JP6756709B2 - 分光放射計を校正するための方法 - Google Patents

Description

本発明は、以下の方法ステップ、すなわち、
−校正すべき分光放射計を用いて少なくとも１つの標準光源の放射を測定することによって、光測定データを記録するステップと、
−記録された光測定データを、標準光源の既知のデータと比較することによって、光測定データから校正データを導出するステップと、
−校正データにしたがって、分光放射計を校正するステップと、
を備えている、分光放射計を校正するための方法に関する。

分光放射計は、例えば可視スペクトル領域にある、光源のスペクトルを測定するための装置であり、測定されたスペクトル強度分布から、測色量および測光量が導出される。分光放射計は、光源の特徴を決定するため、また光源を校正するために種々の用途に使用される。典型的には、分光放射計は、光スペクトルを測定するための光学分光計を含んでいる。分光計は、波長に依存する放射強度の形の、ディジタル測定データを供給する。それらの測定データが、分光放射計の計算ユニットを用いて、測色量（例えば色座標ｘ、ｙ、ｚ）および／または測光量ないし放射量（例えば光束）に換算される。

分光放射計は、例えば、発光ダイオードの製造プラントにおいて、発光ダイオードをその測色量および測光量に関して測定し、それに応じて分類するために使用されている。同様に、分光放射計は、（例えばＬＣＤフラットスクリーン用の）ディスプレイの製造プラントにおいて、輝度、発光ダイオード、色などを測定するために使用されている。そのような製造プラントにおいては、通常の場合、多数の分光放射計が並行に動作している。製品の一様な品質を保証するために、並行に動作している分光放射計の同期が極めて重要である。ここで、同期とは、並行に動作している分光放射計が、同一の放射スペクトルを有している測定対象物では、実質的に同一の光測定データ（スペクトル強度分布、測色量および測光量）を供給することを意味している。このために、分光放射計を定期的に校正する必要がある。その際、比較的長い間隔をおいて実施される本質的な校正と、修正とも称することができる、比較的頻繁に実施される校正と、が区別される。この修正の枠内では、ドリフトに起因して発生する、どちらかと言えば取るに足らない程度のシステム的な測定誤差が補償される。

国際公開第２０１４／０１１７２９号（WO 2014/011729 A1）からは、複数の色測定装置を校正するための、すなわち複数の色測定装置の同期を達成するための方法が公知であり、この方法においては、校正すべき色測定装置が、規格化された色測定装置を用いて調整されている。このために、被検体（典型的には、十分に定義された照明および観察幾何学のもとでの色見本）が、校正すべき色測定装置および標準化された色測定装置の両方を用いて測定される。そのようにして取得された光測定データの比較から、校正データが導出され、それらの校正データに基づいて、色測定装置が校正される。

確かに、以前から公知の方法では、並行して使用される装置の同期を保証している。しかしながら、校正の品質が標準化された装置の校正次第であることは欠点である。標準化された装置の校正が正確でない場合、このエラーは全ての機器に伝播される。特に、同期が１つの位置においてしか、すなわち標準化された装置が設けられている位置でしか保証できないことは欠点である。しかしながら、例えば発光ダイオードまたはディスプレイのような製品は、複数の生産場所に分散されていることが多いので、異なる生産場所において並行して使用されている装置の同期も保証されなければならない。

この背景のもとでの、本発明の課題は、分光放射計を校正するための確実で実用的な方法を提供することである。特に、簡単かつ確実なやり方で、異なる位置に設けられている分光放射計の同期が確立されるべきである。

本発明によれば、この課題は、冒頭で述べたような方法を基礎として、
−標準光源の光測定データが、同種の１つまたは複数の別の標準光源の光測定データと比較され、その際に、標準光源の光測定データの偏差が所定の限界値を下回る場合には、標準光源の有効性が確認される、および／または、
−標準光源が、同種のまたは異種の２つ以上の標準分光放射計を用いて測定され、その際に、異なる標準分光放射計を用いて記録された光測定データの相互の偏差が所定の限界値を下回る場合には、標準光源の有効性が確認される、
ことによって、標準光源の有効性が、すなわち校正のために標準光源を使用できるかが検査されることによって解決される。

すなわち、本発明によれば、分光放射計を校正するために、２つ以上の装置、すなわち１つの考えられる構成においては、同種の２つ以上の（とりわけ３つの）標準光源を含んでいる校正標準が使用され、それらの装置の光測定データが、相互に比較され、そのようにして、分光放射計の校正にその都度使用される標準光源の有効性を確認するための一貫性検査を保証することができる。したがって、個々の装置の変化または予定より早い経年劣化を確実に識別することができる。標準光源の光測定データの比較の際に、所定の限界値を上回る偏差が確認された場合、このことは、標準光源のうちの少なくとも１つについて、その特性の経年劣化またはその他の変化が生じており、その結果、標準光源を分光放射計の校正には使用できないことを意味している。仮に、そのような分光放射計を使用した場合には、各分光放射計の校正は、標準光源の変化に応じてエラーを含むことになる。標準光源の光測定データの比較によって、所定の限界値を上回る偏差が明らかになった場合には、差し当たり、全ての標準光源を本質的に再校正する必要があり、また可能な限り、校正が国家基準に合わせてトレースできるように再校正する必要がある。一貫性検査のために、すなわち複数の標準光源の光測定データを比較するために、分光放射計を使用することができるか、または色測定装置も使用することができる。代替的または補完的に、本発明に即して使用される校正標準を、１つの標準光源および２つ以上の（とりわけ３つの）分光放射計（ここでは、校正すべき分光放射計と区別するために標準分光放射計と称する）から形成することができる。標準分光放射計を用いて、標準光源の光測定データが目標データと、すなわち標準光源の既知のデータと一致しているか否かを確認することができる。換言すれば、標準分光放射計によって標準光源を測定することによって、標準光源のスペクトルが依然として標準光源の校正に対応しているか、またはスペクトルが変化したかが確認される。その限りにおいて、標準光源の有効性に関する判定基準は、標準分光放射計を用いて記録された光測定データと、標準光源の目標データと、が一致することである。別の判定基準は、校正標準の種々の標準分光放射計を用いて記録された光測定データが実質的に一致すること、すなわち、種々の標準分光放射計を用いて記録された光測定データの相互の偏差が所定の限界値を下回ることである。これによって、やはり一貫性検査が実現され、標準光源を検査するために使用される標準分光放射計のエラーを含む校正が分光放射計の校正に伝播することが回避される。そのような偏差が確認された場合には、可能な限り国家基準に合わせたトレーサビリティを有する、標準分光放射計の再校正が必要になり、また場合によっては標準光源の再校正も必要になる。

本発明による方法の利点は、これによって、１つの位置に設けられている分光放射計の同期を確実に保証できるだけなく、簡単かつ実用的なやり方で、各位置に設けられている校正標準（複数の標準光源、複数の標準分光放射計）が定期的に、または偏差の確認時に再校正され、しかも国家基準に合わせたトレーサビリティを有するように再校正されることによって、異なる位置に設けられている複数の分光放射計の同期も保証できることである。

したがって換言すれば、本発明の重要な態様は、各位置に設けられている分光放射計を校正するための局所的な校正標準を、統一的な標準に基づいた、とりわけ国家基準に基づいた複数の局所的な校正標準の校正と組み合わせて使用することである。これによって、異なる位置に設けられている全ての分光放射計の同期が保証される。

本発明による方法の１つの好適な構成によれば、校正標準の標準光源ないし標準分光放射計が、遅くとも所定の期間の経過後に、１つまたは複数の規格光源に基づいて校正される。上記において説明した一貫性検査によって、所定の限界値を上回る偏差が明らかになった場合には、校正がより早期に行われる。規格光源として、例えば、各原子遷移に応じた既知の十分に定義された波長においてスペクトル線を有している、それ自体公知の種類の線形ランプ、例えばアルゴンランプまたは水銀灯、もしくはレーザ、例えばヘリウムネオンレーザが、波長スケールの校正に適している。装置のスペクトル感度の校正に関しては、定義された動作パラメータにおいて既知の放射スペクトルを有しているその他の光源、例えばハロゲンランプが適している。装置のスペクトル感度の校正は、光源および測定装置がそれに適するように選択される場合には、絶対スケール（例えばルーメン／ｎｍ）で行うことができる。発光ダイオードによって、校正光源を実現するための別の可能性が提供されるが、そのような光源は、可視スペクトルの縁部領域における光度が低いことによって、本質的な校正にはむしろあまり適したものではない。使用される規格光源は、好適には、定期的に国立の試験研究所（ドイツ連邦共和国においては、例えばブラウンシュバイクにある物理技術連邦施設（ＰＴＢ：Ｐｈｙｓｉｋａｌｉｓｃｈ Ｔｅｃｈｎｉｓｃｈｅ Ｂｕｎｄｅｓａｎｓｔａｌｔ））において検査され、また必要に応じて再校正されて、そのようにして、国家基準に合わせたトレーサビリティが保証される。前述の規格光源は、本発明による方法の実施に非常に良く適している。何故ならば、それらの規格光源を容易に搬送することができ、また種々の位置において使用して、それらの種々の位置の各位置において校正標準を必要に応じて、または定期的に校正することができるからである。

したがって、異なる位置に設けられている全ての分光放射計の同期を保証するために、１つの位置に設けられている複数の分光放射計が、同じやり方で、すなわち同一の標準光源ないし同一の標準分光放射計を使用して、本発明の意味において校正されるべきである。

さらに、異なる位置に設けられている局所的な校正標準、すなわち標準光源ないし標準分光放射計は、同じやり方で、すなわち可能な限り同一の規格光源に基づいて校正されるべきである。したがって、本発明によれば、１つの位置に設けられている分光放射計の同期が、局所的な校正標準の使用による、規格光源に基づいて行われる校正間の時間に保証される。校正周期中に生じた偏差は、上述の一貫性検査に基づいて確認されるので、必要に応じて、早期の時点に新たな校正を開始することができる。

本発明の１つの別の態様によれば、標準光源として、白色光を放出する発光ダイオードが使用され、この発光ダイオードは、第１の波長領域の放射を放出する半導体素子と、第１の波長領域の放射の一部を第２の波長領域の放射に変換する少なくとも１種の蛍光体と、を有している。

第１の波長領域にある放射を放出する半導体素子を１つだけ有している白色発光ダイオードは、従来技術から公知である。多くの場合、第１の波長領域は、青色のスペクトル領域にある。青色の放射は、１種または複数種の蛍光体によって、部分的に第２（第３、第４など）の波長領域の放射に変換され、その際、第１の波長領域にある放射と第２（第３、第４など）の波長領域にある放射とから成る混合放射により白色光が生じる。例えば、青色のスペクトル領域にある放射を放出する半導体素子が、黄色のスペクトル領域にある放射を放出する蛍光体と組み合わされて使用される白色発光ダイオードが公知である。同様に、青色のスペクトル領域にある放射を放出する半導体素子が、緑色および赤色のスペクトル領域にある放射を放出する蛍光体と組み合わされ、それによってやはり、結果として生じる混合光が白色の印象をもたらす白色発光ダイオードが公知である。

白色発光ダイオードは、本発明による標準光源として使用するために、温度および半導体素子に流れる電流を安定化させた状態で駆動されるべきである。このようにして、放出される光の十分に定義された再現可能なスペクトルが保証されている。好適には、標準光源は、発光ダイオードの動作パラメータを一定値になるように閉ループ制御する閉ループ制御装置を含んでいる。

白色発光ダイオードを基礎とする標準光源の使用は、相応の標準光源を、非常に小型で安定した、搬送能力のある廉価で長い再校正周期を有している光源として実現できるという利点を有している。白色の放射スペクトルに基づいて、標準光源を普遍的に使用することができる。校正は、全ての可視スペクトルに作用する。したがって、校正は分光放射計を用いて測定された測光量および測色量に対して有効である。

本発明による方法の１つの好適な構成においては、分光放射計の校正には、測定されたスペクトルのスペクトル的な極大値の位置が、標準光源の既知のスペクトルのスペクトル的な極大値の位置と実質的に一致するように、各分光放射計の分光計の波長スケールの修正を実施することが含まれる。白色発光ダイオードのスペクトルは、十分に定義されたスペクトル的な極大値（特に、青色のスペクトル領域において顕著に表れる最大値）を有しているので、その結果、波長スケールの修正を確実かつ高い精度で行うことができる。

補足的または代替的に、校正は、測定されて修正されたスペクトルの波長に依存する強度経過が、標準光源の既知のスペクトルの強度経過と実質的に一致するように、スペクトル感度の波長に依存する修正を行うことを含むことができる。前述したように、白色発光ダイオードは、確実かつ正確な校正のために、波長スケールだけでなく、各分光放射計の分光計のスペクトル感度も使用できる、十分に定義されたスペクトルを有している。好適には、第１のステップにおいて、波長スケールの修正が行われ、第２のステップにおいて、スペクトル感度の校正が行われる。波長スケールの校正後においては、スペクトル感度の校正を簡単に、測定されたスペクトルの波長に依存する強度経過を、標準光源の既知のスペクトルの波長に依存する強度経過と比較することによって、また波長に依存する相応の修正によって行うことができる。代替的に、１つのモデルに基づいて、強度経過を可能な限り正確に表すことができるパラメータを決定することができる。このことは、測定信号におけるノイズ寄与分を除去することができ、またそのモデルを、標準光源の限定的な放射スペクトルに起因して利用可能な測定結果が存在しないスペクトル領域に外挿することがきるという利点を有している。

以下では、本発明の複数の実施例を添付の複数の図面に基づき詳細に説明する。

標準光源を備えている、分光放射計の概略図を示す。 本発明による方法をブロック図として示す。 標準光源としての白色発光ダイオードを基礎とした校正を示す。

図１には、分光放射計１が概略的に示されており、この分光放射計１は、光学分光計２と、この光学分光計２に接続されている計算ユニット３と、を含んでいる。光学分光計２は、光源のスペクトルを測定し、波長に依存する強度経過をディジタル形式で供給する。それらの測定データが計算ユニット３に伝送される。例えば、分光計２は、測定された放射のスペクトル成分を空間的に分離する分散素子（典型的には格子）と、複数の感光ピクセルを備えているＣＣＤ素子と、を含んでおり、各ピクセルには、その空間的な配置に基づいて、所定の波長区間が対応付けられている。計算ユニット３は、ディジタル形式で存在するスペクトルを評価し、そこから測光量および／または測色量、例えば色座標ｘ、ｙ、ｚを計算する。

分光放射計１を校正するために、本発明によれば、標準光源４が使用される。この標準光源４は、閉ループ制御装置６に接続されている発光素子５、例えば発光ダイオードを含んでいる。閉ループ制御装置６は、発光素子５にエネルギを供給し、その動作パラメータを、例えば電流、電圧および温度を、所定の一定値になるよう閉ループ制御する。このようにして、発光素子５が、十分に定義された既知の放射スペクトルを有することが保証される。

図示の実施例においては、校正を目的として、標準光源４の放射を測定することによって、同一の光測定データが分光放射計１を用いて記録される。標準光源４は、データメモリ７を有しており、このデータメモリ７には、標準光源４の既知のデータが記憶されており、例えば、放射スペクトルおよび／または測光データおよび／または測色データの形態で記憶されている。データコネクション８を介して、分光放射計１は、このデータを読み出す。計算ユニット３は、記録された光測定データを、読み出した、標準光源４の既知のデータと比較し、それにより校正データを導出する。最後に、校正データに即して、分光放射計１の校正が行われる。その際、校正は、計算ユニット３によって光測定データに適用される適切な修正アルゴリズムを用いて行われる。例えば、測光最終結果または測色最終結果（例えば色座標）を直接的に修正することができる。標準光源４から記録された光測定データと、標準光源４の既知のデータと、の比較によって、例えば、色座標が差分値分だけ偏差していることが明らかになると、修正アルゴリズムは、後続の測定時に、この色座標を差分値に応じて変更する。相応のことは、例えば光束、光密度のような測光量についても該当する。代替的には、測定されたスペクトルを修正することができる。すなわち、測光量および／または測色量がスペクトルから導出される前に、測定されたスペクトルを修正することができる。このために、波長スケールの修正ならびにスペクトル感度の修正を波長に応じて適用することができる。これについては、下記において図３を参照しながら詳細に説明する。

図２には、異なる位置９、１０、１１、すなわち相互に距離をおいて位置９、１０、１１に設けられている、複数の分光放射計１を校正するための本発明による方法が示されている。位置９、１０、１１は、例えば、発光ダイオードまたはディスプレイの生産場所であってよい。各位置９、１０、１１では、３つの標準分光放射計１’ならびに複数の標準光源４を含んでいる局所的な校正標準がそれぞれ１つずつ使用されている。各分光放射計１は、上記において図１を参照して説明したように、複数ある標準光源４のうちの１つを使用して校正される。分光放射計１を校正する前に、標準光源４の有効性が、すなわち校正のために標準光源４を使用できるかが、各位置９、１０、１１に設けられている３つの標準分光放射計１’によって各標準光源４が測定されることによって検査され、この一貫性検査の過程において記録された光測定データの相互の偏差が所定の限界値を下回る場合には、該当する標準光源４の有効性が確認される。さらに、標準光源４の有効性を確認するための前提は、標準分光放射計１’を用いて記録された光測定データの目標データからの偏差が、すなわち各標準光源４の既知のデータからの偏差が所定の限界値未満である、ということである。許容偏差は、典型的には目標値の５％未満、好適には１％未満である。各位置９、１０、１１におけるそれぞれ３つの標準分光放射計１’を基礎とした有効性の検査は、標準分光放射計１’によって設定された校正の基準が正確であることを保証する。一貫性検査によって偏差が明らかになると、それによって、標準分光放射計１’のうちの１つの動作がもはや信頼できるものではないことが推定される。確認されたこの偏差は、それぞれの局所的な校正標準の全ての標準分光放射計１’を新たに校正するきっかけを与える。少なくとも３つの標準分光放射計１’を使用することは、一貫性検査の際に確認された偏差が、複数ある標準分光放射計１’のうちのいずれに該当するものであるかを示唆できるという利点を有している。これによって、プロセスを一時的に、該当しない２つの標準分光放射計１’を用いてさらに実行することができる。各標準分光放射計１’は、同一のタイプ、すなわち同一の構造であってもよいし、異なるタイプであってもよい。異なるタイプの標準分光放射計１’を使用することは、それらの異なるタイプの装置が周囲条件の変化にその都度異なるように反応することに基づいて、（例えば変動する温度または湿気に起因する）システム偏差も識別されて、それらのシステム偏差を除去することができるという利点を有している。

標準分光放射計１’は、偏差が確認されると、しかしながら遅くとも所定の期間の経過後に、規格光源１２を基礎として、本質的に新たに校正される。規格光源１２は、上記において説明したように、十分に定義された放射スペクトルを備えている１つまたは複数のハロゲンランプと組み合わされた、１つの線形ランプまたは複数の線形ランプのセットであってよい。種々の位置９、１０、１１に設けられている標準分光放射計１’の校正は、同じやり方で、すなわち校正のために所定の位置から所定の位置９、１０、１１まで搬送される同一の規格光源１２を基礎として行われる。ハロゲンランプベースを基礎とした規格光源１２の放射スペクトルは、周期的に、公認の研究所１３において、例えば国立の試験研究所において実証ないし校正される。線形ランプは、原子遷移の性質によって不変に定義されており、かつ物理的な基準として絶対的な有効性を有していることから、校正を必要としない。このようにして、統一的な（国家）基準に合わせた、全ての分光放射計１の校正のトレーサビリティが保証されている。局所的な校正標準と、仲介標準として使用される規格光源１２と、を本発明にしたがい組み合わせることによって、種々の位置９、１０、１１における全ての分光放射計１の同期が保証されている。

本発明によれば、標準光源４が発光素子５として、白色発光ダイオードを有することができ、この白色発光ダイオードは、（例えば青色のスペクトル領域にある）第１の波長領域の放射を放出する半導体素子と、第１の波長領域の放射の一部を（例えば緑色／赤色のスペクトル領域にある）第２の波長領域の放射に変換する少なくとも１種の蛍光体と、を有している。図３の上側のグラフは、波長に依存する強度Ｉ（λ）の形での、そのような発光ダイオードの放射スペクトルを概略的に示している。実線で表された曲線は、白色発光ダイオードの実際の放射スペクトルを示している。青色のスペクトル領域にある極大値（左側）ならびに緑色／赤色のスペクトル領域にあるより幅広の極大値（右側）が見て取れる。破線の曲線は、校正すべき分光放射計１を用いて測定されたスペクトルを表している。極大値が相互に相対的にずれていることが見て取れる（上側のグラフにおける垂直に延びる破線によって示唆されている）。さらに、実際の放射スペクトルに対する極大値の相対強度もずれている。このことは、分光放射計１の分光計２が波長スケールに関して、また感度に関しても、修正を、すなわち校正を必要としていることを示唆している。このために、分光放射計１の計算ユニット３が修正アルゴリズムを適用し、この修正アルゴリズムは、第１のステップにおいて、測定されたスペクトルのスペクトル的な極大値の位置が、標準光源４の既知のスペクトルのスペクトル的な極大値の位置と一致するように、分光放射計１の波長スケールの修正を実施する。例えば、線形スケーリングを使用して、波長スケールのシフトならびに伸張／圧縮を行うことができる。第２のステップにおいては、スペクトル感度の波長に依存する修正が行われる。このために、測定されたスペクトルが、すなわち波長に依存する強度経過が、標準光源４の、波長に依存する既知の強度経過で除算される。その結果は、図３の下側のグラフに示唆されている（実線の曲線）。除算の結果において、測定に起因するノイズが不所望に増幅されている可能性がある。これを補償するために、適切な曲線（例えば多項式）が、除算によって生じた曲線に適合される（図３の下側における破線の曲線）。この適合では、下側のグラフにおいて垂直方向に延びる２つの破線によって示唆されている区間内の値だけが考慮される。この区間外に位置するスペクトルの縁部では、測定されたスペクトルの強度が低いことに起因して、値を利用することができない。最後に、修正アルゴリズムは、関連する全てのスペクトル領域にわたって外挿される適合された曲線にしたがって、測定されたスペクトルを修正する。このようにして適用される修正アルゴリズムは、スペクトル領域全体にわたり有効性を有している。相応に、結果も、すなわち修正アルゴリズムの適用後に計算ユニット３を用いて特定された測光量および／または測色量も自動的に正確に修正される。

Claims (7)

1. 分光放射計（１）を校正するための方法であって、
   −校正すべき前記分光放射計（１）を用いて少なくとも１つの標準光源（４）の放射を測定することによって、光測定データを記録するステップと、
   −記録された前記光測定データを、前記標準光源（４）の既知のデータと比較することによって、前記光測定データから校正データを導出するステップと、
   −前記校正データにしたがって、前記分光放射計（１）を校正するステップと、
   を有し、
   前記標準光源（４）を、遅くとも所定の期間の経過後に、１つまたは複数の規格光源（１２）に基づいて校正する
   方法において、
   前記標準光源（４）の有効性を、すなわち前記校正のために前記標準光源（４）を使用できるかを、
   −前記標準光源（４）の前記光測定データを、同種の１つまたは複数の別の標準光源（４）の光測定データと比較し、その際に、前記標準光源（４）の光測定データの相互の偏差が所定の限界値を下回る場合には、前記標準光源（４）の有効性を確認し、そうでない場合には、前記標準光源（４）の校正が早く、すなわち前記所定の期間の経過よりも前に行われる、
   方法。
2. １つの位置（９、１０、１１）に設けられている複数の分光放射計（１）を、同じやり方で、すなわち同一の標準光源（４）を使用して校正する、請求項１記載の方法。
3. 種々の位置（９、１０、１１）に設けられている複数の標準光源（４）を、同じやり方で、すなわち同一の規格光源（１２）に基づいて校正する、請求項１および２記載の方法。
4. 請求項１から３までのいずれか１項記載の分光放射計（１）を校正するための方法であって、前記標準光源（４）は、白色光を放出する発光ダイオード（５）を含んでおり、前記発光ダイオード（５）は、第１の波長領域の放射を放出する半導体素子と、前記第１の波長領域の前記放射の一部を第２の波長領域の放射に変換する少なくとも１種の蛍光体と、を有していることを特徴とする方法。
5. 前記校正には、測定されたスペクトルのスペクトル的な極大値の位置が、前記標準光源（４）の既知のスペクトルのスペクトル的な極大値の位置と実質的に一致するように、前記分光放射計（１）の波長スケールの修正を行うことが含まれる、請求項４記載の方法。
6. 前記校正には、測定されて修正されたスペクトルの波長に依存する強度経過が、前記標準光源（４）の既知のスペクトルの強度経過と実質的に一致するように、スペクトル感度の波長に依存する修正を行うことが含まれる、請求項４または５記載の方法。
7. 前記標準光源（４）は、前記発光ダイオード（５）の動作パラメータを、閉ループ制御する閉ループ制御装置（６）を含んでいる、請求項４から６までのいずれか１項記載の方法。

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