JP6867646B2 - 補償光学システムおよび補償光学方法 - Google Patents
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Description
図1Aを参照して、一実施形態による補償光学システム1について説明する。図1Aは、一実施形態による補償光学システム1の一構成例を示す図である。
上述したように、大気の揺らぎ具合は時間で変動する。その一方で、駆動鏡の駆動速度には物理的な限界がある。したがって、大気の揺らぎ具合の変化が速過ぎて、各駆動鏡の駆動が、特に第3駆動鏡33の駆動が、間に合わない場合が考えられる。これは、Zernike多項式は、高次の項ほど、対応する波面乱れを補正するために可変形鏡の反射面が取るべき曲面形状が複雑になるからである。言い換えれば、各駆動鏡の反射面に求められる分解能や、駆動装置への負荷などが増加し、結果的に補正の精度が低下してしまうからである。
Zernike多項式は、高次の項ほど、対応する波面乱れ成分が複雑であり、この波面乱れ成分を補正する可変形鏡の曲面形状も複雑である。したがって、第1実施形態および第2実施形態の第3駆動鏡33のように、一枚の可変形鏡で複数の高次項を合成した波面乱れ成分を補正しようとすると、この合成した波面乱れ成分を補正するための曲面形状はさらに複雑になり、第3駆動装置の負荷が大きくなる。
10 目標
101 参照光
2 光源
21 波面
22 レーザー光
3 駆動光学系
30 共役波面
31 駆動鏡
310 反射面
32 駆動鏡
320 反射面
33 駆動鏡
330 反射面
34 駆動鏡
340 反射面
35 駆動鏡
350 反射面
3N 駆動鏡
3N0 反射面
4 対物光学系
5 ハーフミラー
6 ハーフミラー
7 波面センサ
70 観測波面
71 波面観測情報信号
8 照度センサ
81 照度観測情報信号
9 制御装置
90 制御信号
91 バス
92 入力装置
93 演算装置
94 記憶装置
941 Zernike多項式算出プログラム
942 制御信号生成プログラム
943 閾値テーブル
95 出力装置
96 外部記憶装置
961 記録媒体
Claims (7)
- レーザー光を生成する光源と、
前記光源から前記レーザー光を入射し、所定の目標に向けて出射する駆動光学系と、
前記目標から届く参照光の波面を観測し、前記波面の観測結果を示す波面観測情報信号を生成する波面センサと、
前記波面観測情報信号から、前記波面の乱れを近似するZernike多項式を算出する演算装置と、
前記Zernike多項式として算出される複数のZernike係数に応じて複数の制御信号を生成する制御装置と
を具備し、
前記複数の制御信号は、
前記複数のZernike係数のうち、前記波面の乱れの傾き成分を示す第1次Zernike係数に応じて生成される第1制御信号と、
前記複数のZernike係数のうち、前記波面の乱れのフォーカスシフト成分を示す第2次Zernike係数に応じて生成される第2制御信号と、
前記複数のZernike係数のうち、前記波面の乱れの第3次成分を示す第3次Zernike係数に応じて生成される第3制御信号と
を含み、
前記駆動光学系は、
前記第1制御信号で駆動する第1駆動鏡と、
前記第2制御信号で駆動する第2駆動鏡と、
前記第3制御信号で駆動する第3駆動鏡と
を具備し、
前記光源から前記駆動光学系を介して前記目標に向かう光路において、前記第1駆動鏡は前記第2駆動鏡よりも後段に配置されており、前記第2駆動鏡は前記第3駆動鏡よりも後段に配置されている
補償光学システム。 - 請求項1に記載の補償光学システムにおいて、
前記第3制御信号は、前記Zernike多項式として算出され、前記波面の乱れの第4次以降の成分を示す第4次以降のZernike係数にさらに応じて生成される
補償光学システム。 - 請求項1または2に記載の補償光学システムにおいて、
前記第1駆動鏡は、平らな第1反射面を有し、前記第1制御信号に応じて前記第1反射面の方向を調整可能に駆動し、
前記第2駆動鏡は、可変形の第2反射面を有し、前記第2制御信号に応じて前記第2反射面の曲面形状を調整することで前記駆動光学系の焦点距離を調整するように駆動し、
前記第3駆動鏡は、可変形の第3反射面を有し、前記第3制御信号に応じて前記第3反射面の曲面形状を調整するように駆動する
補償光学システム。 - 請求項1に記載の補償光学システムにおいて、
前記複数の制御信号は、
前記Zernike多項式として算出され、前記波面の乱れの第4次以降の成分を示す第4次以降の複数のZernike係数に応じてそれぞれ生成される複数の高次制御信号
をさらに含み、
前記駆動光学系は、
前記複数の高次制御信号にそれぞれ応じて駆動する複数の高次駆動鏡
をさらに具備する
補償光学システム。 - 請求項4に記載の補償光学システムにおいて、
前記第1駆動鏡は、平らな第1反射面を有し、前記第1制御信号に応じて前記第1反射面の方向を調整可能に駆動し、
前記第2駆動鏡は、可変形の第2反射面を有し、前記第2制御信号に応じて前記第2反射面の曲面形状を調整することで前記駆動光学系の焦点距離を調整するように駆動し、
前記第3駆動鏡は、可変形の第3反射面を有し、前記第3制御信号に応じて前記第3反射面の曲面形状を調整するように駆動する
前記複数の高次駆動鏡のそれぞれは、可変形の反射面を有し、前記複数の高次制御信号のそれぞれに応じて前記反射面の曲面形状を調整するように駆動する
補償光学システム。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の補償光学システムにおいて、
前記参照光の照度を観測し、前記照度の観測結果を示す照度観測情報信号を生成する照度センサと、
複数の閾値を格納する記憶装置と
をさらに具備し、
前記演算装置は、前記照度観測情報信号が示す照度の変化速度と、前記複数の閾値とを比較し、前記複数のZernike係数のうち算出するZernike係数の総数を、前記比較の結果に応じて増減する
補償光学システム。 - レーザー光を生成することと、
前記レーザー光を所定の目標に向けて出射することと、
前記目標から届く参照光の波面を観測することと、
前記観測の結果を示す波面観測情報信号を生成することと、
前記波面観測情報信号から、前記波面の乱れを近似するZernike多項式を算出することと、
前記Zernike多項式として算出される複数のZernike係数に応じて複数の制御信号を生成することと
を具備し、
前記複数の制御信号を生成することは、
前記複数のZernike係数のうち、前記波面の乱れの傾き成分を示す第1次Zernike係数に応じて第1制御信号を生成することと、
前記複数のZernike係数のうち、前記波面の乱れのフォーカスシフト成分を示す第2次Zernike係数に応じて第2制御信号を生成することと、
前記複数のZernike係数のうち、前記波面の乱れの第3次成分を示す第3次Zernike係数に応じて第3制御信号を生成することと
を具備し、
前記出射することは、
前記第1制御信号で駆動する第1駆動鏡で前記レーザー光を反射することと、
前記第2制御信号で駆動する第2駆動鏡で前記レーザー光を反射することと、
前記第3制御信号で駆動する第3駆動鏡で前記レーザー光を反射することと
を具備し、
前記光源から前記駆動光学系を介して前記目標に向かう光路において、前記第1駆動鏡は前記第2駆動鏡よりも後段に配置されており、前記第2駆動鏡は前記第3駆動鏡よりも後段に配置されている
補償光学方法。
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