JP6692614B2 - 測定器 - Google Patents

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Description

本発明は、被測定光に応じた測定の結果を出力する測定器に関する。
輝度計は、試料から出射した被測定光を受光し、被測定光の輝度に応じた輝度値を出力する。特許文献1に記載された輝度計においては、被測定光が光ファイバーの入射面に入射し、入射面に入射した被測定光が光ファイバーにより伝送され、光ファイバーの出射面から出射した光が色フィルターを透過し、色フィルターを透過した光が受光センサーに受光される。特許文献1に記載された輝度計においては、色フィルターが干渉型である。干渉型の色フィルターは、入射角および偏光方向により分光透過率が変化するという欠点を有する。特許文献1に記載された輝度計においては、光ファイバーにより伝送された被測定光を色フィルターに入射させることによりこの欠点が克服されている。
国際公開第2011/142071号
被測定光を光ファイバーにより伝送する従来の輝度計においては、被測定光の受光強度が受光角により変化しやすく、受光強度の角度分布における受光強度のばらつきが大きいという問題が生じる。この問題は、輝度計以外の測定器においても生じる。
発明の詳細な説明に記載された発明は、この問題を解決するためになされる。発明の詳細な説明に記載された発明が解決しようとする課題は、被測定光を光ファイバーにより伝送する測定器において、受光強度の角度分布における受光強度のばらつきを小さくすることである。
測定器は、対物レンズ、視野絞り、バンドルファイバーおよび測定光学系を備える。被測定光は、対物レンズにより収束させられ結像位置に結像させられる。対物レンズにより収束させられた被測定光は、視野絞りに形成された開口を通過する。開口は、結像位置に配置される。開口を通過した被測定光は、バンドルファイバーの入射面に入射し、バンドルファイバーの出射面から出射する。出射面から出射した被測定光は、測定光学系に受光される。測定光学系は、受光した被測定光に応じた電気信号を出力する。バンドルファイバーは、束ねられた複数の素線を備える。素線の径は、開口の径より小さい。
バンドルファイバーの入射面において、被測定光が入射する領域のうち素線の入射面に占められる割合が受光角によって変化しにくい。受光強度の角度分布における受光強度のばらつきが小さくなる。
輝度計および試料を示す模式図である。 ばらつきf2gを測定する方法を示す模式図である。 理想的な受光強度の角度分布を示すグラフである。 素線が最密配列されたバンドルファイバーの入射面を示す模式図である。 図4に示される入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布を示すグラフである。 視野絞りの開口の直径hに対する素線の直径dの比d/hが1/3であるバンドルファイバーの入射面を示す模式図である。 図6に示される入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布を示すグラフである。 視野絞りの開口の直径hに対する素線の直径dの比d/hが1/6であるバンドルファイバーの入射面を示す模式図である。 図8に示される入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布を示すグラフである。 バンドルファイバーの入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布の実測データーを示すグラフである。 実際のバンドルファイバーの入射面を示す模式図である。 バンドルファイバーの入射面において被測定光が結像しない場合の受光強度の角度分布の実測データーを示すグラフである。 輝度計の一部および試料を示す模式図である。 指標S/sとばらつきf2gとの関係を示すグラフである。 比d/hが値0.02をとる場合について、指標S/sとばらつきf2gとの関係が式y=ax−bに近似された状態を示すグラフである。 比d/hと変数aとの関係が式y=20.524x 0.9684に近似された状態を示すグラフである。 比d/hと変数bとの関係が式y=0.484に近似された状態を示すグラフである。 輝度計の一部および試料を示す模式図である。 素線の配列を撮像している状態を示す模式図である。 ファイバー画像処理シミュレーションに用いる画像の例を示す図である。 図20に示される画像に素線があるエリアが定義された状態を示す図である。 図20に示される画像の着目範囲を示す図である。 図22に示される着目範囲における画素の配列を示す模式図である。 図22に示される着目範囲における画素の配列を示す模式図である。 図22に示される着目範囲における画素の配列を示す模式図である。
1 輝度計
図1の模式図は、輝度計および試料を示す。
輝度計1000は、図1に示されるように試料1020から出射した被測定光1040を受光し、被測定光1040の輝度に応じた輝度値を出力する。被測定光1040の分光強度と輝度値との関係を示す輝度計1000の相対分光応答度は、国際照明委員会が採用した標準比視感度に近似する。
輝度計1000は、対物レンズ1060、視野絞り1061、分岐光ファイバー1062、測定光学系1063,1064および1065、信号処理機構1066ならびに演算機構1067を備える。
試料1020から出射した被測定光1040は、対物レンズ1060を透過する。対物レンズ1060は、透過した被測定光1040を収束させ結像位置1080に結像させる。対物レンズ1060を透過した被測定光1040は、視野絞り1061に形成された開口1100を通過する。開口1100は、結像位置1080に配置される。開口1100を通過した被測定光1040は、分岐光ファイバー1062の入射面1120に入射する。入射面1120に入射した被測定光1040は、分岐光ファイバー1062により伝送される途中で分岐させられる。これにより、被測定光1140,1141および1142が得られる。得られた被測定光1140,1141および1142は、分岐光ファイバー1062の出射面1160,1161および1162からそれぞれ出射する。出射面1160,1161および1162からそれぞれ出射した被測定光1140,1141および1142は、測定光学系1063,1064および1065にそれぞれ受光される。測定光学系1063,1064および1065は、受光した被測定光1140,1141および1142の輝度にそれぞれ応じた電気信号1180,1181および1182をそれぞれ出力する。信号処理機構1066は、測定光学系1063,1064および1065からそれぞれ出力された電気信号1180,1181および1182を増幅し、増幅された電気信号1180,1181および1182をそれぞれ信号値1200,1201および1202にアナログ/デジタル変換する。演算機構1067は、信号値1200,1201および1202の単純和または重みづけ和に基づいて輝度値を演算する。なお、電気信号1180,1181および1182を合流させる合流回路が備えられ、電気信号1180,1181および1182を合流させることにより得られた電気信号が信号処理機構により信号値にアナログ/デジタル変換され、演算機構により信号値に基づいて輝度値が演算されてもよい。
分岐光ファイバーの分岐数が増減されてもよい。分岐光ファイバーの分岐数が増減される場合は、分岐光ファイバーの分岐数に応じて測定光学系の数が増減される。
2 測定光学系
測定光学系1063,1064および1065は、色フィルター1220,1240および1260をそれぞれ備え、受光センサー1221,1241および1261をそれぞれ備える。
測定光学系1063,1064および1065にそれぞれ受光された被測定光1140,1141および1142は、色フィルター1220,1240および1260をそれぞれ透過する。色フィルター1220,1240および1260をそれぞれ透過した被測定光1140,1141および1142は、受光センサー1221,1241および1261にそれぞれ受光される。受光センサー1221,1241および1261は、電気信号1180,1181および1182をそれぞれ出力する。色フィルター1220の分光透過率は、被測定光1040の分光強度と信号値1200との関係を示す相対分光応答度が標準比視感度に近似するように決定される。色フィルター1240の分光透過率は、被測定光1040の分光強度と信号値1201との関係を示す相対分光応答度が標準比視感度に近似するように決定される。色フィルター1260の分光透過率は、被測定光1040の分光強度と信号値1202との関係を示す相対分光応答度が標準比視感度に近似するように決定される。これにより、色フィルター1220,1240および1260の分光透過率は、それぞれ受光センサー1221,1241および1261の最終的な出力値(分光応答度)が標準比視感度に近似するように決定され、調製される。
3 干渉型の色フィルターの利点
色フィルター1220,1240および1260の各々は、吸収型の色フィルター及び干渉型の色フィルターのいずれであってもよいが、望ましくは干渉型の色フィルターである。
干渉型の色フィルターは、吸収型の色フィルターと比較して、標準比視感度に一致する相対分光応答度を得るために必要な分光透過率からの色フィルターの分光透過率のずれを小さくできる、環境温度が高い場合でも色フィルターの分光透過率の経時変化が小さい等の利点を有する。このため、色フィルター1220,1240および1260の各々が干渉型である場合は、標準比視感度からの輝度計1000の相対分光応答度の外れが小さくなり、環境温度が高い場合でも輝度計1000の相対分光応答度の経時変化が小さくなる。
4 光ファイバーの必要性
干渉型の色フィルターは、入射角および偏光方向により分光透過率が変化するという欠点を有する。この欠点は、光ファイバーにより伝送された被測定光を色フィルターに入射させることにより克服される。被測定光が光ファイバーにより伝送された場合は、光ファイバーの出射面から出射する被測定光の出射強度の角度分布において出射強度が均一になるからである。
このため、出射面1160,1161および1162からそれぞれ出射する被測定光1140,1141および1142が色フィルター1220,1240および1260にそれぞれ入射する輝度計1000においては、色フィルター1220,1240および1260の各々が干渉型である場合でも、干渉型の色フィルターの欠点が問題になりにくい。
5 ガラス製のバンドルファイバーの必要性
被測定光を伝送する光ファイバーは、直径が1−2mm程度であり環境温度が高い場合でも透過率、開口角などの経時変化が小さいものでなければならない。
プラスチック製の単芯ファイバーには、直径が1−2mm程度であるものもあるが、環境温度が高い場合でも透過率、開口角などの経時変化が小さいものがない。
ガラス製の単芯ファイバーには、環境温度が高い場合でも透過率、開口角などの経時変化が小さいものがあるが、直径が1−2mm程度であるものがない。ガラス製の単芯ファイバーの直径は、太いものでも100−200μmである。
ガラス製のバンドルファイバーには、直径が1−2mm程度であり環境温度が高い場合でも透過率、開口角などの経時変化が小さいものもある。このため、分岐光ファイバー1062は、望ましくはガラス製のバンドルファイバーである。分岐光ファイバー1062がガラス製のバンドルファイバーである場合は、環境温度が高い場合でも輝度計1000の相対分光応答度の経時変化が小さくなる。また、分岐光ファイバー1062がガラス製のバンドルファイバーである場合は、分岐光ファイバー1062の曲げ半径を小さくできるので、輝度計1000を小さくできる。
分岐光ファイバー1062は、バンドルファイバーであるため、束ねられた複数の素線1280を備える。
6 像のぼけの必要性
入射面1120において被測定光1040が焦点を結ぶ場合は、受光強度の角度分布において受光強度のばらつきが大きくなる。その理由は、後述する。入射面1120において被測定光1040が焦点を結ぶ状況は、被測定面と入射面1120とが互いに共役となる光学配置が採用された場合に生じ、入射面1120が開口1100に接する場合に生じる。
このため、輝度計1000においては、入射面1120が開口1100から離される。これにより、被測定光1040が入射面1120において焦点を結ばず、入射面1120に形成される像がぼける。
7 分岐の必要性
被測定光1040が入射面1120において焦点を結ばない場合は、被測定光1040が入射面1120において焦点を結ぶ場合と比較して、入射面1120の径を大きくしなければならない。
分岐光ファイバー1062は、分岐を有し、出射面1160,1161および1162を有する。出射面1160,1161および1162の各々の径は、入射面1120の径より小さくなる。これにより、入射面1120の径を大きくした場合であっても、出射面1160,1161および1162からそれぞれ出射した被測定光1140,1141および1142の全体に、色フィルター1220,1240および1260をそれぞれ透過させることができ、色フィルター1220,1240および1260をそれぞれ透過した被測定光1140,1141および1142の全体を、受光センサー1221,1241および1261にそれぞれ受光させることができる。
8 受光強度の角度分布において受光強度のばらつきが大きくなる理由
入射面1120において被測定光1040が焦点を結ぶ場合に受光強度の角度分布において受光強度のばらつきが大きくなる理由を説明する。
8.1 ばらつきf2gおよび輝度計の等級
輝度計に関するドイツ工業規格DIN 5032-7は、方向応答(directional response(f2g))の項目において、受光強度の角度分布における受光強度のばらつきf2gについて規定する。
ドイツ工業規格DIN 5032-7によれば、ばらつきf2gは、測定角の90%の範囲における、点光源から放射される光の受光強度のばらつきを示す数値である。点光源は、輝度計から見て測定角の5%の範囲を占める光源である。
ドイツ工業規格DIN 5032-7は、ばらつきf2gがf2g<2%,f2g<3%およびf2g<6%を満たす場合の輝度計の等級をそれぞれL級(class L)、A級(class A)およびB級(class B)と定義する。
8.2 ばらつきf2gを測定する方法
図2の模式図は、ばらつきf2gを測定する方法を示す。
ばらつきf2gが測定される場合は、図2に示されるように、点光源1300により放射される光1320が輝度計1340により受光され、光1320の受光強度が輝度計1340により測定される。点光源1300は、輝度計1340から見て測定角の5%の範囲を占める光源である。また、受光角を変化させながら輝度計1340に受光強度を測定させることにより、受光強度の角度分布が得られる。受光角は、回転軸1360の周りに輝度計1340を回転させることにより変化させられる。
8.3 理想的な受光強度の角度分布
図3のグラフは、理想的な受光強度の角度分布を示す。
理想的な受光強度の角度分布においては、図3に示されるように、測定角の範囲において受光強度が均一になる。この場合は、ばらつきf2gが0になる。
8.4 素線の配列の受光強度の角度分布への反映
バンドルファイバーにより被測定光が伝送される場合は、バンドルファイバーの入射面における素線の配列が受光強度の角度分布に反映され、受光強度の角度分布において受光強度が不均一になる。以下では、この点について説明する。
図4の模式図は、素線が最密配列されたバンドルファイバーの入射面を示す。図5のグラフは、図4に示される入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布を示す。図5に示される受光強度の角度分布は、対物レンズが収差を有しない場合のものである。
図4に示されるように入射面1380において素線1400が最密配列された場合であっても、入射面1380には素線1400が存在する領域1420および素線1400が存在しない領域1421がある。このため、素線1400が存在しない領域1421に被測定光が入射した場合は、受光強度が0になり、素線1400が存在する領域1420に被測定光が入射した場合は、受光強度が1になる。その結果、図5に示されるように、受光強度の角度分布は、受光強度が0になる受光角の範囲と受光強度が1になる受光角の範囲とが交互にあらわれるものとなる。
図6の模式図は、視野絞りの開口の直径hに対する素線の直径dの比d/hが1/3であるバンドルファイバーの入射面を示す模式図である。図7のグラフは、図6に示される入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布を示すグラフである。図8の模式図は、視野絞りの開口の直径hに対する素線の直径dの比d/hが1/6であるバンドルファイバーの入射面を示す模式図である。図9のグラフは、図8に示される入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布を示すグラフである。図7および9の各々に示される受光強度の角度分布は、対物レンズが収差を有しない場合のものである。
図6に示される入射面1440においては素線1460の配列の周期が相対的に長くなっているため、図7に示される受光強度の角度分布における受光強度の変化の周期が相対的に長くなっている。これに対して、図8に示される入射面1480においては素線1500の配列の周期が相対的に短くなっているため、図9に示される受光強度の角度分布における受光強度の変化の周期が相対的に短くなっている。このように、受光強度の角度分布における受光強度の変化の周期は、素線の配列の周期が短くなるほど短くなる。したがって、輝度計1000においては、視野絞り1061の開口1100の直径(入射面1120の直径)hに対する素線1280の直径dの比d/hが小さくなるほど受光強度の角度分布における受光強度の変化の周期が短くなる。
図10のグラフは、バンドルファイバーの入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布の実測データーを示すグラフである。
対物レンズが収差を有しない場合は、先述したように、受光強度の角度分布は、受光強度が0になる受光角の範囲と受光強度が1になる受光角の範囲とが交互にあらわれるものとなる。しかし、対物レンズは実際には収差を有するので、バンドルファイバーの入射面に被測定光が結像した場合でもバンドルファイバーの入射面に形成される像は若干ぼける。このため、バンドルファイバーの入射面において被測定光が結像する場合の受光強度の角度分布の実測データーは、受光強度が0から1へ又は1から0へ急激に変化するものとならず、図10に示されるように、受光強度が1の付近で変動するものとなる。
図11は、実際のバンドルファイバーの入射面を示す模式図である。
実際のバンドルファイバーは、図11に示されるように、バンドルファイバーの組み立ての制約により、入射面1520において素線1540が最密配列されたものではなく、入射面1520において素線1540が均一に配列されたものでもない。これらのことも、受光強度の角度分布における受光強度のばらつきの原因となる。
9 像のぼけの効果
被測定光がバンドルファイバーの入射面において結像せずバンドルファイバーの入射面に形成される像がぼける場合は、受光強度の角度分布における受光強度のばらつきが小さくなる。被測定光がバンドルファイバーの入射面において結像せずバンドルファイバーの入射面に形成される像がぼける場合は、バンドルファイバーの入射面において、被測定光が入射する領域が広がり、当該領域のうち素線の入射面により占められる割合が受光角によって変化しにくくなり、バンドルファイバーの入射面に素線が存在しない領域が存在することおよび素線が均一に配列されていないことが受光強度の角度分布に与える影響が抑制されるからである。
図12のグラフは、バンドルファイバーの入射面において被測定光が結像しない場合の受光強度の角度分布の実測データーを示すグラフである。
バンドルファイバーの入射面において被測定光が結像する場合は、図10に示されるように、測定角の90%の範囲におけるばらつきf2gが約15%であり、輝度計の等級はB級にもならない。これに対して、バンドルファイバーの入射面において被測定光が結像しない場合は、図12に示されるように、測定角の90%の範囲におけるばらつきf2gが約5%であり、輝度計の等級はB級になる。像のぼけをさらに大きくすることにより、輝度計の等級をL級にすることも可能である。
10 入射面の直径
図13の模式図は、輝度計の一部および試料を示す。
図13に示される入射面1120の直径D、開口1100の直径h、対物レンズ1060の像側NA角α、開口1100から入射面1120までの距離Lは、望ましくは(式1)を満たす。(式1)が満たされる場合は、開口1100を通過した被測定光1040の全部が入射面1120で受光できる。
Figure 0006692614
11 像のぼけの程度
像のぼけの程度が設定される場合は、像のぼけの程度が定量的に表される必要がある。このため、以下では、開口1100の直径の5%である直径sに対する、点光源が輝度計1000により測定された場合に入射面1120のうち被測定光1040が入射する領域の面積Sの比S/sが像のぼけの程度を示す指標として用いられる。点光源は、輝度計1000から見て測定角の5%の範囲を占める光源である。指標S/sは、1以上の値をとる。面積sは、(式2)により表される。
Figure 0006692614
像のぼけの程度が設定される場合は、開口1100の直径hに対する素線1280の直径dの比d/hが複数の値の各々をとる場合の指標S/sとばらつきf2gとの関係が、後述するファイバー画像処理シミュレーションにより求められる。
図14のグラフは、指標S/sとばらつきf2gとの関係を示す。図14には、比d/hが値0.007,0.014,0.020,0.027,0.034,0.041,0.047,0.054,0.061,0.068および0.074の各々をとる場合の指標S/sとばらつきf2gとの関係が示される。
素線1280が最密配列された場合と素線1280が最密配列されない場合とでは、指標S/sとばらつきf2gとの関係は異なる。また、素線1280の配列の周期によって指標S/sとばらつきf2gとの関係は異なる。このため、図14に示されるように、比d/hがとる値によって指標S/sとばらつきf2gとの関係は異なる。
求められた指標S/sとばらつきf2gとの関係によれば、開口1100の直径h、素線1280の直径dおよびばらつきf2gの上限f2g’を用いて距離Lを決定できる。例えば、開口1100の直径hが1.47mmであり、素線1280の直径dが0.03mmであり、ばらつきf2gの上限f2g’が輝度計1000の等級をB級にできる6%未満である場合は、比d/hが0.02をとる場合の指標S/sとばらつきf2gとの関係から、指標S/sが約175になるように距離Lが決定される。
続いて、比d/hがとる複数の値の各々について、指標S/sとばらつきf2gとの関係が式y=ax−bに近似され、係数aおよびbが求められる。変数xおよびyは、指標S/sおよびばらつきf2gをそれぞれ示す。これにより、比d/hと変数aとの関係が求められ、比d/hと変数bとの関係が求められる。
図15のグラフは、比d/hが0.02をとる場合について、指標S/sとばらつきf2gとの関係が式y=0.4705x−0.484(a=0.4705およびb=0.484)に近似された状態を示す。
比d/hと変数aとの関係は、図16に示されるように、式y=20.524x 0.9684に近似できる。変数xおよびyは、比d/hおよび変数aをそれぞれ示す。
また、比d/hと変数bとの関係は、図17に示されるように、関係式y=0.484に近似できる。変数yは、変数bを示す。
これらのことから、開口1100の直径h、素線1280の直径d、開口1100の直径の5%である直径sおよび点光源が輝度計1000により測定された場合に入射面1120のうち被測定光1040が入射する領域の面積Sの間の関係を示す(式3)が求められる。
Figure 0006692614
(式3)は、ばらつきf2gの上限f2g’を用いて(式4)のように書き換えられる。
Figure 0006692614
(式4)は、(式5)のように書き換えられる。
Figure 0006692614
輝度計1000の等級をL級、A級およびB級にする場合は、上限f2g’がそれぞれ2%,3%および6%となる。また、dは、0より大きい値をとる。このため、輝度計1000の等級をL級、A級およびB級にする場合は、(式6)、(式7)および(式8)がそれぞれ満たされなければならない。
Figure 0006692614
Figure 0006692614
Figure 0006692614
図18の模式図は、輝度計の一部および試料を示す。
図18に示される開口1100の直径h、対物レンズ1060の像側NA角α、開口1100から入射面1120までの距離L、開口1100の直径の5%である直径sおよび点光源1560から出射する光が被測定光1040になった場合に入射面1120のうち被測定光1040が入射する領域の面積Sは(式9)を満たす。
Figure 0006692614
(式9)を用いて(式6)、(式7)および(式8)を整理することにより、(式10)、(式11)および(式12)がそれぞれ得られる。このため、輝度計1000の等級をL級、A級およびB級にする場合は、素線1280の直径dが開口1100の直径hより小さくなるようにするとともに、素線1280の直径d、開口1100の直径h、対物レンズ1060の像側NA角αおよび開口1100から入射面1120までの距離Lが(式10)、(式11)および(式12)をそれぞれ満たさなければならない。
Figure 0006692614
Figure 0006692614
Figure 0006692614
ただし、素線1280の直径dはd>0という条件を満たさなければならず、対物レンズ1060の像側NA角αは、0<α<π/2という条件を見なさなければならず、視野絞り1061の直径hは、h>0という条件を満たさなければならない。
12 ファイバー画像処理シミュレーション
(1)図19の模式図は、素線の配列を撮像している状態を示す。
素線の配列が撮像される場合は、図19に示されるように、光源1600および拡散板1601を備える拡散光源1620が準備され、光源1600から光が放射され、光源1600から放射された光が拡散板1601により拡散される。拡散された光は、バンドルファイバー1630の出射面1631に照射される。照射された光は、バンドルファイバー1630により伝送される。バンドルファイバー1630の出射面1631から入射面1632まで伝送されてきた光は、バンドルファイバー1630の入射面1632から出射する。バンドルファイバー1630の入射面1632から光が出射している状態において、バンドルファイバー1630の入射面1632が顕微鏡で撮像され、カラー画像が得られる。
(2)カラー画像が得られた後に、得られたカラー画像がモノクロ画像に変換される。モノクロ画像は、ファイバー画像処理シミュレーションに用いられる画像になる。カラー画像からモノクロ画像への変換においては、カラー画像を構成する画素の各々のRGB値がグレー変換され、モノクロ画像を構成する画素の各々の輝度値が算出される。
図20は、ファイバー画像処理シミュレーションに用いる画像の例を示す。
図20に示される画像1640においては、画素がマトリクス状に配列される。横方向の画素数は4912であり、縦方向の画素数は3264である。横方向の画素数および縦方向の画素数の両方または片方が変更されてもよい。
以下では、図20に示される画像1640が得られたものとして、ファイバー画像処理シミュレーションの残余の処理について説明する。
(3)図21は、素線があるエリアが定義された状態を示す。
図20に示される画像が得られた後に、図21に示されるように、素線があるエリア1660が定義される。
(4)素線があるエリア1660が定義された後に、移動平均数1,3および5の各々について、素線があるエリア1660に含まれる画素の輝度値だけを用いて素線があるエリア1660に含まれる画素の各々の輝度値の移動平均が算出される。移動平均数1,3および5の各々に加えて移動平均数7,9,・・・の各々について移動平均が算出されてもよい。
図22は、図20に示される画像における着目範囲を示す。図23、図24および図25の各々は、図22に示される着目範囲における画素の配列を示す。
着目範囲1680には、81画素が含まれるとする。
移動平均数が1である場合は、図23に示される画素1700の輝度値の移動平均は、画素1700の輝度値そのものである。
移動平均数が3である場合は、図24に示される画素1720の輝度値の移動平均は、図24に示される領域1740に含まれる9個の画素についての輝度値の平均である。9個の画素は、マトリクス状に配列される。横方向の画素数は3画素であり、縦方向の画素数は3画素である。画素1720は、9個の画素の中心に配置される。
移動平均数が5である場合は、図25に示される画素1760の輝度値の移動平均は、図25に示される領域1780に含まれる25個の画素についての輝度値の平均である。25個の画素は、マトリクス状に配列される。横方向の画素数は5画素であり、縦方向の画素数は5画素である。画素1780は、25個の画素の中心に配置される。
(5)移動平均数1,3および5の各々について素線があるエリア1660に含まれる画素の各々の輝度値の移動平均が算出された後に、移動平均数1,3および5の各々について、素線があるエリア1660における輝度値の移動平均の最大値および最小値が求められ、移動平均の最大値および最小値からばらつきf2gが求められる。これにより、移動平均数とばらつきf2gとの関係が求められる。
(6)また、移動平均数1,3および5の各々について、面積Sが求められる。これにより、移動平均数と面積Sとの関係が求められる。
面積Sが求められる場合は、図20に示される画像の長さから1画素の長さが算出され、算出された長さから1画素が占める面積が算出される。1画素が占める面積に領域に含まれる画素数を乗じたものが、それぞれ移動平均数1,3および5についての面積Sになる。
(7)移動平均数とばらつきf2gとの関係および移動平均数と面積Sとの関係が求められた後に、移動平均数とばらつきf2gとの関係および移動平均数と面積Sとの関係から面積Sとばらつきf2gとの関係が求められ、面積Sと移動平均数との関係から指標S/sとばらつきf2gとの関係が求められる。
(8)ばらつきf2gは、面積Sを素線1280の入射面1120の面積で除したものにより決まるため、素線1280の直径dが大きくなった場合および小さくなった場合が面積Sを変更することにより便宜的に算出され、図14に示されるような比d/hが異なる場合の指標S/sとばらつきf2gとの関係が求められる。
13 輝度計以外の測定器への適用
これまでに説明した技術は、輝度計以外の測定器にも適用可能である。例えば、被測定光1040の分光強度と信号値1200との関係を示す相対分光応答度が等色関数のx成分に近似するように色フィルター1220の分光透過率を決定し、被測定光1040の分光強度と信号値1201との関係を示す相対分光応答度が等色関数のy成分に近似するように色フィルター1240の分光透過率を決定し、被測定光1040の分光強度と信号値1202との関係を示す相対分光応答度が等色関数のz成分に近似するように色フィルター1260の分光透過率を決定した場合は、信号値1200,1201および1202に基づいて刺激値X,YおよびZが求められる。すなわち、これまでに説明した技術は、色彩計にも適用可能である。
1000 輝度計
1060 対物レンズ
1061 視野絞り
1062 分岐光ファイバー
1063,1064,1065 測定光学系
1066 信号処理機構
1067 演算機構
1080 結像位置
1100 開口
1120 入射面
1160,1161,1162 出射面
1280 素線

Claims (4)

  1. 被測定光を収束させ結像位置に結像させる対物レンズと、
    前記対物レンズにより収束させられた被測定光を通過させる開口が形成され、前記開口が前記結像位置に配置される視野絞りと、
    束ねられた複数の素線を備え、前記複数の素線の各々の径が前記開口の径より小さく、前記開口を通過した被測定光が入射する入射面及び被測定光を出射させる出射面を有し、前記入射面が前記開口から離された状態で対向するバンドルファイバーと、
    前記出射面から出射した被測定光を受光し受光した被測定光に応じた電気信号を出力する測定光学系と、
    を備え、
    前記対物レンズの像側NA角α、前記開口の直径h、素線の各々の直径d、前記開口から前記入射面までの距離Lおよび受光強度の角度分布における受光強度のばらつきf2gの上限f2g'が、光源が測定角の5%の範囲を占める場合に、(式100):
    Figure 0006692614
    を満たす
    測定器。
  2. 前記対物レンズの像側NA角α、前記開口の直径h、素線の各々の直径dおよび前記開口から前記入射面までの距離Lが(式101):
    Figure 0006692614
    を満たす請求項1の測定器。
  3. (式102):
    Figure 0006692614
    を満たす請求項2の測定器。
  4. (式103):
    Figure 0006692614
    を満たす請求項3の測定器。
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