JP6757290B2 - 光源装置 - Google Patents
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Description
レーザと、
前記レーザから出射した光の一部の光路中にある半導体の平行平板と、
受光器と、を含み、
前記レーザは、連続掃引可能な波長掃引範囲が3nm以上であり、
前記半導体の平行平板はエタロンの機能を有し、波長範囲3nmにわたり2本以上のフリンジを跨ぐ厚さを有し、前記レーザの発振波長において屈折率が3よりも大きい
ことを特徴とする波長掃引可能な光源装置である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る光源装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態の波長校正可能な光源装置は、レーザ素子のDBRレーザ101と波長校正用のエタロン102とエタロンの透過光を受光する検出器108とから構成される。DBRレーザ101はブラック回折格子を有する。レーザ端面の一方からの光はレンズ系103を通してファイバ104にカップリングする。ファイバ104はタップカプラ105を用いて分光測定用の光路107と周波数校正用の光路106に分岐される。周波数校正用の光路106を通った光はコリメータレンズ(図示しない)で平行光とされ、Geのエタロン102を透過し検出器108で受光する。
である。校正には少なくとも2点は必要であり、掃引の最短波長λ1、最長波長をλ2とすると、以下の条件が必要となる。
本発明の第2の実施の形態について説明する。図6は本発明の第2の実施の形態に係るレーザモジュールの構成を示すブロック図である。本実施の形態の波長校正可能なレーザモジュールは、第1の実施の形態と同様にレーザ素子のDBRレーザ601と波長校正用のエタロン602とエタロン602の透過光を受光する検出器603とから構成される。レーザ端面の一方からの光はレンズ系604を通してファイバ605にカップリングし、分光測定に使用できる。もう一方の端面側には波長校正用のエタロン602と検出器603(リアモニタ)が配置されている。波長校正方法は第1の実施の形態と同様の方法を用いることができる。
本発明の第3の実施の形態について説明する。図7は本発明の第3の実施の形態に係るレーザモジュールの構成を示すブロック図である。本実施の形態の波長校正可能なレーザモジュールは、第1の実施の形態と同様にレーザ素子のDBRレーザ701と波長校正用のエタロン702とエタロン702の透過光を受光する検出器703とから構成される。レーザ端面の一方からの光はビームスプリッタ704で2つの光路に分けられる。一方はレンズ系705を通してファイバ706にカップリングし、分光測定に使用できる。もう一方の光路には波長校正用のエタロンと検出器が配置されている。波長校正方法は第1の実施の形態と同様の方法を用いることができる。
本発明の第4の実施の形態について説明する。図8は本発明の第4の実施の形態に係るレーザモジュールの構成を示すブロック図である。本実施の形態の波長校正可能なレーザモジュールは、第1の実施の形態と同様にレーザ素子のDBRレーザ801と波長校正用のエタロン802とエタロン802の透過光を受光する検出器803とから構成される。レーザ端面の一方からの光はレンズ系804を通してファイバ805にカップリングし、分光測定に使用できる。もう一方の端面側の光はレンズ系804を通してファイバ806にカップリングし、波長校正用のエタロンと検出器(リアモニタ)を備えたモジュールが配置され、周波数校正に使用できる。波長校正方法は第1の実施の形態と同様の方法を用いることができる。
102 エタロン
103 レンズ系
104 ファイバ
105 タップカプラ
106 周波数校正用の光路
107 分光測定用の光路
108 検出器
601 DBRレーザ
602 エタロン
603 検出器
604 レンズ系
605 ファイバ
701 DBRレーザ
702 エタロン
703 検出器
704 ビームスプリッタ
705 レンズ系
706 ファイバ
801 DBRレーザ
802 エタロン
803 検出器
804 レンズ系
805 ファイバ
806 ファイバ
Claims (5)
- レーザと、
前記レーザから出射した光の一部の光路中に半導体の平行平板と、
受光器と、を含み、
前記レーザは、連続掃引可能な波長掃引範囲が3nm以上であり、
前記半導体の平行平板はエタロンの機能を有し、波長範囲3nmにわたり2本以上のフリンジを跨ぐ厚さを有し、前記レーザの発振波長において屈折率が3よりも大きい
ことを特徴とする波長掃引可能な光源装置。 - 前記レーザは、発振波長が2μm以上であり、ブラック回折格子を有し、電流注入により前記ブラック回折格子の屈折率を変化させることができることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記半導体の平行平板がGe及びSiのグループから選ばれた材料のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光源装置。
- 前記半導体の平行平板がInP及びGaAsのグループから選ばれた材料のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光源装置。
- 前記半導体の平行平板は、前記レーザの発振波長において透明であることを特徴とする請求項1乃至請求項4いずれか一項に記載の光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017093369A JP6757290B2 (ja) | 2017-05-09 | 2017-05-09 | 光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017093369A JP6757290B2 (ja) | 2017-05-09 | 2017-05-09 | 光源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018190868A JP2018190868A (ja) | 2018-11-29 |
JP6757290B2 true JP6757290B2 (ja) | 2020-09-16 |
Family
ID=64480282
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017093369A Active JP6757290B2 (ja) | 2017-05-09 | 2017-05-09 | 光源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP2016090521A (ja) * | 2014-11-11 | 2016-05-23 | 株式会社島津製作所 | ガス吸光度測定装置 |
-
2017
- 2017-05-09 JP JP2017093369A patent/JP6757290B2/ja active Active
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JP2018190868A (ja) | 2018-11-29 |
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