JP6691517B2 - 燃焼筒、及び燃焼除害装置 - Google Patents
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Description
図3中に示す太い矢印は、半導体製造装置115の排気ガスの流れの向きを示す。排気ガスは、排気ガス供給管102、及びノズル103を介して内筒110の内部に導入される。バーナー104は、内筒110の内部で火炎を形成する。バーナー104が形成する火炎により、燃焼筒101は、排気ガスを燃焼させて処理している。
一般に、半導体製造装置の排気ガスは様々なガス成分を含んでいる。そのため、燃焼筒101においては、ノズル103の内部を流れる排気ガスが冷却されてノズル103内に粉体が生じることがあった。その結果、当該粉体が堆積すること等により、ノズル103の閉塞が起きてしまうという課題があった。
[1] 外筒と、前記外筒の内部に、前記外筒と同軸に配置された内筒と、前記内筒を貫通するとともに、前記内筒の内部に対象ガスを供給するノズルと、前記ノズルの周囲に設けられるとともに、前記内筒の内部で火炎を形成するバーナーと、前記外筒に設けられるとともに、前記外筒と前記内筒との間の空間に空気を導入する1以上の空気取入口と、を備え、前記内筒を貫通する複数の空気導入孔が、前記内筒に設けられており、前記空気取入口が、前記内筒の一次側の端部より、前記外筒の軸方向で二次側に位置する燃焼筒。
[2] 前記外筒の軸方向に対して垂直方向の断面で平面視したときに、前記空気取入口が、前記軸に対して対称となる位置に設けられている[1]の燃焼筒。
[3] 前記空間に導入される空気の流れを前記軸方向で二次側に向ける整流手段を備える[1]又は[2]の燃焼筒。
[4] [1]〜[3]のいずれかの燃焼筒を1以上備える燃焼除害装置。
「対象ガス」とは、安定化、及び無害化等の処理対象となるガスを意味する。対象ガスの一例として、半導体製造装置の排気ガス等が挙げられる。半導体製造装置の排気ガスには、燃焼反応、又は酸化反応によって粉体が生じるSiH4等のガス成分、又は半導体製造装置で生じる粉体等が含まれ得る。半導体製造装置の排気ガスは、対象ガスの一例として示したものであり、特に限定されない。
「燃焼除害装置」とは、対象ガスを燃焼反応により熱分解し、安定化、及び無害化等の処理をする装置を意味する。
「燃焼筒」とは、対象ガスの燃焼反応が行われる筒状の装置を意味する。
「一次側」とは、対象ガスの流れの上流側を意味する。これに対して、「二次側」とは、対象ガスの流れの下流側を意味する。
図1は、本実施形態の燃焼筒1の構成の一例を示す模式図である。図1中に示す太い矢印は、対象ガスの流れの向きの一例を示す。
図1に示すように、燃焼筒1は、対象ガス供給管2と、ノズル3と、バーナー4と、外筒7と、内筒10と、空気取入口11と、整流板12とを備えて概略構成されている。
ノズル3は、外筒7の一次側の端部6を閉塞する閉塞面を外筒7の外部から外筒7の内部に貫通している。さらに、ノズル3は、内筒10の一次側の端部9を閉塞する閉塞面を内筒10の外部から内筒10の内部に貫通している。また、ノズル3は、二次側の端部が内筒10の内部で開口している。これにより、ノズル3は、内筒10の内部に対象ガスを供給することができる。
バーナー4としては、内筒10の内部に火炎を発生させることができれば特に限定されない。例えば、バーナー4は、水素(H2)、LPG、LNG、メタン(CH4)、プロパン(C3H8)、及びブタン(C4H8)等のガス、並びにこれらの混合ガスを燃料とするバーナーであってもよい。
内筒10の材質としては、公知の金属を挙げることができる。かかる金属としては、ステンレスなどの合金であってもよい。例えば、燃焼筒1においては、内筒10の材質をSUS304とすることができる。
図1に示す燃焼筒1においては、空気取入口11が1つだけ図示されているが、これに限定されない。すなわち、燃焼筒1は、1以上の空気取入口を備えることができる。
なお、燃焼筒1においては、空気取入口11は、大気開放されているが、これに限定されない。すなわち、空気取入口11は、ダクト等の空気導入管と接続されてもよい。
整流板12の位置は、空気取入口11から導入された空気の流れを、外筒7の軸方向で二次側に向けて誘導できる位置であれば特に制限されない。燃焼筒1は、整流板12を備えることにより、導入された空気の流れを確実に外筒7の軸方向で二次側に向けることができ、空気取入口11から導入された空気によってノズル3が冷却されることを防止することができる。さらに、燃焼筒1は、整流板12を備えることにより、外筒7と内筒10との間の空間を流れる空気の片流れと空気の乱れを防止することができる。なお、整流板12の数は、図1に示すように二つに限定されない。すなわち、燃焼筒1は、整流板12を一つのみ備えていてもよいし、三つ以上備えていてもよい。
燃焼除害装置17は、燃焼筒1を備えるので、内筒10の内部の粉体付着を防止しながら、ノズル3の閉塞、及び劣化が起きにくく、メンテナンスの頻度、及びランニングコストを低減できる。
以上説明した本実施形態の燃焼筒によれば、空気取入口が、内筒の一次側の端部より、外筒の軸方向で二次側に位置するため、内筒の内部の粉体付着を防止しながら、ノズルの内部における対象ガスの冷却を防止できる。よって、ノズルの内部の対象ガスが、粉体化しにくく、液化もしにくい。したがって、本実施形態の燃焼筒は、ノズルの閉塞、及び劣化を防止でき、メンテナンスの頻度が低減するという顕著な効果を奏する。さらに、本実施形態の燃焼筒によれば、ノズルを加熱する必要がなく、電気容量等のランニングコストを低減できる。
例えば、燃焼筒1においては、ノズル3の先端に燃焼反応の副生成物である粉体等が付着、及び蓄積することを防止するために、対象ガスの流れによって回転する自由回転羽根をノズル3の二次側の端部の付近に設けてもよい。
また、例えば、本実施形態の燃焼除害装置においては、集合ダクト14に対して、内筒10(外筒7)を水平に接続されているが、粉体の付着によるバーナー4の燃焼効率低下の防止を目的として、内筒10(外筒7)を集合ダクト14に対して斜め下向きに接続してもよい。
Claims (3)
- 外筒と、
前記外筒の内部に、前記外筒と同軸に配置された内筒と、
前記内筒を貫通するとともに、前記内筒の内部に対象ガスを供給するノズルと、
前記ノズルの周囲に設けられるとともに、前記内筒の内部で火炎を形成するバーナーと、
前記外筒に設けられるとともに、前記外筒と前記内筒との間の空間に空気を導入する1以上の空気取入口と、
前記空間に導入される空気の流れを前記軸方向で二次側に向ける整流手段と、
を備え、
前記内筒を貫通する複数の空気導入孔が、前記内筒に設けられており、
前記空気取入口が、前記内筒の一次側の端部より、前記外筒の軸方向で二次側に位置する燃焼筒。 - 前記外筒の軸方向に対して垂直方向の断面で平面視したときに、前記空気取入口が、前記軸に対して対称となる位置に設けられている請求項1に記載の燃焼筒。
- 請求項1又は2に記載の燃焼筒を1以上備える燃焼除害装置。
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