JP6767307B2 - Conductive material, connecting structure and manufacturing method of connecting structure - Google Patents

Conductive material, connecting structure and manufacturing method of connecting structure Download PDF

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Description

本発明は、はんだ粒子を含む導電材料に関する。また、本発明は、上記導電材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法に関する。 The present invention relates to a conductive material containing solder particles. The present invention also relates to a connection structure using the above conductive material and a method for manufacturing the connection structure.

異方性導電ペースト及び異方性導電フィルム等の異方性導電材料が広く知られている。上記異方性導電材料では、バインダー樹脂中に導電性粒子が分散されている。 Anisotropic conductive materials such as anisotropic conductive pastes and anisotropic conductive films are widely known. In the anisotropic conductive material, conductive particles are dispersed in the binder resin.

上記異方性導電材料は、各種の接続構造体を得るために、例えば、フレキシブルプリント基板とガラス基板との接続(FOG(Film on Glass))、半導体チップとフレキシブルプリント基板との接続(COF(Chip on Film))、半導体チップとガラス基板との接続(COG(Chip on Glass))、並びにフレキシブルプリント基板とガラスエポキシ基板との接続(FOB(Film on Board))等に使用されている。 In order to obtain various connection structures, the anisotropic conductive material may be used, for example, for connecting a flexible printed circuit board and a glass substrate (FOG (Film on Glass)) or connecting a semiconductor chip and a flexible printed circuit board (COF (COF). It is used for Chip on Film)), connection between a semiconductor chip and a glass substrate (COG (Chip on Glass)), and connection between a flexible printed circuit board and a glass epoxy substrate (FOB (Film on Board)).

上記異方性導電材料により、例えば、フレキシブルプリント基板の電極とガラスエポキシ基板の電極とを電気的に接続する際には、ガラスエポキシ基板上に、導電性粒子を含む異方性導電材料を配置する。次に、フレキシブルプリント基板を積層して、加熱及び加圧する。これにより、異方性導電材料を硬化させて、導電性粒子を介して電極間を電気的に接続して、接続構造体を得る。 With the anisotropic conductive material, for example, when the electrode of the flexible printed circuit board and the electrode of the glass epoxy board are electrically connected, the anisotropic conductive material containing conductive particles is arranged on the glass epoxy substrate. To do. Next, the flexible printed circuit boards are laminated and heated and pressurized. As a result, the anisotropic conductive material is cured, and the electrodes are electrically connected to each other via the conductive particles to obtain a connection structure.

下記の特許文献1には、導電部の外表面部分にはんだを有する複数の導電性粒子と、熱硬化性化合物と、酸無水物熱硬化剤とを含む導電材料が開示されている。上記導電材料の50℃での粘度は、10Pa・s以上、200Pa・s以下である。また、特許文献1には、熱硬化性化合物及び酸無水物熱硬化剤のSP値については何ら記載されていない。 Patent Document 1 below discloses a conductive material containing a plurality of conductive particles having solder on the outer surface portion of the conductive portion, a thermosetting compound, and an acid anhydride thermosetting agent. The viscosity of the conductive material at 50 ° C. is 10 Pa · s or more and 200 Pa · s or less. Further, Patent Document 1 does not describe any SP value of the thermosetting compound and the acid anhydride thermosetting agent.

下記の特許文献2には、太陽電池セルと回路基板とを接続する接着剤組成物が開示されている。上記接着剤組成物は、アクリル系化合物と熱硬化性樹脂とを含有する熱硬化性樹脂組成物を含む。上記アクリル系化合物の二重結合当量数は、90以上、500以下である。上記アクリル系化合物の含有量は、上記熱硬化性樹脂組成物100質量%に対して、5質量%以上、50質量%以下である。上記熱硬化性樹脂組成物の酸価は、5mgKOH/g以上、50mgKOH/g以下である。特許文献2では、上記接着剤組成物は、240℃以下の融点を有する鉛フリーはんだ粉末及び硬化剤を含有していてもよい。また、特許文献2には、熱硬化性樹脂及び硬化剤のSP値については何ら記載されていない。 Patent Document 2 below discloses an adhesive composition for connecting a solar cell and a circuit board. The adhesive composition contains a thermosetting resin composition containing an acrylic compound and a thermosetting resin. The double bond equivalents of the acrylic compound are 90 or more and 500 or less. The content of the acrylic compound is 5% by mass or more and 50% by mass or less with respect to 100% by mass of the thermosetting resin composition. The acid value of the thermosetting resin composition is 5 mgKOH / g or more and 50 mgKOH / g or less. In Patent Document 2, the adhesive composition may contain a lead-free solder powder having a melting point of 240 ° C. or lower and a curing agent. Further, Patent Document 2 does not describe any SP value of the thermosetting resin and the curing agent.

WO2017/033935A1WO2017 / 033935A1 特開2013−76045号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-76045

近年、電子機器の高速伝送化に対応するために、接続対象部材間のギャップが小さい接続構造体が要求されている。接続対象部材間のギャップを小さくするためには、電極間の電気的な接続に用いられるはんだバンプを薄くする必要があり、はんだバンプに用いるはんだ粒子の粒子径を小さくする必要がある。従来の導電材料では、はんだ粒子又は導電性粒子の粒子径を小さくすると、導電材料の保存安定性(ポットライフ)が悪化することがある。従来の導電材料では、接続対象部材間のギャップを小さくすることと、導電材料の保存安定性を高めることとの双方を両立させることは困難である。 In recent years, in order to support high-speed transmission of electronic devices, a connection structure having a small gap between members to be connected has been required. In order to reduce the gap between the members to be connected, it is necessary to make the solder bumps used for electrical connection between the electrodes thin, and it is necessary to reduce the particle size of the solder particles used for the solder bumps. In the conventional conductive material, if the particle size of the solder particles or the conductive particles is reduced, the storage stability (pot life) of the conductive material may be deteriorated. With conventional conductive materials, it is difficult to achieve both a reduction in the gap between the members to be connected and an increase in storage stability of the conductive material.

本発明の目的は、接続対象部材間のギャップを効果的に小さくすることができ、かつ、導電材料の保存安定性を効果的に高めることができる導電材料を提供することである。また、本発明の目的は、上記導電材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a conductive material capable of effectively reducing the gap between members to be connected and effectively enhancing the storage stability of the conductive material. Another object of the present invention is to provide a connection structure using the above-mentioned conductive material and a method for manufacturing the connection structure.

本発明の広い局面によれば、第1の硬化性化合物と、硬化剤と、はんだ粒子とを含む導電材料であり、前記導電材料が、第2の硬化性化合物を含まないか、又は、含み、前記第1の硬化性化合物のSP値と前記硬化剤のSP値との差の絶対値が、2以上であり、前記第2の硬化性化合物のSP値と前記硬化剤のSP値との差の絶対値が、2未満であり、前記第1の硬化性化合物と前記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、前記第1の硬化性化合物の含有量が、5重量%以上であり、前記はんだ粒子の体積基準での粒度分布において、前記はんだ粒子のd90が、10μm以下である、導電材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, it is a conductive material containing a first curable compound, a curing agent, and solder particles, and the conductive material does not contain or contains a second curable compound. The absolute value of the difference between the SP value of the first curable compound and the SP value of the curing agent is 2 or more, and the SP value of the second curable compound and the SP value of the curing agent The absolute value of the difference is less than 2, and the content of the first curable compound is 5% by weight or more in the total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound. A conductive material is provided in which the d90 of the solder particles is 10 μm or less in the particle size distribution based on the volume of the solder particles.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記導電材料は、前記第2の硬化性化合物を含み、前記第1の硬化性化合物と前記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、前記第1の硬化性化合物の含有量が、90重量%以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the conductive material contains the second curable compound in a total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound. The content of the first curable compound is 90% by weight or less.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記第1の硬化性化合物と前記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、前記第2の硬化性化合物の含有量が、10重量%以上である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the content of the second curable compound is 10% by weight in a total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound. % Or more.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記第1の硬化性化合物のSP値と前記硬化剤のSP値との差の絶対値が、5.5以下である。 In a specific aspect of the conductive material according to the present invention, the absolute value of the difference between the SP value of the first curable compound and the SP value of the curing agent is 5.5 or less.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記硬化剤が、酸無水物硬化剤である。 In certain aspects of the conductive material according to the present invention, the curing agent is an acid anhydride curing agent.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記第1の硬化性化合物が、脂肪族化合物である。 In certain aspects of the conductive material according to the present invention, the first curable compound is an aliphatic compound.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記第1の硬化性化合物が、脂肪族エポキシ化合物である。 In certain aspects of the conductive material according to the present invention, the first curable compound is an aliphatic epoxy compound.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記導電材料が、有機リン化合物を含む。 In certain aspects of the conductive material according to the present invention, the conductive material comprises an organophosphorus compound.

本発明に係る導電材料のある特定の局面では、前記導電材料が、導電ペーストである。 In certain aspects of the conductive material according to the present invention, the conductive material is a conductive paste.

本発明の広い局面によれば、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、前記第1の接続対象部材と、前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、前記接続部の材料が、上述した導電材料であり、前記第1の電極と前記第2の電極とが、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている、接続構造体が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a first connection target member having a first electrode on the surface, a second connection target member having a second electrode on the surface, and the first connection target member. The connection portion is provided with a connection portion connecting the second connection target member, the material of the connection portion is the above-mentioned conductive material, and the first electrode and the second electrode are the connection portion. A connection structure is provided that is electrically connected by a solder portion inside.

本発明に係る接続構造体のある特定の局面では、前記第1の電極と前記接続部と前記第2の電極との積層方向に前記第1の電極と前記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、前記第1の電極と前記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、前記接続部中のはんだ部が配置されている。 In a specific aspect of the connection structure according to the present invention, the first electrode and the second electrode face each other in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode. When looking at the portion, the solder portion in the connecting portion is arranged in 50% or more of the area of 100% of the portion where the first electrode and the second electrode face each other.

本発明の広い局面によれば、上述した導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上に、前記導電材料を配置する工程と、前記導電材料の前記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材を、前記第1の電極と前記第2の電極とが対向するように配置する工程と、前記はんだ粒子の融点以上に前記導電材料を加熱することで、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、前記導電材料により形成し、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とを、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備える、接続構造体の製造方法が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, the step of arranging the conductive material on the surface of the first connection target member having the first electrode on the surface and the said of the conductive material using the above-mentioned conductive material. A second connection target member having a second electrode on the surface is arranged on a surface opposite to the first connection target member side so that the first electrode and the second electrode face each other. By heating the conductive material above the melting point of the solder particles in the step, a connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member is formed by the conductive material. Further, there is provided a method for manufacturing a connection structure, which comprises a step of electrically connecting the first electrode and the second electrode by a solder portion in the connection portion.

本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第1の電極と前記接続部と前記第2の電極との積層方向に前記第1の電極と前記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、前記第1の電極と前記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、前記接続部中のはんだ部が配置されている接続構造体を得る。 In a specific aspect of the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, the first electrode and the second electrode are arranged in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode. When looking at the facing portions, the connection in which the solder portion in the connecting portion is arranged in 50% or more of the area of 100% of the facing portions of the first electrode and the second electrode. Get the structure.

本発明に係る導電材料は、第1の硬化性化合物と、硬化剤と、はんだ粒子とを含む導電材料であり、上記導電材料が、第2の硬化性化合物を含まないか、又は、含み、上記第1の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値が、2以上であり、上記第2の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値が、2未満であり、上記第1の硬化性化合物と上記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、上記第1の硬化性化合物の含有量が、5重量%以上であり、上記はんだ粒子の体積基準での粒度分布において、上記はんだ粒子のd90が、10μm以下であるので、接続対象部材間のギャップを効果的に小さくすることができ、かつ、導電材料の保存安定性を効果的に高めることができる。 The conductive material according to the present invention is a conductive material containing a first curable compound, a curing agent, and solder particles, and the conductive material does not contain or contains a second curable compound. The absolute value of the difference between the SP value of the first curable compound and the SP value of the curing agent is 2 or more, and the difference between the SP value of the second curable compound and the SP value of the curing agent. The absolute value of is less than 2, and the content of the first curable compound is 5% by weight or more in the total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound. Since the d90 of the solder particles is 10 μm or less in the particle size distribution based on the volume of the solder particles, the gap between the members to be connected can be effectively reduced, and the conductive material can be stored and stabilized. The sex can be effectively enhanced.

図1は、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて得られる接続構造体を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a connection structure obtained by using the conductive material according to the embodiment of the present invention. 図2(a)〜(c)は、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて、接続構造体を製造する方法の一例の各工程を説明するための断面図である。2 (a) to 2 (c) are cross-sectional views for explaining each step of an example of a method of manufacturing a connection structure using the conductive material according to the embodiment of the present invention. 図3は、接続構造体の変形例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a modified example of the connection structure.

以下、本発明の詳細を説明する。 The details of the present invention will be described below.

(導電材料)
本発明に係る導電材料は、第1の硬化性化合物と、硬化剤と、はんだ粒子とを含む。本発明に係る導電材料は、第2の硬化性化合物を含まないか、又は、含む。本発明に係る導電材料では、上記第1の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値は、2以上である。本発明に係る導電材料では、上記第2の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値は、2未満である。本発明に係る導電材料では、上記第1の硬化性化合物と上記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、上記第1の硬化性化合物の含有量は、5重量%以上である。本発明に係る導電材料では、上記はんだ粒子の体積基準での粒度分布において、上記はんだ粒子のd90は、10μm以下である。
(Conductive material)
The conductive material according to the present invention contains a first curable compound, a curing agent, and solder particles. The conductive material according to the present invention does not contain or contains a second curable compound. In the conductive material according to the present invention, the absolute value of the difference between the SP value of the first curable compound and the SP value of the curing agent is 2 or more. In the conductive material according to the present invention, the absolute value of the difference between the SP value of the second curable compound and the SP value of the curing agent is less than 2. In the conductive material according to the present invention, the content of the first curable compound is 5% by weight or more in the total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound. In the conductive material according to the present invention, the d90 of the solder particles is 10 μm or less in the particle size distribution based on the volume of the solder particles.

本発明では、上記の構成が備えられているので、接続対象部材間のギャップを効果的に小さくすることができ、かつ、導電材料の保存安定性を効果的に高めることができる。 In the present invention, since the above configuration is provided, the gap between the members to be connected can be effectively reduced, and the storage stability of the conductive material can be effectively enhanced.

接続構造体の接続対象部材間のギャップを小さくするためには、電極間の電気的な接続に用いられるはんだバンプを薄くする必要があり、はんだバンプに用いられるはんだ粒子の粒子径を小さくする必要がある。本発明者らは、はんだ粒子の粒子径が小さくなると、導電材料の保存安定性(ポットライフ)が悪化することを見出した。本発明者らは、導電材料の保存安定性の悪化を抑制するために鋭意検討した結果、特定の硬化性化合物と特定の硬化剤とを用いた上記の構成を採用することにより、はんだ粒子の粒子径を小さくしても、導電材料の保存安定性を効果的に高めることができることを見出した。本発明では、上記の構成が備えられているので、接続対象部材間のギャップを小さくすることと、導電材料の保存安定性を高めることとの双方を両立させることができる。 In order to reduce the gap between the members to be connected in the connection structure, it is necessary to make the solder bumps used for electrical connection between the electrodes thin, and it is necessary to reduce the particle size of the solder particles used for the solder bumps. There is. The present inventors have found that when the particle size of the solder particles becomes smaller, the storage stability (pot life) of the conductive material deteriorates. As a result of diligent studies to suppress deterioration of the storage stability of the conductive material, the present inventors have adopted the above-mentioned configuration using a specific curable compound and a specific curing agent to obtain solder particles. It has been found that the storage stability of the conductive material can be effectively improved even if the particle size is reduced. In the present invention, since the above configuration is provided, both the reduction of the gap between the members to be connected and the improvement of the storage stability of the conductive material can be achieved at the same time.

また、接続構造体の作製時には、スクリーン印刷等によって基板等の接続対象部材上に導電材料が配置された後、導電材料が電気的に接続されるまでに、一定期間放置されることがある。従来の導電材料では、保存安定性(ポットライフ)を高めることができないので、例えば、導電材料が配置された後に一定期間放置されると、導電材料が増粘して、電極上にはんだ粒子を効率的に配置することができず、電極間の導通信頼性も低下することがある。本発明では、上記の構成が採用されており、導電材料の保存安定性(ポットライフ)を効果的に高めることができるので、導電材料が配置された後に一定期間放置されても、導電材料の増粘を防止し、電極上にはんだ粒子を効率的に配置することができ、電極間の導通信頼性を十分に高めることができる。 Further, at the time of manufacturing the connection structure, after the conductive material is arranged on the connection target member such as a substrate by screen printing or the like, it may be left for a certain period of time until the conductive material is electrically connected. Since the storage stability (pot life) cannot be improved with the conventional conductive material, for example, when the conductive material is left for a certain period of time after being placed, the conductive material thickens and solder particles are formed on the electrode. It cannot be arranged efficiently, and the reliability of conduction between the electrodes may decrease. In the present invention, the above configuration is adopted, and the storage stability (pot life) of the conductive material can be effectively enhanced. Therefore, even if the conductive material is left for a certain period of time after being placed, the conductive material can be left. Thickening can be prevented, solder particles can be efficiently arranged on the electrodes, and the reliability of conduction between the electrodes can be sufficiently enhanced.

また、本発明では、上記の構成が備えられているので、電極間を電気的に接続した場合に、複数のはんだ粒子が、上下の対向した電極間に集まりやすく、複数のはんだ粒子を電極(ライン)上に効率的に配置することができる。また、複数のはんだ粒子の一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだ粒子の量をかなり少なくすることができる。従って、電極間の導通信頼性を高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続を防ぐことができ、絶縁信頼性を高めることができる。 Further, in the present invention, since the above configuration is provided, when the electrodes are electrically connected, a plurality of solder particles are likely to collect between the upper and lower facing electrodes, and the plurality of solder particles are electrodeposed ( Can be placed efficiently on the line). Further, it is difficult for some of the plurality of solder particles to be arranged in the region (space) where the electrode is not formed, and the amount of the solder particles arranged in the region where the electrode is not formed can be considerably reduced. Therefore, the conduction reliability between the electrodes can be improved. Moreover, it is possible to prevent electrical connection between horizontally adjacent electrodes that should not be connected, and it is possible to improve insulation reliability.

さらに、本発明では、電極間の位置ずれを防ぐことができる。本発明では、導電材料を上面に配置した第1の接続対象部材に、第2の接続対象部材を重ね合わせる際に、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極とのアライメントがずれた状態でも、そのずれを補正して電極同士を接続させることができる(セルフアライメント効果)。 Further, in the present invention, it is possible to prevent the displacement between the electrodes. In the present invention, when the second connection target member is superposed on the first connection target member on which the conductive material is arranged on the upper surface, the electrodes of the first connection target member and the electrodes of the second connection target member are aligned with each other. Even if the alignment is misaligned, the misalignment can be corrected and the electrodes can be connected to each other (self-alignment effect).

電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点からは、上記導電材料は、25℃で液状であることが好ましく、導電ペーストであることが好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder on the electrodes, the conductive material is preferably liquid at 25 ° C., and is preferably a conductive paste.

導電材料が一定期間放置された場合でも、電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記導電材料の25℃での粘度(η25)は、好ましくは20Pa・s以上、より好ましくは30Pa・s以上であり、好ましくは400Pa・s以下、より好ましくは300Pa・s以下である。上記粘度(η25)は、配合成分の種類及び配合量により適宜調整することができる。 Even when the conductive material is left for a certain period of time, from the viewpoint of more efficiently arranging the solder on the electrode and further effectively improving the storage stability of the conductive material, the temperature of the conductive material is 25 ° C. The viscosity (η25) of the above is preferably 20 Pa · s or more, more preferably 30 Pa · s or more, preferably 400 Pa · s or less, and more preferably 300 Pa · s or less. The viscosity (η25) can be appropriately adjusted depending on the type and amount of the compounding components.

上記粘度(η25)は、例えば、E型粘度計(東機産業社製「TVE22L」)等を用いて、25℃及び5rpmの条件で測定することができる。 The viscosity (η25) can be measured at 25 ° C. and 5 rpm using, for example, an E-type viscometer (“TVE22L” manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.).

上記導電材料は、導電ペースト及び導電フィルム等として使用され得る。上記導電ペーストは異方性導電ペーストであることが好ましく、上記導電フィルムは異方性導電フィルムであることが好ましい。電極上にはんだをより一層効率的に配置する観点からは、上記導電材料は、導電ペーストであることが好ましい。上記導電材料は、電極の電気的な接続に好適に用いられる。上記導電材料は、回路接続材料であることが好ましい。 The conductive material can be used as a conductive paste, a conductive film, or the like. The conductive paste is preferably an anisotropic conductive paste, and the conductive film is preferably an anisotropic conductive film. From the viewpoint of more efficiently arranging the solder on the electrodes, the conductive material is preferably a conductive paste. The conductive material is preferably used for electrical connection of electrodes. The conductive material is preferably a circuit connection material.

以下、導電材料に含まれる各成分を説明する。なお、本明細書中において、「(メタ)アクリル」は「アクリル」と「メタクリル」との一方又は双方を意味する。 Hereinafter, each component contained in the conductive material will be described. In addition, in this specification, "(meth) acrylic" means one or both of "acrylic" and "methacryl".

(はんだ粒子)
上記はんだ粒子は、中心部分及び外表面のいずれもがはんだにより形成されている。上記はんだ粒子は、中心部分及び外表面のいずれもがはんだである粒子である。上記はんだ粒子の代わりに、はんだ以外の材料から形成された基材粒子と該基材粒子の表面上に配置されたはんだ部とを備える導電性粒子を用いた場合には、電極上に導電性粒子が集まり難くなる。また、上記導電性粒子では、導電性粒子同士のはんだ接合性が低いために、電極上に移動した導電性粒子が電極外に移動しやすくなる傾向があり、電極間の位置ずれの抑制効果も低くなる傾向がある。
(Solder particles)
Both the central portion and the outer surface of the solder particles are formed of solder. The solder particles are particles in which both the central portion and the outer surface are solder. When conductive particles having a base particle formed of a material other than solder and a solder portion arranged on the surface of the base particle are used instead of the solder particles, the conductivity is formed on the electrode. It becomes difficult for particles to collect. Further, in the above-mentioned conductive particles, since the solder bondability between the conductive particles is low, the conductive particles that have moved on the electrodes tend to move easily to the outside of the electrodes, and the effect of suppressing the displacement between the electrodes is also obtained. Tends to be low.

上記はんだは、融点が450℃以下である金属(低融点金属)であることが好ましい。上記はんだ粒子は、融点が450℃以下である金属粒子(低融点金属粒子)であることが好ましい。上記低融点金属粒子は、低融点金属を含む粒子である。該低融点金属とは、融点が450℃以下の金属を示す。低融点金属の融点は好ましくは300℃以下、より好ましくは160℃以下である。上記はんだ粒子は、融点が150℃未満の低融点はんだであることが好ましい。 The solder is preferably a metal having a melting point of 450 ° C. or lower (low melting point metal). The solder particles are preferably metal particles having a melting point of 450 ° C. or lower (low melting point metal particles). The low melting point metal particles are particles containing a low melting point metal. The low melting point metal refers to a metal having a melting point of 450 ° C. or lower. The melting point of the low melting point metal is preferably 300 ° C. or lower, more preferably 160 ° C. or lower. The solder particles are preferably low melting point solder having a melting point of less than 150 ° C.

また、上記はんだ粒子は錫を含むことが好ましい。上記はんだ粒子に含まれる金属100重量%中、錫の含有量は、好ましくは30重量%以上、より好ましくは40重量%以上、さらに好ましくは70重量%以上、特に好ましくは90重量%以上である。上記はんだ粒子における錫の含有量が、上記下限以上であると、はんだ部と電極との接続信頼性がより一層高くなる。 Further, the solder particles preferably contain tin. The tin content in 100% by weight of the metal contained in the solder particles is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, still more preferably 70% by weight or more, and particularly preferably 90% by weight or more. .. When the tin content in the solder particles is at least the above lower limit, the connection reliability between the solder portion and the electrode becomes even higher.

なお、上記錫の含有量は、高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置(堀場製作所社製「ICP−AES」)、又は蛍光X線分析装置(島津製作所社製「EDX−800HS」)等を用いて測定することができる。 The tin content can be determined using a high-frequency inductively coupled plasma emission spectroscopic analyzer (“ICP-AES” manufactured by Horiba, Ltd.) or a fluorescent X-ray analyzer (“EDX-800HS” manufactured by Shimadzu Corporation). Can be measured.

上記はんだ粒子を用いることで、はんだが溶融して電極に接合し、はんだ部が電極間を導通させる。例えば、はんだ部と電極とが点接触ではなく面接触しやすいため、接続抵抗が低くなる。また、上記はんだ粒子の使用により、はんだ部と電極との接合強度が高くなる結果、はんだ部と電極との剥離がより一層生じ難くなり、導通信頼性及び接続信頼性がより一層高くなる。 By using the above solder particles, the solder melts and is bonded to the electrodes, and the solder portion conducts the electrodes. For example, the solder portion and the electrode are likely to come into surface contact rather than point contact, so that the connection resistance is low. Further, as a result of increasing the joint strength between the solder portion and the electrode by using the solder particles, peeling between the solder portion and the electrode is more difficult to occur, and the continuity reliability and the connection reliability are further improved.

上記はんだ粒子を構成する低融点金属は特に限定されない。該低融点金属は、錫、又は錫を含む合金であることが好ましい。該合金は、錫−銀合金、錫−銅合金、錫−銀−銅合金、錫−ビスマス合金、錫−亜鉛合金、錫−インジウム合金等が挙げられる。電極に対する濡れ性に優れることから、上記低融点金属は、錫、錫−銀合金、錫−銀−銅合金、錫−ビスマス合金、錫−インジウム合金であることが好ましい。錫−ビスマス合金、錫−インジウム合金であることがより好ましい。 The low melting point metal constituting the solder particles is not particularly limited. The low melting point metal is preferably tin or an alloy containing tin. Examples of the alloy include tin-silver alloy, tin-copper alloy, tin-silver-copper alloy, tin-bismuth alloy, tin-zinc alloy, tin-indium alloy and the like. The low melting point metal is preferably tin, tin-silver alloy, tin-silver-copper alloy, tin-bismuth alloy, or tin-indium alloy because it has excellent wettability to the electrode. More preferably, it is a tin-bismuth alloy or a tin-indium alloy.

上記はんだ粒子は、JIS Z3001:溶接用語に基づき、液相線が450℃以下である溶加材であることが好ましい。上記はんだ粒子の組成としては、例えば亜鉛、金、銀、鉛、銅、錫、ビスマス、インジウム等を含む金属組成が挙げられる。低融点で鉛フリーである錫−インジウム系(117℃共晶)、又は錫−ビスマス系(139℃共晶)が好ましい。すなわち、上記はんだ粒子は、鉛を含まないことが好ましく、錫とインジウムとを含むか、又は錫とビスマスとを含むことが好ましい。 The solder particles are preferably a filler material having a liquidus line of 450 ° C. or lower based on JIS Z3001: welding terminology. Examples of the composition of the solder particles include a metal composition containing zinc, gold, silver, lead, copper, tin, bismuth, indium and the like. A tin-indium type (117 ° C. eutectic) or a tin-bismuth type (139 ° C. eutectic), which has a low melting point and is lead-free, is preferable. That is, the solder particles preferably do not contain lead, and preferably contain tin and indium, or tin and bismuth.

はんだ部と電極との接合強度をより一層高めるために、上記はんだ粒子は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム、亜鉛、鉄、金、チタン、リン、ゲルマニウム、テルル、コバルト、ビスマス、マンガン、クロム、モリブデン、パラジウム等の金属を含んでいてもよい。また、はんだ部と電極との接合強度をさらに一層高める観点からは、上記はんだ粒子は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム又は亜鉛を含むことが好ましい。はんだ部と電極との接合強度をより一層高める観点からは、接合強度を高めるためのこれらの金属の含有量は、はんだ粒子100重量%中、好ましくは0.0001重量%以上、好ましくは1重量%以下である。 In order to further increase the bonding strength between the solder part and the electrode, the solder particles are nickel, copper, antimony, aluminum, zinc, iron, gold, titanium, phosphorus, germanium, tellurium, cobalt, bismuth, manganese, chromium, etc. It may contain a metal such as molybdenum or palladium. Further, from the viewpoint of further increasing the bonding strength between the solder portion and the electrode, the solder particles preferably contain nickel, copper, antimonide, aluminum or zinc. From the viewpoint of further increasing the bonding strength between the solder portion and the electrode, the content of these metals for increasing the bonding strength is preferably 0.0001% by weight or more, preferably 1 weight in 100% by weight of the solder particles. % Or less.

本発明に係る導電材料では、上記はんだ粒子の体積基準での粒度分布において、上記はんだ粒子のd90は、10μm以下である。接続対象部材間のギャップをより一層効果的に小さくする観点からは、上記はんだ粒子の体積基準での粒度分布において、上記はんだ粒子のd90は、好ましくは6μm以下、より好ましくは4μm以下である。上記はんだ粒子のd90の下限は特に限定されない。上記はんだ粒子のd90は、0.5μm以上であってもよい。また、上記はんだ粒子の体積基準での粒度分布において、上記はんだ粒子のd90が、上記上限以下であると、接続対象部材間のギャップがより一層小さくなる。 In the conductive material according to the present invention, the d90 of the solder particles is 10 μm or less in the particle size distribution based on the volume of the solder particles. From the viewpoint of further effectively reducing the gap between the members to be connected, the d90 of the solder particles is preferably 6 μm or less, more preferably 4 μm or less, in the particle size distribution based on the volume of the solder particles. The lower limit of d90 of the solder particles is not particularly limited. The d90 of the solder particles may be 0.5 μm or more. Further, in the particle size distribution based on the volume of the solder particles, when d90 of the solder particles is not more than the upper limit, the gap between the members to be connected becomes even smaller.

なお、上記はんだ粒子のd90は、はんだ粒子の累積体積が90%であるときのはんだ粒子の粒子径である。上記はんだ粒子のd90は、体積基準での粒度分布から算出することができる。 The d90 of the solder particles is the particle diameter of the solder particles when the cumulative volume of the solder particles is 90%. The d90 of the solder particles can be calculated from the particle size distribution on a volume basis.

上記はんだ粒子の体積基準での粒度分布は、レーザー回折式粒度分布測定装置を用いて求められる。上記レーザー回折式粒度分布測定装置としては、Malvern社製「マスターサイザー3000」等が挙げられる。 The particle size distribution based on the volume of the solder particles can be obtained by using a laser diffraction type particle size distribution measuring device. Examples of the laser diffraction type particle size distribution measuring device include "Master Sizar 3000" manufactured by Malvern.

上記はんだ粒子の形状は特に限定されない。上記はんだ粒子の形状は、球状であってもよく、扁平状等の球形状以外の形状であってもよい。 The shape of the solder particles is not particularly limited. The shape of the solder particles may be spherical or may be a shape other than a spherical shape such as a flat shape.

上記導電材料100重量%中、上記はんだ粒子の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、さらに好ましくは10重量%以上、特に好ましくは20重量%以上、最も好ましくは30重量%以上であり、好ましくは90重量%以下、より好ましくは80重量%以下、さらに好ましくは70重量%以下である。上記はんだ粒子の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができ、電極間にはんだを多く配置することが容易であり、導通信頼性がより一層高くなる。導通信頼性をより一層高める観点からは、上記はんだ粒子の含有量は多い方が好ましい。 The content of the solder particles in 100% by weight of the conductive material is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, still more preferably 10% by weight or more, particularly preferably 20% by weight or more, and most preferably. It is 30% by weight or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 80% by weight or less, still more preferably 70% by weight or less. When the content of the solder particles is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder particles can be arranged more efficiently on the electrodes, and it is easy to arrange a large amount of solder between the electrodes. Continuity reliability becomes even higher. From the viewpoint of further enhancing the conduction reliability, it is preferable that the content of the solder particles is large.

(第1の硬化性化合物及び第2の硬化性化合物)
上記第1の硬化性化合物は特に限定されない。上記第1の硬化性化合物として、公知の硬化性化合物を用いることができる。上記第1の硬化性化合物は、光硬化性化合物であってもよく、熱硬化性化合物であってもよい。接続対象部材間のギャップをより一層効果的に小さくする観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記第1の硬化性化合物は、脂肪族化合物であることが好ましい。
(1st curable compound and 2nd curable compound)
The first curable compound is not particularly limited. As the first curable compound, a known curable compound can be used. The first curable compound may be a photocurable compound or a thermosetting compound. The first curable compound may be an aliphatic compound from the viewpoint of further effectively reducing the gap between the members to be connected and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material. preferable.

上記導電材料は、第2の硬化性化合物を含まないか、又は、含む。上記導電材料は上記第2の硬化性化合物を含んでいてもよく、含んでいなくてもよい。導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性をより一層効果的に高める観点からは、上記導電材料は、上記第2の硬化性化合物を含むことが好ましい。 The conductive material does not contain or contains a second curable compound. The conductive material may or may not contain the second curable compound. From the viewpoint of further effectively enhancing the connection reliability of the connecting target member connected by the conductive material, the conductive material preferably contains the second curable compound.

上記第2の硬化性化合物は特に限定されない。上記第2の硬化性化合物として、公知の絶縁性の硬化性化合物が用いられる。上記第2の硬化性化合物は、光硬化性化合物であってもよく、熱硬化性化合物であってもよい。 The second curable compound is not particularly limited. As the second curable compound, a known insulating curable compound is used. The second curable compound may be a photocurable compound or a thermosetting compound.

導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記第1の硬化性化合物は、熱硬化性化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of further effectively enhancing the connection reliability of the members to be connected connected by the conductive material and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the first curable compound is heat. It is preferably a curable compound.

導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記第2の硬化性化合物は、熱硬化性化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of further effectively enhancing the connection reliability of the members to be connected connected by the conductive material and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the second curable compound is heat. It is preferably a curable compound.

上記熱硬化性化合物は、加熱により硬化可能な化合物である。上記熱硬化性化合物としては、オキセタン化合物、エポキシ化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、フェノール化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、シリコーン化合物及びポリイミド化合物等が挙げられる。導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化性化合物は、エポキシ化合物又はエピスルフィド化合物であることが好ましく、エポキシ化合物であることがより好ましい。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The thermosetting compound is a compound that can be cured by heating. Examples of the thermosetting compound include oxetane compounds, epoxy compounds, episulfide compounds, (meth) acrylic compounds, phenol compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, silicone compounds and polyimide compounds. From the viewpoint of further effectively enhancing the connection reliability of the members to be connected connected by the conductive material and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the thermosetting compound may be an epoxy compound or an epoxy compound. It is preferably an episulfide compound, more preferably an epoxy compound. Only one type of the thermosetting compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する化合物である。上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。上記エポキシ化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The epoxy compound is a compound having at least one epoxy group. Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy compound, bisphenol F type epoxy compound, bisphenol S type epoxy compound, phenol novolac type epoxy compound, biphenyl type epoxy compound, biphenyl novolac type epoxy compound, biphenol type epoxy compound, and naphthalene type epoxy compound. , Fluorene type epoxy compound, phenol aralkyl type epoxy compound, naphthol aralkyl type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, anthracene type epoxy compound, adamantan skeleton epoxy compound, tricyclodecane skeleton epoxy compound, naphthylene ether type Examples thereof include epoxy compounds and epoxy compounds having a triazine nucleus as a skeleton. Only one type of the epoxy compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記エポキシ化合物は、常温(23℃)で液状又は固体であり、上記エポキシ化合物が常温で固体である場合には、上記エポキシ化合物の溶融温度は、上記はんだ粒子の融点以下であることが好ましい。 The epoxy compound is liquid or solid at room temperature (23 ° C.), and when the epoxy compound is solid at room temperature, the melting temperature of the epoxy compound is preferably equal to or lower than the melting point of the solder particles.

導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記第1の硬化性化合物は、エポキシ化合物であることが好ましく、脂肪族エポキシ化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of further effectively enhancing the connection reliability of the members to be connected connected by the conductive material and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the first curable compound is an epoxy. It is preferably a compound, more preferably an aliphatic epoxy compound.

導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記第2の硬化性化合物は、エポキシ化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of further effectively enhancing the connection reliability of the members to be connected connected by the conductive material and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the second curable compound is an epoxy. It is preferably a compound.

本発明に係る導電材料では、上記第1の硬化性化合物と上記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、上記第1の硬化性化合物の含有量は、5重量%以上である。上記第1の硬化性化合物と上記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、上記第1の硬化性化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは15重量%以上であり、好ましくは90重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記第1の硬化性化合物の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、接続対象部材間のギャップをより一層効果的に小さくすることができ、導電材料の保存安定性をより一層効果的に高めることができる。また、上記第1の硬化性化合物の含有量が、上記上限以下であると、硬化物のゲル分率が高くなり、接続構造体の硬化物部に由来して、ギャップ保持性がより一層高くなる。 In the conductive material according to the present invention, the content of the first curable compound is 5% by weight or more in the total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound. The content of the first curable compound is preferably 5% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, based on 100% by weight of the total of the first curable compound and the second curable compound. Yes, preferably 90% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content of the first curable compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the gap between the members to be connected can be reduced more effectively, and the storage stability of the conductive material is further improved. Can be effectively enhanced. Further, when the content of the first curable compound is not more than the above upper limit, the gel fraction of the cured product becomes high, and the gap retention property is further improved due to the cured product portion of the connecting structure. Become.

上記第1の硬化性化合物と上記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、上記第2の硬化性化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは30重量%以上であり、好ましくは95重量%以下、より好ましくは85重量%以下である。上記第2の硬化性化合物の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性がより一層効果的に高くなり、導電材料の保存安定性をより一層効果的に高めることができる。 The content of the second curable compound is preferably 10% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, based on 100% by weight of the total of the first curable compound and the second curable compound. Yes, preferably 95% by weight or less, more preferably 85% by weight or less. When the content of the second curable compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the connection reliability of the connecting target member connected by the conductive material becomes more effective, and the storage stability of the conductive material becomes stable. The sex can be enhanced even more effectively.

上記導電材料100重量%中、上記第1の硬化性化合物の含有量は、好ましくは0.5重量%以上、より好ましくは2.25重量%以上であり、好ましくは36重量%以下、より好ましくは21重量%以下である。上記第1の硬化性化合物の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性がより一層効果的に高くなり、導電材料の保存安定性をより一層効果的に高めることができる。 The content of the first curable compound in 100% by weight of the conductive material is preferably 0.5% by weight or more, more preferably 2.25% by weight or more, and preferably 36% by weight or less, more preferably. Is 21% by weight or less. When the content of the first curable compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the connection reliability of the connecting target member connected by the conductive material becomes more effective, and the storage stability of the conductive material becomes stable. The sex can be enhanced even more effectively.

上記導電材料100重量%中、上記第2の硬化性化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは4.5重量%以上であり、好ましくは38重量%以下、より好ましくは25.5重量%以下である。上記第2の硬化性化合物の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性がより一層効果的に高くなり、導電材料の保存安定性をより一層効果的に高めることができる。 The content of the second curable compound in 100% by weight of the conductive material is preferably 1% by weight or more, more preferably 4.5% by weight or more, preferably 38% by weight or less, more preferably 25% by weight. It is 5.5% by weight or less. When the content of the second curable compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the connection reliability of the connecting target member connected by the conductive material becomes more effective, and the storage stability of the conductive material becomes stable. The sex can be enhanced even more effectively.

(硬化剤)
上記硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤は、上記第1の硬化性化合物及び上記第2の硬化性化合物を硬化させる。上記硬化剤は、熱硬化剤であってもよく、光重合開始剤であってもよい。上記硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Hardener)
The curing agent is not particularly limited. The curing agent cures the first curable compound and the second curable compound. The curing agent may be a thermosetting agent or a photopolymerization initiator. Only one kind of the above-mentioned curing agent may be used, or two or more kinds may be used in combination.

本発明に係る導電材料では、上記第1の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値は、2以上である。接続対象部材間のギャップをより一層効果的に小さくする観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記第1の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値は、好ましくは2.2以上、より好ましくは2.6以上であり、好ましくは5.5以下、より好ましくは4.3以下である。また、上記第1の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値が、上記下限以上であると、導電材料の保存安定性を効果的に高めることができ、導電材料が配置された後に一定期間放置されても、導電材料の増粘を防止し、電極上にはんだ粒子を効率的に配置することができ、電極間の導通信頼性を十分に高めることができる。 In the conductive material according to the present invention, the absolute value of the difference between the SP value of the first curable compound and the SP value of the curing agent is 2 or more. From the viewpoint of further effectively reducing the gap between the members to be connected and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the SP value of the first curable compound and the SP of the curing agent The absolute value of the difference from the value is preferably 2.2 or more, more preferably 2.6 or more, preferably 5.5 or less, and more preferably 4.3 or less. Further, when the absolute value of the difference between the SP value of the first curable compound and the SP value of the curing agent is at least the above lower limit, the storage stability of the conductive material can be effectively enhanced, and the conductivity can be improved. Even if the material is left for a certain period of time after being arranged, the thickening of the conductive material can be prevented, the solder particles can be efficiently arranged on the electrodes, and the conduction reliability between the electrodes can be sufficiently enhanced. ..

本発明に係る導電材料では、上記第2の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値は、2未満である。接続対象部材間のギャップをより一層効果的に小さくする観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記第2の硬化性化合物のSP値と上記硬化剤のSP値との差の絶対値は、好ましくは1.9以下、より好ましくは1.5以下である。上記第2の硬化性化合物のSPと上記硬化剤のSPとの差の絶対値の下限は特に限定されない。上記第2の硬化性化合物のSPと上記硬化剤のSPとの差の絶対値は0以上であってもよい。 In the conductive material according to the present invention, the absolute value of the difference between the SP value of the second curable compound and the SP value of the curing agent is less than 2. From the viewpoint of further effectively reducing the gap between the members to be connected and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the SP value of the second curable compound and the SP of the curing agent The absolute value of the difference from the value is preferably 1.9 or less, more preferably 1.5 or less. The lower limit of the absolute value of the difference between the SP of the second curable compound and the SP of the curing agent is not particularly limited. The absolute value of the difference between the SP of the second curable compound and the SP of the curing agent may be 0 or more.

接続対象部材間のギャップをより一層効果的に小さくする観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記硬化剤は、熱硬化剤であることが好ましい。 The curing agent is preferably a thermosetting agent from the viewpoint of further effectively reducing the gap between the members to be connected and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material.

上記熱硬化剤は、熱硬化性化合物を熱硬化させる。上記熱硬化剤としては、イミダゾール硬化剤、フェノール硬化剤、チオール硬化剤、アミン硬化剤、酸無水物硬化剤、熱カチオン硬化剤及び熱ラジカル発生剤等がある。接続対象部材間のギャップをより一層効果的に小さくする観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化剤は、酸無水物硬化剤であることが好ましい。上記熱硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The thermosetting agent heat-cures a thermosetting compound. Examples of the heat curing agent include an imidazole curing agent, a phenol curing agent, a thiol curing agent, an amine curing agent, an acid anhydride curing agent, a thermocation curing agent, a thermal radical generating agent, and the like. From the viewpoint of further effectively reducing the gap between the members to be connected and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the thermosetting agent is preferably an acid anhydride curing agent. .. Only one type of the thermosetting agent may be used, or two or more types may be used in combination.

上記イミダゾール硬化剤としては、特に限定されず、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテート、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン及び2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物等が挙げられる。 The imidazole curing agent is not particularly limited, and 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimerite, 2, 4-Diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine and 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s- Examples thereof include triazine isocyanuric acid adduct.

上記チオール硬化剤としては、特に限定されず、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオネート及びジペンタエリスリトールヘキサ−3−メルカプトプロピオネート等が挙げられる。 The thiol curing agent is not particularly limited, and examples thereof include trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate, pentaerythritol tetrakis-3-mercaptopropionate, and dipentaerythritol hexa-3-mercaptopropionate. ..

上記アミン硬化剤としては、特に限定されず、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3,9−ビス(3−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラスピロ[5.5]ウンデカン、ビス(4−アミノシクロヘキシル)メタン、メタフェニレンジアミン及びジアミノジフェニルスルホン等が挙げられる。 The amine curing agent is not particularly limited, and is hexamethylenediamine, octamethylenediamine, decamethylenediamine, 3,9-bis (3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraspiro [5.5]. Examples thereof include undecane, bis (4-aminocyclohexyl) methane, metaphenylenediamine and diaminodiphenylsulfone.

上記酸無水物硬化剤としては、特に限定されず、エポキシ化合物等の熱硬化性化合物の硬化剤として用いられる酸無水物であれば広く用いることができる。上記酸無水物硬化剤は、例えば、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルブテニルテトラヒドロ無水フタル酸、フタル酸誘導体の無水物、無水マレイン酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸、無水グルタル酸、無水コハク酸、グリセリンビス無水トリメリット酸モノアセテート、及びエチレングリコールビス無水トリメリット酸等の2官能の酸無水物硬化剤、無水トリメリット酸等の3官能の酸無水物硬化剤、並びに、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸無水物、及びポリアゼライン酸無水物等の4官能以上の酸無水物硬化剤等が挙げられる。 The acid anhydride curing agent is not particularly limited, and any acid anhydride used as a curing agent for a thermosetting compound such as an epoxy compound can be widely used. The acid anhydride curing agent is, for example, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylbutenyltetrahydrophthalic anhydride. Acid, phthalic acid derivative anhydride, maleic anhydride, nadic acid anhydride, methylnagic anhydride, glutaric anhydride, succinic anhydride, glycerinbis trimellitic anhydride monoacetate, ethyleneglycolbis trimellitic anhydride, etc. 2 Trifunctional acid anhydride curing agents such as functional acid anhydride curing agents and trimellitic anhydride, as well as pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic acid anhydride, methylcyclohexenetetracarboxylic acid anhydride, and polyazeline acid anhydride. Examples thereof include a tetrafunctional or higher functional acid anhydride curing agent.

接続対象部材間のギャップをより一層効果的に小さくする観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記硬化剤は、酸無水物硬化剤であることが好ましい。 From the viewpoint of further effectively reducing the gap between the members to be connected and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the curing agent is preferably an acid anhydride curing agent.

硬化物の熱劣化をより一層効果的に抑制する観点からは、上記酸無水物硬化剤は、環状酸無水物硬化剤であることが好ましい。環状酸無水物硬化剤としては、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、及びトリアクリルテトラヒドロ無水フタル酸等が挙げられる。 From the viewpoint of more effectively suppressing the thermal deterioration of the cured product, the acid anhydride curing agent is preferably a cyclic acid anhydride curing agent. Examples of the cyclic acid anhydride curing agent include trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, and triacrylic tetrahydrophthalic anhydride.

上記熱カチオン硬化剤としては、ヨードニウム系カチオン硬化剤、オキソニウム系カチオン硬化剤及びスルホニウム系カチオン硬化剤等が挙げられる。上記ヨードニウム系カチオン硬化剤としては、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。上記オキソニウム系カチオン硬化剤としては、トリメチルオキソニウムテトラフルオロボラート等が挙げられる。上記スルホニウム系カチオン硬化剤としては、トリ−p−トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。 Examples of the thermal cation curing agent include an iodonium-based cation curing agent, an oxonium-based cation curing agent, and a sulfonium-based cation curing agent. Examples of the iodonium-based cationic curing agent include bis (4-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate and the like. Examples of the oxonium-based cationic curing agent include trimethyloxonium tetrafluoroborate. Examples of the sulfonium-based cationic curing agent include tri-p-tolylsulfonium hexafluorophosphate.

上記熱ラジカル発生剤としては、特に限定されず、アゾ化合物及び有機過酸化物等が挙げられる。上記アゾ化合物としては、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)等が挙げられる。上記有機過酸化物としては、ジ−tert−ブチルペルオキシド及びメチルエチルケトンペルオキシド等が挙げられる。 The thermal radical generator is not particularly limited, and examples thereof include azo compounds and organic peroxides. Examples of the azo compound include azobisisobutyronitrile (AIBN) and the like. Examples of the organic peroxide include di-tert-butyl peroxide and methyl ethyl ketone peroxide.

導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性をより一層効果的に高める観点、及び導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記硬化剤は25℃で固体であることが好ましい。 From the viewpoint of further effectively enhancing the connection reliability of the members to be connected connected by the conductive material and further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the curing agent is solid at 25 ° C. Is preferable.

電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記硬化剤の融点は、上記はんだ粒子の融点よりも低いことが好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrodes, the melting point of the curing agent is preferably lower than the melting point of the solder particles.

上記硬化剤の含有量は特に限定されない。上記導電材料100重量%中、上記硬化剤の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上であり、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記硬化剤の含有量が、上記下限以上であると、上記第1の硬化性化合物及び上記第2の硬化性化合物を十分に硬化させることが容易である。上記硬化剤の含有量が、上記上限以下であると、硬化後に硬化に関与しなかった余剰の硬化剤が残存し難くなり、かつ硬化物の耐熱性がより一層高くなる。 The content of the curing agent is not particularly limited. The content of the curing agent in 100% by weight of the conductive material is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, preferably 50% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less. When the content of the curing agent is at least the above lower limit, it is easy to sufficiently cure the first curable compound and the second curable compound. When the content of the curing agent is not more than the above upper limit, it becomes difficult for excess curing agent that was not involved in curing to remain after curing, and the heat resistance of the cured product becomes even higher.

上記第1の硬化性化合物と上記第2の硬化性化合物との合計100重量部に対して、上記硬化剤の含有量は、好ましくは10重量部以上、より好ましくは20重量部以上であり、好ましくは200重量部以下、より好ましくは150重量部以下である。上記硬化剤の含有量が、上記下限以上であると、上記第1の硬化性化合物及び上記第2の硬化性化合物を十分に硬化させることが容易である。上記硬化剤の含有量が、上記上限以下であると、硬化後に硬化に関与しなかった余剰の硬化剤が残存し難くなり、かつ硬化物の耐熱性がより一層高くなる。 The content of the curing agent is preferably 10 parts by weight or more, more preferably 20 parts by weight or more, based on 100 parts by weight of the total of the first curable compound and the second curable compound. It is preferably 200 parts by weight or less, more preferably 150 parts by weight or less. When the content of the curing agent is at least the above lower limit, it is easy to sufficiently cure the first curable compound and the second curable compound. When the content of the curing agent is not more than the above upper limit, it becomes difficult for excess curing agent that was not involved in curing to remain after curing, and the heat resistance of the cured product becomes even higher.

(有機リン化合物)
本発明に係る導電材料は、有機リン化合物を含んでいてもよい。上記有機リン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Organophosphorus compound)
The conductive material according to the present invention may contain an organic phosphorus compound. Only one kind of the above-mentioned organic phosphorus compound may be used, or two or more kinds may be used in combination.

電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記有機リン化合物は、有機ホスホニウム塩、有機リン酸、有機リン酸エステル、有機ホスホン酸、有機ホスホン酸エステル、有機ホスフィン酸、又は有機ホスフィン酸エステルであることが好ましい。電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記有機リン化合物は、有機ホスホニウム塩であることがより好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrode, the above-mentioned organic phosphorus compound is an organic phosphonium salt, an organic phosphoric acid, an organic phosphoric acid ester, an organic phosphonic acid, an organic phosphonic acid ester, an organic phosphinic acid, or It is preferably an organic phosphinic acid ester. From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrode, the organic phosphorus compound is more preferably an organic phosphonium salt.

上記有機ホスホニウム塩としては、ホスホニウムイオンとその対イオンとで構成されている有機ホスホニウム塩が挙げられる。上記有機ホスホニウム塩の市販品としては、日本化学工業社製「ヒシコーリン」シリーズ等が挙げられる。上記有機ホスホニウム塩は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the organic phosphonium salt include an organic phosphonium salt composed of a phosphonium ion and a counterion thereof. Examples of commercially available products of the organic phosphonium salt include the "Hishikorin" series manufactured by Nippon Chemical Industrial Co., Ltd. Only one kind of the organic phosphonium salt may be used, or two or more kinds may be used in combination.

上記有機リン酸、上記有機リン酸エステル、上記有機ホスホン酸、上記有機ホスホン酸エステル、上記有機ホスフィン酸、及び上記有機ホスフィン酸エステルとしては特に限定されず、従来公知の化合物や市販品を用いることができる。これらは1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The organic phosphoric acid, the organic phosphoric acid ester, the organic phosphonic acid, the organic phosphonic acid ester, the organic phosphinic acid, and the organic phosphinic acid ester are not particularly limited, and conventionally known compounds and commercially available products are used. Can be done. Only one of these may be used, or two or more thereof may be used in combination.

電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記有機リン化合物の融点は、170℃以下であることが好ましい。電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記有機リン化合物は、25℃で液状であることが好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrode, the melting point of the organic phosphorus compound is preferably 170 ° C. or lower. From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrode, the organic phosphorus compound is preferably liquid at 25 ° C.

電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記有機リン化合物の融点は、上記硬化剤の融点よりも低いことが好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrode, the melting point of the organic phosphorus compound is preferably lower than the melting point of the curing agent.

上記硬化剤100重量部に対して、上記有機リン化合物の含有量は、好ましくは0.5重量部以上、より好ましくは0.8重量部以上であり、好ましくは10重量部以下、より好ましくは8重量部以下である。上記有機リン化合物の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができる。 The content of the organic phosphorus compound is preferably 0.5 parts by weight or more, more preferably 0.8 parts by weight or more, preferably 10 parts by weight or less, more preferably more preferably, with respect to 100 parts by weight of the curing agent. It is 8 parts by weight or less. When the content of the organic phosphorus compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder particles can be arranged more efficiently on the electrode.

(フラックス)
上記導電材料は、フラックスを含むことが好ましい。フラックスの使用により、電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置することができる。上記フラックスは特に限定されない。上記フラックスとして、はんだ接合等に一般的に用いられているフラックスを使用できる。
(flux)
The conductive material preferably contains a flux. By using the flux, the solder particles can be arranged more efficiently on the electrode. The above flux is not particularly limited. As the flux, a flux generally used for solder bonding or the like can be used.

上記フラックスとしては、例えば、塩化亜鉛、塩化亜鉛と無機ハロゲン化物との混合物、塩化亜鉛と無機酸との混合物、溶融塩、リン酸、リン酸の誘導体、有機ハロゲン化物、ヒドラジン、アミン化合物、有機酸及び松脂等が挙げられる。上記フラックスは1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the flux include zinc chloride, a mixture of zinc chloride and an inorganic halide, a mixture of zinc chloride and an inorganic acid, a molten salt, phosphoric acid, a derivative of phosphoric acid, an organic halide, a hydrazine, an amine compound, and an organic substance. Examples include acid and pine fat. Only one type of the above flux may be used, or two or more types may be used in combination.

上記溶融塩としては、塩化アンモニウム等が挙げられる。上記有機酸としては、乳酸、クエン酸、ステアリン酸、グルタミン酸及びグルタル酸等が挙げられる。上記松脂としては、活性化松脂及び非活性化松脂等が挙げられる。上記フラックスは、カルボキシル基を2個以上有する有機酸、松脂であることが好ましい。上記フラックスは、カルボキシル基を2個以上有する有機酸であってもよく、松脂であってもよい。カルボキシル基を2個以上有する有機酸、松脂の使用により、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。 Examples of the molten salt include ammonium chloride and the like. Examples of the organic acid include lactic acid, citric acid, stearic acid, glutamic acid and glutaric acid. Examples of the above-mentioned pine resin include activated pine resin and non-activated pine resin. The flux is preferably an organic acid or pine resin having two or more carboxyl groups. The flux may be an organic acid having two or more carboxyl groups, or may be pine resin. By using an organic acid or pine resin having two or more carboxyl groups, the conduction reliability between the electrodes is further improved.

上記カルボキシル基を2個以上有する有機酸としては、例えば、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸等が挙げられる。 Examples of the organic acid having two or more carboxyl groups include succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, and sebacic acid.

上記アミン化合物としては、例えば、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ベンジルアミン、ベンズヒドリルアミン、イミダゾール、ベンゾイミダゾール、フェニルイミダゾール、カルボキシベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾールカルボキシベンゾトリアゾール等が挙げられる。 Examples of the amine compound include cyclohexylamine, dicyclohexylamine, benzylamine, benzhydrylamine, imidazole, benzimidazole, phenylimidazole, carboxybenzoimidazole, benzotriazole carboxybenzotriazole and the like.

上記松脂はアビエチン酸を主成分とするロジン類である。上記ロジン類としては、例えば、アビエチン酸、アクリル変性ロジン等が挙げられる。フラックスはロジン類であることが好ましく、アビエチン酸であることがより好ましい。この好ましいフラックスの使用により、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。 The above pine resin is a rosin containing abietic acid as a main component. Examples of the rosins include abietic acid and acrylic-modified rosins. The flux is preferably rosins, more preferably abietic acid. By using this preferable flux, the conduction reliability between the electrodes is further increased.

上記フラックスの融点(活性温度)は、好ましくは10℃以上、より好ましくは50℃以上、より好ましくは70℃以上、さらに好ましくは80℃以上であり、好ましくは200℃以下、より好ましくは190℃以下、より一層好ましくは160℃以下、さらに好ましくは150℃以下、さらに一層好ましくは140℃以下である。上記フラックスの融点が、上記下限以上及び上記上限以下であると、フラックス効果がより一層効果的に発揮され、電極上にはんだ粒子がより一層効率的に配置される。上記フラックスの融点(活性温度)は80℃以上、190℃以下であることが好ましい。上記フラックスの融点(活性温度)は80℃以上、140℃以下であることが特に好ましい。 The melting point (active temperature) of the flux is preferably 10 ° C. or higher, more preferably 50 ° C. or higher, more preferably 70 ° C. or higher, still more preferably 80 ° C. or higher, preferably 200 ° C. or lower, more preferably 190 ° C. or higher. Below, it is even more preferably 160 ° C. or lower, further preferably 150 ° C. or lower, and even more preferably 140 ° C. or lower. When the melting point of the flux is at least the above lower limit and at least the above upper limit, the flux effect is exhibited more effectively, and the solder particles are arranged more efficiently on the electrodes. The melting point (active temperature) of the flux is preferably 80 ° C. or higher and 190 ° C. or lower. The melting point (active temperature) of the flux is particularly preferably 80 ° C. or higher and 140 ° C. or lower.

フラックスの活性温度(融点)が80℃以上、190℃以下である上記フラックスとしては、コハク酸(融点186℃)、グルタル酸(融点96℃)、アジピン酸(融点152℃)、ピメリン酸(融点104℃)、スベリン酸(融点142℃)等のジカルボン酸、安息香酸(融点122℃)、及びリンゴ酸(融点130℃)等が挙げられる。 The active temperature (melting point) of the flux is 80 ° C. or higher and 190 ° C. or lower. 104 ° C.), dicarboxylic acids such as suberic acid (melting point 142 ° C.), benzoic acid (melting point 122 ° C.), malic acid (melting point 130 ° C.) and the like.

また、上記フラックスの沸点は200℃以下であることが好ましい。 The boiling point of the flux is preferably 200 ° C. or lower.

上記フラックスは、加熱によりカチオンを放出するフラックスであることが好ましい。加熱によりカチオンを放出するフラックスの使用により、はんだ粒子を電極上により一層効率的に配置することができる。 The flux is preferably a flux that releases cations by heating. The use of a flux that releases cations upon heating allows the solder particles to be placed more efficiently on the electrodes.

上記加熱によりカチオンを放出するフラックスとしては、上記熱カチオン硬化剤が挙げられる。 Examples of the flux that releases cations by the above heating include the above-mentioned thermal cation curing agent.

上記フラックスは、酸化合物と塩基化合物との塩であることがさらに好ましい。上記酸化合物は、金属の表面を洗浄する効果を有することが好ましく、上記塩基化合物は、上記酸化合物を中和する作用を有することが好ましい。上記フラックスは、上記酸化合物と上記塩基化合物との中和反応物であることが好ましい。上記フラックスは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The flux is more preferably a salt of an acid compound and a base compound. The acid compound preferably has an effect of cleaning the surface of a metal, and the base compound preferably has an effect of neutralizing the acid compound. The flux is preferably a neutralization reaction product of the acid compound and the base compound. Only one type of the above flux may be used, or two or more types may be used in combination.

電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記フラックスの融点は、上記はんだ粒子の融点よりも、低いことが好ましく、5℃以上低いことがより好ましく、10℃以上低いことがさらに好ましい。但し、上記フラックスの融点は、上記はんだ粒子の融点よりも高くてもよい。通常、上記導電材料の使用温度は上記はんだ粒子の融点以上であり、上記フラックスの融点が上記導電材料の使用温度以下であれば、上記フラックスの融点が上記はんだ粒子の融点より高くても、上記フラックスは十分にフラックスとしての性能を発揮することができる。例えば、導電材料の使用温度が150℃以上であり、はんだ粒子(Sn42Bi58:融点139℃)と、リンゴ酸とベンジルアミンとの塩であるフラックス(融点146℃)とを含む導電材料において、上記リンゴ酸とベンジルアミンとの塩であるフラックスは、十分にフラックス作用を示す。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrodes, the melting point of the flux is preferably lower than the melting point of the solder particles, more preferably 5 ° C. or higher, and 10 ° C. or higher. Is even more preferable. However, the melting point of the flux may be higher than the melting point of the solder particles. Normally, the working temperature of the conductive material is equal to or higher than the melting point of the solder particles, and if the melting point of the flux is lower than the working temperature of the conductive material, even if the melting point of the flux is higher than the melting point of the solder particles, the above The flux can sufficiently exhibit the performance as a flux. For example, in a conductive material in which the operating temperature of the conductive material is 150 ° C. or higher and contains solder particles (Sn42Bi58: melting point 139 ° C.) and a flux (melting point 146 ° C.) which is a salt of malic acid and benzylamine, the apple Flux, which is a salt of acid and benzylamine, exhibits a sufficient flux action.

電極上にはんだ粒子をより一層効率的に配置する観点からは、上記フラックスの融点は、上記硬化剤の反応開始温度よりも、低いことが好ましく、5℃以上低いことがより好ましく、10℃以上低いことがさらに好ましい。 From the viewpoint of more efficiently arranging the solder particles on the electrode, the melting point of the flux is preferably lower than the reaction start temperature of the curing agent, more preferably 5 ° C. or higher, and 10 ° C. or higher. Lower is even more preferable.

上記酸化合物は、カルボキシル基を有する有機化合物であることが好ましい。上記酸化合物としては、脂肪族系カルボン酸であるマロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、クエン酸、リンゴ酸、環状脂肪族カルボン酸であるシクロヘキシルカルボン酸、1,4−シクロヘキシルジカルボン酸、芳香族カルボン酸であるイソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、及びエチレンジアミン四酢酸等が挙げられる。上記酸化合物は、グルタル酸、アゼライン酸、又はリンゴ酸であることが好ましい。 The acid compound is preferably an organic compound having a carboxyl group. Examples of the acid compound include malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelli acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, citric acid, malic acid, and cyclic aliphatic carboxylic acid, which are aliphatic carboxylic acids. Examples thereof include cyclohexylcarboxylic acid, 1,4-cyclohexyldicarboxylic acid, isophthalic acid which is an aromatic carboxylic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, ethylenediamine tetraacetic acid and the like. The acid compound is preferably glutaric acid, azelaic acid, or malic acid.

上記塩基化合物は、アミノ基を有する有機化合物であることが好ましい。上記塩基化合物としては、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、エチルジエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ベンジルアミン、ベンズヒドリルアミン、2−メチルベンジルアミン、3−メチルベンジルアミン、4−tert−ブチルベンジルアミン、N−メチルベンジルアミン、N−エチルベンジルアミン、N−フェニルベンジルアミン、N−tert−ブチルベンジルアミン、N−イソプロピルベンジルアミン、N,N−ジメチルベンジルアミン、イミダゾール化合物、及びトリアゾール化合物が挙げられる。上記塩基化合物は、ベンジルアミン、2−メチルベンジルアミン、又は3−メチルベンジルアミンであることが好ましい。 The basic compound is preferably an organic compound having an amino group. Examples of the basic compound include diethanolamine, triethanolamine, methyldiethanolamine, ethyldiethanolamine, cyclohexylamine, dicyclohexylamine, benzylamine, benzhydrylamine, 2-methylbenzylamine, 3-methylbenzylamine, and 4-tert-butylbenzylamine. , N-Methylbenzylamine, N-ethylbenzylamine, N-phenylbenzylamine, N-tert-butylbenzylamine, N-isopropylbenzylamine, N, N-dimethylbenzylamine, imidazole compounds, and triazole compounds. .. The basic compound is preferably benzylamine, 2-methylbenzylamine, or 3-methylbenzylamine.

上記フラックスは、導電材料中に分散されていてもよく、はんだ粒子の表面上に付着していてもよい。フラックス効果をより一層効果的に高める観点からは、上記フラックスは、はんだ粒子の表面上に付着していることが好ましい。 The flux may be dispersed in the conductive material or may be adhered to the surface of the solder particles. From the viewpoint of further enhancing the flux effect, it is preferable that the flux adheres to the surface of the solder particles.

導電材料の保存安定性をより一層効果的に高める観点からは、上記フラックスは、25℃で固体であることが好ましく、25℃の導電材料中で、上記フラックスが固体で分散していることが好ましい。 From the viewpoint of further effectively enhancing the storage stability of the conductive material, the flux is preferably solid at 25 ° C., and the flux is dispersed as a solid in the conductive material at 25 ° C. preferable.

上記導電材料100重量%中、上記フラックスの含有量は、好ましくは0.5重量%以上であり、好ましくは30重量%以下、より好ましくは25重量%以下である。上記フラックスの含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだ及び電極の表面に酸化被膜がより一層形成され難くなり、さらに、はんだ及び電極の表面に形成された酸化被膜をより一層効果的に除去できる。 The content of the flux in 100% by weight of the conductive material is preferably 0.5% by weight or more, preferably 30% by weight or less, and more preferably 25% by weight or less. When the content of the flux is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, it becomes more difficult to form an oxide film on the surface of the solder and the electrode, and further, the oxide film formed on the surface of the solder and the electrode is further formed. Can be effectively removed.

(フィラー)
本発明に係る導電材料は、フィラーを含んでいてもよい。フィラーは、有機フィラーであってもよく、無機フィラーであってもよい。上記導電材料がフィラーを含むことにより、基板の全電極上に対して、はんだ粒子を均一に凝集させることができる。
(Filler)
The conductive material according to the present invention may contain a filler. The filler may be an organic filler or an inorganic filler. When the conductive material contains a filler, the solder particles can be uniformly agglomerated on all the electrodes of the substrate.

上記導電材料は、上記フィラーを含まないか、又は上記フィラーを5重量%以下で含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物を用いている場合には、フィラーの含有量が少ないほど、電極上にはんだ粒子が移動しやすくなる。 The conductive material preferably does not contain the filler, or contains the filler in an amount of 5% by weight or less. When the thermosetting compound is used, the smaller the filler content, the easier it is for the solder particles to move onto the electrodes.

上記導電材料100重量%中、上記フィラーの含有量は、好ましくは0重量%(未含有)以上であり、好ましくは5重量%以下、より好ましくは2重量%以下、さらに好ましくは1重量%以下である。上記フィラーの含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、はんだ粒子が電極上により一層効率的に配置される。 The content of the filler in 100% by weight of the conductive material is preferably 0% by weight (not contained) or more, preferably 5% by weight or less, more preferably 2% by weight or less, still more preferably 1% by weight or less. Is. When the content of the filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the solder particles are arranged more efficiently on the electrode.

(他の成分)
上記導電材料は、必要に応じて、例えば、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、チキソ剤、レベリング剤、重合触媒、硬化触媒、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
(Other ingredients)
The conductive material may be, for example, a filler, a bulking agent, a softening agent, a plasticizer, a thixo agent, a leveling agent, a polymerization catalyst, a curing catalyst, a colorant, an antioxidant, a heat stabilizer, a light stabilizer, if necessary. , UV absorbers, lubricants, antistatic agents, flame retardants and other various additives may be included.

(接続構造体及び接続構造体の製造方法)
本発明に係る接続構造体は、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、上記第1の接続対象部材と、上記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備える。本発明に係る接続構造体では、上記接続部の材料が、上述した導電材料である。本発明に係る接続構造体では、上記第1の電極と上記第2の電極とが、上記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている。
(Connecting structure and manufacturing method of connecting structure)
The connection structure according to the present invention includes a first connection target member having a first electrode on the surface, a second connection target member having a second electrode on the surface, and the first connection target member. It includes a connecting portion that connects the second connection target member. In the connection structure according to the present invention, the material of the connection portion is the above-mentioned conductive material. In the connection structure according to the present invention, the first electrode and the second electrode are electrically connected by a solder portion in the connection portion.

本発明に係る接続構造体の製造方法は、上述した導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上に、上記導電材料を配置する工程と、上記導電材料の上記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材を、上記第1の電極と上記第2の電極とが対向するように配置する工程と、上記はんだ粒子の融点以上に上記導電材料を加熱することで、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、上記導電材料により形成し、かつ、上記第1の電極と上記第2の電極とを、上記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備える。 The method for manufacturing a connection structure according to the present invention includes a step of arranging the conductive material on the surface of a first connection target member having a first electrode on the surface using the above-mentioned conductive material, and the above-mentioned conductivity. On the surface of the material opposite to the side of the first connection target member, the second connection target member having the second electrode on the surface is provided so that the first electrode and the second electrode face each other. By heating the conductive material to a temperature equal to or higher than the melting point of the solder particles, the connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member is formed with the conductive material. The first electrode and the second electrode are electrically connected by a solder portion in the connecting portion.

本発明に係る接続構造体及び接続構造体の製造方法では、特定の導電材料を用いているので、はんだ粒子が第1の電極と第2の電極との間に集まりやすく、はんだ粒子を電極(ライン)上に効率的に配置することができる。また、はんだ粒子の一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだ粒子の量をかなり少なくすることができる。従って、第1の電極と第2の電極との間の導通信頼性を高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続を防ぐことができ、絶縁信頼性を高めることができる。 In the connection structure and the method for manufacturing the connection structure according to the present invention, since a specific conductive material is used, the solder particles are likely to collect between the first electrode and the second electrode, and the solder particles are used as electrodes ( Can be placed efficiently on the line). Further, it is difficult for some of the solder particles to be arranged in the region (space) where the electrodes are not formed, and the amount of the solder particles arranged in the region where the electrodes are not formed can be considerably reduced. Therefore, the conduction reliability between the first electrode and the second electrode can be improved. Moreover, it is possible to prevent electrical connection between horizontally adjacent electrodes that should not be connected, and it is possible to improve insulation reliability.

また、電極上にはんだを効率的に配置し、かつ電極が形成されていない領域に配置されるはんだの量をかなり少なくするためには、上記導電材料は、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いることが好ましい。 Further, in order to efficiently arrange the solder on the electrodes and to considerably reduce the amount of the solder arranged in the region where the electrodes are not formed, the conductive material uses a conductive paste instead of a conductive film. Is preferable.

電極間でのはんだ部の厚みは、好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上であり、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下である。電極の表面上のはんだ濡れ面積(電極の露出した面積100%中のはんだが接している面積)は、好ましくは50%以上、より好ましくは70%以上であり、好ましくは100%以下である。 The thickness of the solder portion between the electrodes is preferably 10 μm or more, more preferably 20 μm or more, preferably 100 μm or less, and more preferably 80 μm or less. The solder wet area on the surface of the electrode (the area in contact with the solder in 100% of the exposed area of the electrode) is preferably 50% or more, more preferably 70% or more, and preferably 100% or less.

本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、加圧を行わず、上記導電材料には、上記第2の接続対象部材の重量が加わることが好ましく、上記第2の接続対象部材を配置する工程及び上記接続部を形成する工程において、上記導電材料には、上記第2の接続対象部材の重量の力を超える加圧圧力は加わらないことが好ましい。これらの場合には、複数のはんだ部において、はんだ量の均一性をより一層高めることができる。さらに、はんだ部の厚みをより一層効果的に厚くすることができ、複数のはんだ粒子が電極間に多く集まりやすくなり、複数のはんだ粒子を電極(ライン)上により一層効率的に配置することができる。また、複数のはんだ粒子の一部が、電極が形成されていない領域(スペース)に配置され難く、電極が形成されていない領域に配置されるはんだ粒子におけるはんだの量をより一層少なくすることができる。従って、電極間の導通信頼性をより一層高めることができる。しかも、接続されてはならない横方向に隣接する電極間の電気的な接続をより一層防ぐことができ、絶縁信頼性をより一層高めることができる。 In the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, no pressurization is performed in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, and the conductive material is connected to the second connection. It is preferable that the weight of the target member is added, and in the step of arranging the second connection target member and the step of forming the connection portion, the conductive material exceeds the force of the weight of the second connection target member. It is preferable that no pressurizing pressure is applied. In these cases, the uniformity of the amount of solder can be further improved in the plurality of solder portions. Further, the thickness of the solder portion can be increased more effectively, a large number of solder particles can easily gather between the electrodes, and the plurality of solder particles can be arranged more efficiently on the electrodes (lines). it can. Further, it is difficult for some of the plurality of solder particles to be arranged in the region (space) where the electrodes are not formed, and the amount of solder in the solder particles arranged in the region where the electrodes are not formed can be further reduced. it can. Therefore, the conduction reliability between the electrodes can be further improved. Moreover, it is possible to further prevent electrical connection between electrodes adjacent in the lateral direction that should not be connected, and it is possible to further improve insulation reliability.

また、導電フィルムではなく、導電ペーストを用いれば、導電ペーストの塗布量によって、接続部及びはんだ部の厚みを調整することが容易になる。一方で、導電フィルムでは、接続部の厚みを変更したり、調整したりするためには、異なる厚みの導電フィルムを用意したり、所定の厚みの導電フィルムを用意したりしなければならないという問題がある。また、導電フィルムでは、導電ペーストと比べて、はんだの溶融温度で、導電フィルムの溶融粘度を十分に下げることができず、はんだ粒子の凝集が阻害されやすい傾向がある。 Further, if a conductive paste is used instead of the conductive film, it becomes easy to adjust the thickness of the connecting portion and the solder portion depending on the amount of the conductive paste applied. On the other hand, in the case of the conductive film, in order to change or adjust the thickness of the connecting portion, it is necessary to prepare a conductive film having a different thickness or a conductive film having a predetermined thickness. There is. Further, in the conductive film, the melt viscosity of the conductive film cannot be sufficiently lowered at the melting temperature of the solder as compared with the conductive paste, and the aggregation of the solder particles tends to be hindered.

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明する。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて得られる接続構造体を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a connection structure obtained by using the conductive material according to the embodiment of the present invention.

図1に示す接続構造体1は、第1の接続対象部材2と、第2の接続対象部材3と、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とを接続している接続部4とを備える。接続部4は、上述した導電材料により形成されている。本実施形態では、上記導電材料は、第1の硬化性化合物と、第2の硬化性化合物と、硬化剤と、はんだ粒子とを含む。本実施形態では、導電材料として、導電ペーストが用いられている。 The connection structure 1 shown in FIG. 1 is a connection connecting the first connection target member 2, the second connection target member 3, the first connection target member 2, and the second connection target member 3. It includes a part 4. The connecting portion 4 is formed of the above-mentioned conductive material. In the present embodiment, the conductive material includes a first curable compound, a second curable compound, a curing agent, and solder particles. In this embodiment, a conductive paste is used as the conductive material.

接続部4は、複数のはんだ粒子が集まり互いに接合したはんだ部4Aと、熱硬化性化合物が熱硬化された硬化物部4Bとを有する。 The connecting portion 4 has a solder portion 4A in which a plurality of solder particles are gathered and bonded to each other, and a cured product portion 4B in which a thermosetting compound is thermoset.

第1の接続対象部材2は表面(上面)に、複数の第1の電極2aを有する。第2の接続対象部材3は表面(下面)に、複数の第2の電極3aを有する。第1の電極2aと第2の電極3aとが、はんだ部4Aにより電気的に接続されている。従って、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とが、はんだ部4Aにより電気的に接続されている。なお、接続部4において、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まったはんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)では、はんだ粒子は存在しない。はんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)では、はんだ部4Aと離れたはんだ粒子は存在しない。なお、少量であれば、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まったはんだ部4Aとは異なる領域(硬化物部4B部分)に、はんだ粒子が存在していてもよい。 The first connection target member 2 has a plurality of first electrodes 2a on the surface (upper surface). The second connection target member 3 has a plurality of second electrodes 3a on the surface (lower surface). The first electrode 2a and the second electrode 3a are electrically connected by the solder portion 4A. Therefore, the first connection target member 2 and the second connection target member 3 are electrically connected by the solder portion 4A. In the connecting portion 4, no solder particles are present in a region (cured product portion 4B portion) different from the solder portion 4A gathered between the first electrode 2a and the second electrode 3a. In a region different from the solder portion 4A (cured product portion 4B portion), there are no solder particles separated from the solder portion 4A. If the amount is small, the solder particles may be present in a region (cured product portion 4B portion) different from the solder portion 4A gathered between the first electrode 2a and the second electrode 3a.

図1に示すように、接続構造体1では、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に、複数のはんだ粒子が集まり、複数のはんだ粒子が溶融した後、はんだ粒子の溶融物が電極の表面を濡れ拡がった後に固化して、はんだ部4Aが形成されている。このため、はんだ部4Aと第1の電極2a、並びにはんだ部4Aと第2の電極3aとの接続面積が大きくなる。すなわち、はんだ粒子を用いることにより、導電性の外表面がニッケル、金又は銅等の金属である導電性粒子を用いた場合と比較して、はんだ部4Aと第1の電極2a、並びにはんだ部4Aと第2の電極3aとの接触面積が大きくなる。このことによっても、接続構造体1における導通信頼性及び接続信頼性が高くなる。なお、導電材料にフラックスが含まれる場合に、フラックスは、一般に、加熱により次第に失活する。 As shown in FIG. 1, in the connection structure 1, a plurality of solder particles are gathered between the first electrode 2a and the second electrode 3a, and after the plurality of solder particles are melted, a melt of the solder particles is formed. Soldered and spread on the surface of the electrode and then solidified to form the solder portion 4A. Therefore, the connection area between the solder portion 4A and the first electrode 2a and the solder portion 4A and the second electrode 3a becomes large. That is, by using the solder particles, the solder portion 4A, the first electrode 2a, and the solder portion are compared with the case where the conductive outer surface is a metal such as nickel, gold, or copper. The contact area between the 4A and the second electrode 3a becomes large. This also increases the continuity reliability and connection reliability of the connection structure 1. When the conductive material contains flux, the flux is generally gradually deactivated by heating.

なお、図1に示す接続構造体1では、はんだ部4Aの全てが、第1,第2の電極2a,3a間の対向している領域に位置している。図3に示す変形例の接続構造体1Xは、接続部4Xのみが、図1に示す接続構造体1と異なる。接続部4Xは、はんだ部4XAと硬化物部4XBとを有する。接続構造体1Xのように、はんだ部4XAの多くが、第1,第2の電極2a,3aの対向している領域に位置しており、はんだ部4XAの一部が第1,第2の電極2a,3aの対向している領域から側方にはみ出していてもよい。第1,第2の電極2a,3aの対向している領域から側方にはみ出しているはんだ部4XAは、はんだ部4XAの一部であり、はんだ部4XAから離れたはんだ粒子ではない。なお、本実施形態では、はんだ部から離れたはんだ粒子の量を少なくすることができるが、はんだ部から離れたはんだ粒子が硬化物部中に存在していてもよい。 In the connection structure 1 shown in FIG. 1, all of the solder portions 4A are located in facing regions between the first and second electrodes 2a and 3a. In the connection structure 1X of the modified example shown in FIG. 3, only the connection portion 4X is different from the connection structure 1 shown in FIG. The connection portion 4X has a solder portion 4XA and a cured product portion 4XB. Like the connection structure 1X, most of the solder portions 4XA are located in the opposite regions of the first and second electrodes 2a and 3a, and a part of the solder portions 4XA is the first and second electrodes. The electrodes 2a and 3a may protrude laterally from the facing regions. The solder portion 4XA protruding laterally from the facing regions of the first and second electrodes 2a and 3a is a part of the solder portion 4XA and is not a solder particle separated from the solder portion 4XA. In the present embodiment, the amount of solder particles separated from the solder portion can be reduced, but the solder particles separated from the solder portion may be present in the cured product portion.

はんだ粒子の使用量を少なくすれば、接続構造体1を得ることが容易になる。はんだ粒子の使用量を多くすれば、接続構造体1Xを得ることが容易になる。 If the amount of solder particles used is reduced, it becomes easy to obtain the connection structure 1. If the amount of solder particles used is increased, it becomes easy to obtain the connection structure 1X.

導通信頼性をより一層高める観点からは、接続構造体1,1Xでは、第1の電極2aと接続部4,4Xと第2の電極3aとの積層方向に第1の電極2aと第2の電極3aとの対向し合う部分をみたときに、第1の電極2aと第2の電極3aとの対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、接続部4,4X中のはんだ部4A,4XAが配置されていることが好ましい。 From the viewpoint of further enhancing the conduction reliability, in the connection structures 1 and 1X, the first electrodes 2a and the second electrodes 2a and the second electrodes 2a and the second electrodes 2a in the stacking direction of the first electrode 2a, the connection portions 4, 4X and the second electrode 3a. When looking at the parts facing each other with the electrodes 3a, 50% or more of the area of the parts facing each other between the first electrode 2a and the second electrode 3a is 50% or more, and the solder parts in the connecting parts 4 and 4X. It is preferable that 4A and 4XA are arranged.

導通信頼性をより一層高める観点からは、上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の50%以上(より好ましくは60%以上、さらに好ましくは70%以上、特に好ましくは80%以上、最も好ましくは90%以上)に、上記接続部中のはんだ部が配置されていることが好ましい。 From the viewpoint of further enhancing the conduction reliability, the portion where the first electrode and the second electrode face each other is seen in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode. Occasionally, 50% or more (more preferably 60% or more, still more preferably 70% or more, particularly preferably 80% or more) of the area of the portion where the first electrode and the second electrode face each other is 100% or more. , Most preferably 90% or more), the solder portion in the connection portion is preferably arranged.

導通信頼性をより一層高める観点からは、上記第1の電極と上記接続部と上記第2の電極との積層方向と直交する方向に上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、上記第1の電極と上記第2の電極との対向し合う部分に、上記接続部中のはんだ部の60%以上(より好ましくは70%以上、さらに好ましくは90%以上、特に好ましくは95%以上、最も好ましくは99%以上)が配置されていることが好ましい。 From the viewpoint of further enhancing the conduction reliability, the first electrode and the second electrode face each other in a direction orthogonal to the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode. When looking at the matching portions, 60% or more (more preferably 70% or more, still more preferably 90%) of the solder portion in the connecting portion is in the portion where the first electrode and the second electrode face each other. Above, it is particularly preferable that 95% or more, most preferably 99% or more) is arranged.

次に、本発明の一実施形態に係る導電材料を用いて、接続構造体1を製造する方法の一例を説明する。 Next, an example of a method for manufacturing the connection structure 1 using the conductive material according to the embodiment of the present invention will be described.

先ず、第1の電極2aを表面(上面)に有する第1の接続対象部材2を用意する。次に、図2(a)に示すように、第1の接続対象部材2の表面上に、熱硬化性成分11Bと、複数のはんだ粒子11Aとを含む導電材料11を配置する(第1の工程)。用いた導電材料11は、熱硬化性成分11Bとして、熱硬化性化合物と熱硬化剤とを含む。 First, the first connection target member 2 having the first electrode 2a on the surface (upper surface) is prepared. Next, as shown in FIG. 2A, the conductive material 11 containing the thermosetting component 11B and the plurality of solder particles 11A is arranged on the surface of the first connection target member 2 (first). Process). The conductive material 11 used contains a thermosetting compound and a thermosetting agent as the thermosetting component 11B.

第1の接続対象部材2の第1の電極2aが設けられた表面上に、導電材料11を配置する。導電材料11の配置の後に、はんだ粒子11Aは、第1の電極2a(ライン)上と、第1の電極2aが形成されていない領域(スペース)上との双方に配置されている。 The conductive material 11 is arranged on the surface of the first connection target member 2 on which the first electrode 2a is provided. After the arrangement of the conductive material 11, the solder particles 11A are arranged both on the first electrode 2a (line) and on the region (space) where the first electrode 2a is not formed.

導電材料11の配置方法としては、特に限定されないが、ディスペンサーによる塗布、スクリーン印刷、及びインクジェット装置による吐出等が挙げられる。 The method of arranging the conductive material 11 is not particularly limited, and examples thereof include coating with a dispenser, screen printing, and ejection with an inkjet device.

また、第2の電極3aを表面(下面)に有する第2の接続対象部材3を用意する。次に、図2(b)に示すように、第1の接続対象部材2の表面上の導電材料11において、導電材料11の第1の接続対象部材2側とは反対側の表面上に、第2の接続対象部材3を配置する(第2の工程)。導電材料11の表面上に、第2の電極3a側から、第2の接続対象部材3を配置する。このとき、第1の電極2aと第2の電極3aとを対向させる。 Further, a second connection target member 3 having the second electrode 3a on the front surface (lower surface) is prepared. Next, as shown in FIG. 2B, in the conductive material 11 on the surface of the first connection target member 2, on the surface of the conductive material 11 opposite to the first connection target member 2 side. The second connection target member 3 is arranged (second step). The second connection target member 3 is arranged on the surface of the conductive material 11 from the second electrode 3a side. At this time, the first electrode 2a and the second electrode 3a are opposed to each other.

次に、はんだ粒子11Aの融点以上に導電材料11を加熱する(第3の工程)。好ましくは、熱硬化性成分11B(熱硬化性化合物)の硬化温度以上に導電材料11を加熱する。この加熱時には、電極が形成されていない領域に存在していたはんだ粒子11Aは、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まる(自己凝集効果)。導電フィルムではなく、導電ペーストを用いた場合には、はんだ粒子11Aが、第1の電極2aと第2の電極3aとの間により一層効果的に集まる。また、はんだ粒子11Aは溶融し、互いに接合する。また、熱硬化性成分11Bは熱硬化する。この結果、図2(c)に示すように、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材3とを接続している接続部4が、導電材料11により形成される。導電材料11により接続部4が形成され、複数のはんだ粒子11Aが接合することによってはんだ部4Aが形成され、熱硬化性成分11Bが熱硬化することによって硬化物部4Bが形成される。はんだ粒子11Aが十分に移動すれば、第1の電極2aと第2の電極3aとの間に位置していないはんだ粒子11Aの移動が開始してから、第1の電極2aと第2の電極3aとの間にはんだ粒子11Aの移動が完了するまでに、温度を一定に保持しなくてもよい。 Next, the conductive material 11 is heated above the melting point of the solder particles 11A (third step). Preferably, the conductive material 11 is heated above the curing temperature of the thermosetting component 11B (thermosetting compound). At the time of this heating, the solder particles 11A existing in the region where the electrodes are not formed gather between the first electrode 2a and the second electrode 3a (self-aggregation effect). When a conductive paste is used instead of the conductive film, the solder particles 11A are more effectively collected between the first electrode 2a and the second electrode 3a. Further, the solder particles 11A are melted and joined to each other. Further, the thermosetting component 11B is thermoset. As a result, as shown in FIG. 2C, the connecting portion 4 connecting the first connecting target member 2 and the second connecting target member 3 is formed of the conductive material 11. The connecting portion 4 is formed by the conductive material 11, the solder portion 4A is formed by joining the plurality of solder particles 11A, and the cured product portion 4B is formed by thermosetting the thermosetting component 11B. If the solder particles 11A move sufficiently, the solder particles 11A that are not located between the first electrode 2a and the second electrode 3a start moving, and then the first electrode 2a and the second electrode It is not necessary to keep the temperature constant until the movement of the solder particles 11A to and from 3a is completed.

本実施形態では、上記第2の工程及び上記第3の工程において、加圧を行わない方が好ましい。この場合には、導電材料11には、第2の接続対象部材3の重量が加わる。このため、接続部4の形成時に、はんだ粒子11Aが、第1の電極2aと第2の電極3aとの間により一層効果的に集まる。なお、上記第2の工程及び上記第3の工程の内の少なくとも一方において、加圧を行えば、はんだ粒子11Aが第1の電極2aと第2の電極3aとの間に集まろうとする作用が阻害される傾向が高くなる。 In the present embodiment, it is preferable not to pressurize in the second step and the third step. In this case, the weight of the second connection target member 3 is added to the conductive material 11. Therefore, when the connecting portion 4 is formed, the solder particles 11A are more effectively gathered between the first electrode 2a and the second electrode 3a. When pressurization is performed in at least one of the second step and the third step, the solder particles 11A tend to gather between the first electrode 2a and the second electrode 3a. Is more likely to be inhibited.

また、本実施形態では、加圧を行っていないため、導電材料を塗布した第1の接続対象部材に、第2の接続対象部材を重ね合わせた際に、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極とのアライメントがずれた状態でも、そのずれを補正して、電極同士を接続させることができる(セルフアライメント効果)。これは、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極との間に自己凝集している溶融したはんだが、第1の接続対象部材の電極と第2の接続対象部材の電極との間のはんだと導電材料のその他の成分とが接する面積が最小となる方がエネルギー的に安定になるため、その最小の面積となる接続構造であるアライメントのあった接続構造にする力が働くためである。この際、導電材料が硬化していないこと、及び、その温度、時間にて、導電材料のはんだ粒子以外の成分の粘度が十分低いことが望ましい。 Further, in the present embodiment, since the pressure is not applied, when the second connection target member is superposed on the first connection target member coated with the conductive material, the electrode of the first connection target member is used. Even in a state where the second connection target member is out of alignment with the electrodes, the misalignment can be corrected and the electrodes can be connected to each other (self-alignment effect). This is because the molten solder that is self-aggregated between the electrodes of the first connection target member and the electrodes of the second connection target member is the electrode of the first connection target member and the second connection target member. Since the area where the solder between the electrodes and other components of the conductive material come into contact with each other is the smallest, the energy is more stable. Therefore, the force to make the connection structure with alignment, which is the connection structure with the minimum area. Is to work. At this time, it is desirable that the conductive material is not cured and that the viscosity of the components other than the solder particles of the conductive material is sufficiently low at the temperature and time.

はんだ粒子の融点での導電材料の粘度は、好ましくは50Pa・s以下、より好ましくは10Pa・s以下、さらに好ましくは1Pa・s以下であり、好ましくは0.1Pa・s以上、より好ましくは0.2Pa・s以上である。上記粘度が、上記上限以下であれば、はんだ粒子を効率的に凝集させることができる。上記粘度が、上記下限以上であれば、接続部でのボイドを抑制し、接続部以外への導電材料のはみだしを抑制することができる。 The viscosity of the conductive material at the melting point of the solder particles is preferably 50 Pa · s or less, more preferably 10 Pa · s or less, further preferably 1 Pa · s or less, preferably 0.1 Pa · s or more, and more preferably 0. .2 Pa · s or more. When the viscosity is not more than the upper limit, the solder particles can be efficiently aggregated. When the viscosity is at least the above lower limit, voids at the connecting portion can be suppressed, and the protrusion of the conductive material to other than the connecting portion can be suppressed.

上記はんだ粒子の融点での導電材料の粘度は、STRESSTECH(EOLOGICA社製)等を用いて、歪制御1rad、周波数1Hz、昇温速度20℃/分、測定温度範囲25〜200℃(但し、はんだ粒子の融点が200℃を超える場合には温度上限をはんだ粒子の融点とする)の条件で測定可能である。測定結果から、はんだ粒子の融点(℃)での粘度が評価される。 The viscosity of the conductive material at the melting point of the solder particles is determined by using STRESSTECH (manufactured by EOLOGICA) or the like, strain control 1 rad, frequency 1 Hz, heating rate 20 ° C./min, measurement temperature range 25 to 200 ° C. When the melting point of the particles exceeds 200 ° C., the upper limit of the temperature is taken as the melting point of the solder particles). From the measurement results, the viscosity of the solder particles at the melting point (° C) is evaluated.

このようにして、図1に示す接続構造体1が得られる。なお、上記第2の工程と上記第3の工程とは連続して行われてもよい。また、上記第2の工程を行った後に、得られる第1の接続対象部材2と導電材料11と第2の接続対象部材3との積層体を、加熱部に移動させて、上記第3の工程を行ってもよい。上記加熱を行うために、加熱部材上に上記積層体を配置してもよく、加熱された空間内に上記積層体を配置してもよい。 In this way, the connection structure 1 shown in FIG. 1 is obtained. The second step and the third step may be continuously performed. Further, after performing the second step, the obtained laminate of the first connection target member 2, the conductive material 11, and the second connection target member 3 is moved to the heating unit to move the third The process may be performed. In order to perform the heating, the laminate may be arranged on the heating member, or the laminate may be arranged in the heated space.

上記第3の工程における上記加熱温度は、好ましくは140℃以上、より好ましくは160℃以上であり、好ましくは450℃以下、より好ましくは250℃以下、さらに好ましくは200℃以下である。 The heating temperature in the third step is preferably 140 ° C. or higher, more preferably 160 ° C. or higher, preferably 450 ° C. or lower, more preferably 250 ° C. or lower, still more preferably 200 ° C. or lower.

上記第3の工程における加熱方法としては、はんだ粒子の融点以上及び熱硬化性化合物の硬化温度以上に、接続構造体全体を、リフロー炉を用いて又はオーブンを用いて加熱する方法や、接続構造体の接続部のみを局所的に加熱する方法が挙げられる。 As a heating method in the third step, a method of heating the entire connection structure using a reflow furnace or an oven or a connection structure above the melting point of the solder particles and above the curing temperature of the thermosetting compound. A method of locally heating only the connection part of the body can be mentioned.

局所的に加熱する方法に用いる器具としては、ホットプレート、熱風を付与するヒートガン、はんだゴテ、及び赤外線ヒーター等が挙げられる。 Examples of the appliance used for the method of locally heating include a hot plate, a heat gun for applying hot air, a soldering iron, an infrared heater, and the like.

また、ホットプレートにて局所的に加熱する際、接続部直下は、熱伝導性の高い金属にて、その他の加熱することが好ましくない個所は、フッ素樹脂等の熱伝導性の低い材質にて、ホットプレート上面を形成することが好ましい。 When locally heating on a hot plate, use a metal with high thermal conductivity directly under the connection, and use a material with low thermal conductivity such as fluororesin in other areas where heating is not preferable. , It is preferable to form the upper surface of the hot plate.

上記第1,第2の接続対象部材は、特に限定されない。上記第1,第2の接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、半導体パッケージ、LEDチップ、LEDパッケージ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びに樹脂フィルム、プリント基板、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル、リジッドフレキシブル基板、ガラスエポキシ基板及びガラス基板等の回路基板等の電子部品等が挙げられる。上記第1,第2の接続対象部材は、電子部品であることが好ましい。 The first and second connection target members are not particularly limited. Specific examples of the first and second connection target members include electronic components such as semiconductor chips, semiconductor packages, LED chips, LED packages, capacitors and diodes, resin films, printed circuit boards, flexible printed circuit boards, and flexible devices. Examples thereof include electronic components such as flat cables, rigid flexible substrates, glass epoxy substrates, and circuit boards such as glass substrates. The first and second connection target members are preferably electronic components.

上記第1の接続対象部材及び上記第2の接続対象部材の内の少なくとも一方が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板であることが好ましい。上記第2の接続対象部材が、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板であることが好ましい。樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル及びリジッドフレキシブル基板は、柔軟性が高く、比較的軽量であるという性質を有する。このような接続対象部材の接続に導電フィルムを用いた場合には、はんだ粒子が電極上に集まりにくい傾向がある。これに対して、導電ペーストを用いることで、樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板を用いたとしても、はんだ粒子を電極上に効率的に集めることで、電極間の導通信頼性を十分に高めることができる。樹脂フィルム、フレキシブルプリント基板、フレキシブルフラットケーブル又はリジッドフレキシブル基板を用いる場合に、半導体チップ等の他の接続対象部材を用いた場合と比べて、加圧を行わないことによる電極間の導通信頼性の向上効果がより一層効果的に得られる。 It is preferable that at least one of the first connection target member and the second connection target member is a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible substrate. It is preferable that the second connection target member is a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible substrate. Resin films, flexible printed circuit boards, flexible flat cables, and rigid flexible substrates have the properties of high flexibility and relatively light weight. When a conductive film is used to connect such a member to be connected, solder particles tend to be difficult to collect on the electrodes. On the other hand, by using the conductive paste, even if a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable or a rigid flexible substrate is used, the solder particles are efficiently collected on the electrodes, so that the conduction between the electrodes is reliable. The sex can be sufficiently enhanced. When a resin film, a flexible printed circuit board, a flexible flat cable, or a rigid flexible substrate is used, the continuity reliability between the electrodes is improved by not applying pressure, as compared with the case where other members to be connected such as a semiconductor chip are used. The improvement effect can be obtained even more effectively.

上記接続対象部材に設けられている電極としては、金電極、ニッケル電極、錫電極、アルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極、SUS電極、及びタングステン電極等の金属電極が挙げられる。上記接続対象部材がフレキシブルプリント基板である場合には、上記電極は金電極、ニッケル電極、錫電極、銀電極又は銅電極であることが好ましい。上記接続対象部材がガラス基板である場合には、上記電極はアルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極、銀電極又はタングステン電極であることが好ましい。なお、上記電極がアルミニウム電極である場合には、アルミニウムのみで形成された電極であってもよく、金属酸化物層の表面にアルミニウム層が積層された電極であってもよい。上記金属酸化物層の材料としては、3価の金属元素がドープされた酸化インジウム及び3価の金属元素がドープされた酸化亜鉛等が挙げられる。上記3価の金属元素としては、Sn、Al及びGa等が挙げられる。 Examples of the electrodes provided on the connection target member include metal electrodes such as gold electrodes, nickel electrodes, tin electrodes, aluminum electrodes, copper electrodes, molybdenum electrodes, silver electrodes, SUS electrodes, and tungsten electrodes. When the connection target member is a flexible printed substrate, the electrodes are preferably gold electrodes, nickel electrodes, tin electrodes, silver electrodes or copper electrodes. When the connection target member is a glass substrate, the electrodes are preferably aluminum electrodes, copper electrodes, molybdenum electrodes, silver electrodes or tungsten electrodes. When the electrode is an aluminum electrode, it may be an electrode formed only of aluminum, or an electrode in which an aluminum layer is laminated on the surface of a metal oxide layer. Examples of the material of the metal oxide layer include indium oxide doped with a trivalent metal element and zinc oxide doped with a trivalent metal element. Examples of the trivalent metal element include Sn, Al and Ga.

本発明に係る接続構造体では、上記第1の電極及び上記第2の電極は、エリアアレイ又はペリフェラルにて配置されていることが好ましい。上記第1の電極及び上記第2の電極が、エリアアレイ又はペリフェラルにて配置されている場合において、本発明の効果がより一層効果的に発揮される。上記エリアアレイとは、接続対象部材の電極が配置されている面にて、格子状に電極が配置されている構造のことである。上記ペリフェラルとは、接続対象部材の外周部に電極が配置されている構造のことである。電極が櫛型に並んでいる構造の場合は、櫛に垂直な方向に沿ってはんだ粒子が凝集すればよいのに対して、上記エリアアレイ又はペリフェラル構造では電極が配置されている面において、全面にて均一にはんだ粒子が凝集する必要があるため、従来の方法では、はんだ量が不均一になりやすいのに対して、本発明の方法では、本発明の効果がより一層効果的に発揮される。 In the connection structure according to the present invention, it is preferable that the first electrode and the second electrode are arranged in an area array or a peripheral. When the first electrode and the second electrode are arranged in an area array or a peripheral, the effect of the present invention is exhibited even more effectively. The area array is a structure in which the electrodes are arranged in a grid pattern on the surface on which the electrodes of the connection target member are arranged. The peripheral is a structure in which electrodes are arranged on the outer peripheral portion of a member to be connected. In the case of a structure in which the electrodes are arranged in a comb shape, the solder particles may be aggregated along the direction perpendicular to the comb, whereas in the area array or the peripheral structure, the entire surface on the surface where the electrodes are arranged is sufficient. Since it is necessary for the solder particles to agglomerate uniformly in the above method, the amount of solder tends to be non-uniform in the conventional method, whereas the effect of the present invention is more effectively exhibited in the method of the present invention. To.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

硬化性化合物:
(1)硬化性化合物1:脂肪族エポキシ化合物、共栄社化学社製「エポライト1600」、SP値:9.8
(2)硬化性化合物2:脂肪族エポキシ化合物、共栄社化学社製「エポライト100E」、SP値:10.2
(3)硬化性化合物3:脂肪族エポキシ化合物、共栄社化学社製「エポライト40E」、SP値:10.4
(4)硬化性化合物4:ビスフェノールA型エポキシ化合物、新日鉄住金化学社製「YD−8125」、SP値:10.5
(5)硬化性化合物5:ビスフェノールF型エポキシ化合物、新日鉄住金化学社製「YDF−8170C」、SP値:11
(6)硬化性化合物6:イソシアヌル骨格含有エポキシ化合物、日産化学社製「TEPIC−VL」、SP値:12.9
(7)硬化性化合物7:脂環式エポキシ化合物、ダイセル社製「セロキサイド2021P」、SP値:12
Curable compound:
(1) Curable compound 1: Aliphatic epoxy compound, "Epolite 1600" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., SP value: 9.8
(2) Curable compound 2: Aliphatic epoxy compound, "Epolite 100E" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., SP value: 10.2
(3) Curable compound 3: Aliphatic epoxy compound, "Epolite 40E" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., SP value: 10.4
(4) Curable compound 4: Bisphenol A type epoxy compound, "YD-8125" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., SP value: 10.5
(5) Curable compound 5: Bisphenol F type epoxy compound, "YDF-8170C" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., SP value: 11
(6) Curable compound 6: Isocyanul skeleton-containing epoxy compound, "TEPIC-VL" manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., SP value: 12.9
(7) Curable compound 7: Alicyclic epoxy compound, "Celoxide 2021P" manufactured by Daicel, SP value: 12

硬化剤:
(1)硬化剤1:酸無水物硬化剤、新日本理化社製「リカシッドTH」、SP値:12.4
(2)硬化剤2:酸無水物硬化剤、新日本理化社製「リカシッドSA」、SP値:12.5
(3)硬化剤3:酸無水物硬化剤、東京化成工業社製「ピロメリット酸無水物」、SP値:13.8
(4)硬化剤4:酸無水物硬化剤、新日本理化社製「リカシッドTMTA−C」、SP値:14
(5)硬化剤5:酸無水物硬化剤、新日本理化社製「リカシッドTMEG」、SP値:14.7
Hardener:
(1) Hardener 1: Acid anhydride hardener, "Recasid TH" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd., SP value: 12.4
(2) Hardener 2: Acid anhydride hardener, "Recasid SA" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd., SP value: 12.5
(3) Hardener 3: Acid anhydride Hardener, "Pyromellitic anhydride" manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., SP value: 13.8
(4) Hardener 4: Acid anhydride hardener, "Recasid TMTA-C" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd., SP value: 14
(5) Hardener 5: Acid anhydride hardener, "Recasid TMEG" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd., SP value: 14.7

有機リン化合物:
(1)有機リン化合物1:有機ホスホニウム塩、日本化学工業社製「PX−4B」
(2)有機リン化合物2:有機ホスホニウム塩、日本化学工業社製「PX−4MP」
(3)有機リン化合物3:有機ホスホニウム塩、日本化学工業社製「PX−4ET」
(4)有機リン化合物4:有機ホスホニウム塩、日本化学工業社製「PX−4BT」
Organophosphorus compounds:
(1) Organophosphorus compound 1: Organic phosphonium salt, "PX-4B" manufactured by Nippon Chemical Industrial Co., Ltd.
(2) Organophosphorus compound 2: Organic phosphonium salt, "PX-4MP" manufactured by Nippon Chemical Industrial Co., Ltd.
(3) Organophosphorus compound 3: Organic phosphonium salt, "PX-4ET" manufactured by Nippon Chemical Industrial Co., Ltd.
(4) Organophosphorus compound 4: Organic phosphonium salt, "PX-4BT" manufactured by Nippon Chemical Industrial Co., Ltd.

はんだ粒子:
はんだ粒子1:SnBiはんだ粒子、三井金属工業社製「Sn42Bi58」、d90:4μm
はんだ粒子2:SnBiはんだ粒子、三井金属工業社製「Sn42Bi58」、d90:6μm
はんだ粒子3:SnBiはんだ粒子、三井金属工業社製「Sn42Bi58」、d90:10μm
はんだ粒子4:SnBiはんだ粒子、三井金属工業社製「Sn42Bi58」、d90:15μm
Solder particles:
Solder particles 1: SnBi solder particles, "Sn42Bi58" manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., d90: 4 μm
Solder particles 2: SnBi solder particles, "Sn42Bi58" manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., d90: 6 μm
Solder particles 3: SnBi solder particles, "Sn42Bi58" manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., d90: 10 μm
Solder particles 4: SnBi solder particles, "Sn42Bi58" manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., d90: 15 μm

硬化性化合物及び硬化剤のSP値:
硬化性化合物及び硬化剤のSP値は、Fedorsの推算法により算出した。
SP values of curable compounds and hardeners:
The SP values of the curable compound and the curing agent were calculated by the Fedors estimation method.

はんだ粒子のd90:
はんだ粒子の体積基準での粒度分布を、レーザー回折式粒度分布測定装置(Malvern社製「マスターサイザー3000」)にて測定した。得られた粒度分布の結果から、はんだ粒子のd90(はんだ粒子の累積体積が90%であるときのはんだ粒子の粒子径)を求めた。
Solder particle d90:
The particle size distribution of the solder particles based on the volume was measured with a laser diffraction type particle size distribution measuring device (“Mastersizer 3000” manufactured by Malvern). From the results of the obtained particle size distribution, d90 of the solder particles (particle size of the solder particles when the cumulative volume of the solder particles is 90%) was determined.

(実施例1〜19及び比較例1〜3)
(1)導電材料(異方性導電ペースト)の作製
下記の表1,2に示す成分を下記の表1,2に示す配合量で配合して、導電材料(異方性導電ペースト)を得た。
(Examples 1 to 19 and Comparative Examples 1 to 3)
(1) Preparation of Conductive Material (Anisotropic Conductive Paste) The components shown in Tables 1 and 2 below are blended in the blending amounts shown in Tables 1 and 2 below to obtain a conductive material (anisotropic conductive paste). It was.

(2−1)条件Aでの接続構造体の具体的な作製方法:
第1の接続対象部材として、半導体チップ本体(サイズ5×5mm、厚み0.4mm)の表面に、400μmピッチで250μmの銅電極が、エリアアレイにて配置されており、最表面にパッシベーション膜(ポリイミド、厚み5μm、電極部の開口径200μm)が形成されている半導体チップを準備した。銅電極の数は、半導体チップ1個当たり、10個×10個の合計100個である。
(2-1) Specific method for producing the connection structure under condition A:
As the first connection target member, copper electrodes of 250 μm at a pitch of 400 μm are arranged in an area array on the surface of the semiconductor chip body (size 5 × 5 mm, thickness 0.4 mm), and a passivation film (passivation film) is arranged on the outermost surface. A semiconductor chip having a polyimide, a thickness of 5 μm, and an electrode opening diameter of 200 μm) was prepared. The number of copper electrodes is 10 x 10 per semiconductor chip, for a total of 100.

第2の接続対象部材として、ガラスエポキシ基板本体(サイズ20×20mm、厚み1.2mm、材質FR−4)の表面に、第1の接続対象部材の電極に対して、同じパターンとなるように、銅電極が配置されており、銅電極が配置されていない領域にソルダーレジスト膜が形成されているガラスエポキシ基板を準備した。銅電極の表面とソルダーレジスト膜の表面との段差は、15μmであり、ソルダーレジスト膜は銅電極よりも突出している。 As the second connection target member, the same pattern is formed on the surface of the glass epoxy substrate main body (size 20 × 20 mm, thickness 1.2 mm, material FR-4) with respect to the electrodes of the first connection target member. , A glass epoxy substrate was prepared in which a copper electrode was arranged and a solder resist film was formed in a region where the copper electrode was not arranged. The step between the surface of the copper electrode and the surface of the solder resist film is 15 μm, and the solder resist film protrudes from the copper electrode.

上記ガラスエポキシ基板の上面に、作製直後の導電材料(異方性導電ペースト)を厚さ100μmとなるように塗工し、導電材料(異方性導電ペースト)層を形成した。次に、導電材料(異方性導電ペースト)層の上面に半導体チップを電極同士が対向するように積層した。導電材料(異方性導電ペースト)層には、上記半導体チップの重量は加わる。その状態から、導電材料(異方性導電ペースト)層の温度が、昇温開始から5秒後に139℃(はんだの融点)となるように加熱した。さらに、昇温開始から15秒後に、導電材料(異方性導電ペースト)層の温度が160℃となるように加熱し、導電材料(異方性導電ペースト)層を硬化させ、接続構造体を得た。加熱時には、加圧を行わなかった。 A conductive material (anisotropic conductive paste) immediately after production was applied to the upper surface of the glass epoxy substrate so as to have a thickness of 100 μm to form a conductive material (anisotropic conductive paste) layer. Next, semiconductor chips were laminated on the upper surface of the conductive material (anisotropic conductive paste) layer so that the electrodes face each other. The weight of the semiconductor chip is added to the conductive material (anisometric conductive paste) layer. From that state, the temperature of the conductive material (anisotropic conductive paste) layer was heated to 139 ° C. (melting point of the solder) 5 seconds after the start of temperature rise. Further, 15 seconds after the start of temperature rise, the conductive material (anisometric conductive paste) layer is heated to 160 ° C. to cure the conductive material (anisotropic conductive paste) layer, and the connection structure is formed. Obtained. No pressurization was performed during heating.

(2−2)条件Bでの接続構造体の具体的な作製方法:
以下の変更をしたこと以外は、条件Aと同様にして、接続構造体(エリアアレイ基板)を作製した。
(2-2) Specific method for producing the connection structure under condition B:
A connection structure (area array substrate) was produced in the same manner as in Condition A except that the following changes were made.

条件Aから条件Bへの変更点:
上記ガラスエポキシ基板の上面に、作製直後の導電材料(異方性導電ペースト)を厚さ100μmとなるように塗工し、導電材料(異方性導電ペースト)層を形成した後、25℃及び湿度50%の環境下に6時間放置した。放置後、導電材料(異方性導電ペースト)層の上面に半導体チップを電極同士が対向するように積層した。
Changes from condition A to condition B:
A conductive material (anisotropic conductive paste) immediately after production is coated on the upper surface of the glass epoxy substrate so as to have a thickness of 100 μm to form a conductive material (anisotropic conductive paste) layer, and then at 25 ° C. It was left in an environment of 50% humidity for 6 hours. After being left to stand, semiconductor chips were laminated on the upper surface of the conductive material (anisotropic conductive paste) layer so that the electrodes face each other.

(評価)
(1)第1の硬化性化合物及び第2の硬化性化合物の配合の有無
得られた導電材料において、硬化性化合物と硬化剤とのSP値から、第1の硬化性化合物及び第2の硬化性化合物が含まれているか否かを確認した。第1の硬化性化合物及び第2の硬化性化合物の配合の有無について以下の基準で判定した。
(Evaluation)
(1) Presence or absence of blending of the first curable compound and the second curable compound In the obtained conductive material, the first curable compound and the second curing are based on the SP values of the curable compound and the curing agent. It was confirmed whether or not the sex compound was contained. Whether or not the first curable compound and the second curable compound were blended was determined according to the following criteria.

[第1の硬化性化合物の配合の有無の判定基準]
A:導電材料中に、第1の硬化性化合物が含まれている
B:導電材料中に、第1の硬化性化合物が含まれていない
[Criteria for determining whether or not the first curable compound is blended]
A: The conductive material contains the first curable compound B: The conductive material does not contain the first curable compound

[第2の硬化性化合物の配合の有無の判定基準]
A1:導電材料中に、第2の硬化性化合物が含まれている
A2:導電材料中に、第2の硬化性化合物が含まれていない
[Criteria for determining the presence or absence of the second curable compound]
A1: The conductive material contains the second curable compound A2: The conductive material does not contain the second curable compound

(2)ギャップ
条件A及び条件Bにて得られた接続構造体において、走査型電子顕微鏡により、接続部中のはんだ部の高さ(ギャップ)を測定した。ギャップを以下の基準で判定した。
(2) Gap In the connection structures obtained under the conditions A and B, the height (gap) of the solder portion in the connection portion was measured by a scanning electron microscope. The gap was determined according to the following criteria.

[ギャップの判定基準]
○○:ギャップが5μm未満
○:ギャップが5μm以上、10μm未満
△:ギャップが10μm以上、15μm未満
×:ギャップが15μm以上
[Gap criteria]
○ ○: Gap is less than 5 μm ○: Gap is 5 μm or more and less than 10 μm Δ: Gap is 10 μm or more and less than 15 μm ×: Gap is 15 μm or more

(3)電極上のはんだの配置精度
条件A及び条件Bにて得られた接続構造体において、第1の電極と接続部と第2の電極との積層方向に第1の電極と第2の電極との対向し合う部分をみたときに、第1の電極と第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の、接続部中のはんだ部が配置されている面積の割合Xを評価した。電極上のはんだの配置精度を下記の基準で判定した。
(3) Placement accuracy of solder on electrodes In the connection structure obtained under conditions A and B, the first electrode and the second electrode are in the stacking direction of the first electrode, the connecting portion, and the second electrode. When looking at the parts facing each other with the electrodes, the ratio X of the area where the solder part in the connecting part is arranged in 100% of the area of the parts facing each other between the first electrode and the second electrode is defined as X. evaluated. The placement accuracy of the solder on the electrodes was judged according to the following criteria.

[電極上のはんだの配置精度の判定基準]
○○:割合Xが70%以上
○:割合Xが60%以上、70%未満
△:割合Xが50%以上、60%未満
×:割合Xが50%未満
[Criteria for determining the accuracy of solder placement on electrodes]
○○: Ratio X is 70% or more ○: Ratio X is 60% or more and less than 70% Δ: Ratio X is 50% or more and less than 60% ×: Ratio X is less than 50%

(4)上下の電極間の導通信頼性
条件A及び条件Bにて得られた接続構造体(n=15個)において、上下の電極間の1接続箇所当たりの接続抵抗をそれぞれ、4端子法により測定した。接続抵抗の平均値を算出した。なお、電圧=電流×抵抗の関係から、一定の電流を流した時の電圧を測定することにより接続抵抗を求めることができる。導通信頼性を下記の基準で判定した。
(4) Conductivity reliability between the upper and lower electrodes In the connection structures (n = 15) obtained under the conditions A and B, the connection resistance per connection point between the upper and lower electrodes is controlled by the 4-terminal method. Measured by. The average value of the connection resistance was calculated. From the relationship of voltage = current x resistance, the connection resistance can be obtained by measuring the voltage when a constant current is passed. The continuity reliability was judged according to the following criteria.

[導通信頼性の判定基準]
○○:接続抵抗の平均値が50mΩ以下
○:接続抵抗の平均値が50mΩを超え、70mΩ以下
△:接続抵抗の平均値が70mΩを超え、100mΩ以下
×:接続抵抗の平均値が100mΩを超える、又は接続不良が生じている
[Criteria for conduction reliability]
○ ○: The average value of the connection resistance is 50 mΩ or less ○: The average value of the connection resistance exceeds 50 mΩ and 70 mΩ or less Δ: The average value of the connection resistance exceeds 70 mΩ and 100 mΩ or less ×: The average value of the connection resistance exceeds 100 mΩ Or there is a poor connection

(5)隣接する電極間の絶縁信頼性
条件A及び条件Bにて得られた接続構造体(n=15個)において、85℃及び湿度85%の雰囲気中に100時間放置後、隣接する電極間に、5Vを印加し、抵抗値を25箇所で測定した。絶縁信頼性を下記の基準で判定した。
(5) Insulation reliability between adjacent electrodes In the connection structures (n = 15) obtained under conditions A and B, the adjacent electrodes are left in an atmosphere of 85 ° C. and 85% humidity for 100 hours. In the meantime, 5 V was applied and the resistance value was measured at 25 points. The insulation reliability was judged according to the following criteria.

[絶縁信頼性の判定基準]
○○:接続抵抗の平均値が10Ω以上
○:接続抵抗の平均値が10Ω以上、10Ω未満
△:接続抵抗の平均値が10Ω以上、10Ω未満
×:接続抵抗の平均値が10Ω未満
[Criteria for insulation reliability]
○○: connecting the average value of the resistance 10 7 Omega more ○: connecting the average value of the resistor 10 6 Omega to less than 10 7 Ω △: connection mean value of the resistance 10 5 Omega to less than 10 6 Ω ×: Connection mean value of the resistance is less than 10 5 Omega

(6)ゲル分率
下記の表1,2に示す成分の内、導電性粒子を除く成分を配合して、硬化性組成物を得た。得られた硬化性組成物を、加熱プレス機を用いて、1MPaで加圧しながら160℃で1時間加熱することで、厚さ0.5mmの硬化物を得た。得られた硬化物を5g量り取り、トルエン100g中に25℃で20時間浸漬した。その後、硬化物を取り出し、160℃で30分間乾燥し、乾燥後の硬化物の重量を測定した。ゲル分率を下記式により算出した。ゲル分率を下記の基準で判定した。なお、ゲル分率が高いほど、接続構造体の硬化物部に由来して、ギャップ保持性が高くなる。
(6) Gel fraction Among the components shown in Tables 1 and 2 below, components other than conductive particles were blended to obtain a curable composition. The obtained curable composition was heated at 160 ° C. for 1 hour while pressurizing at 1 MPa using a heating press to obtain a cured product having a thickness of 0.5 mm. 5 g of the obtained cured product was weighed and immersed in 100 g of toluene at 25 ° C. for 20 hours. Then, the cured product was taken out, dried at 160 ° C. for 30 minutes, and the weight of the cured product after drying was measured. The gel fraction was calculated by the following formula. The gel fraction was determined according to the following criteria. The higher the gel fraction, the higher the gap retention due to the cured product portion of the connecting structure.

ゲル分率(%)=[トルエン浸漬後の硬化物の重量(g)/トルエン浸漬前の硬化物の重量(g)]×100 Gel fraction (%) = [Weight of cured product after toluene immersion (g) / Weight of cured product before toluene immersion (g)] x 100

[ゲル分率の判定基準]
○○:ゲル分率が90%以上、100%以下
○:ゲル分率が80%以上、90%未満
△:ゲル分率が70%以上、80%未満
×:ゲル分率が70%未満
[Criteria for gel fraction]
○○: Gel fraction is 90% or more and 100% or less ○: Gel fraction is 80% or more and less than 90% Δ: Gel fraction is 70% or more and less than 80% ×: Gel fraction is less than 70%

結果を下記の表1,2に示す。 The results are shown in Tables 1 and 2 below.

Figure 0006767307
Figure 0006767307

Figure 0006767307
Figure 0006767307

フレキシブルプリント基板、樹脂フィルム、フレキシブルフラットケーブル及びリジッドフレキシブル基板を用いた場合でも、同様の傾向が見られた。 The same tendency was observed when a flexible printed circuit board, a resin film, a flexible flat cable, and a rigid flexible substrate were used.

1,1X…接続構造体
2…第1の接続対象部材
2a…第1の電極
3…第2の接続対象部材
3a…第2の電極
4,4X…接続部
4A,4XA…はんだ部
4B,4XB…硬化物部
11…導電材料
11A…はんだ粒子
11B…熱硬化性成分
1,1X ... Connection structure 2 ... First connection target member 2a ... First electrode 3 ... Second connection target member 3a ... Second electrode 4,4X ... Connection part 4A, 4XA ... Solder part 4B, 4XB … Cured material part 11… Conductive material 11A… Solder particles 11B… Thermosetting component

Claims (13)

第1の硬化性化合物と、硬化剤と、はんだ粒子とを含む導電材料であり、
前記導電材料が、第2の硬化性化合物を含まないか、又は、含み、
前記第1の硬化性化合物のSP値と前記硬化剤のSP値との差の絶対値が、2以上であり、
前記第2の硬化性化合物のSP値と前記硬化剤のSP値との差の絶対値が、2未満であり、
前記第1の硬化性化合物と前記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、前記第1の硬化性化合物の含有量が、5重量%以上であり、
前記はんだ粒子の体積基準での粒度分布において、前記はんだ粒子のd90が、10μm以下である、導電材料。
A conductive material containing a first curable compound, a curing agent, and solder particles.
The conductive material does not contain or contains a second curable compound.
The absolute value of the difference between the SP value of the first curable compound and the SP value of the curing agent is 2 or more.
The absolute value of the difference between the SP value of the second curable compound and the SP value of the curing agent is less than 2.
The content of the first curable compound is 5% by weight or more in a total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound.
A conductive material in which d90 of the solder particles is 10 μm or less in the particle size distribution based on the volume of the solder particles.
前記第2の硬化性化合物を含み、
前記第1の硬化性化合物と前記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、前記第1の硬化性化合物の含有量が、90重量%以下である、請求項1に記載の導電材料。
Contains the second curable compound
The conductive material according to claim 1, wherein the content of the first curable compound is 90% by weight or less in a total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound. ..
前記第1の硬化性化合物と前記第2の硬化性化合物との合計100重量%中、前記第2の硬化性化合物の含有量が、10重量%以上である、請求項1又は2に記載の導電材料。 The first or second claim, wherein the content of the second curable compound is 10% by weight or more in a total of 100% by weight of the first curable compound and the second curable compound. Conductive material. 前記第1の硬化性化合物のSP値と前記硬化剤のSP値との差の絶対値が、5.5以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 3, wherein the absolute value of the difference between the SP value of the first curable compound and the SP value of the curing agent is 5.5 or less. 前記硬化剤が、酸無水物硬化剤である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 4, wherein the curing agent is an acid anhydride curing agent. 前記第1の硬化性化合物が、脂肪族化合物である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 5, wherein the first curable compound is an aliphatic compound. 前記第1の硬化性化合物が、脂肪族エポキシ化合物である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 6, wherein the first curable compound is an aliphatic epoxy compound. 有機リン化合物を含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 7, which comprises an organic phosphorus compound. 導電ペーストである、請求項1〜8のいずれか1項に記載の導電材料。 The conductive material according to any one of claims 1 to 8, which is a conductive paste. 第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、
第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、
前記第1の接続対象部材と、前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、
前記接続部の材料が、請求項1〜9のいずれか1項に記載の導電材料であり、
前記第1の電極と前記第2の電極とが、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続されている、接続構造体。
A first connection target member having a first electrode on its surface,
A second connection target member having a second electrode on the surface,
A connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member is provided.
The material of the connecting portion is the conductive material according to any one of claims 1 to 9.
A connection structure in which the first electrode and the second electrode are electrically connected by a solder portion in the connection portion.
前記第1の電極と前記接続部と前記第2の電極との積層方向に前記第1の電極と前記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、前記第1の電極と前記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、前記接続部中のはんだ部が配置されている、請求項10に記載の接続構造体。 When the portion of the first electrode and the second electrode facing each other is seen in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the first electrode are viewed. The connection structure according to claim 10, wherein the solder portion in the connection portion is arranged in 50% or more of the area of 100% of the portions facing the electrodes of 2. 請求項1〜9のいずれか1項に記載の導電材料を用いて、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上に、前記導電材料を配置する工程と、
前記導電材料の前記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材を、前記第1の電極と前記第2の電極とが対向するように配置する工程と、
前記はんだ粒子の融点以上に前記導電材料を加熱することで、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部を、前記導電材料により形成し、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とを、前記接続部中のはんだ部により電気的に接続する工程とを備える、接続構造体の製造方法。
A step of arranging the conductive material on the surface of a first connection target member having a first electrode on the surface using the conductive material according to any one of claims 1 to 9.
The first electrode and the second electrode face each other on the surface of the conductive material opposite to the first connection target member side, with the second connection target member having the second electrode on the surface. And the process of arranging
By heating the conductive material above the melting point of the solder particles, a connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member is formed by the conductive material, and A method for manufacturing a connection structure, comprising a step of electrically connecting the first electrode and the second electrode by a solder portion in the connection portion.
前記第1の電極と前記接続部と前記第2の電極との積層方向に前記第1の電極と前記第2の電極との対向し合う部分をみたときに、前記第1の電極と前記第2の電極との対向し合う部分の面積100%中の50%以上に、前記接続部中のはんだ部が配置されている接続構造体を得る、請求項12に記載の接続構造体の製造方法。 When the portion of the first electrode and the second electrode facing each other is seen in the stacking direction of the first electrode, the connection portion, and the second electrode, the first electrode and the first electrode are viewed. The method for manufacturing a connection structure according to claim 12, wherein a connection structure is obtained in which the solder portion in the connection portion is arranged in 50% or more of the area of 100% of the portions facing the electrodes of 2. ..
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