JP6670284B2 - Optical interferometer - Google Patents
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Description
本発明は、光ファイバを用いた光干渉計に関するものである。 The present invention relates to an optical interferometer using an optical fiber.
光ファイバを用いた光干渉計としては、結像光学系を除く光干渉計内の光路の全てを光ファイバと平面導波構造体で構成した、光ヘテロダイン干渉法により測定対象物の振動を計測する光干渉計が知られている（たとえば、特許文献１、図３）。 As an optical interferometer using an optical fiber, all the optical paths in the optical interferometer except the imaging optical system are composed of optical fibers and a planar waveguide structure, and the vibration of the measurement object is measured by optical heterodyne interferometry. A known optical interferometer is known (for example, Patent Document 1, FIG. 3).
この光干渉計では、光源から出射された光を光ファイバに入光し、光ファイバに連結した平面導波構造体に導入した光は、平面導波構造体に備えたスプリッタによって測定光と参照光に分離されると共に、平面導波構造体に備えた周波数シフタによって測定光の周波数がシフトされる。 In this optical interferometer, light emitted from a light source enters an optical fiber, and light introduced into a planar waveguide structure connected to the optical fiber is referred to as measurement light by a splitter provided in the planar waveguide structure. While being separated into light, the frequency of the measurement light is shifted by a frequency shifter provided in the planar waveguide structure.
測定光と周波数がシフトされた参照光は、平面光構造体から異なる光ファイバに導入され、測定光は光ファイバを通って空間に出射され空間光路を通り結像光学系に入射する。そして、測定光は、結像光学系によって、測定対象物上にフォーカスされる。 The measurement light and the reference light whose frequency has been shifted are introduced from the planar optical structure to a different optical fiber, and the measurement light is emitted into space through the optical fiber and enters the imaging optical system through a spatial optical path. Then, the measurement light is focused on the measurement object by the imaging optical system.
測定対象物上で測定光の反射光は、結像光学系に入射し、結像光学系から光ファイバに導入される。
光ファイバに導入された反射光と、平面導波構造体によって光ファイバに導入された参照光は、光ファイバカプラで結合され、結合された光が光検出器で検出され、検出された光に生じている反射光と参照光の干渉より、測定対象物の振動が測定される。
The reflected light of the measurement light on the measurement object enters the imaging optical system, and is introduced from the imaging optical system into the optical fiber.
The reflected light introduced into the optical fiber and the reference light introduced into the optical fiber by the planar waveguide structure are combined by an optical fiber coupler, and the combined light is detected by a photodetector. The vibration of the measurement object is measured based on the interference between the generated reflected light and the reference light.
上述した光干渉計によれば、結像光学系を除く光干渉計内の光路の全てを光ファイバと平面導波構造体で構成しているので、光干渉計内の各部の配置の自由度が増加し、光干渉計を小型化に構成することができる。 According to the above-mentioned optical interferometer, since all the optical paths in the optical interferometer except the imaging optical system are constituted by the optical fiber and the planar waveguide structure, the degree of freedom of arrangement of each part in the optical interferometer is improved. Is increased, and the optical interferometer can be made smaller.
しかしながら、上述した光干渉計内の光路の全てを光ファイバと平面導波構造体で構成する技術によれば、比較的高価な平面導波構造体が必要となる。
また、光ファイバに連結した平面導波構造体を用いて周波数シフトを行う場合、光ファイバ内の散乱や光ファイバ接続端の反射によりS/Nが劣化し良好な測定精度を確保することが難しい。
However, according to the above-described technology in which all the optical paths in the optical interferometer are configured by the optical fibers and the planar waveguide structure, a relatively expensive planar waveguide structure is required.
When frequency shift is performed using a planar waveguide structure connected to an optical fiber, scattering in the optical fiber or reflection at the optical fiber connection end deteriorates the S / N, making it difficult to ensure good measurement accuracy. .
そこで、本発明は、良好な測定精度を確保できると共に、比較的低コストに実現できる、小型化に適した構造を備えた光干渉計を提供することを課題とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical interferometer having a structure suitable for miniaturization, which can achieve good measurement accuracy and can be realized at relatively low cost.
前記課題達成のために、本発明は、測定光を出射する光源装置と、前記測定光を導光する第１の光ファイバと、前記第１の光ファイバで導光された測定光を照射光と参照光に分割する光カプラと、前記光カプラで分割された参照光を導光する第２の光ファイバと、前記第２の光ファイバから空間に出射された参照光の周波数をシフトし空間に出射する周波数シフタと、前記光カプラで分割された照射光を導光する第３の光ファイバと、第４の光ファイバと、
前記第３の光ファイバから空間に出射された照射光を、測定対象物に照射し、前記測定対象物で反射した前記照射光の反射光を前記第４の光ファイバに入光する検出光学系と、前記第４の光ファイバから空間に出射された反射光と、前記周波数シフタから空間に出射された参照光とを、同じ光路上の結合光に結合する干渉光学系と、前記結合光を検出する光検出手段とを備えた第１の光干渉計を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides a light source device that emits measurement light, a first optical fiber that guides the measurement light, and an irradiation light that emits the measurement light guided by the first optical fiber. An optical coupler that splits the reference light split by the optical coupler, a second optical fiber that guides the reference light split by the optical coupler, and a space that shifts the frequency of the reference light emitted from the second optical fiber into space. A third optical fiber that guides the irradiation light split by the optical coupler, a fourth optical fiber,
A detection optical system that irradiates the measurement object with irradiation light emitted to the space from the third optical fiber, and enters reflected light of the irradiation light reflected by the measurement object into the fourth optical fiber An interference optical system that couples reflected light emitted to the space from the fourth optical fiber and reference light emitted to the space from the frequency shifter into combined light on the same optical path; A first optical interferometer having a light detecting means for detecting.
また、本発明は、前記課題達成のために、測定光を出射する光源装置と、前記測定光を導光する第１の光ファイバと、前記第１の光ファイバで導光された測定光を照射光と参照光に分割する光カプラと、前記光カプラで分割された参照光を導光する第２の光ファイバと、前記光カプラで分割された照射光を導光する第３の光ファイバと、第４の光ファイバと、前記第３の光ファイバから空間に出射された照射光を、測定対象物に照射し、前記測定対象物で反射した前記照射光の反射光を前記第４の光ファイバに入光する検出光学系と、前記第４の光ファイバから空間に出射された反射光の周波数をシフトし空間に出射する周波数シフタと、前記第２の光ファイバから空間に出射された参照光と、前記周波数シフタから空間に出射された反射光とを、同じ光路上の結合光に結合する干渉光学系と、前記結合光を検出する光検出手段とを備えた第２の光干渉計を提供する。 Further, in order to achieve the above object, the present invention provides a light source device for emitting measurement light, a first optical fiber for guiding the measurement light, and a measurement light guided by the first optical fiber. An optical coupler for splitting the irradiation light and the reference light, a second optical fiber for guiding the reference light split by the optical coupler, and a third optical fiber for guiding the irradiation light split by the optical coupler And a fourth optical fiber, and irradiates the object to be irradiated with irradiation light emitted from the third optical fiber to the space, and reflects the reflected light of the irradiation light reflected by the object to be measured on the fourth optical fiber. A detection optical system that enters the optical fiber, a frequency shifter that shifts the frequency of reflected light emitted to the space from the fourth optical fiber and emits the space, and a frequency shifter that is emitted to the space from the second optical fiber Reference light and reflected light emitted into space from the frequency shifter , And provides an interference optical system for coupling to the coupled light having the same optical path, a second optical interferometer that includes a light detection means for detecting the combined light.
ここで、このような第１の光干渉計や第２の光干渉計において、前記光源装置を、直線偏光の光を前記測定光として出射するものとし、前記第１の光ファイバ、前記第２の光ファイバ、前記第３の光ファイバ、前記第４の光ファイバを、偏波保持光ファイバとし、前記光カプラを、偏波保持光カプラとし、前記検出光学系を、偏光ビームスプリッタと、前記第３の偏波保持光ファイバから空間に出射された照射光を、測定対象物に照射すると共に、前記照射光の前記測定対象物による反射光を前記偏光ビームスプリッタに出射する対物光学系とを備えたものとし、前記第４の光ファイバを、前記偏光ビームスプリッタから出射される反射光の二つの直線偏光成分のうちの一方の直線偏光成分を導光するものとしてもよい。 Here, in such a first optical interferometer or a second optical interferometer, it is assumed that the light source device emits linearly polarized light as the measurement light, and the first optical fiber and the second optical interferometer have the same configuration. The optical fiber, the third optical fiber, the fourth optical fiber is a polarization maintaining optical fiber, the optical coupler is a polarization maintaining optical coupler, the detection optical system, a polarizing beam splitter, the An objective optical system that irradiates the measurement object with the irradiation light emitted to the space from the third polarization-maintaining optical fiber and emits reflected light of the irradiation light from the measurement object to the polarization beam splitter. The fourth optical fiber may be one that guides one linear polarization component of two linear polarization components of the reflected light emitted from the polarization beam splitter.
また、この場合には、前記検出光学系に、前記対物光学系から出射された前記照射光と、前記対物光学系に入射する前記反射光とが通る位置に配置されたλ/４板を備えるようにしてもよい。 In this case, the detection optical system includes a λ / 4 plate disposed at a position where the irradiation light emitted from the objective optical system and the reflected light incident on the objective optical system pass. You may do so.
または、このような第１の光干渉計や第２の光干渉計において、前記光源装置を、直線偏光の光を測定光として出射するものとし、前記第１の光ファイバ、前記第２の光ファイバ、前記第３の光ファイバ、前記第４の光ファイバを、偏波保持光ファイバとし、前記光カプラを、偏波保持光カプラとし、前記検出光学系を、前記第３の偏波保持光ファイバから空間に出射された照射光を、測定対象物に照射すると共に、前記照射光の前記測定対象物による反射光を前記第４の光ファイバに入光する対物光学系と、前記対物光学系から出射された前記照射光と、前記対物光学系に入射する前記反射光とが通る位置に配置されたλ/４板とを備えたものとしてもよい。 Alternatively, in such a first optical interferometer or a second optical interferometer, the light source device emits linearly polarized light as measurement light, and the first optical fiber and the second light The fiber, the third optical fiber, and the fourth optical fiber are polarization maintaining optical fibers, the optical coupler is a polarization maintaining optical coupler, and the detection optical system is the third polarization maintaining light. An objective optical system configured to irradiate irradiation light emitted from a fiber into a space onto a measurement target and to input reflected light of the irradiation light from the measurement target to the fourth optical fiber; and the objective optical system. And a λ / 4 plate disposed at a position where the irradiation light emitted from the optical path and the reflected light incident on the objective optical system pass.
または、このような第１の光干渉計や第２の光干渉計において、前記光源装置を、直線偏光の光を前記測定光として出射するものとし、前記第１の光ファイバ、前記第２の光ファイバ、前記第３の光ファイバ、前記第４の光ファイバを、偏波保持光ファイバとし、前記光カプラを、偏波保持光カプラとし、前記干渉光学系を、前記第４の光ファイバから空間に出射された反射光が入射する偏光ビームスプリッタを備え、前記偏光ビームスプリッタから出射される反射光の二つの直線偏光成分のうちの一方の直線偏光成分を前記結合光に結合するものしてもよい。 Alternatively, in such a first optical interferometer or a second optical interferometer, the light source device emits linearly polarized light as the measurement light, and the first optical fiber and the second optical interferometer have the same configuration. The optical fiber, the third optical fiber, the fourth optical fiber is a polarization maintaining optical fiber, the optical coupler is a polarization maintaining optical coupler, the interference optical system, the fourth optical fiber from the A polarization beam splitter into which the reflected light emitted to the space is incident, and combining one of the two linearly polarized light components of the reflected light emitted from the polarization beam splitter into the combined light; Is also good.
また、以上の光干渉計は、前記干渉光学系に、前記結合光に結合する参照光と反射光とが入射するビームスプリッタを備え、当該ビームスプリッタによって、前記結合光として、当該ビームスプリッタを透過した反射光と当該ビームスプリッタで反射した参照光とを同じ光路上に結合した第１の結合光と、当該ビームスプリッタで反射した反射光と当該ビームスプリッタを透過した参照光とを同じ光路上に結合した第２の結合光とを生成すると共に、前記光検出手段において、前記第１の結合光と前記第２の結合光とをそれぞれ検出するように構成してもよい。 Further, the above optical interferometer includes, in the interference optical system, a beam splitter in which the reference light and the reflected light that are combined with the combined light enter, and the beam splitter transmits the combined light as the combined light. First combined light obtained by combining the reflected light and the reference light reflected by the beam splitter on the same optical path, and the reflected light reflected by the beam splitter and the reference light transmitted by the beam splitter on the same optical path. It may be configured to generate the combined second combined light and to detect the first combined light and the second combined light respectively in the light detecting means.
また、上述した第１の光干渉計は、第１の光干渉計に第５の光ファイバを設け、前記光源装置を、直線偏光の光を前記測定光として出射するものとし、前記第１の光ファイバ、前記第２の光ファイバ、前記第３の光ファイバ、前記第４の光ファイバ、前記第５の光ファイバを、偏波保持光ファイバとし、前記光カプラを、偏波保持光カプラとし、前記検出光学系を、偏光ビームスプリッタと、前記第３の偏波保持光ファイバから空間に出射された照射光を、測定対象物に照射すると共に、前記照射光の前記測定対象物による反射光を前記偏光ビームスプリッタに出射する対物光学系とを備えたものとし、前記第４の光ファイバを、前記偏光ビームスプリッタから出射される反射光の二つの直線偏光成分のうちの一方の直線偏光成分を導光するものとし、前記第５の光ファイバを、前記偏光ビームスプリッタから出射される反射光の二つの直線偏光成分のうちの他方の直線偏光成分を導光するものとし、前記干渉光学系を、前記結合光として、前記第４の光ファイバから空間に出射された反射光と、前記周波数シフタから空間に出射された参照光とを、同じ光路上に結合した第１の結合光と、前記第５の光ファイバから空間に出射された反射光と、前記周波数シフタから空間に出射された参照光とを、同じ光路上に結合した第２の結合光とを生成するものとし、前記光検出手段を、前記第１の結合光と前記第２の結合光とをそれぞれ検出するものとしてもよい。 Further, in the first optical interferometer described above, a fifth optical fiber is provided in the first optical interferometer, and the light source device emits linearly polarized light as the measurement light. The optical fiber, the second optical fiber, the third optical fiber, the fourth optical fiber, and the fifth optical fiber are polarization maintaining optical fibers, and the optical coupler is a polarization maintaining optical coupler. Irradiating the detection optical system with a polarization beam splitter and irradiation light emitted to the space from the third polarization maintaining optical fiber onto a measurement target, and reflecting the irradiation light on the measurement target by the measurement target. And an objective optical system that emits the polarized light to the polarization beam splitter. The fourth optical fiber is provided with one linear polarization component of two linear polarization components of the reflected light emitted from the polarization beam splitter. Light guide The fifth optical fiber guides the other linearly polarized light component of the two linearly polarized light components of the reflected light emitted from the polarization beam splitter, and the interference optical system includes the coupling optical system. As light, a first combined light obtained by combining reflected light emitted from the fourth optical fiber into space and reference light emitted from the frequency shifter into space on the same optical path; The reflected light emitted to the space from the optical fiber, and the reference light emitted to the space from the frequency shifter, to generate a second combined light coupled on the same optical path, the light detection means, The first combined light and the second combined light may be respectively detected.
また、以上の各光干渉計に、可視光を照準光として出射する照準光光源装置と、波長分割多重カプラを設け、前記光源装置を前記測定光として不可視光を出射するものとし、前記波長分割多重カプラを、前記照準光光源装置が出射した前記照準光と前記光源装置が出射した光とを、前記第１の光ファイバに導入するものとしてもよい。 Further, in each of the above optical interferometers, an aiming light source device that emits visible light as aiming light, and a wavelength division multiplexing coupler are provided, and the light source device emits invisible light as the measurement light, and the wavelength division The multiplex coupler may be configured to introduce the aiming light emitted by the aiming light source device and the light emitted by the light source device into the first optical fiber.
また、以上の第１の各光干渉計や第２の各光干渉計を、別体として構成された本体装置と検出ユニットとより構成し、前記本体装置を、前記光源装置と、前記第１の光ファイバと、前記光カプラと、前記第２の光ファイバと、前記周波数シフタと、前記干渉光学系と、前記光検出手段とを収容したものとし、前記検出ユニットを、前記検出光学系を収容したものとしてもよい。なお、第１の光干渉計や第２の光干渉計に、上述のように照準光光源装置と波長分割多重カプラを備える場合には、照準光光源装置と波長分割多重カプラは、本体装置に収容する。 Further, the first optical interferometer and the second optical interferometer described above are each configured by a main body device and a detection unit which are separately configured, and the main body device includes the light source device and the first light interferometer. The optical fiber, the optical coupler, the second optical fiber, the frequency shifter, the interference optical system, and the light detection means shall be housed, the detection unit, the detection optical system It may be housed. When the first optical interferometer or the second optical interferometer includes the aiming light source device and the wavelength division multiplexing coupler as described above, the aiming light source device and the wavelength division multiplexing coupler are provided in the main unit. To accommodate.
以上のような光干渉計によれば、周波数シフタを空間光路中に配置したので、ＡＯＭなどの比較的安価で、光ファイバ内の散乱や光ファイバ接続端の反射によるS/Nの劣化が生じない周波数シフタを用いることができる。
また、光源装置から検出光学系までの光路と、光源装置から周波数シフタの直前の空間光路までの間の光路を光ファイバによる光路で形成したので、光干渉計内の各部の配置の自由度は比較的高く、光干渉計を小型に構成することができる。
According to the optical interferometer as described above, since the frequency shifter is arranged in the spatial light path, it is relatively inexpensive, such as AOM, and the S / N deteriorates due to scattering in the optical fiber and reflection at the optical fiber connection end. No frequency shifter can be used.
In addition, since the optical path from the light source device to the detection optical system and the optical path from the light source device to the spatial light path immediately before the frequency shifter are formed by optical paths using optical fibers, the degree of freedom of arrangement of each part in the optical interferometer is limited. Relatively high, the optical interferometer can be made compact.
以上のように、本発明によれば、良好な測定精度を確保できると共に、比較的低コストに実現できる、小型化に適した構造を備えた光干渉計を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide an optical interferometer having a structure suitable for miniaturization, which can ensure good measurement accuracy and can be realized at relatively low cost.
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１ａに、本実施形態に係る光干渉計の構成を示す。
図示するように、光干渉計は、本体装置１と検出ユニット２とを備えており、本体装置１と検出ユニット２は、PMファイバ（偏波保持ファイバ）で接続されている。
次に、図１ｂに示すように、本体装置１は、光源装置１１と、光ファイバ光学系１２と、光干渉部１３と、受光部１４と、信号計測部１５とを備えている。
ここで、図中の一点鎖線は空間光路を、黒の実線はPMファイバを、灰色の実線は電気信号線を表している。
図示するように、光源装置１１と光ファイバ光学系１２はPMファイバで接続され、光ファイバ光学系１２と光干渉部１３とはPMファイバで接続されている。また、検出ユニット２は、光ファイバ光学系１２と光干渉部１３と、それぞれPMファイバで接続されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
FIG. 1A shows a configuration of the optical interferometer according to the present embodiment.
As shown in the figure, the optical interferometer includes a main unit 1 and a detection unit 2, and the main unit 1 and the detection unit 2 are connected by a PM fiber (polarization maintaining fiber).
Next, as shown in FIG. 1B, the main body device 1 includes a light source device 11, an optical fiber optical system 12, an optical interference unit 13, a light receiving unit 14, and a signal measuring unit 15.
Here, the one-dot chain line in the figure represents the spatial light path, the solid black line represents the PM fiber, and the gray solid line represents the electric signal line.
As shown, the light source device 11 and the optical fiber optical system 12 are connected by a PM fiber, and the optical fiber optical system 12 and the optical interference unit 13 are connected by a PM fiber. In addition, the detection unit 2 is connected to the optical fiber optical system 12 and the optical interference unit 13 by respective PM fibers.
また、光干渉部１３と受光部１４との間には空間光路が設けられており、受光部１４と信号計測部１５とは、電気信号線で接続されている。
以下、このような光干渉計の詳細について説明する。
図２に、光干渉計の詳細構成を示す。
ここで、図２においても、一点鎖線は空間光路を、黒の実線はPMファイバを、灰色の実線は電気信号線を表している。
図示するように、本体装置１の光源装置１１は、測定光光源MLS１１１と、照準光光源ALS１１２とを備えており、測定光光源MLSは、直線偏光した不可視光である測定光（たとえば、波長1550nmの測定光）を、照準光光源ALS１１２は直線偏光した可視光である照準光（たとえば、波長635nmの照準光）を出射する。
A spatial light path is provided between the light interference unit 13 and the light receiving unit 14, and the light receiving unit 14 and the signal measuring unit 15 are connected by an electric signal line.
Hereinafter, details of such an optical interferometer will be described.
FIG. 2 shows a detailed configuration of the optical interferometer.
Here, also in FIG. 2, the dashed line indicates the spatial light path, the black solid line indicates the PM fiber, and the gray solid line indicates the electric signal line.
As shown in the figure, the light source device 11 of the main body device 1 includes a measurement light source MLS111 and an aiming light source ALS112, and the measurement light source MLS is a linearly polarized measurement light (for example, a wavelength of 1550 nm) that is invisible light. The aiming light source ALS 112 emits aiming light (for example, aiming light having a wavelength of 635 nm) that is linearly polarized visible light.
測定光光源MLSが出射した測定光と照準光光源ALS１１２が出射した照準光は、それぞれ、PMファイバ（偏波保持ファイバ)１１３、１１４に入射し、光コネクタであるFC/APCコネクタ１２１、１２２を介して、光ファイバ光学系１２内のPMファイバ１２３、１２４内に進む。PMファイバ１２３、１２４は、溶融型のPMWDMカプラ１２５（偏波保持波長分割多重カプラ１２５）に連結されており、PMファイバ１２３、１２４を進んだ測定光と照準光はPMWDMカプラ１２５において波長多重される。 The measurement light emitted by the measurement light source MLS and the aiming light emitted by the aiming light source ALS 112 enter PM fibers (polarization maintaining fibers) 113 and 114, respectively, and pass through FC / APC connectors 121 and 122 as optical connectors. Through the PM fibers 123 and 124 in the optical fiber optical system 12. The PM fibers 123 and 124 are connected to a fused-type PMWDM coupler 125 (polarization maintaining wavelength division multiplexing coupler 125), and the measurement light and the aiming light that have traveled through the PM fibers 123 and 124 are wavelength-multiplexed in the PMWDM coupler 125. You.
そして、波長多重された測定光と照準光は、PMWDMカプラ１２５に連結されているPMファイバ１２６を通って、PMファイバ１２６に連結されている偏波保持ファイバカプラ１２７に入光し、照射光と参照光に分割される。 Then, the wavelength-multiplexed measurement light and aiming light pass through the PM fiber 126 connected to the PMWDM coupler 125, enter the polarization maintaining fiber coupler 127 connected to the PM fiber 126, and are irradiated with the irradiation light. It is split into reference light.
分割された照射光は、偏波保持ファイバカプラ１２７に連結しているPMファイバ１２８を通って、本体装置１の照射光出力用のFC/APCコネクタ１０１に送られ、分割された参照光は、偏波保持ファイバカプラ１２７に連結しているPMファイバ１２９に送られる。 The split irradiation light is sent to the irradiation light output FC / APC connector 101 of the main unit 1 through the PM fiber 128 connected to the polarization maintaining fiber coupler 127, and the split reference light is It is sent to the PM fiber 129 connected to the polarization maintaining fiber coupler 127.
PMファイバ１２９は、光干渉部１３のフェルール１３１に連結しており、PMファイバ１２９に送られた参照光は、フェルール１３１から空間光路に出射され、空間光路に出射された参照光はコリメータレンズ１３２によって平行光にされた後、ＡＯＭである周波数シフタFS１３３に入射し、周波数シフタFS１３３で周波数がシフトされた後、ミラー１３４で反射し、ビームスプリッタＢＳ１３５に入射する。 The PM fiber 129 is connected to the ferrule 131 of the optical interference unit 13. The reference light sent to the PM fiber 129 is emitted from the ferrule 131 to a spatial light path, and the reference light emitted to the spatial light path is collimated by a collimator lens 132. After being converted into parallel light, the light is incident on a frequency shifter FS133, which is an AOM. After the frequency is shifted by the frequency shifter FS133, the light is reflected by a mirror 134 and is incident on a beam splitter BS135.
一方、本体装置１の照射光出力用のFC/APCコネクタ１０１に送られた照射光は、FC/APCコネクタ１０１に接続された、検出ユニット２の照射光入力用のPMファイバ２１に送られる。PMファイバ２１は、検出ユニット２のフェルール２２に連結しており、PMファイバ２１に送られた照射光は、フェルール２２から空間光路に出射され、空間光路に出射された照射光はコリメータレンズ２３によって平行光にされた後、第１レンズ２４、第２レンズ２５の偏心した位置を通って光路が変更され、幾分斜め方向に測定対象物５００上に照射される。ここで、検出ユニット２は、λ/４板２６を備えており、第２レンズ２５を通った照射光はλ/４板２６で円偏光に変換された後、測定対象物５００上に照射される。 On the other hand, the irradiation light sent to the irradiation light output FC / APC connector 101 of the main unit 1 is sent to the irradiation light input PM fiber 21 of the detection unit 2 connected to the FC / APC connector 101. The PM fiber 21 is connected to a ferrule 22 of the detection unit 2. Irradiation light sent to the PM fiber 21 is emitted from the ferrule 22 to a spatial light path, and irradiation light emitted to the spatial light path is collimated by a collimator lens 23. After being converted into parallel light, the light path is changed through the eccentric positions of the first lens 24 and the second lens 25, and the light is irradiated onto the measurement object 500 in a somewhat oblique direction. Here, the detection unit 2 includes a λ / 4 plate 26. Irradiation light passing through the second lens 25 is converted into circularly polarized light by the λ / 4 plate 26, and is then irradiated onto the measurement object 500. You.
照射光は測定対象物５００で反射し、測定対象物５００で反射した反射光は、λ/４板２６で直線偏光に変換された後、第２レンズ２５、第１レンズ２４の、照射光が通る位置と第２レンズ２５の中心と第１レンズ２４の中心を通る軸に対して対称となる位置を通って、光路が変更され、偏光ビームスプリッタＰＢＳ２７に入射する。 The irradiation light is reflected by the measurement object 500, and the reflection light reflected by the measurement object 500 is converted into linearly polarized light by the λ / 4 plate 26, and then the irradiation light of the second lens 25 and the first lens 24 is changed. The optical path is changed through a position symmetrical with respect to an axis passing through the center of the second lens 25 and an axis passing through the center of the first lens 24, and is incident on the polarizing beam splitter PBS27.
偏光ビームスプリッタＰＢＳ２７を透過した反射光のＰ偏光成分は、コリメータレンズ２８によって、検出ユニット２のフェルール２９に送られ、フェルール２９から、検出ユニット２の反射光出力用のPMファイバ２１０に入光する。 The P-polarized light component of the reflected light transmitted through the polarizing beam splitter PBS 27 is sent to the ferrule 29 of the detection unit 2 by the collimator lens 28, and enters the PM fiber 210 for outputting the reflected light of the detection unit 2 from the ferrule 29. .
PMファイバ２１０は、本体装置１の反射光入力用のFC/APCコネクタ１０２に連結しており、PMファイバ２１０からFC/APCコネクタ１０２に送られた反射光は、FC/APCコネクタ１０２に連結されている、本体装置１のPMファイバ１０３に入光する。 The PM fiber 210 is connected to the reflected light input FC / APC connector 102 of the main unit 1. The reflected light sent from the PM fiber 210 to the FC / APC connector 102 is connected to the FC / APC connector 102. Light enters the PM fiber 103 of the main unit 1.
PMファイバ１０３は、光干渉部１３のフェルール１３６に連結しており、PMファイバ１０３に送られた反射光は、フェルール１３６から空間光路に出射され、空間光路に出射された反射光はコリメータレンズ１３７によって平行光にされた後、空間光路を通ってビームスプリッタＢＳ１３５に入射する。 The PM fiber 103 is connected to the ferrule 136 of the optical interference unit 13. The reflected light sent to the PM fiber 103 is emitted from the ferrule 136 to the spatial light path, and the reflected light emitted to the spatial light path is collimated by the collimator lens 137. After being converted into parallel light, the light enters a beam splitter BS135 through a spatial light path.
そして、ビームスプリッタＢＳ１３５を透過した反射光と、ビームスプリッタＢＳ１３５で反射した参照光によって形成される、反射光と参照光とを同一光軸上に結合した第１の結合光と、ビームスプリッタＢＳ１３５で反射した反射光と、ビームスプリッタＢＳ１３５を透過した参照光によって形成される、反射光と参照光とを同一光軸上に結合した第２の結合光が生成される。なお、第１の結合光と第２の結合光には、参照光と反射光との干渉によるビート信号が位相が反転して現れる。 Then, the reflected light transmitted through the beam splitter BS135, the first combined light formed by the reference light reflected by the beam splitter BS135 and the reflected light and the reference light combined on the same optical axis, and the beam splitter BS135. A second combined light is formed by combining the reflected light and the reference light on the same optical axis, which is formed by the reflected light reflected and the reference light transmitted through the beam splitter BS135. In the first combined light and the second combined light, a beat signal due to interference between the reference light and the reflected light appears with its phase inverted.
なお、本光干渉計においては、ビームスプリッタＢＳ１３５に入射する参照光と反射光の偏光方向が一致するように各部の連結や配置を行うようにする。
第１の結合光は、ビームスプリッタＢＳ１３５から空間光路を通って受光部１４に送られ、第２の結合光はビームスプリッタＢＳ１３５から空間光路を通ってミラー１３８に送られ、ミラー１３８で反射した第２の結合光が空間光路を通って受光部１４に送られる。
In this optical interferometer, the components are connected and arranged so that the polarization directions of the reference light and the reflected light incident on the beam splitter BS135 match.
The first combined light is sent from the beam splitter BS135 to the light receiving unit 14 through the spatial light path, and the second combined light is sent from the beam splitter BS135 to the mirror 138 via the spatial light path, and reflected by the mirror 138. The two combined lights are sent to the light receiving unit 14 through the spatial light path.
受光部１４に送られた第１の結合光と第２の結合光は、それぞれ、光電素子１４１、１４２に入射して電気信号に変換され、変換された電気信号が信号計測部１５に送られる。
そして、信号計測部１５において、第１の結合光と第２の結合光の差分に基づいて、参照光と反射光のビート信号の周波数が検出され、ビート信号の周波数から測定対象物５００の速度や変位や振動周波数が算定される。
The first combined light and the second combined light sent to the light receiving unit 14 are respectively incident on the photoelectric elements 141 and 142 and are converted into electric signals, and the converted electric signals are sent to the signal measuring unit 15. .
Then, the signal measuring unit 15 detects the frequency of the beat signal of the reference light and the reflected light based on the difference between the first combined light and the second combined light, and determines the speed of the measurement object 500 from the frequency of the beat signal. , Displacement and vibration frequency are calculated.
以上、本発明の実施形態について説明した。
本実施形態によれば、周波数シフタFS１３３を空間光路中に配置したので、ＡＯＭ（Acousto-Optic Modulator）などの比較的安価で、光ファイバ内の散乱や光ファイバ接続端の反射によるS/Nの劣化が生じない周波数シフタを用いることができる。
The embodiment of the invention has been described.
According to the present embodiment, since the frequency shifter FS133 is arranged in the spatial light path, it is relatively inexpensive, such as an AOM (Acousto-Optic Modulator), and the S / N ratio due to scattering in the optical fiber and reflection at the optical fiber connection end is reduced. A frequency shifter that does not cause deterioration can be used.
また、光源装置１１から検出ユニット２までの光路と、光源装置１１から周波数シフタFS１３３の直前の空間光路までの間の光路を光ファイバによる光路で形成したので、光干渉計内の各部の配置の自由度は比較的高く、光干渉計を小型に構成することができる。 In addition, since the optical path from the light source device 11 to the detection unit 2 and the optical path from the light source device 11 to the spatial light path immediately before the frequency shifter FS133 are formed by optical paths using optical fibers, the arrangement of each part in the optical interferometer is changed. The degree of freedom is relatively high, and the optical interferometer can be made compact.
ところで、以上の実施形態における検出ユニット２は、図３ａに示すように、λ/４板２６を設けない構成としたり、図３ｂに示すように偏光ビームスプリッタＰＢＳ２７を設けない構成とすることもできる。 By the way, the detection unit 2 in the above embodiment may have a configuration without the λ / 4 plate 26 as shown in FIG. 3A or a configuration without the polarization beam splitter PBS 27 as shown in FIG. 3B. .
このようにしても、反射光の一部の偏光成分を参照光と光干渉部１３で干渉させて測定を行うことができる。
また、以上の実施形態における光干渉部１３は、図４に示すように、周波数シフタFS１３３をコリメータレンズ１３２から出射される参照光に代えて、コリメータレンズ１３７から出射される反射光の周波数をシフトするように設けたものとしてもよい。
Also in this case, the measurement can be performed by causing a part of the polarization component of the reflected light to interfere with the reference light by the light interference unit 13.
Further, as shown in FIG. 4, the optical interference unit 13 in the above embodiment shifts the frequency of the reflected light emitted from the collimator lens 137 instead of the frequency shifter FS133 for the reference light emitted from the collimator lens 132. May be provided.
また、本実施形態に係る光干渉計は、図５に示すように、検出ユニット２に偏光ビームスプリッタＰＢＳ２７を設ける代わりに、光干渉部１３に、コリメータレンズ１３７とビームスプリッタＢＳ１３５の間の反射光の光路中に配置した偏光ビームスプリッタＰＢＳ１３９を設け、コリメータレンズ１３７から出射された後に偏光ビームスプリッタＰＢＳ１３９を透過した反射光のＰ偏光成分がビームスプリッタＢＳ１３５に入射するように構成してもよい。 Further, in the optical interferometer according to the present embodiment, as shown in FIG. 5, instead of providing the polarization beam splitter PBS27 in the detection unit 2, the reflected light between the collimator lens 137 and the beam splitter BS135 is provided in the optical interference unit 13. May be provided so that the P-polarized light component of the reflected light that has passed through the polarizing beam splitter PBS 139 after being emitted from the collimator lens 137 enters the beam splitter BS 135.
また、本実施形態に係る光干渉計は、以下のように構成することもできる。
すなわち、図６に示すように、検出ユニット２を、λ/４板２６を設けない構成とすると共に、検出ユニット２に、コリメータレンズ２１１とフェルール２１２と第２の反射光出力用のPMファイバ２１３を設け、偏光ビームスプリッタＰＢＳ２７を反射した反射光のＳ偏光成分を、コリメータレンズ２１１によって、検出ユニット２のフェルール２１２に送り、フェルール２１２から、第２の反射光出力用のPMファイバ２１３に入光する。
Further, the optical interferometer according to the present embodiment can also be configured as follows.
That is, as shown in FIG. 6, the detection unit 2 has a configuration in which the λ / 4 plate 26 is not provided, and the detection unit 2 includes a collimator lens 211, a ferrule 212, and a second reflected light output PM fiber 213. Is provided, and the S-polarized light component of the reflected light reflected by the polarization beam splitter PBS 27 is sent to the ferrule 212 of the detection unit 2 by the collimator lens 211, and the light enters the PM fiber 213 for outputting the second reflected light from the ferrule 212. I do.
また、本体装置１に、第２の反射光入力用のFC/APCコネクタ１０４と、FC/APCコネクタ１０４と光干渉部１３に設けたフェルール１３０１を連結するPMファイバ１０５を設け、第２の反射光出力用のPMファイバ２１３に入光した反射光が光干渉部１３のフェルール１３０１に入光するようにする。 Further, the main body device 1 is provided with a second reflected light input FC / APC connector 104 and a PM fiber 105 connecting the FC / APC connector 104 and a ferrule 1301 provided in the optical interference unit 13, and the second reflection The reflected light entering the PM fiber 213 for optical output enters the ferrule 1301 of the optical interference unit 13.
そして、光干渉部１３に、上述したビームスプリッタＢＳ１３５とミラー１３８の代わりに、上述したフェルール１３０１、コリメータレンズ１３０２、ビームスプリッタＢＳ１３０３、ビームスプリッタＢＳ１３０４、ミラー１３０５、ビームスプリッタＢＳ１３０６、ミラー１３０７を設ける。 Then, instead of the above-described beam splitter BS135 and mirror 138, the optical interference unit 13 is provided with the above-described ferrule 1301, collimator lens 1302, beam splitter BS1303, beam splitter BS1304, mirror 1305, beam splitter BS1306, and mirror 1307.
このように構成した光干渉部１３では、ミラー１３４で反射した周波数シフト後の参照光が、ビームスプリッタＢＳ１３０３に入射し、ビームスプリッタＢＳ１３０３で反射した参照光がビームスプリッタＢＳ１３０４に入射し、ビームスプリッタＢＳ１３０３を透過した参照光がビームスプリッタＢＳ１３０６に入射する。 In the optical interference unit 13 configured as described above, the frequency-shifted reference light reflected by the mirror 134 enters the beam splitter BS1303, the reference light reflected by the beam splitter BS1303 enters the beam splitter BS1304, and the beam splitter BS1303 The reference light having passed through is incident on the beam splitter BS1306.
また、コリメータレンズ１３７によって平行光にされた反射光は、空間光路を通ってビームスプリッタＢＳ１３０３に入射し、ビームスプリッタＢＳ１３０３を透過した反射光とビームスプリッタＢＳ１３０３に入射した参照光の反射光を同一光軸上に結合した結合光がビームスプリッタＢＳ１３０４に送られる。ビームスプリッタＢＳ１３０４に送られた結合光は、ビームスプリッタＢＳ１３０４で分割され、ビームスプリッタＢＳ１３０４を透過した結合光は結合光Ａとして受光部１４に送られ、ビームスプリッタＢＳ１３０４で反射した結合光はミラー１３０５で反射して結合光Ｂとして受光部１４に送られる。 The reflected light converted into parallel light by the collimator lens 137 is incident on the beam splitter BS1303 through a spatial light path, and the reflected light transmitted through the beam splitter BS1303 and the reflected light of the reference light incident on the beam splitter BS1303 are the same light. The on-axis combined light is sent to the beam splitter BS1304. The combined light sent to the beam splitter BS1304 is split by the beam splitter BS1304, and the combined light transmitted through the beam splitter BS1304 is sent to the light receiving unit 14 as combined light A, and the combined light reflected by the beam splitter BS1304 is reflected by the mirror 1305. The light is reflected and sent to the light receiving unit 14 as the combined light B.
一方、フェルール１３０１に入光した反射光は、空間光路に出射され、コリメータレンズ１３０２によって平行光とされた後、ビームスプリッタＢＳ１３０６に入射する。
そして、ビームスプリッタＢＳ１３０６を透過した反射光と、ビームスプリッタＢＳ１３０６で反射した参照光によって形成される、反射光と参照光とを同一光軸上に結合した結合光が結合光Ｃとして受光部１４に送られる。また、ビームスプリッタＢＳ１３０６で反射した反射光と、ビームスプリッタＢＳ１３０６を透過した参照光によって形成される、反射光と参照光とを同一光軸上に結合した結合光が結合光Ｄとして受光部１４に送られる。
On the other hand, the reflected light that has entered the ferrule 1301 is emitted into the spatial light path, is converted into parallel light by the collimator lens 1302, and then enters the beam splitter BS1306.
Then, a combined light formed by the reflected light transmitted through the beam splitter BS1306 and the reference light reflected by the beam splitter BS1306 and combined on the same optical axis with the reflected light and the reference light is transmitted to the light receiving unit 14 as the combined light C. Sent. Further, a combined light formed by the reflected light reflected by the beam splitter BS1306 and the reference light transmitted through the beam splitter BS1306 and combined on the same optical axis with the reflected light and the reference light is transmitted to the light receiving unit 14 as the combined light D. Sent.
そして、受光部１４を、上述した光電素子１４１、１４２に代えて、光干渉部１３から送られる結合光Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを、それぞれ、電気信号に変換して信号計測部１５に出力する光電素子１４０１、１４０２、１４０３、１４０４を設けたものとする。 Then, the light receiving unit 14 converts the combined lights A, B, C, and D sent from the optical interference unit 13 into electric signals instead of the photoelectric elements 141 and 142 described above, and outputs the electric signals to the signal measuring unit 15. It is assumed that photoelectric elements 1401, 1402, 1403, and 1404 are provided.
また、信号計測部１５を、結合光Ａと結合光Ｂの差分に基づいて、参照光と反射光のビート信号の周波数を検出すると共に、結合光Ｃと結合光Ｄの差分に基づいて参照光と反射光のビート信号の周波数を検出するものとする。また、信号計測部１５において、結合光Ａと結合光Ｂの差分に基づいて検出したビート信号の周波数と、結合光Ｃと結合光Ｄの差分に基づいて検出したビート信号の周波数とのうち、よりビート信号の大きさが大きい方の周波数を用いて、測定対象物５００の速度や変位や振動周波数を算定するダイバシティ計測等を行う。 The signal measuring unit 15 detects the frequency of the beat signal between the reference light and the reflected light based on the difference between the combined light A and the combined light B, and detects the reference light based on the difference between the combined light C and the combined light D. And the frequency of the beat signal of the reflected light. In the signal measuring unit 15, the frequency of the beat signal detected based on the difference between the combined light A and the combined light B, and the frequency of the beat signal detected based on the difference between the combined light C and the combined light D are: Diversity measurement or the like for calculating the speed, displacement, or vibration frequency of the measurement target 500 is performed using the frequency having the larger beat signal.
ここで、このような光干渉計においては、ビームスプリッタＢＳ１３０３に入射する参照光とビームスプリッタＢＳ１３０３にミラー１３４から入射する反射光の偏光方向が一致し、ビームスプリッタＢＳ１３０６に入射する参照光とビームスプリッタＢＳ１３０６にコリメータレンズ１３０２から入射する反射光の偏光方向が一致するように各部の連結や配置を行うようにする。 Here, in such an optical interferometer, the polarization directions of the reference light incident on the beam splitter BS1303 and the reflected light incident on the beam splitter BS1303 from the mirror 134 coincide with each other, and the reference light incident on the beam splitter BS1306 and the beam splitter BS1306 The components are connected and arranged such that the polarization directions of the reflected light incident on the BS 1306 from the collimator lens 1302 match.
このように、光干渉計を構成することにより、λ/４板２６を設けることなく、測定対象物５００で反射した反射光の直交する偏光成分を用いた計測を行うことができるようになる。 By configuring the optical interferometer in this way, it becomes possible to perform measurement using orthogonal polarization components of light reflected by the measurement object 500 without providing the λ / 4 plate 26.
１…本体装置、２…検出ユニット、１１…光源装置、１２…光ファイバ光学系、１３…光干渉部、１４…受光部、１５…信号計測部、２１/１０３/１１３/１１４/１２３/１２４/１２６/１２８/１２９/２１０/２１３…PMファイバ、２２/２９/１３１/１３６/２１２/１３０１…フェルール、２３/２８/１３２/１３７/２１１/１３０２…コリメータレンズ、２４…第１レンズ、２５…第２レンズ、２６…λ/４板、２７…偏光ビームスプリッタＰＢＳ、１０１/１０２/１０４/１２１/１２２…FC/APCコネクタ、１１１…測定光光源MLS、１１２…照準光光源ALS、１２５…PMWDMカプラ、１２７…偏波保持ファイバカプラ、１３３…周波数シフタFS、１３４/１３８/１３０５/１３０７…ミラー、１３５/１３０３/１３０４/１３０６…ビームスプリッタＢＳ、１４１/１４２/１４０１/１４０２/１４０３/１４０４…光電素子、５００…測定対象物。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Main body apparatus, 2 ... Detection unit, 11 ... Light source apparatus, 12 ... Optical fiber optical system, 13 ... Optical interference part, 14 ... Light receiving part, 15 ... Signal measurement part, 21/103/113/114/123/124 /126/128/129/210/213...PM fiber, 22/29/131/136/212/1301 ... ferrule, 23/28/132/137/1211/1202 ... collimator lens, 24 ... first lens, 25 ... second lens, 26 ... lambda / 4 plate, 27 ... polarizing beam splitter PBS, 101/102/104/121/122 ... FC / APC connector, 111 ... measuring light source MLS, 112 ... sighting light source ALS, 125 ... PMWDM coupler, 127: polarization maintaining fiber coupler, 133: frequency shifter FS, 134/138/1305/1307 ... mirror, 135/1303/1304/1306 ... beam splitter BS, 141 / 142/1401/1402/1403/1404: photoelectric element, 500: object to be measured.
Claims (4)
前記測定光を導光する第１の光ファイバと、
前記第１の光ファイバで導光された測定光を照射光と参照光に分割する光カプラと、
前記光カプラで分割された参照光を導光する第２の光ファイバと、
前記第２の光ファイバから空間に出射された参照光の周波数をシフトし空間に出射する周波数シフタと、
前記光カプラで分割された照射光を導光する第３の光ファイバと、
第４の光ファイバと、
前記第３の光ファイバから空間に出射された照射光を、測定対象物に照射し、前記測定対象物で反射した前記照射光の反射光を前記第４の光ファイバに入光する検出光学系と、
前記第４の光ファイバから空間に出射された反射光と、前記周波数シフタから空間に出射された参照光とを、同じ光路上の結合光に結合する干渉光学系と、
前記結合光を検出する光検出手段と、
第５の光ファイバとを有し、
前記光源装置は、直線偏光の光を前記測定光として出射し、
前記第１の光ファイバ、前記第２の光ファイバ、前記第３の光ファイバ、前記第４の光ファイバ、前記第５の光ファイバは、偏波保持光ファイバであり、
前記光カプラは、偏波保持光カプラであり、
前記検出光学系は、
偏光ビームスプリッタと、
前記第３の光ファイバから空間に出射された照射光を、測定対象物に照射すると共に、前記照射光の前記測定対象物による反射光を前記偏光ビームスプリッタに出射する対物光学系とを備え、
前記第４の光ファイバは、前記偏光ビームスプリッタから出射される反射光の二つの直線偏光成分のうちの一方の直線偏光成分を導光し、
前記第５の光ファイバは、前記偏光ビームスプリッタから出射される反射光の二つの直線偏光成分のうちの他方の直線偏光成分を導光し、
前記干渉光学系は、前記結合光として、前記第４の光ファイバから空間に出射された反射光と、前記周波数シフタから空間に出射された参照光とを、同じ光路上に結合した第１の結合光と、前記第５の光ファイバから空間に出射された反射光と、前記周波数シフタから空間に出射された参照光とを、同じ光路上に結合した第２の結合光とを生成し、
前記光検出手段は、前記第１の結合光と前記第２の結合光とをそれぞれ検出することを特徴とする光干渉計。 A light source device for emitting measurement light,
A first optical fiber for guiding the measurement light,
An optical coupler that splits the measurement light guided by the first optical fiber into irradiation light and reference light,
A second optical fiber for guiding the reference light split by the optical coupler,
A frequency shifter that shifts the frequency of the reference light emitted to the space from the second optical fiber and emits the space to the space,
A third optical fiber for guiding the irradiation light split by the optical coupler,
A fourth optical fiber;
A detection optical system that irradiates the measurement object with irradiation light emitted to the space from the third optical fiber, and enters reflected light of the irradiation light reflected by the measurement object into the fourth optical fiber; When,
An interference optical system that couples the reflected light emitted to the space from the fourth optical fiber and the reference light emitted to the space from the frequency shifter with the combined light on the same optical path;
Light detection means for detecting the combined light,
A fifth optical fiber,
The light source device emits linearly polarized light as the measurement light,
The first optical fiber, the second optical fiber, the third optical fiber, the fourth optical fiber, the fifth optical fiber is a polarization maintaining optical fiber,
The optical coupler is a polarization maintaining optical coupler,
The detection optical system,
A polarizing beam splitter,
Irradiation light emitted to the space from the third optical fiber, irradiates the object to be measured, and comprises an objective optical system that emits reflected light of the irradiation light by the object to be measured to the polarization beam splitter,
The fourth optical fiber guides one linear polarization component of the two linear polarization components of the reflected light emitted from the polarization beam splitter,
The fifth optical fiber guides the other linearly polarized light component of the two linearly polarized light components of the reflected light emitted from the polarization beam splitter,
The interference optical system is configured to combine, as the coupled light, reflected light emitted from the fourth optical fiber into space and reference light emitted from the frequency shifter into space on a same optical path. The combined light, the reflected light emitted to the space from the fifth optical fiber, and the reference light emitted to the space from the frequency shifter, generate a second combined light that is combined on the same optical path,
The optical interferometer, wherein the light detecting means detects the first combined light and the second combined light, respectively.
可視光を照準光として出射する照準光光源装置と、An aiming light source device that emits visible light as aiming light,
波長分割多重カプラを備え、Equipped with wavelength division multiplex coupler,
前記光源装置は前記測定光として不可視光を出射し、The light source device emits invisible light as the measurement light,
前記波長分割多重カプラは、前記照準光光源装置が出射した前記照準光と前記光源装置が出射した光とを、前記第１の光ファイバに導入することを特徴とする光干渉計。The optical interferometer, wherein the wavelength division multiplexing coupler introduces the aiming light emitted by the aiming light source device and the light emitted by the light source device into the first optical fiber.
別体として構成された本体装置と検出ユニットとを備え、A main unit and a detection unit configured as separate bodies are provided,
前記本体装置は、前記光源装置と、前記第１の光ファイバと、前記光カプラと、前記第２の光ファイバと、前記周波数シフタと、前記干渉光学系と、前記光検出手段とを収容し、The main unit accommodates the light source device, the first optical fiber, the optical coupler, the second optical fiber, the frequency shifter, the interference optical system, and the light detection unit. ,
前記検出ユニットは、前記検出光学系を収容していることを特徴とする光干渉計。The optical interferometer, wherein the detection unit houses the detection optical system.
別体として構成された本体装置と検出ユニットとを備え、A main unit and a detection unit configured as separate bodies are provided,
前記本体装置は、前記光源装置と、前記第１の光ファイバと、前記光カプラと、前記第２の光ファイバと、前記周波数シフタと、前記干渉光学系と、前記光検出手段と、前記照準光光源装置と、前記波長分割多重カプラとを収容し、The main body device includes the light source device, the first optical fiber, the optical coupler, the second optical fiber, the frequency shifter, the interference optical system, the light detection unit, and the aiming device. Housing a light source device and the wavelength division multiplexing coupler;
前記検出ユニットは、前記検出光学系を収容していることを特徴とする光干渉計。The optical interferometer, wherein the detection unit houses the detection optical system.
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