JP6915670B2 - Inkjet head, inkjet recording device and manufacturing method of inkjet head - Google Patents
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Description
本発明は、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。 The present invention relates to an inkjet head, an inkjet recording device, and a method for manufacturing an inkjet head.
従来、インクジェットヘッドに備えられた複数のノズルからインクの液滴を射出して記録媒体に画像を形成するインクジェット記録装置が知られている。
このようなインクジェット記録装置では、インクジェットヘッド内に発生した気泡や混入した異物等によって、ノズルが詰まり、射出不良等の問題が生じる場合がある。また、インクの種類によっては、長時間使用しないままにしておくと、インク粒子の沈降等によってノズル付近のインク粘度が高まり、安定したインクの射出性能が得難い場合がある。
Conventionally, there is known an inkjet recording device that ejects ink droplets from a plurality of nozzles provided in an inkjet head to form an image on a recording medium.
In such an inkjet recording device, bubbles generated in the inkjet head, foreign substances mixed in, and the like may clog the nozzles, causing problems such as injection defects. Further, depending on the type of ink, if the ink is left unused for a long period of time, the viscosity of the ink in the vicinity of the nozzle may increase due to sedimentation of ink particles, and it may be difficult to obtain stable ink ejection performance.
そこで、インクジェットヘッドのヘッドチップにインクの循環が可能な循環流路を設けることによって、ヘッド内の気泡等をインクとともに当該循環流路に流すことができるインクジェット記録装置が知られている。 Therefore, there is known an inkjet recording device capable of flowing air bubbles or the like in the head together with ink in the circulation flow path by providing a circulation flow path capable of circulating ink in the head chip of the inkjet head.
例えば、特許文献1には、インクを循環させるための循環流路と、圧力室に共通にインクを供給する供給液室を備え、当該供給流路が圧力室の左右方向の領域に設けられているインクジェットヘッドが開示されている。
For example,
また、特許文献2には、インクを循環させるための循環流路と複数のアクチュエーターを設けたヘッドチップと、当該アクチュエーターからの導電線が接続された集積回路をヘッドチップの上面端部に備えたインクジェットヘッドが開示されている。
Further,
ところで、近年、インクジェットの小型化や画像の高解像度化のため、ノズルを高密度に配置することが求められている。しかしながら、特許文献1に記載のインクジェットヘッドでは、ヘッドチップ内部に比較的大きな容積の循環流路及び供給液室が必要となるので、大型化しやすく、ノズルを高密度に配置することが難しいという問題がある。
By the way, in recent years, in order to reduce the size of inkjet and increase the resolution of images, it is required to arrange nozzles at high density. However, the inkjet head described in
また、特許文献2に記載のインクジェットヘッドでは、アクチュエーターからの配線をヘッドチップの端に引き出して集積回路を実装しているため、限られたスペースに導電線を高密度で設ける必要がある。そのため、高密度でノズル及びアクチュエーターを設けた場合、導電線の細密化で電気抵抗が高くなり、発熱の要因になるため、小型化が難しいという問題がある。また、チップの外側に集積回路を実装しているため、装置が大型化しやすく、製造に使用する材料の増加により、生産コストが増加するという問題もある。
Further, in the inkjet head described in
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、小型で高解像度化でき、生産コストを低減できる、インクの循環が可能な流路を有するインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is an inkjet head or an inkjet having a flow path capable of circulating ink, which can be compact, have high resolution, and can reduce production costs. The present invention provides a method for manufacturing a recording device and an inkjet head.
上記課題の解決のために、請求項1に記載の発明は、
インクを射出する複数のノズルと、
前記複数のノズルの各々に連通路を介して連通し、インクが貯留される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、対応する前記圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記連通路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な複数の個別循環流路と、
を備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の圧力発生手段が配置される基板の上面に、前記複数の圧力発生手段の各々に接続する個別配線が列状に配置され、当該個別配線と所定の電装部材とが接続された実装部と、
前記基板の前記実装部が設けられた側と反対側に設けられ、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路と、
前記複数の圧力室の上部に設けられ、前記複数の圧力室の各々に共通に供給するインクを貯留する共通供給液室と、を備え、
前記実装部と前記共通循環流路は、前記複数のノズルのインクの射出方向において、少なくとも一部が重なる位置に設けられており、
前記複数のノズル、前記複数の圧力室、及び前記複数の圧力発生手段が、それぞれ4列以上の複数列で配列されており、
前記複数列のうち2列毎に前記実装部及び前記共通循環流路が設けられており、
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力発生手段から、当該2列に対応する一の前記実装部に前記個別配線が引き出されており、
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力室に連通する前記個別循環流路が、当該2列に対応する一の前記共通循環流路に連通されており、
前記所定の電装部材は、フレキシブルプリント基板であり、
前記共通供給液室には、前記フレキシブルプリント基板を当該共通供給液室の外側に引き出すための空間部が設けられており、
前記共通供給液室は単一空間で形成されており、前記フレキシブルプリント基板の間に前記共通供給液室の一部があり、
前記複数列のうち隣り合う2列の上部に単一の前記共通供給液室が設けられていることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the invention according to
Multiple nozzles that eject ink and
A plurality of pressure chambers communicating with each of the plurality of nozzles via a communication passage and storing ink, and a plurality of pressure chambers.
A plurality of pressure generating means provided corresponding to each of the plurality of pressure chambers and applying pressure to the ink in the corresponding pressure chambers.
A plurality of individual circulation passages that are branched from the communication passage and are capable of discharging ink in the plurality of pressure chambers, and a plurality of individual circulation passages.
In the inkjet head equipped with
On the upper surface of the substrate on which the plurality of pressure generating means are arranged, individual wirings connected to each of the plurality of pressure generating means are arranged in a row, and a mounting portion in which the individual wirings and a predetermined electrical member are connected. When,
A common circulation flow path provided on the side opposite to the side on which the mounting portion of the substrate is provided and in which at least two of the plurality of individual circulation flow paths communicate with each other.
A common supply liquid chamber provided above the plurality of pressure chambers and storing ink commonly supplied to each of the plurality of pressure chambers is provided.
The mounting portion and the common circulation flow path are provided at positions where at least a part of the mounting portion and the common circulation flow path overlap in the ink ejection directions of the plurality of nozzles.
The plurality of nozzles, the plurality of pressure chambers, and the plurality of pressure generating means are arranged in a plurality of rows of four or more rows, respectively.
The mounting portion and the common circulation flow path are provided in every two rows of the plurality of rows.
In any two of the plurality of rows, the individual wiring is drawn from each of the pressure generating means to one of the mounting portions corresponding to the two rows.
In any two of the plurality of rows, the individual circulation flow path communicating with each pressure chamber is communicated with one common circulation flow path corresponding to the two rows.
The predetermined electrical member is a flexible printed circuit board.
The common supply liquid chamber is provided with a space for pulling out the flexible printed circuit board to the outside of the common supply liquid chamber.
The common feed chamber is formed by a single space, a part of the common feed chamber there between the flexible printed circuit board is,
A single common supply liquid chamber is provided above two adjacent rows of the plurality of rows .
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のインクジェットヘッドであって、前記共通循環流路の面の一部は、前記共通循環流路内の圧力変動に応じて弾性変形するダンパーからなることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載のインクジェットヘッドであって、
前記共通循環流路に、当該共通循環流路の前記インクの射出方向の対向する面を連結する連結部が形成されており、
前記対向する面の一方は、前記ダンパーからなることを特徴とする。
また、上記課題の解決のために、請求項4に記載の発明は、
インクを射出する複数のノズルと、
前記複数のノズルの各々に連通路を介して連通し、インクが貯留される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、対応する前記圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記連通路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な複数の個別循環流路と、
を備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の圧力発生手段が配置される基板の上面に、前記複数の圧力発生手段の各々に接続する個別配線が列状に配置され、当該個別配線と所定の電装部材とが接続された実装部と、
前記基板の前記実装部が設けられた側と反対側に設けられ、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路と、
前記複数の圧力室の上部に設けられ、前記複数の圧力室の各々に共通に供給するインクを貯留する共通供給液室と、を備え、
前記実装部と前記共通循環流路は、前記複数のノズルのインクの射出方向において、少なくとも一部が重なる位置に設けられており、
前記複数のノズル、前記複数の圧力室、及び前記複数の圧力発生手段が、それぞれ4列以上の複数列で配列されており、
前記複数列のうち2列毎に前記実装部及び前記共通循環流路が設けられており、
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力発生手段から、当該2列に対応する一の前記実装部に前記個別配線が引き出されており、
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力室に連通する前記個別循環流路が、当該2列に対応する一の前記共通循環流路に連通されており、
前記所定の電装部材は、フレキシブルプリント基板であり、
前記共通供給液室には、前記フレキシブルプリント基板を当該共通供給液室の外側に引き出すための空間部が設けられており、
前記共通供給液室は単一空間で形成されており、前記フレキシブルプリント基板の間に前記共通供給液室の一部があり、
前記共通循環流路の面の一部は、前記共通循環流路内の圧力変動に応じて弾性変形するダンパーからなり、
前記共通循環流路に、当該共通循環流路の前記インクの射出方向の対向する面を連結する連結部が形成されており、
前記対向する面の一方は、前記ダンパーからなることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項2〜4のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記ダンパーの前記共通循環流路側とは反対側に空気室が設けられていることを特徴とする。
また、上記課題の解決のために、請求項6に記載の発明は、
インクを射出する複数のノズルと、
前記複数のノズルの各々に連通路を介して連通し、インクが貯留される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、対応する前記圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記連通路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な複数の個別循環流路と、
を備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の圧力発生手段が配置される基板の上面に、前記複数の圧力発生手段の各々に接続する個別配線が列状に配置され、当該個別配線と所定の電装部材とが接続された実装部と、
前記基板の前記実装部が設けられた側と反対側に設けられ、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路と、
前記複数の圧力室の上部に設けられ、前記複数の圧力室の各々に共通に供給するインクを貯留する共通供給液室と、を備え、
前記実装部と前記共通循環流路は、前記複数のノズルのインクの射出方向において、少なくとも一部が重なる位置に設けられており、
前記複数のノズル、前記複数の圧力室、及び前記複数の圧力発生手段が、それぞれ4列以上の複数列で配列されており、
前記複数列のうち2列毎に前記実装部及び前記共通循環流路が設けられており、
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力発生手段から、当該2列に対応する一の前記実装部に前記個別配線が引き出されており、
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力室に連通する前記個別循環流路が、当該2列に対応する一の前記共通循環流路に連通されており、
前記所定の電装部材は、フレキシブルプリント基板であり、
前記共通供給液室には、前記フレキシブルプリント基板を当該共通供給液室の外側に引き出すための空間部が設けられており、
前記共通供給液室は単一空間で形成されており、前記フレキシブルプリント基板の間に前記共通供給液室の一部があり、
前記共通循環流路の面の一部は、前記共通循環流路内の圧力変動に応じて弾性変形するダンパーからなり、
前記ダンパーの前記共通循環流路側とは反対側に空気室が設けられていることを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項2〜4のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記複数のノズルが設けられたノズル基板を備え、
前記ダンパーは、前記ノズル基板の一部からなることを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、請求項2〜7のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記ダンパーの少なくとも一部は、前記複数のノズルのインクの射出方向において、前記実装部と重なる位置に設けられていることを特徴とする。
請求項9に記載の発明は、請求項1〜8のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記基板はシリコンによって形成され、
前記複数の圧力発生手段の各々は、薄膜状の電極及び薄膜状の圧電体を有することを特徴とする。
The invention according to
The invention according to
A connecting portion for connecting the facing surfaces of the common circulation flow path in the ink ejection direction is formed in the common circulation flow path.
One of the facing surfaces is characterized by being composed of the damper.
Further, in order to solve the above problems, the invention according to
Multiple nozzles that eject ink and
A plurality of pressure chambers communicating with each of the plurality of nozzles via a communication passage and storing ink, and a plurality of pressure chambers.
A plurality of pressure generating means provided corresponding to each of the plurality of pressure chambers and applying pressure to the ink in the corresponding pressure chambers.
A plurality of individual circulation passages that are branched from the communication passage and are capable of discharging ink in the plurality of pressure chambers, and a plurality of individual circulation passages.
In the inkjet head equipped with
On the upper surface of the substrate on which the plurality of pressure generating means are arranged, individual wirings connected to each of the plurality of pressure generating means are arranged in a row, and a mounting portion in which the individual wirings and a predetermined electrical member are connected. When,
A common circulation flow path provided on the side opposite to the side on which the mounting portion of the substrate is provided and in which at least two of the plurality of individual circulation flow paths communicate with each other.
A common supply liquid chamber provided above the plurality of pressure chambers and storing ink commonly supplied to each of the plurality of pressure chambers is provided.
The mounting portion and the common circulation flow path are provided at positions where at least a part of the mounting portion and the common circulation flow path overlap in the ink ejection directions of the plurality of nozzles.
The plurality of nozzles, the plurality of pressure chambers, and the plurality of pressure generating means are arranged in a plurality of rows of four or more rows, respectively.
The mounting portion and the common circulation flow path are provided in every two rows of the plurality of rows.
In any two of the plurality of rows, the individual wiring is drawn from each of the pressure generating means to one of the mounting portions corresponding to the two rows.
In any two of the plurality of rows, the individual circulation flow path communicating with each pressure chamber is communicated with one common circulation flow path corresponding to the two rows.
The predetermined electrical member is a flexible printed circuit board.
The common supply liquid chamber is provided with a space for pulling out the flexible printed circuit board to the outside of the common supply liquid chamber.
The common supply liquid chamber is formed in a single space, and a part of the common supply liquid chamber is between the flexible printed circuits.
A part of the surface of the common circulation flow path is composed of a damper that elastically deforms in response to a pressure fluctuation in the common circulation flow path.
A connecting portion for connecting the facing surfaces of the common circulation flow path in the ink ejection direction is formed in the common circulation flow path.
One of the facing surfaces is characterized by being composed of the damper.
The invention according to
An air chamber is provided on the side of the damper opposite to the common circulation flow path side.
Further, in order to solve the above problems, the invention according to
Multiple nozzles that eject ink and
A plurality of pressure chambers communicating with each of the plurality of nozzles via a communication passage and storing ink, and a plurality of pressure chambers.
A plurality of pressure generating means provided corresponding to each of the plurality of pressure chambers and applying pressure to the ink in the corresponding pressure chambers.
A plurality of individual circulation passages that are branched from the communication passage and are capable of discharging ink in the plurality of pressure chambers, and a plurality of individual circulation passages.
In the inkjet head equipped with
On the upper surface of the substrate on which the plurality of pressure generating means are arranged, individual wirings connected to each of the plurality of pressure generating means are arranged in a row, and a mounting portion in which the individual wirings and a predetermined electrical member are connected. When,
A common circulation flow path provided on the side opposite to the side on which the mounting portion of the substrate is provided and in which at least two of the plurality of individual circulation flow paths communicate with each other.
A common supply liquid chamber provided above the plurality of pressure chambers and storing ink commonly supplied to each of the plurality of pressure chambers is provided.
The mounting portion and the common circulation flow path are provided at positions where at least a part of the mounting portion and the common circulation flow path overlap in the ink ejection directions of the plurality of nozzles.
The plurality of nozzles, the plurality of pressure chambers, and the plurality of pressure generating means are arranged in a plurality of rows of four or more rows, respectively.
The mounting portion and the common circulation flow path are provided in every two rows of the plurality of rows.
In any two of the plurality of rows, the individual wiring is drawn from each of the pressure generating means to one of the mounting portions corresponding to the two rows.
In any two of the plurality of rows, the individual circulation flow path communicating with each pressure chamber is communicated with one common circulation flow path corresponding to the two rows.
The predetermined electrical member is a flexible printed circuit board.
The common supply liquid chamber is provided with a space for pulling out the flexible printed circuit board to the outside of the common supply liquid chamber.
The common supply liquid chamber is formed in a single space, and a part of the common supply liquid chamber is between the flexible printed circuits.
A part of the surface of the common circulation flow path is composed of a damper that elastically deforms in response to a pressure fluctuation in the common circulation flow path.
An air chamber is provided on the side of the damper opposite to the common circulation flow path side.
The invention according to claim 7 is the inkjet head according to any one of
A nozzle substrate provided with the plurality of nozzles is provided.
The damper is characterized by being formed of a part of the nozzle substrate.
The invention according to claim 8 is the inkjet head according to any one of
At least a part of the damper is provided at a position overlapping the mounting portion in the ink ejection direction of the plurality of nozzles.
The invention according to claim 9 is the inkjet head according to any one of
The substrate is made of silicon
Each of the plurality of pressure generating means has a thin-film electrode and a thin-film piezoelectric body.
請求項10に記載の発明は、
請求項1〜9のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドと、
前記連通路から前記個別循環流路への循環流を発生させるためのインクの循環手段を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置である。
The invention according to
The inkjet head according to any one of
The inkjet recording apparatus is provided with an ink circulation means for generating a circulation flow from the communication passage to the individual circulation passage.
請求項11の発明は、
請求項9に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記基板上に、前記個別配線と、前記電極間に挟まれた前記圧電体の薄膜を半導体プロセスによって形成することを特徴とする。
The invention of claim 11 is
The method for manufacturing an inkjet head according to claim 9.
The individual wiring and the thin film of the piezoelectric material sandwiched between the electrodes are formed on the substrate by a semiconductor process.
本発明によれば、インクの循環が可能な流路を有するインクジェットヘッドにおいて、小型で高解像度化が可能であり、生産コストを低減させることができる。 According to the present invention, in an inkjet head having a flow path capable of circulating ink, it is possible to reduce the size and resolution, and to reduce the production cost.
以下、図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について説明する。但し、発明の範囲は図示例に限定されない。また、以下の説明において、同一の機能及び構成を有するものについては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
なお、以下の説明では、ラインヘッドを用いた記録媒体の搬送のみで描画を行う1パス描画方式での実施形態を例にして説明するが、適宜の描画方式に適用可能であり、例えば、スキャン方式やドラム方式を用いた描画方式を採用しても良い。
また、以下の説明では、記録媒体Rの搬送方向を前後方向、記録媒体Rの搬送面において当該搬送方向に直行する方向を左右方向とし、前後方向及び左右方向に垂直な方向(インクの射出方向)を上下方向として説明する。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the scope of the invention is not limited to the illustrated examples. Further, in the following description, those having the same function and configuration are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
In the following description, an embodiment of a one-pass drawing method in which drawing is performed only by transporting a recording medium using a line head will be described as an example, but it can be applied to an appropriate drawing method, for example, scanning. A drawing method using a method or a drum method may be adopted.
Further, in the following description, the transport direction of the recording medium R is the front-rear direction, the direction perpendicular to the transport direction on the transport surface of the recording medium R is the left-right direction, and the directions perpendicular to the front-back direction and the left-right direction (ink ejection direction). ) Is described as the vertical direction.
[インクジェット記録装置の概略]
インクジェット記録装置100は、プラテン101、搬送ローラー102、ラインヘッド103,104,105,106、及びインクの循環機構6等を備える(図1及び図6参照)。
プラテン101は、上面に記録媒体Rを支持しており、搬送ローラー102が駆動されると、記録媒体Rを搬送方向(前後方向)に搬送する。
ラインヘッド103,104,105,106は、記録媒体Rの搬送方向(前後方向)の上流側から下流側にかけて、搬送方向に直交する幅方向(左右方向)に並列して設けられている。そして、ラインヘッド103,104,105,106の内部には、後述するインクジェットヘッド1が少なくとも一つ設けられており、例えば、シアン(C),マゼンタ(M),イエロー(Y),黒(K)のインクを記録媒体Rに向けて吐出する。
なお、インクの循環機構6については、後述する(図6参照)。
[Outline of inkjet recording device]
The
The
The line heads 103, 104, 105, and 106 are provided in parallel in the width direction (horizontal direction) orthogonal to the transport direction from the upstream side to the downstream side in the transport direction (front-back direction) of the recording medium R. At least one
The
[インクジェットヘッド]
インクジェットヘッド1の構成について、図2〜5に基づいて説明する。
なお、図3Aは、ヘッドチップ内部の圧電体41と個別配線414の配置を説明するための、アクチュエーター基板23の上面の要部を示す平面図である。また、図3Bは、ノズル基板21の底面図である。また、図3A及び図3Bでは、他層に形成される構成要素の一部を破線で示している。
また、図4は、図3A中に破線で示したIV-IV部分に平行な面について、インクジェッ
トヘッド1の断面を表した図である。
[Inkjet head]
The configuration of the
Note that FIG. 3A is a plan view showing a main part of the upper surface of the
Further, FIG. 4 is a view showing a cross section of the
インクジェットヘッド1は、ヘッドチップ2、保持部3及び共通インク室5等を備える(図2A及び図2B等)。
The
(ヘッドチップ)
ヘッドチップ2は、内部に、下側から順にノズル基板21、中間基板22、アクチュエーター基板23及び保護基板24が積層一体化されることによって構成されている(図5参照)。
(Head tip)
The
ノズル基板21は、例えば、ノズル層21a、酸化膜層21b、ノズル支持層21cの3層から構成されるSOI基板からなる。
ノズル層21aは、インクの液滴を射出するためのノズルNが形成された層であり、厚さ、例えば、10〜20μmのSi基板からなる。ノズルNは、例えば、左右方向に沿って、複数列(例えば、4列)に並んで設けられている(図2、図3B参照)。また、ノズル層21aの下面であるノズル面には、撥インク膜(図示省略)が形成されている。
酸化膜層21bは、例えば、厚さ0.3〜1.0μmのSiO2基板からなる。
ノズル支持層21cは、例えば、厚さ100〜300μmのSi基板からなる。ノズル支持層21cには、ノズルNと連通しノズルNよりも径の大きな大径部211と、大径部211から前後方向に分岐して設けられ、インクの循環に使用される個別循環流路204と、が形成されている。
なお、個別循環流路204は、ノズルNに近い位置の気泡や異物を除去する観点から、ノズル基板21に設けることが好ましいが、中間基板22に設けても良い。
The
The
The oxide film layer 21b is made of, for example, a SiO 2 substrate having a thickness of 0.3 to 1.0 μm.
The
The individual
また、ノズル層21a及びノズル支持層21cは、それぞれSi基板で構成されているため、ドライエッチングやウェットエッチングによって容易に加工することが可能である。また、酸化膜層21bはエッチングレートが非常に低い層であるため、ノズル層21aとノズル支持層21cをそれぞれ酸化膜層21bに向かって加工した場合に、ノズル層21a又はノズル支持層21cに加工ムラがあっても、酸化膜層21bで加工を制御することが可能である。
ここで、個別循環流路204は、酸化膜層21bに面した空隙部によって形成されているため、高精度に加工されて製造されている。なお、酸化膜層21bに面した空隙部を形成した後に、バッファード・フッ酸(BHF)等を用いたウェットエッチング処理で酸化膜層21bを除去しても良い。
Further, since the
Here, since the individual
中間基板22は、例えば、厚さ100〜300μmのSi基板からなり、連通孔221、共通循環流路205及びダンパー222が設けられている。
連通孔221は、中間基板22を上下方向に貫通し大径部211に連通している。連通孔221と大径部211は、圧力室202とノズルNを連通する連通路203となっており、インクの射出時にインク流路となる。
なお、連通孔221は、インクが通過する経路の径を絞る形状とする等、インクの流路の形状を調整することによって、インクの射出においてインクに加えられる運動エネルギーを調整するように形成しても良い。
The
The
The
共通循環流路205には、ノズル支持層21cに形成された複数の個別循環流路204が連通し、複数の個別循環流路204から流れてきたインクが合流する。また、共通循環流路205は、インクの射出方向(上下方向)において、後述する実装部4と少なくとも一部が重なるように配置されている(図3A)。また、アクチュエーター基板23の上面のスペースを有効に利用する観点から、実装部4は、安定な電気接続が得られる最低限の接続幅で構成し、共通循環流路205は射出性能や循環流量に影響しない最小幅とし、両者が極力大きな領域で重なり合うことが好ましい。さらには、どちらかの領域内(前後左右方向)に他方の領域が完全に収まることが好ましい。
また、以下の説明では、個別循環流路204と共通循環流路205をあわせて、循環流路206という。
A plurality of individual
Further, in the following description, the individual
ダンパー222は、例えば、厚さ1〜50μmからなるSi基板からなり、共通循環流路205の上面に面して設けられ、ダンパー222の上面には空気室223が形成されている。ダンパー222は、共通循環流路205と空気室223との圧力差によって弾性変形して、共通循環流路205の容積を変更可能である。例えば、圧力室202に一度に圧力が加えられ射出が行われて共通循環流路205に一度にインクが流れた場合、共通循環流路205内の圧力が急激に下がるため、ダンパー222が下方向に向かって弾性変形することによって、インク流路の急激な圧力変動を防ぐことができる。
また、ダンパー222の設けられる領域は、図3Bに示すように、複数のノズルNが設けられた領域A1のノズルの配列方向(左右方向)において、右端のノズルNa及び左端のノズルNbの位置よりも、それぞれノズルNの配列方向(左右方向)に延出するように形成されている。
The
Further, as shown in FIG. 3B, the region where the
空気室223は、ダンパー222が弾性変形できる厚み(例えば、1〜100μm)を有して形成されている。また、空気室223の容積は、共通循環流路205の容積よりも小さくなるように形成されている。
また、空気室223は、大気に連通する大気連通部224(図5参照)を有し、大気連通部224を蓋等で開け閉めできる構成となっている。これにより、空気室223の圧力を調整でき、ダンパー222が弾性変形する際の変形量を調整することができる。
なお、空気室223は、必ずしも大気連通部224を有する必要はなく、ヘッドチップ2内部に密閉された空間としても良い。
The
Further, the
The
複数の圧力発生部40(圧力発生手段)が配置される基板としてのアクチュエーター基板23は、圧力室層23a、振動層23bから構成されており、SOI基板によって形成されている。
圧力室層23aは、例えば、100〜300μm程度のSi基板からなり、圧力室層23aには、圧力室202が形成されている。圧力室202は、中間基板22の連通路203に連通しており、ノズルNから射出されるインクが貯留されている。
振動層23bは、例えば、1〜10μm程度の薄い弾性変形可能なSi基板であり、圧力室層23aの上面の一面に形成されている。振動層23bの上面に設けられた圧電体41の動作に応じて振動層が振動され、圧電体41の下部に設けられた圧力室202内のインクに圧力が加えられる。また、振動層23bの上面には、圧力発生部40が設けられている。
The
The
The vibrating
圧力発生手段としての圧力発生部40は、下から順に、下部電極411、圧電体41及び上部電極413等によって構成されており、電極間に外部から電圧が印加されると、圧電体41が伸縮することによって、上下方向に変位が生じる。
具体的には、振動層23bの上面に、チタン(Ti)や白金(Pt)等の薄膜状の層を成膜して下部電極411が形成され、スパッタ法やゾルゲル法等でチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電材料の薄膜状の層を成膜して圧電体41が形成され、クロム(Cr)や金(Au)等の薄膜状の層を成膜することによって上部電極413が形成されている。ここで、下部電極411と、上部電極413に接続する個別配線414との間には、SiO2等の絶縁層412が形成されている。また、これらの層は、フォトリソグラフィーやエッチング等によりパターニングされ、支持層であるSi基板をエッチングすることで形成される。
このように、圧力発生部40は、振動層23bと一体的に形成されている。ここでいう「一体的に形成」とは、具体的には、振動層23bの上面に、例えば、上述したような各電極及び圧電体の積層工程を有する半導体プロセスによって形成することであるが、これに限らず、層同士を接着する接着剤が使用されることなく形成されることを意味する。なお、上記圧力発生部40は、例えば、特許第4935965号公報に記載される半導体プロセス等によって製造することができる。
The
Specifically, a thin film layer such as titanium (Ti) or platinum (Pt) is formed on the upper surface of the vibrating
In this way, the
圧電体41は、ノズル列に対応して複数列で配列されている(図3B参照)。また、当該複数列のうち一対の隣り合う列の向かい合う方向に、上部電極413から個別配線414が列状に引き出されており、個別配線414の端部と電装部材としてのフレキシブルプリント基板42が、実装部4で電気的に接続されている。個別配線414とフレキシブルプリント基板42は、例えば、異方性導電フィルム(ACF)を挟んで熱圧着することによって、各々に設けられた接続端子が電気的に接続されている。
そして、フレキシブルプリント基板42に接続された駆動IC43から、フレキシブルプリント基板42を通じて電気が供給されることで、圧電体41を挟む電極間に電圧が印加される。
個別配線414は、上述した圧力発生部40を形成する半導体プロセスによって、アクチュエーター基板23上に一体的に形成される。また、実装部4をアクチュエーター基板上に形成できるため、別途配線用の基板を設ける必要がなく、ヘッドチップ2の構成を簡略化することができる。
The
Then, electricity is supplied from the
The
保護基板24は、例えば、42アロイにより構成された基板であり、圧力発生部40等を収容する空間部が形成されている。また、保護基板24には、当該空間部とは独立して、上下方向に貫通する供給流路201が形成されており、共通供給液室51と圧力室202とを連通している。
The
次に、ヘッドチップ2内部のインクの循環経路について説明する。インクは、共通インク室5の共通供給液室51から、各ノズルNに対応して設けられた供給流路201にそれぞれ供給される。次に、インクは、圧力室202,・・・、連通路203,・・・に流れ、連通路203から分岐して個別循環流路204,・・・に流れる。次に、各個別循環流路204,・・・からのインクが共通循環流路205で合流してヘッドチップ2の左右方向の端部に向かって流れ、最終的に、共通インク室5の共通排出液室52に排出される(図3〜図5等参照)。
Next, the ink circulation path inside the
なお、実装部4及び共通循環流路205を設けるスペースを確保する観点から、上述したように、実装部4及び共通循環流路205を、複数のノズル列のうち2列毎に設けることが望ましいが、各列毎に設ける構成としても良い。
From the viewpoint of securing a space for providing the mounting
(保持部)
保持部3は、ヘッドチップ2の上面に接合されており、共通インク室5を支持している。保持部3をヘッドチップ2の上面に位置合わせして設けた後に、保持部3を目印として、共通インク室5を設けることができるため、高精度に共通インク室5をヘッドチップ2の上面に形成することができる。
また、高精度に位置合わせを行う観点から、ヘッドチップ2と保持部3のそれぞれにアライメントマーク(図示省略)を設けて、接合することが望ましい。
(Holding part)
The holding
Further, from the viewpoint of high-precision alignment, it is desirable to provide alignment marks (not shown) on each of the
(共通インク室)
共通インク室5は、共通供給液室51と、2つの共通排出液室52を有しており(図2A等参照)、それぞれのインク室には、例えば、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)及び黒(K)のうち1色が充填されている。また、共通インク室5には、実装部4に接続されたフレキシブルプリント基板42が、共通インク室5の外側に引き出せるように、実装部4の上部の部分には空間部を有している。
共通供給液室51は、圧力室202の上部、かつ共通インク室5の中央部に設けられており、下面において、ヘッドチップ2に設けられた供給流路201に連通している。また、共通供給液室51には、上部に設けられたインク供給口501からインクが供給され、ヘッドチップ2に供給するインクが充填されている。
共通排出液室52は、共通インク室5の左右方向の端部側に2つ設けられており、ヘッドチップ内の共通循環流路と連通している。また、共通排出液室52には、ヘッドチップ2の内部から排出されたインクが充填されており、当該インクは、上部に設けられたインク排出口502から排出される。
(Common ink chamber)
The
The common
Two
[インクの循環機構]
インクの循環手段としてのインクの循環機構6は、メインタンク61、供給用サブタンク62及び循環用サブタンク63等によって構成されている(図6)。
[Ink circulation mechanism]
The
供給用サブタンク62は、共通インク室5の共通供給液室51に供給するためのインクが充填されており、インク流路72によってインク供給口501に接続されている。
循環用サブタンク63は、共通インク室5の共通排出液室52から排出されたインクが充填されており、インク流路73によってインク排出口502,502に接続されている。
また、供給用サブタンク62と循環用サブタンク63は、ヘッドチップ2のノズル面(以下、「位置基準面」ともいう。)に対して、上下方向(重力方向)に異なる位置に設けられている。よって、位置基準面と供給用サブタンク62の水頭差による圧力P1と、位置基準面と循環用サブタンク63との水頭差による圧力P2が生じている。
また、供給用サブタンク62と循環用サブタンク63は、インク流路74で接続されている。そして、ポンプ82によって加えられた圧力によって、循環用サブタンク63から供給用サブタンク62にインクを戻すことができる。
The
The
Further, the
Further, the
メインタンク61は、供給用サブタンク62に供給するためのインクが充填されており、インク流路71によって供給用サブタンク62に接続されている。そして、ポンプ81によって加えられた圧力によって、メインタンク61から供給用サブタンク62にインクを供給することができる。
The
上述したような各サブタンク内のインク量の調整や、さらには、各サブタンクの上下方向(重力方向)の位置変更によって、圧力P1及び圧力P2を調整することができる。そして、圧力P1及び圧力P2の圧力差によって、適宜の循環流速で、ノズルNの上部のインクを循環できる。これにより、ヘッドチップ2内に発生した気泡を除去し、ノズルの詰まりや、射出不良等を抑制することができる。
The pressure P1 and the pressure P2 can be adjusted by adjusting the amount of ink in each sub-tank as described above, and further by changing the position of each sub-tank in the vertical direction (gravity direction). Then, the ink on the upper part of the nozzle N can be circulated at an appropriate circulation flow velocity by the pressure difference between the pressure P1 and the pressure P2. As a result, air bubbles generated in the
[変形例]
ヘッドチップ2の変形例について、図7及び図8を用いて説明する。
なお、図7は、ヘッドチップ内部の圧電体41と個別配線414の配置を説明するための、アクチュエーター基板23の上面の要部を示す平面図である。また、図8は、図7中に破線で示したVIII-VIII部分に平行な面について、インクジェットヘッド1の断面を表
した図である。
また、以下の説明では、上述した実施例と同様の構成については説明を省略し、変更点のみを説明する。
[Modification example]
A modified example of the
Note that FIG. 7 is a plan view showing a main part of the upper surface of the
Further, in the following description, the description of the same configuration as that of the above-described embodiment will be omitted, and only the changes will be described.
ヘッドチップ2のアクチュエーター基板23の上部に設けられた圧電体41は、ノズル列に対応して複数列で配列されている。また、当該複数列のうち一対の隣り合う列の向かい合う方向に、上部電極413から個別配線414が列状に引き出されており、個別配線414の端部と、駆動制御を行う集積回路である駆動IC43が、実装部4で電気的に接続されている。個別配線414と電装部材としての駆動IC43との接続は、例えば、異方性導電フィルム(ACF)を挟んで熱圧着することによって、各々に設けられた接続端子が電気的に接続されている。
そして、駆動IC43から、個別配線414を通じて上部電極413に電気が供給されることで、圧電体41を挟む電極間に電圧が印加される。
駆動IC43は、適宜の数で設ければよく、例えば、一対の圧電体41の列の中央部に、左右方向に2つに分けて配置される。
また、駆動IC43には、入力配線44が接続されており、入力配線44が左右方向の端部に引き出されている。
The
Then, electricity is supplied from the
The
Further, an input wiring 44 is connected to the
共通循環流路205は、ノズル基板21と中間基板22に設けられている。また、共通循環流路205のノズル基板側の厚さは、例えば、1〜50μmとなるように形成されており、共通循環流路の下面が、弾性変形可能なダンパー213として機能する。したがって、共通循環流路205内の圧力が急激に下がった場合には、ダンパー213が上方向に向かってわずかに弾性変形することで、インク流路の急激な圧力変動を防ぐことができる。
共通循環流路205には、インクの射出方向(上下方向)を連結する連結部225が形成されている。連結部225は、適宜の大きさと数で設ければよく、例えば、共通循環流路205の前後方向の中央部に、左右方向に沿って設けられている。連結部225を設けることにより、ヘッドチップの強度を向上させることができ、FPCやICのACF接続時の荷重に対する強度が向上し、確実に接続を行うことができる。
The common
The common
[本発明における技術的効果]
以上、説明した通り、本発明のインクジェットヘッド1は、比較的大きなスペースが必要となる実装部4、共通循環流路205及び共通供給液室51について、実装部4と共通循環流路205がインクの射出方向(上下方向)に少なくとも一部が重なる位置に配置され、かつ、共通供給液室51が圧力室202の上部に配置されている。これにより、ヘッドチップ2を小型化することができるため、小型で高解像度化が可能であり、生産コストの低減ができるインクジェットヘッド1を提供することができる。
[Technical effect in the present invention]
As described above, in the
また、本発明のインクジェットヘッド1は、圧力室202及びノズルNが、複数列で配列されており、当該複数列のうち一対の隣り合う列において、圧力発生部40から同一の実装部4に個別配線414が引き出されている。また、当該一対の隣り合う列に対応する個別循環流路204が同一の共通循環流路205に連通されている。これにより、個別配線414をアクチュエーター基板23の端部に向かって引く場合よりも、配線を短くし、かつ、配線パターンを簡略化することができる。
Further, in the
また、本発明のインクジェットヘッド1は、アクチュエーター基板23がシリコンによって形成され、圧力発生部40が薄膜状の電極及び薄膜状の圧電体41を有している。これにより、圧力発生部40を省スペースに設け、インクジェットヘッド1を小型化することができる。
Further, in the
また、本発明のインクジェットヘッド1は、個別配線414とフレキシブルプリント基板42が接続された実装部4を有している。これにより、実装部4を異方性導電フィルム(ACF)等により生産性の高い方法で製造することが可能である。
Further, the
また、本発明のインクジェットヘッド1は、変形例で示したように、実装部4は、個別配線414が駆動IC43と電気的に接続されるように構成しても良い。これにより、駆動IC43は共通循環流路205の上部に配置されるため、駆動IC43で発生した熱を、共通循環流路205を通過するインクへ排熱することが可能である。共通循環流路205を通過するインクは、インクの射出に使用されることなく、インクジェットヘッド1から循環用サブタンク63に排出されるものであり、インクの循環によってすぐに入れ替わるため、効率的に排熱することができる。
Further, as shown in the modified example, the
また、本発明のインクジェットヘッド1は、変形例で示したように、共通循環流路205には、当該共通循環流路205のインクの射出方向(上下方向)を連結する連結部225が形成されていても良い。これにより、ヘッドチップ2の強度を向上させることができ、特に変形例で示したように、共通循環流路205の下面をダンパー213として機能させる際に有用である。
Further, in the
また、本発明のインクジェットヘッド1の製造方法では、個別配線414と、電極間に挟まれた圧電体41の薄膜を半導体プロセスによって形成している。これにより、配線パターンを簡略化できるとともに、別途配線用の基板を設ける必要がないため、インクジェットヘッド1を小型化でき、生産コストを低減できる。
Further, in the method for manufacturing the
[その他]
本発明の今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した詳細な説明に限定されるものではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
[others]
It should be considered that the presently disclosed embodiments of the present invention are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is not limited to the detailed description described above, but is indicated by the scope of claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims. ..
例えば、ダンパー222は、厚さ1〜30μmからなるSi基板からなるとしたが、弾性変形することができれば、構成は適宜変更可能である。例えば、適宜の厚みを有するステンレス板や、弾性力のある樹脂部材によって形成しても良い。
また、ダンパー222は、循環流路206に面するように設ければよく、大きさや設ける面は、適宜変更可能である。例えば、個別循環流路204の下面に、ダンパー212を形成してもよい(図5参照)。
For example, the
Further, the
また、共通インク室5は、共通供給液室51と共通排出液室52を、共通インク室5の内部で分離して設けたが、それぞれ独立したインク室として設けても良い。
また、共通インク室5は、フレキシブルプリント基板42を上に引き出すためのスペースを空けた形状としたが、適宜変更可能である。例えば、変形利においては、フレキシブルプリント基板42を有しない構成なので、当該スペースを有しない立方体形状としても良い。
Further, in the
Further, the
また、インクの循環機構6として、水頭差によってインクの循環を制御する方法を説明したが、本発明のように循環流を発生できる構成であれば、当然適宜変更可能である。
Further, as the
1 インクジェットヘッド
202 圧力室
203 連通路
204 個別循環流路
205 共通循環流路
206 循環流路
225 連結部
23 アクチュエーター基板(複数の圧力発生手段が配置される基板)
4 実装部
40 圧力発生部(圧力発生手段)
41 圧電体
414 個別配線
42 フレキシブルプリント基板
43 駆動IC(集積回路)
51 共通供給液室
6 インクの循環機構(インクの循環手段)
100 インクジェット記録装置
N ノズル
1
4 Mounting
41
51 Common
100 Inkjet recording device N nozzle
Claims (11)
前記複数のノズルの各々に連通路を介して連通し、インクが貯留される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、対応する前記圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記連通路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な複数の個別循環流路と、
を備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の圧力発生手段が配置される基板の上面に、前記複数の圧力発生手段の各々に接続する個別配線が列状に配置され、当該個別配線と所定の電装部材とが接続された実装部と、
前記基板の前記実装部が設けられた側と反対側に設けられ、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路と、
前記複数の圧力室の上部に設けられ、前記複数の圧力室の各々に共通に供給するインクを貯留する共通供給液室と、を備え、
前記実装部と前記共通循環流路は、前記複数のノズルのインクの射出方向において、少なくとも一部が重なる位置に設けられており、
前記複数のノズル、前記複数の圧力室、及び前記複数の圧力発生手段が、それぞれ4列以上の複数列で配列されており、
前記複数列のうち2列毎に前記実装部及び前記共通循環流路が設けられており、
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力発生手段から、当該2列に対応する一の前記実装部に前記個別配線が引き出されており、
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力室に連通する前記個別循環流路が、当該2列に対応する一の前記共通循環流路に連通されており、
前記所定の電装部材は、フレキシブルプリント基板であり、
前記共通供給液室には、前記フレキシブルプリント基板を当該共通供給液室の外側に引き出すための空間部が設けられており、
前記共通供給液室は単一空間で形成されており、前記フレキシブルプリント基板の間に前記共通供給液室の一部があり、
前記複数列のうち隣り合う2列の上部に単一の前記共通供給液室が設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。 Multiple nozzles that eject ink and
A plurality of pressure chambers communicating with each of the plurality of nozzles via a communication passage and storing ink, and a plurality of pressure chambers.
A plurality of pressure generating means provided corresponding to each of the plurality of pressure chambers and applying pressure to the ink in the corresponding pressure chambers.
A plurality of individual circulation passages that are branched from the communication passage and are capable of discharging ink in the plurality of pressure chambers, and a plurality of individual circulation passages.
In the inkjet head equipped with
On the upper surface of the substrate on which the plurality of pressure generating means are arranged, individual wirings connected to each of the plurality of pressure generating means are arranged in a row, and a mounting portion in which the individual wirings and a predetermined electrical member are connected. When,
A common circulation flow path provided on the side opposite to the side on which the mounting portion of the substrate is provided and in which at least two of the plurality of individual circulation flow paths communicate with each other.
A common supply liquid chamber provided above the plurality of pressure chambers and storing ink commonly supplied to each of the plurality of pressure chambers is provided.
The mounting portion and the common circulation flow path are provided at positions where at least a part of the mounting portion and the common circulation flow path overlap in the ink ejection directions of the plurality of nozzles.
The plurality of nozzles, the plurality of pressure chambers, and the plurality of pressure generating means are arranged in a plurality of rows of four or more rows, respectively.
The mounting portion and the common circulation flow path are provided in every two rows of the plurality of rows.
In any two of the plurality of rows, the individual wiring is drawn from each of the pressure generating means to one of the mounting portions corresponding to the two rows.
In any two of the plurality of rows, the individual circulation flow path communicating with each pressure chamber is communicated with one common circulation flow path corresponding to the two rows.
The predetermined electrical member is a flexible printed circuit board.
The common supply liquid chamber is provided with a space for pulling out the flexible printed circuit board to the outside of the common supply liquid chamber.
The common feed chamber is formed by a single space, a part of the common feed chamber there between the flexible printed circuit board is,
An inkjet head characterized in that a single common supply liquid chamber is provided above two adjacent rows of the plurality of rows.
前記対向する面の一方は、前記ダンパーからなることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッド。 A connecting portion for connecting the facing surfaces of the common circulation flow path in the ink ejection direction is formed in the common circulation flow path.
The inkjet head according to claim 2 , wherein one of the facing surfaces is composed of the damper.
前記複数のノズルの各々に連通路を介して連通し、インクが貯留される複数の圧力室と、A plurality of pressure chambers communicating with each of the plurality of nozzles via a communication passage and storing ink, and a plurality of pressure chambers.
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、対応する前記圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、A plurality of pressure generating means provided corresponding to each of the plurality of pressure chambers and applying pressure to the ink in the corresponding pressure chambers.
前記連通路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な複数の個別循環流路と、A plurality of individual circulation passages that are branched from the communication passage and are capable of discharging ink in the plurality of pressure chambers, and a plurality of individual circulation passages.
を備えたインクジェットヘッドにおいて、In the inkjet head equipped with
前記複数の圧力発生手段が配置される基板の上面に、前記複数の圧力発生手段の各々に接続する個別配線が列状に配置され、当該個別配線と所定の電装部材とが接続された実装部と、On the upper surface of the substrate on which the plurality of pressure generating means are arranged, individual wirings connected to each of the plurality of pressure generating means are arranged in a row, and a mounting portion in which the individual wirings and a predetermined electrical member are connected. When,
前記基板の前記実装部が設けられた側と反対側に設けられ、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路と、A common circulation flow path provided on the side opposite to the side on which the mounting portion of the substrate is provided and in which at least two of the plurality of individual circulation flow paths communicate with each other.
前記複数の圧力室の上部に設けられ、前記複数の圧力室の各々に共通に供給するインクを貯留する共通供給液室と、を備え、A common supply liquid chamber provided above the plurality of pressure chambers and storing ink commonly supplied to each of the plurality of pressure chambers is provided.
前記実装部と前記共通循環流路は、前記複数のノズルのインクの射出方向において、少なくとも一部が重なる位置に設けられており、The mounting portion and the common circulation flow path are provided at positions where at least a part of the mounting portion and the common circulation flow path overlap in the ink ejection directions of the plurality of nozzles.
前記複数のノズル、前記複数の圧力室、及び前記複数の圧力発生手段が、それぞれ4列以上の複数列で配列されており、The plurality of nozzles, the plurality of pressure chambers, and the plurality of pressure generating means are arranged in a plurality of rows of four or more rows, respectively.
前記複数列のうち2列毎に前記実装部及び前記共通循環流路が設けられており、The mounting portion and the common circulation flow path are provided in every two rows of the plurality of rows.
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力発生手段から、当該2列に対応する一の前記実装部に前記個別配線が引き出されており、In any two of the plurality of rows, the individual wiring is drawn from each of the pressure generating means to one of the mounting portions corresponding to the two rows.
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力室に連通する前記個別循環流路が、当該2列に対応する一の前記共通循環流路に連通されており、In any two of the plurality of rows, the individual circulation flow path communicating with each pressure chamber is communicated with one common circulation flow path corresponding to the two rows.
前記所定の電装部材は、フレキシブルプリント基板であり、The predetermined electrical member is a flexible printed circuit board.
前記共通供給液室には、前記フレキシブルプリント基板を当該共通供給液室の外側に引き出すための空間部が設けられており、The common supply liquid chamber is provided with a space for pulling out the flexible printed circuit board to the outside of the common supply liquid chamber.
前記共通供給液室は単一空間で形成されており、前記フレキシブルプリント基板の間に前記共通供給液室の一部があり、The common supply liquid chamber is formed in a single space, and a part of the common supply liquid chamber is between the flexible printed circuits.
前記共通循環流路の面の一部は、前記共通循環流路内の圧力変動に応じて弾性変形するダンパーからなり、A part of the surface of the common circulation flow path is composed of a damper that elastically deforms in response to a pressure fluctuation in the common circulation flow path.
前記共通循環流路に、当該共通循環流路の前記インクの射出方向の対向する面を連結する連結部が形成されており、A connecting portion for connecting the facing surfaces of the common circulation flow path in the ink ejection direction is formed in the common circulation flow path.
前記対向する面の一方は、前記ダンパーからなることを特徴とするインクジェットヘッド。An inkjet head characterized in that one of the facing surfaces is composed of the damper.
前記複数のノズルの各々に連通路を介して連通し、インクが貯留される複数の圧力室と、A plurality of pressure chambers communicating with each of the plurality of nozzles via a communication passage and storing ink, and a plurality of pressure chambers.
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、対応する前記圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、A plurality of pressure generating means provided corresponding to each of the plurality of pressure chambers and applying pressure to the ink in the corresponding pressure chambers.
前記連通路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な複数の個別循環流路と、A plurality of individual circulation passages that are branched from the communication passage and are capable of discharging ink in the plurality of pressure chambers, and a plurality of individual circulation passages.
を備えたインクジェットヘッドにおいて、In the inkjet head equipped with
前記複数の圧力発生手段が配置される基板の上面に、前記複数の圧力発生手段の各々に接続する個別配線が列状に配置され、当該個別配線と所定の電装部材とが接続された実装部と、On the upper surface of the substrate on which the plurality of pressure generating means are arranged, individual wirings connected to each of the plurality of pressure generating means are arranged in a row, and a mounting portion in which the individual wirings and a predetermined electrical member are connected. When,
前記基板の前記実装部が設けられた側と反対側に設けられ、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路と、A common circulation flow path provided on the side opposite to the side on which the mounting portion of the substrate is provided and in which at least two of the plurality of individual circulation flow paths communicate with each other.
前記複数の圧力室の上部に設けられ、前記複数の圧力室の各々に共通に供給するインクを貯留する共通供給液室と、を備え、A common supply liquid chamber provided above the plurality of pressure chambers and storing ink commonly supplied to each of the plurality of pressure chambers is provided.
前記実装部と前記共通循環流路は、前記複数のノズルのインクの射出方向において、少なくとも一部が重なる位置に設けられており、The mounting portion and the common circulation flow path are provided at positions where at least a part of the mounting portion and the common circulation flow path overlap in the ink ejection directions of the plurality of nozzles.
前記複数のノズル、前記複数の圧力室、及び前記複数の圧力発生手段が、それぞれ4列以上の複数列で配列されており、The plurality of nozzles, the plurality of pressure chambers, and the plurality of pressure generating means are arranged in a plurality of rows of four or more rows, respectively.
前記複数列のうち2列毎に前記実装部及び前記共通循環流路が設けられており、The mounting portion and the common circulation flow path are provided in every two rows of the plurality of rows.
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力発生手段から、当該2列に対応する一の前記実装部に前記個別配線が引き出されており、In any two of the plurality of rows, the individual wiring is drawn from each of the pressure generating means to one of the mounting portions corresponding to the two rows.
前記複数列のうち任意の前記2列において、各前記圧力室に連通する前記個別循環流路が、当該2列に対応する一の前記共通循環流路に連通されており、In any two of the plurality of rows, the individual circulation flow path communicating with each pressure chamber is communicated with one common circulation flow path corresponding to the two rows.
前記所定の電装部材は、フレキシブルプリント基板であり、The predetermined electrical member is a flexible printed circuit board.
前記共通供給液室には、前記フレキシブルプリント基板を当該共通供給液室の外側に引き出すための空間部が設けられており、The common supply liquid chamber is provided with a space for pulling out the flexible printed circuit board to the outside of the common supply liquid chamber.
前記共通供給液室は単一空間で形成されており、前記フレキシブルプリント基板の間に前記共通供給液室の一部があり、The common supply liquid chamber is formed in a single space, and a part of the common supply liquid chamber is between the flexible printed circuits.
前記共通循環流路の面の一部は、前記共通循環流路内の圧力変動に応じて弾性変形するダンパーからなり、A part of the surface of the common circulation flow path is composed of a damper that elastically deforms in response to a pressure fluctuation in the common circulation flow path.
前記ダンパーの前記共通循環流路側とは反対側に空気室が設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。An inkjet head characterized in that an air chamber is provided on a side of the damper opposite to the common circulation flow path side.
前記ダンパーは、前記ノズル基板の一部からなることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。 A nozzle substrate provided with the plurality of nozzles is provided.
The inkjet head according to any one of claims 2 to 4 , wherein the damper is composed of a part of the nozzle substrate.
前記複数の圧力発生手段の各々は、薄膜状の電極及び薄膜状の圧電体を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。The inkjet head according to any one of claims 1 to 8, wherein each of the plurality of pressure generating means has a thin-film electrode and a thin-film piezoelectric body.
前記連通路から前記個別循環流路への循環流を発生させるためのインクの循環手段を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。 The inkjet head according to any one of claims 1 to 9.
An inkjet recording apparatus including an ink circulation means for generating a circulation flow from the communication passage to the individual circulation passage.
前記基板上に、前記個別配線と、前記電極間に挟まれた前記圧電体の薄膜を半導体プロセスによって形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 The method for manufacturing an inkjet head according to claim 9.
A method for manufacturing an inkjet head, which comprises forming the individual wiring and a thin film of the piezoelectric material sandwiched between the electrodes on the substrate by a semiconductor process.
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