御するための脱進機構３０及び調速機構３１が配置されている。 In addition to the incense box wheel (mechanical parts) 22 described above, the front wheel train of the movement 10 has a so-called number wheel (machine parts) 25, a third wheel (machine parts) 26, and a fourth wheel (machine parts). ) 27, and functions to transmit the rotational force of the incense box wheel 22. Further, on the front side of the movement 10, an escape mechanism 30 and a speed governor 31 for controlling the rotation of the front wheel train are arranged.

二番車２５は、香箱車２２に噛合う歯車とされている。三番車２６は、二番車２５に噛合う歯車とされている。四番車２７は、三番車２６に噛合う歯車とされている。
脱進機構３０は、上述した表輪列の回転を制御する機構であって、四番車２７と噛合うがんぎ車（機械部品）３５と、このがんぎ車３５を脱進させて規則正しく回転させるアンクル（機械部品）３６と、を備えている。
調速機構３１は、上述した脱進機構３０を調速する機構であって、てんぷ（機械部品）４０を具備している。 The second wheel 25 is a gear that meshes with the barrel wheel 22. The third wheel 26 is a gear that meshes with the second wheel 25. The fourth wheel 27 is a gear that meshes with the third wheel 26.
The escape mechanism 30 is a mechanism for controlling the rotation of the front wheel train described above, and escapes the escape wheel (mechanical parts) 35 that meshes with the fourth wheel 27 and the escape wheel 35. It includes an ankle (mechanical part) 36 that rotates regularly.
The speed governor 31 is a mechanism for governing the escape mechanism 30 described above, and includes a balance with hairspring (mechanical parts) 40.

＜脱進機構＞
次に、上述したムーブメント１０の脱進機構３０について、より詳細に説明する。図２は脱進機構３０の平面図であり、図３は脱進機構３０の斜視図、図４は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図２〜図４に示すように、脱進機構３０のがんぎ車３５は、がんぎ歯車部（回転体）１０１と、がんぎ歯車部１０１に同軸（軸線Ｏ１）上に固定された軸部材（回転軸）１０２と、を備えている。以下の説明では、がんぎ歯車部１０１及び軸部材１０２の軸線Ｏ１に沿う方向を単に軸方向、軸線Ｏ１に直交する方向を径方向といい、軸線Ｏ１回りに周回する方向を周方向という。 <Escape mechanism>
Next, the escape mechanism 30 of the movement 10 described above will be described in more detail. FIG. 2 is a plan view of the escape mechanism 30, FIG. 3 is a perspective view of the escape mechanism 30, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
As shown in FIGS. 2 to 4, the escape wheel 35 of the escape mechanism 30 is fixed coaxially (axis line O1) to the escape gear portion (rotating body) 101 and the escape gear portion 101. It is provided with a shaft member (rotating shaft) 102. In the following description, the direction along the axis O1 of the escape gear portion 101 and the shaft member 102 is simply referred to as an axial direction, the direction orthogonal to the axis O1 is referred to as a radial direction, and the direction orbiting around the axis O1 is referred to as a circumferential direction.

図５は、機械部品としてのがんぎ歯車部１０１の平面図である。
図２〜図５に示すように、がんぎ歯車部１０１は、表面１０１ａ及び裏面１０１ｂが平坦面とされるとともに、全面に亘って均一な厚みとされた板状のものである。具体的に、がんぎ歯車部１０１は、周囲のリム部１１１と、中央のハブ部１１２と、これらリム部１１１及びハブ部１１２を連結する複数のスポーク部１１３と、を有している。
リム部１１１の外周面には、特殊な鉤型状に形成された複数の歯部１１４が径方向の外側に向けて突設されている。これら複数の歯部１１４の先端に、後述するアンクル３６の爪石１４４ａ，１４４ｂが接触するようになっている。
なお、かんぎ歯車部１０１は、単結晶シリコン等、結晶方位を有する材料からなる。 FIG. 5 is a plan view of the escape gear portion 101 as a mechanical part.
As shown in FIGS. 2 to 5, the escape gear portion 101 has a plate-like shape in which the front surface 101a and the back surface 101b are flat surfaces and have a uniform thickness over the entire surface. Specifically, the escape gear portion 101 has a peripheral rim portion 111, a central hub portion 112, and a plurality of spoke portions 113 connecting the rim portion 111 and the hub portion 112.
On the outer peripheral surface of the rim portion 111, a plurality of tooth portions 114 formed in a special hook shape are projected outward in the radial direction. The claw stones 144a and 144b of the ankle 36, which will be described later, come into contact with the tips of the plurality of tooth portions 114.
The kan gear portion 101 is made of a material having a crystal orientation, such as single crystal silicon.

図３〜図５に示すように、ハブ部１１２は、リム部１１１の内側に配置された円板形状のものであり、その中央部分には軸方向に貫通する貫通孔１１５が形成されている。この貫通孔１１５は、平面視で円形状とされ、軸方向に沿って表面１０１ａから裏面１０１ｂに貫通されている。 As shown in FIGS. 3 to 5, the hub portion 112 has a disk shape arranged inside the rim portion 111, and a through hole 115 penetrating in the axial direction is formed in the central portion thereof. .. The through hole 115 has a circular shape in a plan view, and penetrates from the front surface 101a to the back surface 101b along the axial direction.

各スポーク部１１３は、ハブ部１１２の外周縁からリム部１１１の内周縁に向かって放射状に延在しており、リム部１１１及びハブ部１１２を連結している。 Each spoke portion 113 extends radially from the outer peripheral edge of the hub portion 112 toward the inner peripheral edge of the rim portion 111, and connects the rim portion 111 and the hub portion 112.

軸部材１０２は、軸方向両端部に位置するほぞ部１２１ａ，１２１ｂと、上述した四番車２７の歯車部に噛合わされるがんぎかな部１２２と、を有している。
ほぞ部１２１ａ，１２１ｂのうち、軸方向一端側に位置する一端ほぞ部１２１ａは、図示しない輪列受に回転可能に支持され、軸方向他端側に位置する他端ほぞ部１２１ｂは、上述した地板１１に回転可能に支持されている。 The shaft member 102 has tenon portions 121a and 121b located at both ends in the axial direction, and a stubborn portion 122 that is meshed with the gear portion of the fourth wheel 27 described above.
Of the tenons 121a and 121b, one end mortise 121a located on one end side in the axial direction is rotatably supported by a train wheel receiver (not shown), and the other end tenon 121b located on the other end side in the axial direction is described above. It is rotatably supported by the main plate 11.

がんぎかな部１２２は、軸部材１０２において、一端ほぞ部１２１ａ寄りに形成されている。そして、がんぎかな部１２２が四番車２７（図１参照）に噛合わされることで、四番車２７の回転力が軸部材１０２に伝達されがんぎ車３５が回転するようになっている。 The stubborn portion 122 is formed in the shaft member 102 at one end closer to the tenon portion 121a. Then, when the escape wheel portion 122 is meshed with the fourth wheel 27 (see FIG. 1), the rotational force of the fourth wheel 27 is transmitted to the shaft member 102, and the escape wheel 35 rotates. ing.

圧入軸部１２３は、上述した各ほぞ部１２１ａ，１２１ｂよりも大径に形成されるとともに、がんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５内に、裏面１０１ｂ側から挿通されている。この場合、圧入軸部１２３は、その一部ががんぎ歯車部１０１から軸方向他端側に向けて突出した状態で、貫通孔１１５内に配置されている。 The press-fit shaft portion 123 is formed to have a diameter larger than that of the tenon portions 121a and 121b described above, and is inserted into the through hole 115 of the escape gear portion 101 from the back surface 101b side. In this case, the press-fitting shaft portion 123 is arranged in the through hole 115 in a state in which a part thereof protrudes from the escape gear portion 101 toward the other end side in the axial direction.

また、軸部材１０２のうち、がんぎかな部１２２と圧入軸部１２３との間には、径方向の外側に向けて突出するフランジ部１２４が形成されている。フランジ部１２４は、貫通孔１１５の裏面１０１ｂ側の開口よりも大径とされ、その軸方向他端側に位置する端面がハブ部１１２の裏面１０１ｂに当接している。 Further, in the shaft member 102, a flange portion 124 that protrudes outward in the radial direction is formed between the stubborn portion 122 and the press-fit shaft portion 123. The flange portion 124 has a diameter larger than the opening on the back surface 101b side of the through hole 115, and the end surface located on the other end side in the axial direction is in contact with the back surface 101b of the hub portion 112.

このように構成されたがんぎ車３５は、複数の歯部１１４がアンクル３６に噛合うようになっている（図２参照）。アンクル３６は、３つのアンクルビーム１４３によってＴ字状に形成されたアンクル体１４２ｄと、アンクル真１４２ｆと、を備えたもので、軸であるアンクル真１４２ｆによってアンクル体１４２ｄが回動可能に構成されている。なお、アンクル真１４２ｆは、その両端が上述した地板１１及び図示しないアンクル受に対してそれぞれ回動可能に支持されている。 In the escape wheel 35 configured in this way, a plurality of tooth portions 114 mesh with the ankle 36 (see FIG. 2). The pallet fork 36 includes an pallet fork 142d formed in a T shape by three pallet fork beams 143 and an pallet fork 142f, and the pallet fork 142d is rotatably configured by the pallet fork 142f which is an axis. ing. Both ends of the pallet fork 142f are rotatably supported by the above-mentioned main plate 11 and the pallet fork receiver (not shown).

３つのアンクルビーム１４３のうち２つのアンクルビーム１４３の先端には、爪石１４４ａ，１４４ｂが設けられ、残り１つのアンクルビーム１４３の先端には、アンクルハコ１４５が取り付けられている。爪石１４４ａ，１４４ｂは、四角柱状に形成されたルビーであり、接着剤等によりアンクルビーム１４３に接着固定されている。 Claw stones 144a and 144b are provided at the tips of two ankle beams 143 out of the three ankle beams 143, and ankle jewels 145 are attached to the tips of the remaining one ankle beam 143. The claw stones 144a and 144b are rubies formed in a square columnar shape, and are adhesively fixed to the ankle beam 143 with an adhesive or the like.

このように構成されたアンクル３６は、アンクル真１４２ｆを中心に回動した際に、爪石１４４ａあるいは爪石１４４ｂが、がんぎ車３５の歯部１１４の先端に接触するようになっている。また、この際、アンクルハコ１４５が取り付けられたアンクルビーム１４３が、図示しないドテピンに接触するようになっており、これによってアンクル３６は、同方向にそれ以上回動しないようになっている。その結果、がんぎ車３５の回転も一時的に停止するようになっている。 In the pallet fork 36 configured in this way, when the pallet fork 36 is rotated around the pallet fork 142f, the claw stone 144a or the claw stone 144b comes into contact with the tip of the tooth portion 114 of the escape wheel 35. .. Further, at this time, the ankle beam 143 to which the ankle haco 145 is attached comes into contact with a dote pin (not shown), whereby the ankle 36 does not rotate any more in the same direction. As a result, the rotation of the escape wheel 35 is also temporarily stopped.

［がんぎ車の製造方法］
次に、上述したがんぎ車３５の製造方法について説明する。
図７Ａ〜図７Ｅは、がんぎ歯車部１０１の作成工程を説明するための説明図であって、図４に相当する断面図である。 [Manufacturing method of escape wheel]
Next, the manufacturing method of the escape wheel 35 described above will be described.
7A to 7E are explanatory views for explaining the manufacturing process of the escape gear portion 101, and are cross-sectional views corresponding to FIG.

図７Ａにおいて、がんぎ車３５のがんぎ歯車部１０１の作成工程では、まず、シリコンを含む基材（ウェハー）２００を準備し、次いで、例えばスピンコート法やスプレーコート法等により、基材２００の一方の面である表面２００ａに、感光性を有するフォトレジスト２１１を塗布し、基材２００の一方の面の反対側の他方の面である裏面１０１ｂに、裏面コート材２２１を塗布する。フォトレジスト２１１は、ネガ型、及びポジ型のいずれの材料も採用することができる。また、裏面コート材２２１は、後述するエッチングする工程で基材２００をエッチングするときに、基材２００の裏面２００ｂをエッチングから保護できるマスク性能を有して、且つ、エッチングする工程の後の樹脂を除去する除去工程で、確実に除去できる性質の樹脂材料を選択する。
基材２００に塗布したフォトレジスト２１１及び裏面コート材２２１の各々は所定の温度によるキュアを行うが、フォトレジスト２１１のキュア条件と裏面コート材２２１のキュア条件との差が大きい場合等には、フォトレジスト２１１と裏面コート材２２１とで別々にキュアを行い、フォトレジスト２１１のキュア条件と裏面コート材２２１のキュア条件とが同じか近似であれば、キュア工程を同時に行うことにより工程の効率化を図ることができる。
なお、基材２００の表面２００ａに塗布するフォトレジスト２１１と、基材２００の裏面２００ｂに塗布する裏面コート材２２１との塗布する順番は、各樹脂材料のキュア条件を考慮した工程順の設定などの便宜上にて決定すればよい。 In FIG. 7A, in the step of creating the escape gear portion 101 of the escape wheel 35, first, a base material (wafer) 200 containing silicon is prepared, and then the base material (wafer) 200 is prepared by, for example, a spin coating method or a spray coating method. The photosensitive photoresist 211 is applied to the front surface 200a, which is one surface of the material 200, and the back surface coating material 221 is applied to the back surface 101b, which is the other surface opposite to one surface of the base material 200. .. As the photoresist 211, either a negative type or a positive type material can be adopted. Further, the back surface coating material 221 has a masking performance capable of protecting the back surface 200b of the base material 200 from etching when the base material 200 is etched in the etching process described later, and is a resin after the etching process. In the removal step, a resin material with properties that can be reliably removed is selected.
Each of the photoresist 211 and the back surface coating material 221 applied to the base material 200 is cured at a predetermined temperature, but when the difference between the curing conditions of the photoresist 211 and the curing conditions of the back surface coating material 221 is large, etc. If the photoresist 211 and the back surface coating material 221 are cured separately and the curing conditions of the photoresist 211 and the back surface coating material 221 are the same or similar, the efficiency of the process is improved by performing the curing process at the same time. Can be planned.
The order of coating the photoresist 211 to be applied to the front surface 200a of the base material 200 and the back surface coating material 221 to be applied to the back surface 200b of the base material 200 is set in a process order in consideration of the curing conditions of each resin material. It may be decided for the convenience of.

次に、フォトレジスト２１１に対してフォトリソグラフィー技術により、露光をした後に現像を行うことにより、図７Ｂに示すように、がんぎ歯車部１０１の平面視外形に対応するマスク（エッチングマスク）としてのフォトレジストパターン２１２を形成する。ここで、図中フォトレジストパターン２１２の開口２１２ａは、がんぎ歯車部１０１の貫通孔１１５に対応する。 Next, as shown in FIG. 7B, the photoresist 211 is developed as a mask (etching mask) corresponding to the outer shape of the escape gear portion 101 in a plan view by exposing the photoresist 211 to a photolithography technique and then developing the photoresist. The photoresist pattern 212 of the above is formed. Here, the opening 212a of the photoresist pattern 212 in the drawing corresponds to the through hole 115 of the escape gear portion 101.

次に、図７Ｃに示すように、フォトレジストパターン２１２をマスクとして基材２００にエッチングを施すことで、後述するがんぎ歯車部１０１（図７Ｅ参照）の外形を含む母材３５０を形成する。 Next, as shown in FIG. 7C, the base material 200 is etched using the photoresist pattern 212 as a mask to form a base material 350 including the outer shape of the escape gear portion 101 (see FIG. 7E) described later. ..

ここで、母材３５０について詳細に説明する。図８は、がんぎ歯車部１０１作成工程における母材３５０を示す平面図である。なお、図７Ｃは、図８のｃ−ｃ線断面図に相当する。これらの図に示すように、機械部品としてのがんぎ歯車部１０１の「母材３５０」とは、基材２００をエッチングして形成され、個片のがんぎ歯車部１０１とするにはさらに処理工程を経る必要がある状態であり、本実施形態では、基材２００をエッチングすることにより形成された複数の機械部品であるがんぎ歯車部１０１が、後工程で除去される裏面コート材２２１（「接続部」として機能する）により接続されていたり、フォトレジスト２１１からなるマスク（エッチングマスク）としてのフォトレジストパターン２１２等の、母材３５０を形成する工程で用いられた樹脂材料が残っていたりする状態のことをいう。 Here, the base material 350 will be described in detail. FIG. 8 is a plan view showing the base material 350 in the process of creating the escape gear portion 101. Note that FIG. 7C corresponds to the cross-sectional view taken along the line cc of FIG. As shown in these figures, the "base material 350" of the escape gear portion 101 as a mechanical part is formed by etching the base material 200 to form an individual escape gear portion 101. In this embodiment, the escape gear portion 101, which is a plurality of mechanical parts formed by etching the base material 200, is removed in a subsequent step. A resin material used in the process of forming the base material 350, such as a photoresist pattern 212 as a mask (etching mask) made of a photoresist 211 or connected by a material 221 (which functions as a "connecting portion"). It refers to the state in which it remains.

なお、母材３５０を形成するエッチング工程は、具体的には、ディープ・リアクティブ・イオンエッチング（ＤＲＩＥ＝Deep Reactive Ion Etching）を行い、基材２００を厚さ方向に貫通するようにエッチングすることで、がんぎ歯車部１０１の外形形状を得ることができる。ここで、フォトレジストパターン２１２の開口２１２ａにより形成される貫通孔１１５等の貫通部分の内面（内壁）は、基材２００の裏面２００ｂに形成された裏面コート材２２１で保護されているために、裏面２００ｂからエッチングされることなく、貫通部の内面形状が変化することはない。
また、上述したように、裏面コート材２２１は、エッチングにより個片化される複数のがんぎ歯車部１０１（機械部品）同士を接続する接続部として機能し、エッチング後に個片化されたがんぎ歯車部１０１が散乱するのを防止することができる。 Specifically, in the etching step of forming the base metal 350, deep reactive ion etching (DRIE = Deep Reactive Ion Etching) is performed, and the base material 200 is etched so as to penetrate in the thickness direction. Therefore, the outer shape of the etching gear portion 101 can be obtained. Here, since the inner surface (inner wall) of the through portion such as the through hole 115 formed by the opening 212a of the photoresist pattern 212 is protected by the back surface coating material 221 formed on the back surface 200b of the base material 200, The inner surface shape of the penetrating portion does not change without being etched from the back surface 200b.
Further, as described above, the back surface coating material 221 functions as a connecting portion for connecting a plurality of escape gear portions 101 (machine parts) that are separated by etching, and is separated after etching. It is possible to prevent the etching gear portion 101 from being scattered.

次いで、エッチングにより形成された機械部品としてのがんぎ歯車部１０１の母材３５０は、図７Ｄに示すように、トレイ５０に載置する。 Next, the base material 350 of the escape gear portion 101 as a mechanical component formed by etching is placed on the tray 50 as shown in FIG. 7D.

図６Ａは、本実施形態の機械部品（がんぎ歯車部１０１）の製造方法で用いるトレイ５０を示す平面図であり、図６Ｂは、図６ＡのＢ−Ｂ線に沿う断面図である。また、図９は、母材３５０をトレイ５０に載置した状態を示す平面図である。上述した図７Ｄは、図９のｄ−ｄ線断面図に相当する。 FIG. 6A is a plan view showing a tray 50 used in the method for manufacturing a mechanical part (slip gear portion 101) of the present embodiment, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 6A. Further, FIG. 9 is a plan view showing a state in which the base material 350 is placed on the tray 50. FIG. 7D described above corresponds to the cross-sectional view taken along the line dd of FIG.

これらの図に示すように、トレイ５０は、上述した工程にて基材２００を処理することにより形成された母材３５０の位置及び大きさに対応する形状の凹部５１及び仕切り枠５２を有している。ここで、母材３５０の位置及び大きさに対応する形状とは、図９に示すように、トレイ５０が有する凹部５１及び仕切り枠５２上に母材３５０を載置した状態で、母材３５０に形成された複数のがんぎ歯車部１０１（機械部品）同士を接続している接続部として機能する裏面コート材２２１を除去したときに、個片化された各がんぎ歯車部１０１が、凹部５１及び仕切り枠５２内に収まる形状であることを指す。
なお、トレイ５０は、基材２００と同様なシリコンを含む材料からなる。 As shown in these figures, the tray 50 has a recess 51 and a partition frame 52 having a shape corresponding to the position and size of the base material 350 formed by processing the base material 200 in the above-mentioned process. ing. Here, the shape corresponding to the position and size of the base material 350 is, as shown in FIG. 9, the base material 350 in a state where the base material 350 is placed on the recess 51 and the partition frame 52 of the tray 50. When the back surface coating material 221 that functions as a connecting portion connecting the plurality of escape gear portions 101 (machine parts) formed in the above is removed, each escape gear portion 101 that has been separated into individual pieces becomes , Refers to a shape that fits within the recess 51 and the partition frame 52.
The tray 50 is made of a silicon-containing material similar to the base material 200.

また、本実施形態のトレイ５０は、トレイ５０の厚み方向の最上面である仕切り枠５２の上面５２ａが、所定の粗さを有している。 Further, in the tray 50 of the present embodiment, the upper surface 52a of the partition frame 52, which is the uppermost surface of the tray 50 in the thickness direction, has a predetermined roughness.

図７Ｄに戻り、エッチングにより形成された母材３５０をトレイ５０に載置した状態で、次に、フォトレジスト２１１によるフォトレジストパターン２１２、及び、裏面コート材２２１を除去する除去工程の処理を行うことにより、図７Ｅに示すように、上述した機械部品としてのがんぎ歯車部１０１を得ることができる。除去工程での樹脂の除去は、酸素プラズマアッシング等のプラズマ処理により行う。母材３５０をトレイ５０に載置した状態で行う酸素プラズマアッシングによる樹脂除去工程によれば、基材２００（がんぎ歯車部１０１）のトレイ５０と対向する側の面である裏面２００ｂに形成された裏面コート材２２１に対してもプラズマが十分に作用して、裏面コート材２２１を問題なく除去できることを発明者等は見出した。なお、基材２００の表面２００ａがトレイと対向する側の面となるように基材２００をトレイ５０に載置した場合でも、同様の効果が得られることを発明者等は確認した。 Returning to FIG. 7D, with the base material 350 formed by etching placed on the tray 50, a removing step of removing the photoresist pattern 212 by the photoresist 211 and the back surface coating material 221 is performed. As a result, as shown in FIG. 7E, the escape gear portion 101 as the above-mentioned mechanical component can be obtained. The resin is removed in the removal step by plasma treatment such as oxygen plasma ashing. According to the resin removal step by oxygen plasma ashing performed with the base material 350 placed on the tray 50, the base material 200 (slip gear portion 101) is formed on the back surface 200b, which is the surface facing the tray 50. The inventors have found that the plasma acts sufficiently on the back surface coating material 221 and the back surface coating material 221 can be removed without any problem. The inventors have confirmed that the same effect can be obtained even when the base material 200 is placed on the tray 50 so that the surface 200a of the base material 200 faces the tray.

ここで、上述したように、本実施形態のトレイ５０は、基材２００により形成された機械部品としてのがんぎ歯車部１０１を含む母材３５０の各部位の位置及び大きさに対応する形状の凹部５１及び仕切り枠５２を有している。これにより、トレイ５０が有する凹部５１及び仕切り枠５２上に母材３５０を載置した状態で、母材３５０の裏面コート材２２１を除去して個片化された各がんぎ歯車部１０１（機械部品）が凹部５１及び仕切り枠５２内に収まり、トレイ５０内における機械部品の散乱を抑えることができる。 Here, as described above, the tray 50 of the present embodiment has a shape corresponding to the position and size of each part of the base material 350 including the escape gear portion 101 as a mechanical part formed by the base material 200. It has a recess 51 and a partition frame 52. As a result, each escape gear portion 101 (individualized by removing the back surface coating material 221 of the base material 350 while the base material 350 is placed on the recess 51 and the partition frame 52 of the tray 50 ( The mechanical parts) can be accommodated in the recess 51 and the partition frame 52, and the scattering of the mechanical parts in the tray 50 can be suppressed.

また、上述したように、本実施形態のトレイ５０は、トレイ５０の厚み方向の最上面である仕切り枠５２の上面５２ａが所定の粗さを有している。これにより、母材３５０をトレイ５０に載置した状態で、裏面コート材２２１の除去を行うときに、トレイ５０の母材３５０と接触する面になる上面５２ａが所定の粗さを有する面であることにより、トレイ５０の上面５２ａと母材３５０との間に生じる隙間によりプラズマ処理が適切に行われ、裏面コート材２２１の除去が確実に行われるという効果が得られる。 Further, as described above, in the tray 50 of the present embodiment, the upper surface 52a of the partition frame 52, which is the uppermost surface of the tray 50 in the thickness direction, has a predetermined roughness. As a result, when the back surface coating material 221 is removed while the base material 350 is placed on the tray 50, the upper surface 52a, which is the surface that comes into contact with the base material 350 of the tray 50, has a predetermined roughness. As a result, the plasma treatment is appropriately performed by the gap formed between the upper surface 52a of the tray 50 and the base material 350, and the effect that the back surface coating material 221 is surely removed can be obtained.

次いで、樹脂材料の除去工程後にトレイ５０の凹部５１及び仕切り枠５２内に収まって載置された状態で、シリコンを含む基材２００の材料からなるがんぎ歯車部１０１の表面に、二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）からなるシリコン酸化膜を形成する酸化処理を行う。なお、酸化処理は、大気圧にて酸化処理を行う装置を用いた大気圧熱酸化をがんぎ歯車部１０１の表面に対して行うことが望ましい。大気圧熱酸化によれば、がんぎ歯車部１０１のトレイ５０と接触する側の面に対しても、他の部位と差異なく良好なシリコン酸化膜形成が行えることを発明者等は見出した。
この酸化処理により、がんぎ歯車部１０１の表面に形成されるシリコン酸化膜によって、がんぎ歯車部１０１（機械部品）の機械的強度を向上させることができるので、耐久性が高く、優れた信頼性を有するがんぎ歯車部１０１（機械部品）を提供することができる。 Next, after the step of removing the resin material, silicon dioxide is placed on the surface of the escape gear portion 101 made of the material of the base material 200 containing silicon in a state of being placed in the recess 51 of the tray 50 and the partition frame 52. Oxidation treatment is performed to form a silicon oxide film composed of (SiO _2). As for the oxidation treatment, it is desirable to perform atmospheric pressure thermal oxidation on the surface of the escape gear portion 101 using an apparatus that performs the oxidation treatment at atmospheric pressure. According to the atmospheric pressure thermal oxidation, the inventors have found that a good silicon oxide film can be formed on the surface of the escape gear portion 101 on the side in contact with the tray 50 without any difference from other portions. ..
By this oxidation treatment, the silicon oxide film formed on the surface of the escape gear portion 101 can improve the mechanical strength of the escape gear portion 101 (mechanical parts), so that the durability is high and excellent. It is possible to provide an escape gear portion 101 (mechanical part) having high reliability.

また、がんぎ歯車部１０１（機械部品）を酸化処理する工程は、８００℃以上の高温で熱酸化処理を行うことが好ましい。
熱酸化処理によれば、十分な厚さの緻密なシリコン酸化膜（ＳｉＯ₂）を比較的短時間に形成することができるので、機械的強度の高いがんぎ歯車部１０１等の機械部品を効率よく製造することができる。
ここで、上述したように、トレイ５０は、基材２００と同様なシリコンを含む材料により形成されている。シリコンを含む材料からなるトレイ５０は、シリコンを含む基材２００と同様に後述する熱酸化処理などの高温の処理に対する耐熱性を有しているとともに、比較的安価で、加工性も良好なため、トレイ５０の材料として好適である。 Further, in the step of oxidizing the escape gear portion 101 (machine part), it is preferable to perform the thermal oxidation treatment at a high temperature of 800 ° C. or higher.
According to the thermal oxidation treatment, a dense silicon oxide film (SiO ₂ ) having a sufficient thickness can be formed in a relatively short time, so that mechanical parts such as escape gears 101 having high mechanical strength can be formed. It can be manufactured efficiently.
Here, as described above, the tray 50 is made of a material containing silicon similar to the base material 200. The tray 50 made of a material containing silicon has heat resistance to high-temperature treatment such as thermal oxidation treatment, which will be described later, like the base material 200 containing silicon, is relatively inexpensive, and has good workability. , Suitable as a material for the tray 50.

図１０は、がんぎ歯車部１０１作成工程で製造されトレイ５０に載置された歯車部を示す平面図である。この図に示すように、本実施形態のトレイ５０を用いた機械部品の製造方法によれば、各機械部品（がんぎ歯車部１０１）をトレイ５０内に整然と配置させた状態で、機械部品の製造工程における後工程や、機械部品を使用する例えば時計などの機械製造工程に部品を供給することができる。 FIG. 10 is a plan view showing a gear portion manufactured in the process of creating the escape gear portion 101 and placed on the tray 50. As shown in this figure, according to the method for manufacturing a machine part using the tray 50 of the present embodiment, the machine parts are arranged in an orderly manner in the tray 50. Parts can be supplied to the post-process in the manufacturing process of the above and to the machine manufacturing process such as a clock that uses the machine parts.

以上に述べた、本実施形態のがんぎ歯車部１０１（機械部品）の製造方法によれば、以下の効果を得ることができる。
本実施形態によれば、シリコンを含む材料からなる基材２００を、標準的なフォトリソグラフィー技術及びエッチングを用いて加工することにより、比較的簡便な工程で、精密な機械部品であるがんぎ歯車部１０１を製造することができる。
また、シリコンを含む基材２００を本実施形態の製造方法により加工して形成されるがんぎ歯車部１０１などの精密な機械部品は、金属製の機械部品に比べて軽いとともに、形状の自由度が高く、高精度な外形形状の形成ができるという利点を有する。したがって、精度が高く、軽量な機械式時計の製造に寄与できる機械部品を製造することができる。 According to the method for manufacturing the escape gear portion 101 (machine part) of the present embodiment described above, the following effects can be obtained.
According to this embodiment, the base material 200 made of a material containing silicon is processed by using standard photolithography technology and etching, so that it is a precision mechanical part in a relatively simple process. The gear portion 101 can be manufactured.
Further, the precision mechanical parts such as the escape gear portion 101 formed by processing the base material 200 containing silicon by the manufacturing method of the present embodiment are lighter than the metal mechanical parts and have a free shape. It has the advantage of being able to form a highly accurate outer shape with a high degree of freedom. Therefore, it is possible to manufacture mechanical parts that can contribute to the manufacture of a highly accurate and lightweight mechanical timepiece.

［機械式時計の製造方法］
次に、本発明の機械式時計の製造方法について説明する。
本発明の機械式時計の製造方法は、図１〜図５のいずれかに示す香箱車２２、番車（二番車２５、三番車２６、四番車２７）、がんぎ車３５、アンクル３６及びてんぷ４０のいずれかに、上記実施形態のがんぎ歯車部１０１を代表例として説明した機械部品の製造方法のいずれかにより製造された機械部品を用いて、ムーブメント１０を組み立てる組立工程を含むことを特徴とするものである。 [Manufacturing method of mechanical watches]
Next, a method for manufacturing the mechanical timepiece of the present invention will be described.
The method for manufacturing the mechanical clock of the present invention includes an incense box car 22, a number wheel (second wheel 25, a third wheel 26, a fourth wheel 27), and an escape wheel 35, as shown in any of FIGS. 1 to 5. An assembly step of assembling the movement 10 by using any of the pallet fork 36 and the balance with hairspring 40 by any of the mechanical parts manufacturing methods described with the escape gear portion 101 of the above embodiment as a typical example. It is characterized by including.

このような機械式時計１の製造方法によれば、上記実施形態に記載の機械部品の製造方法により製造された機械部品を用いてムーブメント１０を組み立てる工程を含むので、金属製の機械部品に比べて軽く、慣性力を小さく抑えた機械部品により、エネルギーの伝達効率の高いムーブメント１０を構成することができる。
したがって、信頼性及び耐久性に優れた精度の高い機械式時計を提供することができる。 According to such a method for manufacturing the mechanical watch 1, the step of assembling the movement 10 using the mechanical parts manufactured by the method for manufacturing the mechanical parts according to the above embodiment is included, so that the movement is compared with the mechanical parts made of metal. The movement 10 with high energy transfer efficiency can be constructed by mechanical parts that are light and have a small inertial force.
Therefore, it is possible to provide a highly accurate mechanical timepiece having excellent reliability and durability.

以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。 Although the embodiment of the present invention made by the inventor has been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are made without departing from the gist thereof. Is possible.

１…機械式時計、１０…ムーブメント、１１…地板、１１ａ…巻真案内穴、１２…巻真、１７…きち車、２０…丸穴車、２１…角穴車、２２…香箱車、２５…二番車、２６…三番車、２７…四番車、３０…脱進機構、３１…調速機構、３５…機械部品としてのがんぎ車、３６…アンクル、４０…てんぷ、５０…トレイ、５１…凹部、５２…仕切り枠、５２ａ…トレイの厚み方向の最上面である上面、１０１…がんぎ歯車部、１０２…軸部材、１１１…リム部、１１２…ハブ部、１１３…スポーク部、１１４…歯部、１１５…貫通孔、１２１ａ…一端ほぞ部、１２１ｂ…他端ほぞ部、１２２…がんぎかな部、１２３…圧入軸部、１２４…フランジ部、１４２ｄ…アンクル体、１４２ｆ…アンクル真、１４３…アンクルビーム、１４４ａ，１４４ｂ…爪石、１４５…アンクルハコ、２００…基材、２００ａ…一方の面としての表面、２００ｂ…他方の面としての裏面、２１１…フォトレジスト、２１２…フォトレジストパターン、２１２ａ…開口、２２１…裏面コート材、３５０…母材。 1 ... Mechanical clock, 10 ... Movement, 11 ... Main plate, 11a ... Winding guide hole, 12 ... Winding, 17 ... Spoke, 20 ... Round hole, 21 ... Square hole, 22 ... Spoke, 25 ... 2nd wheel, 26 ... 3rd wheel, 27 ... 4th wheel, 30 ... escape mechanism, 31 ... speed control mechanism, 35 ... escape wheel as mechanical parts, 36 ... ankle, 40 ... balance, 50 ... tray , 51 ... concave, 52 ... partition frame, 52a ... upper surface which is the uppermost surface in the thickness direction of the tray, 101 ... escape gear part, 102 ... shaft member, 111 ... rim part, 112 ... hub part, 113 ... spoke part , 114 ... tooth part, 115 ... through hole, 121a ... one end spoke part, 121b ... other end part, 122 ... stubborn part, 123 ... press-fitting shaft part, 124 ... flange part, 142d ... ankle body, 142f ... Ankle true, 143 ... ankle beam, 144a, 144b ... claw stone, 145 ... ankle flange, 200 ... base material, 200a ... front surface as one surface, 200b ... back surface as the other surface, 211 ... photoresist, 212 ... photo Resist pattern, 212a ... opening, 221 ... back surface coating material, 350 ... base material.

Claims

A method for manufacturing machine parts made of materials containing silicon.
The process of etching a base material containing silicon to form a base material for the machine part,
The process of placing the base material on the tray and
Including a step of performing an oxidation treatment with the base material placed on the tray.
The base material has a resin material used in the step of forming the base material, and has a resin material.
A method for manufacturing a machine part, which comprises a removal step of removing the resin material by plasma treatment while the base material is placed on the tray.

In the method for manufacturing a machine part according to claim 1,
The step of performing the oxidation treatment is a method for manufacturing a machine part, which comprises performing a thermal oxidation treatment.

In the method for manufacturing a machine part according to claim 1 or 2.
A method for manufacturing a machine part, wherein the tray is made of a material containing silicon.

In the method for manufacturing a machine part according to claim 1 or 2.
A method for manufacturing a machine part, wherein the tray has a recess and a partition frame having a shape corresponding to the position and size of the base material formed on the base material.

In the method for manufacturing a machine part according to claim 4,
A method for manufacturing a machine part, wherein the uppermost surface of the tray in the thickness direction has a predetermined roughness.