JP6639718B2 - 光学系、それを備える撮像装置及び撮像システム - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施例1に係る光学系10について説明する。本実施例に係る光学系10は、上述した実施形態に係る光学系10と同等の構成を採っている。
φ=(2π/λ)×(C1×z)
以下、本発明の実施例2に係る光学系10について説明する。本実施例に係る光学系10において、上述した実施例1に係る光学系10と同等の構成については説明を省略する。
以下、本発明の実施例3に係る光学系10について説明する。本実施例に係る光学系10において、上述した実施例1に係る光学系10と同等の構成については説明を省略する。
以下、本発明の実施例4に係る光学系10について説明する。本実施例に係る光学系10において、上述した実施例1に係る光学系10と同等の構成については説明を省略する。
以下、上述した実施形態に係る光学系10の使用例としての撮像装置(分光読取装置)及び撮像システム(分光読取システム)について説明する。
以下、上述した実施形態に係る光学系10を用いた物体(被検物)の検査方法及び物品の製造方法について説明する。光学系10は、例えば製造業や農業、医療などの産業分野における検査(評価)に好適なものである。
5 第3反射面(回折面)
7 受光面(像面)
10 光学系
11 前群
12 後群
Claims (22)
- 物体側から像側へ順に配置された前群、遮光部材、後群から成る光学系であって、
前記遮光部材には、第1の方向に長い開口が設けられており、
前記前群は、前記第1の方向に平行な第1の断面においては前記開口上に物体を結像せず、前記第1の方向に垂直な第2の断面においては前記開口上に前記物体の中間像を形成しており、
前記後群は、前記第2の断面において前記開口を通過した光束を互いに波長が異なる複数の光束に分光する回折面を有し、前記第2の断面において前記複数の光束を互いに異なる位置に集光しており、
前記第1の断面において、前記前群から出射して前記開口に入射する光束は非平行光であり、
前記第2の断面において、前記前群及び前記後群は正のパワーを有することを特徴とする光学系。 - 前記前群の前記第1の断面でのパワーの符号と前記第2の断面でのパワーの符号は互いに異なることを特徴とする請求項1に記載の光学系。
- 物体側から像側へ順に配置された前群、遮光部材、後群から成る光学系であって、
前記遮光部材には、第1の方向に長い開口が設けられており、
前記前群は、前記第1の方向に平行な第1の断面においては前記開口上に物体を結像せず、前記第1の方向に垂直な第2の断面においては前記開口上に前記物体の中間像を形成しており、
前記後群は、前記第2の断面において前記開口を通過した光束を互いに波長が異なる複数の光束に分光する回折面を有し、前記第2の断面において前記複数の光束を互いに異なる位置に集光しており、
前記第1の断面において、前記前群から出射して前記開口に入射する光束は非平行光であり、
前記前群の前記第1の断面でのパワーの符号と前記第2の断面でのパワーの符号は互いに異なることを特徴とする光学系。 - 前記第1の断面において、前記前群のパワーの符号と前記後群のパワーの符号は互いに異なることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の光学系。
- 物体側から像側へ順に配置された前群、遮光部材、後群から成る光学系であって、
前記遮光部材には、第1の方向に長い開口が設けられており、
前記前群は、前記第1の方向に平行な第1の断面においては前記開口上に物体を結像せず、前記第1の方向に垂直な第2の断面においては前記開口上に前記物体の中間像を形成しており、
前記後群は、前記第2の断面において前記開口を通過した光束を互いに波長が異なる複数の光束に分光する回折面を有し、前記第2の断面において前記複数の光束を互いに異なる位置に集光しており、
前記第1の断面において、前記前群から出射して前記開口に入射する光束は非平行光であり、
前記第1の断面において、前記前群のパワーの符号と前記後群のパワーの符号は互いに異なることを特徴とする光学系。 - 前記第1の断面において、前記前群は負のパワーを有し、前記後群は正のパワーを有することを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の光学系。
- 前記第1の断面において、前記前群から出射して前記開口に入射する光束は発散光であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の光学系。
- 前記回折面のベース面は、非球面であることを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の光学系。
- 前記遮光部材は、前記物体からの光束の前記第1の方向における幅を規制することを特徴とする請求項1乃至8の何れか一項に記載の光学系。
- 前記前群は、前記物体からの光束の前記第1の方向に垂直な第2の方向における幅を規制する絞りを有することを特徴とする請求項1乃至9の何れか一項に記載の光学系。
- 前記前群及び前記後群に含まれる全ての光学面は反射面であることを特徴とする請求項1乃至10の何れか一項に記載の光学系。
- 請求項1乃至11の何れか一項に記載の光学系と、該光学系により形成された像を受光する撮像素子とを有することを特徴とする撮像装置。
- 請求項12に記載の撮像装置と、該撮像装置及び前記物体の相対位置を変更する搬送部とを備えることを特徴とする撮像システム。
- 光学系を介して物体を撮像することで該物体の画像情報を取得する第1のステップと、
前記画像情報に基づいて前記物体の検査を行う第2のステップとを有し、
前記光学系は、物体側から像側へ順に配置された前群、遮光部材、後群から成り、
前記遮光部材には、第1の方向に長い開口が設けられており、
前記前群は、前記第1の方向に平行な第1の断面においては前記開口上に物体を結像せず、前記第1の方向に垂直な第2の断面においては前記開口上に前記物体の中間像を形成しており、
前記後群は、前記第2の断面において前記開口を通過した光束を互いに波長が異なる複数の光束に分光する回折面を有し、前記第2の断面において前記複数の光束を互いに異なる位置に集光しており、
前記第1の断面において、前記前群から出射して前記開口に入射する光束は非平行光であり、
前記第2の断面において、前記前群及び前記後群は正のパワーを有することを特徴とする検査方法。 - 光学系を介して物体を撮像することで該物体の画像情報を取得する第1のステップと、
前記画像情報に基づいて前記物体の検査を行う第2のステップとを有し、
前記光学系は、物体側から像側へ順に配置された前群、遮光部材、後群から成り、
前記遮光部材には、第1の方向に長い開口が設けられており、
前記前群は、前記第1の方向に平行な第1の断面においては前記開口上に物体を結像せず、前記第1の方向に垂直な第2の断面においては前記開口上に前記物体の中間像を形成しており、
前記後群は、前記第2の断面において前記開口を通過した光束を互いに波長が異なる複数の光束に分光する回折面を有し、前記第2の断面において前記複数の光束を互いに異なる位置に集光しており、
前記第1の断面において、前記前群から出射して前記開口に入射する光束は非平行光であり、
前記前群の前記第1の断面でのパワーの符号と前記第2の断面でのパワーの符号は互いに異なることを特徴とする検査方法。 - 光学系を介して物体を撮像することで該物体の画像情報を取得する第1のステップと、
前記画像情報に基づいて前記物体の検査を行う第2のステップとを有し、
前記光学系は、物体側から像側へ順に配置された前群、遮光部材、後群から成り、
前記遮光部材には、第1の方向に長い開口が設けられており、
前記前群は、前記第1の方向に平行な第1の断面においては前記開口上に物体を結像せず、前記第1の方向に垂直な第2の断面においては前記開口上に前記物体の中間像を形成しており、
前記後群は、前記第2の断面において前記開口を通過した光束を互いに波長が異なる複数の光束に分光する回折面を有し、前記第2の断面において前記複数の光束を互いに異なる位置に集光しており、
前記第1の断面において、前記前群から出射して前記開口に入射する光束は非平行光であり、
前記第1の断面において、前記前群のパワーの符号と前記後群のパワーの符号は互いに異なることを特徴とする検査方法。 - 前記第1のステップは、前記物体を前記第1の方向に垂直な方向へ移動させながら前記物体を撮像する工程を含むことを特徴とする請求項14乃至16の何れか一項に記載の検査方法。
- 前記第1のステップは、前記複数の光束の波長の夫々に対応する複数の画像情報を取得する工程を含むことを特徴とする請求項14乃至17の何れか一項に記載の検査方法。
- 前記第2のステップは、前記複数の画像情報を用いて取得された前記物体のスペクトル分布に基づいて前記物体の検査を行う工程を含むことを特徴とする請求項14乃至18の何れか一項に記載の検査方法。
- 前記第2のステップは、前記物体における異物の有無を判定する工程を含むことを特徴とする請求項14乃至19の何れか一項に記載の検査方法。
- 請求項14乃至20の何れか一項に記載の検査方法により前記物体を検査するステップと、
該ステップにより検査された前記物体を用いて物品を製造するステップとを有することを特徴とする製造方法。 - 前記物品を製造するステップは、前記物体における異物を除去する工程を含むことを特徴とする請求項21に記載の製造方法。
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