JP6789773B2

JP6789773B2 - Ultraviolet irradiation equipment and processing equipment

Info

Publication number: JP6789773B2
Application number: JP2016223471A
Authority: JP
Inventors: 聡子石黒
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-11-16
Filing date: 2016-11-16
Publication date: 2020-11-25
Anticipated expiration: 2036-11-16
Also published as: JP2018082049A

Description

本発明は、紫外線照射装置及び加工装置に関する。 The present invention relates to an ultraviolet irradiation device and a processing device.

紫外線硬化型の粘着材を備えるいわゆるＵＶ（ultraviolet）硬化タイプのダイシングテープが半導体ウエーハの搬送などに広く使用されている。ＵＶ硬化タイプのダイシングテープには、板状物を強い力で粘着させ、紫外線を照射することで粘着材が硬化して粘着力が低下する特徴があり、ダイシングの工程で広く利用されており、それに伴い紫外線照射装置や紫外線照射装置を搭載した切削装置も開発されてきた（特許文献１及び特許文献２参照）。 A so-called UV (ultraviolet) curing type dicing tape provided with an ultraviolet curable adhesive material is widely used for transporting semiconductor wafers and the like. The UV curable type dicing tape has the characteristic that the plate-like material is adhered with a strong force and the adhesive material is cured by irradiating with ultraviolet rays to reduce the adhesive strength, and it is widely used in the dicing process. Along with this, an ultraviolet irradiation device and a cutting device equipped with an ultraviolet irradiation device have also been developed (see Patent Document 1 and Patent Document 2).

ダイシングテープに紫外線を照射する際、環状フレームには強い力で貼着されたまま板状物だけを剥離容易にしたい場合や、ダイシング前に、板状物と環状フレームとの間の領域だけ粘着力を下げておき、加工屑が付着しない用にする、被加工物のデバイス面に紫外線を照射してデバイス面に残存した保護テープの糊層（有機物）を除去し撥水性を下げるため（特許文献３参照）など、所望の領域のみに紫外線を照射したい場合がある。その場合、紫外線を透過する領域と遮蔽する領域とが形成された板状のマスクを介して、ダイシングテープに紫外線を照射する。また、マスクを用いることなく、所望の領域のみに紫外線を照射するためにＵＶ−ＬＥＤ（Light Emitting Diode）を選択的に点灯する紫外線照射装置が開発された（特許文献４参照）。 When irradiating the dicing tape with ultraviolet rays, if you want to easily peel off only the plate-like material while it is still attached to the annular frame with a strong force, or before dicing, stick only the area between the plate-like material and the annular frame. To prevent the work debris from adhering by lowering the force, to irradiate the device surface of the work piece with ultraviolet rays to remove the glue layer (organic matter) of the protective tape remaining on the device surface and reduce the water repellency (patent) In some cases, such as (see Reference 3), it is desired to irradiate only a desired region with ultraviolet rays. In that case, the dicing tape is irradiated with ultraviolet rays through a plate-shaped mask in which a region for transmitting ultraviolet rays and a region for blocking ultraviolet rays are formed. Further, an ultraviolet irradiation device has been developed in which a UV-LED (Light Emitting Diode) is selectively lit in order to irradiate only a desired region with ultraviolet rays without using a mask (see Patent Document 4).

特開２０１０−２１９３５８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-219358 特開２０１４−１５４６４２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-154642 特開２０１５−７６５４５号公報JP 2015-76545 特開２００７−３２９３００号公報JP-A-2007-329300

板状のマスクを用いると、マスクを設置するためのスペースが必要となるとともに、紫外線を照射する領域及び照射しない領域を変更する際に、マスクの交換などのセッティングを行う必要がある。また、特許文献４に示された選択的に点灯されるＵＶ−ＬＥＤを備える紫外線照射装置は、紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することは難しかった。 When a plate-shaped mask is used, a space for installing the mask is required, and when changing the area to be irradiated with ultraviolet rays and the area not to be irradiated with ultraviolet rays, it is necessary to perform settings such as replacement of the mask. Further, in the ultraviolet irradiation device including the UV-LED that is selectively turned on as shown in Patent Document 4, it is difficult to divide the region to be irradiated with ultraviolet rays from the region not to be irradiated with ultraviolet rays.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することができる紫外線照射装置及び加工装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an ultraviolet irradiation device and a processing device capable of partitioning a region irradiated with ultraviolet rays and a region not irradiated with ultraviolet rays.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の紫外線照射装置は、外周縁が環状フレームに装着された紫外線硬化型の粘着テープに板状物が貼着されたフレームユニットに紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、該紫外線照射ユニットを収容するハウジングと、該ハウジングに出し入れされる該フレームユニットを案内する一対のガイドレールと、該紫外線の透過を許容する透過領域と該紫外線を遮蔽する遮蔽領域とを有し該フレームユニットと該紫外線照射ユニットとの間で紫外線が照射される領域を限定するマスクユニットと、を備える紫外線照射装置であって、該マスクユニットは、該透過領域と該遮蔽領域を有するシート状マスクと、該シート状マスクを巻回する巻き取り部と、該巻き取り部に一端側から巻き取られた該シート状マスクの他端に固定され、該ハウジングに挿入される該環状フレームの先端と係合する係合部と、を有し、該フレームユニットが該ハウジングに挿入される搬入口近傍に該巻き取り部が設置され、該フレームユニットの該ハウジングへの進退に伴って、該フレームユニットの該紫外線照射ユニットに対面する側で該シート状マスクが伸縮することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the ultraviolet irradiation device of the present invention has an ultraviolet ray on a frame unit in which a plate-like object is attached to an ultraviolet curable adhesive tape whose outer peripheral edge is attached to an annular frame. The ultraviolet irradiation unit that irradiates the ultraviolet rays, the housing that houses the ultraviolet irradiation unit, a pair of guide rails that guide the frame unit that is taken in and out of the housing, the transmission region that allows the transmission of the ultraviolet rays, and the ultraviolet rays that are shielded. An ultraviolet irradiation device including a mask unit having a shielding region and limiting the region to be irradiated with ultraviolet rays between the frame unit and the ultraviolet irradiation unit, wherein the mask unit is a transmission region. It is fixed to a sheet-shaped mask having the shielding region, a winding portion around which the sheet-shaped mask is wound, and the other end of the sheet-shaped mask wound from one end side by the winding portion, and inserted into the housing. It has an engaging portion that engages with the tip of the annular frame, and the take-up portion is installed near the carry-in entrance where the frame unit is inserted into the housing, and the frame unit is placed on the housing. The sheet-shaped mask expands and contracts on the side of the frame unit facing the ultraviolet irradiation unit as it advances and retreats.

該紫外線照射ユニットは、該フレームユニットの進退方向と交差する方向に整列する複数の紫外線発光ダイオードであり、該搬入口近傍に設置されても良い。 The ultraviolet irradiation unit is a plurality of ultraviolet light emitting diodes aligned in a direction intersecting the advancing / retreating direction of the frame unit, and may be installed in the vicinity of the carry-in entrance.

本発明の加工装置は、外周縁が環状フレームに装着された紫外線硬化型の粘着テープに板状物が貼着されたフレームユニットを収容するカセットを載置するカセット載置領域と、該カセット載置領域に載置された該カセットに収容された該フレームユニットを搬出入する搬送ユニットと、該搬送ユニットで搬出された該フレームユニットの板状物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、前記紫外線照射装置が所定位置に設置されていることを特徴とする。 The processing apparatus of the present invention has a cassette mounting area for mounting a cassette accommodating a frame unit having a plate-like material attached to an ultraviolet curable adhesive tape whose outer peripheral edge is attached to an annular frame, and mounting the cassette. A processing device including a transport unit for carrying in and out the frame unit housed in the cassette placed in the placement area, and a processing unit for processing a plate-shaped object of the frame unit carried out by the transport unit. It is characterized in that the ultraviolet irradiation device is installed at a predetermined position.

そこで、本願発明の紫外線照射装置は、紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することができるという効果を奏する。 Therefore, the ultraviolet irradiation device of the present invention has the effect of being able to partition a region that is irradiated with ultraviolet rays and a region that is not irradiated with ultraviolet rays.

図１は、実施形態１に係る紫外線照射装置を備える加工装置である切削装置の構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a cutting device which is a processing device including the ultraviolet irradiation device according to the first embodiment. 図２は、実施形態１に係る切削装置の紫外線照射装置を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an ultraviolet irradiation device of the cutting device according to the first embodiment. 図３は、実施形態１に係る紫外線照射装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a configuration example of the ultraviolet irradiation device according to the first embodiment. 図４は、図３に示された紫外線照射装置の要部を拡大して示す斜視図である。FIG. 4 is an enlarged perspective view showing a main part of the ultraviolet irradiation device shown in FIG. 図５は、図３に示された紫外線照射装置のハウジングにフレームユニットを挿入する状態を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a state in which the frame unit is inserted into the housing of the ultraviolet irradiation device shown in FIG. 図６は、図３に示された紫外線照射装置のハウジングにフレームユニットを収容した状態を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a state in which the frame unit is housed in the housing of the ultraviolet irradiation device shown in FIG. 図７は、図３に示された紫外線照射装置のシート状マスクを示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a sheet-shaped mask of the ultraviolet irradiation device shown in FIG. 図８は、図１に示された切削装置のカセット内からフレームユニットを取り出す状態を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state in which the frame unit is taken out from the cassette of the cutting apparatus shown in FIG. 図９は、図１に示された切削装置の紫外線照射装置のハウジング内にフレームユニットを挿入する状態を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a state in which the frame unit is inserted into the housing of the ultraviolet irradiation device of the cutting device shown in FIG. 図１０は、実施形態２に係る紫外線照射装置を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing the ultraviolet irradiation device according to the second embodiment. 図１１は、図１０に示された紫外線照射装置の第２マスクユニットのシート状マスクを示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a sheet-shaped mask of the second mask unit of the ultraviolet irradiation device shown in FIG.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 An embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Further, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
図１は、実施形態１に係る紫外線照射装置を備える加工装置である切削装置の構成例を示す図である。図２は、実施形態１に係る切削装置の紫外線照射装置を示す断面図である。 [Embodiment 1]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a cutting device which is a processing device including the ultraviolet irradiation device according to the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view showing an ultraviolet irradiation device of the cutting device according to the first embodiment.

実施形態１に係る加工装置である切削装置１は、板状物Ｗを保持したチャックテーブル１０と切削ブレード２１を有する加工ユニットである切削ユニット２０とを相対移動させることで、板状物Ｗを加工である切削するものである。実施形態１において、板状物Ｗは、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。板状物Ｗは、図１に示すように、表面ＷＳに形成された複数のデバイスＤが複数のストリートによって格子状に区画されている。 The cutting device 1 which is the processing device according to the first embodiment moves the plate-shaped object W relative to the chuck table 10 holding the plate-shaped object W and the cutting unit 20 which is the processing unit having the cutting blade 21. It is a process of cutting. In the first embodiment, the plate-shaped object W is a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer whose base material is silicon, sapphire, gallium, or the like. As shown in FIG. 1, in the plate-shaped object W, a plurality of devices D formed on the surface WS are partitioned in a grid pattern by a plurality of streets.

板状物Ｗは、図１に示すように、フレームユニットＦＵを構成する。フレームユニットＦＵは、外周縁が環状フレームＦに装着された紫外線硬化型の粘着テープＴに板状物ＷのデバイスＤが複数形成されている表面ＷＳの反対側の裏面ＷＲが貼着されている。粘着テープＴは、紫外線を透過する図示しない樹脂層と、紫外線が照射されることにより硬化して粘着力が低下する図示しない粘着層とを備える。また、本発明で用いられる板状物Ｗは、半導体ウエーハや光デバイスウエーハに限ることなく、ガラス、樹脂などからなる板状部材であっても良い。 As shown in FIG. 1, the plate-shaped object W constitutes a frame unit FU. The frame unit FU has a back surface WR on the opposite side of the front surface WS on which a plurality of devices D of plate-like objects W are formed on an ultraviolet curable adhesive tape T whose outer peripheral edge is attached to an annular frame F. .. The adhesive tape T includes a resin layer (not shown) that transmits ultraviolet rays, and an adhesive layer (not shown) that is cured by irradiation with ultraviolet rays to reduce the adhesive strength. Further, the plate-shaped material W used in the present invention is not limited to the semiconductor wafer and the optical device wafer, and may be a plate-shaped member made of glass, resin, or the like.

切削装置１は、図１に示すように、フレームユニットＦＵを収容するカセット３０を載置するカセット載置領域ＰＲと、搬送ユニット４０と、フレームユニットＦＵの板状物Ｗを保持面１０ａで吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗを切削する切削ユニット２０と、切削ユニット２０により切削された板状物Ｗを洗浄する洗浄装置５０と、紫外線照射装置６０と、制御装置１００とを備える。 As shown in FIG. 1, the cutting device 1 sucks the cassette mounting area PR for mounting the cassette 30 accommodating the frame unit FU, the transport unit 40, and the plate-shaped object W of the frame unit FU on the holding surface 10a. The chuck table 10 to be held, the cutting unit 20 for cutting the plate-shaped object W held by the chuck table 10, the cleaning device 50 for cleaning the plate-shaped object W cut by the cutting unit 20, and the ultraviolet irradiation device 60. , The control device 100 is provided.

カセット３０は、フレームユニットＦＵを複数枚収容するものである。カセット３０は、複数枚のフレームユニットＦＵを鉛直方向と平行なＺ軸方向に間隔をあけて重ねる。カセット３０は、フレームユニットＦＵを出し入れ自在とする開口３１を備える。カセット３０は、切削装置１の装置本体２にＺ軸方向に昇降自在に設けられたカセット載置領域ＰＲ上に設置されて、Ｚ軸方向に昇降自在に設けられている。 The cassette 30 accommodates a plurality of frame unit FUs. The cassette 30 stacks a plurality of frame units FU at intervals in the Z-axis direction parallel to the vertical direction. The cassette 30 includes an opening 31 that allows the frame unit FU to be taken in and out freely. The cassette 30 is installed on the cassette mounting area PR provided on the apparatus main body 2 of the cutting device 1 so as to be able to move up and down in the Z-axis direction, and is provided so as to be able to move up and down in the Z-axis direction.

搬送ユニット４０は、カセット載置領域ＰＲに載置されたカセット３０に収容されたフレームユニットＦＵを搬出入するものである。搬送ユニット４０は、切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵをカセット３０から１枚取り出すとともに切削後の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵをカセット３０内に挿入する搬出入手段４１と、切削前後の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを一時的に載置する一対のレール４２と、搬送手段４３と、第２搬送手段４４とを備える。搬送手段４３は、切削前の板状物Ｗを備えかつ一対のレール４２上のフレームユニットＦＵをチャックテーブル１０に搬送し、洗浄装置５０により洗浄された切削後の板状物Ｗを備えたフレームユニットＦＵを一対のレール４２上に搬送する。第２搬送手段４４は、切削後の板状物Ｗを備えかつチャックテーブル１０上のフレームユニットＦＵを洗浄装置５０に搬送する。 The transport unit 40 carries in and out the frame unit FU housed in the cassette 30 placed in the cassette mounting area PR. The transport unit 40 includes a loading / unloading means 41 for taking out one frame unit FU including the plate-shaped object W before cutting from the cassette 30 and inserting the frame unit FU having the plate-shaped object W after cutting into the cassette 30. It is provided with a pair of rails 42 on which a frame unit FU having a plate-shaped object W before and after cutting is temporarily placed, a transport means 43, and a second transport means 44. The transport means 43 includes a plate-shaped object W before cutting, conveys the frame unit FU on the pair of rails 42 to the chuck table 10, and has the plate-shaped object W after cutting that has been cleaned by the cleaning device 50. The unit FU is conveyed on the pair of rails 42. The second transport means 44 includes the plate-shaped object W after cutting and transports the frame unit FU on the chuck table 10 to the cleaning device 50.

また、切削装置１は、チャックテーブル１０を水平方向及び装置本体２の長手方向と平行なＸ軸方向に加工送りする図示しないＸ軸移動手段と、切削ユニット２０を水平方向及び装置本体２の短手方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする図示しないＹ軸移動手段と、切削ユニット２０をＺ軸方向に切り込み送りする図示しないＺ軸移動手段とを備える。 Further, the cutting device 1 includes an X-axis moving means (not shown) that processes and feeds the chuck table 10 in the horizontal direction and the X-axis direction parallel to the longitudinal direction of the device main body 2, and a short cutting unit 20 in the horizontal direction and the device main body 2. A Y-axis moving means (not shown) that is parallel to the hand direction and orthogonal to the X-axis direction and feed is provided, and a Z-axis moving means (not shown) that cuts and feeds the cutting unit 20 in the Z-axis direction.

Ｘ軸移動手段、Ｙ軸移動手段及びＺ軸移動手段は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のパルスモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。 The X-axis moving means, the Y-axis moving means, and the Z-axis moving means include a well-known ball screw rotatably provided around the axis, a well-known pulse motor and a chuck table 10 for rotating the ball screw around the axis, or cutting. A well-known guide rail that movably supports the unit 20 in the X-axis direction, the Y-axis direction, or the Z-axis direction is provided.

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、板状物Ｗを保持する保持面１０ａがポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動手段により移動自在で回転駆動源により回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、フレームユニットＦＵの板状物Ｗを吸引、保持する。 The chuck table 10 has a disk shape, and the holding surface 10a for holding the plate-shaped object W is formed of porous ceramic or the like. Further, the chuck table 10 is provided so as to be movable by the X-axis moving means and rotatably by the rotation drive source. The chuck table 10 is connected to a vacuum suction source (not shown) and is sucked by the vacuum suction source to suck and hold the plate-shaped object W of the frame unit FU.

切削ユニット２０は、搬送ユニット４０で搬出されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗを切削するものである。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗを切削する切削ブレード２１を装着する図示しないスピンドルを備える。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗに対して、Ｙ軸移動手段によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動手段によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動手段及びＺ軸移動手段により、チャックテーブル１０の保持面１０ａの任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。 The cutting unit 20 cuts the plate-shaped object W of the frame unit FU carried out by the transport unit 40. The cutting unit 20 includes a spindle (not shown) equipped with a cutting blade 21 for cutting the plate-shaped object W held on the chuck table 10. The cutting unit 20 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by the Y-axis moving means and movably provided in the Z-axis direction by the Z-axis moving means with respect to the plate-shaped object W held by the chuck table 10. Has been done. The cutting unit 20 can position the cutting blade 21 at an arbitrary position on the holding surface 10a of the chuck table 10 by the Y-axis moving means and the Z-axis moving means.

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドルは、切削ブレード２１を回転させることで板状物Ｗを切削する。スピンドルは、スピンドルハウジング内に収容されている。切削ユニット２０のスピンドル及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。 The cutting blade 21 is an ultra-thin cutting grindstone having a substantially ring shape. The spindle cuts the plate-shaped object W by rotating the cutting blade 21. The spindle is housed in a spindle housing. The axes of the spindle of the cutting unit 20 and the cutting blade 21 are set parallel to the Y-axis direction.

また、切削装置１は、チャックテーブル１０に保持された切削前の板状物Ｗの表面ＷＳを撮像する撮像手段７０を備える。撮像手段７０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の板状物Ｗの分割すべき領域を撮像するＣＣＤカメラを備えている。ＣＣＤカメラは、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗを撮像して、板状物Ｗと切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御装置１００に出力する。 Further, the cutting device 1 includes an imaging means 70 that images the surface WS of the plate-shaped object W before cutting held on the chuck table 10. The imaging means 70 includes a CCD camera that captures a region to be divided of the plate-shaped object W before cutting held on the chuck table 10. The CCD camera takes an image of the plate-shaped object W held on the chuck table 10 to obtain an image for performing alignment for aligning the plate-shaped object W and the cutting blade 21, and obtains the obtained image as a control device. Output to 100.

洗浄装置５０は、板状物Ｗを回転させながら洗浄水を板状物Ｗに向けて噴射することで、板状物Ｗの表面ＷＳを洗浄する、所謂、スピンナ洗浄装置である。 The cleaning device 50 is a so-called spinner cleaning device that cleans the surface WS of the plate-shaped object W by injecting cleaning water toward the plate-shaped object W while rotating the plate-shaped object W.

紫外線照射装置６０は、図１に示すように、装置本体２の所定位置に設置されている。紫外線照射装置６０は、図２に示すように、装置本体２内に設けられた昇降機構３により支持されて、Ｚ軸方向に昇降自在に設けられている。昇降機構３は、図２に示すように、軸心回りに回転自在に設けられた周知のねじ軸３ａと、ねじ軸３ａを軸心回りに回転させる周知のパルスモータ３ｂと、ねじ軸３ａに螺合するナット部３ｃを備える支持部３ｄとを備える。ねじ軸３ａは、Ｚ軸方向と平行に配置される。支持部３ｄは、紫外線照射装置６０が載置されて、紫外線照射装置６０を支持する。実施形態１において、紫外線照射装置６０は、昇降機構３の所定位置である支持部３ｄ上に設置されている。 As shown in FIG. 1, the ultraviolet irradiation device 60 is installed at a predetermined position of the device main body 2. As shown in FIG. 2, the ultraviolet irradiation device 60 is supported by an elevating mechanism 3 provided in the device main body 2 and is provided so as to be able to move up and down in the Z-axis direction. As shown in FIG. 2, the elevating mechanism 3 includes a well-known screw shaft 3a rotatably provided around the axis, a well-known pulse motor 3b that rotates the screw shaft 3a around the shaft center, and a screw shaft 3a. A support portion 3d including a nut portion 3c to be screwed is provided. The screw shaft 3a is arranged parallel to the Z-axis direction. An ultraviolet irradiation device 60 is placed on the support portion 3d to support the ultraviolet irradiation device 60. In the first embodiment, the ultraviolet irradiation device 60 is installed on the support portion 3d, which is a predetermined position of the elevating mechanism 3.

次に、実施形態１に係る紫外線照射装置６０を図面を参照しつつ詳細に説明する。図３は、実施形態１に係る紫外線照射装置の構成例を示す斜視図である。図４は、図３に示された紫外線照射装置の要部を拡大して示す斜視図である。図５は、図３に示された紫外線照射装置のハウジングにフレームユニットを挿入する状態を示す平面図である。図６は、図３に示された紫外線照射装置のハウジングにフレームユニットを収容した状態を示す平面図である。図７は、図３に示された紫外線照射装置のシート状マスクを示す斜視図である。 Next, the ultraviolet irradiation device 60 according to the first embodiment will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 3 is a perspective view showing a configuration example of the ultraviolet irradiation device according to the first embodiment. FIG. 4 is an enlarged perspective view showing a main part of the ultraviolet irradiation device shown in FIG. FIG. 5 is a plan view showing a state in which the frame unit is inserted into the housing of the ultraviolet irradiation device shown in FIG. FIG. 6 is a plan view showing a state in which the frame unit is housed in the housing of the ultraviolet irradiation device shown in FIG. FIG. 7 is a perspective view showing a sheet-shaped mask of the ultraviolet irradiation device shown in FIG.

紫外線照射装置６０は、フレームユニットＦＵの粘着テープＴの一部分に紫外線を照射して、粘着テープＴの一部分の粘着力を低下させるものである。実施形態１において、紫外線照射装置６０は、切削後のフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗを貼着した部分に紫外線を照射して、切削後の板状物Ｗを粘着テープＴから剥がし易くするものである。 The ultraviolet irradiation device 60 irradiates a part of the adhesive tape T of the frame unit FU with ultraviolet rays to reduce the adhesive strength of the part of the adhesive tape T. In the first embodiment, the ultraviolet irradiation device 60 irradiates the portion of the frame unit FU after cutting to which the plate-shaped object W of the adhesive tape T is attached with ultraviolet rays, and the plate-shaped object W after cutting is removed from the adhesive tape T. It makes it easy to peel off.

紫外線照射装置６０は、図２及び図３に示すように、扁平な箱状のハウジング６１と、紫外線照射ユニット６２と、一対のガイドレール６３と、マスクユニット６４とを備える。ハウジング６１は、昇降機構３の支持部３ｄに支持されている。ハウジング６１は、紫外線照射ユニット６２と、一対のガイドレール６３と、マスクユニット６４とを収容する。ハウジング６１は、搬送ユニット４０の一対のレール４２と対向する搬入口６１ａを備え、搬入口６１ａを通してＹ軸方向に沿って搬出入手段４１によりフレームユニットＦＵが出し入れされる。 As shown in FIGS. 2 and 3, the ultraviolet irradiation device 60 includes a flat box-shaped housing 61, an ultraviolet irradiation unit 62, a pair of guide rails 63, and a mask unit 64. The housing 61 is supported by the support portion 3d of the elevating mechanism 3. The housing 61 accommodates the ultraviolet irradiation unit 62, the pair of guide rails 63, and the mask unit 64. The housing 61 includes a carry-in inlet 61a facing the pair of rails 42 of the transport unit 40, and the frame unit FU is taken in and out by the carry-in / out means 41 along the Y-axis direction through the carry-in inlet 61a.

紫外線照射ユニット６２は、搬出入手段４１によりハウジング６１に出し入れされるフレームユニットＦＵの粘着テープＴ側から紫外線を照射するものである。紫外線照射ユニット６２は、図３及び図４に示すように、ハウジング６１の搬入口６１ａの隣りに配置され、かつ、図２に示すように、ハウジング６１に出し入れされるフレームユニットＦＵの下方に配置されている。紫外線照射ユニット６２は、図５に示すように、複数の紫外線発光ダイオードであるＵＶ（ultraviolet）−ＬＥＤ（Light Emitting Diode）６２ａである。ＵＶ−ＬＥＤ６２ａは、紫外線を照射するものである。紫外線照射ユニット６２は、複数のＵＶ−ＬＥＤ６２ａをハウジング６１にフレームユニットＦＵが出し入れされるＹ軸方向（フレームユニットＦＵの進退方向に相当する）と交差（実施形態では、直交）するＸ軸方向に並べている。このように、紫外線照射ユニット６２は、ハウジング６１に対するフレームユニットＦＵの進退方向と交差するＸ軸方向に整列する複数のＵＶ−ＬＥＤ６２ａであり、ハウジング６１の搬入口６１ａ近傍に設置されているとともに、Ｘ軸方向と平行な直線状に形成されている。 The ultraviolet irradiation unit 62 irradiates ultraviolet rays from the adhesive tape T side of the frame unit FU that is taken in and out of the housing 61 by the carry-in / out means 41. The ultraviolet irradiation unit 62 is arranged next to the carry-in inlet 61a of the housing 61 as shown in FIGS. 3 and 4, and is arranged below the frame unit FU which is taken in and out of the housing 61 as shown in FIG. Has been done. As shown in FIG. 5, the ultraviolet irradiation unit 62 is a UV (ultraviolet) -LED (Light Emitting Diode) 62a which is a plurality of ultraviolet light emitting diodes. The UV-LED 62a irradiates ultraviolet rays. The ultraviolet irradiation unit 62 has a plurality of UV-LEDs 62a in the X-axis direction intersecting (corresponding to the advancing / retreating direction of the frame unit FU) in which the frame unit FU is taken in and out of the housing 61 (orthogonal in the embodiment). They are lined up. As described above, the ultraviolet irradiation unit 62 is a plurality of UV-LEDs 62a aligned in the X-axis direction intersecting the advancing / retreating direction of the frame unit FU with respect to the housing 61, and is installed in the vicinity of the carry-in inlet 61a of the housing 61. It is formed in a straight line parallel to the X-axis direction.

一対のガイドレール６３は、ハウジング６１に出し入れされるフレームユニットＦＵを案内するものである。一対のガイドレール６３は、図５及び図６に示すように、ハウジング６１にフレームユニットＦＵが出し入れされるＹ軸方向（フレームユニットＦＵの進退方向に相当する）と交差（実施形態では、直交）するＸ軸方向に対向するハウジング６１の内壁面６１ｂに設置されている。また、一対のガイドレール６３は、ハウジング６１にフレームユニットＦＵが出し入れされるＹ軸方向（フレームユニットＦＵの進退方向に相当する）と平行な直線状に形成されている。一対のガイドレール６３は、互いに対向する表面にフレームユニットＦＵの環状フレームＦの外縁部が挿入されて、フレームユニットＦＵが出し入れされる方向をＹ軸方向と平行にするガイド溝６３ａが設けられている。ガイド溝６３ａは、Ｙ軸方向と平行に形成されている。 The pair of guide rails 63 guide the frame unit FU that is taken in and out of the housing 61. As shown in FIGS. 5 and 6, the pair of guide rails 63 intersect with the Y-axis direction (corresponding to the advancing / retreating direction of the frame unit FU) in which the frame unit FU is taken in and out of the housing 61 (orthogonal in the embodiment). It is installed on the inner wall surface 61b of the housing 61 facing the X-axis direction. Further, the pair of guide rails 63 are formed in a straight line parallel to the Y-axis direction (corresponding to the advancing / retreating direction of the frame unit FU) in which the frame unit FU is taken in and out of the housing 61. The pair of guide rails 63 are provided with guide grooves 63a in which the outer edge portion of the annular frame F of the frame unit FU is inserted into the surfaces facing each other so that the direction in which the frame unit FU is taken in and out is parallel to the Y-axis direction. There is. The guide groove 63a is formed parallel to the Y-axis direction.

マスクユニット６４は、図７に示すように、紫外線の透過を許容する透過領域６５ａと、紫外線を遮蔽する遮蔽領域６５ｂとを有し、フレームユニットＦＵと紫外線照射ユニット６２との間で紫外線が粘着テープＴに照射される領域を限定するものである。マスクユニット６４は、ハウジング６１に出し入れされるフレームユニットＦＵと、紫外線照射ユニット６２との間に配置されている。マスクユニット６４は、図３及び図４に示すように、シート状マスク６５と、巻き取り部６６と、係合部６７とを有する。 As shown in FIG. 7, the mask unit 64 has a transmission region 65a that allows transmission of ultraviolet rays and a shielding region 65b that shields ultraviolet rays, and ultraviolet rays adhere between the frame unit FU and the ultraviolet irradiation unit 62. The area to be irradiated on the tape T is limited. The mask unit 64 is arranged between the frame unit FU that is taken in and out of the housing 61 and the ultraviolet irradiation unit 62. As shown in FIGS. 3 and 4, the mask unit 64 has a sheet-shaped mask 65, a winding portion 66, and an engaging portion 67.

シート状マスク６５は、紫外線を透過し且つ可撓性を有する合成樹脂により構成されて、シート状に形成されている。シート状マスク６５は、図７に示すように、紫外線の透過を許容する透過領域６５ａと、紫外線を遮蔽する遮蔽領域６５ｂとを有する。透過領域６５ａは、紫外線を透過する合成樹脂のみにより構成されている。実施形態１において、透過領域６５ａは、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗと同等な平面形状に形成されている。透過領域６５ａは、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗに貼着された部分に紫外線照射ユニット６２からの紫外線が照射されることを許容する。実施形態１において、透過領域６５ａは、粘着テープＴの板状物Ｗに貼着された部分の粘着力が低下することを許容する。 The sheet-shaped mask 65 is made of a synthetic resin that transmits ultraviolet rays and has flexibility, and is formed in a sheet shape. As shown in FIG. 7, the sheet-shaped mask 65 has a transmission region 65a that allows transmission of ultraviolet rays and a shielding region 65b that shields ultraviolet rays. The transmission region 65a is composed only of a synthetic resin that transmits ultraviolet rays. In the first embodiment, the transmission region 65a is formed in a planar shape equivalent to the plate-shaped object W of the frame unit FU housed in the housing 61 arranged on the sheet-shaped mask 65. In the transmission region 65a, the portion of the adhesive tape T of the frame unit FU housed in the housing 61 arranged on the sheet mask 65 attached to the plate-shaped object W is irradiated with ultraviolet rays from the ultraviolet irradiation unit 62. Allow that. In the first embodiment, the transmission region 65a allows the adhesive strength of the portion of the adhesive tape T attached to the plate-like object W to decrease.

遮蔽領域６５ｂは、紫外線を透過する合成樹脂の表面に紫外線を遮蔽する塗料等が塗布されて構成される。なお、遮蔽領域６５ｂを構成する塗料が、金属などを含む場合には、アースに接続されることが望ましい。遮蔽領域６５ｂがアースに接続されることにより、シート状マスク６５が発生する静電気に板状物ＷのデバイスＤが帯電することを抑制することができる。シート状マスク６５が金属のシートで形成されていても良く、その場合もアース接続により静電気を抑制できる。さらには、後述するばね部（ぜんまいばね）６６ｂから延在した金属のシートでシート状マスク６５を構成しても良い。実施形態１において、遮蔽領域６５ｂは、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗ以外と同等な平面形状に形成されている。遮蔽領域６５ｂは、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗに貼着された部分以外に紫外線照射ユニット６２からの紫外線が照射されることを規制する。実施形態１において、遮蔽領域６５ｂは、粘着テープＴの環状フレームＦに貼着された部分の粘着力が低下することを規制する。 The shielding region 65b is formed by applying a paint or the like that shields ultraviolet rays on the surface of a synthetic resin that transmits ultraviolet rays. When the paint constituting the shielding region 65b contains metal or the like, it is desirable that the paint be connected to the ground. By connecting the shielding region 65b to the ground, it is possible to prevent the device D of the plate-shaped object W from being charged by the static electricity generated by the sheet-shaped mask 65. The sheet-shaped mask 65 may be formed of a metal sheet, and even in this case, static electricity can be suppressed by grounding. Further, the sheet-shaped mask 65 may be formed of a metal sheet extending from the spring portion (spring) 66b described later. In the first embodiment, the shielding region 65b is formed in a planar shape equivalent to that of the frame unit FU housed in the housing 61 arranged on the sheet-shaped mask 65 other than the plate-shaped object W. The shielding region 65b is irradiated with ultraviolet rays from the ultraviolet irradiation unit 62 in addition to the portion attached to the plate-shaped object W of the adhesive tape T of the frame unit FU housed in the housing 61 arranged on the sheet-shaped mask 65. Regulate what is done. In the first embodiment, the shielding region 65b regulates that the adhesive strength of the portion of the adhesive tape T attached to the annular frame F is reduced.

巻き取り部６６は、シート状マスク６５を巻回するものである。巻き取り部６６は、フレームユニットＦＵがハウジング６１に挿入される搬入口６１ａ近傍に設置されている。巻き取り部６６は、円柱状に形成され、かつシート状マスク６５の一端が取り付けられているとともに、軸心回りに回転自在に設けられた巻き取り軸部材６６ａと、巻き取り軸部材６６ａがシート状マスク６５を巻き取る方向に巻き取り軸部材６６ａを付勢する図４に示すばね部６６ｂとを備える。 The take-up portion 66 winds the sheet-shaped mask 65. The take-up portion 66 is installed near the carry-in inlet 61a into which the frame unit FU is inserted into the housing 61. The take-up portion 66 is formed in a columnar shape, and one end of the sheet-shaped mask 65 is attached to the take-up shaft member 66a, and the take-up shaft member 66a rotatably provided around the axis and the take-up shaft member 66a are sheets. It includes a spring portion 66b shown in FIG. 4 that urges the take-up shaft member 66a in the direction in which the shape mask 65 is taken up.

巻き取り軸部材６６ａは、Ｘ軸方向と平行に配置され、かつ両端が回転支持部材６６ｃにより軸心回りに回転自在に支持されている。ばね部６６ｂは、巻き取り軸部材６６ａの一端に設けられ、巻き取り軸部材６６ａとハウジング６１とに取り付けられた図示しないぜんまいばねを備える。ぜんまいばねは、巻き取り軸部材６６ａをシート状マスク６５を巻き取る方向に付勢する。 The take-up shaft member 66a is arranged parallel to the X-axis direction, and both ends are rotatably supported around the axis by the rotation support member 66c. The spring portion 66b is provided at one end of the take-up shaft member 66a, and includes a mainspring spring (not shown) attached to the take-up shaft member 66a and the housing 61. The mainspring spring urges the take-up shaft member 66a in the direction of taking up the sheet-shaped mask 65.

係合部６７は、巻き取り部６６に一端側から巻き取られたシート状マスク６５の他端に固定され、ハウジング６１に挿入される環状フレームＦの先端と係合する。係合部６７は、シート状マスク６５の他端にＸ軸方向の全長に亘って設けられ、側方からみて中央に屈曲部６７ａが形成されたく字状に形成されている。係合部６７の屈曲部６７ａは、搬入口６１ａに近付くにしたがって徐々にＺ軸方向の幅が大きくなるように、屈曲している。係合部６７は、搬入口６１ａを通してハウジング６１内に挿入される環状フレームＦの先端が屈曲部６７ａに当接して、環状フレームＦの先端が係合する。係合部６７は、ハウジング６１外に搬出される環状フレームＦが屈曲部６７ａから離れて、環状フレームＦの先端の係合が解除される。 The engaging portion 67 is fixed to the other end of the sheet-shaped mask 65 wound from one end side by the winding portion 66, and engages with the tip of the annular frame F inserted into the housing 61. The engaging portion 67 is provided at the other end of the sheet-shaped mask 65 over the entire length in the X-axis direction, and is formed in a dogleg shape with a bent portion 67a formed in the center when viewed from the side. The bent portion 67a of the engaging portion 67 is bent so that the width in the Z-axis direction gradually increases as it approaches the carry-in inlet 61a. In the engaging portion 67, the tip of the annular frame F inserted into the housing 61 through the carry-in inlet 61a abuts on the bent portion 67a, and the tip of the annular frame F engages. In the engaging portion 67, the annular frame F carried out of the housing 61 is separated from the bent portion 67a, and the tip of the annular frame F is disengaged.

前述した構成の紫外線照射装置６０は、ハウジング６１内にフレームユニットＦＵを収容する前では、図３の破線、図４及び図５に示すように、シート状マスク６５が巻き取り軸部材６６ａに巻き取られているとともに、係合部６７が搬入口６１ａの近傍に位置する。搬出入手段４１によりフレームユニットＦＵが搬入口６１ａを通してハウジング６１内に挿入されると、図３の破線、図４及び図５に示すように、フレームユニットＦＵの先端が係合部６７に係合する。紫外線照射装置６０は、搬出入手段４１にフレームユニットＦＵがハウジング６１の奥に挿入されるのにしたがって、ばね部６６ｂのぜんまいばねの付勢力に抗して、巻き取り軸部材６６ａがシート状マスク６５を送り出す方向に回転する。 In the ultraviolet irradiation device 60 having the above-described configuration, before the frame unit FU is housed in the housing 61, the sheet-shaped mask 65 is wound around the take-up shaft member 66a as shown by the broken line in FIG. 3, FIGS. 4 and 5. At the same time, the engaging portion 67 is located in the vicinity of the carry-in inlet 61a. When the frame unit FU is inserted into the housing 61 through the carry-in inlet 61a by the carry-in / out means 41, the tip of the frame unit FU engages with the engaging portion 67 as shown by the broken line in FIG. 3, FIG. 4 and FIG. To do. In the ultraviolet irradiation device 60, as the frame unit FU is inserted into the back of the housing 61 by the loading / unloading means 41, the take-up shaft member 66a is a sheet-like mask against the urging force of the mainspring of the spring portion 66b. It rotates in the direction of sending out 65.

そして、紫外線照射装置６０は、ハウジング６１内にフレームユニットＦＵを収容すると、図３の実線及び図６に示すように、係合部６７がハウジング６１の奥に位置して、シート状マスク６５の透過領域６５ａがフレームユニットＦＵの板状物Ｗに重なり、遮蔽領域６５ｂがフレームユニットＦＵの環状フレームＦに重なる。こうして、紫外線照射装置６０は、フレームユニットＦＵのハウジング６１への進退である出し入れに伴って、フレームユニットＦＵの紫外線照射ユニット６２に対面する側でシート状マスク６５が図５に示す位置と図６に示す位置とに亘って伸縮する。 Then, when the frame unit FU is housed in the housing 61, the ultraviolet irradiation device 60 has the engaging portion 67 located at the back of the housing 61 as shown by the solid line in FIG. 3 and FIG. The transmission region 65a overlaps the plate-like object W of the frame unit FU, and the shielding region 65b overlaps the annular frame F of the frame unit FU. In this way, the ultraviolet irradiation device 60 moves in and out of the housing 61 of the frame unit FU, and the sheet-shaped mask 65 is located on the side of the frame unit FU facing the ultraviolet irradiation unit 62 and the position shown in FIG. It expands and contracts over the position shown in.

また、実施形態１において、紫外線照射装置６０の上には、図２に示すように、カセット３０が載置される。実施形態１において、紫外線照射装置６０の上面は、カセット３０を載置するカセット載置領域ＰＲである。 Further, in the first embodiment, the cassette 30 is placed on the ultraviolet irradiation device 60 as shown in FIG. In the first embodiment, the upper surface of the ultraviolet irradiation device 60 is a cassette mounting area PR on which the cassette 30 is mounted.

制御装置１００は、上述した構成要素をそれぞれ制御して、板状物Ｗに対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御装置１００は、コンピュータシステムを含む。制御装置１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御装置１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。また、制御装置１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力手段と接続されている。入力手段は、表示手段に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。 The control device 100 controls each of the above-mentioned components to cause the cutting device 1 to perform a machining operation on the plate-shaped object W. The control device 100 includes a computer system. The control device 100 includes an arithmetic processing device having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage device having a memory such as a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory), and an input / output interface device. And have. The arithmetic processing unit of the control device 100 executes arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and outputs a control signal for controlling the cutting apparatus 1 to the above-described cutting apparatus 1 via the input / output interface apparatus. Output to the specified components. Further, the control device 100 is connected to a display means (not shown) composed of a liquid crystal display device for displaying a processing operation state, an image, or the like, or an input means used by an operator when registering processing content information or the like. .. The input means is composed of at least one of a touch panel provided on the display means, a keyboard and the like.

次に、実施形態１に係る切削装置１の加工動作について図面を参照して説明する。図８は、図１に示された切削装置のカセット内からフレームユニットを取り出す状態を示す断面図である。図９は、図１に示された切削装置の紫外線照射装置のハウジング内にフレームユニットを挿入する状態を示す断面図である。 Next, the machining operation of the cutting apparatus 1 according to the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state in which the frame unit is taken out from the cassette of the cutting apparatus shown in FIG. FIG. 9 is a cross-sectional view showing a state in which the frame unit is inserted into the housing of the ultraviolet irradiation device of the cutting device shown in FIG.

加工動作では、オペレータが加工内容情報を制御装置１００に登録し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に、切削装置１が加工動作を開始する。まず、オペレータが切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵをカセット３０内に収容し、開口３１が搬出入手段４１に対向する向きでカセット３０をカセット載置領域ＰＲに載置して、オペレータから加工動作の開始指示が入力される。加工動作の開始指示が入力されると、制御装置１００は、図８に示すように、昇降機構３を制御してカセット３０から取り出すフレームユニットＦＵを搬出入手段４１と同一平面上に位置付けて、搬出入手段４１にカセット３０から切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを一枚取り出させて、一対のレール４２上に載置させる。制御装置１００は、搬送手段４３に一対のレール４２上のフレームユニットＦＵをチャックテーブル１０に搬送させ、搬出入手段４１が取り出したフレームユニットＦＵの板状物Ｗをチャックテーブル１０の保持面１０ａに吸引保持させる。 In the machining operation, the operator registers the machining content information in the control device 100, and when the operator gives an instruction to start the machining operation, the cutting device 1 starts the machining operation. First, the operator accommodates the frame unit FU including the plate-shaped object W before cutting in the cassette 30, and places the cassette 30 in the cassette mounting area PR with the opening 31 facing the loading / unloading means 41. An instruction to start a machining operation is input from the operator. When the start instruction of the machining operation is input, the control device 100 positions the frame unit FU that controls the elevating mechanism 3 and takes out from the cassette 30 on the same plane as the loading / unloading means 41, as shown in FIG. The loading / unloading means 41 takes out one frame unit FU including the plate-shaped object W before cutting from the cassette 30 and mounts it on the pair of rails 42. The control device 100 conveys the frame unit FU on the pair of rails 42 to the chuck table 10 by the conveying means 43, and transfers the plate-shaped object W of the frame unit FU taken out by the carrying-in / out means 41 to the holding surface 10a of the chuck table 10. Hold by suction.

次に、制御装置１００は、Ｘ軸移動手段によりチャックテーブル１０を切削ユニット２０の下方に向かって移動して、撮像手段７０の下方にチャックテーブル１０に保持されたフレームユニットＦＵを位置付け、撮像手段７０にフレームユニットＦＵの板状物Ｗを撮像させる。制御装置１００が、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗのストリートと、切削ユニット２０の切削ブレード２１との位置合わせを行なうためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗと切削ユニット２０との相対位置を調整する。 Next, the control device 100 moves the chuck table 10 toward the lower side of the cutting unit 20 by the X-axis moving means, positions the frame unit FU held by the chuck table 10 below the image pickup means 70, and causes the image pickup means. The plate-shaped object W of the frame unit FU is imaged by 70. The control device 100 executes image processing such as pattern matching for aligning the street of the plate-shaped object W held on the chuck table 10 with the cutting blade 21 of the cutting unit 20, and holds the plate-shaped object W on the chuck table 10. The relative position between the plate-shaped object W and the cutting unit 20 is adjusted.

そして、制御装置１００は、加工内容情報に基づいて、Ｘ軸移動手段とＹ軸移動手段とＺ軸移動手段と回転駆動源により、切削ブレード２１と板状物Ｗとをストリートに沿って相対的に移動させて、切削ブレード２１によりストリートを切削する。 Then, the control device 100 relatives the cutting blade 21 and the plate-shaped object W along the street by the X-axis moving means, the Y-axis moving means, the Z-axis moving means, and the rotation drive source based on the machining content information. The street is cut by the cutting blade 21.

制御装置１００は、すべてのストリートを切削して、板状物Ｗを個々のデバイスＤに分割すると、チャックテーブル１０を切削ユニット２０の下方から退避させた後、チャックテーブル１０の吸引保持を解除する。そして、制御装置１００は、第２搬送手段４４にチャックテーブル１０上のフレームユニットＦＵを洗浄装置５０に搬送させ、洗浄装置５０にフレームユニットＦＵを洗浄させた後、搬送手段４３に洗浄済みのフレームユニットＦＵを一対のレール４２上に搬送させる。 When the control device 100 cuts all the streets and divides the plate-shaped object W into individual devices D, the chuck table 10 is retracted from below the cutting unit 20 and then the suction holding of the chuck table 10 is released. .. Then, the control device 100 causes the second transport means 44 to transport the frame unit FU on the chuck table 10 to the cleaning device 50, causes the cleaning device 50 to clean the frame unit FU, and then causes the transport means 43 to clean the frame. The unit FU is conveyed on the pair of rails 42.

制御装置１００は、昇降機構３を制御して紫外線照射装置６０のハウジング６１の搬入口６１ａを搬出入手段４１と同一平面上に位置付けて、紫外線照射装置６０の紫外線照射ユニット６２のＵＶ−ＬＥＤ６２ａを点灯させて、図９に示すように、搬出入手段４１に一対のレール４２上のフレームユニットＦＵをハウジング６１内に所定の速度で挿入させる。すると、フレームユニットＦＵの環状フレームＦが係合部６７に係合し、フレームユニットＦＵの環状フレームＦが一対のガイドレール６３のガイド溝６３ａに案内されて、フレームユニットＦＵがハウジング６１の奥に挿入される。このとき、フレームユニットＦＵの侵入とともに、シート状マスク６５が巻き取り軸部材６６ａから送り出されて、透過領域６５ａが板状物Ｗに重なり、遮蔽領域６５ｂが環状フレームＦに重なる。そして、紫外線照射ユニット６２のＵＶ−ＬＥＤ６２ａからの紫外線が粘着テープＴの板状物Ｗが貼着された部分に照射される。 The control device 100 controls the elevating mechanism 3 to position the carry-in inlet 61a of the housing 61 of the ultraviolet irradiation device 60 on the same plane as the carry-in / out means 41, and sets the UV-LED 62a of the ultraviolet irradiation unit 62 of the ultraviolet irradiation device 60. When the light is turned on, as shown in FIG. 9, the loading / unloading means 41 inserts the frame unit FU on the pair of rails 42 into the housing 61 at a predetermined speed. Then, the annular frame F of the frame unit FU engages with the engaging portion 67, the annular frame F of the frame unit FU is guided by the guide grooves 63a of the pair of guide rails 63, and the frame unit FU is placed in the back of the housing 61. Will be inserted. At this time, with the intrusion of the frame unit FU, the sheet-shaped mask 65 is sent out from the take-up shaft member 66a, the transmission region 65a overlaps the plate-shaped object W, and the shielding region 65b overlaps the annular frame F. Then, the ultraviolet rays from the UV-LED 62a of the ultraviolet irradiation unit 62 are irradiated to the portion to which the plate-shaped object W of the adhesive tape T is attached.

制御装置１００は、フレームユニットＦＵをハウジング６１内に収容して、予め設定された時間紫外線が照射されると、搬出入手段４１にフレームユニットＦＵをハウジング６１外に所定の速度で搬出させ、一対のレール４２上に載置させるとともに、紫外線照射ユニット６２のＵＶ−ＬＥＤ６２ａを消灯させる。制御装置１００は、昇降機構３を制御してカセット３０の取り出したフレームユニットＦＵを収容していた箇所を搬出入手段４１と同一平面上に位置付けて、搬出入手段４１にカセット３０内に切削後の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを収容させる。制御装置１００は、切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを再度、チャックテーブル１０上に載置し、前述の工程を繰り返して、板状物Ｗを個々のデバイスＤに分割する。 The control device 100 accommodates the frame unit FU in the housing 61, and when it is irradiated with ultraviolet rays for a preset time, the control device 100 causes the carry-in / out means 41 to carry out the frame unit FU out of the housing 61 at a predetermined speed, and a pair. The UV-LED 62a of the ultraviolet irradiation unit 62 is turned off while being placed on the rail 42 of the above. The control device 100 controls the elevating mechanism 3 to position the portion accommodating the frame unit FU taken out from the cassette 30 on the same plane as the loading / unloading means 41, and after cutting into the cassette 30 by the loading / unloading means 41. The frame unit FU including the plate-shaped object W of the above is accommodated. The control device 100 places the frame unit FU including the plate-shaped object W before cutting on the chuck table 10 again, repeats the above-mentioned steps, and divides the plate-shaped object W into individual devices D.

以上のように、実施形態１に係る紫外線照射装置６０によれば、紫外線照射ユニット６２をＸ軸方向と平行な直線状に形成しても、シート状マスク６５に透過領域６５ａと遮蔽領域６５ｂとを形成しているので、フレームユニットＦＵの紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することができる。 As described above, according to the ultraviolet irradiation device 60 according to the first embodiment, even if the ultraviolet irradiation unit 62 is formed in a linear shape parallel to the X-axis direction, the sheet-shaped mask 65 has a transmission region 65a and a shielding region 65b. Therefore, the region of the frame unit FU that is irradiated with ultraviolet rays and the region that is not irradiated with ultraviolet rays can be partitioned.

また、紫外線照射装置６０は、透過領域６５ａと遮蔽領域６５ｂとを有するシート状マスク６５を巻き取り部６６に巻回してハウジング６１内に収容しているので、シート状マスク６５の設置に必要なスペースを抑制することができる。また、紫外線照射装置６０は、シート状マスク６５の他端にフレームユニットＦＵの環状フレームＦに係合する係合部６７を設けているので、ハウジング６１内にフレームユニットＦＵを挿入することにより、シート状マスク６５を巻き取り部６６から送り出させて、シート状マスク６５を紫外線照射ユニット６２とフレームユニットＦＵとの間に位置付けることができる。また、紫外線照射装置６０は、ハウジング６１内にフレームユニットＦＵが挿入される際に、巻き取り部６６から順に送り出されるシート状マスク６５の透過領域６５ａが紫外線が粘着テープＴに照射されることを許容し、遮蔽領域６５ｂが紫外線が粘着テープＴに照射されることを規制する。その結果、紫外線照射装置６０は、紫外線が照射される領域を限定するシート状マスク６５の設置にかかるスペースを抑制しながらも、フレームユニットＦＵの紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを確実に区画することができる。 Further, since the ultraviolet irradiation device 60 winds the sheet-shaped mask 65 having the transmission region 65a and the shielding region 65b around the winding portion 66 and accommodates it in the housing 61, it is necessary to install the sheet-shaped mask 65. Space can be suppressed. Further, since the ultraviolet irradiation device 60 is provided with an engaging portion 67 that engages with the annular frame F of the frame unit FU at the other end of the sheet-shaped mask 65, the frame unit FU can be inserted into the housing 61. The sheet-shaped mask 65 can be sent out from the winding unit 66 to position the sheet-shaped mask 65 between the ultraviolet irradiation unit 62 and the frame unit FU. Further, in the ultraviolet irradiation device 60, when the frame unit FU is inserted into the housing 61, the adhesive tape T is irradiated with ultraviolet rays in the transmission region 65a of the sheet-shaped mask 65, which is sequentially sent out from the winding portion 66. Allows and restricts the shielding region 65b from irradiating the adhesive tape T with ultraviolet light. As a result, the ultraviolet irradiation device 60 has a region that irradiates the ultraviolet rays of the frame unit FU and a region that does not irradiate the ultraviolet rays, while suppressing the space required for installing the sheet-shaped mask 65 that limits the region to be irradiated with the ultraviolet rays. Can be reliably partitioned.

また、紫外線照射装置６０は、巻き取り部６６の巻き取り軸部材６６ａがばね部６６ｂによりシート状マスク６５を巻き取る方向に付勢されているので、ハウジング６１の外にフレームユニットＦＵを搬出するのにしたがって、巻き取り軸部材６６ａにシート状マスク６５が巻き取られることとなる。その結果、紫外線照射装置６０は、未使用時のシート状マスク６５の設置にかかるスペースを抑制することができる。また、紫外線照射装置６０は、ばね部６６ｂにより巻き取る方向に付勢された巻き取り軸部材６６ａに巻回されたシート状マスク６５の他端にフレームユニットＦＵの環状フレームＦに係合する係合部６７を設けているので、ハウジング６１への挿入時に移動するフレームユニットＦＵに１列のＵＶ−ＬＥＤ６２ａから紫外線を照射することで、駆動部を別途設けることなくフレームユニットＦＵ全体に紫外線を照射でき、効率的な構成を実現できるという効果もある。 Further, in the ultraviolet irradiation device 60, since the take-up shaft member 66a of the take-up portion 66 is urged by the spring portion 66b in the direction of winding the sheet-shaped mask 65, the frame unit FU is carried out of the housing 61. The sheet-shaped mask 65 is wound around the winding shaft member 66a according to the above. As a result, the ultraviolet irradiation device 60 can reduce the space required for installing the sheet-shaped mask 65 when not in use. Further, the ultraviolet irradiation device 60 engages with the annular frame F of the frame unit FU at the other end of the sheet-shaped mask 65 wound around the winding shaft member 66a urged in the winding direction by the spring portion 66b. Since the joint portion 67 is provided, the frame unit FU that moves when inserted into the housing 61 is irradiated with ultraviolet rays from a row of UV-LEDs 62a, so that the entire frame unit FU is irradiated with ultraviolet rays without separately providing a drive unit. It also has the effect of realizing an efficient configuration.

実施形態１に係る加工装置である切削装置１は、紫外線照射装置６０を備えているので、紫外線が照射される領域を限定するシート状マスク６５の設置にかかるスペースを抑制しながらも、フレームユニットＦＵの紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを確実に区画することができる。 Since the cutting device 1 which is the processing device according to the first embodiment includes the ultraviolet irradiation device 60, the frame unit can be suppressed while suppressing the space required for installing the sheet-shaped mask 65 which limits the area to be irradiated with the ultraviolet rays. The region of the FU irradiated with ultraviolet rays and the region not irradiated with ultraviolet rays can be reliably separated.

〔実施形態２〕
実施形態２に係る紫外線照射装置６０を図面を参照して説明する。図１０は、実施形態２に係る紫外線照射装置を示す断面図である。図１１は、図１０に示された紫外線照射装置の第２マスクユニットのシート状マスクを示す斜視図である。なお、図１０及び図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
The ultraviolet irradiation device 60 according to the second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a cross-sectional view showing the ultraviolet irradiation device according to the second embodiment. FIG. 11 is a perspective view showing a sheet-shaped mask of the second mask unit of the ultraviolet irradiation device shown in FIG. In FIGS. 10 and 11, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２は、図１０に示すように、マスクユニット６４に加えて第２マスクユニット６４−２を備え、かつ、ガイドレール６３に加えて第２ガイドレール６３−２を備え、ハウジング６１が、搬入口６１ａに加えて第２搬入口６１ａ−２を備える。第２ガイドレール６３−２は、ガイドレール６３と同じ構成であり、第２搬入口６１ａ−２は、搬入口６１ａと同じ構成である。第２搬入口６１ａ−２は、搬入口６１ａとＺ軸方向に重ねられ、第２ガイドレール６３−２は、ガイドレール６３とＺ軸方向に重ねられ、第２マスクユニット６４−２は、マスクユニット６４とＺ軸方向に重なる位置に配置されている。 As shown in FIG. 10, the ultraviolet irradiation device 60-2 according to the second embodiment includes a second mask unit 64-2 in addition to the mask unit 64, and has a second guide rail 63-in addition to the guide rail 63. The housing 61 includes a second carry-in port 61a-2 in addition to the carry-in port 61a. The second guide rail 63-2 has the same configuration as the guide rail 63, and the second carry-in inlet 61a-2 has the same configuration as the carry-in inlet 61a. The second carry-in inlet 61a-2 is overlapped with the carry-in inlet 61a in the Z-axis direction, the second guide rail 63-2 is overlapped with the guide rail 63 in the Z-axis direction, and the second mask unit 64-2 is a mask. It is arranged at a position where it overlaps with the unit 64 in the Z-axis direction.

第２マスクユニット６４−２は、図１１に示すシート状マスク６５−２を除いて、マスクユニット６４と同じ構成である。実施形態２の紫外線照射装置６０−２は、マスクユニット６４，６４−２を二つ備えるが、本発明では、マスクユニット６４，６４−２を三つ以上備えて、三つ以上のマスクユニット６４，６４−２をＺ軸方向に重ねても良い。 The second mask unit 64-2 has the same configuration as the mask unit 64 except for the sheet-shaped mask 65-2 shown in FIG. The ultraviolet irradiation device 60-2 of the second embodiment includes two mask units 64 and 64-2, but in the present invention, the ultraviolet irradiation device 60-2 includes three or more mask units 64-2 and three or more mask units 64. , 64-2 may be overlapped in the Z-axis direction.

第２マスクユニット６４−２のシート状マスク６５−２は、図１１に示すように、透過領域６５ａ−２がシート状マスク６５−２上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗと環状フレームＦとの間と同等な平面形状（リンク形状）に形成されている。透過領域６５ａ−２は、シート状マスク６５−２上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間の部分に紫外線照射ユニット６２からの紫外線が照射されることを許容する。 As shown in FIG. 11, the sheet-shaped mask 65-2 of the second mask unit 64-2 is a frame unit FU housed in a housing 61 in which the transmission region 65a-2 is arranged on the sheet-shaped mask 65-2. It is formed in a plane shape (link shape) equivalent to that between the plate-shaped object W and the annular frame F. The transmission region 65a-2 is an ultraviolet irradiation unit in a portion between the plate-like object W and the annular frame F of the adhesive tape T of the frame unit FU housed in the housing 61 arranged on the sheet-shaped mask 65-2. Allows irradiation of ultraviolet rays from 62.

実施形態２において、遮蔽領域６５ｂ−２は、シート状マスク６５−２上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗと環状フレームＦとの間以外と同等な平面形状に形成されている。遮蔽領域６５ｂ−２は、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間以外に紫外線照射ユニット６２からの紫外線が照射されることを規制する。実施形態２において、遮蔽領域６５ｂ−２は、粘着テープＴの環状フレームＦに貼着された部分の粘着力が低下することを規制する。 In the second embodiment, the shielding region 65b-2 is a flat surface equivalent to that between the plate-shaped object W of the frame unit FU and the annular frame F housed in the housing 61 arranged on the sheet-shaped mask 65-2. It is formed in a shape. The shielding region 65b-2 is provided from the ultraviolet irradiation unit 62 other than between the plate-shaped object W of the adhesive tape T of the frame unit FU housed in the housing 61 arranged on the sheet-shaped mask 65 and the annular frame F. Regulate the irradiation of ultraviolet rays. In the second embodiment, the shielding region 65b-2 regulates that the adhesive strength of the portion of the adhesive tape T attached to the annular frame F is reduced.

実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２を備える切削装置１の制御装置１００は、カセット３０から取り出した切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを第２搬入口６１ａ−２を通してハウジング６１内に挿入して、紫外線照射ユニット６２のＵＶ−ＬＥＤ６２ａを点灯させて、フレームユニットＦＵの環状フレームＦを第２マスクユニット６４−２の係合部６７に係合させる。実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２を備える切削装置１の制御装置１００は、カセット３０から取り出した切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間に紫外線を照射する。実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２を備える切削装置１の制御装置１００は、切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間に紫外線を照射して、切削の際に生じる加工屑が粘着テープＴに貼着されることを規制する。実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２を備える切削装置１の制御装置１００は、切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間に紫外線を照射した後は、実施形態１と同様に板状物Ｗを切削する。 The control device 100 of the cutting device 1 including the ultraviolet irradiation device 60-2 according to the second embodiment passes the frame unit FU including the plate-shaped object W before cutting taken out from the cassette 30 through the second carry-in port 61a-2 into the housing 61. The UV-LED 62a of the ultraviolet irradiation unit 62 is turned on, and the annular frame F of the frame unit FU is engaged with the engaging portion 67 of the second mask unit 64-2. The control device 100 of the cutting device 1 including the ultraviolet irradiation device 60-2 according to the second embodiment is annular with the plate-shaped object W of the adhesive tape T of the frame unit FU including the plate-shaped object W before cutting taken out from the cassette 30. Ultraviolet rays are irradiated between the frame F and the frame F. The control device 100 of the cutting device 1 including the ultraviolet irradiation device 60-2 according to the second embodiment is between the plate-shaped object W of the adhesive tape T of the frame unit FU including the plate-shaped object W before cutting and the annular frame F. Is irradiated with ultraviolet rays to regulate that the processing chips generated during cutting are attached to the adhesive tape T. The control device 100 of the cutting device 1 including the ultraviolet irradiation device 60-2 according to the second embodiment is between the plate-shaped object W of the adhesive tape T of the frame unit FU including the plate-shaped object W before cutting and the annular frame F. After irradiating the plate with ultraviolet rays, the plate-shaped object W is cut in the same manner as in the first embodiment.

実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２は、透過領域６５ａ，６５ａ−２と遮蔽領域６５ｂ，６５ｂ−２とを有するシート状マスク６５，６５−２を巻き取り部６６に巻回してハウジング６１内に収容しているので、実施形態１と同様に、紫外線が照射される領域を限定するシート状マスク６５，６５−２の設置にかかるスペースを抑制しながらも、フレームユニットＦＵの紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを確実に区画することができる。 In the ultraviolet irradiation device 60-2 according to the second embodiment, the sheet-shaped masks 65 and 65-2 having the transmission regions 65a and 65a-2 and the shielding regions 65b and 65b-2 are wound around the winding portion 66 to form the housing 61. Since it is housed inside, the frame unit FU is irradiated with ultraviolet rays while suppressing the space required for installing the sheet-shaped masks 65 and 65-2 that limit the area to be irradiated with ultraviolet rays, as in the first embodiment. It is possible to reliably partition the area to be subjected to and the area not to be irradiated with ultraviolet rays.

また、実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２は、複数のマスクユニット６４，６４−２をＺ軸方向に重ねているので、複数のシート状マスク６５，６５−２を設けても設置にかかるスペースが大きくなることを抑制できる。また、実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２は、複数のマスクユニット６４，６４−２をＺ軸方向に重ねているので、所望のマスクユニット６４，６４−２にフレームユニットＦＵを挿入することで、任意のシート状マスク６５，６５−２を選択でき、使用するシート状マスク６５，６５−２を変更する度に、シート状マスク６５，６５−２のセッティングを変更する必要が無いという効果を奏する。 Further, in the ultraviolet irradiation device 60-2 according to the second embodiment, since a plurality of mask units 64 and 64-2 are overlapped in the Z-axis direction, even if a plurality of sheet-shaped masks 65 and 65-2 are provided, the installation can be performed. It is possible to prevent the space from becoming large. Further, since the ultraviolet irradiation device 60-2 according to the second embodiment has a plurality of mask units 64,64-2 overlapped in the Z-axis direction, the frame unit FU is inserted into the desired mask units 64,64-2. Therefore, any sheet-shaped masks 65 and 65-2 can be selected, and it is not necessary to change the settings of the sheet-shaped masks 65 and 65-2 each time the sheet-shaped masks 65 and 65-2 to be used are changed. It works.

実施形態１及び実施形態２において、加工ユニットとして、切削ユニット２０を示しているが、これに限定されずに、加工ユニットが、レーザ加工装置のレーザ光線照射ユニット、研削装置の研削ユニット又は研磨装置の研磨ユニットでも良い。即ち、実施形態１及び実施形態２において、紫外線照射装置６０，６０−２は、加工装置である切削装置１を構成するものを示しているが、本発明の紫外線照射装置６０，６０−２は、加工装置としてのレーザ加工装置、研削装置及び研磨装置を構成しても良い。また、本発明の紫外線照射装置６０は、加工装置を構成することなく、単独で用いられても良い。ほかに、本発明は、紫外線照射ユニット６２がマスクユニット６４，６４−２を挟んでフレームユニットＦＵと対向する位置に位置づけられて、紫外線照射ユニット６２が上下に設置されて対面する位置に配置されても良い。この場合、板状物Ｗの表面ＷＳにも紫外線を照射でき、板状物Ｗの表面ＷＳ上の有機物を除去することができる。 In the first and second embodiments, the cutting unit 20 is shown as the processing unit, but the processing unit is not limited to this, and the processing unit is a laser beam irradiation unit of a laser processing device, a grinding unit of a grinding device, or a polishing device. The polishing unit may be used. That is, in the first embodiment and the second embodiment, the ultraviolet irradiation devices 60 and 60-2 show those constituting the cutting device 1 which is a processing device, but the ultraviolet irradiation devices 60 and 60-2 of the present invention. , A laser processing device as a processing device, a grinding device, and a polishing device may be configured. Further, the ultraviolet irradiation device 60 of the present invention may be used alone without forming a processing device. In addition, in the present invention, the ultraviolet irradiation unit 62 is positioned at a position facing the frame unit FU with the mask units 64 and 64-2 interposed therebetween, and the ultraviolet irradiation unit 62 is arranged vertically and facing each other. You may. In this case, the surface WS of the plate-shaped object W can also be irradiated with ultraviolet rays, and the organic matter on the surface WS of the plate-shaped object W can be removed.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, it can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention.

１切削装置（加工装置）
２０切削ユニット（加工ユニット）
３０カセット
４０搬送ユニット
６０紫外線照射装置
６１ハウジング
６１ａ搬入口
６１ａ−２第２搬入口（搬入口）
６２紫外線照射ユニット
６２ａＵＶ−ＬＥＤ（紫外線発光ダイオード）
６３ガイドレール
６３−２第２ガイドレール（ガイドレール）
６４マスクユニット
６４−２第２マスクユニット（マスクユニット）
６５，６５−２シート状マスク
６５ａ，６５ａ−２透過領域
６５ｂ，６５ｂ−２遮蔽領域
６６巻き取り部
６７係合部
ＰＲカセット載置領域
Ｆ環状フレーム
ＦＵフレームユニット
Ｔ粘着テープ
Ｗ板状物 1 Cutting equipment (processing equipment)
20 Cutting unit (machining unit)
30 Cassette 40 Conveyance unit 60 Ultraviolet irradiation device 61 Housing 61a Carry-in port 61a-2 Second carry-in port (carry-in port)
62 Ultraviolet irradiation unit 62a UV-LED (ultraviolet light emitting diode)
63 Guide rail 63-2 2nd guide rail (guide rail)
64 Mask unit 64-2 Second mask unit (mask unit)
65, 65-2 Sheet mask 65a, 65a-2 Permeation area 65b, 65b-2 Shielding area 66 Winding part 67 Engagement part PR Cassette mounting area F Circular frame FU Frame unit T Adhesive tape W Plate-like material

Claims

An ultraviolet irradiation unit that irradiates a frame unit having a plate-like material attached to an ultraviolet curable adhesive tape whose outer peripheral edge is attached to an annular frame, a housing that houses the ultraviolet irradiation unit, and putting in and out of the housing. It has a pair of guide rails that guide the frame unit, a transmission region that allows the transmission of the ultraviolet rays, and a shielding region that shields the ultraviolet rays, and the ultraviolet rays are irradiated between the frame unit and the ultraviolet irradiation unit. An ultraviolet irradiation device including a mask unit that limits the area to be covered.
The mask unit is
A sheet-like mask having the transmission region and the shielding region,
A winding part for winding the sheet-shaped mask and
The winding portion has an engaging portion fixed to the other end of the sheet-shaped mask wound from one end side and engaged with the tip of the annular frame inserted into the housing.
The take-up portion is installed near the carry-in entrance where the frame unit is inserted into the housing.
An ultraviolet irradiation device characterized in that the sheet-shaped mask expands and contracts on the side of the frame unit facing the ultraviolet irradiation unit as the frame unit advances and retreats to the housing.

The ultraviolet irradiation device according to claim 1, wherein the ultraviolet irradiation unit is a plurality of ultraviolet light emitting diodes aligned in a direction intersecting the advancing / retreating direction of the frame unit, and is installed in the vicinity of the carry-in entrance. ..

A cassette mounting area for accommodating a frame unit having a plate-like material attached to an ultraviolet curable adhesive tape whose outer peripheral edge is attached to an annular frame, and a cassette mounting area placed in the cassette mounting area. A processing device including a transport unit for carrying in and out the frame unit housed in the cassette, and a processing unit for processing a plate-shaped object of the frame unit carried out by the transport unit.
A processing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the ultraviolet irradiation apparatus according to claim 2 is installed at a predetermined position.