JP6615438B2 - モデル登録方法及びモデル登録装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 23
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 21
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 235000002198 Annona diversifolia Nutrition 0.000 description 2
- 241000282842 Lama glama Species 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- Image Analysis (AREA)
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Description
2 モデル領域指定手段
3 マスキング手段
4 モデル登録手段
5、8 焦点合わせ手段
6 全焦点画像作成手段
7 位置合わせ手段
10 基板
11 実画像
A モデル領域
B マスキング領域
M モデル
Claims (9)
- 焦点の異なる複数の実画像に基づいて合焦点法により作成された全焦点画像の中からマッチングさせて、検査対象物の位置決めを行う際に使用される位置決め用モデルのモデル登録方法であって、
検査対象物が撮影されるように、一部に焦点の合った実画像を取得し、
前記実画像において、時間経過により変化することのない図柄を含む範囲を位置決め用モデルのモデル領域として指定し、
前記モデル領域を、自動焦点合わせを行う領域として、これらの領域を一致させて自動焦点合わせを行って、前記モデル領域で焦点の合った図柄を位置決め用モデルとして登録することを特徴とするモデル登録方法。 - 前記自動焦点合わせは、画像を撮像する撮像手段がオートフォーカスするものであることを特徴とする請求項1に記載のモデル登録方法。
- 前記自動焦点合わせは、焦点の異なる複数の実画像から、前記モデル領域の位置決め用モデルの図柄に焦点が最も合った画像を選択することを特徴とする請求項1に記載のモデル登録方法。
- 前記モデル領域のうち、位置決め用モデルの図柄とは異なる図柄が存在する範囲をマスキング領域として指定し、このマスキング領域を除外して自動焦点合わせを行うことを特徴とする請求項1〜請求項3に記載のモデル登録方法。
- 前記位置決め用モデルの図柄は、半導体デバイスに用いられる基板の図柄であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のモデル登録方法。
- 焦点の異なる複数の実画像に基づいて合焦点法により作成された全焦点画像の中からマッチングさせて、検査対象物の位置決めを行う際に使用される位置決め用モデルのモデル登録装置であって、
画像を撮像する撮像手段と、
検査対象物が撮影され、一部に焦点の合った実画像において、時間経過により変化することのない図柄を含む範囲を位置決め用モデルのモデル領域として指定するモデル領域指定手段と、
前記モデル領域を、自動焦点合わせを行う領域として、これらの領域を一致させて自動焦点合わせを行って、前記位置決め用モデルの図柄の焦点を合わせる焦点合わせ手段と、
前記モデル領域で焦点の合った図柄を位置決め用モデルとして登録するモデル登録手段とを備えたことを特徴とするモデル登録装置。 - 前記焦点合わせ手段は、前記撮像手段に設けられてオートフォーカスを行うものであることを特徴とする請求項6に記載のモデル登録装置。
- 前記焦点合わせ手段は、焦点の異なる複数の実画像から、前記モデル領域の位置決め用モデルの図柄に焦点が最も合った画像を選択するものであることを特徴とする請求項6に記載のモデル登録装置。
- 前記モデル領域のうち、位置決め用モデルの図柄とは異なる図柄が存在する範囲をマスキング領域として指定するマスキング手段を備え、前記マスキング範囲を除外して自動焦点合わせを行うことを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれか1項に記載のモデル登録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014144059A JP6615438B2 (ja) | 2014-07-14 | 2014-07-14 | モデル登録方法及びモデル登録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014144059A JP6615438B2 (ja) | 2014-07-14 | 2014-07-14 | モデル登録方法及びモデル登録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016021115A JP2016021115A (ja) | 2016-02-04 |
JP6615438B2 true JP6615438B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=55265925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014144059A Active JP6615438B2 (ja) | 2014-07-14 | 2014-07-14 | モデル登録方法及びモデル登録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6615438B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09133516A (ja) * | 1995-11-08 | 1997-05-20 | Kyocera Corp | デジタル記録式電子スチルカメラの寸法算出及び表示方法 |
JP3653438B2 (ja) * | 2000-02-21 | 2005-05-25 | 株式会社日立製作所 | 画像判定方法および欠陥検査装置 |
JP4327485B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2009-09-09 | 株式会社日立国際電気 | 欠陥検査装置 |
JP5759271B2 (ja) * | 2010-06-15 | 2015-08-05 | Juki株式会社 | 電子部品実装装置 |
-
2014
- 2014-07-14 JP JP2014144059A patent/JP6615438B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016021115A (ja) | 2016-02-04 |
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|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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