JP6751447B2 - Apparatus for continuous processing of flexible substrates in vacuum, and method therefor - Google Patents

Apparatus for continuous processing of flexible substrates in vacuum, and method therefor Download PDF

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Description

本開示は、基板の連続処理のための装置に関する。具体的には、本発明の実施形態は、フレキシブル基板上に材料を堆積するための装置に関する。より具体的には、本開示の実施形態は、真空条件下でフレキシブル基板上に液体材料を堆積するための装置に関する。例えば、本明細書に記載された実施形態は、具体的には、真空条件下の回転コーティング又は印刷プロセスで使用するドクターブレードチャンバを装備した装置に関する。 The present disclosure relates to an apparatus for continuous processing of substrates. Specifically, embodiments of the present invention relate to an apparatus for depositing material on a flexible substrate. More specifically, embodiments of the present disclosure relate to an apparatus for depositing liquid material on a flexible substrate under vacuum conditions. For example, the embodiments described herein specifically relate to apparatus equipped with a doctor blade chamber for use in spin coating or printing processes under vacuum conditions.

プラスチック膜、箔、又は紙などのフレキシブル基板の処理は、パッケージング業界、半導体業界、及びその他の業界において需要が高い。例えば、処理は、特定の用途のために所望の材料でフレキシブル基板をコーティングすることを含み得る。例えば、フレキシブル基板のコーティングに使用される材料には、ポリマー、染料、金属、半導体、又は誘電材料が含まれ得る。典型的に、このタスクを実行するシステムには、例えば、基板をコーティング又はプリントするために処理領域を通るよう基板を搬送する処理ドラムが含まれる。このような処理システムは、通常、回転式システム又はロールツーロール（Ｒ２Ｒ）システムと呼ばれる。 The processing of flexible substrates such as plastic films, foils, or paper is in high demand in the packaging industry, semiconductor industry, and other industries. For example, processing can include coating the flexible substrate with a desired material for a particular application. For example, the materials used to coat the flexible substrate can include polymers, dyes, metals, semiconductors, or dielectric materials. Systems that perform this task typically include, for example, a processing drum that transports the substrate through a processing area for coating or printing the substrate. Such processing systems are commonly referred to as rotary or roll-to-roll (R2R) systems.

具体的には、液体コーティング又はプリント材料を使用するコーティング又はプリントシステムでは、高品質なコーティング又はプリント結果を得るために、コーティング又はインキングローラの表面に供給される液体材料を正確且つ均一に制御する必要がある。したがって、回転コーティング又はプリント機の分野では、通常、ドクターブレードを装備したコーティング又はインキングユニットが設けられる。ドクターブレードは、コーティング又はインキングローラの外表面に対して押圧され、コーティング又はインキングローラの表面に施された液体コーティング又はインキング材料の層の厚さを制御する。液体材料の粘度やローラの回転速度などの他の要因も液体材料の総厚に影響を与えるが、コーティング又はインキングローラに施される液体材料層の厚さに関しては、ドクターブレードをコーティング又はインキングローラの表面に対して押圧する力がより決定的である。 Specifically, in a coating or printing system using a liquid coating or printing material, the liquid material supplied to the surface of the coating or inking roller is precisely and uniformly controlled in order to obtain high quality coating or printing result. There is a need to. Therefore, in the field of spin coating or printing machines, coating or inking units equipped with doctor blades are usually provided. The doctor blade is pressed against the outer surface of the coating or inking roller to control the thickness of the layer of liquid coating or inking material applied to the surface of the coating or inking roller. Other factors such as the viscosity of the liquid material and the speed of rotation of the roller also affect the total thickness of the liquid material, but with respect to the thickness of the liquid material layer applied to the coating or inking roller, the doctor blade may be coated or inked. The pressing force against the surface of the king roller is more decisive.

しかしながら、特に大きな基板幅を有する基板のコーティング又はプリンティングにおいて、コーティング又はインキングローラとのドクターブレードの一定の接触圧を正確に調節且つ制御することは依然として困難である。 However, it is still difficult to precisely adjust and control the constant contact pressure of the doctor blade with the coating or inking roller, especially in coating or printing substrates with large substrate widths.

上記の観点から、独立請求項に係る、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置、及びドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上へと供給するための方法が提供される。さらなる利点、特徴、態様、及び詳細は、従属請求項、本明細書の記載、及び添付図面から明らかである。 In view of the above, there is provided an apparatus for the continuous processing of flexible substrates in a vacuum and a method for supplying the contact pressure of a doctor blade onto the surface of a processing roller according to the independent claims. Further advantages, features, aspects and details are apparent from the dependent claims, the description herein and the accompanying drawings.

本開示の一態様によれば、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置が提供される。当該装置は、処理ローラ、処理ローラの軸方向に延在するドクターブレードを有するドクターブレードアセンブリ、及びドクターブレードアセンブリを処理ローラの表面に向けて動かすように構成された力伝達アセンブリを含む。力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに力を加えるための圧力ユニット、及びドクターブレードアセンブリに対抗力を加えるための逆圧ユニットを含む。 According to one aspect of the present disclosure, an apparatus is provided for continuous processing of flexible substrates in a vacuum. The apparatus includes a processing roller, a doctor blade assembly having a doctor blade extending axially of the processing roller, and a force transmission assembly configured to move the doctor blade assembly toward a surface of the processing roller. The force transmission assembly includes a pressure unit for exerting a force on the doctor blade assembly and a counter pressure unit for exerting a counter force on the doctor blade assembly.

本開示の別の態様によれば、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置が提供される。当該装置は、処理ローラ、処理ローラの軸方向に延在するドクターブレードを有するドクターブレードアセンブリ、及びドクターブレードを処理ローラの表面上へと動かすように構成された第１の力伝達アセンブリを含む。第１の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに力を加えるための第１の気体圧力ユニット、及びドクターブレードアセンブリに対抗力を加えるための第１の気体逆圧ユニット（ｆｉｒｓｔ ｐｎｅｕｍａｔｉｃ ｃｏｕｎｔｅｒ−ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｕｎｉｔ）を含む。第１の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリの第１の軸端部において配置される。第１の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに接続された第１の荷重伝達要素を含む。第１の荷重伝達要素は、第１の気体圧力ユニットからドクターブレードアセンブリへと力を伝達し、且つ第１の気体逆圧ユニットからドクターブレードアセンブリへと対抗力を伝達するように構成されている。さらに、当該装置は、ドクターブレードを処理ローラの表面上へと動かすように構成された第２の力伝達アセンブリを含む。第２の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに力を加えるための第２の気体圧力ユニット、及びドクターブレードアセンブリに対抗力を加えるための第２の気体逆圧ユニットを含む。第２の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリの第１の軸端部の反対側のドクターブレードアセンブリの第２の軸端部において配置されている。第２の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに接続された第２の荷重伝達要素を含む。第２の荷重伝達要素は、第２の気体圧力ユニットからドクターブレードアセンブリへと力を伝達し、且つ第２の気体逆圧ユニットからドクターブレードアセンブリへと対抗力を伝達するように構成されている。 According to another aspect of the present disclosure, an apparatus is provided for continuous processing of flexible substrates in a vacuum. The apparatus includes a processing roller, a doctor blade assembly having a doctor blade extending axially of the processing roller, and a first force transmission assembly configured to move the doctor blade onto a surface of the processing roller. The first force transmission assembly includes a first gas pressure unit for applying a force to the doctor blade assembly and a first gas counter-pressure unit for applying a counter force to the doctor blade assembly. including. The first force transmission assembly is located at the first axial end of the doctor blade assembly. The first force transfer assembly includes a first load transfer element connected to the doctor blade assembly. The first load transfer element is configured to transfer a force from the first gas pressure unit to the doctor blade assembly and a counter force from the first gas counter pressure unit to the doctor blade assembly. .. Further, the apparatus includes a second force transmission assembly configured to move the doctor blade onto the surface of the processing roller. The second force transfer assembly includes a second gas pressure unit for exerting a force on the doctor blade assembly and a second gas counter pressure unit for exerting a counter force on the doctor blade assembly. The second force transmission assembly is located at the second shaft end of the doctor blade assembly opposite the first shaft end of the doctor blade assembly. The second force transfer assembly includes a second load transfer element connected to the doctor blade assembly. The second load transfer element is configured to transfer a force from the second gas pressure unit to the doctor blade assembly and a counter force from the second gas counter pressure unit to the doctor blade assembly. ..

本開示のさらなる態様によれば、ドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上へと供給するための方法が提供される。当該方法は、圧力ユニットを使用することによって、ドクターブレードを備えたドクターブレードアセンブリに力をに加えることと、逆圧ユニットによって、ドクターブレードアセンブリに対抗力を加えることにより、接触圧を制御することとを含む。 According to a further aspect of the present disclosure, a method is provided for providing contact pressure of a doctor blade onto a surface of a processing roller. The method involves controlling the contact pressure by applying a force to a doctor blade assembly with a doctor blade by using a pressure unit and by applying a counter force to the doctor blade assembly by a counter pressure unit. Including and

本開示は、方法を実施するための装置部分を含む開示の方法を実施するための装置も対象とする。本方法は、ハードウェア構成要素、適切なソフトウェアによってプログラミングされたコンピュータ、これらの２つの任意の組合せ、又は任意の他の方法で実施され得る。さらに、本開示は、記載された装置を操作する方法も対象とする。これは、装置のあらゆる機能を実施するための方法を含む。 The present disclosure is also directed to apparatus for performing the disclosed methods, including apparatus portions for performing the methods. The method may be implemented in hardware components, a computer programmed with suitable software, any combination of the two, or any other method. Further, the present disclosure is also directed to methods of operating the described devices. This includes methods for implementing every function of the device.

本開示の上述の特徴を細部まで理解し得るように、実施形態を参照することによって、上記に簡単に要約された本開示のより詳細な説明を得ることができる。添付図面は、本開示の実施形態に関するものであり、下記で説明される。
本明細書に記載された実施形態に係る、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置の概略斜視図を示す。 図１に示す装置のドクターブレードアセンブリの一部の概略斜視図を示す。 本明細書に記載された実施形態に係る装置の概略正面図を示す。 本明細書に記載された実施形態に係る、装置の両側の部分の概略上面図を示す。 図４Ａ及び図４Ｂに示す装置の部分のそれぞれのより詳細な図を示す。 本明細書に記載された実施形態に係る、ドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上へと供給するための方法の実施形態を示すブロック図を示す。 For a thorough understanding of the above features of the present disclosure, a reference can be made to the embodiments to obtain a more detailed description of the present disclosure briefly summarized above. The accompanying drawings relate to embodiments of the present disclosure and are described below.
FIG. 6 shows a schematic perspective view of an apparatus for continuous processing of flexible substrates in vacuum according to embodiments described herein. 2 shows a schematic perspective view of a part of the doctor blade assembly of the device shown in FIG. FIG. 6 shows a schematic front view of a device according to embodiments described herein. FIG. 6 shows a schematic top view of portions on either side of the device, according to embodiments described herein. 4A and 4B show more detailed views of each of the parts of the device shown in FIGS. 4A and 4B. FIG. 6 shows a block diagram illustrating an embodiment of a method for delivering contact pressure of a doctor blade onto a surface of a processing roller according to embodiments described herein.

本開示の様々な実施形態をこれより詳細に参照していく。これらの実施形態の１つ又は複数の実施例が図面で示されている。図面についての以下の説明の中で、同じ参照番号は、同じ構成要素を表している。下記において、個々の実施形態に関する違いのみが説明される。各実施例は、本開示の説明のために提供されているが、本開示を限定することが意図されているわけではない。さらに、１つの実施形態の一部として図示且つ説明されている特徴は、さらに別の実施形態をもたらすために、他の実施形態において用いてもよく、又は、他の実施形態と共に用いてもよい。本記載がこのような修正例及び変形例を含むことが意図されている。 Reference will now be made in detail to various embodiments of the present disclosure. One or more examples of these embodiments are illustrated in the drawings. In the following description of the drawings, the same reference numbers represent the same components. In the following, only the differences regarding the individual embodiments will be explained. Each example is provided by way of explanation of the present disclosure, and is not intended as a limitation of the present disclosure. Furthermore, features illustrated and described as part of one embodiment may be used on or with other embodiments to yield a still further embodiment. .. This description is intended to cover such modifications and variations.

図１は、本明細書に記載された実施形態に係る、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置１００の概略斜視図を示す。具体的には、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、当該装置は、処理ローラ１１０、及び処理ローラ１１０の軸方向に延在するドクターブレード１２１を有するドクターブレードアセンブリ１２０を含む。さらに、当該装置は、ドクターブレードアセンブリ１２０を処理ローラ１１０の表面１１１に向けて動かすように構成された力伝達アセンブリ１３０を含む。具体的には、力伝達アセンブリ１３０は、ドクターブレードアセンブリに力を加えるための圧力ユニット、及びドクターブレードアセンブリに対抗力を加えるための逆圧ユニットを含む。図１に示す力伝達アセンブリ１３０は、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂでより詳細に示されている。 FIG. 1 shows a schematic perspective view of an apparatus 100 for continuous processing of flexible substrates in a vacuum, according to embodiments described herein. Specifically, according to an embodiment that can be combined with any of the other embodiments described herein, the apparatus comprises a processing roller 110 and a doctor blade 121 extending axially of the processing roller 110. A doctor blade assembly 120 having a. Additionally, the apparatus includes a force transmission assembly 130 configured to move the doctor blade assembly 120 toward the surface 111 of the processing roller 110. Specifically, the force transmission assembly 130 includes a pressure unit for exerting a force on the doctor blade assembly and a counter pressure unit for exerting a counter force on the doctor blade assembly. The force transmission assembly 130 shown in FIG. 1 is shown in more detail in FIGS. 4A, 4B, 5A, and 5B.

したがって、本明細書に記載された力伝達アセンブリを有する、フレキシブル基板の連続処理のための装置を提供することにより、有益には、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を非常に正確に制御且つ調節することができる。具体的には、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を制御且つ／又は調節する逆圧ユニットを利用することにより、周囲圧力から実質的に独立するように接触圧を制御することができる装置が提供され得る。したがって、有益には、周囲圧力の変化が生じたときに、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を一定になるよう制御することができる装置が提供され得る。 Therefore, by providing an apparatus for continuous processing of flexible substrates having a force transmission assembly as described herein, beneficially, the contact pressure of the doctor blade with the surface of the processing roller is very accurately determined. It can be controlled and adjusted. Specifically, the contact pressure can be controlled to be substantially independent of ambient pressure by utilizing a counter pressure unit that controls and/or adjusts the contact pressure of the doctor blade with the surface of the processing roller. A device may be provided. Thus, beneficially, a device may be provided that can control the contact pressure of the doctor blade with the surface of the processing roller to remain constant when changes in ambient pressure occur.

例えば、周囲圧力の変化は、第１の周囲圧力（例えば、装置が設定された周囲圧力）から第２の周囲圧力（例えば、処理中に装置が操作される周囲圧力）への変化であり得る。具体的には、第１の周囲圧力は、大気圧であってもよく、第２の周囲圧力は、真空圧力であってもよい。したがって、本明細書に記載された実施形態は、フレキシブル基板が処理される処理チャンバを排気する間、対応する処理ローラとのドクターブレードの一定の接触圧の維持をもたらすことを理解するべきである。 For example, the change in ambient pressure can be a change from a first ambient pressure (eg, the ambient pressure at which the device is set) to a second ambient pressure (eg, the ambient pressure at which the device is operated during processing). .. Specifically, the first ambient pressure may be atmospheric pressure and the second ambient pressure may be vacuum pressure. Therefore, it should be understood that the embodiments described herein provide for maintaining a constant contact pressure of the doctor blade with the corresponding processing roller during evacuation of the processing chamber in which the flexible substrate is processed. ..

したがって、図面では明示的に示されていないが、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、装置は、真空処理チャンバを含む。具体的には、本明細書に記載された処理ローラ、ドクターブレードアセンブリ、及び力伝達アセンブリは、装置の真空処理チャンバ内に配置され得る。 Therefore, according to an embodiment, which is not explicitly shown in the drawings, but which can be combined with any of the other embodiments described herein, the apparatus comprises a vacuum processing chamber. Specifically, the processing roller, doctor blade assembly, and force transfer assembly described herein may be located within the vacuum processing chamber of the apparatus.

本開示では、「フレキシブル基板」は、基板が屈曲可能であるという点において特徴付けられ得る。例えば、フレキシブル基板は、箔であってよい。具体的には、本明細書に記載された装置の実施形態は、例えば、フレキシブル基板上でコーティング又は電子デバイスを製造するために、任意の種類のフレキシブル基板を処理するために利用することができることを理解するべきである。例えば、本明細書に記載された基板には、ＰＥＴ、ＨＣ−ＰＥＴ、ＰＥ、ＰＩ、ＰＵ、ＴａＣのような材料、１つ又は複数の金属、紙、これらの組み合わせ、及びハードコートＰＥＴ（例えば、ＨＣ−ＰＥＴ、ＨＣ−ＴＡＣ）など既にコーティングされた基板が含まれ得る。 In the present disclosure, a "flexible substrate" may be characterized in that the substrate is bendable. For example, the flexible substrate may be a foil. Specifically, the apparatus embodiments described herein can be utilized to process any type of flexible substrate, for example, to manufacture coatings or electronic devices on flexible substrates. Should be understood. For example, the substrates described herein include materials such as PET, HC-PET, PE, PI, PU, TaC, one or more metals, paper, combinations thereof, and hard coated PET (eg, PET). , HC-PET, HC-TAC), etc. may be included.

図１を例示的に参照すると、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、処理ローラ１１０は、アニロックスローラ又はスクリーンローラであってもよい。さらに、装置は、１つ又は複数のさらなる処理ローラ、例えば、図１で例示するように移送ローラ１１５を含み得る。具体的には、処理ローラ１１０は、装置のさらなる処理ローラに対して平行に、例えば、移送ローラ１１５に対して平行に配置され得る。処理ローラ１１０及び移送ローラ１１５を回転させることにより、フレキシブル基板が、処理（例えば、フレキシブル基板のコーティング又はプリンティング）の間に、処理ローラ１１０と移送ローラ１１５との間で搬送され得る。したがって、処理ローラ１１０及び移送ローラ１１５が、それらの長手方向軸の周りで回転可能であるように、処理ローラ１１０及び移送ローラ１１５は装置１００のフレーム構造体１６０に接続され得る。 With exemplary reference to FIG. 1, according to embodiments that may be combined with any of the other embodiments described herein, the processing roller 110 may be an anilox roller or a screen roller. Further, the apparatus may include one or more additional processing rollers, for example, transfer rollers 115 as illustrated in FIG. In particular, the processing roller 110 may be arranged parallel to further processing rollers of the device, for example parallel to the transfer roller 115. By rotating the processing roller 110 and the transfer roller 115, the flexible substrate may be transported between the processing roller 110 and the transfer roller 115 during processing (eg, coating or printing of the flexible substrate). Accordingly, the processing roller 110 and the transfer roller 115 may be connected to the frame structure 160 of the apparatus 100 such that the processing roller 110 and the transfer roller 115 are rotatable about their longitudinal axes.

本開示では、用語「処理ローラ」は、本明細書に記載されたようなフレキシブル基板の処理の間に使用されるローラであると理解するべきである。具体的には、フレキシブル基板の処理は、液体堆積材料又は液体インキング材料を使用した、フレキシブル基板のコーティング又はプリンティングを含み得る。具体的には、本明細書に記載された「処理ローラ」は、セルとも呼ばれる微細なくぼみを含む外表面を有する円筒（例えば、金属、セラミック、又はプラスチックの円筒）であってもよい。より具体的には、本明細書に記載された実施形態に係る「処理ローラ」は、アニロックスローラ又はスクリーンローラであってもよい。 In this disclosure, the term "processing roller" should be understood as a roller used during processing of flexible substrates as described herein. Specifically, the processing of the flexible substrate may include coating or printing the flexible substrate with a liquid deposition material or a liquid inking material. Specifically, the "processing roller" described herein may be a cylinder (e.g., a metal, ceramic, or plastic cylinder) having an outer surface that includes fine depressions, also called cells. More specifically, the “processing roller” according to the embodiments described herein may be an anilox roller or a screen roller.

図１で例示されるように、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、ドクターブレードアセンブリ１２０は、処理ローラ１１０及び／又は移送ローラ１１５に対して平行方向に延在する細長い構造を有するよう構成され得る。本開示では、用語「ドクターブレードアセンブリ」は、少なくとも１つの細長いドクターブレードを含むアセンブリであると理解するべきである。具体的には、本明細書に記載された「ドクターブレードアセンブリ」は、ドクターブレードチャンバを含み得る。 According to an embodiment, which may be combined with any of the other embodiments described herein, as illustrated in FIG. 1, the doctor blade assembly 120 is relative to the processing roller 110 and/or the transfer roller 115. It may be configured to have elongated structures extending in parallel directions. In this disclosure, the term "doctor blade assembly" should be understood to be an assembly that includes at least one elongated doctor blade. Specifically, the "doctor blade assembly" described herein may include a doctor blade chamber.

図１及び図２を例示として参照すると、本明細書に記載の任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、ドクターブレードアセンブリ１２０は、ドクターブレードチャンバ１２５を含み得る。具体的には、ドクターブレードチャンバ１２５は、処理ローラ１１０の軸方向に延在する第１のドクターブレード１２１Ａ、及び処理ローラ１１０の軸方向に延在する第２のドクターブレード１２１Ｂを含み得る。例えば、本明細書に記載されたドクターブレードチャンバ１２５は、堆積される液体材料を受け入れるリザーバ１２６を含み得る。具体的には、リザーバ１２６は、２つの離間されたドクターブレード、例えば、第１のドクターブレード１２１Ａ及び第２のドクターブレード１２１Ｂによって画定され得、その両方とも対応する処理ローラの軸方向に延在する。さらに、ドクターブレードの両端に端部プレート（図示せず）が設けられてもよく、それにより、２つの離間されたドクターブレードと協働して、液体材料が堆積されるリザーバが画定される。 With reference to FIGS. 1 and 2 by way of example, according to embodiments that may be combined with any of the other embodiments described herein, the doctor blade assembly 120 may include a doctor blade chamber 125. Specifically, the doctor blade chamber 125 may include a first doctor blade 121A extending in the axial direction of the processing roller 110 and a second doctor blade 121B extending in the axial direction of the processing roller 110. For example, the doctor blade chamber 125 described herein may include a reservoir 126 that receives the liquid material to be deposited. Specifically, the reservoir 126 may be defined by two spaced apart doctor blades, eg, a first doctor blade 121A and a second doctor blade 121B, both of which extend axially of a corresponding processing roller. To do. In addition, end plates (not shown) may be provided at both ends of the doctor blade, which cooperates with the two spaced apart doctor blades to define a reservoir in which the liquid material is deposited.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、装置は、液体コーティング材料又は液体インキング材料をドクターブレードチャンバ内のリザーバに供給するための供給デバイスを含み得る。したがって、処理ローラの表面が、２つのドクターブレード及び端部プレートによって画定されたリザーバを通り過ぎる間、液体コーティング材料又は液体インキング材料は、リザーバから、処理ローラの表面（例えば、アニロックスローラの表面）に施され得ることを理解するべきである。 According to an embodiment, which may be combined with any of the other embodiments described herein, the apparatus comprises a supply device for supplying a liquid coating material or a liquid inking material to a reservoir in the doctor blade chamber. obtain. Thus, the liquid coating material or liquid inking material is transferred from the reservoir to the surface of the processing roller (eg, the surface of the anilox roller) while the surface of the processing roller passes through the reservoir defined by the two doctor blades and the end plate. It should be understood that it can be applied to.

本明細書に記載された実施形態に鑑みて、当業者であれば、本開示の装置が、高品質なコーティング又はプリンティング結果を得ることを提供することを理解されよう。具体的には、周囲圧力から独立した、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を伝達するように構成された力伝達アセンブリを設けることにより、コーティング又はインキング処理にわたって、処理ローラ上の液体コーティング材料又は液体インキング材料の一定の総厚をもたらすことができる。さらに、力伝達アセンブリの実施形態は、処理チャンバの排気及び初期設定の間、処理ローラの対応する表面とのドクターブレードの接触圧を維持することができるように構成される。したがって、本明細書に記載された実施形態は、処理ローラの表面の軸長に沿って供給された液体コーティング材料又は液体インキング材料の層厚の正確且つ均一な制御をもたらす。 In view of the embodiments described herein, one of ordinary skill in the art will appreciate that the devices of the present disclosure provide for high quality coating or printing results. Specifically, by providing a force transfer assembly configured to transfer the contact pressure of the doctor blade with the surface of the processing roller, which is independent of ambient pressure, the liquid on the processing roller over the coating or inking process. A constant total thickness of coating material or liquid inking material can be provided. Further, embodiments of the force transfer assembly are configured to maintain contact pressure of the doctor blade with corresponding surfaces of the processing roller during evacuation and initialization of the processing chamber. Thus, the embodiments described herein provide accurate and uniform control of the layer thickness of liquid coating or liquid inking material applied along the axial length of the surface of the processing roller.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、ドクターブレードアセンブリ１２０は、図２で例示されているように、ドクターブレードチャンバ１２５に取り付けられた保持アレンジメント１４０を含み得る。図２は、図１に示す装置の一部のより詳細な概略斜視図を示す。具体的には、ドクターブレードアセンブリ１２０は、ドクターブレードアセンブリ１２０を保持するように構成された保持アレンジメント１４０に接続され得る。保持アレンジメント１４０は、処理ローラ１１０の軸方向に延在する支持要素１４１、例えば、梁要素を含み得る。支持要素１４１は、接続要素を介して、装置１００のフレーム構造体１６０に接続され得る。例えば、接続要素は、ドクターブレードアセンブリの回転運動をもたらすように構成され得る。具体的には、ドクターブレードアセンブリの回転運動は、処理ローラ１１０の軸に対して平行な軸の周りの回転を含み得る。したがって、有益には、ドクターブレードアセンブリ１２０を処理ローラ１１０の表面１１１に向けて且つそこから離れるよう動かすために、ドクターブレードアセンブリは枢動自在であるよう構成され得る。例えば、ドクターブレード又はドクターブレードアセンブリのその他の部品を交換しなければならないとき、このような構成がメンテナンスのために特に有益であり得る。 According to an embodiment that may be combined with any of the other embodiments described herein, the doctor blade assembly 120 has a retention arrangement 140 attached to the doctor blade chamber 125, as illustrated in FIG. Can be included. 2 shows a more detailed schematic perspective view of a portion of the apparatus shown in FIG. Specifically, the doctor blade assembly 120 may be connected to a retaining arrangement 140 configured to retain the doctor blade assembly 120. The holding arrangement 140 may include a support element 141 extending in the axial direction of the processing roller 110, for example a beam element. The support element 141 may be connected to the frame structure 160 of the device 100 via a connecting element. For example, the connecting element may be configured to provide rotational movement of the doctor blade assembly. Specifically, the rotational movement of the doctor blade assembly may include rotation about an axis parallel to the axis of the processing roller 110. Thus, beneficially, the doctor blade assembly 120 may be configured to be pivotable in order to move the doctor blade assembly 120 toward and away from the surface 111 of the processing roller 110. Such an arrangement may be particularly beneficial for maintenance when, for example, the doctor blade or other parts of the doctor blade assembly must be replaced.

図３では、本明細書に記載された実施形態に係る装置の概略正面図が示される。図３で示すように、ドクターブレードアセンブリ１２０は、処理ローラ１１０の回転軸１１２に対して平行に延在する細長い構成を有し得る。具体的には、ドクターブレードアセンブリは、処理ローラ１１０の長さの少なくとも５０％以上の長さを有し得る。より具体的には、ドクターブレードアセンブリは、処理ローラ１１０の長さの少なくとも７５％以上の長さを有し得る。 In FIG. 3, a schematic front view of an apparatus according to embodiments described herein is shown. As shown in FIG. 3, the doctor blade assembly 120 may have an elongated configuration that extends parallel to the axis of rotation 112 of the processing roller 110. Specifically, the doctor blade assembly may have a length that is at least 50% or more of the length of the processing roller 110. More specifically, the doctor blade assembly may have a length that is at least 75% or more of the length of the processing roller 110.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、図３に例示するように、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂが設けられ得る。具体的には、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂは、ドクターブレードアセンブリ１２０の両側に配置され得る。例えば、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａは、ドクターブレードアセンブリ１２０の第１の軸端部１２０Ａにおいて配置され得、第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂは、ドクターブレードアセンブリ１２０の第１の軸端部１２０Ａの反対側の第２の軸端部１２０Ｂにおいて配置され得る。したがって、本明細書に記載されたように、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂを設けることは、特に、処理ローラの表面の軸長に沿って供給された液体コーティング材料又は液体インキング材料の層厚を正確且つ均一に制御することにおいて特に有益であり得る。具体的には、本明細書に記載されたように、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂを設けることは、処理ローラの表面との、ドクターブレードチャンバの第１のドクターブレード及び第２のドクターブレードの接触圧を正確に制御且つ調節するのに有益である。 According to embodiments that may be combined with any of the other embodiments described herein, a first force transfer assembly 130A and a second force transfer assembly 130B may be provided, as illustrated in FIG. .. Specifically, the first force transmission assembly 130A and the second force transmission assembly 130B may be disposed on both sides of the doctor blade assembly 120. For example, the first force transfer assembly 130A may be located at the first axial end 120A of the doctor blade assembly 120 and the second force transfer assembly 130B may be disposed at the first axial end 120A of the doctor blade assembly 120. It may be located at the opposite second shaft end 120B. Accordingly, providing the first force transmission assembly 130A and the second force transmission assembly 130B, as described herein, is particularly useful for providing liquid coating material along the axial length of the surface of the processing roller. Or it may be particularly beneficial in controlling the layer thickness of the liquid inking material accurately and uniformly. Specifically, as described herein, providing the first force transmitting assembly 130A and the second force transmitting assembly 130B is the surface of the treatment roller, the first doctor blade chamber It is useful for precisely controlling and adjusting the contact pressure of the doctor blade and the second doctor blade.

したがって、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂは、ドクターブレードアセンブリ１２０を処理ローラ１１０の表面１１１上へと動かすように構成されることを理解するべきである。さらに、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂを参照してより詳細に説明されるように、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂは、処理ローラの対応する表面とのドクターブレードの接触圧を制御且つ調節するように構成され得る。 Therefore, it should be understood that the first force transmission assembly 130A and the second force transmission assembly 130B are configured to move the doctor blade assembly 120 onto the surface 111 of the processing roller 110. Further, as will be described in more detail with reference to FIGS. 4A, 4B, 5A, and 5B, the first force transmission assembly 130A and the second force transmission assembly 130B have corresponding surfaces of the processing rollers. Can be configured to control and adjust the contact pressure of the doctor blade with the.

図４Ａ及び図４Ｂは、本明細書に記載された実施形態に係る、ドクターブレードアセンブリ及び力伝達アセンブリを有する装置の両側の部分の概略上面図を示す。図５Ａ及び図５Ｂでは、図４Ａ及び図４Ｂに示す装置の部分のそれぞれのより詳細な図が示される。 4A and 4B show schematic top views of portions on either side of an apparatus having a doctor blade assembly and a force transmission assembly, according to embodiments described herein. 5A and 5B, a more detailed view of each of the parts of the apparatus shown in FIGS. 4A and 4B is shown.

本開示では、用語「力伝達アセンブリ」は、本明細書に記載されたように、ドクターブレードアセンブリに加えられた力を処理ローラの外表面上へと伝達するように構成されたアセンブリであると理解するべきである。具体的には、本明細書に記載された「力伝達アセンブリ」は、ドクターブレードアセンブリのドクターブレードと対応する処理ローラの表面との間の接触力を供給するように構成され得る。より具体的には、本明細書に記載された実施形態に係る「力伝達アセンブリ」は、アニロックスローラ又はスクリーンローラの表面との、ドクターブレードチャンバの接触圧を供給且つ調節するように構成され得る。 In the present disclosure, the term "force transfer assembly" is an assembly configured to transfer the force applied to the doctor blade assembly onto the outer surface of the processing roller as described herein. You should understand. Specifically, the "force transfer assembly" described herein may be configured to provide a contact force between the doctor blade of the doctor blade assembly and the corresponding surface of the processing roller. More specifically, the "force transmission assembly" according to embodiments described herein may be configured to provide and regulate the contact pressure of the doctor blade chamber with the surface of the anilox roller or screen roller. ..

図５Ａを例示として参照すると、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、力伝達アセンブリ１３０は、ドクターブレードアセンブリ１２０に力Ｆ１を加えるための圧力ユニット１３１、及びドクターブレードアセンブリ１２０に対抗力Ｆ２を加えるための逆圧ユニット１３２を含む。具体的には、圧力ユニット１３１及び逆圧ユニット１３２は、気体圧ユニット、例えば、図５Ａ及び図５Ｂに示す第１の気体圧力ユニット１３１Ａ、第２の気体圧力ユニット１３１Ｂ、第１の気体逆圧ユニット１３２Ａ、及び第２の気体逆圧ユニット１３２Ｂであるように構成され得る。さらに、力伝達アセンブリ１３０は、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂで例示されているように、荷重伝達要素１３３を含み得る。本明細書に記載された実施形態に係る力伝達アセンブリの特徴は、本明細書に記載された第１の力伝達アセンブリ１３０Ａを示す図５Ａを参照して説明されるが、第１の力伝達アセンブリの特徴の説明は、図３、図４Ｂ、及び図５Ｂで例示されている第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂの特徴にも適用され得る。 Referring to FIG. 5A by way of example, according to an embodiment that may be combined with any of the other embodiments described herein, the force transmission assembly 130 applies pressure to the doctor blade assembly 120 to apply a force F 1. It includes a unit 131 and a counter pressure unit 132 for applying a counter force F 2 to the doctor blade assembly 120. Specifically, the pressure unit 131 and the back pressure unit 132 are gas pressure units , for example, the first gas pressure unit 131A, the second gas pressure unit 131B, and the first gas back pressure unit shown in FIGS. 5A and 5B. Unit 132A and second backpressure unit 132B may be configured. Further, the force transfer assembly 130 may include a load transfer element 133, as illustrated in FIGS. 4A, 4B, 5A, and 5B. Features of the force transmission assembly according to the embodiments described herein will be described with reference to FIG. 5A showing the first force transmission assembly 130A described herein, but with the first force transmission. The description of the assembly features may also apply to the features of the second force transfer assembly 130B illustrated in FIGS. 3, 4B, and 5B.

本開示では、「荷重伝達要素」は、本明細書に記載された圧力ユニットによって生成された荷重又は力を本明細書に記載されたドクターブレードアセンブリに伝達するように構成された要素として理解するべきである。さらに、「荷重伝達要素」は、逆圧ユニットによって生成された反荷重（ｃｏｕｎｔｅｒ−ｌｏａｄ）又は対抗力を本明細書に記載されたドクターブレードアセンブリに伝達するように構成され得る。 In this disclosure, “load transfer element” is understood as an element configured to transfer the load or force generated by the pressure unit described herein to the doctor blade assembly described herein. Should be. Further, the "load transfer element" may be configured to transfer the counter-load or counter force generated by the counter pressure unit to the doctor blade assembly described herein.

したがって、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、荷重伝達要素１３３は、圧力ユニット１３１からドクターブレードアセンブリ１２０へと力を伝達するように構成されている。さらに、荷重伝達要素１３３は、逆圧ユニット１３２からドクターブレードアセンブリ１２０へと対抗力を伝達するように構成され得る。例えば、図５Ａ及び図５Ｂで例示されているように、荷重伝達要素１３３は、圧力ユニット１３１から力Ｆ１を荷重伝達要素１３３の第１の表面１３４で受けるように構成され得、逆圧ユニット１３２から対抗力Ｆ２を荷重伝達要素１３３の第２の表面１３５で受けるように構成され得る。具体的には、荷重伝達要素１３３の第２の表面１３５は、荷重伝達要素１３３の第１の表面１３４の対向側に位置し得る。 Thus, according to embodiments that may be combined with any of the other embodiments described herein, the load transfer element 133 is configured to transfer force from the pressure unit 131 to the doctor blade assembly 120. There is. Further, the load transfer element 133 may be configured to transfer a counter force from the counter pressure unit 132 to the doctor blade assembly 120. For example, as illustrated in FIGS. 5A and 5B, the load transfer element 133 may be configured to receive the force F 1 from the pressure unit 131 on the first surface 134 of the load transfer element 133, and the counter pressure unit. The counter force F 2 from 132 may be configured to be received at the second surface 135 of the load transfer element 133. Specifically, the second surface 135 of the load transfer element 133 may be located on the opposite side of the first surface 134 of the load transfer element 133.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、荷重伝達要素１３３は、例えば、図５Ａで示すようにＳ形状であってもよく、又は図５Ｂで示すようにＺ形状であってもよい。図面に示されていない荷重伝達要素の代替的実装形態によれば、荷重伝達要素は、処理ローラの軸方向に延在するプレートであってもよい。 According to some embodiments, which may be combined with any of the other embodiments described herein, the load transfer element 133 may be S-shaped, for example as shown in FIG. 5A, or It may be Z-shaped as shown in FIG. 5B. According to an alternative implementation of the load transfer element not shown in the drawings, the load transfer element may be a plate extending axially of the processing roller.

本開示では、用語「圧力ユニット」は、力又は運動を生成するために流体の圧力が利用されるユニットと理解するべきである。例えば、本明細書に記載された「圧力ユニット」は、力又は運動を生成するために圧縮可能な流体、具体的には、ガス（例えば、空気）が使用される気体圧ユニットであってもよい。処理チャンバの排気の間、気体圧ユニットは圧力変化に自動的に反応するので、気体圧ユニットの使用は特に真空処理において有益であり得る。代替的に、本明細書に記載された「圧力ユニット」は、力又は運動を生成するために圧縮不可能な流体、具体的には、液体（例えば、油又は水）が使用される液圧ユニットであってもよい。 In the present disclosure, the term "pressure unit" should be understood as a unit in which the pressure of a fluid is used to generate a force or movement. For example, a "pressure unit" as described herein may be a gas pressure unit in which a compressible fluid, specifically a gas (eg, air), is used to generate a force or motion. Good. The use of a gas pressure unit can be particularly beneficial in vacuum processing because the gas pressure unit automatically responds to pressure changes during evacuation of the processing chamber. Alternatively, a "pressure unit" as described herein is a hydraulic pressure at which an incompressible fluid, specifically a liquid (eg oil or water), is used to generate force or motion. It may be a unit.

したがって、本開示では、用語「逆圧ユニット」は、本明細書に記載された「圧力ユニット」によって生成された力又は運動に対する対抗力又は対抗運動を生成するために流体の圧力が利用されるユニットと理解するべきである。具体的には、「逆圧ユニット」は、本明細書に記載された圧力ユニットと類似する気体圧ユニット又は液圧ユニットであってもよい。 Thus, in the present disclosure, the term "backpressure unit" utilizes the pressure of a fluid to create a counterforce or counteraction to the force or movement produced by the "pressure unit" described herein. Should be understood as a unit. Specifically, the "back pressure unit" may be a gas pressure unit or a hydraulic unit similar to the pressure units described herein.

図５Ａを例示的に参照すると、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、当該装置は、圧力ユニット１３１によって生成された第１の圧力を制御するように構成された第１の圧力弁１５１を含み得る。さらに、逆圧ユニット１３２によって生成された第２の圧力を制御するように構成された第２の圧力弁１５２が設けられ得る。例えば、第１の圧力弁１５１及び／又は第２の圧力弁１５２は、第１の圧力及び／又は第２の圧力を制御するために構成され得るコントローラ１５０に接続され得る。したがって、有益には、高品質なコーティング又はプリンティング結果を達成できるように、本明細書に記載された装置の操作の間、処理ローラとドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの間の接触圧を正確に制御し、且つ適合させることができる。 With exemplary reference to FIG. 5A, according to an embodiment that can be combined with any of the other embodiments described herein, the device controls the first pressure generated by the pressure unit 131. A first pressure valve 151 configured to operate. Further, a second pressure valve 152 configured to control the second pressure produced by the back pressure unit 132 may be provided. For example, the first pressure valve 151 and/or the second pressure valve 152 may be connected to a controller 150 that may be configured to control the first pressure and/or the second pressure. Thus, beneficially, the contact pressure between the processing roller and the doctor blade of the doctor blade assembly is accurately controlled during operation of the apparatus described herein so that high quality coating or printing results can be achieved. It can be controlled and adapted.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、圧力ユニット１３１によって供給される第１の圧力は、下限値が２ｂａｒ、具体的には、下限値が３ｂａｒ、より具体的には、下限値が４ｂａｒであり、上限値が４ｂａｒ、具体的には、上限値が６ｂａｒ、より具体的には、上限値が８ｂａｒである範囲から選択され得る。 According to an embodiment, which may be combined with any of the other embodiments described herein, the first pressure supplied by the pressure unit 131 has a lower limit of 2 bar, in particular a lower limit. It may be selected from a range of 3 bar, more specifically a lower limit value of 4 bar and an upper limit value of 4 bar, specifically an upper limit value of 6 bar, more specifically an upper limit value of 8 bar.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、逆圧ユニット１３２によって供給される第２の圧力は、下限値が０ｂａｒ、具体的には、下限値が１ｂａｒ、より具体的には、下限値が２ｂａｒであり、上限値が２ｂａｒ、具体的には、上限値が４ｂａｒ、より具体的には、上限値が６ｂａｒである範囲から選択され得る。 According to an embodiment, which can be combined with any of the other embodiments described herein, the second pressure supplied by the backpressure unit 132 has a lower limit of 0 bar, in particular a lower limit. Is 1 bar, more specifically, the lower limit is 2 bar, the upper limit is 2 bar, specifically the upper limit is 4 bar, and more specifically, the upper limit can be selected from the range of 6 bar.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、装置のコントローラ１５０は、圧力ユニット１３１と逆圧ユニット１３２との間の圧力差を制御するように構成され得る。具体的には、コントローラ１５０は、一定であるよう圧力差を制御するように構成され得る。例えば、圧力差は、下限値が１ｂａｒ、具体的には、下限値が１．５ｂａｒであり、上限値が３ｂａｒ、具体的には、４ｂａｒである範囲から選択され得る。例えば、圧力ユニット１３１と逆圧ユニット１３２との間の圧力差は、２ｂａｒ±０．５ｂａｒ、具体的には、２ｂａｒ±０．１ｂａｒ、より具体的には、２ｂａｒ±０．０５ｂａｒであってもよい。 According to an embodiment that may be combined with any of the other embodiments described herein, the controller 150 of the device is configured to control the pressure differential between the pressure unit 131 and the back pressure unit 132. obtain. Specifically, the controller 150 may be configured to control the pressure differential to remain constant. For example, the pressure difference may be selected from a range having a lower limit of 1 bar, specifically a lower limit of 1.5 bar, and an upper limit of 3 bar, specifically 4 bar. For example, the pressure difference between the pressure unit 131 and the back pressure unit 132 may be 2 bar±0.5 bar, specifically 2 bar±0.1 bar, more specifically 2 bar±0.05 bar. Good.

したがって、有益には、特に、周囲圧力が大気圧から真空圧に変わる排気の間、処理ローラとドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの間の接触圧が、処理チャンバ内の周囲圧力の任意の変化に実質的に影響を受けないように、コーティング又はプリンティング処理全体にわたって、接触圧を一定であるよう制御することができる。したがって、大気圧条件下で有益に且つ初期的に設定された接触圧は、真空条件下での装置の操作の間の実際の接触圧に対応する。さらに、有益には、圧力ユニットによって供給される第１の圧力を増加させ、且つ逆圧ユニットによって供給される第２の圧力を増加させることにより、処理ローラとドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの間の接触圧の全体的安定性を向上させることができる。例えば、圧力ユニットによって８ｂａｒの第１の圧力、及び逆圧ユニットによって６ｂａｒの第２の圧力で確立された２ｂａｒの接触圧は、圧力ユニットで４ｂａｒの第１の圧力、及び逆圧ユニットによって２ｂａｒの第２の圧力で確立された２ｂａｒの接触圧の状況より安定し得る。 Therefore, beneficially, the contact pressure between the processing roller and the doctor blade of the doctor blade assembly, especially during evacuation where the ambient pressure changes from atmospheric pressure to vacuum pressure, can cause any change in ambient pressure in the processing chamber. The contact pressure can be controlled to be constant throughout the coating or printing process so that it is substantially unaffected. Therefore, the beneficially and initially set contact pressure under atmospheric pressure conditions corresponds to the actual contact pressure during operation of the device under vacuum conditions. Moreover, beneficially, by increasing the first pressure supplied by the pressure unit and increasing the second pressure supplied by the counter-pressure unit, the space between the processing roller and the doctor blade of the doctor blade assembly is increased. The overall stability of the contact pressure can be improved. For example, a contact pressure of 2 bar established by a pressure unit with a first pressure of 8 bar and a back pressure unit with a second pressure of 6 bar is a first pressure of 4 bar with a pressure unit and a pressure of 2 bar with a back pressure unit. It may be more stable than the 2 bar contact pressure situation established at the second pressure.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、装置は、圧力ユニット１３１によって供給される第１の圧力及び／又は逆圧ユニット１３２によって供給される第２の圧力をモニタリングするモニタリングデバイスをさらに含み得る。例えば、モニタリングデバイスは、圧力センサであってよい。具体的には、圧力ユニット１３１によって供給される第１の圧力を測定するよう設定且つ配置された第１の圧力センサが設けられ得、且つ／又は、逆圧ユニット１３２によって供給される第２の圧力を測定するよう設定且つ配置された第２の圧力センサが設けられ得る。第１の圧力センサ及び／又は第２の圧力センサは、本明細書に記載されたコントローラに接続され得る。したがって、有益には、例えば、測定圧力が、本明細書で特定されたように予め選択された第１の圧力及び／又は第２の圧力から逸れる場合、コントローラは、第１の圧力及び／又は第２の圧力を調節するように構成され得る。 According to an embodiment, which can be combined with any of the other embodiments described herein, the device comprises a first pressure supplied by the pressure unit 131 and/or a second pressure supplied by the counterpressure unit 132. May further include a monitoring device for monitoring the pressure of the. For example, the monitoring device may be a pressure sensor. In particular, a first pressure sensor set and arranged to measure a first pressure supplied by the pressure unit 131 may be provided and/or a second pressure sensor supplied by the counter pressure unit 132. A second pressure sensor configured and arranged to measure pressure may be provided. The first pressure sensor and/or the second pressure sensor may be connected to the controller described herein. Thus, beneficially, for example, if the measured pressure deviates from a preselected first pressure and/or second pressure as specified herein, the controller causes the first pressure and/or It may be configured to regulate the second pressure.

したがって、本明細書に記載された実施形態は、処理ローラとドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの接触圧の自動適合又は再調節をもたらし、これは、特にドクターブレードのアブレーシブ摩耗の効果を補償するのに有益であり得ることを理解するべきである。さらに、本明細書に記載された実施形態は、装置を操作する間、対応する処理ローラとのドクターブレードの接触圧を調節することを提供し、これは、種々の処理条件、特に、液体コーティング又はプリンティング材料の種々の総厚を装置の操作の間に選択しなければならない場合に有益であり得る。したがって、本明細書に記載された実施形態は、真空条件下で処理ローラとドクターブレードの接触圧を適合させ、再調節することを提供する。具体的には、処理中に確立された真空を破壊せずに接触圧を制御且つ調節することができる。さらに、特に力伝達アセンブリが気体圧ユニットを含む場合、本明細書に記載された実施形態は、例えば、熱膨張によって引き起こされる処理ローラの変形を補償するように構成されることを理解するべきである。 Therefore, the embodiments described herein provide for automatic adaptation or readjustment of the contact pressure between the processing roller and the doctor blade of the doctor blade assembly, which in particular compensates for the effects of abrasive wear of the doctor blade. It should be understood that it can be beneficial to. Further, the embodiments described herein provide for adjusting the contact pressure of the doctor blade with the corresponding processing roller during operation of the device, which can be used under various processing conditions, especially liquid coatings. Or it may be beneficial if different total thicknesses of printing material have to be selected during operation of the device. Thus, the embodiments described herein provide for adapting and readjusting the contact pressure between the processing roller and the doctor blade under vacuum conditions. Specifically, the contact pressure can be controlled and adjusted without breaking the vacuum established during processing. Furthermore, it should be understood that the embodiments described herein are configured to compensate for processing roller deformations caused by, for example, thermal expansion, particularly where the force transmission assembly includes a pneumatic unit. is there.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂで示すように、力伝達アセンブリ１３０は、ドクターブレードアセンブリ１２０の運動を処理ローラ１１０の表面１１１に向けて誘導するための誘導要素１４４を含み得る。例えば、誘導要素１４４は、低摩擦の線状誘導要素であってもよい。具体的には、誘導運動は、処理ローラの軸に対して実質的に垂直な運動であり得る。したがって、有益には、本明細書に記載されたドクターブレードアセンブリのドクターブレードは、対応する処理ローラの表面上に正確に位置付けされ得る。さらに、本明細書に記載された誘導要素を設けることは、対応する処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を正確に調節する上でさらに有益であり得る。 According to embodiments that may be combined with any of the other embodiments described herein, as shown in FIGS. 4A, 4B, 5A, and 5B, the force transmission assembly 130 includes a doctor blade assembly 120. May include a guide element 144 for guiding the movement of the device toward the surface 111 of the processing roller 110. For example, the guide element 144 may be a low friction linear guide element. Specifically, the induced motion can be a motion substantially perpendicular to the axis of the processing roller. Thus, beneficially, the doctor blades of the doctor blade assembly described herein may be accurately positioned on the surface of the corresponding processing roller. Moreover, the provision of the guiding elements described herein may be further beneficial in accurately adjusting the contact pressure of the doctor blade with the surface of the corresponding processing roller.

したがって、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、ドクターブレードアセンブリ、特にドクターブレードチャンバは、接触圧を供給するため、処理ローラの表面に向けてドクターブレードアセンブリの正確且つ誘導された運動をもたらす誘導要素によって誘導され得ることを理解するべきである。 Therefore, according to an embodiment that can be combined with any of the other embodiments described herein, the doctor blade assembly, in particular the doctor blade chamber, is directed towards the surface of the processing roller in order to supply the contact pressure. It should be understood that it can be guided by guide elements that provide accurate and guided movement of the doctor blade assembly.

図６Ａから図６Ｃは、ドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上に供給するための方法２００の実施形態を示すブロック図を示す。本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、当該方法２００は、図６Ａのブロック図で例示するように、圧力ユニットを使用することによって、ドクターブレードを含むドクターブレードアセンブリに力をに加えること２１０と、逆圧ユニットを使用することによって、ドクターブレードアセンブリに対抗力を加えることにより、接触圧を制御すること２２０とを含む。具体的には、ドクターブレードアセンブリに力を加えること２１０は、本明細書に記載された実施形態に係る圧力ユニットを使用することを含み得る。さらに、ドクターブレードアセンブリに対抗力を加えることにより、接触圧を制御すること２２０は、本明細書に記載された実施形態に係る逆圧ユニットを使用することを含み得る。したがって、本明細書に記載された方法の実施形態は、有益には、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を非常に正確に制御且つ調節することを提供する。具体的には、本明細書に記載された方法の実施形態は、周囲圧力から実質的に独立するように当該接触圧を制御することを提供する。したがって、本明細書に記載された方法の実施形態では、周囲圧力の変化が生じたときでも、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を一定になるよう制御することができる。 6A-6C show block diagrams illustrating an embodiment of a method 200 for providing a doctor blade contact pressure on a surface of a processing roller. According to an embodiment, which may be combined with any of the other embodiments described herein, the method 200 comprises the use of a pressure unit, as illustrated in the block diagram of FIG. Applying a force to the doctor blade assembly including 210 and controlling 220 the contact pressure by applying a counter force to the doctor blade assembly by using a counter pressure unit. Specifically, applying 210 a force to the doctor blade assembly may include using a pressure unit according to embodiments described herein. Further, controlling the contact pressure 220 by applying a counter force to the doctor blade assembly may include using a counter pressure unit according to embodiments described herein. Thus, the method embodiments described herein advantageously provide very precise control and adjustment of the doctor blade contact pressure with the surface of the processing roller. Specifically, the method embodiments described herein provide for controlling the contact pressure to be substantially independent of ambient pressure. Thus, embodiments of the methods described herein can control the contact pressure of the doctor blade with the surface of the processing roller to remain constant, even when ambient pressure changes occur.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、接触圧を制御すること２２０は、圧力ユニットによって荷重伝達要素に加えられた第１の圧力と、逆圧ユニットによって荷重伝達要素に加えられた第２の圧力との間の圧力差を生成すること２２１を含む。具体的には、圧力差を生成すること２２１は、圧力ユニット１３１から力Ｆ１を荷重伝達要素１３３の第１の表面１３４に加えることと、逆圧ユニット１３２から対抗力Ｆ２を荷重伝達要素１３３の第２の表面１３５に加えることとを含み得る。 According to an embodiment, which may be combined with any of the other embodiments described herein, controlling the contact pressure 220 comprises a first pressure exerted on the load transfer element by the pressure unit and a counter pressure. Generating 221 a pressure differential between a second pressure applied to the load transfer element by the unit. Specifically, producing 221 a pressure differential includes applying a force F 1 from the pressure unit 131 to the first surface 134 of the load transfer element 133 and applying an opposing force F 2 from the counter pressure unit 132 to the load transfer element 133. Adding to the second surface 135 of 133.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、圧力差を生成すること２２１は、下限値が２ｂａｒ、具体的には、下限値が３ｂａｒ、より具体的には、下限値が４ｂａｒであり、上限値が４ｂａｒ、具体的には、上限値が６ｂａｒ、より具体的には、上限値が８ｂａｒである範囲から圧力ユニット１３１によって供給される第１の圧力を選択することを含み得る。さらに、圧力差を生成すること２２１は、下限値が０ｂａｒ、具体的には、下限値が１ｂａｒ、より具体的には、下限値が２ｂａｒであり、上限値が２ｂａｒ、具体的には、上限値が４ｂａｒ、より具体的には、上限値が６ｂａｒである範囲から逆圧ユニット１３２によって供給された第２の圧力を選択することを含み得る。 According to embodiments that may be combined with any of the other embodiments described herein, producing a pressure differential 221 may include a lower limit of 2 bar, specifically a lower limit of 3 bar. the manner, the lower limit value of 4 bar, the upper limit is 4 bar, specifically, the upper limit is 6 bar, and more specifically, the first upper limit value is supplied by a pressure unit 131 from a range which is 8bar It may include selecting a pressure. Further, generating the pressure difference 221 has a lower limit value of 0 bar, specifically, a lower limit value of 1 bar, more specifically, a lower limit value of 2 bar, and an upper limit value of 2 bar, specifically, an upper limit. It may include selecting the second pressure supplied by the back pressure unit 132 from a range having a value of 4 bar, more specifically an upper limit value of 6 bar.

接触圧を制御すること２２０は、本明細書に記載された第１の圧力弁１５１及び／又は第２の圧力弁１５２を使用することを含み得ることを理解するべきである。具体的には、接触圧を制御すること２２０は、本明細書に記載されたコントローラ１５０を使用することを含み得る。したがって、本明細書に記載された方法の実施形態は、対応する処理ローラと本明細書に記載されたドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの接触圧の自動適合又は再調節をもたらし、これは、特にドクターブレードのアブレーシブ摩耗の効果を補償するのに有益であり得る。 It should be understood that controlling the contact pressure 220 may include using the first pressure valve 151 and/or the second pressure valve 152 described herein. Specifically, controlling 220 the contact pressure may include using the controller 150 described herein. Accordingly, embodiments of the methods described herein provide for automatic adaptation or readjustment of contact pressure between the corresponding processing roller and the doctor blade of the doctor blade assembly described herein, which in particular It may be beneficial to compensate for the effects of abrasive wear on the doctor blade.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、当該方法２００は、図６Ｂのブロック図で例示されているように、圧力差をモニタリングすること２３０を含み得る。具体的には、圧力差をモニタリングすること２３０は、本明細書に記載された、モニタリングデバイス、例えば、第１の圧力センサ及び／又は第２の圧力センサを使用することを含み得る。したがって、本明細書に記載された方法の実施形態は、本明細書で特定されたように、第１の圧力及び／又は第２の圧力をモニタリング且つ調節するように構成される。これは、具体的には、測定圧力が、本明細書で特定されたように予め選択された第１の圧力及び／又は第２の圧力から逸れる場合に有益であり得る。 According to an embodiment that can be combined with any of the other embodiments described herein, the method 200 includes monitoring 230 a pressure differential, as illustrated in the block diagram of FIG. 6B. obtain. Specifically, monitoring 230 the pressure differential may include using a monitoring device described herein, eg, the first pressure sensor and/or the second pressure sensor. Accordingly, embodiments of the methods described herein are configured to monitor and regulate the first pressure and/or the second pressure as specified herein. This may be particularly beneficial if the measured pressure deviates from the preselected first pressure and/or second pressure as specified herein.

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、当該方法２００は、処理ローラとのドクターブレードの接触圧が周囲圧力から独立しているように、圧力差を一定であるように制御すること２４０をさらに含み得る。例えば、圧力差を制御すること２４０は、下限値が１ｂａｒ、具体的には、下限値が１．５ｂａｒであり、上限値が３ｂａｒ、具体的には、４ｂａｒである範囲から圧力差を選択することを含み得る。具体的には、圧力ユニット１３１と逆圧ユニット１３２との間の圧力差を一定であるように制御すること２４０は、圧力差を２ｂａｒ±０．２ｂａｒ、具体的には、２ｂａｒ±０．１ｂａｒ、より具体的には、２ｂａｒ±０．０５ｂａｒとなるように選択することを含み得る。 According to an embodiment, which can be combined with any of the other embodiments described herein, the method 200 comprises a pressure so that the contact pressure of the doctor blade with the processing roller is independent of ambient pressure. The method may further include controlling the difference to be constant 240. For example, controlling the pressure difference 240 selects the pressure difference from a range where the lower limit is 1 bar, specifically the lower limit is 1.5 bar, and the upper limit is 3 bar, specifically 4 bar. May be included. Specifically, controlling the pressure difference between the pressure unit 131 and the back pressure unit 132 so as to be constant 240, the pressure difference is 2 bar±0.2 bar, specifically, 2 bar±0.1 bar. , More specifically, selecting to be 2 bar±0.05 bar.

本開示に記載された実施形態の観点から見ると、当業者であれば、装置の実施形態、及び本明細書に記載された方法は、特に大きな基板幅を有するフレキシブル基板のコーティング又はプリンティングのために、アニロックスローラ又はスクリーンローラとのドクターブレードチャンバのドクターブレードの一定の接触圧を正確に調節且つ制御するのに特に適していることを理解されよう。 In view of the embodiments described in this disclosure, one of ordinary skill in the art will appreciate that apparatus embodiments, and methods described herein, are particularly useful for coating or printing flexible substrates having large substrate widths. It will be appreciated that it is particularly suitable for precisely adjusting and controlling the constant contact pressure of the doctor blade of the doctor blade chamber with the anilox roller or screen roller.

Claims (10)

真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置（１００）であって、
処理ローラ（１１０）と、
前記処理ローラ（１１０）の軸方向に延在するドクターブレード（１２１）を有するドクターブレードアセンブリ（１２０）と、
前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）を前記処理ローラ（１１０）の表面（１１１）に向けて動かすように構成された力伝達アセンブリ（１３０）であって、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に圧力を加えるための圧力ユニット（１３１）と、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に対抗圧力を加えるための逆圧ユニット（１３２）とを備えた、力伝達アセンブリ（１３０）と、
前記圧力ユニット（１３１）によって加えられる圧力を測定する第１の圧力センサと、
前記逆圧ユニット（１３２）によって加えられる対抗圧力を測定する第２の圧力センサと、
前記第１の圧力センサによって測定される圧力と前記第２の圧力センサによって測定される対抗圧力との圧力差を一定に制御するためのコントローラ（１５０）と、
を備えている装置。 An apparatus (100) for continuous processing of a flexible substrate in a vacuum, comprising:
A processing roller (110) ,
A doctor blade assembly (120) having a doctor blade (121) extending in the axial direction of the processing roller (110) ;
A force transmission assembly (130) configured to move the doctor blade assembly (120) toward a surface (111) of the processing roller (110) for applying pressure to the doctor blade assembly (120). A pressure transmission unit (131) and a back pressure unit (132) for applying counter pressure to the doctor blade assembly (120) ;
A first pressure sensor for measuring the pressure exerted by said pressure unit (131);
A second pressure sensor for measuring the counter pressure exerted by the counter pressure unit (132);
A controller (150) for controlling a constant pressure difference between the pressure measured by the first pressure sensor and the counter pressure measured by the second pressure sensor;
Device equipped with. 前記力伝達アセンブリ（１３０）が、荷重伝達要素（１３３）を備え、前記荷重伝達要素（１３３）が、前記圧力ユニット（１３１）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記圧力を伝達し、且つ前記逆圧ユニット（１３２）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記対抗圧力を伝達するように構成されている、請求項１に記載の装置（１００）。 Said force transmitting assembly (130) is provided with a load transmission element (133), said load transmitting element (133) is, the pressure is transmitted from the pressure unit (131) to said doctor blade assembly (120), and The apparatus (100) of claim 1, wherein the apparatus (100) is configured to transfer the counter pressure from the counter pressure unit (132) to the doctor blade assembly (120). 前記圧力ユニット（１３１）によって生成された前記圧力を制御するように構成された第１の圧力弁（１５１）、及び前記逆圧ユニット（１３２）によって生成された前記対抗圧力を制御するように構成された第２の圧力弁（１５２）をさらに備えている、請求項１又は２に記載の装置（１００）。 Configured to control the counter pressure generated by the first pressure valve configured to control the pressure generated (151), and the counter-pressure unit (132) by the pressure unit (131) The apparatus (100) of claim 1 or 2, further comprising a second pressure valve (152) that is configured. 前記圧力が、２ｂａｒから８ｂａｒより選択され、前記対抗圧力が、０ｂａｒから６ｂａｒより選択される、請求項３に記載の装置（１００）。 The pressure is selected from the 8bar from 2 bar, the counter-pressure is selected from 6bar from 0 bar, according to claim 3 (100). 前記圧力差が、１ｂａｒから４ｂａｒである、請求項１から４のいずれか一項に記載の装置（１００）。 Before SL pressure differential is 4bar from 1 bar, apparatus according to any one of claims 1 to 4 (100). 前記力伝達アセンブリ（１３０）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）の動きを前記処理ローラ（１１０）の前記表面（１１１）に向けて誘導するための誘導要素（１４４）を備えている、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置（１００）。 The force transmission assembly (130) comprises a guide element (144) for guiding movement of the doctor blade assembly (120) toward the surface (111) of the processing roller (110). Apparatus (100) according to any one of claims 1-5 . 真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置（１００）であって、
処理ローラ（１１０）と、
前記処理ローラ（１１０）の軸方向に延在するドクターブレード（１２１）を有するドクターブレードアセンブリ（１２０）と、
前記ドクターブレード（１２１）を前記処理ローラ（１１０）の表面上へと動かすように構成された第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）であって、前記第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に圧力を加えるための第１の気体圧力ユニット（１３１Ａ）と、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に対抗圧力を加えるための第１の気体逆圧ユニット（１３２Ａ）とを備え、前記第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）の第１の軸端部（１２０Ａ）において配置され、前記第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に接続された第１の荷重伝達要素（１３３Ａ）を備え、前記第１の荷重伝達要素（１３３Ａ）が、前記第１の気体圧力ユニット（１３１Ａ）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記圧力を伝達し、且つ前記第１の気体逆圧ユニット（１３２Ａ）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記対抗圧力を伝達するように構成されている、第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）と、
前記ドクターブレード（１２１）を前記処理ローラ（１１０）の前記表面上へと動かすように構成された第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）であって、前記第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に圧力を加えるための第２の気体圧力ユニット（１３１Ｂ）と、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に対抗圧力を加えるための第２の気体逆圧ユニット（１３２Ｂ）とを備え、前記第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）の前記第１の軸端部（１２０Ａ）の反対側の前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）の第２の軸端部（１２０Ｂ）において配置され、前記第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に接続された第２の荷重伝達要素（１３３Ｂ）を備え、前記第２の荷重伝達要素（１３３Ｂ）が、前記第２の気体圧力ユニット（１３１Ｂ）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記圧力を伝達し、且つ前記第２の気体逆圧ユニット（１３２Ｂ）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記対抗圧力を伝達するように構成されている、第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）と、
前記第１の気体圧力ユニット（１３１Ａ）によって加えられる圧力を測定する第１の圧力センサと、
前記第１の気体逆圧ユニット（１３２Ａ）によって加えられる対抗圧力を測定する第２の圧力センサと、
前記第２の気体圧力ユニット（１３１Ｂ）によって加えられる圧力を測定する第３の圧力センサと、
前記第２の気体逆圧ユニット（１３２Ｂ）によって加えられる対抗圧力を測定する第４の圧力センサと、
前記第１の圧力センサによって測定される圧力と前記第２の圧力センサによって測定される対抗圧力との圧力差を一定にするように制御するとともに、前記第３の圧力センサによって測定される圧力と前記第４の圧力センサによって測定される対抗圧力との圧力差を一定にするように制御するためのコントローラ（１５０）と、
を備えている装置。 An apparatus (100) for continuous processing of a flexible substrate in a vacuum, comprising:
A processing roller (110) ,
A doctor blade assembly (120) having a doctor blade (121) extending in the axial direction of the processing roller (110) ;
A first force transmission assembly (130A) configured to move the doctor blade (121) onto a surface of the processing roller (110), the first force transmission assembly (130A) comprising: A first gas pressure unit (131A) for applying a pressure to the doctor blade assembly (120) and a first gas back pressure unit (132A) for applying a counter pressure to the doctor blade assembly (120). , The first force transmission assembly (130A) is located at a first axial end (120A) of the doctor blade assembly (120), the first force transmission assembly (130A) being the doctor blade assembly (130A). A first load transfer element (133A) connected to (120), the first load transfer element (133A) from the first gas pressure unit (131A) to the doctor blade assembly (120). and the pressure to transmit, and the first gas counterpressure unit (132A) from said doctor blade assembly (120) wherein is configured to transmit a counter-pressure to the first force transmitting assembly (130A ) And
A second force transfer assembly (130B) configured to move the doctor blade (121) onto the surface of the processing roller (110), the second force transfer assembly (130B) comprising: and said doctor blade assembly (120) for applying pressure to the second gas pressure unit (131B), the second gas backpressure unit for applying counter-pressure to the doctor blade assembly (120) and (132B) The second force transmitting assembly (130B) comprises a second axial end of the doctor blade assembly (120) opposite the first axial end (120A) of the doctor blade assembly (120). Disposed at (120B), the second force transfer assembly (130B) comprises a second load transfer element (133B) connected to the doctor blade assembly (120), the second load transfer element (133B). 133B) transfers the pressure from the second gas pressure unit (131B) to the doctor blade assembly (120) and from the second gas back pressure unit (132B) to the doctor blade assembly (120). the counter-pressure is configured to transmit, the second force transmitting assembly (130B) to,
A first pressure sensor for measuring the pressure exerted by the first gas pressure unit (131A);
A second pressure sensor for measuring the counter pressure exerted by the first counter gas pressure unit (132A);
A third pressure sensor for measuring the pressure exerted by the second gas pressure unit (131B);
A fourth pressure sensor for measuring the counter pressure exerted by the second counter gas pressure unit (132B);
The pressure difference between the pressure measured by the first pressure sensor and the counter pressure measured by the second pressure sensor is controlled to be constant, and the pressure measured by the third pressure sensor is controlled. A controller (150) for controlling the pressure difference with the counter pressure measured by the fourth pressure sensor to be constant.
Device equipped with. ドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上へと供給するための方法（２００）であって、
圧力ユニットを使用することによって、前記ドクターブレードを備えたドクターブレードアセンブリに圧力を加えること（２１０）と、
逆圧ユニットを使用することによって、前記ドクターブレードアセンブリに対抗圧力を加えることにより、前記接触圧を制御すること（２２０）と
前記圧力ユニットによって加えられる圧力を測定する第１の圧力センサと、前記逆圧ユニットによって加えられる対抗圧力を測定する第２の圧力センサとを用いて、前記圧力と前記対抗圧力との圧力差をモニタリングすること（２３０）と、
前記処理ローラとの前記ドクターブレードの前記接触圧が、前記処理ローラ及び前記ドクターブレードの周囲の気圧から独立しているように、前記圧力差を一定であるように制御すること（２４０）と、
を含む方法。 A method (200) for providing a contact pressure of a doctor blade onto a surface of a processing roller, comprising:
Applying (210) pressure to a doctor blade assembly comprising the doctor blade by using a pressure unit;
Controlling the contact pressure by applying counter- pressure to the doctor blade assembly by using a counter pressure unit (220);
A first pressure sensor that measures the pressure exerted by the pressure unit and a second pressure sensor that measures the counter pressure exerted by the counter pressure unit are used to determine the pressure difference between the pressure and the counter pressure. Monitoring (230),
Controlling the pressure difference to be constant so that the contact pressure of the doctor blade with the processing roller is independent of the atmospheric pressure around the processing roller and the doctor blade (240);
Including the method. 前記圧力が、２ｂａｒから８ｂａｒより選択され、前記対抗圧力が、０ｂａｒから６ｂａｒより選択される、請求項８に記載の方法（２００）。 The pressure is selected from the 8bar from 2 bar, the counter-pressure is selected from 6bar from 0 bar, The method of claim 8 (200). 前記圧力差が、１ｂａｒから４ｂａｒより選択される、請求項８又は９に記載の方法（２００）。 The method (200) according to claim 8 or 9 , wherein the pressure difference is selected from 1 bar to 4 bar.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4372203A (en) * 1979-07-30 1983-02-08 Umberto Brasa Doctor-blade support means for silk screen printing machine
US5226363A (en) * 1990-09-11 1993-07-13 The Langston Corporation Dual pressure preload system for maintaining a member
EP0714325B1 (en) 1993-08-20 2002-05-15 Minnesota Mining And Manufacturing Company Non-recirculating, die supplied doctored roll coater with solvent addition
US5768993A (en) * 1997-05-09 1998-06-23 Bryce International, L.L.C. Inking system for offset printers
KR200225055Y1 (en) * 1998-05-12 2001-06-01 박노광 Doctor for removing foreign material from roller
JP2009249703A (en) * 2008-04-08 2009-10-29 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Method for producing metal thin film-laminated board and vacuum film deposition device
CN101367290A (en) * 2008-09-02 2009-02-18 黄勇 Hydraulic compensation hydraulic punch head load system for scratch board apparatus of printing machine
CN101934625A (en) * 2009-06-29 2011-01-05 财团法人金属工业研究发展中心 Pressure feedback scraper module
DE102009046078A1 (en) * 2009-10-28 2011-05-05 Koenig & Bauer Aktiengesellschaft Device for pressure adjustment in a chambered doctor blade
KR101096529B1 (en) 2010-06-23 2011-12-20 한국기계연구원 Electronic element production for rotary press and method
DE102012201378B4 (en) * 2012-01-31 2015-10-08 Koenig & Bauer Ag Method for using a device for setting a doctor blade on a lateral surface of a rotatable roller
KR101490880B1 (en) * 2013-07-01 2015-02-09 (주)아이펜 doctor blade control apparatus for gravure roll printing machine
CN105235367B (en) * 2015-11-05 2018-03-09 东莞市科隆威自动化设备有限公司 Pneumatic scraper head control method of silicon wafer printing machine

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