JP6746463B2 - Console and magnifying observation apparatus including the same - Google Patents

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本発明は、拡大観察装置用のコンソールおよびそれを備える拡大観察装置に関する。 The present invention relates to a console for a magnifying observation device and a magnifying observation device including the console.

観察対象物を拡大して観察するために、拡大観察装置が用いられることがある(例えば特許文献1参照)。特許文献1に記載された拡大観察装置においては、載置部上に観察対象物が載置され、その観察対象物がカメラ部により撮像される。撮像により得られた画像が表示部に表示される。載置部は、ステージ固定機構により水平面内で移動可能かつ上下方向に移動可能に保持される。カメラ部は、焦点を調整するために上下方向に移動可能に構成される。拡大観察装置の操作のために操作部が設けられる。 A magnifying observation device may be used for magnifying and observing an observation object (see, for example, Patent Document 1). In the magnifying observation apparatus described in Patent Document 1, the observation target object is placed on the mounting unit, and the observation target object is imaged by the camera unit. The image obtained by imaging is displayed on the display unit. The mounting portion is held by a stage fixing mechanism so as to be movable in a horizontal plane and vertically movable. The camera unit is configured to be movable up and down in order to adjust the focus. An operation unit is provided for operating the magnifying observation apparatus.

特開2015−127771号公報JP, 2005-1277771, A

上記の特許文献1には、操作部の詳細な構成については記載されていない。拡大観察装置の操作のための操作部には、コンパクト性および良好な操作性が求められる。特に、操作部は、載置部およびカメラ部を含む撮像系とは別体として構成されるため、使用者の直感的な操作により拡大観察装置を操作することが望まれる。 The above-mentioned Patent Document 1 does not describe the detailed configuration of the operation unit. The operation unit for operating the magnifying observation apparatus is required to be compact and have good operability. In particular, since the operation unit is configured as a separate body from the imaging system including the placing unit and the camera unit, it is desired to operate the magnifying observation apparatus by a user's intuitive operation.

本発明の目的は、使用者の直感的な操作により拡大観察装置を操作することが可能であるとともに操作性およびコンパクト性が向上されたコンソールおよびそれを備える拡大観察装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a console capable of operating the magnifying observation device by a user's intuitive operation and having improved operability and compactness, and a magnifying observation device including the console.

(1)第1の発明に係るコンソールは、観察対象物が載置される載置面を有するステージと、載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部とを備える拡大観察装置を操作するために支持面上に載置されて使用可能なコンソールであって、第1部分および第2部分を有する本体部と、第1部分に設けられかつ撮像部による観察対象物の撮像に関する処理を指令するための一または複数のキーを含むキー入力部と、第1部分に設けられかつステージを載置面に平行な面内で移動させるための移動操作部と、第2部分に設けられかつステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を調整するためのダイヤル部とを備え、第2部分は第1部分の側部に設けられ、ダイヤル部は、第2部分の側方を向く回転軸の周りで回転可能に第2部分の側部に設けられ、支持面からの第1部分の厚みは、支持面からの第2部分の厚みよりも小さい。 (1) The console according to the first aspect of the present invention is a magnified observation that includes a stage having a mounting surface on which an observation target object is mounted, and an imaging unit that images the observation target object mounted on the mounting surface. A console mountable on a support surface for operating the device, the main body having a first part and a second part, and imaging of an observation object by the imaging part provided in the first part. Key input unit including one or a plurality of keys for instructing a process relating to, a movement operation unit provided in the first portion for moving the stage in a plane parallel to the mounting surface, and a second portion And a dial portion for adjusting a relative vertical distance of the image pickup portion to the stage, the second portion is provided at a side portion of the first portion, and the dial portion is provided at a side portion of the second portion. Is provided on a side portion of the second portion so as to be rotatable about a rotation axis that faces toward, and the thickness of the first portion from the support surface is smaller than the thickness of the second portion from the support surface.

そのコンソールにおいては、支持面からの第1部分の厚みが支持面からの第2部分の厚みよりも小さいので、第1部分および第2部分が共通の厚みを有する場合に比べてコンソールの大型化が抑制される。また、第1部分に設けられるキー入力部および移動操作部が、第2部分の上端よりも上方に位置しない。そのため、使用者は、支持面に前腕および手首を置いた状態でキー入力部および移動操作部を操作することができる。したがって、観察対象物の撮像に関する処理を指令する操作、およびステージを載置面に平行な面内で移動させる操作を行うときの操作性が向上するとともに使用者の疲労が低減される。 In the console, since the thickness of the first portion from the supporting surface is smaller than the thickness of the second portion from the supporting surface, the console is upsized as compared to the case where the first portion and the second portion have a common thickness. Is suppressed. Further, the key input unit and the movement operation unit provided in the first portion are not located above the upper end of the second portion. Therefore, the user can operate the key input unit and the movement operation unit with the forearm and wrist placed on the support surface. Therefore, the operability when performing the operation of instructing the process related to the imaging of the observation target and the operation of moving the stage in the plane parallel to the mounting surface is improved, and the fatigue of the user is reduced.

また、使用者は、第2部分の側方のダイヤル部を指で把持し、指を上下に動かしてダイヤル部を回転させることにより、ステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を調整することができる。この場合、指の上下動と撮像部の相対的な上下動とが連動しているので、使用者は、直感的に撮像部の相対的な上下動を操作することができる。 Further, the user grasps the dial portion on the side of the second portion with a finger and moves the finger up and down to rotate the dial portion, thereby adjusting the relative vertical distance of the imaging unit with respect to the stage. be able to. In this case, since the vertical movement of the finger and the relative vertical movement of the imaging unit are linked, the user can intuitively operate the relative vertical movement of the imaging unit.

これらの結果、使用者の直感的な操作により拡大観察装置を操作することが可能になるとともに操作性およびコンパクト性が向上される。 As a result, it becomes possible to operate the magnifying observation apparatus by a user's intuitive operation, and operability and compactness are improved.

(2)第1部分は略扁平形状を有してもよい。 (2) The first portion may have a substantially flat shape.

この場合、コンソールが支持面上で安定する。また、使用者は、第1部分の上に指を置いて各種操作を行うことができる。 In this case, the console is stable on the support surface. Further, the user can place various fingers on the first portion to perform various operations.

(3)第1部分は、キー入力部および移動操作部が配置される操作面を有し、支持面からのダイヤル部の上端の高さは支持面からの操作面の高さよりも大きくてもよい。 (3) The first portion has an operation surface on which the key input portion and the movement operation portion are arranged, and even if the height of the upper end of the dial portion from the support surface is larger than the height of the operation surface from the support surface. Good.

この場合、ダイヤル部の下端が支持面から離れるので、ダイヤル部の操作時に使用者の指が支持面に接触することが低減される。したがって、ダイヤル部の操作性が向上される。 In this case, since the lower end of the dial portion is separated from the support surface, it is possible to reduce the contact of the user's finger with the support surface when operating the dial portion. Therefore, the operability of the dial portion is improved.

(4)第2部分は第1部分の操作面から上方へ膨出するように形成されてもよい。 (4) The second portion may be formed so as to bulge upward from the operation surface of the first portion.

この場合、操作面とダイヤル部との間に第2部分が位置するので、操作面に配置されたキー入力部および移動操作部の操作時に使用者の指がダイヤル部に接触することが防止される。また、ダイヤル部の操作時に使用者の指が操作面に配置されたキー入力部および移動操作部のいずれかに接触することが防止される。それにより、誤操作の発生が低減される。 In this case, since the second portion is located between the operation surface and the dial portion, it is possible to prevent the user's finger from touching the dial portion when operating the key input portion and the movement operation portion arranged on the operation surface. It Further, it is possible to prevent the finger of the user from touching either the key input unit or the movement operation unit arranged on the operation surface when the dial unit is operated. This reduces the occurrence of erroneous operations.

(5)第1部分は略直方体形状を有し、ダイヤル部の回転軸は略直方体形状の長辺に平行であってもよい。 (5) The first portion may have a substantially rectangular parallelepiped shape, and the rotation axis of the dial portion may be parallel to the long side of the substantially rectangular parallelepiped shape.

この場合、キー入力部および移動操作部とダイヤル部とが第1部分の長手方向に並ぶ。それにより、使用者は、キー入力部および移動操作部とダイヤル部との位置関係を容易に把握することができる。 In this case, the key input unit, the movement operation unit, and the dial unit are arranged in the longitudinal direction of the first portion. As a result, the user can easily understand the positional relationship between the key input unit, the movement operation unit, and the dial unit.

(6)ダイヤル部は、第1の直径を有する第1のダイヤル部材と、第1の直径よりも小さい第2の直径を有する第2のダイヤル部材とを含み、第1および第2のダイヤル部材は回転軸の周りで回転可能であってもよい。 (6) The dial portion includes a first dial member having a first diameter and a second dial member having a second diameter smaller than the first diameter, and the first and second dial members. May be rotatable about an axis of rotation.

この場合、使用者は、第1および第2のダイヤル部を容易かつ直感的に識別することができる。したがって、第1および第2のダイヤル部の選択的な操作が容易になる。 In this case, the user can easily and intuitively identify the first and second dial portions. Therefore, the selective operation of the first and second dial portions becomes easy.

(7)第1のダイヤル部材および第2のダイヤル部材は、第2部分の側部から側方へこの順序で設けられてもよい。 (7) The first dial member and the second dial member may be provided in this order from the side of the second portion to the side.

この場合、第2のダイヤル部材の第2の直径が第1のダイヤル部材の第1の直径よりも小さいので、第1のダイヤル部材の操作時に使用者の指が第2のダイヤル部材に接触することが低減される。したがって、誤操作の発生が低減される。 In this case, since the second diameter of the second dial member is smaller than the first diameter of the first dial member, the user's finger contacts the second dial member when operating the first dial member. Is reduced. Therefore, the occurrence of erroneous operation is reduced.

(8)第2の発明に係る拡大観察装置は、観察対象物を撮像することにより得られる画像を表示する拡大観察装置であって、観察対象物が載置される載置面を有するステージと、載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部と、ステージを載置面に平行な面内で移動させる移動部と、ステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を変化させる相対距離変化部と、上記のコンソールと、コンソールのキー入力部の操作に応答して撮像部による撮像に関する処理を実行するとともに、移動操作部およびダイヤル部の操作に基づいて移動部および相対距離変化部を制御する制御部とを備える。 (8) A magnifying observation apparatus according to a second aspect of the present invention is a magnifying observation apparatus that displays an image obtained by capturing an image of an observation target, and includes a stage having a mounting surface on which the observation target is mounted. , An image pickup unit for picking up an observation object placed on the placing surface, a moving unit for moving the stage in a plane parallel to the placing surface, and a relative vertical distance of the image pickup unit with respect to the stage. The relative distance changing unit to change, the console, and the processing related to the imaging by the imaging unit in response to the operation of the key input unit of the console, and the moving unit and the relative unit based on the operation of the moving operation unit and the dial unit. And a control unit that controls the distance changing unit.

その拡大観察装置は、上記のコンソールを備える。それにより、ステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を調整する際に、コンソールによる直感的な操作が可能になる。また、拡大観察装置の操作性およびコンパクト性が向上される。 The magnifying observation device includes the console described above. This allows an intuitive operation by the console when adjusting the relative vertical distance of the imaging unit with respect to the stage. In addition, the operability and compactness of the magnifying observation apparatus are improved.

(9)拡大観察装置は、ステージ、移動部、相対距離変化部および撮像部を支持するベースと、ベースの側部に設けられ、ステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を調整するためのベースダイヤル部とを備え、ベースダイヤル部は、ベースの側方を向く回転軸の周りで回転可能にベースの側部に設けられてもよい。 (9) The magnifying observation device is provided on the side of the base that supports the stage, the moving unit, the relative distance changing unit, and the imaging unit, and adjusts the relative vertical distance of the imaging unit with respect to the stage. The base dial portion may be provided on the side portion of the base so as to be rotatable around a rotation axis that faces the side of the base.

この場合、使用者は、ベースの側部のベースダイヤル部を指で把持し、指を上下に動かしてベースダイヤル部を回転させることにより、コンソールのダイヤル部を操作する場合と同じ感覚で直感的に撮像部の相対的な上下動を操作することができる。 In this case, the user grasps the base dial section on the side of the base with his/her finger and moves the finger up and down to rotate the base dial section, which is intuitive and intuitive as with the operation of the dial section of the console. In addition, the relative vertical movement of the image pickup unit can be operated.

本発明によれば、使用者の直感な操作により拡大観察装置を操作することが可能になるとともに操作性およびコンパクト性が向上される。 According to the present invention, the magnifying observation apparatus can be operated by the user's intuitive operation, and the operability and compactness are improved.

本発明の一実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the magnifying observation apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 図1の拡大観察装置の測定ヘッドの正面図である。It is a front view of the measuring head of the magnifying observation apparatus of FIG. 図2の測定ヘッドの平面図である。3 is a plan view of the measuring head of FIG. 2. FIG. 図2の測定ヘッドの側面図である。FIG. 3 is a side view of the measuring head of FIG. 2. 図1の制御装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the control apparatus of FIG. 本発明の一実施の形態に係るコンソールの平面図である。It is a top view of the console concerning one embodiment of the present invention. 図6のコンソールを矢印Aの方向に見た側面図である。It is the side view which looked at the console of FIG. 6 in the direction of the arrow A. 図6のコンソールを矢印Bの方向に見た側面図である。It is the side view which looked at the console of FIG. 6 in the direction of the arrow B. 図6のコンソールを矢印Cの方向に見た側面図である。It is the side view which looked at the console of FIG. 6 in the direction of the arrow C. ダイヤル部の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of a dial portion. ダイヤル部の分解斜視図である。It is an exploded perspective view of a dial part. 図5の演算処理部の構成を示すブロック図である。6 is a block diagram showing a configuration of an arithmetic processing unit in FIG. 5. FIG. (a)は測定ヘッドの外観斜視図であり、(b)は鏡筒部が傾斜する状態を示す模式図である。(A) is an external perspective view of a measuring head, (b) is a schematic diagram which shows the state in which a lens-barrel part inclines.

以下、本発明の一実施の形態に係るコンソールおよびそれを備える拡大観察装置について図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, a console according to an embodiment of the present invention and a magnifying observation apparatus including the console will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示す模式図である。図2は、図1の拡大観察装置1の測定ヘッド100の正面図である。図3は、図2の測定ヘッド100の平面図である。図4は、図2の測定ヘッド100の側面図である。図1に示すように、拡大観察装置1は、測定ヘッド100および処理装置200を備える。 FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a magnifying observation apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view of the measuring head 100 of the magnifying observation apparatus 1 of FIG. FIG. 3 is a plan view of the measuring head 100 of FIG. FIG. 4 is a side view of the measuring head 100 of FIG. As shown in FIG. 1, the magnifying observation apparatus 1 includes a measurement head 100 and a processing device 200.

(1)測定ヘッド
測定ヘッド100は、例えば顕微鏡であり、スタンド部110、ステージ装置120、鏡筒部130、投光部140および制御基板150を含む。図2〜図4においては、鏡筒部130および投光部140の図示が省略される。
(1) Measuring Head The measuring head 100 is, for example, a microscope, and includes a stand unit 110, a stage device 120, a lens barrel unit 130, a light projecting unit 140, and a control board 150. 2 to 4, the lens barrel section 130 and the light projecting section 140 are not shown.

図4に示すように、スタンド部110は、縦断面がL字形状を有し、設置部111、保持部112および焦点駆動部113を含む。設置部111および保持部112は、例えば樹脂により形成される。設置部111は、水平な平板形状を有し、支持面SSに設置される。保持部112は、設置部111の一端部から上方に延びるように設けられる。 As shown in FIG. 4, the stand unit 110 has an L-shaped vertical cross section, and includes an installation unit 111, a holding unit 112, and a focus driving unit 113. The installation portion 111 and the holding portion 112 are made of resin, for example. The installation unit 111 has a horizontal flat plate shape and is installed on the support surface SS. The holding part 112 is provided so as to extend upward from one end of the installation part 111.

図1に示すように、ステージ装置120は、ステージ121およびステージ駆動部122を含む。図2〜図4に示すように、ステージ121は、設置部111の上面に設けられる。ステージ121上には、観察対象物Sが載置される。観察対象物Sが載置されるステージ121上の平面(以下、載置面と呼ぶ。)内で互いに直交する2方向をX方向およびY方向と定義し、それぞれ矢印X,Yで示す。本実施の形態では、X方向およびY方向は、拡大観察装置1の支持面SSに平行である。ステージ121の載置面に対して直交する法線の方向をZ方向と定義し、矢印Zで示す。本実施の形態では、Z方向は、拡大観察装置1の支持面SSに垂直である。Z方向に平行な軸を中心に回転する方向をθ方向と定義し、矢印θで示す。 As shown in FIG. 1, the stage device 120 includes a stage 121 and a stage drive unit 122. As shown in FIGS. 2 to 4, the stage 121 is provided on the upper surface of the installation unit 111. The observation object S is placed on the stage 121. Two directions orthogonal to each other in a plane on the stage 121 on which the observation object S is placed (hereinafter, referred to as a placement surface) are defined as an X direction and a Y direction, which are indicated by arrows X and Y, respectively. In the present embodiment, the X direction and the Y direction are parallel to the support surface SS of the magnifying observation device 1. The direction of a normal line orthogonal to the mounting surface of the stage 121 is defined as the Z direction and is indicated by an arrow Z. In the present embodiment, the Z direction is perpendicular to the support surface SS of the magnifying observation device 1. The direction of rotation about an axis parallel to the Z direction is defined as the θ direction and is indicated by an arrow θ.

図1のステージ駆動部122は、ステッピングモータ等の図示しないアクチュエータを含む。ステージ駆動部122は、制御基板150から与えられる駆動パルスに基づいて、ステージ121をX方向、Y方向もしくはZ方向に移動させるか、またはθ方向に回転させる。また、使用者は、手動によりステージ121をX方向、Y方向もしくはZ方向に移動させるか、またはθ方向に回転させることも可能である。 The stage drive unit 122 in FIG. 1 includes an actuator (not shown) such as a stepping motor. The stage drive unit 122 moves the stage 121 in the X direction, the Y direction, or the Z direction, or rotates it in the θ direction, based on the drive pulse given from the control board 150. The user can also manually move the stage 121 in the X direction, Y direction, or Z direction, or rotate it in the θ direction.

図1に示すように、鏡筒部130は、レンズユニット131および撮像部132を含み、ステージ121の上方に配置される。レンズユニット131は、観察対象物Sの種類に応じて他のレンズユニットと交換可能である。レンズユニット131は、対物レンズ131aおよび図示しない複数のレンズにより構成される。対物レンズ131aの光軸A1は、Z方向に平行である。撮像部132は、例えばCMOS(相補性金属酸化膜半導体)カメラを含む。撮像部132は、CCD(電荷結合素子)カメラ等の他のカメラを含んでもよい。 As shown in FIG. 1, the lens barrel section 130 includes a lens unit 131 and an imaging section 132, and is arranged above the stage 121. The lens unit 131 can be replaced with another lens unit depending on the type of the observation object S. The lens unit 131 includes an objective lens 131a and a plurality of lenses (not shown). The optical axis A1 of the objective lens 131a is parallel to the Z direction. The image pickup unit 132 includes, for example, a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) camera. The imaging unit 132 may include another camera such as a CCD (charge coupled device) camera.

鏡筒部130は、スタンド部110の焦点駆動部113により保持部112に取り付けられる。本例の焦点駆動部113は、ステッピングモータを含む。焦点駆動部113は、制御基板150から与えられる駆動パルスに基づいて、鏡筒部130を対物レンズ131aの光軸A1の方向(Z方向)に移動させる。これにより、レンズユニット131を通過した光の焦点位置がZ方向に変化する。 The lens barrel section 130 is attached to the holding section 112 by the focus driving section 113 of the stand section 110. The focus drive unit 113 of this example includes a stepping motor. The focus drive unit 113 moves the lens barrel unit 130 in the direction of the optical axis A1 (Z direction) of the objective lens 131a based on the drive pulse given from the control substrate 150. As a result, the focal position of the light passing through the lens unit 131 changes in the Z direction.

図1および図2に示すように、保持部112には、ステージ121よりも上方の位置に、鏡筒部130を対物レンズ131aの光軸A1の方向に沿って移動させるためのベースダイヤル部115が設けられている。また、ベースダイヤル部115の近傍に回転受付部116が設けられている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the holding part 112 has a base dial part 115 for moving the lens barrel part 130 to a position above the stage 121 along the direction of the optical axis A1 of the objective lens 131a. Is provided. Further, a rotation receiving unit 116 is provided near the base dial unit 115.

ベースダイヤル部115は、撮像部132を大きい移動量で移動させるための粗調整ダイヤル115Aと、撮像部132を小さい移動量で移動させるための微調整ダイヤル115Bとを含む。さらに、ベースダイヤル部115は、粗調整ダイヤル115Aおよび微調整ダイヤル115Bにそれぞれ対応する2つのエンコーダ(図示せず)を含む。 The base dial unit 115 includes a coarse adjustment dial 115A for moving the image pickup unit 132 with a large movement amount and a fine adjustment dial 115B for moving the image pickup unit 132 with a small movement amount. Further, the base dial unit 115 includes two encoders (not shown) corresponding to the coarse adjustment dial 115A and the fine adjustment dial 115B, respectively.

粗調整ダイヤル115Aおよび微調整ダイヤル115Bは、扁平な円柱形状を有し、保持部112の側方を向く回転軸A10の周りで回転可能に保持部112の側部に設けられている。本実施の形態では、回転軸A10はX方向に平行である。また、粗調整ダイヤル115Aおよび微調整ダイヤル115Bは、この順序で保持部112の側部から側方へ離れるように並ぶ。粗調整ダイヤル115Aの直径は、微調整ダイヤル115Bの直径よりも大きい。 The coarse adjustment dial 115A and the fine adjustment dial 115B have a flat columnar shape, and are provided on the side portions of the holding portion 112 rotatably around a rotation axis A10 that faces the side of the holding portion 112. In the present embodiment, the rotation axis A10 is parallel to the X direction. The coarse adjustment dial 115A and the fine adjustment dial 115B are arranged in this order so as to be separated from the side portion of the holding portion 112 to the side. The diameter of the coarse adjustment dial 115A is larger than the diameter of the fine adjustment dial 115B.

回転受付部116は、例えばCPLD(Complex Programmable Logic Device)等の集積回路により構成される。回転受付部116は、ベースダイヤル部115に設けられる2つのエンコーダからの出力に基づいて、各ダイヤルの回転方向および回転量を示す信号を制御基板150を通して後述する図5の制御部410に出力する。それにより、焦点駆動部113が後述する図5の焦点制御部830により制御され、鏡筒部130が光軸A1の方向に移動する。 The rotation acceptance unit 116 is configured by an integrated circuit such as CPLD (Complex Programmable Logic Device). The rotation reception unit 116 outputs a signal indicating the rotation direction and rotation amount of each dial to the control unit 410 of FIG. 5, which will be described later, through the control board 150, based on the outputs from the two encoders provided in the base dial unit 115. .. As a result, the focus drive unit 113 is controlled by the focus control unit 830 in FIG. 5 described later, and the lens barrel unit 130 moves in the direction of the optical axis A1.

例えば、使用者が、粗調整ダイヤル115Aを指で把持し、指を上下に動かして粗調整ダイヤル115Aを一方向(または逆方向)に一定量回転させる。この場合、粗調整ダイヤル115Aの回転方向に対応する方向に鏡筒部130が大きく移動する。また、使用者が、微調整ダイヤル115Bを指で把持し、指を上下に動かして微調整ダイヤル115Bを一方向(または逆方向)に一定量回転させる。この場合、微調整ダイヤル115Bの回転方向に対応する方向に鏡筒部130が小さく移動する。 For example, the user holds the coarse adjustment dial 115A with a finger and moves the finger up and down to rotate the coarse adjustment dial 115A in one direction (or in the opposite direction) by a certain amount. In this case, the lens barrel section 130 moves largely in the direction corresponding to the rotation direction of the rough adjustment dial 115A. Further, the user holds the fine adjustment dial 115B with a finger and moves the finger up and down to rotate the fine adjustment dial 115B in one direction (or in the opposite direction) by a certain amount. In this case, the lens barrel unit 130 moves a small amount in the direction corresponding to the rotation direction of the fine adjustment dial 115B.

投光部140は、対物レンズ131aの光軸A1を取り囲むようにレンズユニット131に一体的に取り付けられる。これにより、投光部140とレンズユニット131との位置関係を一意的に決定することができる。また、拡大観察装置1に投光部140を保持する部材を追加する必要がないので、拡大観察装置1をコンパクト化することができる。 The light projecting section 140 is integrally attached to the lens unit 131 so as to surround the optical axis A1 of the objective lens 131a. Thereby, the positional relationship between the light projecting section 140 and the lens unit 131 can be uniquely determined. Further, since it is not necessary to add a member for holding the light projecting section 140 to the magnifying observation device 1, the magnifying observation device 1 can be made compact.

投光部140からステージ121上の観察対象物Sに光が照射される。観察対象物Sによりステージ121の上方に反射された光は、レンズユニット131により集光および結像された後、撮像部132により受光される。撮像部132は、各画素の受光量に対応する画素データに基づいて画像データを生成する。撮像部132は、生成した複数の画像データを処理装置200に与える。 Light is emitted from the light projecting unit 140 to the observation object S on the stage 121. The light reflected above the stage 121 by the observation target S is condensed and imaged by the lens unit 131, and then received by the imaging unit 132. The imaging unit 132 generates image data based on pixel data corresponding to the amount of light received by each pixel. The imaging unit 132 gives the generated plurality of image data to the processing device 200.

制御基板150は、例えばスタンド部110の保持部112内に設けられ、焦点駆動部113、ステージ駆動部122、撮像部132および回転受付部116に接続される。制御基板150は、処理装置200による制御に基づいて焦点駆動部113およびステージ駆動部122の動作を制御する。撮像部132には、処理装置200から制御信号が入力される。また、撮像部132により生成された画像データは、ケーブル203を介して順次処理装置200に与えられる。 The control board 150 is provided in, for example, the holding unit 112 of the stand unit 110, and is connected to the focus drive unit 113, the stage drive unit 122, the imaging unit 132, and the rotation reception unit 116. The control board 150 controls the operations of the focus driving unit 113 and the stage driving unit 122 based on the control of the processing device 200. A control signal is input from the processing device 200 to the imaging unit 132. Further, the image data generated by the image pickup unit 132 is sequentially given to the processing device 200 via the cable 203.

(2)処理装置
図1に示すように、処理装置200は、筐体210、光生成部300および制御装置400を含む。筐体210は、光生成部300と、制御装置400のうち後述するコンソール500(図5)を除く部分とを収容する。光生成部300は、ファイバユニット201により測定ヘッド100の投光部140に光学的に接続される。ファイバユニット201は、図示しない複数の光ファイバを含む。
(2) Processing Device As shown in FIG. 1, the processing device 200 includes a housing 210, a light generation unit 300, and a control device 400. The housing 210 accommodates the light generation unit 300 and a part of the control device 400 excluding a console 500 (FIG. 5) described later. The light generating section 300 is optically connected to the light projecting section 140 of the measuring head 100 by the fiber unit 201. The fiber unit 201 includes a plurality of optical fibers (not shown).

光生成部300は、光源310および遮光部320を含む。光源310は、例えばLED(発光ダイオード)である。光源310は、ハロゲンランプ等の他の光源であってもよい。遮光部320は、光源310により出射される光を部分的に遮光可能に光源310とファイバユニット201との間に配置される。光源310により出射された光は、遮光部320を通過してファイバユニット201へ入射する。これにより、ファイバユニット201を通して測定ヘッド100の投光部140から光が出射される。 The light generator 300 includes a light source 310 and a light shield 320. The light source 310 is, for example, an LED (light emitting diode). The light source 310 may be another light source such as a halogen lamp. The light blocking section 320 is arranged between the light source 310 and the fiber unit 201 so as to partially block the light emitted by the light source 310. The light emitted by the light source 310 passes through the light blocking portion 320 and enters the fiber unit 201. As a result, light is emitted from the light projecting section 140 of the measuring head 100 through the fiber unit 201.

図5は、図1の制御装置400の構成を示すブロック図である。図5に示すように、制御装置400は、制御部410、記憶部420、表示部430および操作部440を含む。制御部410は、例えばCPU(中央演算処理装置)を含む。記憶部420は、例えばROM(リードオンリメモリ)、RAM(ランダムアクセスメモリ)またはHDD(ハードディスクドライブ)を含む。本実施の形態においては、制御部410および記憶部420は、パーソナルコンピュータにより実現される。 FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of the control device 400 of FIG. As shown in FIG. 5, the control device 400 includes a control unit 410, a storage unit 420, a display unit 430, and an operation unit 440. The control unit 410 includes, for example, a CPU (central processing unit). The storage unit 420 includes, for example, a ROM (read only memory), a RAM (random access memory) or an HDD (hard disk drive). In the present embodiment, control unit 410 and storage unit 420 are realized by a personal computer.

制御部410は、駆動制御部800および演算処理部900を含む。記憶部420には、システムプログラムが記憶される。また、記憶部420は、種々のデータの処理および制御部410から与えられる種々のデータの保存のために用いられる。駆動制御部800および演算処理部900の機能は、制御部410が記憶部420に記憶されるシステムプログラムを実行することにより実現される。 The control unit 410 includes a drive control unit 800 and a calculation processing unit 900. The storage unit 420 stores a system program. The storage unit 420 is also used for processing various data and storing various data provided from the control unit 410. The functions of the drive control unit 800 and the arithmetic processing unit 900 are realized by the control unit 410 executing a system program stored in the storage unit 420.

駆動制御部800は、投光制御部810、撮像制御部820、焦点制御部830およびステージ制御部840を含む。投光制御部810は、ケーブル202を通して図1の光生成部300に接続され、光生成部300の動作を制御する。撮像制御部820、焦点制御部830およびステージ制御部840は、ケーブル203を通して図1の測定ヘッド100の制御基板150に接続される。 The drive control unit 800 includes a light projection control unit 810, an image pickup control unit 820, a focus control unit 830, and a stage control unit 840. The light projection control unit 810 is connected to the light generation unit 300 of FIG. 1 through the cable 202 and controls the operation of the light generation unit 300. The imaging control unit 820, the focus control unit 830, and the stage control unit 840 are connected to the control board 150 of the measurement head 100 of FIG.

撮像制御部820、焦点制御部830およびステージ制御部840は、制御基板150を通して撮像部132、焦点駆動部113およびステージ駆動部122の動作をそれぞれ制御する。また、撮像制御部820は、撮像部132により生成された画像データを順次演算処理部900に与える。 The imaging control unit 820, the focus control unit 830, and the stage control unit 840 respectively control the operations of the imaging unit 132, the focus drive unit 113, and the stage drive unit 122 through the control board 150. The imaging control unit 820 also sequentially supplies the image data generated by the imaging unit 132 to the arithmetic processing unit 900.

演算処理部900は、撮像制御部820により与えられる画像データに基づく画像を表示部430に表示させる。また、演算処理部900は、例えば操作部440から与えられる指令等に応答して、指令に応じた各種処理を行う。演算処理部900の詳細については後述する。演算処理部900により取得された画像データは、記憶部420に記憶される。 The arithmetic processing unit 900 causes the display unit 430 to display an image based on the image data provided by the imaging control unit 820. Further, the arithmetic processing unit 900 responds to a command or the like given from the operation unit 440, for example, and performs various processes according to the command. Details of the arithmetic processing unit 900 will be described later. The image data acquired by the arithmetic processing unit 900 is stored in the storage unit 420.

表示部430は、例えばLCD(液晶ディスプレイ)パネルにより構成される。表示部430は、有機EL(エレクトロルミネッセンス)パネル等の他の表示部により構成されてもよい。上記のように、表示部430は、制御部410の制御に基づいて撮像により取得された画像データに基づく観察対象物Sの画像等を表示する。 The display unit 430 includes, for example, an LCD (liquid crystal display) panel. The display unit 430 may be configured by another display unit such as an organic EL (electroluminescence) panel. As described above, the display unit 430 displays the image of the observation target S based on the image data acquired by imaging under the control of the control unit 410.

操作部440は、マウス、タッチパネル、トラックボールまたはジョイスティック等のポインティングデバイスおよびキーボードを含むとともに、本発明の一実施の形態に係るコンソールを含む。使用者が操作部440を操作することにより、制御装置400に各種指令等が与えられる。 Operation unit 440 includes a mouse, a touch panel, a pointing device such as a trackball or a joystick, and a keyboard, and also includes a console according to an embodiment of the present invention. Various commands and the like are given to the control device 400 by the user operating the operation unit 440.

(3)コンソール
図6は、本発明の一実施の形態に係るコンソール500の平面図であり、図7は図6のコンソール500を矢印Aの方向に見た側面図であり、図8は図6のコンソール500を矢印Bの方向に見た側面図であり、図9は図6のコンソール500を矢印Cの方向に見た側面図である。
(3) Console FIG. 6 is a plan view of the console 500 according to the embodiment of the present invention, FIG. 7 is a side view of the console 500 of FIG. 6 viewed in the direction of arrow A, and FIG. 6 is a side view of the console 500 of FIG. 6 viewed in the direction of arrow B, and FIG. 9 is a side view of the console 500 of FIG. 6 viewed in the direction of arrow C.

図6および図7に示すように、コンソール500は、第1部分510および第2部分550を有し、図1の支持面SS上に載置される。第1部分510は、扁平な直方体形状を有する。第2部分550は、第1部分510の長辺の方向(長手方向)に並ぶように、第1部分510の側部に設けられている。 As shown in FIGS. 6 and 7, the console 500 has a first portion 510 and a second portion 550, and is placed on the support surface SS of FIG. The first portion 510 has a flat rectangular parallelepiped shape. The second portion 550 is provided on the side portion of the first portion 510 so as to be aligned in the direction of the long side of the first portion 510 (longitudinal direction).

本実施の形態に係るコンソール500は、例えば第1部分510の長手方向が使用者の左右方向に延びるように配置された状態で、使用者により操作される。以下の説明では、第1部分510の短手方向における両端部のうち使用者によるコンソール500の操作時に使用者に近い位置にある一方の端部を手前部510Nと呼び、使用者から遠い位置にある他方の端部を奥部510Fと呼ぶ。また、奥部510Fから手前部510Nに向く方向を手前と呼び、手前部510Nから奥部510Fに向く方向を奥と呼ぶ。 The console 500 according to the present embodiment is operated by the user, for example, in a state where the longitudinal direction of the first portion 510 is arranged so as to extend in the left-right direction of the user. In the following description, one of the both ends in the lateral direction of the first portion 510, which is closer to the user when the user operates the console 500, is referred to as a front part 510N, and is located far from the user. The other end is referred to as a back portion 510F. Further, the direction from the back portion 510F to the front portion 510N is called front, and the direction from the front portion 510N to the back portion 510F is called back.

図6、図8および図9に示すように、第1部分510の長手方向における奥部510Fの中央部分にケーブル204が接続されている。ケーブル204は、図5の制御部410に接続される。 As shown in FIGS. 6, 8 and 9, the cable 204 is connected to the central portion of the inner portion 510F in the longitudinal direction of the first portion 510. The cable 204 is connected to the control unit 410 in FIG.

図6および図7に二点鎖線で示すように、第1部分510は上面の一部に操作面511を有する。図7および図9に示すように、操作面511は、斜め手前上方を向くように、第1部分510の短手方向おいて支持面SSに対してわずかに傾斜している。それにより、支持面SSからの第1部分510の奥部510Fの厚みは、支持面SSからの第1部分510の手前部510Nの厚みに比べて大きい。 As shown by the chain double-dashed line in FIGS. 6 and 7, the first portion 510 has an operation surface 511 on a part of the upper surface. As shown in FIGS. 7 and 9, the operation surface 511 is slightly inclined with respect to the support surface SS in the lateral direction of the first portion 510 so as to face obliquely upward and upward. As a result, the thickness of the inner portion 510F of the first portion 510 from the support surface SS is larger than the thickness of the front portion 510N of the first portion 510 from the support surface SS.

図6に示すように、操作面511には、円形状を有する複数(本例では、11個)のキー520、矩形状を有する複数(本例では、8個)のキー530、ジョイスティック540およびダイヤル541が配置されている。使用者は、複数のキー520,530、ジョイスティック540およびダイヤル541を操作することにより、制御装置400に種々の指令を与えることができる。 As shown in FIG. 6, on the operation surface 511, a plurality (11 in this example) of keys 520 having a circular shape, a plurality (8 in this example) of keys 530 having a rectangular shape, a joystick 540, and A dial 541 is arranged. The user can give various commands to the control device 400 by operating the plurality of keys 520, 530, the joystick 540 and the dial 541.

操作面511は、3つの領域511A,511B,511Cに分けられる。領域511A,511B,511Cは、この順序で第2部分550から離れるように第1部分510の長手方向に並ぶ。 The operation surface 511 is divided into three areas 511A, 511B, 511C. The regions 511A, 511B, and 511C are arranged in the longitudinal direction of the first portion 510 so as to be separated from the second portion 550 in this order.

領域511Aには、ジョイスティック540、ダイヤル541および複数(本例では6個)のキー520が設けられる。領域511Aのジョイスティック540、ダイヤル541および複数のキー520は、主として観察対象物Sの撮像条件を調整する指令を図5の制御部410に与えるために用いられる。 A joystick 540, a dial 541 and a plurality of (six in this example) keys 520 are provided in the area 511A. The joystick 540, the dial 541 and the plurality of keys 520 in the area 511A are mainly used to give a command for adjusting the imaging condition of the observation object S to the control unit 410 in FIG.

具体的には、ジョイスティック540は、図1のステージ121をX方向またはY方向に移動させる指令を図5の制御部410に与えるために用いられる。ダイヤル541は、操作面511に直交する回転軸の周りで回転可能に設けられ、観察対象物Sの画像の明るさを調整する指令を図5の制御部410に与えるために用いられる。なお、ジョイスティック540は、奥部510Fの近傍に位置する。また、ダイヤル541は、ジョイスティック540よりも手前で手前部510Nの近傍に位置する。それにより、観察対象物Sの画像の明るさの調整時に、使用者の指がジョイスティック540に接触することが防止され、誤操作が防止される。 Specifically, the joystick 540 is used to give a command to move the stage 121 in FIG. 1 in the X direction or the Y direction to the control unit 410 in FIG. The dial 541 is rotatably provided around a rotation axis orthogonal to the operation surface 511, and is used to give a command for adjusting the brightness of the image of the observation object S to the control unit 410 in FIG. 5. The joystick 540 is located near the back part 510F. Further, the dial 541 is located in front of the joystick 540 and in the vicinity of the front portion 510N. This prevents the user's finger from touching the joystick 540 when adjusting the brightness of the image of the observation object S, and prevents an erroneous operation.

領域511Aに設けられる複数のキー520は、例えば、図1の投光部140による照明のオンおよびオフの切替指令キー、図1の投光部140から観察対象物Sに複数の出射方向の光を切り替えて照射させるための照明の切替指令キー、ホワイトバランスの調整指令キー、および図1のステージ121を予め定められた位置に戻すための原点移動指令キーを含む。 The plurality of keys 520 provided in the area 511A are, for example, a command key for switching on and off of illumination by the light projecting unit 140 in FIG. 1, light in a plurality of emitting directions from the light projecting unit 140 to the observation target S in FIG. 1 includes an illumination switching command key for switching and irradiating, a white balance adjustment command key, and an origin movement command key for returning the stage 121 of FIG. 1 to a predetermined position.

領域511Bには、複数(本例では4個)のキー520および複数(本例では6個)のキー530が設けられる。領域511Bの複数のキー520,530は、主として観察対象物Sの撮像に関する処理の実行指令を図5の制御部410に与えるために用いられる。 A plurality (four in this example) of keys 520 and a plurality (six in this example) of keys 530 are provided in the area 511B. The plurality of keys 520 and 530 in the area 511B are mainly used to give the control unit 410 of FIG. 5 an execution command of a process relating to imaging of the observation object S.

領域511Bに設けられる複数のキー520は、例えば、振動による画像の乱れを抑制する手振れ補正処理の実行指令キー、図5の表示部430にスケールを表示させる処理の実行指令キー、および図5の表示部430の画面全体に観察対象物Sの画像を表示させる処理の実行指令キーを含む。 The plurality of keys 520 provided in the area 511B include, for example, an image stabilization command execution command key that suppresses image distortion due to vibration, a process execution command key that displays a scale on the display unit 430 of FIG. It includes an execution command key for a process of displaying an image of the observation object S on the entire screen of the display unit 430.

また、領域511Bに設けられる複数のキー530は、例えば、オートフォーカス処理の実行指令キー、観察対象物Sの画像に発生するハレーションを除去する処理の実行指令キー、画像の解像度を向上させる処理の実行指令キー、複数の画像を連結する処理の実行指令キー、ダイナミックレンジを調整する処理の実行指令キー、および観察対象物Sの全部分に合焦した画像データを生成するとともに観察対象物Sの立体形状を取得する処理の実行指令キーを含む。 The plurality of keys 530 provided in the area 511B are, for example, an execution command key for an autofocus process, an execution command key for removing halation generated in the image of the observation object S, and a process for improving the resolution of the image. The execution command key, the execution command key for the process of connecting a plurality of images, the execution command key for the process of adjusting the dynamic range, and the image data focused on all parts of the observation object S are generated and It includes an execution command key for a process of acquiring a three-dimensional shape.

一般的なリモートコントローラ等の操作面においては、使用者が操作面を見て操作面の上端かつ左端の角部近傍に使用頻度が高いと想定されるキーが設けられる。そこで、領域511A,511B,511Cのうち使用者から見て最も左側に位置する領域511Cには、観察対象物Sの撮像に関する処理の中で使用頻度が高いと想定される処理の実行指令を図5の制御部410に与えるためのキーが設けられる。 On an operation surface of a general remote controller or the like, a key which is assumed to be frequently used is provided near the upper end and the left end corner of the operation surface when a user looks at the operation surface. Therefore, among the regions 511A, 511B, and 511C, the region 511C located on the leftmost side from the user is provided with an execution command of a process that is assumed to be frequently used in the process related to the imaging of the observation object S. 5 is provided for giving to the control unit 410.

本例の領域511Cには、1個のキー520および複数(本例では2個)のキー530が設けられる。領域511Cに設けられるキー520は、例えば、拡大観察装置1を電源投入時の初期状態に戻す処理の実行指令キーである。このキー520は、領域511Cの最も奥に位置する。また、領域511Cに設けられる複数のキー530は、例えば、取得される画像データを順次図1の記憶部420に記憶させる処理を指令するための撮像指令キー、および画像データの記憶処理の一時停止を指令するための一時停止指令キーを含む。 In the area 511C of this example, one key 520 and a plurality of (two in this example) keys 530 are provided. A key 520 provided in the area 511C is, for example, an execution command key for a process of returning the magnification observation apparatus 1 to the initial state when the power is turned on. The key 520 is located at the innermost position of the area 511C. The plurality of keys 530 provided in the area 511C are, for example, an imaging command key for instructing a process of sequentially storing the acquired image data in the storage unit 420 of FIG. 1, and a temporary stop of the image data storage process. Includes a pause command key for commanding.

図7に示すように、第2部分550は、第1部分510の側方で第1部分510の操作面511から上方へ膨出するように形成されている。また、第1部分510および第2部分550は共通の底面を有する。それにより、支持面SSからの第1部分510の厚みは、支持面SSからの第2部分550の厚みよりも小さい。第2部分550には、図1の鏡筒部130を対物レンズ131aの光軸A1に沿って移動させるためのダイヤル部560が設けられている。また、ダイヤル部560の近傍に回転受付部590が設けられている。 As shown in FIG. 7, the second portion 550 is formed on the side of the first portion 510 so as to bulge upward from the operation surface 511 of the first portion 510. Also, the first portion 510 and the second portion 550 have a common bottom surface. Thereby, the thickness of the first portion 510 from the support surface SS is smaller than the thickness of the second portion 550 from the support surface SS. The second portion 550 is provided with a dial portion 560 for moving the lens barrel portion 130 of FIG. 1 along the optical axis A1 of the objective lens 131a. Further, a rotation receiving unit 590 is provided near the dial unit 560.

ダイヤル部560は、図1のベースダイヤル部115と同様に、粗調整ダイヤル560Aおよび微調整ダイヤル560Bを含む。また、ダイヤル部560は、粗調整ダイヤル560Aおよび微調整ダイヤル560Bにそれぞれ対応する後述する2つのエンコーダE1,E2(図10)を含む。 The dial unit 560 includes a coarse adjustment dial 560A and a fine adjustment dial 560B, similar to the base dial unit 115 of FIG. The dial unit 560 also includes two encoders E1 and E2 (FIG. 10), which will be described later, respectively corresponding to the coarse adjustment dial 560A and the fine adjustment dial 560B.

粗調整ダイヤル560Aおよび微調整ダイヤル560Bは、図1の粗調整ダイヤル115Aおよび微調整ダイヤル115Bと基本的に同じ形状および大きさを有する。具体的には、粗調整ダイヤル560Aおよび微調整ダイヤル560Bは、扁平な円柱形状を有し、第2部分550の側方を向く回転軸A20の周りで回転可能に第2部分550の側部に設けられている。本実施の形態では、回転軸A20は支持面SSに平行であるとともに、第1部分510の長手方向に平行である。 Coarse adjustment dial 560A and fine adjustment dial 560B have basically the same shape and size as coarse adjustment dial 115A and fine adjustment dial 115B in FIG. Specifically, the coarse adjustment dial 560A and the fine adjustment dial 560B have a flat columnar shape and are rotatably attached to the side portion of the second portion 550 so as to be rotatable around the rotation axis A20 that faces the second portion 550. It is provided. In the present embodiment, rotation axis A20 is parallel to support surface SS and is parallel to the longitudinal direction of first portion 510.

図8に示すように、粗調整ダイヤル115Aの直径は、微調整ダイヤル115Bの直径よりも大きい。これにより、使用者は、粗調整ダイヤル115Aと微調整ダイヤル115Bとを容易かつ直感的に識別することができる。したがって、粗調整ダイヤル115Aおよび微調整ダイヤル115Bの選択的な操作が容易になる。 As shown in FIG. 8, the diameter of the coarse adjustment dial 115A is larger than the diameter of the fine adjustment dial 115B. This allows the user to easily and intuitively distinguish between the coarse adjustment dial 115A and the fine adjustment dial 115B. Therefore, it becomes easy to selectively operate the coarse adjustment dial 115A and the fine adjustment dial 115B.

また、図6に示すように、粗調整ダイヤル560Aおよび微調整ダイヤル560Bは、この順序で第2部分550の側部から側方へ離れるように並ぶ。この場合、微調整ダイヤル115Bの直径が粗調整ダイヤル115Aの直径よりも小さいので、粗調整ダイヤル115Aの操作時に使用者の指が微調整ダイヤル115Bに接触することが低減される。したがって、誤操作の発生が低減される。 Further, as shown in FIG. 6, the coarse adjustment dial 560A and the fine adjustment dial 560B are arranged in this order so as to be separated laterally from the side portion of the second portion 550. In this case, since the diameter of the fine adjustment dial 115B is smaller than the diameter of the coarse adjustment dial 115A, it is possible to reduce the contact of the user's finger with the fine adjustment dial 115B when operating the coarse adjustment dial 115A. Therefore, the occurrence of erroneous operation is reduced.

回転受付部590は、例えばマイクロコンピュータにより構成され、第2部分550の内部に収容されている。回転受付部590は、ダイヤル部560に設けられる2つのエンコーダE1,E2(図10)からの出力に基づいて、各ダイヤルの回転方向および回転量を示す信号を図5の制御部410に出力する。それにより、図1の焦点駆動部113が図5の焦点制御部830により制御され、図1の鏡筒部130が光軸A1の方向に移動する。 The rotation reception unit 590 is configured by, for example, a microcomputer, and is housed inside the second portion 550. The rotation acceptance unit 590 outputs a signal indicating the rotation direction and rotation amount of each dial to the control unit 410 of FIG. 5, based on the outputs from the two encoders E1 and E2 (FIG. 10) provided in the dial unit 560. .. As a result, the focus drive unit 113 in FIG. 1 is controlled by the focus control unit 830 in FIG. 5, and the lens barrel unit 130 in FIG. 1 moves in the direction of the optical axis A1.

例えば、使用者が、図1の粗調整ダイヤル115Aに代えて粗調整ダイヤル560Aを指で把持し、指を上下に動かして粗調整ダイヤル560Aを一方向(または逆方向)に一定量回転させる。この場合、粗調整ダイヤル560Aの回転方向に対応する方向に鏡筒部130が大きく移動する。また、使用者が、図1の微調整ダイヤル115Bに代えて微調整ダイヤル560Bを指で把持し、指を上下に動かして一方向(または逆方向)に一定量回転させる。この場合、微調整ダイヤル560Bの回転方向に対応する方向に鏡筒部130が小さく移動する。 For example, the user grips the coarse adjustment dial 560A with a finger instead of the coarse adjustment dial 115A in FIG. 1, and moves the finger up and down to rotate the coarse adjustment dial 560A by a certain amount in one direction (or in the opposite direction). In this case, the lens barrel unit 130 moves largely in the direction corresponding to the rotation direction of the rough adjustment dial 560A. Further, the user grips the fine adjustment dial 560B with the finger instead of the fine adjustment dial 115B of FIG. 1, and moves the finger up and down to rotate the fine adjustment dial 560B in one direction (or the opposite direction) by a certain amount. In this case, the lens barrel unit 130 moves a small amount in the direction corresponding to the rotation direction of the fine adjustment dial 560B.

(4)コンソールの形状に関する各種特徴
第1部分510は、扁平な直方体形状を有する。それにより、コンソール500が支持面SS上で安定して載置される。また、使用者は、第1部分510上に指をおいて各種操作を行うことができる。
(4) Various Features Regarding Shape of Console The first portion 510 has a flat rectangular parallelepiped shape. Thereby, the console 500 is stably placed on the support surface SS. Also, the user can perform various operations by placing his/her finger on the first portion 510.

支持面SSからのダイヤル部560の上端の高さは、支持面SSからの操作面511の高さよりも大きい。この場合、ダイヤル部560の下端が支持面SSから離れるので、ダイヤル部560の操作時に使用者の指が支持面SSに接触することが低減される。したがって、ダイヤル部560の操作性が向上される。 The height of the upper end of the dial portion 560 from the support surface SS is larger than the height of the operation surface 511 from the support surface SS. In this case, since the lower end of the dial portion 560 is separated from the support surface SS, the finger of the user is less likely to come into contact with the support surface SS when operating the dial portion 560. Therefore, the operability of the dial portion 560 is improved.

操作面511上の複数のキー520,530、ジョイスティック540およびダイヤル541と、ダイヤル部560との間に、操作面511から上方へ膨出する第2部分550が位置する。このような構成により、複数のキー520,530、ジョイスティック540およびダイヤル541の操作時に、使用者の指がダイヤル部560に接触することが防止される。また、ダイヤル部560の操作時に、使用者の指が複数のキー520,530、ジョイスティック540およびダイヤル541のいずれかに接触することが防止される。したがって、誤操作の発生が低減される。 A second portion 550 that bulges upward from the operation surface 511 is located between the plurality of keys 520 and 530, the joystick 540 and the dial 541 on the operation surface 511 and the dial portion 560. With such a configuration, it is possible to prevent the user's finger from touching the dial portion 560 when operating the plurality of keys 520, 530, the joystick 540 and the dial 541. Further, it is possible to prevent the user's finger from touching any of the plurality of keys 520, 530, the joystick 540, and the dial 541 during the operation of the dial unit 560. Therefore, the occurrence of erroneous operation is reduced.

第1部分510は直方体形状を有し、ダイヤル部560の回転軸A20は第1部分510の長手方向に平行である。この場合、複数のキー520,530、ジョイスティック540およびダイヤル541とダイヤル部560とが第1部分510の長手方向に並ぶ。それにより、使用者は、複数のキー520,530、ジョイスティック540およびダイヤル541とダイヤル部560との位置関係を容易に把握することができる。 The first portion 510 has a rectangular parallelepiped shape, and the rotation axis A20 of the dial portion 560 is parallel to the longitudinal direction of the first portion 510. In this case, the plurality of keys 520 and 530, the joystick 540, the dial 541, and the dial portion 560 are arranged in the longitudinal direction of the first portion 510. Thereby, the user can easily grasp the positional relationship between the plurality of keys 520, 530, the joystick 540, the dial 541 and the dial portion 560.

また、回転軸A20に平行なダイヤル部560の断面の外形は、操作面511に平行なジョイスティック540の断面の外形よりも大きい。それにより、ダイヤル部560が過剰に小さくならないので、使用者はダイヤル部560を指で把持しつつダイヤル部560を容易に回転させることができる。また、ジョイスティック540が過剰に大きくならないので、使用者はジョイスティック540を指で把持しつつジョイスティック540を容易に傾斜させることができる。 The outer shape of the cross section of the dial portion 560 parallel to the rotation axis A20 is larger than the outer shape of the cross section of the joystick 540 parallel to the operation surface 511. As a result, the dial portion 560 does not become excessively small, so that the user can easily rotate the dial portion 560 while holding the dial portion 560 with a finger. Further, since the joystick 540 does not become excessively large, the user can easily tilt the joystick 540 while holding the joystick 540 with his/her finger.

支持面SSからのダイヤル部560の上端の高さが支持面SSからのジョイスティック540の上端の高さとほぼ等しい。それにより、使用者は、支持面SSからほぼ共通の高さ位置でダイヤル部560およびジョイスティック540を操作することができる。 The height of the upper end of the dial portion 560 from the support surface SS is substantially equal to the height of the upper end of the joystick 540 from the support surface SS. Thereby, the user can operate the dial portion 560 and the joystick 540 at a substantially common height position from the support surface SS.

上記のコンソール500においては、指で把持して操作する構成(ジョイスティック540、ダイヤル541およびダイヤル部560)が設けられる部分と、指で押下して操作する構成(複数のキー520,530)が設けられる部分とが、第1部分510の長手方向で分離されている。それにより、複数のキー520,530のいずれかの操作時に、使用者の指がジョイスティック540、ダイヤル541およびダイヤル部560のいずれかに接触することが低減され、誤操作が低減される。 In the above console 500, a portion provided with a configuration (joystick 540, dial 541 and dial portion 560) that is gripped and operated with a finger and a configuration (a plurality of keys 520 and 530) that is pressed with a finger to be operated are provided. The part to be cut is separated in the longitudinal direction of the first part 510. Thereby, when any one of the plurality of keys 520 and 530 is operated, the user's finger is less likely to come into contact with any of the joystick 540, the dial 541 and the dial portion 560, and erroneous operation is reduced.

ジョイスティック540、ダイヤル541およびダイヤル部560の外表面が黒色を有し、複数のキー520,530の外表面が銀色を有してもよい。この場合、使用者は、指で把持して操作する構成と指で押下して操作する構成とを容易に識別することができる。 The outer surfaces of the joystick 540, the dial 541 and the dial portion 560 may have a black color, and the outer surfaces of the plurality of keys 520 and 530 may have a silver color. In this case, the user can easily discriminate between the configuration in which the user holds and operates the finger and the configuration in which the user presses and operates with the finger.

また、図6において太い実線で取り囲まれる部分、すなわち操作面511のうち複数のキー520,530を取り囲む部分の外表面が黒色を有するとともに複数のキー520,530の外表面が銀色を有してもよい。この場合、複数のキー520,530の外観が強調される。 Further, in FIG. 6, a portion surrounded by a thick solid line, that is, a portion of the operation surface 511 that surrounds the plurality of keys 520 and 530 has a black outer surface and a plurality of keys 520 and 530 has a silver outer surface. Good. In this case, the appearance of the plurality of keys 520 and 530 is emphasized.

(5)ダイヤル部の内部構造
図10はダイヤル部560の縦断面図であり、図11はダイヤル部560の分解斜視図である。図10および図11に示すように、ダイヤル部560は、第1のベース部材561、基板562、微調整ダイヤル軸563、軸受部材564、第2のベース部材565、粗調整ダイヤル560A、摺動部材567,569、第1の固定部材568、第2の固定部材570、微調整ダイヤル560B、エンコーダE1,E2および複数のねじSWを含む。エンコーダE1は、光学式のエンコーダであり、光学スケール566Aおよび読取センサ566Bを含む。エンコーダE2は、磁気式のエンコーダであり、磁気スケール571Aおよび読取センサ571Bを含む。
(5) Internal Structure of Dial Part FIG. 10 is a vertical sectional view of the dial part 560, and FIG. 11 is an exploded perspective view of the dial part 560. As shown in FIGS. 10 and 11, the dial portion 560 includes a first base member 561, a substrate 562, a fine adjustment dial shaft 563, a bearing member 564, a second base member 565, a coarse adjustment dial 560A, and a sliding member. 567, 569, a first fixing member 568, a second fixing member 570, a fine adjustment dial 560B, encoders E1, E2 and a plurality of screws SW. The encoder E1 is an optical encoder and includes an optical scale 566A and a reading sensor 566B. The encoder E2 is a magnetic encoder and includes a magnetic scale 571A and a reading sensor 571B.

図11では、ダイヤル部560のうち一部の構成要素の図示が省略されるとともに、ダイヤル部560に用いられる複数のねじSWのうち一部のねじSWのみが図示される。また、図11では、ダイヤル部560の構成に加えて、ダイヤル部560を支持するダイヤル支持部材551が図示される。ダイヤル支持部材551は、図6の第2部分550の内部に設けられる。 In FIG. 11, some components of the dial portion 560 are not shown, and only some of the screws SW used in the dial portion 560 are shown. Further, in FIG. 11, in addition to the configuration of the dial portion 560, a dial support member 551 that supports the dial portion 560 is shown. The dial support member 551 is provided inside the second portion 550 of FIG.

図11に示すように、ダイヤル支持部材551は、円板状の支持部551Aを有し、第2部分550の内部で図6の支持面SSに対して垂直な方向に延びかつ支持部551Aが図6の回転軸A20に直交するように配置される。 As shown in FIG. 11, the dial support member 551 has a disc-shaped support portion 551A, and extends inside the second portion 550 in a direction perpendicular to the support surface SS of FIG. It is arranged so as to be orthogonal to the rotation axis A20 of FIG.

図10に示すように、第1のベース部材561は、円筒部561Aおよびフランジ部561Bを有する。図11のダイヤル支持部材551の支持部551Aにフランジ部561Bが接触するように、第1のベース部材561がダイヤル支持部材551に取り付けられる。円筒部561Aの外径は、後述する粗調整ダイヤル560Aの内径よりもわずかに小さい。 As shown in FIG. 10, the first base member 561 has a cylindrical portion 561A and a flange portion 561B. The first base member 561 is attached to the dial support member 551 so that the flange portion 561B contacts the support portion 551A of the dial support member 551 of FIG. The outer diameter of the cylindrical portion 561A is slightly smaller than the inner diameter of a coarse adjustment dial 560A described later.

円筒部561Aの内側には、基板562を保持するための基板保持部561Cが形成されている。基板保持部561Cに複数(例えば3個)のねじSWを用いて基板562が取り付けられている。基板562は、円板形状を有する。図10に示すように、基板562においては、外周縁部の一部にエンコーダE1の読取センサ566Bが設けられるとともに、中央部にエンコーダE2の読取センサ571Bが設けられている。この状態で、基板562は、図6の支持面SSに対して垂直でかつダイヤル部560の回転軸A20に対して直交する。 A substrate holding portion 561C for holding the substrate 562 is formed inside the cylindrical portion 561A. The substrate 562 is attached to the substrate holding portion 561C using a plurality of (eg, three) screws SW. The substrate 562 has a disc shape. As shown in FIG. 10, in the substrate 562, the reading sensor 566B of the encoder E1 is provided in a part of the outer peripheral edge portion, and the reading sensor 571B of the encoder E2 is provided in the central portion. In this state, the substrate 562 is perpendicular to the support surface SS of FIG. 6 and orthogonal to the rotation axis A20 of the dial portion 560.

基板562の一面および他面のうち第1のベース部材561の基板保持部561Cに対向する一面とは逆の他面上に、第2のベース部材565が複数(例えば3個)のねじSWを用いて取り付けられる。 Of the one surface and the other surface of the substrate 562, the second base member 565 has a plurality (for example, three) of screws SW on the other surface opposite to the one surface of the first base member 561 facing the substrate holding portion 561C. Mounted using.

粗調整ダイヤル560Aは、円筒形状を有するとともにその内周面の一部に円環状の仕切り板560Sを有する。仕切り板560Sの中央に形成された円形開口は、第2のベース部材565を挿入可能に形成されている。仕切り板560Sの一面側に円環状の光学スケール566Aが接着されている。この状態で、光学スケール566Aの一部と読取センサ566Bとが対向するとともに粗調整ダイヤル560Aの一端部およびその近傍部分が第1のベース部材561の円筒部561Aを覆うように、第2のベース部材565が粗調整ダイヤル560Aの内部に挿し込まれている。 The rough adjustment dial 560A has a cylindrical shape and has an annular partition plate 560S on a part of its inner peripheral surface. The circular opening formed in the center of the partition plate 560S is formed so that the second base member 565 can be inserted therein. An annular optical scale 566A is adhered to one surface side of the partition plate 560S. In this state, a part of the optical scale 566A and the reading sensor 566B face each other, and one end of the coarse adjustment dial 560A and its vicinity cover the cylindrical portion 561A of the first base member 561. The member 565 is inserted inside the rough adjustment dial 560A.

仕切り板560Sの他面側に円環状の摺動部材567を挟んで第1の固定部材568が設けられている。第1の固定部材568は、複数のねじSWを用いて第2のベース部材565に取り付けられる。第1の固定部材568は、粗調整ダイヤル560Aが第2のベース部材565から抜け出ることを防止する。 A first fixing member 568 is provided on the other surface side of the partition plate 560S with an annular sliding member 567 interposed therebetween. The first fixing member 568 is attached to the second base member 565 using a plurality of screws SW. The first fixing member 568 prevents the coarse adjustment dial 560A from slipping out of the second base member 565.

このような構成により、粗調整ダイヤル560Aが回転操作されると、粗調整ダイヤル560Aに接着された光学スケール566Aが、第1のベース部材561に固定された基板562上の読取センサ566Bに対して相対的に回転する。 With such a configuration, when the coarse adjustment dial 560A is rotationally operated, the optical scale 566A adhered to the coarse adjustment dial 560A is moved to the reading sensor 566B on the substrate 562 fixed to the first base member 561. Rotate relatively.

読取センサ566Bは図6の回転受付部590と電気的に接続されている。それにより、エンコーダE1から図6の回転受付部590に、粗調整ダイヤル560Aの回転方向および回転量に対応するパルス信号が出力される。この場合、図6の回転受付部590は、エンコーダE1からの出力に基づいて、粗調整ダイヤル560Aの回転方向および回転量を示す信号を図5の制御部410に出力する。 The reading sensor 566B is electrically connected to the rotation receiving unit 590 shown in FIG. As a result, a pulse signal corresponding to the rotation direction and the rotation amount of the coarse adjustment dial 560A is output from the encoder E1 to the rotation reception unit 590 of FIG. In this case, the rotation acceptance unit 590 of FIG. 6 outputs a signal indicating the rotation direction and the rotation amount of the coarse adjustment dial 560A to the control unit 410 of FIG. 5, based on the output from the encoder E1.

第2のベース部材565は、ダイヤル部560の回転軸A20に沿う貫通孔565H(図10)を有する。微調整ダイヤル軸563は、頭部563Aおよび軸部563Bを有する。第2のベース部材565の貫通孔565Hには、一端部にフランジを有する円筒状の軸受部材564を介して基板562側から微調整ダイヤル軸563の軸部563Bが挿入されている。微調整ダイヤル軸563の頭部563Aには、基板562に設けられた読取センサ571Bに対向するように、磁気スケール571Aが取り付けられている。 The second base member 565 has a through hole 565H (FIG. 10) extending along the rotation axis A20 of the dial portion 560. The fine adjustment dial shaft 563 has a head portion 563A and a shaft portion 563B. The shaft portion 563B of the fine adjustment dial shaft 563 is inserted into the through hole 565H of the second base member 565 from the substrate 562 side through a cylindrical bearing member 564 having a flange at one end. A magnetic scale 571A is attached to the head portion 563A of the fine adjustment dial shaft 563 so as to face the reading sensor 571B provided on the substrate 562.

微調整ダイヤル軸563のうち、第2のベース部材565の貫通孔565Hから基板562の反対側に突出する軸部563Bの部分に、摺動部材569を介して第2の固定部材570が取り付けられている。第2の固定部材570は、微調整ダイヤル軸563が第2のベース部材565の貫通孔565Hから抜け出ることを防止する。軸部563Bの先端部に微調整ダイヤル560Bが取り付けられている。 A second fixing member 570 is attached via a sliding member 569 to a portion of the fine adjustment dial shaft 563, which is a shaft portion 563B protruding from the through hole 565H of the second base member 565 to the opposite side of the substrate 562. ing. The second fixing member 570 prevents the fine adjustment dial shaft 563 from coming out of the through hole 565H of the second base member 565. A fine adjustment dial 560B is attached to the tip of the shaft portion 563B.

このような構成により、微調整ダイヤル560Bが回転操作されると、微調整ダイヤル軸563に取り付けられた磁気スケール571Aが、第1のベース部材561に固定された基板562上の読取センサ571Bに対して相対的に回転する。 With such a configuration, when the fine adjustment dial 560B is rotationally operated, the magnetic scale 571A attached to the fine adjustment dial shaft 563 is moved to the reading sensor 571B on the substrate 562 fixed to the first base member 561. Rotate relatively.

読取センサ571Bは図6の回転受付部590と電気的に接続されている。それにより、エンコーダE2から図6の回転受付部590に、微調整ダイヤル560Bの回転方向および回転量に対応するパルス信号が出力される。この場合、図6の回転受付部590は、エンコーダE2からの出力に基づいて、微調整ダイヤル560Bの回転方向および回転量を示す信号を図5の制御部410に出力する。 The reading sensor 571B is electrically connected to the rotation acceptance unit 590 of FIG. As a result, a pulse signal corresponding to the rotation direction and rotation amount of the fine adjustment dial 560B is output from the encoder E2 to the rotation reception unit 590 of FIG. In this case, the rotation reception unit 590 of FIG. 6 outputs a signal indicating the rotation direction and the rotation amount of the fine adjustment dial 560B to the control unit 410 of FIG. 5, based on the output from the encoder E2.

(6)演算処理部
図12は、図5の演算処理部900の構成を示すブロック図である。図12に示すように、演算処理部900は、データ生成部910、合焦判定部920、条件設定部930、方向判定部940、換算部950および排他部960を含む。
(6) Arithmetic Processing Unit FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of the arithmetic processing unit 900 shown in FIG. As shown in FIG. 12, the arithmetic processing unit 900 includes a data generation unit 910, a focus determination unit 920, a condition setting unit 930, a direction determination unit 940, a conversion unit 950, and an exclusion unit 960.

データ生成部910は、例えば操作部440からの指令に従って画像データの連結処理、ダイナミックレンジの調整処理または画像の解像度を向上させる処理等を行う。合焦判定部920は、例えば操作部440からオートフォーカス処理の指令を受けた場合に、取得される画像データについて対象領域内の画素ごとの合焦度を判定する。合焦度の判定は、対象領域における輝度値に関する情報に基づいて行われる。 The data generation unit 910 performs, for example, a process of connecting image data, a process of adjusting a dynamic range, a process of improving the resolution of an image, or the like in accordance with a command from the operation unit 440. The focus determination unit 920 determines the degree of focus for each pixel in the target region for the acquired image data when receiving an instruction for autofocus processing from the operation unit 440, for example. The determination of the focus degree is performed based on the information regarding the brightness value in the target area.

条件設定部930は、例えば操作部440からの指令に従って撮像条件を設定し、設定された撮像条件を示す撮像情報を図1の記憶部420に記憶させる。撮像条件は、例えば図1の撮像部132の受光時間および照明のオンオフ等を含む。図5の駆動制御部800は、条件設定部930により設定された撮像条件に基づいて図1の測定ヘッド100および光生成部300の動作を制御する。 The condition setting unit 930 sets an imaging condition according to a command from the operation unit 440, for example, and causes the storage unit 420 of FIG. 1 to store imaging information indicating the set imaging condition. The image capturing conditions include, for example, the light receiving time of the image capturing unit 132 in FIG. 1 and on/off of illumination. The drive control unit 800 in FIG. 5 controls the operations of the measurement head 100 and the light generation unit 300 in FIG. 1 based on the imaging conditions set by the condition setting unit 930.

図1のベースダイヤル部115または図6のダイヤル部560が回転操作された場合、その回転方向および回転量が図1または図6の回転受付部116,590から演算処理部900に与えられる。 When the base dial unit 115 of FIG. 1 or the dial unit 560 of FIG. 6 is rotated, the rotation direction and the rotation amount are given to the arithmetic processing unit 900 from the rotation receiving units 116 and 590 of FIG. 1 or 6.

方向判定部940は、与えられた回転方向に基づいて図1の鏡筒部130を上方および下方のいずれに移動させるべきかを判定し、判定結果を図5の焦点制御部830に与える。 The direction determination unit 940 determines whether the lens barrel unit 130 in FIG. 1 should be moved upward or downward based on the given rotation direction, and gives the determination result to the focus control unit 830 in FIG.

換算部950は、図1または図6の回転受付部116,590から与えられた回転量を鏡筒部130の移動量に換算する。ここで、単位回転量当たりで換算される鏡筒部130の移動量は、使用者により操作されるダイヤルの種類に応じて異なる。本例では、換算部950は、粗調整ダイヤル115A,560Aに対応する単位回転量当たりの鏡筒部130の移動量を微調整ダイヤル115B,560Bに対応する単位回転量当たりの鏡筒部130の移動量よりも大きく換算する。換算部950は、換算結果を図5の焦点制御部830に与える。 The conversion unit 950 converts the amount of rotation given from the rotation reception units 116 and 590 of FIG. 1 or 6 into the amount of movement of the lens barrel unit 130. Here, the amount of movement of the lens barrel 130 converted per unit amount of rotation differs depending on the type of dial operated by the user. In this example, the conversion unit 950 converts the movement amount of the lens barrel portion 130 corresponding to the coarse adjustment dials 115A and 560A per unit rotation amount of the lens barrel portion 130 corresponding to the fine adjustment dials 115B and 560B per unit rotation amount. Convert larger than the amount of movement. The conversion unit 950 gives the conversion result to the focus control unit 830 in FIG.

焦点制御部830は、方向判定部940により判定された方向に、換算部950により換算された移動量だけ鏡筒部130が移動するように焦点駆動部113を制御する。 The focus control unit 830 controls the focus drive unit 113 so that the lens barrel unit 130 moves in the direction determined by the direction determination unit 940 by the movement amount converted by the conversion unit 950.

粗調整ダイヤル115A,560Aの単位回転量当たりの鏡筒部130の移動量は等しく設定されることが好ましく、微調整ダイヤル115B,560Bの単位回転量当たりの鏡筒部130の移動量も互いに等しく設定されることが好ましい。この場合、使用者は、鏡筒部130の位置を調整する際に、ベースダイヤル部115とダイヤル部560とを同じ感覚で操作することができる。 The amount of movement of the lens barrel portion 130 per unit amount of rotation of the coarse adjustment dials 115A and 560A is preferably set to be equal, and the amount of movement of the lens barrel portion 130 per unit amount of rotation of the fine adjustment dials 115B and 560B is also equal to each other. It is preferably set. In this case, the user can operate the base dial portion 115 and the dial portion 560 with the same feeling when adjusting the position of the lens barrel portion 130.

なお、粗調整ダイヤル115A,560Aの単位回転量当たりの鏡筒部130の移動量は互いに異なるように設定されてもよく、微調整ダイヤル115B,560Bの単位回転量当たりの鏡筒部130の移動量は互いに異なるように設定されてもよい。 The movement amounts of the lens barrel portion 130 per unit rotation amount of the coarse adjustment dials 115A and 560A may be set to be different from each other, and the movement of the lens barrel portion 130 per unit rotation amount of the fine adjustment dials 115B and 560B. The amounts may be set differently from each other.

粗調整ダイヤル115A,560Aおよび微調整ダイヤル115B,560Bのうち一のダイヤルが操作されている際に、誤操作等により他のダイヤルが操作されると、ダイヤルの回転方向および回転量について複数種類の信号が演算処理部900に与えられる。この場合、鏡筒部130が使用者の意図しない方向に移動したり、鏡筒部130が使用者の意図しない速度で移動したりする可能性がある。 When one of the coarse adjustment dials 115A and 560A and the fine adjustment dials 115B and 560B is operated, when the other dial is operated due to an erroneous operation or the like, a plurality of types of signals regarding the rotating direction and the rotating amount of the dial are output. Are provided to the arithmetic processing unit 900. In this case, the lens barrel 130 may move in a direction not intended by the user, or the lens barrel 130 may move at a speed not intended by the user.

そこで、排他部960は、粗調整ダイヤル115A,560Aおよび微調整ダイヤル115B,560Bのうち一のダイヤルに対応する信号が与えられている間、他のダイヤルに対応する信号が方向判定部940および換算部950に入力されることを禁止する。それにより、誤操作による鏡筒部130の意図しない動作が防止される。 Therefore, while the exclusive unit 960 receives the signal corresponding to one of the coarse adjustment dials 115A and 560A and the fine adjustment dials 115B and 560B, it outputs the signals corresponding to the other dials to the direction determination unit 940 and the conversion unit. It is prohibited to be input to the unit 950. This prevents an unintended operation of the lens barrel 130 due to an erroneous operation.

(7)鏡筒部の傾斜機構
図13(a)は測定ヘッド100の外観斜視図であり、図13(b)は鏡筒部130が傾斜する状態を示す模式図である。図13(a)に示すように、本例の測定ヘッド100は鏡筒部130をステージ121に対して傾斜させるための傾斜機構101を含む。傾斜機構101は、Y方向に直交する平面内で保持部112の下部に対して保持部112の上部を支持する。これにより、傾斜機構101は、傾斜中心130cの周りで鏡筒部130をステージ121に対して傾斜させることができる。図13(b)においては、傾斜後の鏡筒部130が一点鎖線で示される。
(7) Tilt Mechanism of Lens Barrel Section FIG. 13A is an external perspective view of the measuring head 100, and FIG. 13B is a schematic view showing a state where the lens barrel section 130 is tilted. As shown in FIG. 13A, the measuring head 100 of this example includes a tilting mechanism 101 for tilting the lens barrel 130 with respect to the stage 121. The tilting mechanism 101 supports the upper part of the holding part 112 with respect to the lower part of the holding part 112 in a plane orthogonal to the Y direction. As a result, the tilting mechanism 101 can tilt the lens barrel 130 with respect to the stage 121 around the tilt center 130c. In FIG. 13B, the tilted lens barrel portion 130 is indicated by a dashed line.

傾斜観察を行う場合には、観察対象物Sの表面が鏡筒部130の傾斜中心130cと略同一の高さに位置するように、ステージ121をZ方向に移動させる。この場合、鏡筒部130を傾斜させた場合でも、撮像部132の視野が移動しないユーセントリック関係が維持され、観察対象物Sの所望の観察領域が撮像部132の視野から外れることを防止することができる。 When performing tilted observation, the stage 121 is moved in the Z direction so that the surface of the observation object S is located at substantially the same height as the tilt center 130c of the lens barrel 130. In this case, even when the lens barrel unit 130 is tilted, the eucentric relationship in which the field of view of the imaging unit 132 does not move is maintained, and the desired observation region of the observation object S is prevented from deviating from the field of view of the imaging unit 132. be able to.

図13(b)に示すように、鏡筒部130は、上記のレンズユニット131および撮像部132に加えて傾斜センサ133を含む。Z方向に対する対物レンズ131aの光軸A1の傾斜角度(以下、鏡筒部130の傾斜角度と呼ぶ。)は、傾斜センサ133により検出され、傾斜角度に対応する角度信号が図1の制御基板150に出力される。制御基板150は、傾斜センサ133により出力された角度信号を図5のケーブル203および撮像制御部820を介して演算処理部900に与える。演算処理部900は、角度信号に基づいて、鏡筒部130の傾斜角度を算出する。演算処理部900により算出された傾斜角度は、図5の表示部430に表示させることができる。 As shown in FIG. 13B, the lens barrel section 130 includes a tilt sensor 133 in addition to the lens unit 131 and the image pickup section 132 described above. The tilt angle of the optical axis A1 of the objective lens 131a with respect to the Z direction (hereinafter referred to as the tilt angle of the lens barrel section 130) is detected by the tilt sensor 133, and an angle signal corresponding to the tilt angle is output from the control board 150 in FIG. Is output to. The control board 150 gives the angle signal output by the tilt sensor 133 to the arithmetic processing unit 900 via the cable 203 and the imaging control unit 820 of FIG. The arithmetic processing unit 900 calculates the tilt angle of the lens barrel unit 130 based on the angle signal. The tilt angle calculated by the arithmetic processing unit 900 can be displayed on the display unit 430 in FIG.

上記の構成によれば、ステージ121の載置面に載置された観察対象物Sの平面観察および傾斜観察を選択的に行うことができる。平面観察時には、対物レンズ131aの光軸A1はZ方向に平行になる。すなわち、鏡筒部130の傾斜角度が0°になる。一方、傾斜観察時には、対物レンズ131aの光軸A1はZ方向に対して傾斜する。 According to the above configuration, it is possible to selectively perform planar observation and tilt observation of the observation object S mounted on the mounting surface of the stage 121. At the time of planar observation, the optical axis A1 of the objective lens 131a becomes parallel to the Z direction. That is, the tilt angle of the lens barrel portion 130 becomes 0°. On the other hand, during tilted observation, the optical axis A1 of the objective lens 131a is tilted with respect to the Z direction.

(8)効果
上記のコンソール500においては、支持面SSからの第1部分510の厚みが支持面SSからの第2部分550の厚みよりも小さいので、第1部分510および第2部分550が共通の厚みを有する場合に比べてコンソール500の大型化が抑制される。また、第1部分510に設けられる複数のキー520,530、ジョイスティック540およびダイヤル541が、第1部分510の上端よりも上方に位置しない。そのため、使用者は、支持面SSに前腕および手首を置いた状態で複数のキー520,530、ジョイスティック540およびダイヤル541を操作することができる。したがって、コンソール500の操作性が向上するとともに使用者の疲労が低減される。
(8) Effects In the console 500 described above, the thickness of the first portion 510 from the support surface SS is smaller than the thickness of the second portion 550 from the support surface SS, so the first portion 510 and the second portion 550 are common. The size of the console 500 is suppressed from being increased as compared with the case where the console 500 has the thickness. Further, the plurality of keys 520, 530, the joystick 540, and the dial 541 provided in the first portion 510 are not located above the upper end of the first portion 510. Therefore, the user can operate the plurality of keys 520, 530, the joystick 540, and the dial 541 with the forearm and wrist placed on the support surface SS. Therefore, the operability of the console 500 is improved and the fatigue of the user is reduced.

また、使用者は、第2部分550の側方のダイヤル部560を指で把持し、指を上下に動かしてダイヤル部560を回転させることにより、ステージ121に対する鏡筒部130の相対的な距離を調整することができる。この場合、指の上下動と鏡筒部130の相対的な上下動とが連動しているので、使用者は、直感的に鏡筒部130の相対的な上下動を操作することができる。 In addition, the user grips the dial portion 560 on the side of the second portion 550 with a finger, moves the finger up and down to rotate the dial portion 560, and thereby the relative distance of the lens barrel portion 130 to the stage 121. Can be adjusted. In this case, since the vertical movement of the finger and the relative vertical movement of the lens barrel portion 130 are interlocked, the user can intuitively operate the relative vertical movement of the lens barrel portion 130.

これらの結果、使用者の直感的な操作により拡大観察装置1を操作することが可能になるとともに、コンソール500の操作性およびコンパクト性が向上される。 As a result, the user can operate the magnifying observation apparatus 1 intuitively, and the operability and compactness of the console 500 are improved.

また、上記の拡大観察装置1においては、測定ヘッド100のスタンド部110に設けられるベースダイヤル部115とコンソール500に設けられるダイヤル部560とが基本的に同じ構成を有する。それにより、使用者は、ステージ121に対する鏡筒部130の相対的な距離を調整する際に、ベースダイヤル部115およびダイヤル部560を同じ感覚でそれぞれ直感的に操作することができる。 Further, in the magnifying observation apparatus 1 described above, the base dial unit 115 provided on the stand unit 110 of the measuring head 100 and the dial unit 560 provided on the console 500 have basically the same configuration. Thereby, the user can intuitively operate the base dial unit 115 and the dial unit 560 with the same feeling when adjusting the relative distance of the lens barrel unit 130 to the stage 121.

(9)他の実施の形態
(a)上記実施の形態に係るコンソール500においては、第1部分510の長手方向の両側部のうち一方の側部に第2部分550が一体的に設けられるが、本発明はこれに限定されない。第2部分550は、第1部分510の一方の側部および他方の側部に取り付けおよび取り外し可能に構成されてもよい。この場合、使用者は、第1部分510の一方の側部および他方の側部に第2部分550を選択的に取り付けることができる。それにより、拡大観察装置1の利便性が向上する。
(9) Other Embodiments (a) In the console 500 according to the above-described embodiment, the second portion 550 is integrally provided on one side portion of both side portions of the first portion 510 in the longitudinal direction. However, the present invention is not limited to this. The second portion 550 may be configured to be attachable to and detachable from one side portion and the other side portion of the first portion 510. In this case, the user can selectively attach the second portion 550 to one side and the other side of the first portion 510. Thereby, the convenience of the magnifying observation apparatus 1 is improved.

なお、この場合、第2部分550を一方の側部に取り付ける場合と、第2部分550を他方の側部に取り付ける場合とでダイヤルの回転方向とレンズユニット131の移動方向との対応を逆に設定することが好ましい。それにより、第2部分550の取付位置が変更されることによる操作性の低下が防止される。 In this case, the correspondence between the rotating direction of the dial and the moving direction of the lens unit 131 is reversed between the case where the second portion 550 is attached to one side and the case where the second portion 550 is attached to the other side. It is preferable to set. As a result, it is possible to prevent a decrease in operability due to a change in the mounting position of the second portion 550.

(b)上記実施の形態では、コンソール500の操作面511の領域511Bにオートフォーカス処理の実行指令キーが設けられるが、本発明はこれに限定されない。オートフォーカス処理の実行指令キーがコンソール500のダイヤル部560に設けられてもよい。 (B) In the above embodiment, the area 511B of the operation surface 511 of the console 500 is provided with an execution command key for autofocus processing, but the present invention is not limited to this. The execution command key for the autofocus process may be provided in the dial section 560 of the console 500.

また、オートフォーカス処理の実行指令キーは、ダイヤル部560に限らず測定ヘッド100のベースダイヤル部115またはその近傍に設けられてもよい。この場合、使用者は、傾斜観察時に鏡筒部130をステージ121に対して傾斜させつつオートフォーカス処理の実行指令キーを操作することができる。それにより、傾斜観察時に対物レンズ131aの焦点を容易かつ短時間で観察対象物Sに合わせることができる。 Further, the execution command key for the autofocus process is not limited to the dial unit 560 and may be provided in the base dial unit 115 of the measuring head 100 or in the vicinity thereof. In this case, the user can operate the autofocus processing execution command key while tilting the lens barrel 130 with respect to the stage 121 during tilt observation. This allows the objective lens 131a to be easily focused on the observation object S in a short time during tilted observation.

(c)上記実施の形態では、ベースダイヤル部115またはダイヤル部560の操作に基づいて鏡筒部130が対物レンズ131aの光軸A1に沿って移動するが、本発明はこれに限定されない。ベースダイヤル部115またはダイヤル部560の操作に基づいて鏡筒部130がZ方向に移動する代わりに、ベースダイヤル部115またはダイヤル部560の操作に基づいてステージ121がZ方向に移動してもよい。 (C) In the above-described embodiment, the lens barrel unit 130 moves along the optical axis A1 of the objective lens 131a based on the operation of the base dial unit 115 or the dial unit 560, but the present invention is not limited to this. Instead of moving the lens barrel section 130 in the Z direction based on the operation of the base dial section 115 or the dial section 560, the stage 121 may move in the Z direction based on the operation of the base dial section 115 or the dial section 560. ..

(d)上記実施の形態に係るコンソール500においては、コンソール500に設けられる複数のキー520,530が物理的な部品で構成されるが、本発明はこれに限定されない。コンソール500の操作面511には、液晶ディスプレイパネルまたは有機エレクトロルミネッセンスパネル等で構成された表示部と、その表示部に重なるように設けられるタッチパネルとが設けられてもよい。この場合、表示部およびタッチパネルにより、上記の複数のキー520,530にそれぞれ対応する複数のキーを構成してもよい。 (D) In the console 500 according to the above-described embodiment, the plurality of keys 520 and 530 provided in the console 500 are composed of physical parts, but the present invention is not limited to this. The operation surface 511 of the console 500 may be provided with a display section including a liquid crystal display panel or an organic electroluminescence panel, and a touch panel provided so as to overlap the display section. In this case, the display unit and the touch panel may form a plurality of keys corresponding to the plurality of keys 520 and 530, respectively.

(10)請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
(10) Correspondence between each component of the claims and each part of the embodiment Hereinafter, an example of the correspondence between each component of the claims and each part of the embodiment will be described, but the present invention is not limited to the following examples. Not limited.

上記実施の形態では、観察対象物Sが観察対象物の例であり、ステージ121がステージの例であり、鏡筒部130が撮像部の例であり、拡大観察装置1が拡大観察装置の例であり、支持面SSが支持面の例であり、コンソール500がコンソールの例である。 In the above-described embodiment, the observation object S is an example of the observation object, the stage 121 is an example of the stage, the lens barrel section 130 is an example of the imaging section, and the magnifying observation apparatus 1 is an example of the magnifying observation apparatus. The support surface SS is an example of a support surface, and the console 500 is an example of a console.

また、第1部分510および第2部分550が本体部の例であり、第1部分510が第1部分の例であり、第2部分550が第2部分の例であり、複数のキー520,530が一または複数のキーおよびキー入力部の例であり、ジョイスティック540が移動操作部の例であり、ダイヤル部560がダイヤル部の例であり、操作面511が操作面の例であり、粗調整ダイヤル560Aが第1のダイヤル部材の例であり、微調整ダイヤル560Bが第2のダイヤル部材の例である。 Further, the first portion 510 and the second portion 550 are examples of the main body portion, the first portion 510 is an example of the first portion, the second portion 550 is an example of the second portion, and the plurality of keys 520, 530 is an example of one or a plurality of keys and a key input unit, joystick 540 is an example of a movement operation unit, dial unit 560 is an example of a dial unit, operation surface 511 is an example of an operation surface, and The adjustment dial 560A is an example of the first dial member, and the fine adjustment dial 560B is an example of the second dial member.

また、ステージ駆動部122が移動部の例であり、焦点駆動部113が相対距離変化部の例であり、制御部410が制御部の例であり、スタンド部110がベースの例であり、ベースダイヤル部115がベースダイヤル部の例である。 Further, the stage drive unit 122 is an example of a moving unit, the focus drive unit 113 is an example of a relative distance changing unit, the control unit 410 is an example of a control unit, the stand unit 110 is an example of a base, and the base unit is a base. The dial unit 115 is an example of a base dial unit.

請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。 As each constituent element of the claims, various other elements having the configurations or functions described in the claims can be used.

本発明は、種々の拡大観察装置に有効に利用することができる。 The present invention can be effectively used for various magnifying observation devices.

1 拡大観察装置
100 測定ヘッド
101 傾斜機構
110 スタンド部
111 設置部
112 保持部
113 焦点駆動部
115 ベースダイヤル部
115A,560A 粗調整ダイヤル
115B,560B 微調整ダイヤル
116,590 回転受付部
120 ステージ装置
121 ステージ
122 ステージ駆動部
130 鏡筒部
130c 傾斜中心
131 レンズユニット
131a 対物レンズ
132 撮像部
133 傾斜センサ
140 投光部
150 制御基板
200 処理装置
201 ファイバユニット
202,203,204 ケーブル
210 筐体
300 光生成部
310 光源
320 遮光部
400 制御装置
410 制御部
420 記憶部
430 表示部
440 操作部
500 コンソール
510 第1部分
510N 手前部
510F 奥部
511 操作面
511A,511B,511C 領域
520,530 キー
540 ジョイスティック
541 ダイヤル
550 第2部分
551 ダイヤル支持部材
551A 支持部
560 ダイヤル部
560S 仕切り板
561 第1のベース部材
561A 円筒部
561B フランジ部
561C 基板保持部
562 基板
563 微調整ダイヤル軸
563A 頭部
563B 軸部
564 軸受部材
565 第2のベース部材
565H 貫通孔
566A 光学スケール
566B,571B 読取センサ
567,569 摺動部材
568 第1の固定部材
570 第2の固定部材
571A 磁気スケール
800 駆動制御部
810 投光制御部
820 撮像制御部
830 焦点制御部
840 ステージ制御部
900 演算処理部
910 データ生成部
920 合焦判定部
930 条件設定部
940 方向判定部
950 換算部
960 排他部
A1 光軸
A10,A20 回転軸
E1,E2 エンコーダ
S 観察対象物
SS 支持面
SW ねじ
1 Magnifying Observation Device 100 Measuring Head 101 Tilt Mechanism 110 Stand Part 111 Installation Part 112 Holding Part 113 Focus Drive Part 115 Base Dial Part 115A, 560A Coarse Adjustment Dial 115B, 560B Fine Adjustment Dial 116, 590 Rotation Receiving Part 120 Stage Device 121 Stage 122 stage drive part 130 lens barrel part 130c tilt center 131 lens unit 131a objective lens 132 imaging part 133 tilt sensor 140 light projecting part 150 control board 200 processing device 201 fiber unit 202, 203, 204 cable 210 housing 300 light generating part 310 Light source 320 Light-shielding unit 400 Control device 410 Control unit 420 Storage unit 430 Display unit 440 Operation unit 500 Console 510 First part 510N Front part 510F Rear part 511 Operation surface 511A, 511B, 511C area 520, 530 key 540 Joystick 541 Dial 5th dial Two parts 551 Dial support member 551A Support part 560 Dial part 560S Partition plate 561 First base member 561A Cylindrical part 561B Flange part 561C Substrate holding part 562 Substrate 563 Fine adjustment dial shaft 563A Head part 563B Shaft part 564 Bearing member 565 Second Base member 565H through hole 566A optical scale 566B, 571B reading sensor 567, 569 sliding member 568 first fixing member 570 second fixing member 571A magnetic scale 800 drive control unit 810 light projection control unit 820 imaging control unit 830 focus Control unit 840 Stage control unit 900 Arithmetic processing unit 910 Data generation unit 920 Focus determination unit 930 Condition setting unit 940 Direction determination unit 950 Conversion unit 960 Exclusive unit A1 Optical axis A10, A20 Rotation axis E1, E2 Encoder S Observed object SS Support surface SW screw

Claims (9)

観察対象物が載置される載置面を有するステージと、前記載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部とを備える拡大観察装置を操作するために支持面上に載置されて使用可能なコンソールであって、
第1部分および第2部分を有する本体部と、
前記第1部分に設けられかつ前記撮像部による観察対象物の撮像に関する処理を指令するための一または複数のキーを含むキー入力部と、
前記第1部分に設けられかつ前記ステージを前記載置面に平行な面内で移動させるための移動操作部と、
前記第2部分に設けられかつ前記ステージに対する前記撮像部の相対的な上下方向の距離を調整するためのダイヤル部とを備え、
前記第2部分は前記第1部分の側部に設けられ、
前記ダイヤル部は、前記第2部分の側方を向く回転軸の周りで回転可能に前記第2部分の側部に設けられ、
前記支持面からの前記第1部分の厚みは、前記支持面からの前記第2部分の厚みよりも小さい、コンソール。
In order to operate the magnifying observation apparatus including a stage having a mounting surface on which the observation target object is mounted, and an imaging unit that images the observation target object mounted on the mounting surface, the mounting is performed on the support surface. It is a console that can be installed and used,
A body portion having a first portion and a second portion,
A key input unit provided in the first portion and including one or a plurality of keys for instructing a process relating to imaging of an observation object by the imaging unit;
A movement operation unit provided in the first portion and for moving the stage in a plane parallel to the mounting surface;
A dial unit provided in the second portion for adjusting a relative vertical distance of the imaging unit with respect to the stage,
The second portion is provided on a side portion of the first portion,
The dial portion is provided on the side portion of the second portion so as to be rotatable around a rotation axis that faces the side of the second portion,
The console, wherein the thickness of the first portion from the support surface is less than the thickness of the second portion from the support surface.
前記第1部分は略扁平形状を有する、請求項1記載のコンソール。 The console according to claim 1, wherein the first portion has a substantially flat shape. 前記第1部分は、前記キー入力部および前記移動操作部が配置される操作面を有し、前記支持面からの前記ダイヤル部の上端の高さは前記支持面からの前記操作面の高さよりも大きい、請求項1または2記載のコンソール。 The first portion has an operation surface on which the key input portion and the movement operation portion are arranged, and a height of an upper end of the dial portion from the support surface is higher than a height of the operation surface from the support surface. The console according to claim 1 or 2, which is also large. 前記第2部分は前記第1部分の前記操作面から上方へ膨出するように形成された、請求項3記載のコンソール。 The console according to claim 3, wherein the second portion is formed so as to bulge upward from the operation surface of the first portion. 前記第1部分は略直方体形状を有し、
前記ダイヤル部の回転軸は前記略直方体形状の長辺に平行である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のコンソール。
The first portion has a substantially rectangular parallelepiped shape,
The console according to claim 1, wherein a rotation axis of the dial portion is parallel to a long side of the substantially rectangular parallelepiped shape.
前記ダイヤル部は、
第1の直径を有する第1のダイヤル部材と、
前記第1の直径よりも小さい第2の直径を有する第2のダイヤル部材とを含み、
前記第1および第2のダイヤル部材は前記回転軸の周りで回転可能である、請求項1〜5のいずれか一項に記載のコンソール。
The dial section is
A first dial member having a first diameter;
A second dial member having a second diameter smaller than the first diameter,
The console according to any one of claims 1 to 5, wherein the first and second dial members are rotatable around the rotation axis.
前記第1のダイヤル部材および前記第2のダイヤル部材は、前記第2部分の側部から側方へこの順序で設けられた、請求項6記載のコンソール。 7. The console according to claim 6, wherein the first dial member and the second dial member are provided in this order from side to side of the second portion. 観察対象物を撮像することにより得られる画像を表示する拡大観察装置であって、
観察対象物が載置される載置面を有するステージと、
前記載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部と、
前記ステージを前記載置面に平行な面内で移動させる移動部と、
前記ステージに対する前記撮像部の相対的な上下方向の距離を変化させる相対距離変化部と、
請求項1〜7のいずれか一項に記載のコンソールと、
前記コンソールの前記キー入力部の操作に応答して前記撮像部による撮像に関する処理を実行するとともに、前記移動操作部および前記ダイヤル部の操作に基づいて前記移動部および前記相対距離変化部を制御する制御部とを備える、拡大観察装置。
A magnifying observation device for displaying an image obtained by imaging an observation object,
A stage having a mounting surface on which the observation object is mounted,
An imaging unit for imaging the observation object placed on the placement surface,
A moving unit that moves the stage in a plane parallel to the mounting surface,
A relative distance changing unit that changes a relative vertical distance of the imaging unit with respect to the stage;
A console according to any one of claims 1 to 7,
In response to an operation of the key input unit of the console, a process related to imaging by the imaging unit is executed, and the moving unit and the relative distance changing unit are controlled based on an operation of the moving operation unit and the dial unit. A magnifying observation device including a control unit.
前記ステージ、前記移動部、前記相対距離変化部および前記撮像部を支持するベースと、
前記ベースの側部に設けられ、前記ステージに対する前記撮像部の相対的な上下方向の距離を調整するためのベースダイヤル部とを備え、
前記ベースダイヤル部は、前記ベースの側方を向く回転軸の周りで回転可能に前記ベースの側部に設けられる、請求項8記載の拡大観察装置。
A base that supports the stage, the moving unit, the relative distance changing unit, and the imaging unit,
A base dial portion provided on a side portion of the base for adjusting a relative vertical distance of the imaging unit with respect to the stage,
9. The magnifying observation apparatus according to claim 8, wherein the base dial portion is provided on the side portion of the base so as to be rotatable around a rotation axis that faces the side of the base.
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