JP6774034B2 - イオン源、イオンビーム照射装置 - Google Patents
イオン源、イオンビーム照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6774034B2 JP6774034B2 JP2018055760A JP2018055760A JP6774034B2 JP 6774034 B2 JP6774034 B2 JP 6774034B2 JP 2018055760 A JP2018055760 A JP 2018055760A JP 2018055760 A JP2018055760 A JP 2018055760A JP 6774034 B2 JP6774034 B2 JP 6774034B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- ion
- ion source
- plasma generation
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 title claims description 33
- 150000002500 ions Chemical group 0.000 claims description 60
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 52
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 27
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
具体的に言えば、イオン化ガスがPH3の場合には、生成されたプラズマ中の比較的質量が重いPHx +(xは1〜3の整数)の比率を増やすためにカソード位置をイオン射出面に近づける。一方、イオン化ガスがBF3の場合には、比較的質量の軽いB+の比率を増やす為にPH3の場合に比べてカソード位置をイオン射出面から遠ざけている。
プラズマ生成容器と、
前記プラズマ生成容器に形成された開口と、
前記開口を通してイオンビームを引き出すためのビーム引出孔が形成された蓋体と、
前記蓋体を前記プラズマ生成容器側に付勢する弾性体と、を備え、
前記蓋体と前記プラズマ生成容器との間に挟持されたスペーサーを有している。
また、スペーサーを挟持するだけでいいので、従来のようにカソードを移動させるための複雑な機構を必要としない。これにより、イオン源の価格が安価で構成が簡素となる。さらに、カソードを移動させる構成ではないため、カソードの移動に伴うカソードの折損が生じないといった効果も奏する。
前記蓋体は、イオンビームの引出し方向に分割された第1の蓋体と第2の蓋体を備え、
一方の蓋体が単一のビーム引出孔を有し、
他方の蓋体が複数のビーム引出孔を有しており、
前記イオンビームの引出し方向からみて、前記単一のビーム引出孔が前記複数のビーム引出孔を包含している構成とすることが望ましい。
また、一方の蓋体のビーム引出孔が、他方の蓋体に形成された複数のビーム引出孔を包含するほどの大きさにしているために、各蓋体に複数のビーム引出孔を形成する場合に比べて、両者の位置合わせが簡便となる。
前記複数のビーム引出孔が前記第1の蓋体に形成されていることが望ましい。
前記スペーサーは、前記第1の蓋体と前記プラズマ容器との間に挟持されていることが望ましい。
上記したイオン源を有する構成とする。
また、スペーサーを挟持するだけでいいので、従来のようにカソードを移動させるための複雑な機構を必要としない。これにより、イオン源の価格が安価で構成が簡素となる。さらに、カソードを移動させる構成ではないため、カソードの移動に伴うカソードの折損が生じないといった効果も奏する。
さらに、プラズマ生成容器2の端部(Z方向側の端部)には、容器内部と容器外部とを連通する開口Hが形成されている。
電極は、もっともプラズマ生成容器2側に配置された蓋体5と、それよりも下流に配置された引出電極系6で構成されている。各電極には、プラズマ生成容器2の開口Hに対応する位置にビーム引出孔4が形成されている。
なお、このコイルばねSは、プラズマ生成容器2の形状に合せて複数配置されていてもよい。本実施形態において、コイルばねSは、X方向でプラズマ生成容器2を挟んでY方向に複数設けられている。
図示される位置決めピン7は、プラズマ生成容器2の端面に取り付けられる構成であるが、蓋体5側に取り付けられるようにしておいてもよい。その場合、蓋体5側に形成されている位置決めピン7の収納用の凹部9は、プラズマ生成容器2の端面に形成されることになる。
なお、位置決めピン7まわりでの部材の回転による各部の位置ズレが軽微なものであれば、位置決めピン7の本数を1本とすることもできる。
一方、比較的質量の重いイオンを効率よく引き出したい場合には、挟持されているスペーサー8を外すだけでよい。
この構成を用いることにより、従来技術のようにカソードを移動させるための機構が不要となるので、装置価格が安価で構成が簡素となる。また、カソードを移動させることによるカソードの折損も生じない。
各蓋体51、52には、ビーム引出孔4が形成されているが、一方の蓋体には単一のビーム引出孔が形成されていて、他方の蓋体には複数のビーム引出孔が形成されている。
なお、第2の蓋体52のZ方向側に配置されている引出電極系6を構成する各電極にも第2の蓋体52のビーム引出孔4と同様の単一のビーム引出孔が形成されている。
また、他方の蓋体のビーム引出孔を、一方の蓋体に形成された複数のビーム引出孔を包含するほどの大きさとしているため、各蓋体に複数のビーム引出孔を形成する場合に比べて、両者の位置合わせが簡便となる等のメリットを奏する。
また、Z方向での蓋体の分割数は2つに限ることなく、2つ以上に分割しておいてもよい。
また、厚みの異なるスペーサーを複数用意しておいて、カソードCと蓋体5との距離を段階的に設定できるようにしておいてもよい。
また、例示した分割構造の蓋体であれば、プラズマやイオンビームによるスパッタによって蓋体が部分的に損耗した場合には、該当部位のみを交換する等の点でメリットを有する。
2.プラズマ生成容器
3.開口
4.ビーム引出孔
5.蓋体
51.第1の蓋体
52.第2の蓋体
6.引出電極系
7.位置決めピン
8.スペーサー
9.凹部
C.カソード
G.ガスポート
P.突起部
S.弾性体
Claims (6)
- プラズマ生成容器と、
前記プラズマ生成容器に形成された開口と、
前記開口を塞いで、一部にイオンビームを引き出すためのビーム引出孔が形成された蓋体と、
前記蓋体を前記プラズマ生成容器側に付勢する弾性体と、を備え、
前記蓋体と前記プラズマ生成容器との間に挟持されたスペーサーを有し、
前記スペーサーは引き出されるイオンビームに含まれる所望する質量のイオンの比率を高めるために選択的に着脱されることを特徴とするイオン源。 - 前記プラズマ生成容器と前記蓋体は位置決めピンで位置固定されていて、
前記位置決めピンが前記スペーサーを貫通する請求項1記載のイオン源 - 前記蓋体は、イオンビームの引出し方向に分割された第1の蓋体と第2の蓋体を備え、
一方の蓋体が単一のビーム引出孔を有し、
他方の蓋体が複数のビーム引出孔を有しており、
前記イオンビームの引出し方向からみて、前記単一のビーム引出孔が前記複数のビーム引出孔を包含している請求項1または2記載のイオン源。 - 前記複数のビーム引出孔が前記第1の蓋体に形成されている請求項3記載のイオン源。
- 前記スペーサーは、前記第1の蓋体と前記プラズマ容器との間に挟持されている請求項3または4記載のイオン源。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載のイオン源を有するイオンビーム照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018055760A JP6774034B2 (ja) | 2018-03-23 | 2018-03-23 | イオン源、イオンビーム照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018055760A JP6774034B2 (ja) | 2018-03-23 | 2018-03-23 | イオン源、イオンビーム照射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019169327A JP2019169327A (ja) | 2019-10-03 |
JP6774034B2 true JP6774034B2 (ja) | 2020-10-21 |
Family
ID=68107688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018055760A Active JP6774034B2 (ja) | 2018-03-23 | 2018-03-23 | イオン源、イオンビーム照射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6774034B2 (ja) |
-
2018
- 2018-03-23 JP JP2018055760A patent/JP6774034B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019169327A (ja) | 2019-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6794661B2 (en) | Ion implantation apparatus capable of increasing beam current | |
JP5822767B2 (ja) | イオン源装置及びイオンビーム生成方法 | |
US9711318B2 (en) | Ribbon beam ion source of arbitrary length | |
US10147584B2 (en) | Apparatus and techniques for decelerated ion beam with no energy contamination | |
JP6774034B2 (ja) | イオン源、イオンビーム照射装置 | |
JP6963150B1 (ja) | イオンガン及び真空処理装置 | |
US10763073B2 (en) | Ion source, ion beam irradiation apparatus, and operating method for ion source | |
Hosseinzadeh et al. | Numerical simulation for optimization of multipole permanent magnets of multicusp ion source | |
TWI802937B (zh) | 離子槍及真空處理裝置 | |
KR20240036080A (ko) | 방열형 캐소드 이온 공급원을 위한 성형된 리펠러 | |
JP5477868B2 (ja) | マグネトロン型スパッタ装置 | |
JP2012164677A (ja) | イオンガン、及び成膜装置 | |
JP2018198114A (ja) | プラズマ源 | |
JP7029633B2 (ja) | イオン源、イオン注入装置 | |
JPS6386864A (ja) | イオン源 | |
JP5257399B2 (ja) | イオン源及びイオン注入装置 | |
JP4336780B2 (ja) | イオン源 | |
US11574788B1 (en) | Ion source having a magnetic field translatable along an axis of the source | |
KR20140049302A (ko) | 선형 이온빔 발생장치 | |
Bollinger et al. | Reduction of beam current noise in the FNAL magnetron ion source | |
JP2024013271A (ja) | イオン源 | |
KR20230133188A (ko) | 이온원 | |
JP6598005B2 (ja) | 荷電粒子源及び荷電粒子ビーム照射装置 | |
Oguri et al. | Operation Status of the J‐PARC Negative Hydrogen Ion Source | |
JP5695805B2 (ja) | イオンビーム処理のための磁場低減装置及び磁気プラズマ供給システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190710 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200811 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200818 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200902 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200915 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6774034 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |