JP6694523B2 - 気体流量測定装置 - Google Patents
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Description
流量を環境温度の影響を有する状態で検出する流量検出素子と、
環境温度を検出する温度検出部と、
縦軸または横軸のいずれか一方を入力流量軸とし他方を入力温度軸とし、前記縦軸と前記横軸とにより構成される補正マップの上に設定される、前記流量検出素子が検出する流量検出信号の補正量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記流量検出信号を補正する補正演算部と、を備えた気体流量測定装置において、
前記補正量は、前記補正マップ上において、相互に直交する縦格子と横格子とがそれぞれ前記横軸の方向と前記縦軸の方向とに複数ずつ配置された直交格子の格子点から外れた位置を取得点とする補正量であり、前記補正マップ上における前記取得点が前記補正マップ上における前記補正量の設定点として設定され、
前記記憶部は前記補正マップ上における前記取得点の位置情報を記憶し、
前記補正演算部は、流量測定時に、前記流量検出素子で検出される流量検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力流量を求め、また前記温度検出部で検出される温度検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力温度を求め、前記参照入力流量に対応する前記入力流量軸の入力流量と前記参照入力温度に対応する前記入力温度軸の入力温度とに対応する補正量を求める。
また上記課題を解決するために、本発明の気体流量測定装置は、
流量を環境温度の影響を有する状態で検出する流量検出素子と、
環境温度を検出する温度検出部と、
縦軸または横軸のいずれか一方を入力流量軸とし他方を入力温度軸とし、前記縦軸と前記横軸とにより構成される補正マップの上に設定される、前記流量検出素子が検出する流量検出信号の補正量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記流量検出信号を補正する補正演算部と、
を備えた気体流量測定装置において、
前記補正量は、前記補正マップ上において、相互に直交する縦格子と横格子とがそれぞれ前記横軸の方向と前記縦軸の方向とに複数ずつ配置された直交格子の格子点から外れた位置を取得点とする補正量であり、
前記記憶部は前記補正マップ上における前記取得点の位置情報を記憶し、
前記補正マップ上における前記取得点は、前記直交格子の前記格子点に一致するように再配置され、
前記位置情報は、前記取得点を前記格子点に対応付ける情報であり、
前記補正演算部は、流量測定時に、前記流量検出素子で検出される流量検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力流量を求め、また前記温度検出部で検出される温度検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力温度を求め、前記参照入力流量に対応する前記入力流量軸の入力流量と前記参照入力温度に対応する前記入力温度軸の入力温度とに対応する補正量を求めることを特徴とする気体流量測定装置。
温度センサ12は、集積回路21内の温度を検出することで、基板5の温度に相当する温度を検出する。これにより、気体温度と熱式流量測定装置1のそれぞれの温度を検出することが出来る。
Kb=Ka*a1 …(式1) Kc=Ka*a2 …(式2)ここで、a1,a2は予め設定されている定数である。
Q’=Q-(Ka*Tp^2(or Ta^2)+Kb*Tp(or Ta)+Kc) …(式3)
第二実施例と同様に変換された変換入力温度T’と、本実施例の変換入力流量Q’とを用いて、取得点102が補正マップ100Bの格子点101に変換される。
Claims (6)
- 流量を環境温度の影響を有する状態で検出する流量検出素子と、
環境温度を検出する温度検出部と、
縦軸または横軸のいずれか一方を入力流量軸とし他方を入力温度軸とし、前記縦軸と前記横軸とにより構成される補正マップの上に設定される、前記流量検出素子が検出する流量検出信号の補正量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記流量検出信号を補正する補正演算部と、
を備えた気体流量測定装置において、
前記補正量は、前記補正マップ上において、相互に直交する縦格子と横格子とがそれぞれ前記横軸の方向と前記縦軸の方向とに複数ずつ配置された直交格子の格子点から外れた位置を取得点とする補正量であり、前記補正マップ上における前記取得点が前記補正マップ上における前記補正量の設定点として設定され、
前記記憶部は前記補正マップ上における前記取得点の位置情報を記憶し、
前記補正演算部は、流量測定時に、前記流量検出素子で検出される流量検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力流量を求め、また前記温度検出部で検出される温度検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力温度を求め、前記参照入力流量に対応する前記入力流量軸の入力流量と前記参照入力温度に対応する前記入力温度軸の入力温度とに対応する補正量を求めることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項1に記載の気体流量測定装置において、
前記位置情報は、前記入力流量軸における前記設定点の入力流量値および前記入力温度軸における前記設定点の入力温度値であることを特徴とする気体流量測定装置。 - 流量を環境温度の影響を有する状態で検出する流量検出素子と、
環境温度を検出する温度検出部と、
縦軸または横軸のいずれか一方を入力流量軸とし他方を入力温度軸とし、前記縦軸と前記横軸とにより構成される補正マップの上に設定される、前記流量検出素子が検出する流量検出信号の補正量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記流量検出信号を補正する補正演算部と、
を備えた気体流量測定装置において、
前記補正量は、前記補正マップ上において、相互に直交する縦格子と横格子とがそれぞれ前記横軸の方向と前記縦軸の方向とに複数ずつ配置された直交格子の格子点から外れた位置を取得点とする補正量であり、
前記記憶部は前記補正マップ上における前記取得点の位置情報を記憶し、
前記補正マップ上における前記取得点は、前記直交格子の前記格子点に一致するように再配置され、
前記位置情報は、前記取得点を前記格子点に対応付ける情報であり、
前記補正演算部は、流量測定時に、前記流量検出素子で検出される流量検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力流量を求め、また前記温度検出部で検出される温度検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力温度を求め、前記参照入力流量に対応する前記入力流量軸の入力流量と前記参照入力温度に対応する前記入力温度軸の入力温度とに対応する補正量を求めることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項3に記載の気体流量測定装置において、
前記位置情報のうち前記入力流量軸に関する位置情報、または、前記入力温度軸に関する位置情報、または、前記入力流量軸に関する位置情報と前記入力温度軸に関する位置情報との両方は、2次以上の関数と前記関数の最高次数の係数とを含んで構成されることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項2に記載の気体流量測定装置において、
前記流量検出素子が検出する流量検出信号を補正した流量補正信号に生じる誤差は、前記設定点の入力流量値で0%になり、
前記温度検出部で検出した温度検出信号を用いた場合の誤差特性と、前記温度検出部以外の温度センサで検出した温度検出信号を用いた場合の誤差特性とでは、異なる入力流量値で誤差が0%になることを特徴とする気体流量測定装置。 - 請求項3に記載の気体流量測定装置において、
前記流量検出素子が検出する流量検出信号を補正した流量補正信号に生じる誤差は、前記格子点の入力流量値で0%になり、
前記温度検出部で検出した温度検出信号を用いた場合の誤差特性と、前記温度検出部以外の温度センサで検出した温度検出信号を用いた場合の誤差特性とでは、異なる入力流量値で誤差が0%になることを特徴とする気体流量測定装置。
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