JP6812919B2 - Semiconductor package - Google Patents
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Description
本発明は、配線基板上に導電性材料を介して半導体素子を搭載し、配線基板と半導体素子の隙間に封止樹脂材料を充填させる半導体パッケージの構造に関するものである。 The present invention relates to the structure of a semiconductor package in which a semiconductor element is mounted on a wiring board via a conductive material and a sealing resin material is filled in a gap between the wiring board and the semiconductor element.
21世紀突入以降の高度情報化社会では、データの保存量増大、データの処理手法の高度化、データの通信技術高速化などに代表される情報通信技術が発達し続けており、半導体素子を搭載したエレクトロニクス機器については、小型化、軽量化への要求が高まっている。それを実現するため、半導体パッケージに関しては、半導体素子の高集積化及び高密度化への要求が高まっている。 In the highly information-oriented society since the beginning of the 21st century, information and communication technologies such as increasing data storage capacity, sophistication of data processing methods, and speeding up of data communication technology have continued to develop, and are equipped with semiconductor elements. There is an increasing demand for smaller and lighter electronic devices. In order to realize this, there is an increasing demand for high integration and high density of semiconductor elements for semiconductor packages.
そのため、半導体パッケージの配線基板に関しては、配線層の多層化、配線ピッチや多層化した場合の層間隔の狭小化、絶縁層に加工が容易な有機材料を使用することなどへの要求が高い。また、半導体素子に関しても、同様に、隣接する半導体素子のピッチ間隔の狭小化などが要求されている。 Therefore, with respect to the wiring board of the semiconductor package, there are high demands for the wiring layers to be multi-layered, the wiring pitch and the layer spacing when the layers are multi-layered, and the use of an organic material that can be easily processed for the insulating layer. Similarly, with respect to semiconductor elements, it is also required to narrow the pitch interval of adjacent semiconductor elements.
配線基板に半導体素子を実装する際には、半導体素子の配線数増加やサイズの小型化に伴い、微小スケールでの高精度な半導体素子固定技術及び配線接合技術が必須となっている。ゆえに、面での接続により高密度配線に有利なフリップチップ実装が広く採用されている。 When mounting a semiconductor element on a wiring substrate, high-precision semiconductor element fixing technology and wiring joining technology on a minute scale are indispensable as the number of wirings of the semiconductor element increases and the size becomes smaller. Therefore, flip-chip mounting, which is advantageous for high-density wiring due to surface connection, is widely adopted.
しかしながら、電極を介して接合される配線基板と半導体素子は熱膨張率に差があり、接合面の温度変化により変形が起こりやすい。変形により生じる接合面近傍の応力は、接合点である電極部分に集中しやすく、破断を招く恐れがある。 However, there is a difference in the coefficient of thermal expansion between the wiring board and the semiconductor element bonded via the electrodes, and deformation is likely to occur due to a temperature change of the bonded surface. The stress in the vicinity of the joint surface caused by the deformation tends to be concentrated on the electrode portion, which is the joint point, and may cause fracture.
このような破断の防止や、半導体パッケージへの物理的衝撃の緩和のため、接合面に掛かる応力を吸収する働きを持った熱硬化性樹脂材料が、半導体素子下面と基板上面の隙間の封止のために採用されている。この樹脂材料による封止工程は、むき出しとなった接合配線を粉塵や空気酸化から防ぎ、機器の信頼性向上、延命の効果がある。 In order to prevent such breakage and alleviate the physical impact on the semiconductor package, a thermosetting resin material that has the function of absorbing stress applied to the joint surface seals the gap between the lower surface of the semiconductor element and the upper surface of the substrate. Has been adopted for. This sealing process using a resin material prevents exposed joint wiring from dust and air oxidation, and has the effects of improving the reliability of equipment and prolonging its life.
樹脂材料の封止工程に関して、半導体素子と配線基板を接合した後に、両者間の数十μmの隙間に、液体状の樹脂材料を充填させるCUF(Capillary UnderFill、キャピラリーアンダーフィル)工法が主流となっている。 Regarding the resin material sealing process, the CUF (Capillary Underfill) method, in which a liquid resin material is filled in a gap of several tens of μm between the semiconductor element and the wiring board after joining, has become the mainstream. ing.
一般的なCUF工法では、電極同士を接合しながら半導体素子を配線基板に実装した後、半導体素子の端部付近に封止樹脂をディスペンサから滴下する方法が用いられている。図1に示すように、滴下された封止樹脂6は、毛細管現象により、半導体素子1と配線基板5の隙間を充填する。充填後、加熱処理を施し、封止樹脂6を硬化させることで封止を完了し、図2にあるような目的とする半導体パッケージ構造を得る。
In the general CUF method, a method is used in which a semiconductor element is mounted on a wiring board while joining electrodes to each other, and then a sealing resin is dropped from a dispenser near the end of the semiconductor element. As shown in FIG. 1, the dropped
CUF工法は、配線基板5及び半導体素子1の表面状態(材料の種類、凹凸)や、封止樹脂6の材料成分構成を制御することによって、半導体素子1と配線基板5の隙間寸法や、電極2及び電極4の配置が異なる、例えば、図3にあるピラー7の寸法が大きい場合などでも用いられている。
The CUF method controls the surface condition (material type, unevenness) of the
しかしながら、封止樹脂の充填においては、場合によってボイド(気泡)が発生することが問題となっており、解決のための方法が模索されている。特許文献1には、ボイド発生の抑制のための解決手段として、「セラミック積層基板の一面は、該基板を構成する材質よりも樹脂の接触角の小さいポリイミド系樹脂等の材質からなる被覆膜にて被覆されており、この被覆膜と電子部品との間においてバンプの間にはアンダーフィル樹脂が充填されている。そして、被覆膜における樹脂の接触角に対する電子部品における樹脂の接触角の比が1よりも大きくなっている。」と記載されている。 However, in filling the sealing resin, there is a problem that voids (air bubbles) are generated in some cases, and a method for solving the problem is being sought. In Patent Document 1, as a solution for suppressing the generation of voids, "one surface of a ceramic laminated substrate is a coating film made of a material such as a polyimide resin having a smaller resin contact angle than the material constituting the substrate. The underfill resin is filled between the bumps between the coating film and the electronic component, and the contact angle of the resin in the electronic component with respect to the contact angle of the resin in the coating film. The ratio of is greater than 1. "
特許文献1には、封止樹脂の充填時におけるボイド発生を抑制するための手段が記載されている。まず、特許文献1にあるボイド発生のメカニズムとしては、次に挙げる内容が示されている。すなわち、上面が半導体素子、下面が配線基板の隙間に封止樹脂が流れ込む際に、封止樹脂は下面よりも上面にて速く流れる。先に進行する上面側の封止樹脂がバンプに衝突すると、空気を巻き込み、微細なボイドが発生する。このようなメカニズムで発生するボイドの抑制のため、特許文献1では、上下面での封止樹脂の流れの速さを制御する目的で、配線基板に、封止樹脂に対する接触角を変更できる被覆膜を設けることが記載されている。 Patent Document 1 describes means for suppressing the generation of voids during filling of the sealing resin. First, as the mechanism of void generation in Patent Document 1, the following contents are shown. That is, when the sealing resin flows into the gap between the semiconductor element on the upper surface and the wiring board on the lower surface, the sealing resin flows faster on the upper surface than on the lower surface. When the sealing resin on the upper surface side, which advances earlier, collides with the bump, air is entrained and fine voids are generated. In order to suppress voids generated by such a mechanism, in Patent Document 1, the contact angle of the sealing resin with respect to the sealing resin can be changed on the wiring board for the purpose of controlling the flow speed of the sealing resin on the upper and lower surfaces. It is described that a cover film is provided.
しかし、バンプなどの導電性材料表面の濡れ性を制御しなければ、気泡発生の抑制に十分な効果が得られない。図4にある封止樹脂6の充填状態を示す上からの断面図では、半導体素子1と配線基板5の隙間において、水平方向での濡れの進行度の違いがボイド11発生の要因となることが記されている。ここで、図4では(a)、(b)、(c)、(d)の順に、封止樹脂6の充填時の経過を示している。封止樹脂6が導電性材料9に対して濡れにくい条件において、封止樹脂6の流れが導電性材料9の並列する箇所に到達すると、導電性材料9の無い領域の流れが速く進行する。封止樹脂6が導電性材料9の周囲を濡らす前に、バンプの無い領域の流れに沿った封止樹脂6同士がマージすると、導電性材料9周囲の空気が排出されなくなり、ボイド11が発生する。
However, unless the wettability of the surface of the conductive material such as bumps is controlled, a sufficient effect of suppressing the generation of bubbles cannot be obtained. In the cross-sectional view from above showing the filling state of the
本発明の目的は、上記を含む、封止樹脂におけるボイド発生を抑制した半導体パッケージの提供である。 An object of the present invention is to provide a semiconductor package including the above, which suppresses the generation of voids in a sealing resin.
上記課題を達成する手段は、
配線基板に半導体素子を実装した半導体パッケージであって、
前記配線基板と前記半導体素子との間の隙間に配置されて前記配線基板と前記半導体素子との間を導通接続する導電性部材と、
前記導電性部材の少なくとも一部を覆うコーティング層と、
前記隙間に充填される封止樹脂と、を備え、
前記コーティング層は、該コーティング層がない場合と比較して、前記導電性部材に対する前記封止樹脂の接触角と前記半導体素子に対する前記封止樹脂の接触角との差、及び、前記導電性部材に対する前記封止樹脂の接触角と前記配線基板に対する前記封止樹脂の接触角との差を少なくする樹脂材料によって構成されていることを特徴とする。
The means to achieve the above tasks is
A semiconductor package in which semiconductor elements are mounted on a wiring board.
A conductive member arranged in a gap between the wiring board and the semiconductor element and conducting a conductive connection between the wiring board and the semiconductor element.
A coating layer that covers at least a part of the conductive member,
With a sealing resin filled in the gap,
The coating layer has a difference between the contact angle of the sealing resin with respect to the conductive member and the contact angle of the sealing resin with respect to the semiconductor element, and the conductive member as compared with the case where the coating layer is not provided. It is characterized in that it is made of a resin material that reduces the difference between the contact angle of the sealing resin with respect to the wiring board and the contact angle of the sealing resin with respect to the wiring board.
本発明によれば、封止樹脂のボイド発生を抑制した半導体パッケージを提供することができる。本発明に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。 According to the present invention, it is possible to provide a semiconductor package in which void generation of a sealing resin is suppressed. Further features relating to the present invention will become apparent from the description herein and the accompanying drawings. In addition, problems, configurations, and effects other than those described above will be clarified by the following description of the embodiments.
以下、本発明の実施の形態について記す。尚、使用する半導体素子1や配線基板5、封止樹脂6、電極2及び電極4及びバンプ(導電性バンプ)3及びピラー7といった導電性材料9、コーティング層8、ダミー半導体素子12の材質、配置、寸法、形成方法や手順などは、以下の実施形態に示すものに限定されるものではない。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. The semiconductor element 1 and the
(実施形態1)
以下に、本発明の実施形態1を図5、図6、図7に沿って説明する。
図5は、本実施形態である半導体パッケージの構成を示した断面図である。半導体パッケージは、半導体素子1と配線基板5が接合されており、半導体素子1と配線基板5との間の隙間に導電性材料(導電性部材)9が配置されている。導電性材料9は、配線基板と半導体素子との間を導通接続している。そして、導電性材料9の少なくとも一部がコーティング層8で覆われている。本実施形態では、半導体素子1と封止樹脂6の間と、配線基板5と封止樹脂6の間と、導電性材料9と封止樹脂6の間に、コーティング層8が設置されている。
(Embodiment 1)
Hereinafter, Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. 5, 6, and 7.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of the semiconductor package according to the present embodiment. In the semiconductor package, the semiconductor element 1 and the
半導体素子1に関して、接合時に配線基板5に対する面は、シリコン窒化膜等の保護層やポリイミド系樹脂等からなる樹脂層にて被覆されている。また、それらの層を縦断するように銅等の金属からなる配線が設けられており、一部の箇所では電極2が露わとなっている。
Regarding the semiconductor element 1, the surface of the semiconductor element 1 with respect to the
また、配線基板5は、銅やアルミナ、タングステン、モリブデンに代表される金属含有層を持つ多層構造を有している。接合時に半導体素子1に対する面は、ガラス系材料表面、シリコン窒化膜、あるいはポリイミド系樹脂等からなる樹脂層にて構成されている。また、一部の箇所では電極4が露わとなっている。
Further, the
また、導電性材料9は、電極2と、電極4と、バンプ3といった導電性部材を含んでいる。バンプ3は、一般的なCUF工法で用いられるはんだ材料を示しているが、はんだ以外の銅や金といった他の導電性金属材料でも良い。
Further, the
封止樹脂6は、例えば、ビスフェノール系に代表されるエポキシと、イミダゾール系やアミン系に代表される硬化剤と、球状の無機フィラーと、を含む熱硬化性の樹脂材料により構成される。また、コーティング層8は、例えば、エポキシを主とした硬化性の樹脂材料により構成される。
コーティング層8は、コーティング層8がない場合と比較して、導電性材料9に対する封止樹脂6の接触角と半導体素子1に対する封止樹脂6の接触角との差、及び、導電性材料9に対する封止樹脂6の接触角と配線基板5に対する封止樹脂6の接触角との差を少なくする樹脂材料によって構成される。
The sealing
The
図5に示す半導体パッケージが示す効果として、配線基板5に対する半導体素子1の対向面と、半導体素子1に対する配線基板5の対向面と、導電性材料9がコーティング層8で覆われているために、封止樹脂6が各部材(半導体素子1、配線基板5、導電性材料9)に示す接触角が同等になる。従って、封止樹脂6を充填する際に、半導体素子1と、配線基板5と、導電性材料9の各部材において、封止樹脂6の流れに速度差が生じにくくなり、図4に示すボイド11の発生が抑制される。
The effect of the semiconductor package shown in FIG. 5 is that the surface of the semiconductor element 1 facing the
この効果を得るには、封止樹脂6が半導体素子1と、配線基板5と、導電性材料9に示す接触角が、必ずしも同等である必要はなく、コーティング層8が無い場合に比べ、差が少なくなれば良い。すなわち、コーティング層8の形成されていない導電性材料9に対する樹脂材料の接触角よりも、コーティング層8によって覆われた導電性材料9に対する樹脂材料の接触角の方が、配線基板5等の接触角との差が少なければよい。本実施形態の半導体パッケージとしては、コーティング層8によって、半導体素子1と、配線基板5と、導電性材料9の全体を覆う構成となっているが、半導体素子1と、配線基板5と、導電性材料9の一部を覆うのみでも良く、また、コーティング層8の材料または成分は、被覆箇所によってばらつきが生じてもよい。コーティング層8は、配線基板5の対向面と、半導体素子1の対向面の全体を覆う構成となっているが、少なくとも一方を覆う構成でもよい。
In order to obtain this effect, the contact angles of the sealing
また、図5に示す半導体パッケージが示す別の効果として、封止樹脂6が導電性材料9に示す接触角を変えることにより、封止樹脂6が半導体素子1と配線基板5の隙間を充填する際の流れの制御性を高めることが可能となる。従って、封止樹脂6の流れを導電性材料9近傍にて留めることや、封止樹脂6の流れが導電性材料9近傍にて速まることや、封止樹脂6が、半導体素子1の実装されていない基板上領域に展延することを、半導体パッケージの設計にて組み合わせることにより防ぐことができる。
Further, as another effect shown by the semiconductor package shown in FIG. 5, the sealing
この効果により、次の問題の解決が可能となる。すなわち、半導体素子1などの複数の部品を配線基板5上に設置する半導体パッケージ設計において、封止樹脂6が半導体素子1の実装されていない基板上領域に展延する場合には、展延の余地としての寸法を確保しなければならず、半導体素子1の高集積化や高密度化の障害となっている、という問題の解決が可能となる。
This effect makes it possible to solve the following problems. That is, in a semiconductor package design in which a plurality of components such as the semiconductor element 1 are installed on the
以下に、上記に示した半導体パッケージを得るまでの工程の例を、一般的なCUF工法の手順に沿って説明する。 An example of the process of obtaining the above-mentioned semiconductor package will be described below along with the procedure of a general CUF method.
一般的なCUF工法の手順としては、先ず、半導体素子1に設置された複数の電極2と、配線基板5に設置された複数の電極4が、通電できるように接合を行う(接合工程)。接合の方法には、はんだを用いた蒸着法あるいは電気メッキ法がある。半導体素子1の電極2と配線基板5の電極4の片方、または両方に設けられているはんだ材料が、加熱溶融と冷却によって電極2と4を接合する。
As a general procedure of the CUF method, first, a plurality of
このように電極2と4を接合した半導体素子1と配線基板5は、半導体素子1の対向面と配線基板5の対向面との間に所定の隙間を有する隙間構造を形成している。より具体的には、隙間構造の一部は、導電性材料9を介して、半導体素子1と配線基板5が接合している。
The semiconductor element 1 and the
CUF工法としては、接合の後に、この隙間構造の洗浄を行う(洗浄工程)。洗浄は、接合後にバンプ3の周囲にあるフラックス残渣の除去を目的としており、例えば、プラズマを用いた工法がある。また、洗浄不要のフラックスや、フラックスの無いバンプも存在し、それらを使用する場合などは、洗浄工程が不要となりうる。
As a CUF method, the gap structure is cleaned after joining (cleaning step). The purpose of cleaning is to remove the flux residue around the
本実施の形態では、次の工程で、液体状のコーティング材8aを半導体素子1と配線基板5の隙間に流し、半導体素子1、配線基板5、導電性材料9の表面に塗布する工程を行う(塗布工程)。図6に一例を示す。半導体素子1の端部付近に、半導体素子1と配線基板5が形成する隙間構造に接するようコーティング材8aを滴下し、毛細管現象を利用して半導体素子1と配線基板5の隙間にコーティング材8aを充填する。
In the present embodiment, in the next step, a
コーティング材8aを、コーティング層8の形成に必要な分量のみ残し、余剰分を排出するためには、排出工程が必要となる。排出工程の一例を図7に示す。半導体素子1の一部に、半導体素子1よりもコーティング材8aに対する接触角が同等か、それより小さいダミー半導体素子12を隣接しておく。ダミー半導体素子12が有ると、毛細管現象によって、コーティング材8aは、半導体素子1、配線基板5、導電性材料9を濡らしながら、最終的にダミー半導体素子12まで到達する。そして、コーティング材8aは、半導体素子1の対向面と、配線基板5の対向面と、導電性材料9の表面を全体的に覆うように層状に残存する。
A discharge step is required in order to leave only the amount of the
このとき、ダミー半導体素子12としては、例えば、表面をポリイミド系樹脂等で覆ったシリコン系材料、あるいは、プラズマなどにより表面活性処理を行いコーティング材8aに対する接触角を小さくした半導体部材がある。
At this time, the
その後、熱などによるコーティング材の硬化処理を行い、ダミー半導体素子12と配線基板5が形成する隙間構造に、コーティング材8aを固定する。固定後、ダミー半導体素子12と硬化したコーティング材を、切除面13に沿って、マイクロカッターあるいはナノカッターにて切除する。最終的に、半導体素子1の対向面と、配線基板5の対向面と、導電性材料9の3部材にコーティング層8が設置された構造を得る。
After that, the coating material is cured by heat or the like, and the
マイクロカッターあるいはナノカッターを用いない、または使用を減らすダミー半導体素子12と余剰コーティング材の除去方法としては、後に切除する面への事前処理がある。例えば、ダミー半導体素子12と対する配線基板5に、シート状の部材を配置しておき、余剰コーティング材がシート部材の上に固定されるよう設計しておく。余剰コーティング材の固定後、シート部材を余剰コーティング材ごと切除する方法がある。シート部材としては、基板表面への接着性が低い、かつ、硬化後のコーティング材との接着性が高い材料が好ましく、樹脂材料、または、表面を樹脂材料にて覆った無機材料が考えられる。
As a method for removing the
ダミー半導体素子12を用いない上記以外の余剰コーティング材の排出工程としては、いずれもコーティング材8aの充填後でかつ硬化前において、スポイト等の吸い込み操作による除去方法、局所風を発生させた吹き飛ばしによる除去方法、繊維材料等を接触させた浸透による除去方法、パッケージ構造の移動、振動、回転などによるコーティング材の慣性を用いた除去方法が採用できる。
The excess coating material discharge steps other than the above, which do not use the
このようにしてコーティング層8を設けた後に、一般的なCUF工法と同様に、封止樹脂6の充填及び硬化を行う(封止工程)。充填の方法としては、半導体素子1の端部付近に、隙間構造に接するように、熱硬化前の液体状の封止樹脂6を滴下し、毛細管現象によって封止樹脂6の流れを起こす。封止樹脂6が充填された後、封止樹脂6の熱硬化を行う。使用する封止樹脂6に応じて、硬化時間や硬化温度といった熱硬化工程の条件は異なる。封止樹脂6の熱硬化により封止工程が完了し、図5に示すコーティング層8が設けられた半導体パッケージを得る。
After the
また、コーティング材8aに気体状の材料を用いる方法でも、図5に示す半導体パッケージが得られる。この場合、例えば、蒸着による方法があり、この場合のコーティング材としては、窒化シリコンなどの無機材料、また、ポリイミド、ポリアミドなどの樹脂材料がある。封止樹脂6との馴染みの良さから、これらの材料の中では、配線基板5または半導体素子1の表面層に多用されるポリイミドなどの樹脂材料が望ましい。
Further, the semiconductor package shown in FIG. 5 can also be obtained by a method using a gaseous material for the
樹脂材料であるポリイミドの蒸着としては、薄膜作製用途等に用いられる全方向蒸着重合法が適用できる。これは、過熱した真空チャンバ内に、コーティング前の半導体パッケージを配置し、チャンバに過熱したモノマーを封入することで、気化したモノマーが半導体パッケージ表面に付着し、膜を形成するものである。過熱封入するモノマーとしては、無水ピロメリット酸、オキシジアニリンなどが用いられる。 As the vapor deposition of polyimide, which is a resin material, an omnidirectional vapor deposition polymerization method used for thin film production and the like can be applied. In this method, a semiconductor package before coating is placed in a superheated vacuum chamber, and the superheated monomer is sealed in the chamber, so that the vaporized monomer adheres to the surface of the semiconductor package to form a film. As the monomer to be overheated, pyromellitic anhydride, oxydianiline and the like are used.
コーティング材を塗布する半導体素子1と配線基板5の隙間面、及び導電性材料9の表面以外を蒸着前に覆うことで、目的の各面に限ってコーティング層8を設けることができる。このようにしてコーティング層8を設けた後に、封止工程を行い、図5のような半導体パッケージが得られる。
By covering the gap surface between the semiconductor element 1 and the
(実施形態2)
以下に、本発明の実施形態2を図8、図9、図10を用いて説明する。
図8、図9、図10に示した半導体パッケージは、実施形態1に記載した半導体素子1、配線基板5、封止樹脂6、電極2及び4、バンプ3、コーティング層8と同様の部材からなる。実施形態2は、これらの図に示されるように、電極2及び4、バンプ3などの導電性材料9の一部が、コーティング層8によって覆われているものである。また、このとき、図9のように、ピラー7が設置されるなど、異なる配置の導電性材料9でもよい。
(Embodiment 2)
Hereinafter,
The semiconductor package shown in FIGS. 8, 9, and 10 is made of the same members as the semiconductor element 1, the
このうち、特に図8は、導電性材料9のうちの電極4と封止樹脂6の間にコーティング層8を設けた場合の半導体パッケージである。この場合、コーティング層8を設ける電極は、半導体素子1側の電極2と、配線基板5側の電極4のいずれか一方、またはその両方でも良い。また、コーティング層8は、電極2または電極4の一部を被覆するのみでも良い。
Of these, FIG. 8 is a semiconductor package in which the
また、図9は、半導体素子1と配線基板5の隙間にピラー7があり、導電性材料9のうちのピラー7と封止樹脂6の間にコーティング層8を設けた場合の半導体パッケージである。ピラー7は、配線基板5の電極と半導体素子1の電極の少なくとも一方から突出する構成を有する。また、コーティング層8は、ピラー7の表面全体を被覆しているが、ピラー7の一部を被覆するのみでも良い。例えば、ピラー7の表面のうち、半導体素子1と配線基板5の隙間に封止樹脂6が流し込まれる方向の上流側のみ、あるいは、下流側のみに設けてもよい。これにより、ピラー7の下流側に積極的に封止樹脂6を流し込ませることができ、かかる位置におけるボイドの発生を効果的に抑制できる。
Further, FIG. 9 is a semiconductor package in which a pillar 7 is provided in a gap between the semiconductor element 1 and the
また、図10は、導電性材料9のうちのバンプ3と封止樹脂6の間にコーティング層8を設けた場合の半導体パッケージである。また、コーティング層8は、バンプ3の表面全体を被覆しているが、バンプ3の一部を被覆するのみでも良い。例えば、バンプ3の表面のうち、半導体素子1と配線基板5の隙間に封止樹脂6が流し込まれる方向の上流側のみ、あるいは、下流側のみに設けてもよい。これにより、バンプ3の下流側に積極的に封止樹脂6を流し込ませることができ、かかる位置におけるボイドの発生を効果的に抑制できる。
Further, FIG. 10 is a semiconductor package in which the
図8、図9、図10に示す半導体パッケージが示す効果は、実施形態1の記載と同様のものである。 The effects shown by the semiconductor packages shown in FIGS. 8, 9 and 10 are the same as those described in the first embodiment.
以下に、上記に示した半導体パッケージを得るまでの工程の例を説明する。
図8または図9に示される半導体パッケージを得る方法としては、例えば、半導体素子1と配線基板5を接合する前に、半導体素子1や配線基板5にある電極2、電極4またはピラー7といった導電性材料9に対し、コーティング材を塗布する方法がある。この場合、液体または気体状のコーティング材の材料としては、実施形態1に記載のものが挙げられる。
An example of the process until the semiconductor package shown above is obtained will be described below.
As a method of obtaining the semiconductor package shown in FIG. 8 or 9, for example, before joining the semiconductor element 1 and the
液体状のコーティング材の塗布は、配置した半導体素子1や配線基板5の導電性材料9に、ディスペンサからコーティング材を滴下する方法で行うことができる。また、別の方法として、あらかじめコーティング材を付着させたブラシや針などの部材を用い、導電性材料9に塗布することができる。
The liquid coating material can be applied by dropping the coating material from the dispenser onto the
また、気体状のコーティング材の塗布は、実施形態1と同様、全方向蒸着重合法などの蒸着を用いる方法がある。 Further, as for the application of the gaseous coating material, there is a method using thin film deposition such as an omnidirectional thin film deposition polymerization method as in the first embodiment.
上記のような塗布により、導電性材料9の一部または全部が覆われる。塗布後、接合を行った際に、導電性材料9が被覆されたことによって、半導体素子1と配線基板5の間の導電性が失われる場合は、コーティング材の部分排除が必要になる。
The coating as described above covers a part or all of the
コーティング材の部分排除について、導電性材料9のコーティング材を、マイクロカッターあるいはナノカッターにて切除する方法がある。また、塗布工程前に、シート部材などの被覆物で接合面のみを覆い、塗布工程後に被覆物を除去することで、接合面へのコーティング材の塗布を防ぐ方法もある。
Regarding partial elimination of the coating material, there is a method of cutting the coating material of the
このようにしてコーティング層8を設けた後に、封止工程を行うことにより、図8または図9のような半導体パッケージが得られる。
By performing the sealing step after providing the
図10に示される半導体パッケージを得る方法としては、例えば、接合に用いるはんだペーストの成分を調整し、接合中にコーティング層8を設ける方法がある。はんだは、樹脂材料を含むはんだペーストのはんだ付けにより構成され、コーティング層8は、はんだ付けによってはんだの表面に析出した樹脂材料により形成される。
As a method of obtaining the semiconductor package shown in FIG. 10, for example, there is a method of adjusting the components of the solder paste used for bonding and providing the
一般的に接合では、配線基板5の電極4などにはんだ材料を印刷配置し、リフローによりはんだ材料を熱溶融させる。溶融により、電極4とはんだが金属結合を形成し、硬化することで接合がなされている。図10に示されるコーティング層8を得るには、樹脂材料を混合したはんだペーストを使用し、はんだの硬化時にはんだ表面に樹脂材料を析出させることで、コーティング層8とする。この場合、はんだペーストとしては、例えば、エポキシと、硬化剤を含んだ材料が用いられる。
Generally, in joining, a solder material is printed and arranged on an
このようにしてコーティング層8を設けた後に、封止工程を行うことにより、図10のような半導体パッケージが得られる。
By performing the sealing step after providing the
(実施形態3)
以下に、本発明の実施形態3を、図11を用いて説明する。
図11に示した半導体パッケージは、実施形態1および2に記載した半導体素子1と、配線基板5と、封止樹脂6と、電極2及び4と、バンプ3と、コーティング層8と同様の部材からなる。実施形態3は、図11に示されるように、導電性材料9が全てコーティング層8によって覆われているものである。
(Embodiment 3)
Hereinafter,
The semiconductor package shown in FIG. 11 includes the semiconductor element 1 described in the first and second embodiments, the
図11に示す半導体パッケージが示す効果は、実施形態1および2の記載と同様のものである。従って、封止樹脂6がコーティング層8で被覆された導電性材料9の各部分箇所に示す接触角が、必ずしも同等である必要はなく、コーティング層8が無い場合に比べ、半導体素子1、配線基板5、導電性材料9に示す接触角の差が少なくなれば良い。
The effect shown by the semiconductor package shown in FIG. 11 is the same as that described in the first and second embodiments. Therefore, the contact angles shown at each portion of the
ゆえに、本実施形態の半導体パッケージとしては、コーティング層8が、電極2と、電極4と、バンプ3と、ピラーを有する場合のピラー7とからなる導電性材料9の一部を覆うのみでも良く、また、コーティング層8の材料または成分は、被覆箇所によってばらつきが生じてもよい。
Therefore, in the semiconductor package of the present embodiment, the
図11に示す半導体パッケージを得る方法としては、例えば、実施形態2にあるはんだペーストによる接合箇所へのコーティング層8の設置と、電極2と、電極4またはピラー7へのコーティング層8の設置を併用する方法がある。この場合、それぞれの部位へのコーティング層8の設置方法は、実施形態2に記載のものと同様である。
As a method of obtaining the semiconductor package shown in FIG. 11, for example, installation of the
コーティング層8を設けた後に、封止工程を行った際、図11のような半導体パッケージが得られる。
When the sealing step is performed after the
以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は、前記の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の設計変更を行うことができるものである。例えば、前記した実施の形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。さらに、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various designs are designed without departing from the spirit of the present invention described in the claims. You can make changes. For example, the above-described embodiment has been described in detail in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and is not necessarily limited to the one including all the described configurations. Further, it is possible to replace a part of the configuration of one embodiment with the configuration of another embodiment, and it is also possible to add the configuration of another embodiment to the configuration of one embodiment. Further, it is possible to add / delete / replace a part of the configuration of each embodiment with another configuration.
1・・・半導体素子
2・・・電極
3・・・バンプ(導電性バンプ)
4・・・電極
5・・・配線基板
6・・・封止樹脂
7・・・ピラー
8・・・コーティング層
8a・・・コーティング材
9・・・導電性材料(導電性部材)
10・・・封止樹脂の流れの向き
11・・・ボイド
12・・・ダミー半導体素子
13・・・切除面
1 ...
4 ...
10 ... Direction of flow of sealing resin 11 ...
Claims (5)
前記配線基板と前記半導体素子との間の隙間に配置されて前記配線基板と前記半導体素子との間を導通接続する導電性部材と、
前記導電性部材の少なくとも一部を覆うコーティング層と、
前記隙間に充填される封止樹脂と、を備え、
前記コーティング層は、該コーティング層がない場合と比較して、前記導電性部材に対する前記封止樹脂の接触角と前記半導体素子に対する前記封止樹脂の接触角との差、及び、前記導電性部材に対する前記封止樹脂の接触角と前記配線基板に対する前記封止樹脂の接触角との差を少なくする樹脂材料によって構成されており、
前記導電性部材は、前記配線基板と前記半導体素子との間を導通接続するはんだを有し、
該はんだは、前記樹脂材料を含むはんだペーストのはんだ付けにより構成され、
前記コーティング層は、前記はんだ付けによって前記はんだの表面に析出した前記樹脂材料により形成されている
ことを特徴とする半導体パッケージ。 A semiconductor package in which semiconductor elements are mounted on a wiring board.
A conductive member arranged in a gap between the wiring board and the semiconductor element and conducting a conductive connection between the wiring board and the semiconductor element.
A coating layer that covers at least a part of the conductive member,
With a sealing resin filled in the gap,
The coating layer has a difference between the contact angle of the sealing resin with respect to the conductive member and the contact angle of the sealing resin with respect to the semiconductor element, and the conductive member as compared with the case where the coating layer is not provided. It is composed of a resin material that reduces the difference between the contact angle of the sealing resin with respect to the wiring board and the contact angle of the sealing resin with respect to the wiring board .
The conductive member has a solder for conducting and connecting between the wiring board and the semiconductor element.
The solder is composed of soldering a solder paste containing the resin material.
A semiconductor package characterized in that the coating layer is formed of the resin material deposited on the surface of the solder by the soldering .
前記コーティング層は、前記配線基板の電極と前記半導体素子の電極の少なくとも一方でかつ少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。 The conductive member has an electrode of the wiring board and an electrode of the semiconductor element.
The semiconductor package according to claim 1, wherein the coating layer covers at least one and at least a part of the electrodes of the wiring board and the electrodes of the semiconductor element.
前記コーティング層は、前記導電性バンプの少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体パッケージ。 The conductive member has a conductive bump for conducting a conductive connection between the wiring board and the semiconductor element.
The semiconductor package according to claim 1 or 2, wherein the coating layer covers at least a part of the conductive bumps.
前記コーティング層は、前記ピラーの少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体パッケージ。 The conductive member has pillars protruding from at least one of an electrode of the wiring board and an electrode of the semiconductor element.
The semiconductor package according to any one of claims 1 to 3, wherein the coating layer covers at least a part of the pillars.
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