JP6899958B2 - 13族元素窒化物層、自立基板、機能素子および13族元素窒化物層の製造方法 - Google Patents
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- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
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Description
前記13族元素窒化物層が、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成されており、
前記13族元素窒化物が窒化ガリウム系窒化物からなり、前記13族元素窒化物層が上面及び底面を有しており、前記上面におけるX線ロッキンカーブの(10-10)面反射の半値幅が20000秒以下、1500秒以上であることを特徴とする。
前記13族元素窒化物層上に設けられた機能層を有することを特徴とする、機能素子に係るものである。
前記13族元素窒化物層上に設けられた機能層を有することを特徴とする、機能素子に係るものである。
前記下地層上に、13族元素窒化物からなる種結晶膜を形成する工程、および
前記種結晶膜上に、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶からなる多結晶13族元素窒化物からなる13族元素窒化物層を設け、前記13族元素窒化物層が、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成されている工程
を有することを特徴とする、13族元素窒化物層の製造方法に係るものである。
最初に、配向性多結晶13族元素窒化物結晶層の上面のツイスト成分がランダムな参考例について述べる。
次いで、本発明の13族元素窒化物結晶層の好適製法について更に述べる。
単結晶基板の材質は限定されないが、サファイア、AlNテンプレート、GaNテンプレート、GaN自立基板、シリコン単結晶、SiC単結晶、MgO単結晶、スピネル(MgAl2O4)、LiAlO2、LiGaO2、LaAlO3,LaGaO3,NdGaO3等のペロブスカイト型複合酸化物、SCAM(ScAlMgO4)を例示できる。また組成式〔A1−y(Sr1−xBax)y〕〔(Al1−zGaz)1−u・Du〕O3(Aは、希土類元素である;Dは、ニオブおよびタンタルからなる群より選ばれた一種以上の元素である;y=0.3〜0.98;x=0〜1;z=0〜1;u=0.15〜0.49;x+z=0.1〜2)の立方晶系のペロブスカイト構造複合酸化物も使用できる。
下地層の作製方法は特に限定されないが、MOCVD(有機金属気相成長法)、MBE(分子線エピタキシー法)、HVPE(ハイドライド気相成長法)、スパッタリング等の気相法、Naフラックス法、アモノサーマル法、水熱法、ゾルゲル法等の液相法、粉末の固相成長を利用した粉末法、及びこれらの組み合わせが好ましく例示される。特にスパッタリング法が好ましい。
例えば、MOCVD法による種結晶層の形成は、450〜550℃にて低温成長緩衝GaN層を20〜50nm堆積させた後に、1000〜1200℃にて厚さ2〜4μmのGaN膜を積層させることにより行うのが好ましい。
次いで、13族元素窒化物結晶層を単結晶基板から分離することによって、13族元素窒化物結晶層を含む自立基板を得ることができる。
ケミカルエッチングを行う際のエッチャントとしては、硫酸、塩酸等の強酸、もしくは水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液等の強アルカリが好ましい。また、ケミカルエッチングを行う際の温度は、70℃以上が好ましい。
あるいは、13族元素窒化物結晶層を単結晶基板から研削によって剥離することができる。
この自立基板には、一層以上の他の層が更に設けられていても良い。
単結晶基板上に13族元素窒化物結晶層を設けた状態で、13族元素窒化物結晶層を分離することなく、他の機能層を形成するためのテンプレート基板として用いることができる。
本発明の13族元素窒化物結晶層は、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の13族元素窒化物の単結晶粒子で構成される。
好ましくは、13族元素窒化物結晶層は、上面及び底面を有し、上面の電子線後方散乱回折法(EBSD)の逆極点図マッピングによって測定した各窒化ガリウム系単結晶粒子の結晶方位が特定結晶方位(例えばc軸、a軸等の方位)から様々な角度で傾斜して分布し、その平均傾斜角が0.1°以上であることが好ましく、0.25°以上であることが更に好ましい。また、この平均傾斜角は、5°以下であることが更に好ましく、1°以下であることが更に好ましく、0.9°以下であることが特に好ましく、0.8°以下であることがいっそう好ましい。
なお、ここで説明した傾斜角をチルト角と呼び、平均傾斜角を平均チルト角と呼ぶことがある。
本発明の13族元素窒化物結晶層上に設けられた機能素子構造は特に限定されないが、発光機能、整流機能または電力制御機能を例示できる。
図2を参照しつつ説明した方法に従い、本発明例の13族元素窒化物結晶層を育成した。
(アルミナ層および種結晶膜の育成)
具体的には、C面単結晶サファイア基板11上に厚さ1500オングストロームのアルミナ層16をスパッタ法にて形成した。具体的には、RFマグネトロンスパッタ法を用い、RFパワーを500Wとし、圧力を1Paとし、ターゲットをアルミナ(純度99%以上)とし、プロセスガスをアルゴン(流量 20sccm)とし、C面単結晶サファイア基板11を500℃に加熱しながら成膜した。
次いで、アルミナ層16上に、MOCVD法を用いて種結晶層12を形成した。具体的には、530℃にて低温GaN層を40nm堆積させた後に、1050℃にて厚さ3μmのGaN膜を積層させて種結晶基板を得た。
上記工程で作製した種結晶基板を、内径80mm、高さ45mmの円筒平底のアルミナ坩堝の底部分に設置し、次いで融液組成物をグローブボックス内で坩堝内に充填した。融液組成物の組成は以下のとおりである。
・金属Ga:60g
・金属Na:60g
・四塩化ゲルマニウム:1.85g
次いで、レーザーリフトオフ法によって、窒化ガリウム結晶層13をサファイア基板11から剥離させ、自立基板を得た。具体的には、波長355nmのレーザ光をサファイア基板側から照射した。
自立基板の上面および底面を#600及び#2000の砥石によって研削して板面を平坦にし、次いでダイヤモンド砥粒を用いたラップ加工により、板面を平滑化し、厚さ約300μmのGeドープ窒化ガリウム自立基板を得た。なお、平滑化加工においては、砥粒のサイズを3μmから0.1μmまで段階的に小さくしつつ、平坦性を高めた。窒化ガリウム自立基板表面の加工後の平均粗さRaは0.2nmであった。
ついで、13族元素窒化物結晶層の上面について、カソードルミネッセンス(CL)によって、得られた自立基板の最表面のダークスポットをカウントすることにより、転位密度を算出した。この結果、測定視野(80x105μm)内に、転位はカウントされず、またピットも観測されなかった
以下のようにして、13族元素窒化物結晶層の上面におけるX線ロッキンカーブの(10-10)面反射の半値幅を測定した。
この結果、前記半値幅は、15200arcsec(秒)であった。
MOCVD法を用いて、窒化ガリウム自立基板上にn型層として1050℃でSi原子濃度が5×1018/cm3になるようにドーピングしたn−GaN層を1μm堆積した。次に発光層として750℃で多重量子井戸層を堆積した。具体的にはInGaNによる2.5nmの井戸層を5層、GaNによる10nmの障壁層を6層にて交互に積層した。次にp型層として950℃でMg原子濃度が1×1019/cm3になるようにドーピングしたp−GaNを200nm堆積した。その後、MOCVD装置から取り出し、p型層のMgイオンの活性化処理として、窒素雰囲気中で800℃の熱処理を10分間行った。
フォトリソグラフィープロセスと真空蒸着法とを用いて、窒化ガリウム自立基板のn−GaN層及びp−GaN層とは反対側の面にカソード電極としてのTi/Al/Ni/Au膜をそれぞれ15nm、70nm、12nm、60nmの厚みでパターニングした。その後、オーム性接触特性を良好なものとするために、窒素雰囲気中での700℃の熱処理を30秒間行った。さらに、フォトリソグラフィープロセスと真空蒸着法とを用いて、p型層に透光性アノード電極としてNi/Au膜をそれぞれ6nm、12nmの厚みにパターニングした。その後、オーム性接触特性を良好なものとするために窒素雰囲気中で500℃の熱処理を30秒間行った。さらに、フォトリソグラフィープロセスと真空蒸着法とを用いて、透光性アノード電極としてのNi/Au膜の上面の一部領域に、アノード電極パッドとなるNi/Au膜をそれぞれ5nm、60nmの厚みにパターニングした。こうして得られた基板を切断してチップ化し、さらにリードフレームに実装して、縦型構造の発光素子を得た。
作製した素子から任意に選んだ100個の個体について、カソード電極とアノード電極間に通電し、I−V測定を行ったところ、92個について整流性が確認された。また、順方向の電流を流したところ、波長460nmの発光が確認された。
図1を参照しつつ説明した方法に従い、13族元素窒化物結晶層を育成した。
(1c面配向アルミナ焼結体の作製)
原料として、板状アルミナ粉末(キンセイマテック株式会社製、グレード00610)を用意した。板状アルミナ粒子100重量部に対し、バインダー(ポリビニルブチラール:品番BM−2、積水化学工業株式会社製)7重量部と、可塑剤(DOP:ジ(2−エチルヘキシル)フタレート、黒金化成株式会社製)3.5重量部と、分散剤(レオドールSP−O30、花王株式会社製)2重量部と、分散媒(2−エチルヘキサノール)を混合した。分散媒の量は、スラリー粘度が20000cPとなるように調整した。上記のようにして調製されたスラリーを、ドクターブレード法によって、PETフィルムの上に、乾燥後の厚さが20μmとなるように、シート状に成形した。得られたテープを口径50.8mm(2インチ)の円形に切断した後150枚積層し、厚さ10mmのAl板の上に載置した後、真空パックを行った。この真空パックを85℃の温水中で、100kgf/cm2の圧力にて静水圧プレスを行い、円盤状の成形体を得た。
次に、加工した配向アルミナ基板の上に、MOCVD法を用いて、実施例1と同様にして種結晶膜を形成した。
種結晶膜上に、実施例1と同様にして窒化ガリウム層を成膜した。
ただし、窒化ガリウム層の厚さは1.4mmとした。クラックは確認されなかった。
実施例1と同様にして、カソードルミネッセンスによって、得られた自立基板の最表面のダークスポットをカウントしたところ、測定視野(80x105μm)内に、転位はカウントされず、またピットも観測されなかった
実施例1と同様にして、13族元素窒化物結晶層の上面におけるX線ロッキンカーブの(10-10)面反射の半値幅を測定した。
この結果、ピークを確認できず、半値幅は測定不能であった。
実施例1と同様にして、自立基板の上面上に発光素子を作製した。
そして、作製した素子から任意に選んだ100個の個体について、カソード電極とアノード電極間に通電し、I−V測定を行ったところ、80個について整流性が確認された。また、順方向の電流を流したところ、波長460nmの発光が確認された。
実施例1に比べて歩留りが低いのは、実施例1のほうが結晶のツイスト成分が揃っているため、デバイスの不良原因となり得る微少なピット発生が低減したと考えられる。
サファイア基板上に、MOCVD法によって、実施例1と同様にして窒化ガリウムからなる種結晶膜を育成した。次いで、Naフラックス法によって、実施例1と同様にしてGeドープ窒化ガリウム結晶層を育成した(厚さ600μm)。次いで、実施例1と同様にしてレーザーリフトオフ法によってサファイア基板を除去し、得られた13族元素窒化物結晶層からなる自立基板の上面と底面とを研磨した。
実施例1と同様にして、カソードルミネッセンスによって、得られた自立基板の最表面のダークスポットをカウントしたところ、測定視野(80x105μm)内における転位密度は2.1×106cm−2であった。
実施例1と同様にして、13族元素窒化物結晶層の上面におけるX線ロッキンカーブの(10-10)面反射の半値幅を測定した。この結果、半値幅は、640arcsec(秒)であった。
実施例1と同様にして、自立基板の上面上に発光素子を作製した。
そして、作製した素子から任意に選んだ100個の個体について、カソード電極とアノード電極間に通電し、I−V測定を行ったところ、90個について整流性が確認された。また、順方向の電流を流したところ、波長460nmの発光が確認された。
前記した各例のLEDについて、それぞれ100素子を測定し、平均発光強度を比較したところ、実施例1:比較例1:比較例2=1.00:0.82:0.63であった。
実施例1と同様にして、窒化ガリウム結晶層からなる自立基板を作製した。ただし、実施例2の自立基板の上面におけるX線ロッキンカーブの(10-10)面反射の半値幅は、11100arcsec(秒)であった。
なお、半値幅は、スパッタ時のアルミナ層の厚みを以下のように変更することによって、調整することができた。
実施例1: 1500オングストローム
実施例2: 1000オングストローム
実施例3: 500オングストローム
実施例4: 150オングストローム
更に、実施例1の素子の発光強度を1.00としたとき、本例の素子の発光強度は1.02であった。
実施例1と同様にして、窒化ガリウム結晶層からなる自立基板を作製した。ただし、実施例2の自立基板の上面におけるX線ロッキンカーブの(10-10)面反射の半値幅は、7500arcsec(秒)であった。
更に、実施例1の素子の発光強度を1.00としたとき、本例の素子の発光強度は0.94であった。
実施例1と同様にして、窒化ガリウム結晶層からなる自立基板を作製した。ただし、実施例2の自立基板の上面におけるX線ロッキンカーブの(10-10)面反射の半値幅は、1650arcsec(秒)であった。
また、実施例1と同様にして、自立基板の上面上に発光素子を作製した。そして、作製した素子から任意に選んだ100個の個体について、カソード電極とアノード電極間に通電し、I−V測定を行ったところ、91個について整流性が確認された。また、順方向の電流を流したところ、波長460nmの発光が確認された。
更に、実施例1の素子の発光強度を1.00としたとき、本例の素子の発光強度は0.85であった。
実施例1の自立基板について、体積抵抗率をホール効果測定により測定したところ、n型であり、体積抵抗率は4mΩ・cmであった。
実施例1と同様にして、自立基板を作製した。
ただし、実施例1と異なり、ナトリウムフラックス法によって窒化ガリウム層を成膜する際には、Mgをドープした。
得られた自立基板について、窒化物層をホール効果測定により測定したところ、p型を示した。
実施例1と同様にして、自立基板を作製した。
ただし、実施例1と異なり、ナトリウムフラックス法によって窒化ガリウム層を成膜する際には、亜鉛をドーパントとして用いた。
得られた自立基板について、体積抵抗率をホール効果測定により測定したところ、n型であり、体積抵抗率は6×106Ω・cmであり、高抵抗率化していた。
整流機能を有する機能素子を作製した。
すなわち、実施例1で得られた自立基板の上面に、以下のようにして、ショットキーバリアダイオード構造を成膜し、電極を形成することで、ダイオードを得、特性を確認した。
MOCVD(有機金属化学的気相成長)法を用いて、自立基板上にn型層として1050℃でSi原子濃度が1×1017/cm3になるようにドーピングしたn−GaN層を1μm成膜した。
フォトリソグラフィープロセスと真空蒸着法とを用いて、自立基板上のn−GaN層とは反対側の面にオーミック電極としてTi/Al/Ni/Au膜をそれぞれ15nm、70nm、12nm、60nmの厚みでパターニングした。その後、オーム性接触特性を良好なものとするために、窒素雰囲気中での700℃の熱処理を30秒間行った。さらに、フォトリソグラフィープロセスと真空蒸着法とを用いて、MOCVD法で成膜したn−GaN層にショットキー電極としてNi/Au膜をそれぞれ6nm、80nmの厚みでパターニングした。こうして得られた基板を切断してチップ化し、さらにリードフレーム(lead frame)に実装して、整流素子を得た。
I−V測定を行ったところ、整流特性が確認された。
電力制御機能を有する機能素子を作製した。
実施例1と同様に自立基板を作製した。ただし、実施例1と異なり、Naフラックス法によって窒化ガリウム結晶を成膜する際に、不純物のドーピングは行わなかった。このようにして得られた自立基板の上面に、以下のようにして、MOCVD法でAl0.3Ga0.7N/GaN HEMT構造を成膜し、電極を形成し、トランジスタ特性を確認した。
MOCVD(有機金属化学的気相成長)法を用いて、自立基板上にi型層として1050℃で不純物ドーピングをしていないGaN層を3μm成膜した。次に機能層として同じ1050℃でAl0.25Ga0.75N層を25nm成膜した。これによりAl0.25Ga0.75N/GaN HEMT構造が得られた。
フォトリソグラフィープロセスと真空蒸着法とを用いて、ソース電極及びドレイン電極としてのTi/Al/Ni/Au膜をそれぞれ15nm、70nm、12nm、60nmの厚みでパターニングした。その後、オーム性接触特性を良好なものとするために、窒素雰囲気中での700℃の熱処理を30秒間行った。さらに、フォトリソグラフィープロセスと真空蒸着法とを用いて、ゲート電極としてNi/Au膜をそれぞれ6nm、80nmの厚みでショットキー接合にて形成し、パターニングした。こうして得られた基板を切断してチップ化し、さらにリードフレーム(lead frame)に実装して、電力制御機能素子を得た。
I−V特性を測定したところ、良好なピンチオフ特性が確認され、最大ドレイン電流は860mA/mm、最大相互コンダクタンス290mS/mm特性を得た。
実施例1と同様にして、本発明例の13族元素窒化物結晶層を育成した。
ただし、具体的には、C面単結晶サファイア基板11上に厚さ1000オングストロームの酸化ガリウム層16をスパッタ法にて形成した。RFマグネトロンスパッタ法を用い、RFパワーを500Wとし、圧力を1Paとし、ターゲットを酸化ガリウム(純度99%以上)とし、プロセスガスをアルゴン(15sccm)および酸素(5sccm)とし、C面単結晶サファイア基板11を500℃に加熱しながら成膜した。
また、13族元素窒化物結晶層の上面におけるX線ロッキンカーブの(1000)面反射の半値幅を測定したところ、16500arcsecであった。
更に、実施例1の素子の発光強度を1.00としたとき、本例の素子の発光強度は0.97であった。
Claims (14)
- 多結晶13族元素窒化物からなる13族元素窒化物層であって、
前記13族元素窒化物層が、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成されており、
前記13族元素窒化物が窒化ガリウム系窒化物からなり、前記13族元素窒化物層が上面及び底面を有しており、前記上面におけるX線ロッキンカーブの(10-10)面反射の半値幅が20000秒以下、1500秒以上であることを特徴とする、13族元素窒化物層。 - 前記13族元素窒化物層の前記上面に露出している前記単結晶粒子が、前記13族元素窒化物層の前記底面に粒界を介さずに連通してなり、前記13族元素窒化物層の前記底面に露出している前記単結晶粒子の最表面における断面平均径DBに対する、前記13族元素窒化物層の前記上面に露出している前記単結晶粒子の最表面における断面平均径DTの比DT/DBが1.0よりも大きいことを特徴とする、請求項1記載の13族元素窒化物層。
- 前記上面に露出している前記単結晶粒子の最表面における断面平均径DTが10μm以上であることを特徴とする、請求項2記載の13族元素窒化物層。
- 前記上面の電子線後方散乱回折法(EBSD)の逆極点図マッピングによって測定した各単結晶粒子の結晶方位が特定結晶方位から傾斜しており、前記結晶方位の特定結晶方位に対する平均傾斜角が0°以上、5°以下であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の13族元素窒化物層。
- 請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の13族元素窒化物層からなることを特徴とする、自立基板。
- 請求項5記載の自立基板および
前記13族元素窒化物層上に設けられた機能層を有することを特徴とする、機能素子。 - 前記機能層の機能が、発光機能、整流機能または電力制御機能であることを特徴とする、請求項6記載の機能素子。
- 支持基板、および
前記支持基板上に設けられた請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の13族元素窒化物層
を備えていることを特徴とする、複合基板。 - 請求項8記載の複合基板、および
前記13族元素窒化物層上に設けられた機能層を有することを特徴とする、機能素子。 - 前記機能層の機能が、発光機能、整流機能または電力制御機能であることを特徴とする、請求項9記載の機能素子。
- 単結晶基板上に、酸化ガリウム層またはアルミナ層からなる下地層を成膜する工程、
前記下地層上に、13族元素窒化物からなる種結晶膜を形成する工程、および
前記種結晶膜上に、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選ばれた多結晶13族元素窒化物からなる13族元素窒化物層を設け、前記13族元素窒化物層が、略法線方向で特定結晶方位に配向した複数の単結晶粒子で構成されている工程
を有することを特徴とする、13族元素窒化物層の製造方法。 - 前記下地層をスパッタリングによって形成することを特徴とする、請求項11記載の方法。
- 前記13族元素窒化物層をナトリウムフラックス法によって成膜することを特徴とする、請求項11または12記載の方法。
- 前記種結晶膜を形成した後、前記種結晶膜上に選択成長用マスクを設け、次いで前記13族元素窒化物層を形成することを特徴とする、請求項11〜13のいずれか一つの請求項に記載の方法。
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