JP6643954B2 - Chemical nozzle and spin coating device - Google Patents
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Description
本発明は薬液ノズルおよび回転塗布装置に関し、特に半導体ウエハに塗布する薬液を排出する薬液ノズルおよび回転塗布装置に関する。 The present invention relates to a chemical nozzle and a spin coating apparatus, and more particularly to a chemical nozzle and a spin coating apparatus for discharging a chemical applied to a semiconductor wafer.
枚葉式のスピンエッチング装置において、半導体ウエハに薬液を塗布するためにPFA等のフッ素樹脂材料からなる薬液ノズルが用いられている。スピンエッチング装置における半導体ウエハの処理工程は、例えば、第1のエッチング液塗布、純水による洗浄、希フッ酸(フッ酸を純水で希釈した液体)による洗浄、純水による洗浄、中間乾燥、第2のエッチング液塗布、純水による洗浄、サイドリンス、最終乾燥の順に行われる(スピンエッチング装置に関しては、例えば特許文献1を参照)。 In a single-wafer spin etching apparatus, a chemical nozzle made of a fluororesin material such as PFA is used to apply a chemical to a semiconductor wafer. The processing steps of the semiconductor wafer in the spin etching apparatus include, for example, first etching liquid application, cleaning with pure water, cleaning with diluted hydrofluoric acid (a liquid obtained by diluting hydrofluoric acid with pure water), cleaning with pure water, intermediate drying, The second etching solution application, cleaning with pure water, side rinsing, and final drying are performed in this order (for a spin etching apparatus, see, for example, Patent Document 1).
中間乾燥時にノズルが定位置に戻る動作をする際に、振動等によってノズル内に残留した薬液が半導体ウエハに落下する「液だれ」が生じていた。液だれによって、半導体ウエハに意図しない処理が行われてしまう問題があった。 When the nozzle returns to the home position during the intermediate drying, a "drip" occurs in which the chemical liquid remaining in the nozzle drops onto the semiconductor wafer due to vibration or the like. There is a problem that unintended processing is performed on the semiconductor wafer due to dripping.
従来の薬液ノズルには、液だれを防止するためにサックバック機構が付加されている。しかしながら、薬液の粘度および比重が大きい場合には液だれが生じることがあった。 The conventional chemical liquid nozzle is provided with a suck-back mechanism for preventing dripping. However, when the viscosity and specific gravity of the chemical solution are large, dripping may occur.
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、液だれを抑制した薬液ノズルおよび回転塗布装置の提供を目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a chemical liquid nozzle and a spin coating device that suppress dripping.
本発明に係る薬液ノズルは、半導体ウエハを処理するための薬液を排出する薬液ノズルであって、フッ素樹脂材料を含む管状のノズル本体と、ノズル本体の一端に設けられた薬液注入口と、ノズル本体の他端に設けられた薬液排出口と、ノズル本体の薬液注入口と薬液排出口との間に接続されたサックバック用ノズルと、ノズル本体の薬液注入口と薬液排出口との間において、サックバック用ノズルよりも薬液排出口側に設けられた屈曲部と、を備え、屈曲部の前後でノズル本体を流れる薬液の方向が変化し、屈曲部のノズル本体を流れる薬液の方向が変化する箇所に接続され、屈曲部に残留した液体を排除するための少なくとも1つの残留物除去ノズルをさらに備える。 The chemical liquid nozzle according to the present invention is a chemical liquid nozzle for discharging a chemical liquid for processing a semiconductor wafer, a tubular nozzle body containing a fluororesin material, a chemical liquid inlet provided at one end of the nozzle body, and a nozzle. A liquid outlet provided at the other end of the main body, a suck-back nozzle connected between the liquid inlet and the liquid outlet of the nozzle body, and between the liquid inlet and the liquid outlet of the nozzle body. , A bent portion provided on the side of the drug solution outlet than the suck-back nozzle, the direction of the drug solution flowing through the nozzle body before and after the bent portion changes, and the direction of the drug solution flowing through the nozzle body at the bent portion changes The apparatus further includes at least one residue removal nozzle connected to the position where the liquid is to be removed and configured to remove the liquid remaining in the bent portion.
本発明に係る薬液ノズルは、半導体ウエハを処理するための薬液を排出する薬液ノズルであって、フッ素樹脂材料を含む管状のノズル本体と、ノズル本体の一端に設けられた薬液注入口と、ノズル本体の他端に設けられた薬液排出口と、ノズル本体の薬液注入口と薬液排出口との間に接続されたサックバック用ノズルと、ノズル本体の薬液注入口と薬液排出口との間において、サックバック用ノズルよりも薬液排出口側に設けられ、ノズル本体が鋭角に曲がった屈曲部と、を備え、屈曲部の内周側の曲率がなくなる両端の最短距離が、ノズル本体の直径よりも小さく、屈曲部の前後においてノズル本体の上流側から下流側へ向かう方向が90°より大きく変化している。
The chemical liquid nozzle according to the present invention is a chemical liquid nozzle for discharging a chemical liquid for processing a semiconductor wafer, a tubular nozzle body containing a fluororesin material, a chemical liquid inlet provided at one end of the nozzle body, and a nozzle. A liquid outlet provided at the other end of the main body, a suck-back nozzle connected between the liquid inlet and the liquid outlet of the nozzle body, and between the liquid inlet and the liquid outlet of the nozzle body. , than the suck back nozzle provided in the drug solution discharge port side, with a bent portion in which the nozzle body is bent at an acute angle, the shortest distance across the inner periphery side curvature of the bent portion is eliminated is, than the diameter of the nozzle body The direction from the upstream side to the downstream side of the nozzle body before and after the bent portion changes by more than 90 °.
本発明に係る薬液ノズルによれば、屈曲部に残留した液体を排除するための残留物除去ノズルを設けることにより、屈曲部に残留した薬液等に起因する、薬液排出口からの液だれを抑制することが可能である。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the chemical | medical solution nozzle which concerns on this invention, the dripping from the chemical | medical solution discharge port caused by the chemical | medical solution etc. which remained in the bent part is suppressed by providing the residue removal nozzle for eliminating the liquid which remained in the bending part. It is possible to
本発明に係る薬液ノズルによれば、屈曲部においてノズル本体の方向を90°より大きく曲げることにより、屈曲部においてノズル本体が鋭角に曲がることになり、屈曲部に薬液等が残留し難くなる。よって、薬液排出口からの液だれが抑制される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the chemical | medical solution nozzle which concerns on this invention, by bending the direction of a nozzle main body more than 90 degrees in a bending part, a nozzle main body will bend at an acute angle in a bending part, and a chemical | medical solution etc. hardly remain in a bending part. Therefore, dripping from the chemical solution outlet is suppressed.
<実施の形態1>
図1は、本実施の形態1における薬液ノズル100の構成を示す図である。また、図2は、本実施の形態1における回転塗布装置の構成を示す図である。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a
薬液ノズル100は、半導体ウエハ1を処理するための薬液を排出する薬液ノズルである。図1に示すように、薬液ノズル100は、ノズル本体10と、薬液注入口10aと、薬液排出口10bと、サックバック用ノズル11と、屈曲部10cと、残留物除去ノズルとを備える。本実施の形態1において、残留物除去ノズルは吹き付けノズル12である。
The
ノズル本体10は、PFA等のフッ素樹脂材料を含む管状のノズルである。薬液注入口10aはノズル本体10の一端に設けられる。薬液排出口10bはノズル本体10の他端に設けられる。ここで、薬液注入口10aはノズル本体10の上流側に設けられる。また、薬液排出口はノズル本体10の下流側に設けられる。
The
サックバック用ノズル11は、薬液注入口10aと薬液排出口10bとの間においてノズル本体10に接続される。サックバック用ノズル11は、例えば図示しない真空装置に接続されている。サックバック用ノズル11を介して矢印A11で示す方向に吸引力が働くことにより、ノズル本体10内部の圧力が下げられる。これにより、薬液排出口10bからの液だれが抑制される。
The suck-
また、屈曲部10cは、ノズル本体10の薬液注入口10aと薬液排出口10bとの間において、サックバック用ノズル11よりも薬液排出口10b側に設けられている。屈曲部10cの前後においてノズル本体10の上流側から下流側へ向かう方向が変化する。
The
図1に示すように、残留物除去ノズルは、屈曲部10cに接続され、前記屈曲部に残留した液体(残留液3)を排除する。本実施の形態1において、残留物除去ノズルは吹き付けノズル12である。吹き付けノズル12は、ノズル本体10の内部に気体を吹き付ける。つまり、吹き付けノズル12は矢印A12で示す方向に向けて気体を排出する。ここで吹き付けノズル12が排出する気体とは、例えば窒素ガスである。図1に示すように、吹き付けノズル12は、屈曲部10cの外周側に接続される。
As shown in FIG. 1, the residue removing nozzle is connected to the
本実施の形態1において、薬液ノズル100が排出する薬液とはエッチング液である。エッチング液の粘度および比重は水よりも大きい。なお、薬液ノズル100は処理工程の種類に応じて純水、希フッ酸等、エッチング液以外の液体を排出してもよい。
In the first embodiment, the chemical discharged from the
薬液ノズル100によって半導体ウエハ1に薬液を塗布する場合、通常、回転塗布装置のスピン機構2を回転させた状態において、薬液排出口10bからスピン機構2に載置された半導体ウエハ1上に薬液が排出される。なお、図2の回転塗布装置において、薬液ノズル100を、後述する薬液ノズル101〜104,200〜205,300〜305のいずれかに置きかえた構成としてもよい。
When the chemical liquid is applied to the semiconductor wafer 1 by the
薬液ノズル100からの薬液の排出を停止する際は、サックバック用ノズル11によって、ノズル本体10内の圧力が下げられることにより、薬液排出口10bからの液だれが抑制される。さらに、本実施の形態1では、薬液排出口10bからの薬液の排出を停止した後に、吹き付けノズル12を介して窒素ガスがノズル本体10の屈曲部10c内部に吹き付けられる。これにより、屈曲部10cに残留している残留液3が薬液排出口10bから外部に排出される。
When the discharge of the chemical solution from the
また、吹き付けノズル12を屈曲部10cの外周側に接続することにより、屈曲部10cの内周側に残留している残留液3を効果的に排除することが可能である。
Further, by connecting the
なお、吹き付けノズル12を動作させて、屈曲部10cに残留している残留液3を薬液排出口10bから外部に排出するタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing at which the
<効果>
本実施の形態1における薬液ノズル100は、半導体ウエハ1を処理するための薬液を排出する薬液ノズルであって、フッ素樹脂材料を含む管状のノズル本体10と、ノズル本体10の一端に設けられた薬液注入口10aと、ノズル本体10の他端に設けられた薬液排出口10bと、ノズル本体10の薬液注入口10aと薬液排出口10bとの間に接続されたサックバック用ノズル11と、ノズル本体10の薬液注入口10aと薬液排出口10bとの間において、サックバック用ノズル11よりも薬液排出口10b側に設けられた屈曲部10cと、を備え、屈曲部10cに接続され、屈曲部10cに残留した液体を排除するための少なくとも1つの残留物除去ノズルをさらに備える。
<Effect>
The
従って、屈曲部10cに残留した液体を排除するための残留物除去ノズルを設けることにより、屈曲部10cに残留した薬液に起因する、薬液排出口10bからの液だれを抑制することが可能である。
Therefore, by providing the residue removing nozzle for removing the liquid remaining in the
また、本実施の形態1における薬液ノズル100において、残留物除去ノズルは、ノズル本体10の内部に気体を吹き付ける吹き付けノズル12であり、吹き付けノズル12は、屈曲部10cの外周側に接続される。
In the chemical
従って、吹き付けノズル12からノズル本体10の屈曲部10cの内部に気体を吹き付けることにより、屈曲部10cに残留している薬液等の液体を薬液排出口10bから外部に排出することが可能である。これにより、屈曲部10cに残留している薬液等の液体を排除できるため、屈曲部10cに残留した液体に起因する、薬液排出口10bからの液だれを抑制することが可能である。
Therefore, by blowing gas from the
また、本実施の形態1における回転塗布装置は、薬液ノズル100と、半導体ウエハ1を回転させるためのスピン機構2と、を備える。従って、本実施の形態1における回転塗布装置によれば、薬液ノズル100からの液だれが抑制されるため、半導体ウエハ1に対して処理むらや基板荒れなどが抑制された、高品質な薬液処理を行うことが可能である。
Further, the spin coating apparatus according to the first embodiment includes a chemical
<実施の形態2>
図3は、本実施の形態2における薬液ノズル101の構成を示す図である。本実施の形態2において、残留物除去ノズルは純水注入ノズル13である。純水注入ノズル13は、ノズル本体10の内部に純水を注入する。純水注入ノズル13は、屈曲部10cの外周側に接続される。本実施の形態2において、残留物除去ノズル(即ち純水注入ノズル13)以外の構成は実施の形態1(図1)と同じため、説明を省略する。
<
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態2では、薬液排出口10bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル13を介して純水が矢印A13で示す方向に向かってノズル本体10の屈曲部10c内部に注入される。これにより、屈曲部10cに残留している残留液3が注入された純水とともに薬液排出口10bから外部に排出される。
In the second embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
また、純水注入ノズル13を屈曲部10cの外周側に接続することにより、屈曲部10cの内周側に残留している残留液3を効果的に排除することが可能である。
Further, by connecting the pure
なお、純水注入ノズル13を動作させて、屈曲部10cに残留している残留液3を薬液排出口10bから外部に排出するタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing at which the pure
<効果>
本実施の形態2における薬液ノズル101において、残留物除去ノズルは、ノズル本体の内部に純水を注入する純水注入ノズル13であり、純水注入ノズル13は、屈曲部10cの外周側に接続される。
<Effect>
In the chemical
従って、純水注入ノズル13からノズル本体10の屈曲部10cの内部に純水を注入することにより、屈曲部10cに残留している薬液等の液体を、注入した純水とともに薬液排出口10bから外部に排出することが可能である。これにより、屈曲部10cに残留している薬液等の液体を排除できるため、屈曲部10cに残留した液体に起因する、薬液排出口10bからの液だれを抑制することが可能である。
Accordingly, by injecting pure water from the pure
<実施の形態3>
図4は、本実施の形態3における薬液ノズル102の構成を示す図である。本実施の形態3において、残留物除去ノズルは吸引ノズル14である。吸引ノズル14は、屈曲部10cに残留した液体を吸引する。吸引ノズル14は、屈曲部10cの内周側に接続される。本実施の形態3において、残留物除去ノズル(即ち吸引ノズル14)以外の構成は実施の形態1(図1)と同じため、説明を省略する。
<
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態3では、薬液排出口10bからの薬液の排出を停止した後に、吸引ノズル14を介して屈曲部10cに残留している残留液3が矢印A14で示す方向に吸引される。これにより、屈曲部10cに残留している残留液3を排除することが可能である。
In the third embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
また、吸引ノズル14を屈曲部10cの内周側に接続することにより、屈曲部10cの内周側に残留している残留液3を効果的に吸引することが可能である。
Further, by connecting the
<効果>
本実施の形態3における薬液ノズル102において、残留物除去ノズルは、液体を吸引する吸引ノズル14であり、吸引ノズル14は屈曲部10cの内周側に接続される。
<Effect>
In the chemical
従って、吸引ノズル14を介してノズル本体10の屈曲部10cに残留した薬液等の液体を吸引することにより、屈曲部10cに残留している薬液等の液体を排除することが可能である。よって、屈曲部10cに残留した液体に起因する、薬液排出口10bからの液だれを抑制することが可能である。
Therefore, by sucking the liquid such as the chemical liquid remaining in the
<実施の形態4>
図5は、本実施の形態4における薬液ノズル103の構成を示す図である。本実施の形態4における薬液ノズル103は、複数の残留物除去ノズルを備える。複数の残留物除去ノズルは、純水注入ノズル13と吸引ノズル14である。純水注入ノズル13は、屈曲部10cの外周側に接続される。吸引ノズル14は、屈曲部10cの内周側に接続される。純水注入ノズル13および吸引ノズル14以外の構成は実施の形態1(図1)と同じため、説明を省略する。
<Embodiment 4>
FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態4では、薬液排出口10bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル13を介して純水がノズル本体10の屈曲部10c内部に注入される。これにより、屈曲部10cに残留していた残留液3が注入された純水とともに薬液排出口10bから外部に排出される。
In the fourth embodiment, pure water is injected into the
さらに、純水注入ノズル13で純水を注入した後に、吸引ノズル14で吸引を行うことにより、屈曲部10cに純水が残留している場合であっても、残留している純水を吸引して排除することが可能である。
Further, after pure water is injected by the pure
また、純水注入ノズル13から注入された純水が薬液注入口10a側に逆流して侵入した場合であっても、吸引ノズル14で吸引を行うことにより、侵入した純水を吸引して排除することが可能である。
Further, even when the pure water injected from the pure
なお、純水注入ノズル13を動作させて、屈曲部10cに残留している残留液3を薬液排出口10bから外部に排出してから、吸引ノズル14を動作させる一連の動作のタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing of a series of operations for operating the
<効果>
本実施の形態4における薬液ノズル103において、残留物除去ノズルは複数であり、複数の残留物除去ノズルは、ノズル本体10の内部に純水を注入する純水注入ノズル13を含み、純水注入ノズル13は、屈曲部10cの外周側に接続され、複数の残留物除去ノズルは、液体を吸引する吸引ノズル14を含み、吸引ノズル14は屈曲部10cの内周側に接続される。
<Effect>
In the chemical
従って、純水注入ノズル13から純水の注入を行ってノズル本体10の屈曲部10cに残留している薬液を排除した際に、屈曲部10cに純水が付着した場合であっても、吸引ノズル14を介して屈曲部10cに付着した純水を吸引することにより、屈曲部10cに残留している薬液等の液体を確実に排除することが可能である。よって、屈曲部10cに残留した液体に起因する、薬液排出口10bからの液だれをより抑制することが可能である。
Therefore, when pure water is injected from the pure
<実施の形態5>
図6は、本実施の形態5における薬液ノズル104の構成を示す図である。本実施の形態5における薬液ノズル104は、複数の残留物除去ノズルを備える。複数の残留物除去ノズルは、吹き付けノズル12、純水注入ノズル13および吸引ノズル14である。吹き付けノズル12と純水注入ノズル13は、屈曲部10cの外周側に接続される。吸引ノズル14は、屈曲部10cの内周側に接続される。
<Embodiment 5>
FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態5における薬液ノズル104は、ノズル本体10を振動させる振動機構50をさらに備える。振動機構50は、例えば振動モータを用いて実現される。この振動モータをノズル本体10に取り付け、或いはノズル本体10の少なくとも一部に接触するように設置することによりノズル本体10に振動が伝達される。ノズル本体10が矢印A15で示す方向に振動することにより、薬液排出口10bの内壁に付着した薬液等の液体が内壁から離れ易くなる。従って、薬液排出口10bの内壁に薬液等が残留することを抑制できるので、薬液排出口10bからの液だれが抑制される。
The chemical
また、振動機構50を、吹き付けノズル12、純水注入ノズル13、吸引ノズル14のいずれかと同じタイミングで動作させることにより、屈曲部10cおよび薬液排出口10bの内壁に残留した薬液を効率的に排除することが可能である。なお、薬液ノズル100,101,102,103においても振動機構50を設けた構成としてもよい。
Further, by operating the
純水注入ノズル13、吸引ノズル14、振動機構50以外の構成は実施の形態1(図1)と同じため、説明を省略する。
The configuration other than the pure
本実施の形態5では、薬液排出口10bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル13を介して純水がノズル本体10の屈曲部10c内部に注入される。これにより、屈曲部10cに残留していた残留液3が注入された純水とともに薬液排出口10bから外部に排出される。
In the fifth embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
さらに、純水注入ノズル13で純水を注入した後に、吸引ノズル14による吸引および吹き付けノズル12からの窒素ガスの吹き付けを行う。これにより、屈曲部10cに純水が残留している場合であっても、残留している純水を吸引および吹き飛ばして排除することが可能である。
Further, after pure water is injected by the pure
なお、純水注入ノズル13を動作させて、屈曲部10cに残留している残留液3を薬液排出口10bから外部に排出してから、吸引ノズル14および吹き付けノズル12を動作させる一連の動作のタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
In addition, after the pure
<効果>
本実施の形態5における薬液ノズル104において、残留物除去ノズルは複数であり、複数の残留物除去ノズルは、ノズル本体10の内部に気体を吹き付ける吹き付けノズル12を含み、吹き付けノズル12は、屈曲部10cの外周側に接続され、複数の残留物除去ノズルは、ノズル本体10の内部に純水を注入する純水注入ノズル13を含み、純水注入ノズル13は、屈曲部10cの外周側に接続され、複数の残留物除去ノズルは、液体を吸引する吸引ノズル14を含み、吸引ノズル14は屈曲部10cの内周側に接続される。
<Effect>
In the chemical
従って、純水注入ノズル13から純水の注入を行ってノズル本体10の屈曲部10cに残留している薬液を排除した際に、屈曲部10cに純水が付着した場合であっても、吸引ノズル14を介して屈曲部10cに付着した純水を吸引し、また、吹き付けノズル12から気体の吹き付けを行うことにより、屈曲部10cに残留している薬液等の液体をより確実に排除することが可能である。よって、屈曲部10cに残留した液体に起因する、薬液排出口10bからの液だれをより確実に抑制することが可能である。
Therefore, when pure water is injected from the pure
また、本実施の形態5における薬液ノズル104は、ノズル本体10を振動させる振動機構50をさらに備える。
The chemical
従って、振動機構50によってノズル本体10が振動することにより、薬液排出口10bの内壁に付着した薬液等の液体が内壁から離れ易くなる。よって、薬液排出口10bの内壁に薬液等が残留することを抑制できるので、薬液排出口10bからの液だれが抑制される。また、振動機構50を、吹き付けノズル12、純水注入ノズル13、吸引ノズル14のいずれかと同じタイミングで動作させることにより、屈曲部10cおよび薬液排出口10bの内壁に残留した薬液を効率的に排除することが可能である。
Therefore, when the
<実施の形態6>
図7は、本実施の形態6における薬液ノズル200の構成を示す図である。薬液ノズル200は、半導体ウエハ1を処理するための薬液を排出する薬液ノズルである。図7に示すように、薬液ノズル200は、ノズル本体20と、薬液注入口20aと、薬液排出口20bと、サックバック用ノズル21と、屈曲部20cとを備える。
<Embodiment 6>
FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of a chemical
ノズル本体20は、PFA等のフッ素樹脂材料を含む管状のノズルである。薬液注入口20aはノズル本体20の一端に設けられる。薬液排出口20bはノズル本体20の他端に設けられる。ここで、薬液注入口20aはノズル本体20の上流側に設けられる。また、薬液排出口はノズル本体20の下流側に設けられる。
The
サックバック用ノズル21は、薬液注入口20aと薬液排出口20bとの間においてノズル本体20に接続される。サックバック用ノズル21を介して矢印B11で示す方向に吸引力が働くことにより、ノズル本体20内部の圧力が下げられる。これにより、薬液排出口20bからの液だれが抑制される。
The suck-
また、屈曲部20cは、ノズル本体20の薬液注入口20aと薬液排出口20bとの間において、サックバック用ノズル21よりも薬液排出口20b側に設けられている。屈曲部20cの前後においてノズル本体20の上流側から下流側へ向かう方向は、90°より大きくかつ180°より小さく変化している。屈曲部20cよりも上流側におけるノズル本体20の方向は図7中の矢印B12で示される。また、屈曲部20cよりも下流側におけるノズル本体20の方向は図7中の矢印B13で示される。矢印B13の方向は、矢印B12の方向に対して角度θだけ変化している。
Further, the
本実施の形態6において、角度θは90°より大きいとする。角度θを90°より大きく設定することにより、ノズル本体20の屈曲部20cが鋭角に曲がることになり、屈曲部20cに薬液等が残留し難くなる。よって、薬液排出口20bからの液だれが抑制される。
In the sixth embodiment, it is assumed that angle θ is larger than 90 °. By setting the angle θ to be larger than 90 °, the
また、角度θを105°以上に設定することにより、ノズル本体20の屈曲部20cがさらに鋭く曲がることになる。これにより、屈曲部20cに薬液等がより残留し難くなり、薬液排出口20bからの液だれがより抑制される。
Further, by setting the angle θ to 105 ° or more, the
なお、本実施の形態7において、薬液ノズル200が排出する薬液とはエッチング液である。エッチング液の粘度および比重は水よりも大きい。なお、薬液ノズル200は処理工程の種類に応じて純水、希フッ酸等、エッチング液以外の液体を排出してもよい。
In the seventh embodiment, the chemical discharged from the
<効果>
本実施の形態6における薬液ノズル200は、半導体ウエハ1を処理するための薬液を排出する薬液ノズルであって、フッ素樹脂材料を含む管状のノズル本体20と、ノズル本体20の一端に設けられた薬液注入口20aと、ノズル本体20の他端に設けられた薬液排出口20bと、ノズル本体20の薬液注入口20aと薬液排出口20bとの間に接続されたサックバック用ノズル21と、ノズル本体20の薬液注入口20aと薬液排出口20bとの間において、サックバック用ノズル21よりも薬液排出口20b側に設けられた屈曲部20cと、を備え、屈曲部20cの前後においてノズル本体20の上流側から下流側へ向かう方向が90°より大きく変化している。
<Effect>
The chemical
従って、屈曲部20cにおいてノズル本体20の方向を90°より大きく曲げることにより、屈曲部20cにおいてノズル本体20が鋭角に曲がることになり、屈曲部20cに薬液等が残留し難くなる。よって、薬液排出口20bからの液だれが抑制される。
Accordingly, by bending the direction of the
また、本実施の形態6における薬液ノズル200において、屈曲部10cの前後においてノズル本体10の上流側から下流側へ向かう方向は105°以上で変化している。
In the chemical
従って、屈曲部20cにおいてノズル本体20の方向を105°以上で曲げることにより、屈曲部20cにおいてノズル本体20がさらに鋭く曲がることになり、屈曲部20cに薬液等がより残留し難くなる。よって、薬液排出口20bからの液だれがより抑制される。
Therefore, by bending the direction of the nozzle
<実施の形態7>
図8は、本実施の形態7における薬液ノズル201の構成を示す図である。本実施の形態8において、薬液ノズル201は吹き付けノズル22をさらに備える。吹き付けノズル22は、ノズル本体20の内部に気体を吹き付ける。吹き付けノズル22は、屈曲部20cの外周側に接続される。また、吹き付けノズル22は、屈曲部20cと薬液排出口20bの間に接続されてもよい。吹き付けノズル22は矢印B15で示す方向に向けて気体を排出する。ここで吹き付けノズル12が排出する気体とは、例えば窒素ガスである。
<Embodiment 7>
FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態7において、吹き付けノズル22以外の構成は実施の形態6(図7)と同じため、説明を省略する。
In the seventh embodiment, the configuration other than the
本実施の形態7では、薬液排出口20bからの薬液の排出を停止した後に、吹き付けノズル22を介して窒素ガスが、ノズル本体20の屈曲部20c内部又は薬液排出口20bの内壁に吹き付けられる。これにより、屈曲部20cに残留している残留液3が薬液排出口20bから外部に排出される。
In the seventh embodiment, after stopping the discharge of the chemical solution from the
また、吹き付けノズル22を屈曲部10cの外周側、又は、屈曲部20cと薬液排出口20bの間に接続することにより、屈曲部20cに残留している残留液3を効果的に排除することが可能である。
Further, by connecting the
なお、吹き付けノズル22を動作させて、屈曲部20cに残留している残留液3を薬液排出口20bから外部に排出するタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing at which the
<効果>
本実施の形態7における薬液ノズル201は、ノズル本体20の内部に気体を吹き付ける吹き付けノズル22をさらに備え、吹き付けノズル22は、屈曲部20cの外周側に接続されるか、又は、屈曲部20cと薬液排出口20bの間に接続される。
<Effect>
The chemical
従って、吹き付けノズル22からノズル本体20の内部に気体を吹き付けることにより、屈曲部20c又は薬液排出口20bに残留している薬液等の液体を薬液排出口20bから外部に排出することが可能である。これにより、屈曲部10c又は薬液排出口20bに残留した液体に起因する、薬液排出口20bからの液だれをより抑制することが可能である。
Therefore, by blowing gas from the
<実施の形態8>
図9は、本実施の形態8における薬液ノズル202の構成を示す図である。本実施の形態8において、薬液ノズル202は純水注入ノズル23をさらに備える。純水注入ノズル23は、ノズル本体20の内部に純水を注入する。純水注入ノズル23は、屈曲部20cの外周側に接続される。本実施の形態8において、純水注入ノズル23以外の構成は実施の形態6(図7)と同じため、説明を省略する。
<Embodiment 8>
FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態8では、薬液排出口20bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル23を介して純水が矢印B15で示す方向に向かってノズル本体20の屈曲部20c内部に注入される。これにより、屈曲部20cに残留している残留液3が注入された純水とともに薬液排出口20bから外部に排出される。
In the eighth embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
また、純水注入ノズル23を屈曲部10cの外周側に接続することにより、屈曲部20cの内周側に残留している残留液3を効果的に排除することが可能である。
Further, by connecting the pure
なお、純水注入ノズル23を動作させて、屈曲部20cに残留している残留液3を薬液排出口20bから外部に排出するタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing at which the pure
<効果>
本実施の形態8における薬液ノズル202は、ノズル本体20の内部に純水を注入する純水注入ノズル23をさらに備え、純水注入ノズル23は、屈曲部20cの外周側に接続される。
<Effect>
The chemical
従って、純水注入ノズル23からノズル本体20の屈曲部20cの内部に純水を注入することにより、屈曲部20cに残留している薬液等の液体を、注入した純水とともに薬液排出口20bから外部に排出することが可能である。これにより、屈曲部20cに残留している薬液等の液体を排除できるため、屈曲部20cに残留した液体に起因する、薬液排出口20bからの液だれをより抑制することが可能である。
Therefore, by injecting pure water from the pure
<実施の形態9>
図10は、本実施の形態9における薬液ノズル203の構成を示す図である。本実施の形態9において、薬液ノズル203は吸引ノズル24をさらに備える。吸引ノズル24は屈曲部20cに残留した液体を吸引する。吸引ノズル24は屈曲部20cの内周側に接続される。また、吸引ノズル24は屈曲部20cと薬液注入口20aの間に接続されてもよい。本実施の形態9において、吸引ノズル24以外の構成は実施の形態6(図7)と同じため、説明を省略する。
<Embodiment 9>
FIG. 10 is a diagram showing a configuration of the chemical
本実施の形態9では、薬液排出口20bからの薬液の排出を停止した後に、吸引ノズル24を介して屈曲部20cに残留している残留液3が矢印B16で示す方向に吸引される。これにより、屈曲部20cに残留している残留液3を排除することが可能である。
In the ninth embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
また、吸引ノズル14を屈曲部10cの内周側、又は屈曲部20cと薬液注入口20aの間に接続することにより、屈曲部10cに残留している残留液3を効果的に吸引することが可能である。
Further, by connecting the
<効果>
本実施の形態9における薬液ノズル203は、液体を吸引する吸引ノズル24をさらに備え、吸引ノズル24は屈曲部20cの内周側に接続されるか、又は、屈曲部20cと薬液注入口20aの間に接続される。
<Effect>
The
従って、吸引ノズル24を介してノズル本体20の屈曲部20cに残留した薬液等の液体を吸引することにより、屈曲部20cに残留している薬液等の液体を排除することが可能である。よって、屈曲部20cに残留した液体に起因する、薬液排出口20bからの液だれをより抑制することが可能である。
Therefore, by sucking the liquid such as the chemical liquid remaining in the
<実施の形態10>
図11は、本実施の形態10における薬液ノズル204の構成を示す図である。本実施の形態10における薬液ノズル204は、純水注入ノズル23と吸引ノズル24とをさらに備える。純水注入ノズル23は、屈曲部20cの外周側に接続される。吸引ノズル24は、屈曲部20cの内周側に接続される。純水注入ノズル23および吸引ノズル24以外の構成は実施の形態6(図7)と同じため、説明を省略する。
<
FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態10では、薬液排出口20bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル23を介して純水がノズル本体20の屈曲部20c内部に注入される。これにより、屈曲部20cに残留していた残留液3が注入された純水とともに薬液排出口20bから外部に排出される。
In
さらに、純水注入ノズル23で純水を注入した後に、吸引ノズル24で吸引を行うことにより、屈曲部20cに純水が残留している場合であっても、残留している純水を吸引して排除することが可能である。
Further, by injecting pure water with the pure
また、純水注入ノズル23から注入された純水が薬液注入口20a側に逆流して侵入した場合であっても、吸引ノズル24で吸引を行うことにより、侵入した純水を吸引して排除することが可能である。
Further, even when the pure water injected from the pure
なお、純水注入ノズル23を動作させて、屈曲部20cに残留している残留液3を薬液排出口20bから外部に排出してから、吸引ノズル24を動作させる一連の動作のタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing of a series of operations for operating the
<効果>
本実施の形態10における薬液ノズル204は、ノズル本体20の内部に純水を注入する純水注入ノズル23と、屈曲部20cに残留した液体を吸引する吸引ノズル24と、をさらに備え、純水注入ノズル23は、屈曲部20cの外周側に接続され、吸引ノズル24は屈曲部20cの内周側に接続されるか、又は、屈曲部20cと薬液注入口20aの間に接続される。
<Effect>
The chemical
従って、純水注入ノズル23から純水の注入を行ってノズル本体20の屈曲部20cに残留している薬液を排除した際に、屈曲部10cに純水が付着した場合であっても、吸引ノズル24を介して屈曲部20cに付着した純水を吸引することにより、屈曲部20cに残留している薬液等の液体を確実に排除することが可能である。よって、屈曲部20cに残留した液体に起因する、薬液排出口20bからの液だれをより抑制することが可能である。
Therefore, when pure water is injected from the pure
<実施の形態11>
図12は、本実施の形態11における薬液ノズル205の構成を示す図である。本実施の形態11における薬液ノズル205は、吹き付けノズル22と、純水注入ノズル23と、吸引ノズル24とをさらに備える。吹き付けノズル22は、屈曲部20cと薬液排出口20bとの間に接続される。純水注入ノズル23は、屈曲部20cの外周側に接続される。吸引ノズル24は、屈曲部20cの内周側に接続される。なお、吹き付けノズル22は、屈曲部20cの外周側に接続されてもよい。
<
FIG. 12 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態11における薬液ノズル205は、ノズル本体20を振動させる振動機構50をさらに備える。振動機構50は、例えば振動モータをノズル本体20に取り付けることにより実現される。ノズル本体20が矢印B17で示す方向に振動することにより、薬液排出口20bの内壁に付着した薬液等の残留液3が内壁から離れ易くなる。従って、薬液排出口20bの内壁に薬液等が残留することを抑制できるので、薬液排出口20bからの液だれが抑制される。
The chemical
また、振動機構50を、吹き付けノズル22、純水注入ノズル23、吸引ノズル24のいずれかと同じタイミングで動作させることにより、屈曲部20cおよび薬液排出口20bの内壁に残留した薬液を効率的に排除することが可能である。なお、薬液ノズル200,201,202,203,204においても振動機構50を設けた構成としてもよい。
Further, by operating the
吹き付けノズル22、純水注入ノズル23、吸引ノズル24、振動機構50以外の構成は実施の形態6(図7)と同じため、説明を省略する。
The configuration other than the
本実施の形態11では、薬液排出口20bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル23を介して純水がノズル本体20の屈曲部20c内部に注入される。これにより、屈曲部20cに残留していた残留液3が注入された純水とともに薬液排出口20bから外部に排出される。
In the eleventh embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
さらに、純水注入ノズル23で純水を注入した後に、吸引ノズル24による吸引および吹き付けノズル22からの窒素ガスの吹き付けを行う。これにより、屈曲部20cに純水が残留している場合であっても、残留している純水を吸引および吹き飛ばして排除することが可能である。
Further, after pure water is injected by the pure
なお、純水注入ノズル23を動作させて、屈曲部20cに残留している残留液3を薬液排出口20bから外部に排出してから、吸引ノズル24および吹き付けノズル22を動作させる一連の動作のタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
Note that the pure
<効果>
本実施の形態11における薬液ノズル205は、ノズル本体20の内部に気体を吹き付ける吹き付けノズル22と、ノズル本体20の内部に純水を注入する純水注入ノズル23と、液体を吸引する吸引ノズル24と、をさらに備え、吹き付けノズル22は、屈曲部20cの外周側に接続されるか、又は、屈曲部20cと薬液排出口20bの間に接続され、純水注入ノズル23は、屈曲部20cの外周側に接続され、吸引ノズル24は屈曲部20cの内周側に接続されるか、又は、屈曲部20cと薬液注入口20aの間に接続される。
<Effect>
The chemical
従って、純水注入ノズル23から純水の注入を行ってノズル本体20の屈曲部20cに残留している薬液を排除した際に、屈曲部20cに純水が付着した場合であっても、吸引ノズル24を介して屈曲部20cに付着した純水を吸引し、また、吹き付けノズル22から気体の吹き付けを行うことにより、屈曲部20cに残留している薬液等の液体をより確実に排除することが可能である。よって、屈曲部20cに残留した液体に起因する、薬液排出口20bからの液だれをより確実に抑制することが可能である。
Therefore, when pure water is injected from the pure
また、本実施の形態11における薬液ノズル205は、ノズル本体20を振動させる振動機構50をさらに備える。
The chemical
従って、振動機構50によってノズル本体20が振動することにより、薬液排出口20bの内壁に付着した薬液等の液体が内壁から離れ易くなる。よって、薬液排出口20bの内壁に薬液等が残留することを抑制できるので、薬液排出口20bからの液だれが抑制される。また、振動機構50を、吹き付けノズル22、純水注入ノズル23、吸引ノズル24のいずれかと同じタイミングで動作させることにより、屈曲部20cおよび薬液排出口20bの内壁に残留した薬液を効率的に排除することが可能である。
Therefore, when the
<実施の形態12>
図13は、本実施の形態12における薬液ノズル300の構成を示す図である。薬液ノズル300は、半導体ウエハ1を処理するための薬液を排出する薬液ノズルである。図13に示すように、薬液ノズル300は、ノズル本体30と、薬液注入口30aと、薬液排出口30bと、サックバック用ノズル31と、屈曲部30cとを備える。
<Twelfth Embodiment>
FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration of a chemical
ノズル本体30は、PFA等のフッ素樹脂材料を含む管状のノズルである。薬液注入口30aはノズル本体30の一端に設けられる。薬液排出口30bはノズル本体30の他端に設けられる。ここで、薬液注入口30aはノズル本体10の上流側に設けられる。また、薬液排出口はノズル本体30の下流側に設けられる。
The
サックバック用ノズル31は、薬液注入口30aと薬液排出口30bとの間においてノズル本体30に接続される。サックバック用ノズル31を介して矢印C11で示す方向に吸引力が働くことにより、ノズル本体30内部の圧力が下げられる。これにより、薬液排出口30bからの液だれが抑制される。
The suck-
また、屈曲部30cは、ノズル本体30の薬液注入口30aと薬液排出口30bとの間において、サックバック用ノズル31よりも薬液排出口30b側に設けられている。屈曲部30cの前後においてノズル本体30の上流側から下流側へ向かう方向は90°より大きく変化している。本実施の形態12では、屈曲部30cの前後においてノズル本体30の上流側から下流側へ向かう方向は180°変化している。
The
屈曲部30cよりも上流側におけるノズル本体30の方向は図13中の矢印C12で示される。また、屈曲部30cよりも下流側におけるノズル本体30の方向は図13中の矢印C13で示される。矢印C12の方向と矢印C13の方向とは180°異なっている。
The direction of the
本実施の形態12においては、屈曲部30cにおいてノズル本体の延在する方向を180°変化させる。つまり、屈曲部30cの形状は逆U字形となる。これにより、屈曲部30cに薬液等が残留し難くなり、薬液排出口20bからの液だれが抑制される。
In the twelfth embodiment, the direction in which the nozzle body extends at the
なお、本実施の形態12において、薬液ノズル300が排出する薬液とはエッチング液である。エッチング液の粘度および比重は水よりも大きい。なお、薬液ノズル300は処理工程の種類に応じて純水、希フッ酸等、エッチング液以外の液体を排出してもよい。
In the twelfth embodiment, the chemical discharged from the
<効果>
本実施の形態12における薬液ノズル300は、半導体ウエハ1を処理するための薬液を排出する薬液ノズルであって、フッ素樹脂材料を含む管状のノズル本体30と、ノズル本体30の一端に設けられた薬液注入口30aと、ノズル本体30の他端に設けられた薬液排出口30bと、ノズル本体30の薬液注入口30aと薬液排出口30bとの間に接続されたサックバック用ノズル31と、ノズル本体30の薬液注入口30aと薬液排出口30bとの間において、サックバック用ノズル31よりも薬液排出口30b側に設けられた屈曲部30cと、を備え、屈曲部30cの前後においてノズル本体30の上流側から下流側へ向かう方向が90°より大きく変化している。
<Effect>
The chemical
従って、屈曲部30cにおいてノズル本体30の方向を90°より大きく曲げることにより、屈曲部30cにおいてノズル本体30が鋭角に曲がることになり、屈曲部30cに薬液等が残留し難くなる。よって、薬液排出口30bからの液だれが抑制される。
Therefore, by bending the direction of the nozzle
また、本実施の形態12における薬液ノズル300において、屈曲部30cの前後においてノズル本体30の上流側から下流側へ向かう方向は180°変化している。
In
従って、屈曲部30cにおいてノズル本体30の方向を180°曲げることにより、屈曲部30cにおいてノズル本体30がさらに鋭く曲がることになり、屈曲部30cに薬液等がより残留し難くなる。よって、薬液排出口30bからの液だれがより抑制される。
Therefore, by bending the direction of the
<実施の形態13>
図14は、本実施の形態13における薬液ノズル301の構成を示す図である。本実施の形態13において、薬液ノズル301は吹き付けノズル32をさらに備える。吹き付けノズル32は、ノズル本体30の内部に気体を吹き付ける。吹き付けノズル32は、屈曲部30cの外周側に接続される。また、吹き付けノズル32は、屈曲部30cと薬液排出口30bの間に接続されてもよい。吹き付けノズル32は矢印C14で示す方向に向けて気体を排出する。ここで吹き付けノズル32が排出する気体とは、例えば窒素ガスである。
<Thirteenth embodiment>
FIG. 14 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態13において、吹き付けノズル32以外の構成は実施の形態12(図13)と同じため、説明を省略する。
In the thirteenth embodiment, the configuration other than the
本実施の形態13では、薬液排出口30bからの薬液の排出を停止した後に、吹き付けノズル32を介して窒素ガスが、ノズル本体30の屈曲部30c内部又は薬液排出口30bの内壁に吹き付けられる。これにより、屈曲部30cに残留している残留液3が薬液排出口30bから外部に排出される。
In the thirteenth embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
また、吹き付けノズル32を屈曲部30cの外周側、又は、屈曲部30cと薬液排出口30bの間に接続することにより、屈曲部30cに残留している残留液3を効果的に排除することが可能である。
Further, by connecting the
なお、吹き付けノズル32を動作させて、屈曲部30cに残留している残留液3を薬液排出口30bから外部に排出するタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing of operating the
<効果>
本実施の形態13における薬液ノズル301は、ノズル本体30の内部に気体を吹き付ける吹き付けノズル32をさらに備え、吹き付けノズル32は、屈曲部30cの外周側に接続されるか、又は、屈曲部30cと薬液排出口30bの間に接続される。
<Effect>
The chemical
従って、吹き付けノズル32からノズル本体30の内部に気体を吹き付けることにより、屈曲部30c又は薬液排出口30bに残留している薬液等の液体を薬液排出口30bから外部に排出することが可能である。これにより、屈曲部30c又は薬液排出口30bに残留した液体に起因する、薬液排出口30bからの液だれをより抑制することが可能である。
Therefore, by blowing gas from the
<実施の形態14>
図15は、本実施の形態14における薬液ノズル302の構成を示す図である。本実施の形態14において、薬液ノズル302は純水注入ノズル33をさらに備える。純水注入ノズル33は、ノズル本体30の内部に純水を注入する。純水注入ノズル33は、屈曲部30cの外周側に接続される。本実施の形態14において、純水注入ノズル33以外の構成は実施の形態12(図13)と同じため、説明を省略する。
<
FIG. 15 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態14では、薬液排出口30bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル33を介して純水が矢印C15で示す方向に向かってノズル本体30の屈曲部20c内部に注入される。これにより、屈曲部30cに残留している残留液3が注入された純水とともに薬液排出口30bから外部に排出される。
In the fourteenth embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
また、純水注入ノズル33を屈曲部30cの外周側に接続することにより、屈曲部30cの内周側に残留している残留液3を効果的に排除することが可能である。
Further, by connecting the pure
なお、純水注入ノズル33を動作させて、屈曲部30cに残留している残留液3を薬液排出口30bから外部に排出するタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing at which the pure
<効果>
本実施の形態14における薬液ノズル302は、ノズル本体30の内部に純水を注入する純水注入ノズル33をさらに備え、純水注入ノズル33は、屈曲部30cの外周側に接続される。
<Effect>
The chemical
従って、純水注入ノズル33からノズル本体30の屈曲部30cの内部に純水を注入することにより、屈曲部30cに残留している薬液等の液体を、注入した純水とともに薬液排出口30bから外部に排出することが可能である。これにより、屈曲部30cに残留している薬液等の液体を排除できるため、屈曲部30cに残留した液体に起因する、薬液排出口30bからの液だれをより抑制することが可能である。
Therefore, by injecting pure water from the pure
<実施の形態15>
図16は、本実施の形態15における薬液ノズル303の構成を示す図である。本実施の形態15における薬液ノズル303は、純水注入ノズル33と吸引ノズル34とをさらに備える。純水注入ノズル33は、屈曲部30cの外周側に接続される。吸引ノズル34は、屈曲部30cと薬液注入口30aの間に接続される。純水注入ノズル33および吸引ノズル34以外の構成は実施の形態12(図13)と同じため、説明を省略する。
<Embodiment 15>
FIG. 16 is a diagram illustrating a configuration of the chemical
本実施の形態15では、薬液排出口30bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル33を介して純水がノズル本体30の屈曲部10c内部に注入される。これにより、屈曲部30cに残留していた残留液3が注入された純水とともに薬液排出口30bから外部に排出される。
In the fifteenth embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
さらに、純水注入ノズル13で純水を注入した後に、吸引ノズル34により図16中の矢印C16で示す方向に吸引を行うことにより、屈曲部20cと薬液注入口20aの間に純水が侵入した場合であっても、侵入した純水を吸引して排除することが可能である。
Further, after pure water is injected by the pure
なお、純水注入ノズル33を動作させて、屈曲部30cに残留している残留液3を薬液排出口30bから外部に排出してから、吸引ノズル34を動作させる一連の動作のタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
The timing of a series of operations for operating the
<効果>
本実施の形態15における薬液ノズル303は、ノズル本体30の内部に純水を注入する純水注入ノズル33と、液体を吸引する吸引ノズル34と、をさらに備え、純水注入ノズル33は、屈曲部30cの外周側に接続され、吸引ノズル34は屈曲部30cの内周側に接続されるか、又は、屈曲部30cと薬液注入口30aの間に接続される。
<Effect>
The chemical
従って、純水注入ノズル33から純水の注入を行ってノズル本体30の屈曲部30cに残留している薬液を排除した際に、屈曲部30cと薬液注入口30aの間に純水が侵入した場合であっても、吸引ノズル34を介して侵入した純水を吸引することにより、薬液注入口30a側に薬液以外の液体が侵入することを防止することが可能である。よって、薬液排出口30bからの液だれをより抑制するとともに、薬液ノズル303の信頼性を高めることが可能である。
Therefore, when pure water is injected from the pure
<実施の形態16>
図17は、本実施の形態16における薬液ノズル304の構成を示す図である。本実施の形態16における薬液ノズル304は、吹き付けノズル32と、純水注入ノズル33と、吸引ノズル34とをさらに備える。吹き付けノズル32は、屈曲部30cと薬液排出口30bとの間に接続される。純水注入ノズル33は、屈曲部30cの外周側に接続される。吸引ノズル34は、屈曲部30cと薬液注入口30aとの間に接続される。なお、吹き付けノズル32は、屈曲部30cの外周側に接続されてもよい。
<Embodiment 16>
FIG. 17 is a diagram showing a configuration of the chemical
本実施の形態16における薬液ノズル304は、ノズル本体30を振動させる振動機構50をさらに備える。振動機構50は、例えば振動モータをノズル本体30に取り付けることにより実現される。ノズル本体30が矢印C18で示す方向に振動することにより、薬液排出口30bの内壁に付着した薬液等の残留液3が内壁から離れ易くなる。従って、薬液排出口30bの内壁に薬液等が残留することを抑制できるので、薬液排出口30bからの液だれが抑制される。
また、振動機構50を、吹き付けノズル32、純水注入ノズル33、吸引ノズル34のいずれかと同じタイミングで動作させることにより、屈曲部30cおよび薬液排出口30bの内壁に残留した薬液を効率的に排除することが可能である。なお、薬液ノズル300,301,302,303においても振動機構50を設けた構成としてもよい。
Further, by operating the
本実施の形態16では、薬液排出口30bからの薬液の排出を停止した後に、純水注入ノズル33を介して純水がノズル本体30の屈曲部30c内部に注入される。これにより、屈曲部30cに残留していた残留液3が注入された純水とともに薬液排出口30bから外部に排出される。
In the sixteenth embodiment, after the discharge of the chemical solution from the
さらに、純水注入ノズル33で純水を注入した後に、吹き付けノズル32からの窒素ガスの吹き付けを行う。これにより、屈曲部30cまたは薬液排出口30bに純水が残留している場合であっても、残留している純水を吹き飛ばして排除することが可能である。
Further, after pure water is injected by the pure
さらに、純水注入ノズル13で純水を注入した後に、吸引ノズル34で吸引を行うことにより、屈曲部20cと薬液注入口20aの間に純水が侵入した場合であっても、侵入した純水を吸引して排除することが可能である。
Furthermore, by injecting pure water with the pure
なお、純水注入ノズル33を動作させて、屈曲部30cに残留している残留液3を薬液排出口30bから外部に排出してから、吸引ノズル34および吹き付けノズル32を動作させる一連の動作のタイミングは、純水により半導体ウエハ1を洗浄する工程の直前とすることが望ましい。
After the pure
<効果>
本実施の形態16における薬液ノズル304は、ノズル本体30の内部に気体を吹き付ける吹き付けノズル32と、ノズル本体30の内部に純水を注入する純水注入ノズル33と、液体を吸引する吸引ノズル34と、をさらに備え、吹き付けノズル32は、屈曲部30cの外周側に接続されるか、又は、屈曲部30cと薬液排出口30bの間に接続され、純水注入ノズル33は、屈曲部30cの外周側に接続され、吸引ノズル34は屈曲部30cの内周側に接続されるか、又は、屈曲部30cと薬液注入口30aの間に接続される。
<Effect>
The chemical
従って、純水注入ノズル33から純水の注入を行ってノズル本体30の屈曲部30cに残留している薬液を排除した際に、屈曲部30cに純水が付着した場合であっても、吹き付けノズル32から気体の吹き付けを行うことにより、屈曲部30cまたは薬液排出口30bに残留している薬液等の液体をより確実に排除することが可能である。また、屈曲部30cと薬液注入口30aの間に純水が侵入した場合であっても、吸引ノズル34を介して侵入した純水を吸引することにより、薬液注入口30a側に薬液以外の液体が侵入することを防止することが可能である。よって、薬液排出口30bからの液だれをより抑制するとともに、薬液ノズル304の信頼性を高めることが可能である。
Therefore, when pure water is injected from the pure
また、本実施の形態16における薬液ノズル304は、ノズル本体30を振動させる振動機構50をさらに備える。
The chemical
従って、振動機構50によってノズル本体30が振動することにより、薬液排出口30bの内壁に付着した薬液等の液体が内壁から離れ易くなる。よって、薬液排出口30bの内壁に薬液等が残留することを抑制できるので、薬液排出口30bからの液だれが抑制される。また、振動機構50を、吹き付けノズル32、純水注入ノズル33、吸引ノズル34のいずれかと同じタイミングで動作させることにより、屈曲部30cおよび薬液排出口30bの内壁に残留した薬液を効率的に排除することが可能である。
Therefore, when the
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。 In the present invention, each embodiment can be freely combined, or each embodiment can be appropriately modified or omitted within the scope of the invention.
1 半導体ウエハ、2 スピン機構、3 残留液、10,20,30 ノズル本体、10a,20a,30a 薬液注入口、10b,20b,30b 薬液排出口、10c,20c,30c 屈曲部、11,21,31 サックバック用ノズル、12,22,32 吹き付けノズル、13,23,33 純水注入ノズル、14,24,34 吸引ノズル、50 振動機構、100,101,102,103,104,200,201,202,203,204,205,300,301,302,303,304,305 薬液ノズル。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor wafer, 2 Spin mechanism, 3 Residual liquid, 10, 20, 30 Nozzle body, 10a, 20a, 30a Chemical liquid inlet, 10b, 20b, 30b Chemical liquid outlet, 10c, 20c, 30c Bent part, 11, 21, 31 suck-back nozzle, 12, 22, 32 spray nozzle, 13, 23, 33 pure water injection nozzle, 14, 24, 34 suction nozzle, 50 vibration mechanism, 100, 101, 102, 103, 104, 200, 201, 202, 203, 204, 205, 300, 301, 302, 303, 304, 305 Chemical liquid nozzle.
Claims (18)
フッ素樹脂材料を含む管状のノズル本体と、
前記ノズル本体の一端に設けられた薬液注入口と、
前記ノズル本体の他端に設けられた薬液排出口と、
前記ノズル本体の前記薬液注入口と前記薬液排出口との間に接続されたサックバック用ノズルと、
前記ノズル本体の前記薬液注入口と前記薬液排出口との間において、前記サックバック用ノズルよりも前記薬液排出口側に設けられた屈曲部と、
を備え、
前記屈曲部の前後で前記ノズル本体を流れる前記薬液の方向が変化し、
前記屈曲部の前記ノズル本体を流れる前記薬液の方向が変化する箇所に接続され、前記屈曲部に残留した液体を排除するための少なくとも1つの残留物除去ノズルをさらに備える、
薬液ノズル。 A chemical liquid nozzle for discharging a chemical liquid for processing a semiconductor wafer,
A tubular nozzle body containing a fluororesin material,
A chemical liquid inlet provided at one end of the nozzle body,
A chemical solution outlet provided at the other end of the nozzle body,
A suck-back nozzle connected between the chemical solution inlet and the chemical solution outlet of the nozzle body,
A bent portion provided between the chemical liquid inlet and the chemical liquid outlet of the nozzle body, closer to the chemical liquid outlet than the suck-back nozzle,
With
Before and after the bent portion, the direction of the chemical solution flowing through the nozzle body changes,
The apparatus further includes at least one residue removal nozzle connected to a portion of the bent portion where the direction of the chemical solution flowing through the nozzle body changes, and for removing a liquid remaining in the bent portion.
Chemical nozzle.
前記吹き付けノズルは、前記屈曲部の外周側に接続される、
請求項1に記載の薬液ノズル。 The residue removal nozzle is a blowing nozzle that blows a gas into the interior of the nozzle body,
The spray nozzle is connected to an outer peripheral side of the bent portion,
The chemical liquid nozzle according to claim 1.
前記純水注入ノズルは、前記屈曲部の外周側に接続される、
請求項1に記載の薬液ノズル。 The residue removal nozzle is a pure water injection nozzle that injects pure water into the nozzle body,
The pure water injection nozzle is connected to an outer peripheral side of the bent portion,
The chemical liquid nozzle according to claim 1.
前記吸引ノズルは前記屈曲部の内周側に接続される、
請求項1に記載の薬液ノズル。 The residue removal nozzle is a suction nozzle that suctions a liquid,
The suction nozzle is connected to an inner peripheral side of the bent portion,
The chemical liquid nozzle according to claim 1.
前記複数の残留物除去ノズルは、前記ノズル本体の内部に純水を注入する純水注入ノズルを含み、
前記純水注入ノズルは、前記屈曲部の外周側に接続され、
前記複数の残留物除去ノズルは、液体を吸引する吸引ノズルを含み、
前記吸引ノズルは前記屈曲部の内周側に接続される、
請求項1に記載の薬液ノズル。 A plurality of the at least one residue removal nozzle;
The plurality of residue removal nozzles include a pure water injection nozzle that injects pure water into the interior of the nozzle body,
The pure water injection nozzle is connected to an outer peripheral side of the bent portion,
The plurality of residue removal nozzles include a suction nozzle for sucking a liquid,
The suction nozzle is connected to an inner peripheral side of the bent portion,
The chemical liquid nozzle according to claim 1.
前記複数の残留物除去ノズルは、前記ノズル本体の内部に気体を吹き付ける吹き付けノズルを含み、
前記吹き付けノズルは、前記屈曲部の外周側に接続され、
前記複数の残留物除去ノズルは、前記ノズル本体の内部に純水を注入する純水注入ノズルを含み、
前記純水注入ノズルは、前記屈曲部の外周側に接続され、
前記複数の残留物除去ノズルは、液体を吸引する吸引ノズルを含み、
前記吸引ノズルは前記屈曲部の内周側に接続される、
請求項1に記載の薬液ノズル。 A plurality of the at least one residue removal nozzle;
The plurality of residue removal nozzles include a spray nozzle that blows gas into the interior of the nozzle body,
The spray nozzle is connected to an outer peripheral side of the bent portion,
The plurality of residue removal nozzles include a pure water injection nozzle that injects pure water into the interior of the nozzle body,
The pure water injection nozzle is connected to an outer peripheral side of the bent portion,
The plurality of residue removal nozzles include a suction nozzle for sucking a liquid,
The suction nozzle is connected to an inner peripheral side of the bent portion,
The chemical liquid nozzle according to claim 1.
請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の薬液ノズル。 Further comprising a vibration mechanism for vibrating the nozzle body,
The chemical liquid nozzle according to any one of claims 1 to 6.
前記半導体ウエハを回転させるためのスピン機構と、
を備える、
回転塗布装置。 The chemical liquid nozzle according to any one of claims 1 to 7,
A spin mechanism for rotating the semiconductor wafer,
Comprising,
Spin coating device.
フッ素樹脂材料を含む管状のノズル本体と、
前記ノズル本体の一端に設けられた薬液注入口と、
前記ノズル本体の他端に設けられた薬液排出口と、
前記ノズル本体の前記薬液注入口と前記薬液排出口との間に接続されたサックバック用ノズルと、
前記ノズル本体の前記薬液注入口と前記薬液排出口との間において、前記サックバック用ノズルよりも前記薬液排出口側に設けられ、前記ノズル本体が鋭角に曲がった屈曲部と、
を備え、
前記屈曲部の内周側の曲率がなくなる両端の最短距離が、前記ノズル本体の直径よりも小さく、
前記屈曲部の前後において前記ノズル本体の上流側から下流側へ向かう方向が90°より大きく変化している、
薬液ノズル。 A chemical liquid nozzle for discharging a chemical liquid for processing a semiconductor wafer,
A tubular nozzle body containing a fluororesin material,
A chemical liquid inlet provided at one end of the nozzle body,
A chemical solution outlet provided at the other end of the nozzle body,
A suck-back nozzle connected between the chemical solution inlet and the chemical solution outlet of the nozzle body,
Between the chemical liquid inlet and the chemical liquid outlet of the nozzle main body, provided at the side of the chemical liquid outlet than the suck-back nozzle, a bent portion where the nozzle main body is bent at an acute angle,
With
The shortest distance between both ends at which the curvature on the inner peripheral side of the bent portion disappears is smaller than the diameter of the nozzle body,
The direction from the upstream side to the downstream side of the nozzle body before and after the bent portion changes by more than 90 °,
Chemical nozzle.
請求項9に記載の薬液ノズル。 The direction from the upstream side to the downstream side of the nozzle body before and after the bent portion has changed by 105 ° or more.
The chemical liquid nozzle according to claim 9.
請求項9に記載の薬液ノズル。 The direction from the upstream side to the downstream side of the nozzle body before and after the bent portion has changed by 180 °.
The chemical liquid nozzle according to claim 9.
前記吹き付けノズルは、前記屈曲部の外周側に接続されるか、又は、前記屈曲部と前記薬液排出口の間に接続される、
請求項9から請求項11のいずれか一項に記載の薬液ノズル。 It further comprises a blowing nozzle for blowing a gas into the inside of the nozzle body,
The spray nozzle is connected to the outer peripheral side of the bent portion, or is connected between the bent portion and the chemical solution outlet,
The chemical liquid nozzle according to any one of claims 9 to 11.
前記純水注入ノズルは、前記屈曲部の外周側に接続される、
請求項9から請求項11のいずれか一項に記載の薬液ノズル。 Further comprising a pure water injection nozzle for injecting pure water into the inside of the nozzle body,
The pure water injection nozzle is connected to an outer peripheral side of the bent portion,
The chemical liquid nozzle according to any one of claims 9 to 11.
前記吸引ノズルは前記屈曲部の内周側に接続されるか、又は、前記屈曲部と前記薬液注入口の間に接続される、
請求項9から請求項11のいずれか一項に記載の薬液ノズル。 Further comprising a suction nozzle for sucking the liquid,
The suction nozzle is connected to the inner peripheral side of the bent portion, or is connected between the bent portion and the chemical liquid inlet,
The chemical liquid nozzle according to any one of claims 9 to 11.
液体を吸引する吸引ノズルと、
をさらに備え、
前記純水注入ノズルは、前記屈曲部の外周側に接続され、
前記吸引ノズルは前記屈曲部の内周側に接続されるか、又は、前記屈曲部と前記薬液注入口の間に接続される、
請求項9から請求項11のいずれか一項に記載の薬液ノズル。 A pure water injection nozzle for injecting pure water into the interior of the nozzle body,
A suction nozzle for sucking the liquid,
Further comprising
The pure water injection nozzle is connected to an outer peripheral side of the bent portion,
The suction nozzle is connected to the inner peripheral side of the bent portion, or is connected between the bent portion and the chemical liquid inlet,
The chemical liquid nozzle according to any one of claims 9 to 11.
前記ノズル本体の内部に純水を注入する純水注入ノズルと、
液体を吸引する吸引ノズルと、
をさらに備え、
前記吹き付けノズルは、前記屈曲部の外周側に接続されるか、又は、前記屈曲部と前記薬液排出口の間に接続され、
前記純水注入ノズルは、前記屈曲部の外周側に接続され、
前記吸引ノズルは前記屈曲部の内周側に接続されるか、又は、前記屈曲部と前記薬液注入口の間に接続される、
請求項9から請求項11のいずれか一項に記載の薬液ノズル。 A blowing nozzle for blowing gas into the interior of the nozzle body,
A pure water injection nozzle for injecting pure water into the interior of the nozzle body,
A suction nozzle for sucking the liquid,
Further comprising
The spray nozzle is connected to the outer peripheral side of the bent portion, or connected between the bent portion and the chemical solution outlet,
The pure water injection nozzle is connected to an outer peripheral side of the bent portion,
The suction nozzle is connected to the inner peripheral side of the bent portion, or is connected between the bent portion and the chemical liquid inlet,
The chemical liquid nozzle according to any one of claims 9 to 11.
請求項9から請求項16のいずれか一項に記載の薬液ノズル。 Further comprising a vibration mechanism for vibrating the nozzle body,
The chemical liquid nozzle according to any one of claims 9 to 16.
前記半導体ウエハを回転させるためのスピン機構と、
を備える、
回転塗布装置。 The chemical liquid nozzle according to any one of claims 9 to 17,
A spin mechanism for rotating the semiconductor wafer,
Comprising,
Spin coating device.
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