JP6887637B1 - Image inspection equipment - Google Patents

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Abstract

【課題】ワークを効率よく検査できる画像検査装置を提供する。【解決手段】画像検査装置10は、ワーク12を予め決められた検査位置に移動させるとともにワーク12の姿勢を変更するワーク保持部40と、検査位置にあるワーク12の一方の側を撮像する位置まで移動可能に設けられ、ワーク12の一方の側を撮像する第1の撮像部50と、検査位置にあるワーク12の他方の側を撮像する位置まで移動可能に設けられ、ワーク12の他方の側を撮像する第2の撮像部60と、第1の撮像部50及び第2の撮像部60によって撮像された画像に基づいて、ワーク12の良否を判定する判定部と、を備える。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image inspection apparatus capable of efficiently inspecting a work. An image inspection device (10) has a work holding portion (40) that moves a work (12) to a predetermined inspection position and changes the posture of the work (12), and a position for imaging one side of the work (12) at the inspection position. The first imaging unit 50 that is movable up to and images one side of the work 12 and the other side of the work 12 that is movable to the position where the other side of the work 12 is imaged at the inspection position. It includes a second imaging unit 60 that images the side, and a determination unit that determines the quality of the work 12 based on the images captured by the first imaging unit 50 and the second imaging unit 60. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、画像検査装置に関する。 The present invention relates to an image inspection device.

特許文献1には、三次元画像計測の手法を用いて成型品における成型不良の有無を高速かつ高精度で検査する検査装置が記載されている。この検査装置は、所定の撮像範囲に特定の光学パターンを投影するように構成された少なくとも1つの照射部と、撮像範囲内にある検査対象物に対して投影された光学パターンを含む画像を撮像するように構成された少なくとも1つの撮像部と、撮像部により撮像された画像に含まれる光学パターンに基づいて検査対象物の三次元表面形状を計測するように構成された計測部と、計測部により計測された三次元表面形状と、検査対象物に対応する良品の三次元表面形状を表す所与の基準形状データとを照合し、検査対象物の三次元表面形状において良品の三次元表面形状とは異なる形状を示すと認識された箇所を、当該形状の寸法と共に成型不良の候補として検出するように構成された比較検出部と、比較検出部により検出された成型不良の候補のうち、その形状の寸法が成型不良の基準を表す所定の判定基準値以上であるものについてのみ、成型不良と特定するように構成された不良特定部と、を備えている。 Patent Document 1 describes an inspection device that inspects the presence or absence of molding defects in a molded product at high speed and with high accuracy by using a three-dimensional image measurement method. This inspection device captures an image including at least one irradiation unit configured to project a specific optical pattern onto a predetermined imaging range and an optical pattern projected onto an inspection object within the imaging range. At least one imaging unit configured to measure the three-dimensional surface shape of the inspection object based on the optical pattern included in the image captured by the imaging unit, and the measuring unit. The 3D surface shape measured by is collated with the given reference shape data representing the 3D surface shape of the non-defective product corresponding to the inspection object, and the 3D surface shape of the non-defective product in the 3D surface shape of the inspection object is collated. Of the comparative detection unit configured to detect a portion recognized as showing a shape different from that of the shape as a candidate for molding defect together with the dimensions of the shape, and the candidate for molding defect detected by the comparison detection unit. Only those whose shape dimensions are equal to or greater than a predetermined determination reference value representing a molding defect reference are provided with a defect identification portion configured to identify molding defects.

特開2019−2834号公報JP-A-2019-2834

本発明は、ワークを効率よく検査できる画像検査装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an image inspection apparatus capable of efficiently inspecting a work.

請求項1に記載の発明は、回転軸回りに回転する回転台、該回転台に設けられ、保持した自動車部品又は航空機部品であるワークを予め決められた第1の軸回りに回転させる第1の保持器及び該回転台に設けられ、保持した前記ワークを予め決められた第2の軸回りに回転させる第2の保持器を有し、前記回転台が前記回転軸回りに回転することによって、前記第1の保持器が前記ワークを受け取る受け取り位置から検査位置まで移動するとともに前記第2の保持器が前記検査位置から前記受け取り位置まで移動するワーク保持部と、前記ワーク保持部と干渉しない第1の退避位置から前記検査位置にある前記ワークを撮像する第1の撮像位置まで移動し、前記第1の軸回りに回転する前記ワークの表面側の予め決められた第1の撮像箇所を撮像する第1の撮像部と、前記ワーク保持部と干渉しない第2の退避位置から前記検査位置にある前記ワークを撮像する第2の撮像位置まで移動し、前記第1の軸回りに回転する前記ワークの裏面側の予め決められた第2の撮像箇所を撮像する第2の撮像部と、前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部によって撮像された画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する判定部と、を備え、前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記第1の撮像箇所及び前記第2の撮像箇所を、全周にわたって撮像する画像検査装置である。 The invention according to claim 1 is a turntable that rotates around a rotation axis, and a first that rotates a workpiece provided on the turntable and held as an automobile part or an aircraft part around a predetermined first axis. The cage and the second cage provided on the turntable to rotate the held work around a predetermined second axis, and the turntable rotates around the rotation axis. The work holding portion in which the first cage moves from the receiving position for receiving the work to the inspection position and the second cage moves from the inspection position to the receiving position does not interfere with the work holding portion. A predetermined first imaging location on the surface side of the workpiece that moves from the first retracted position to the first imaging position for imaging the workpiece at the inspection position and rotates about the first axis. It moves from the first imaging unit to be imaged and the second retracted position that does not interfere with the work holding unit to the second imaging position for imaging the work at the inspection position, and rotates about the first axis. Based on the second imaging unit that images a predetermined second imaging location on the back surface side of the work, and the images captured by the first imaging unit and the second imaging unit, the work An image inspection that includes a determination unit for determining quality, and the first imaging unit and the second imaging unit capture the first imaging location and the second imaging location over the entire circumference, respectively. It is a device.

請求項2に記載の発明は、請求項1記載の画像検査装置において、前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記ワークを撮像するカメラと、前記ワークを照らす照明器と、を有する。 According to the second aspect of the present invention, in the image inspection apparatus according to the first aspect, the first imaging unit and the second imaging unit illuminate the work and the camera that images the work, respectively. And have.

請求項3に記載の発明は、請求項1記載の画像検査装置において、前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記ワークを撮像するカメラと、前記ワークを照らす照明器と、前記カメラ及び前記ワークをそれぞれ独立に移動させる移動機構と、を有する。 According to the third aspect of the present invention, in the image inspection apparatus according to the first aspect, the first imaging unit and the second imaging unit illuminate the work and the camera that images the work, respectively. And a moving mechanism for moving the camera and the work independently.

請求項4に記載の発明は、請求項1記載の画像検査装置において、前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記ワークの異なる位置を撮像する複数のカメラと、前記ワークを照らす照明器と、外乱光を遮る遮光部材と、を有する。 According to a fourth aspect of the present invention, in the image inspection apparatus according to the first aspect, the first imaging unit and the second imaging unit each have a plurality of cameras that image different positions of the work, and the above. It has an illuminator that illuminates the work and a light-shielding member that blocks ambient light.

請求項5に記載の発明は、請求項1記載の画像検査装置において、前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記ワークの異なる位置を撮像する複数のカメラと、前記ワークを照らす照明器と、外乱光を遮る遮光部材と、前記複数のカメラ、前記照明器及び前記遮光部材をそれぞれ独立に移動させる移動機構と、を有する。 The invention according to claim 5 is the image inspection apparatus according to claim 1, wherein the first imaging unit and the second imaging unit each capture a plurality of cameras that image different positions of the work, and the above. It has an illuminator that illuminates the work, a light-shielding member that blocks ambient light, and a moving mechanism that independently moves the plurality of cameras, the illuminator, and the light-shielding member.

請求項6に記載の発明は、請求項2〜5のいずれか1項に記載の画像検査装置において、前記第1の保持器が、保持した前記ワークを前記第1の軸回りに少なくとも360度回転させる。 The invention according to claim 6 is the image inspection apparatus according to any one of claims 2 to 5, wherein the work held by the first cage is held at least 360 degrees around the first axis. Rotate.

請求項7に記載の発明は、請求項6記載の画像検査装置において、前記ワークを前記受け取り位置にある前記第1の保持器に搬送する第1の搬送部と、前記検査位置にある前記第1の保持器から前記ワークを搬送する第2の搬送部と、を更に備えThe invention according to claim 7 is the image inspection apparatus according to claim 6, wherein the work is conveyed to the first cage at the receiving position, and the first conveying unit at the inspection position. a second conveying unit that conveys the workpiece from the first retainer further Ru comprising a.

請求項8に記載の発明は、請求項7記載の画像検査装置において、前記第2の搬送部が搬送する前記ワークが払い出される第1〜第3の払出場所が設けられた払出部を更に備え、前記第2の搬送部が、前記判定部が判定した良品、不良品及び再検査が必要な再検査品を、それぞれ前記第1〜第3の払出場所に搬送する。 The invention according to claim 8 further includes a payout unit provided with first to third payout locations for paying out the work to be conveyed by the second transfer unit in the image inspection apparatus according to claim 7. The second transport unit transports the non-defective product, the defective product, and the re-inspected product that needs to be re-inspected, respectively, to the first to third payout locations.

請求項9に記載の発明は、請求項8記載の画像検査装置において、前記第1の保持器が、先端部にて前記ワークを支持し前記第1の軸回りに回転する第1の回転固定軸を有し、前記第2の保持器が、先端部にて前記ワークを支持し前記第2の軸回りに回転する第2の回転固定軸を有するAccording to a ninth aspect of the present invention, in the image inspection apparatus according to the eighth aspect, the first cage supports the work at a tip portion and rotates around the first axis. The second cage has a shaft, and the second cage has a second rotary fixed shaft that supports the work at a tip portion and rotates around the second shaft .

請求項10に記載の発明は、請求項8記載の画像検査装置において、前記ワークが、突出した突出部を有する部品であり、前記第1の保持器が、前記突出部に挿入され、前記第1の軸回りに回転する第1の回転固定軸と、開閉し、前記第1の回転固定軸に挿入された前記突出部を回転可能に押さえる第1の開閉部材と、を有し、前記第2の保持器が、前記突出部に挿入され、前記第2の軸回りに回転する第2の回転固定軸と、開閉し、前記第2の回転固定軸に挿入された前記突出部を回転可能に押さえる第2の開閉部材と、を有する。 The invention according to claim 10 is the image inspection apparatus according to claim 8, wherein the work is a part having a protruding portion, and the first cage is inserted into the protruding portion. It has a first rotary fixed shaft that rotates around one axis, and a first open / close member that opens and closes and rotatably presses the protruding portion inserted into the first rotary fixed shaft. The cage 2 is inserted into the protruding portion and can rotate the second rotating fixed shaft that rotates around the second axis and the protruding portion that is opened and closed and inserted into the second rotating fixed shaft. It has a second opening / closing member that is pressed down.

本発明によれば、ワークを効率よく検査できる画像検査装置を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide an image inspection apparatus capable of efficiently inspecting a work.

本発明の一実施の形態に係る画像検査装置の外観図である。It is external drawing of the image inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 同画像検査装置の平面図である。It is a top view of the image inspection apparatus. ワークの流れを示す説明図であって、同画像検査装置から第1の搬送ロボット及び第2の搬送ロボットを取り除いた状態を示す平面図である。It is explanatory drawing which shows the flow of a work, and is the top view which shows the state which the 1st transfer robot and the 2nd transfer robot are removed from the image inspection apparatus. 同画像検査装置が備える第1の搬送ロボットの斜視図である。It is a perspective view of the 1st transfer robot included in the image inspection apparatus. 同画像検査装置が備えるワーク保持部の斜視図である。It is a perspective view of the work holding part included in the image inspection apparatus. 同画像検査装置が備える撮像部が撮像位置にある状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which the image pickup part included in the image inspection apparatus is in the image pickup position. 図6に対応する正面図である。It is a front view corresponding to FIG. 図6に対応する平面図である。It is a plan view corresponding to FIG. 同画像検査装置が備える第2の搬送ロボットの斜視図である。It is a perspective view of the 2nd transfer robot included in the image inspection apparatus.

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。なお、図において、説明に関連しない部分は図示を省略する場合がある。 Subsequently, an embodiment embodying the present invention will be described with reference to the attached drawings, and the present invention will be understood. In the figure, parts not related to the description may be omitted.

本発明の一実施の形態に係る画像検査装置10(図1参照)は、供給されたワーク12を画像検査し、欠陥の有無に基づいて、良品、不良品又は良品とも不良品とも判別し難く再検査が必要な再検査品のいずれかに分類して払い出すことができる。欠陥は、例えば傷である。ただし、欠陥は傷に限定されるものではなく、例えば汚れや欠けであってもよい。
ワーク12は、例えば、プレス加工された金属製の部品であり、外形が中心軸に関して実質的に軸対称となる形状となっている。ワーク12は、表面側の中央部に突出した突出部124を有し、突出部124の頂部の中央には、中心軸を中心とする孔H124が形成されている。ただし、ワーク12はこのような部品に限定されるものではない。他のワークの例として、エンジンブロックやミッションケース等の自動車部品又は航空機部品が挙げられる。
以下、同図1に示すように、画像検査装置10の前後方向をX方向、左右方向をY方向、上下方向をZ方向として説明する場合がある。
The image inspection device 10 (see FIG. 1) according to an embodiment of the present invention inspects the supplied work 12 by an image, and it is difficult to determine whether it is a non-defective product, a defective product, or a non-defective product or a defective product based on the presence or absence of defects. It can be classified as one of the re-inspected products that need to be re-inspected and paid out. Defects are, for example, scratches. However, the defect is not limited to scratches, and may be, for example, dirt or chips.
The work 12 is, for example, a pressed metal part, and has a shape whose outer shape is substantially axisymmetric with respect to the central axis. The work 12 has a protruding portion 124 protruding from the central portion on the surface side, and a hole H124 centered on the central axis is formed in the center of the top portion of the protruding portion 124. However, the work 12 is not limited to such parts. Examples of other workpieces include automobile parts such as engine blocks and mission cases, or aircraft parts.
Hereinafter, as shown in FIG. 1, the front-rear direction of the image inspection apparatus 10 may be described as the X direction, the left-right direction as the Y direction, and the vertical direction as the Z direction.

画像検査装置10は、図1及び図2に示すように、供給部20、第1の搬送ロボット30、ワーク保持部40、第1の撮像部50、第2の撮像部60、制御部(不図示)、第2の搬送ロボット80及び払出部90を備えている。
この画像検査装置10においては、図3に示すように、供給部20に供給されたワーク12は、第1の搬送ロボット30(図3において不図示)によってワーク保持部40に搬送され(矢印T1参照)、ワーク保持部40によって検査位置に搬送され(矢印T2a及び矢印T2b参照)、第1の撮像部50及び第2の撮像部60によって両面が撮像される。撮像後、ワーク12は、欠陥の有無が判別され、第2の搬送ロボット80(図3において不図示)によって、欠陥の種類に応じて払出部90の所定の場所に払い出される(矢印T3a、T3b、T4、T5参照)。
As shown in FIGS. 1 and 2, the image inspection device 10 includes a supply unit 20, a first transfer robot 30, a work holding unit 40, a first image pickup unit 50, a second image pickup unit 60, and a control unit (not). (Fig.), A second transfer robot 80 and a payout unit 90 are provided.
In the image inspection device 10, as shown in FIG. 3, the work 12 supplied to the supply unit 20 is conveyed to the work holding unit 40 by the first transfer robot 30 (not shown in FIG. 3) (arrow T1). (See), transported to the inspection position by the work holding unit 40 (see arrows T2a and arrow T2b), and both sides are imaged by the first imaging unit 50 and the second imaging unit 60. After the imaging, the presence or absence of the defect is determined, and the work 12 is dispensed to a predetermined position of the payout unit 90 according to the type of the defect by the second transfer robot 80 (not shown in FIG. 3) (arrows T3a, T3b). , T4, T5).

供給部20は、図2に示すように、正面から見て画像検査装置10の右手側に配置され、検査対象となるワーク12が投入される。
供給部20は、並んで2列配置されX方向に延びる投入用グラビティコンベヤ202a、202bを有している。各投入用グラビティコンベヤ202a、202bは、前方側(画像検査装置10の前面側)から後方側に向かって高さが低くなるように搬送面が傾斜している。
従って、前方側から各投入用グラビティコンベヤ202a、202bに投入されたワーク12は、自重により搬送され、後方側の端部にある供給場所A(予め決められた場所の一例)に供給される。
As shown in FIG. 2, the supply unit 20 is arranged on the right-hand side of the image inspection device 10 when viewed from the front, and the work 12 to be inspected is loaded.
The supply unit 20 has input gravity conveyors 202a and 202b arranged in two rows side by side and extending in the X direction. The transport surfaces of the loading gravity conveyors 202a and 202b are inclined so that the height decreases from the front side (front side of the image inspection device 10) toward the rear side.
Therefore, the work 12 loaded into the loading gravity conveyors 202a and 202b from the front side is conveyed by its own weight and supplied to the supply location A (an example of a predetermined location) at the rear end.

各投入用グラビティコンベヤ202a、202bの供給場所Aには、ワーク12の有無を検出する有無センサ(不図示)及び押上機構が設けられている。この押上機構は、上下方向に延びる丸棒状の押上部材204(図2参照)を有し、押上部材204の先端には、ワーク12に形成された孔H124に嵌る突起が形成されている。
押上部材204がローラの間から上方に進出し、先端の突起がワーク12の孔H124に嵌ることによって、ワーク12が搬送面から持ち上げられるとともに、X方向及びY方向の予め許容された誤差範囲内に位置決めされる。
At the supply location A of the loading gravity conveyors 202a and 202b, a presence / absence sensor (not shown) for detecting the presence / absence of the work 12 and a push-up mechanism are provided. This push-up mechanism has a round bar-shaped push-up member 204 (see FIG. 2) extending in the vertical direction, and a protrusion fitted into the hole H124 formed in the work 12 is formed at the tip of the push-up member 204.
The push-up member 204 advances upward from between the rollers, and the protrusion at the tip fits into the hole H124 of the work 12, so that the work 12 is lifted from the transport surface and within the previously allowed error range in the X and Y directions. Positioned to.

第1の搬送ロボット(第1の搬送部の一例)30は、図4に示すように、直交ロボットであり、図3の矢印T1で示すように、投入用グラビティコンベヤ202a又は投入用グラビティコンベヤ202bの供給場所A(図2参照)にて持ち上げられたワーク12をワーク保持部40に搬送できる。 The first transfer robot (an example of the first transfer unit) 30 is an orthogonal robot as shown in FIG. 4, and is a loading gravity conveyor 202a or a charging gravity conveyor 202b as shown by an arrow T1 in FIG. The work 12 lifted at the supply location A (see FIG. 2) can be conveyed to the work holding portion 40.

第1の搬送ロボット30は、図4に示すように、直動機構310、スライダ320、及びハンド330を有している。
直動機構310は、供給部20及びワーク保持部40よりも高い位置にてY方向に移動するスライダ(不図示)を有している。
スライダ320は、直動機構310のスライダ(不図示)に固定されたZ方向に延びるガイド322に案内され、Z方向に移動可能に設けられている。
As shown in FIG. 4, the first transfer robot 30 has a linear motion mechanism 310, a slider 320, and a hand 330.
The linear motion mechanism 310 has a slider (not shown) that moves in the Y direction at a position higher than the supply unit 20 and the work holding unit 40.
The slider 320 is guided by a guide 322 extending in the Z direction fixed to a slider (not shown) of the linear motion mechanism 310, and is provided so as to be movable in the Z direction.

ハンド330は、エアシリンダ332及び把持爪334を有している。
エアシリンダ332は、X方向に延びる軸AX31回りに回転できるように、スライダ320に設けられている。
把持爪334は、エアシリンダ332によって進退し、進退する方向と交差する方向に開閉できる。
従って、把持爪334は、Y方向及びZ方向に移動することに加え、軸AX31回りに回転して進退し、先端に形成された各切り欠き336にてワーク12の外縁部を把持できる。
なお、図4に示した状態に基づいて具体的に説明すると、4つの把持爪334全体が、同図4に示した状態からY方向及びZ方向に移動したり、正面側から見て回転軸AX32を中心として右回りに回転したり、Y方向に開いて把持したワーク12を解放したりできる。
The hand 330 has an air cylinder 332 and a gripping claw 334.
The air cylinder 332 is provided on the slider 320 so that it can rotate around the axis AX31 extending in the X direction.
The gripping claw 334 can be moved back and forth by the air cylinder 332 and can be opened and closed in a direction intersecting the direction of moving forward and backward.
Therefore, in addition to moving in the Y direction and the Z direction, the gripping claw 334 rotates around the axis AX31 and moves forward and backward, and the outer edge portion of the work 12 can be gripped by each notch 336 formed at the tip.
If a specific description is made based on the state shown in FIG. 4, the entire four gripping claws 334 move in the Y direction and the Z direction from the state shown in FIG. 4, or the rotation axis when viewed from the front side. It can rotate clockwise around the AX32, or open in the Y direction to release the gripped work 12.

ワーク保持部40は、図3に示すように、正面から見て、供給部20と払出部90の間に配置されている。
ワーク保持部40は、第1の搬送ロボット30からワーク12が受け渡され、矢印T2a及び矢印T2bで示すように、受け渡されたワーク12を画像検査するための予め決められた検査位置へと移動させることができる。
As shown in FIG. 3, the work holding unit 40 is arranged between the supply unit 20 and the payout unit 90 when viewed from the front.
The work holding unit 40 receives the work 12 from the first transfer robot 30, and as shown by arrows T2a and T2b, moves to a predetermined inspection position for image inspection of the delivered work 12. Can be moved.

ワーク保持部40は、図5に示すように、回転台410、第1の保持器420a及び第2の保持器420bを有している。
回転台410は、エアモータ412によって駆動され、Z方向に延びる回転軸AX41の回りに回転できる。回転台410の回転方向及び回転量は、同図5に示す状態から左回り(図3に示す矢印T2a参照)又は右回り(同図3に示す矢印T2b参照)に半回転である。
As shown in FIG. 5, the work holding portion 40 has a turntable 410, a first cage 420a, and a second cage 420b.
The turntable 410 is driven by an air motor 412 and can rotate around a rotation shaft AX41 extending in the Z direction. The rotation direction and the amount of rotation of the turntable 410 are half a turn counterclockwise (see arrow T2a shown in FIG. 3) or clockwise (see arrow T2b shown in FIG. 3) from the state shown in FIG.

第1の保持器420aは、回転台410に設けられ、ワーク12を保持しつつ、ワーク12をワーク12の中心軸(予め決められた軸の一例)の回りに回転させ、ワーク12の姿勢を変更できる。 The first cage 420a is provided on the turntable 410, and while holding the work 12, the work 12 is rotated around the central axis of the work 12 (an example of a predetermined axis) to change the posture of the work 12. Can be changed.

第1の保持器420aは、サーボモータ422a、回転固定軸424a、開閉部材426a及びエアシリンダ428aを有している。
サーボモータ422aは、回転台410に固定部材430aを介して固定されている。
The first cage 420a includes a servomotor 422a, a rotary fixed shaft 424a, an opening / closing member 426a, and an air cylinder 428a.
The servomotor 422a is fixed to the rotary table 410 via a fixing member 430a.

回転固定軸424aは、斜め上方に延びる丸棒状の部材であり、ワーク12が挿入される。この回転固定軸424aは、第1の保持器420aが第1の搬送ロボット30からワーク12を受け取る受け取り位置にある状態(図5に示す状態)において、正面視して右側が先端側となり、平面視して回転固定軸424aが延びる方向に供給場所Aがあるように配置されている(図2参照)。回転固定軸424aの基端部は、サーボモータ422aのシャフトにカップリングを介して設けられ、サーボモータ422aの回転とともに中心軸AX42回りに回転する。回転固定軸424aの先端部には、ワーク12の突出部124の裏面側に対応した形状の支持部材(不図示)が設けられ、ワーク12に形成された突出部124を支持できる。 The rotation fixing shaft 424a is a round bar-shaped member extending diagonally upward, and the work 12 is inserted into the rotating fixed shaft 424a. The rotary fixed shaft 424a is flat with the right side facing the tip side when viewed from the front in a state where the first cage 420a is in the receiving position (state shown in FIG. 5) for receiving the work 12 from the first transfer robot 30. It is arranged so that the supply location A is located in the direction in which the rotation fixed shaft 424a extends (see FIG. 2). The base end portion of the rotation fixed shaft 424a is provided on the shaft of the servomotor 422a via a coupling, and rotates around the central axis AX42 with the rotation of the servomotor 422a. A support member (not shown) having a shape corresponding to the back surface side of the protrusion 124 of the work 12 is provided at the tip of the rotation fixing shaft 424a, and the protrusion 124 formed on the work 12 can be supported.

開閉部材426aは、回転軸AX43を中心として回転することで開閉し、先端部にてワーク12の突出部124を押さえることができる。開閉部材426aの先端部には、突出部124の表面側に対応した形状の押さえ部材432aが設けられている。押さえ部材432aは、ワーク12を押さえた際に回転固定軸424aの中心軸AX42回りに回転できるよう、軸受(不図示)を介して開閉部材426aに設けられている。従って、開閉部材426aが閉じて回転固定軸424aに挿入されたワーク12を押さえると、ワーク12が脱落することなく保持される一方、回転固定軸424aの回転に伴って回転するワーク12の回転は許容される The opening / closing member 426a can be opened / closed by rotating around the rotation shaft AX43, and the protruding portion 124 of the work 12 can be pressed by the tip end portion. At the tip of the opening / closing member 426a, a pressing member 432a having a shape corresponding to the surface side of the protruding portion 124 is provided. The pressing member 432a is provided on the opening / closing member 426a via a bearing (not shown) so that the pressing member 432a can rotate around the central axis AX42 of the rotating fixed shaft 424a when the work 12 is pressed. Therefore, when the opening / closing member 426a is closed and the work 12 inserted into the rotation fixing shaft 424a is pressed, the work 12 is held without falling off, while the rotation of the work 12 that rotates with the rotation of the rotation fixing shaft 424a is Permissible

エアシリンダ428aは、開閉部材426aの基端部を進退させることで、開閉部材426aを回転軸AX43回りに回転させることができる。すなわち、エアシリンダ428aは、開閉部材426aを開閉できる。 The air cylinder 428a can rotate the opening / closing member 426a around the rotation shaft AX43 by advancing / retreating the base end portion of the opening / closing member 426a. That is, the air cylinder 428a can open and close the opening / closing member 426a.

第2の保持器420bは、第1の保持器420aに対して回転軸AX41を中心とした回転対称となるように回転台410に設けられ、ワーク12を保持しつつ、ワーク12をワーク12の中心軸(予め決められた軸の一例)の回りに回転させ、ワーク12の姿勢を変更できる。
第2の保持器420bは、サーボモータ422b、回転固定軸424b、開閉部材426b及びエアシリンダ428bを有し、第1の保持器420aと同様に構成されている。
第2の保持器420bは、第1の保持器420aと回転軸AX41を挟んで反対の側に配置されているので、第1の保持器420aが第1の搬送ロボット30からワーク12を受け取る受け取り位置にあるときには、第2の保持器420bがワーク12を画像検査するための検査位置にある。従って、回転台410が半回転する度に、一方の保持器が、ワーク12を受け取る受け取り位置へ移動するとともに、他方の保持器が、ワーク12を撮像する検査位置へ回転移動する。
The second cage 420b is provided on the turntable 410 so as to be rotationally symmetric with respect to the first cage 420a about the rotation axis AX41, and the work 12 is held by the work 12 while holding the work 12. The posture of the work 12 can be changed by rotating it around a central axis (an example of a predetermined axis).
The second cage 420b includes a servomotor 422b, a rotary fixed shaft 424b, an opening / closing member 426b, and an air cylinder 428b, and is configured in the same manner as the first cage 420a.
Since the second cage 420b is arranged on the opposite side of the rotation shaft AX41 from the first cage 420a, the first cage 420a receives the work 12 from the first transfer robot 30. When in position, the second cage 420b is in the inspection position for imaging the work 12. Therefore, each time the turntable 410 rotates half a turn, one cage moves to the receiving position where the work 12 is received, and the other cage rotates to the inspection position where the work 12 is imaged.

第1の撮像部50は、ワーク保持部40及び第2の搬送ロボット80と干渉しない退避位置からワーク12を撮像する撮像位置まで移動し、ワーク12の表面側(一方の側)を撮像できる。
第1の撮像部50は、図6〜図8に示すように、カメラ510、照明器520並びにカメラ510及び照明器520をX方向及びZ方向に移動させる移動機構550を有している。
カメラ510は、例えば3台設けられ、それぞれワーク12の表面の異なる位置を撮像できる。
The first imaging unit 50 can move from a retracted position that does not interfere with the work holding unit 40 and the second transfer robot 80 to an imaging position where the work 12 is imaged, and can image the surface side (one side) of the work 12.
As shown in FIGS. 6 to 8, the first imaging unit 50 includes a camera 510, an illuminator 520, and a moving mechanism 550 that moves the camera 510 and the illuminator 520 in the X and Z directions.
For example, three cameras 510 are provided, and each of them can image different positions on the surface of the work 12.

照明器520は、例えば3台設けられ、各カメラ510が撮像する対象部分を照らすことができる。照明器520は、例えば導光板である。
第1の撮像部50は、外乱光を遮るために、遮光板を更に有していても良い。
For example, three illuminators 520 are provided, and each camera 510 can illuminate the target portion to be imaged. The illuminator 520 is, for example, a light guide plate.
The first imaging unit 50 may further have a light-shielding plate in order to block ambient light.

移動機構550は、Z方向に移動する第1のスライダ552及び第1のスライダ552に設けられX方向に移動する第2のスライダ554を有している。カメラ510及び照明器520は、支持部材556を介して第2のスライダ554に固定されている。 The moving mechanism 550 has a first slider 552 that moves in the Z direction and a second slider 554 that is provided on the first slider 552 and moves in the X direction. The camera 510 and the illuminator 520 are fixed to the second slider 554 via the support member 556.

なお、第1のスライダ552が上昇し、第2のスライダ554が前方側に移動した位置が、第1の撮像部50がワーク保持部40と干渉しない退避位置となる。この退避位置は、画像検査装置10が稼働を開始する際の初期位置でもある。
第1の撮像部50が有する移動機構の具体的な構成は、カメラ510及び照明器520をワーク保持部40と干渉しない退避位置から撮像位置へと移動させることができれば、任意でよい。また、移動機構550に代えて、カメラ510及び照明器520をそれぞれ独立に移動させることができる移動機構としてもよい。
The position where the first slider 552 is raised and the second slider 554 is moved forward is the evacuation position where the first imaging unit 50 does not interfere with the work holding unit 40. This retracted position is also the initial position when the image inspection device 10 starts operation.
The specific configuration of the moving mechanism of the first imaging unit 50 may be arbitrary as long as the camera 510 and the illuminator 520 can be moved from the retracted position that does not interfere with the work holding unit 40 to the imaging position. Further, instead of the moving mechanism 550, the moving mechanism that can move the camera 510 and the illuminator 520 independently may be used.

第2の撮像部60は、ワーク保持部40及び第2の搬送ロボット80と干渉しない退避位置からワーク12を撮像する撮像位置まで移動し、ワーク12の裏面側(他方の側)を撮像できる。

第2の撮像部60は、カメラ610、照明器620、遮光板630並びにカメラ610、照明器620及び遮光板630をX方向に移動させる移動機構650を有している。
カメラ610は、例えば2台設けられ、それぞれワーク12の裏面の異なる位置を撮像できる。
The second imaging unit 60 can move from a retracted position that does not interfere with the work holding unit 40 and the second transfer robot 80 to an imaging position where the work 12 is imaged, and can image the back surface side (the other side) of the work 12.

The second imaging unit 60 includes a camera 610, an illuminator 620, a light-shielding plate 630, and a moving mechanism 650 that moves the camera 610, the illuminator 620, and the light-shielding plate 630 in the X direction.
For example, two cameras 610 are provided, and each can image different positions on the back surface of the work 12.

照明器620は、例えば3台設けられ、各カメラ610が撮像する対象部分を照らすことができる。照明器620は、例えば導光板である。
遮光板(遮光部材の一例)630は、例えば、工場の天井に設置された照明からの光等の外乱光を遮る部材である。
For example, three illuminators 620 are provided, and each camera 610 can illuminate the target portion to be imaged. The illuminator 620 is, for example, a light guide plate.
The light-shielding plate (an example of a light-shielding member) 630 is, for example, a member that blocks ambient light such as light from lighting installed on the ceiling of a factory.

移動機構650は、X方向に移動するスライダ652を有している。カメラ610、照明器620及び遮光板630は、支持部材656を介してスライダ652に固定されている。 The moving mechanism 650 has a slider 652 that moves in the X direction. The camera 610, the illuminator 620, and the shading plate 630 are fixed to the slider 652 via the support member 656.

なお、スライダ652が後方側に移動した位置が、第2の撮像部60がワーク保持部40と干渉しない退避位置となる。この退避位置は、画像検査装置10が稼働を開始する際の初期位置でもある。
第2の撮像部60が有する移動機構の具体的な構成は、カメラ610、照明器620及び遮光板630をワーク保持部40と干渉しない退避位置から撮像位置へと移動させることができれば、任意でよい。また、移動機構650に代えて、カメラ610、照明器620及び遮光板630をそれぞれ独立に移動させることができる移動機構としてもよい。
The position where the slider 652 is moved to the rear side is a retracted position where the second imaging unit 60 does not interfere with the work holding unit 40. This retracted position is also the initial position when the image inspection device 10 starts operation.
The specific configuration of the moving mechanism of the second imaging unit 60 is optional as long as the camera 610, the illuminator 620, and the light-shielding plate 630 can be moved from the retracted position that does not interfere with the work holding unit 40 to the imaging position. Good. Further, instead of the moving mechanism 650, a moving mechanism capable of independently moving the camera 610, the illuminator 620, and the shading plate 630 may be used.

制御部(不図示)は、PLC(Programmable Logic Controller)及び画像処理装置を有している。
PLCは、供給部20、第1の搬送ロボット30、ワーク保持部40、第1の撮像部50、第2の撮像部60、第2の搬送ロボット80及び払出部90その他の各部を制御できる。
The control unit (not shown) includes a PLC (Programmable Logic Controller) and an image processing device.
The PLC can control the supply unit 20, the first transfer robot 30, the work holding unit 40, the first imaging unit 50, the second imaging unit 60, the second transfer robot 80, the payout unit 90, and other units.

画像処理装置(判定部の一例)は、第1の撮像部50及び第2の撮像部60によって撮像された画像に基づいて、欠陥の有無を検出し、ワーク12の良否を判定できる。欠陥の有無は、パターンマッチングにより検出されてもよいし、AIにより検出されてもよい。画像処理装置は、検出した欠陥の有無に基づいて、ワーク12を良品、不良品又は良品とも不良品とも判別し難く再検査が必要な再検査品のいずれかに分類する。 The image processing device (an example of the determination unit) can detect the presence or absence of defects based on the images captured by the first image pickup unit 50 and the second image pickup unit 60, and can determine the quality of the work 12. The presence or absence of defects may be detected by pattern matching or by AI. The image processing apparatus classifies the work 12 into a non-defective product, a defective product, or a re-inspected product that is difficult to distinguish between a non-defective product and a defective product and requires re-inspection based on the presence or absence of detected defects.

第2の搬送ロボット(第2の搬送部の一例)80は、図9に示すように、直交ロボットであり、図3の矢印T3a、T3b、T4、T5で示すように、撮像が終了したワーク12をワーク保持部40から取り出して払出部90へと搬送できる。 The second transfer robot (an example of the second transfer unit) 80 is an orthogonal robot as shown in FIG. 9, and as shown by arrows T3a, T3b, T4, and T5 in FIG. 3, the workpiece whose imaging has been completed. 12 can be taken out from the work holding portion 40 and conveyed to the payout portion 90.

第2の搬送ロボット80は、第1のスライダ810、第2のスライダ820、第3のスライダ(不図示)及びハンド840を有している。
第1のスライダ810は、ワーク保持部40及び払出部90よりも高い位置にてY方向に延びる直動ガイド808に案内され、Y方向に移動可能に設けられている。
The second transfer robot 80 has a first slider 810, a second slider 820, a third slider (not shown), and a hand 840.
The first slider 810 is guided by a linear motion guide 808 extending in the Y direction at a position higher than the work holding portion 40 and the payout portion 90, and is provided so as to be movable in the Y direction.

第2のスライダ820は、第1のスライダ810に設けられZ方向に延びる直動ガイドに案内され、Z方向に移動可能に設けられている。 The second slider 820 is provided on the first slider 810 and is guided by a linear motion guide extending in the Z direction so as to be movable in the Z direction.

第3のスライダ(不図示)は、第2のスライダ820に設けられX方向に延びる直動ガイドに案内され、X方向に移動可能に設けられている。 The third slider (not shown) is provided on the second slider 820 and is guided by a linear motion guide extending in the X direction so as to be movable in the X direction.

ハンド840は、エアシリンダ842及び把持爪844を有している。
エアシリンダ842は、X軸方向に延びる軸AX81回りに回転できるように、第3のスライダ(不図示)に設けられている。
把持爪844は、エアシリンダ842によって進退し、進退する方向と交差する方向に開閉できる。
従って、把持爪844は、X方向、Y方向及びZ方向に移動することに加え、軸AX81回りに回転して進退し、先端に形成された各切り欠き846にてワーク12の外縁部を把持できる。
なお、図9に示した状態に基づいて具体的に説明すると、4つの把持爪844全体が、同図9に示した状態からX方向、Y方向及びZ方向に移動したり、正面側から見て回転軸AX81を中心として左回りに回転したり、Y方向に開いて把持したワーク12を解放したりできる。
The hand 840 has an air cylinder 842 and a gripping claw 844.
The air cylinder 842 is provided on a third slider (not shown) so that it can rotate around an axis AX81 extending in the X-axis direction.
The gripping claw 844 can be moved back and forth by the air cylinder 842 and can be opened and closed in a direction intersecting the direction of moving forward and backward.
Therefore, in addition to moving in the X, Y, and Z directions, the gripping claw 844 rotates around the axis AX81 to move forward and backward, and grips the outer edge of the work 12 with each notch 846 formed at the tip. it can.
More specifically, the four gripping claws 844 as a whole move from the state shown in FIG. 9 in the X direction, the Y direction, and the Z direction, or are viewed from the front side, to be specifically described based on the state shown in FIG. The work 12 can be rotated counterclockwise about the rotation axis AX81, or the work 12 opened in the Y direction and gripped can be released.

払出部90は、図1及び図2に示すように、正面から見てワーク保持部40を挟んで供給部20とは反対の側、すなわち、画像検査装置10の左手側に配置され、第2の搬送ロボット80からワーク12が受け渡される。 As shown in FIGS. 1 and 2, the payout unit 90 is arranged on the side opposite to the supply unit 20 with the work holding unit 40 sandwiched from the front, that is, on the left hand side of the image inspection device 10, and is a second. The work 12 is delivered from the transfer robot 80 of the above.

払出部90は、検査結果に応じてワーク12が払い出される第1の払出用グラビティコンベヤ902a、902b、第2の払出用グラビティコンベヤ902c及び第3の払出用グラビティコンベヤ902dを有している。 The payout unit 90 has a first payout gravity conveyors 902a and 902b, a second payout gravity conveyor 902c, and a third payout gravity conveyor 902d, in which the work 12 is paid out according to the inspection result.

第1の払出用グラビティコンベヤ902a、902bは、X方向に延び、並んで2列配置されている。第1の払出用グラビティコンベヤ902a、902bは、それぞれ後方側から前方側(画像検査装置10の前面側)に向かって高さが低くなるように搬送面が傾斜している。第1の払出用グラビティコンベヤ902a、902bの後方側の端部は、図3に示すように、それぞれワーク12の検査位置から左方向(第2の搬送ロボット80がワーク12を払い出すために第1のスライダ810が移動するY方向)に離れた位置にある。この後方側の端部は、第1の払出場所B1(図2参照)となっており、良品と判断されたワーク12が搬送される。
第1の払出場所B1には、搬送面の下方からローラの間を通って上昇し、第2の搬送ロボット80によって搬送されたワーク12が受け渡される昇降ユニット904a、904b(図1参照)が設けられている。
The first payout gravity conveyors 902a and 902b extend in the X direction and are arranged side by side in two rows. The transport surfaces of the first payout gravity conveyors 902a and 902b are inclined so that their heights decrease from the rear side to the front side (front side of the image inspection device 10), respectively. As shown in FIG. 3, the rear ends of the first payout gravity conveyors 902a and 902b are located in the left direction from the inspection position of the work 12 (for the second transfer robot 80 to pay out the work 12). It is located at a position separated from the slider 810 of 1 in the Y direction in which it moves). The rear end portion serves as a first payout location B1 (see FIG. 2), and the work 12 judged to be a non-defective product is conveyed.
Elevating units 904a and 904b (see FIG. 1) that rise from below the transport surface through the rollers and deliver the work 12 transported by the second transfer robot 80 to the first payout location B1. It is provided.

第2の払出用グラビティコンベヤ902cは、X方向に延び、第1の払出用グラビティコンベヤ902a、902bよりも後方側に配置されている。第2の払出用グラビティコンベヤ902cは、前方側から後方側に向かって高さが低くなるように搬送面が傾斜している。第2の払出用グラビティコンベヤ902cの前方側の端部は、第2の払出場所B2(図2参照)となっており、不良品と判断されたワーク12が搬送される。
第2の払出場所B2には、搬送面の下方からローラの間を通って上昇し、第2の搬送ロボット80によって搬送されたワーク12が受け渡される昇降ユニット904c(図1参照)が設けられている。
The second payout gravity conveyor 902c extends in the X direction and is arranged behind the first payout gravity conveyors 902a and 902b. The transport surface of the second payout gravity conveyor 902c is inclined so that the height decreases from the front side to the rear side. The front end of the second payout gravity conveyor 902c is the second payout place B2 (see FIG. 2), and the work 12 determined to be defective is conveyed.
The second payout location B2 is provided with an elevating unit 904c (see FIG. 1) that rises from below the transport surface through the rollers and delivers the work 12 transported by the second transfer robot 80. ing.

第3の払出用グラビティコンベヤ902dは、第2の払出用グラビティコンベヤ902cと並んで配置されている。第3の払出用グラビティコンベヤ902dは、前方側から後方側に向かって高さが低くなるように搬送面が傾斜している。第3の払出用グラビティコンベヤ902dの前方側の端部は、第3の払出場所B3(図2参照)となっており、良品とも不良品とも判別し難く再検査が必要な再検査品と判断されたワーク12が搬送される。
第3の払出場所B3には、搬送面の下方からローラの間を通って上昇し、第2の搬送ロボット80によって搬送されたワーク12が受け渡される昇降ユニット904d(図1参照)が設けられている。
The third payout gravity conveyor 902d is arranged side by side with the second payout gravity conveyor 902c. The transfer surface of the third payout gravity conveyor 902d is inclined so that the height decreases from the front side to the rear side. The front end of the third payout gravity conveyor 902d is the third payout location B3 (see FIG. 2), and it is difficult to distinguish between a non-defective product and a defective product, and it is determined that the product needs to be re-inspected. The work 12 is conveyed.
The third payout location B3 is provided with an elevating unit 904d (see FIG. 1) that rises from below the transport surface through the rollers and delivers the work 12 transported by the second transfer robot 80. ing.

次に、画像検査装置10の動作について説明する。
画像検査装置10は、以下のステップS1〜S11に従って動作し、ワーク12を画像検査できる。ただし、可能な場合には、各ステップS1〜S11は順番を入れ替えて実施されてもよいし、並行して実施されてもよい。
Next, the operation of the image inspection device 10 will be described.
The image inspection device 10 operates according to the following steps S1 to S11, and can inspect the work 12 by image inspection. However, if possible, the steps S1 to S11 may be performed in a different order or may be performed in parallel.

(ステップS1)
複数のワーク12が、図2に示す投入用グラビティコンベヤ202a、202bの前面側に載せられる。各ワーク12が投入用グラビティコンベヤ202a、202bに載って移動し、供給場所Aに到達する。
供給場所Aに到達したワーク12は、押上機構が有する丸棒状の押上部材204によって持ち上げられる。
押上部材204によって持ち上げられたワーク12は、搬送面から浮いた状態になる。
(Step S1)
A plurality of works 12 are placed on the front side of the loading gravity conveyors 202a and 202b shown in FIG. Each work 12 moves on the loading gravity conveyors 202a and 202b and reaches the supply location A.
The work 12 that has reached the supply location A is lifted by the round bar-shaped push-up member 204 of the push-up mechanism.
The work 12 lifted by the push-up member 204 is in a floating state from the transport surface.

(ステップS2)
第1の搬送ロボット30(図4参照)が、搬送面から浮いた状態のワーク12の外周縁を把持し、図3の矢印T1で示すように、ワーク保持部40に搬送する。
(Step S2)
The first transfer robot 30 (see FIG. 4) grips the outer peripheral edge of the work 12 floating from the transfer surface and transfers it to the work holding portion 40 as shown by the arrow T1 in FIG.

(ステップS3)
ワーク12が第1の保持器420a(図5参照)が有する回転固定軸424aの先端に挿入された後、第1の搬送ロボット30が退避する。開閉部材426aが閉じることにより、ワーク12が第1の保持器420aに保持される。
ワーク12が第1の保持器420aに保持された状態において、中心軸AX42とワーク12の中心軸とが実質的に一致する。
(Step S3)
After the work 12 is inserted into the tip of the rotary fixed shaft 424a of the first cage 420a (see FIG. 5), the first transfer robot 30 retracts. By closing the opening / closing member 426a, the work 12 is held by the first cage 420a.
In a state where the work 12 is held by the first cage 420a, the central axis AX42 and the central axis of the work 12 substantially coincide with each other.

(ステップS4)
回転台410が、図3の矢印T2a又は矢印T2bで示すように、半回転する。
ワーク12を保持した第1の保持器420aが画像検査をするための検査位置に移動するとともに、第2の保持器420bが、第1の搬送ロボット30からワーク12を受け取る受け取り位置へと移動する。
(Step S4)
The turntable 410 rotates half a turn as indicated by the arrow T2a or the arrow T2b in FIG.
The first cage 420a holding the work 12 moves to the inspection position for performing an image inspection, and the second cage 420b moves to the receiving position where the work 12 is received from the first transfer robot 30. ..

(ステップS5)
第1の撮像部50(図6〜図8参照)が有する第2のスライダ554が前方側の退避位置から後方側へと移動するとともに第1のスライダ552が下降し、カメラ510及び照明器520が撮像位置へと移動する。
一方で、第2の撮像部60のスライダ652が後方側の退避位置から前方側へと移動し、カメラ610、照明器620及び遮光板630が撮像位置へと移動する。
(Step S5)
The second slider 554 of the first imaging unit 50 (see FIGS. 6 to 8) moves from the retracted position on the front side to the rear side, and the first slider 552 descends to move the camera 510 and the illuminator 520. Moves to the imaging position.
On the other hand, the slider 652 of the second imaging unit 60 moves from the retracted position on the rear side to the front side, and the camera 610, the illuminator 620, and the light-shielding plate 630 move to the imaging position.

(ステップS6)
第1の保持器420a(図5参照)のサーボモータ422aが駆動され、回転固定軸424aが中心軸AX42回りに少なくとも360度回転するとともに、図6に示す各カメラ510、610による撮像が開始される。
すなわち、第1の保持器420aに保持されたワーク12が自身の中心軸の回りに回転し、各カメラ510、610によって、予め決められた撮像箇所が全周にわたって撮像される。
なお、本ステップS6において、ワークは、ワーク自身の中心軸の回りに回転することに限定されるものではない。予め決められた被検査箇所が全て撮像できるのであれば、予め決められた軸の回りにワークが回転してもよいし、更に言えば、予め決められた被検査箇所を全て撮像するためにワークの姿勢が変更されればよい。
したがって、例えばワークがミッションケースの場合は、保持器に保持されたミッションケースが予め設定された軸回りに回転し、カメラによって予め決められた全ての撮像箇所が撮像される。
(Step S6)
The servomotor 422a of the first cage 420a (see FIG. 5) is driven, the rotation fixed shaft 424a rotates at least 360 degrees around the central axis AX42, and imaging by the cameras 510 and 610 shown in FIG. 6 is started. To.
That is, the work 12 held by the first cage 420a rotates around its own central axis, and the cameras 510 and 610 take images of predetermined imaging points over the entire circumference.
In this step S6, the work is not limited to rotating around the central axis of the work itself. If all the predetermined parts to be inspected can be imaged, the work may be rotated around the predetermined axis, and more specifically, the work for imaging all the predetermined parts to be inspected. The posture of is changed.
Therefore, for example, when the work is a mission case, the mission case held in the cage rotates around a preset axis, and all the imaging points predetermined by the camera are imaged.

(ステップS7)
画像処理装置(不図示)が、撮像された画像に基づいて、欠陥の有無を検出する。更に、画像処理装置は、欠陥の検出結果に基づいて、ワーク12を良品、不良品又は再検査が必要な再検査品のいずれに該当するかを判定する。
なお、撮像開始(ステップS6)からワーク12の判定(本ステップS7)までに要する時間は、例えば4.5秒である。
(Step S7)
An image processing device (not shown) detects the presence or absence of defects based on the captured image. Further, the image processing apparatus determines whether the work 12 is a non-defective product, a defective product, or a re-inspected product that requires re-inspection, based on the defect detection result.
The time required from the start of imaging (step S6) to the determination of the work 12 (this step S7) is, for example, 4.5 seconds.

(ステップS8)
第1の撮像部50及び第2の撮像部60が、それぞれ退避位置へと退避する。
(Step S8)
The first imaging unit 50 and the second imaging unit 60 each retract to the retracted position.

(ステップS9)
図5に示す開閉部材426aが開き、ワーク12が開放される。
(Step S9)
The opening / closing member 426a shown in FIG. 5 opens, and the work 12 is opened.

(ステップS10)
第2の搬送ロボット80が、第1の保持器420aの回転固定軸424aからワーク12を抜き取る。
その後、開閉部材426aが閉じ、回転台410が回転軸AX41回りに半回転し、第1の保持器420aが第1の搬送ロボット30からワーク12を受け取る受け取り位置へと移動するとともに、後続のワーク12を保持した第2の保持器420bが、検査位置に移動する。
なお、本ステップにて回転台410が回転し始めるまでの間に、受け取り位置にある第2の保持器420bに後続のワーク12が保持される。第2の保持器420bにワーク12が保持されるまでの動作については、前述の第1の保持器420aにワーク12が保持されるまでの動作と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
このように、第1の保持器420aに保持されたワーク12が画像検査され、回転台410が回転し始めるまでの間に、第1の保持器420aと回転軸AX41を挟んで反対の側に設けられた第2の保持器420bに後続のワーク12が保持されるので、ワーク12が効率よく順に処理される。
(Step S10)
The second transfer robot 80 pulls out the work 12 from the rotation fixed shaft 424a of the first cage 420a.
After that, the opening / closing member 426a closes, the turntable 410 rotates half a turn around the rotation shaft AX41, the first cage 420a moves to the receiving position where the work 12 is received from the first transfer robot 30, and the subsequent work The second cage 420b holding the 12 moves to the inspection position.
The subsequent work 12 is held by the second cage 420b at the receiving position until the turntable 410 starts to rotate in this step. The operation until the work 12 is held by the second cage 420b is the same as the operation until the work 12 is held by the first cage 420a described above, and thus detailed description thereof will be omitted. ..
In this way, the work 12 held by the first cage 420a is image-inspected, and before the turntable 410 starts to rotate, the first cage 420a and the rotation shaft AX41 are sandwiched between the work 12 and the opposite side. Since the subsequent work 12 is held by the provided second cage 420b, the work 12 is efficiently processed in order.

(ステップS11)
第2の搬送ロボット80が、画像処理装置の判定結果に基づいて、図3の矢印T3a、T3b、T4、T5で示すように、ワーク12を第1の払出用グラビティコンベヤ902a、902b、第2の払出用グラビティコンベヤ902c及び第3の払出用グラビティコンベヤ902dのいずれかに搬送する。すなわち、第2の搬送ロボット80は、良品、不良品又は再検査品と判断されたワーク12を、判断結果に応じて、第1の払出場所B1、第2の払出場所B2又は第3の払出場所B3へと搬送する。
(Step S11)
Based on the determination result of the image processing device, the second transfer robot 80 transfers the work 12 to the first payout gravity conveyors 902a, 902b, and 2 as indicated by arrows T3a, T3b, T4, and T5 in FIG. Conveyor to either the payout gravity conveyor 902c or the third payout gravity conveyor 902d. That is, the second transfer robot 80 dispenses the work 12 determined to be a non-defective product, a defective product, or a re-inspected product to the first payout place B1, the second payout place B2, or the third payout place according to the judgment result. Transport to location B3.

従って、良品と判断されたワーク12は、昇降ユニット904a又は昇降ユニット904bに受け渡され、第1の払出用グラビティコンベヤ902a又は第1の払出用グラビティコンベヤ902bに載って画像検査装置10の前方側へと移動する。
不良品と判断されたワーク12は、昇降ユニット904cに受け渡され、第2の払出用グラビティコンベヤ902cに載って後方側の予め決められた場所まで移動する。
再検査品と判断されたワーク12は、昇降ユニット904dに受け渡され、第3の払出用グラビティコンベヤ902dに載って後方側の予め決められた場所まで移動する。
Therefore, the work 12 determined to be a non-defective product is delivered to the elevating unit 904a or the elevating unit 904b, and is placed on the first payout gravity conveyor 902a or the first payout gravity conveyor 902b on the front side of the image inspection device 10. Move to.
The work 12 determined to be defective is delivered to the elevating unit 904c, placed on the second payout gravity conveyor 902c, and moved to a predetermined location on the rear side.
The work 12 determined to be a re-inspected product is delivered to the elevating unit 904d, placed on the third payout gravity conveyor 902d, and moved to a predetermined location on the rear side.

以降、前述のステップS1〜S11を繰り返すことによって、第1の保持器420a及び第2の保持器420bが受け取り位置と検査位置との間を往復し、順次ワーク12が画像検査され、画像処理装置による判定結果に応じて第1〜第3の払出場所B1〜B3に払い出される。 After that, by repeating the above-mentioned steps S1 to S11, the first cage 420a and the second cage 420b reciprocate between the receiving position and the inspection position, the work 12 is sequentially image-inspected, and the image processing apparatus. It is paid out to the first to third payout places B1 to B3 according to the determination result by.

以上説明した画像検査装置10によれば、ワーク12の姿勢を変更するワーク保持部40並びにワーク12の表面側を撮像する第1の撮像部50及びワーク12の裏面側を撮像する第2の撮像部60を備えているので、ワーク12を効率よく画像検査できる。 According to the image inspection device 10 described above, the work holding portion 40 that changes the posture of the work 12, the first imaging unit 50 that images the front surface side of the work 12, and the second imaging that images the back surface side of the work 12. Since the unit 60 is provided, the work 12 can be efficiently image-inspected.

次に、画像検査装置10の事前の調整方法、特に、第1の撮像部50及び第2の撮像部60の調整方法について説明する。
画像検査装置10を前述の動作方法に従って稼働させるにあたっては、事前に調整が必要である。特に、精度良く判別可能な欠陥画像が撮像できるように、カメラ510、610、照明器520、610及び遮光板630を適切な撮像位置に調整することが重要である。
そこで、制御部が、予め高い精度で傷等の欠陥を判別できるワーク12の画像を参照画像として記憶しておき、この参照画像に近い画像が撮像できるように、第1の撮像部50及び第2の撮像部60を移動させる。参照画像と近い画像であるか否かは、パターンマッチングにより判定されてもよいし、AIによって判定されてもよい。
Next, a method of adjusting the image inspection device 10 in advance, particularly a method of adjusting the first imaging unit 50 and the second imaging unit 60 will be described.
In order to operate the image inspection device 10 according to the above-mentioned operation method, adjustment is required in advance. In particular, it is important to adjust the cameras 510, 610, the illuminators 520, 610, and the shading plate 630 to appropriate imaging positions so that a defect image that can be accurately discriminated can be captured.
Therefore, the control unit stores in advance an image of the work 12 capable of discriminating defects such as scratches as a reference image, and the first image pickup unit 50 and the first image pickup unit 50 and the first so that an image close to the reference image can be captured. The image pickup unit 60 of 2 is moved. Whether or not the image is close to the reference image may be determined by pattern matching or by AI.

このように画像検査装置10においては、第1の撮像部50が有するカメラ510及び照明器520並びに第2の撮像部60が有するカメラ610、照明器620及び遮光板630が移動可能に設けられていることから、各カメラ510、610、各照明器520、620及び遮光板630の撮像位置の調整が容易である。画像検査装置10が設置されている場所から離れた場所から遠隔操作により撮像位置を調整することも可能となる。
更に、画像検査装置10は、第1の撮像部50及び第2の撮像部60が移動可能に設けられていない場合と比較して、装置全体の設置面積が低減される。
As described above, in the image inspection device 10, the camera 510 and the illuminator 520 included in the first imaging unit 50 and the camera 610, the illuminator 620 and the shading plate 630 included in the second imaging unit 60 are movably provided. Therefore, it is easy to adjust the imaging positions of the cameras 510 and 610, the illuminators 520 and 620, and the shading plate 630. It is also possible to adjust the imaging position by remote control from a place away from the place where the image inspection device 10 is installed.
Further, in the image inspection device 10, the installation area of the entire device is reduced as compared with the case where the first image pickup unit 50 and the second image pickup section 60 are not movably provided.

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
ワークは、例えば矩形状であってもよい。また、ワークが、例えばカメラの視野に収まるような小型の平板である場合には、撮像部がワーク全体を撮像するために、必ずしも第1の保持器又は第2の保持器が保持したワークを回転させる必要はない。ただし、撮像の前に第1の保持器又は第2の保持器がワークを回転させることによって、撮像する際のワークの姿勢を調整することができ、撮像の後にワークを回転させることによって、第2の搬送部に受け渡す際のワークの姿勢を調整することができる。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and all changes in conditions that do not deviate from the gist are within the scope of the present invention.
The work may be rectangular, for example. Further, when the work is a small flat plate that fits in the field of view of the camera, for example, in order for the imaging unit to image the entire work, the work held by the first cage or the second cage is not necessarily used. There is no need to rotate it. However, the posture of the work at the time of imaging can be adjusted by rotating the work by the first cage or the second cage before imaging, and by rotating the work after imaging, the first cage is used. It is possible to adjust the posture of the work when it is delivered to the transport unit of 2.

第1の保持器及び第2の保持器は、ワークを回転させることに限定されるものではなく、撮像部がワークの検査対象箇所の全体を撮像するためにワークの姿勢を変更できればよい。 The first cage and the second cage are not limited to rotating the work, and it is sufficient that the imaging unit can change the posture of the work in order to image the entire inspection target portion of the work.

10 画像検査装置
12 ワーク
20 供給部
30 第1の搬送ロボット
40 ワーク保持部
50 第1の撮像部
60 第2の撮像部
80 第2の搬送ロボット
90 払出部
124 突出部
202a、202b 投入用グラビティコンベヤ
204 押上部材
310 直動機構
320 スライダ
322 ガイド
330 ハンド
332 エアシリンダ
334 把持爪
410 回転台
412 エアモータ
420a 第1の保持器
420b 第2の保持器
422a、422b サーボモータ
424a、424b 回転固定軸
426a、426b 開閉部材
428a、428b エアシリンダ
430a 固定部材
432a 押さえ部材
510 カメラ
520 照明器
550 移動機構
552 第1のスライダ
554 第2のスライダ
556 支持部材
610 カメラ
620 照明器
630 遮光板
650 移動機構
652 スライダ
656 支持部材
808 直動ガイド
810 第1のスライダ
820 第2のスライダ
840 ハンド
842 エアシリンダ
844 把持爪
902a、902b 第1の払出用グラビティコンベヤ
902c 第2の払出用グラビティコンベヤ
902d 第2の払出用グラビティコンベヤ
904a、904b、904c、904d 昇降ユニット
AX31 軸
AX41 回転軸
AX42 中心軸
AX43 回転軸
AX81 軸
H124 孔
10 Image inspection device 12 Work 20 Supply unit 30 First transfer robot 40 Work holding unit 50 First imaging unit 60 Second imaging unit 80 Second transfer robot 90 Discharge unit 124 Projections 202a, 202b Gravity conveyor for loading 204 Push-up member 310 Linear movement mechanism 320 Slider 322 Guide 330 Hand 332 Air cylinder 334 Gripping claw 410 Rotating table 412 Air motor 420a First cage 420b Second cage 422a, 422b Servo motor 424a, 424b Rotating fixed shaft 426a, 426b Opening and closing member 428a, 428b Air cylinder 430a Fixing member 432a Holding member 510 Camera 520 Illuminator 550 Moving mechanism 552 First slider 554 Second slider 556 Supporting member 610 Camera 620 Illuminator 630 Shading plate 650 Moving mechanism 652 Slider 656 Supporting member 808 Linear guide 810 First slider 820 Second slider 840 Hand 842 Air cylinder 844 Gripping claws 902a, 902b First payout gravity conveyor 902c Second payout gravity conveyor 902d Second payout gravity conveyor 904a, 904b, 904c, 904d Lifting Unit AX31 Axis AX41 Rotating Axis AX42 Central Axis AX43 Rotating Axis AX81 Axis H124 Hole

Claims (10)

回転軸回りに回転する回転台、該回転台に設けられ、保持した自動車部品又は航空機部品であるワークを予め決められた第1の軸回りに回転させる第1の保持器及び該回転台に設けられ、保持した前記ワークを予め決められた第2の軸回りに回転させる第2の保持器を有し、前記回転台が前記回転軸回りに回転することによって、前記第1の保持器が前記ワークを受け取る受け取り位置から検査位置まで移動するとともに前記第2の保持器が前記検査位置から前記受け取り位置まで移動するワーク保持部と、
前記ワーク保持部と干渉しない第1の退避位置から前記検査位置にある前記ワークを撮像する第1の撮像位置まで移動し、前記第1の軸回りに回転する前記ワークの表面側の予め決められた第1の撮像箇所を撮像する第1の撮像部と、
前記ワーク保持部と干渉しない第2の退避位置から前記検査位置にある前記ワークを撮像する第2の撮像位置まで移動し、前記第1の軸回りに回転する前記ワークの裏面側の予め決められた第2の撮像箇所を撮像する第2の撮像部と、
前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部によって撮像された画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する判定部と、を備え
前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記第1の撮像箇所及び前記第2の撮像箇所を、全周にわたって撮像する画像検査装置。
A turntable that rotates around a rotation axis, a first cage that is provided on the turntable and that rotates a workpiece that is an automobile part or an aircraft part held on the turntable around a predetermined first axis, and a turntable. It has a second cage that rotates the held work around a predetermined second axis, and the turntable rotates around the rotation axis, whereby the first cage is said to be the same. A work holding unit that moves from the receiving position for receiving the work to the inspection position and the second cage moves from the inspection position to the receiving position .
A predetermined position on the surface side of the work that moves from a first retracted position that does not interfere with the work holding portion to a first imaging position that images the work at the inspection position and rotates around the first axis. A first imaging unit that captures the first imaging location, and
A predetermined position on the back surface side of the work that moves from a second retracted position that does not interfere with the work holding portion to a second imaging position that images the work at the inspection position and rotates around the first axis. A second imaging unit that captures the second imaging location, and
A determination unit for determining the quality of the work based on the image captured by the first imaging unit and the second imaging unit is provided .
An image inspection device in which the first imaging unit and the second imaging unit capture the first imaging location and the second imaging location over the entire circumference, respectively.
請求項1記載の画像検査装置において、
前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記ワークを撮像するカメラと、
前記ワークを照らす照明器と、を有する画像検査装置。
In the image inspection apparatus according to claim 1,
The first imaging unit and the second imaging unit have a camera that images the work and a camera, respectively.
An image inspection device including an illuminator that illuminates the work.
請求項1記載の画像検査装置において、
前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記ワークを撮像するカメラと、
前記ワークを照らす照明器と、
前記カメラ及び前記ワークをそれぞれ独立に移動させる移動機構と、を有する画像検査装置。
In the image inspection apparatus according to claim 1,
The first imaging unit and the second imaging unit have a camera that images the work and a camera, respectively.
An illuminator that illuminates the work and
An image inspection device having a moving mechanism for independently moving the camera and the work.
請求項1記載の画像検査装置において、
前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記ワークの異なる位置を撮像する複数のカメラと、
前記ワークを照らす照明器と、
外乱光を遮る遮光部材と、を有する画像検査装置。
In the image inspection apparatus according to claim 1,
A plurality of cameras in which the first imaging unit and the second imaging unit each capture different positions of the work, and
An illuminator that illuminates the work and
An image inspection device having a light-shielding member that blocks ambient light.
請求項1記載の画像検査装置において、
前記第1の撮像部及び前記第2の撮像部が、それぞれ、前記ワークの異なる位置を撮像する複数のカメラと、
前記ワークを照らす照明器と、
外乱光を遮る遮光部材と、
前記複数のカメラ、前記照明器及び前記遮光部材をそれぞれ独立に移動させる移動機構と、を有する画像検査装置。
In the image inspection apparatus according to claim 1,
A plurality of cameras in which the first imaging unit and the second imaging unit each capture different positions of the work, and
An illuminator that illuminates the work and
A light-shielding member that blocks ambient light,
An image inspection device having the plurality of cameras, the illuminator, and a moving mechanism for independently moving the light-shielding member.
請求項2〜5のいずれか1項に記載の画像検査装置において、In the image inspection apparatus according to any one of claims 2 to 5.
前記第1の保持器が、保持した前記ワークを前記第1の軸回りに少なくとも360度回転させる画像検査装置。An image inspection device in which the first cage rotates the held work by at least 360 degrees around the first axis.
請求項6記載の画像検査装置において、
前記ワークを前記受け取り位置にある前記第1の保持器に搬送する第1の搬送部と、
前記検査位置にある前記第1の保持器から前記ワークを搬送する第2の搬送部と、を更に備えた画像検査装置。
In the image inspection apparatus according to claim 6,
A first transport unit that transports the work to the first cage at the receiving position, and
An image inspection device further comprising a second transport unit for transporting the work from the first cage at the inspection position.
請求項7記載の画像検査装置において、
前記第2の搬送部が搬送する前記ワークが払い出される第1〜第3の払出場所が設けられた払出部を更に備え、
前記第2の搬送部が、前記判定部が判定した良品、不良品及び再検査が必要な再検査品を、それぞれ前記第1〜第3の払出場所に搬送する画像検査装置。
In the image inspection apparatus according to claim 7,
Further provided with a payout unit provided with first to third payout locations for paying out the work to be conveyed by the second transport unit.
An image inspection device in which the second transport unit transports a non-defective product, a defective product, and a re-inspected product that needs to be re-inspected, respectively, to the first to third payout locations.
請求項8記載の画像検査装置において、In the image inspection apparatus according to claim 8,
前記第1の保持器が、先端部にて前記ワークを支持し前記第1の軸回りに回転する第1の回転固定軸を有し、The first cage has a first rotary fixed shaft that supports the work at a tip and rotates around the first shaft.
前記第2の保持器が、先端部にて前記ワークを支持し前記第2の軸回りに回転する第2の回転固定軸を有する画像検査装置。An image inspection device in which the second cage has a second rotation fixed shaft that supports the work at a tip portion and rotates around the second axis.
請求項8記載の画像検査装置において、
前記ワークが、突出した突出部を有する部品であり、
前記第1の保持器が、前記突出部に挿入され、前記第1の軸回りに回転する第1の回転固定軸と、
開閉し、前記第1の回転固定軸に挿入された前記突出部を回転可能に押さえる第1の開閉部材と、を有し、
前記第2の保持器が、前記突出部に挿入され、前記第2の軸回りに回転する第2の回転固定軸と、
開閉し、前記第2の回転固定軸に挿入された前記突出部を回転可能に押さえる第2の開閉部材と、を有する画像検査装置。

In the image inspection apparatus according to claim 8,
The work is a part having a protruding portion.
The first cage is inserted into the protrusion and rotates around the first shaft with a first rotary fixed shaft.
It has a first opening / closing member that opens / closes and rotatably presses the protruding portion inserted into the first rotation fixing shaft.
The second cage is inserted into the protrusion and rotates around the second shaft with a second rotary fixed shaft.
An image inspection device having a second opening / closing member that opens / closes and rotatably presses the protruding portion inserted into the second rotation fixing shaft.

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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08136463A (en) * 1994-11-10 1996-05-31 Taiyo Yuden Co Ltd Appearance inspection device
JPH1194765A (en) * 1997-09-19 1999-04-09 Fuji Photo Film Co Ltd System and method for visual inspection of xenon discharge tube
JP2006029846A (en) * 2004-07-13 2006-02-02 Sumitomo Wiring Syst Ltd Molding appearance inspection system and molding inspection method
JP2007185723A (en) * 2006-01-11 2007-07-26 Fujifilm Corp Apparatus and method for automatic alignment
JP2008082900A (en) * 2006-09-27 2008-04-10 Sumitomo Electric Ind Ltd Appearance inspecting apparatus
WO2015011782A1 (en) * 2013-07-23 2015-01-29 株式会社安川電機 Inspection apparatus
JP2017190962A (en) * 2016-04-11 2017-10-19 日本電産トーソク株式会社 Device and method for inspecting workpiece appearance
JP2018179789A (en) * 2017-04-14 2018-11-15 キヤノン株式会社 Inspection device, inspection method, and item manufacturing method

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08136463A (en) * 1994-11-10 1996-05-31 Taiyo Yuden Co Ltd Appearance inspection device
JPH1194765A (en) * 1997-09-19 1999-04-09 Fuji Photo Film Co Ltd System and method for visual inspection of xenon discharge tube
JP2006029846A (en) * 2004-07-13 2006-02-02 Sumitomo Wiring Syst Ltd Molding appearance inspection system and molding inspection method
JP2007185723A (en) * 2006-01-11 2007-07-26 Fujifilm Corp Apparatus and method for automatic alignment
JP2008082900A (en) * 2006-09-27 2008-04-10 Sumitomo Electric Ind Ltd Appearance inspecting apparatus
WO2015011782A1 (en) * 2013-07-23 2015-01-29 株式会社安川電機 Inspection apparatus
JP2017190962A (en) * 2016-04-11 2017-10-19 日本電産トーソク株式会社 Device and method for inspecting workpiece appearance
JP2018179789A (en) * 2017-04-14 2018-11-15 キヤノン株式会社 Inspection device, inspection method, and item manufacturing method

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