JP6747049B2 - Observation device and observation method - Google Patents

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Description

この発明は、電極の観察装置、及び電極の観察方法に関する。 The present invention relates to an electrode observation device and an electrode observation method.

従来、車両には、モータなどに使用される電力を蓄える蓄電装置として、リチウムイオン二次電池やニッケル水素二次電池などが搭載されている。蓄電装置は、電極組立体を備えている。電極組立体は、シート状の電極が層状に重なった構造を備えている。電極組立体において、電極と電極との間には、セパレータが介在されている。 Conventionally, a vehicle is equipped with a lithium-ion secondary battery, a nickel-hydrogen secondary battery, or the like as a power storage device that stores electric power used for a motor or the like. The power storage device includes an electrode assembly. The electrode assembly has a structure in which sheet-shaped electrodes are layered. In the electrode assembly, a separator is interposed between the electrodes.

例えば、電極は、金属箔に活物質層を形成した後に、所定の形状に切断する切断工程を経て製造される。切断工程において、金属箔の端部には、例えば刃型の進行方向に沿って延びるように、バリが形成される可能性がある。バリは、電極組立体において、セパレータを傷付けることで、短絡を引き起こす原因となる場合がある。 For example, an electrode is manufactured through a cutting step of cutting an active material layer on a metal foil and then cutting it into a predetermined shape. In the cutting step, burrs may be formed on the ends of the metal foil so as to extend along the moving direction of the blade mold, for example. The burr may cause a short circuit by damaging the separator in the electrode assembly.

例えば、特許文献1には、電極の端面にある金属箔のバリを検出するための検出装置が開示されている。特許文献1に開示された検出装置は、電極板の端面にあるバリが、電極板と導電ローラとの間に介在する絶縁層を貫通することにより、導電性ローラと接触して通電すると、不良品と判定するように構成されている。 For example, Patent Document 1 discloses a detection device for detecting a burr on a metal foil on an end face of an electrode. In the detection device disclosed in Patent Document 1, when the burr on the end surface of the electrode plate penetrates through the insulating layer interposed between the electrode plate and the conductive roller, it contacts the conductive roller and is energized. It is configured to determine that the product is non-defective.

特開2010−114012号公報JP, 2010-114012, A

ところで、電極の切断状態を適切に管理するためには、電極の端面を観察することが好ましい。電極の端面を観察するサンプル数が多いほど、切断状態を正確に把握することができる反面で、検査の手間が増大する。 By the way, in order to appropriately manage the cut state of the electrode, it is preferable to observe the end face of the electrode. The larger the number of samples for observing the end face of the electrode, the more accurately the cutting state can be grasped, but the labor of inspection increases.

この発明の目的は、電極の観察を簡便にすることができる観察装置、及び観察方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide an observing device and an observing method capable of facilitating the observation of electrodes.

上記課題を解決する電極の観察装置は、前記電極を固定する固定機構を備え、前記固定機構は、第1固定部と、磁石を有する第2固定部と、を備え、前記第1固定部と前記第2固定部とは、前記磁石の磁力によって前記電極を固定することを要旨とする。 An electrode observation device that solves the above problem includes a fixing mechanism that fixes the electrode, the fixing mechanism includes a first fixing portion and a second fixing portion having a magnet, and the first fixing portion The gist of the second fixing portion is to fix the electrode by the magnetic force of the magnet.

これによれば、第2固定部が有する磁石の磁力によって電極を固定することができるため、電極の固定作業が簡単になる。したがって、電極の観察を簡便にすることができるようになる。 According to this, since the electrode can be fixed by the magnetic force of the magnet of the second fixing portion, the work of fixing the electrode is simplified. Therefore, it becomes possible to easily observe the electrodes.

上記電極の観察装置について、前記第1固定部は、磁性体である磁性部を備え、前記第1固定部と前記第2固定部とは、前記磁石と前記磁性部との間の磁力によって前記電極を挟持する。 In the above electrode observation apparatus, the first fixing portion includes a magnetic portion that is a magnetic body, and the first fixing portion and the second fixing portion are formed by the magnetic force between the magnet and the magnetic portion. Hold the electrodes.

これによれば、第2固定部が有する磁石と第1固定部が有する磁性部との間の磁力によって電極を挟持することから、仮に電極が非磁性体であっても、簡単に電極を固定することができるようになる。 According to this, since the electrode is sandwiched by the magnetic force between the magnet of the second fixing portion and the magnetic portion of the first fixing portion, the electrode can be fixed easily even if the electrode is a non-magnetic body. You will be able to.

上記電極の観察装置について、前記電極を拡大して視認可能とする光学装置と、前記電極の観察方向と直交する仮想平面に沿って移動可能となるように、前記固定機構を支持する移動機構と、を備えた。 Regarding the electrode observation device, an optical device for enlarging and visually observing the electrode, and a moving mechanism for supporting the fixing mechanism so as to be movable along a virtual plane orthogonal to the observation direction of the electrode. Equipped with.

これによれば、移動機構を用いることによって、固定機構と光学装置との距離を維持したまま、固定機構ごと電極を移動させることが可能になる。したがって、電極の観察を簡便にすることができるようになる。 According to this, by using the moving mechanism, it becomes possible to move the electrode together with the fixing mechanism while maintaining the distance between the fixing mechanism and the optical device. Therefore, it becomes possible to easily observe the electrodes.

上記電極の観察装置について、所定の方向に沿った前記第2固定部の長さは、前記所定の方向に沿った前記電極の長さよりも長く、前記磁石は、前記所定の方向に沿った前記第2固定部の両端部であって、前記電極から前記所定の方向に沿って突出した部分にある。 In the electrode observation device, the length of the second fixing portion along a predetermined direction is longer than the length of the electrode along the predetermined direction, and the magnet is arranged along the predetermined direction. It is located at both ends of the second fixing portion and protrudes from the electrode along the predetermined direction.

これによれば、第2固定部の両端部にある磁石によって、電極をより確実に固定することができる。また、磁石が電極に接触しないようにできることから、磁石と電極とが接触することにより、電極が傷付いてしまうことを抑制することができる。 According to this, the electrodes can be more reliably fixed by the magnets at both ends of the second fixing portion. Further, since the magnet can be prevented from coming into contact with the electrode, it is possible to prevent the electrode from being damaged due to the contact between the magnet and the electrode.

上記電極の観察装置について、前記第1固定部と前記第2固定部との相対的な位置が予め定めた位置となるように案内する案内部を備えた。
これによれば、第1固定部と第2固定部との相対的な位置を、容易に予め定めた位置とすることが、容易にできるようになる。したがって、電極の観察を簡便にすることができるようになる。
The electrode observation device includes a guide unit that guides the relative positions of the first fixing unit and the second fixing unit to predetermined positions.
According to this, it becomes possible to easily set the relative position between the first fixing portion and the second fixing portion to a predetermined position easily. Therefore, it becomes possible to easily observe the electrodes.

上記電極の観察装置について、前記第1固定部は、前記電極の観察方向を含む仮想平面に沿って配置された部分であって、且つ前記仮想平面に沿って回転可能に支持された回転部を備え、前記電極は、前記回転部に固定される。 In the above electrode observation apparatus, the first fixed portion is a portion arranged along an imaginary plane including the observation direction of the electrode, and a rotating portion rotatably supported along the imaginary plane. And the electrode is fixed to the rotating part.

これによれば、回転部を回転させることにより、電極のうち所望の観察箇所を所望の位置へと簡便に移動させることができるようになる。
また、上記課題を解決する電極の観察方法は、固定機構により前記電極を固定する工程を備え、前記固定機構は、第1固定部と、磁石を有する第2固定部と、を備え、前記電極を固定する工程では、前記磁石の磁力によって、前記第1固定部と前記第2固定部とで前記電極を固定することを要旨とする。
According to this, by rotating the rotating portion, it becomes possible to easily move the desired observation portion of the electrode to the desired position.
Further, an electrode observing method for solving the above problem includes a step of fixing the electrode by a fixing mechanism, and the fixing mechanism includes a first fixing portion and a second fixing portion having a magnet, and the electrode The step of fixing is characterized in that the magnetic force of the magnet fixes the electrode by the first fixing portion and the second fixing portion.

これによれば、第2固定部が有する磁石の磁力によって電極を固定することができるため、電極の固定作業が簡単になる。したがって、電極の観察を簡便にすることができるようになる。 According to this, since the electrode can be fixed by the magnetic force of the magnet of the second fixing portion, the work of fixing the electrode is simplified. Therefore, it becomes possible to easily observe the electrodes.

本発明によれば、電極の観察を簡便にすることができる。 According to the present invention, observation of electrodes can be simplified.

電極の観察装置を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows the observation apparatus of an electrode typically. (a)及び(b)は、電極の端面を模式的に示す図。(A) And (b) is a figure which shows the end surface of an electrode typically. 図1に示す3−3線断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line 3-3 shown in FIG. 1. 観察方程の手順を示すフローチャート。The flowchart which shows the procedure of an observation method. 別の実施形態における電極の観察装置を模式的に示す正面図。The front view which shows typically the observation apparatus of the electrode in another embodiment.

以下、電極の観察装置、及び電極の観察方法の一実施形態について説明する。
図1に示すように、この実施形態の観察装置10は、電極50を観察するための装置である。
Hereinafter, an embodiment of an electrode observation apparatus and an electrode observation method will be described.
As shown in FIG. 1, the observation device 10 of this embodiment is a device for observing the electrode 50.

最初に、電極50について説明する。この実施形態において、電極50は、蓄電装置としてのリチウムイオン二次電池に用いられる電極である。電極50は、略四角形のシート状である。 First, the electrode 50 will be described. In this embodiment, the electrode 50 is an electrode used in a lithium ion secondary battery as a power storage device. The electrode 50 has a substantially rectangular sheet shape.

電極50は、金属箔51を備えている。例えば、金属箔51は、非磁性体であってもよく、磁性体であってもよい。例えば、正極用の金属箔51としては、アルミニウム箔を用いることができる。例えば、負極用の金属箔51としては、銅箔を用いることができる。金属箔51は、第1面51aと、第1面51aの反対の第2面51bと、を備えている。 The electrode 50 includes a metal foil 51. For example, the metal foil 51 may be a non-magnetic material or a magnetic material. For example, an aluminum foil can be used as the metal foil 51 for the positive electrode. For example, copper foil can be used as the metal foil 51 for the negative electrode. The metal foil 51 includes a first surface 51a and a second surface 51b opposite to the first surface 51a.

電極50は、金属箔51の第1面51aを覆っている活物質層52と、金属箔51の第2面51bを覆っている活物質層52と、を備えている。活物質層52,52は、活物質、導電助剤、及びバインダを含有している。 The electrode 50 includes an active material layer 52 that covers the first surface 51 a of the metal foil 51 and an active material layer 52 that covers the second surface 51 b of the metal foil 51. The active material layers 52, 52 contain an active material, a conductive additive, and a binder.

活物質は、リチウム(リチウムイオン)を吸蔵及び放出可能な材料である。例えば、正極用の活物質としては、LiCoO、LiNiO、LiMnO、LiFePO、LiCo1/3Ni1/3Mn1/3、及びLiNi0.5Co0.2Mn0.3などを用いることができる。 The active material is a material capable of inserting and extracting lithium (lithium ion). For example, as the active material for the positive electrode, LiCoO 2 , LiNiO 2 , LiMnO 4 , LiFePO 4 , LiCo 1/3 Ni 1/3 Mn 1/3 O 2 , and LiNi 0.5 Co 0.2 Mn 0.3. O 2 or the like can be used.

例えば、負極用の活物質としては、黒鉛(天然黒鉛、人造黒鉛)、コークス類、グラファイト類、ガラス状炭素類、有機高分子化合物焼成体、炭素繊維、活性炭素、カーボンブラック類などの炭素材料を用いることができる。 For example, as the active material for the negative electrode, graphite (natural graphite, artificial graphite), cokes, graphites, glassy carbons, organic polymer compound fired bodies, carbon fibers, activated carbon, carbon black and other carbon materials Can be used.

例えば、正極用の導電助剤としては、アセチレンブラック、ケッチェンブラック、鱗片状黒鉛などを用いることができる。例えば、負極用の導電助剤としては、アセチレンブラック、ケッチェンブラックなどを用いることができる。 For example, as the conductive additive for the positive electrode, acetylene black, Ketjen black, flake graphite, or the like can be used. For example, acetylene black, Ketjen black or the like can be used as the conductive additive for the negative electrode.

例えば、バインダとしては、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリ四フッ化エチレン、スチレンブタジエンゴムなどを用いることができる。バインダには、1種類を用いてもよいし、2種類以上を用いてもよい。 For example, as the binder, polyvinylidene fluoride (PVDF), polytetrafluoroethylene, styrene-butadiene rubber or the like can be used. As the binder, one type may be used, or two or more types may be used.

電極50は、第1端面53と、第1端面53の反対の第2端面54と、を備えている。電極50は、第3端面55と、第3端面55の反対の第4端面56と、を備えている。端面53,54が延びている方向と、端面55,56が延びている方向とは、交差しており、好ましくは直交している。電極50は、端面53〜56のうち、隣り合う2つの端面に繋がる4つの端面57a,57b,57c,57dを備えている。端面57a,57b,57c,57dは、所謂C面である。 The electrode 50 includes a first end surface 53 and a second end surface 54 opposite to the first end surface 53. The electrode 50 includes a third end surface 55 and a fourth end surface 56 opposite to the third end surface 55. The direction in which the end faces 53, 54 extend and the direction in which the end faces 55, 56 extend intersect and are preferably orthogonal. The electrode 50 includes four end faces 57a, 57b, 57c, 57d connected to two adjacent end faces of the end faces 53 to 56. The end faces 57a, 57b, 57c, 57d are so-called C faces.

図2(a)及び(b)に示すように、端面53〜56,57a〜57dでは、各端面と直交する方向から見たときに、金属箔51が露出している。端面53〜56,57a〜57dは、切断によって生成された切断面である。 As shown in FIGS. 2A and 2B, on the end faces 53 to 56 and 57a to 57d, the metal foil 51 is exposed when viewed from a direction orthogonal to each end face. The end faces 53 to 56 and 57a to 57d are cut surfaces generated by cutting.

図1に示すように、電極50は、タブ58を備えている。タブ58は、第1端面53から、電極50の面方向に沿って延びるように存在している。タブ58は、活物質層52,52によって覆われておらず、金属箔51が露出している。 As shown in FIG. 1, the electrode 50 includes a tab 58. The tab 58 is present so as to extend from the first end surface 53 along the surface direction of the electrode 50. The tab 58 is not covered with the active material layers 52, 52, and the metal foil 51 is exposed.

次に、電極50の製造方法について説明する。
電極50の製造方法は、スラリー作製工程と、塗布工程と、乾燥工程と、切断工程と、積層工程と、組立工程と、を備えている。
Next, a method of manufacturing the electrode 50 will be described.
The manufacturing method of the electrode 50 includes a slurry preparation step, a coating step, a drying step, a cutting step, a laminating step, and an assembling step.

スラリー作製工程は、活物質、導電助剤、バインダ、及び溶媒を練り混ぜ、スラリー状の活物質合剤を得る工程である。溶媒としては、例えば水やN−メチルピロリドンなどを用いることができる。塗布工程は、帯状の金属箔の両面に、スラリー作製工程で得られた活物質合剤を塗布する工程である。 The slurry preparation step is a step of kneading the active material, the conductive additive, the binder, and the solvent to obtain a slurry-like active material mixture. As the solvent, for example, water or N-methylpyrrolidone can be used. The coating step is a step of coating the active material mixture obtained in the slurry preparation step on both surfaces of the strip-shaped metal foil.

乾燥工程は、帯状の金属箔の両面に塗布された活物質合剤を乾燥させる工程である。乾燥工程が終了すると、帯状の電極中間体が得られる。切断工程は、電極中間体を電極50の形状に切断することにより、電極50を得る工程である。切断工程には、雄型と雌型とで電極中間体を挟み込んで切断する手法や、刃型を押し当てて電極中間体を切断する手法が用いられる。 The drying step is a step of drying the active material mixture applied on both sides of the strip-shaped metal foil. When the drying process is completed, a strip-shaped electrode intermediate is obtained. The cutting step is a step of obtaining the electrode 50 by cutting the electrode intermediate body into the shape of the electrode 50. In the cutting step, a method of sandwiching and cutting the electrode intermediate body with a male die and a female die, and a method of pressing the blade die to cut the electrode intermediate body are used.

積層工程は、セパレータと電極とを交互に積み重ね、電極組立体を得る工程である。組立工程は、電極組立体をケースに収容するとともに、ケース内に電解質を充填し、蓄電装置を得る工程である。 The laminating step is a step of alternately stacking separators and electrodes to obtain an electrode assembly. The assembling step is a step of accommodating the electrode assembly in a case and filling the case with an electrolyte to obtain a power storage device.

次に、観察装置10について説明する。
観察装置10は、電極50の端面53〜56,57a〜57dを拡大して視認可能とする光学装置としての顕微鏡20を備えている。この実施形態では、顕微鏡20による観察方向を、単に第1方向Dzと示す。また、第1方向Dzと平行な平面を第1仮想平面P1と示し、第1方向Dzと平行であって且つ第1仮想平面P1と直交する平面を第2仮想平面P2と示し、第1方向Dzと直交する平面を第3仮想平面P3と示す。また、第1仮想平面P1の面内において、第1方法Dzと直交する方向を第2方向Dyと示し、第2仮想平面P2の面内において、第1方向Dzと直交する方向を第3方向Dxと示す。
Next, the observation device 10 will be described.
The observation device 10 includes a microscope 20 as an optical device that magnifies the end faces 53 to 56 and 57a to 57d of the electrode 50 so as to be visible. In this embodiment, the observation direction of the microscope 20 is simply referred to as the first direction Dz. A plane parallel to the first direction Dz is shown as a first virtual plane P1, and a plane parallel to the first direction Dz and orthogonal to the first virtual plane P1 is shown as a second virtual plane P2. A plane orthogonal to Dz is shown as a third virtual plane P3. Further, in the plane of the first virtual plane P1, a direction orthogonal to the first method Dz is indicated as a second direction Dy, and in the plane of the second virtual plane P2, a direction orthogonal to the first direction Dz is a third direction. Denote by Dx.

観察装置10は、電極50を固定する固定機構30を備えている。固定機構30は、第1固定部31と、第2固定部35と、を備えている。
第1固定部31は、電極50が固定される第1固定板32と、該第1固定板32の縁部に繋がっている第2固定板33と、を備えている。第1固定板32は、第1仮想平面P1に沿っている。第1固定板32は、第1仮想平面P1に沿っている面であって、電極50が固定される固定面32aを備えている。第2固定板33は、第2仮想平面P2に沿っている。即ち、第1固定部31の形状は、平面視で全体がL字型である。
The observation device 10 includes a fixing mechanism 30 that fixes the electrode 50. The fixing mechanism 30 includes a first fixing portion 31 and a second fixing portion 35.
The first fixing portion 31 includes a first fixing plate 32 to which the electrode 50 is fixed and a second fixing plate 33 connected to an edge portion of the first fixing plate 32. The first fixed plate 32 is along the first virtual plane P1. The first fixing plate 32 includes a fixing surface 32a, which is a surface along the first virtual plane P1 and to which the electrode 50 is fixed. The second fixed plate 33 is along the second virtual plane P2. That is, the overall shape of the first fixing portion 31 is L-shaped in plan view.

また、第1固定部31は、全体が磁性体である。即ち、この実施形態において、第1固定部31は、その全体が磁性体である磁性部に相当する。例えば、磁性体としては、鉄、コバルト、ニッケルなどを用いることができる。なお、第1固定部31は、表面を覆う樹脂層を備えていてもよく、めっき層を備えていてもよい。 Moreover, the 1st fixed part 31 is a magnetic body entirely. That is, in this embodiment, the entire first fixing portion 31 corresponds to a magnetic portion that is a magnetic body. For example, iron, cobalt, nickel or the like can be used as the magnetic material. In addition, the 1st fixing|fixed part 31 may be provided with the resin layer which covers the surface, and may be provided with the plating layer.

第2固定部35は、長細い四角板状の保持部材36を備えている。この実施形態において、保持部材36は、樹脂製である。保持部材36の長さは、電極50において、第1端面53から第2端面54までの長さよりも長い。また、保持部材36の長さは、第3端面55から第4端面56までの長さよりも長い。即ち、保持部材36の長さは、電極50をまたぐように配置したときに、その両端部が電極50の端面から突出する長さである。 The second fixing portion 35 includes a long and thin rectangular plate-shaped holding member 36. In this embodiment, the holding member 36 is made of resin. In the electrode 50, the length of the holding member 36 is longer than the length from the first end surface 53 to the second end surface 54. Further, the length of the holding member 36 is longer than the length from the third end surface 55 to the fourth end surface 56. That is, the length of the holding member 36 is such that both ends of the holding member 36 project from the end surface of the electrode 50 when the holding member 36 is arranged so as to straddle the electrode 50.

図1及び図3に示すように、第2固定部35は、第1磁石37aと、第2磁石37bと、を備えている。第1磁石37aは、保持部材36の長さ方向に沿った両端部のうち第1端部36aに固定されており、電極50から保持部材36の長さ方向に沿って突出する部分にある。第1磁石37aは、保持部材36の長さ方向に沿った両端部のうち第1端部36aの反対の第2端部36bに固定されており、電極50から保持部材36の長さ方向に沿って突出する部分にある。 As shown in FIGS. 1 and 3, the second fixing portion 35 includes a first magnet 37a and a second magnet 37b. The first magnet 37a is fixed to the first end 36a of both ends of the holding member 36 in the length direction, and is located at a portion protruding from the electrode 50 along the length of the holding member 36. The first magnet 37a is fixed to a second end portion 36b opposite to the first end portion 36a of both end portions along the length direction of the holding member 36, and extends from the electrode 50 in the length direction of the holding member 36. It is in the part that projects along.

磁石37a,37bは、何れも四角いシート状の磁石である。例えば、磁石37a,37bは、軟質なゴム磁石を用いることができる。磁石37a,37bは、電極50の厚さと同一又は略同一の寸法分、保持部材36から突出している。 The magnets 37a and 37b are both square sheet magnets. For example, the magnets 37a and 37b may be soft rubber magnets. The magnets 37a and 37b project from the holding member 36 by the same or substantially the same dimension as the thickness of the electrode 50.

観察装置10は、第1固定部31と第2固定部35との相対的な位置が予め定めた位置となるように案内する案内部として、第1案内部38aと第2案内部38bとを備えている。案内部38a,38bは、第1固定板32の固定面32aから突出している。案内部38a,38bは、両案内部38a,38bを掛け渡すように、第2固定部35を載置できるように構成されている。案内部38a,38bは、第1固定板32の上端よりも僅かに下方において、第2固定部35が第2方向Dyに沿って延びる位置となるように第2固定部35を案内する。 The observation device 10 includes a first guide portion 38a and a second guide portion 38b as guide portions that guide the relative positions of the first fixing portion 31 and the second fixing portion 35 to predetermined positions. I have it. The guide portions 38a and 38b project from the fixing surface 32a of the first fixing plate 32. The guide portions 38a and 38b are configured so that the second fixing portion 35 can be placed so as to bridge the guide portions 38a and 38b. The guide portions 38a and 38b guide the second fixing portion 35 so that the second fixing portion 35 is located at a position extending along the second direction Dy, slightly below the upper end of the first fixing plate 32.

観察装置10は、電極の観察方向となる第1方向Dzと直交する第3仮想平面P3に沿って移動可能となるように、固定機構30を支持する移動機構40を備えている。移動機構40は、固定機構30を支持する支持板41を備えている。固定機構30は、支持板41に載置されていてもよく、載置された状態で支持板41と固定されていてもよい。 The observation device 10 includes a moving mechanism 40 that supports the fixing mechanism 30 so as to be movable along a third virtual plane P3 that is orthogonal to the first direction Dz that is the observation direction of the electrodes. The moving mechanism 40 includes a support plate 41 that supports the fixing mechanism 30. The fixing mechanism 30 may be mounted on the support plate 41, or may be fixed to the support plate 41 in the mounted state.

移動機構40は、支持板41を第3仮想平面P3に沿って移動可能に支持する支持機構42を備えている。支持機構42は、第1操作部43を操作することにより、支持板41を第3方向Dxに沿って移動可能に構成されている。支持機構42は、第2操作部44を操作することにより、支持板41を第2方向Dyに沿って移動可能に構成されている。この実施形態の移動機構40は、いわゆる多軸ステージである。 The moving mechanism 40 includes a support mechanism 42 that movably supports the support plate 41 along the third virtual plane P3. The support mechanism 42 is configured to be able to move the support plate 41 along the third direction Dx by operating the first operation unit 43. The support mechanism 42 is configured to move the support plate 41 along the second direction Dy by operating the second operation unit 44. The moving mechanism 40 of this embodiment is a so-called multi-axis stage.

次に、観察装置10を用いた電極50の観察方法について、その作用及び効果とともに説明する。
図4に示すように、電極50の観察方法では、準備工程が行われる(ステップS10)。準備工程は、電極50の製造工程(例えば上述した切断工程)から、予め定めた手順にしたがって、試料とする電極50を抜き取る工程である。次に、固定工程が行われる(ステップS11)。固定工程は、電極50を固定機構30によって固定する工程である。
Next, a method of observing the electrode 50 using the observing device 10 will be described together with its action and effect.
As shown in FIG. 4, in the observation method of the electrode 50, a preparation process is performed (step S10). The preparation step is a step of extracting the electrode 50 as a sample from the manufacturing process of the electrode 50 (for example, the cutting process described above) according to a predetermined procedure. Next, a fixing process is performed (step S11). The fixing step is a step of fixing the electrode 50 by the fixing mechanism 30.

図1に示すように、固定工程では、端面53〜56,57a〜57dのうち、観察対象とする端面が顕微鏡20と対向するように、電極50を配置する。固定工程では、案内部38a,38bによって案内しつつ、第2固定部35を第1固定板32に接近させる。これにより、第2固定部35は、磁石37a,37bの磁力によって、第1固定部31に固定される。 As shown in FIG. 1, in the fixing step, the electrode 50 is arranged such that the end surface to be observed of the end surfaces 53 to 56 and 57a to 57d faces the microscope 20. In the fixing step, the second fixing portion 35 is brought closer to the first fixing plate 32 while being guided by the guide portions 38a and 38b. As a result, the second fixing portion 35 is fixed to the first fixing portion 31 by the magnetic force of the magnets 37a and 37b.

このとき、第1固定部31と第2固定部35とは、磁石37a,37bと第1固定板32との間の磁力によって電極50を挟持する。即ち、第1固定部31と第2固定部35とは、磁石37a,37bの磁力によって電極50を固定する。 At this time, the first fixing portion 31 and the second fixing portion 35 sandwich the electrode 50 by the magnetic force between the magnets 37a and 37b and the first fixing plate 32. That is, the first fixing portion 31 and the second fixing portion 35 fix the electrode 50 by the magnetic force of the magnets 37a and 37b.

このように、この実施形態では、第2固定部35が有する磁石37a,37bの磁力によって電極50を固定することができるため、電極の固定作業が簡単になる。また、第2固定部35が有する磁石37a,37bと、磁性部に相当する第1固定部31との間の磁力によって電極50を挟持することから、仮に電極50が非磁性体であっても、簡単に電極50を固定することができるようになる。 As described above, in this embodiment, since the electrode 50 can be fixed by the magnetic force of the magnets 37a and 37b of the second fixing portion 35, the electrode fixing operation is simplified. Further, since the electrode 50 is sandwiched by the magnetic force between the magnets 37a and 37b of the second fixing portion 35 and the first fixing portion 31 corresponding to the magnetic portion, even if the electrode 50 is a non-magnetic body. Therefore, the electrode 50 can be easily fixed.

磁石37a,37bは、第2固定部35の両端部36a,36bにそれぞれあることから、電極50をより確実に固定できる。
また、磁石37a,37bは、保持部材36のうち、電極50から保持部材36の長さ方向に沿って突出する部分にあることから、磁石37a,37bが電極50に接触しないようにできる。したがって、磁石37a,37bと電極50が接触することにより、電極50が傷付いてしまうことを抑制することができる。また、案内部38a,38bによれば、第1固定部31と第2固定部35との相対的な位置を、容易に予め定めた位置とすることができるようになる。
Since the magnets 37a and 37b are provided at both end portions 36a and 36b of the second fixing portion 35, respectively, the electrode 50 can be fixed more reliably.
Further, since the magnets 37a and 37b are located in the portion of the holding member 36 that projects from the electrode 50 along the length direction of the holding member 36, the magnets 37a and 37b can be prevented from contacting the electrode 50. Therefore, it is possible to prevent the electrode 50 from being damaged by the contact between the magnets 37a and 37b and the electrode 50. Moreover, according to the guide portions 38a and 38b, the relative position between the first fixing portion 31 and the second fixing portion 35 can be easily set to a predetermined position.

次に、観察工程が行われる(ステップS12)。観察工程は、顕微鏡20を用いて、電極50の端面を拡大して観察する工程である。観察工程では、移動機構40の第1操作部43を操作することにより、固定機構30ごと支持板41を第3方向Dxに沿って移動させ、顕微鏡20による電極50の観察位置を適切な位置に調節できる。また、観察工程では、移動機構40の第2操作部44を操作することにより、固定機構30ごと支持板41を第2方向Dyに沿って移動させ、顕微鏡20による電極50の観察位置を適切な位置に調節できる。 Next, an observation process is performed (step S12). The observation step is a step of enlarging and observing the end surface of the electrode 50 using the microscope 20. In the observation step, by operating the first operation unit 43 of the moving mechanism 40, the support plate 41 is moved along the fixing mechanism 30 along the third direction Dx, and the observation position of the electrode 50 by the microscope 20 is set to an appropriate position. Can be adjusted. Further, in the observation step, the support plate 41 is moved along the second direction Dy together with the fixing mechanism 30 by operating the second operating portion 44 of the moving mechanism 40, and the observation position of the electrode 50 by the microscope 20 is adjusted appropriately. Can be adjusted in position.

図2(a)に示すように、電極50の端面53〜56,57a〜57dにおいて、予め定めた大きさを超える金属箔51のバリ60が発見されない場合には、電極50は良品と判定できる。図2(b)に示すように、電極50の端面53〜56,57a〜57dにおいて、予め定めた大きさを超える金属箔51のバリ60が発見された場合には、電極50は不良品と判定できる。 As shown in FIG. 2A, when no burr 60 of the metal foil 51 exceeding a predetermined size is found on the end faces 53 to 56 and 57a to 57d of the electrode 50, the electrode 50 can be determined as a good product. .. As shown in FIG. 2B, when a burr 60 of the metal foil 51 exceeding a predetermined size is found on the end faces 53 to 56 and 57a to 57d of the electrode 50, the electrode 50 is a defective product. You can judge.

次に、図4に示すように、判定工程が行われる(ステップS13)。判定工程は、電極50の端面53〜56,57a〜57dのうち、検査対象として定めた端面の全てについて、観察が終了したか否かを判定する工程である。 Next, as shown in FIG. 4, a determination step is performed (step S13). The determination step is a step of determining whether or not the observation is completed for all of the end faces 53 to 56 and 57a to 57d of the electrode 50 that are defined as inspection targets.

全ての観察が終了している場合(ステップS13:YES)、保存工程が行われる(ステップS14)。保存工程は、試料とした電極50を保存する工程である。上述のように、この実施形態の電極50の観察方法は、非破壊で行うことができるため、観察に用いた電極50をそのまま保存試料とすることができる。 When all the observations have been completed (step S13: YES), the storage process is performed (step S14). The storage step is a step of storing the electrode 50 as a sample. As described above, the observation method of the electrode 50 of this embodiment can be performed nondestructively, and thus the electrode 50 used for the observation can be used as it is as a preservation sample.

また、全ての観察が終了していない場合(ステップS13:NO)、上述したステップS11に移行して固定工程が行われる。ステップS13の判定工程から移行した固定工程では、端面53〜56,57a〜57dのうち未だ観察が終了していない端面が顕微鏡20と対向するように、電極50を固定する。 Moreover, when all the observations have not been completed (step S13: NO), the process proceeds to step S11 described above and the fixing step is performed. In the fixing step transferred from the determination step of step S13, the electrode 50 is fixed so that the end surface of the end surfaces 53 to 56, 57a to 57d that has not been observed faces the microscope 20.

以上のように、この実施形態における観察装置10及び検査方法によれば、電極50の観察を簡便にすることができる。
なお、実施形態は、上述した構成に限定されない。例えば、実施形態は、次のように変更してもよい。
As described above, according to the observation device 10 and the inspection method in this embodiment, the observation of the electrode 50 can be simplified.
The embodiment is not limited to the above-mentioned configuration. For example, the embodiment may be modified as follows.

・図5に示すように、第2固定部35は、その全体が磁石であってもよい。また、第2固定部35は、電極50と接触する部分に磁石を備えていてもよい。
・図5に示すように、観察装置10は、複数の第2固定部35を備えていてもよい。
As shown in FIG. 5, the second fixing portion 35 may be a magnet as a whole. In addition, the second fixing portion 35 may include a magnet in a portion that comes into contact with the electrode 50.
-As shown in Drawing 5, observation device 10 may be provided with a plurality of 2nd fixed parts 35.

・図5に示すように、第2固定部35の形状は円盤状などであってもよい。即ち、第2固定部35の形状は適宜変更できる。
・図5に示すように、第1固定部31は、第1方向Dzを含む第1仮想平面P1に沿って配置された部分であって、且つ第1仮想平面P1に沿って回転可能に支持された回転部39を備えていてもよい。回転部39は、固定面32aの反対面に、把手39aを備えているとよい。これによれば、図中において矢印Aに示すように、把手39aを握って回転部39を回転させることで、電極50の姿勢を容易に変更することができる。即ち、回転部39を回転させることにより、電極50のうち所望の観察箇所を所望の位置へと簡便に移動させることができるようになる。
As shown in FIG. 5, the shape of the second fixing portion 35 may be a disc shape or the like. That is, the shape of the second fixing portion 35 can be changed as appropriate.
-As shown in FIG. 5, the 1st fixing|fixed part 31 is a part arrange|positioned along the 1st virtual plane P1 containing the 1st direction Dz, and is rotatably supported along the 1st virtual plane P1. The rotating unit 39 may be provided. The rotating portion 39 may include a handle 39a on the surface opposite to the fixed surface 32a. According to this, as shown by an arrow A in the drawing, the posture of the electrode 50 can be easily changed by gripping the handle 39a and rotating the rotating portion 39. That is, by rotating the rotating portion 39, it becomes possible to easily move the desired observation portion of the electrode 50 to the desired position.

・第1固定部31は、全体が磁性体でなくてもよい。即ち、第1固定部31は、少なくとも一部に磁性体である磁性部を備えておればよい。このように構成しても、第1固定部31の磁性部と、第2固定部35の磁石37a,37bとで電極50を固定できる。 -The 1st fixed part 31 does not need to be a magnetic body entirely. That is, at least a part of the first fixing portion 31 may include a magnetic portion that is a magnetic body. Even with this configuration, the electrode 50 can be fixed by the magnetic portion of the first fixing portion 31 and the magnets 37a and 37b of the second fixing portion 35.

・第1固定部31の磁性部は、磁石であってもよい。
・第2固定部35に対して電極50を固定してもよい。
・第2固定部35は、磁石37a,37bの何れかが省略されていてもよく、3つ以上の磁石を備えていてもよい。
-The magnetic part of the 1st fixed part 31 may be a magnet.
The electrode 50 may be fixed to the second fixing portion 35.
-The 2nd fixing|fixed part 35 may abbreviate|omit either magnet 37a, 37b, and may be equipped with three or more magnets.

・電極50が磁性体である場合には、第1固定部31を挟んで電極50の反対側に第2固定部35を配置してもよい。このように構成しても、磁石37a,37bの磁力によって、電極50を第1固定部31に固定できる。 When the electrode 50 is a magnetic body, the second fixing portion 35 may be arranged on the opposite side of the electrode 50 with the first fixing portion 31 interposed therebetween. Even with this configuration, the electrode 50 can be fixed to the first fixing portion 31 by the magnetic force of the magnets 37a and 37b.

・光学装置としては、顕微鏡20以外の光学装置が採用されてもよい。例えば、観察装置10は、デジタルカメラと該デジタルカメラにより撮像した画像を処理して拡大して表示するモニタとを組み合わせた光学装置を備えていてもよい。 -As the optical device, an optical device other than the microscope 20 may be adopted. For example, the observation device 10 may include an optical device that combines a digital camera and a monitor that processes and magnifies and displays an image captured by the digital camera.

・端面53〜56,57a〜57dを目視によって観察する場合、観察装置10は、顕微鏡20などの光学装置を備えていなくてもよい。
・観察装置10は、移動機構40を備えていなくてもよい。
When observing the end faces 53 to 56 and 57 a to 57 d by visual observation, the observation device 10 does not have to include an optical device such as the microscope 20.
The observation device 10 does not have to include the moving mechanism 40.

・移動機構40は、さらに第1方向Dzに沿って支持板41を移動可能に構成されていてもよい。移動機構40は、方向Dx,Dyのうち何れかの方向に沿って移動可能に構成されていてもよい。 -The moving mechanism 40 may be configured to further move the support plate 41 along the first direction Dz. The moving mechanism 40 may be configured to be movable along any one of the directions Dx and Dy.

・電極50の観察方法は、保存工程を備えていなくてもよい。 The method of observing the electrode 50 does not have to include a storage step.

Dz…第1方向(観察方向)、P1…第1仮想平面、S11…ステップ(電極を固定する工程)、10…観察装置、20…顕微鏡(光学装置)、30…固定機構、31…第1固定部(磁性部)、35…第2固定部、36a…第1端部、37a…磁石、36b…第2端部、38a…第1案内部、38b…第2案内部、39…回転部、40…移動機構、50…電極。 Dz... 1st direction (observation direction), P1... 1st virtual plane, S11... Step (process of fixing an electrode), 10... Observation device, 20... Microscope (optical device), 30... Fixing mechanism, 31... 1st Fixed part (magnetic part), 35... Second fixed part, 36a... First end part, 37a... Magnet, 36b... Second end part, 38a... First guide part, 38b... Second guide part, 39... Rotating part , 40... Moving mechanism, 50... Electrode.

Claims (6)

電極の観察装置であって、
前記電極を固定する固定機構を備え、
前記固定機構は、第1固定部と、磁石を有する第2固定部と、を備え、
前記第1固定部と前記第2固定部とは、前記磁石の磁力によって前記電極を固定しており、
所定の方向に沿った前記第2固定部の長さは、前記所定の方向に沿った前記電極の長さよりも長く、
前記磁石は、前記所定の方向に沿った前記第2固定部の両端部であって、前記電極から前記所定の方向に沿って突出した部分にあることを特徴とする観察装置。
An electrode observation device,
A fixing mechanism for fixing the electrode,
The fixing mechanism includes a first fixing portion and a second fixing portion having a magnet,
The first fixing portion and the second fixing portion fix the electrode by the magnetic force of the magnet ,
The length of the second fixing portion along the predetermined direction is longer than the length of the electrode along the predetermined direction,
The said magnet is in the both ends of the said 2nd fixing|fixed part along the said predetermined direction, and is the part which protruded from the said electrode along the said predetermined direction, The observation apparatus characterized by the above-mentioned .
電極の観察装置であって、
前記電極を固定する固定機構を備え、
前記固定機構は、第1固定部と、磁石を有する第2固定部と、を備え、
前記第1固定部と前記第2固定部とは、前記磁石の磁力によって前記電極を固定しており、
前記第1固定部と前記第2固定部との相対的な位置が予め定めた位置となるように案内する案内部を備えたことを特徴とする観察装置
An electrode observation device,
A fixing mechanism for fixing the electrode,
The fixing mechanism includes a first fixing portion and a second fixing portion having a magnet,
The first fixing portion and the second fixing portion fix the electrode by the magnetic force of the magnet,
An observation apparatus comprising: a guide unit that guides a relative position between the first fixing unit and the second fixing unit to a predetermined position .
電極の観察装置であって、
前記電極を固定する固定機構を備え、
前記固定機構は、第1固定部と、磁石を有する第2固定部と、を備え、
前記第1固定部と前記第2固定部とは、前記磁石の磁力によって前記電極を固定しており、
前記第1固定部は、前記電極の観察方向を含む仮想平面に沿って配置された部分であって、且つ前記仮想平面に沿って回転可能に支持された回転部を備え、
前記電極は、前記回転部に固定されることを特徴とする観察装置
An electrode observation device,
A fixing mechanism for fixing the electrode,
The fixing mechanism includes a first fixing portion and a second fixing portion having a magnet,
The first fixing portion and the second fixing portion fix the electrode by the magnetic force of the magnet,
The first fixed portion is a portion arranged along a virtual plane including the observation direction of the electrode, and includes a rotating portion rotatably supported along the virtual plane,
It said electrodes, observation apparatus characterized by being fixed to the rotating part.
前記第1固定部は、磁性体である磁性部を備え、
前記第1固定部と前記第2固定部とは、前記磁石と前記磁性部との間の磁力によって前記電極を挟持する請求項1〜請求項3のうち何れか一項に記載の観察装置。
The first fixing portion includes a magnetic portion that is a magnetic body,
The observation device according to any one of claims 1 to 3, wherein the first fixing portion and the second fixing portion sandwich the electrode by a magnetic force between the magnet and the magnetic portion.
前記電極を拡大して視認可能とする光学装置と、
前記電極の観察方向と直交する仮想平面に沿って移動可能となるように、前記固定機構を支持する移動機構と、を備えた請求項1〜請求項4のうち何れか一項に記載の観察装置。
An optical device for enlarging and visually recognizing the electrode,
The moving mechanism which supports the said fixing mechanism so that it can move along the virtual plane orthogonal to the observation direction of the said electrode, The observation as described in any one of Claims 1-5. apparatus.
電極の観察方法であって、
固定機構により前記電極を固定する工程を備え、
前記固定機構は、第1固定部と、磁石を有する第2固定部と、を備え、
所定の方向に沿った前記第2固定部の長さは、前記所定の方向に沿った前記電極の長さよりも長く、
前記磁石は、前記所定の方向に沿った前記第2固定部の両端部であって、前記電極から前記所定の方向に沿って突出した部分にあり、
前記電極を固定する工程では、前記磁石の磁力によって、前記第1固定部と前記第2固定部とで前記電極を固定することを特徴とする観察方法。
A method of observing electrodes,
A step of fixing the electrode by a fixing mechanism,
The fixing mechanism includes a first fixing portion and a second fixing portion having a magnet,
The length of the second fixing portion along the predetermined direction is longer than the length of the electrode along the predetermined direction,
The magnets are at both ends of the second fixing portion along the predetermined direction, and are at portions protruding from the electrode along the predetermined direction,
In the step of fixing the electrode, the observation method characterized in that the electrode is fixed by the first fixing portion and the second fixing portion by the magnetic force of the magnet.
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