JP6806057B2 - Cutting device - Google Patents

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Description

本発明の一側面は、レーザ光によってワークを切断する切断装置に関する。 One aspect of the present invention relates to a cutting device that cuts a work by a laser beam.

レーザ光を用いた切断装置としては、例えば、特許文献1に記載された装置が知られている。特許文献1に記載の装置は、帯状の金属箔に活物質層が形成された帯状電極にレーザ光を照射して切断し、電極を製造する。特に、この装置では、加工速度を高くしつつ切断品質を確保するために、レーザヘッドを移動開始した時点からの経過時間に応じて予め設定されているエネルギー強度のレーザ光をレーザヘッドから照射する。 As a cutting device using a laser beam, for example, the device described in Patent Document 1 is known. The apparatus described in Patent Document 1 manufactures an electrode by irradiating a band-shaped electrode having an active material layer formed on a band-shaped metal foil with a laser beam and cutting the electrode. In particular, in this device, in order to ensure cutting quality while increasing the processing speed, the laser head irradiates a laser beam having a preset energy intensity according to the elapsed time from the time when the laser head starts moving. ..

特開2012−221912号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-221912

特許文献1に記載の装置では、1台のレーザ発振器を用いてエネルギー強度を変えることで、金属箔のみから部分と金属箔に活物質層が形成された部分とを切断している。しかし、この2つの部分は厚み等が異なっているため、1台のレーザ発振器でエネルギー強度等の切断加工条件を変えるだけでは2つの部分の切断品質をそれぞれ満たすのは困難である。 In the apparatus described in Patent Document 1, by changing the energy intensity using one laser oscillator, a portion is cut from only the metal foil and a portion where an active material layer is formed on the metal foil. However, since these two parts have different thicknesses and the like, it is difficult to satisfy the cutting quality of each of the two parts only by changing the cutting processing conditions such as energy intensity with one laser oscillator.

そこで、本発明の一側面においては、ワークの複数の部分の切断品質をそれぞれ満たす切断が可能な切断装置を提案することを課題とする。 Therefore, in one aspect of the present invention, it is an object of the present invention to propose a cutting device capable of cutting which satisfies the cutting quality of each of a plurality of parts of the work.

本発明の一側面に係る切断装置は、レーザ光によってワークを切断する切断装置であって、パルス波のレーザ光を発振するパルス波レーザ光発振器と、連続波のレーザ光を発振する連続波レーザ光発振器とを備え、ワークの第1の材料からなる第1の部分をパルス波のレーザ光で切断し、ワークの第1の材料とは異なる第2の材料からなる第2の部分を連続波のレーザ光で切断する。 The cutting device according to one aspect of the present invention is a cutting device that cuts a work by a laser beam, and is a pulse wave laser optical oscillator that oscillates a pulse wave laser beam and a continuous wave laser that oscillates a continuous wave laser beam. A second part made of a second material different from the first material of the work is continuously waved by cutting the first part made of the first material of the work with a laser beam of a pulse wave. Cut with the laser beam of.

パルス波のレーザ光の場合、短いパルス幅の中にエネルギーを集中させた非常に高いエネルギーをワークに与えることで、熱による溶融を抑えてワークを切断できる。一方、連続波のレーザ光の場合、所定の大きさのエネルギーをワークに連続的に与えることで、熱による溶融でワークを切断できる。切断装置では、熱による溶融を抑えた切断が適した第1の部分に対してはパルス波のレーザ光で切断し、熱による溶融による切断が適した第2の部分に対しては連続波のレーザ光で切断することにより、ワークの複数の部分の切断品質をそれぞれ満たす切断が可能である。 In the case of a pulse wave laser beam, by giving a very high energy in which energy is concentrated in a short pulse width to the work, melting due to heat can be suppressed and the work can be cut. On the other hand, in the case of continuous wave laser light, the work can be cut by melting by heat by continuously applying energy of a predetermined magnitude to the work. In the cutting device, the first part, which is suitable for cutting by suppressing heat melting, is cut with a pulse wave laser beam, and the second part, which is suitable for cutting by heat melting, is cut by a continuous wave. By cutting with a laser beam, it is possible to perform cutting that satisfies the cutting quality of each of a plurality of parts of the work.

一実施形態の切断装置では、パルス波レーザ光発振器で発振されたパルス波のレーザ光の照射方向をワークの第1の部分における切断箇所に沿うように変化させる第1のスキャナと、連続波レーザ光発振器で発振された連続波のレーザ光の照射方向をワークの第2の部分における切断箇所に沿うように変化させる第2のスキャナとを備える構成としてもよい。 In the cutting device of one embodiment, a first scanner that changes the irradiation direction of the laser beam of the pulse wave oscillated by the pulse wave laser optical oscillator along the cutting point in the first part of the work, and a continuous wave laser. A configuration may be provided including a second scanner that changes the irradiation direction of the continuous wave laser beam oscillated by the optical oscillator along the cut portion in the second portion of the work.

一実施形態の切断装置では、第1の部分の厚みは第2の部分の厚みよりも薄くてもよい。特に、一実施形態の切断装置では、ワークは、帯状の金属箔の所定の部分に活物質層が形成された帯状電極であり、第1の部分は帯状電極の金属箔のみからなる部分であり、第2の部分は帯状電極の金属箔に活物質層が形成された部分である。 In the cutting device of one embodiment, the thickness of the first portion may be thinner than the thickness of the second portion. In particular, in the cutting device of one embodiment, the work is a strip-shaped electrode in which an active material layer is formed on a predetermined portion of the strip-shaped metal foil, and the first portion is a portion composed of only the metal foil of the strip-shaped electrode. The second portion is a portion in which an active material layer is formed on the metal foil of the strip-shaped electrode.

本発明の一側面に係る切断装置は、レーザ光によってワークを切断する切断装置であって、パルス波のレーザ光を発振するパルス波レーザ光発振器と、連続波のレーザ光を発振する連続波レーザ光発振器と、ワークの第1の材料からなる第1の部分をパルス波のレーザ光で切断するようにパルス波のレーザ光のスポットを相対的に移動させると共に、ワークの第1の材料とは異なる第2の材料からなる第2の部分を連続波のレーザ光で切断するように連続波のレーザ光のスポットを相対的に移動させる制御装置と、を備える。 The cutting device according to one aspect of the present invention is a cutting device that cuts a work by a laser beam, and is a pulse wave laser optical oscillator that oscillates a pulse wave laser beam and a continuous wave laser that oscillates a continuous wave laser beam. The spot of the laser beam of the pulse wave is relatively moved so as to cut the first portion of the optical oscillator and the first material of the work with the laser beam of the pulse wave, and the first material of the work is A control device for relatively moving the spot of the continuous wave laser beam so as to cut the second portion made of a different second material with the continuous wave laser beam is provided.

パルス波のレーザ光の場合、短いパルス幅の中にエネルギーを集中させた非常に高いエネルギーをワークに与えることで、熱による溶融を抑えてワークを切断できる。一方、連続波のレーザ光の場合、所定の大きさのエネルギーをワークに連続的に与えることで、熱による溶融でワークを切断できる。切断装置では、熱による溶融を抑えた切断が適した第1の部分に対してはパルス波のレーザ光で切断し、熱による溶融による切断が適した第2の部分に対しては連続波のレーザ光で切断することにより、ワークの複数の部分の切断品質をそれぞれ満たす切断が可能である。 In the case of a pulse wave laser beam, by giving a very high energy in which energy is concentrated in a short pulse width to the work, melting due to heat can be suppressed and the work can be cut. On the other hand, in the case of continuous wave laser light, the work can be cut by melting by heat by continuously applying energy of a predetermined magnitude to the work. In the cutting device, the first part, which is suitable for cutting by suppressing heat melting, is cut with a pulse wave laser beam, and the second part, which is suitable for cutting by heat melting, is cut by a continuous wave. By cutting with a laser beam, it is possible to perform cutting that satisfies the cutting quality of each of a plurality of parts of the work.

一実施形態の切断装置は、第1のスキャナ及び第2のスキャナを備え、制御装置は、第1のスキャナの制御によりパルス波のレーザ光のスポットを相対移動させると共に、第2のスキャナの制御により連続波のレーザ光のスポットを相対移動させてもよい。 The cutting device of one embodiment includes a first scanner and a second scanner, and the control device relatively moves the spot of the laser beam of the pulse wave under the control of the first scanner and controls the second scanner. The spot of the continuous wave laser beam may be relatively moved by the above.

一実施形態の切断装置においては、制御装置は、第1の部分と第2の部分との境界から第2の部分側に連続波のレーザ光の未照射領域が生じるように連続波のレーザ光のスポットを相対移動させると共に、パルス波のレーザ光が未照射領域に照射されるようにパルス波のレーザ光のスポットを相対移動させてもよい。この場合、制御装置は、パルス波のレーザ光を未照射領域に照射するときには、パルス波のレーザ光を第1の部分に照射するときに比べて、パルス波のレーザ光によるワークへの入熱量が大きくなるようにパルス波レーザ光発振器を制御してもよい。 In the cutting device of one embodiment, the control device uses a continuous wave laser beam so that an unirradiated region of the continuous wave laser beam is generated from the boundary between the first portion and the second portion to the second portion side. The spots of the pulse wave may be relatively moved, and the spots of the pulse wave laser light may be relatively moved so that the pulse wave laser light is irradiated to the unirradiated region. In this case, when the control device irradiates the unirradiated region with the laser beam of the pulse wave, the amount of heat input to the work by the laser beam of the pulse wave is higher than that when the laser beam of the pulse wave is irradiated to the first portion. The pulse wave laser light oscillator may be controlled so that

本発明の一側面によれば、ワークの複数の部分の切断品質をそれぞれ満たす切断が可能である。 According to one aspect of the present invention, it is possible to perform cutting that satisfies the cutting quality of each of a plurality of parts of the work.

一実施形態に係る切断装置の構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the cutting apparatus which concerns on one Embodiment. (a)は切断前の帯状電極の平面図であり、(b)は切断後の電極の平面図である。(A) is a plan view of the strip-shaped electrode before cutting, and (b) is a plan view of the electrode after cutting. パルス波レーザ光と連続波レーザ光のエネルギーの時間変化の一例である。This is an example of the time change of the energy of the pulse wave laser beam and the continuous wave laser beam. 図2(a)の拡大図であり、境界近傍の切断を説明する図である。It is an enlarged view of FIG. 2A, and is the figure explaining the cutting near the boundary. 図2(a)の拡大図であり、境界近傍の切断を説明する図である。It is an enlarged view of FIG. 2A, and is the figure explaining the cutting near the boundary.

以下、図面を参照して、本発明の一側面の実施形態に係る切断装置を説明する。なお、各図において同一又は相当する要素については同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Hereinafter, the cutting device according to the embodiment of one aspect of the present invention will be described with reference to the drawings. In each figure, the same or corresponding elements are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.

一実施形態では、電池に用いられる電極の製造ラインに組み込まれ、帯状電極(ワーク)から個々の電極を切断する切断装置に適用する。この切断装置は、レーザ光によって帯状電極を切断する切断装置である。なお、製造される電極は、例えば、二次電池又は電気二重層キャパシタ等の蓄電装置に用いられる。二次電池としては、例えば、リチウムイオン二次電池等の非水電解質二次電池である。この実施形態では、リチウムイオン二次電池に用いられる電極を製造する場合とする。 In one embodiment, it is incorporated into a manufacturing line of electrodes used in a battery and applied to a cutting device that cuts individual electrodes from a strip-shaped electrode (work). This cutting device is a cutting device that cuts a band-shaped electrode with a laser beam. The manufactured electrodes are used, for example, in a power storage device such as a secondary battery or an electric double layer capacitor. The secondary battery is, for example, a non-aqueous electrolyte secondary battery such as a lithium ion secondary battery. In this embodiment, it is assumed that an electrode used for a lithium ion secondary battery is manufactured.

電極は、金属箔の少なくとも一面に電極ペーストが塗工されて、活物質層が形成されている。電極は、金属箔の端部に活物質層が形成されていないタブを有している。金属箔は、例えば、正極の場合にはアルミニウム箔であり、負極の場合には銅箔、ニッケル箔である。電極ペーストは、所定の粘度を有するスラリ状であり、活物質、バインダ、溶剤等を含んでいる。活物質は、正極活物質又は負極活物質である。正極活物質は、例えば、複合酸化物、硫黄系材料である。複合酸化物は、マンガン、ニッケル、コバルト及びアルミニウムの少なくとも1つとリチウムとを含む。負極活物質は、例えば、黒鉛、高配向性グラファイト、メソカーボンマイクロビーズ、ハードカーボン、ソフトカーボン等のカーボン、リチウム、ナトリウム等のアルカリ金属、金属化合物、SiOx(0.5≦x≦1.5)等の金属酸化物、ホウ素添加炭素である。バインダは、例えば、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、フッ素ゴム等の含フッ素樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレン等の熱可塑性樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド等のイミド系樹脂、アルコキシシリル基含有樹脂である。溶剤は、例えば、NMP(N−メチルピロリドン)、メタノール、メチルイソブチルケトン等の有機溶剤である。また、電極ペーストは、カーボンブラック、黒鉛、アセチレンブラック、ケッチェンブラック(登録商標)等の導電助剤を含んでいてもよい。また、電極ペーストは、カルボキシメチルセルロース(CMC)等の増粘剤を含んでいてもよい。 The electrode is coated with an electrode paste on at least one surface of a metal foil to form an active material layer. The electrode has a tab on which no active material layer is formed at the end of the metal foil. The metal foil is, for example, an aluminum foil in the case of a positive electrode, and a copper foil or a nickel foil in the case of a negative electrode. The electrode paste is in the form of a slurry having a predetermined viscosity and contains an active material, a binder, a solvent and the like. The active material is a positive electrode active material or a negative electrode active material. The positive electrode active material is, for example, a composite oxide or a sulfur-based material. The composite oxide contains at least one of manganese, nickel, cobalt and aluminum and lithium. The negative electrode active material includes, for example, graphite, highly oriented graphite, mesocarbon microbeads, carbon such as hard carbon and soft carbon, alkali metals such as lithium and sodium, metal compounds, and SiOx (0.5 ≦ x ≦ 1.5). ) And other metal oxides and boron-added carbon. The binder is, for example, a fluororesin such as polyvinylidene fluoride, polytetrafluoroethylene, or fluororubber, a thermoplastic resin such as polypropylene or polyethylene, an imide-based resin such as polyimide or polyamideimide, or an alkoxysilyl group-containing resin. The solvent is, for example, an organic solvent such as NMP (N-methylpyrrolidone), methanol, or methyl isobutyl ketone. Further, the electrode paste may contain a conductive auxiliary agent such as carbon black, graphite, acetylene black, and Ketjen black (registered trademark). In addition, the electrode paste may contain a thickener such as carboxymethyl cellulose (CMC).

なお、帯状電極から電極を切断する場合、一般的に、刃具を用いた接触型の切断(打ち抜き)が行われている。この刃具による切断装置は、電極を切断する毎に帯状電極の搬送を一旦停止させるので、電極の生産効率が低下する。一方、レーザ光による切断装置は、切断中に帯状電極の搬送を停止させる必要がないので、電極の生産効率が高い。 When cutting an electrode from a strip-shaped electrode, contact-type cutting (punching) using a cutting tool is generally performed. This cutting device using a cutting tool temporarily stops the transport of the strip-shaped electrode each time the electrode is cut, so that the production efficiency of the electrode is lowered. On the other hand, the cutting device using a laser beam does not need to stop the transport of the strip-shaped electrode during cutting, so that the production efficiency of the electrode is high.

図1〜図3を参照して、一実施形態に係る切断装置1について説明する。図1は、一実施形態に係る切断装置の構成を模式的に示す図である。図2(a)は切断前の帯状電極の平面図であり、図2(b)は切断後の電極の平面図である。図3はパルス波レーザ光と連続波レーザ光のエネルギーの時間変化の一例である。図3では、横軸が時間であり、縦軸がエネルギーである。 The cutting device 1 according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a cutting device according to an embodiment. FIG. 2A is a plan view of the strip-shaped electrode before cutting, and FIG. 2B is a plan view of the electrode after cutting. FIG. 3 is an example of time-dependent changes in the energies of the pulse wave laser beam and the continuous wave laser beam. In FIG. 3, the horizontal axis is time and the vertical axis is energy.

電極を製造する場合、上記した各物質を混練して電極ペーストを生成する工程、電極ペーストを帯状の金属箔に塗工する工程、その塗工された電極ペーストを乾燥して帯状の金属箔に活物質層を形成する工程等により、図2(a)に示す帯状の金属箔Mに活物質層Aが形成された帯状電極ZEを生成する。この実施形態では、金属箔Mの少なくとも一面に連続塗工で活物質層Aが形成された帯状電極ZEとし、帯状電極ZEの幅方向において2個の電極が配置される2条取りとする。帯状電極ZEは、幅方向の各端部からそれぞれ所定の間隔(タブTの長さよりも長い間隔)をあけて幅方向の中央部に活物質層Aが塗工されている。切断工程では、切断装置1により帯状電極ZEから、図2(b)に示す電極Eを切り出す。電極を製造する場合、上記した各工程の他にもプレス、ベーク、検査等の工程もある。 When manufacturing an electrode, the steps of kneading each of the above substances to form an electrode paste, the step of applying the electrode paste to a strip-shaped metal foil, and the step of drying the coated electrode paste into a strip-shaped metal foil. A band-shaped electrode ZE in which the active material layer A is formed on the band-shaped metal foil M shown in FIG. 2A is generated by a step of forming the active material layer or the like. In this embodiment, the strip-shaped electrode ZE in which the active material layer A is formed by continuous coating on at least one surface of the metal foil M is used, and two electrodes are arranged in the width direction of the strip-shaped electrode ZE. The strip-shaped electrode ZE is coated with the active material layer A at the central portion in the width direction at a predetermined interval (an interval longer than the length of the tab T) from each end portion in the width direction. In the cutting step, the electrode E shown in FIG. 2B is cut out from the strip-shaped electrode ZE by the cutting device 1. When manufacturing an electrode, in addition to the above-mentioned steps, there are steps such as pressing, baking, and inspection.

帯状電極ZE(ワーク)は、金属箔M(第1の材料)のみからなる部分(第1の部分)と、金属箔Mと活物質層A(第2の材料)からなる部分(第2の部分)とを有している。金属箔Mの厚みは、例えば、数10μmである。活物質層Aの厚みは、例えば、数100μmである。したがって、金属箔Mのみからなる部分の厚みは、金属箔Mと活物質層Aからなる部分の厚みに比べて非常に薄い。なお、図2(a)に示す帯状電極ZEには、破線により、切断装置1で切断される切断箇所を示す線CLを示している。この切断線CLは、仮想線であり、実際には線が引かれていない。 The band-shaped electrode ZE (work) has a portion (first portion) composed of only the metal foil M (first material) and a portion (second portion) composed of the metal foil M and the active material layer A (second material). Part) and. The thickness of the metal foil M is, for example, several tens of μm. The thickness of the active material layer A is, for example, several hundred μm. Therefore, the thickness of the portion made of only the metal foil M is much thinner than the thickness of the portion made of the metal foil M and the active material layer A. The strip-shaped electrode ZE shown in FIG. 2A shows a line CL indicating a cutting portion to be cut by the cutting device 1 by a broken line. This cutting line CL is a virtual line, and the line is not actually drawn.

切断装置1は、パルス波と連続波の2種類のレーザ光を用いて帯状電極ZEを切断する。特に、パルス波レーザ光PWが帯状電極ZEの金属箔Mのみからなる部分に用いられ、連続波レーザ光CWが金属箔Mと活物質層Aからなる部分に用いられる。切断装置1は、搬送中の帯状電極ZEの上方から各レーザ光PW,CWをそれぞれ照射する。また、切断装置1は、搬送方向Dにおいて連続波レーザ光CWをパルス波レーザ光PWよりも上流側で照射する。また、切断装置1は、電極Eの外形状に相当する切断線CLに沿って各レーザ光PW,CWのスポットの中心をそれぞれ移動させて照射する。特に、切断線CLのうち金属箔Mのみからなる部分にはパルス波レーザ光PWが照射され、切断線CLのうち金属箔Mと活物質層Aからなる部分には連続波レーザ光CWが照射される。切断装置1は、パルス波レーザ光発振器10と、連続波レーザ光発振器11と、スキャナ(第1のスキャナ)12と、スキャナ(第2のスキャナ)13と、制御装置14とを備えている。 The cutting device 1 cuts the band-shaped electrode ZE using two types of laser light, a pulse wave and a continuous wave. In particular, the pulse wave laser light PW is used for the portion of the band-shaped electrode ZE made of only the metal foil M, and the continuous wave laser light CW is used for the portion made of the metal foil M and the active material layer A. The cutting device 1 irradiates the laser beams PW and CW from above the strip-shaped electrode ZE being conveyed. Further, the cutting device 1 irradiates the continuous wave laser light CW on the upstream side of the pulse wave laser light PW in the transport direction D. Further, the cutting device 1 irradiates the laser beams by moving the centers of the spots of the laser beams PW and CW along the cutting line CL corresponding to the outer shape of the electrode E. In particular, the portion of the cutting line CL consisting only of the metal foil M is irradiated with the pulse wave laser beam PW, and the portion of the cutting line CL consisting of the metal foil M and the active material layer A is irradiated with the continuous wave laser beam CW. Will be done. The cutting device 1 includes a pulse wave laser optical oscillator 10, a continuous wave laser optical oscillator 11, a scanner (first scanner) 12, a scanner (second scanner) 13, and a control device 14.

なお、帯状電極ZEは、図示しない搬送装置によって所定の速度で搬送される。この搬送装置では、例えば、帯状電極ZEが巻出ロールから送り出されて搬送され、この搬送途中の所定の箇所に切断装置1のスキャナ12,13が配置されている。搬送速度は、例えば、数m/分である。より好ましくは、搬送速度は、例えば、十数メートル/分(十m以上)である。搬送中は、帯状電極ZEに所定のテンション(張力)がかかっている。 The strip-shaped electrode ZE is conveyed at a predetermined speed by a transfer device (not shown). In this transfer device, for example, the strip-shaped electrode ZE is sent out from the unwinding roll and conveyed, and the scanners 12 and 13 of the cutting device 1 are arranged at predetermined positions during the transfer. The transport speed is, for example, several m / min. More preferably, the transport speed is, for example, a dozen meters / minute (10 m or more). During transportation, a predetermined tension is applied to the strip-shaped electrode ZE.

パルス波レーザ光発振器10は、パルス波のレーザ光PWを発振する発振器である。パルス波レーザ光発振器10は、発振したパルス波レーザ光PWをスキャナ12に出力する。パルス波レーザ光PWの波長は、例えば、1000〜1100nmである。パルス波レーザ光PWの出力は、例えば、25Wである。パルス波レーザ光発振器10では、出力を所定の範囲で変更可能である。パルス波レーザ光PWのパルス幅は、例えば、10p秒(10ピコ秒)である。パルス波レーザ光PWの繰り返し周波数は、例えば、200kHzである。パルス波レーザ光発振器10では、繰り返し周波数を所定の範囲で変更可能である。 The pulse wave laser optical oscillator 10 is an oscillator that oscillates a pulse wave laser beam PW. The pulse wave laser light oscillator 10 outputs the oscillated pulse wave laser light PW to the scanner 12. The wavelength of the pulse wave laser beam PW is, for example, 1000 to 1100 nm. The output of the pulse wave laser beam PW is, for example, 25 W. In the pulse wave laser optical oscillator 10, the output can be changed within a predetermined range. The pulse width of the pulse wave laser beam PW is, for example, 10 ps (10 picoseconds). The repetition frequency of the pulse wave laser beam PW is, for example, 200 kHz. In the pulse wave laser optical oscillator 10, the repetition frequency can be changed within a predetermined range.

図3には、パルス波レーザ光PWのエネルギーの時間変化PEの一例を示している。このように、パルス波レーザ光PWは、繰り返し周波数に応じた一定時間毎に短い時間のパルス幅のエネルギーである。パルス波レーザ光PWは、この短い時間のパルス幅の中にエネルギーを集中させているので、ピークエネルギーが非常に大きくなる。パルス幅を短くしたり、出力を大きくすることで、各パルスのピークエネルギーが高くなる。パルス波レーザ光PWの場合、この非常に高いピークエネルギーにより、多光子励起が起こり易い。 FIG. 3 shows an example of the time-varying PE of the energy of the pulse wave laser beam PW. As described above, the pulse wave laser beam PW is the energy of the pulse width for a short time at regular time intervals according to the repetition frequency. Since the pulse wave laser beam PW concentrates energy in the pulse width for this short time, the peak energy becomes very large. By shortening the pulse width or increasing the output, the peak energy of each pulse increases. In the case of pulsed wave laser light PW, multiphoton excitation is likely to occur due to this extremely high peak energy.

連続波レーザ光発振器11は、連続波のレーザ光CWを発振する発振器である。連続波レーザ光発振器11は、発振した連続波レーザ光CWをスキャナ13に出力する。連続波レーザ光CWの波長は、例えば、1000〜1100nmである。連続波レーザ光CWの出力は、例えば、500Wである。連続波レーザ光発振器11では、出力を所定の範囲で変更可能である。活物質層Aの厚みは金属箔Mよりも厚いので、活物質層Aを切断するためには金属箔Mよりも高い出力が必要となる。 The continuous wave laser light oscillator 11 is an oscillator that oscillates a continuous wave laser light CW. The continuous wave laser light oscillator 11 outputs the oscillated continuous wave laser light CW to the scanner 13. The wavelength of the continuous wave laser beam CW is, for example, 1000 to 1100 nm. The output of the continuous wave laser beam CW is, for example, 500 W. In the continuous wave laser optical oscillator 11, the output can be changed within a predetermined range. Since the thickness of the active material layer A is thicker than that of the metal foil M, a higher output than that of the metal foil M is required to cut the active material layer A.

図3には、連続波レーザ光CWのエネルギーの時間変化CEの一例を示している。このように、連続波レーザ光CWは、連続的な所定の大きさのエネルギーである。この連続波レーザ光CWのエネルギーは、厚い活物質層Aを切断するために高いエネルギーであるが、パルス波レーザ光PWの短いパルス幅の中で集中したピークエネルギーと比べると低い。 FIG. 3 shows an example of the time-varying CE of the energy of the continuous wave laser beam CW. As described above, the continuous wave laser light CW is continuous energy of a predetermined magnitude. The energy of this continuous wave laser beam CW is high because it cuts the thick active material layer A, but it is lower than the peak energy concentrated in the short pulse width of the pulse wave laser beam PW.

スキャナ12は、搬送中の帯状電極ZEに対してパルス波レーザ光PWを金属箔Mのみからなる部分の切断線CLに沿って移動させる装置である。スキャナ12は、搬送される帯状電極ZEの上方となる位置に配置され、下方の帯状電極ZEに向けてパルス波レーザ光PWを照射する。スキャナ12は、例えば、2枚のミラーと、各ミラーを異なる方向の回転軸周りに角度を変化(つまり、2枚のミラーの組み合わせで照射方向を3次元的に変更)させる2個の駆動装置と、集光レンズとを有している。スキャナ12では、各駆動装置で各ミラーの角度をそれぞれ変化させ、この2枚のミラーでパルス波レーザ光PWをそれぞれ反射させて照射方向を変化させる。各駆動装置で各ミラーの角度を変化させる速度に応じて、パルス波レーザ光PWによる切断速度が変化する。切断速度は、例えば、数m/分である。より好ましくは、切断速度は、例えば数十m/分である。切断速度は、搬送装置で搬送される帯状電極ZEの搬送速度とは独立して設定される。各駆動装置での各ミラーの角度を変化させるパターン及び変化させる速度は、搬送速度毎に予め設定され、スキャナ12に記憶されている。スキャナ12では、2枚のミラーで反射されたパルス波レーザ光PWを集光レンズに入射させ、集光レンズで集光されたパルス波レーザ光PWを搬送中の帯状電極ZEに向けて照射する。集光されたパルス波レーザ光PWのスポット径は、例えば、100μmである。 The scanner 12 is a device that moves the pulse wave laser beam PW with respect to the band-shaped electrode ZE being conveyed along the cutting line CL of the portion made of only the metal foil M. The scanner 12 is arranged at a position above the band-shaped electrode ZE to be transported, and irradiates the pulse wave laser beam PW toward the band-shaped electrode ZE below. The scanner 12 is, for example, two mirrors and two drive devices that change the angle of each mirror around a rotation axis in a different direction (that is, the irradiation direction is three-dimensionally changed by a combination of the two mirrors). And a condenser lens. In the scanner 12, the angle of each mirror is changed by each driving device, and the pulse wave laser beam PW is reflected by the two mirrors to change the irradiation direction. The cutting speed of the pulsed wave laser beam PW changes according to the speed at which the angle of each mirror is changed in each driving device. The cutting speed is, for example, several m / min. More preferably, the cutting speed is, for example, several tens of m / min. The cutting speed is set independently of the transport speed of the strip-shaped electrode ZE transported by the transport device. The pattern for changing the angle of each mirror in each drive device and the speed at which the angle is changed are preset for each transfer speed and stored in the scanner 12. In the scanner 12, the pulse wave laser beam PW reflected by the two mirrors is incident on the condenser lens, and the pulse wave laser beam PW condensed by the condenser lens is irradiated toward the band-shaped electrode ZE being conveyed. .. The spot diameter of the focused pulse wave laser beam PW is, for example, 100 μm.

スキャナ13は、搬送中の帯状電極ZEに対して連続波レーザ光CWを金属箔Mと活物質層Aからなる部分の切断線CLに沿って移動させる装置である。スキャナ13は、搬送される帯状電極ZEの上方となる位置に配置され、下方の帯状電極ZEに向けて連続波レーザ光CWを照射する。また、スキャナ13は、搬送方向Dにおいてスキャナ12よりも上流側に配置され、スキャナ12から照射されるパルス波レーザ光PWよりも上流側に連続波レーザ光CWを照射する。スキャナ13の構成は、スキャナ12の構成と同様の構成であり、例えば、2枚のミラーと、2個の駆動装置と、集光レンズとを有している。連続波レーザ光CWの切断速度は、例えば、数m/分である。集光された連続波レーザ光CWのスポット径は、例えば、100μmである。 The scanner 13 is a device that moves the continuous wave laser beam CW with respect to the band-shaped electrode ZE being conveyed along the cutting line CL of the portion composed of the metal foil M and the active material layer A. The scanner 13 is arranged at a position above the band-shaped electrode ZE to be conveyed, and irradiates the continuous wave laser beam CW toward the band-shaped electrode ZE below. Further, the scanner 13 is arranged on the upstream side of the scanner 12 in the transport direction D, and irradiates the continuous wave laser light CW on the upstream side of the pulse wave laser light PW emitted from the scanner 12. The configuration of the scanner 13 is the same as that of the scanner 12, and includes, for example, two mirrors, two driving devices, and a condenser lens. The cutting speed of the continuous wave laser beam CW is, for example, several m / min. The spot diameter of the focused continuous wave laser beam CW is, for example, 100 μm.

制御装置14は、切断装置1を制御する電子制御部であり、CPU[Central Processing Unit]、ROM[Read OnlyMemory]及びRAM[Random Access Memory]等のメモリ、入出力回路等からなる。制御装置14は、電極の製造ラインの制御装置の一機能として組み込まれてもよいしあるいは切断装置1専用の制御装置として構成されてもよい。制御装置14では、搬送装置による帯状電極ZEの搬送と同期するように、各レーザ光発振器10,11及び各スキャナ12,13を制御する。そのために、制御装置14には、搬送装置による帯状電極ZEの搬送速度の情報が入力される。搬送速度は、例えば、搬送装置の巻出ロールに設けられたロータリエンコーダで検出された検出値から算出される。搬送装置による帯状電極ZEの搬送が開始されると、制御装置14では、パルス波レーザ光発振器10でパルス波レーザ光PWを発振させると共に、連続波レーザ光発振器11で連続波レーザ光CWを発振させる。また、制御装置14では、搬送速度に応じてスキャナ12の2個の駆動装置を稼動させると共に、搬送速度に応じたスキャナ13の2個の駆動装置を稼動させる。帯状電極ZEの搬送が終了すると、制御装置14では、パルス波レーザ光発振器10、連続波レーザ光発振器11及びスキャナ12,13の各駆動装置を停止させる。 The control device 14 is an electronic control unit that controls the cutting device 1, and includes a memory such as a CPU [Central Processing Unit], a ROM [Read Only Memory], and a RAM [Random Access Memory], an input / output circuit, and the like. The control device 14 may be incorporated as a function of the control device of the electrode production line, or may be configured as a control device dedicated to the cutting device 1. The control device 14 controls the laser optical oscillators 10 and 11 and the scanners 12 and 13 so as to be synchronized with the transfer of the band-shaped electrode ZE by the transfer device. Therefore, information on the transfer speed of the strip-shaped electrode ZE by the transfer device is input to the control device 14. The transport speed is calculated from, for example, a detection value detected by a rotary encoder provided on the unwinding roll of the transport device. When the transfer of the band-shaped electrode ZE by the transfer device is started, the control device 14 oscillates the pulse wave laser light PW by the pulse wave laser light oscillator 10 and oscillates the continuous wave laser light CW by the continuous wave laser light oscillator 11. Let me. Further, in the control device 14, the two drive devices of the scanner 12 are operated according to the transfer speed, and the two drive devices of the scanner 13 are operated according to the transfer speed. When the transport of the band-shaped electrode ZE is completed, the control device 14 stops the drive devices of the pulse wave laser optical oscillator 10, the continuous wave laser optical oscillator 11, and the scanners 12 and 13.

なお、切断装置1では、帯状電極ZEに対して各レーザ光PW,CWが照射される箇所にアシストガスをそれぞれ噴き付けるようにしてもよい。また、切断装置1では、スキャナ12を搬送方向Dにおいてスキャナ13よりも上流側に配置し、スキャナ13から照射される連続波レーザ光CWよりも上流側にパルス波レーザ光PWを照射するようにしてもよい。 In the cutting device 1, the assist gas may be sprayed onto the strip-shaped electrode ZE at a location where the laser beams PW and CW are irradiated. Further, in the cutting device 1, the scanner 12 is arranged on the upstream side of the scanner 13 in the transport direction D, and the pulse wave laser light PW is irradiated on the upstream side of the continuous wave laser light CW emitted from the scanner 13. You may.

切断装置1の動作について説明する。搬送装置では、所定の搬送速度で帯状電極ZEを搬送する。帯状電極ZEの搬送中、パルス波レーザ光発振器10では、パルス波レーザ光PWを発振し、パルス波レーザ光PWをスキャナ12に出力する。連続波レーザ光発振器11では、連続波レーザ光CWを発振し、連続波レーザ光CWをスキャナ13に出力する。 The operation of the cutting device 1 will be described. The transport device transports the strip-shaped electrode ZE at a predetermined transport speed. During the transfer of the band-shaped electrode ZE, the pulse wave laser light oscillator 10 oscillates the pulse wave laser light PW and outputs the pulse wave laser light PW to the scanner 12. The continuous wave laser light oscillator 11 oscillates the continuous wave laser light CW and outputs the continuous wave laser light CW to the scanner 13.

スキャナ13では、帯状電極ZEの搬送に同期させて、各駆動装置で各ミラーの角度をそれぞれ変化させている。そして、スキャナ13では、入力された連続波レーザ光CWをこの2枚のミラーで順次反射させて照射方向を変化させ、この連続波レーザ光CWを集光レンズで集光して帯状電極ZEに向けて照射する。この照射された連続波レーザ光CWは、搬送中の帯状電極ZEの切断線CL(特に、活物質層Aが形成されている部分)上を移動する。 In the scanner 13, the angle of each mirror is changed by each drive device in synchronization with the transfer of the strip-shaped electrode ZE. Then, in the scanner 13, the input continuous wave laser light CW is sequentially reflected by these two mirrors to change the irradiation direction, and the continuous wave laser light CW is focused by the condenser lens and becomes the band-shaped electrode ZE. Irradiate toward. The irradiated continuous wave laser beam CW moves on the cutting line CL (particularly, the portion where the active material layer A is formed) of the strip-shaped electrode ZE being conveyed.

帯状電極ZEにおいて連続波レーザ光CWが照射された箇所には、高いエネルギーが連続的に与えられる。これにより、連続波レーザ光CWが照射された箇所は、この連続的に与えられる高いエネルギーの熱によって活物質等が溶融されることで、切断される。この際、活物質等の溶融物が凝固して切断面に付着する(例えば、ダマ状のものが付着する)場合がある。このように切断面に付着物ができた場合でも、活物質層Aは厚いので、付着物の大きさが活物質層の厚み以上に大きくなることは殆どない。そのため、製造された電極(正極、負極)が電池(特に、正極と負極とをセパレータを介して積層した電池)に用いられた場合でも、この付着物がセパレータを破損させて正極と負極とを短絡させる可能性は非常に低い。したがって、連続波レーザ光CWを用いた溶融による切断であるが、帯状電極ZEにおける活物質層Aが形成されている部分の切断品質を十分に満たす。また、連続波レーザ光CWを用いた溶融による切断の場合、厚い活物質層Aを短い照射時間で切断できる。そのため、連続波レーザ光CWを用いた切断は、搬送速度及び切断速度を高い速度に設定しても、厚い活物質層Aの切断が可能である。搬送速度及び切断速度を高くすることで、電極Eの単位時間当たりの生産量が増え、生産効率が高くなる。 High energy is continuously applied to the portion of the band-shaped electrode ZE that is irradiated with the continuous wave laser beam CW. As a result, the portion irradiated with the continuous wave laser beam CW is cut off by melting the active material or the like by the heat of the continuously high energy. At this time, a melt such as an active material may solidify and adhere to the cut surface (for example, a lump-like substance may adhere). Even when deposits are formed on the cut surface in this way, the size of the deposits is rarely larger than the thickness of the active material layer because the active material layer A is thick. Therefore, even when the manufactured electrodes (positive electrode, negative electrode) are used for a battery (particularly, a battery in which a positive electrode and a negative electrode are laminated via a separator), this deposit damages the separator and separates the positive electrode and the negative electrode. The possibility of short-circuiting is very low. Therefore, although the cutting is performed by melting using the continuous wave laser beam CW, the cutting quality of the portion of the strip-shaped electrode ZE in which the active material layer A is formed is sufficiently satisfied. Further, in the case of cutting by melting using continuous wave laser light CW, the thick active material layer A can be cut in a short irradiation time. Therefore, in the cutting using the continuous wave laser beam CW, the thick active material layer A can be cut even if the transport speed and the cutting speed are set to high speeds. By increasing the transport speed and the cutting speed, the production amount of the electrode E per unit time increases, and the production efficiency becomes high.

スキャナ12では、帯状電極ZEの搬送に同期させて、各駆動装置で各ミラーの角度をそれぞれ変化させている。そして、スキャナ12では、入力されたパルス波レーザ光PWをこの2枚のミラーで順次反射させて照射方向を変化させ、このパルス波レーザ光PWを集光レンズで集光して帯状電極ZEに向けて照射する。パルス波レーザ光PWが照射される箇所は、搬送中の帯状電極ZEの切断線CL(特に、金属箔Mのみの部分)上を移動する。また、パルス波レーザ光PWが照射される箇所は、連続波レーザ光CWが照射される箇所よりも下流側である。したがって、パルス波レーザ光PWが照射されるときには、帯状電極ZEの活物質層Aが形成されている部分については既に切断されている。 In the scanner 12, the angle of each mirror is changed by each drive device in synchronization with the transfer of the strip-shaped electrode ZE. Then, in the scanner 12, the input pulse wave laser light PW is sequentially reflected by the two mirrors to change the irradiation direction, and the pulse wave laser light PW is focused by the condenser lens and becomes the band-shaped electrode ZE. Irradiate toward. The portion irradiated with the pulse wave laser beam PW moves on the cutting line CL (particularly, the portion of the metal foil M only) of the strip-shaped electrode ZE being conveyed. The location where the pulse wave laser beam PW is irradiated is downstream from the location where the continuous wave laser beam CW is irradiated. Therefore, when the pulse wave laser beam PW is irradiated, the portion of the band-shaped electrode ZE on which the active material layer A is formed has already been cut.

帯状電極ZEにおいてパルス波レーザ光PWが照射された箇所には、短いパルス幅の中にエネルギーを集中させた非常に高いエネルギーが瞬間的に与えられ、多光子励起が起こる。これにより、パルス波レーザ光PWが照射された箇所は、金属箔Mを形成している金属の分子同士の結合が切られることで、切断される。そのため、パルス波レーザ光PWを用いた切断では、溶融による切断が抑えられるので、切断面に溶融物が凝固して付着することも抑えられる。切断面に付着物ができた場合でも、その付着物の大きさは小さいので、付着物がセパレータを破損させて正極と負極とを短絡させる可能性は非常に低い。したがって、帯状電極ZEの金属箔Mのみの部分は非常に薄いが、帯状電極ZEにおける金属箔Mのみの部分の切断品質を十分に満たす。また、パルス波レーザ光PWを用いた切断の場合、金属箔Mは薄いので、金属箔Mを短い照射時間で切断できる。そのため、パルス波レーザ光PWを用いた切断も、連続波レーザ光CWを用いた切断と同様に、搬送速度及び切断速度を高い速度に設定できる。 A very high energy with energy concentrated in a short pulse width is instantaneously given to a portion of the band-shaped electrode ZE irradiated with the pulse wave laser beam PW, and multiphoton excitation occurs. As a result, the portion irradiated with the pulse wave laser beam PW is cut by breaking the bond between the metal molecules forming the metal foil M. Therefore, in the cutting using the pulse wave laser beam PW, the cutting due to melting is suppressed, so that the molten material is also suppressed from solidifying and adhering to the cut surface. Even if deposits are formed on the cut surface, the size of the deposits is small, so it is very unlikely that the deposits will damage the separator and short-circuit the positive electrode and the negative electrode. Therefore, the portion of the strip electrode ZE with only the metal leaf M is very thin, but the cutting quality of the portion of the strip electrode ZE with only the metal foil M is sufficiently satisfied. Further, in the case of cutting using the pulse wave laser beam PW, since the metal foil M is thin, the metal foil M can be cut in a short irradiation time. Therefore, in the cutting using the pulse wave laser light PW, the transport speed and the cutting speed can be set to a high speed as in the cutting using the continuous wave laser light CW.

この切断装置1によれば、帯状電極ZEの金属箔Mのみからなる部分に対してはパルス波レーザ光PWで切断し、金属箔Mと活物質層Aからなる部分に対しては連続波レーザ光CWで切断することにより、この2つの部分の切断品質をそれぞれ満たす切断が可能である。また、この切断装置1によれば、帯状電極ZEの搬送速度及び切断速度を高い速度に設定できるので、電極Eの生産効率を向上できる。この切断装置1で切断され電極E(正極、負極)が電池に用いられた場合、電池においては電極Eの切断面の付着物が要因となる短絡を抑制できる。 According to this cutting device 1, the portion of the strip electrode ZE consisting only of the metal foil M is cut by the pulse wave laser light PW, and the portion consisting of the metal foil M and the active material layer A is cut with a continuous wave laser. By cutting with optical CW, it is possible to cut to satisfy the cutting quality of each of these two parts. Further, according to this cutting device 1, since the transport speed and the cutting speed of the strip-shaped electrode ZE can be set to a high speed, the production efficiency of the electrode E can be improved. When the electrode E (positive electrode, negative electrode) is cut by the cutting device 1 and used in the battery, a short circuit caused by deposits on the cut surface of the electrode E can be suppressed in the battery.

以上、本発明の一側面の実施形態について説明したが、上記実施形態に限定されることなく様々な形態で実施される。 Although the embodiment of one aspect of the present invention has been described above, the embodiment is not limited to the above embodiment and may be implemented in various forms.

例えば、上記実施形態では帯状電極の金属箔のみからなる部分をパルス波レーザ光で切断し、金属箔と活物質層からなる部分を連続波レーザ光で切断する構成としたが、パルス波レーザ光で切断する第1の部分、連続波レーザ光で切断する第2の部分については他のものにも適用でき、例えば、活物質層を保護する保護層(例えば、セラミックを用いた保護層)を有する電極の場合、帯状電極の金属箔と保護層からなる部分及び金属箔のみからなる部分をパルス波レーザ光で切断し、金属箔と活物質層と保護層とからなる部分を連続波レーザ光で切断する構成とする。 For example, in the above embodiment, the portion of the strip electrode made of only the metal foil is cut with a pulse wave laser beam, and the portion made of the metal foil and the active material layer is cut with a continuous wave laser beam. The first portion to be cut by the continuous wave laser beam and the second portion to be cut by the continuous wave laser beam can be applied to other parts, for example, a protective layer for protecting the active material layer (for example, a protective layer using ceramic). In the case of an electrode having the electrode, the portion of the band-shaped electrode consisting of the metal foil and the protective layer and the portion consisting of only the metal foil are cut with a pulse wave laser beam, and the portion consisting of the metal foil, the active material layer and the protective layer is cut with continuous wave laser light. It is configured to be cut with.

また、上記実施形態では幅方向において2個の電極が配置された2条取りの帯状電極に適用したが、幅方向において1個の電極が配置された1条取りの帯状電極にも適用可能である。また、上記実施形態では帯状の金属箔に連続塗工で活物質層が形成された帯状電極に適用したが、帯状の金属箔の間欠塗工で所定間隔をあけて活物質層が形成された帯状電極にも適用できる。 Further, in the above embodiment, it is applied to a double-rowed strip-shaped electrode in which two electrodes are arranged in the width direction, but it can also be applied to a single-rowed strip-shaped electrode in which one electrode is arranged in the width direction. is there. Further, in the above embodiment, the active material layer is formed on the strip-shaped metal foil by continuous coating, but the active material layer is formed at predetermined intervals by the intermittent coating of the strip-shaped metal foil. It can also be applied to strip-shaped electrodes.

また、上記実施形態では搬送中のワーク(帯状電極)側を自由に動かすことができないので、スキャナでワークの切断線に沿ってレーザ光を移動させながら照射できる切断装置に適用したが、ワーク側を動かすことが可能であるなら、ワークを切断線に応じて動かして、レーザ光を一定の箇所に照射する切断装置にも適用できる。 Further, in the above embodiment, since the work (belt-shaped electrode) side during transportation cannot be freely moved, it is applied to a cutting device capable of irradiating while moving the laser beam along the cutting line of the work with a scanner. If it is possible to move the work, it can also be applied to a cutting device that irradiates a certain place with a laser beam by moving the work according to the cutting line.

ここで、上述したように、切断装置1においては、制御装置14が、パルス波レーザ光発振器10及び連続波レーザ光発振器11を制御することにより、パルス波レーザ光PW及び連続波レーザ光CWを発振させる。また、制御装置14が、スキャナ12を制御することにより、パルス波レーザ光PWのスポットを、切断線CLに沿って、帯状電極ZEに対して相対移動させる。さらに、制御装置14が、スキャナ13を制御することにより、連続波レーザ光CWのスポットを、切断線CLに沿って、帯状電極ZEに対して相対移動させる。これにより、切断装置1は、帯状電極ZEの切断を行う。 Here, as described above, in the cutting device 1, the control device 14 controls the pulse wave laser light oscillator 10 and the continuous wave laser light oscillator 11 to generate the pulse wave laser light PW and the continuous wave laser light CW. Oscillate. Further, the control device 14 controls the scanner 12 to move the spot of the pulse wave laser beam PW relative to the strip electrode ZE along the cutting line CL. Further, the control device 14 controls the scanner 13 to move the spot of the continuous wave laser beam CW relative to the strip electrode ZE along the cutting line CL. As a result, the cutting device 1 cuts the strip-shaped electrode ZE.

換言すれば、切断装置1は、ワーク(帯状電極ZE)の第1の材料(金属箔M)からなる第1の部分をパルス波レーザ光PWで切断するようにパルス波レーザ光PWのスポットを相対的に移動させると共に、ワークの第1の材料と第1の材料とは異なる第2の材料(活物質層A)とからなる第2の部分を連続波レーザ光CWで切断するように連続波レーザ光CWのスポットを相対的に移動させる制御装置14を備えている。特に、制御装置14は、スキャナ12の制御によりパルス波レーザ光PWのスポットを相対移動させると共に、スキャナ13の制御により連続波レーザ光CWのスポットを相対移動させる。 In other words, the cutting device 1 cuts the spot of the pulse wave laser light PW so as to cut the first portion of the work (belt-shaped electrode ZE) made of the first material (metal foil M) with the pulse wave laser light PW. While moving relatively, the second part composed of the first material of the work and the second material (active material layer A) different from the first material is continuously cut by the continuous wave laser beam CW. A control device 14 for relatively moving the spot of the wave laser beam CW is provided. In particular, the control device 14 relatively moves the spot of the pulse wave laser beam PW under the control of the scanner 12, and relatively moves the spot of the continuous wave laser beam CW under the control of the scanner 13.

引き続いて、制御装置14が行う制御の一例について説明する。図4及び図5は、図2の(a)の拡大図に相当する。ここでは、図4(a)に示されるように、帯状電極ZEの少なくとも一部分において、第2の部分の切断線CLに沿った連続波レーザ光CWの照射(スポットの相対移動、スキャン)が行われている。したがって、帯状電極ZEの第2の部分には、切断線CLに沿って、切断が完了した領域(以下、第2の切断完了領域CLAという)が形成されている。 Subsequently, an example of the control performed by the control device 14 will be described. 4 and 5 correspond to the enlarged view of FIG. 2A. Here, as shown in FIG. 4A, irradiation (relative movement of spots, scanning) of continuous wave laser light CW along the cutting line CL of the second portion is performed on at least a part of the band-shaped electrode ZE. It has been. Therefore, in the second portion of the strip-shaped electrode ZE, a region where cutting is completed (hereinafter, referred to as a second cutting completed region CLA) is formed along the cutting line CL.

このとき、連続波レーザ光CWのスポットが、第1部分と第2部分との境界BLに至らないようにする。これは、連続波レーザ光CWのスポットが境界BLを越えることにより、相対的に出力の大きな連続波レーザ光CWが第1の部分に照射されると、金属箔Mの大きなドロスが発生するおそれがあるためである。したがって、ここでは、第2の切断完了領域CLAは、第1の部分と第2の部分との境界BLに至っていない。換言すれば、第1の部分と第2の部分との境界BLから第2の部分側に、連続波レーザ光CWの未照射領域ARが切断線CLに沿って生じている。未照射領域ARは、第2の部分における境界BL側の一部分であり、例えば1mm程度である。 At this time, the spot of the continuous wave laser beam CW is prevented from reaching the boundary BL between the first portion and the second portion. This is because the spot of the continuous wave laser light CW crosses the boundary BL, and when the continuous wave laser light CW having a relatively large output is irradiated to the first portion, a large dross of the metal foil M may occur. Because there is. Therefore, here, the second cut complete region CLA does not reach the boundary BL between the first portion and the second portion. In other words, the unirradiated region AR of the continuous wave laser beam CW is generated along the cutting line CL from the boundary BL between the first portion and the second portion to the second portion side. The unirradiated region AR is a part on the boundary BL side in the second portion, and is, for example, about 1 mm.

このような状態において、図4の(b)に示されるように、パルス波レーザ光PWの照射(スポットの相対移動、スキャン)を行う。すなわち、切断線CLに沿ってパルス波レーザ光PWのスポットを相対移動させ、パルス波レーザ光PWのスポットを第1の部分側から境界BLに到達させる。これにより、帯状電極ZEの第1の部分には、切断線CLに沿って、切断が完了した領域(以下、第1の切断完了領域CLMという)が形成される。 In such a state, as shown in FIG. 4B, irradiation of the pulse wave laser beam PW (relative movement of spots, scanning) is performed. That is, the spot of the pulse wave laser light PW is relatively moved along the cutting line CL, and the spot of the pulse wave laser light PW is made to reach the boundary BL from the first partial side. As a result, in the first portion of the strip-shaped electrode ZE, a region where cutting is completed (hereinafter, referred to as a first cutting completed region CLM) is formed along the cutting line CL.

図5に示されるように、そのまま、パルス波レーザ光PWが未照射領域ARに照射されるように、切断線CLに沿って境界BLを越えてパルス波レーザ光PWのスポットを相対移動させる。そして、パルス波レーザ光PWを未照射領域ARに照射するときには、パルス波レーザ光PWを第1の部分に照射するときに比べて、パルス波レーザ光PWによる帯状電極ZEへの入熱量を大きくする。 As shown in FIG. 5, the spot of the pulse wave laser light PW is relatively moved along the cutting line CL across the boundary BL so that the pulse wave laser light PW is irradiated to the unirradiated region AR as it is. Then, when the pulse wave laser light PW is irradiated to the unirradiated region AR, the amount of heat input to the band-shaped electrode ZE by the pulse wave laser light PW is larger than that when the pulse wave laser light PW is irradiated to the first portion. To do.

帯状電極ZEへの入熱量を大きくするためには、パルス波レーザ光PWの照射条件を制御する。制御の一例として、繰り返し周波数を大きくしたり、例えば3Dスキャナを用いてスポット径を小さくしたり、スポットの相対移動速度を低下させたり、複数回にわたって繰り返し照射したりすることが考えられる。或いは、これらの複数の条件を組み合わせてもよい。このようにすれば、相対的に出力の小さなパルス波レーザ光PWであっても、十分な入熱量により第2の部分を溶融させて切断することが可能である。これにより、第1の切断完了領域CLMと第2の切断完了領域CLAとがつなげられ、切断が完了する。 In order to increase the amount of heat input to the band-shaped electrode ZE, the irradiation conditions of the pulse wave laser beam PW are controlled. As an example of control, it is conceivable to increase the repetition frequency, decrease the spot diameter by using, for example, a 3D scanner, decrease the relative movement speed of the spot, or repeatedly irradiate the spot a plurality of times. Alternatively, these plurality of conditions may be combined. In this way, even a pulse wave laser beam PW having a relatively small output can be cut by melting the second portion with a sufficient amount of heat input. As a result, the first cutting completion region CLM and the second cutting completion region CLA are connected, and the cutting is completed.

なお、切断装置1においては、パルス波レーザ光PWの照射を行った後に、連続波レーザ光CWの照射を行ってもよい。すなわち、まず、切断線CLに沿ってパルス波レーザ光PWのスポットを相対移動させ、パルス波レーザ光PWのスポットを第1の部分側から境界BLに到達させる。続けて、パルス波レーザ光PWが未照射領域ARに照射されるように、切断線CLに沿って境界BLを越えてパルス波レーザ光PWのスポットを相対移動させる。これにより、まず、第1の切断完了領域CLMを形成する。 In the cutting device 1, after irradiating the pulse wave laser beam PW, the continuous wave laser beam CW may be irradiated. That is, first, the spot of the pulse wave laser light PW is relatively moved along the cutting line CL, and the spot of the pulse wave laser light PW is made to reach the boundary BL from the first partial side. Subsequently, the spot of the pulse wave laser light PW is relatively moved along the cutting line CL across the boundary BL so that the pulse wave laser light PW is irradiated to the unirradiated region AR. As a result, first, the first cutting complete region CLM is formed.

その後、連続波レーザ光CWによる第2の切断完了領域CLAが、すでに境界BLを越えて形成されている第1の切断完了領域CLMに接続されるように、連続波レーザ光CWのスポットを切断線CLに沿って相対移動させる。切断装置1の以上の動作は、上述したように、制御装置14の制御によって実現される。 After that, the spot of the continuous wave laser light CW is cut so that the second cut complete region CLA by the continuous wave laser light CW is connected to the first cut complete region CLM already formed beyond the boundary BL. Relative movement is performed along the line CL. As described above, the above operation of the cutting device 1 is realized by the control of the control device 14.

すなわち、切断装置1においては、制御装置14は、第1の部分と第2の部分との境界BLから第2の部分側に連続波レーザ光CWの未照射領域ARが生じるように連続波レーザ光CWのスポットを相対移動させると共に、パルス波レーザ光PWが未照射領域ARに照射されるようにパルス波レーザ光PWのスポットを相対移動させる。特に、制御装置14は、パルス波レーザ光PWを未照射領域ARに照射するときには、パルス波レーザ光PWを第1の部分に照射するときに比べて、パルス波レーザ光PWによる帯状電極ZEへの入熱量が大きくなるようにパルス波レーザ光発振器10を制御する。 That is, in the cutting device 1, the control device 14 uses the continuous wave laser so that the unirradiated region AR of the continuous wave laser light CW is generated from the boundary BL between the first portion and the second portion to the second portion side. The spot of the light CW is relatively moved, and the spot of the pulse wave laser light PW is relatively moved so that the pulse wave laser light PW is irradiated to the unirradiated region AR. In particular, when the control device 14 irradiates the unirradiated region AR with the pulse wave laser light PW, the control device 14 reaches the band-shaped electrode ZE by the pulse wave laser light PW as compared with the case where the pulse wave laser light PW irradiates the first portion. The pulse wave laser optical oscillator 10 is controlled so that the amount of heat input is large.

切断装置1においては、以上の構成によって、第1の部分と第2の部分との境界BLの近傍において金属箔Mのドロスが発生することを抑制しながら、帯状電極ZEの切断を行うことが可能となる。 In the cutting device 1, the strip-shaped electrode ZE can be cut while suppressing the occurrence of dross of the metal foil M in the vicinity of the boundary BL between the first portion and the second portion by the above configuration. It will be possible.

以上の態様について、以下に付記する。 The above aspects will be added below.

(付記1)
レーザ光によってワークを切断する切断装置であって、
パルス波のレーザ光を発振するパルス波レーザ光発振器と、
連続波のレーザ光を発振する連続波レーザ光発振器と、
を備え、
前記ワークの第1の材料からなる第1の部分を前記パルス波のレーザ光で切断し、前記ワークの前記第1の材料とは異なる第2の材料からなる第2の部分を前記連続波のレーザ光で切断する、切断装置。
(Appendix 1)
A cutting device that cuts a workpiece with laser light.
A pulse wave laser optical oscillator that oscillates a pulse wave laser beam,
A continuous wave laser optical oscillator that oscillates a continuous wave laser beam,
With
The first portion of the work made of the first material is cut by the laser beam of the pulse wave, and the second portion of the work made of a second material different from the first material of the continuous wave is cut. A cutting device that cuts with laser light.

(付記2)
前記第1の部分と前記第2の部分との境界から前記第2の部分側に前記連続波のレーザ光の未照射領域が生じるように前記連続波のレーザ光の照射を行うと共に、前記パルス波のレーザ光を前記未照射領域に照射する、
付記1に記載の切断装置。
(Appendix 2)
The continuous wave laser beam is irradiated so that an unirradiated region of the continuous wave laser beam is generated on the side of the second portion from the boundary between the first portion and the second portion, and the pulse is generated. Irradiate the unirradiated area with a wave laser beam.
The cutting device according to Appendix 1.

(付記3)
前記パルス波のレーザ光を前記未照射領域に照射するときには、前記パルス波のレーザ光を前記第1の部分に照射するときに比べて、前記パルス波のレーザ光による前記ワークへの入熱量が大きくなるようにする、
付記2に記載の切断装置。
(Appendix 3)
When the unirradiated region is irradiated with the laser beam of the pulse wave, the amount of heat input to the work by the laser beam of the pulse wave is larger than that when the laser beam of the pulse wave is irradiated to the first portion. Make it bigger,
The cutting device according to Appendix 2.

ワークの複数の部分の切断品質をそれぞれ満たす切断が可能である。 It is possible to cut a plurality of parts of the work to satisfy the cutting quality.

1…切断装置、10…パルス波レーザ光発振器、11…連続波レーザ光発振器、12,13…スキャナ、14…制御装置。 1 ... cutting device, 10 ... pulse wave laser optical oscillator, 11 ... continuous wave laser optical oscillator, 12, 13 ... scanner, 14 ... control device.

Claims (6)

レーザ光によってワークを切断する切断装置であって、
パルス波のレーザ光を発振するパルス波レーザ光発振器と、
連続波のレーザ光を発振する連続波レーザ光発振器と、
を備え、
前記ワークの第1の材料からなる第1の部分を前記パルス波のレーザ光で切断し、前記ワークの前記第1の材料とは異なる第2の材料からなる第2の部分を前記連続波のレーザ光で切断し、
前記第1の部分の厚みは、前記第2の部分の厚みよりも薄く、
前記ワークは、帯状の金属箔の所定の部分に活物質層が形成された帯状電極であり、
前記第1の部分は、前記帯状電極の前記金属箔のみからなる部分であり、
前記第2の部分は、前記帯状電極の前記金属箔に前記活物質層が形成された部分である、
切断装置。
A cutting device that cuts a workpiece with laser light.
A pulse wave laser optical oscillator that oscillates a pulse wave laser beam,
A continuous wave laser optical oscillator that oscillates a continuous wave laser beam,
With
The first portion of the work made of the first material is cut by the laser beam of the pulse wave, and the second portion of the work made of a second material different from the first material of the continuous wave is cut. Cut with laser light ,
The thickness of the first portion is thinner than the thickness of the second portion.
The work is a strip-shaped electrode in which an active material layer is formed on a predetermined portion of a strip-shaped metal foil.
The first portion is a portion of the strip-shaped electrode made of only the metal foil.
The second portion is a portion in which the active material layer is formed on the metal foil of the strip-shaped electrode.
Cutting device.
前記パルス波レーザ光発振器で発振された前記パルス波のレーザ光の照射方向を前記ワークの前記第1の部分における切断箇所に沿うように変化させる第1のスキャナと、
前記連続波レーザ光発振器で発振された前記連続波のレーザ光の照射方向を前記ワークの前記第2の部分における切断箇所に沿うように変化させる第2のスキャナと、
を備える、請求項1に記載の切断装置。
A first scanner that changes the irradiation direction of the laser beam of the pulse wave oscillated by the pulse wave laser optical oscillator along the cut portion in the first portion of the work.
A second scanner that changes the irradiation direction of the continuous wave laser beam oscillated by the continuous wave laser optical oscillator along the cutting portion in the second portion of the work.
The cutting device according to claim 1.
レーザ光によってワークを切断する切断装置であって、
パルス波のレーザ光を発振するパルス波レーザ光発振器と、
連続波のレーザ光を発振する連続波レーザ光発振器と、
前記ワークの第1の材料からなる第1の部分を前記パルス波のレーザ光で切断するように前記パルス波のレーザ光のスポットを相対的に移動させると共に、前記ワークの前記第1の材料とは異なる第2の材料からなる第2の部分を前記連続波のレーザ光で切断するように前記連続波のレーザ光のスポットを相対的に移動させる制御装置と、
を備え、
前記第1の部分の厚みは、前記第2の部分の厚みよりも薄く、
前記ワークは、帯状の金属箔の所定の部分に活物質層が形成された帯状電極であり、
前記第1の部分は、前記帯状電極の前記金属箔のみからなる部分であり、
前記第2の部分は、前記帯状電極の前記金属箔に前記活物質層が形成された部分である、切断装置。
A cutting device that cuts a workpiece with laser light.
A pulse wave laser optical oscillator that oscillates a pulse wave laser beam,
A continuous wave laser optical oscillator that oscillates a continuous wave laser beam,
The spot of the laser beam of the pulse wave is relatively moved so as to cut the first portion made of the first material of the work by the laser beam of the pulse wave, and the spot of the laser beam of the pulse wave is relatively moved with the first material of the work. Is a control device that relatively moves the spot of the continuous wave laser beam so as to cut the second portion made of a different second material by the continuous wave laser beam.
Bei to give a,
The thickness of the first portion is thinner than the thickness of the second portion.
The work is a strip-shaped electrode in which an active material layer is formed on a predetermined portion of a strip-shaped metal foil.
The first portion is a portion of the strip-shaped electrode made of only the metal foil.
The second portion, Ru Oh in the portion where the active material layer is formed on the metal foil of the strip electrodes, the cutting device.
第1のスキャナ及び第2のスキャナを備え、
前記制御装置は、前記第1のスキャナの制御により前記パルス波のレーザ光のスポットを相対移動させると共に、前記第2のスキャナの制御により前記連続波のレーザ光のスポットを相対移動させる、
請求項3に記載の切断装置。
Equipped with a first scanner and a second scanner
The control device relatively moves the spot of the laser beam of the pulse wave under the control of the first scanner, and relatively moves the spot of the laser beam of the continuous wave under the control of the second scanner.
The cutting device according to claim 3 .
前記制御装置は、前記第1の部分と前記第2の部分との境界から前記第2の部分側に前記連続波のレーザ光の未照射領域が生じるように前記連続波のレーザ光のスポットを相対移動させると共に、前記パルス波のレーザ光が前記未照射領域に照射されるように前記パルス波のレーザ光のスポットを相対移動させる、
請求項3又は4に記載の切断装置。
The control device spots the continuous wave laser beam so that an unirradiated region of the continuous wave laser beam is generated on the side of the second portion from the boundary between the first portion and the second portion. Along with the relative movement, the spot of the laser light of the pulse wave is relatively moved so that the laser light of the pulse wave is irradiated to the unirradiated region.
The cutting device according to claim 3 or 4 .
前記制御装置は、前記パルス波のレーザ光を前記未照射領域に照射するときには、前記パルス波のレーザ光を前記第1の部分に照射するときに比べて、前記パルス波のレーザ光による前記ワークへの入熱量が大きくなるように前記パルス波レーザ光発振器を制御する、
請求項5に記載の切断装置。
When the control device irradiates the unirradiated region with the laser beam of the pulse wave, the work by the laser beam of the pulse wave is compared with the case of irradiating the first portion with the laser beam of the pulse wave. The pulse wave laser optical oscillator is controlled so that the amount of heat input to the device is large.
The cutting device according to claim 5 .
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