JP6661257B1 - ビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置 - Google Patents
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Abstract
Description
CCD伝動支持組合せ体と、外部伝動ロッドと、真空観察窓と、蛍光ターゲット組合せ体と、締付機構と、ベースとを、含み
前記CCD伝動支持組合せ体は、一端が外部伝動ロッド内に装着され、他端が支持ブロックに接続され、支持ブロック上に第1のピンホールが開口され、前記第1のピンホール内に溝付き平端止めスクリューが装着され、前記支持ブロックと外部伝動ロッドの制限ブロックとはねじ留め具によって固定して接続され、
前記制限ブロックは、外部伝動ロッドを支持し、前記外部伝動ロッドの後端の外側に第1の溝が形成され、前記第1の溝内にスナップリングが装着され、前記スナップリングはベースの一端と連携し、前記ベースの他端はねじ留め具によってCCD固定板に接続され、
前記外部伝動ロッド内に第2の溝が形成され、前記第2の溝内には後続の部材を装着する際に位置決めするための保持リングが装着され、保持リングの一側に順に真空観察窓、長保持リング、蛍光ターゲット組合せ体、スリーブ、締付機構が装着されるビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置を提供する。
さらに、前記蛍光ターゲット組合せ体は、蛍光スクリーンと、蛍光スクリーン支持底板と、上部スクリーンブラケットと、下部スクリーンブラケットと、を含み、蛍光スクリーン支持底板上に蛍光スクリーンが接着され、且つ蛍光スクリーン支持底板はそれぞれ上部スクリーンブラケットと下部スクリーンブラケットに固定して接続される。
Claims (10)
- CCD伝動支持組合せ体(3)と、外部伝動ロッド(8)と、真空観察窓(11)と、蛍光ターゲット組合せ体(13)と、締付機構(15)と、ベース(16)と、を含み、
前記CCD伝動支持組合せ体(3)は一端が外部伝動ロッド(8)内に装着され、他端が支持ブロック(4)に接続され、支持ブロック(4)に第1のピンホールが形成され、前記第1のピンホール内に溝付き平端止めスクリュー(5)が装着され、前記支持ブロック(4)と外部伝動ロッド制限ブロック(6)とがねじ留め具(17)によって固定して接続され、
前記外部伝動ロッド制限ブロック(6)は外部伝動ロッド(8)を支持し、前記外部伝動ロッド(8)の後端の外側に第1の溝が形成され、前記第1の溝内にスナップリング(7)が装着され、前記スナップリング(7)はベース(16)の一端に連携し、前記ベース(16)の他端はねじ留め具(2)によってCCD固定板(1)に接続され、
前記外部伝動ロッド(8)内に第2の溝が形成され、前記第2の溝内に後続の部材を装着する際に位置決めするための保持リング(9)が装着され、保持リング(9)の一側に順に真空観察窓(11)、長保持リング(12)、蛍光ターゲット組合せ体(13)、スリーブ(14)、締付機構(15)が装着されることを特徴とするビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。 - 前記CCD伝動支持組合せ体(3)がCCD支持ロッドと、上支持板と、下支持板と、を含み、CCD支持ロッドがそれぞれ上支持板と下支持板に接続され、前記上支持板と下支持板にCCDカメラを固定するためのねじ孔が形成されることを特徴とする請求項1に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
- 前記スナップリング(7)が外部伝動ロッド(8)と隙間をあけて連携し、前記ベース(16)によりスナップリング(7)を移動させ、スナップリング(7)によって外部伝動ロッド(8)が軸方向で移動することを特徴とする請求項1に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
- 前記真空観察窓(11)が石英ガラス材質を用いていて、光透過率は80%以上であって、前記真空観察窓(11)の外面にノッチが形成され、前記ノッチ内に密封用のO型のゴムリング(10)が装着されることを特徴とする請求項1に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
- 前記蛍光ターゲット組合せ体(13)が蛍光スクリーンと、蛍光スクリーン支持底板(131)と、上部スクリーンブラケット(132)と、下部スクリーンブラケット(133)と、を含み、蛍光スクリーン支持底板(131)上に蛍光スクリーンが接着され、且つ蛍光スクリーン支持底板(131)はそれぞれ上部スクリーンブラケット(132)と下部スクリーンブラケット(133)に固定して接続されることを特徴とする請求項1に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
- 前記蛍光スクリーン支持底板(131)がそれぞれ上部スクリーンブラケット(132)と下部スクリーンブラケット(133)に垂直し、前記蛍光スクリーンの配置角度がビームの中心と90°をなすことを特徴とする請求項5に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
- 前記蛍光ターゲット組合せ体(13)の両側に第2のピンホールが形成され、前記外部伝動ロッド(8)にU型の溝が形成され、円柱状ピン(134)がU型の溝を通過して第2のピンホール内に装着されることを特徴とする請求項1に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
- 前記蛍光ターゲット組合せ体(13)と真空観察窓(11)とが長保持リング(12)によって隔離されることを特徴とする請求項1に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
- 前記外部伝動ロッド(8)の先端に雌ネジが設置され、前記締付機構(15)の雄ネジが設置された一端は外部伝動ロッド(8)の先端にネジ結合され、前記締付機構(15)と蛍光ターゲット組合せ体(13)とがスリーブ(14)によって隔離されることを特徴とする請求項1に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
- 前記ベース(16)が外部伝動ロッド(8)の後端に設置され、且つ直線状のガイドレール(18)上に装着されることを特徴とする請求項1に記載のビームの横方向パラメータを測量するための調節可能な伝動装置。
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