JP6757547B2 - Method of forming a cured coating film - Google Patents

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Description

本発明は、インクジェット法により、基板上に感光性樹脂組成物を塗工する硬化塗膜の形成方法に関するものである。 The present invention relates to a method for forming a cured coating film in which a photosensitive resin composition is applied onto a substrate by an inkjet method.

従来、基板、例えば、所望の回路パターンを有するプリント配線板に被覆(例えば、ソルダーレジスト膜等の絶縁被膜)を形成するにあたり、スクリーン印刷法を用いて、感光性樹脂組成物を塗布後、予備乾燥し、回路パターンのランド以外を透光性にしたパターンを有するネガフィルムを感光性樹脂組成物の塗膜上に密着させ、その上から活性エネルギー線(紫外線)を照射し、上記ランドに対応する非露光領域を希アルカリ水溶液で除去して、塗膜を現像し、ポストキュアを行っていた(特許文献1)。 Conventionally, in forming a coating (for example, an insulating coating such as a solder resist film) on a substrate, for example, a printed wiring board having a desired circuit pattern, a photosensitive resin composition is applied and then prepared by using a screen printing method. A negative film having a pattern that is dried and has a translucent pattern other than the land of the circuit pattern is brought into close contact with the coating film of the photosensitive resin composition, and active energy rays (ultraviolet rays) are irradiated from above to correspond to the above land. The unexposed region to be exposed was removed with a dilute alkaline aqueous solution, the coating film was developed, and post-cure was performed (Patent Document 1).

しかし、プリント配線板には、スルーホールが設けられている場合がある。この場合、スクリーン印刷法を用いると、塗布した感光性樹脂組成物が、スルーホールを介してプリント配線板の裏側へ抜けてしまうので、スルーホールの周縁部では塗布した感光性樹脂組成物が退けてしまう。従って、スルーホールの周縁部においては、塗膜の厚さが薄い部分が生じて、塗膜の厚さを十分には均一化できないという問題がある。 However, the printed wiring board may be provided with through holes. In this case, when the screen printing method is used, the applied photosensitive resin composition escapes to the back side of the printed wiring board through the through holes, so that the applied photosensitive resin composition is rejected at the peripheral edge of the through holes. It ends up. Therefore, there is a problem that a portion where the thickness of the coating film is thin is generated in the peripheral portion of the through hole, and the thickness of the coating film cannot be made uniform sufficiently.

特に、基板の、感光性樹脂組成物の塗布された面とは反対側の面(裏面)が、塗布ステージに接触していると、塗布ステージ表面と基板の裏面との境界面に生じる毛細管力によって、スルーホールを介した、感光性樹脂組成物のプリント配線板の裏側への抜けが、促進されてしまう場合がある。 In particular, when the surface (back surface) of the substrate opposite to the coated surface of the photosensitive resin composition is in contact with the coating stage, the capillary force generated at the boundary surface between the front surface of the coating stage and the back surface of the substrate. This may promote the escape of the photosensitive resin composition to the back side of the printed wiring board through the through holes.

基板の使用条件等によっては、このような問題を防止することが要求される場合もある。 It may be required to prevent such a problem depending on the usage conditions of the substrate and the like.

特開2002−293882号公報JP-A-2002-293882

上記事情に鑑み、本発明の目的は、基板にスルーホールが設けられていても、スルーホールを介した感光性樹脂組成物の基板裏側への抜けを防止し、塗膜の厚さを均一化できる硬化塗膜の形成方法を提供することである。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to prevent the photosensitive resin composition from coming out to the back side of the substrate through the through holes even if the substrate is provided with through holes, and to make the thickness of the coating film uniform. It is to provide a method of forming a cured coating film which can be performed.

本発明の態様は、インクジェット法により、25℃における粘度が150〜1500mPa・sである第1の感光性樹脂組成物を、少なくとも基板のスルーホール部に塗工して前記スルーホールに充填物を形成する工程と、前記基板の第1主表面上及び前記充填物の前記第1主表面側の表面上に、第2の感光性樹脂組成物を塗工して塗膜を形成する工程と、前記塗膜を硬化処理して硬化塗膜を形成する工程と、を有し、前記第1の感光性樹脂組成物を塗工する工程において、前記基板の前記第1主表面の反対側の面である第2主表面のうち、少なくとも前記スルーホールの周縁部を、非接触とする硬化塗膜の形成方法である。 In the aspect of the present invention, at least the through hole portion of the substrate is coated with the first photosensitive resin composition having a viscosity at 25 ° C. of 150 to 1500 mPa · s by an inkjet method, and the through hole is filled. A step of forming a coating film by applying a second photosensitive resin composition on the first main surface of the substrate and on the surface of the filler on the first main surface side. In the step of applying the first photosensitive resin composition, which comprises a step of curing the coating film to form a cured coating film, the surface of the substrate on the opposite side of the first main surface. This is a method for forming a cured coating film in which at least the peripheral edge of the through hole of the second main surface is non-contact.

上記態様では、インクジェット法により塗工した第1の感光性樹脂組成物にてスルーホールを充填し、充填した第1の感光性樹脂組成物上に、さらに、インクジェット法も含む所望の塗工方法にて第2の感光性樹脂組成物を塗工し、少なくとも塗工した第2の感光性樹脂組成物に対する硬化処理を行っている。なお、基板の第1主表面上及び充填物の第1主表面側の表面上に第2の感光性樹脂組成物を塗工するとは、基板の第1主表面及び充填物の第1主表面側の表面に、直接、第2の感光性樹脂組成物を塗工する場合と、基板の第1主表面及び充填物の第1主表面側の表面に、第2の感光性樹脂組成物以外の他の樹脂組成物(第1の感光性樹脂組成物を含む)を塗工してから、その上に、第2の感光性樹脂組成物を塗工する場合と、を含む。 In the above aspect, a desired coating method including a through hole is filled with the first photosensitive resin composition coated by the inkjet method, and the first photosensitive resin composition is filled with the through hole, and further includes the inkjet method. The second photosensitive resin composition is coated at the above, and at least the coated second photosensitive resin composition is cured. In addition, coating the second photosensitive resin composition on the first main surface of the substrate and the surface on the first main surface side of the filler means that the first main surface of the substrate and the first main surface of the filler are coated. When the second photosensitive resin composition is directly applied to the surface on the side, and on the surface on the first main surface side of the substrate and the surface on the first main surface side of the filler, other than the second photosensitive resin composition. The case includes a case where another resin composition (including the first photosensitive resin composition) is applied and then a second photosensitive resin composition is applied on the coating.

本発明の態様は、前記第1の感光性樹脂組成物が、25℃における表面張力が30m/m以下の非反応性希釈剤を含む硬化塗膜の形成方法である。 An aspect of the present invention is a method for forming a cured coating film in which the first photosensitive resin composition contains a non-reactive diluent having a surface tension of 30 m N / m or less at 25 ° C.

本発明の態様は、前記非反応性希釈剤が、ジエチレングリコールジエチルエーテルを含む硬化塗膜の形成方法である。 An aspect of the present invention is a method for forming a cured coating film in which the non-reactive diluent contains diethylene glycol diethyl ether.

本発明の態様は、前記第2の感光性樹脂組成物の塗工方法が、スクリーン印刷法、インクジェット法、ロールコータ法、バーコータ法、スプレーコータ法、カーテンフローコータ法、スキージ法、アプリケータ法、ブレードコータ法、ナイフコータ法またはグラビアコータ法である硬化塗膜の形成方法である。 In the embodiment of the present invention, the method for applying the second photosensitive resin composition is a screen printing method, an inkjet method, a roll coater method, a bar coater method, a spray coater method, a curtain flow coater method, a squeegee method, or an applicator method. , A method for forming a cured coating film, which is a blade coater method, a knife coater method, or a gravure coater method.

本発明の態様は、前記充填物の前記第1主表面側の表面に、インクジェット法以外の他の塗工方法にて、前記第2の感光性樹脂組成物を塗工する硬化塗膜の形成方法である。 In the aspect of the present invention, a cured coating film is formed by applying the second photosensitive resin composition to the surface of the filler on the first main surface side by a coating method other than the inkjet method. The method.

本発明の態様は、前記他の塗工方法が、スクリーン印刷法、ロールコータ法、バーコータ法、スプレーコータ法、カーテンフローコータ法、スキージ法、アプリケータ法、ブレードコータ法、ナイフコータ法またはグラビアコータ法である硬化塗膜の形成方法である。 In the embodiment of the present invention, the other coating method is a screen printing method, a roll coater method, a bar coater method, a spray coater method, a curtain flow coater method, a squeegee method, an applicator method, a blade coater method, a knife coater method or a gravure coater. It is a method for forming a cured coating film, which is a method.

本発明の態様は、前記第1の感光性樹脂組成物の25℃における粘度が、180〜1000mPa・sである硬化塗膜の形成方法である。 An aspect of the present invention is a method for forming a cured coating film having a viscosity of the first photosensitive resin composition at 25 ° C. of 180 to 1000 mPa · s.

本発明の態様は、前記第2の感光性樹脂組成物の25℃における粘度が、120〜60000mPa・sである硬化塗膜の形成方法である。 An aspect of the present invention is a method for forming a cured coating film having a viscosity of the second photosensitive resin composition at 25 ° C. of 120 to 60,000 mPa · s.

本発明の態様は、前記第1の感光性樹脂組成物が、前記第2の感光性樹脂組成物と同じ感光性樹脂組成物である硬化塗膜の形成方法である。 An aspect of the present invention is a method for forming a cured coating film, wherein the first photosensitive resin composition is the same photosensitive resin composition as the second photosensitive resin composition.

本発明の態様は、前記硬化処理が、活性エネルギー線による露光処理及び/または熱処理である硬化塗膜の形成方法である。 An aspect of the present invention is a method for forming a cured coating film, wherein the curing treatment is an exposure treatment and / or a heat treatment with active energy rays.

本発明の態様は、前記活性エネルギー線による露光処理の露光量が、30〜500mJ/cm2である硬化塗膜の形成方法である。 An aspect of the present invention is a method for forming a cured coating film in which the exposure amount of the exposure treatment using the active energy rays is 30 to 500 mJ / cm 2 .

本発明の態様によれば、所望の塗工方法にて第2の感光性樹脂組成物を塗工する前に、まず、インクジェット法にて25℃における粘度が150〜1500mPa・sである第1の感光性樹脂組成物を塗工して基板のスルーホールを充填し、充填の際に、第2主表面(裏面)のスルーホールの周縁部を非接触とすることにより、塗布ステージ表面と基板の裏面との境界面に生じる毛細管力の発生を防止できる。毛細管力の発生を防止することによって、スルーホールを介した第1の感光性樹脂組成物の基板裏面への抜けを防止できるので、第1の感光性樹脂組成物によってスルーホールを確実に充填できる。 According to the aspect of the present invention, before coating the second photosensitive resin composition by the desired coating method, first, the viscosity at 25 ° C. is 150 to 1500 mPa · s by the inkjet method. The photosensitive resin composition of the above is applied to fill the through holes of the substrate, and at the time of filling, the peripheral portion of the through holes on the second main surface (back surface) is made non-contact, so that the surface of the coating stage and the substrate are not contacted. It is possible to prevent the generation of capillary force generated at the interface with the back surface of the. By preventing the generation of capillary force, it is possible to prevent the first photosensitive resin composition from coming out to the back surface of the substrate through the through holes, so that the through holes can be reliably filled with the first photosensitive resin composition. ..

上記から、塗工対象である基板にスルーホールが設けられていても、スルーホールの周縁部に塗布した第2の感光性樹脂組成物が、スルーホールを介して基板の裏面へ抜けて第2の感光性樹脂組成物が退けてしまうことで塗膜の厚さが薄くなってしまうことを防止できる。また、第1の感光性樹脂組成物によってスルーホールを確実に充填できずスルーホール跡に残った窪みに、スルーホールの周縁部に塗布した第2の感光性樹脂組成物が侵入してしまうことを防止できる。従って、スルーホールの周縁部に塗布した第2の感光性樹脂組成物であっても、塗膜の厚さを均一化できる。 From the above, even if the substrate to be coated is provided with through holes, the second photosensitive resin composition applied to the peripheral edge of the through holes escapes to the back surface of the substrate through the through holes and is second. It is possible to prevent the thickness of the coating film from becoming thin due to the rejection of the photosensitive resin composition of. In addition, the through holes cannot be reliably filled by the first photosensitive resin composition, and the second photosensitive resin composition applied to the peripheral edge of the through holes invades the dents remaining in the through hole traces. Can be prevented. Therefore, even with the second photosensitive resin composition applied to the peripheral edge of the through hole, the thickness of the coating film can be made uniform.

本発明の態様によれば、第1の感光性樹脂組成物が25℃における表面張力が30m/m以下の非反応性希釈剤を含むことにより、スルーホールを介した第1の感光性樹脂組成物の基板裏面への抜けを確実に防止しつつ、第1の感光性樹脂組成物をスルーホールにより確実に充填できる。また、第1の感光性樹脂組成物で塗膜を形成しても、該塗膜の厚さを、より均一化できる。 According to an aspect of the present invention, the first photosensitive resin composition contains a non-reactive diluent having a surface tension of 30 m N / m or less at 25 ° C., so that the first photosensitive resin is formed through a through hole. The first photosensitive resin composition can be reliably filled with through holes while reliably preventing the composition from coming off to the back surface of the substrate. Further, even if a coating film is formed with the first photosensitive resin composition, the thickness of the coating film can be made more uniform.

本発明の態様によれば、第1の感光性樹脂組成物の、25℃における粘度が150〜1500mPa・sであることにより、スルーホールを確実に充填して、硬化塗膜の厚さをさらに均一化できる。 According to the aspect of the present invention, the viscosity of the first photosensitive resin composition at 25 ° C. is 150 to 1500 mPa · s, so that the through holes are surely filled and the thickness of the cured coating film is further increased. Can be made uniform.

本発明の態様によれば、活性エネルギー線による露光処理の露光量が30〜500mJ/cm2であることにより、露光時間を短縮できる。よって、第1の感光性樹脂組成物の塗工と第2の感光性樹脂組成物の塗工を含んでいても、生産性を向上させることができる。 According to the aspect of the present invention, the exposure time can be shortened by setting the exposure amount of the exposure process using the active energy rays to 30 to 500 mJ / cm 2 . Therefore, even if the coating of the first photosensitive resin composition and the coating of the second photosensitive resin composition are included, the productivity can be improved.

(a)図は、本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法における、インクジェット法による第1の感光性樹脂組成物の塗工によりスルーホールを充填した説明図、同(b)図は、本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法における、第2の感光性樹脂組成物を塗工した説明図、同(c)図は、本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法における、露光による硬化処理の説明図、同(d)図は、現像後における硬化塗膜の状態の説明図である。(A) is an explanatory view in which through holes are filled by coating a first photosensitive resin composition by an inkjet method in the method for forming a cured coating film according to an embodiment of the present invention, FIG. Is an explanatory view in which the second photosensitive resin composition is applied in the method for forming a cured coating film according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3C is a cured coating according to an example of the present invention. The explanatory view of the curing process by exposure and the figure (d) in the film forming method are explanatory views of the state of the cured coating film after development. 本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法において形成した硬化塗膜を有するプリント配線板の平面視の説明図である。It is explanatory drawing of the plan view of the printed wiring board which has the cured coating film formed in the method of forming the cured coating film which concerns on embodiment of this invention.

次に、本発明の硬化塗膜を形成する方法の実施形態例について、図面を用いながら説明する。本発明の硬化塗膜を形成する方法は、スルーホールが設けられた基板(例えば、プリント配線板やフレキシブルプリント配線板等の回路基板)に硬化塗膜を形成するものである。なお、図1の(a)図は、本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法における、インクジェット法による第1の感光性樹脂組成物の塗工によりスルーホールを充填した説明図、同(b)図は、本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法における、第2の感光性樹脂組成物を塗工した説明図、同(c)図は、本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法における、露光による硬化処理の説明図、同(d)図は、現像後における硬化塗膜の状態の説明図である。図2は、本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法において形成した硬化塗膜を有するプリント配線板の平面視の説明図である。 Next, an embodiment of the method for forming a cured coating film of the present invention will be described with reference to the drawings. The method for forming a cured coating film of the present invention is to form a cured coating film on a substrate provided with through holes (for example, a circuit board such as a printed wiring board or a flexible printed wiring board). In addition, FIG. 1A is an explanatory view in which through holes are filled by coating the first photosensitive resin composition by an inkjet method in the method for forming a cured coating film according to an embodiment of the present invention. The figure (b) is an explanatory view in which the second photosensitive resin composition is applied in the method for forming a cured coating film according to the embodiment of the present invention, and the figure (c) is the embodiment of the present invention. The explanatory view of the curing process by exposure and the figure (d) in the method of forming the cured coating film according to the example are explanatory views of the state of the cured coating film after development. FIG. 2 is an explanatory view of a printed wiring board having a cured coating film formed in the method for forming a cured coating film according to an embodiment of the present invention in a plan view.

図1(a)に示すように、本発明の実施形態例に係る硬化塗膜の形成方法では、まず、インクジェット法(図1では、例として、ジェットディスペンサー4を用いたインクジェット法)により、基板3のスルーホール31部に、第1の感光性樹脂組成物1を所定量塗工して、スルーホール31部に第1の感光性樹脂組成物1を充填して、スルーホール31を完全に埋める。 As shown in FIG. 1 (a), in the method for forming a cured coating film according to the embodiment of the present invention, first, a substrate is subjected to an inkjet method (in FIG. 1, an inkjet method using a jet dispenser 4 as an example). A predetermined amount of the first photosensitive resin composition 1 is applied to the through hole 31 part of No. 3, and the first photosensitive resin composition 1 is filled in the through hole 31 part to completely fill the through hole 31. fill in.

基板3の両主表面(第1主表面21と第2主表面22)のうち、基板3の裏面に相当する第2主表面22は、スルーホール31の周縁部が塗布ステージ100に対して非接触となっている。従って、第2主表面22と塗布ステージ100表面との間には空隙101が設けられている。図1(a)では、塗布ステージ100表面にスペーサー20を設置し、スペーサー20上に基板3を載置することで、第2主表面22のスルーホール31の周縁部が塗布ステージ100に対して非接触となっている。 Of both main surfaces of the substrate 3 (first main surface 21 and second main surface 22), the second main surface 22 corresponding to the back surface of the substrate 3 has a peripheral portion of the through hole 31 that is not relative to the coating stage 100. It is a contact. Therefore, a gap 101 is provided between the second main surface 22 and the surface of the coating stage 100. In FIG. 1A, the spacer 20 is installed on the surface of the coating stage 100, and the substrate 3 is placed on the spacer 20, so that the peripheral edge of the through hole 31 of the second main surface 22 is relative to the coating stage 100. It is non-contact.

第2主表面22のスルーホール31の周縁部を非接触とすることにより、塗布ステージ100表面と基板3の第2主表面22との境界面に生じる毛細管力の発生を防止できる。毛細管力の発生を防止することによって、スルーホール31を介した第1の感光性樹脂組成物1の基板3の第1主表面21から第2主表面22への抜けを防止できるので、第1の感光性樹脂組成物1をスルーホール31に、確実にかつ十分に充填できる。空隙101の高さは、特に限定されないが、例えば、1.0mm〜10mmである。 By making the peripheral edge of the through hole 31 of the second main surface 22 non-contact, it is possible to prevent the generation of capillary force generated at the interface between the surface of the coating stage 100 and the second main surface 22 of the substrate 3. By preventing the generation of capillary force, it is possible to prevent the substrate 3 of the first photosensitive resin composition 1 from coming off from the first main surface 21 to the second main surface 22 through the through holes 31. The photosensitive resin composition 1 of the above can be reliably and sufficiently filled in the through hole 31. The height of the gap 101 is not particularly limited, but is, for example, 1.0 mm to 10 mm.

第1の感光性樹脂組成物1の25℃における粘度は、非反応性希釈剤によって150〜1500mPa・sに調整されている。25℃における粘度の下限値が150mPa・sであることにより、第1の感光性樹脂組成物1をインクジェット法にてスルーホール31に塗工するにあたり、塗工時に、第1の感光性樹脂組成物1が、スルーホール31を介して基板3の裏面側へ抜けてしまうことを防止できる。結果として、第1の感光性樹脂組成物1でスルーホール31を充填できる。また、25℃における粘度の上限値が1500mPa・sであることにより、第1の感光性樹脂組成物1をインクジェット法にて塗工するにあたり、第1の感光性樹脂組成物1が凸状に塗工されるのを防止でき、ひいては、硬化塗膜の厚さを均一化できる。 The viscosity of the first photosensitive resin composition 1 at 25 ° C. is adjusted to 150 to 1500 mPa · s by a non-reactive diluent. Since the lower limit of the viscosity at 25 ° C. is 150 mPa · s, when the first photosensitive resin composition 1 is applied to the through hole 31 by the inkjet method, the first photosensitive resin composition is applied at the time of coating. It is possible to prevent the object 1 from slipping out to the back surface side of the substrate 3 through the through hole 31. As a result, the through hole 31 can be filled with the first photosensitive resin composition 1. Further, since the upper limit of the viscosity at 25 ° C. is 1500 mPa · s, when the first photosensitive resin composition 1 is coated by the inkjet method, the first photosensitive resin composition 1 becomes convex. It is possible to prevent coating and, by extension, to make the thickness of the cured coating film uniform.

第1の感光性樹脂組成物1の25℃における粘度は150〜1500mPa・sの範囲であれば、特に限定されないが、その下限値は、第1の感光性樹脂組成物1が、スルーホール31を介して基板3の裏面側へ抜けてしまうことを確実に防止する点から180mPa・sが好ましく、300mPa・sが特に好ましい。また、25℃における粘度の上限値は、第1の感光性樹脂組成物1が凸状に塗工されるのを確実に防止する点から1000mPa・sが好ましく、900mPa・sがより好ましく、700mPa・sが特に好ましい。なお、スルーホール31のサイズは、特に限定されず、例えば、内径は50〜200μm、深さは50〜200μmである。 The viscosity of the first photosensitive resin composition 1 at 25 ° C. is not particularly limited as long as it is in the range of 150 to 1500 mPa · s, but the lower limit is the through hole 31 of the first photosensitive resin composition 1. 180 mPa · s is preferable, and 300 mPa · s is particularly preferable, from the viewpoint of surely preventing the substrate 3 from coming off to the back surface side of the substrate 3. The upper limit of the viscosity at 25 ° C. is preferably 1000 mPa · s, more preferably 900 mPa · s, and 700 mPa from the viewpoint of surely preventing the first photosensitive resin composition 1 from being coated in a convex shape. -S is particularly preferable. The size of the through hole 31 is not particularly limited, and for example, the inner diameter is 50 to 200 μm and the depth is 50 to 200 μm.

第1の感光性樹脂組成物1の25℃における粘度を調整する非反応性希釈剤としては、特に限定されないが、スルーホール31を介した第1の感光性樹脂組成物1の基板3裏面側への抜けを確実に防止しつつ、第1の感光性樹脂組成物1をより確実にスルーホール31に充填できる点から、25℃における表面張力が30m/m以下の非反応性希釈剤がより好ましく、25℃における表面張力が27m/m以下の非反応性希釈剤が特に好ましい。25℃における表面張力が30m/m以下の非反応性希釈剤としては、例えば、ジエチレングリコールジエチルエーテル(25℃における表面張力25m/m)が好ましい。 The non-reactive diluent for adjusting the viscosity of the first photosensitive resin composition 1 at 25 ° C. is not particularly limited, but is the back surface side of the substrate 3 of the first photosensitive resin composition 1 via the through hole 31. A non-reactive diluent having a surface tension of 30 m N / m or less at 25 ° C. can be filled in the through hole 31 more reliably while surely preventing the first photosensitive resin composition 1 from coming off. More preferably, a non-reactive diluent having a surface tension at 25 ° C. of 27 m N / m or less is particularly preferable. As the non-reactive diluent having a surface tension of 30 m N / m or less at 25 ° C., for example, diethylene glycol diethyl ether (surface tension of 25 m N / m at 25 ° C.) is preferable.

次に、図1(b)に示すように、スルーホール31に充填された第1の感光性樹脂組成物1上に、所望の塗工方法にて、第2の感光性樹脂組成物2を塗工する。図1(b)では、基板3の第1主表面21全体に第2の感光性樹脂組成物2を塗工している。第1の感光性樹脂組成物1の塗工終了時から第2の感光性樹脂組成物2の塗工を開始するまでの時間間隔は、特に限定されないが、基板3の第1主表面21や第1の感光性樹脂組成物1の表面の酸化を防止する点から72時間以下が好ましい。 Next, as shown in FIG. 1 (b), the second photosensitive resin composition 2 is applied onto the first photosensitive resin composition 1 filled in the through holes 31 by a desired coating method. Paint. In FIG. 1B, the second photosensitive resin composition 2 is applied to the entire first main surface 21 of the substrate 3. The time interval from the end of coating of the first photosensitive resin composition 1 to the start of coating of the second photosensitive resin composition 2 is not particularly limited, but the first main surface 21 of the substrate 3 and the like. 72 hours or less is preferable from the viewpoint of preventing oxidation of the surface of the first photosensitive resin composition 1.

第2の感光性樹脂組成物2の塗工方法としては、特に限定されず、従来使用されている方法をいずれも使用できる。具体的には、例えば、スクリーン印刷法、インクジェット法(例えば、ジェットディスペンサーを用いたインクジェット法など)、ロールコータ法、バーコータ法、スプレーコータ法、カーテンフローコータ法、スキージ法、アプリケータ法、ブレードコータ法、ナイフコータ法、グラビアコータ法等を挙げることができる。第2の感光性樹脂組成物2の塗工方法は、第1の感光性樹脂組成物1の塗工方法(すなわち、インクジェット法)と同じ塗工方法でもよく、インクジェット法以外の塗工方法でもよい。このうち、基板3の第1主表面21全体に対する塗工の容易性の点から、スクリーン印刷法が好ましい。 The coating method of the second photosensitive resin composition 2 is not particularly limited, and any conventionally used method can be used. Specifically, for example, a screen printing method, an inkjet method (for example, an inkjet method using a jet dispenser), a roll coater method, a bar coater method, a spray coater method, a curtain flow coater method, a squeegee method, an applicator method, and a blade. Examples include a coater method, a knife coater method, and a gravure coater method. The coating method of the second photosensitive resin composition 2 may be the same coating method as the coating method of the first photosensitive resin composition 1 (that is, the inkjet method), or may be a coating method other than the inkjet method. Good. Of these, the screen printing method is preferable from the viewpoint of ease of coating on the entire first main surface 21 of the substrate 3.

第2の感光性樹脂組成物2は、第1の感光性樹脂組成物1と同じ成分からなる樹脂組成物でもよく、相違する成分からなる樹脂組成物でもよい。また、第2の感光性樹脂組成物2の25℃における粘度は、第1の感光性樹脂組成物1の25℃における粘度と同じでもよく、相違していてもよい。第2の感光性樹脂組成物2の25℃における粘度も、非反応性希釈剤により調整することができる。第2の感光性樹脂組成物2の25℃における粘度は、採用する塗工方法によるが、例えば、その下限値は、所定の膜厚に塗工する点から120mPa・sが好ましく、塗工方法としてスクリーン印刷法を用いる場合には、所定の膜厚に確実に塗工する点から10000mPa・sがより好ましく、12000mPa・sが特に好ましい。また、25℃における粘度の上限値は、例えば、塗工性の点から60000mPa・sが好ましく、塗工方法としてスクリーン印刷法を用いる場合には、50000mPa・sがより好ましく、レベリング性の点から30000mPa・sが特に好ましい。 The second photosensitive resin composition 2 may be a resin composition having the same components as the first photosensitive resin composition 1 or a resin composition having different components. Further, the viscosity of the second photosensitive resin composition 2 at 25 ° C. may be the same as or different from the viscosity of the first photosensitive resin composition 1 at 25 ° C. The viscosity of the second photosensitive resin composition 2 at 25 ° C. can also be adjusted with a non-reactive diluent. The viscosity of the second photosensitive resin composition 2 at 25 ° C. depends on the coating method to be adopted. For example, the lower limit thereof is preferably 120 mPa · s from the viewpoint of coating to a predetermined film thickness, and the coating method. When the screen printing method is used as the above, 10000 mPa · s is more preferable, and 12000 mPa · s is particularly preferable from the viewpoint of reliably coating a predetermined film thickness. The upper limit of the viscosity at 25 ° C. is, for example, preferably 60,000 mPa · s from the viewpoint of coatability, and more preferably 50,000 mPa · s when the screen printing method is used as the coatability, from the viewpoint of leveling property. 30000 mPa · s is particularly preferable.

第2の感光性樹脂組成物2の塗工時の膜厚は、基板3の使用状況に応じて適宜選択可能であり、例えば、基板3として、銅箔等の導体の回路パターンが形成された回路基板に塗工する場合には、10〜100μmが挙げられる。 The film thickness of the second photosensitive resin composition 2 at the time of coating can be appropriately selected according to the usage situation of the substrate 3. For example, a circuit pattern of a conductor such as a copper foil is formed as the substrate 3. When coating on a circuit board, 10 to 100 μm can be mentioned.

次に、図1(c)に示すように、塗工した第1の感光性樹脂組成物1及び第2の感光性樹脂組成物2に対して、硬化処理5を行って硬化塗膜12を形成する。硬化処理5としては、活性エネルギー線を用いた露光処理、加熱装置を用いた熱処理等を挙げることができる。 Next, as shown in FIG. 1 (c), the coated first photosensitive resin composition 1 and the second photosensitive resin composition 2 are subjected to the curing treatment 5 to obtain the cured coating film 12. Form. Examples of the curing treatment 5 include an exposure treatment using active energy rays, a heat treatment using a heating device, and the like.

図1(c)では、第2の感光性樹脂組成物2上に、スルーホール31及び導体である銅箔32からなる回路パターンのランド以外を透光性にしたネガフィルム(フォトマスク)102を密着させて、その上から活性エネルギー線を照射して光硬化させる硬化処理5を行っている。 In FIG. 1 (c), on the second photosensitive resin composition 2, a negative film (photomask) 102 having a circuit pattern other than the land of the circuit pattern composed of the through hole 31 and the copper foil 32 as the conductor made transparent is formed. A curing treatment 5 is performed in which the cells are brought into close contact with each other and photocured by irradiating them with active energy rays.

活性エネルギー線を用いた露光処理の条件としては、少なくとも、第2の感光性樹脂組成物2が光硬化する条件であれば、特に限定されず、例えば、紫外線(例えば、波長240〜420nm)の露光の下限値は、確実に光硬化させる点から、10mJ/cm2が好ましく、25mJ/cm2がより好ましく、30mJ/cm2が特に好ましい。一方で、紫外線の露光量の上限値は、光硬化の点からは特に限定されないが、露光時間を短縮化して生産性を向上させる点から、2000mJ/cm2が好ましく、500mJ/cm2が特に好ましい。紫外線の光源としては、特に限定されないが、例えば、メタルハライドランプ、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ、UV−LED等を挙げることができる。 The conditions for the exposure treatment using the active energy rays are not particularly limited as long as the second photosensitive resin composition 2 is photocurable, and for example, ultraviolet rays (for example, wavelength 240 to 420 nm). the lower limit of exposure, from the point to securely photocuring is preferably 10 mJ / cm 2, more preferably 25mJ / cm 2, 30mJ / cm 2 is particularly preferred. On the other hand, the upper limit of the exposure amount of ultraviolet rays is not particularly limited from the viewpoint of photocuring, but 2000 mJ / cm 2 is preferable, and 500 mJ / cm 2 is particularly preferable from the viewpoint of shortening the exposure time and improving productivity. preferable. The light source of ultraviolet rays is not particularly limited, and examples thereof include a metal halide lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a xenon lamp, and a UV-LED.

次に、図1(d)に示すように、第2の感光性樹脂組成物2の光硬化後、前記スルーホール31とランドに対応する非露光領域を希アルカリ水溶液で除去することにより塗膜を現像する。上記現像方法には、例えば、スプレー法、シャワー法等が用いられ、使用される希アルカリ水溶液としては、特に限定されず、例えば、0.5〜5質量%の炭酸ナトリウム水溶液が挙げられる。現像により、スルーホール31に充填されていた第1の感光性樹脂組成物1は除去されて、スルーホール31が露出する。現像後、130〜170℃の熱風循環式の乾燥機等で20〜80分間ポストキュアを行うことにより、図2に示すように、基板3の第1主表面21上に目的とする硬化塗膜12を形成させることができる。 Next, as shown in FIG. 1D, after the second photosensitive resin composition 2 is photocured, the non-exposed region corresponding to the through hole 31 and the land is removed with a dilute alkaline aqueous solution to form a coating film. To develop. As the development method, for example, a spray method, a shower method and the like are used, and the dilute alkaline aqueous solution used is not particularly limited, and examples thereof include a sodium carbonate aqueous solution of 0.5 to 5% by mass. By the development, the first photosensitive resin composition 1 filled in the through hole 31 is removed, and the through hole 31 is exposed. After development, post-cure is performed for 20 to 80 minutes in a hot air circulation type dryer or the like at 130 to 170 ° C., and as shown in FIG. 2, the target cured coating film is applied on the first main surface 21 of the substrate 3. 12 can be formed.

なお、第2の感光性樹脂組成物2に非反応性希釈剤が含まれている場合には、第2の感光性樹脂組成物2の塗工後、非反応性希釈剤を揮散させてタックフリーの塗膜とするために、乾燥機等で予備乾燥を行ってから、硬化処理5を実施してもよい。予備乾燥の条件としては、例えば、60〜80℃程度の温度で15〜60分間程度の加熱時間を挙げることができる。 When the second photosensitive resin composition 2 contains a non-reactive diluent, after coating the second photosensitive resin composition 2, the non-reactive diluent is volatilized to tack. In order to obtain a free coating film, the curing treatment 5 may be carried out after pre-drying with a dryer or the like. Examples of the pre-drying condition include a heating time of about 15 to 60 minutes at a temperature of about 60 to 80 ° C.

硬化処理5が、熱処理の場合には、その条件として、第2の感光性樹脂組成物2が熱硬化する条件であれば、特に限定されず、例えば、60〜170℃、15〜80分等を挙げることができる。 When the curing treatment 5 is a heat treatment, the conditions thereof are not particularly limited as long as the second photosensitive resin composition 2 is thermally cured, for example, 60 to 170 ° C., 15 to 80 minutes, etc. Can be mentioned.

硬化処理5を行うことにより、基板3の第1主表面21に所望のパターンを有する硬化塗膜12を形成できる。なお、上記実施形態例では、第1の感光性樹脂組成物の塗工後であって第2の感光性樹脂組成物の塗工前には、露光処理、熱処理等の硬化処理を行わなかったが、必要に応じて、第1の感光性樹脂組成物の塗工後であって第2の感光性樹脂組成物の塗工前に、第1の感光性樹脂組成物の硬化処理を行ってもよい。また、上記実施形態例では、第1の感光性樹脂組成物の塗工後であって第2の感光性樹脂組成物の塗工前に、必要に応じて、第1の感光性樹脂組成物上に、第1の感光性樹脂組成物を含め、他の樹脂組成物をさらに塗布してもよい。 By performing the curing treatment 5, a cured coating film 12 having a desired pattern can be formed on the first main surface 21 of the substrate 3. In the above embodiment, the curing treatment such as exposure treatment and heat treatment was not performed after the coating of the first photosensitive resin composition and before the coating of the second photosensitive resin composition. However, if necessary, the first photosensitive resin composition is cured after the coating of the first photosensitive resin composition and before the coating of the second photosensitive resin composition. May be good. Further, in the above-described embodiment, the first photosensitive resin composition is used after the coating of the first photosensitive resin composition and before the coating of the second photosensitive resin composition, if necessary. Other resin compositions may be further applied on top, including the first photosensitive resin composition.

上記から、塗工対象である基板3にスルーホール31が設けられていても、スルーホール31の周縁部に塗布した第2の感光性樹脂組成物2が、スルーホール31を介して基板3の第2主表面22へ抜けて第1主表面21に塗工された第2の感光性樹脂組成物が退けてしまうことで硬化塗膜12の厚さが薄くなることを防止できる。また、第1の感光性樹脂組成物1によってスルーホール31を確実に充填できずスルーホール31跡に残った窪みに、スルーホール31の周縁部に塗布した第2の感光性樹脂組成物2が侵入することを防止できる。従って、スルーホール31の周縁部に塗布した第2の感光性樹脂組成物2であっても、硬化塗膜12の厚さを均一化できる。 From the above, even if the through hole 31 is provided on the substrate 3 to be coated, the second photosensitive resin composition 2 applied to the peripheral edge of the through hole 31 can be applied to the substrate 3 through the through hole 31. It is possible to prevent the thickness of the cured coating film 12 from becoming thin due to the removal of the second photosensitive resin composition coated on the first main surface 21 through the second main surface 22. Further, the second photosensitive resin composition 2 applied to the peripheral edge of the through hole 31 is formed in the recess remaining in the trace of the through hole 31 because the through hole 31 cannot be reliably filled by the first photosensitive resin composition 1. It can be prevented from invading. Therefore, even with the second photosensitive resin composition 2 applied to the peripheral edge of the through hole 31, the thickness of the cured coating film 12 can be made uniform.

次に、第1の感光性樹脂組成物及び第2の感光性樹脂組成物(以下、第1の感光性樹脂組成物と第2の感光性樹脂組成物を総称して「感光性樹脂組成物」ということがある。)について説明する。感光性樹脂組成物の硬化塗膜としては、例えば、プリント配線板等の回路基板に形成される絶縁膜(例えば、ソルダーレジスト膜等)を挙げることができる。感光性樹脂組成物としては、例えば、以下の成分を含むことができる。 Next, the first photosensitive resin composition and the second photosensitive resin composition (hereinafter, the first photosensitive resin composition and the second photosensitive resin composition are collectively referred to as "photosensitive resin composition". ".) Will be explained. Examples of the cured coating film of the photosensitive resin composition include an insulating film (for example, a solder resist film) formed on a circuit board such as a printed wiring board. The photosensitive resin composition can contain, for example, the following components.

感光性樹脂
感光性樹脂としては、例えば、カルボキシル基含有感光性樹脂を挙げることができる。カルボキシル基含有感光性樹脂は、特に限定されず、例えば、感光性の不飽和二重結合を1個以上、好ましくは2個以上有する樹脂が挙げられる。カルボキシル基含有感光性樹脂として、例えば、1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部に、アクリル酸やメタクリル酸(以下、「(メタ)アクリル酸」ということがある。)等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させて、エポキシ(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成した水酸基に多塩基酸又はその無水物を反応させて得られる、多塩基酸変性エポキシ(メタ)アクリレート等の多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を挙げることができる。
Photosensitive resin Examples of the photosensitive resin include a carboxyl group-containing photosensitive resin. The carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited, and examples thereof include resins having one or more, preferably two or more photosensitive unsaturated double bonds. As the carboxyl group-containing photosensitive resin, for example, acrylic acid or methacrylic acid (hereinafter referred to as "(meth) acrylic acid") is added to at least a part of the epoxy groups of the polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. A radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as) is reacted to obtain a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin such as epoxy (meth) acrylate, and the generated hydroxyl group is subjected to polybasic acid or its own. Examples thereof include a polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin such as a polybasic acid-modified epoxy (meth) acrylate obtained by reacting an anhydride.

多官能性エポキシ樹脂は、2官能以上のエポキシ樹脂であれば、その化学構造は、特に限定されない。多官能性エポキシ樹脂のエポキシ当量は特に限定されないが、3000以下が好ましく、1000以下がより好ましく、100〜500が特に好ましい。多官能性エポキシ樹脂には、例えば、アラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ε−カプロラクトン変性エポキシ樹脂、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールAD型等のフェノールノボラック型エポキシ樹脂、о−クレゾールノボラック型等のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、環状脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボラック型エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型エポキシ樹脂、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物型エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、単独で使用してもよく、また2種以上を併用してもよい。 The chemical structure of the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited as long as it is a bifunctional or higher functional epoxy resin. The epoxy equivalent of the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited, but is preferably 3000 or less, more preferably 1000 or less, and particularly preferably 100 to 500. The polyfunctional epoxy resin includes, for example, an aralkyl type epoxy resin, a biphenyl aralkyl type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, an ε-caprolactone modified epoxy resin, a bisphenol A type, and a bisphenol. Phenol novolac type epoxy resin such as F type and bisphenol AD type, cresol novolac type epoxy resin such as о-cresol novolac type, bisphenol A novolac type epoxy resin, cyclic aliphatic epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidylamine type epoxy Examples thereof include resins, heterocyclic epoxy resins, bisphenol-modified novolak-type epoxy resins, polyfunctional-modified novolak-type epoxy resins, and condensate-type epoxy resins of phenols and aromatic aldehydes having phenolic hydroxyl groups. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.

ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸は、特に限定されず、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸などを挙げることができる。これらのラジカル重合性不飽和モノカルボン酸は、単独で使用してもよく、また2種以上を併用してもよい。 The radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is not particularly limited, and examples thereof include (meth) acrylic acid, crotonic acid, and cinnamic acid. These radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

多官能性エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応方法に、特に限定されず、例えば、多官能性エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸とを適当な希釈剤中で加熱することにより反応させることができる。 The reaction method between the polyfunctional epoxy resin and the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is not particularly limited, and for example, the polyfunctional epoxy resin and the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid are heated in an appropriate diluent. It can be reacted by doing so.

多塩基酸又は多塩基酸無水物は、エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応により生成した水酸基に反応することで、感光性樹脂に遊離のカルボキシル基が導入される。多塩基酸又はその無水物は、特に限定されず、飽和、不飽和のいずれも使用可能である。多塩基酸には、例えば、コハク酸、マレイン酸、アジピン酸、クエン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸及びジグリコール酸等が挙げられる。多塩基酸無水物としては、上記した多塩基酸の無水物が挙げられる。これらの化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 The polybasic acid or polybasic acid anhydride reacts with a hydroxyl group generated by the reaction of an epoxy resin and a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid to introduce a free carboxyl group into the photosensitive resin. The polybasic acid or its anhydride is not particularly limited, and either saturated or unsaturated can be used. Polybasic acids include, for example, succinic acid, maleic acid, adipic acid, citric acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4- Ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, methyltetrahydrophthalic acid, methylhexahydro Examples thereof include phthalic acid, endomethylenetetrahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid and diglycolic acid. Examples of the polybasic acid anhydride include the above-mentioned polybasic acid anhydride. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

上記した多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂もカルボキシル基含有感光性樹脂として使用できるが、必要に応じて、上記した多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂のカルボキシル基に、1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有するグリシジル化合物を反応させることにより、上記多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂にラジカル重合性不飽和基をさらに導入して、活性エネルギー線に対する感度をより向上させたカルボキシル基含有感光性樹脂としてもよい。 The above-mentioned polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin can also be used as a carboxyl group-containing photosensitive resin, but if necessary, one is added to the carboxyl group of the above-mentioned polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin. By reacting the glycidyl compound having the above radically polymerizable unsaturated group with the epoxy group, the radically polymerizable unsaturated group is further introduced into the above polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin, and the active energy ray. It may be a carboxyl group-containing photosensitive resin having further improved sensitivity to.

活性エネルギー線に対する感度をより向上させたカルボキシル基含有感光性樹脂は、前記グリシジル化合物の反応によって、さらなるラジカル重合性不飽和基が、多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂骨格の側鎖に結合するため、光重合反応性(光硬化性)が高く、優れた感光特性を有することができる。1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物としては、例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル、ペンタエリトリトールトリアクリレートモノグリシジルエーテル等が挙げられる。なお、グリシジル基は1分子中に複数有していてもよい。上記した1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 In the carboxyl group-containing photosensitive resin having further improved sensitivity to active energy rays, a further radically polymerizable unsaturated group is added to the side chain of the polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin skeleton by the reaction of the glycidyl compound. Since they are bonded, they have high photopolymerization reactivity (photocurability) and can have excellent photosensitive characteristics. Examples of the compound having one or more radically polymerizable unsaturated group and epoxy group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, pentaerythritol triacrylate monoglycidyl ether and the like. In addition, a plurality of glycidyl groups may be contained in one molecule. The above-mentioned compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group may be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤
光重合開始剤は、一般的に使用されるものであれば特に限定されず、例えば、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(0−アセチルオキシム)等のオキシム系開始剤、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン‐n‐ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、2,2‐ジメトキシ‐2‐フェニルアセトフェノン、2,2‐ジエトキシ‐2‐フェニルアセトフェノン、2‐ヒドロキシ‐2‐メチル‐1‐フェニルプロパン‐1‐オン、1‐ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2‐メチル‐1‐〔4‐(メチルチオ)フェニル〕‐2‐モルフォリノ‐プロパン‐1‐オン、4‐(2‐ヒドロキシエトキシ)フェニル‐2‐(ヒドロキシ‐2‐プロピル)ケトン、ベンゾフェノン、p‐フェニルベンゾフェノン、4,4′‐ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロルベンゾフェノン、2‐メチルアントラキノン、2‐エチルアントラキノン、2‐ターシャリーブチルアントラキノン、2‐アミノアントラキノン、2‐メチルチオキサントン、2‐エチルチオキサントン、2‐クロルチオキサントン、2,4‐ジメチルチオキサントン、2,4‐ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、P‐ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル等が挙げられる。これらは単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。光重合開始剤の配合量は、特に限定されないが、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して、5〜20質量部が好ましい。
Photopolymerization initiator The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it is generally used, and for example, etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3. -Il] -1- (0-acetyloxime) and other oxime initiators, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, acetophenone, dimethylaminoacetophenone, 2 , 2-Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1 -[4- (Methylthio) phenyl] -2-morpholino-propane-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl-2- (hydroxy-2-propyl) ketone, benzophenone, p-phenylbenzophenone, 4, 4'-Diethylaminobenzophenone, dichlorobenzophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-terriary butyl anthraquinone, 2-aminoanthraquinone, 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4 -Dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, benzyldimethylketal, acetphenone dimethylketal, P-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester and the like can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. The blending amount of the photopolymerization initiator is not particularly limited, but is preferably 5 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin.

エポキシ化合物
エポキシ化合物は、硬化塗膜の架橋密度を上げて十分な強度の硬化塗膜を得るためのものである。エポキシ化合物としては、例えば、エポキシ樹脂を挙げることができる。エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、アラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂(フェノールノボラック型エポキシ樹脂、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、p−tert−ブチルフェノールノボラック型など)、ビスフェノールFやビスフェノールSにエピクロルヒドリンを反応させて得られたビスフェノールF型やビスフェノールS型エポキシ樹脂、さらにシクロヘキセンオキシド基、トリシクロデカンオキシド基、シクロペンテンオキシド基などを有する脂環式エポキシ樹脂、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等のトリアジン環を有するトリグリシジルイソシアヌレート、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アダマンタン型エポキシ樹脂を挙げることができる。これらの化合物は単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。エポキシ化合物の配合量は、特に限定されないが、硬化後に十分な強度の塗膜を得る点から、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して、10〜50質量部が好ましく、20〜40質量部が特に好ましい。
Epoxy compound The epoxy compound is for increasing the crosslink density of the cured coating film to obtain a cured coating film having sufficient strength. Examples of the epoxy compound include an epoxy resin. The epoxy resin is not particularly limited, and for example, bisphenol A type epoxy resin, aralkyl type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, novolak type epoxy resin (phenol novolac type epoxy resin, o-cresol novolac type epoxy resin, p- tert-butylphenol novolac type, etc.), bisphenol F type or bisphenol S type epoxy resin obtained by reacting bisphenol F or bisphenol S with epichlorohydrin, and fat having a cyclohexene oxide group, a tricyclodecane oxide group, a cyclopentene oxide group, etc. Triglycidyl isocyanurate having a triazine ring such as cyclic epoxy resin, tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate, triglycidyltris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, dicyclopentadiene type epoxy resin, adamantan type epoxy resin Can be mentioned. These compounds may be used alone or in combination of two or more. The amount of the epoxy compound to be blended is not particularly limited, but is preferably 10 to 50 parts by mass and 20 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin from the viewpoint of obtaining a coating film having sufficient strength after curing. Part is particularly preferable.

非反応性希釈剤
非反応性希釈剤は、感光性樹脂組成物の粘度を調整し、また、必要に応じて、乾燥性も調整するためのものである。非反応性希釈剤としては、有機溶剤が挙げられる。有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メタノール、イソプロパノール、シクロヘキサノール等のアルコール類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、石油ナフサ等の石油系溶剤類、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、エチルジグリコールアセテート、エチレングリコールアセテート等のエステル類、ジエチレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類等を挙げることができる。これらのうち、25℃における表面張力が35m/m以下の非反応性希釈剤(有機溶剤)が好ましく、25℃における表面張力が30m/m以下の非反応性希釈剤がより好ましく、25℃における表面張力が27m/m以下の非反応性希釈剤が特に好ましい。25℃における表面張力が35m/m以下の非反応性希釈剤としては、例えば、ジエチレングリコールジエチルエーテル(25℃における表面張力25m/m)、エチレングリコールアセテート(25℃における表面張力31m/m)が好ましい。25℃における表面張力が30m/m以下の非反応性希釈剤としては、例えば、ジエチレングリコールジエチルエーテル(25℃における表面張力25m/m)が好ましい。
Non-reactive Diluent The non-reactive diluent is for adjusting the viscosity of the photosensitive resin composition and, if necessary, the drying property. Examples of the non-reactive diluent include organic solvents. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, alcohols such as methanol, isopropanol and cyclohexanol, and alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane and methylcyclohexane. Petroleum-based solvents such as petroleum naphtha, cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve, carbitols such as carbitol and butylcarbitol, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, Examples thereof include esters such as ethyl diglycol acetate and ethylene glycol acetate, and ethers such as diethylene glycol diethyl ether. Of these, a non-reactive diluent (organic solvent) having a surface tension of 35 m N / m or less at 25 ° C. is preferable, and a non-reactive diluent having a surface tension of 30 m N / m or less at 25 ° C. is more preferable. A non-reactive diluent having a surface tension of 27 m N / m or less at ° C. is particularly preferable. Examples of the non-reactive diluent having a surface tension of 35 m N / m or less at 25 ° C. include diethylene glycol diethyl ether (surface tension of 25 m N / m at 25 ° C.) and ethylene glycol acetate (surface tension of 31 m N / m at 25 ° C.). ) Is preferable. As the non-reactive diluent having a surface tension of 30 m N / m or less at 25 ° C., for example, diethylene glycol diethyl ether (surface tension of 25 m N / m at 25 ° C.) is preferable.

また、感光性樹脂組成物には、必要に応じて、ウレタン(メタ)アクリレートを配合してもよい。ウレタン(メタ)アクリレートは、柔軟性を有する硬化塗膜を得ることに寄与する。ウレタン(メタ)アクリレートは、ウレタン化合物とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸である(メタ)アクリル酸とが反応して得られるものである。ウレタンは、1分子中に2つ以上のイソシアネート基を有する化合物と1分子中に2つ以上のヒドロキシル基を有するポリオール化合物を反応させて得られるものである。 Further, urethane (meth) acrylate may be added to the photosensitive resin composition, if necessary. Urethane (meth) acrylate contributes to obtain a cured coating film having flexibility. Urethane (meth) acrylate is obtained by reacting a urethane compound with (meth) acrylic acid, which is a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid. Urethane is obtained by reacting a compound having two or more isocyanate groups in one molecule with a polyol compound having two or more hydroxyl groups in one molecule.

1分子中に2つ以上のイソシアネート基を有する化合物としては、特に限定されないが、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネアート(HDI)、イソホロンジイソシアネート(IPDI)、メチレンジイソシアネート(MDI)、メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート、トリメチルヘキサメチルジイソシアネート、ヘキサンジイソシアネート、ヘキサメチルアミンジイソシアネート、メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート、トルエンジイソシアネート、1,2−ジフェニルエタンジイソシアネート、1,3−ジフェニルプロパンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメチルジイソシアネートなどのジイソシアネート化合物が挙げられる。これらの化合物は単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 The compound having two or more isocyanate groups in one molecule is not particularly limited, and for example, hexamethylene diisocyanate (HDI), isophorone diisocyanate (IPDI), methylene diisocyanate (MDI), methylenebiscyclohexylisocyanate, and the like. Examples thereof include diisocyanate compounds such as trimethylhexamethyl diisocyanate, hexane diisocyanate, hexamethylamine diisocyanate, methylenebiscyclohexylisocyanate, toluenediisocyanate, 1,2-diphenylethanediisocyanate, 1,3-diphenylpropanediisocyanate, diphenylmethane diisocyanate and dicyclohexylmethyldiisocyanate. .. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

1分子中に2つ以上のヒドロキシル基を有するポリオール化合物は、特に限定されないが、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、1,4−ブチレングリコール、1,3−ブチレングリコール、1,2−ブチレングリコール、1,5−ペンタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、1,6−ヘキサンジオール、2,2−ジエチル−1,3−プロパンジオール、3,3−ジメチロールヘプタン、2−エチル−2−ブチル−1,3−プロパンジオール、1,12−ドデカンジオール、1,18−オクタデカンジオールなどのC2−C22アルカンジオールや、2−ブテン−1,4−ジオール、2,6−ジメチル−1−オクテン−3,8−ジオールなどのアルケンジオール等の脂肪族ジオール;1,4−シクロヘキサンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール等の脂環族ジオール;グリセリン、2−メチル−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール、2,4−ジヒドロキシ−3−ヒドロキシメチルペンタン、1,2,6−ヘキサントリオール、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、2−メチル−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール、2,4−ジヒドロキシ−3−(ヒドロキシメチル)ペンタン、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−3−ブタノール等の脂肪族トリオール;テトラメチロールメタン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、キシリトール等の水酸基を4つ以上有するポリオールなどが挙げられる。これらの化合物は単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 The polyol compound having two or more hydroxyl groups in one molecule is not particularly limited, and is, for example, ethylene glycol, propylene glycol, trimethylene glycol, 1,4-butylene glycol, 1,3-butylene glycol, 1,2. -Butylene glycol, 1,5-pentanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 2,2-dimethyl-1,3-propanediol, neopentyl glycol, 1,6-hexanediol, 2,2- C 2 − such as diethyl-1,3-propanediol, 3,3-dimethylolheptan, 2-ethyl-2-butyl-1,3-propanediol, 1,12-dodecanediol, 1,18-octadecanediol, etc. Aliphatic diols such as C 22 alcan diol and alken diols such as 2-butene-1,4-diol, 2,6-dimethyl-1-octene-3,8-diol; 1,4-cyclohexanediol, 1, Alicyclic diols such as 4-cyclohexanedimethanol; glycerin, 2-methyl-2-hydroxymethyl-1,3-propanediol, 2,4-dihydroxy-3-hydroxymethylpentane, 1,2,6-hexanetriol , Trimethylol ethane, trimethyl propane, 2-methyl-2-hydroxymethyl-1,3-propanediol, 2,4-dihydroxy-3- (hydroxymethyl) pentane, 2,2-bis (hydroxymethyl) -3 -Adiol triols such as butanol; polyols having four or more hydroxyl groups such as tetramethylolmethane, pentaerythritol, dipentaerythritol and xylitol. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

ウレタン(メタ)アクリレートの配合量は、特に限定されないが、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して、その下限値は、硬化塗膜の柔軟性を向上させる点から5質量部が好ましく、10質量部が特に好ましい。一方、その上限値は、感光性の低下を防止する点から50質量部が好ましい。 The blending amount of the urethane (meth) acrylate is not particularly limited, but the lower limit is preferably 5 parts by mass from the viewpoint of improving the flexibility of the cured coating film with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin. 10 parts by mass is particularly preferable. On the other hand, the upper limit value is preferably 50 parts by mass from the viewpoint of preventing a decrease in photosensitivity.

また、感光性樹脂組成物には、さらに、必要に応じて、着色剤、体質顔料、潜在性硬化剤等の各種添加剤、消泡剤、難燃剤等を配合してもよい。 Further, the photosensitive resin composition may further contain various additives such as a colorant, an extender pigment, a latent curing agent, a defoaming agent, a flame retardant, and the like, if necessary.

次に、本発明の実施例を説明するが、本発明はその趣旨を超えない限り、これらの例に限定されるものではない。 Next, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these examples as long as the gist of the present invention is not exceeded.

実施例1〜4、比較例1〜4
下記表1に示す各成分を下記表1に示す配合割合にて配合し、3本ロールを用いて室温にて混合分散させて樹脂組成物を作製し、この樹脂組成物に、さらに希釈溶剤(非反応性希釈剤)を所定量添加して実施例1〜4及び比較例1〜4にて使用する感光性樹脂組成物を調製した。そして、調製した感光性樹脂組成物を以下のように塗工して試験片を作製した。
Examples 1 to 4, Comparative Examples 1 to 4
Each component shown in Table 1 below is blended in the blending ratio shown in Table 1 below, and three rolls are used to mix and disperse at room temperature to prepare a resin composition, and a diluent solvent (diluting solvent () is further added to this resin composition. A predetermined amount of the non-reactive diluent) was added to prepare the photosensitive resin compositions used in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4. Then, the prepared photosensitive resin composition was applied as follows to prepare a test piece.

基板:内径φ150μm、深さ70μmのスルーホール部の設けられた基板
基板の表面(第1主表面に対応)処理:酸処理(5質量%の硫酸水溶液)
基板の表面処理後、ジェットディスペンサー(ノードソン・アドバンテスト・テクノロジー社製、プラットフォーム本体 Quantum Q−6800、ディスペンスジェットバルブ DJ−9500)を用いて、実施例1〜4及び比較例2〜4について、上記のように調製した感光性樹脂組成物を一打点ずつ塗布して、基板のスルーホールのみに感光性樹脂組成物(第1の感光性樹脂組成物に対応)を充填し、スルーホールを完全に埋めた。このとき、実施例1〜4、比較例3、4では、スペーサーを用いて基板の裏面(第2主表面に対応)を塗布ステージ表面から1.6mm離して、スルーホールの周縁部を非接触状態とした。一方で、比較例2では、基板の裏面を塗布ステージ表面に直置きし、スルーホールの周縁部を塗布ステージ表面に接触させた。
Substrate: Substrate with through-holes with an inner diameter of φ150 μm and a depth of 70 μm Surface of the substrate (corresponding to the first main surface) Treatment: Acid treatment (5% by mass sulfuric acid aqueous solution)
After surface treatment of the substrate, using a jet dispenser (manufactured by Nordson Advantest Technology Co., Ltd., platform body Quantum Q-6800, dispense jet valve DJ-9500), Examples 1 to 4 and Comparative Examples 2 to 4 are described above. The photosensitive resin composition prepared as described above is applied one by one, and only the through holes of the substrate are filled with the photosensitive resin composition (corresponding to the first photosensitive resin composition) to completely fill the through holes. It was. At this time, in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 3 and 4, the back surface of the substrate (corresponding to the second main surface) is separated from the surface of the coating stage by 1.6 mm by using a spacer, and the peripheral edge of the through hole is not contacted. It was in a state. On the other hand, in Comparative Example 2, the back surface of the substrate was placed directly on the surface of the coating stage, and the peripheral edge of the through hole was brought into contact with the surface of the coating stage.

その後、実施例1〜4及び比較例2〜4について、さらに上記ジェットディスペンサーを用いて、上記のように調製した感光性樹脂組成物(第1の感光性樹脂組成物に対応)を基板の表面全体に対して、一打点ずつ、膜厚50μmにて塗布した。その後、実施例1〜4及び比較例1〜4について、基板の表面全体に塗布した第1の感光性樹脂組成物上に、上記のように調製した感光性樹脂組成物(第2の感光性樹脂組成物に対応)を基板の表面全体に対して、スクリーン印刷にて塗布を行った。なお、スクリーン印刷時の実施例1〜4及び比較例1〜4の感光性樹脂組成物の粘度は、15000mPa・sに調整した。
スクリーン印刷のDRY膜厚:20〜23μm
予備乾燥:80℃、20分
露光(硬化処理):波長250〜450nm(光源:メタルハライドランプ)、250mJ/cm (オーク社製、「HMW−680GW」)
現像:1質量%の炭酸ナトリウム水溶液、60秒、スプレー圧0.2MPa
ポストキュア:150℃、30分
Then, with respect to Examples 1 to 4 and Comparative Examples 2 to 4, the photosensitive resin composition (corresponding to the first photosensitive resin composition) prepared as described above was further applied to the surface of the substrate by using the jet dispenser. The whole was coated with a film thickness of 50 μm, one dot at a time. Then, with respect to Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4, the photosensitive resin composition prepared as described above (second photosensitive resin composition) was placed on the first photosensitive resin composition applied to the entire surface of the substrate. (Corresponding to the resin composition) was applied to the entire surface of the substrate by screen printing. The viscosity of the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 during screen printing was adjusted to 15000 mPa · s.
DRY film thickness for screen printing: 20-23 μm
Pre-drying: 80 ° C, 20 minutes exposure (curing treatment): Wavelength 250-450 nm (light source: metal halide lamp), 250 mJ / cm 2 (Oak, "HMW-680GW")
Development: 1 mass% sodium carbonate aqueous solution, 60 seconds, spray pressure 0.2 MPa
Post cure: 150 ° C, 30 minutes

なお、スクリーン印刷のDRY膜厚は、ジェットディスペンサーによる塗布を行っていない部位にて測定した。また、比較例1では、ジェットディスペンサーによる塗布は行わずに、基板の裏面を塗布ステージ表面に直置きし、スルーホールの周縁部を塗布ステージ表面に接触させた状態で、スクリーン印刷のみを行った。 The DRY film thickness of screen printing was measured at a portion not coated with a jet dispenser. Further, in Comparative Example 1, the back surface of the substrate was placed directly on the surface of the coating stage without coating by the jet dispenser, and only screen printing was performed with the peripheral edge of the through hole in contact with the surface of the coating stage. ..

評価項目
(1)粘度(mPa・s)
E型粘度計を用いて、実施例1〜4及び比較例1〜4の感光性樹脂組成物について、温度25℃にて、50rpmの粘度を測定した。
Evaluation items (1) Viscosity (mPa · s)
Using an E-type viscometer, the viscosities of the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 were measured at a temperature of 25 ° C. at 50 rpm.

(2)スルーホール埋まり性
硬化塗膜を形成した試験片に設けられていたスルーホール100箇所について、実施例1〜4及び比較例1〜4の感光性樹脂組成物が充填され完全に埋まっているかを、光学顕微鏡(×40倍)で観察し、埋まっているスルーホール部の数を計測した。
○:100箇所
△:99〜80箇所
×:79箇所以下
(2) Through-hole filling property The 100 through-holes provided in the test piece on which the cured coating film was formed were completely filled with the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4. It was observed with an optical microscope (× 40 times), and the number of buried through-holes was measured.
◯: 100 places Δ: 99 to 80 places ×: 79 places or less

(3)基板裏側への抜け性
硬化塗膜を形成した試験片に設けられていたスルーホール100箇所を介して、実施例1〜4及び比較例1〜4の感光性樹脂組成物が基板裏側へ抜けているかを、光学顕微鏡(×40倍)で観察した。
(3) Releasability to the back side of the substrate The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 are placed on the back side of the substrate through 100 through holes provided in the test piece on which the cured coating film is formed. It was observed with an optical microscope (× 40 times) to see if it was missing.

(4)膜厚均一性
硬化塗膜を形成した試験片のスルーホールをもつ配線パターン間の硬化塗膜の断面を封止、研磨後、顕微鏡にてN=9で観察し、ジェットディスペンサー塗布部分の膜厚を測長した。
○:膜厚の最大、最小の差が3μm未満。
△:膜厚の最大、最小の差が3μm以上、5μm未満。
×:膜厚の最大、最小の差が5μm以上。
(4) Film thickness uniformity The cross section of the cured coating film between the wiring patterns having through holes of the test piece on which the cured coating film was formed was sealed, polished, and then observed with a microscope at N = 9, and the jet dispenser coated portion was observed. The film thickness of was measured.
◯: The difference between the maximum and minimum film thickness is less than 3 μm.
Δ: The difference between the maximum and minimum film thickness is 3 μm or more and less than 5 μm.
X: The difference between the maximum and minimum film thickness is 5 μm or more.

(5)ボイド
硬化塗膜を形成した試験片の断面を封止、研磨後、顕微鏡にて観察し、ボイドの有無を評価した。
(5) Void The cross section of the test piece on which the cured coating film was formed was sealed, polished, and then observed with a microscope to evaluate the presence or absence of voids.

評価結果を下記表1に示す。 The evaluation results are shown in Table 1 below.

Figure 0006757547
Figure 0006757547

表1に示すように、25℃における粘度が200〜800mPa・sである第1の感光性樹脂組成物を、スルーホールの周縁部を非接触とした状態で、インクジェット法によりスルーホールに塗工してスルーホールを第1の感光性樹脂組成物にて充填した実施例1〜4では、スルーホール埋まり性に優れ、基板裏側への抜けが防止された。また、実施例1〜4では、ジェットディスペンサー塗布部分の膜厚均一性に優れていたので、スクリーン印刷にて塗工した第2の感光性樹脂組成物の硬化塗膜も、膜厚均一性に優れていた。また、実施例1〜4では、ボイドの発生も無く、硬化塗膜の性状も優れていた。 As shown in Table 1, the first photosensitive resin composition having a viscosity at 25 ° C. of 200 to 800 mPa · s is applied to the through holes by an inkjet method with the peripheral edges of the through holes in non-contact state. In Examples 1 to 4 in which the through holes were filled with the first photosensitive resin composition, the through holes were excellently filled and the through holes were prevented from coming off to the back side of the substrate. Further, in Examples 1 to 4, since the film thickness uniformity of the jet dispenser coated portion was excellent, the cured coating film of the second photosensitive resin composition coated by screen printing also had a film thickness uniformity. It was excellent. Further, in Examples 1 to 4, no voids were generated and the properties of the cured coating film were excellent.

また、実施例1と実施例4の対比から、希釈溶剤として25℃における表面張力が25m/mの非反応性希釈剤であるジエチレングリコールジエチルエーテルを用いると、25℃における表面張力が31m/mの非反応性希釈剤であるエチレングリコールアセテートと比較して、膜厚均一性がさらに向上した。さらに、実施例2と実施例1、3、4との対比から、25℃における粘度が400〜800mPa・sである第1の感光性樹脂組成物を用いると、25℃における粘度が200mPa・sである第1の感光性樹脂組成物と比較して基板裏側への抜けがより確実に防止できた。 Further, from the comparison between Examples 1 and 4, when diethylene glycol diethyl ether, which is a non-reactive diluent having a surface tension of 25 m N / m at 25 ° C., is used as the diluent solvent, the surface tension at 25 ° C. is 31 m N / m. The film thickness uniformity was further improved as compared with ethylene glycol acetate, which is a non-reactive diluent of m. Further, from the comparison between Example 2 and Examples 1, 3 and 4, when the first photosensitive resin composition having a viscosity at 25 ° C. of 400 to 800 mPa · s is used, the viscosity at 25 ° C. is 200 mPa · s. Compared with the first photosensitive resin composition, it was possible to more reliably prevent the resin from coming off to the back side of the substrate.

一方で、スクリーン印刷のみを行った比較例1、スルーホールの周縁部が接触した状態である比較例2、25℃における粘度が100mPa・sである比較例4では、スルーホール埋まり性が得られず、基板裏側への抜けが認められ、膜厚均一性も得られなかった。また、25℃における粘度が2000mPa・sである比較例3では、膜厚均一性が得られず、ボイドも発生した。 On the other hand, in Comparative Example 1 in which only screen printing was performed, Comparative Example 2 in which the peripheral edges of the through holes were in contact with each other, and Comparative Example 4 in which the viscosity at 25 ° C. was 100 mPa · s, the through hole filling property was obtained. However, it was found that the substrate was pulled out to the back side, and the film thickness was not uniform. Further, in Comparative Example 3 in which the viscosity at 25 ° C. was 2000 mPa · s, the film thickness uniformity was not obtained and voids were also generated.

本発明の硬化塗膜の形成方法は、基板にスルーホールが設けられていても、スルーホールを介した感光性樹脂組成物の基板裏側への抜けを防止し、塗膜の厚さを均一化できるので、例えば、スルーホールが設けられた回路基板の絶縁被膜の分野で利用価値が高い。 The method for forming a cured coating film of the present invention prevents the photosensitive resin composition from coming out to the back side of the substrate through the through holes even if the substrate is provided with through holes, and makes the thickness of the coating film uniform. Therefore, it has high utility value in the field of insulating coating of a circuit board provided with through holes, for example.

1 第1の感光性樹脂組成物
2 第2の感光性樹脂組成物
3 基板
4 ジェットディスペンサー
5 硬化処理
12 硬化塗膜
1 First photosensitive resin composition 2 Second photosensitive resin composition 3 Substrate 4 Jet dispenser 5 Curing treatment 12 Curing coating film

Claims (9)

インクジェット法により、非反応性希釈剤を含む、25℃における粘度が150〜1500mPa・sである第1の感光性樹脂組成物を、少なくとも基板のスルーホール部に塗工して前記スルーホールに充填物を形成する工程と、
前記基板の第1主表面上及び前記充填物の前記第1主表面側の表面上に、非反応性希釈剤を含む第2の感光性樹脂組成物を、スクリーン印刷法、インクジェット法、ロールコータ法、バーコータ法、スプレーコータ法、カーテンフローコータ法、スキージ法、アプリケータ法、ブレードコータ法、ナイフコータ法またはグラビアコータ法により、塗工して塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を硬化処理して硬化塗膜を形成する工程と、
を有し、
前記第1の感光性樹脂組成物の塗工後であって前記第2の感光性樹脂組成物の塗工前には、前記硬化処理を行わず、
前記第1の感光性樹脂組成物を塗工する工程において、前記基板の前記第1主表面の反対側の面である第2主表面のうち、少なくとも前記スルーホールの周縁部を、非接触とする硬化塗膜の形成方法。
By the inkjet method, at least the through hole portion of the substrate is coated with the first photosensitive resin composition containing a non-reactive diluent and having a viscosity at 25 ° C. of 150 to 1500 mPa · s, and the through hole is filled. The process of forming things and
A second photosensitive resin composition containing a non-reactive diluent is applied onto the first main surface of the substrate and the surface of the filler on the first main surface side by a screen printing method, an inkjet method, or a roll coater. The process of coating to form a coating film by the method, bar coater method, spray coater method, curtain flow coater method, squeegee method, applicator method, blade coater method, knife coater method or gravure coater method .
A step of curing the coating film to form a cured coating film,
Have,
After the coating of the first photosensitive resin composition and before the coating of the second photosensitive resin composition, the curing treatment is not performed.
In the step of applying the first photosensitive resin composition, at least the peripheral edge of the through hole of the second main surface, which is the surface opposite to the first main surface of the substrate, is made non-contact. A method for forming a cured coating film.
前記第1の感光性樹脂組成物が、25℃における表面張力が30m/m以下の非反応性希釈剤を含む請求項1に記載の硬化塗膜の形成方法。 The method for forming a cured coating film according to claim 1, wherein the first photosensitive resin composition contains a non-reactive diluent having a surface tension of 30 m N / m or less at 25 ° C. 前記非反応性希釈剤が、ジエチレングリコールジエチルエーテルを含む請求項2に記載の硬化塗膜の形成方法。 The method for forming a cured coating film according to claim 2, wherein the non-reactive diluent contains diethylene glycol diethyl ether. 前記第2の感光性樹脂組成物の塗工方法が、スクリーン印刷法、ロールコータ法、バーコータ法、スプレーコータ法、カーテンフローコータ法、スキージ法、アプリケータ法、ブレードコータ法、ナイフコータ法またはグラビアコータ法である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の硬化塗膜の形成方法。 The method for coating the second photosensitive resin composition, a screen printing method, b Rukota method, bar coater method, a spray coating method, a curtain flow coater method, a squeegee method, applicator method, a blade coating method, a knife coating method or gravure The method for forming a cured coating film according to any one of claims 1 to 3, which is a coater method. 前記第1の感光性樹脂組成物の25℃における粘度が、180〜1000mPa・sである請求項1乃至のいずれか1項に記載の硬化塗膜の形成方法。 The method for forming a cured coating film according to any one of claims 1 to 4 , wherein the viscosity of the first photosensitive resin composition at 25 ° C. is 180 to 1000 mPa · s. 前記第2の感光性樹脂組成物の25℃における粘度が、120〜60000mPa・sである請求項1乃至のいずれか1項に記載の硬化塗膜の形成方法。 The method for forming a cured coating film according to any one of claims 1 to 5 , wherein the viscosity of the second photosensitive resin composition at 25 ° C. is 120 to 60,000 mPa · s. 前記第1の感光性樹脂組成物の成分が、前記第2の感光性樹脂組成物の成分と同じである請求項1乃至のいずれか1項に記載の硬化塗膜の形成方法。 The components of the first photosensitive resin composition, a method of forming the cured coating film according to the any one of the second photosensitive claims 1 to 6 component and is the same resin composition. 前記硬化処理が、活性エネルギー線による露光処理及び/または熱処理である請求項1乃至のいずれか1項に記載の硬化塗膜の形成方法。 The method for forming a cured coating film according to any one of claims 1 to 7 , wherein the curing treatment is an exposure treatment using active energy rays and / or a heat treatment. 波長240〜420nmの前記活性エネルギー線による露光処理の露光量が、30〜500mJ/cm2である請求項に記載の硬化塗膜の形成方法。 The method for forming a cured coating film according to claim 8 , wherein the exposure amount of the exposure treatment using the active energy rays having a wavelength of 240 to 420 nm is 30 to 500 mJ / cm 2 .
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KR20230085213A (en) * 2013-09-25 2023-06-13 미쯔비시 케미컬 주식회사 Photosensitive coloring composition, black matrix, coloring spacer, image display device, and pigment dispersion
JP2015187205A (en) * 2014-03-26 2015-10-29 三菱化学株式会社 Curable resin composition, and cured product and laminate obtained by using the same
JP6702319B2 (en) * 2015-06-09 2020-06-03 日産化学株式会社 Inkjet coating film forming composition
JP6434564B2 (en) * 2016-06-09 2018-12-05 株式会社タムラ製作所 Method for forming cured coating film
CN107490936A (en) * 2016-06-09 2017-12-19 株式会社田村制作所 The forming method of cured coating film
WO2018016343A1 (en) * 2016-07-19 2018-01-25 日産化学工業株式会社 Varnish for forming charge-transporting thin film

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