JP6860097B1 - Storage method, storage plate, and storage device - Google Patents

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Abstract

【課題】取り扱われる部品の割れ、欠け、汚れが生じにくく、複数の部品を整列できる、格納方法、格納プレート、および格納装置を提供する。【解決手段】複数の格納穴13が第1主面18に設けられている格納プレート11を用意する第1工程と、第1主面18上に複数の部品101を置く第2工程と、複数の部品101に加速度を加えることで、第1主面上にある複数の部品101を移動させる第3工程と、複数の部品101の少なくとも一部を、格納穴13内に入れる第4工程を備え、第1主面18に設けられている気体を通す複数の気体経路12から気体が放出されている状態において、第1主面18上にある複数の部品101を移動させる格納方法。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a storage method, a storage plate, and a storage device capable of arranging a plurality of parts without causing cracks, chips, and stains of the parts to be handled. SOLUTION: A first step of preparing a storage plate 11 in which a plurality of storage holes 13 are provided on a first main surface 18, a second step of placing a plurality of parts 101 on the first main surface 18, and a plurality of steps. A third step of moving a plurality of parts 101 on the first main surface by applying acceleration to the part 101 of the above, and a fourth step of inserting at least a part of the plurality of parts 101 into the storage hole 13 are provided. , A storage method for moving a plurality of parts 101 on the first main surface 18 in a state where gas is discharged from a plurality of gas paths 12 through which the gas is provided on the first main surface 18. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、部品の取扱いに便宜を図り得る形態とするため、格納プレートに設けられた複数の格納穴に部品を格納する格納方法、格納プレート、および格納装置に関するものである。 The present invention relates to a storage method, a storage plate, and a storage device for storing parts in a plurality of storage holes provided in the storage plate in order to facilitate the handling of the parts.

部品の格納方法は、たとえばWO2018/105591号公報(特許文献1)に記載されている。特許文献1には、複数の格納穴を有する格納プレートを用意し、この格納プレート上に、複数の部品を投入し、その状態で、格納プレートを、所定の軸線まわりに搖動させるとともに、当該軸線方向に振動させることによって、複数の部品を、格納プレート上で移動させながら、各格納穴内に振り込む方法が記載されている。 A method of storing the parts is described in, for example, WO2018 / 105591 (Patent Document 1). In Patent Document 1, a storage plate having a plurality of storage holes is prepared, a plurality of parts are put on the storage plate, and in that state, the storage plate is oscillated around a predetermined axis and the axis is concerned. A method of swinging a plurality of parts into each storage hole while moving them on a storage plate by vibrating in a direction is described.

WO2018/105591号公報WO2018 / 105591 特開平9−136716号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-136716

特許文献1に記載の方法では、格納プレート上での部品は、格納プレートの表面を摺動する。そのため、複数の部品は、一塊となって重力に基づき転がりかつ攪拌されながら格納プレート上を繰り返し格納プレートの表面と物理的に摩擦しながら移動する。そして、移動する部品のうち、格納穴と位置合わせされたものが格納穴内に入れられる。 In the method described in Patent Document 1, the component on the storage plate slides on the surface of the storage plate. Therefore, the plurality of parts move as a lump on the storage plate while being repeatedly rolled and agitated based on gravity while physically rubbing against the surface of the storage plate. Then, among the moving parts, those aligned with the storage hole are put into the storage hole.

上述した格納方法では、格納プレートの表面との摩擦による部品の汚れ、重力に基づく転がりまたは落下が部品に及ぼす衝撃による部品の割れ、欠けなどの問題が発生する懸念がある。 In the storage method described above, there is a concern that problems such as dirt on the part due to friction with the surface of the storage plate, cracking or chipping of the part due to the impact of rolling or dropping due to gravity on the part may occur.

また、特開平9−136716号公報(特許文献2)に記載の方法を用いて回転プレートの円周に沿って設けたポケットへ部品を受け入れられる部品の個数を増やすには限界があり、格子状に部品を配列させるためには、各部品を保持、位置決めさせる工程が新たに必要になる問題がある。 Further, there is a limit to increasing the number of parts that can be received in the pockets provided along the circumference of the rotating plate by using the method described in JP-A-9-136716 (Patent Document 2), and the grid pattern is used. In order to arrange the parts in the space, there is a problem that a new process of holding and positioning each part is required.

すなわち、部品の処理数を上げるには、回転プレートの回転速度を増やすことなどが考えられるが、回転速度を増やすと、ポケットと部品との衝撃力も比例して増えてしまう。その結果、割れ、欠けが生じた部品の発生率が増加してしまう問題がある。 That is, in order to increase the number of processed parts, it is conceivable to increase the rotation speed of the rotating plate, but if the rotation speed is increased, the impact force between the pocket and the parts also increases proportionally. As a result, there is a problem that the occurrence rate of cracked or chipped parts increases.

本発明の目的は、取り扱われる部品の汚れ、割れ、欠けが生じにくく、複数の部品を整列できる、格納方法、格納プレート、および格納装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a storage method, a storage plate, and a storage device capable of aligning a plurality of parts without causing stains, cracks, and chips of the parts to be handled.

本発明の一態様に係る格納方法は、第1主面を有し、複数の格納穴が前記第1主面に設けられている格納プレートを用意する第1工程と、前期格納プレートの前記第1主面上に複数の部品を置く第2工程と、複数の前記部品に加速度を加えることで前記第1主面上にある複数の前記部品を移動させる第3工程と、複数の前記部品の少なくとも一部を前記格納穴内に入れる第4工程とを備え、前記第1主面に設けられている気体を通す複数の気体経路から気体が放出されている状態において、第1主面上にある複数の前記部品を移動させる。 The storage method according to one aspect of the present invention includes a first step of preparing a storage plate having a first main surface and having a plurality of storage holes provided on the first main surface, and the first step of the previous stage storage plate. A second step of placing a plurality of parts on one main surface, a third step of moving a plurality of the parts on the first main surface by applying acceleration to the plurality of parts, and a plurality of the parts. The first main surface is provided with a fourth step of inserting at least a part of the gas into the storage hole, and the gas is discharged from a plurality of gas paths through which the gas is provided on the first main surface. The plurality of said parts are moved.

本発明の一態様に係る格納プレートは、第1主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第1主面に設けられている格納プレートであって、第1主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有している。 The storage plate according to one aspect of the present invention is a storage plate having a first main surface and having a plurality of storage holes for storing parts on the first main surface, and is provided on the first main surface. It has multiple gas paths through which the gas is being passed.

本発明の一態様に係る格納装置では、第1主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第1主面に設けられている格納プレートであって、第1主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有している格納プレートと、複数の気体経路につながる主空間を有する主チャンバを備える。 The storage device according to one aspect of the present invention is a storage plate having a first main surface and having a plurality of storage holes for storing parts on the first main surface, and is provided on the first main surface. It includes a storage plate having a plurality of gas paths through which the gas is being passed, and a main chamber having a main space connected to the plurality of gas paths.

本発明の一態様に係る格納装置では、第1主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第1主面に設けられている格納プレートであって、第1主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有している格納プレートと、第1主面上にある複数の部品を移動させるように、部品に加速度を与える加速度付与器をさらに備える。 The storage device according to one aspect of the present invention is a storage plate having a first main surface and having a plurality of storage holes for storing parts on the first main surface, and is provided on the first main surface. It is further provided with a storage plate having a plurality of gas paths through which the gas is being passed, and an acceleration imparting device that gives acceleration to the components so as to move the plurality of components on the first main surface.

本発明は、取り扱われる部品の汚れ、割れ、欠けが生じにくく、複数の部品を整列できる、格納方法、格納プレート、および格納装置を提供できる効果を有する。 The present invention has the effect of providing a storage method, a storage plate, and a storage device capable of aligning a plurality of parts without causing stains, cracks, and chips of the parts to be handled.

本発明の第1実施形態による格納方法を実施する格納プレート11および格納装置1を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the storage plate 11 and the storage device 1 which carry out the storage method by 1st Embodiment of this invention. 図1の線II−IIに沿う格納装置1を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the storage device 1 along the line II-II of FIG. 図2で示した格納装置1が傾斜した状態を模式的に示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the storage device 1 shown in FIG. 2 is inclined. 図1、図2、図3に示した格納装置1の動作の一例を模式的に示す平面図である。It is a top view schematically showing an example of the operation of the storage device 1 shown in FIGS. 1, 2, and 3. 本発明の第1実施形態の変形例による部品の格納方法を実施する格納装置1を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which shows typically the storage device 1 which carries out the storage method of the part by the modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による部品の格納方法を実施する格納プレート211を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which shows typically the storage plate 211 which carries out the storage method of the part by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態の第1変形例による部品の格納方法を実施する格納プレート311を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which shows typically the storage plate 311 which carries out the method of storing a part by 1st modification of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態の第2変形例による部品の格納方法を実施する格納プレート411を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which shows typically the storage plate 411 which carries out the method of storing a part by 2nd modification of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態の第3変形例による部品の格納方法を実施する格納プレート511を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which shows typically the storage plate 511 which carries out the method of storing the part by the 3rd modification of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態による部品の格納方法を実施する格納プレート611を模式的に示した平面図および断面図である。It is plan view and sectional drawing which showed typically the storage plate 611 which carries out the method of storing a part by 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態の第1変形例による部品の格納方法を実施する格納プレート711を模式的に示した平面図および断面図である。It is plan view and sectional drawing which showed typically the storage plate 711 which carries out the method of storing a part by 1st modification of 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による部品の格納方法を実施する格納装置201を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which shows typically the storage apparatus 201 which carries out the storage method of the part by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態の第1変形例による部品の格納方法を実施する格納装置301を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which shows typically the storage device 301 which carries out the storage method of the part by 1st modification of 2nd Embodiment of this invention.

(第1実施形態)
図1ないし図6を参照して、本発明の第1実施形態およびその変形例による格納方法、格納プレート11および格納装置1の構成について説明する。
(First Embodiment)
With reference to FIGS. 1 to 6, a storage method according to the first embodiment of the present invention and a modification thereof, and a configuration of a storage plate 11 and a storage device 1 will be described.

図1、および図2に示すように、格納装置1は、格納プレート11と、主チャンバ31と、加速度付与器71とを備え、さらに、格納装置1は、気体供給器51および制御器91を備えている。格納プレート11には、それぞれ部品101(図2参照)が格納できる複数の格納穴13が設けられている。なお、図1では、実際に設けたすべての複数の格納穴13を図示するのではなく、模式的に図示している。各々の格納穴13は、開口14、底面15、側面16を有する。第1主面を平面視したとき、格納穴13の形状は、部品101が直方体形状である場合、部品101の形状に合わせて略矩形形状であることが好ましく、底面15が矩形状であることが好ましい。複数の格納穴13は、第1主面18に沿う第1方向(行方向)と、第1主面18に沿い第1方向に直交する第2方向(列方向)とに沿って格子状に設けられている。さらに、格納プレート11の第1主面18の周縁部には、第1主面18から突出する枠部が設けることもできる。枠部によって、格納プレート11の第1主面18上に置かれた部品101が格納プレート11から脱落することを防止できる。 As shown in FIGS. 1 and 2, the storage device 1 includes a storage plate 11, a main chamber 31, and an acceleration imparting device 71, and the storage device 1 further includes a gas supply device 51 and a controller 91. I have. Each of the storage plates 11 is provided with a plurality of storage holes 13 in which the parts 101 (see FIG. 2) can be stored. It should be noted that FIG. 1 does not show all the plurality of storage holes 13 actually provided, but schematically shows them. Each storage hole 13 has an opening 14, a bottom surface 15, and a side surface 16. When the first main surface is viewed in a plan view, when the component 101 has a rectangular parallelepiped shape, the shape of the storage hole 13 is preferably a substantially rectangular shape according to the shape of the component 101, and the bottom surface 15 has a rectangular shape. Is preferable. The plurality of storage holes 13 are arranged in a grid pattern along a first direction (row direction) along the first main surface 18 and a second direction (column direction) along the first main surface 18 and orthogonal to the first direction. It is provided. Further, a frame portion protruding from the first main surface 18 may be provided on the peripheral edge of the first main surface 18 of the storage plate 11. The frame portion can prevent the component 101 placed on the first main surface 18 of the storage plate 11 from falling off from the storage plate 11.

なお、図示しないが、格納プレート11は、格納穴13の側面を構成する貫通孔が形成される上板部と、格納穴13の底面を構成する下板部とを組み合わせた構造であってもよい。部品101の寸法の条件が異なる場合、部品101に最適な格納穴13の寸法も異なる。異なる種類の上板部を用意しておけば、共通の下板部を使用して、部品101の寸法の条件変更に迅速に対応することができる。 Although not shown, the storage plate 11 may have a structure in which an upper plate portion having a through hole forming the side surface of the storage hole 13 and a lower plate portion forming the bottom surface of the storage hole 13 are combined. Good. When the dimensional conditions of the component 101 are different, the optimum dimension of the storage hole 13 for the component 101 is also different. If different types of upper plate portions are prepared, it is possible to quickly respond to changes in the dimensional conditions of the component 101 by using the common lower plate portion.

この実施形態では、部品101は各格納穴13内に1個ずつ入れられる。格納穴13に振り込まれた部品101が、完成品としての部品であるとき、複数の部品101が格納プレート11上に格子状に整列して保持されることにより、当該部品のたとえば測定工程または梱包工程への供給に際して便宜が図られる。また、格納穴13に振り込まれた部品101が、外部電極が形成される前のチップ状の電子部品本体であるとき、複数の電子部品本体が格納プレート11上に整列して保持されることにより、当該部品本体の外部電極形成のための工程への供給に際して便宜が図られる。 In this embodiment, one component 101 is inserted into each storage hole 13. When the part 101 transferred into the storage hole 13 is a part as a finished product, a plurality of parts 101 are held in a grid pattern on the storage plate 11, so that the part can be measured, for example, in a measuring process or packed. Convenience is provided when supplying to the process. Further, when the component 101 transferred into the storage hole 13 is a chip-shaped electronic component body before the external electrode is formed, the plurality of electronic component bodies are aligned and held on the storage plate 11. , Convenience is provided when supplying the component body to the process for forming the external electrode.

図2、図3に示すように、格納装置1は、格納プレート11を支持する基台ともなる主チャンバ31を備えことができる。主空間32を有する主チャンバ31は、格納プレート11を支持する。格納プレート11が主チャンバ31に支持されることで、主チャンバ31の主空間32が格納プレート11の第2主面19により閉じた内部空間を形成する。図1、図2に示すように、主チャンバ31には、回転軸と回転機とを含む傾斜機構部71Aが接続されている。なお、傾斜機構部71Aは、格納プレート11と接続することもできる。 As shown in FIGS. 2 and 3, the storage device 1 can include a main chamber 31 that also serves as a base for supporting the storage plate 11. The main chamber 31 having the main space 32 supports the storage plate 11. When the storage plate 11 is supported by the main chamber 31, the main space 32 of the main chamber 31 forms an internal space closed by the second main surface 19 of the storage plate 11. As shown in FIGS. 1 and 2, a tilting mechanism portion 71A including a rotating shaft and a rotating machine is connected to the main chamber 31. The tilting mechanism portion 71A can also be connected to the storage plate 11.

なお、以下の説明において、図1、図2に示すように、水平面内に沿って、かつ互いに直交するX軸方向およびY軸方向、X軸方向とY軸方向とに直交するZ軸方向を用いることがある。 In the following description, as shown in FIGS. 1 and 2, the X-axis direction and the Y-axis direction that are orthogonal to each other in the horizontal plane, and the Z-axis direction that is orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction are defined. May be used.

格納方法を実施するにあたって、まず、図1ないし図3に示すように、格納プレート11を備える格納装置1を用意する。格納プレート11の第1主面18上に複数の部品101が置かれる。この状態が図4(1)に模式的に図示されている。図4(1)からわかるように、複数の部品101は、格納プレート11の第1主面18の図中左端部に寄せて投入される。 In carrying out the storage method, first, as shown in FIGS. 1 to 3, a storage device 1 including a storage plate 11 is prepared. A plurality of parts 101 are placed on the first main surface 18 of the storage plate 11. This state is schematically illustrated in FIG. 4 (1). As can be seen from FIG. 4 (1), the plurality of parts 101 are brought closer to the left end portion in the drawing of the first main surface 18 of the storage plate 11.

図4(1)〜(4)において、複数の部品101の集合体を部品群101Aとして図示している。一例として、格納プレート11に、複数の行および複数の列を有する格子状に並べられ、矩形形状の開口14の寸法が第1主面18を平面視して、0.65mm〜0.80mmの正方形形状であり、開口14の間隔が0.90mmである格納穴13が設けられるとき、格納穴13の個数の約1.5倍の個数の部品101が格納プレート11の第1主面18上に置かれる。 In FIGS. 4 (1) to 4 (4), an aggregate of a plurality of parts 101 is illustrated as a part group 101A. As an example, the storage plate 11 is arranged in a grid pattern having a plurality of rows and a plurality of columns, and the dimensions of the rectangular openings 14 are 0.65 mm to 0.80 mm in a plan view of the first main surface 18. When the storage holes 13 having a square shape and the spacing between the openings 14 are 0.90 mm are provided, the number of parts 101, which is about 1.5 times the number of the storage holes 13, is on the first main surface 18 of the storage plate 11. Placed in.

なお、この実施形態において取り扱われる部品101は、略直方体形状を有するチップ状である。一例としては、部品101が0.6mm×0.6mmの平面寸法を有するものである。 The component 101 handled in this embodiment has a chip shape having a substantially rectangular parallelepiped shape. As an example, the component 101 has a plane dimension of 0.6 mm × 0.6 mm.

次に、気体供給器51から主チャンバ31を介して供給された空気が、格納プレート11の第1主面18に設けられた複数の気体経路12から放出される。図4(1)に示すように、空気が放出された状態で、格納プレート11の第1主面18に沿って、部品群101AがX軸方向の矢印39方向へ移動する。そして、この移動の過程において、部品101は、各格納穴13内に1個ずつ入れられる。 Next, the air supplied from the gas supply device 51 through the main chamber 31 is discharged from a plurality of gas paths 12 provided on the first main surface 18 of the storage plate 11. As shown in FIG. 4 (1), the component group 101A moves in the direction of the arrow 39 in the X-axis direction along the first main surface 18 of the storage plate 11 in a state where the air is released. Then, in the process of this movement, one component 101 is inserted into each storage hole 13.

なお、気体供給器51は、具体例として、送風機を用いる例を挙げる。製造工程に設置されている正圧発生源が用いられてもよい。なお、実施形態において、複数の気体経路12から放出される気体は、空気に限定されない。たとえば、気体として、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスを用いることができる。これにより、気体と部品101との化学反応の影響が低減できる。あるいは、気体の所定の構造、たとえば部品101の特定の材料との反応性を有する気体を用いことができる。特定の反応性を有する気体により、部品の格納と部品加工を同時に得ることができる。また、大気より湿度を低減させた空気を用いることができる。このとき、気体供給器51に除湿機構部を含む、あるいは除湿機構部が接続される構成が好ましい。 As a specific example of the gas supply device 51, an example using a blower will be given. A positive pressure source installed in the manufacturing process may be used. In the embodiment, the gas released from the plurality of gas paths 12 is not limited to air. For example, as the gas, an inert gas such as nitrogen gas or argon gas can be used. As a result, the influence of the chemical reaction between the gas and the component 101 can be reduced. Alternatively, a gas having a predetermined structure of the gas, for example, a gas having reactivity with a specific material of the component 101 can be used. With a gas having a specific reactivity, it is possible to obtain the storage of parts and the processing of parts at the same time. In addition, air having a lower humidity than the atmosphere can be used. At this time, it is preferable that the gas supply device 51 includes a dehumidifying mechanism unit or is connected to the dehumidifying mechanism unit.

部品101が、図4(1)および図5において矢印39で示す方向に移動し、空の格納穴13と位置合わせされたとき、位置合わせされた部品101が格納穴13内に入る。 When the component 101 moves in the direction indicated by the arrow 39 in FIGS. 4 (1) and 5 and is aligned with the empty storage hole 13, the aligned component 101 enters the storage hole 13.

ここで、第1主面18に設けられた複数の気体経路12から空気が略均等に放出された状態では、部品101が格納穴13へ入りにくくなる。そこで、所定の気圧が作用したとき、格納穴13に設けられた複数の気体経路12を通る第1流速が格納穴を除く第1主面18に設けられた複数の前記気体経路12を通る気体の第2流速より遅くする。これにより、格納穴13から出る空気の第1流速が、格納穴13の周囲に位置する第1主面18から出る空気の第2流速より相対的に遅くなるように差が設けられる。この流速の相対差により、部品101が格納穴13へ入りやすくなる。また、格納穴13に設けられた複数の気体経路12を通る気体に作用する第1気圧が、格納穴を除く第1主面18に設けられた複数の前記気体経路12を通る気体に作用する第2気圧より低いことが好ましい。 Here, in a state where air is discharged substantially evenly from the plurality of gas paths 12 provided on the first main surface 18, it becomes difficult for the component 101 to enter the storage hole 13. Therefore, when a predetermined atmospheric pressure is applied, the first flow velocity through the plurality of gas paths 12 provided in the storage hole 13 passes through the plurality of gas paths 12 provided in the first main surface 18 excluding the storage hole. It is slower than the second flow velocity of. As a result, the difference is provided so that the first flow velocity of the air coming out of the storage hole 13 is relatively slower than the second flow velocity of the air coming out of the first main surface 18 located around the storage hole 13. Due to this relative difference in flow velocity, the component 101 can easily enter the storage hole 13. Further, the first atmospheric pressure acting on the gas passing through the plurality of gas paths 12 provided in the storage hole 13 acts on the gas passing through the plurality of gas paths 12 provided on the first main surface 18 excluding the storage hole. It is preferably lower than the second atmospheric pressure.

なお、格納プレート11は、格納穴13における通気性が、格納穴13を除く第1主面18における通気性より低い構成が好ましい。さらに、格納穴13における通気性が、格納穴13の周囲に位置する第1主面18の通気性より低い構成がより好ましい。 The storage plate 11 preferably has a structure in which the air permeability in the storage hole 13 is lower than the air permeability in the first main surface 18 excluding the storage hole 13. Further, it is more preferable that the air permeability of the storage hole 13 is lower than that of the first main surface 18 located around the storage hole 13.

さらに、格納プレート11は、第1主面18を平面したとき単位面積当たりの気体経路12の面積比率において、格納穴13における第1面積比率が、格納穴を除く第1主面における第2面積比率より低い構成が好ましい。 Further, in the storage plate 11, the first area ratio in the storage hole 13 is the second area in the first main surface excluding the storage hole in the area ratio of the gas path 12 per unit area when the first main surface 18 is flat. A configuration lower than the ratio is preferable.

なお、格納プレート11は、第1主面18と第2主面19とに接続される複数の貫通孔によって構成される複数の気体経路12を有することが好ましい。さらに、多数の細孔が互いに連結された多孔質部を有する構成が好ましい。格納プレート11は、多孔質部は、少なくとも第1主面18および格納穴13の一部に設けられ、主チャンバ31の主空間32に接続できるよう設けられ構成が好ましい。格納プレート11が、多孔質材料によって形成される構成は、構造が簡素で製作が容易でなるため、最も好ましい。 The storage plate 11 preferably has a plurality of gas paths 12 composed of a plurality of through holes connected to the first main surface 18 and the second main surface 19. Further, a configuration having a porous portion in which a large number of pores are connected to each other is preferable. The storage plate 11 is preferably configured such that the porous portion is provided at least on the first main surface 18 and a part of the storage hole 13 so as to be connected to the main space 32 of the main chamber 31. The structure in which the storage plate 11 is formed of a porous material is most preferable because the structure is simple and the production is easy.

この実施形態では、1個の部品101が1個の格納穴13に入れられる形態を示した。この場合、格納穴13の深さ寸法は、部品101の外形寸法における最も長い辺の長さ寸法とほぼ同じとされる。このように構成されると、部品101が、格納穴13に振り込まれた後、再び外へ飛び出すといった不都合が低減できるばかりでなく、格納穴13に入った部品101の上面と第1主面18との段差を低減させた状態で部品101が整列する。次に当該格納穴13を越えて通過しようとする部品101を格納穴13に入った部品101が支え、かつ通過しようとする部品101の移動経路をより平坦なものにするように機能する。したがって、後続する部品101を格納プレート11上で円滑に移動させることができる。この作用効果は、この実施形態のように、部品101が直方体形状であるとき、より顕著となる。 In this embodiment, one component 101 is inserted into one storage hole 13. In this case, the depth dimension of the storage hole 13 is substantially the same as the length dimension of the longest side in the external dimension of the component 101. With this configuration, not only can the inconvenience of the component 101 being transferred into the storage hole 13 and then jumping out again can be reduced, but also the upper surface and the first main surface 18 of the component 101 that have entered the storage hole 13 can be reduced. The parts 101 are aligned with each other with the step between them reduced. Next, the component 101 that has entered the storage hole 13 supports the component 101 that is going to pass over the storage hole 13, and functions to make the movement path of the component 101 that is going to pass flatter. Therefore, the subsequent component 101 can be smoothly moved on the storage plate 11. This effect becomes more remarkable when the component 101 has a rectangular parallelepiped shape as in this embodiment.

図4(1)に示した部品群101Aの矢印39方向への移動の結果、図4(2)に示すように、部品群101Aは、格納プレート11の第1主面18の右側の部分に寄せられる。この移動の途中で、複数の部品101が格納穴13に入れられるので、格納プレート11の第1主面18の右側の部分にまで到達する部品101の個数は、部品101の全個数より減っている。通常、この段階では、すべての格納穴13が部品101で充填されるのではなく、部品101が入っていない空のままの格納穴13がいくつか残される。 As a result of the movement of the component group 101A shown in FIG. 4 (1) in the direction of the arrow 39, as shown in FIG. 4 (2), the component group 101A is located on the right side of the first main surface 18 of the storage plate 11. It is sent. Since a plurality of parts 101 are inserted into the storage holes 13 during this movement, the number of parts 101 reaching the right side portion of the first main surface 18 of the storage plate 11 is less than the total number of parts 101. There is. Normally, at this stage, not all the storage holes 13 are filled with the parts 101, but some empty storage holes 13 without the parts 101 are left.

次に、空のまま残された格納穴13に部品101を入れるため、図4(2)にX軸方向の矢印40で示すように、格納プレート11上で、部品群101Aが上記と逆方向へ移動される。この部品群101Aの矢印40方向への移動の途中において、部品101が未格納の格納穴13に部品101が入れられる。 Next, in order to insert the component 101 into the storage hole 13 left empty, the component group 101A is in the opposite direction to the above on the storage plate 11 as shown by the arrow 40 in the X-axis direction in FIG. 4 (2). Moved to. In the middle of the movement of the component group 101A in the direction of the arrow 40, the component 101 is inserted into the storage hole 13 in which the component 101 is not stored.

上述した矢印40方向への移動工程を実施する時間は、通常、前述した矢印39方向への移動工程を実施する時間より短くされる。言い換えると、矢印40方向への移動速度は、矢印39方向への移動速度より高くされる。矢印40方向への移動工程を実施しようとする段階では、格納穴13に振り込まれないで残された部品101の個数が当初投入された部品101の個数より減っている。このような移動速度の変更は、加速度付与器71により部品101に与える加速度を増加させる、X軸方向の振動成分をより大きくすることにより達成される。加速度を増加させる一例として、制御器91で制御された傾斜角度駆動器が格納プレート11の傾斜角度を大きくなるに、格納プレート11を傾斜させることで達成できる。 The time for carrying out the moving step in the direction of arrow 40 described above is usually shorter than the time for carrying out the moving step in the direction of arrow 39 described above. In other words, the moving speed in the direction of arrow 40 is higher than the moving speed in the direction of arrow 39. At the stage of carrying out the moving step in the direction of the arrow 40, the number of parts 101 left without being transferred into the storage hole 13 is less than the number of parts 101 initially inserted. Such a change in moving speed is achieved by increasing the vibration component in the X-axis direction, which increases the acceleration given to the component 101 by the acceleration giver 71. As an example of increasing the acceleration, it can be achieved by tilting the storage plate 11 so that the tilt angle drive controlled by the controller 91 increases the tilt angle of the storage plate 11.

図4(2)に示した部品群101Aの矢印40方向への移動の結果、図4(3)に示すように、部品群101Aは、格納プレート11の第1主面18の左側の部分に寄せられる。この段階でも、空のままの格納穴13がいくつか残されていることがあり、すべての格納穴13に部品101を格納する必要がある場合には、図4(3)に矢印41で示す方向へ部品群101Aが移動され、図4(4)に示すように、部品群101Aが格納プレート11の第1主面18の右側の部分に再び寄せられる。さらに、必要に応じて、部品群101Aの移動方向の切換えが繰り返されることもあり得る。 As a result of the movement of the component group 101A shown in FIG. 4 (2) in the direction of the arrow 40, as shown in FIG. 4 (3), the component group 101A is located on the left side portion of the first main surface 18 of the storage plate 11. It is sent. Even at this stage, some storage holes 13 that remain empty may be left, and if it is necessary to store the parts 101 in all the storage holes 13, the arrow 41 is shown in FIG. 4 (3). The component group 101A is moved in the direction, and as shown in FIG. 4 (4), the component group 101A is relocated to the right portion of the first main surface 18 of the storage plate 11. Further, if necessary, the switching of the moving direction of the component group 101A may be repeated.

また、本実施形態では、格納プレート11の第1主面18、格納穴13に設けられた複数の気体経路12から空気が放出された状態のまま、格納プレート11の第1主面18に沿って部品群101Aが移動し、その後、格納穴13に部品101が入れられる。その空気の吹き出しにより、第1主面18、格納穴13と部品101との衝撃による部品101の割れ、欠け、または、第1主面18との物理的な摩擦による部品101の汚れなどの発生が低減できる。部品101の数の格納穴13に対する投入倍率が高くなっても、部品101の割れ、欠け、汚れの発生を抑制することもできる。 Further, in the present embodiment, the air is discharged from the first main surface 18 of the storage plate 11 and the plurality of gas paths 12 provided in the storage holes 13 along the first main surface 18 of the storage plate 11. The component group 101A moves, and then the component 101 is inserted into the storage hole 13. Due to the air blowout, the component 101 is cracked or chipped due to the impact between the first main surface 18, the storage hole 13 and the component 101, or the component 101 is contaminated due to physical friction with the first main surface 18. Can be reduced. Even if the loading ratio of the number of parts 101 to the storage holes 13 is high, it is possible to suppress the occurrence of cracks, chips, and stains on the parts 101.

以上説明した実施形態では、制御器91が格納プレート11の傾斜を所定の傾斜に変わるように制御できる傾斜機構部71Aを有する加速度付与器71により、格納プレート11を駆動させた。これにより、格納プレート11が水平面に対して所望の傾斜に制御できる。なお、本発明の実施形態は、傾斜機構部71Aを有する加速度付与器71に限定されない。たとえば、図6に示す変形例において、加速度付与器71は、傾斜機構部71Aに加えて、空気を第1主面18に対して供給する送風機を用いた送風部71Bをさらに有する。この送風部71Bにより、第1主面18にある部品101に加速度を与えて、部品101が第1主面18上を移動させることができる。さらに、加速度付与器71が第1主面18に磁界を発生できる磁界発生部を含んでもよい。なお、加速度付与器71は、傾斜機構部71A、送風部71B、磁界発生部からなる群から選ばれた少なくとも1つの構成を含んでもよい。 In the embodiment described above, the storage plate 11 is driven by the acceleration giver 71 having the tilt mechanism portion 71A capable of controlling the tilt of the storage plate 11 so as to change the tilt to a predetermined tilt. As a result, the storage plate 11 can be controlled to have a desired inclination with respect to the horizontal plane. The embodiment of the present invention is not limited to the acceleration giver 71 having the tilting mechanism portion 71A. For example, in the modification shown in FIG. 6, the acceleration giver 71 further has a blower portion 71B using a blower that supplies air to the first main surface 18 in addition to the tilt mechanism portion 71A. The blower portion 71B can give acceleration to the component 101 on the first main surface 18 to move the component 101 on the first main surface 18. Further, the acceleration imparting device 71 may include a magnetic field generating portion capable of generating a magnetic field on the first main surface 18. The acceleration giver 71 may include at least one configuration selected from the group consisting of the tilting mechanism portion 71A, the blower portion 71B, and the magnetic field generating portion.

また、前述した実施形態では、複数の部品101を各格納穴13内に振り込む工程において、1個の部品101が1個の格納穴13に入る構成が、各の部品101の整列間隔を高い精度で得られるため好ましい。ただし、各の部品101の整列間隔の精度よりも、工程の処理速度を求める場合では、複数の部品101が1個の格納穴13に入る構成である方が好ましいときがある。 Further, in the above-described embodiment, in the step of transferring the plurality of parts 101 into each storage hole 13, the configuration in which one component 101 is inserted into one storage hole 13 makes the alignment interval of each component 101 highly accurate. It is preferable because it can be obtained in. However, when the processing speed of the process is determined rather than the accuracy of the alignment interval of each component 101, it may be preferable that the plurality of components 101 are inserted into one storage hole 13.

ここで、セラミック部品を製造するために実施される焼成工程において、本発明の実施形態を適用した場合を検討する。焼成工程では、部品101としての多数の生のセラミック素体が同時に焼成される。このとき、多数の生のセラミック素体に焼成むらが生じないように、損傷がなく、均一な密度、あるいは間隔で多数のセラミック素体を並べなることが重要となる。本発明の実施形態を適用することで、焼成前の強度が低い生のセラミック素体である部品101と、格納プレート11との物理的接触または摩擦力が低減でき、かつ、複数の格納穴13内に入れられた適当数の部品101としての生のセラミック素体の密度、あるいは間隔が容易に保つことができる。これにより、損傷が低減され、かつ所定の整列状態に保たれた多数の生のセラミック素体が焼成炉内に配置できる。その結果、整列位置の変動の影響が小さく、損傷の少ない、多数の焼成されたセラミック素体を得ることができる。 Here, a case where the embodiment of the present invention is applied in the firing step carried out for manufacturing the ceramic part will be examined. In the firing step, a large number of raw ceramic elements as parts 101 are fired at the same time. At this time, it is important to arrange a large number of ceramic elements at uniform densities or intervals without damage so that firing unevenness does not occur in a large number of raw ceramic elements. By applying the embodiment of the present invention, the physical contact or frictional force between the component 101, which is a raw ceramic body having low strength before firing, and the storage plate 11 can be reduced, and a plurality of storage holes 13 can be applied. The density or spacing of the raw ceramic elements as an appropriate number of parts 101 placed therein can be easily maintained. This allows a large number of raw ceramic elements to be placed in the firing furnace with reduced damage and kept in a predetermined alignment. As a result, it is possible to obtain a large number of fired ceramic bodies that are less affected by fluctuations in the alignment position and have less damage.

(第2実施形態)
図6ないし図9を参照して、本発明の第2実施形態およびその第1,第2および第3変形例の格納プレート211、311、411,511について説明する。第2実施形態およびその変形例において、第1実施形態に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略することがある。
(Second Embodiment)
The storage plates 211, 311 and 411, 511 of the second embodiment of the present invention and the first, second and third modifications thereof will be described with reference to FIGS. 6 to 9. In the second embodiment and its modifications, the elements corresponding to the elements shown in the first embodiment may be designated by the same reference numerals, and duplicate description may be omitted.

第2実施形態である格納プレート211は、図6に示すように、第1主面18を平面視して、格納穴13の位置と重なる格納領域にあって、非格納領域に比べて相対的に通気性が低い低通気性部分を有するマスク部211Aを有する。 As shown in FIG. 6, the storage plate 211 of the second embodiment is in a storage area that overlaps with the position of the storage hole 13 in a plan view of the first main surface 18, and is relative to the non-storage area. Has a mask portion 211A having a low air permeability portion having low air permeability.

第2実施形態の第1変形例である格納プレート311は、図7に示すように、多層構造であって、第1主面18を平面視して、格納穴13の位置と重なる格納領域にあって、格納穴13の位置と重ならない非格納領域に比べて相対的に通気性が低い低通気性部分を有するマスク部311Aを有し、マスク部311Aは、格納プレート311の厚み方向の中間の位置に配置されている。 As shown in FIG. 7, the storage plate 311 which is the first modification of the second embodiment has a multi-layer structure, and is located in a storage area which overlaps with the position of the storage hole 13 when the first main surface 18 is viewed in a plane. Therefore, the mask portion 311A has a low air permeability portion whose air permeability is relatively low as compared with the non-storage area that does not overlap with the position of the storage hole 13, and the mask portion 311A is intermediate in the thickness direction of the storage plate 311. It is located at the position of.

第2実施形態の第2変形例である格納プレート411は、図8に示すように、格納穴13の底面15での通気性が、格納穴13の位置と重ならない非格納領域の通気性より低くなるように被膜411Bが配置されている。被膜の材料、形状、配置の割合を選択することで、通気性の変更が容易である点で好ましい。また、被膜411Bが剥離可能であれば、被膜411Bが、汚れた場合、損傷した場合に、被膜411Bを格納プレート411から剥離した後、再度被膜処理できる点で好ましい。 As shown in FIG. 8, in the storage plate 411 which is the second modification of the second embodiment, the air permeability of the bottom surface 15 of the storage hole 13 is higher than the air permeability of the non-storage area which does not overlap with the position of the storage hole 13. The coating film 411B is arranged so as to be low. It is preferable that the material, shape, and arrangement ratio of the coating film are selected so that the air permeability can be easily changed. Further, if the coating film 411B can be peeled off, it is preferable that the coating film 411B can be peeled off from the storage plate 411 and then treated again when the coating film 411B is dirty or damaged.

第2実施形態の第3変形例である格納プレート511は、図9に示すように、格納穴13を含む格納プレート511の中央領域の通気性が、中央領域を囲む環状の周囲領域の通気性より低くなるように、通気性の異なるブロックが組み合わさって構成されている。なお、中央領域および周囲領域のブロックが、それぞれ複数の小ブロックが組み合わさった構成であってもより。具体的には、中央領域のブロックが、小ブロックが格子状、あるいは扇状に組み合わさって構成できる。各小ブロックの通気性を異ならせることにより、目的に応じた通気性の分布を得ることができる点で好ましい。 In the storage plate 511 which is the third modification of the second embodiment, as shown in FIG. 9, the air permeability of the central region of the storage plate 511 including the storage hole 13 is the air permeability of the annular peripheral region surrounding the central region. It is constructed by combining blocks with different breathability so that it is lower. Even if the blocks in the central area and the surrounding area are each a combination of a plurality of small blocks. Specifically, the blocks in the central region can be configured by combining small blocks in a grid pattern or a fan shape. By making the air permeability of each small block different, it is preferable in that the air permeability distribution according to the purpose can be obtained.

(第3実施形態)
図10、図11を参照して、本発明の第3実施形態およびその第1変形例の格納プレート611、711について説明する。第3実施形態およびその変形例において、第1実施形態および第2実施形態並びにその実施例に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略することがある。
(Third Embodiment)
The storage plates 611 and 711 of the third embodiment of the present invention and the first modification thereof will be described with reference to FIGS. 10 and 11. In the third embodiment and its modifications, the same reference numerals may be given to the elements corresponding to the elements shown in the first embodiment and the second embodiment and the embodiments, and duplicate description may be omitted.

第3実施形態である格納プレート611は、図10に示すように、格納穴13の形状が、底面15と、底面15と第1主面18とをつなぐ側面16とを有している。側面16は、第1主面18に沿う第1方向における第1主面に対する第1方向傾斜角度と、第1主面に沿い、第1方向に直交する第2方向における第1主面18に対する第2方向傾斜角度とが互いに異なっている。 As shown in FIG. 10, the storage plate 611 according to the third embodiment has a storage hole 13 having a bottom surface 15 and a side surface 16 connecting the bottom surface 15 and the first main surface 18. The side surface 16 has a tilt angle in the first direction with respect to the first main surface in the first direction along the first main surface 18 and with respect to the first main surface 18 in the second direction along the first main surface and orthogonal to the first direction. The tilt angles in the second direction are different from each other.

第3実施形態の第1変形例である格納プレート711は、図11に示すように、格納穴13の側面16は、第1方向で対向する第1方向第1傾斜角度と第1方向第2傾斜角度とが互いに異なっている。 As shown in FIG. 11, in the storage plate 711 which is the first modification of the third embodiment, the side surface 16 of the storage hole 13 faces the first inclination angle in the first direction and the second in the first direction. The tilt angles are different from each other.

(第4実施形態)
図12、図13を参照して、本発明の第4実施形態およびその第1変形例の格納装置201、301について説明する。第4実施形態およびその変形例において、第1実施形態なし第3実施形態並びにその実施例に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略することがある。
(Fourth Embodiment)
The storage devices 201 and 301 of the fourth embodiment of the present invention and the first modification thereof will be described with reference to FIGS. 12 and 13. In the fourth embodiment and its modifications, the same reference reference numerals may be given to the elements corresponding to the elements shown in the third embodiment without the first embodiment and the examples thereof, and duplicate description may be omitted.

第4実施形態である格納装置201の複数の気体経路12につながる主空間32を有する主チャンバ31は、図12に示すように、第1空間34を有する第1チャンバ部33と、第2空間36を有する第2チャンバ部35とを含んでいる。第1チャンバ部33は、少なくとも格納穴13に設けられている複数の気体経路12Aとつながれており、第2チャンバ部35は、格納穴13に設けられない複数の気体経路12Bとつながれている。 As shown in FIG. 12, the main chamber 31 having the main space 32 connected to the plurality of gas paths 12 of the storage device 201 according to the fourth embodiment has the first chamber portion 33 having the first space 34 and the second space. It includes a second chamber portion 35 having 36. The first chamber portion 33 is connected to at least a plurality of gas paths 12A provided in the storage hole 13, and the second chamber portion 35 is connected to a plurality of gas paths 12B not provided in the storage hole 13.

第4実施形態の第1変形例である格納装置301の主チャンバは、図13に示すように、第3空間38を有する第3チャンバ部37をさらに含んでいる。第3チャンバ部37の第3空間38は、第1チャンバ部33の第1空間34と、第2チャンバ部35の第2空間36と並列につながっている。第1チャンバ部33、および第2チャンバ部35は、整流板により形成されている。 As shown in FIG. 13, the main chamber of the storage device 301, which is the first modification of the fourth embodiment, further includes a third chamber portion 37 having a third space 38. The third space 38 of the third chamber portion 37 is connected in parallel with the first space 34 of the first chamber portion 33 and the second space 36 of the second chamber portion 35. The first chamber portion 33 and the second chamber portion 35 are formed by a straightening vane.

以上説明した各実施形態は、例示的なものであり、本発明の範囲内において種々の変形が可能である。たとえば、取り扱われる部品の形状は、直方体形状でなくてもよい。たとえば、部品の形状が、円盤状、円柱状、または角柱状の形状であってもよく。さらには、部品の形状が、螺旋状に巻かれたワイヤからなるコイル状の形状であってもよい。 Each of the embodiments described above is exemplary and can be modified in various ways within the scope of the present invention. For example, the shape of the part to be handled does not have to be a rectangular parallelepiped shape. For example, the shape of the part may be disc-shaped, columnar, or prismatic. Further, the shape of the component may be a coil-like shape composed of spirally wound wires.

また、本件で、「部品」と言うときは、完成品としての部品に限らず、たとえば、外部電極が形成される前のチップ状の電子部品本体のように、部品の製造途中の中間製品であって、完成品としての部品のための部品となるべきものをも含む。 Further, in this case, the term "part" is not limited to a part as a finished product, but is an intermediate product in the middle of manufacturing a part, for example, a chip-shaped electronic component body before an external electrode is formed. It also includes what should be a part for a part as a finished product.

また、本発明の範囲は、上述した実施形態に限らず、異なる実施形態間において、構成を部分的に置換したり、組み合わせたりしたものにも及ぶことを指摘しておく。 It should also be pointed out that the scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but extends to those in which the configurations are partially replaced or combined between different embodiments.

1、201、301 格納装置
11、211,311,411,511、611、711 格納プレート
12 気体経路
13 格納穴
14 開口
15 底面
16 側面
18 第1主面
19 第2主面
31 主チャンバ
32 主空間
33 第1チャンバ部
34 第1空間
35 第2チャンバ部
36 第2空間
37 第3チャンバ部
38 第3空間
51 気体供給器
51A 送風機
71 加速度付与器
71A 傾斜機構部
71B 送風部
91 制御器
101 部品
101A 部品群

1,201,301 Storage device 11, 211,311,411,511,611,711 Storage plate 12 Gas path 13 Storage hole 14 Opening 15 Bottom surface 16 Side surface 18 1st main surface 19 2nd main surface 31 Main chamber 32 Main space 33 1st chamber 34 1st space 35 2nd chamber 36 2nd space 37 3rd chamber 38 3rd space 51 Gas feeder 51A Blower 71 Acceleration giver 71A Tilt mechanism 71B Blower 91 Controller 101 Parts 101A Parts group

Claims (20)

第1主面を有し、複数の格納穴が前記第1主面に設けられている、格納プレートを用意する第1工程と、
前記格納プレートの前記第1主面上に、複数の部品を置く第2工程と、
複数の前記部品に加速度を加えることで、前記第1主面上にある複数の前記部品を移動させる第3工程と、
複数の前記部品の少なくとも一部を、前記格納穴内に入れる第4工程と、を備える格納方法であって、
前記格納プレートの、前記格納穴における通気性が、前記格納穴を除く前記第1主面における通気性より低く
前記第1主面に設けられている気体を通す複数の気体経路から気体が放出されている状態において、前記第1主面上にある複数の前記部品を移動させる、格納方法。
A first step of preparing a storage plate having a first main surface and having a plurality of storage holes provided on the first main surface,
A second step of placing a plurality of parts on the first main surface of the storage plate, and
A third step of moving the plurality of the parts on the first main surface by applying acceleration to the plurality of the parts, and
A storage method comprising a fourth step of inserting at least a part of the plurality of the parts into the storage holes.
The air permeability of the storage plate in the storage hole is lower than the air permeability in the first main surface excluding the storage hole .
A storage method for moving a plurality of the parts on the first main surface in a state where gas is discharged from a plurality of gas paths through which the gas is provided on the first main surface.
前記第4工程において、所定の気圧を作用させたとき、前記格納穴に設けられた複数の前記気体経路を通る第1流速が前記格納穴を除く前記第1主面に設けられた複数の前記気体経路を通る気体の第2流速より遅い、請求項に記載の格納方法。 In the fourth step, when a predetermined atmospheric pressure is applied, a first flow velocity through the plurality of gas paths provided in the storage hole is provided on the first main surface excluding the storage hole. The storage method according to claim 1 , wherein the storage method is slower than the second flow velocity of the gas passing through the gas path. 前記第4工程において、前記格納穴に設けられた複数の前記気体経路に作用する第1気圧が、前記格納穴を除く前記第1主面に設けられた複数の前記気体経路に作用する第2気圧よりも低い、請求項1または2に記載の格納方法。 In the fourth step, the first atmospheric pressure acting on the plurality of gas paths provided in the storage holes acts on the plurality of gas paths provided on the first main surface excluding the storage holes. The storage method according to claim 1 or 2 , which is lower than the atmospheric pressure. 前記第1主面を平面視したとき単位面積当たりの前記気体経路の面積比率において、前記格納穴における第1面積比率が、前記格納穴を除く前記第1主面における第2面積比率より低い、請求項1から3のいずれか1項に記載の格納方法。 In the area ratio of the gas path per unit area when the first main surface is viewed in a plan view, the first area ratio in the storage hole is lower than the second area ratio in the first main surface excluding the storage hole. The storage method according to any one of claims 1 to 3. 前記第4工程において、1個の前記部品が1個の前記格納穴に入る、請求項1からのいずれか1項に記載の格納方法。 The storage method according to any one of claims 1 to 4 , wherein in the fourth step, one of the parts enters one of the storage holes. 前記格納穴の深さ寸法が、前記部品の外形寸法におけるいずれかの辺の長さ寸法と略同等である、請求項1からのいずれか1項に記載の格納方法。 The storage method according to any one of claims 1 to 5 , wherein the depth dimension of the storage hole is substantially the same as the length dimension of any side in the external dimension of the component. 前記第1主面を平面視したとき、前記格納穴の形状が略矩形形状である、請求項1からのいずれか1項に記載の格納方法。 The storage method according to any one of claims 1 to 6 , wherein the shape of the storage hole is substantially rectangular when the first main surface is viewed in a plan view. 第1主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第1主面に設けられている格納プレートであって、
前記第1主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有しており、
前記格納穴における通気性が、前記格納穴を除く前記第1主面における通気性より低い、格納プレート。
A storage plate having a first main surface and having a plurality of storage holes for storing parts on the first main surface.
It has a plurality of gas paths through which the gas provided on the first main surface is passed, and has a plurality of gas paths.
A storage plate in which the air permeability in the storage hole is lower than the air permeability in the first main surface excluding the storage hole.
第1主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第1主面に設けられている格納プレートであって、
前記第1主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有しており、
前記第1主面を平面したとき単位面積当たりの前記気体経路の面積比率において、前記格納穴における第1面積比率が、前記格納穴を除く前記第1主面における第2面積比率より低い、格納プレート。
A storage plate having a first main surface and having a plurality of storage holes for storing parts on the first main surface.
It has a plurality of gas paths through which the gas provided on the first main surface is passed, and has a plurality of gas paths.
In the area ratio of the gas path per unit area when the first main surface is viewed in a plan view, the first area ratio in the storage hole is lower than the second area ratio in the first main surface excluding the storage hole. Storage plate.
第1主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第1主面に設けられている格納プレートであって、
前記第1主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有しており、
所定の気圧を作用させたとき、前記格納穴に設けられた複数の前記気体経路から放出される気体の第1流速が、前記格納穴を除く前記第1主面に設けられた複数の前記気体経路から放出される気体の第2流速より遅い、格納プレート。
A storage plate having a first main surface and having a plurality of storage holes for storing parts on the first main surface.
It has a plurality of gas paths through which the gas provided on the first main surface is passed, and has a plurality of gas paths.
When a predetermined atmospheric pressure is applied, the first flow velocity of the gas released from the plurality of gas paths provided in the storage hole is such that the plurality of the gas provided on the first main surface excluding the storage hole. A storage plate that is slower than the second flow velocity of the gas released from the pathway.
前記格納穴は、底面と、該底面と前記第1主面をつなぐ側面と、を有しており、
前記側面は、前記第1主面に沿う第1方向における前記第1主面に対する第1方向傾斜角度と、前記第1主面に沿い、前記第1方向に直交する第2方向における前記第1主面に対する第2方向傾斜角度とを有し、
前記第1方向傾斜角度と前記第2方向傾斜角度とが互いに異なる、請求項8から10のいずれか1項に記載の格納プレート。
The storage hole has a bottom surface and a side surface connecting the bottom surface and the first main surface.
Said side, said a first-way direction inclined oblique angle relative to said first major surface of the first first direction along the main surface, along the first main surface, wherein in the second direction orthogonal to said first direction Has a second direction tilt angle with respect to the first main surface,
The storage plate according to any one of claims 8 to 10 , wherein the first-direction tilt angle and the second-direction tilt angle are different from each other.
前記格納穴は、底面と、該底面と前記第1主面をつなぐ側面と、を有しており、
前記側面は、前記第1方向で対向する第1方向第1傾斜角度と第1方向第2傾斜角度とを有し、
前記第1方向第1傾斜角度と前記第1方向第2傾斜角度とが互いに異なる、請求項8から11のいずれか1項に記載の格納プレート。
The storage hole has a bottom surface and a side surface connecting the bottom surface and the first main surface.
The side surface has a first inclination angle in the first direction and a second inclination angle in the first direction facing each other in the first direction.
The first way Mukodai 1 different tilt angles and said first way Mukodai second tilt angle to each other, storing plate according to any one of claims 8 11.
請求項8から12のいずれか1項に記載の格納プレートと、複数の前記気体経路につながる主空間を有する主チャンバを備える、格納装置。 A storage device comprising the storage plate according to any one of claims 8 to 12 and a main chamber having a main space connected to the plurality of gas paths. 前記主チャンバは、第1空間を有する第1チャンバ部、第2空間を有する第2チャンバ部を含んでおり、
前記第1チャンバ部は、複数の前記気体経路の内、少なくとも前記格納穴に設けられている複数の前記気体経路とつながれており、
前記第2チャンバ部は、複数の前記気体経路の内、前記格納穴に設けられない複数の前記気体経路とつながれている、請求項13に記載の格納装置。
The main chamber includes a first chamber portion having a first space and a second chamber portion having a second space.
The first chamber portion is connected to at least a plurality of the gas paths provided in the storage holes among the plurality of the gas paths.
The storage device according to claim 13 , wherein the second chamber portion is connected to a plurality of the gas paths that are not provided in the storage hole among the plurality of the gas paths.
前記主チャンバに気体を移送させられる気体供給器をさらに備える、請求項13または14に記載の格納装置。 The containment device according to claim 13 or 14 , further comprising a gas supply device for transferring gas to the main chamber. 前記第1主面上にある複数の前記部品を移動させるように、前記部品に加速度を与える加速度付与器をさらに備える、請求項13から15のいずれか1項に記載の格納装置。 The storage device according to any one of claims 13 to 15 , further comprising an acceleration imparting device that gives acceleration to the parts so as to move the plurality of parts on the first main surface. 前記加速度付与器は、前記格納プレートの傾斜を変えられる傾斜機構部を有する、請求項16に記載の格納装置。 The storage device according to claim 16 , wherein the acceleration imparting device has a tilting mechanism portion capable of changing the tilt of the storage plate. 前記加速度付与器は、前記第1主面に対して気体を供給できる送風部を有する、請求項16または17に記載の格納装置。 The accelerometer according to claim 16 or 17 , wherein the acceleration imparting device has a blower portion capable of supplying gas to the first main surface. 前記加速度付与器は、前記第1主面に磁界を発生できる磁界発生部を有する、請求項16から18のいずれか1項に記載の格納装置。 The storage device according to any one of claims 16 to 18 , wherein the acceleration imparting device has a magnetic field generating unit capable of generating a magnetic field on the first main surface. 前記主チャンバに気体を移送させられる気体供給器と、
前記第1主面上にある複数の前記部品を移動させるように、前記部品に加速度を与える加速度付与器と、
前記加速度付与器が前記部品に与える加速度の大きさと、前記気体供給器が移送する気体の大きさとを、所定の大きさに制御する制御器と、をさらに備える、請求項13または14に記載の格納装置。
A gas supply device that can transfer gas to the main chamber,
An acceleration giver that gives acceleration to the parts so as to move a plurality of the parts on the first main surface, and
And the magnitude of the acceleration the acceleration applier is given to the component, the magnitude of the gas the gas supply is transported, further comprising, a controller for controlling a predetermined size, according to claim 13 or 14 Storage device.
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