JP6706569B2 - Electromagnetic field shield sheet - Google Patents

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Description

本発明は、電界シールド性及び磁界シールド性を兼ね備えた電磁界シールドシートに関し、特に、薄いながらも高いシールド性を与える電磁界シールドシートに関する。 The present invention relates to an electromagnetic field shield sheet having both an electric field shield property and a magnetic field shield property, and particularly to an electromagnetic field shield sheet that is thin but provides high shield property.

通過する電磁波のエネルギーを吸収してこれを減衰させるシールド部材において、これをシート状に形成することで電子機器の筐体の内面に沿って与えることができて、電子機器内部の基板等からの電磁波を筐体外部へ漏出することを防ぎ、あるいは電子機器を筐体外部の電磁波から保護できる。このような電磁界シールドシートをより薄型にすることで、小型の電子機器の内部に取り付けることも可能となり、また、大面積を覆うこともより容易となって、実用的に高い汎用性を有することになる。 In a shield member that absorbs energy of passing electromagnetic waves and attenuates it, by forming it in a sheet shape, it can be given along the inner surface of the casing of the electronic device, and can be applied from the substrate inside the electronic device. It is possible to prevent the electromagnetic wave from leaking to the outside of the housing or protect the electronic device from the electromagnetic wave outside the housing. By making such an electromagnetic field shield sheet thinner, it becomes possible to mount it inside a small electronic device, and it becomes easier to cover a large area, and it has practically high versatility. It will be.

例えば、特許文献1では、金属被覆繊維を含む薄布の表面に軟磁性合金粉末を含む塗料を塗布した電磁波に対する作業用防護衣などに用いるための電磁波シールド布地を開示している。かかる電磁波シールド布地は、塩化ビニール系接着材に混和させたFe−Al−SiやFe−Niからなる軟磁性合金粉末を銀の被覆された繊維からなる不織布の表面に塗布し、さらに塩化ビニール系接着剤で軟質塩化ビニールシートに張り合わせて製造されるとしている。 For example, Patent Document 1 discloses an electromagnetic wave shield cloth for use in protective clothing for working against electromagnetic waves in which a coating material containing soft magnetic alloy powder is applied to the surface of a thin cloth containing metal-coated fibers. Such an electromagnetic wave shielding cloth is obtained by applying a soft magnetic alloy powder made of Fe-Al-Si or Fe-Ni mixed with a vinyl chloride adhesive to the surface of a non-woven fabric made of fibers coated with silver, and further applying a vinyl chloride series cloth. It is said that it will be manufactured by bonding it to a soft vinyl chloride sheet with an adhesive.

また、特許文献2では、軟磁性体粉末と結合剤による磁性シートを導電性シートの両面に貼り付けた積層シートからなる電磁干渉抑制体を開示している。磁性シートで電磁波を吸収するとともに、磁性シートを通過した電磁波を導電性シートで磁性シートに向けて反射させて高い電磁波吸収能を有するとしている。磁性シートは、塩素化ポリエチレン等のエラストマを有機結合剤として、この有機結合剤に軟磁性体粉末を分散させたものを圧延ロール等でシート化して得ている。ここで、導電性シートはNiメッキされたメッシュ状の織物であり、複数の孔を有するために磁性シートとの圧延積層における接着強度が増すとしている。 Further, Patent Document 2 discloses an electromagnetic interference suppressor including a laminated sheet in which magnetic sheets made of a soft magnetic material powder and a binder are attached to both surfaces of a conductive sheet. It is said that the magnetic sheet absorbs electromagnetic waves, and the electromagnetic waves that have passed through the magnetic sheet are reflected by the conductive sheet toward the magnetic sheet to have a high electromagnetic wave absorbing ability. The magnetic sheet is obtained by using elastomer such as chlorinated polyethylene as an organic binder and dispersing soft magnetic powder in the organic binder to form a sheet with a rolling roll or the like. Here, the conductive sheet is a Ni-plated mesh-like woven fabric, and since it has a plurality of holes, it is said that the adhesive strength in the rolling lamination with the magnetic sheet is increased.

特開平5−186966号公報JP-A-5-186966 特開平10−79595号公報JP, 10-79595, A

電磁界シールドシートにおいて、単純に、電界シールドシートと磁界シールドシートとを積層させると、その厚さは大きくなる。また、電磁界の透過減衰能を高めるには厚さをより大とすることが考慮できる。一方、厚さをより大きくすると、シートとしての可撓性を失い、更に、その内部に軟磁性金属粉末を分散させた場合には、曲げ加工等により該軟磁性金属粉末が脱落し、該シートの強度が低下することもある。逆に、可撓性を維持するためには、軟磁性金属粉の含有密度を低くせざるを得ず、結果として同じ透過減衰能を得るにはシートの厚さを大とすることになってしまう。 In the electromagnetic field shield sheet, simply stacking the electric field shield sheet and the magnetic field shield sheet increases the thickness. Further, in order to enhance the transmission attenuation capability of the electromagnetic field, it can be considered that the thickness is larger. On the other hand, when the thickness is made larger, the flexibility as a sheet is lost, and when the soft magnetic metal powder is dispersed in the sheet, the soft magnetic metal powder falls off by bending or the like, and the sheet May decrease in strength. On the contrary, in order to maintain the flexibility, the content density of the soft magnetic metal powder must be lowered, and as a result, the sheet thickness must be increased to obtain the same transmission attenuation ability. I will end up.

本発明は、以上のような状況に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、薄いながらも高いシールド性を与える電磁界シールドシートを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an electromagnetic field shield sheet that is thin but has high shielding properties.

本発明による電磁界シールドシートは、電界シールド性及び磁界シールド性を兼ね備えた電磁界シールドシートであって、可撓性を有する絶縁性の樹脂シート体の主面に沿って電界シールド性を付与する導電性材料からなる網状体が埋設されているとともに、前記網状体の網目内外であって前記樹脂シート体に前記主面と略平行となるように磁界シールド性を付与する扁平な軟磁性金属粉末が配向分散されていることを特徴とする。 The electromagnetic field shield sheet according to the present invention is an electromagnetic field shield sheet having both an electric field shield property and a magnetic field shield property, and imparts an electric field shield property along the main surface of a flexible insulating resin sheet body. A flat soft magnetic metal powder that is embedded with a mesh made of a conductive material and that imparts magnetic field shielding properties to the resin sheet body inside and outside the mesh of the mesh so as to be substantially parallel to the main surface. Are oriented and dispersed.

かかる発明によれば、電界シールド性を付与する導電性金属からなる網状体と磁界シールド性を付与する扁平な軟磁性金属粉末を複合させることで、高い電界シールド性及び磁界シールド性を与えるのである。また、磁界シールド性を付与する扁平な軟磁性金属粉末を分散させた樹脂シート体について、電界シールド性を付与する導電性金属からなる網状体が複合強化を与えるとともに、樹脂シート体の可撓性を維持するのである。 According to such an invention, a high electric field shielding property and magnetic field shielding property are provided by compounding a mesh made of a conductive metal that imparts an electric field shielding property and a flat soft magnetic metal powder that imparts a magnetic field shielding property. .. In addition, regarding the resin sheet body in which the flat soft magnetic metal powder which imparts the magnetic field shielding property is dispersed, the net-like body made of the conductive metal which imparts the electric field shielding property provides the composite reinforcement and the flexibility of the resin sheet body. To maintain.

上記した発明において、前記樹脂シート体は100質量部中に前記軟磁性金属粉末を80〜90質量部含むことを特徴としてもよい。かかる発明によれば、軟磁性金属粉末の充填率をより高くして、より高い磁界シールド性を与え得る。 In the above invention, the resin sheet body may include 80 to 90 parts by mass of the soft magnetic metal powder in 100 parts by mass. According to this invention, the filling rate of the soft magnetic metal powder can be further increased to provide a higher magnetic field shielding property.

上記した発明において、前記樹脂シート体はウレタン樹脂からなることを特徴としてもよい。かかる発明によれば、網目内外において軟磁性金属粉末の充填率を高くし得るとともにその配向性を高くできて、より高い磁界シールド性を与え得る。つまり、ウレタン樹脂の追従変形能により、扁平な軟磁性金属粉末を充填率を高く樹脂中に配向分散させてもその脱落を防止でき、可撓性を維持できるのである。 In the above invention, the resin sheet body may be made of urethane resin. According to such an invention, it is possible to increase the filling rate of the soft magnetic metal powder inside and outside the mesh and increase the orientation thereof, so that a higher magnetic field shielding property can be provided. In other words, due to the follow-up deformability of the urethane resin, even if the flat soft magnetic metal powder is highly filled and oriented and dispersed in the resin, it can be prevented from falling off and the flexibility can be maintained.

上記した発明において、前記軟磁性金属粉末は、平均粒径D50を20μm以上100μm以下とし、扁平度を20以上とした扁平形状を有し、前記網状体の前記網目は前記平均粒径D50よりも大きいことを特徴としてもよい。また、上記した発明において、前記網状体は開口率を20%以上とすることを特徴としてもよい。かかる発明によれば、網目内における軟磁性金属粉末の配向性を高くできて、より高い磁界シールド性を与え得る。 In the above invention, the soft magnetic metal powder has a flat shape with an average particle size D50 of 20 μm or more and 100 μm or less and a flatness of 20 or more, and the mesh of the reticulate body is more than the average particle size D50. It may be characterized by being large. Further, in the above invention, the mesh may have an aperture ratio of 20% or more. According to this invention, the orientation of the soft magnetic metal powder in the mesh can be enhanced, and a higher magnetic field shielding property can be provided.

上記した発明において、前記網状体は目開き0.05mm以上1mm以下であることを特徴としてもよい。かかる発明によれば、電界シールド性を維持しつつ網目内における軟磁性金属粉末の配向性を高くできて、より高い電界シールド性及び磁界シールド性を与え得る。 In the above invention, the mesh may have an opening of 0.05 mm or more and 1 mm or less. According to this invention, the orientation of the soft magnetic metal powder in the mesh can be enhanced while maintaining the electric field shielding property, and higher electric field shielding property and magnetic field shielding property can be provided.

上記した発明において、前記軟磁性金属粉末はFe−Ni系合金、Fe−Si系合金、Fe−Si−Cr系合金、又は、Fe−Si−Al系合金からなることを特徴としてもよい。かかる発明によれば、高い磁界シールド性を与え得るのである。 In the above invention, the soft magnetic metal powder may be made of an Fe-Ni based alloy, an Fe-Si based alloy, an Fe-Si-Cr based alloy, or an Fe-Si-Al based alloy. According to this invention, a high magnetic field shielding property can be provided.

本発明による電磁界シールドシートの(a)斜視図及び(b)部分断面図である。FIG. 3A is a perspective view and FIG. 2B is a partial sectional view of an electromagnetic field shield sheet according to the present invention. 電磁界シールドシートに用いられる網状体の部分平面図である。It is a partial top view of the net-like body used for an electromagnetic field shield sheet. 本発明による他の電磁界シールドシートの部分断面図である。FIG. 6 is a partial sectional view of another electromagnetic field shield sheet according to the present invention. 軟磁性合金粉末に用いた合金の成分組成を示す表である。It is a table which shows the component composition of the alloy used for the soft magnetic alloy powder. 電磁波の電界についての減衰率の測定結果の図である。It is a figure of the measurement result of the attenuation rate about the electric field of electromagnetic waves. 電磁波の磁界についての減衰率の測定結果の図である。It is a figure of the measurement result of the attenuation rate about the magnetic field of an electromagnetic wave. 10MHzの電磁波の減衰率の測定結果((a)電界シールド(b)磁界シールド)Measurement result of 10 MHz electromagnetic wave attenuation factor ((a) electric field shield (b) magnetic field shield) 100MHzの電磁波の減衰率の測定結果((a)電界シールド(b)磁界シールド)Measurement result of 100MHz electromagnetic wave attenuation factor ((a) electric field shield (b) magnetic field shield) 電磁界シールドシートの構成及び減衰率の測定結果の一覧である。It is a list of the measurement results of the configuration and the attenuation rate of the electromagnetic field shield sheet. 電磁界シールドシートの断面の顕微鏡観察写真である。It is a microscope observation photograph of the cross section of an electromagnetic field shield sheet.

本発明による1つの実施例としての電磁界シールドシートについて、図1乃至図3を用いて説明する。 An electromagnetic field shield sheet as one example according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

図1に示すように、電磁界シールドシートであるシート体10は、その厚さ方向の全域にわたって配置される絶縁性の樹脂シート体である樹脂2の内部に網状体1を埋設し、さらに網状体1の網目内外であって樹脂シート体の全体に軟磁性合金からなる軟磁性合金粉末の粉体3が分散されている。粉体3は扁平形状を有し、シート体10の主面に略平行になるように配向されている。これにより、網状体1のシート体10主面方向では、網目間に配置される粉体3によって主面方向の導電性を向上させ、網状体1が本来有する電界シールド性をより向上させることになる。また、網目内を含んでシート体10の全体に配向分散された粉体3は、樹脂2によって互いに適度に絶縁され、シート体10の全体に発生する渦電流を抑えることができる。特に、周波数の高い領域でより高い磁界シールド性を得ることができる。 As shown in FIG. 1, a sheet body 10 which is an electromagnetic field shield sheet has a mesh body 1 embedded inside a resin 2 which is an insulating resin sheet body arranged over the entire area in the thickness direction, and further has a mesh shape. A powder 3 of a soft magnetic alloy powder made of a soft magnetic alloy is dispersed inside and outside the mesh of the body 1 and throughout the resin sheet body. The powder 3 has a flat shape and is oriented so as to be substantially parallel to the main surface of the sheet body 10. As a result, in the main surface direction of the sheet body 10 of the mesh body 1, the powder 3 disposed between the meshes improves the conductivity in the main surface direction and further improves the electric field shielding property originally possessed by the mesh body 1. Become. Further, the powders 3 that are oriented and dispersed in the entire sheet body 10 including the inside of the mesh are appropriately insulated from each other by the resin 2, and the eddy current generated in the entire sheet body 10 can be suppressed. In particular, a higher magnetic field shielding property can be obtained in a high frequency region.

図2を併せて参照すると、網状体1は、導電性の金属からなる金属線11を平織にして、金属線11同士の各接点を互いに導通させている。つまり、網状体1は、網目12による開口以外については導通が確保されている。金属線11としては、銅やアルミニウム、ステンレスの如き鋼系の合金なども用い得て、その磁性に関わらず使用できる。なお網状体1はこれに限らず、金属線11を他の織り方としたものでもよいし、パンチングメタルの如き金属シートに多数の孔を開口させたものであってもよく、また、導電性金属を被覆させた樹脂や導電性フィラーを含有させた樹脂等からなる繊維を織ったものなどでもよい。繊維に含有させる導電性フィラーとしては、カーボンブラックや銅やアルミなどの導電性金属粉を用い得る。このようにして、網状体1は、導電性材料を用いて網目12などの開口部以外の導通を確保される。 Referring also to FIG. 2, in the mesh body 1, the metal wire 11 made of a conductive metal is plain-woven, and the respective contacts of the metal wires 11 are electrically connected to each other. That is, in the mesh body 1, conduction is secured except for the openings by the mesh 12. As the metal wire 11, a copper-based alloy such as copper, aluminum, or stainless steel can be used, and can be used regardless of its magnetism. Note that the mesh body 1 is not limited to this, and may be a metal wire 11 woven in another way, or may be a metal sheet such as punched metal with a large number of holes opened, and the mesh is made of a conductive material. It may be a woven fiber made of a resin coated with a metal or a resin containing a conductive filler. As the conductive filler contained in the fiber, carbon black or conductive metal powder such as copper or aluminum can be used. In this way, the net-like body 1 is made of a conductive material to ensure electrical continuity other than the openings such as the mesh 12.

網状体1は、主に電界シールド性を付与するため、通過する電磁波のエネルギーを減衰させられるようにその網目12を細かくされる。また、網目12内にも粉体3を配向分散させて磁界シールドの効果を得る必要がある。そのため、網目12は後述する粉体3の平均粒径D50よりも大きいことが好ましい。つまり、粉体3をシート体10の主面に略平行に配向させて網目12内に配置する観点からは、網目12を大きくすることが好ましい。これらを考慮して、例えば、網目12の目開きは円相当径で0.05mm以上1mm以下の範囲内であることが好ましく、開口率は、20%以上85%以下の範囲内であることが好ましい。 Since the net-like body 1 mainly imparts the electric field shielding property, the mesh 12 is made fine so that the energy of the electromagnetic wave passing therethrough can be attenuated. Further, it is necessary to orient and disperse the powder 3 in the mesh 12 to obtain the effect of magnetic field shielding. Therefore, the mesh 12 is preferably larger than the average particle diameter D50 of the powder 3 described later. In other words, from the viewpoint of arranging the powder 3 in the mesh 12 by orienting the powder 3 substantially parallel to the main surface of the sheet body 10, it is preferable to make the mesh 12 large. Considering these, for example, the mesh opening of the mesh 12 is preferably in the range of 0.05 mm or more and 1 mm or less in equivalent circle diameter, and the aperture ratio is in the range of 20% or more and 85% or less. preferable.

樹脂2は、シート体10に成形する前に粉体3をシート体10内に分散配向させるバインダーである。このような樹脂2として、例えば、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びシリコーン樹脂などを使用し得る。網状体1や粉体3への密着性の高いことも好ましい。 The resin 2 is a binder that disperses and orients the powder 3 in the sheet body 10 before forming the sheet body 10. As such a resin 2, for example, urethane resin, acrylic resin, polyester resin, epoxy resin, polyimide resin, silicone resin or the like can be used. It is also preferable that the adhesion to the reticulate body 1 and the powder 3 is high.

特に、ウレタン樹脂であると粉体3の配向性を高くできて好ましい。例えば、シート体10の製造時において、粉体3を含むウレタン樹脂による軟磁性塗料を網状体1に塗布すると、扁平な形状の粉体3が自然にシート体10の主面に沿った方向に配向することが確認されている。さらにウレタン樹脂の追従変形能により、網状体1や粉体3への密着性を高くしてシート体10の変形時の破断を抑制できて好ましい。また、扁平な粉体3を充填率高く配向分散させてもその脱落を防止できる。なお、樹脂2についてのその他詳細は、特開2016−21490号公報に述べられているものと同様であり、以下の通りである。 In particular, urethane resin is preferable because the orientation of the powder 3 can be increased. For example, when the soft magnetic paint made of urethane resin containing the powder 3 is applied to the reticulate body 1 during the manufacture of the sheet body 10, the flat powder 3 naturally moves in the direction along the main surface of the sheet body 10. It has been confirmed to be oriented. Further, the follow-up deformability of the urethane resin is preferable because the adhesion to the reticulate body 1 and the powder 3 can be increased and breakage of the sheet body 10 during deformation can be suppressed. Further, even if the flat powder 3 is oriented and dispersed at a high filling rate, it can be prevented from falling off. The other details of the resin 2 are the same as those described in JP-A-2016-21490 and are as follows.

ウレタン樹脂は、ポリオールとポリイソシアネート化合物とを反応させることにより得られる。ウレタン樹脂としては、例えば、ポリエーテル系ポリウレタン、ポリカーボネート系ポリウレタン、ポリエステル系ポリウレタンが挙げられる。中でも、破断伸度が高く柔軟性に優れる点で、ポリエステル系ポリウレタンが好ましく、シート体10に高い可撓性を付与し得る。 The urethane resin is obtained by reacting a polyol with a polyisocyanate compound. Examples of the urethane resin include polyether polyurethane, polycarbonate polyurethane, and polyester polyurethane. Among them, polyester-based polyurethane is preferable in terms of high elongation at break and excellent flexibility, and can impart high flexibility to the sheet body 10.

ポリエーテル系ポリウレタンは、ポリエーテルポリオールとポリイソシアネート化合物との反応物である。ポリエーテルポリオールとしては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコールなどが挙げられる。 Polyether polyurethane is a reaction product of a polyether polyol and a polyisocyanate compound. Examples of the polyether polyol include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol and the like.

ポリカーボネート系ポリウレタンは、ポリカーボネートポリオールとポリイソシアネート化合物との反応物である。ポリカーボネートポリオールとしては、例えば、ジオール(エチレングリコール、プロピレングリコール、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,9−ノナンジオール、ネオペンチルグリコール等)と、カーボネート(ジメチルカーボネート、ジフェニルカーボネート、エチレンカーボネート、ホスゲン等)とを反応させて得られるポリカーボネートジオールなどが挙げられる。 Polycarbonate polyurethane is a reaction product of a polycarbonate polyol and a polyisocyanate compound. Examples of the polycarbonate polyol include diols (ethylene glycol, propylene glycol, 1,3-propanediol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,9-nonanediol, Examples thereof include polycarbonate diol obtained by reacting neopentyl glycol) with a carbonate (dimethyl carbonate, diphenyl carbonate, ethylene carbonate, phosgene, etc.).

ポリエステル系ポリウレタンは、ポリエステルポリオールとポリイソシアネート化合物との反応物である。ポリエステルポリオールとしては、例えば、ジカルボン酸(フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、マレイン酸、フマル酸、アジピン酸、セバシン酸等)と、多価アルコール(エチレングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール等)とを反応させて得られるものなどが挙げられる。 Polyester polyurethane is a reaction product of a polyester polyol and a polyisocyanate compound. Examples of polyester polyols include dicarboxylic acids (phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, maleic acid, fumaric acid, adipic acid, sebacic acid, etc.) and polyhydric alcohols (ethylene glycol, propylene glycol, tetramethylene glycol, 1, 4-butanediol, 1,6-hexanediol, neopentyl glycol, trimethylolpropane, pentaerythritol, etc.) and the like.

ポリイソシアネート化合物としては、例えばヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート、1,3−ビス(イソシアナトメチル)シクロヘキサン、イソホロンジイソシアネートの3量体、水添キシリレンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネートなどが挙げられる。 Examples of the polyisocyanate compound include hexamethylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, xylylene diisocyanate, norbornene diisocyanate, 1,3-bis(isocyanatomethyl)cyclohexane, a trimer of isophorone diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate, Examples thereof include hydrogenated diphenylmethane diisocyanate.

ウレタン樹脂は、その重量平均分子量を、1000〜100000とすることが好ましく、5000〜50000とすることがより好ましい。ウレタン樹脂の重量平均分子量が1000未満であると、シート体1の耐久性を低下させ、絶縁性の低下による磁界シールド性の低下を誘引する傾向にある。一方、ウレタン樹脂の重量平均分子量が100000を超えると、シート体1の柔軟性や、網状体1との密着性を低下させ、粉体3の配向性を低下させる傾向にある。 The weight average molecular weight of the urethane resin is preferably 1,000 to 100,000, and more preferably 5,000 to 50,000. If the weight average molecular weight of the urethane resin is less than 1000, the durability of the sheet body 1 tends to decrease, and the magnetic field shielding property due to the insulation property tends to deteriorate. On the other hand, when the weight average molecular weight of the urethane resin exceeds 100,000, the flexibility of the sheet body 1 and the adhesiveness with the reticulate body 1 are reduced, and the orientation of the powder 3 tends to be reduced.

粉体3は、シート体10に配向分散された軟磁性合金粉末の粒子であり、シート体10に主として磁界シールド性を付与する。粉体3は、上記したように扁平形状を有する軟磁性体であり、シート体10の主面に沿った方向に高い透磁率を付与できることが好ましい。そのため、樹脂2への充填率を高くできることが好ましい。また、上記したように粉体3は網目12の内部においても配向される。これらを考慮して、粉体3の平均粒径D50は20μm以上100μm以下であることが好ましく、後述する扁平度は20以上であることが好ましい。また、樹脂シート体である樹脂2との合計の100質量部中に、粉体3が80〜90質量部含まれることが好ましい。 The powder 3 is particles of the soft magnetic alloy powder that is oriented and dispersed in the sheet body 10, and mainly imparts the magnetic field shielding property to the sheet body 10. The powder 3 is a soft magnetic material having a flat shape as described above, and it is preferable that a high magnetic permeability can be imparted in the direction along the main surface of the sheet body 10. Therefore, it is preferable that the filling rate of the resin 2 can be increased. Further, as described above, the powder 3 is also oriented inside the mesh 12. Considering these, the average particle diameter D50 of the powder 3 is preferably 20 μm or more and 100 μm or less, and the flatness described later is preferably 20 or more. Further, it is preferable that 80 to 90 parts by mass of the powder 3 be contained in 100 parts by mass of the resin 2 which is the resin sheet body in total.

さらに、粉体3の材料である軟磁性合金としては、Fe−Ni系合金、Fe−Si系合金、Fe−Si−Cr系合金、又は、Fe−Si−Al系合金などが好ましい。これらを混合して用いることもできる。これらの合金であれば、上記したような高い透磁率をシート体10に付与し得るとともに、扁平形状への加工も容易である。また、粉体3は、導電性を有すると、網状体1との相乗効果によって電界シールド性を高め得て好ましい。 Further, as the soft magnetic alloy which is the material of the powder 3, Fe-Ni based alloy, Fe-Si based alloy, Fe-Si-Cr based alloy, Fe-Si-Al based alloy or the like is preferable. These can be mixed and used. These alloys can impart the above-mentioned high magnetic permeability to the sheet body 10 and can easily be processed into a flat shape. In addition, it is preferable that the powder 3 has conductivity because the electric field shielding property can be enhanced by the synergistic effect with the mesh body 1.

なお、扁平度は、次のように測定され、定義される。まず、粉体3を樹脂に埋め込んで研磨し、粉体3の厚さ方向を光学顕微鏡で観察して、最大厚さtmaxと最小厚さtminとを求め、その平均値である(tmax+tmin)/2を平均厚さtaとする。100個の粉体3についてtaを求め、それらの平均値を平均粒径D50で除して得た値を扁平度とした。 The flatness is measured and defined as follows. First, the powder 3 is embedded in a resin and polished, and the thickness direction of the powder 3 is observed with an optical microscope to obtain a maximum thickness tmax and a minimum thickness tmin, which is an average value (tmax+tmin)/ 2 is the average thickness ta. Ta was calculated for 100 powders 3, and the average value thereof was divided by the average particle diameter D50 to obtain the flatness.

このようなシート体10は、粉体3による軟磁性合金粉末を樹脂2の原材料と混合した軟磁性塗料を網状体1に塗布し、乾燥させて得ることができる。樹脂2の原材料としては、例えば、ウレタン樹脂に分散剤、有機溶剤、消泡剤などを混合して得られる。塗布の方法としては、スプレー法、スクリーン印刷法、はけによる塗布、浸漬法などが挙げられる。 Such a sheet body 10 can be obtained by applying a soft magnetic paint obtained by mixing a soft magnetic alloy powder of the powder 3 with a raw material of the resin 2 to the mesh body 1 and drying it. The raw material of the resin 2 is obtained, for example, by mixing a urethane resin with a dispersant, an organic solvent, an antifoaming agent, or the like. Examples of the coating method include a spray method, a screen printing method, a brush coating method, and a dipping method.

図1を再び参照すると、シート体10は、その製造時において、樹脂2の原材料及び粉体3を混合した軟磁性塗料を網状体1の片側の面から塗布しており、網状体1の下方に樹脂2及び粉体3が配置されていない部分がある。 Referring to FIG. 1 again, the sheet body 10 is coated with the soft magnetic paint obtained by mixing the raw material of the resin 2 and the powder 3 from one surface of the net body 1 at the time of manufacturing the sheet body 10. There is a portion where the resin 2 and the powder 3 are not arranged.

これに対して、図3に示すように、シート体11は、その製造時において、軟磁性塗料を網状体1の両面から塗布しており、網状体1の両面側に樹脂2及び粉体3が配置される。電磁界シールドシートは、このような両面塗布によるシート体11としてもよい。 On the other hand, as shown in FIG. 3, the sheet body 11 is coated with the soft magnetic paint from both sides of the reticulated body 1 at the time of manufacturing, and the resin 2 and the powder 3 are applied to both sides of the reticulated body 1. Are placed. The electromagnetic field shield sheet may be the sheet body 11 formed by such double-sided coating.

以上のような、シート体10又は11からなる電磁界シールドシートによれば、主として導電性の網状体1による電界シールド性と、主として粉体3による磁界シールド性とを付与できて、電磁界シールドとして用い得る。特に、粉体3は、網状体1の網目12内部にも配向分散されているため、シート体10に薄いながらも高いシールド性を与えることができるのである。また、樹脂2に粉体3を分散させた樹脂シート体について、内部に網状体1を埋設したことで複合強化され、得られた可撓性に基づき、シート体10の適用範囲を広くできる。このように、シート体10又は11は、高いシールド性を付与されて、例えば、電子機器の筐体の内面に沿って与えられて、かかる電子機器から発する電磁波が外部に与える影響を小さくしつつ外部からの電磁波による電子機器内部への影響を小さくする、いわゆる電磁両立性を高め得る。 According to the electromagnetic field shield sheet including the sheet body 10 or 11 as described above, the electric field shield property mainly by the conductive mesh body 1 and the magnetic field shield property mainly by the powder 3 can be imparted, and the electromagnetic field shield can be provided. Can be used as. In particular, since the powder 3 is oriented and dispersed inside the mesh 12 of the mesh body 1, it is possible to give the sheet body 10 a high shielding property even though it is thin. Further, the resin sheet body in which the powder 3 is dispersed in the resin 2 is compounded and strengthened by embedding the mesh body 1 inside, and the applicable range of the sheet body 10 can be widened based on the obtained flexibility. As described above, the sheet body 10 or 11 is imparted with a high shielding property and is given, for example, along the inner surface of the housing of the electronic device, while reducing the influence of electromagnetic waves emitted from the electronic device on the outside. It is possible to improve the so-called electromagnetic compatibility by reducing the influence of electromagnetic waves from the outside on the inside of the electronic device.

図4乃至図10を用いて、電磁界シールドシートとしてシート体11を製造した具体例を説明する。 A specific example of manufacturing the sheet body 11 as the electromagnetic field shield sheet will be described with reference to FIGS. 4 to 10.

まず、図4に示すような成分組成の合金溶湯を窒素雰囲気中で噴霧するアトマイズ法により原料粉末を製造した。 First, a raw material powder was manufactured by an atomizing method in which a molten alloy having the composition shown in FIG. 4 was sprayed in a nitrogen atmosphere.

次いで、FeSiAl合金の原料粉末には、水素雰囲気中で900〜1000℃の温度で5時間保持する熱処理を行って結晶粒径を調整する。なおFeSiCr合金の原料粉末には熱処理しない。 Next, the raw material powder of the FeSiAl alloy is subjected to a heat treatment of holding it at a temperature of 900 to 1000° C. for 5 hours in a hydrogen atmosphere to adjust the crystal grain size. The FeSiCr alloy raw material powder is not heat treated.

それぞれの合金粉末には扁平化処理が施される。詳細には、アトライター装置に原料粉末約35kgとともに、ナフテン系溶剤からなる溶媒50リットルと、高炭素クロム軸受鋼からなる直径4.8mmの粉砕メディア550kgと、原料粉末に対する重量比で0.08〜1.6質量%のステアリン酸亜鉛からなる潤滑剤とを投入し、攪拌して原料粉末を平たく変形させながら粉砕させ、扁平化させる。FeSiAl合金については扁平度20又は40の軟磁性合金粉末とし、FeSiCr合金については扁平度40の軟磁性合金粉末とした。 A flattening treatment is applied to each alloy powder. Specifically, in an attritor device, about 35 kg of the raw material powder, 50 liters of a solvent made of a naphthene-based solvent, 550 kg of a grinding medium made of high carbon chromium bearing steel and having a diameter of 4.8 mm, and a weight ratio to the raw material powder of 0.08. A lubricant made of zinc stearate of about 1.6% by mass is added, and the raw material powder is crushed while being flatly deformed to be flattened. The FeSiAl alloy was a soft magnetic alloy powder having a flatness of 20 or 40, and the FeSiCr alloy was a soft magnetic alloy powder having a flatness of 40.

扁平化された軟磁性合金粉末は、810〜830℃の温度で3時間保持する熱処理で乾燥される。また、FeSiAl合金からなる軟磁性合金粉末にのみリン酸被膜処理する。なお、得られた軟磁性合金粉末はレーザー回折・散乱方式粒度分布測定装置によって測定し、体積分布を50%とする粒径D50を求めた。 The flattened soft magnetic alloy powder is dried by a heat treatment of holding it at a temperature of 810 to 830° C. for 3 hours. Further, only the soft magnetic alloy powder made of FeSiAl alloy is subjected to the phosphoric acid film treatment. The obtained soft magnetic alloy powder was measured by a laser diffraction/scattering type particle size distribution measuring device to obtain a particle size D50 with a volume distribution of 50%.

軟磁性合金粉末は、これを38.28質量部として、ウレタン樹脂(ポリエステル系ポリウレタン、重量平均分子量30,000)22.97質量部、リン酸ポリエステル系分散剤0.31質量部、有機溶剤としてトルエン38.28質量部、及び、消泡剤として非シリコーン系消泡剤0.15質量部とともに、ディスパーを用いて混合し、軟磁性塗料を得た。かかる軟磁性塗料を、ガン口径1.5mmのスプレーガンを用いて4.0kg/cmの圧力で導電性の網状体に片面、又は両面から塗布し乾燥させた。網状体は、厚さ50μm、開口率60%、目開き190μmの市販品を用いた。軟磁性塗料の不揮発分は45%、粘度は5.0dPa・sであり、乾燥後の固形分は、ウレタン樹脂によるバインダー16質量部及び軟磁性合金粉末84質量部からなる。以上のようにして、電磁界シールドシートを製造した。 The soft magnetic alloy powder contains 38.28 parts by mass of urethane resin (polyester-based polyurethane, weight average molecular weight of 30,000) 22.97 parts by mass, phosphoric acid polyester-based dispersant 0.31 part by mass, and an organic solvent. A soft magnetic coating material was obtained by mixing 38.28 parts by mass of toluene and 0.15 parts by mass of a non-silicone defoaming agent as a defoaming agent using a disper. The soft magnetic paint was applied to one surface or both surfaces of the conductive net-like body at a pressure of 4.0 kg/cm 2 using a spray gun having a gun diameter of 1.5 mm and dried. As the mesh body, a commercially available product having a thickness of 50 μm, an aperture ratio of 60% and an opening of 190 μm was used. The soft magnetic paint has a nonvolatile content of 45% and a viscosity of 5.0 dPa·s, and the solid content after drying is composed of 16 parts by mass of a binder made of urethane resin and 84 parts by mass of soft magnetic alloy powder. The electromagnetic field shield sheet was manufactured as described above.

次に、得られた電磁界シールドシートのそれぞれについて、電界シールド性及び磁界シールド性をそれぞれ評価するため、KEC法を用いて電磁波の周波数毎の電界及び磁界の減衰率をそれぞれ測定した。測定結果を図6及び図7に示す。なお、かかる減衰率の測定には、比較例として、磁界シールドシートである厚さ100、200、300μmのノイズ抑制シート(市販品)、電磁界シールドシートの製造に用いた網状体の単体を併せて用いた。 Next, with respect to each of the obtained electromagnetic field shield sheets, in order to evaluate the electric field shield property and the magnetic field shield property, the attenuation factor of the electric field and the magnetic field for each frequency of the electromagnetic wave was measured using the KEC method. The measurement results are shown in FIGS. 6 and 7. In addition, in the measurement of the attenuation rate, as a comparative example, a noise suppression sheet (commercially available product) having a thickness of 100, 200, and 300 μm, which is a magnetic field shield sheet, and a net body used for manufacturing the electromagnetic field shield sheet are also combined. Used.

図5に示すように、電界シールド性については、「ノイズ抑制シート300μm厚」に比べ、網状体の単体である「導電性網状シート50μmのみ」の方において減衰率が高く、さらに電磁界シールドシートである「導電性網状シート50μm+軟磁性塗料80μm」及び「導電性網状シート+軟磁性塗料(両面塗布135+135μm)」の方においてより減衰率が高い結果となった。 As shown in FIG. 5, with respect to the electric field shielding property, the attenuation rate is higher in the “conductive mesh sheet 50 μm only” which is a simple net body compared to the “noise suppressing sheet 300 μm thick”, and the electromagnetic field shielding sheet "A conductive mesh sheet 50 µm + soft magnetic paint 80 µm" and "A conductive mesh sheet + soft magnetic paint (double-sided coating 135 + 135 µm)" resulted in a higher attenuation rate.

図6に示すように、磁界シールド性については、網状体の単体である「導電性網状シート50μmのみ」に比べて、電磁界シールドシート(シート体10又は11)が幅広い周波数帯域において同等以上の減衰率を有していた。「ノイズ抑制シート300μm厚」に比べると、10MHz付近から高周波数領域において電磁界シールドシート(シート体10又は11)の方においてより減衰率が高かった。 As shown in FIG. 6, as for the magnetic field shielding property, the electromagnetic field shielding sheet (sheet body 10 or 11) has an equivalent or higher level in a wide frequency band as compared with “only the conductive mesh sheet 50 μm” which is a single mesh body. It had a decay rate. Compared to the “noise suppression sheet 300 μm thick”, the attenuation factor was higher in the electromagnetic field shield sheet (sheet body 10 or 11) in the high frequency region from around 10 MHz.

つまり、厚さ130μm又は270μmの電磁界シールドシート(シート体10又は11)が、幅広い周波数帯域において高い電界シールド性及び磁界シールド性を示した。 That is, the electromagnetic field shield sheet (sheet body 10 or 11) having a thickness of 130 μm or 270 μm exhibited high electric field shielding property and magnetic field shielding property in a wide frequency band.

また、10MHzの周波数の電磁波の減衰率について、a.網状体(単体)、b.厚さ300μmのノイズ抑制シート、c.これらを重ねた積層体、d.電磁界シールドシート(両面塗布、厚さ270μm)のそれぞれにおいて、電界シールド性及び磁界シールド性を測定した結果を図7に示す。同様に、100MHzの電磁波の減衰率についての測定結果を図8に示す。なお、「a」「b」「d」についてはそれぞれ対応する測定結果を上記した図5及び図6の測定結果から抽出している。なお、電磁波の周波数である10MHz及び100MHzは、いわゆる電磁両立性の向上のために評価する代表的な数値である。 Also, regarding the attenuation rate of the electromagnetic wave having a frequency of 10 MHz, a. Reticulate body (single body), b. A noise suppression sheet having a thickness of 300 μm, c. A laminate in which these are stacked, d. FIG. 7 shows the measurement results of the electric field shielding property and the magnetic field shielding property of each of the electromagnetic field shielding sheets (coated on both sides, thickness: 270 μm). Similarly, FIG. 8 shows the measurement result of the attenuation rate of 100 MHz electromagnetic wave. Note that the corresponding measurement results for “a”, “b”, and “d” are extracted from the measurement results in FIGS. 5 and 6 described above. The frequencies of electromagnetic waves, 10 MHz and 100 MHz, are typical numerical values evaluated for improving so-called electromagnetic compatibility.

図7及び図8に示すように、いずれにおいても、電磁界シールドシート(d)は、網状体とノイズ抑制シートとの積層体(c)と同等以上の減衰率を得られた。つまり、単純に積層された350μm厚さの積層体(c)に比べ、より薄い270μm厚さの電磁界シールドシート(d)の方が同等以上の高い電界シールド性及び磁界シールド性を有する。つまり、本実施例における電磁界シールド(シート体)は、薄いながらも高い電磁界シールド性を有するのである。 As shown in FIG. 7 and FIG. 8, in each case, the electromagnetic field shield sheet (d) obtained an attenuation rate equal to or higher than that of the laminate (c) of the net-like body and the noise suppression sheet. That is, the thinner electromagnetic field shield sheet (d) having a thickness of 270 μm has the same or higher high electric field shielding property and magnetic field shielding property as compared with the laminated body (c) having a thickness of 350 μm. That is, the electromagnetic field shield (sheet body) in this embodiment has a high electromagnetic field shielding property even though it is thin.

また、図9にはノイズ抑制シート、網状体、及び、両者の積層体をそれぞれ比較例1、2及び3として、実施例1〜10までの電磁界シールドシートとともに電界シールド性及び磁界シールド性について評価するために減衰率を測定した。実施例1〜10のいずれにおいても比較例と同等以上の減衰率を得られている。 In addition, FIG. 9 shows the noise suppressing sheet, the net-like body, and the laminate of both as Comparative Examples 1, 2 and 3, respectively, and the electric field shielding property and the magnetic field shielding property together with the electromagnetic field shielding sheets of Examples 1 to 10. The decay rate was measured for evaluation. In all of Examples 1 to 10, an attenuation rate equal to or higher than that of the comparative example was obtained.

なお、図10には実施例1のシート体について、その断面を顕微鏡観察した写真を示す。特に、左右の網状体1の網目内に粉体3が分散配置されていることが観察される。 Note that FIG. 10 shows a photograph of a cross section of the sheet body of Example 1 observed under a microscope. In particular, it is observed that the powder 3 is dispersed and arranged in the mesh of the left and right mesh bodies 1.

以上、本発明の代表的な実施例を説明したが、本発明は必ずしもこれらに限定されるものではなく、当業者であれば、本発明の主旨又は添付した特許請求の範囲を逸脱することなく、種々の代替実施例及び改変例を見出すことができるであろう。 Although the representative embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not necessarily limited to these, and a person skilled in the art can deviate from the gist of the present invention or the scope of the appended claims. , It will be possible to find various alternatives and modifications.

1 網状体
2 樹脂
3 粉体(軟磁性金属粉末)
10 シート体(電磁界シールドシート)

1 reticulated body 2 resin 3 powder (soft magnetic metal powder)
10 sheet body (electromagnetic field shield sheet)

Claims (6)

電界シールド性及び磁界シールド性を兼ね備えた電磁界シールドシートであって、
可撓性を有する絶縁性の樹脂シート体の主面に沿って電界シールド性を付与する導電性材料からなる網状体が埋設されているとともに、開口率を60〜85%とする前記網状体の網目内外であって前記樹脂シート体に前記主面と略平行となるように磁界シールド性を付与する扁平な軟磁性金属粉末が配向分散されていることを特徴とする電磁界シールドシート。
An electromagnetic field shielding sheet having both electric field shielding property and magnetic field shielding property,
A mesh made of a conductive material that imparts an electric field shielding property is embedded along the main surface of a flexible insulating resin sheet, and the opening ratio of the mesh is 60 to 85% . An electromagnetic field shield sheet, characterized in that a flat soft magnetic metal powder for imparting a magnetic field shield property is oriented and dispersed in the resin sheet body inside and outside the mesh so as to be substantially parallel to the main surface.
前記樹脂シート体は100質量部中に前記軟磁性金属粉末を80〜90質量部含むことを特徴とする請求項1記載の電磁界シールドシート。 The electromagnetic field shield sheet according to claim 1, wherein the resin sheet body contains 80 to 90 parts by mass of the soft magnetic metal powder in 100 parts by mass. 前記樹脂シート体はウレタン樹脂からなることを特徴とする請求項2記載の電磁界シールドシート。 The electromagnetic field shield sheet according to claim 2, wherein the resin sheet body is made of urethane resin. 前記軟磁性金属粉末は、平均粒径D50を20μm以上100μm以下とし、扁平度を20以上とした扁平形状を有し、前記網状体の前記網目は前記平均粒径D50よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至3のうちの1つに記載の電磁界シールドシート。 The soft magnetic metal powder has a flat shape with an average particle size D50 of 20 μm or more and 100 μm or less and a flatness of 20 or more, and the mesh of the mesh body is larger than the average particle size D50. The electromagnetic field shield sheet according to any one of claims 1 to 3. 前記網状体は目開き0.05mm以上1mm以下であることを特徴とする請求項記載の電磁界シールドシート。 The electromagnetic field shield sheet according to claim 4, wherein the mesh has an opening of 0.05 mm or more and 1 mm or less. 前記軟磁性金属粉末はFe−Ni系合金、Fe−Si系合金、Fe−Si−Cr系合金、又は、Fe−Si−Al系合金からなることを特徴とする請求項1乃至5のうちの1つに記載の電磁界シールドシート。
The soft magnetic metal powder is made of an Fe-Ni-based alloy, an Fe-Si-based alloy, an Fe-Si-Cr-based alloy, or an Fe-Si-Al-based alloy, according to any one of claims 1 to 5. The electromagnetic field shield sheet described in 1.
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