JP6806932B1 - 静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサ - Google Patents

静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサ Download PDF

Info

Publication number
JP6806932B1
JP6806932B1 JP2019567616A JP2019567616A JP6806932B1 JP 6806932 B1 JP6806932 B1 JP 6806932B1 JP 2019567616 A JP2019567616 A JP 2019567616A JP 2019567616 A JP2019567616 A JP 2019567616A JP 6806932 B1 JP6806932 B1 JP 6806932B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor
sliding
sliding groove
sensor unit
strain
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019567616A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021500529A (ja
Inventor
鶴 張
鶴 張
力威 全
力威 全
計▲イ▼ 張
計▲イ▼ 張
治成 張
治成 張
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang University ZJU
Original Assignee
Zhejiang University ZJU
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang University ZJU filed Critical Zhejiang University ZJU
Application granted granted Critical
Publication of JP6806932B1 publication Critical patent/JP6806932B1/ja
Publication of JP2021500529A publication Critical patent/JP2021500529A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/16Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/16Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
    • G01B7/22Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/005Measuring force or stress, in general by electrical means and not provided for in G01L1/06 - G01L1/22
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2287Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B2562/00Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
    • A61B2562/02Details of sensors specially adapted for in-vivo measurements
    • A61B2562/0261Strain gauges

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、被測定部材の歪みを測定するための静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサを提供する。【解決手段】当該センサは、摺動溝と摺動片を含み、摺動溝は固定端に固定され、摺動溝の内側底部にセンサアレイが配置され、摺動片は被測定部材に固定接続され、摺動片の下端部は摺動溝の内側底部に接触する。摺動片がセンサアレイを通過すると、対応する1つの電気信号が出力され、当該信号が示すセンサアレイにおけるセンサユニットの番号と出力電流の大きさから、摺動片が通過したセグメントの数と単一のセンサアレイにおけるセンサユニットを通過した距離が得られて、さらに構造歪みを求めることができる。セグメント変位計では、他の歪み測定装置に比べ、構造が簡単で、応用範囲が広く、測定精度が高く、電源を別途提供する必要がないなどのメリットを有し、電気信号による歪みの標定の結果が安定しないという問題を創造的に解決できる。【選択図】図1

Description

本発明は、静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサ装置に関する。
構造の歪み試験は、エンジニアが構造の最適化設計を行い、構造の受力状態を把握し、構造の安全性を保証するための重要な一環である。現在の土木工事業界では、歪み測定機器は、橋梁、鉄道、土手及び様々な建築施設の歪みの測定に広く用いられている。現在よく用いられる歪み測定機器は、主にダイヤルゲージ歪みゲージ、抵抗歪みゲージ、振動ワイヤセンサなどがある。
ここで、ダイヤルゲージ歪みゲージを採用する場合、マーキング長さ及び取付けの制限によって、実用上、大きく制限される。抵抗歪みゲージを採用する場合、非線形であり、出力信号が弱く、干渉防止能力が低く、環境に大きく影響され、部材の表面における1つの点のある方向に沿った歪みしか測定することができず、全域的な測定ができない。振動ワイヤセンサを採用する場合、センサ材料及び加工プロセスに対する要求が高く、且つ測定精度が低い。
本発明が解決しようとする技術的課題は、歪みの測定に使用可能な静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサであって、エネルギーを別途供給する必要なく、被測定部材の変形エネルギーを電気エネルギーに変換して電気信号として出力することが可能であるとともに、精度が高く、応用範囲が広く、加工しやすく、コストが低く、操作が簡単である特徴を有する静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサを提供することである。
技術的課題を解決するために、本発明が採用する技術案は、以下の通りである。即ち、被測定部材の歪みを測定するための静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサにおいては、U字形の摺動溝を含み、摺動溝の上端には、開口するとともに、摺動片が挿されており、摺動片と摺動溝の底面とは、平行であり、長さが等しく、前記摺動片の底面には、前記摺動片に垂直な摺動板が固定され、摺動板は、前記摺動片の摺動方向に垂直し、前記摺動溝は、頂面の一端が接続部材により被測定部材に固定され、前記摺動溝の底面には、前記摺動板に平行な複数の帯状センサユニットからなるセンサアレイが配置され、前記摺動片は、摺動溝の他端から挿入され、末端が被測定部材に固定され、前記摺動板の下端にも帯状センサユニットを有し、前記センサアレイにおけるセンサユニット及び摺動板の下端におけるセンサユニットは、いずれも金属電極層と誘電体材料層とが順に配置されているように構成され、且つ、前記センサアレイにおけるセンサユニットの誘電体材料層と、摺動板の下端におけるセンサユニットの誘電体材料層とは、互いに接触し且つ極性が逆である。摺動板の下端における金属電極層は、電流計に接続された後、並列接続される複数の指示灯に接続され、且つ、各指示灯は、センサアレイにおける1つのセンサユニットの金属電極層にそれぞれ接続されている。
さらに、前記接続部材は、接着剤により被測定部材に固定されている。
さらに、前記指示灯と前記電流計とは、いずれも前記摺動溝の裏面に集積されている。
さらに、前記摺動溝、前記摺動片及び前記摺動板は、いずれも絶縁材料で作られている。
さらに、センサアレイにおける各センサユニットは、幅が同じであり、且つ隣り合う2つのセンサユニット間における間隔は、センサユニットの幅と同じである。摺動板の厚さは、前記センサユニットの幅と同じである。
さらに、t時点の歪み値は、ε(t)=Δx(t)/l1で計算して得られ、ただし、Δx(t)はt時点の変位量を表し、l1は摺動溝(1)の長さを表す。
Δx(t)=Δx1(t)+Δx2(t)であり、Δx1(t)は粗変位を表し、指示灯の位置によって特定され、Δx2(t)は、微細変位を表し、電流値に応じて特定される。
Δx1(t)=(|k|-1)×l0であり、kは点灯した指示灯の番号を表し、l0はセンサユニットの幅を表す。
Δx2(t)=f(IRk)であり、Rkは第k番目の指示灯の抵抗を表し、Iは電流の表示数を表し、f( )は互いに接触する2つのセンサユニット間の変位と出力電圧との関数関係式である。
本発明が奏する有益な効果は以下の通りである。本発明は、部材に歪みが生じるときの力学的法則を力−電気変換特性に従って電気信号に変換し、この装置における信号処理装置を通過することによって、出力装置により歪みの大きさを電気信号で表示して出力することができる。他の歪み測定装置に比べ、静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサは、構造が簡単であり、応用範囲が広く、測定精度が高く、別途電源を提供する必要がなく、コストが低いメリットなどを有するとともに、電気信号に従って標定される変位の結果が不安定である問題を創造的に解決する。
静電式自己エネルギー供給歪みセンサの構造図である。 図1に示す歪みセンサの被測定部材での取付け概略図である。 図2に示す取付け概略図の圧縮歪み測定状態である。 図2に示す取付け概略図の引張歪み測定状態である。 図1に示す変位センサが電気信号測定に用いられる回路図である。
以下、図面を参照しながら,発明の具体的な技術案をさらに説明する。
本発明は、被測定部材の歪みを測定するための静電式自己エネルギー供給歪みセグメント電極センサを提供し、当該センサは、U字形の摺動溝1を含み、摺動溝1の上端には、開口するとともに、摺動片2が挿されており、摺動片2と摺動溝1の底面とは平行で、その長さが等しく、前記摺動片2の底面には、前記摺動片2に垂直な摺動板21が固定され、摺動板21は、前記摺動片の摺動方向に垂直であり、前記摺動溝1は、頂面の一端が接続部材3により被測定部材に固定され、摺動溝1の底面には、前記摺動板21に平行な複数の帯状センサユニットからなるセンサアレイが配置され、前記摺動片2は、摺動溝1の他端から挿入され、末端が被測定部材に固定され、前記摺動板21の下端にも帯状センサユニットを有し、前記センサアレイにおけるセンサユニット及び摺動板の下端におけるセンサユニットは、いずれも金属電極層と誘電体材料層とが順に配置されているように構成され、且つ、前記センサアレイにおけるセンサユニットの誘電体材料層と、摺動板の下端におけるセンサユニットの誘電体材料層とは、互いに接触し且つ極性が逆である。摺動板21の下端における金属電極層は、電流計に接続された後、並列接続される複数の指示灯に接続され、且つ、各指示灯は、センサアレイにおける1つのセンサユニットの金属電極層にそれぞれ接続されている。
取付け方は、図2に示される(摺動溝1の左端は接続部材3により被測定部材に固定され、摺動片の右端は接続部材3により被測定部材に固定されている)。電気信号測定装置及び関連する接続導線は、摺動溝の底部に集積されている。接続部材は、いずれも接着剤により被測定部材に固定されている。
センサアレイにおける各センサユニットの幅は同じであり、且つ隣り合う2つのセンサユニット間の間隔は、センサユニットの幅と同じである。摺動板の厚さは、前記センサユニットの幅と同じであり、測定に便利になる。
本発明に係る静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサによる歪み測定の原理は、以下の通りである。
図5に示すように、本構造においてセンサアレイにおけるそれぞれのセンサユニットは、いずれも番号を有し、真ん中から両側へ対称に番号が付され、摺動溝から離れる矩形接続ブロック側に、番号が1番からn番である。摺動溝に近い矩形接続ブロック側に、番号が-1から-n番である。センサアレイにおけるセンサユニット毎にも対応的に1つの指示灯を有し、指示灯の番号は、当該センサユニットの番号と同じである。摺動片の下端におけるセンサユニットがそれぞれ導線によりセンサアレイにおけるセンサユニットのそれぞれに接続されることで、1つの指示回路が形成され、各指示回路は、互いに独立し、互いに影響せず、並列接続され、且つそれぞれの回路にはいずれも対応する指示灯が設けられている。当該検出回路の主幹回路に電流計が配置されている。摺動片がセンサアレイにおけるk番目のセンサユニットを通過すると、一定の電位差が生じるようになり、このとき、当該センサユニットと摺動片の下端におけるセンサユニットとを1つの独立電源として見なすことができ、当該電源により電気を供給することで、対応する指示灯を点灯させることができる。センサアレイにおけるセル毎の長さをl0とし、k番目の指示灯が点灯すると、部材の第1変位量Δx1(t)=(|k|-1)×l0と得ることができる。番号が負である指示灯が点灯すると、被測定物体が圧縮されたことを示し、番号が正である指示灯が点灯すると、被測定物体が引張されたことを示す。
上述したように、摺動片がセンサアレイにおけるk番目のセンサユニットを通過するとき、対応的に1つのI(t)が出力される。各指示灯の抵抗がいずれもRであると、計算して電圧V(t)=R×|I(t)|と得ることができる。以下のように得られるV(t)とx(t)の関係式から、部材の第2変位量Δx2(t)を求めることができる。
図3に示す被測定物体が圧縮歪み測定状態にあることを例とし、ある時点tのとき、部材の圧縮量はx(t)であり、即ち、第1電極層と第2電極層との相対変位量はx(t)である。
静電式自己エネルギー供給変位センサでは、2種類の誘電体材料は、厚さがそれぞれd1及びd2であり、両者の比誘電率はそれぞれεr1及びεr2である。x(t)は、2種類の誘電体材料が塗布された電極板間の相対変位を表す。変位センサ装置が動作するとき、x(t)は0から最大まで変化する。誘電体材料が塗布される2つの電極板に相対変位がないと(即ち、x(t)=0)、電極板が充電され、2つの電極板の表面が、逆の静電荷を取得し、等しい電荷密度σを有する(接触摩擦による電荷密度)。2つの電極板に相対変位が生じると、電荷は外部回路を介して電流を生成する。負荷抵抗がRであるとき、電荷量Qの式は以下の式(1)の通りである。
Figure 0006806932
(1)
ただし、d0=d1/εr1+d2/εr2であり、d0は誘電体材料の等価厚さであり、lは電極板に塗布される誘電体材料の長さであり、wは単一のセンサユニットにおける誘電体材料の幅であり、ε0は真空誘電率である。
従って、電圧は以下の式(2)で示すことができる。
Figure 0006806932
(2)
式(1)、(2)を連立して、電圧と変位量x(t)がある時点tにマッピング関係を有することを得ることができ、即ち、ある時点tに、電圧V(t)を測定することにより、この時点の変位量を得ることができ、測定回路によって変位の大きさを電気信号として表すことができる。
図4に示す被測定物体が引張歪み測定状態にある原理は、上記説明と同じである。
このとき、変位総量Δx(t)=Δx1(t)+Δx2(t)を得ることができる。初期歪みセンサの初期表記をl1とすると、当該構造の歪みをε=Δx(t)/l1として得ることができる。
1 摺動溝
2 摺動片
21 摺動板
3 接続部材
l0 センサにおいて1つのグリッド電極とその隣接するセグメントの幅との和
l1 歪みセンサの初期表記
Δx(t) 部材の引張量/短縮量
Δx1(t) 部材の第1変位量
Δx2(t) 部材の第2変位量。

Claims (6)

  1. 被測定部材の歪みを測定するための静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサであって、U字形の摺動溝(1)を含み、摺動溝(1)の上端には、開口するとともに、摺動片(2)が挿されており、摺動片(2)と摺動溝(1)の底面とは平行で、その長さが等しく、前記摺動片(2)の底面には、前記摺動片(2)に垂直な摺動板(21)が固定され、摺動板(21)は、前記摺動片の摺動方向に垂直であり、前記摺動溝(1)は、頂面の一端が接続部材(3)により被測定部材に固定され、摺動溝(1)の底面には、前記摺動板(21)に平行な複数の帯状センサユニットからなるセンサアレイが配置され、前記摺動片(2)は、摺動溝(1)の他端から挿入され、末端が被測定部材に固定され、前記摺動板(21)の下端にも帯状センサユニットを有し、前記センサアレイにおけるセンサユニット及び摺動板の下端におけるセンサユニットは、いずれも金属電極層と誘電体材料層とが順に配置されてなるように構成され、且つ、前記センサアレイにおけるセンサユニットの誘電体材料層と、摺動板の下端におけるセンサユニットの誘電体材料層とは、互いに接触し、且つ極性が逆であり、摺動板(21)の下端における金属電極層は、電流計に接続された後、並列接続される複数の指示灯に接続され、且つ各指示灯は、センサアレイにおける1つのセンサユニットの金属電極層にそれぞれ接続されていることを特徴とする静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサ。
  2. 前記接続部材(3)は、接着剤により被測定部材に固定されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
  3. 前記指示灯と前記電流計とは、いずれも前記摺動溝の裏面に集積されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
  4. 前記摺動溝、前記摺動片及び前記摺動板は、いずれも絶縁材料で作られていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
  5. センサアレイにおける各センサユニットは、幅が同じであり、且つ隣り合う2つのセンサユニット間における間隔は、センサユニットの幅と同じであり、
    摺動板(21)の厚さは、前記センサユニットの幅と同じであることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
  6. t時点の歪み値は、次の式で計算して得られ、
    ε(t)=Δx(t)/l1
    ただし、Δx(t)は、t時点の変位量を表し、l1は、摺動溝(1)の長さを表し、
    Δx(t)=Δx1(t)+Δx2(t)であり、Δx1(t)は、粗変位を表し、指示灯の位置によって特定され、Δx2(t)は、微細変位を表し、電流値に応じて特定され、
    Δx1(t)=(|k|-1)×l0であり、kは、点灯した指示灯の番号を表し、l0は、センサユニットの幅を表し、
    Δx2(t)=f(IRk)であり、Rkは、k番目の指示灯の抵抗を表し、Iは、電流の表示数を表し、f( )は、互いに接触する2つのセンサユニット間の変位と出力電圧との関数関係式であることを特徴とする請求項5に記載のセンサ。
JP2019567616A 2018-11-05 2019-07-25 静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサ Active JP6806932B1 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811308827.3A CN109470133B (zh) 2018-11-05 2018-11-05 静电式自供能应变栅格传感器
CN201811308827.3 2018-11-05
PCT/CN2019/097736 WO2020093735A1 (zh) 2018-11-05 2019-07-25 静电式自供能应变栅格传感器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6806932B1 true JP6806932B1 (ja) 2021-01-06
JP2021500529A JP2021500529A (ja) 2021-01-07

Family

ID=65667030

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019567616A Active JP6806932B1 (ja) 2018-11-05 2019-07-25 静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11143496B2 (ja)
JP (1) JP6806932B1 (ja)
CN (1) CN109470133B (ja)
WO (1) WO2020093735A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109470133B (zh) 2018-11-05 2019-09-06 浙江大学 静电式自供能应变栅格传感器
CN109458922B (zh) * 2018-11-05 2019-08-30 浙江大学 一种静电式自供能位移栅格传感器
TWI723467B (zh) * 2019-07-18 2021-04-01 美宸科技股份有限公司 壓力感測裝置及其製造方法
CN111059995B (zh) * 2019-12-28 2020-12-25 浙江大学 一种基于摩擦纳米发电机的自驱动位移传感器

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1019601B (zh) 1986-09-09 1992-12-23 王祖斌 栅形电容式位移传感器
DE4122769A1 (de) * 1991-07-10 1993-01-21 Ief Werner Gmbh Positionssensor fuer linearmotoren
CN2341119Y (zh) * 1998-06-11 1999-09-29 上海量具刃具厂 改进的容栅传感器
CN2709942Y (zh) * 2003-11-07 2005-07-13 中国科学院物理研究所 用于扫描隧道显微镜的步进电机的容性定性传感器
CN102353324B (zh) * 2011-07-26 2013-06-05 华中科技大学 一种柔性半透明应变传感器及其制备方法
CN102589405B (zh) * 2012-02-17 2014-06-04 清华大学 一种电机动子位移测量方法
CN103368451B (zh) * 2013-01-28 2016-02-03 北京纳米能源与系统研究所 一种滑动摩擦纳米发电机
CN103791927B (zh) * 2013-11-12 2017-02-08 北京纳米能源与系统研究所 自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法
EP3133375B1 (en) * 2014-04-18 2021-09-15 Beijing Institute of Nanoenergy and Nanosystems Sensor and power generator based on electrostatic induction, and sensing method and power generation method
CN105526871B (zh) * 2016-01-25 2018-09-25 广东工业大学 基于cmos的光栅位移测量系统及其测量方法
CN206125516U (zh) * 2016-10-28 2017-04-26 红塔烟草(集团)有限责任公司 一种位置检测装置
CN106940197B (zh) * 2017-03-17 2019-05-31 重庆理工大学 一种绝对式时栅直线位移传感器
JP2019120555A (ja) * 2017-12-28 2019-07-22 ミネベアミツミ株式会社 ひずみゲージ、センサモジュール
CN208026210U (zh) * 2018-04-26 2018-10-30 中国安全生产科学研究院 一种地埋大直径薄壁柔性管道变形监测装置
CN108613623B (zh) * 2018-05-11 2020-09-15 浙江大学 静电式自供能应变传感器
CN109458922B (zh) * 2018-11-05 2019-08-30 浙江大学 一种静电式自供能位移栅格传感器
CN109470133B (zh) * 2018-11-05 2019-09-06 浙江大学 静电式自供能应变栅格传感器

Also Published As

Publication number Publication date
CN109470133B (zh) 2019-09-06
US11143496B2 (en) 2021-10-12
US20210270592A1 (en) 2021-09-02
CN109470133A (zh) 2019-03-15
JP2021500529A (ja) 2021-01-07
WO2020093735A1 (zh) 2020-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6806932B1 (ja) 静電式自己エネルギー供給歪みグリッドセンサ
JP2021516345A (ja) 静電式セルフパワー変位グリッドセンサ
CN108613623B (zh) 静电式自供能应变传感器
CN111059995B (zh) 一种基于摩擦纳米发电机的自驱动位移传感器
JP2014514557A (ja) 電束に関する異なる二つの値によって対象物の電位を非接触式に検出するための方法並びに装置
CN108414819B (zh) 一种用于双芯导线的压电式无源电流检测装置及方法
CN107209216B (zh) 带电平板监测仪及其应用方法
CN108593962B (zh) 悬臂接触式自供能静电加速度传感器
CN105572173B (zh) 通过螺旋位移放大结构测量逆挠曲电系数的装置及方法
Wang et al. Composited pressure-velocity sensor based on sandwich-like triboelectric nanogenerator for smart traffic monitoring
CN103460057A (zh) 利用可振动运动地构造的电极无接触地确定电势的方法以及设备
CN209299316U (zh) 一种手机摄像头
CN105157551A (zh) 一种“三角形”位移传感器
CN117214552B (zh) 基于扭秤周期变化的导体表面电势测量方法
CN1013408B (zh) 一种无损测定残余应力的方法
CN105572184B (zh) 一种基于电容变化获得逆挠曲电系数的测量装置及方法
RU155814U1 (ru) Дефектоскоп
CN203561686U (zh) 静电电压检测装置
RU215001U1 (ru) Датчик напряженности электрического поля с чувствительными элементами в форме сферического двуугольника
RU210806U1 (ru) Сдвоенный датчик для измерения напряженности электрического поля с составными чувствительными элементами
CN220437621U (zh) 一种二维测力传感器
CN110260954B (zh) 带增强信号高精度弧面型电阻丝传感器装置的测定方法
CN108267118A (zh) 一种应变式智能测斜仪
Kawamura et al. Design and development of new electrostatic voltmeter using strain gauge
CN202420731U (zh) 一种用于物理相似模拟实验的锚杆测力计

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191206

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20191206

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20201120

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201204

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6806932

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250