JP6796133B2 - 波長可変レーザを用いた大面積octシステムと3次元イメージ補正方法 - Google Patents
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- 大面積OCT(Full−Field Optical Coherence Tomography)システムであって、
複数の波数(wave number)に対応する波長を有するレーザビームが基準鏡によって反射して生成された基準光と、前記レーザビームが測定対象物によって反射して生成された反射光との間の干渉によって形成される複数の干渉イメージに基づいて、前記測定対象物の深さ方向の動き及び水平方向の動きを決定及び補償するイメージ処理部を含み、
前記イメージ処理部は、
前記複数の波数のうち各波数領域(wave number domain)に含まれる各波数を選択し、
前記複数の干渉イメージのうち前記選択された各波数に対応する干渉イメージから、前記測定対象物の特定地点に対する干渉強度をそれぞれ取得し、
前記取得された干渉強度に基づいて前記各波数領域に対応する短時間A−lineプロファイルをそれぞれ取得し、
前記短時間A−lineプロファイルのそれぞれから前記各波数領域に対応する各深さ値をそれぞれ取得し、
前記取得された各深さ値の変動に基づいて前記測定対象物の深さ方向の動きを決定し、
前記複数の干渉イメージの中で順次取得された2枚の干渉イメージを選択し、
前記2枚の干渉イメージのうち1枚の干渉イメージを水平移動したイメージと、前記2枚の干渉イメージのうち他の1枚の干渉イメージとの相互相関を計算し、
前記相互相関に基づいて、前記測定対象物の水平方向の動きを決定する、
大面積OCTシステム。 - 前記イメージ処理部は、
予め決定されたサイズのスライディング波数領域ウィンドウ(sliding wave number domain window)を前記複数の干渉イメージに順次適用することによって、前記各波数領域に含まれる前記選択された各波数を選択し、
前記取得された干渉強度に対して前記各波数領域上で短時間フーリエ変換を行い、前記各波数領域に対応する前記短時間A−lineプロファイルをそれぞれ取得する、
請求項1に記載の大面積OCTシステム。 - 前記各深さ値のそれぞれは、前記短時間A−lineプロファイルのそれぞれのピークに対応する各深さ値である、
請求項1に記載の大面積OCTシステム。 - 前記イメージ処理部は、
前記測定対象物の深さ方向の動きに対応する深さ方向の動き関数を生成し、
前記深さ方向の動き関数を積分して前記深さ方向の動きに対応する位相補償関数を生成し、
前記複数の干渉イメージ上の各同一地点での干渉強度を抽出し、
前記位相補償関数に基づいて、前記同一地点のそれぞれに対して前記抽出された干渉強度の波数領域上での分布を示す干渉信号の位相を補償することによって、前記測定対象物の深さ方向の動きを補償する、
請求項1に記載の大面積OCTシステム。 - 前記各波数に対応する前記複数の干渉イメージを生成する干渉計(interferometer)をさらに含み、
前記干渉計は、
波長を可変して前記複数の波数に対応する波長を有する前記レーザビームを放出する波長可変レーザ;
基準鏡;
前記波長可変レーザからの前記レーザビームの一部を通過させて前記測定対象物に向かって照射し、前記レーザビームの他の一部を反射させて前記基準鏡に向かって照射するビームスプリッタ;及び
前記反射光と前記基準光を前記ビームスプリッタから受信して前記複数の干渉イメージを生成する撮像部を含む、
請求項1に記載の大面積OCTシステム。 - 大面積OCTシステムで測定対象物の深さ方向の動き及び水平方向の動きを決定及び補償する方法であって、
複数の波数に対応する波長を有するレーザビームが基準鏡によって反射して生成された基準光と、前記レーザビームが前記測定対象物によって反射して生成された反射光との間の干渉によって形成される複数の干渉イメージをイメージ処理部が受信する段階;
前記複数の波数のうち各波数領域に含まれる各波数を前記イメージ処理部が選択する段階;
前記複数の干渉イメージのうち前記選択された各波数に対応する干渉イメージから、前記測定対象物の特定地点に対する干渉強度を前記イメージ処理部がそれぞれ取得する段階;
前記取得された干渉強度に基づいて前記各波数領域に対応する短時間A−lineプロファイルを前記イメージ処理部がそれぞれ取得する段階;
前記短時間A−lineプロファイルのそれぞれから前記各波数領域に対応する各深さ値を前記イメージ処理部がそれぞれ取得する段階;及び
前記取得された各深さ値の変動に基づいて前記測定対象物の深さ方向の動きを前記イメージ処理部が決定する段階;
前記複数の干渉イメージの中で順次取得された2枚の干渉イメージを前記イメージ処理部が選択する段階;
前記2枚の干渉イメージのうち1枚の干渉イメージを水平移動したイメージと、前記2枚の干渉イメージのうち他の1枚の干渉イメージとの相互相関を前記イメージ処理部が計算する段階;及び
前記相互相関に基づいて、前記測定対象物の水平方向の動きを前記イメージ処理部が決定する段階、
を含む、測定対象物の深さ方向の動き及び水平方向の動きを決定及び補償する方法。 - 前記各波数領域に含まれる各波数を前記イメージ処理部が選択する段階は、
予め決定されたサイズのスライディング波数領域ウィンドウを前記複数の干渉イメージに順次適用することによって、前記各波数領域に含まれる前記選択された各波数を前記イメージ処理部が選択する段階を含み、
前記短時間A−lineプロファイルを前記イメージ処理部がそれぞれ取得する段階は、前記取得された干渉強度に対して前記各波数領域上で短時間フーリエ変換を行い、前記波数領域に対応する前記短時間A−lineプロファイルを前記イメージ処理部がそれぞれ取得する段階を含む、
請求項6に記載の測定対象物の深さ方向の動き及び水平方向の動きを決定及び補償する方法。 - 前記測定対象物の深さ方向の動きに対応する深さ方向の動き関数を前記イメージ処理部が生成する段階;
前記深さ方向の動き関数を積分して前記深さ方向の動きに対応する位相補償関数を前記イメージ処理部が生成する段階;
前記複数の干渉イメージ上の各同一地点での干渉強度をイメージ処理部が抽出する段階;及び
前記位相補償関数に基づいて、前記同一地点のそれぞれに対して前記抽出された干渉強度の波数領域上での分布を示す干渉信号の位相を前記イメージ処理部が補償する段階をさらに含む、
請求項6に記載の測定対象物の深さ方向の動き及び水平方向の動きを決定及び補償する方法。 - 請求項6〜請求項8のいずれか一項による大面積OCTシステムで測定対象物の深さ方向の動き及び水平方向の動きを決定及び補償する方法の各段階を行う命令語を含むプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な格納媒体。
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