JP6707837B2 - 半導体結晶基板、半導体装置、半導体結晶基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体結晶基板、半導体装置、半導体結晶基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6707837B2 JP6707837B2 JP2015213395A JP2015213395A JP6707837B2 JP 6707837 B2 JP6707837 B2 JP 6707837B2 JP 2015213395 A JP2015213395 A JP 2015213395A JP 2015213395 A JP2015213395 A JP 2015213395A JP 6707837 B2 JP6707837 B2 JP 6707837B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- cap layer
- semiconductor
- cap
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 199
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 90
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 29
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 283
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 18
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 12
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 10
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 9
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 6
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 6
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 4
- 238000009532 heart rate measurement Methods 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
- H01L29/7787—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT with wide bandgap charge-carrier supplying layer, e.g. direct single heterostructure MODFET
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/432—Heterojunction gate for field effect devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66446—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET]
- H01L29/66462—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET] with a heterojunction interface channel or gate, e.g. HFET, HIGFET, SISFET, HJFET, HEMT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/51—Insulating materials associated therewith
- H01L29/518—Insulating materials associated therewith the insulating material containing nitrogen, e.g. nitride, oxynitride, nitrogen-doped material
Description
(半導体装置)
次に、第1の実施の形態における半導体装置について説明する。本実施の形態における半導体装置は、図8に示されるように、基板10の上に、不図示の核形成層、バッファ層11、電子走行層21、スペーサ層22、電子供給層23、第1のキャップ層24、第2のキャップ層25が形成されている。第2のキャップ層25の上にはゲート電極31が形成されており、ソース電極32及びドレイン電極33は電子供給層23の上に形成されている。尚、本実施の形態における半導体結晶基板は、基板10の上に、不図示の核形成層、バッファ層11、電子走行層21、スペーサ層22、電子供給層23、第1のキャップ層24、第2のキャップ層25が形成されている基板である。また、本願においては、電子走行層21を第1の半導体層、電子供給層23を第2の半導体層、スペーサ層22を第3の半導体層と記載する場合がある。
次に、本実施の形態における半導体装置の製造方法について、図13及び図14に基づき説明する。本実施の形態における半導体装置の製造方法は、シリコン基板等の基板10の上に、窒化物半導体膜をエピタキシャル成長させることにより形成する。本実施の形態における説明では、窒化物半導体膜は、MOCVDにより形成し、更に、パッシベーション膜を形成した構造の半導体装置について説明する。窒化物半導体膜をMOCVDにより成膜する際には、Inの原料ガスにはTMI(トリメチルインジウム)が用いられ、Alの原料ガスにはTMA(トリメチルアルミニウム)が用いられ、Gaの原料ガスにはTMG(トリメチルガリウム)が用いられる。また、Nの原料ガスにはNH3(アンモニア)が用いられる。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、半導体デバイス、電源装置及び高周波増幅器である。
(付記1)
基板の上に、窒化物半導体により形成された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に、窒化物半導体により形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の上に形成された第1のキャップ層と、
前記第1のキャップ層の上に形成された第2のキャップ層と、
を有し、
前記第1の半導体層及び第2の半導体層は、結晶構造が単結晶であって、
前記第1のキャップ層は、結晶構造が単結晶または多結晶であって、
前記第2のキャップ層は、結晶構造がアモルファスであることを特徴とする半導体結晶基板。
(付記2)
前記第1のキャップ層及び前記第2のキャップ層は、酸化物、窒化物、酸窒化物により形成されていることを特徴とする付記1に記載の半導体結晶基板。
(付記3)
前記第1のキャップ層及び前記第2のキャップ層は、AlNを含む材料により形成されていることを特徴とする付記1に記載の半導体結晶基板。
(付記4)
前記第1のキャップ層と前記第2のキャップ層は同じ材料により形成されていることを特徴とする付記1から3のいずれかに記載の半導体結晶基板。
(付記5)
前記第1のキャップ層の膜厚は、1nm以上、3nm以下であることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載の半導体結晶基板。
(付記6)
前記第2のキャップ層の膜厚は、2nm以上、5nm以下であることを特徴とする付記1から5のいずれかに記載の半導体結晶基板。
(付記7)
前記第1のキャップ層の膜厚よりも、前記第2のキャップ層の膜厚が厚いことを特徴とする付記1から6のいずれかに記載の半導体結晶基板。
(付記8)
前記第1の半導体層は、GaNを含む材料により形成されており、前記第2の半導体層はInAlNまたはInAlGaNを含む材料により形成されていることを特徴とする付記1から7のいずれかに記載の半導体結晶基板。
(付記9)
基板の上に、窒化物半導体により形成された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に、窒化物半導体により形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の上に形成された第1のキャップ層と、
前記第1のキャップ層の上に形成された第2のキャップ層と、
前記第2の半導体層の上に形成されたソース電極及びドレイン電極と、
前記第2のキャップ層の上に形成されたゲート電極と、
を有し、
前記第1の半導体層及び第2の半導体層は、結晶構造が単結晶であって、
前記第1のキャップ層は、結晶構造が単結晶または多結晶であって、
前記第2のキャップ層は、結晶構造がアモルファスであることを特徴とする半導体装置。
(付記10)
前記第1のキャップ層及び前記第2のキャップ層は、酸化物、窒化物、酸窒化物により形成されていることを特徴とする付記9に記載の半導体装置。
(付記11)
前記第1のキャップ層及び前記第2のキャップ層は、AlNを含む材料により形成されていることを特徴とする付記9に記載の半導体装置。
(付記12)
前記第1のキャップ層と前記第2のキャップ層は同じ材料により形成されていることを特徴とする付記9から11のいずれかに記載の半導体装置。
(付記13)
前記第1のキャップ層の膜厚は、1nm以上、3nm以下であることを特徴とする付記9から12のいずれかに記載の半導体装置。
(付記14)
前記第2のキャップ層の膜厚は、2nm以上、5nm以下であることを特徴とする付記9から13のいずれかに記載の半導体装置。
(付記15)
前記第1のキャップ層の膜厚よりも、前記第2のキャップ層の膜厚が厚いことを特徴とする付記9から14のいずれかに記載の半導体装置。
(付記16)
前記第1の半導体層は、GaNを含む材料により形成されており、前記第2の半導体層はInAlNまたはInAlGaNを含む材料により形成されていることを特徴とする付記9から15のいずれかに記載の半導体装置。
(付記17)
基板の上に、窒化物半導体により単結晶の第1の半導体層を形成する工程と、
前記第1の半導体層の上に、窒化物半導体により単結晶の第2の半導体層を形成する工程と、
前記第2の半導体層の上に、結晶構造が単結晶または多結晶の第1のキャップ層を形成する工程と、
前記第1のキャップ層の上に、結晶構造がアモルファスの第2のキャップ層を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体結晶基板の製造方法。
(付記18)
基板の上に、窒化物半導体により単結晶の第1の半導体層を形成する工程と、
前記第1の半導体層の上に、窒化物半導体により単結晶の第2の半導体層を形成する工程と、
前記第2の半導体層の上に、結晶構造が単結晶または多結晶の第1のキャップ層を形成する工程と、
前記第1のキャップ層の上に、結晶構造がアモルファスの第2のキャップ層を形成する工程と、
前記第2の半導体層の上に、ソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
前記第2のキャップ層の上に、ゲート電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記19)
付記1から16のいずれかに記載の半導体装置を有することを特徴とする電源装置。
(付記20)
付記1から16のいずれかに記載の半導体装置を有することを特徴とする増幅器。
11 バッファ層
21 電子走行層(第1の半導体層)
21a 2DEG
22 スペーサ層(第3の半導体層)
23 電子供給層(第2の半導体層)
24 第1のキャップ層
25 第2のキャップ層
31 ゲート電極
32 ソース電極
33 ドレイン電極
Claims (6)
- 基板の上に、窒化物半導体により形成された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に、窒化物半導体により形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の上に形成された第1のキャップ層と、
前記第1のキャップ層の上に形成された第2のキャップ層と、
を有し、
前記第1の半導体層及び第2の半導体層は、結晶構造が単結晶であって、
前記第1のキャップ層は、結晶構造が単結晶または多結晶であって、
前記第2のキャップ層は、結晶構造がアモルファスであり、
前記第1のキャップ層の膜厚よりも、前記第2のキャップ層の膜厚が厚く、
前記第1のキャップ層の膜厚は、1nm以上、3nm以下であり、
前記第2のキャップ層の膜厚は、2nm以上、5nm以下であって、
前記第1のキャップ層及び前記第2のキャップ層は、AlNにより形成されていることを特徴とする半導体結晶基板。 - 前記第1の半導体層は、GaNを含む材料により形成されており、前記第2の半導体層はInAlNまたはInAlGaNを含む材料により形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体結晶基板。
- 基板の上に、窒化物半導体により形成された第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に、窒化物半導体により形成された第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の上に形成された第1のキャップ層と、
前記第1のキャップ層の上に形成された第2のキャップ層と、
前記第2の半導体層の上に形成されたソース電極及びドレイン電極と、
前記第2のキャップ層の上に形成されたゲート電極と、
を有し、
前記第1の半導体層及び第2の半導体層は、結晶構造が単結晶であって、
前記第1のキャップ層は、結晶構造が単結晶または多結晶であって、
前記第2のキャップ層は、結晶構造がアモルファスであり、
前記第1のキャップ層の膜厚よりも、前記第2のキャップ層の膜厚が厚く、
前記第1のキャップ層の膜厚は、1nm以上、3nm以下であり、
前記第2のキャップ層の膜厚は、2nm以上、5nm以下であって、
前記第1のキャップ層及び前記第2のキャップ層は、AlNにより形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の半導体層は、GaNを含む材料により形成されており、前記第2の半導体層はInAlNまたはInAlGaNを含む材料により形成されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 基板の上に、窒化物半導体により単結晶の第1の半導体層を形成する工程と、
前記第1の半導体層の上に、窒化物半導体により単結晶の第2の半導体層を形成する工程と、
前記第2の半導体層の上に、結晶構造が単結晶または多結晶の第1のキャップ層を形成する工程と、
前記第1のキャップ層の上に、結晶構造がアモルファスの第2のキャップ層を形成する工程と、
を有し、
前記第1のキャップ層の膜厚よりも、前記第2のキャップ層の膜厚が厚く、
前記第1のキャップ層の膜厚は、1nm以上、3nm以下であり、
前記第2のキャップ層の膜厚は、2nm以上、5nm以下であって、
前記第1のキャップ層及び前記第2のキャップ層は、AlNにより形成されていることを特徴とする半導体結晶基板の製造方法。 - 基板の上に、窒化物半導体により単結晶の第1の半導体層を形成する工程と、
前記第1の半導体層の上に、窒化物半導体により単結晶の第2の半導体層を形成する工程と、
前記第2の半導体層の上に、結晶構造が単結晶または多結晶の第1のキャップ層を形成する工程と、
前記第1のキャップ層の上に、結晶構造がアモルファスの第2のキャップ層を形成する工程と、
前記第2の半導体層の上に、ソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
前記第2のキャップ層の上に、ゲート電極を形成する工程と、
を有し、
前記第1のキャップ層の膜厚よりも、前記第2のキャップ層の膜厚が厚く、
前記第1のキャップ層の膜厚は、1nm以上、3nm以下であり、
前記第2のキャップ層の膜厚は、2nm以上、5nm以下であって、
前記第1のキャップ層及び前記第2のキャップ層は、AlNにより形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015213395A JP6707837B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 半導体結晶基板、半導体装置、半導体結晶基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
US15/276,023 US10032899B2 (en) | 2015-10-29 | 2016-09-26 | Semiconductor device and method therefor including multiple cap layers with amorphous layer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015213395A JP6707837B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 半導体結晶基板、半導体装置、半導体結晶基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017085014A JP2017085014A (ja) | 2017-05-18 |
JP6707837B2 true JP6707837B2 (ja) | 2020-06-10 |
Family
ID=58635788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015213395A Active JP6707837B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 半導体結晶基板、半導体装置、半導体結晶基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10032899B2 (ja) |
JP (1) | JP6707837B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6868389B2 (ja) * | 2016-12-27 | 2021-05-12 | 住友化学株式会社 | 半導体基板および電子デバイス |
CN113793805B (zh) * | 2021-11-15 | 2022-02-11 | 浙江集迈科微电子有限公司 | GaN基HEMT器件及其制备方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008306130A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Sanken Electric Co Ltd | 電界効果型半導体装置及びその製造方法 |
JP5806545B2 (ja) | 2011-08-03 | 2015-11-10 | 日本碍子株式会社 | 半導体素子、hemt素子、および半導体素子の製造方法 |
US20130099284A1 (en) | 2011-10-20 | 2013-04-25 | Triquint Semiconductor, Inc. | Group iii-nitride metal-insulator-semiconductor heterostructure field-effect transistors |
JP6085442B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2017-02-22 | トランスフォーム・ジャパン株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
US9847401B2 (en) * | 2014-02-20 | 2017-12-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor device and method of forming the same |
-
2015
- 2015-10-29 JP JP2015213395A patent/JP6707837B2/ja active Active
-
2016
- 2016-09-26 US US15/276,023 patent/US10032899B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170125564A1 (en) | 2017-05-04 |
US10032899B2 (en) | 2018-07-24 |
JP2017085014A (ja) | 2017-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9818840B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device | |
JP5784440B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
US9947781B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
TWI466292B (zh) | 半導體裝置 | |
US20140264364A1 (en) | Semiconductor device | |
US20190326404A1 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
KR101418205B1 (ko) | 화합물 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US9853138B2 (en) | III-N based high power transistor with InAlGaN barrier | |
US9595594B2 (en) | Compound semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP6658253B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US10600901B2 (en) | Compound semiconductor device and manufacturing method thereof | |
US10084059B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device | |
JP6707837B2 (ja) | 半導体結晶基板、半導体装置、半導体結晶基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP6687831B2 (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
US20240006526A1 (en) | Semiconductor device, method for manufacturing semiconductor device, and electronic device | |
JP7231824B2 (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子装置 | |
US11038045B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2021027151A (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び増幅器 | |
JP2016178325A (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
JP2014220338A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180706 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200421 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200504 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6707837 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |