JP6880110B2 - 3次元の物体を付加製造する装置及び3次元の物体を付加製造する装置を構成する方法 - Google Patents

3次元の物体を付加製造する装置及び3次元の物体を付加製造する装置を構成する方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6880110B2
JP6880110B2 JP2019118192A JP2019118192A JP6880110B2 JP 6880110 B2 JP6880110 B2 JP 6880110B2 JP 2019118192 A JP2019118192 A JP 2019118192A JP 2019118192 A JP2019118192 A JP 2019118192A JP 6880110 B2 JP6880110 B2 JP 6880110B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
energy beam
modeling
energy
focal position
respect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019118192A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019162886A (ja
Inventor
マクシミリアン・バウアー
カイ・ハーテル
Original Assignee
ツェーエル・シュッツレヒツフェアヴァルトゥングス・ゲゼルシャフト・ミト・べシュレンクテル・ハフツング
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ツェーエル・シュッツレヒツフェアヴァルトゥングス・ゲゼルシャフト・ミト・べシュレンクテル・ハフツング filed Critical ツェーエル・シュッツレヒツフェアヴァルトゥングス・ゲゼルシャフト・ミト・べシュレンクテル・ハフツング
Publication of JP2019162886A publication Critical patent/JP2019162886A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6880110B2 publication Critical patent/JP6880110B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/046Automatically focusing the laser beam
    • B23K26/048Automatically focusing the laser beam by controlling the distance between laser head and workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y50/00Data acquisition or data processing for additive manufacturing
    • B33Y50/02Data acquisition or data processing for additive manufacturing for controlling or regulating additive manufacturing processes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/20Direct sintering or melting
    • B22F10/28Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/30Process control
    • B22F10/31Calibration of process steps or apparatus settings, e.g. before or during manufacturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/40Radiation means
    • B22F12/44Radiation means characterised by the configuration of the radiation means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • B29C64/141Processes of additive manufacturing using only solid materials
    • B29C64/153Processes of additive manufacturing using only solid materials using layers of powder being selectively joined, e.g. by selective laser sintering or melting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/20Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B29C64/245Platforms or substrates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/20Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B29C64/264Arrangements for irradiation
    • B29C64/268Arrangements for irradiation using laser beams; using electron beams [EB]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/30Auxiliary operations or equipment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/30Auxiliary operations or equipment
    • B29C64/386Data acquisition or data processing for additive manufacturing
    • B29C64/393Data acquisition or data processing for additive manufacturing for controlling or regulating additive manufacturing processes
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/704162.5D lithography
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/60Planarisation devices; Compression devices
    • B22F12/67Blades
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00Processes of additive manufacturing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25Process efficiency

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Description

本発明は、エネルギービームによって固化することができる造形材料層を連続して層ごとに選択的に照射および固化することによって3次元の物体を付加製造(additively manufacturing)するための装置に関し、この装置は、造形平面の少なくとも一部にわたってエネルギービームで走査するように構成された走査ユニットを備える。
そのような装置は、従来技術からよく知られており、造形材料層の領域を選択的に照射および固化するために、エネルギービーム、たとえばレーザビームまたは電子ビームが使用される。したがって、造形材料層を選択的に連続して照射することによって、物体を製造することができる。それぞれの造形材料層の事前に選択された領域の選択的な照射を実行するために、典型的には、造形平面の少なくとも一部にわたってエネルギービームで走査するように構成された走査ユニットが提供される。この印加中の造形平面は、造形材料が配置され、エネルギービームによって照射および固化することができる平面である。
造形平面にわたってエネルギービームで走査することができ、エネルギービームが事前定義された焦点位置内または事前定義された焦点(もしくは焦点外れ)内に集束されることを保証するために、エネルギービームの焦点位置の較正が必要である。典型的には、造形材料、特に造形平面内に位置する造形材料を搬送する搬送ユニットが、z方向、すなわち上下に可動である。エネルギービームが造形平面内に集束されるエネルギービームの最適の焦点位置を見出すために、較正ルーチンが実行され、搬送ユニットが異なる対応するz位置に配置された状態で、エネルギービームによって複数のパターンが照射される。次に、異なるz方向に照射されたパターンが比較され、最良の焦点位置を有するパターンが、対応するパターンが照射された造形平面のz位置を決定すると評価される。
本発明の目的は、エネルギービームの較正が改善された、3次元の物体を付加製造するための装置を提供することである。
この目的は、本発明において、請求項1に記載の装置によって実現される。有利な実施形態は、従属請求項に準拠する。
本発明は、集束ユニット(focusing unit)が提供され、集束ユニットは、造形平面に対する、集束ユニットの少なくとも1つの光学部品の位置決めおよび/または集束ユニットの位置決めを介して、エネルギービームの焦点位置を制御するように構成されるという概念に基づいている。本発明によって、造形平面を動かすことによってエネルギービームの焦点位置を較正することに対する追加または代替として、集束ユニットを使用してエネルギービームの焦点位置を制御することが有利であることが認められた。したがって、焦点位置の変更が集束ユニットのみによって実行されまたは実行することができるため、造形平面は、較正ルーチン全体にわたって定位置に留まることができる。集束ユニットは、少なくとも1つの光学部品を備え、造形平面に対する少なくとも1つの光学部品の位置決めを介して、または造形平面に対する集束ユニット自体の位置決めを介して、エネルギービームの焦点位置を変えることができ、集束ユニット内の光学部品の位置は、一定のままとすることができる。
したがって、較正ルーチン全体にわたって、集束ユニットまたは集束ユニットの光学部品が異なる位置、特に異なるz位置にある状態で、少なくとも2つ(または複数)の露出を行うことができる。この印加中の集束ユニットの光学部品(光学構成要素)として、エネルギービームの広がり(収束または分散の程度)、すなわちエネルギービームが収束しているか、それとも分散しているかを変化させるように構成されたすべての光学部品を使用することができる。したがって、たとえば(電磁)レンズまたは(調整可能な)鏡など、任意の光学部品を使用することができる。したがって、造形平面をエネルギービームの焦点位置内へ動かすのではなく、画定された焦点(または焦点外れ)で造形平面内の造形材料を照射することができるように、エネルギービームの焦点位置を造形平面内へ動かす必要がある。
本明細書に記載する装置は、エネルギービームによって固化することができる粉末状の造形材料(「造形材料」)層を連続して層ごとに選択的に照射および固化することによって3次元の物体、たとえば技術的な構成要素を付加製造する装置である。それぞれの造形材料は、金属、セラミック、またはポリマーの粉末とすることができる。それぞれのエネルギービームは、レーザビームまたは電子ビームとすることができる。それぞれの装置は、たとえば、選択的レーザ焼結装置、選択的レーザ溶融装置、または選択的電子ビーム溶融装置とすることができる。
この装置は、その動作中に使用される複数の機能ユニットを備える。例示的な機能ユニットには、プロセスチャンバ、プロセスチャンバ内に配置された造形材料層を少なくとも1つのエネルギービームで選択的に照射するように構成された照射デバイス、および所与の流動特性、たとえば所与の流動プロファイル、流速など、でプロセスチャンバを通って少なくとも部分的に流れるガス状流体流を生成するように構成された流れ生成デバイスが挙げられる。ガス状流体流は、プロセスチャンバを通って流れる間に、固化されていない粒状の造形材料、特に装置の動作中に生成される煙または煙残留物で充填することが可能である。ガス状流体流は、典型的には不活性であり、すなわち典型的には不活性ガス、たとえばアルゴン、窒素、二酸化炭素など、の流れである。
この装置の第1の実施形態によれば、エネルギービーム源および/または集束ユニットが、この装置の特に造形チャンバ内の造形モジュールの画定された点に対して、エネルギービームの焦点位置を変化させるように構成された少なくとも1つの較正手段を伴う。したがって、たとえば調整ねじを介した走査ユニットまたは集束ユニットの位置の較正など、知られている較正方法と組み合わせて、集束ユニットによる焦点位置の変更を使用することができる。
集束ユニットは、少なくとも1つの光学レンズまたはレンズ系を備えることが、特に好ましい。レンズまたはレンズ系を介して、エネルギービームの焦点位置を変化させることが可能になる。したがって、レンズまたはレンズ系のレンズは、集束ユニットに対して、すなわち造形平面に対して可動である。レンズまたはレンズ系のレンズから造形平面までのエネルギービームの光路長を変動させることによって、エネルギービームの焦点位置を変えることができる。したがって、造形平面の位置ではなくエネルギービームの焦点位置が変化されるため、較正ルーチンにおいて造形平面を動かすことを省くことができる。
この装置の好ましい実施形態によれば、集束ユニットおよび/または走査ユニットを制御するように構成された制御ユニットが提供され、制御ユニットは、少なくとも1つの焦点決定ユニットの較正情報を受け取るように構成される。この実施形態によれば、焦点決定ユニットを介して、たとえば光センサ、特に造形平面上の露出パターンを記録するカメラを介して、エネルギービームの焦点または焦点位置を決定することができる。焦点決定ユニットによって決定され、制御ユニットによって受け取られる情報に応じて、エネルギービームの焦点位置を制御することができる。
さらに、焦点位置または焦点距離のオフセットを画定する焦点シフトが、制御ユニットへ供給可能である。したがって、エネルギービームの焦点位置または集束ユニットの少なくとも1つの光学部品の焦点距離にオフセットを加えることを可能にする焦点シフトを画定することができる。これにより、画定された焦点外れで造形材料層を選択的に照射することが可能になり、その結果、造形材料層の照射領域内への画定されたエネルギー入射を実現することができる。
さらに、本発明は、エネルギービームによって固化することができる造形材料層を連続して層ごとに選択的に照射および固化することによって3次元の物体を付加製造するための装置を較正する方法に関し、本発明においては、エネルギービームの焦点位置が制御される。従来技術から知られている較正方法とは異なり、エネルギービームの焦点位置を一定のままにして造形平面の位置、すなわち搬送要素の位置を変動させるのではなく、エネルギービームの焦点位置が制御される。
この装置に関して記載するすべての詳細、特徴、および利点は、本発明の方法に移行可能であり、逆も同様であることが自明である。本発明の方法は、好ましくは、上述した本発明の装置を較正するために使用することができる。
特に好ましくは、3次元の物体を付加製造するための装置を較正する方法は、
・エネルギービームの現在の焦点位置を決定するステップと、
・標的焦点位置を決定するステップと、
・標的焦点位置に対する現在の焦点外れを決定するステップと、
・現在の焦点位置を標的焦点位置へ移動させるように、少なくとも1つの光学部品のパラメータ、特に造形平面に対する光学部品の距離を制御するステップと、を含む。
この実施形態によれば、第1に、エネルギービームの現在の焦点位置が決定される。焦点位置は、たとえば、焦点位置決定ユニット、特にフォトセンサ、たとえばカメラを介して測定することができる。その後、現在の造形ジョブ、特に層のうち現在照射すべき領域に応じて、標的焦点位置が決定される。
決定された現在の焦点位置および標的焦点位置によって、標的焦点位置に対する現在の焦点外れが評価される。次に、現在の焦点位置を標的焦点位置へ移動させるように、少なくとも1つの光学部品のパラメータが制御される。パラメータは、たとえば、造形平面からの光学部品の距離とすることができ、エネルギービームの焦点位置は、造形平面から活動中の(可動の)光学部品までの距離を変動させることによって変えられる。また、少なくとも1つの光学部品の焦点距離、たとえば調整可能な鏡の焦点距離を変化させることも可能である。
本発明の例示的な実施形態について、図を参照して説明する。
例示的な実施形態による3次元の物体を付加製造する装置の原理図である。
唯一の図は、エネルギービーム4、5によって固化することができる造形材料層3を連続して層ごとに選択的に照射および固化することによって3次元の物体2を付加製造するための装置1を示し、装置1は、造形平面7にわたってエネルギービーム4、5で走査するように構成された走査ユニット6を備える。造形平面7は、装置1の造形モジュール9内を搬送要素8によって搬送される造形材料3の上面である。造形材料層3がエネルギービーム4、5によって照射された後、塗布ユニット10、たとえば被覆装置(コーター)を介して、新しい造形材料3を投与モジュール11から造形平面7へ運ぶことができる。装置1は、塗布ユニット10を介して運ばれる余分な造形材料3を受け取る溢流モジュール12をさらに備える。
さらに、この図は、エネルギービーム4、5を示し、エネルギービームの第1の較正には参照符号4が提供され、それによって焦点位置13が造形平面7内に位置する。したがって、エネルギービーム4は、造形平面7上に集束される。この図はまた、較正されていないエネルギービームを示し、この較正されていないエネルギービームには参照符号5が提供され、エネルギービーム5の焦点位置14は、造形平面7より下に位置し、その結果、エネルギービーム5は、造形平面7に対して焦点(集束)が外れている(焦点外れ)。
エネルギービーム5を較正するために、焦点位置14を焦点位置13へ移動させるようにエネルギービーム5の焦点位置14を制御するように構成された集束ユニット15が提供され、その結果、較正されたエネルギービーム4が得られる。さらに、画定された焦点外れを加えること、したがってエネルギービーム4、5の焦点位置13、14を画定されたオフセット位置へシフトさせることも可能である。
装置1は、エネルギービーム4、5の焦点もしくは焦点外れに関するおよび/またはエネルギービーム4、5の焦点位置13、14に関する較正情報を生成するように構成された焦点決定ユニット16をさらに備える。較正情報は、集束ユニット15および走査ユニット6を制御して、エネルギービーム4、5、特に造形平面7上のエネルギービーム4、5の位置および焦点位置13、14を制御するように構成された制御ユニット17によって、それぞれ送ることができまたは受け取ることができる。
焦点位置13、14は、集束ユニット15の光学部品(図示せず)が造形平面7に対して位置決めされ、かつ/または集束ユニット15が造形平面7に対して位置決めされるという点で、集束ユニット15を介して制御することができる。

Claims (9)

  1. エネルギービーム(4、5)によって、造形材料層(3)を連続して層ごとに選択的に照射および固化することによって3次元の物体(2)を付加製造する装置(1)であって、
    粉末状の造形材料層によって画定された造形平面(7)の少なくとも一部にわたって前記エネルギービーム(4、5)で走査するように構成された走査ユニット(6)と、
    光学レンズまたはレンズ系を含む集束ユニット(15)と、
    を含み、
    前記集束ユニット(15)は、
    少なくとも部分的に較正情報に基づいて前記エネルギービーム(4、5)の焦点位置(13、14)を制御するように構成され、
    少なくとも部分的には、標的焦点位置に対するエネルギービームの画定された焦点外れを引き起こすために、前記画定された焦点外れは、粉末状の造形材料層の少なくとも1つの照射領域に画定されたエネルギ入射を与えるように選択され、
    前記エネルギービーム(4、5)の焦点位置を変更することなく、前記造形平面(7)に対してz方向に集束ユニット(15)を移動させることによって、前記焦点位置(13、14)を制御
    前記エネルギービーム(4、5)は、付加的に製造された3次元物体を形成するために粉末状の造形材料層を連続的に照射し、固化するように構成されている、
    装置。
  2. 造形モジュール(9)を含み、
    前記集束ユニット(15)が、前記造形モジュール(9)の画定された点に対して、前記エネルギービーム(4、5)の前記焦点位置を変化させるように、前記造形平面(7)に対して、前記z方向に、移動するように構成されている、
    請求項1に記載の装置。
  3. 少なくとも部分的に較正情報に基づいて、前記造形平面(7)に対して、前記z方向に、前記集束ユニット(15)を移動するように構成されている制御ユニット(17)を含む、
    請求項1または2に記載の装置。
  4. 前記較正情報を決定するように構成されている焦点決定ユニット(16)を含む、
    請求項1〜請求項3の何れか1項に記載の装置。
  5. 前記制御ユニット(17)は、焦点シフトに対応する距離、前記造形平面(7)に対して、前記z方向に、前記集束ユニット(15)を移動させることにより、少なくとも部分的に、前記造形平面(7)に対して、前記z方向に、焦点位置(13、14)のオフセットを画定する前記焦点シフトを加えるように構成されている、
    請求項3に記載の装置。
  6. エネルギービーム(4、5)によって、造形材料層(3)を連続して層ごとに選択的に照射および固化することによって3次元の物体(2)を付加製造する装置(1)を較正する方法であって、
    少なくとも部分的に較正情報に基づいて造形平面(7)に対してz方向に光学レンズまたはレンズ系を含む集束ユニット(15)を移動し、
    走査ユニット(6)を使用して、前記造形平面(7)の少なくとも一部にわたって前記エネルギービーム(4、5)で走査し、
    前記造形平面は、粉末状の造形材料層によって画定され、
    前記エネルギービーム(4、5)の焦点距離を変化させることなく、前記集束ユニットで、前記エネルギービーム(4、5)の焦点位置(13、14)を制御し、
    少なくとも部分的には、標的焦点位置に対するエネルギービームの画定された焦点外れを引き起こすために、前記画定された焦点外れは、粉末状の造形材料層の少なくとも1つの照射領域に画定されたエネルギ入射を与えるように選択され、
    前記エネルギービーム(4、5)は、付加的に製造された3次元物体を形成するために粉末状の造形材料層を連続的に照射し、固化するように構成されている、
    方法。
  7. 前記エネルギービーム(4、5)の現在の焦点位置(13、14)を決定し、
    前記エネルギービーム(4、5)の標的焦点位置(13、14)を決定し、
    前記エネルギービーム(4、5)の前記標的焦点位置(13、14)で、前記エネルギービーム(4、5)の前記焦点位置(13、14)を検出するように、前記エネルギービーム(4、5)の前記焦点距離を変化させることなく、前記造形平面(7)に対して、前記z方向に、前記集束ユニット(15)を移動させる、
    請求項6に記載の方法。
  8. 前記エネルギービーム(4、5)の現在の焦点外れを決定し、
    前記エネルギービーム(4、5)の標的焦点外れを決定し、
    前記エネルギービーム(4、5)の標的焦点位置(13、14)を決定し、
    前記エネルギービーム(4、5)の前記標的焦点位置は、前記エネルギービーム(4、5)の前記標的焦点外れに対応する調整を含み、
    前記エネルギービーム(4、5)の前記標的焦点外れに対応する前記調整を含む前記エネルギービーム(4、5)の前記標的焦点位置(13、14)で前記エネルギービーム(4、5)の前記焦点位置(13、14)を検出するように、前記エネルギービーム(4、5)の前記焦点距離を変化させることなく、前記造形平面(7)に対して、前記z方向に、前記集束ユニット(15)を移動させる、
    請求項6または請求項7に記載の方法。
  9. 請求項1〜5の何れか1項に記載の装置(1)のエネルギービーム(4、5)の前記焦点位置(13、14)を較正することを含む、請求項6〜請求項8の何れか1項に記載の方法。
JP2019118192A 2017-07-21 2019-06-26 3次元の物体を付加製造する装置及び3次元の物体を付加製造する装置を構成する方法 Active JP6880110B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP17182638.1 2017-07-21
EP17182638.1A EP3431289A1 (en) 2017-07-21 2017-07-21 Apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017230368A Division JP2019022976A (ja) 2017-07-21 2017-11-30 3次元の物体を付加製造するための装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019162886A JP2019162886A (ja) 2019-09-26
JP6880110B2 true JP6880110B2 (ja) 2021-06-02

Family

ID=59384071

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017230368A Pending JP2019022976A (ja) 2017-07-21 2017-11-30 3次元の物体を付加製造するための装置
JP2019118192A Active JP6880110B2 (ja) 2017-07-21 2019-06-26 3次元の物体を付加製造する装置及び3次元の物体を付加製造する装置を構成する方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017230368A Pending JP2019022976A (ja) 2017-07-21 2017-11-30 3次元の物体を付加製造するための装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10882135B2 (ja)
EP (1) EP3431289A1 (ja)
JP (2) JP2019022976A (ja)
CN (1) CN109278292A (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110076989B (zh) * 2019-05-22 2024-04-05 华南理工大学 基于非线性调焦多重分区曝光的3d打印装置的打印方法
EP3804883A1 (en) * 2019-10-11 2021-04-14 Siemens Aktiengesellschaft Method of applying a plurality of energy beams in additive manufacturing
US12097558B2 (en) 2021-04-27 2024-09-24 General Electric Company Systems and methods for laser processing system characterization and calibration

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000238137A (ja) * 1999-02-17 2000-09-05 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 光造形装置及び光造形方法
US6646728B1 (en) * 2001-07-09 2003-11-11 3D Systems, Inc. Calibrating a focused beam of energy in a solid freeform fabrication apparatus by measuring the propagation characteristics of the beam
JP4873242B2 (ja) * 2004-06-22 2012-02-08 株式会社ニコン ベストフォーカス検出方法及び露光方法、並びに露光装置
DE102005022308B4 (de) * 2005-05-13 2007-03-22 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts mit einem beheizten Beschichter für pulverförmiges Aufbaumaterial
JP4296355B2 (ja) * 2007-10-26 2009-07-15 パナソニック電工株式会社 金属粉末焼結部品の製造方法
DE102009001086B4 (de) * 2009-02-23 2014-03-27 Sirona Dental Systems Gmbh Handgehaltene dentale Kamera und Verfahren zur optischen 3D-Vermessung
DE102013208651A1 (de) * 2013-05-10 2014-11-13 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren zum automatischen Kalibrieren einer Vorrichtung zum generativen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
GB201316815D0 (en) * 2013-09-23 2013-11-06 Renishaw Plc Additive manufacturing apparatus and method
DE102013223411A1 (de) * 2013-11-15 2015-05-21 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung zum schichtweisen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
JP6359316B2 (ja) * 2014-03-31 2018-07-18 三菱重工業株式会社 三次元積層装置及び三次元積層方法
US9261356B2 (en) * 2014-07-03 2016-02-16 Align Technology, Inc. Confocal surface topography measurement with fixed focal positions
EP3067132A1 (en) * 2015-03-11 2016-09-14 SLM Solutions Group AG Method and apparatus for producing a three-dimensional work piece with thermal focus shift compensation of the laser
DE102015219355A1 (de) * 2015-10-07 2017-04-13 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zu einer additiven Fertigung
JP2017114011A (ja) * 2015-12-24 2017-06-29 株式会社ブリヂストン 立体形状物の造形装置及び製造方法
DE102016200043A1 (de) * 2016-01-05 2017-07-06 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren zum Kalibrieren einer Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
CN106182779B (zh) * 2016-08-25 2019-04-12 佛山市南海中南机械有限公司 一种3d打印机的焦平面校正装置及其校正方法
CN206030585U (zh) * 2016-08-31 2017-03-22 广州黑格智能科技有限公司 一种可调整焦点的3d打印光机
DE102016011801A1 (de) * 2016-09-30 2018-04-05 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren zum Kalibrieren einer Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts und zum Durchführen des Verfahrens ausgebildete Vorrichtung
DE102017105819A1 (de) * 2017-03-17 2018-09-20 Cl Schutzrechtsverwaltungs Gmbh Anlage zur additiven Herstellung dreidimensionaler Objekte
EP3431262A1 (en) * 2017-07-21 2019-01-23 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Plant for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3851269A1 (en) * 2017-08-07 2021-07-21 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus for additively manufacturing threedimensional objects
EP3441214B1 (en) * 2017-08-09 2022-09-28 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3444099A1 (en) * 2017-08-16 2019-02-20 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Method for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3446855B1 (en) * 2017-08-25 2021-11-24 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3459712A1 (en) * 2017-09-21 2019-03-27 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects
NL2019603B1 (en) * 2017-09-21 2019-03-28 Additive Ind Bv Method for calibrating an apparatus for producing an object by means of additive manufacturing
EP3470211A1 (en) * 2017-10-13 2019-04-17 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Method for operating an apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3473411A1 (en) * 2017-10-18 2019-04-24 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Irradiation device for an apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
EP3473412A1 (en) * 2017-10-20 2019-04-24 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus and method for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3486085A1 (en) * 2017-11-21 2019-05-22 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Calibration device for an apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
EP3495143B1 (en) * 2017-12-08 2021-07-07 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus and method for additively manufacturing three-dimensional objects
EP3508334A1 (en) * 2018-01-08 2019-07-10 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects
EP3517276B1 (en) * 2018-01-24 2021-10-13 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Method for additively manufacturing a three-dimensional object
EP3613561B1 (en) * 2018-08-22 2023-07-26 Concept Laser GmbH Apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019162886A (ja) 2019-09-26
EP3431289A1 (en) 2019-01-23
CN109278292A (zh) 2019-01-29
US10882135B2 (en) 2021-01-05
JP2019022976A (ja) 2019-02-14
US20190022795A1 (en) 2019-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20230001645A1 (en) Method For Calibrating A Device For Producing A Three-Dimensional Object And Device Configured For Implementing Said Method
JP6771076B2 (ja) 三次元の部材の生成的な製造の為の装置
CN108472870B (zh) 用于校准用于制造三维物体的设备的方法
JP6880110B2 (ja) 3次元の物体を付加製造する装置及び3次元の物体を付加製造する装置を構成する方法
EP3650204B1 (en) Apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
CN110435141B (zh) 添加式地制造三维物体的装置
US20180314044A1 (en) Exposure Optics and Device for Producing A Three-Dimensional Object
US11426941B2 (en) Method for calibrating at least one apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
KR20240149962A (ko) 레이저 장치를 캘리브레이팅하기 위한 장치, 시스템 및 방법
US11072113B2 (en) Apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
CN109895395B (zh) 用于添加式地制造三维物体的设备
US20240246148A1 (en) Magnification offset correction procedure
CN111745972A (zh) 用于增材制造三维物体的设备
JP2019137912A (ja) 3次元の物体を付加製造する装置
CN111745973A (zh) 用于增材制造三维物体的设备
US20200230696A1 (en) Apparatus and method for producing three-dimensional work pieces
EP3664928A1 (en) Method of calibrating an apparatus for generatively manufacturing a three-dimensional object
US20240017327A1 (en) Additive manufacturing methods and systems
US20220410488A1 (en) Alignment of energy beams in additive manufacturing systems and machines
CN118871232A (zh) 用于校正激光装置的设备、系统和方法
EP3736112A1 (en) Method for determining an operational parameter for an imaging device
WO2024141376A1 (en) Technique for calibration of an irradiation system of an apparatus for additive manufacturing

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190626

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200714

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201014

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210330

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210430

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6880110

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150