JP6791788B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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Description
スタイラス保持手段と、
該スタイラス保持手段に保持された基部から先端部にまで長手軸線の方向に延在し少なくとも一部が光透過材料で形成された可撓性を有するスタイラス軸、及び該スタイラス軸の先端部に配置された接触子、を有するスタイラスと、
該スタイラス軸の該光透過材料の部分に計測光を照射する計測光照射手段であって、該スタイラス軸の該光透過材料の部分を透過する該計測光の光軸が、該長手軸線に直交する平面に対して傾斜して該スタイラス軸を横断するようにされた計測光照射手段と、
該スタイラス軸を透過した計測光を受光する受光部を有し、該受光部内における該計測光の受光位置を検出するようにされた光位置検出手段と、
測定対象物と該スタイラス保持手段とを相対的に移動させて、該スタイラスの該接触子を該測定対象物の所定の測定点に接触させる移動手段と、
を備える、形状測定装置を提供する。
該計測光照射手段が、該計測光の伝搬方向を変える光伝搬方向変更部材を備え、該光伝搬方向変更部材により伝搬方向を変更された計測光の光軸が、該接触子の側から該基部の側に向かう方向で該平面に対して傾斜して該スタイラス軸を横断するようにされ、
該計測光照射手段と該光位置検出手段とが該長手軸線の方向で該スタイラスの該接触子よりも該基部の側に配置されているようにすることができる。
実験装置50;光ファイバ52;レーザ半導体54;コンデンサレンズ56;2分割型フォトダイオード58;精密ステージ60;
レーザ光L、L1、L2;測定対象物W;長手軸線L;光軸C1、C2;平面P;
Claims (5)
- スタイラス保持手段と、
該スタイラス保持手段に保持された基部から先端部にまで長手軸線の方向に延在し少なくとも一部が光透過材料で形成された可撓性を有するスタイラス軸、及び該スタイラス軸の先端部に配置された接触子、を有するスタイラスと、
該スタイラス軸の該光透過材料の部分に計測光を照射する計測光照射手段であって、該スタイラス軸の該光透過材料の部分を透過する該計測光の光軸が、該長手軸線に直交する平面に対して傾斜して該スタイラス軸を横断するようにされた計測光照射手段と、
該スタイラス軸を透過した計測光を受光する受光部を有し、該受光部内における該計測光の受光位置を検出するようにされた光位置検出手段と、
測定対象物と該スタイラス保持手段とを相対的に移動させて、該スタイラスの該接触子を該測定対象物の所定の測定点に接触させる移動手段と、
を備える、形状測定装置。 - 該計測光照射手段が、該計測光の伝搬方向を変える光伝搬方向変更部材を備え、該光伝搬方向変更部材により伝搬方向を変更された計測光の光軸が、該接触子の側から該基部の側に向かう方向で該平面に対して傾斜して該スタイラス軸を横断するようにされ、
該計測光照射手段と該光位置検出手段とが該長手軸線の方向で該スタイラスの該接触子よりも該基部の側に配置されている、請求項1に記載の形状測定装置。 - 該計測光が可視光であり、該光伝搬方向変更部材が該計測光を反射するプリズムである、請求項2に記載の形状測定装置。
- 該スタイラス軸が円柱状である、請求項1乃至3の何れか一項に記載の形状測定装置。
- 該スタイラス軸が光ファイバである、請求項1乃至4の何れか一項に記載の形状測定装置。
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