JP6874007B2 - Comparator, AD converter, solid-state image sensor, electronic device, and control method of comparator - Google Patents

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Description

本開示は、比較器、AD変換器、固体撮像装置、電子機器、および、比較器の制御方法に関し、特に、比較器の判定速度を向上させつつ、消費電力を低減させることができるようにした比較器、AD変換器、固体撮像装置、電子機器、および、比較器の制御方法に関する。 The present disclosure relates to a comparator, an AD converter, a solid-state imaging device, an electronic device, and a control method of the comparator, and in particular, it has made it possible to reduce power consumption while improving the determination speed of the comparator. The present invention relates to a comparator, an AD converter, a solid-state imaging device, an electronic device, and a control method of the comparator.

固体撮像装置の信号読み出し方式で、例えば、画素内などの限られた面積内でAD変換を行う場合、もっとも面積効率が良い方式は、比較器とその後段のデジタル回路で構成される積分型(スロープ型)のAD変換方式である。 In the signal readout method of a solid-state image sensor, for example, when AD conversion is performed within a limited area such as in a pixel, the most area-efficient method is an integral type consisting of a comparator and a digital circuit in the subsequent stage. Slope type) AD conversion method.

積分型のAD変換方式を用いて、限られた面積内でAD変換を実現しようとする技術として、非特許文献1が提案されている。例えば、非特許文献1の方式では、後段のデジタル回路を1つのDRAM回路として、複数回スロープ信号を比較器に入力する回路構成とされている。たとえば8bitのAD変換であれば、同じスロープ信号が8回繰り返し比較器に入力される。そして、比較器の出力が反転した時点の0または1のコードをDRAMに記憶する動作と画素外部へ出力する動作が8回繰り返され、全面の比較が終了した時点で、外部に読み出される。 Non-Patent Document 1 has been proposed as a technique for realizing AD conversion within a limited area by using an integral type AD conversion method. For example, in the method of Non-Patent Document 1, the digital circuit in the subsequent stage is used as one DRAM circuit, and the slope signal is input to the comparator a plurality of times. For example, in the case of 8-bit AD conversion, the same slope signal is repeatedly input to the comparator eight times. Then, the operation of storing the code of 0 or 1 at the time when the output of the comparator is inverted and the operation of outputting the code to the outside of the pixel are repeated eight times, and when the comparison of the entire surface is completed, the code is read out to the outside.

D. Yang, B. Fowler, and A. El Gamal, "A Nyquist rate pixel levelADC for CMOS image sensors," in Proc. IEEE 1998 Custom Integrated Circuits Conf., Santa Clara, CA, May 1998, pp. 237-240.D. Yang, B. Fowler, and A. El Gamal, "A Nyquist rate pixel levelADC for CMOS image sensors," in Proc. IEEE 1998 Custom Integrated Circuits Conf., Santa Clara, CA, May 1998, pp. 237-240 ..

画素内にAD変換器を配置する場合には、画素列ごとにAD変換器を配置するカラム並列などのように比較的面積の自由度がある場合と異なり、回路の収容面積に限りがあるため、要求を十分に満たす比較器を作製することが難しい。例えば、比較の判定速度が遅くなったり、性能を上げようとすると消費電力が大きくなることがある。 When arranging the AD converter in the pixel, the accommodation area of the circuit is limited, unlike the case where there is a relatively large degree of freedom in the area such as column parallelism in which the AD converter is arranged for each pixel row. , It is difficult to make a comparator that fully meets the requirements. For example, the judgment speed of comparison may be slowed down, or the power consumption may increase when trying to improve the performance.

本開示は、このような状況に鑑みてなされたものであり、比較器の判定速度を向上させつつ、消費電力を低減させることができるようにするものである。 The present disclosure has been made in view of such a situation, and makes it possible to reduce the power consumption while improving the determination speed of the comparator.

本開示の第1の側面の比較器は、第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路とを備え、前記差動入力回路は、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記出力信号を出力する第6トランジスタとを含み、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成されている。 The first aspect of the comparator of the present disclosure includes a differential input circuit that operates at a first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal, and the first power supply. It operates at a second power supply voltage that is equal to or lower than the voltage, and the comparison result signal that represents the comparison result of the voltage of the input signal and the reference signal is inverted based on the output signal from the differential input circuit. a positive feedback circuit to speed up the transition speed at the time of the said output signal of the differential input circuit, and a voltage conversion circuit for converting the second signal corresponding to the power supply voltage, said differential input circuit Is a first transistor and a second transistor constituting the current mirror, a third transistor in which the reference signal is input to the gate, a fourth transistor in which the input signal is input to the gate, and a first transistor as a constant current source. The first, second, and sixth transistors include a fifth transistor and a sixth transistor that outputs the output signal, and the third to fifth transistors are composed of MIMO transistors. The sources of the first, second and sixth transistors are connected to the first power supply voltage of 2V or less, the source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V, and the third transistor is connected to the third transistor. The fourth transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor. Is configured by connecting the gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit.

本開示の第1の側面においては、差動入力回路において、第1の電源電圧で動作され、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号が出力され、正帰還回路において、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作され、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度が高速化され、電圧変換回路において、前記差動入力回路の前記出力信号が、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換され、前記差動入力回路には、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記出力信号を出力する第6トランジスタとが設けられ、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成されている。 In the first aspect of the present disclosure, the differential input circuit is operated at the first power supply voltage, the signal is output when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal, and the positive feedback circuit is described above. A comparison that represents a comparison of the voltages of the input signal and the reference signal based on the output signal from the differential input circuit, operated at a second power supply voltage equal to or lower than the first power supply voltage. The transition speed when the result signal is inverted is increased, and in the voltage conversion circuit, the output signal of the differential input circuit is converted into a signal corresponding to the second power supply voltage, and the differential input circuit is used. Is a first transistor and a second transistor constituting the current mirror, a third transistor in which the reference signal is input to the gate, a fourth transistor in which the input signal is input to the gate, and a first transistor as a constant current source. A 5 transistor and a 6th transistor for outputting the output signal are provided, the 1st, 2nd and 6th transistors are composed of a MIMO transistor, and the 3rd to 5th transistors are composed of an NMOS transistor. , The source of the first, second and sixth transistors is connected to the first power supply voltage of 2V or less, the source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V, and the third transistor is connected. , The fourth transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor. The transistor is configured by connecting the gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit.

本開示の第2の側面のAD変換器は、第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路とを有し、前記差動入力回路は、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記出力信号を出力する第6トランジスタとを含み、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された比較器と、前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部とを備える。 The AD converter of the second aspect of the present disclosure is a differential input circuit that operates at a first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal, and the first. A comparison result signal that operates at a second power supply voltage equal to or lower than the power supply voltage and represents a comparison result of the voltages of the input signal and the reference signal based on the output signal from the differential input circuit is obtained. has a positive feedback circuit to speed up the transition speed at the time of reversing, the output signal of the differential input circuit, and a voltage conversion circuit for converting the signal corresponding to the second power supply voltage, the differential The input circuit includes a first transistor and a second transistor constituting the current mirror, a third transistor in which the reference signal is input to the gate, a fourth transistor in which the input signal is input to the gate, and as a constant current source. The fifth transistor and the sixth transistor for outputting the output signal are included, the first, second and sixth transistors are composed of a MIMO transistor, and the third to fifth transistors are composed of an NMOS transistor. The source of the first, second and sixth transistors is connected to the first power supply voltage of 2V or less, the source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V, and the third transistor is connected. Is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor. The 6-transistor is a data storage unit that stores a comparator configured by connecting a gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit, and a time code when the comparison result signal is inverted. And.

本開示の第2の側面においては、差動入力回路において、第1の電源電圧で動作され、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号が出力され、正帰還回路において、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作され、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度が高速化され、電圧変換回路において、前記差動入力回路の前記出力信号が、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換され、前記差動入力回路には、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記出力信号を出力する第6トランジスタとが設けられ、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成され、データ記憶部において、前記比較結果信号が反転したときの時刻コードが記憶される。 In the second aspect of the present disclosure, the differential input circuit is operated at the first power supply voltage, the signal is output when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal, and the positive feedback circuit is described as described above. A comparison that represents a comparison of the voltages of the input signal and the reference signal based on the output signal from the differential input circuit, operated at a second power supply voltage equal to or lower than the first power supply voltage. The transition speed when the result signal is inverted is increased, and in the voltage conversion circuit, the output signal of the differential input circuit is converted into a signal corresponding to the second power supply voltage, and the differential input circuit is used. Is a first transistor and a second transistor constituting the current mirror, a third transistor in which the reference signal is input to the gate, a fourth transistor in which the input signal is input to the gate, and a first transistor as a constant current source. A 5 transistor and a 6th transistor for outputting the output signal are provided, the 1st, 2nd and 6th transistors are composed of a MIMO transistor, and the 3rd to 5th transistors are composed of an NMOS transistor. , The source of the first, second and sixth transistors is connected to the first power supply voltage of 2V or less, the source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V, and the third transistor is connected. , The fourth transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor. The transistor is configured by connecting the gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit, and the data storage unit stores the time code when the comparison result signal is inverted.

本開示の第3の側面の固体撮像装置は、第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路とを有し、前記差動入力回路は、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記出力信号を出力する第6トランジスタとを含み、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された比較器と、前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部とを備えるAD変換器と、画素に入射された光を受光して光電変換することで生成された電荷信号を、前記入力信号として前記差動入力回路に出力する画素回路とを備える。 The solid-state imaging device of the third aspect of the present disclosure operates at the first power supply voltage, and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal, and the first A comparison result signal that operates at a second power supply voltage that is equal to or lower than the power supply voltage and represents a comparison result of the voltages of the input signal and the reference signal based on the output signal from the differential input circuit. has a positive feedback circuit to speed up the transition speed at the time of reversing, the output signal of the differential input circuit, and a voltage conversion circuit for converting the signal corresponding to the second power supply voltage, the differential The input circuit includes a first transistor and a second transistor constituting the current mirror, a third transistor in which the reference signal is input to the gate, a fourth transistor in which the input signal is input to the gate, and as a constant current source. The fifth transistor and the sixth transistor for outputting the output signal are included, the first, second and sixth transistors are composed of a MIMO transistor, and the third to fifth transistors are composed of an NMOS transistor. The source of the first, second and sixth transistors is connected to the first power supply voltage of 2V or less, the source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V, and the third transistor is connected. Is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor. The 6-transistor has a comparator configured by connecting a gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit, and a data storage unit that stores a time code when the comparison result signal is inverted. It includes an AD converter including the above, and a pixel circuit that outputs a charge signal generated by receiving light incident on a pixel and performing photoelectric conversion to the differential input circuit as the input signal.

本開示の第4の側面の電子機器は、第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路とを有し、前記差動入力回路は、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記出力信号を出力する第6トランジスタとを含み、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された比較器と、前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部とを備えるAD変換器と、画素に入射された光を受光して光電変換することで生成された電荷信号を、前記入力信号として前記差動入力回路に出力する画素回路とを備える固体撮像装置を備える。 The electronic device of the fourth aspect of the present disclosure is a differential input circuit that operates at a first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal, and the first power supply. It operates at a second power supply voltage that is the same as or lower than the voltage, and the comparison result signal that represents the comparison result of the voltage of the input signal and the reference signal is inverted based on the output signal from the differential input circuit. It has a positive feedback circuit that speeds up the transition speed at the time of operation, and a voltage conversion circuit that converts the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage, and the differential input. The circuit comprises a first transistor and a second transistor constituting the current mirror, a third transistor in which the reference signal is input to the gate, a fourth transistor in which the input signal is input to the gate, and a constant current source. The first, second, and sixth transistors include a fifth transistor and a sixth transistor that outputs the output signal, and the third to fifth transistors are composed of an NMOS transistor. The sources of the first, second and sixth transistors are connected to the first power supply voltage of 2V or less, the source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V, and the third transistor is connected. , The fourth transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor. The transistor includes a comparator configured by connecting a gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit, and a data storage unit that stores a time code when the comparison result signal is inverted. An AD converter including an AD converter, and a solid-state imaging device including a pixel circuit that outputs a charge signal generated by receiving light incident on a pixel and performing photoelectric conversion to the differential input circuit as the input signal. Be prepared.

本開示の第3及び第4の側面においては、差動入力回路において、第1の電源電圧で動作され、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号が出力され、正帰還回路において、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作され、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度が高速化され、電圧変換回路において、前記差動入力回路の前記出力信号が、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換され、前記差動入力回路には、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記出力信号を出力する第6トランジスタとが設けられ、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成され、データ記憶部において、前記比較結果信号が反転したときの時刻コードが記憶される。画素回路では、画素に入射された光を受光して光電変換することで生成された電荷信号が、前記入力信号として前記差動入力回路に出力される。 In the third and fourth aspects of the present disclosure, in the differential input circuit, the differential input circuit is operated at the first power supply voltage, and the signal is output when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal, and the positive feedback circuit. In the second power supply voltage which is equal to or lower than the first power supply voltage, and based on the output signal from the differential input circuit, a comparison result of the voltages of the input signal and the reference signal. The transition speed when the comparison result signal representing the above is inverted is increased, and in the voltage conversion circuit, the output signal of the differential input circuit is converted into a signal corresponding to the second power supply voltage, and the differential The input circuit includes a first transistor and a second transistor constituting the current mirror, a third transistor in which the reference signal is input to the gate, a fourth transistor in which the input signal is input to the gate, and a constant current source. The fifth transistor and the sixth transistor for outputting the output signal are provided, the first, second, and sixth transistors are composed of MIMO transistors, and the third to fifth transistors are NMOS transistors. The source of the first, second and sixth transistors is connected to the first power supply voltage of 2V or less, the source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V, and the first Three transistors are connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor. The sixth transistor is configured by connecting the gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit, and the data storage unit stores the time code when the comparison result signal is inverted. To. In the pixel circuit, a charge signal generated by receiving light incident on the pixel and performing photoelectric conversion is output to the differential input circuit as the input signal.

本開示の第5の側面の比較器の制御方法は、第1の電源電圧で動作する差動入力回路と、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作する正帰還回路と、電圧変換回路とを備え、前記差動入力回路は、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記差動入力回路の出力信号を出力する第6トランジスタとを含み、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された比較器の前記差動入力回路が、前記入力信号の電圧が前記参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力し、前記電圧変換回路が、前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換し、前記正帰還回路が、前記電圧変換回路により変換された前記差動入力回路の前記出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する。 The control method of the comparator of the fifth aspect of the present disclosure operates with a differential input circuit operating at a first power supply voltage and a second power supply voltage equal to or lower than the first power supply voltage. The differential input circuit includes a positive feedback circuit and a voltage conversion circuit, and the differential input circuit has a first transistor and a second transistor constituting a current mirror, a third transistor in which a reference signal is input to a gate, and an input signal. The first, second, and sixth transistors include a fourth transistor input to the gate, a fifth transistor as a constant current source, and a sixth transistor that outputs an output signal of the differential input circuit. The third to fifth transistors are composed of an NMOS transistor, and the sources of the first, second and sixth transistors are connected to the first power supply voltage of 2 V or less, and the first power supply voltage is connected. The source of the five transistors is connected to a voltage lower than 0V, the third transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is the second. A comparator connected between the drain of the transistor and the drain of the fifth transistor, the sixth transistor is configured by connecting the gate to the drain of the second transistor and the drain to the voltage conversion circuit. the differential input circuit, a signal voltage of the input signal and outputs a signal when higher than the voltage of the reference signal, the voltage conversion circuit, the output signal, corresponding to said second power supply voltage converted to, the positive feedback circuit is, on the basis of the said output signal of said differential input circuit which has been converted by the voltage conversion circuit, the comparison result signal representative of the comparison result of the voltage of the input signal and the reference signal is reversed Increase the transition speed when doing.

本開示の第5の側面においては、第1の電源電圧で動作する差動入力回路と、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作する正帰還回路と、電圧変換回路とを備え、前記差動入力回路は、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、定電流源としての第5トランジスタと、前記差動入力回路の出力信号を出力する第6トランジスタとを含み、前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された比較器の前記差動入力回路において、前記入力信号の電圧が前記参照信号の電圧よりも高いときに信号が出力され、前記電圧変換回路において、前記出力信号が、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換され、前記正帰還回路において、前記電圧変換回路により変換された前記差動入力回路の前記出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度が高速化される。 In the fifth aspect of the present disclosure, a differential input circuit operating at a first power supply voltage and a positive feedback circuit operating at a second power supply voltage equal to or lower than the first power supply voltage. The differential input circuit includes a first transistor and a second transistor constituting a current mirror, a third transistor in which a reference signal is input to the gate, and an input signal input to the gate. The first, second, and sixth transistors include a fourth transistor, a fifth transistor as a constant current source, and a sixth transistor that outputs an output signal of the differential input circuit, and the first, second, and sixth transistors are composed of MIMO transistors. , The 3rd to 5th transistors are composed of NMOS transistors, the sources of the 1st, 2nd and 6th transistors are connected to the 1st power supply voltage of 2V or less, and the source of the 5th transistor is , The third transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor, and the fourth transistor is connected to the drain of the second transistor and the drain of the second transistor. The differential input of the comparator which is connected to the drain of the fifth transistor, the sixth transistor is configured by connecting the gate to the drain of the second transistor and the drain to the voltage conversion circuit. in the circuit, the signal is output when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal, in the voltage conversion circuit, the output signal is converted into a signal corresponding to said second power supply voltage, wherein in the positive feedback circuit, the transition speed at which the voltage based on the output signal of the differential input circuit which has been converted by the conversion circuit, the comparison result signal is inverted result of the comparison of the voltage of the input signal and the reference signal Is speeded up.

比較器、AD変換器、固体撮像装置、電子機器、および、比較器の制御方法は、独立した装置であっても良いし、他の装置に組み込まれるモジュールであっても良い。 The control method of the comparator, the AD converter, the solid-state image sensor, the electronic device, and the comparator may be an independent device or a module incorporated in another device.

本開示の第1乃至第5の側面によれば、比較器の判定速度を向上させつつ、消費電力を低減させることができる。 According to the first to fifth aspects of the present disclosure, it is possible to reduce the power consumption while improving the determination speed of the comparator.

なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。 The effects described here are not necessarily limited, and may be any of the effects described in the present disclosure.

本開示に係る固体撮像装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows the schematic structure of the solid-state image sensor which concerns on this disclosure. 画素の詳細構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the detailed composition example of a pixel. 比較回路の第1構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the 1st structure of the comparison circuit. 比較回路の動作中の各信号の遷移を表す図である。It is a figure which shows the transition of each signal during operation of a comparison circuit. 画素回路の詳細構成について説明する図である。It is a figure explaining the detailed structure of a pixel circuit. 比較回路の第1構成と画素の動作を説明するタイミングチャートである。It is a timing chart explaining the 1st configuration of a comparison circuit and the operation of a pixel. 比較回路の第2構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the 2nd structure of the comparison circuit. 比較回路の第3構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the 3rd structure of a comparison circuit. 比較回路の第4構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the 4th structure of the comparison circuit. 比較回路の第5構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the 5th structure of the comparison circuit. 比較回路の第6構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the 6th structure of the comparison circuit. 比較回路の第6構成と画素の動作を説明するタイミングチャートである。It is a timing chart explaining the 6th configuration of a comparison circuit and the operation of a pixel. 画素共有の場合の比較回路の構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structural example of the comparison circuit in the case of pixel sharing. 2枚の半導体基板を積層することで固体撮像装置を構成する概念図である。It is a conceptual diagram which constitutes a solid-state image sensor by laminating two semiconductor substrates. 2枚の半導体基板で固体撮像装置を構成する場合の回路構成例を示す図である。It is a figure which shows the circuit configuration example in the case of configuring a solid-state image sensor with two semiconductor substrates. 3枚の半導体基板を積層することで固体撮像装置を構成する概念図である。It is a conceptual diagram which constitutes a solid-state image sensor by stacking three semiconductor substrates. 3枚の半導体基板で固体撮像装置を構成する場合の回路構成例を示す図である。It is a figure which shows the circuit configuration example in the case of constructing a solid-state image sensor with three semiconductor substrates. 本開示に係る電子機器としての撮像装置の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the image pickup apparatus as an electronic device which concerns on this disclosure.

以下、本開示を実施するための形態(以下、実施の形態という)について説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.固体撮像装置の概略構成例
2.画素の詳細構成例
3.比較回路の第1構成例
4.比較回路の第2構成例
5.比較回路の第3構成例
6.比較回路の第4構成例
7.比較回路の第5構成例
8.比較回路の第6構成例
9.画素共有の構成例
10.複数基板構成1
11.複数基板構成2
12.電子機器への適用例
Hereinafter, embodiments for carrying out the present disclosure (hereinafter referred to as embodiments) will be described. The explanation will be given in the following order.
1. 1. Schematic configuration example of a solid-state image sensor 2. Detailed configuration example of pixels 3. First configuration example of the comparison circuit 4. Second configuration example of the comparison circuit 5. Third configuration example of the comparison circuit 6. Fourth configuration example of the comparison circuit 7. Fifth configuration example of the comparison circuit 8. Sixth configuration example of the comparison circuit 9. Pixel sharing configuration example 10. Multiple board configuration 1
11. Multiple board configuration 2
12. Application example to electronic devices

<1.固体撮像装置の概略構成例>
図1は、本開示に係る固体撮像装置の概略構成を示している。
<1. Schematic configuration example of a solid-state image sensor>
FIG. 1 shows a schematic configuration of a solid-state image sensor according to the present disclosure.

図1の固体撮像装置1は、半導体として例えばシリコン(Si)を用いた半導体基板11に、画素21が2次元アレイ状に配列された画素アレイ部22を有する。画素アレイ部22には、時刻コード発生部26で生成された時刻コードを各画素21に転送する時刻コード転送部23も設けられている。そして、半導体基板11上の画素アレイ部22の周辺には、画素駆動回路24、DAC(D/A Converter)25、時刻コード発生部26、垂直駆動回路27、出力部28、及びタイミング生成回路29が形成されている。 The solid-state image sensor 1 of FIG. 1 has a pixel array unit 22 in which pixels 21 are arranged in a two-dimensional array on a semiconductor substrate 11 using, for example, silicon (Si) as a semiconductor. The pixel array unit 22 is also provided with a time code transfer unit 23 that transfers the time code generated by the time code generation unit 26 to each pixel 21. Around the pixel array unit 22 on the semiconductor substrate 11, a pixel drive circuit 24, a DAC (D / A Converter) 25, a time code generator 26, a vertical drive circuit 27, an output unit 28, and a timing generation circuit 29 Is formed.

2次元アレイ状に配列された画素21のそれぞれには、図2を参照して後述するように、画素回路41とADC42が設けられており、画素21は、画素内の受光素子(例えば、フォトダイオード)で受光した光量に応じた電荷信号を生成し、デジタルの画素信号SIGに変換して出力する。 Each of the pixels 21 arranged in a two-dimensional array is provided with a pixel circuit 41 and an ADC 42, as will be described later with reference to FIG. 2, and the pixel 21 is a light receiving element (for example, a photo) in the pixel. A charge signal corresponding to the amount of light received by the diode) is generated, converted into a digital pixel signal SIG, and output.

画素駆動回路24は、画素21内の画素回路41(図2)を駆動する。DAC25は、時間経過に応じてレベル(電圧)が単調減少するスロープ信号である参照信号(基準電圧信号)REFを生成し、各画素21に供給する。時刻コード発生部26は、各画素21が、アナログの画素信号SIGをデジタルの信号に変換(AD変換)する際に使用される時刻コードを生成し、対応する時刻コード転送部23に供給する。時刻コード発生部26は、画素アレイ部22に対して複数個設けられており、画素アレイ部22内には、時刻コード発生部26に対応する数だけ、時刻コード転送部23が設けられている。即ち、時刻コード発生部26と、そこで生成された時刻コードを転送する時刻コード転送部23は、1対1に対応する。 The pixel drive circuit 24 drives the pixel circuit 41 (FIG. 2) in the pixel 21. The DAC 25 generates a reference signal (reference voltage signal) REF, which is a slope signal whose level (voltage) monotonically decreases with the passage of time, and supplies the reference signal (reference voltage signal) REF to each pixel 21. The time code generation unit 26 generates a time code used when each pixel 21 converts an analog pixel signal SIG into a digital signal (AD conversion), and supplies the time code to the corresponding time code transfer unit 23. A plurality of time code generation units 26 are provided for the pixel array unit 22, and as many time code transfer units 23 as the number corresponding to the time code generation unit 26 are provided in the pixel array unit 22. .. That is, the time code generation unit 26 and the time code transfer unit 23 that transfers the time code generated there have a one-to-one correspondence.

垂直駆動回路27は、画素21内で生成されたデジタルの画素信号SIGを、タイミング生成回路29から供給されるタイミング信号に基づいて、所定の順番で出力部28に出力させる制御を行う。画素21から出力されたデジタルの画素信号SIGは、出力部28から固体撮像装置1の外部へ出力される。出力部28は、黒レベルを補正する黒レベル補正処理やCDS(Correlated Double Sampling;相関2重サンプリング)処理など、所定のデジタル信号処理を必要に応じて行い、その後、外部へ出力する。 The vertical drive circuit 27 controls the output unit 28 to output the digital pixel signal SIG generated in the pixel 21 to the output unit 28 in a predetermined order based on the timing signal supplied from the timing generation circuit 29. The digital pixel signal SIG output from the pixel 21 is output from the output unit 28 to the outside of the solid-state image sensor 1. The output unit 28 performs predetermined digital signal processing such as black level correction processing for correcting the black level and CDS (Correlated Double Sampling) processing as necessary, and then outputs the digital signal to the outside.

タイミング生成回路29は、各種のタイミング信号を生成するタイミングジェネレータなどによって構成され、生成した各種のタイミング信号を、画素駆動回路24、DAC25、垂直駆動回路27等に供給する。 The timing generation circuit 29 is configured by a timing generator or the like that generates various timing signals, and supplies the generated various timing signals to the pixel drive circuit 24, the DAC 25, the vertical drive circuit 27, and the like.

固体撮像装置1は、以上のように構成されている。なお、図1では、上述したように、固体撮像装置1を構成する全ての回路が、1つの半導体基板11上に形成されるように説明したが、後述するように、固体撮像装置1を構成する回路を複数枚の半導体基板11に分けて配置する構成とすることもできる。 The solid-state image sensor 1 is configured as described above. In FIG. 1, as described above, all the circuits constituting the solid-state image sensor 1 have been described as being formed on one semiconductor substrate 11, but as will be described later, the solid-state image sensor 1 is configured. The circuit to be used may be divided into a plurality of semiconductor substrates 11 and arranged.

<2.画素の詳細構成例>
図2は、画素21の詳細構成を示すブロック図である。
<2. Detailed configuration example of pixels>
FIG. 2 is a block diagram showing a detailed configuration of the pixel 21.

画素21は、画素回路41とADC(AD変換器)42で構成されている。 The pixel 21 is composed of a pixel circuit 41 and an ADC (AD converter) 42.

画素回路41は、受光した光量に応じた電荷信号をアナログの画素信号SIGとしてADC42に出力する。ADC42は、画素回路41から供給されたアナログの画素信号SIGをデジタル信号に変換する。 The pixel circuit 41 outputs a charge signal corresponding to the amount of received light to the ADC 42 as an analog pixel signal SIG. The ADC 42 converts the analog pixel signal SIG supplied from the pixel circuit 41 into a digital signal.

ADC42は、比較回路51とデータ記憶部52で構成される。 The ADC 42 includes a comparison circuit 51 and a data storage unit 52.

比較回路51は、DAC25から供給される参照信号REFと画素信号SIGを比較し、比較結果を表す比較結果信号として、出力信号VCOを出力する。比較回路51は、参照信号REFと画素信号SIGが同一(の電圧)になったとき、出力信号VCOを反転させる。 The comparison circuit 51 compares the reference signal REF supplied from the DAC 25 with the pixel signal SIG, and outputs an output signal VCO as a comparison result signal representing the comparison result. The comparison circuit 51 inverts the output signal VCO when the reference signal REF and the pixel signal SIG are the same (voltage).

比較回路51は、差動入力回路61、電圧変換回路62、及び正帰還回路(PFB:positive feedback)63により構成されるが、詳細は図3を参照して後述する。 The comparison circuit 51 is composed of a differential input circuit 61, a voltage conversion circuit 62, and a positive feedback circuit (PFB) 63, the details of which will be described later with reference to FIG.

データ記憶部52には、比較回路51から出力信号VCOが入力される他、垂直駆動回路27から、画素信号の書き込み動作であることを表すWR信号、画素信号の読み出し動作であることを表すRD信号、及び、画素信号の読み出し動作中における画素21の読み出しタイミングを制御するWORD信号が、垂直駆動回路27から供給される。また、時刻コード転送部23を介して、時刻コード発生部26で生成された時刻コードも供給される。 In addition to the output signal VCO being input from the comparison circuit 51 to the data storage unit 52, the vertical drive circuit 27 indicates that the operation is a pixel signal writing operation and the WR signal indicating that the pixel signal reading operation is being performed. The signal and the WORD signal that controls the read timing of the pixel 21 during the read operation of the pixel signal are supplied from the vertical drive circuit 27. Further, the time code generated by the time code generation unit 26 is also supplied via the time code transfer unit 23.

データ記憶部52は、WR信号及びRD信号に基づいて、時刻コードの書き込み動作と読み出し動作を制御するラッチ制御回路71と、時刻コードを記憶するラッチ記憶部72で構成される。 The data storage unit 52 includes a latch control circuit 71 that controls a time code writing operation and a reading operation based on the WR signal and the RD signal, and a latch storage unit 72 that stores the time code.

ラッチ制御回路71は、時刻コードの書き込み動作においては、比較回路51からHi(High)の出力信号VCOが入力されている間、時刻コード転送部23から供給される、単位時間ごとに更新される時刻コードをラッチ記憶部72に記憶させる。そして、参照信号REFと画素信号SIGが同一(の電圧)になり、比較回路51から供給される出力信号VCOがLo(Low)に反転されたとき、供給される時刻コードの書き込み(更新)を中止し、最後にラッチ記憶部72に記憶された時刻コードをラッチ記憶部72に保持させる。ラッチ記憶部72に記憶された時刻コードは、画素信号SIGと参照信号REFが等しくなった時刻を表しており、画素信号SIGがその時刻の基準電圧であったことを示すデータ、即ち、デジタル化された光量値を表す。 In the time code writing operation, the latch control circuit 71 is updated every unit time supplied from the time code transfer unit 23 while the Hi (High) output signal VCO is input from the comparison circuit 51. The time code is stored in the latch storage unit 72. Then, when the reference signal REF and the pixel signal SIG become the same (voltage) and the output signal VCO supplied from the comparison circuit 51 is inverted to Lo (Low), the time code supplied is written (updated). It is stopped, and the time code finally stored in the latch storage unit 72 is held in the latch storage unit 72. The time code stored in the latch storage unit 72 represents the time when the pixel signal SIG and the reference signal REF become equal, and data indicating that the pixel signal SIG was the reference voltage at that time, that is, digitization. Represents the light intensity value.

参照信号REFの掃引が終了し、画素アレイ部22内の全ての画素21のラッチ記憶部72に時刻コードが記憶された後、画素21の動作が、書き込み動作から読み出し動作に変更される。 After the sweep of the reference signal REF is completed and the time code is stored in the latch storage units 72 of all the pixels 21 in the pixel array unit 22, the operation of the pixel 21 is changed from the writing operation to the reading operation.

ラッチ制御回路71は、時刻コードの読み出し動作においては、読み出しタイミングを制御するWORD信号に基づいて、画素21が自分の読み出しタイミングとなったときに、ラッチ記憶部72に記憶されている時刻コード(デジタルの画素信号SIG)を、時刻コード転送部23に出力する。時刻コード転送部23は、供給された時刻コードを、列方向(垂直方向)に順次転送し、出力部28に供給する。 In the time code reading operation, the latch control circuit 71 is based on the WORD signal that controls the reading timing, and when the pixel 21 reaches its own reading timing, the time code stored in the latch storage unit 72 ( The digital pixel signal SIG) is output to the time code transfer unit 23. The time code transfer unit 23 sequentially transfers the supplied time code in the column direction (vertical direction) and supplies it to the output unit 28.

以下では、時刻コードの書き込み動作においてラッチ記憶部72に書き込まれる時刻コードと区別するため、時刻コードの読み出し動作においてラッチ記憶部72から読み出される出力信号VCOが反転したときの反転時刻コードである、画素信号SIGがその時刻の基準電圧であったことを示すデジタル化された画素データを、AD変換画素データとも称する。 The following is an inverted time code when the output signal VCO read from the latch storage unit 72 is inverted in the time code reading operation in order to distinguish it from the time code written in the latch storage unit 72 in the time code writing operation. The digitized pixel data indicating that the pixel signal SIG was the reference voltage at that time is also referred to as AD conversion pixel data.

<3.比較回路の第1構成例>
図3は、比較回路51を構成する差動入力回路61、電圧変換回路62、及び正帰還回路63の詳細構成を示す回路図である。
<3. First configuration example of the comparison circuit>
FIG. 3 is a circuit diagram showing a detailed configuration of the differential input circuit 61, the voltage conversion circuit 62, and the positive feedback circuit 63 that constitute the comparison circuit 51.

差動入力回路61は、画素21内の画素回路41から出力された画素信号SIGと、DAC25から出力された参照信号REFとを比較し、画素信号SIGが参照信号REFよりも高いときに所定の信号(電流)を出力する。 The differential input circuit 61 compares the pixel signal SIG output from the pixel circuit 41 in the pixel 21 with the reference signal REF output from the DAC 25, and determines when the pixel signal SIG is higher than the reference signal REF. Output a signal (current).

差動入力回路61は、差動対となるトランジスタ81及び82、カレントミラーを構成するトランジスタ83及び84、入力バイアス電流Vbに応じた電流IBを供給する定電流源としてのトランジスタ85、並びに、差動入力回路61の出力信号HVOを出力するトランジスタ86により構成されている。 The differential input circuit 61 includes transistors 81 and 82 as a differential pair, transistors 83 and 84 constituting a current mirror, transistors 85 as a constant current source for supplying a current IB corresponding to the input bias current Vb, and a difference. It is composed of a transistor 86 that outputs an output signal HVO of the dynamic input circuit 61.

トランジスタ81、82、及び85は、NMOS(Negative Channel MOS)トランジスタで構成され、トランジスタ83、84、及び86は、PMOS(Positive Channel MOS)トランジスタで構成される。 Transistors 81, 82, and 85 are composed of NMOS (Negative Channel MOS) transistors, and transistors 83, 84, and 86 are composed of MOSFETs (Positive Channel MOS) transistors.

差動対となるトランジスタ81及び82のうち、トランジスタ81のゲートには、DAC25から出力された参照信号REFが入力され、トランジスタ82のゲートには、画素21内の画素回路41から出力された画素信号SIGが入力される。トランジスタ81と82のソースは、トランジスタ85のドレインと接続され、トランジスタ85のソースは、GND(グランド)に接続されている。 Of the transistors 81 and 82 that form a differential pair, the reference signal REF output from the DAC 25 is input to the gate of the transistor 81, and the pixel output from the pixel circuit 41 in the pixel 21 is input to the gate of the transistor 82. The signal SIG is input. The sources of the transistors 81 and 82 are connected to the drain of the transistor 85, and the source of the transistor 85 is connected to GND (ground).

トランジスタ81のドレインは、カレントミラー回路を構成するトランジスタ83及び84のゲート及びトランジスタ83のドレインと接続され、トランジスタ82のドレインは、トランジスタ84のドレイン及びトランジスタ86のゲートと接続されている。トランジスタ83、84、及び86のソースは、第1電源電圧VDDHに接続されている。 The drain of the transistor 81 is connected to the gates of the transistors 83 and 84 and the drain of the transistor 83 constituting the current mirror circuit, and the drain of the transistor 82 is connected to the drain of the transistor 84 and the gate of the transistor 86. The sources of transistors 83, 84, and 86 are connected to the first supply voltage VDDH.

電圧変換回路62は、例えば、NMOS型のトランジスタ91で構成される。トランジスタ91のドレインは、差動入力回路61のトランジスタ86のドレインと接続され、トランジスタ91のソースは、正帰還回路63内の所定の接続点に接続され、トランジスタ86のゲートは、バイアス電圧VBIASに接続されている。 The voltage conversion circuit 62 is composed of, for example, an NMOS type transistor 91. The drain of the transistor 91 is connected to the drain of the transistor 86 of the differential input circuit 61, the source of the transistor 91 is connected to a predetermined connection point in the positive feedback circuit 63, and the gate of the transistor 86 is connected to the bias voltage VBIAS. It is connected.

差動入力回路61を構成するトランジスタ81乃至86は、第1電源電圧VDDHまでの高電圧で動作する回路であり、正帰還回路63は、第1電源電圧VDDHよりも低い第2電源電圧VDDLで動作する回路である。ここで、第1電源電圧VDDHは、例えば、2.9[V]とされ、第2電源電圧VDDLは、例えば、1.1[V]とされる。電圧変換回路62は、差動入力回路61から入力される出力信号HVOを、正帰還回路63が動作可能な低電圧の信号(変換信号)LVIに変換して、正帰還回路63に供給する。 The transistors 81 to 86 constituting the differential input circuit 61 are circuits that operate at a high voltage up to the first power supply voltage VDDH, and the positive feedback circuit 63 has a second power supply voltage VDDL that is lower than the first power supply voltage VDDH. It is a working circuit. Here, the first power supply voltage VDDH is set to, for example, 2.9 [V], and the second power supply voltage VDDL is set to, for example, 1.1 [V]. The voltage conversion circuit 62 converts the output signal HVO input from the differential input circuit 61 into a low-voltage signal (conversion signal) LVI in which the positive feedback circuit 63 can operate, and supplies the output signal HVO to the positive feedback circuit 63.

バイアス電圧VBIASは、定電圧で動作する正帰還回路63の各トランジスタ101乃至105を破壊しない電圧に変換する電圧であれば良い。例えば、バイアス電圧VBIASは、正帰還回路63の第2電源電圧VDDLと同じ電圧(VBIAS=VDDL)とすることができる。 The bias voltage VBIAS may be any voltage that converts the transistors 101 to 105 of the positive feedback circuit 63 that operates at a constant voltage into a voltage that does not destroy the transistors 101 to 105. For example, the bias voltage VBIAS can be the same voltage (VBIAS = VDDL) as the second power supply voltage VDDL of the positive feedback circuit 63.

正帰還回路63は、差動入力回路61からの出力信号HVOが第2電源電圧VDDLに対応する信号に変換された変換信号LVIに基づいて、画素信号SIGが参照信号REFよりも高いときに反転する比較結果信号を出力する。また、正帰還回路63は、比較結果信号として出力する出力信号VCOが反転するときの遷移速度を高速化する。 The positive feedback circuit 63 is inverted when the pixel signal SIG is higher than the reference signal REF based on the conversion signal LVI in which the output signal HVO from the differential input circuit 61 is converted into a signal corresponding to the second power supply voltage VDDL. Outputs the comparison result signal. Further, the positive feedback circuit 63 speeds up the transition speed when the output signal VCO output as the comparison result signal is inverted.

正帰還回路63は、5つのトランジスタ101乃至105で構成される。ここで、トランジスタ101、102、及び104は、PMOSトランジスタで構成され、トランジスタ103及び105は、NMOSトランジスタで構成される。 The positive feedback circuit 63 is composed of five transistors 101 to 105. Here, the transistors 101, 102, and 104 are composed of MOSFET transistors, and the transistors 103 and 105 are composed of MIMO transistors.

電圧変換回路62の出力端であるトランジスタ91のソースは、トランジスタ102及び103のドレインと、トランジスタ104及び105のゲートに接続されている。トランジスタ101及び104のソースは、第2電源電圧VDDLに接続され、トランジスタ101のドレインは、トランジスタ102のソースと接続され、トランジスタ102のゲートは、正帰還回路63の出力端でもあるトランジスタ104及び105のドレインと接続されている。トランジスタ103及び105のソースは、GNDに接続されている。トランジスタ101のゲートには、初期化信号INI2が供給され、トランジスタ103のゲートには、初期化信号INI1が供給される。 The source of the transistor 91, which is the output end of the voltage conversion circuit 62, is connected to the drain of the transistors 102 and 103 and the gate of the transistors 104 and 105. The source of the transistors 101 and 104 is connected to the second power supply voltage VDDL, the drain of the transistor 101 is connected to the source of the transistor 102, and the gate of the transistor 102 is the output end of the positive feedback circuit 63. It is connected to the drain of. The sources of transistors 103 and 105 are connected to GND. The initialization signal INI2 is supplied to the gate of the transistor 101, and the initialization signal INI1 is supplied to the gate of the transistor 103.

トランジスタ104と105はインバータ回路を構成し、それらのドレインどうしの接続点は、比較回路51が出力信号VCOを出力する出力端となっている。 The transistors 104 and 105 form an inverter circuit, and the connection point between the drains thereof is an output end at which the comparison circuit 51 outputs an output signal VCO.

以上のように構成される比較回路51の動作について説明する。図4は、比較回路51の動作中の各信号の遷移を表す。なお、図4において“G86”はトランジスタ86のゲート電位を表している。 The operation of the comparison circuit 51 configured as described above will be described. FIG. 4 shows the transition of each signal during the operation of the comparison circuit 51. In FIG. 4, “G86” represents the gate potential of the transistor 86.

まず、参照信号REFが、全ての画素21の画素信号SIGよりも高い電圧に設定されるとともに、初期化信号INI1及びINI2がHiにされて、比較回路51が初期化される。 First, the reference signal REF is set to a voltage higher than the pixel signal SIG of all the pixels 21, and the initialization signals INI1 and INI2 are set to Hi, so that the comparison circuit 51 is initialized.

より具体的には、トランジスタ81のゲートには参照信号REFが、トランジスタ82のゲートには画素信号SIGが印加される。参照信号REFの電圧が、画素信号SIGの電圧よりも高い電圧の時は電流源となるトランジスタ85が出力した電流のほとんどがトランジスタ81を経由してダイオード接続されたトランジスタ83に流れる。トランジスタ83と共通のゲートを持つトランジスタ84のチャネル抵抗は十分低くなりトランジスタ86のゲートをほぼ第1電源電圧VDDHレベルに保ち、トランジスタ86は遮断される。したがって、電圧変換回路62のトランジスタ91が導通していたとしても、充電回路としての正帰還回路63が変換信号LVIを充電することは無い。一方、初期化信号INI1及びINI2としてHiの信号が供給されていることから、トランジスタ103は導通し、正帰還回路63は変換信号LVIを放電する。また、トランジスタ101は遮断するので、正帰還回路63がトランジスタ102を介して変換信号LVIを充電することもない。その結果、変換信号LVIは、GNDレベルまで放電され、正帰還回路63は、インバータを構成するトランジスタ104と105によってHiの出力信号VCOを出力し、比較回路51が初期化される。 More specifically, a reference signal REF is applied to the gate of the transistor 81, and a pixel signal SIG is applied to the gate of the transistor 82. When the voltage of the reference signal REF is higher than the voltage of the pixel signal SIG, most of the current output by the transistor 85, which is a current source, flows to the transistor 83 connected to the diode via the transistor 81. The channel resistance of the transistor 84 having a gate common to the transistor 83 becomes sufficiently low to keep the gate of the transistor 86 at substantially the first power supply voltage VDDH level, and the transistor 86 is cut off. Therefore, even if the transistor 91 of the voltage conversion circuit 62 is conducting, the positive feedback circuit 63 as the charging circuit does not charge the conversion signal LVI. On the other hand, since the Hi signal is supplied as the initialization signals INI1 and INI2, the transistor 103 conducts and the positive feedback circuit 63 discharges the conversion signal LVI. Further, since the transistor 101 is cut off, the positive feedback circuit 63 does not charge the conversion signal LVI via the transistor 102. As a result, the conversion signal LVI is discharged to the GND level, the positive feedback circuit 63 outputs the Hi output signal VCO by the transistors 104 and 105 constituting the inverter, and the comparison circuit 51 is initialized.

初期化の後、初期化信号INI1及びINI2がLoにされて、参照信号REFの掃引が開始される。 After initialization, the initialization signals INI1 and INI2 are set to Lo, and the sweep of the reference signal REF is started.

参照信号REFが画素信号SIGよりも高い電圧の期間では、トランジスタ86はオフとなるため遮断され、出力信号VCOはHiの信号となるので、トランジスタ102もオフとなり遮断される。トランジスタ103も、初期化信号INI1はLoとなっているため遮断される。変換信号LVIは、高インピーダンス状態のままGNDを保ち、Hiの出力信号VCOが出力される。 During the period when the reference signal REF is higher than the pixel signal SIG, the transistor 86 is turned off and cut off, and the output signal VCO becomes a Hi signal, so that the transistor 102 is also turned off and cut off. The transistor 103 is also cut off because the initialization signal INI1 is Lo. The conversion signal LVI keeps GND in a high impedance state, and the Hi output signal VCO is output.

参照信号REFが画素信号SIGよりも低くなると、電流源のトランジスタ85の出力電流はトランジスタ81を流れなくなり、トランジスタ83と84のゲート電位は上昇して、トランジスタ84のチャネル抵抗は高くなる。そこに、トランジスタ82を介して流れ込む電流が、電圧降下を起こしてトランジスタ86のゲート電位を下げ、トランジスタ91が導通する。トランジスタ86から出力された出力信号HVOは、電圧変換回路62のトランジスタ91によって変換信号LVIに変換され、正帰還回路63に供給される。充電回路としての正帰還回路63は、変換信号LVIを充電し、電位をGND電圧から第2電源電圧VDDLへ近づけてゆく。 When the reference signal REF becomes lower than the pixel signal SIG, the output current of the transistor 85 of the current source does not flow through the transistor 81, the gate potentials of the transistors 83 and 84 increase, and the channel resistance of the transistor 84 increases. The current flowing through the transistor 82 causes a voltage drop to lower the gate potential of the transistor 86, and the transistor 91 becomes conductive. The output signal HVO output from the transistor 86 is converted into a conversion signal LVI by the transistor 91 of the voltage conversion circuit 62 and supplied to the positive feedback circuit 63. The positive feedback circuit 63 as a charging circuit charges the conversion signal LVI and brings the potential closer from the GND voltage to the second power supply voltage VDDL.

そして、変換信号LVIの電圧が、トランジスタ104と105で構成されるインバータの閾値電圧を超えると、出力信号VCOはLoとなり、トランジスタ102が導通する。トランジスタ101も、Loの初期化信号INI2が印加されているため導通しており、正帰還回路63は、トランジスタ101と102を介して、変換信号LVIを急速に充電し、電位を第2電源電圧VDDLまで一気に持ち上げる。 When the voltage of the conversion signal LVI exceeds the threshold voltage of the inverter composed of the transistors 104 and 105, the output signal VCO becomes Lo and the transistor 102 becomes conductive. The transistor 101 is also conducting because the Lo initialization signal INI2 is applied, and the positive feedback circuit 63 rapidly charges the conversion signal LVI via the transistors 101 and 102 to set the potential to the second power supply voltage. Lift up to VDDL at once.

電圧変換回路62のトランジスタ91は、ゲートにバイアス電圧VBIASが印加されているので、変換信号LVIの電圧が、バイアス電圧VBIASからトランジスタ閾値下がった電圧値に到達すれば遮断する。トランジスタ86が導通したままだとしても、それ以上に変換信号LVIを充電することは無く、電圧変換回路62は、電圧クランプ回路としても機能する。 Since the bias voltage VBIAS is applied to the gate of the transistor 91 of the voltage conversion circuit 62, the transistor 91 is cut off when the voltage of the conversion signal LVI reaches a voltage value lower than the bias voltage VBIAS by the transistor threshold value. Even if the transistor 86 remains conductive, the conversion signal LVI is not charged any more, and the voltage conversion circuit 62 also functions as a voltage clamp circuit.

トランジスタ102の導通による変換信号LVIの充電は、そもそもが変換信号LVIがインバータ閾値まで上昇してきたことを発端とし、その動きを加速する正帰還動作である。差動入力回路61の電流源であるトランジスタ85は、固体撮像装置1で並列同時に動作する回路数が膨大であることから1回路あたりの電流がきわめて僅かな電流に設定される。さらに、参照信号REFは、時刻コードが切り替わる単位時間に変化する電圧がAD変換のLSBステップとなるために極めて緩慢に掃引される。従って、トランジスタ86のゲート電位の変化も緩慢であり、それによって駆動されるトランジスタ86の出力電流の変化も緩慢である。しかし、その出力電流で充電される変換信号LVIに、後段から正帰還をかけることで、出力信号VCOは十分急速に遷移することができる。望ましくは、出力信号VCOの遷移時間は、時刻コードの単位時間の数分の1であり、典型例としては1ns以下である。本開示の比較回路51は、電流源のトランジスタ85に、例えば0.1uAの僅かな電流を設定しただけで、この出力遷移時間を達成することができる。 Charging the conversion signal LVI by the continuity of the transistor 102 is a positive feedback operation that accelerates the movement of the conversion signal LVI, starting from the fact that the conversion signal LVI has risen to the inverter threshold value. The transistor 85, which is the current source of the differential input circuit 61, is set to a very small current per circuit because the number of circuits operating in parallel and simultaneously in the solid-state imaging device 1 is enormous. Further, the reference signal REF is swept very slowly because the voltage changing in the unit time when the time code is switched becomes the LSB step of AD conversion. Therefore, the change in the gate potential of the transistor 86 is also slow, and the change in the output current of the transistor 86 driven by the change is also slow. However, by applying positive feedback to the conversion signal LVI charged by the output current from the subsequent stage, the output signal VCO can transition sufficiently rapidly. Desirably, the transition time of the output signal VCO is a fraction of the unit time of the time code, and is typically 1 ns or less. The comparison circuit 51 of the present disclosure can achieve this output transition time only by setting a small current of, for example, 0.1 uA, to the transistor 85 of the current source.

<画素回路の詳細構成例>
図5を参照して、画素回路41の詳細構成について説明する。
<Detailed configuration example of pixel circuit>
The detailed configuration of the pixel circuit 41 will be described with reference to FIG.

図5は、図3に示した比較回路51に、画素回路41の詳細を追加して示した回路図である。 FIG. 5 is a circuit diagram showing details of the pixel circuit 41 added to the comparison circuit 51 shown in FIG.

画素回路41は、光電変換素子としてのフォトダイオード(PD)121、排出トランジスタ122、転送トランジスタ123、リセットトランジスタ124、及び、FD(浮遊拡散層)125で構成されている。 The pixel circuit 41 is composed of a photodiode (PD) 121 as a photoelectric conversion element, an emission transistor 122, a transfer transistor 123, a reset transistor 124, and an FD (floating diffusion layer) 125.

排出トランジスタ122は、露光期間を調整する場合に使用される。具体的には、露光期間を任意のタイミングで開始したいときに排出トランジスタ122をオンさせると、それまでの間にフォトダイオード121に蓄積されていた電荷が排出されるので、排出トランジスタ122がオフされた以降から、露光期間が開始されることになる。 The emission transistor 122 is used when adjusting the exposure period. Specifically, when the emission transistor 122 is turned on when the exposure period is desired to be started at an arbitrary timing, the electric charge accumulated in the photodiode 121 up to that point is discharged, so that the emission transistor 122 is turned off. After that, the exposure period will start.

転送トランジスタ123は、フォトダイオード121で生成された電荷をFD125に転送する。リセットトランジスタ124は、FD125に保持されている電荷をリセットする。FD125は、差動入力回路61のトランジスタ82のゲートに接続されている。これにより、差動入力回路61のトランジスタ82は、画素回路41の増幅トランジスタとしても機能する。 The transfer transistor 123 transfers the electric charge generated by the photodiode 121 to the FD125. The reset transistor 124 resets the electric charge held in the FD 125. The FD125 is connected to the gate of the transistor 82 of the differential input circuit 61. As a result, the transistor 82 of the differential input circuit 61 also functions as an amplification transistor of the pixel circuit 41.

リセットトランジスタ124のソースは、差動入力回路61のトランジスタ82のゲート、及び、FD125に接続されており、リセットトランジスタ124のドレインは、トランジスタ82のドレインと接続されている。したがって、FD125の電荷をリセットするための固定のリセット電圧がない。これは、差動入力回路61の回路状態を制御することで、FD125をリセットするリセット電圧を、参照信号REFを用いて任意に設定可能であるためである。 The source of the reset transistor 124 is connected to the gate of the transistor 82 of the differential input circuit 61 and the FD125, and the drain of the reset transistor 124 is connected to the drain of the transistor 82. Therefore, there is no fixed reset voltage to reset the charge on the FD125. This is because the reset voltage for resetting the FD125 can be arbitrarily set by using the reference signal REF by controlling the circuit state of the differential input circuit 61.

<画素部タイミングチャート>
図6のタイミングチャートを参照して、図5に示した画素21の動作について説明する。
<Pixel timing chart>
The operation of the pixel 21 shown in FIG. 5 will be described with reference to the timing chart of FIG.

初めに、時刻t1において、参照信号REFが、それまでのスタンバイ電圧Vstbから、FD125の電荷をリセットするリセット電圧Vrstに設定され、リセットトランジスタ124がオンされることにより、FD125の電荷がリセットされる。First, at time t1, the reference signal REF is set to the reset voltage V rst that resets the charge of the FD 125 from the standby voltage V stb so far, and the charge of the FD 125 is reset by turning on the reset transistor 124. Will be done.

次に、時刻t2において、正帰還回路63のトランジスタ101のゲートに供給される初期化信号INI2がHiに設定され、その直後、トランジスタ103のゲートに供給される初期化信号IN1IがHiに設定され、正帰還回路63が初期状態に設定される。 Next, at time t2, the initialization signal INI2 supplied to the gate of the transistor 101 of the positive feedback circuit 63 is set to Hi, and immediately after that, the initialization signal IN1I supplied to the gate of the transistor 103 is set to Hi. , The positive feedback circuit 63 is set to the initial state.

また、時刻t2において、参照信号REFが所定の電圧Vuまで持ち上げられ、参照信号REFと画素信号SIGの比較(参照信号REFの掃引)が開始される。この時点では、参照信号REFが画素信号SIGよりも大きいため出力信号VCOはHiとなっている。Further, at time t2, the reference signal REF is raised to a predetermined voltage V u , and the comparison between the reference signal REF and the pixel signal SIG (sweep of the reference signal REF) is started. At this point, the output signal VCO is Hi because the reference signal REF is larger than the pixel signal SIG.

参照信号REFと画素信号SIGが同一となったと判定された時刻t3において、出力信号VCOが反転(Lowに遷移)される。出力信号VCOが反転されると、上述したように正帰還回路63によって出力信号VCOの反転が高速化される。また、データ記憶部52では、出力信号VCOが反転した時点の時刻データ(NビットのDATA[1]乃至DATA[N])がラッチ記憶される。 At time t3 when it is determined that the reference signal REF and the pixel signal SIG are the same, the output signal VCO is inverted (transitioned to Low). When the output signal VCO is inverted, the positive feedback circuit 63 speeds up the inversion of the output signal VCO as described above. Further, the data storage unit 52 latch-stores the time data (N-bit DATA [1] to DATA [N]) at the time when the output signal VCO is inverted.

信号書き込み期間が終了し、かつ、信号読み出し期間の開始時刻である時刻t4において、比較回路51のトランジスタ81のゲートに供給する参照信号REFの電圧が、トランジスタ81がオフするレベル(スタンバイ電圧Vstb)まで引き下げられる。これにより、信号読み出し期間中の比較回路51の消費電流が抑制される。At time t4, which is the start time of the signal write period and the signal read period, the voltage of the reference signal REF supplied to the gate of the transistor 81 of the comparison circuit 51 is at a level at which the transistor 81 is turned off (standby voltage V stb). ) Is reduced. As a result, the current consumption of the comparison circuit 51 during the signal reading period is suppressed.

時刻t5において、読み出しタイミングを制御するWORD信号がHiとなり、ラッチ記憶されていた時刻データ(NビットのDATA[1]乃至DATA[N])が、データ記憶部52のラッチ制御回路71から出力される。ここで取得される時刻データは、CDS(Correlated Double Sampling;相関2重サンプリング)処理する際のリセットレベルのP相データとなる。 At time t5, the WORD signal that controls the read timing becomes Hi, and the time data (N-bit DATA [1] to DATA [N]) stored in the latch is output from the latch control circuit 71 of the data storage unit 52. To. The time data acquired here is P-phase data at the reset level during CDS (Correlated Double Sampling) processing.

時刻t6において、参照信号REFが所定の電圧Vuまで持ち上げられるともに、トランジスタ101のゲートに供給される初期化信号INI2がHiに設定される。その直後、トランジスタ103のゲートに供給される初期化信号INI1もHiに設定され、正帰還回路63が再び初期状態に設定される。At time t6, the reference signal REF is raised to a predetermined voltage V u , and the initialization signal INI2 supplied to the gate of the transistor 101 is set to Hi. Immediately after that, the initialization signal INI1 supplied to the gate of the transistor 103 is also set to Hi, and the positive feedback circuit 63 is set to the initial state again.

時刻t7において、Hiの転送信号TXにより画素回路41の転送トランジスタ123がオンされ、フォトダイオード121で生成された電荷がFD125に転送される。 At time t7, the transfer transistor 123 of the pixel circuit 41 is turned on by the transfer signal TX of Hi, and the electric charge generated by the photodiode 121 is transferred to the FD 125.

その後、初期化信号INI2のLowへの遷移に続いて初期化信号INI1がLowに戻された後、参照信号REFと画素信号SIGの比較(参照信号REFの掃引)が開始される。この時点では、参照信号REFが画素信号SIGよりも大きいため出力信号VCOはHiとなっている。 Then, following the transition of the initialization signal INI2 to Low, the initialization signal INI1 is returned to Low, and then the comparison between the reference signal REF and the pixel signal SIG (sweep of the reference signal REF) is started. At this point, the output signal VCO is Hi because the reference signal REF is larger than the pixel signal SIG.

そして、参照信号REFと画素信号SIGが同一となったと判定された時刻t8において、出力信号VCOが反転(Lowに遷移)される。出力信号VCOが反転されると、正帰還回路63によって出力信号VCOの反転が高速化される。また、データ記憶部52には、出力信号VCOが反転した時点の時刻データ(NビットのDATA[1]乃至DATA[N])がラッチ記憶される。 Then, at the time t8 when it is determined that the reference signal REF and the pixel signal SIG are the same, the output signal VCO is inverted (transitioned to Low). When the output signal VCO is inverted, the positive feedback circuit 63 speeds up the inversion of the output signal VCO. Further, the data storage unit 52 latch-stores the time data (N-bit DATA [1] to DATA [N]) at the time when the output signal VCO is inverted.

信号書き込み期間が終了し、かつ、信号読み出し期間の開始時刻である時刻t9において、比較回路51のトランジスタ81のゲートに供給する参照信号REFの電圧が、トランジスタ81がオフするレベル(スタンバイ電圧Vstb)まで引き下げられる。これにより、信号読み出し期間中の比較回路51の消費電流が抑制される。At time t9, which is the start time of the signal write period and the signal read period, the voltage of the reference signal REF supplied to the gate of the transistor 81 of the comparison circuit 51 is at a level at which the transistor 81 is turned off (standby voltage V stb). ) Is reduced. As a result, the current consumption of the comparison circuit 51 during the signal reading period is suppressed.

時刻t10において、読み出しタイミングを制御するWORD信号がHiとなり、ラッチ記憶されていた時刻データ(NビットのDATA[1]乃至DATA[N])が、データ記憶部52のラッチ制御回路71から出力される。ここで取得される時刻データは、CDS処理する際の信号レベルのD相データとなる。時刻t11は、上述した時刻t1と同じ状態であり、次の1V(1垂直走査期間)の駆動となる。 At time t10, the WORD signal that controls the read timing becomes Hi, and the time data (N-bit DATA [1] to DATA [N]) stored in the latch is output from the latch control circuit 71 of the data storage unit 52. To. The time data acquired here is the D-phase data of the signal level at the time of CDS processing. The time t11 is in the same state as the time t1 described above, and is driven by the next 1V (1 vertical scanning period).

以上の画素21の駆動によれば、最初に、リセットレベルのP相データが取得された後、出力部28へ読み出され、次に、信号レベルのD相データが取得されて、出力部28へ読み出される。出力部28は、内部のフレームメモリでP相データを保持しておき、後から供給されるD相データと合せてCDS処理を行う。なお、CDS処理を行う方法は、任意の方法が選択できる。例えば、データ記憶部52が、その内部でP相データを保持しておき、D相データと同時または交互に出力して、出力部28がCDS処理を行うようにしてもよい。 According to the above-mentioned drive of the pixel 21, the reset level P phase data is first acquired and then read out to the output unit 28, and then the signal level D phase data is acquired and the output unit 28 is obtained. Is read to. The output unit 28 holds the P-phase data in the internal frame memory, and performs CDS processing together with the D-phase data supplied later. Any method can be selected as the method for performing CDS processing. For example, the data storage unit 52 may hold the P-phase data inside the data storage unit 52 and output the P-phase data simultaneously or alternately with the D-phase data so that the output unit 28 performs the CDS processing.

以上の動作により、固体撮像装置1の画素アレイ部22の各画素21は、全画素同時にリセットし、かつ、全画素同時に露光するグローバルシャッタ動作が可能である。全画素が同時に露光及び読み出しを行うことが出来るので、通常、画素内に設けられる、電荷が読み出されるまでの間、電荷を保持する保持部が不要である。また、画素21の構成では、カラム並列読み出し型の固体撮像装置で必要であった、画素信号SIGを出力する画素を選択するための選択トランジスタ等も不要である。 By the above operation, each pixel 21 of the pixel array unit 22 of the solid-state image sensor 1 can perform a global shutter operation in which all pixels are reset at the same time and all the pixels are exposed at the same time. Since all the pixels can be exposed and read at the same time, there is usually no need for a holding unit provided in the pixel to hold the charge until the charge is read. Further, in the configuration of the pixel 21, the selection transistor for selecting the pixel for outputting the pixel signal SIG, which is required in the column parallel readout type solid-state image sensor, is not required.

図6を参照して説明した画素21の駆動では、排出トランジスタ122が常にオフに制御されていた。しかし、図6において破線で示されるように、所望の時刻で、排出信号OFGをHiに設定して排出トランジスタ122を一旦オンさせた後、オフさせることにより、任意の露光期間を設定することも可能である。 In driving the pixel 21 described with reference to FIG. 6, the emission transistor 122 is always controlled to be off. However, as shown by the broken line in FIG. 6, an arbitrary exposure period can be set by setting the emission signal OFG to Hi, turning on the emission transistor 122 once, and then turning it off at a desired time. It is possible.

<4.比較回路の第2構成例>
図7は、比較回路51の第2構成を示す回路図である。なお、図7においても、比較回路51の第2構成とともに画素回路41の詳細回路も併せて示してある。後述する図8乃至図11についても同様とする。
<4. Second configuration example of the comparison circuit>
FIG. 7 is a circuit diagram showing a second configuration of the comparison circuit 51. Note that also in FIG. 7, the detailed circuit of the pixel circuit 41 is also shown together with the second configuration of the comparison circuit 51. The same applies to FIGS. 8 to 11 described later.

比較回路51の第2構成では、正帰還回路63において、2つのトランジスタ161と162が追加されている点以外は、図5に示した第1構成と同様である。 The second configuration of the comparison circuit 51 is the same as the first configuration shown in FIG. 5, except that two transistors 161 and 162 are added to the positive feedback circuit 63.

第1構成における正帰還回路63のインバータ回路が、第2構成においては、2入力のNOR回路に置き換えられている。PMOSトランジスタで構成されるトランジスタ161のゲートと、NMOSトランジスタで構成されるトランジスタ162のゲートには、第1の入力である変換信号LVIではない、第2の入力である制御信号TEST_VCOが供給される。 In the second configuration, the inverter circuit of the positive feedback circuit 63 in the first configuration is replaced with a two-input NOR circuit. A control signal TEST_VCO, which is a second input, is supplied to the gate of the transistor 161 composed of the MOSFET transistor and the gate of the transistor 162 composed of the NMOS transistor, which is not the conversion signal LVI which is the first input. ..

トランジスタ161のソースは第2電源電圧VDDLに接続され、トランジスタ161のドレインはトランジスタ104のソースに接続されている。トランジスタ162のドレインは、比較回路51の出力端と接続され、トランジスタ162のソースは、GNDに接続されている。 The source of the transistor 161 is connected to the second power supply voltage VDDL, and the drain of the transistor 161 is connected to the source of the transistor 104. The drain of the transistor 162 is connected to the output end of the comparison circuit 51, and the source of the transistor 162 is connected to GND.

以上のように構成される第2構成における比較回路51では、第2の入力である制御信号TEST_VCOをHiにすると、差動入力回路61の状態に関係なく、出力信号VCOをLoにすることができる。 In the comparison circuit 51 in the second configuration configured as described above, when the control signal TEST_VCO which is the second input is set to Hi, the output signal VCO can be set to Lo regardless of the state of the differential input circuit 61. it can.

バイアス電圧VBIASをLoレベルに制御して、トランジスタ91を遮断させ、初期化信号INI1及びINI2をHiにすると、差動入力回路61の状態に関係なく出力信号VCOはHiになる。したがって、この出力信号VCOの強制的なHi出力と、上述した制御信号TEST_VCOによる強制的なLo出力を組み合わせることにより、差動入力回路61及び、その前段である画素回路41とDAC25の状態に関係なく、出力信号VCOを任意の値に設定することができる。この機能により、例えば、画素21から後段の回路を、固体撮像装置1への光学的入力に頼らず、電気信号入力だけで試験することが可能となる。 When the bias voltage VBIAS is controlled to Lo level, the transistor 91 is cut off, and the initialization signals INI1 and INI2 are set to Hi, the output signal VCO becomes Hi regardless of the state of the differential input circuit 61. Therefore, by combining the forced Hi output of this output signal VCO and the forced Lo output of the control signal TEST_VCO described above, it is related to the state of the differential input circuit 61 and the pixel circuits 41 and DAC 25 which are the preceding stages thereof. The output signal VCO can be set to any value. With this function, for example, the circuit from the pixel 21 to the subsequent stage can be tested only by the electric signal input without relying on the optical input to the solid-state image sensor 1.

また例えば、画素信号SIGの電圧が、想定を超える高い輝度(たとえば固体撮像装置1の画角内に写り込んだ太陽像)によって参照信号REFの最終電圧を下回ると、比較回路51の出力信号VCOがHiのまま比較期間を終えることになり、出力信号VCOによって制御されるデータ記憶部52は、値を固定することが出来ずAD変換機能が失われる。このような状態の発生を防止するため、参照信号REFの掃引の最後に、Hiパルスの制御信号TEST_VCOを入力することにより、未だにLoに反転していない出力信号VCOを強制的に反転することができる。データ記憶部52は強制反転直前の時刻コードをラッチ記憶するので、図7の構成を採用した場合には、ADC42は、結果的に、一定以上の輝度入力に対する出力値をクランプしたAD変換器として機能する。 Further, for example, when the voltage of the pixel signal SIG falls below the final voltage of the reference signal REF due to a higher brightness than expected (for example, the sun image reflected within the angle of view of the solid-state imaging device 1), the output signal VCO of the comparison circuit 51 The comparison period ends with Hi, and the data storage unit 52 controlled by the output signal VCO cannot fix the value and loses the AD conversion function. In order to prevent the occurrence of such a state, the output signal VCO that has not yet been inverted to Lo can be forcibly inverted by inputting the Hi pulse control signal TEST_VCO at the end of sweeping the reference signal REF. it can. Since the data storage unit 52 latches and stores the time code immediately before the forced inversion, when the configuration of FIG. 7 is adopted, the ADC 42 eventually serves as an AD converter that clamps the output value for the luminance input above a certain level. Function.

<5.比較回路の第3構成例>
図8は、比較回路51の第3構成を示す回路図である。
<5. Third configuration example of the comparison circuit>
FIG. 8 is a circuit diagram showing a third configuration of the comparison circuit 51.

比較回路51の第3構成では、差動入力回路61において、定電流源としてのトランジスタ85のソースが、GNDではなく、0[V]よりも低い負バイアス電圧VSSに接続されている点が、図7に示した第2構成と異なる。その他の構成は、図7の第2構成と同様である。負バイアス電圧VSSは、例えば、−1.8[V]とされる。 In the third configuration of the comparison circuit 51, in the differential input circuit 61, the source of the transistor 85 as a constant current source is connected to the negative bias voltage VSS lower than 0 [V] instead of GND. It is different from the second configuration shown in FIG. Other configurations are the same as those of the second configuration of FIG. 7. The negative bias voltage VSS is, for example, -1.8 [V].

比較回路51の第3構成では、トランジスタ85のソース電位を0Vよりも低い電位とすることで、比較回路51の動作レンジが拡大されている。また、トランジスタ85のソース電位を負に引いたことに合せて、画素回路41内のフォトダイオード121とFD125の基板電圧側も負バイアス電圧VSSとされる。これにより、各画素21(画素回路41)の飽和電荷量を増加させることができる。 In the third configuration of the comparison circuit 51, the operating range of the comparison circuit 51 is expanded by setting the source potential of the transistor 85 to a potential lower than 0V. Further, in accordance with the negative subtraction of the source potential of the transistor 85, the substrate voltage side of the photodiode 121 and the FD125 in the pixel circuit 41 is also set to the negative bias voltage VSS. Thereby, the saturated charge amount of each pixel 21 (pixel circuit 41) can be increased.

<6.比較回路の第4構成例>
図9は、比較回路51の第4構成を示す回路図である。
<6. Fourth configuration example of the comparison circuit>
FIG. 9 is a circuit diagram showing a fourth configuration of the comparison circuit 51.

比較回路51の第4構成では、図8に示した差動入力回路61のトランジスタ83、84、および86が、トランジスタ83’、84’、および86’に変更されている。その他の構成は、図7の第2構成と同様である。 In the fourth configuration of the comparison circuit 51, the transistors 83, 84, and 86 of the differential input circuit 61 shown in FIG. 8 are changed to the transistors 83', 84', and 86'. Other configurations are the same as those of the second configuration of FIG. 7.

図8に示した第3構成では、第1電源電圧VDDHは、例えば、2.9[V]程度に設定されており、差動入力回路61のトランジスタ83、84、および86は、膜厚の厚い高電圧系のトランジスタで構成される。 In the third configuration shown in FIG. 8, the first power supply voltage VDDH is set to, for example, about 2.9 [V], and the transistors 83, 84, and 86 of the differential input circuit 61 have a film thickness. It is composed of thick high-voltage transistors.

これに対して、図9の第4構成では、トランジスタ83’、84’、および86’は、2V以下の低電圧で駆動される、膜厚の薄い低電圧系のトランジスタで構成される。すなわち、トランジスタ85のソース電位を負バイアス電圧VSS(−1.8[V])に引いたことに合せて、2.9[V]の第1電源電圧VDDHを、1.1[V]の第1電源電圧VDDH’に引き下げることで、差動入力回路61のトランジスタ83、84、および86を、低電圧系のトランジスタ83’、84’、および86’へ変更することが可能となる。比較回路51全体の電位差は、−1.8[V]から1.1[V]までの2.9[V]であり、0[V]から2.9[V]までの2.9[V]となっている第1及び第2構成と変わらない。 On the other hand, in the fourth configuration of FIG. 9, the transistors 83', 84', and 86'are composed of low-voltage transistors having a thin film thickness, which are driven by a low voltage of 2 V or less. That is, in accordance with the fact that the source potential of the transistor 85 is pulled to the negative bias voltage VSS (-1.8 [V]), the first power supply voltage VDDH of 2.9 [V] is set to 1.1 [V]. By lowering the first power supply voltage to VDDH', the transistors 83, 84, and 86 of the differential input circuit 61 can be changed to the low voltage transistors 83', 84', and 86'. The potential difference of the entire comparison circuit 51 is 2.9 [V] from -1.8 [V] to 1.1 [V], and 2.9 [V] from 0 [V] to 2.9 [V]. It is the same as the first and second configurations with V].

第4構成では、膜厚の厚い高電圧系のトランジスタ83、84、および86を、膜厚の薄い低電圧系のトランジスタ83’、84’、および86’に変更することで、比較回路51の回路面積を小さくすることができる。 In the fourth configuration, the thick high-voltage transistors 83, 84, and 86 are changed to the thin low-voltage transistors 83', 84', and 86', so that the comparison circuit 51 can be used. The circuit area can be reduced.

第2電源電圧VDDLは、第1乃至第3構成と同じ1.1[V]のままでもよいが、正帰還回路63は、差動入力回路61の第1電源電圧VDDH’よりも低い電圧で動作させることができるので、第1電源電圧VDDHを第1電源電圧VDDH’に引き下げたことに合せて、第1電源電圧VDDH’よりも低い電圧に下げてもよい。これにより、さらに省電力化することができる。第2電源電圧VDDL’は、例えば、0.6[V]程度に設定することができる。第2電源電圧VDDL’の低下に合せてバイアス電圧VBIASも下げられる。 The second power supply voltage VDDL may remain at 1.1 [V], which is the same as in the first to third configurations, but the positive feedback circuit 63 has a voltage lower than the first power supply voltage VDDH'of the differential input circuit 61. Since it can be operated, the first power supply voltage VDDH may be lowered to a voltage lower than the first power supply voltage VDDH'in accordance with the reduction to the first power supply voltage VDDH'. As a result, further power saving can be achieved. The second power supply voltage VDDL'can be set to, for example, about 0.6 [V]. The bias voltage VBIAS is also lowered as the second power supply voltage VDDL'is lowered.

<7.比較回路の第5構成例>
図10は、比較回路51の第5構成を示す回路図である。
<7. Fifth configuration example of the comparison circuit>
FIG. 10 is a circuit diagram showing a fifth configuration of the comparison circuit 51.

比較回路51の第5構成を図9の第4構成と比較すると、正帰還回路63において2つのトランジスタ161と162が省略されており、2入力のNOR回路がインバータ回路に戻されている。また、正帰還回路63に、PMOSトランジスタであるトランジスタ163が新たに追加されている。トランジスタ163のソースは、第2電源電圧VDDL’に接続され、ドレインは、トランジスタ102及び103のドレインとトランジスタ104及び105のゲートとともに、トランジスタ91のソースに接続されている。トランジスタ163のゲートには、NOR回路に入力されていた制御信号TEST_VCOの反転信号である制御信号xTEST_VCOが供給される。その他の構成は、図9の第4構成と同様である。 Comparing the fifth configuration of the comparison circuit 51 with the fourth configuration of FIG. 9, the two transistors 161 and 162 are omitted in the positive feedback circuit 63, and the two-input NOR circuit is returned to the inverter circuit. Further, a transistor 163, which is a MIMO transistor, is newly added to the positive feedback circuit 63. The source of the transistor 163 is connected to the second power supply voltage VDDL', and the drain is connected to the source of the transistor 91 together with the drain of the transistors 102 and 103 and the gates of the transistors 104 and 105. A control signal xTEST_VCO, which is an inverted signal of the control signal TEST_VCO input to the NOR circuit, is supplied to the gate of the transistor 163. Other configurations are the same as those of the fourth configuration of FIG.

図10の比較回路51の第5構成では、差動入力回路61の状態に関係なく、比較回路51の出力信号VCOを強制的にLo出力にすることができるテスト機能を、Loの制御信号xTEST_VCOをトランジスタ163のゲートに供給することによって実現する。 In the fifth configuration of the comparison circuit 51 of FIG. 10, the Lo control signal xTEST_VCO is provided with a test function capable of forcibly setting the output signal VCO of the comparison circuit 51 to Lo output regardless of the state of the differential input circuit 61. Is realized by supplying the gate of the transistor 163.

換言すれば、図10の比較回路51の第5構成は、テスト機能を、図9に示した第4構成とは異なる方法で実現したものである。初期化信号INI1をLoにした状態で、Loの制御信号xTEST_VCOがトランジスタ163のゲートに供給されたとき、比較回路51は、Loの出力信号VCOを出力する。一方、初期化信号INI1をHiにした状態で、Hiの制御信号xTEST_VCOがトランジスタ163のゲートに供給されたとき、比較回路51は、Hiの出力信号VCOを出力する。 In other words, the fifth configuration of the comparison circuit 51 of FIG. 10 realizes the test function by a method different from that of the fourth configuration shown in FIG. When the Lo control signal xTEST_VCO is supplied to the gate of the transistor 163 with the initialization signal INI1 set to Lo, the comparison circuit 51 outputs the Lo output signal VCO. On the other hand, when the Hi control signal xTEST_VCO is supplied to the gate of the transistor 163 with the initialization signal INI1 set to Hi, the comparison circuit 51 outputs the Hi output signal VCO.

図10の比較回路51の第5構成によれば、図9に示した第4構成よりも、トランジスタの個数を1つ少ない個数でテスト機能を実現できる。 According to the fifth configuration of the comparison circuit 51 of FIG. 10, the test function can be realized with one less number of transistors than the fourth configuration shown in FIG.

また、図10の比較回路51の第5構成によれば、正帰還回路63の第2電源電圧VDDLを第2電源電圧VDDL’へ低下させたことによって懸念される誤動作を防止することができる。 Further, according to the fifth configuration of the comparison circuit 51 of FIG. 10, it is possible to prevent a malfunction that is a concern due to the reduction of the second power supply voltage VDDL of the positive feedback circuit 63 to the second power supply voltage VDDL'.

<8.比較回路の第6構成例>
図11は、比較回路51の第6構成を示す回路図である。
<8. 6th configuration example of comparison circuit>
FIG. 11 is a circuit diagram showing a sixth configuration of the comparison circuit 51.

比較回路51の第6構成を図10の第5構成と比較すると、差動入力回路61の構成が異なる。具体的には、トランジスタ81と83’との間にトランジスタ165が追加されるとともに、トランジスタ82と84’との間にトランジスタ166が追加されている。 Comparing the sixth configuration of the comparison circuit 51 with the fifth configuration of FIG. 10, the configuration of the differential input circuit 61 is different. Specifically, a transistor 165 is added between the transistors 81 and 83', and a transistor 166 is added between the transistors 82 and 84'.

トランジスタ165および166はNMOSトランジスタで構成され、トランジスタ165および166のゲートには、制御信号Vhが供給される。トランジスタ165のソースは、トランジスタ81のドレインと接続され、トランジスタ165のドレインは、トランジスタの83’のドレインと接続されている。トランジスタ166のソースは、トランジスタ82のドレインと接続され、トランジスタ166のドレインは、トランジスタの84’のドレインと接続されている。 Transistors 165 and 166 are composed of NMOS transistors, and a control signal Vh is supplied to the gates of the transistors 165 and 166. The source of the transistor 165 is connected to the drain of the transistor 81, and the drain of the transistor 165 is connected to the drain of the transistor 83'. The source of transistor 166 is connected to the drain of transistor 82, and the drain of transistor 166 is connected to the drain of transistor 84'.

図10に示した第5構成では、トランジスタ83’、84’、及び86’が、トランジスタ81または82と直接つながっているために、負バイアス電圧VSSを、低電圧系のトランジスタ83’、84’、及び86’が耐えられる電圧までしか下げることができない。 In the fifth configuration shown in FIG. 10, since the transistors 83', 84', and 86'are directly connected to the transistors 81 or 82, the negative bias voltage VSS is set to the low voltage transistors 83', 84'. , And 86'can only be lowered to a voltage that can be tolerated.

そこで、図11の比較回路51は、トランジスタ81と83’との間にトランジスタ165を挿入し、かつ、トランジスタ82と84’との間にトランジスタ166を挿入して、トランジスタ81と83’との間と、トランジスタ82と84’との間を必要に応じて切り離すことができるように構成されている。これにより、負バイアス電圧VSSを、例えば、高電圧系のトランジスタが耐えられる電圧まで下げることができる。 Therefore, in the comparison circuit 51 of FIG. 11, the transistor 165 is inserted between the transistors 81 and 83', and the transistor 166 is inserted between the transistors 82 and 84', so that the transistors 81 and 83'are inserted. It is configured so that the space and the transistors 82 and 84'can be separated as needed. As a result, the negative bias voltage VSS can be lowered to a voltage that can be withstood by, for example, a high-voltage transistor.

図11の比較回路51の第6構成によれば、第1電源電圧VDDH’を1.1[V]に引き下げるとともに負バイアス電圧VSSを高電圧系のトランジスタが耐えられる電圧まで下げることができるので、各画素21(画素回路41)の飽和電荷量を確保しつつ、消費電力を低減させることができる。また、低電圧系のトランジスタ83’、84’、および86’用いるので、回路面積を小さくすることができ、コストを抑制することができる。 According to the sixth configuration of the comparison circuit 51 of FIG. 11, the first power supply voltage VDDH'can be lowered to 1.1 [V] and the negative bias voltage VSS can be lowered to a voltage that can be withstood by the high-voltage transistor. The power consumption can be reduced while ensuring the saturated charge amount of each pixel 21 (pixel circuit 41). Further, since the low-voltage transistors 83', 84', and 86'are used, the circuit area can be reduced and the cost can be suppressed.

<タイミングチャート>
図12は、図11に示した比較回路51の第6構成における画素21(画素回路41)の動作を説明するタイミングチャートである。
<Timing chart>
FIG. 12 is a timing chart illustrating the operation of the pixel 21 (pixel circuit 41) in the sixth configuration of the comparison circuit 51 shown in FIG.

図12のタイミングチャートの時刻t31乃至t41は、それぞれ、図6のタイミングチャートの時刻t1乃至t11に対応する。 The times t31 to t41 of the timing chart of FIG. 12 correspond to the times t1 to t11 of the timing chart of FIG. 6, respectively.

図12のタイミングチャートでは、図6のタイミングチャートに、テスト機能のための制御信号xTEST_VCOと、耐圧緩和トランジスタとしてのトランジスタ165および166のゲートに供給される制御信号Vhが追加されており、制御信号xTEST_VCOと制御信号Vh以外の動作は、図6のタイミングチャートと同じであるので、その説明を省略する。 In the timing chart of FIG. 12, the control signal xTEST_VCO for the test function and the control signal Vh supplied to the gates of the transistors 165 and 166 as the withstand voltage relaxation transistors are added to the timing chart of FIG. Since the operations other than xTEST_VCO and the control signal Vh are the same as those of the timing chart of FIG. 6, the description thereof will be omitted.

図12に示されるように、参照信号REFがスタンバイ電圧Vstbに引き下げられている期間中、制御信号VhはLoとなっており、トランジスタ83’、84’、及び86’に高い電位差がかからないように、比較回路51が制御されている。一方、参照信号REFがリセット電圧Vrstや電圧Vuに設定されている期間は、制御信号VhはHiとなっている。なお、制御信号VhのHiの電圧は、差動入力回路61の第1電源電圧VDDH’と負バイアス電圧VSSによって決定される。例えば、上述したように、第1電源電圧VDDH’を1.1[V]、負バイアス電圧VSSを−1.8[V]とした場合、Hiの制御信号Vhの電圧は、0[V]とすることができる。As shown in FIG. 12, during the period when the reference signal REF is lowered to the standby voltage V stb , the control signal Vh is Lo so that the transistors 83', 84', and 86'are not subjected to a high potential difference. In addition, the comparison circuit 51 is controlled. On the other hand, the control signal Vh is Hi while the reference signal REF is set to the reset voltage V rst or the voltage V u. The Hi voltage of the control signal Vh is determined by the first power supply voltage VDDH'of the differential input circuit 61 and the negative bias voltage VSS. For example, as described above, when the first power supply voltage VDDH'is 1.1 [V] and the negative bias voltage VSS is -1.8 [V], the voltage of the Hi control signal Vh is 0 [V]. Can be.

<9.画素共有の構成例>
これまでに説明した比較回路51は、1つの画素21内に1つのADC42が配置される構成とされていたが、複数の画素21で、1つのADC42を共有する構成とすることもできる。
<9. Pixel sharing configuration example>
The comparison circuit 51 described so far has a configuration in which one ADC 42 is arranged in one pixel 21, but a plurality of pixels 21 may share one ADC 42.

図13は、複数の画素21で1つのADC42を共有する画素共有の場合の比較回路51の構成例を示す回路図である。 FIG. 13 is a circuit diagram showing a configuration example of a comparison circuit 51 in the case of pixel sharing in which one ADC 42 is shared by a plurality of pixels 21.

図13では、画素21A、画素21B、画素21C、及び画素21Dの4つの画素21で1つのADC42を共有する場合の比較回路51の構成例が示されている。 FIG. 13 shows a configuration example of the comparison circuit 51 in the case where one ADC 42 is shared by the four pixels 21 of the pixel 21A, the pixel 21B, the pixel 21C, and the pixel 21D.

図13において、比較回路51を構成する差動入力回路61、電圧変換回路62、及び正帰還回路63の構成は、図11に示した第6構成と同様である。 In FIG. 13, the configurations of the differential input circuit 61, the voltage conversion circuit 62, and the positive feedback circuit 63 constituting the comparison circuit 51 are the same as those of the sixth configuration shown in FIG.

図13では、4つの画素21A乃至21Dに、それぞれ、画素回路41A乃至41Dが設けられており、画素回路41A乃至41Dには、フォトダイオード121q、排出トランジスタ122q、及び、転送トランジスタ123qが個別に設けられている。一方、リセットトランジスタ174とFD175は、4つの画素21A乃至21Dで共有されている。 In FIG. 13, pixel circuits 41A to 41D are provided in the four pixels 21A to 21D, respectively, and the photodiode 121q, the emission transistor 122q, and the transfer transistor 123q are individually provided in the pixel circuits 41A to 41D. Has been done. On the other hand, the reset transistor 174 and the FD175 are shared by the four pixels 21A to 21D.

なお、図13では、比較回路51の回路構成として、図11に示した第6構成を採用しているが、その他の第1構成乃至第5構成のいずれかを採用することもできる。 In FIG. 13, the sixth configuration shown in FIG. 11 is adopted as the circuit configuration of the comparison circuit 51, but any of the other first to fifth configurations can also be adopted.

<10.複数基板構成1>
これまでの説明では、固体撮像装置1が、1枚の半導体基板11上に形成されるものとして説明したが、複数枚の半導体基板11に回路を作り分けることで、固体撮像装置1を構成してもよい。
<10. Multiple board configuration 1>
In the above description, the solid-state image sensor 1 has been described as being formed on one semiconductor substrate 11, but the solid-state image sensor 1 is configured by separately forming circuits on a plurality of semiconductor substrates 11. You may.

図14は、上側基板11Aと下側基板11Cの2枚の半導体基板11を積層することで固体撮像装置1を構成する概念図を示している。 FIG. 14 shows a conceptual diagram in which the solid-state image sensor 1 is configured by laminating two semiconductor substrates 11 of the upper substrate 11A and the lower substrate 11C.

上側基板11Aには、フォトダイオード121を含む画素回路41が少なくとも形成されている。下側基板11Cには、時刻コードを記憶するデータ記憶部52と時刻コード転送部23が少なくとも形成されている。上側基板11Aと下側基板11Cは、例えば、Cu-Cuなどの金属結合などにより接合される。 At least a pixel circuit 41 including a photodiode 121 is formed on the upper substrate 11A. At least a data storage unit 52 for storing the time code and a time code transfer unit 23 are formed on the lower substrate 11C. The upper substrate 11A and the lower substrate 11C are joined by, for example, a metal bond such as Cu-Cu.

図15は、上側基板11Aと下側基板11Cのそれぞれに形成される回路構成例を示している。 FIG. 15 shows an example of a circuit configuration formed on each of the upper substrate 11A and the lower substrate 11C.

上側基板11Aには、画素回路41と、ADC42のうちの差動入力回路61のトランジスタ81、82、85、165、及び166が形成されている。下側基板11Cには、トランジスタ81、82、85、165、及び166を除くADC42の回路と時刻コード転送部23が形成されている。 A pixel circuit 41 and transistors 81, 82, 85, 165, and 166 of the differential input circuit 61 of the ADC 42 are formed on the upper substrate 11A. The circuit of the ADC 42 and the time code transfer unit 23 excluding the transistors 81, 82, 85, 165, and 166 are formed on the lower substrate 11C.

<11.複数基板構成2>
図14及び図15では固体撮像装置1を2枚の半導体基板11で構成した例について説明したが、3枚の半導体基板11で構成することもできる。
<11. Multiple board configuration 2>
Although FIGS. 14 and 15 have described an example in which the solid-state image sensor 1 is composed of two semiconductor substrates 11, it can also be composed of three semiconductor substrates 11.

図16は、上側基板11A、中間基板11B、及び、下側基板11Cの3枚の半導体基板11を積層することで、固体撮像装置1を構成する概念図を示している。 FIG. 16 shows a conceptual diagram constituting the solid-state image sensor 1 by stacking three semiconductor substrates 11 of an upper substrate 11A, an intermediate substrate 11B, and a lower substrate 11C.

上側基板11Aには、フォトダイオード121を含む画素回路41と、比較回路51の少なくとも一部の回路が形成されている。下側基板11Cには、時刻コードを記憶するデータ記憶部52と時刻コード転送部23が少なくとも形成されている。中間基板11Bには、上側基板11Aに配置されない比較回路51の残りの回路が形成されている。上側基板11Aと中間基板11B、及び、中間基板11Bと下側基板11Cは、例えば、Cu-Cuなどの金属結合などにより接合される。 A pixel circuit 41 including a photodiode 121 and at least a part of a circuit of a comparison circuit 51 are formed on the upper substrate 11A. At least a data storage unit 52 for storing the time code and a time code transfer unit 23 are formed on the lower substrate 11C. The intermediate substrate 11B is formed with the remaining circuits of the comparison circuit 51 that are not arranged on the upper substrate 11A. The upper substrate 11A and the intermediate substrate 11B, and the intermediate substrate 11B and the lower substrate 11C are joined by, for example, a metal bond such as Cu-Cu.

図17は、固体撮像装置1を3枚の半導体基板11で形成する場合の各半導体基板11の回路配置例を示している。 FIG. 17 shows an example of circuit arrangement of each semiconductor substrate 11 when the solid-state image sensor 1 is formed of three semiconductor substrates 11.

図17の例では、上側基板11Aに配置した回路は、図15に示した上側基板11Aの回路と同じであり、比較回路51の残りの回路が中間基板11Bに配置され、データ記憶部52と時刻コード転送部23が下側基板11Cに配置されている。 In the example of FIG. 17, the circuit arranged on the upper board 11A is the same as the circuit of the upper board 11A shown in FIG. 15, and the remaining circuits of the comparison circuit 51 are arranged on the intermediate board 11B and are arranged with the data storage unit 52. The time code transfer unit 23 is arranged on the lower board 11C.

<12.電子機器への適用例>
本開示は、固体撮像装置への適用に限られるものではない。即ち、本開示は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、撮像機能を有する携帯端末装置や、画像読取部に固体撮像装置を用いる複写機など、画像取込部(光電変換部)に固体撮像装置を用いる電子機器全般に対して適用可能である。固体撮像装置は、ワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像部と信号処理部または光学系とがまとめてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。
<12. Application example to electronic devices>
The present disclosure is not limited to application to a solid-state image sensor. That is, the present disclosure applies to an image capture unit (photoelectric conversion unit) such as an image pickup device such as a digital still camera or a video camera, a portable terminal device having an image pickup function, or a copier that uses a solid-state image sensor as an image reader. It can be applied to all electronic devices that use a solid-state image sensor. The solid-state image sensor may be formed as a single chip, or may be a modular form having an image pickup function in which an image pickup unit and a signal processing unit or an optical system are packaged together.

図18は、本開示に係る電子機器としての、撮像装置の構成例を示すブロック図である。 FIG. 18 is a block diagram showing a configuration example of an image pickup apparatus as an electronic device according to the present disclosure.

図18の撮像装置800は、レンズ群などからなる光学部801、図1の固体撮像装置1の構成が採用される固体撮像装置(撮像デバイス)802、およびカメラ信号処理回路であるDSP(Digital Signal Processor)回路803を備える。また、撮像装置800は、フレームメモリ804、表示部805、記録部806、操作部807、および電源部808も備える。DSP回路803、フレームメモリ804、表示部805、記録部806、操作部807および電源部808は、バスライン809を介して相互に接続されている。 The image pickup device 800 of FIG. 18 includes an optical unit 801 including a lens group, a solid-state image pickup device (imaging device) 802 adopting the configuration of the solid-state image pickup device 1 of FIG. 1, and a DSP (Digital Signal) which is a camera signal processing circuit. Processor) circuit 803 is provided. The image pickup apparatus 800 also includes a frame memory 804, a display unit 805, a recording unit 806, an operation unit 807, and a power supply unit 808. The DSP circuit 803, the frame memory 804, the display unit 805, the recording unit 806, the operation unit 807, and the power supply unit 808 are connected to each other via the bus line 809.

光学部801は、被写体からの入射光(像光)を取り込んで固体撮像装置802の撮像面上に結像する。固体撮像装置802は、光学部801によって撮像面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号として出力する。この固体撮像装置802として、図1の固体撮像装置1、即ち、画素信号をAD変換する際の判定速度を向上させつつ、消費電力を低減させた比較回路51を有する固体撮像装置を用いることができる。 The optical unit 801 captures incident light (image light) from the subject and forms an image on the image pickup surface of the solid-state image pickup device 802. The solid-state image sensor 802 converts the amount of incident light imaged on the imaging surface by the optical unit 801 into an electric signal in pixel units and outputs it as a pixel signal. As the solid-state image sensor 802, the solid-state image sensor 1 shown in FIG. 1, that is, a solid-state image sensor having a comparison circuit 51 that reduces power consumption while improving the determination speed at the time of AD conversion of a pixel signal can be used. it can.

表示部805は、例えば、液晶パネルや有機EL(Electro Luminescence)パネル等のパネル型表示装置からなり、固体撮像装置802で撮像された動画または静止画を表示する。記録部806は、固体撮像装置802で撮像された動画または静止画を、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録する。 The display unit 805 is composed of a panel-type display device such as a liquid crystal panel or an organic EL (Electro Luminescence) panel, and displays a moving image or a still image captured by the solid-state image sensor 802. The recording unit 806 records the moving image or still image captured by the solid-state image sensor 802 on a recording medium such as a hard disk or a semiconductor memory.

操作部807は、ユーザによる操作の下に、撮像装置800が持つ様々な機能について操作指令を発する。電源部808は、DSP回路803、フレームメモリ804、表示部805、記録部806および操作部807の動作電源となる各種の電源を、これら供給対象に対して適宜供給する。 The operation unit 807 issues operation commands for various functions of the image pickup apparatus 800 under the operation of the user. The power supply unit 808 appropriately supplies various power sources serving as operating power sources for the DSP circuit 803, the frame memory 804, the display unit 805, the recording unit 806, and the operation unit 807 to these supply targets.

上述したように、固体撮像装置802として、上述した比較回路51の第1構成乃至第6構成のいずれかを採用した固体撮像装置1を用いることで、AD変換の判定速度を高速化させつつ、消費電力を低減することができる。従って、ビデオカメラやデジタルスチルカメラ、さらには携帯電話機等のモバイル機器向けカメラモジュールなどの撮像装置800においても、撮影の高速化と低消費電力を実現することができる。 As described above, by using the solid-state image sensor 1 that employs any of the first to sixth configurations of the comparison circuit 51 described above as the solid-state image sensor 802, the determination speed of AD conversion can be increased while increasing the speed. Power consumption can be reduced. Therefore, even in the image pickup device 800 such as a video camera, a digital still camera, and a camera module for a mobile device such as a mobile phone, high-speed shooting and low power consumption can be realized.

上述した説明では、比較回路51及びADC42は、固体撮像装置1に組み込まれた部品として説明したが、それぞれ単独で流通する製品(比較器、AD変換器)とすることができる。 In the above description, the comparison circuit 51 and the ADC 42 have been described as parts incorporated in the solid-state image sensor 1, but they can be products (comparator, AD converter) that are distributed independently.

また、本開示は、固体撮像装置に限らず、他の半導体集積回路を有する半導体装置全般に対して適用可能である。 Further, the present disclosure is applicable not only to the solid-state image sensor but also to all semiconductor devices having other semiconductor integrated circuits.

本開示の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。 The embodiments of the present disclosure are not limited to the embodiments described above, and various modifications can be made without departing from the gist of the present disclosure.

例えば、上述した各回路構成において、トランジスタの極性(NMOSトランジスタとPMOSトランジスタ)を入れ替えた回路構成でも実現可能である。その場合、トランジスタに入力される制御信号は、HiとLowが反対の信号となる。 For example, in each of the circuit configurations described above, it is possible to realize a circuit configuration in which the polarities of the transistors (NMOS transistor and MOSFET transistor) are exchanged. In that case, the control signal input to the transistor is a signal in which Hi and Low are opposite.

上述した各実施の形態では、参照信号REFが時間経過に応じてレベル(電圧)が単調減少するスロープ信号であるとして説明したが、参照信号REFは、時間経過に応じてレベル(電圧)が単調増加するスロープ信号とすることもできる。 In each of the above-described embodiments, the reference signal REF has been described as a slope signal whose level (voltage) monotonically decreases with the passage of time, but the reference signal REF has a monotonous level (voltage) with the passage of time. It can also be an increasing slope signal.

上述した各実施の形態では、ADC42が共有される場合、4つの画素21でADC42が共有される例について説明したが、共有される画素21の個数は4個に限らず、その他の個数(例えば、8個)とすることができる。 In each of the above-described embodiments, when the ADC 42 is shared, an example in which the ADC 42 is shared by the four pixels 21 has been described, but the number of shared pixels 21 is not limited to four, and other numbers (for example,). , 8).

その他、上述した複数の実施の形態の全てまたは一部を組み合わせた形態を採用することができる。上述した実施の形態では説明していない他の実施の形態どうしを適宜組み合わせた形態も可能である。 In addition, a form in which all or a part of the plurality of embodiments described above can be combined can be adopted. It is also possible to appropriately combine other embodiments not described in the above-described embodiment.

なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、本明細書に記載されたもの以外の効果があってもよい。 It should be noted that the effects described in the present specification are merely examples and are not limited, and effects other than those described in the present specification may be obtained.

なお、本開示は以下のような構成も取ることができる。
(1)
第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、
前記第1の電源電圧よりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、
前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路と
を備え、
前記差動入力回路のソース電圧が0Vよりも低い電圧であるであるように構成された
比較器。
(2)
前記差動入力回路は、カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタを含み、前記第1トランジスタ及び第2トランジスタは、低電圧系のトランジスタで構成される
前記(1)に記載の比較器。
(3)
前記低電圧系のトランジスタは、2V以下の前記第1の電源電圧で駆動される
前記(2)に記載の比較器。
(4)
前記差動入力回路は、
前記参照信号が入力される第3トランジスタと、
前記入力信号が入力される第4トランジスタと、
前記第1トランジスタ及び第2トランジスタと前記第3トランジスタ及び第4トランジスタとの間の接続をオンオフする第5トランジスタ及び第6トランジスタと
をさらに含む
前記(2)または(3)に記載の比較器。
(5)
前記正帰還回路は、前記差動入力回路の前記出力信号と異なる制御信号の入力を受け付け、前記差動入力回路の前記出力信号に関わらず、前記制御信号に基づいて前記比較結果信号を反転させる
前記(1)乃至(4)のいずれかに記載の比較器。
(6)
前記正帰還回路は、
前記差動入力回路の前記出力信号を反転して前記比較結果信号を生成するインバータ回路と、
前記制御信号に基づいて、前記第2の電源電圧を前記インバータ回路に供給するトランジスタと
を有する
前記(5)に記載の比較器。
(7)
前記正帰還回路は、前記差動入力回路の前記出力信号と前記制御信号を入力とするNOR回路を有する
前記(5)に記載の比較器。
(8)
第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、
前記第1の電源電圧よりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、
前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路を有し、
前記差動入力回路のソース電圧が0Vよりも低い電圧であるであるように構成された
比較器と、
前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部と
を備えるAD変換器。
(9)
第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、
前記第1の電源電圧よりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、
前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路を有し、
前記差動入力回路のソース電圧が0Vよりも低い電圧であるであるように構成された
比較器と、
前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部と
を備えるAD変換器と、
画素に入射された光を受光して光電変換することで生成された電荷信号を、前記入力信号として前記差動入力回路に出力する画素回路と
を備える固体撮像装置。
(10)
前記AD変換器は、前記画素ごとに配置される
前記(9)に記載の固体撮像装置。
(11)
前記AD変換器は、複数の前記画素で共有される
前記(9)に記載の固体撮像装置。
(12)
複数の半導体基板で構成されている
前記(9)または(10)に記載の固体撮像装置。
(13)
第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、
前記第1の電源電圧よりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、
前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路を有し、
前記差動入力回路のソース電圧が0Vよりも低い電圧であるであるように構成された
比較器と、
前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部と
を備えるAD変換器と、
画素に入射された光を受光して光電変換することで生成された電荷信号を、前記入力信号として前記差動入力回路に出力する画素回路と
を備える固体撮像装置
を備える電子機器。
(14)
第1の電源電圧で動作する差動入力回路と、前記第1の電源電圧よりも低い第2の電源電圧で動作する正帰還回路と、電圧変換回路とを備え、前記差動入力回路のソース電圧が0Vよりも低い電圧であるように構成された比較器の
前記差動入力回路が、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力し、
前記電圧変換回路が、前記差動入力回路の出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換し、
前記正帰還回路が、前記電圧変換回路により変換された前記差動入力回路の出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する
比較器の制御方法。
The present disclosure may also have the following structure.
(1)
A differential input circuit that operates at the first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
It operates at a second power supply voltage lower than the first power supply voltage, and the comparison result signal representing the comparison result of the voltage of the input signal and the reference signal is inverted based on the output signal from the differential input circuit. A positive feedback circuit that speeds up the transition speed when
A voltage conversion circuit for converting the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage is provided.
A comparator configured such that the source voltage of the differential input circuit is a voltage lower than 0V.
(2)
The comparator according to (1), wherein the differential input circuit includes a first transistor and a second transistor constituting a current mirror, and the first transistor and the second transistor are composed of low-voltage transistors. ..
(3)
The comparator according to (2), wherein the low-voltage transistor is driven by the first power supply voltage of 2 V or less.
(4)
The differential input circuit
The third transistor to which the reference signal is input and
The fourth transistor to which the input signal is input and
The comparator according to (2) or (3) above, further comprising a fifth transistor and a sixth transistor for turning on / off the connection between the first transistor and the second transistor and the third transistor and the fourth transistor.
(5)
The positive feedback circuit receives an input of a control signal different from the output signal of the differential input circuit, and inverts the comparison result signal based on the control signal regardless of the output signal of the differential input circuit. The comparator according to any one of (1) to (4) above.
(6)
The positive feedback circuit
An inverter circuit that inverts the output signal of the differential input circuit to generate the comparison result signal, and
The comparator according to (5), further comprising a transistor that supplies the second power supply voltage to the inverter circuit based on the control signal.
(7)
The comparator according to (5) above, wherein the positive feedback circuit has a NOR circuit that receives the output signal of the differential input circuit and the control signal as inputs.
(8)
A differential input circuit that operates at the first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
It operates at a second power supply voltage lower than the first power supply voltage, and the comparison result signal representing the comparison result of the voltage of the input signal and the reference signal is inverted based on the output signal from the differential input circuit. A positive feedback circuit that speeds up the transition speed when
It has a voltage conversion circuit that converts the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage.
A comparator configured such that the source voltage of the differential input circuit is a voltage lower than 0V, and
An AD converter including a data storage unit that stores a time code when the comparison result signal is inverted.
(9)
A differential input circuit that operates at the first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
It operates at a second power supply voltage lower than the first power supply voltage, and the comparison result signal representing the comparison result of the voltage of the input signal and the reference signal is inverted based on the output signal from the differential input circuit. A positive feedback circuit that speeds up the transition speed when
It has a voltage conversion circuit that converts the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage.
A comparator configured such that the source voltage of the differential input circuit is a voltage lower than 0V, and
An AD converter including a data storage unit that stores a time code when the comparison result signal is inverted, and
A solid-state imaging device including a pixel circuit that outputs a charge signal generated by receiving light incident on a pixel and performing photoelectric conversion as the input signal to the differential input circuit.
(10)
The solid-state image sensor according to (9) above, wherein the AD converter is arranged for each pixel.
(11)
The solid-state image sensor according to (9), wherein the AD converter is shared by a plurality of the pixels.
(12)
The solid-state image sensor according to (9) or (10), which is composed of a plurality of semiconductor substrates.
(13)
A differential input circuit that operates at the first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
It operates at a second power supply voltage lower than the first power supply voltage, and the comparison result signal representing the comparison result of the voltage of the input signal and the reference signal is inverted based on the output signal from the differential input circuit. A positive feedback circuit that speeds up the transition speed when
It has a voltage conversion circuit that converts the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage.
A comparator configured such that the source voltage of the differential input circuit is a voltage lower than 0V, and
An AD converter including a data storage unit that stores a time code when the comparison result signal is inverted, and
An electronic device including a solid-state imaging device including a pixel circuit that outputs a charge signal generated by receiving light incident on a pixel and performing photoelectric conversion as the input signal to the differential input circuit.
(14)
The source of the differential input circuit is provided with a differential input circuit that operates at a first power supply voltage, a positive feedback circuit that operates at a second power supply voltage lower than the first power supply voltage, and a voltage conversion circuit. The differential input circuit of the comparator configured so that the voltage is lower than 0V outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
The voltage conversion circuit converts the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage.
The transition speed when the positive feedback circuit inverts the comparison result signal representing the voltage comparison result of the input signal and the reference signal based on the output signal of the differential input circuit converted by the voltage conversion circuit. How to control the comparator to speed up.

1 固体撮像装置, 11 半導体基板, 21 画素, 22 画素アレイ部, 23 時刻コード転送部, 26 時刻コード発生部, 28 出力部, 41 画素回路, 42 ADC, 51 比較回路, 52 データ記憶部, 61 差動入力回路, 62 電圧変換回路, 63 正帰還回路, 71 ラッチ制御回路, 72 ラッチ記憶部, 81乃至86,91 トランジスタ, 101乃至105,161乃至163,165,166 トランジスタ, 800 撮像装置, 802 固体撮像装置 1 Solid-state imaging device, 11 semiconductor substrate, 21 pixels, 22 pixel array unit, 23 time code transfer unit, 26 time code generator, 28 output unit, 41 pixel circuit, 42 ADC, 51 comparison circuit, 52 data storage unit, 61 Differential input circuit, 62 Voltage conversion circuit, 63 Positive feedback circuit, 71 Latch control circuit, 72 Latch storage, 81 to 86,91 transistors, 101 to 105, 161 to 163, 165,166 transistors, 800 image pickup device, 802 Solid-state imaging device

Claims (12)

第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、
前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、
前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路と
を備え、
前記差動入力回路は、
カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、
前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、
前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、
定電流源としての第5トランジスタと、
前記出力信号を出力する第6トランジスタと
を含み、
前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、
前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、
前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、
前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、
前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された
比較器。
A differential input circuit that operates at the first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
It operates at a second power supply voltage that is the same as or lower than the first power supply voltage, and represents a comparison result of the voltages of the input signal and the reference signal based on the output signal from the differential input circuit. A positive feedback circuit that speeds up the transition speed when the comparison result signal is inverted,
A voltage conversion circuit for converting the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage is provided.
The differential input circuit
The first and second transistors that make up the current mirror,
The third transistor to which the reference signal is input to the gate and
The fourth transistor to which the input signal is input to the gate,
The fifth transistor as a constant current source and
With the 6th transistor that outputs the output signal
Including
The first, second and sixth transistors are composed of MIMO transistors.
The third to fifth transistors are composed of NMOS transistors.
The sources of the first, second and sixth transistors are connected to the first power supply voltage of 2V or less.
The source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V and
The third transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor.
The fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor.
The sixth transistor is a comparator configured by connecting a gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit.
前記差動入力回路は、
前記第1トランジスタ及び第2トランジスタと前記第3トランジスタ及び第4トランジスタとの間の接続をオンオフする第トランジスタ及び第トランジスタと
をさらに含む
請求項に記載の比較器。
The differential input circuit
The comparator of claim 1, further comprising a seventh transistor and an eighth transistor for turning on and off the connection between said first and second transistors the third transistor and the fourth transistor.
前記正帰還回路は、前記差動入力回路の前記出力信号と異なる制御信号の入力を受け付け、前記差動入力回路の前記出力信号に関わらず、前記制御信号に基づいて前記比較結果信号を反転させる
請求項1に記載の比較器。
The positive feedback circuit receives an input of a control signal different from the output signal of the differential input circuit, and inverts the comparison result signal based on the control signal regardless of the output signal of the differential input circuit. The comparator according to claim 1.
前記正帰還回路は、
前記差動入力回路の前記出力信号を反転して前記比較結果信号を生成するインバータ回路と、
前記制御信号に基づいて、前記第2の電源電圧を前記インバータ回路に供給するトランジスタと
を有する
請求項に記載の比較器。
The positive feedback circuit
An inverter circuit that inverts the output signal of the differential input circuit to generate the comparison result signal, and
The comparator according to claim 3 , further comprising a transistor that supplies the second power supply voltage to the inverter circuit based on the control signal.
前記正帰還回路は、前記差動入力回路の前記出力信号と前記制御信号を入力とするNOR回路を有する
請求項に記載の比較器。
The comparator according to claim 3 , wherein the positive feedback circuit includes a NOR circuit that receives the output signal of the differential input circuit and the control signal as inputs.
第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、
前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、
前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路を有し、
前記差動入力回路は、
カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、
前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、
前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、
定電流源としての第5トランジスタと、
前記出力信号を出力する第6トランジスタと
を含み、
前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、
前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、
前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、
前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、
前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された
比較器と、
前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部と
を備えるAD変換器。
A differential input circuit that operates at the first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
It operates at a second power supply voltage that is the same as or lower than the first power supply voltage, and represents a comparison result of the voltages of the input signal and the reference signal based on the output signal from the differential input circuit. A positive feedback circuit that speeds up the transition speed when the comparison result signal is inverted,
It has a voltage conversion circuit that converts the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage.
The differential input circuit
The first and second transistors that make up the current mirror,
The third transistor to which the reference signal is input to the gate and
The fourth transistor to which the input signal is input to the gate,
The fifth transistor as a constant current source and
With the 6th transistor that outputs the output signal
Including
The first, second and sixth transistors are composed of MIMO transistors.
The third to fifth transistors are composed of NMOS transistors.
The sources of the first, second and sixth transistors are connected to the first power supply voltage of 2V or less.
The source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V and
The third transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor.
The fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor.
The sixth transistor includes a comparator configured by connecting a gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit.
An AD converter including a data storage unit that stores a time code when the comparison result signal is inverted.
第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、
前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、
前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路を有し、
前記差動入力回路は、
カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、
前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、
前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、
定電流源としての第5トランジスタと、
前記出力信号を出力する第6トランジスタと
を含み、
前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、
前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、
前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、
前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、
前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された
比較器と、
前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部と
を備えるAD変換器と、
画素に入射された光を受光して光電変換することで生成された電荷信号を、前記入力信号として前記差動入力回路に出力する画素回路と
を備える固体撮像装置。
A differential input circuit that operates at the first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
It operates at a second power supply voltage that is the same as or lower than the first power supply voltage, and represents a comparison result of the voltages of the input signal and the reference signal based on the output signal from the differential input circuit. A positive feedback circuit that speeds up the transition speed when the comparison result signal is inverted,
It has a voltage conversion circuit that converts the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage.
The differential input circuit
The first and second transistors that make up the current mirror,
The third transistor to which the reference signal is input to the gate and
The fourth transistor to which the input signal is input to the gate,
The fifth transistor as a constant current source and
With the 6th transistor that outputs the output signal
Including
The first, second and sixth transistors are composed of MIMO transistors.
The third to fifth transistors are composed of NMOS transistors.
The sources of the first, second and sixth transistors are connected to the first power supply voltage of 2V or less.
The source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V and
The third transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor.
The fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor.
The sixth transistor includes a comparator configured by connecting a gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit.
An AD converter including a data storage unit that stores a time code when the comparison result signal is inverted, and
A solid-state imaging device including a pixel circuit that outputs a charge signal generated by receiving light incident on a pixel and performing photoelectric conversion as the input signal to the differential input circuit.
前記AD変換器は、前記画素ごとに配置される
請求項に記載の固体撮像装置。
The solid-state image sensor according to claim 7 , wherein the AD converter is arranged for each pixel.
前記AD変換器は、複数の前記画素で共有される
請求項に記載の固体撮像装置。
The solid-state image sensor according to claim 7 , wherein the AD converter is shared by a plurality of the pixels.
複数の半導体基板で構成されている
請求項に記載の固体撮像装置。
The solid-state image sensor according to claim 7 , which is composed of a plurality of semiconductor substrates.
第1の電源電圧で動作し、入力信号の電圧が参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力する差動入力回路と、
前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作し、前記差動入力回路からの出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する正帰還回路と、
前記差動入力回路の前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換する電圧変換回路を有し、
前記差動入力回路は、
カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、
前記参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、
前記入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、
定電流源としての第5トランジスタと、
前記出力信号を出力する第6トランジスタと
を含み、
前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、
前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、
前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、
前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、
前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された
比較器と、
前記比較結果信号が反転したときの時刻コードを記憶するデータ記憶部と
を備えるAD変換器と、
画素に入射された光を受光して光電変換することで生成された電荷信号を、前記入力信号として前記差動入力回路に出力する画素回路と
を備える固体撮像装置
を備える電子機器。
A differential input circuit that operates at the first power supply voltage and outputs a signal when the voltage of the input signal is higher than the voltage of the reference signal.
It operates at a second power supply voltage that is the same as or lower than the first power supply voltage, and represents a comparison result of the voltages of the input signal and the reference signal based on the output signal from the differential input circuit. A positive feedback circuit that speeds up the transition speed when the comparison result signal is inverted,
It has a voltage conversion circuit that converts the output signal of the differential input circuit into a signal corresponding to the second power supply voltage.
The differential input circuit
The first and second transistors that make up the current mirror,
The third transistor to which the reference signal is input to the gate and
The fourth transistor to which the input signal is input to the gate,
The fifth transistor as a constant current source and
With the 6th transistor that outputs the output signal
Including
The first, second and sixth transistors are composed of MIMO transistors.
The third to fifth transistors are composed of NMOS transistors.
The sources of the first, second and sixth transistors are connected to the first power supply voltage of 2V or less.
The source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V and
The third transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor.
The fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor.
The sixth transistor includes a comparator configured by connecting a gate to the drain of the second transistor and connecting the drain to the voltage conversion circuit.
An AD converter including a data storage unit that stores a time code when the comparison result signal is inverted, and
An electronic device including a solid-state imaging device including a pixel circuit that outputs a charge signal generated by receiving light incident on a pixel and performing photoelectric conversion as the input signal to the differential input circuit.
第1の電源電圧で動作する差動入力回路と、前記第1の電源電圧と同じかまたはそれよりも低い第2の電源電圧で動作する正帰還回路と、電圧変換回路とを備え、
前記差動入力回路は、
カレントミラーを構成する第1トランジスタ及び第2トランジスタと、
参照信号がゲートに入力される第3トランジスタと、
入力信号がゲートに入力される第4トランジスタと、
定電流源としての第5トランジスタと、
前記差動入力回路の出力信号を出力する第6トランジスタと
を含み、
前記第1、第2および第6トランジスタが、PMOSトランジスタで構成され、
前記第3乃至第5トランジスタが、NMOSトランジスタで構成され、
前記第1、第2および第6トランジスタのソースが、2V以下の前記第1の電源電圧に接続され、
前記第5トランジスタのソースが、0Vよりも低い電圧に接続され、
前記第3トランジスタが、前記第1トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第4トランジスタが、前記第2トランジスタのドレインと前記第5トランジスタのドレインとの間に接続され、
前記第6トランジスタは、ゲートを前記第2トランジスタのドレインに接続し、ドレインを前記電圧変換回路に接続して構成された比較器の
前記差動入力回路が、前記入力信号の電圧が前記参照信号の電圧よりも高いときに信号を出力し、
前記電圧変換回路が、前記出力信号を、前記第2の電源電圧に対応する信号に変換し、
前記正帰還回路が、前記電圧変換回路により変換された前記差動入力回路の前記出力信号に基づいて、前記入力信号と前記参照信号の電圧の比較結果を表す比較結果信号が反転するときの遷移速度を高速化する
比較器の制御方法。
A differential input circuit that operates at a first power supply voltage, a positive feedback circuit that operates at a second power supply voltage that is equal to or lower than the first power supply voltage, and a voltage conversion circuit are provided.
The differential input circuit
The first and second transistors that make up the current mirror,
The third transistor where the reference signal is input to the gate, and
The 4th transistor where the input signal is input to the gate,
The fifth transistor as a constant current source and
With the sixth transistor that outputs the output signal of the differential input circuit
Including
The first, second and sixth transistors are composed of MIMO transistors.
The third to fifth transistors are composed of NMOS transistors.
The sources of the first, second and sixth transistors are connected to the first power supply voltage of 2V or less.
The source of the fifth transistor is connected to a voltage lower than 0V and
The third transistor is connected between the drain of the first transistor and the drain of the fifth transistor.
The fourth transistor is connected between the drain of the second transistor and the drain of the fifth transistor.
The sixth transistor has a gate connected to the drain of said second transistor, said differential input circuit of the comparator which is constructed by connecting the drain to the voltage conversion circuit, the voltage is the reference signal of the input signal Outputs a signal when it is higher than the voltage of
It said voltage conversion circuit converts the output signal, the signal corresponding to the second power supply voltage,
Transition when the positive feedback circuit, based on said output signal of said differential input circuit which has been converted by said voltage conversion circuit, the comparison result signal representative of the comparison result of the voltage of the input signal and the reference signal is inverted How to control the comparator to increase the speed.
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