JP6664047B2 - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Description
内部でワークに成膜処理を施す成膜室と、
前記成膜処理に使用され、成膜成分を含む原料ガスを、前記成膜室に供給する原料ガス供給部と、
前記成膜処理に使用され、前記原料ガスとは相違する処理ガスを、当該処理ガスを貯留する処理ガス貯留部から前記成膜室に供給するガス配管と、
前記ガス配管に取り付けられ、前記成膜室の内部の圧力を計測する圧力センサと、
前記原料ガス供給部から前記成膜室に前記原料ガスが供給されている間、前記処理ガスを、前記処理ガス貯留部から前記ガス配管に流して前記成膜室に供給するように制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
前記制御部は、前記原料ガス供給部から前記成膜室に前記原料ガスが供給されている間、前記調整バルブを開くように制御するようにしてもよい。
前記圧力センサは、前記成膜室内の圧力が大気圧であることを計測する圧力センサであり、
前記制御部は、前記圧力センサが、前記成膜室内の圧力が大気圧であることを計測したときに、前記パージガス供給部から前記成膜室に供給されるパージガスの供給を停止するように制御してもよい。
前記ガスシャワーは、前記ガス配管から供給される前記処理ガスを、前記噴出孔からシャワー状に前記ワークの表面に供給してもよい。
成膜成分を含む原料ガスを成膜室に供給し、ワークの表面に当該原料ガスを吸着させる原料ガス供給工程と、
パージガスを供給して前記成膜室内に残留する残留ガスをパージする第1のパージ工程と、
前記第1のパージ工程後、前記原料ガスに反応する反応ガスと、キャリアガスとを、前記成膜室内の圧力を計測する圧力センサが取り付けられたガス配管に流して前記成膜室に供給し、当該反応ガスのプラズマを生成し、前記ワークの表面に吸着された前記原料ガスと前記反応ガスのプラズマを反応させて、前記ワークの表面に薄膜を形成する薄膜形成工程と、
前記薄膜形成工程後、前記パージガスを供給して前記成膜室内に残留する残留ガスをパージする第2のパージ工程と、
を備え、
前記原料ガス供給工程で、前記反応ガスまたは前記キャリアガスを、前記ガス配管に流して前記成膜室に供給する、
ことを特徴とする。
本発明の実施の形態の成膜装置1について、図1〜6を参照して説明する。本実施の形態では、成膜装置1としてALD装置、特に有機金属ガスと酸素プラズマとを反応させて酸化膜を形成するプラズマ原子層堆積(Plasma enhanced ALD、以下「PE−ALD」という。)装置を用いて説明する。
本実施の形態1では、プラズマを生成させる機構として、平行平板電極を適用したが、本発明はこのような電極に限定されない。原料ガス、反応ガス、キャリアガスを、成膜室10内の上方から供給するガスシャワーを設け、このガスシャワーに高周波電源を接続するようにしてもよい。
10 成膜室
20 ガス貯留部
21 原料ガス貯留部
21a 第1のガス配管
21b 第1の調整バルブ
22 反応ガス貯留部
22b 第2の調整バルブ
23 キャリアガス貯留部
23b 第3の調整バルブ
24 パージガス貯留部
24a 第3のガス配管
24b 第4の調整バルブ
30 高周波電源
31 第1の電極
32 第2の電極
40 ヒータ
50 圧力センサ
60 真空ポンプ
61 排気配管
70 コントローラ
80 基板
90 第2のガス配管
100 ガスシャワー
101 対向面
102 噴出孔
120 第4のガス配管
Claims (10)
- 内部でワークに成膜処理を施す成膜室と、
前記成膜処理に使用され、成膜成分を含む原料ガスを、前記成膜室に供給する原料ガス供給部と、
前記成膜処理に使用され、前記原料ガスとは相違する処理ガスを、当該処理ガスを貯留する処理ガス貯留部から前記成膜室に供給するガス配管と、
前記ガス配管に取り付けられ、前記成膜室の内部の圧力を計測する圧力センサと、
前記原料ガス供給部から前記成膜室に前記原料ガスが供給されている間、前記処理ガスを、前記処理ガス貯留部から前記ガス配管に流して前記成膜室に供給するように制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする成膜装置。 - 前記ガス配管には、前記処理ガス貯留部から前記成膜室に供給される前記処理ガスの流量を調整する調整バルブが設けられ、
前記制御部は、前記原料ガス供給部から前記成膜室に前記原料ガスが供給されている間、前記調整バルブを開くように制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - 前記圧力センサは、前記ガス配管の前記調整バルブより下流側に取り付けられた、
ことを特徴とする請求項2に記載の成膜装置。 - 前記処理ガスは、前記原料ガスに反応する反応ガス、またはキャリアガスである、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 前記圧力センサは、ダイヤフラム圧力センサである、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 前記成膜室にパージガスを供給するパージガス供給部を更に備え、
前記圧力センサは、前記成膜室内の圧力が大気圧であることを計測する圧力センサであり、
前記制御部は、前記圧力センサが、前記成膜室内の圧力が大気圧であることを計測したときに、前記パージガス供給部から前記成膜室に供給されるパージガスの供給を停止するように制御する、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 前記ガス配管の下流側の端部に接続されて、前記成膜室内の前記ワークと対向して配置され、前記ワークと対向する対向面に形成された複数の噴出孔を有するガスシャワーを更に備え、
前記ガスシャワーは、前記ガス配管から供給される前記処理ガスを、前記噴出孔からシャワー状に前記ワークの表面に供給する、
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 成膜成分を含む原料ガスを成膜室に供給し、ワークの表面に当該原料ガスを吸着させる原料ガス供給工程と、
パージガスを供給して前記成膜室内に残留する残留ガスをパージする第1のパージ工程と、
前記第1のパージ工程後、前記原料ガスに反応する反応ガスと、キャリアガスとを、前記成膜室内の圧力を計測する圧力センサが取り付けられたガス配管に流して前記成膜室に供給し、当該反応ガスのプラズマを生成し、前記ワークの表面に吸着された前記原料ガスと前記反応ガスのプラズマを反応させて、前記ワークの表面に薄膜を形成する薄膜形成工程と、
前記薄膜形成工程後、前記パージガスを供給して前記成膜室内に残留する残留ガスをパージする第2のパージ工程と、
を備え、
前記原料ガス供給工程で、前記反応ガスまたは前記キャリアガスを、前記ガス配管に流して前記成膜室に供給する、
ことを特徴とする成膜方法。 - 前記薄膜形成工程において、前記反応ガスと前記キャリアガスを、常に、前記ガス配管に流す、
ことを特徴とする請求項8に記載の成膜方法。 - 前記第1のパージ工程と前記第2のパージ工程において、前記反応ガスまたは前記キャリアガスを、前記ガス配管に流して、前記パージガスとして前記成膜室に供給する、
ことを特徴とする請求項8または9に記載の成膜方法。
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