JP6914540B2 - マイクロフォン、電子機器及びパッケージング方法 - Google Patents
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Description
[1] トランスデューサを搭載したダイと、
上下方向に貫通した穴を有し、当該穴の壁面に前記ダイを接着層を介して保持する枠体と、
前記ダイの上方に空間を挟むように前記枠体に取り付けられたカバーと、
を備え、
前記ダイの下面が実質的に外表面の一部を構成している、マイクロフォン。
[2] 前記[1]に記載のマイクロフォンと、
前記マイクロフォンが搭載された実装用基板と、
を備える、電子機器。
[3] 上下方向に貫通した穴を有する枠体の当該穴に、トランスデューサを搭載したダイを配置すると共に、前記枠体における前記穴の壁面に前記ダイを接着層を介して保持する第1工程と、
前記ダイの上方に空間を囲むように前記枠体にカバーを取り付ける第2工程と、
を備えている、パッケージング方法。
図1は、本発明の第1実施形態に係るマイクロフォンを模式的に示す断面図である。本発明の第1実施形態に係るマイクロフォン1は、トランスデューサを搭載したダイ11と、上下に貫通した穴12Aを有し、当該穴12Aの壁面にダイ11を接着層14を介して保持する枠体12と、ダイ11の上方に空間を挟むように枠体12に取り付けられたカバー13と、を備え、ダイ11の下面が実質的に外表面の一部を構成している。
図3は、本発明の第2実施形態に係るマイクロフォンを模式的に示す断面図である。第2実施形態に係るマイクロフォン2は、第1実施形態に係るマイクロフォン1と同様、トランスデューサを搭載したダイ11と、上下に貫通した穴12Aを有し、当該穴12Aの壁面にダイ11を接着層14を介して保持する枠体12と、ダイ11の上方に空間を挟むように枠体12に取り付けられたカバー13と、を備え、ダイ11の下面が実質的に外表面の一部を構成している。
図4は、本発明の第3実施形態に係るマイクロフォンを模式的に示す断面図である。第3実施形態に係るマイクロフォン4は、一又は複数のダイ11(11A,11B)と、枠体12と、カバー13とを備える。ダイ11A及11Bは枠体12内に配置され、ダイ11Aが接着層14Aを介して枠体12の内周面に固定され、ダイ11Aと他のダイ11Bとが接着層14Bを介して固定され、他のダイ11Bが接着層14Aを介して枠体12の穴12Aの壁面に固定される。カバー13は、ダイ11A及び11Bの上方の空間を画するように枠体12に取り付けられる。
図5は、本発明の第4実施形態に係るマイクロフォンを模式的に示す断面図である。第4実施形態に係るマイクロフォン4では、第3実施形態に係るマイクロフォン3において、保護層15にメッシュ30が固定されている。即ち、メッシュ30が保護層15に接して置かれている。ここで、保護層15がメッシュ30を固定するとは、保護層15の下面側でメッシュ30を固定している場合と、メッシュ30の一部が保護層15と重なり保護層15内に設けられて保護層15がメッシュ30を固定する場合と、保護層15内にメッシュ30の全部又は大部分が設けられて保護層15がメッシュ30を固定する場合とが含まれる。
次に、本発明の実施形態に係るパッケージング方法について、図5に示す第4実施形態に係るマイクロフォン4を製造する場合を例として説明する。図6A乃至図6Dは第4実施形態に係るマイクロフォン4の製造方法を示す図であり、同時にパッケージング方法を示す図である。図6A乃至図6Cにおいて、各上段にはI−I線に沿う断面を示し、各下段にはII−II線に沿う断面を示す。ここで示すパッケージング方法は、複数のマイクロフォンを同時に製造する場合を想定しているが、一つのマイクロフォンを製造する場合も同様である。一つのマイクロフォンのみを図に示しているが、平面視において前後左右では隣の別のマイクロフォンが製造される。
図12は、本発明の実施形態に係る電子機器の一部を示す図である。電子機器70は、プリント基板などの実装用基板71において、音波をマイクロフォン1に流入出させるための音孔72が設けられている。音孔72に対応してマイクロフォン1が装着される。実装用基板71には、コンデンサ、抵抗、LSI又はICなどの電子素子又は電子デバイス73が装着される。図12に示していないが、電子機器70は、実装用基板71を内蔵するために実装用基板71にカバーとなる機器外装部材などが装着される。図1に示すマイクロフォンのみならず他の形態におけるマイクロフォンにも適用される。このような電子機器70によれば、マイクロフォン1それ自体には従来のような基板がないため、実装用基板71に直接取り付けられるため、電子機器70を薄くすることができる。
5:取付面
11,11A,11B:ダイ
12:枠体
12A:穴
12B:嵌込部
13:カバー
13A:流入出口
13B:窪み
13C:上部
13D:周縁部
14,14A,14B:接着層
15:保護層
15A:接着層
15B:フィラー
16,16A,16B:ワイヤー
17:端子
18:端子
19:内部配線
20:内部配線
21:端子
22:端子
23:接着層
24:接続部
30:メッシュ
35:表面配線
36:側面配線
41:メッシュ
42:フィルム
43,44:ダイ
45:枠体
45a:内部配線
45b,45c:端子
46:接着層
47:保護層
48A,48B:ワイヤー
49:カバー
49a:端子
49b:内部配線
49c:端子
50:接着層
61:カバー付き枠体
61A:カバー部
61B:側壁部
61C:仕切り部
62:電極
63(63A,63B):収納部
64:接着層
65:保護層
70:電子機器
71:実装用基板
72:音孔
73:電子素子又は電子デバイス
81,91:実装用基板
81A,91A:電極
82,92:音孔
84,94:機器外装部材
84A,94A:開口
84B,94B:突起部
85,95:マイクロフォン
85A,95A:電極パッド
86,96:半田
Claims (19)
- マイクロフォンであって、
トランスデューサを含む第1のダイと、
信号処理回路を含む第2のダイと、
上下方向に貫通した一つの穴を画定する内壁面を有する枠体と、
前記内壁面に前記第1のダイ及び前記第2のダイを保持する接着層と、
前記第1のダイ及び前記第2のダイの上方に空間を画定するように前記枠体に取り付けられたカバーと
を含み、
前記第1のダイ及び前記第2のダイの下面が前記マイクロフォンの外表面の一部を形成する、マイクロフォン。 - 前記枠体の下面、前記第1のダイの下面、及び前記第2のダイの下面は面一であり、前記外表面の一部を形成する、請求項1のマイクロフォン。
- マイクロフォンであって、
トランスデューサを含む第1のダイと、
信号処理回路を含む第2のダイと、
上下方向に貫通した一つの穴を画定する内壁面を有する枠体と、
前記内壁面に前記第1のダイ及び前記第2のダイを保持する接着層と、
前記第1のダイ及び前記第2のダイの上方に空間を画定するように前記枠体に取り付けられたカバーと、
前記枠体の下面、前記第1のダイの下面、及び前記第2のダイの下面に設けられて前記接着層と同じ材料から形成される保護層と
を含み、
前記保護層の下面が前記マイクロフォンの外表面の一部を形成する、マイクロフォン。 - 前記枠体の下面、前記第1のダイの下面、及び前記第2のダイの下面は面一である、請求項3のマイクロフォン。
- 前記保護層の厚さは200μm以下である、請求項3又は4のマイクロフォン。
- 前記保護層にはメッシュが固定される、請求項3乃至5のいずれか1項のマイクロフォン。
- 前記メッシュは導電性を有する、請求項6のマイクロフォン。
- 前記保護層は導電性フィラーを含む、請求項3乃至5のいずれか1項のマイクロフォン。
- 前記内壁面は、内部接続用の端子を配置する段差を有するか又は寸胴である、請求項1乃至8のいずれか1項のマイクロフォン。
- 前記第2のダイからの電気信号が前記枠体を経由して外部に取り出される、請求項1乃至9のいずれか1項のマイクロフォン。
- 前記空間は、前記第1のダイ、前記第2のダイ、前記枠体、前記接着層、及び前記カバーによって囲まれる、請求項1乃至10のいずれか1項のマイクロフォン。
- 請求項1乃至11のいずれか1項のマイクロフォンと、
前記マイクロフォンが形成された実装用基板と
を含む、電子機器。 - パッケージング方法であって、
枠体の上下方向に貫通した一つの穴に、トランスデューサが形成された第1のダイ、及び信号処理回路が形成された第2のダイを配置することと、
接着層を介して前記穴を画定する前記枠体の内壁面に前記第1のダイ及び前記第2のダイを保持することと、
前記第1のダイ及び前記第2のダイの上方に空間を画定するように前記枠体にカバーを取り付けることと
を含む、パッケージング方法。 - 前記保持することは、
前記第1のダイの下面、前記第2のダイの下面、及び前記枠体の下面に接着剤を塗布することと、
前記接着剤が塗布された前記第1のダイ、前記第2のダイ、及び前記枠体を、剥離性を有するフィルムの上に配置することと、
前記第1のダイ、前記第2のダイ、及び前記枠体を、前記フィルムに押圧することにより、前記接着剤を前記第1のダイと前記枠体との間、前記第2のダイと前記枠体との間、及び前記第1のダイと前記第2のダイとの間に侵入させることと、
前記接着剤を硬化させて前記接着層を形成した後に前記フィルムを剥離することと
を含む、請求項13のパッケージング方法。 - 前記前記接着剤が塗布された前記第1のダイ、前記第2のダイ、及び前記枠体を、剥離性を有するフィルムの上に配置することは、
前記フィルムの上にメッシュを配置することと、
前記メッシュの上に前記第1のダイ、前記第2のダイ、及び前記枠体を配置することと
を含む、請求項14のパッケージング方法。 - 前記メッシュを含む保護層が前記接着剤から形成される、請求項15のパッケージング方法。
- 前記保護層は、前記第1のダイの下面、前記第2のダイの下面、及び前記枠体の下面に形成される、請求項16のパッケージング方法。
- 前記接着剤はフィラーを含む、請求項14のパッケージング方法。
- 前記接着剤及び前記フィラーを含む保護層が、前記第1のダイの下面、前記第2のダイの下面、及び前記枠体の下面に形成される、請求項18のパッケージング方法。
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