JP6901565B2 - 画像融合のための畳込みニューラルネットワークベースのモード選択および欠陥分類 - Google Patents
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Description
Claims (19)
- 欠陥を分類するための方法であって、
プロセッサを用いて、一次走査モードを特定することと、
画像データ取得サブシステムを用いて、前記特定した一次走査モードを用いて第1のホット走査を行うことと、
前記プロセッサを用いて、前記第1のホット走査における複数の関心欠陥およびニューサンスデータを選択することと、
前記画像データ取得サブシステムを用いて、1つ以上の二次走査モードを用いて1つ以上の追加走査を行うことと、
前記プロセッサを用いて、1つ以上の画像集合を収集することであって、各々の画像集合が、選択された関心欠陥またはニューサンスデータに対応する一次走査モード画像および1つ以上の二次走査モード画像を含む、収集することと、
前記プロセッサを用いて、各収集した画像集合を第1の画像部分集合および第2の画像部分集合に分割することと、
前記プロセッサを用いて、各対の一次走査モードおよび二次走査モードに対して、対応する前記第1の画像部分集合で畳込みニューラルネットワーク(CNN)を訓練することと、
前記プロセッサを用いて、各CNNを対応する前記第2の画像部分集合に適用することによって、理想二次走査モードを判定することと、
前記画像データ取得サブシステムを用いて、前記理想二次走査モードを用いて、最終ホット走査を行うことと、
前記プロセッサを用いて、前記理想二次走査モードに対応する前記CNNを使用することによって前記最終ホット走査からの欠陥を分類して、前記最終ホット走査におけるニューサンスデータを除去することと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記一次走査モードが、ホット走査を実行して欠陥を検出することによって特定されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記1つ以上の二次走査モードが、焦点オフセットに基づいて前記一次走査モードから逸脱することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記1つ以上の二次走査モードが、開口に基づいて前記一次走査モードから逸脱することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記1つ以上の二次走査モードが、スペクトルに基づいて前記一次走査モードから逸脱することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記1つ以上の二次走査モードが、偏光に基づいて前記一次走査モードから逸脱することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記CNNを訓練することが、転移学習を使用して各CNNのためのハイパーパラメータを作成することを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、各CNNが、前記複数の関心欠陥とニューサンスデータとの間の分離に基づいて評価されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、各追加走査が、異なる二次走査モードを使用することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記CNNへの入力が、選択された関心欠陥およびニューサンスデータごとに6つの画像であることを特徴とする方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記画像が、サイズが32×32画素であることを特徴とする方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記6つの画像が、前記一次走査モードに対する試験画像、基準画像および差分画像、ならびに前記二次走査モードのうちの1つに対する試験画像、基準画像および差分画像を含むことを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、入力画像が、1つ以上の正規化線形ユニット層を通して処理されることを特徴とする方法。
- 請求項13に記載の方法であって、前記正規化線形ユニット層が、1つ以上のフィルタを活用することを特徴とする方法。
- 請求項13に記載の方法であって、最終結果が全結合層であることを特徴とする方法。
- 請求項13に記載の方法であって、1つ以上のプーリング層が活用されることを特徴とする方法。
- 欠陥を分類するためのシステムであって、
画像データ取得サブシステムと、
前記画像データ取得サブシステムと電子通信するプロセッサとを備え、前記プロセッサが、
一次走査モードを特定することと、
前記特定した一次走査モードを用いて第1のホット走査を返すように前記画像データ取得サブシステムに命令することと、
前記返された第1のホット走査における複数の関心欠陥およびニューサンスデータを特定することと、
1つ以上の二次走査モードを用いて1つ以上の走査を返すように前記画像データ取得サブシステムに命令することと、
1つ以上の画像集合を収集することであって、各々の画像集合が、選択された関心欠陥またはニューサンスデータに対応する一次走査モード画像および1つ以上の二次走査モード画像を含む、収集することと、
各収集した画像集合を第1の画像部分集合および第2の画像部分集合に分割することと、
各対の一次走査モードおよび二次走査モードに対して、対応する前記第1の画像部分集合で畳込みニューラルネットワーク(CNN)を訓練することと、
各CNNを対応する前記第2の画像部分集合に適用することによって理想二次走査モードを判定することと、
前記理想二次走査モードを用いて最終ホット走査を返すように前記画像データ取得サブシステムに命令することと、
前記理想二次走査モードに対応する前記CNNを使用することによって前記最終ホット走査からの欠陥を分類して、前記最終ホット走査におけるニューサンスデータを除去することと、
を行うように構成されることを特徴とするシステム。 - 請求項17に記載のシステムであって、前記プロセッサおよび前記画像データ取得サブシステムと電子通信するデータベースであり、前記最終ホット走査からの分類された欠陥を記憶するように構成されるデータベースをさらに備えることを特徴とするシステム。
- 請求項18に記載のシステムであって、前記データベースが、1つ以上のCNNを記憶するようにも構成されることを特徴とするシステム。
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