JP6917757B2 - 外観検査装置、表面処理システム、外観検査方法、プログラム、および投射材交換判断方法 - Google Patents
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Description
検査対象物Wkは、例えば、鍛造や鋳造により形成された金属部品である。検査対象物Wkの表面は微小な凹凸を有する梨地状、すなわち、艶消し状態である。換言すれば、検査対象物Wkの表面は、光を乱反射しつつ、光沢を有する。検査対象物Wkの表面の光沢度は、好ましくは、約20〜約60である。光沢度とは、正反射光の割合や、拡散反射光の方向分布等に注目して、物体表面の光沢の程度を一次元的に表す指標である。光沢度は、JIS等の工業規格の光沢度測定方法に準拠した光沢計を利用して測定される。
図1を参照して、投射装置2の構成を説明する。投射装置2は、投射材により検査対象物Wkの表面を処理する装置であり、チャンバ20と、投射部21と、投射材供給部22と、投射材回収部23と、投射材貯留部24と、供給制御部25と、を備える。
投射装置2により表面処理が施された検査対象物Wkは、図1中の矢印AR1に示すように、外観検査装置3へ搬送され、外観検査装置3において検査対象物Wkの表面が検査される。投射装置2から外観検査装置3への搬送は、ベルトコンベアやロボットアーム等の搬送装置によって行われても良いし、パレットに積載された検査対象物Wkをオペレータが搬送しても良い。また、投射装置2と外観検査装置3は隣接して配置される必要はなく、離れた場所に配置されても良い。例えば、投射装置2と外観検査装置3が、別々の建屋に配置されても良い。
の画像(正確には、画像を示すデータ)を取得する。画像データは記憶部402に保存さ
れる。
図4は、表面処理システム1が行う各種工程を示すフローチャートである。以下、欠陥候補検出部403、交換判断部404および閾値決定部405の機能を、表面処理システム1の動作の流れに沿って説明する。
上記の一連の動作では、記憶部402に予め交換判断工程S13で用いる所定の閾値に関する閾値データ913が記憶されていた。次に、閾値決定部405が所定の閾値を決定し、閾値データ913として記憶部402に記憶する動作について、説明する。これらの動作は、表面処理システム1において定期的に行われても良いし、オペレータから入力部42に入力される閾値決定指示に基づいて行われても良い。
2 投射装置
3 外観検査装置
4 制御部
8 記録媒体
20 チャンバ
21 投射部
22 投射材供給部
23 投射材回収部
24 投射材貯留部
25 供給制御部
26 開閉弁
27 パイプ
30 本体
31 撮像部
32,33 光照射部
34 保持部
41 表示部
42 入力部
80 プログラム
124 固定ディスク
127 読取装置
128 通信部
201 保持部
211 投射材
221 パイプ
401 撮像制御部
402 記憶部
403 欠陥候補検出部
404 交換判断部
405 閾値決定部
810 撮像画像
811 欠陥検査対象領域
812 交換検査対象領域
813 欠陥候補領域
820 参照画像
821 欠陥参照領域
822 交換参照領域
911 撮像画像データ
912 参照画像データ
913 閾値データ
914 結果データ
Ath (過検出率の)閾値
Bth (明るさの差異の)閾値
S10 表面処理工程
S11 画像準備工程
S12 欠陥候補検出工程
S13 交換判断工程
S14 表示工程
S15 交換工程
Sig1 投射材交換信号
Wk 検査対象物、処理対象物
Claims (6)
- 投射材により表面処理が施された検査対象物の表面を検査する外観検査装置であって、
前記検査対象物の表面を撮像して撮像画像を取得する撮像部と、
前記撮像画像に対応する参照画像を記憶する記憶部と、
前記撮像画像と、前記参照画像と、に基づいて、前記撮像画像に含まれる欠陥候補領域を検出する欠陥候補検出部と、
前記撮像画像における検査対象領域の明るさと、前記参照画像において前記検査対象領域と対応する参照領域の明るさと、に基づいて、前記投射材の交換が必要か否かを判断する交換判断部と、
前記欠陥候補検出部により前記欠陥候補領域が検出された前記撮像画像における前記検査対象領域の明るさと、前記欠陥候補領域が真に欠陥を含むか否かに関する情報と、に基づいて、所定の閾値を決定する閾値決定部と、
を備え、
前記交換判断部は、前記検査対象領域の明るさと、前記参照領域の明るさと、の差異が、前記所定の閾値以上となる場合に、前記投射材の交換が必要と判断する、ことを特徴とする、外観検査装置。 - 請求項1に記載の外観検査装置であって、
前記交換判断部は、前記投射材の交換が必要と判断した場合に、投射材交換信号を出力する、
ことを特徴とする、外観検査装置。 - 請求項2に記載の外観検査装置と、
前記投射材により前記検査対象物の表面を処理する投射装置と、
を備え、
前記投射装置は、
前記検査対象物へ前記投射材を加速して投射する投射部と、
前記投射部へ前記投射材を供給する投射材供給部と、
前記投射部から投射された前記投射材を回収し、回収した前記投射材を前記投射材供給部へ搬送する投射材回収部と、
前記投射材を貯留し、前記投射材供給部へ前記投射材を供給する投射材貯留部と、
前記投射材貯留部から前記投射材供給部への前記投射材の供給を制御する供給制御部と、
を有し、
前記供給制御部は、前記投射材交換信号が入力されると、前記投射材貯留部から前記投射材供給部への前記投射材の供給を行わせる、
ことを特徴とする、表面処理システム。 - 投射材により表面処理が施された検査対象物の表面を検査する外観検査方法であって、
前記検査対象物の表面を撮像した撮像画像と、前記撮像画像に対応する参照画像を準備する準備工程と、
前記撮像画像と、前記参照画像と、に基づいて、前記撮像画像に含まれる欠陥候補領域を検出する欠陥候補検出工程と、
前記撮像画像における検査対象領域の明るさと、前記参照画像において前記検査対象領域と対応する参照領域の明るさと、に基づいて、前記投射材の交換が必要か否かを判断する交換判断工程と、
を備え、
前記交換判断工程において、前記検査対象領域の明るさと、前記参照領域の明るさと、の差異が、所定の閾値以上となる場合に、前記投射材の交換が必要と判断し、
前記欠陥候補検出工程において前記欠陥候補領域が検出された前記撮像画像における前記検査対象領域の明るさと、前記欠陥候補領域が真に欠陥を含むか否かに関する情報とに基づき前記所定の閾値を設定する、ことを特徴とする、外観検査方法。 - コンピュータに、投射材により表面処理が施された検査対象物の表面を検査させるプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記プログラムに、
前記検査対象物の表面を撮像した撮像画像と、前記撮像画像に対応する参照画像とを準備する準備工程と、
前記撮像画像と、前記参照画像と、に基づいて、前記撮像画像に含まれる欠陥候補領域を検出する欠陥候補検出工程と、
前記撮像画像における検査対象領域の明るさと、前記参照画像において前記検査対象領域と対応する参照領域の明るさと、に基づいて、前記投射材の交換が必要か否かを判断する交換判断工程と、
を実行させるとともに、
前記プログラムは、
前記交換判断工程において、前記検査対象領域の明るさと、前記参照領域の明るさと、の差異が、所定の閾値以上となる場合に、前記投射材の交換が必要と判断し、
前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記プログラムにさらに、
前記欠陥候補抽出工程により前記欠陥候補領域が検出された前記撮像画像における前記検査対象領域の明るさと、前記欠陥候補領域が真に欠陥を含むか否かに関する情報とに基づき前記所定の閾値の決定を実行させる、ことを特徴とするプログラム。 - 投射装置における投射材の交換の要否を判断する投射材交換判断方法であって、
前記投射材により表面を処理する処理対象物の表面を撮像した撮像画像と、前記撮像画像に対応する参照画像とを準備する準備工程と、
前記撮像画像と、前記参照画像と、に基づいて、前記撮像画像に含まれる欠陥候補領域を検出する欠陥候補検出工程と、
前記撮像画像における検査対象領域の明るさと、前記参照画像において前記検査対象領域と対応する参照領域の明るさと、に基づいて、前記投射材の交換が必要か否かを判断する交換判断工程と、
を備え、
前記欠陥候補検出工程では、前記検査対象領域の明るさと、前記参照領域の明るさと、の差異が、所定の閾値以上となる場合に、前記投射材の交換が必要と判断し、
前記欠陥候補検出工程により前記欠陥候補領域が検出された前記撮像画像における前記検査対象領域の明るさと、前記欠陥候補領域が真に欠陥を含むか否かに関する情報とに基づき前記所定の閾値を設定する、ことを特徴とする、投射材交換判断方法。
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