JP6621781B2 - Assembly printed circuit board and printed wiring board manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、集合プリント基板、プリント配線板の製造方法に関する。   The present invention relates to an assembly printed board and a method for manufacturing a printed wiring board.

例えば、金属コアを有するプリント配線板が知られている(例えば特許文献1)。   For example, a printed wiring board having a metal core is known (for example, Patent Document 1).

特開2012−212951号公報JP 2012-212951 A

ところで、スマートフォンのような高機能携帯端末に搭載されるカメラモジュールは、最も厚い部品の一つである。近年、携帯端末に対する薄型化、軽量化への要求の高まりに伴い、カメラモジュールの薄型化への要求が増大している。   By the way, a camera module mounted on a high-functional portable terminal such as a smartphone is one of the thickest components. In recent years, with the increasing demand for thinning and lightening mobile terminals, there has been an increasing demand for thinning camera modules.

ここで、イメージセンサとレンズとの間には一定の距離を必要とすることから、カメラモジュールを薄型化するためには、イメージセンサの上面からプリント配線板の底部までの距離を短くする必要がある。かかる要請に応える1つの手法は、プリント配線板を薄くすることである。   Here, since a certain distance is required between the image sensor and the lens, it is necessary to shorten the distance from the upper surface of the image sensor to the bottom of the printed wiring board in order to reduce the thickness of the camera module. is there. One technique for meeting this requirement is to make the printed wiring board thinner.

しかし、プリント配線板を薄くすると、プリント配線板の剛性を減少させるため、プリント配線板の実装性やカメラモジュールとしての強度が損なわれる虞がある。他方、プリント配線板の強度を確保するために金属コア基板を強度の高い金属材料で構成すると、このような金属材料の熱伝導率は低いことが多いため、プリント配線板内で生ずる熱が内部に蓄積される虞がある。   However, if the printed wiring board is thinned, the rigidity of the printed wiring board is reduced, so that the mountability of the printed wiring board and the strength as a camera module may be impaired. On the other hand, if the metal core substrate is made of a high-strength metal material in order to ensure the strength of the printed wiring board, the heat conductivity of such a metal material is often low, so the heat generated in the printed wiring board is internal. May accumulate.

さらに、熱伝導率の高い金属材料(特に銅やアルミニウムなど)は、その金属材料の性質上ダイシングの際にバリを生じる傾向がある。バリが生じることにより、プリント配線板の品質に影響を及ぼす虞があった。   Furthermore, metal materials with high thermal conductivity (especially copper and aluminum) tend to generate burrs during dicing due to the nature of the metal materials. The occurrence of burrs may affect the quality of the printed wiring board.

本発明では、プリント配線板の強度(剛性)および熱伝導率を低下させず、ダイシングするときにバリの発生を抑制できるプリント配線板の構造を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a structure of a printed wiring board that can suppress the occurrence of burrs when dicing without reducing the strength (rigidity) and thermal conductivity of the printed wiring board.

本発明の1つの側面に係る集合プリント基板は、複数のユニット基板が夫々設けられる複数の配置領域と、隣り合う前記配置領域の間の領域である露出領域とを有する集合プリント基板において、第1主面と、前記第1主面の反対側の面である第2主面とを有し、前記第1主面および前記第2主面の少なくとも一方が前記配置領域から前記露出領域にかけて平坦である金属層と、前記金属層の前記第1主面および前記第2主面に接し前記露出領域と重ならないように設けられたメッキ層と、を有する金属コア基板と、前記金属コア基板の表面を覆うように形成される絶縁層と、前記配置領域に対応する前記絶縁層に形成される導電パターンと、を備える。 The collective printed circuit board according to one aspect of the present invention is a collective printed circuit board having a plurality of arrangement areas each provided with a plurality of unit boards and an exposed area that is an area between the adjacent arrangement areas . A main surface and a second main surface which is a surface opposite to the first main surface, and at least one of the first main surface and the second main surface is flat from the arrangement region to the exposed region. and certain metal layer, a metal core substrate having a plated layer provided so as not to overlap with the exposed region in contact with said first main surface and the second major surface of the metal layer, the surface of the metal core substrate And an electrically conductive pattern formed on the insulating layer corresponding to the arrangement region.

その他、本願が開示する課題、及びその解決方法は、発明を実施するための形態の欄の記載、及び図面の記載等により明らかにされる。   In addition, the problems disclosed by the present application and the solutions thereof will be clarified by the description in the column of the embodiment for carrying out the invention and the description of the drawings.

本発明によれば、薄くても強度を確保しつつ、ダイシングをする際にバリを生じさせにくい集合プリント基板を得ることができる。   According to the present invention, it is possible to obtain a collective printed circuit board that does not easily generate burrs when dicing while ensuring strength even when thin.

本実施形態に係る集合プリント基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the aggregate printed circuit board which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板を概略的に示す平面図である。It is a top view which shows roughly the collective printed circuit board which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板をダイシングしたときの概略を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline when the collective printed circuit board which concerns on this embodiment is diced. 本実施形態に係る集合プリント基板を概略的に示す平面図である。It is a top view which shows roughly the collective printed circuit board which concerns on this embodiment. 金属コア基板を構成する金属層およびメッキ層の厚みの比率とプリント配線板の変形量との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the ratio of the thickness of the metal layer which comprises a metal core board | substrate, and a plating layer, and the deformation amount of a printed wiring board. 本実施形態に係る集合プリント基板の絶縁層に補強繊維シートを設ける概略図である。It is the schematic which provides a reinforcing fiber sheet in the insulating layer of the assembly printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板のメッキ層と絶縁層の密着性を説明する概略図である。It is the schematic explaining the adhesiveness of the plating layer and insulating layer of the collective printed circuit board which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. 本実施形態に係る集合プリント基板の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the collective printed circuit board concerning this embodiment. その他の実施形態に係る金属層の第1側面にメッキ層が積層される集合プリント基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows roughly the assembly printed circuit board by which a plating layer is laminated | stacked on the 1st side surface of the metal layer which concerns on other embodiment. その他の実施形態に係る金属層の一部が薄く形成される集合プリント基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows roughly the assembly printed circuit board in which a part of metal layer which concerns on other embodiment is formed thinly. その他の実施形態に係る金属層の一部が薄く形成される集合プリント基板において片側に曲面を有する金属層を拡大した断面図である。It is sectional drawing to which the metal layer which has a curved surface on one side was expanded in the collective printed circuit board in which a part of metal layer which concerns on other embodiment is formed thinly. その他の実施形態に係る金属層の一部が薄く形成される集合プリント基板において両側に曲面を有する金属層を拡大した断面図である。It is sectional drawing to which the metal layer which has a curved surface on both sides is expanded in the collective printed circuit board in which a part of metal layer which concerns on other embodiment is formed thinly. その他の実施形態に係る金属層の第2側面にメッキ層が積層される集合プリント基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows roughly the assembly printed circuit board by which a plating layer is laminated | stacked on the 2nd side surface of the metal layer which concerns on other embodiment. その他の実施形態に係る金属コア基板が絶縁層を介して複数積層して形成される集合プリント基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows roughly the assembly printed board formed by laminating | stacking the metal core board | substrate which concerns on other embodiment through an insulating layer. メッキ層を有さない集合プリント基板を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows roughly the assembly printed circuit board which does not have a plating layer. メッキ層を有さない集合プリント基板においてダイシングしたときにバリが発生する状況を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the condition where a burr | flash generate | occur | produces when dicing in the collective printed circuit board which does not have a plating layer.

以下、適宜図面を参照し、本発明の実施形態に係る集合プリント基板100を説明する。ここでは、集合プリント基板100がカメラモジュール用の集合プリント基板100として好適に使用されるものとして説明される。例えば、光学系のモジュールでは、光を扱う事から、変形が少なく、平坦度の優れたものが要求される。それは、光の受光、発光の光路の調整等が容易で、利便性を有するからである。特に、携帯電話で最近脚光を浴びている二眼カメラモジュールは、二つの撮像素子が同一基板に隣合わせで配置されることから、その平坦性が求められる。そのため、実装基板自体に剛性が求められる。現状では、複数の撮像素子が夫々1チップで並ぶ場合、基板の平坦度が求められ、熱等によりその平坦度が変化しないものが求められる。更には、ウェハに於いて、将来、複数の撮像素子が一つの1チップとして切り込まれて供給される場合でも、チップ自体が大きくなることから、これも剛性と平坦度が求められる。どちらにしても、この複数の撮像素子を支持できる金属コア基板110が一枚必要である。そして、この場合、Cu基板、Fe基板またはSUS基板が好適と成る。   Hereinafter, a collective printed circuit board 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings as appropriate. Here, the collective printed circuit board 100 is described as being preferably used as the collective printed circuit board 100 for the camera module. For example, an optical module is required to have a small flatness and excellent flatness because it handles light. This is because it is easy to receive light, adjust the optical path of light emission, and the like, and is convenient. In particular, a twin-lens camera module that has recently been spotlighted by a mobile phone is required to have flatness because two image sensors are arranged next to each other on the same substrate. Therefore, the mounting board itself is required to have rigidity. At present, when a plurality of image sensors are arranged in one chip, the flatness of the substrate is required, and the flatness is not changed by heat or the like. Furthermore, even when a plurality of imaging elements are cut and supplied as one chip in the future, the chip itself becomes large, and this also requires rigidity and flatness. In either case, one metal core substrate 110 that can support the plurality of imaging elements is required. In this case, a Cu substrate, an Fe substrate, or a SUS substrate is suitable.

剛性とは、曲げやねじりの力に対する、または熱の上下に伴う寸法変化(変形)のしづらさの度合いのことを言い、この点から、剛性が高いとは、平坦な基板を平坦のまま維持する能力が高い事を意味する。また、言い換えると、剛性とは、曲げやねじりの力に対する寸法変化(変形)のしづらさの度合いを示す。つまり、剛性が高いとは、平坦な基板を平坦のまま維持する能力に優れることを示す。   Rigidity refers to the degree of difficulty of dimensional change (deformation) with respect to bending and twisting forces or with heat up and down. From this point of view, high rigidity means that a flat substrate remains flat. It means that ability to maintain is high. In other words, the rigidity indicates the degree of difficulty of dimensional change (deformation) with respect to bending or twisting force. That is, high rigidity indicates that the flat substrate is excellent in ability to keep flat.

ただし、本発明の集合プリント基板100はカメラモジュール用以外にも適用可能である。なお、図面において共通の又は類似する構成要素には同一又は類似の参照符号が付されている。   However, the collective printed circuit board 100 of the present invention can be applied to other than the camera module. In the drawings, the same or similar components are denoted by the same or similar reference numerals.

===本実施形態に係る集合プリント基板100===
図1A〜図1D、図2、図3、図4、図5A〜図5P、図10A及び図10Bを参照して、本実施形態における集合プリント基板100を説明する。
=== Aggregate Printed Circuit Board 100 According to the Present Embodiment ===
The collective printed circuit board 100 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1A to 1D, 2, 3, 4, 5A to 5P, 10A, and 10B.

ここで、図1A〜図1D、図2、図3、図4及び図5A〜図5Pでは、プリント配線板101の厚み方向をZ方向と定め、Z軸に直交する平面において紙面の手前から奥に向かう方向をY方向とし、Y軸とZ軸とに直交する方向をX方向とする。   Here, in FIGS. 1A to 1D, 2, 3, 4, and 5A to 5P, the thickness direction of the printed wiring board 101 is defined as the Z direction, and from the front of the page to the back in the plane orthogonal to the Z axis. A direction toward the Y direction is a Y direction, and a direction orthogonal to the Y axis and the Z axis is an X direction.

<<集合プリント基板100の構成>>
集合プリント基板100は、複数のプリント配線板101が連結された状態の基板である。連結された複数のプリント配線板101は、集合プリント基板100をダイシングすることにより、個々のプリント配線板101に分離される。ここで、集合プリント基板100において、電子部品が設けられる領域を配置領域とし、隣り合う該配置領域の間をダイシング領域とする。
<< Configuration of Collective Printed Circuit Board 100 >>
The collective printed board 100 is a board in which a plurality of printed wiring boards 101 are connected. The plurality of connected printed wiring boards 101 are separated into individual printed wiring boards 101 by dicing the collective printed circuit board 100. Here, in the collective printed circuit board 100, an area in which electronic components are provided is an arrangement area, and a space between adjacent arrangement areas is a dicing area.

ここで、図10Aに示すように、従来の集合プリント基板1000をダイシングすると、図10Bに示すように、プリント配線板1001の端部にバリが生じる。プリント配線板1001では、導電性および熱伝導性を高めるために、金属コア基板1100に銅を用いる。しかし、導電性および熱伝導性が高い銅のような金属材料では、その性質上、上述したように、ダイシングしたときにバリを生じやすい。ここで、金属コア基板1100に、ダイシングの際にバリを生じさせにくい金属材料を使用することが考えられるが、そのような金属材料は、導電性および熱伝導性が低い。そこで、本実施形態に係る集合プリント基板100では、ダイシングしたときにバリを生じさせにくく、かつ、剛性、導電性および熱伝導率を抑止した構造とした。   Here, when the conventional collective printed circuit board 1000 is diced as shown in FIG. 10A, burrs are generated at the end of the printed wiring board 1001 as shown in FIG. 10B. In the printed wiring board 1001, copper is used for the metal core substrate 1100 in order to improve conductivity and thermal conductivity. However, a metal material such as copper having high electrical conductivity and thermal conductivity tends to generate burrs when diced as described above. Here, it is conceivable to use a metal material that hardly generates burrs during dicing for the metal core substrate 1100, but such a metal material has low electrical conductivity and thermal conductivity. Therefore, the collective printed circuit board 100 according to the present embodiment has a structure in which burrs are not easily generated when dicing, and rigidity, conductivity, and thermal conductivity are suppressed.

このような集合プリント基板100は、図1A、図1Cに示すように、少なくとも、金属コア基板110と、絶縁層120と、導電パターン130と、ソルダーレジスト層140と、を含んで構成されている。   As shown in FIGS. 1A and 1C, such a collective printed circuit board 100 includes at least a metal core substrate 110, an insulating layer 120, a conductive pattern 130, and a solder resist layer 140. .

金属コア基板110は、後述するように複数の金属材料からなる板状の部材であって、プリント配線板101に剛性を付与している。また、金属コア基板110は、例えばグランドや接地電極として用いられている。金属コア基板110の厚みは、例えば、250μm以下であり、210μm,160μm,120μmである。   The metal core substrate 110 is a plate-like member made of a plurality of metal materials, as will be described later, and imparts rigidity to the printed wiring board 101. The metal core substrate 110 is used as, for example, a ground or a ground electrode. The thickness of the metal core substrate 110 is, for example, 250 μm or less, 210 μm, 160 μm, and 120 μm.

金属コア基板110は、第1金属材料を含んで形成される金属層111と、第1金属材料とは異なる第2金属材料で金属層111に積層されるメッキ層112と、を含む。ここで、金属層111において、集合プリント基板100における配置領域に対応する領域をメッキ領域といい、集合プリント基板100におけるダイシング領域に対応する領域を露出領域という。   The metal core substrate 110 includes a metal layer 111 formed including a first metal material and a plating layer 112 stacked on the metal layer 111 with a second metal material different from the first metal material. Here, in the metal layer 111, an area corresponding to the arrangement area in the collective printed circuit board 100 is referred to as a plating area, and an area corresponding to the dicing area in the collective printed circuit board 100 is referred to as an exposed area.

メッキ層112は、金属層111のメッキ領域における紙面上の上側(+Z方向側)の第1主面111Aと紙面上の下側(−Z方向側)の第2主面111Bとに積層されている。さらに、メッキ層112は、金属層111の露出領域(ダイシングライン領域)には形成されない。これにより、集合プリント基板100がダイシングされるときに、メッキ層112が設けられた部分はダイシングされないため、メッキ層112のバリを生じない。さらに、メッキ層112は、ダイシングされたときのプリント配線板101におけるダイシング領域から50μm以上内側にあることが望ましい。   The plating layer 112 is laminated on the upper surface (+ Z direction side) first main surface 111A on the paper surface and the lower surface (−Z direction side) second main surface 111B on the paper surface in the plating region of the metal layer 111. Yes. Furthermore, the plating layer 112 is not formed in the exposed region (dicing line region) of the metal layer 111. Thereby, when the collective printed circuit board 100 is diced, the portion provided with the plating layer 112 is not diced, so that no burrs of the plating layer 112 occur. Furthermore, it is desirable that the plating layer 112 be 50 μm or more inside from the dicing area in the printed wiring board 101 when diced.

また、メッキ層112は、その表面に凹凸が形成されるように、多結晶構造であることが好ましい。これにより、メッキ層112に積層される絶縁層120とメッキ層112との密着性が向上する。メッキ層112と絶縁層120との密着性の向上については、詳細に後述する。   The plated layer 112 preferably has a polycrystalline structure so that irregularities are formed on the surface thereof. Thereby, the adhesiveness of the insulating layer 120 laminated | stacked on the plating layer 112 and the plating layer 112 improves. The improvement in adhesion between the plating layer 112 and the insulating layer 120 will be described in detail later.

金属層111を形成する第1金属材料は例えばステンレス鋼であり、メッキ層112を形成する第2金属材料は例えば銅である。金属層111よりも導電率および熱伝導率の良好な金属(メッキ層112)で、金属層111を覆うことにより、集合プリント基板100の剛性を低下させず、かつ、導電率および熱伝導率を低下させずに、集合プリント基板100を生成できる。また、メッキ層112を形成する第2金属材料がビア133などの導電材料と同じ金属材料であるため、接続信頼性を高められる。このような構成の金属層111により、集合プリント基板100をダイシングして作成されるプリント配線板101は、第2金属材料のみから成る金属コア基板と比較して、強い剛性を有するため、平坦性を維持できる。さらに、高い導電率および熱伝導率を有するため、第1金属材料のみから成る金属コア基板と比較して、金属コア基板110は、グランドとしての機能および放熱部材としての機能を向上できる。   The first metal material that forms the metal layer 111 is, for example, stainless steel, and the second metal material that forms the plating layer 112 is, for example, copper. By covering the metal layer 111 with a metal (plating layer 112) having better conductivity and thermal conductivity than the metal layer 111, the rigidity of the collective printed circuit board 100 is not lowered, and the conductivity and thermal conductivity are reduced. The aggregate printed circuit board 100 can be generated without lowering. Further, since the second metal material forming the plated layer 112 is the same metal material as the conductive material such as the via 133, connection reliability can be improved. The printed wiring board 101 produced by dicing the collective printed circuit board 100 with the metal layer 111 having such a configuration has a higher rigidity than a metal core board made of only the second metal material, and thus has flatness. Can be maintained. Furthermore, since it has high electrical conductivity and thermal conductivity, the metal core substrate 110 can improve the function as a ground and the function as a heat radiating member as compared with the metal core substrate made of only the first metal material.

ここで、ステンレス鋼とは、例えば、鉄(Fe)を主成分(50%以上)とし、クロム(Cr)を10.5%以上含む合金鋼である。また、ステンレススチール、ステンレス、またはステンなどである。また、金属組織に基づいて、主に、マルテンサイト系ステンレス鋼 、フェライト系ステンレス鋼 、オーステナイト系ステンレス鋼、オーステナイト・フェライト二相ステンレス鋼または析出硬化ステンレス鋼の五つに分類される。さらに、ビッカース硬度(単位:HV)においては、マルテンサイト系が615を示し、フェライト系が183を示し、オーステナイト系が187を示し、析出硬化ステンレス鋼が375を示し、いずれも銅よりも高い硬度を示す。   Here, the stainless steel is, for example, an alloy steel containing iron (Fe) as a main component (50% or more) and 10.5% or more of chromium (Cr). Further, it is stainless steel, stainless steel, stainless steel or the like. Further, based on the metal structure, it is mainly classified into five categories: martensitic stainless steel, ferritic stainless steel, austenitic stainless steel, austenitic / ferritic duplex stainless steel or precipitation hardening stainless steel. Furthermore, in the Vickers hardness (unit: HV), the martensite type shows 615, the ferrite type shows 183, the austenite type shows 187, the precipitation hardened stainless steel shows 375, both of which are higher in hardness than copper. Indicates.

なお、第1金属材料としてのステンレス鋼と比較して、より硬い金属材料は存在するが、ステンレス鋼は、他の金属材料と比較して、入手しやすく、加工しやすく、コストが安いため、使用に最も適している金属材料の一つである。つまり、第1金属材料としては、ステンレス鋼が好ましい。以下、全ての実施例において、第1金属材料にステンレス鋼を使用することとして説明する。   In addition, compared to stainless steel as the first metal material, there are harder metal materials, but stainless steel is easier to obtain, easier to process, and less expensive than other metal materials. One of the most suitable metal materials for use. That is, stainless steel is preferable as the first metal material. Hereinafter, in all Examples, it explains as using stainless steel for the 1st metal material.

また、図1Dで、集合プリント基板100の平面構造について説明する。図1Dでは、実質的に、集合プリント基板100の全域にステンレスとCuメッキからなる金属コア基板111が設けられている。点線で示す4個の矩形は、プリント配線板(ユニット基板)101となる部分であり、縦・横(X方向およびY方向)にマトリックス状に配置されている。また、隣接する二つのユニット基板101の間には、ダイシングラインが格子状に形成され、縦・横方向(Y方向)の実線のラインは、該縦・横方向に延在するダイシングライン領域である。そして、一点差線で示す縦・横(X方向およびY方向)のダイシングラインがダイシング装置(不図示)のブレード(不図示)のセンターが通過する部分である。仮に、ダイシングライン領域の幅よりもブレード幅が狭く設定されている場合、メッキ層112が取り除かれた第1金属材料の露出領域を、ブレードで削ることにより、メッキ層112を切ることなくダイシングすることができる。なお、ここでは、第1金属材料が全域にわたり存在するため、ブレードは、常に第1金属材料を削ることに成る。   1D, the planar structure of the collective printed circuit board 100 will be described. In FIG. 1D, a metal core substrate 111 made of stainless steel and Cu plating is provided substantially over the entire area of the collective printed circuit board 100. Four rectangles indicated by dotted lines are portions that become the printed wiring board (unit substrate) 101, and are arranged in a matrix in the vertical and horizontal directions (X direction and Y direction). In addition, dicing lines are formed in a lattice shape between two adjacent unit substrates 101, and the solid lines in the vertical and horizontal directions (Y direction) are dicing line regions extending in the vertical and horizontal directions. is there. A vertical and horizontal (X direction and Y direction) dicing line indicated by a one-dot difference line is a portion through which a center of a blade (not shown) of a dicing apparatus (not shown) passes. If the blade width is set to be narrower than the width of the dicing line area, the exposed area of the first metal material from which the plating layer 112 has been removed is diced without cutting the plating layer 112 by cutting with a blade. be able to. Here, since the first metal material exists over the entire area, the blade always cuts the first metal material.

続いて、図1Bで、別の構造を有する集合プリント基板100について説明する。点線で示す4個の矩形は、ユニット基板101となる部分で、縦・横(X方向およびY方向)にマトリックス状に配置されている。また隣接する二つのユニット基板101の間には、ブリッヂ102が配置されている。ここでは、お互いの対向側辺の間をつなぐ様に、二つのブリッヂ102が設けられている。前述の様に、ダイシングラインが格子状に形成され、縦・横方向(Y方向)の実線のラインは、該縦・横方向に延在するダイシングライン領域である。そして、一点差線で示す縦・横(X方向およびY方向)のダイシングラインがダイシング装置のブレードのセンターが通過する部分である。仮に、ダイシングライン領域の幅よりもブレード幅が狭く設定されていれば、メッキ層112が取り除かれ第1金属材料が露出する露出領域は、ブリッヂ上に形成され、ブレードは、メッキ112を切ることなくダイシングすることができる。なお、ここでは、図1Dと異なり、ブリッヂとブリッヂの間は、スリットとなるため、第1金属材料の削り量は大幅に減らせる。   Next, a collective printed circuit board 100 having another structure will be described with reference to FIG. 1B. Four rectangles indicated by dotted lines are portions that become the unit substrate 101 and are arranged in a matrix in the vertical and horizontal directions (X direction and Y direction). Further, a bridge 102 is disposed between two adjacent unit substrates 101. Here, two bridges 102 are provided so as to connect between the opposing sides. As described above, dicing lines are formed in a lattice pattern, and the solid lines in the vertical and horizontal directions (Y direction) are dicing line regions extending in the vertical and horizontal directions. A vertical and horizontal (X direction and Y direction) dicing line indicated by a one-dot difference line is a portion through which the center of the blade of the dicing apparatus passes. If the blade width is set narrower than the width of the dicing line region, the exposed region where the plating layer 112 is removed and the first metal material is exposed is formed on the bridge, and the blade cuts the plating 112. Dicing can be performed without any problem. Here, unlike FIG. 1D, since a slit is formed between the bridges, the amount of cutting of the first metal material can be greatly reduced.

図1Bおよび図1Dのどちらにしても、図1Cに示すように、露出領域は、ブレードで削った領域よりも若干内側に幅広く形成されている(幅が広く形成されている)ため、ブレードは、メッキ層112を削ることはない。   In both FIG. 1B and FIG. 1D, as shown in FIG. 1C, the exposed region is formed slightly wider on the inside than the region cut by the blade (the width is formed wider), so that the blade The plating layer 112 is not scraped.

ここで、図2を参照しつつ、金属層111とメッキ層112の厚みについて説明する。図2は、120μmの金属コア基板110を含んで形成され、17.8mm×8.5mmの寸法を有する矩形状のプリント配線板101における、金属層111(ステンレス鋼)およびメッキ層112(銅)の厚みの比率と、プリント配線板101の変形量と、の関係を示している。図2に示すグラフの横軸は、金属層111の厚みに対するメッキ層112の厚みの割合が示され、グラフの縦軸は、プリント配線板101の変形量が示される。図2に示すように、弾性率が相対的に大きい金属層111の割合が増えるにつれて、あるいは、弾性率が相対的に小さいメッキ層112の割合が減少するにつれて、プリント配線板101の変形量は少なくなることが分かる。言い換えると、プリント配線板101の剛性が高まることが分かる。   Here, the thickness of the metal layer 111 and the plating layer 112 will be described with reference to FIG. FIG. 2 shows a metal layer 111 (stainless steel) and a plating layer 112 (copper) in a rectangular printed wiring board 101 formed including a 120 μm metal core substrate 110 and having a size of 17.8 mm × 8.5 mm. The relationship between the thickness ratio and the amount of deformation of the printed wiring board 101 is shown. The horizontal axis of the graph shown in FIG. 2 indicates the ratio of the thickness of the plating layer 112 to the thickness of the metal layer 111, and the vertical axis of the graph indicates the deformation amount of the printed wiring board 101. As shown in FIG. 2, as the proportion of the metal layer 111 having a relatively large elastic modulus increases or as the proportion of the plating layer 112 having a relatively small elastic modulus decreases, the amount of deformation of the printed wiring board 101 increases. It turns out that it decreases. In other words, it can be seen that the rigidity of the printed wiring board 101 is increased.

このことから、本実施形態に係る集合プリント基板においては、メッキ層112の厚みが、金属層111の厚みよりも薄く形成されることが好ましい。例えば、金属コア基板110の厚みが120μmであるとき、金属層111の厚みは60μmより厚く、メッキ層112の厚みは60μmより薄いことが好ましい。言い換えると、金属Aの厚みTAは金属Bの厚みTBとの関係において、2TA/TB<1を満たすことが好ましい。このような金属コア基板110を採用することにより、第2金属材料だけで構成される同じ厚みの基板よりもプリント配線板101の剛性を向上させることが出来る。さらに言うと、実験的に少なくともTA/TB<1を満たせば、プリント配線板101の機能に影響を与えないため、このような厚みの関係でもよい。   For this reason, in the collective printed circuit board according to the present embodiment, it is preferable that the thickness of the plating layer 112 is thinner than the thickness of the metal layer 111. For example, when the thickness of the metal core substrate 110 is 120 μm, the thickness of the metal layer 111 is preferably greater than 60 μm, and the thickness of the plating layer 112 is preferably less than 60 μm. In other words, it is preferable that the thickness TA of the metal A satisfies 2TA / TB <1 in relation to the thickness TB of the metal B. By adopting such a metal core substrate 110, the rigidity of the printed wiring board 101 can be improved as compared with a substrate having the same thickness made of only the second metal material. Further, since the function of the printed wiring board 101 is not affected as long as at least TA / TB <1 is experimentally satisfied, such a thickness relationship may be used.

第1金属材料と第2金属材料との好適な組合せは、上述したステンレス鋼と銅であるが、これに限定されない。具体的には、例えば“鉄”“ニッケル”のいずれかと“アルミニウム”との組み合わせのように、後述する条件を満たす他の金属材料の組合せでもよい。ただし、第1金属材料及び第2金属材料は、拡散しにくい金属であることが望ましい。   A suitable combination of the first metal material and the second metal material is the above-described stainless steel and copper, but is not limited thereto. Specifically, for example, a combination of other metal materials satisfying the conditions described later may be used, such as a combination of any one of “iron” and “nickel” and “aluminum”. However, the first metal material and the second metal material are desirably metals that are difficult to diffuse.

また、メッキ層112の導電率は、金属層111の導電率よりも高く、メッキ層112の熱伝導率は、金属層111の熱伝導率よりも高い。上述したように、第1金属材料と第2金属材料との組合せは、この関係を満たす。もっとも、メッキ層112における導電率および熱伝導率のうちのいずれかが、金属層111におけるその対応する物性値より高くてもよい。   In addition, the conductivity of the plating layer 112 is higher than the conductivity of the metal layer 111, and the thermal conductivity of the plating layer 112 is higher than the thermal conductivity of the metal layer 111. As described above, the combination of the first metal material and the second metal material satisfies this relationship. However, any one of the electrical conductivity and thermal conductivity in the plating layer 112 may be higher than the corresponding physical property value in the metal layer 111.

また、金属コア基板110は、金属層111とメッキ層112との間に、仲介メタルとして金属介在層(不図示)を有してもよい。これにより、金属層111とメッキ層112との密着が高まる。金属介在層に含まれる第3金属材料は、例えばニッケル、パラジウム、チタン、タングステン、クロム、コバルトまたはスズの中から少なくとも一つ選択される。また、第3金属材料は、例えばスズのように、第1金属材料及び第2金属材料に拡散してもよい。   In addition, the metal core substrate 110 may have a metal intervening layer (not shown) as an intermediate metal between the metal layer 111 and the plating layer 112. Thereby, the adhesion between the metal layer 111 and the plating layer 112 is enhanced. The third metal material contained in the metal intervening layer is selected from at least one of, for example, nickel, palladium, titanium, tungsten, chromium, cobalt, or tin. Further, the third metal material may diffuse into the first metal material and the second metal material, for example, tin.

本実施形態では、金属介在層は1μmに満たない薄膜であり、金属コア基板110の機械物性に殆ど影響を及ぼさない。また、第3金属材料は、前述した金属材料の内、二種類以上が選択されてもよい。   In the present embodiment, the metal intervening layer is a thin film of less than 1 μm, and hardly affects the mechanical properties of the metal core substrate 110. In addition, as the third metal material, two or more kinds of the metal materials described above may be selected.

絶縁層120は、金属コア基板110の表面に形成される。絶縁層120は、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミドまたはビスマレイミドトリアジン樹脂などから成る。該樹脂の中には、ガラス繊維が設けられている。また、該ガラス繊維の代わりに、酸化アルミニウムまたは二酸化ケイ素などのフィラーを含有しても良い。さらに言うと、ガラス繊維とフィラーが両方混在しても良い。該樹脂は、一般的にいう熱硬化性合成樹脂である。   The insulating layer 120 is formed on the surface of the metal core substrate 110. The insulating layer 120 is made of, for example, epoxy resin, polyimide, or bismaleimide triazine resin. Glass fibers are provided in the resin. Moreover, you may contain fillers, such as aluminum oxide or silicon dioxide, instead of this glass fiber. Furthermore, both glass fiber and filler may be mixed. The resin is a so-called thermosetting synthetic resin.

なお、図1A、図1Cに示すように、絶縁層120は、第1絶縁層121及び第2絶縁層122の2層で形成されているが、絶縁層120の層数は適宜変更されてよい。   As shown in FIGS. 1A and 1C, the insulating layer 120 is formed of two layers of the first insulating layer 121 and the second insulating layer 122, but the number of layers of the insulating layer 120 may be changed as appropriate. .

導電パターン130は、絶縁層120に形成され、絶縁処理される。導電パターン130の材料は、第2金属材料または第2金属材料と機械物性が近しい材料であることが好ましい。例えば、メッキ層112が銅を含んで形成される場合、最も適している導電パターン130の材料は銅である。導電パターン130は、例えば、ダイシングをしやすく、又、バリを生じさせないように、平面視で、露出領域に重ならない部分、プリント基板領域101に形成される。   The conductive pattern 130 is formed on the insulating layer 120 and insulated. The material of the conductive pattern 130 is preferably a second metal material or a material having mechanical properties close to those of the second metal material. For example, when the plating layer 112 includes copper, the most suitable material for the conductive pattern 130 is copper. For example, the conductive pattern 130 is formed in the printed circuit board region 101, which is not overlapped with the exposed region in a plan view so as to facilitate dicing and not cause burrs.

なお、図1A、図1Cに示すように、導電パターン130は、第1導電パターン131および第2導電パターン132の二層を含むように示されているが、導電パターン130に含まれるその数は適宜変更されてよい。   As shown in FIGS. 1A and 1C, the conductive pattern 130 is shown to include two layers of the first conductive pattern 131 and the second conductive pattern 132. The number of the conductive patterns 130 included in the conductive pattern 130 is as follows. It may be changed as appropriate.

後述する製造方法で明らかに示されるが、第1導電パターン131が銅で形成される場合は、金属層111の両面に、銅または銅を主材料とするメッキ層112が形成される。そして、第1導電パターン131におけるGND配線は、スルーホールまたはビアを介して、メッキ層112と機械的かつ電気的に接続される。言い換えると、第1導電パターン131は、所謂、基板アースされる。   As clearly shown in the manufacturing method described later, when the first conductive pattern 131 is formed of copper, a plated layer 112 mainly composed of copper or copper is formed on both surfaces of the metal layer 111. The GND wiring in the first conductive pattern 131 is mechanically and electrically connected to the plating layer 112 through a through hole or a via. In other words, the first conductive pattern 131 is so-called substrate ground.

ソルダーレジスト層140は、プリント配線板101に形成された回路パターンを保護する絶縁膜であり、絶縁層120の表面に形成される。ソルダーレジスト層140は、例えば熱硬化性エポキシ樹脂からなる。なお、ダイシングをしやすくするため、金属層111の露出領域に対応する、一方側のソルダーレジスト層140は除去されていることが好ましい。一方、ダイシングする際に集合プリント基板100を安定的に載置できるように、他方側のソルダーレジスト層140は除去されていないことが好ましい。   The solder resist layer 140 is an insulating film that protects the circuit pattern formed on the printed wiring board 101, and is formed on the surface of the insulating layer 120. The solder resist layer 140 is made of, for example, a thermosetting epoxy resin. In order to facilitate dicing, the solder resist layer 140 on one side corresponding to the exposed region of the metal layer 111 is preferably removed. On the other hand, it is preferable that the solder resist layer 140 on the other side is not removed so that the collective printed circuit board 100 can be stably placed when dicing.

なお、本実施形態では、プリント配線板101は内蔵部品を含んでいないが、プリント配線板101は内蔵部品を含んでいてもよい。   In this embodiment, the printed wiring board 101 does not include a built-in component, but the printed wiring board 101 may include a built-in component.

<<メッキ層112と絶縁層120との密着性改善による剛性向上>>
図3を参照しつつ、メッキ層112と絶縁層120との密着性を改善することによるプリント配線板101の剛性の向上について説明する。
<< Rigidity improvement by improving adhesion between plating layer 112 and insulating layer 120 >>
With reference to FIG. 3, the improvement in the rigidity of the printed wiring board 101 by improving the adhesion between the plating layer 112 and the insulating layer 120 will be described.

メッキ層112は、結晶構造が小さく多結晶構造である。また、Z方向に成長する為、柱状組織を呈している。そのため、表面が細かな粗面を呈し、密着性が高い。さらに、メッキ層112は、多結晶構造であるため、エッチングすると、粒界がさらにエッチングされ、粗度をより高めることができる。   The plating layer 112 has a small crystal structure and a polycrystalline structure. Further, since it grows in the Z direction, it has a columnar structure. Therefore, the surface exhibits a fine rough surface and high adhesion. Furthermore, since the plating layer 112 has a polycrystalline structure, when etched, the grain boundaries are further etched, and the roughness can be further increased.

また、絶縁層120にフィラーを充填することにより、プリント配線板101の剛性をさらに高めることができる。フィラーとは、粒状、破砕状、短繊維状(針状)または織り込まれた繊維シート状の充填材である。該フィラーを樹脂の中に混ぜると、プリント配線板101の剛性は高まる。粒状、破砕状、短繊維状の充填材は、例えば、シリコン酸化膜、酸化アルミニウム、針状のガラス繊維、針状のカーボンやグラファイト繊維である。   Further, by filling the insulating layer 120 with a filler, the rigidity of the printed wiring board 101 can be further increased. The filler is a granular, crushed, short fiber (needle) or woven fiber sheet filler. When the filler is mixed in the resin, the rigidity of the printed wiring board 101 increases. The granular, crushed and short fiber fillers are, for example, silicon oxide film, aluminum oxide, acicular glass fibers, acicular carbon and graphite fibers.

また、上述したフィラーに替えて、図3の(A)、図3の(B)に示すように、絶縁層120に、カーボン繊維またはガラス繊維などの強化繊維で織られた補強用の補強繊維シート123を設けてもよい。補強繊維シート123は、メッキ層112に対して二次元的(面状)に布の様に薄く織り込まれる。補強繊維シート123は、例えば、紙面上横方向(X方向)に設けられる補強繊維123Aと紙面上縦方向(Y方向)に設けられる補強繊維123Bが多数並べられ、互い違いに縫う様に織り込まれる。このシートが絶縁層120の樹脂と一体となって固められる為、更には、メッキ層112の凹凸に絶縁層がアンカー効果で密着されるため、プリント配線板の剛性が高められる。なお、ガラスの補強繊維シート123に替えて、カーボンなどの強化繊維を用いることにより更に剛性を高められる。   Further, instead of the filler described above, as shown in FIGS. 3A and 3B, reinforcing reinforcing fibers woven with reinforcing fibers such as carbon fibers or glass fibers in the insulating layer 120 are used. A sheet 123 may be provided. The reinforcing fiber sheet 123 is woven thinly like a cloth two-dimensionally (planar) with respect to the plating layer 112. In the reinforcing fiber sheet 123, for example, a large number of reinforcing fibers 123A provided in the horizontal direction (X direction) on the paper surface and reinforcing fibers 123B provided in the vertical direction (Y direction) on the paper surface are arranged and woven so as to be alternately sewn. Since this sheet is solidified integrally with the resin of the insulating layer 120, and further, the insulating layer is brought into close contact with the unevenness of the plated layer 112 by the anchor effect, so that the rigidity of the printed wiring board is enhanced. The rigidity can be further increased by using a reinforcing fiber such as carbon instead of the glass reinforcing fiber sheet 123.

<<金属層111とビア133とのコンタクト性の向上>>
また、図4に示すように、導電パターン130が金属コア基板110にビア133を介して接続される場合において、ビア133と金属コア基板110とのコンタクト性を向上させることにより、プリント配線板101の剛性、コンタクト部分の低抵抗を向上させることができる。一般的に、ビア133を形成するには、絶縁層120の硬化処理、ビア133形成のためのレーザ加工、エッチング液による処理を行うが、この工程を経る過程において、金属層111の表面に酸化膜が生成される。このように酸化膜が形成されることにより、ビア133にメッキ処理を施すと、抵抗値の増大、イオンマイグレーションなどで、抵抗値が変動させるなどプリント配線板101の特性に影響を与えるとともに、プリント配線板101の剛性にも影響を及ぼす。
<< Improvement of contact between metal layer 111 and via 133 >>
As shown in FIG. 4, when the conductive pattern 130 is connected to the metal core substrate 110 via the via 133, the printed wiring board 101 is improved by improving the contact property between the via 133 and the metal core substrate 110. The rigidity and the low resistance of the contact portion can be improved. In general, in order to form the via 133, the insulating layer 120 is cured, laser processing for forming the via 133, and processing using an etching solution are performed. In this process, the surface of the metal layer 111 is oxidized. A film is produced. By forming the oxide film in this way, if the via 133 is plated, the resistance value is increased due to an increase in resistance value, ion migration, etc., and the characteristics of the printed wiring board 101 are affected. The rigidity of the wiring board 101 is also affected.

これを解消するために、図4に示すように、集合プリント配線板100は、ビア133におけるメッキ層112を取り除いて金属層111を露出させて、そこにビア133を形成するような構造を有していてもよい。ビア133の底部(金属層111の表面)には、平坦でXY平面に拡がった結晶構造が露出する。これにより、イオンや水がトラップされにくいため、酸化膜の形成を防止できるため、良好な密着性を得ることができる。   In order to solve this problem, as shown in FIG. 4, the collective printed wiring board 100 has a structure in which the plated layer 112 in the via 133 is removed to expose the metal layer 111 and the via 133 is formed there. You may do it. At the bottom of the via 133 (the surface of the metal layer 111), a flat crystal structure that extends in the XY plane is exposed. Thereby, since ions and water are not easily trapped, formation of an oxide film can be prevented, so that good adhesion can be obtained.

本実施形態に係る集合プリント基板100から生成されるプリント配線板101をカメラモジュールに適用する場合、該プリント配線板101には、半導体素子としての撮像素子が実装される。さらに、該撮像素子の周囲には、レンズユニット、オートフォーカス用アクチュエータ、フィルタユニット、そして、該レンズユニット、該アクチュエータおよび該フィルタユニットを固定配置する光学パッケージが配置される。また、該カメラモジュールが複数個配置されるような高解像度のものもある。本実施形態に係るプリント配線板101を採用すると、剛性が高く、プリント配線板101の平坦度が高い為、光学的調整が容易になる。また、セラミックをコア基板としたプリント配線板101とは異なり、割れにくいため、作業性も向上する。   When the printed wiring board 101 generated from the collective printed circuit board 100 according to the present embodiment is applied to a camera module, an image sensor as a semiconductor element is mounted on the printed wiring board 101. Further, a lens unit, an autofocus actuator, a filter unit, and an optical package for fixing and arranging the lens unit, the actuator, and the filter unit are disposed around the imaging element. There is also a high resolution type in which a plurality of the camera modules are arranged. When the printed wiring board 101 according to the present embodiment is employed, since the rigidity is high and the flatness of the printed wiring board 101 is high, optical adjustment becomes easy. Further, unlike the printed wiring board 101 using ceramic as a core substrate, workability is improved because it is difficult to break.

<<集合プリント基板100の製作工程>>
図1C、図5A〜図5Jを参照しつつ、集合プリント基板100の製作工程を以下のとおり説明する。
<< Manufacturing Process of Collective Printed Circuit Board 100 >>
The manufacturing process of the collective printed circuit board 100 will be described as follows with reference to FIGS. 1C and 5A to 5J.

まず、金属コア基板110を形成するべく、図5Aに示すように、金属層111を準備する。プリント配線板101が内蔵部品を含む場合には、更に、金属層111に孔を開け、その孔に内蔵部品を挿入したうえで、その孔を樹脂で封入する。   First, in order to form the metal core substrate 110, a metal layer 111 is prepared as shown in FIG. 5A. When the printed wiring board 101 includes a built-in component, a hole is formed in the metal layer 111, the built-in component is inserted into the hole, and the hole is sealed with resin.

続いて、図5Bに示すように、回路基板のスルーホールに対応する部分に貫通孔111Cを形成する。この貫通孔111Cは、パンチングなどの機械加工、エッチング、またはレーザ加工などで形成される。続いて、図5Cの如く、めっき用の樹脂シート111D,111Eを形成し、パターニングする。ここでは、樹脂シートは、貫通孔111Cを覆うと同時に、ダイシングラインに相当する部分にも樹脂シート111Eが設けられるようにパターンされる。これは、ホトエッチングにより可能となる。その後、メッキ液に投入して、メッキ層112を形成する。その後、樹脂シート111D,111Eを取り除くと、ダイシングライン領域に相当する部分には、メッキ層112が形成されず、露出領域が形成される。また配置領域の部分にはメッキ112が形成される(図5D参照)。なお、図5Iに示すように、金属層111の両面の全面にメッキ膜112を形成し、その後、図5Jに示すように、貫通孔111Cと露出領域に対応する部分のメッキ層112を取り除いた後に、機械加工やレーザ加工でスルーホールHを形成しても良い。   Subsequently, as shown in FIG. 5B, a through hole 111C is formed in a portion corresponding to the through hole of the circuit board. The through hole 111C is formed by machining such as punching, etching, laser processing, or the like. Subsequently, as shown in FIG. 5C, resin sheets 111D and 111E for plating are formed and patterned. Here, the resin sheet is patterned so as to cover the through hole 111C and at the same time, the resin sheet 111E is provided also in a portion corresponding to the dicing line. This is possible by photoetching. Thereafter, it is poured into a plating solution to form a plating layer 112. Thereafter, when the resin sheets 111D and 111E are removed, the plating layer 112 is not formed in the portion corresponding to the dicing line region, and an exposed region is formed. A plating 112 is formed in the arrangement region (see FIG. 5D). As shown in FIG. 5I, a plating film 112 was formed on the entire surface of both surfaces of the metal layer 111, and then the plating layer 112 corresponding to the through hole 111C and the exposed region was removed as shown in FIG. 5J. Later, the through hole H may be formed by machining or laser processing.

続いて、図5Eに示すように、メッキ層112を含む金属層111の表面に、第1絶縁層121を形成し、例えばエッチング処理またはレーザ加工法によって、第1絶縁層121に孔160やスルーホール134(図5E参照)を形成する。孔160は、金属層とのコンタクト孔で、スルーホール134は、スルーホール孔134Aよりも小さく、内壁に絶縁層120で覆われた孔である。   Subsequently, as shown in FIG. 5E, the first insulating layer 121 is formed on the surface of the metal layer 111 including the plating layer 112, and the holes 160 and through holes are formed in the first insulating layer 121 by, for example, etching or laser processing. A hole 134 (see FIG. 5E) is formed. The hole 160 is a contact hole with the metal layer, and the through hole 134 is smaller than the through hole hole 134A and is a hole covered with an insulating layer 120 on the inner wall.

そして、図5Fに示すように、スルーホール134および孔160の内部を埋め、且つ、第1絶縁層121の表面を被覆するように、メッキ法により金属被覆層131Aを形成する。なお、導電パターン130となる金属被覆層131Aは、一般には、銅である。   Then, as shown in FIG. 5F, a metal coating layer 131A is formed by plating so as to fill the inside of the through hole 134 and the hole 160 and cover the surface of the first insulating layer 121. Note that the metal coating layer 131A to be the conductive pattern 130 is generally copper.

続いて、図5Gに示すように、両面に形成された金属被覆層131Aを、例えばウェットエッチングでパターニングして、第1導電パターン131を形成する。第1導電パターン131は、配線や電極を構成する。また、第1導電パターン131のうち、基板アースが必要な配線または電極は、孔160を介して金属層111およびメッキ層112と電気的に接続される。孔160とは、例えばビアである。   Subsequently, as shown in FIG. 5G, the metal coating layer 131A formed on both surfaces is patterned by, for example, wet etching to form the first conductive pattern 131. The first conductive pattern 131 constitutes a wiring or an electrode. Further, in the first conductive pattern 131, wirings or electrodes that require substrate grounding are electrically connected to the metal layer 111 and the plating layer 112 through the holes 160. The hole 160 is, for example, a via.

さらに、基板100の表面と裏面とを覆うとともに、第1導電パターン131の表面を覆う様に、第2絶縁層122を形成する。そして、エッチング処理またはレーザ加工法によって、第2絶縁層122に孔170を形成する。そして、孔170の内部を充填し、更には第2絶縁層122の表面全域に設けるように、メッキ法で第2金属被覆層(不図示)を形成する。そして、図5Hに示すように、第2金属被覆層をパターニングして第2導電パターン132を形成する。   Further, the second insulating layer 122 is formed so as to cover the surface and the back surface of the substrate 100 and the surface of the first conductive pattern 131. Then, a hole 170 is formed in the second insulating layer 122 by an etching process or a laser processing method. Then, a second metal coating layer (not shown) is formed by a plating method so as to fill the inside of the hole 170 and further to cover the entire surface of the second insulating layer 122. Then, as shown in FIG. 5H, the second conductive pattern 132 is formed by patterning the second metal coating layer.

次いで、基板の表面にソルダーレジスト層140を形成する。具体的には、第2導電パターン132と第2絶縁層122の表面を覆う様に、ソルダーレジスト層140を形成し、エッチング処理(現像処理)によってソルダーレジスト層140を部分的に除去し、電極となる第2導電パターン132を露出させる。ソルダーレジスト層140から露出した第2導電パターン132は、後述の部品の実装用電極、またはワイヤーボンド用のパッド電極などになる。   Next, a solder resist layer 140 is formed on the surface of the substrate. Specifically, the solder resist layer 140 is formed so as to cover the surfaces of the second conductive pattern 132 and the second insulating layer 122, and the solder resist layer 140 is partially removed by an etching process (development process). The second conductive pattern 132 is exposed. The second conductive pattern 132 exposed from the solder resist layer 140 becomes an electrode for mounting a component to be described later, a pad electrode for wire bonding, or the like.

その後、図1Cに示すように、例えばダイシング装置によって、完成した集合プリント基板100を切断し、個片に分割する。その後、さらに個片化されたプリント配線板101は、例えば、撮像素子などのカメラ部品、ここでは半導体チップや受動部品が実装される。なお、図5Hの−Z方向を向く矢印は、ダイシングする基板の厚み方向を示すものであり、図1Bや図1Dに示すように格子状に走査される。   Thereafter, as shown in FIG. 1C, the completed collective printed circuit board 100 is cut and divided into individual pieces, for example, by a dicing apparatus. After that, the separated printed wiring board 101 is mounted with, for example, a camera component such as an image sensor, here a semiconductor chip or a passive component. 5H indicates the thickness direction of the substrate to be diced, and is scanned in a grid pattern as shown in FIGS. 1B and 1D.

以上のように、本実施形態では、金属コア基板110が第2金属材料(例えば銅)だけで構成された同じ厚みの基板よりも強度が増すため、薄くても強度のあるプリント配線板101を得ることが出来る。   As described above, in this embodiment, the strength of the metal core substrate 110 is higher than that of the same thickness substrate made of only the second metal material (for example, copper). Can be obtained.

これは、金属層111に銅よりも硬度のある金属材料を採用することにより、薄くても強度・剛性・平坦性のある基板が得られるためである。特に、ステンレス鋼を用いることにより、銅よりも剛性を高められ、比較的安価で製作できるため、好適である。   This is because by using a metal material having hardness higher than copper for the metal layer 111, a substrate having strength, rigidity, and flatness can be obtained even if it is thin. In particular, the use of stainless steel is preferable because it has higher rigidity than copper and can be manufactured at a relatively low cost.

また、金属コア基板110が、第1金属材料(例えばステンレス鋼)だけで構成された基板よりも導電率を高く出来る。よって抵抗分が少なく、基板自体の発熱を抑えられる。   In addition, the metal core substrate 110 can have higher conductivity than a substrate made of only the first metal material (for example, stainless steel). Therefore, there is little resistance and heat generation of the substrate itself can be suppressed.

また、第1金属材料だけで構成された基板よりも熱伝導率の高い金属コア基板110を得ることが出来るので、第1金属材料だけで構成された基板よりも放熱性に優れたプリント配線板101を得ることができる。   In addition, since the metal core substrate 110 having a higher thermal conductivity than that of the substrate made of only the first metal material can be obtained, the printed wiring board has better heat dissipation than the substrate made of only the first metal material. 101 can be obtained.

さらに、金属層111に銅よりも弾性率が高い金属材料を使用するとともに、金属層111の露出領域にメッキ層112を形成させない。これにより、プリント配線板101の剛性を確保するとともに、露出領域をダイシングした際に、バリを生じさせない。   Further, a metal material having a higher elastic modulus than copper is used for the metal layer 111, and the plated layer 112 is not formed in the exposed region of the metal layer 111. Thereby, the rigidity of the printed wiring board 101 is ensured and no burrs are generated when the exposed area is diced.

===その他の実施形態===
図6、図7A、図7B、図7C、図8及び図9を参照しつつ、その他の実施形態について以下のとおり説明する。図6は、その他の実施形態に係る金属層211の第1側面211Aにメッキ層212が積層される集合プリント基板200を概略的に示す断面図である。図7Aは、その他の実施形態に係る金属層311の一部が薄く形成される集合プリント基板300を概略的に示す断面図である。図7Bは、その他の実施形態に係る金属層311の一部が薄く形成される集合プリント基板300において片側に曲面を有する金属層311を拡大した断面図である。図7Cは、その他の実施形態に係る金属層311の一部が薄く形成される集合プリント基板300において両側に曲面を有する金属層311を拡大した断面図である。図8は、その他の実施形態に係る金属層411の第2側面411Aにメッキ層412が積層される集合プリント基板400を概略的に示す断面図である。図9は、その他の実施形態に係る金属コア基板510が絶縁層520を介して複数積層して形成される集合プリント基板500を概略的に示す断面図である。
=== Other Embodiments ===
Other embodiments will be described as follows with reference to FIGS. 6, 7A, 7B, 7C, 8 and 9. FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing the collective printed circuit board 200 in which the plating layer 212 is laminated on the first side surface 211A of the metal layer 211 according to another embodiment. FIG. 7A is a cross-sectional view schematically showing a collective printed circuit board 300 in which a part of the metal layer 311 according to another embodiment is formed thin. FIG. 7B is an enlarged cross-sectional view of the metal layer 311 having a curved surface on one side in the collective printed circuit board 300 in which a part of the metal layer 311 according to another embodiment is formed thin. FIG. 7C is an enlarged cross-sectional view of the metal layer 311 having curved surfaces on both sides in the collective printed circuit board 300 in which a part of the metal layer 311 according to another embodiment is formed thin. FIG. 8 is a cross-sectional view schematically illustrating a collective printed circuit board 400 in which a plating layer 412 is stacked on the second side surface 411A of the metal layer 411 according to another embodiment. FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing a collective printed circuit board 500 in which a plurality of metal core substrates 510 according to other embodiments are formed with insulating layers 520 interposed therebetween.

なお、以下説明においては、図1A,1Cに示す実施形態と異なることのみを説明することとし、図6〜図9においては、図1A,1Cに示す実施形態と異なる構成要素に対してのみ符号を付与する。   In the following description, only differences from the embodiment shown in FIGS. 1A and 1C will be described. In FIGS. 6 to 9, only components different from the embodiment shown in FIGS. Is granted.

ここで、図6〜図9では、プリント配線板201〜501の厚み方向をZ方向と定め、Z軸に直交する平面において紙面の手前から奥に向かう方向をY方向とし、Y軸とZ軸とに直交する方向をX方向とする。   6 to 9, the thickness direction of the printed wiring boards 201 to 501 is defined as the Z direction, and the direction from the front of the page to the back in the plane orthogonal to the Z axis is the Y direction, and the Y axis and the Z axis The direction orthogonal to is the X direction.

図6に示す実施形態に係る集合プリント基板200は、金属層211のスルーホール234の内壁にメッキ層212が形成されたものである。これは、図5Bに於いて、貫通孔111Cを塞ぐシート111Dを省略してメッキ処理することで実現可能である。スルーホール234の内壁が導電膜で覆われているため、導電性、熱伝導性を高めることができる。またスルーホール内壁もメッキ膜であるため、絶縁樹脂との密着性が向上される。   The collective printed circuit board 200 according to the embodiment shown in FIG. 6 is obtained by forming a plating layer 212 on the inner wall of the through hole 234 of the metal layer 211. In FIG. 5B, this can be achieved by omitting the sheet 111D that closes the through hole 111C and performing plating. Since the inner wall of the through hole 234 is covered with the conductive film, the conductivity and thermal conductivity can be improved. Further, since the inner wall of the through hole is also a plated film, the adhesion with the insulating resin is improved.

続いて、図7Aに示すように、金属層311の露出領域を示す切断部をZ方向において薄く形成してもよい。これにより、金属層311の金属材料の量を縮減できるとともに、切断部311Aをダイシングするときにバリの発生をより抑制することができる。このような集合プリント基板300は、金属層311の両面にメッキ層312を積層した状況において、メッキ層312を除去しつつ、さらに、切断部311Aが薄くなるようにエッチングして製作される。   Subsequently, as shown in FIG. 7A, a cut portion indicating the exposed region of the metal layer 311 may be formed thin in the Z direction. Thereby, while the quantity of the metal material of the metal layer 311 can be reduced, generation | occurrence | production of a burr | flash can be suppressed more when dicing the cutting part 311A. Such a collective printed circuit board 300 is manufactured by removing the plating layer 312 and etching it so that the cut portion 311A becomes thinner in a situation where the plating layers 312 are laminated on both surfaces of the metal layer 311.

さらに、この場合、図7Bに示すように、エッチングにより切断部311AにおけるZ方向の一方の面が曲面を有するように形成されてもよい。また、図7Cに示すように、エッチングにより切断部311AにおけるZ方向の両面が曲面であるように形成されてもよい。これにより、バリの抑制とともに、仮にバリが発生したとしても、そのバリの先端が凹み部の内に位置することから、ショートを抑制できる。   Further, in this case, as shown in FIG. 7B, one surface in the Z direction in the cut portion 311A may be formed by etching so as to have a curved surface. Further, as shown in FIG. 7C, the both sides in the Z direction in the cut portion 311A may be formed by a curved surface by etching. Thereby, even if a burr | flash generate | occur | produces with the suppression of a burr | flash, since the front-end | tip of the burr | flash is located in a recessed part, a short circuit can be suppressed.

図8に示す実施形態に係る集合プリント基板400は、図7Aで示した凹部311Bの側壁411Cにメッキ層412を形成したものである。金属層411に対するメッキ層412の積層面積を高めることにより、集合プリント基板400の導電性、熱伝導性を高めることができる。   The collective printed circuit board 400 according to the embodiment shown in FIG. 8 is obtained by forming a plating layer 412 on the side wall 411C of the recess 311B shown in FIG. 7A. By increasing the lamination area of the plating layer 412 with respect to the metal layer 411, the conductivity and thermal conductivity of the collective printed circuit board 400 can be increased.

図9に示すように、金属コア基板510は、絶縁樹脂を介して積層するように構成されていてもよい。これにより、上層の金属コア層にキャビティを形成して薄い素子を内蔵させたり、両金属コア層を薄くしてあれば、微細な配線層や電極として活用もできる。   As shown in FIG. 9, the metal core substrate 510 may be configured to be laminated via an insulating resin. Thus, if a thin element is built by forming a cavity in the upper metal core layer, or if both metal core layers are made thin, it can be used as a fine wiring layer or electrode.

===まとめ===
以上説明したように、集合プリント基板100は、複数のユニット基板が設けられる複数の配置領域を有する集合プリント基板100において、金属層111と、隣り合う配置領域の間に対応する金属層111に露出領域を形成するように、金属層111の第1主面111Aの上と、第1主面111Aと反対側の金属層111の第2主面111Bの上と、に形成されるメッキ層112と、を有する金属コア基板110と、金属コア基板110の表面を覆うように形成される絶縁層120と、配置領域に対応する絶縁層120に形成される導電パターン130と、を備える。かかる実施形態によれば、ダイシング領域に対応する金属コア基板では、メッキ層が省略された露出領域となるため、ダイシング時のバリを抑制することができる。これにより、より品質が高い集合プリント基板100を提供できる。特にCuは、軟質でバリが発生しやすい事から、ダイシング領域に於いて省略することで、バリの発生を抑止できる。
=== Summary ===
As described above, the collective printed circuit board 100 is exposed to the metal layer 111 and the corresponding metal layer 111 between adjacent placement areas in the collective printed circuit board 100 having a plurality of placement areas where a plurality of unit boards are provided. A plating layer 112 formed on the first main surface 111A of the metal layer 111 and on the second main surface 111B of the metal layer 111 opposite to the first main surface 111A so as to form a region; , An insulating layer 120 formed to cover the surface of the metal core substrate 110, and a conductive pattern 130 formed on the insulating layer 120 corresponding to the arrangement region. According to such an embodiment, the metal core substrate corresponding to the dicing region is an exposed region in which the plating layer is omitted, so that burrs during dicing can be suppressed. Thereby, the collective printed circuit board 100 with higher quality can be provided. In particular, since Cu is soft and easily generates burrs, generation of burrs can be suppressed by omitting them in the dicing region.

また、集合プリント基板100の金属層111は、鉄を主材料とする金属材料またはアルミニウムを主材料とする金属材料から成る。かかる実施形態によれば、集合プリント基板100は、金属層111としてよく用いられる銅よりも強い剛性を備えることができるため、平坦性を維持できる。   Further, the metal layer 111 of the collective printed circuit board 100 is made of a metal material mainly composed of iron or a metal material mainly composed of aluminum. According to this embodiment, since the collective printed circuit board 100 can be provided with rigidity higher than that of copper often used as the metal layer 111, it is possible to maintain flatness.

また、集合プリント基板200,400のメッキ層212,412は、第1主面111Aおよび第2主面111Bと垂直に形成される金属層211,411の第1側面(第3主面)の上に、さらに形成される。かかる実施形態によれば、金属層211,411に対するメッキ層212,412の積層面積を高めることにより、集合プリント基板100の導電性、熱伝導性を高めることができる。   Further, the plating layers 212 and 412 of the collective printed circuit boards 200 and 400 are on the first side surface (third main surface) of the metal layers 211 and 411 formed perpendicular to the first main surface 111A and the second main surface 111B. Further formed. According to this embodiment, by increasing the lamination area of the plating layers 212 and 412 with respect to the metal layers 211 and 411, the conductivity and thermal conductivity of the collective printed circuit board 100 can be increased.

また、集合プリント基板100のメッキ層112は、銅を主材料とする金属材料から成る。かかる実施形態によれば、金属層111を形成する例えば銅よりも、高い導電率および熱伝導率を有するため、金属コア基板110における、グランドとしての機能および放熱部材としての機能を向上できる。   Further, the plating layer 112 of the collective printed circuit board 100 is made of a metal material whose main material is copper. According to this embodiment, since it has higher electrical conductivity and thermal conductivity than, for example, copper forming the metal layer 111, the function as a ground and the function as a heat dissipation member in the metal core substrate 110 can be improved.

また、集合プリント基板100のメッキ層112は、多結晶構造であり、メッキ層112における絶縁層120と接する面は、メッキ層112と絶縁層120との密着性を高めるための凹凸を有する。かかる実施形態によれば、メッキ層112と絶縁層120との密着性を向上できる。   In addition, the plating layer 112 of the collective printed circuit board 100 has a polycrystalline structure, and the surface of the plating layer 112 that contacts the insulating layer 120 has irregularities for improving the adhesion between the plating layer 112 and the insulating layer 120. According to this embodiment, the adhesion between the plating layer 112 and the insulating layer 120 can be improved.

また、集合プリント基板100の絶縁層120には、強化繊維から成る補強繊維シート123が埋め込まれている。かかる実施形態によれば、絶縁樹脂との密着性を向上させることにより、集合プリント基板100の剛性を向上できる。   In addition, a reinforcing fiber sheet 123 made of reinforcing fibers is embedded in the insulating layer 120 of the collective printed circuit board 100. According to this embodiment, the rigidity of the collective printed circuit board 100 can be improved by improving the adhesion with the insulating resin.

また、集合プリント基板300の金属層311は、露出領域における金属層311の切断部311A(第1金属部)が、露出領域以外の金属層311と比較して薄く形成される。かかる実施形態によれば、バリの発生量を抑止し、又は、バリの長さを短くできる。さらに、ブレードの負荷も抑止できる。   Further, in the metal layer 311 of the collective printed circuit board 300, the cut portion 311A (first metal portion) of the metal layer 311 in the exposed region is formed thinner than the metal layer 311 other than the exposed region. According to this embodiment, the amount of burrs generated can be suppressed or the length of burrs can be shortened. Furthermore, the load on the blade can also be suppressed.

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれに限定されない。上述した各部材の素材、形状、及び配置は、本発明を実施するための実施形態に過ぎず、発明の趣旨を逸脱しない限り、様々な変更を行うことができる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this. The material, shape, and arrangement of each member described above are merely embodiments for carrying out the present invention, and various changes can be made without departing from the spirit of the invention.

100,200,300,400,500 集合プリント基板
101,501 プリント配線板
110,510 金属コア基板
111、211、311、411 金属層
111A 第1主面
111B 第2主面
112、212、312、412 メッキ層
120 絶縁層
123 補強繊維シート
130 導電パターン
140 ソルダーレジスト層
100, 200, 300, 400, 500 Collected printed circuit board 101, 501 Printed wiring board 110, 510 Metal core board 111, 211, 311, 411 Metal layer 111A First main surface 111B Second main surface 112, 212, 312, 412 Plating layer 120 Insulating layer 123 Reinforcing fiber sheet 130 Conductive pattern 140 Solder resist layer

Claims (15)

複数のユニット基板が夫々設けられる複数の配置領域と、隣り合う前記配置領域の間の領域である露出領域とを有する集合プリント基板において、
第1主面と、前記第1主面の反対側の面である第2主面とを有し、前記第1主面および前記第2主面の少なくとも一方が前記配置領域から前記露出領域にかけて平坦である金属層と、
前記金属層の前記第1主面および前記第2主面に接し前記露出領域と重ならないように設けられたメッキ層と、
を有する金属コア基板と、
前記金属コア基板の表面を覆うように形成される絶縁層と、
前記配置領域に対応する前記絶縁層に形成される導電パターンと、
を備えることを特徴とする集合プリント基板。
In a collective printed circuit board having a plurality of arrangement areas each provided with a plurality of unit boards and an exposed area that is an area between the adjacent arrangement areas ,
A first main surface and a second main surface opposite to the first main surface, wherein at least one of the first main surface and the second main surface extends from the arrangement region to the exposed region. A metal layer that is flat ;
A plating layer provided in contact with the first main surface and the second main surface of the metal layer so as not to overlap the exposed region ;
A metal core substrate having
An insulating layer formed to cover the surface of the metal core substrate;
A conductive pattern formed on the insulating layer corresponding to the arrangement region;
A collective printed circuit board comprising:
前記露出領域は、隣り合う前記複数の配置領域を分離するためのダイシング領域である
ことを特徴とする請求項1に記載の集合プリント基板。
The collective printed circuit board according to claim 1, wherein the exposed region is a dicing region for separating the plurality of adjacent arrangement regions.
隣接する前記複数のユニット基板の間に対応する領域には、ブリッジが設けられる
ことを特徴とする請求項2に記載の集合プリント基板。
The collective printed circuit board according to claim 2, wherein a bridge is provided in a corresponding region between the plurality of adjacent unit boards.
前記金属層は、鉄を主材料とする金属材料またはアルミニウムを主材料とする金属材料から成る
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の集合プリント基板。
The collective printed circuit board according to any one of claims 1 to 3, wherein the metal layer is made of a metal material mainly made of iron or a metal material mainly made of aluminum.
前記メッキ層は、銅を主材料とする金属材料から成る
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の集合プリント基板。
The collective printed circuit board according to any one of claims 1 to 4, wherein the plating layer is made of a metal material mainly composed of copper.
前記メッキ層は、前記第1主面および前記第2主面と垂直に形成される前記金属層の第3主面の上に、さらに形成される
ことを特徴とする請求項4又は請求項5の何れか一項に記載の集合プリント基板。
The said plating layer is further formed on the 3rd main surface of the said metal layer formed perpendicularly | vertically with the said 1st main surface and the said 2nd main surface. The Claim 4 or Claim 5 characterized by the above-mentioned. The collective printed circuit board according to any one of the above.
前記メッキ層は、多結晶構造であり、
前記メッキ層における前記絶縁層と接する面は、前記メッキ層と前記絶縁層との密着性を高めるための凹凸を有する
ことを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載の集合プリント基板。
The plating layer has a polycrystalline structure,
7. The surface according to claim 1, wherein a surface of the plating layer that is in contact with the insulating layer has irregularities for improving adhesion between the plating layer and the insulating layer. Assembly printed circuit board.
前記配置領域から前記露出領域にかけて前記金属層が設けられる領域の断面において、前記金属層の厚みは一定である
ことを特徴とする請求項1に記載の集合プリント基板。
Collection printed circuit board according to claim 1 in the cross section of the area where the metal layer toward the exposed region of the arrangement region is provided, the thickness of the metal layer, which is a constant.
絶縁樹脂を介して、複数の前記金属コア基板が積層して成る
ことを特徴とする請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載の集合プリント基板。
The collective printed circuit board according to any one of claims 1 to 8, wherein a plurality of the metal core substrates are laminated via an insulating resin.
前記露出領域における前記金属層の厚みは、前記露出領域以外の前記金属層の厚みと比較して薄く形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の集合プリント基板。
Collection printed circuit board according to claim 1 wherein the thickness of the metal layer in the exposed area, characterized in that it is formed thinner than the thickness of the metal layer other than the exposed region.
複数のユニット基板が夫々設けられる複数の配置領域と、隣り合う前記配置領域の間の領域である露出領域とを有し、
第1主面と、前記第1主面の反対側の面である第2主面とを有し、前記第1主面および前記第2主面の少なくとも一方が前記配置領域から前記露出領域にかけて平坦である金属層と、
前記露出領域に樹脂シートを形成することによって、前記金属層の前記第1主面および前記第2主面に接し前記露出領域と重ならないように設けられたメッキ層と、
を有する金属コア基板と、
前記金属コア基板の表面を覆うように形成される絶縁層と、
前記配置領域に対応する前記絶縁層に形成される導電パターンと、
を備えた集合プリント基板を用意し、
隣り合う前記複数の配置領域の間の前記露出領域を機械的に分離して、単体のプリント配線板を製造する
ことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
A plurality of arrangement areas each provided with a plurality of unit substrates , and an exposed area that is an area between the adjacent arrangement areas ;
A first main surface and a second main surface opposite to the first main surface, wherein at least one of the first main surface and the second main surface extends from the arrangement region to the exposed region. A metal layer that is flat ;
By forming a resin sheet in the exposed region, a plating layer provided so as to be in contact with the first main surface and the second main surface of the metal layer so as not to overlap the exposed region ;
A metal core substrate having
An insulating layer formed to cover the surface of the metal core substrate;
A conductive pattern formed on the insulating layer corresponding to the arrangement region;
Prepare a printed circuit board with
The exposed region between the adjacent plurality of placement areas are mechanically separated, a method for manufacturing a printed wiring board, characterized in that to produce a single printed circuit board.
隣接する前記複数のユニット基板の間に対応する領域には、ブリッジが設けられる
ことを特徴とする請求項11に記載のプリント配線板の製造方法。
The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 11, wherein a bridge is provided in a corresponding region between the plurality of adjacent unit substrates.
前記金属層は、鉄を主材料とする金属材料またはアルミニウムを主材料とする金属材料から成り、前記メッキ層は、銅を主材料とする金属材料から成る
ことを特徴とする請求項11または請求項12に記載のプリント配線板の製造方法。
The metal layer is made of a metal material mainly made of iron or a metal material made mainly of aluminum, and the plated layer is made of a metal material mainly made of copper. Item 13. A method for producing a printed wiring board according to Item 12.
前記露出領域における前記金属層の厚みは、前記露出領域以外の前記金属層の厚みと比較して薄く形成され、
前記露出領域における前記金属層が前記プリント配線板から露出するように、隣り合う前記複数の配置領域の間を機械的に分離する
ことを特徴とする請求項11乃至請求項13の何れか一項に記載のプリント配線板の製造方法。
The thickness of the metal layer in the exposed region is formed thinner than the thickness of the metal layer other than the exposed region,
14. The mechanical separation between the plurality of adjacent placement regions is performed so that the metal layer in the exposed region is exposed from the printed wiring board. The manufacturing method of the printed wiring board as described in 1 ..
前記露出領域の幅よりも狭い幅のブレードを有するダイシング装置を用いて、前記露出領域を機械的に分離する
ことを特徴とする請求項11乃至請求項14の何れか一項に記載のプリント配線板の製造方法。
The printed wiring according to any one of claims 11 to 14 , wherein the exposed region is mechanically separated by using a dicing apparatus having a blade having a narrower width than the width of the exposed region. A manufacturing method of a board.
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