JP6700352B2 - 分光器 - Google Patents
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Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
[第3実施形態]
[第4実施形態]
[第5実施形態]
以上の実施形態について、以下を付記する。
Claims (9)
- ステムと、光入射部が設けられたキャップと、を有するパッケージと、
前記パッケージ内において前記ステム上に配置された光学ユニットと、を備え、
前記光学ユニットは、
前記光入射部から前記パッケージ内に入射した光を分光すると共に反射する分光部と、
前記分光部によって分光されると共に反射された光を検出する光検出部を有する光検出素子と、
前記分光部と前記光検出素子との間に空間が形成されるように前記光検出素子を支持する支持体と、を有し、
前記支持体は、
前記ステムと対向するように配置され、前記光検出素子が固定されたベース壁部と、
前記ステムに対して立設されるように配置され、前記ベース壁部を支持する側壁部と、を含み、
前記側壁部は、互いに対向する第1壁部及び第2壁部からなり、
前記第1壁部と前記第2壁部とが対向する方向における前記第1壁部の幅は、前記第1壁部と前記第2壁部とが対向する方向における前記第2壁部の幅よりも大きい、分光器。 - ステムと、光入射部が設けられたキャップと、を有するパッケージと、
前記パッケージ内において前記ステム上に配置された光学ユニットと、を備え、
前記光学ユニットは、
前記光入射部から前記パッケージ内に入射した光を分光すると共に反射する分光部と、
前記分光部によって分光されると共に反射された光を検出する光検出部を有する光検出素子と、
前記分光部と前記光検出素子との間に空間が形成されるように前記光検出素子を支持する支持体と、を有し、
前記支持体は、
前記ステムと対向するように配置され、前記光検出素子が固定されたベース壁部と、
前記ステムに対して立設されるように配置され、前記ベース壁部を支持する側壁部と、を含み、
前記側壁部は、互いに対向する第1壁部及び第2壁部からなり、
前記第1壁部の内側端部を形成する第1側面には、前記第1側面に対して前記分光部が配置される側に突出する第1突出部が形成されている、分光器。 - 前記第2壁部の内側端部を形成する第2側面には、前記第2側面に対して前記分光部が配置される側に突出する第2突出部が形成されている、請求項2に記載の分光器。
- 前記第1突出部の突出幅は、前記第2突出部の突出幅よりも大きい、請求項3に記載の分光器。
- 前記分光部は、基板上に設けられることで、分光素子を構成しており、
前記側壁部は、前記側壁部と前記基板との接触部の一部において、前記基板に接合されている、請求項1〜4のいずれか一項記載の分光器。 - 前記第1壁部と前記基板との接触部の面積は、前記第2壁部と前記基板との接触部の面積よりも大きく、
前記第1壁部は、前記第1壁部と前記基板との接触部の少なくとも一部において、前記基板に接合されており、
前記第2壁部は、前記第2壁部と前記基板との接触部において、前記基板に対して移動可能な状態となっている、請求項5記載の分光器。 - 前記第1壁部と前記基板との接触部の面積は、前記第2壁部と前記基板との接触部の面積よりも大きく、
前記第1壁部は、前記第1壁部と前記基板との接触部において、前記基板に対して移動可能な状態となっており、
前記第2壁部は、前記第2壁部と前記基板との接触部の少なくとも一部において、前記基板に接合されている、請求項5記載の分光器。 - 前記第1壁部と前記第2壁部とは、前記ステムと前記ベース壁部とが対向する方向から見た場合に、前記光検出部が前記分光部に対してずれている方向に平行な方向において互いに対向している、請求項1〜7のいずれか一項記載の分光器。
- 前記分光部は、基板上に設けられることで、分光素子を構成しており、
前記第1壁部と前記第2壁部とは、前記ステムと前記ベース壁部とが対向する方向から見た場合に、前記光検出部が前記分光部に対してずれている方向に垂直な方向において互いに対向しており、
前記側壁部は、前記側壁部と前記基板との接触部の少なくとも一部において、前記基板に接合されている、請求項1〜8のいずれか一項記載の分光器。
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